KR102520475B1 - 기판 수납 용기 - Google Patents

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Abstract

기판 수납 용기는, 일단부에 용기 본체 개구부가 형성된 개구 둘레부를 갖고, 타단부가 폐색 된 통형상의 벽부를 구비하고, 벽부의 내면에 의해, 복수의 기판을 수납 가능하고 용기 본체 개구부에 연통하는 기판 수납 공간(27)이 형성된 용기 본체(2); 용기 본체 개구부에 대해서 탈부착 가능하고, 용기 본체 개구부를 폐색 가능한 뚜껑체; 기판 수납 공간(27)과 용기 본체(2)의 외부의 공간을 연통 가능한 통기로(P);를 구비하고, 통기로(P)는, 용기 본체(2)에 인서트 성형된 통기로 형성 부품(245)에 형성되어 있다.

Description

기판 수납 용기
본 발명은, 반도체 웨이퍼 등으로 이루어지는 기판을 수납, 보관, 반송(搬送), 수송 등을 할 때에 사용되는 기판 수납 용기에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼로 이루어지는 기판을 수납하여, 공장 내의 공정에서 반송하기 위한 기판 수납 용기로는, 용기 본체와 뚜껑체를 구비하는 구성의 것이 종래부터 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 ~ 특허문헌 4 참조).
용기 본체의 일단부는, 용기 본체 개구부가 형성된 개구 둘레부(周緣部)를 갖는다. 용기 본체의 타단부는, 폐색된 통형상의 벽부를 갖는다. 용기 본체 내에는 기판 수납 공간이 형성되어 있다. 기판 수납 공간은, 벽부에 의해 둘러싸여 형성되어, 복수의 기판을 수납 가능하다. 뚜껑체는, 개구 둘레부에 대하여 탈부착 가능하고, 용기 본체 개구부를 폐색 가능하다. 측방 기판 지지부는, 기판 수납 공간 내에서 쌍을 이루도록 벽부에 설치되어 있다. 측방 기판 지지부는, 뚜껑체에 의해 용기 본체 개구부가 폐색되어 있지 않을 때에, 인접하는 기판끼리를 소정 간격으로 이간시켜 병렬시킨 상태로, 복수의 기판의 가장자리부(緣部)를 지지 가능하다.
뚜껑체의 부분으로서 용기 본체 개구부를 폐색하고 있을 때에 기판 수납 공간에 대향하는 부분에는, 프론트 리테이너가 설치되어 있다. 프론트 리테이너는, 뚜껑체에 의해 용기 본체 개구부가 폐색되어 있을 때에, 복수의 기판의 가장자리부를 지지 가능하다. 또한, 프론트 리테이너와 쌍을 이루도록 하여, 안측(奧側) 기판 지지부가 벽부에 설치되어 있다. 안측 기판 지지부는, 복수의 기판의 가장자리부를 지지 가능하다. 안측 기판 지지부는, 뚜껑체에 의해 용기 본체 개구부가 폐색되어 있을 때에, 프론트 리테이너와 협동하여 복수의 기판을 지지함으로써, 인접하는 기판끼리를 소정 간격으로 이간시켜 병렬시킨 상태로, 복수의 기판을 유지한다.
일본 공표특허공보 특표2016-538732호 일본 등록특허공보 제5524093호 일본 등록특허공보 제6057716호 일본 등록특허공보 제6271354호
종래의 기판 수납 용기에는, 기판 수납 공간과 용기 본체의 외부의 공간을 연통(連通) 가능한 통기로가 형성되어 있다. 통기로를 통하여, 용기 본체의 외부로부터 기판 수납 공간으로, 질소 등의 불활성 가스 혹은 수분을 제거(1% 이하)한 드라이 에어(이하, 퍼지 가스라고 한다)가 유입되어, 가스 퍼지가 수행된다.
