JP2015050414A - 基板乾燥装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1はこの発明に係る基板処理ユニット1の構成を示した縦断面の概略図である。この基板処理ユニット1は、半導体基板等の基板91(以下、単に「基板91」と記載する)に付着しているパーティクル等の汚染物質(以下「パーティクル等」と記載する)を除去するための洗浄処理、および洗浄処理の後の乾燥処理に用いられる枚葉式の基板処理ユニットである。
次に、基板処理ユニット1の構成について図1を用いて説明する。基板処理ユニット1は、チャンバ11、制御ユニット13、乾燥補助液供給ユニット21、IPA供給ユニット31、気体供給ユニット41、モータ51、回転駆動部53、基板保持部55、チャックピン57を備える。また、基板処理ユニット1は図示しない基板搬入出手段と、図示しないチャックピン開閉機構と、図示しない湿式洗浄手段を備える。基板処理ユニット1の各部について、以下に説明する。
次に、上記のように構成された基板処理ユニット1における基板処理動作について説明する。ここで、基板91上には、凹凸のパターンが前工程により形成されている。パターンは、凸部および凹部を備えている。凸部は、100〜200nmの範囲の高さであり、10〜20nmの範囲の幅である。また、隣接する凸部間の距離(凹部の幅)は、10〜20nmの範囲である。
次に、この発明に係る基板処理ユニットの第2実施形態を説明する。この第2実施形態が第1実施形態と大きく相違する点は、乾燥補助液供給工程において供給する乾燥補助液に含まれる乾燥補助物質が、酸化により気体の酸化物を生成する点にある。本実施形態では、第1実施形態における昇華除去工程の代わりに、酸化除去工程を行い、乾燥補助物質を酸化により基板の表面から除去することで、基板の乾燥を行う。
なお、第2実施形態の構成は、第1実施形態の構成である図1および図2に示す基板処理ユニット1および制御ユニット13と基本的に同一であるため、以下の説明では同一符号を付して構成説明を省略する。
次に、上記のように構成された基板処理ユニット1における基板処理動作について説明する。以下、図1と図10、および図11を参照して基板処理の工程を説明する。図11は第2実施形態における基板処理ユニット1の動作を示すフローチャートである。
13 制御ユニット
21 乾燥補助液供給ユニット
31 IPA供給ユニット
41 気体供給ユニット
51 モータ
53 回転駆動部
55 基板保持部
57 チャックピン
91 基板
Claims (4)
- 常温、常圧環境下で昇華性を有する乾燥補助物質を溶媒に溶解させた乾燥補助液を、処理液が付着した基板に供給する乾燥補助液供給手段と、
前記乾燥補助液に含まれる前記溶媒を蒸発により除去し、前記乾燥補助物質の前記溶媒への溶解度よりも、前記乾燥補助液に含まれる前記乾燥補助物質の濃度を高くすることで、前記基板表面に前記乾燥補助物質を析出させる析出手段と、
前記基板表面に析出した乾燥補助物質を溶解する溶解液を、前記基板表面に供給する溶解液供給手段と、
前記溶解液を除去する溶解液除去手段と、
前記乾燥補助物質を昇華させて、前記基板表面から除去する昇華手段と、
を備える基板乾燥装置。 - 酸化により気体の酸化物を生成する乾燥補助物質を溶媒に溶解させた乾燥補助液を、処理液が付着した基板に供給する乾燥補助液供給手段と、
前記乾燥補助液に含まれる前記溶媒を蒸発により除去し、前記乾燥補助物質の前記溶媒への溶解度よりも、前記乾燥補助液に含まれる前記乾燥補助物質の濃度を高くすることで、前記基板表面に前記乾燥補助物質を析出させる析出手段と、
前記基板表面に析出した乾燥補助物質を溶解する溶解液を、前記基板表面に供給する溶解液供給手段と、
前記溶解液を除去する溶解液除去手段と、
前記乾燥補助物質を酸化させて前記基板から除去する酸化手段と、
を備える基板乾燥装置。 - 請求項1または請求項2のいずれか1項に記載の基板乾燥装置であって、
前記溶解液除去手段は、前記乾燥補助物質に対して不活性な不活性ガスを、前記基板表面に供給する不活性ガス供給手段であり、前記不活性ガスにおける前記溶解液の分圧は、前記不活性ガスの温度における前記溶解液の蒸気圧よりも低い基板乾燥装置。 - 請求項3に記載の基板乾燥装置であって、
前記不活性ガスの温度は、常温よりも高く、前記乾燥補助物質の融点よりも低い温度である基板乾燥装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013182917A JP6216188B2 (ja) | 2013-09-04 | 2013-09-04 | 基板乾燥装置および基板乾燥方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013182917A JP6216188B2 (ja) | 2013-09-04 | 2013-09-04 | 基板乾燥装置および基板乾燥方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015050414A true JP2015050414A (ja) | 2015-03-16 |
JP6216188B2 JP6216188B2 (ja) | 2017-10-18 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013182917A Active JP6216188B2 (ja) | 2013-09-04 | 2013-09-04 | 基板乾燥装置および基板乾燥方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP6216188B2 (ja) |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP6216188B2 (ja) | 2017-10-18 |
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A521 | Request for written amendment filed |
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RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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