JP2014103308A5 - - Google Patents

Description

前処理計算機１３０内には、寸法変動量ΔＣＤ（ｘ）演算部１０、取得部１２、近接効果補正照射係数Ｄｐ’（ｘ）演算部１４、照射量密度ρ^＋（ｘ）マップ作成部１６、最大照射量密度ρ^＋ _max（ｘ）マップ作成部１８、かぶり効果補正照射係数Ｄｆ（ｘ）演算部２０、最大照射量密度ρ^＋＋ _max（ｘ）マップ作成部２２、判定部２４、照射量Ｄ^＋（ｘ）マップ作成部３０、最大照射量Ｄ^＋ _max（ｘ）マップ作成部３２、最大照射量Ｄ^＋＋ _max（ｘ）マップ作成部３４、判定部３６、及び出力部４０が配置される。寸法変動量ΔＣＤ（ｘ）演算部１０、取得部１２、近接効果補正照射係数Ｄｐ’（ｘ）演算部１４、照射量密度ρ^＋（ｘ）マップ作成部１６、最大照射量密度ρ^＋ _max（ｘ）マップ作成部１８、かぶり効果補正照射係数Ｄｆ（ｘ）演算部２０、最大照射量密度ρ^＋＋ _max（ｘ）マップ作成部２２、判定部２４、照射量Ｄ^＋（ｘ）マップ作成部３０、最大照射量Ｄ^＋ _max（ｘ）マップ作成部３２、最大照射量Ｄ^＋＋ _max（ｘ）マップ作成部３４、判定部３６、及び出力部４０といった機能は、電気回路等のハードウェアで構成されてもよいし、これらの機能を実行するプログラム等のソフトウェアで構成されてもよい。或いは、ハードウェアとソフトウェアの組み合わせにより構成されてもよい。寸法変動量ΔＣＤ（ｘ）演算部１０、取得部１２、近接効果補正照射係数Ｄｐ’（ｘ）演算部１４、照射量密度ρ^＋（ｘ）マップ作成部１６、最大照射量密度ρ^＋ _max（ｘ）マップ作成部１８、かぶり効果補正照射係数Ｄｆ（ｘ）演算部２０、最大照射量密度ρ^＋＋ _max（ｘ）マップ作成部２２、判定部２４、照射量Ｄ^＋（ｘ）マップ作成部３０、最大照射量Ｄ^＋ _max（ｘ）マップ作成部３２、最大照射量Ｄ^＋＋ _max（ｘ）マップ作成部３４、判定部３６、及び出力部４０に入出力される情報および演算中の情報はメモリ１３２にその都度格納される。

図３は、実施の形態１におけるドーズ変調量ＤＭデータの一例を示す図である。図２に示すように、レイアウトデータ内の複数の図形パターンについて、図形毎に、指標番号（識別子）が付与される。そして、ドーズ変調量ＤＭデータは、図３に示すように、各指標番号に対するドーズ変調量ＤＭとして定義される。図３では、例えば、指標番号２０の図形パターンについて、ドーズ変調量ＤＭが１００％と定義される。指標番号２１の図形パターンについて、ドーズ変調量ＤＭが１２０％と定義される。指標番号２２図形パターンについて、ドーズ変調量ＤＭが１４０％と定義される。かかるドーズ変調量ＤＭデータは、ユーザ或いは補正ツール等で設定されたドーズ変調量ＤＭの各データとそれぞれ対応する図形パターンの指標番号を入力し、対応させたデータを作成すればよい。