그러나, 시판품인 로드 포트, 즉, 용기 본체의 위치 결정이나, 용기 본체의 외면에 설치되어 통기로에 연통하는 소기공(掃氣孔)에 퍼지 가스를 보내는 장치에 있어서는, 소기공에 접속되어 퍼지 가스를 주입하기 위한 가스 주입구의 위치가, 소정 위치에 고정되어 있다. 그러므로, 용기 본체의 소기공은, 가스 주입구의 연직 상방에 있어서 대향하는 위치 관계로 설치될 필요가 있다.
또한, 가스 주입구로부터 주입된 가스는, 용기 본체의 소기공을 경유하여, 용기 내면으로서 가스 주입구의 연직 상방에 위치하는 가스 토출구로부터 토출된다. 가스 토출구가 형성되어 있는 위치는, 기판 수납 공간에 수납되어 있는 기판의 연직 하방의 위치(상하 방향에 있어서, 기판 수납 공간에 수납되어 있는 기판에 겹쳐지는 위치)일 수도 있다. 그 경우, 아무리 뚜껑체에 의해 기판 수납 용기의 용기 본체 개구부가 폐색되어, 기판 수납 공간이 외기로부터 차단되어 있어도, 통상적으로 복수개 수납되어 있는 기판간의 틈에 존재하고 있는 가스가 치환되는 효율은 매우 나쁘다. 또한, 기판 수납 용기의 용기 본체 개구부가 뚜껑체에 의해 폐색되어 있지 않고 개방된 상태에서도 가스 퍼지가 수행되지만, 이 경우에는, 복수개 수납되어 있는 기판간의 틈에는 퍼지 가스는 도달하지 않아, 가스 퍼지에 의한 가스 치환은 불가능하다.
또한, 용기 본체에, 복수개 수납되어 있는 기판간의 틈으로 퍼지 가스를 흘려보내기 위한 부품을, 추가 부착으로 용기 본체의 외면 또는 내면에 부착하려고 해도, 엄격한 치수 제약에 의해, 설계폭이 좁고, 또한, O링 등을 갖는 복잡한 구조가 되어, 조립 시의 부담이 커진다.
본 발명은, 용기 본체에, 복수개 수납되어 있는 기판간의 틈으로 퍼지 가스를 흘려보내기 위한 간단한 구성의 부품을, 용이하게 추가 부착 가능한 기판 수납 용기를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 일단부에 용기 본체 개구부가 형성된 개구 둘레부를 갖고, 타단부가 폐색된 통형상의 벽부를 구비하고, 상기 벽부의 내면에 의해, 복수의 기판을 수납 가능하고 상기 용기 본체 개구부에 연통하는 기판 수납 공간이 형성된 용기 본체; 상기 용기 본체 개구부에 대하여 탈부착 가능하고, 상기 용기 본체 개구부를 폐색 가능한 뚜껑체; 및 상기 기판 수납 공간과 상기 용기 본체의 외부의 공간을 연통 가능한 통기로;를 구비하고, 상기 통기로는, 상기 용기 본체에 인서트 성형된 통기로 형성 부품에 형성되어 있는 기판 수납 용기에 관한 것이다.
또한, 상기 통기로 형성 부품에는, 적어도 1개의 통기로가 형성되어 있는 것이 바람직하다. 또한, 상기 통기로 형성 부품은, 복수의 부품이 조합되어 구성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 통기로 형성 부품은, 상기 통기로 형성 부품의 통기로에 기체가 유입되는 부분을 형성하는 제1 부품부; 및 상기 통기로 형성 부품의 통기로에 유입된 기체가 상기 통기로에서 충돌하여 기체가 흐르는 방향이 바뀌는 부분을 형성하는 제2 부품부;를 구비하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 통기로 형성 부품에는, 부가 부품을 탈부착 가능하게 장착 가능한 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 용기 본체에, 복수개 수납되어 있는 기판간의 틈에 퍼지 가스를 흘려보내기 위한 간단한 구성의 부품을, 용이하게 추가 부착 가능한 기판 수납 용기를 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 수납 용기(1)에 복수의 기판(W)이 수납된 모습을 나타내는 분해 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 수납 용기(1)의 용기 본체(2)를 나타내는 상방 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 수납 용기(1)의 용기 본체(2)를 나타내는 하방 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 수납 용기(1)의 용기 본체(2)를 나타내는 측방 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 수납 용기(1)의 용기 본체(2)를 나타내는 확대 측방 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 수납 용기(1)의 용기 본체(2)를 나타내는 확대 후방 단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 수납 용기(1)의 용기 본체(2)를 나타내는 상방 단면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 수납 용기(1)의 용기 본체(2), 통기로 형성 부품(245), 및, 급기용 필터부(90)를 나타내는 분해 사시도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 수납 용기(1)의 용기 본체(2)를 나타내는 저면도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 수납 용기(1)의 용기 본체(2), 통기로 형성 부품(245), 및, 급기용 필터부(90)를 나타내는 확대 단면도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 수납 용기(1)의 통기로 형성 부품(245), 및, 급기용 필터부(90)를 나타내는 분해 사시도이다.
