JP2014037458A - 接着剤組成物、接着フィルムおよび貼付方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】接着剤組成物は、主鎖の構成単位としてスチレン単位を含み、当該スチレン単位の含有量が10重量%以上、90重量%以下であり、重量平均分子量が10,000以上、200,000以下であるエラストマーを、40重量%以上含み、当該接着剤組成物からなる接着剤層は、溶剤によって膨潤することにより、その表面の接着性が低下する。
【選択図】なし
Description
本発明に係る接着剤組成物に含まれるエラストマーは、主鎖の構成単位としてスチレン単位を含み、当該スチレン単位の含有量が10重量%以上、90重量%以下であり、重量平均分子量が10,000以上、200,000以下の範囲であればよい。
本発明に係る接着剤組成物に含まれる溶剤(主溶剤)は、エラストマーを溶解する機能を有していればよく、例えば、非極性の炭化水素系溶剤、並びに、極性および無極性の石油系溶剤等を用いることができる。
本発明に係る接着剤組成物は、必要に応じて熱重合禁止剤を含有していてもよい。熱重合禁止剤は、熱によるラジカル重合反応を防止する機能を有する。具体的には、熱重合禁止剤は、ラジカルに対して高い反応性を示すため、モノマーよりも優先的に反応してモノマーの重合を禁止する。接着剤組成物は、熱重合禁止剤を含むことにより、高温環境下(特に、250℃〜350℃)において重合反応が抑制される。
本発明に係る接着剤組成物は、本発明における接着剤組成物の本質的な特性を損なわない範囲において、混和性を有する他の成分をさらに含んでいてもよい。他の成分としては、例えば、接着剤組成物の性能を改良するための付加的樹脂、可塑剤、接着補助剤、安定剤、着色剤および界面活性剤等の、慣用されている各種添加剤が挙げられる。
本発明に係る接着剤組成物の調製方法は特に限定されず、公知の方法を用いればよいが、例えば、エラストマーを溶剤に溶解させ、既存の攪拌装置を用いて、各組成を攪拌することにより、本発明に係る接着剤組成物を得ることができる。
本発明に係る接着剤組成物は、例えば、ウエハと当該ウエハの支持体とを貼り付け、積層体を形成するために用いられる。
本発明に係る接着剤組成物によって接着されたウエハと支持体とを、上記の反応層を変質すること等によって分離した後に、接着剤層を除去する場合、当該接着剤層を膨潤させる溶剤を接着剤層に供給すれば、接着剤層が膨潤してその表面の接着性が低下し、容易に除去することができる。また、上記の反応層等を用いずに、ウエハと支持体とを接着した状態で、接着剤層を膨潤させる溶剤を接着剤層に直接供給することによって、接着剤層が膨潤してその表面の接着性が低下し、ウエハと支持体とを容易に分離すると共に、ウエハから接着剤層を容易に除去することができる。この場合、接着剤層への溶剤の供給効率を上げるため、支持体には貫通した穴が設けられていることがより好ましい。
本発明に係る接着剤組成物は、用途に応じて様々な利用形態を採用することができる。例えば、接着剤組成物を液体状態のまま、所望する接着剤層の膜厚に応じて適宜、公知の方法を用いて、被加工体であるウエハ上や支持体上に塗布し、乾燥させて接着剤層を形成する方法を採用してもよく、或いは、可撓性フィルム等のフィルム上に接着剤組成物を塗布し、乾燥させて接着剤層を形成することにより接着フィルムとした後、当該接着フィルムを、被加工体であるウエハや支持体に貼り付ける方法を採用してもよい。
本発明に係る貼付方法は、本発明に係る接着剤組成物を用いて形成した接着剤層によって、ウエハに支持体を貼り付ける貼付工程を包含することを特徴としている。本発明に係る接着剤組成物により形成した接着剤層を用いてウエハと支持体とを貼り付けることによって、当該接着剤層は、溶剤によって膨潤することにより、その表面の接着性が低下するので、ウエハと支持体とを、より速やかに分離することができる。
実施例1〜10並びに比較例1および比較例2において使用したエラストマー(樹脂成分)、重合禁止剤、主溶剤、添加溶剤を以下の表1に示す。なお、表1中の「部」は全て重量部である。
半導体ウエハ基板(Si、12インチ)に、各接着剤組成物をスピン塗布し、100℃、160℃、200℃で各5分間焼成して膜厚100μmの接着剤層を形成した。
形成した各積層体において、ウエハの裏面をDISCO社製のバックグラインド装置を用いて薄化処理(50μm)した後、N2環境下において、220℃で3時間の加熱処理を行い、薄化処理に対する耐性、および、耐熱性(表1)に問題がないことを確認した。なお、表1において、耐熱性に問題がなければ「○」、問題があれば「×」で示した。
薄化処理および加熱処理後の積層体に対して、支持体側から532nmのレーザを照射し、支持体と接着剤層との間を分離した。支持体が分離されたウエハを、室温で200mLのPGMEA溶剤中に5分間浸漬した。PGMEA溶剤中に浸漬した後に、ウエハから接着剤層を分離可能か否かを評価した。ウエハから接着剤層が分離可能であれば「○」、不可能であれば「×」とした。結果を表1に示す。
Claims (10)
- ウエハと当該ウエハの支持体とを接着するための接着剤組成物であって、
主鎖の構成単位としてスチレン単位を含み、当該スチレン単位の含有量が10重量%以上、90重量%以下であり、重量平均分子量が10,000以上、200,000以下であるエラストマーを、40重量%以上含み、
上記接着剤組成物を用いて形成した接着剤層は、溶剤によって膨潤することにより、その表面の接着性が低下するようになっていることを特徴とする接着剤組成物。 - 上記エラストマーは水添物であることを特徴とする請求項1に記載の接着剤組成物。
- 上記エラストマーの両末端はスチレンのブロック共重合体であることを特徴とする請求項1または2に記載の接着剤組成物。
- 上記エラストマーはスチレンおよび共役ジエンのブロック共重合体であることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の接着剤組成物。
- 上記スチレン単位の含有量が、50重量%より多いことを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載の接着剤組成物。
- 上記エラストマーは、上記溶剤に対する相溶性を示すユニットと非相溶性を示すユニットとを有することを特徴とする請求項5に記載の接着剤組成物。
- 上記ウエハは、上記支持体と接着した後に薄化工程に供されることを特徴とする請求項1〜6の何れか一項に記載の接着剤組成物。
- 上記ウエハは、上記支持体と接着した後に220℃以上の環境下に曝されることを特徴とする請求項1〜7の何れか一項に記載の接着剤組成物。
- フィルム上に、請求項1〜8の何れか一項に記載の接着剤組成物を用いて形成した接着剤層が形成されていることを特徴とする接着フィルム。
- 請求項1〜8の何れか一項に記載の接着剤組成物を用いて形成した接着剤層によって、ウエハに当該ウエハの支持体を貼り付けることを特徴とする貼付方法。
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