JP2013513951A - 微小環境中に均一に分布した浄化ガスを得るための多孔質バリア - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、2009年12月10日出願の米国仮特許出願第61/285218号の利益を主張するとともに、その全体を本明細書に文献援用する。
本発明は、極めて清潔な環境下での半導体ウエハー等の物の保管または搬送に適した、搬送可能な基材容器に関し、より具体的には、相対湿度、酸素濃度、浮遊微粒子濃度が所望のレベルとなるまで前記容器内の環境を浄化(purge)するためのシステムおよび方法に関する。
基材の搬送中や保管中において、周囲の空気中に存在する塵や気体状の不純物が半導体ウエハーやその他の物に付着すると、影響を受けたウエハーから作り出される後続の製品は低下する。この傾向は、集積度が増加するほどますます目立つようになる。従って、搬送容器中の環境については、塵だけでなく気体状の不純物に関しても高水準の清潔さを達成したいという要求がある。
上記の問題点に鑑みて、本発明は、微小環境内の均一な分布を提供する浄化ガス供給装置及び方法を導入することにより、相対湿度、酸素濃度、微粒子濃度が所望のレベルとなるまで微小環境を浄化するための改良システムおよび方法を提供する。
図1Aには、FOUPやFOSBとして知られるウエハー容器アセンブリ1として構成され、開口前部2と、前扉3と、筐体部4を有する基材容器の形態が示されている。ウエハーWは、開口前部を通じて水平に差し入れおよび取り出しされる。内部の側面に形成されたスロットは、基材(この場合半導体ウエハー)を保持する。シール付き前扉3は、筐体部4と係合して、周囲の雰囲気から隔離された内部空間を形成する。浄化タワー6のための受け構造5を筐体部分の底壁に設けることができる。
Claims (18)
- 基材を搬送するためのシステムであって、
前記基材を格納/取り出しする開口を有する容器部と、前記開口を密封可能に覆うために適合したドアとを有する基材容器と、
前記搬送容器内に配設された基材搬送セクションと、
気体状の作動流体を用いて基材容器本体を浄化するために前記気体状の作動流体を前記容器の内部へ導入するための基材容器部への取り付けに適合した入口タワーを有する装置と、
フィルタ材料と、を有し、
前記入口タワーは、長手と、前記タワーの該長手に沿って配置された一つ以上の出口領域と、前記タワーの前記長手の方向に延びる内部流路と、を有し、
前記フィルタ材料は、各出口領域に位置し前記一つ以上の出口領域と前記内部流路との間にあり、これにより前記基材容器に導入されようとする前記気体状の作動流体を濾過することができるシステム。 - 前記入口タワーの前記一つ以上の出口領域が複数のオリフィスを有し、
前記フィルタ材料が該オリフィスを覆う帯状の多孔質材料を有し、
該帯状の多孔質材料がタワー内に延びている請求項1の装置。 - 前記入口タワーがタワー内からの水を遮る多孔質高分子材料を有する請求項1の装置。
- 基材を搬送するためのシステムであって、
開口を有する容器本体と、前記開口を密封可能に覆うウエハー格納/取出し扉と、を有する基材搬送容器と、
多孔質バリア材料で形成された入口タワーと、同じ多孔質バリア材料から形成された前記タワー内のフィルタとを有する、気体状の作動流体を前記容器の内部へ導入するための装置と、を有するシステム。 - 多孔質バリア材料から形成された前記入口タワーが断面において「C」字形状を有する請求項4の装置。
- 基材を搬送するためのシステムであって、
開口を有する容器本体と、前記開口を密封可能に覆うウエハー格納/取出し扉と、を有する基材搬送容器と、
前記容器の内部へ気体状の作動流体を導入するための装置と、を有し、
該装置は、入口タワーと、多孔質フィルタ材料から形成された気嚢部と、を有し、
該気嚢部は入口タワーの長手に延びているシステム。 - 前記気嚢の片側が反対側よりも薄くなっている請求項6の装置。
- 前記気嚢が長手を有し、前記細長い気嚢の片側が開口しており、該開口が少なくとも前記細長い気嚢のほぼ長手の方向に延びている請求項6の装置。
- 基材への損傷を回避するためにウエハー搬送容器内の環境を維持する方法であって、
浄化タワー装置の中にオリフィスを覆う多孔質バリア材料を置くステップを有する方法。 - 前記多孔質バリア材料が気嚢の形状をしている請求項9の方法。
- 前記多孔質バリア材料が背部を欠いた気嚢の形状とされている請求項9の方法。
- 前記多孔質バリア材料が浄化タワーの形状とされている請求項9の方法。
- 前記多孔質バリアが帯状の多孔質材料である請求項9の方法。
- 前記多孔質材料が焼結材料、繊維材料、発泡材料のうちのひとつを有する請求項9の方法。
- 基材容器内の浄化タワーの長手に沿って気体材料の均等な浄化流を提供する方法であって、
前記容器の外部の浄化ガス源に接続された内部を有する浄化タワーを設けるステップを有し、前記浄化タワーは複数の開口を有しており、
さらに、多孔質材料によって遮断されないように前記タワーの長手に沿って気体流路を開けたままとしつつ、前記開口と隣接させて多孔質材料を設けるステップを有する方法。 - 基材容器内の浄化タワーの長手に沿って気体流体の均等な浄化流を提供する方法であって、
多孔質材料から形成された管状部材の浄化タワーを設けるステップを有し、前記管状部材は、頂端が閉鎖され底端が浄化口に接続されており、
さらに、前記浄化口を前記容器の外部の浄化ガス源に接続するステップと、
前記タワーの頂部近傍の流速および流量が前記タワーの底部近傍の流速および流量に等しいかほぼ等しくなるように前記浄化タワーを加圧するステップと、を有する方法。 - 長手方向のスロットを有する細長いスリーブを利用して浄化流の方向を調節するステップを有し、
前記スリーブが前記管状部材に形状が一致して嵌合している請求項16の方法。 - 基材容器であって、
前記基材を格納/取り出しする開口を有する容器部と、前記開口を密封可能に覆うために適合したドアと、を有する基材容器を有し、該基材容器が、
搬送容器内の基材搬送領域と、
前記気体状の作動流体を用いて基材容器本体を浄化するために前記気体状の作動流体を前記容器の内部へ導入するための内部の容器部に取り付けられた入口タワーと、を有し、
前記入口タワーは、長手と、該長手に沿って配置された一つ以上の出口領域と、タワーの前記長手の方向に延びる内部流路と、を有しており、
前記タワーは、前記タワーの長手を延びる管状構造体として形成されたフィルタ材料を有しており、
前記管状構造体は、浄化ガスが前記管状構造体の全長に沿って前記管状構造体を上方に流れて前記環状構造から出ることを可能とするための、前記容器部の底部の浄化口に接続された軸方向の流体流路を有する基材容器。
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