이하, 본 실시형태에 의한 기판 수납 용기(1)에 대하여, 도면을 참조하면서 설명한다. 도 2는, 기판 수납 용기(1)의 용기 본체(2)를 나타내는 상방 사시도이다. 도 3은, 기판 수납 용기(1)의 용기 본체(2)를 나타내는 하방 사시도이다. 도 4는, 기판 수납 용기(1)의 용기 본체(2)를 나타내는 측방 단면도이다.
여기서, 설명의 편의상, 후술하는 용기 본체(2)에서 뚜껑체(3)로 향하는 방향(도 1에서의 우상에서 좌하로 향하는 방향)을 전방향(D11)으로 정의하고, 그 반대의 방향을 후방향(D12)으로 정의하고, 이들을 아울러 전후 방향(D1)으로 정의한다. 또한, 후술하는 하벽(24)에서 상벽(23)으로 향하는 방향(도 1에서의 상방향)을 상방향(D21)으로 정의하고, 그 반대의 방향을 하방향(D22)으로 정의하고, 이들을 아울러 상하 방향(D2)으로 정의한다. 또한, 후술하는 제2 측벽(26)에서 제1 측벽(25)으로 향하는 방향(도 1에서의 우하에서 좌상으로 향하는 방향)을 좌방향(D31)으로 정의하고, 그 반대의 방향을 우방향(D32)으로 정의하고, 이들을 아울러 좌우 방향(D3)으로 정의한다. 주요한 도면에는, 이들의 방향을 나타내는 화살표를 도시하고 있다.
또한, 기판 수납 용기(1)에 수납되는 기판(W)(도 1 참조)은, 원반형 실리콘 웨이퍼, 유리 웨이퍼, 사파이어 웨이퍼 등으로, 산업에 이용되는 얇은 것이다. 본 실시형태에서의 기판(W)은, 직경 300 mm의 실리콘 웨이퍼이다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 기판 수납 용기(1)는, 상술과 같은 실리콘 웨이퍼로 이루어지는 기판(W)을 수납하여, 공장 내의 공정에서 반송하는 공정 내용기로 이용되거나, 육상 운송 수단·항공 운송 수단·해상 운송 수단 등의 수송 수단에 의해 기판을 수송하기 위한 출하 용기로 이용되는 것으로, 용기 본체(2)와 뚜껑체(3)로 구성된다. 용기 본체(2)는, 측방 기판 지지부로서의 기판 지지 판형상부(5)와 안측 기판 지지부(6)(도 2 등 참조)를 구비하고 있고, 뚜껑체(3)는, 뚜껑체측 기판 지지부로서의 미도시의 프론트 리테이너를 구비하고 있다.
용기 본체(2)는, 일단부에 용기 본체 개구부(21)가 형성되고, 타단부가 폐색된 통형상의 벽부(20)를 갖는다. 용기 본체(2) 내에는 기판 수납 공간(27)이 형성되어 있다. 기판 수납 공간(27)은, 벽부(20)에 의해 둘러싸여 형성되어 있다. 벽부(20)의 부분으로서 기판 수납 공간(27)을 형성하고 있는 부분에는, 기판 지지 판형상부(5)가 배치되어 있다. 기판 수납 공간(27)에는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 복수의 기판(W)을 수납 가능하다.