図４は、実施の形態１における描画方法の要部工程を示すフローチャート図である。図４では、特に、電子ビームの照射量チェック方法に重点を置いて示している。図４において、寸法変動量ΔＣＤ（ｘ）演算工程（Ｓ１０４）と、取得工程（Ｓ１０６）と、近接効果補正照射係数Ｄｐ’（ｘ）演算工程（Ｓ１０８）と、照射量密度ρ^＋（ｘ）マップ作成工程（Ｓ１１０）と、最大照射量密度ρ^＋ _max（ｘ）マップ作成工程（Ｓ１１２）と、照射量Ｄ^＋（ｘ）マップ作成工程（Ｓ１２０）と、最大照射量Ｄ^＋ _max（ｘ）マップ作成工程（Ｓ１２２）と、かぶり効果補正照射係数Ｄｆ（ｘ）演算工程（Ｓ１３０）と、最大照射量密度ρ^＋＋ _max（ｘ）マップ作成工程（Ｓ１３２）と、判定工程（Ｓ１３４）と、最大照射量Ｄ^＋＋ _max（ｘ）マップ作成工程（Ｓ１４２）と、判定工程（Ｓ１４４）と、描画工程（Ｓ１５０）と、いった一連の工程を実施する。

ここで、基準照射量Ｄ_Ｂ’は上述したようにローディング効果補正も考慮されたＤ_Ｂ’が用いられる。また、面積密度ρ（ＤＭ：ｘ）は、記憶装置１４４から読み出せばよい。照射量密度ρ^＋（ｘ）は、近接効果及びローディング効果に起因する寸法変動を補正する照射量密度である。そして、照射量密度ρ^＋（ｘ）は、式（３）に示すように、基準照射量Ｄ_Ｂ’と、近接効果及びローディング効果に起因する寸法変動を補正する近接効果補正照射係数Ｄｐ’（ｘ）（照射量係数の一例）と、前記ドーズ変調量で重み付けされたパターン面積密度ρ（ＤＭ：ｘ）と、を用いて定義される。

かぶり効果補正照射係数Ｄｆ（ｘ）演算工程（Ｓ１３０）として、かぶり効果補正照射係数Ｄｆ（ｘ）演算部２０は、記憶装置１４４から面積密度ρ（ＤＭ：ｘ）を読み出し、さらに、得られたη’，Ｄｐ’（ｘ）を用いて、かぶり効果を補正するためのかぶり効果補正照射係数Ｄｆ（ｘ）を演算する。かぶり効果補正照射係数Ｄｆ’（ｘ）は、以下の式（４）を解くことで求めることができる。

前処理計算機１３０内に配置される寸法変動量ΔＣＤ（ｘ）演算部１０、ローディング効果補正照射係数Ｄ_Ｌ（ｘ）演算部４２、近接効果補正照射係数Ｄｐ（ｘ）演算部１５、照射量密度ρ^＋（ｘ）マップ作成部１７、最大照射量密度ρ^＋ _max（ｘ）マップ作成部１８、かぶり効果補正照射係数Ｄｆ（ｘ）演算部２０、最大照射量密度ρ^＋＋ _max（ｘ）マップ作成部２２、判定部２４、及び照射量Ｄ^＋（ｘ）マップ作成部３１、最大照射量Ｄ^＋ _max（ｘ）マップ作成部３２、最大照射量Ｄ^＋＋ _max（ｘ）マップ作成部３４、判定部３６、及び出力部４０といった機能は、電気回路等のハードウェアで構成されてもよいし、これらの機能を実行するプログラム等のソフトウェアで構成されてもよい。或いは、ハードウェアとソフトウェアの組み合わせにより構成されてもよい。寸法変動量ΔＣＤ（ｘ）演算部１０、ローディング効果補正照射係数Ｄ_Ｌ（ｘ）演算部４２、近接効果補正照射係数Ｄｐ（ｘ）演算部１５、照射量密度ρ^＋（ｘ）マップ作成部１７、最大照射量密度ρ^＋ _max（ｘ）マップ作成部１８、かぶり効果補正照射係数Ｄｆ（ｘ）演算部２０、最大照射量密度ρ^＋＋ _max（ｘ）マップ作成部２２、判定部２４、及び照射量Ｄ^＋（ｘ）マップ作成部３１、最大照射量Ｄ^＋ _max（ｘ）マップ作成部３２、最大照射量Ｄ^＋＋ _max（ｘ）マップ作成部３４、判定部３６、及び出力部４０に入出力される情報および演算中の情報はメモリ１３２にその都度格納される。