기판 지지 판형상부(5)는, 기판 수납 공간(27) 내에서 쌍을 이루도록 벽부(20)에 설치되어 있다. 기판 지지 판형상부(5)는, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있지 않을 때에, 복수의 기판(W)의 가장자리부에 맞닿음(當接)으로써, 인접하는 기판(W)끼리를 소정 간격으로 이간시켜 병렬시킨 상태로, 복수의 기판(W)의 가장자리부를 지지 가능하다. 기판 지지 판형상부(5)의 안측에는, 안측 기판 지지부(6)가 기판 지지 판형상부(5)와 일체 성형되어 설치되어 있다.
안측 기판 지지부(6)(도 2 등 참조)는, 기판 수납 공간(27) 내에서 후술하는 미도시의 프론트 리테이너와 쌍을 이루도록 벽부(20)에 설치되어 있다. 안측 기판 지지부(6)는, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때에, 복수의 기판(W)의 가장자리부에 맞닿음으로써, 복수의 기판(W)의 가장자리부의 후부를 지지 가능하다.
뚜껑체(3)는, 용기 본체 개구부(21)를 형성하는 개구 둘레부(28)(도 1 등)에 대하여 탈부착 가능하고, 용기 본체 개구부(21)를 폐색 가능하다. 미도시의 프론트 리테이너는, 뚜껑체(3)의 부분으로서 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때에 기판 수납 공간(27)에 대향하는 부분에 설치되어 있다. 미도시의 프론트 리테이너는, 기판 수납 공간(27)의 내부에서 안측 기판 지지부(6)와 쌍을 이루도록 배치되어 있다.
미도시의 프론트 리테이너는, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때에, 복수의 기판(W)의 가장자리부에 맞닿음으로써 복수의 기판(W)의 가장자리부의 전부(前部)를 지지 가능하다. 미도시의 프론트 리테이너는, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때에, 안측 기판 지지부(6)와 협동하여 복수의 기판(W)을 지지함으로써, 인접하는 기판(W)끼리를 소정 간격으로 이간시켜 병렬시킨 상태로 유지한다.
기판 수납 용기(1)는, 플라스틱재 등의 수지로 구성되어 있고, 특히 설명이 없는 경우에는, 그 재료의 수지로는, 예를 들어, 폴리카보네이트, 사이클로올레핀 폴리머, 폴리에테르이미드, 폴리에테르케톤, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 폴리에테르에테르 케톤, 액정 폴리머와 같은 열가소성 수지나 이들의 합금 등을 들 수 있다. 이들 성형 재료의 수지에는, 도전성을 부여하는 경우에는, 카본 섬유, 카본 파우더, 카본 나노 튜브, 도전성 폴리머 등의 도전성 물질이 선택적으로 첨가된다. 또한, 강성을 올리기 위해 유리 섬유나 탄소 섬유 등을 첨가하는 것도 가능하다.
이하, 각 부에 대하여, 상세하게 설명한다.
도 5는, 기판 수납 용기(1)의 용기 본체(2)를 나타내는 확대 측방 단면도이다. 도 6은, 기판 수납 용기(1)의 용기 본체(2)를 나타내는 확대 후방 단면도이다. 도 7은, 기판 수납 용기(1)의 용기 본체(2)를 나타내는 상방 단면도이다. 도 8은, 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 수납 용기(1)의 용기 본체(2), 통기로 형성 부품(245), 및, 급기용 필터부(90)를 나타내는 분해 사시도이다. 도 9는, 기판 수납 용기(1)의 용기 본체(2)를 나타내는 저면도이다. 도 10은, 기판 수납 용기(1)의 용기 본체(2), 통기로 형성 부품(245), 및, 급기용 필터부(90)를 나타내는 확대 단면도이다. 도 11은, 기판 수납 용기(1)의 통기로 형성 부품(245), 및, 급기용 필터부(90)를 나타내는 분해 사시도이다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 용기 본체(2)의 벽부(20)는, 안벽(22)과 상벽(23)과 하벽(24)과 제1 측벽(25)과 제2 측벽(26)을 갖는다. 안벽(22), 상벽(23), 하벽(24), 제1 측벽(25), 및 제2 측벽(26)은, 상술한 재료에 의해 구성되어 있고, 일체 성형되어 구성되어 있다.
제1 측벽(25)과 제2 측벽(26)은 대향하고 있고, 상벽(23)과 하벽(24)은 대향하고 있다. 상벽(23)의 후단(後端), 하벽(24)의 후단, 제1 측벽(25)의 후단, 및 제2 측벽(26)의 후단은, 모두 안벽(22)에 접속되어 있다. 상벽(23)의 전단(前端)단, 하벽(24)의 전단, 제1 측벽(25)의 전단, 및 제2 측벽(26)의 전단은, 대략 직사각 형상을 한 용기 본체 개구부(21)를 형성하는 개구 둘레부(28)를 구성한다.
개구 둘레부(28)는, 용기 본체(2)의 일단부에 설치되어 있고, 안벽(22)은, 용기 본체(2)의 타단부에 위치하고 있다. 벽부(20)의 외면에 의해 형성되는 용기 본체(2)의 외형은 상자 형상이다. 벽부(20)의 내면, 즉, 안벽(22)의 내면, 상벽(23)의 내면, 하벽(24)의 내면, 제1 측벽(25)의 내면, 및 제2 측벽(26)의 내면은, 이들에 의해 둘러싸인 기판 수납 공간(27)을 형성하고 있다. 개구 둘레부(28)에 형성된 용기 본체 개구부(21)는, 벽부(20)에 의해 둘러싸여 용기 본체(2)의 내부에 형성된 기판 수납 공간(27)에 연통하고 있다. 기판 수납 공간(27)에는, 최대 25장의 기판(W)을 수납 가능하다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 상벽(23) 및 하벽(24)의 부분으로서, 개구 둘레부(28) 근방의 부분에는, 기판 수납 공간(27)의 바깥쪽을 향해 움푹 팬 래치 계합(係合) 오목부(231A, 231B, 241A, 241B)가 형성되어 있다. 래치 계합 오목부(231A, 231B, 241A, 241B)는, 상벽(23) 및 하벽(24)의 좌우 양단부 근방에 1개씩, 총 4개 형성되어 있다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 상벽(23)의 외면에 있어서는, 리브(235)가, 상벽(23)과 일체 성형되어 설치되어 있다. 리브(235)는, 용기 본체(2)의 강성을 높인다. 또한, 상벽(23)의 중앙부에는, 탑 플랜지(236)가 고정된다. 탑 플랜지(236)는, AMHS(자동 웨이퍼 반송 시스템), PGV(웨이퍼 기판 반송 대차) 등에 있어서 기판 수납 용기(1)를 매달 때에, 기판 수납 용기(1)에 있어서 걸려져 매달리는 부분이 되는 부재이다.
하벽(24)에는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 바텀 플레이트(244)가 고정되어 있다. 바텀 플레이트(244)는, 하벽(24)의 외면을 구성하는 하면의 대략 전체면에 대향하여 배치되는 대략 직사각 형상의 판형상을 갖고 있고, 하벽(24)에 고정되어 있다.
도 3에 나타내는 바와 같이, 하벽(24)의 네 귀퉁이에는, 통기로(P)를 구성하는 2종류의 관통공인 급기공(242)과 배기공(243)이 형성되어 있다. 본 실시형태에서는, 하벽(24)의 전부의 2군데의 관통공은, 용기 본체(2)의 내부의 기체를 배출하기 위한 배기공(243)이며, 후부의 2군데의 관통공은, 용기 본체(2)의 내부에 기체를 급기하기 위한 급기공(242)이다.
후부의 2군데의 관통공은, 용기 본체(2)에 인서트 성형된 통기로 형성 부품(245)에 형성되어 있다. 구체적으로, 통기로 형성 부품(245)은, 도 11에 나타내는 바와 같이, 통기로 형성 부품(245)의 통기로에 기체가 유입되는 부분을 형성하는 제1 부품부로서의 용기 본체 피접속부(2451)와, 통기로 형성 부품(245)의 통기로에 유입된 기체가 통기로에서 충돌하여 기체가 흐르는 방향이 바뀌는 부분을 형성하는 제2 부품부로서의 천판부(天板部)(2461)의 2개의 부재가 조합되어 구성되어 있다. 천판부(2461)가 용기 본체 피접속부(2451)에 용착 등이 되지 않고 맞닿였을뿐인 상태로, 통기로 형성 부품(245)은, 용기 본체(2)를 성형하는 금형에 세팅되어, 용기 본체(2)에 대하여 인서트 성형되어, 용기 본체(2)에 대하여 고정되어 있다.
용기 본체 피접속부(2451)는, 접속부 통형상부(2452)와 수평 방향 유로 형성부(2453)를 갖고 있다. 접속부 통형상부(2452)는, 도 11에 나타내는 바와 같이, 원통 형상을 갖고 있다. 접속부 통형상부(2452)의 하부의 외주면에는, 수나사가 나사산이 마련(螺刻)되어 있다. 접속부 통형상부(2452)의 상단면(2454)은, 수평 방향 유로 형성부(2453)의 둘레부보다 하측에 위치하고 있다. 접속부 통형상부(2452)의 상단면(2454)에는, 복수의 관통공(2455)이 형성되어 있고, 복수의 관통공(2455)은 통기로를 구성한다.
수평 방향 유로 형성부(2453)는, 평면에서 보았을때 대략 타원 형상을 갖고 있다. 수평 방향 유로 형성부(2453)의 길이 방향에서의 일단부(2456)는, 타단부(2457)보다 지름이 크게 구성되어 있고, 일단부(2456)에는 접속부 통형상부(2452)의 상단부가 일체 성형됨으로써 접속되어 있다. 수평 방향 유로 형성부(2453)의 상면에는, 수평 방향 유로 형성부(2453)의 둘레부보다 하방향으로 움푹 팬 수평 유로 오목부(2458)가 형성되어 있다. 수평 유로 오목부(2458)는, 접속부 통형상부(2452)의 주위로부터 수평 방향 유로 형성부(2453)의 길이 방향에서의 타단부(2457)에 이를때 까지 형성되어 있고, 접속부 통형상부(2452)에 유입된 퍼지 가스를 수평 방향으로 유통시키는 통기로를 구성한다.
또한, 수평 방향 유로 형성부(2453)의 길이 방향에서의 타단부(2457)에서의 수평 유로 오목부(2458)를 구성하는 수평 방향 유로 형성부(2453)의 부분은, 도 10에 나타내는 바와 같이, 상방향으로 환형으로 돌출하는 환형 돌출부(2457a)를 갖고 있고, 환형 돌출부(2457a)의 축심 위치에는, 상방향을 향해 환형 돌출부(2457a)의 상단과 대략 동일한 위치에 이를때 까지 돌출하는 축심 위치 돌출부(2457b)가 설치되어 있다.
도 11에 나타내는 바와 같이, 천판부(2461)는, 판형상으로 형성되어 있고, 천판부(2461)의 외형은, 평면에서 보았을때, 수평 방향 유로 형성부(2453)의 외형에 일치하는 대략 타원 형상을 갖고 있다. 천판부(2461)의 길이 방향에서의 일단부(2466)는, 타단부(2467)보다 직경이 크게 구성되어 있고, 일단부(2466)에는, 접속부 통형상부(2452)의 상단면(2454)이 대향하고 있다. 천판부(2461)의 길이 방향에서의 타단부(2467)는, 하방향으로 환형으로 돌출하는 천판측 환형 돌출부(2467a)를 갖고 있다. 천판측 환형 돌출부(2467a)의 내부 공간은, 천판부(2461)의 길이 방향에서의 타단부(2467)에 형성된 관통공(2457c)을 통하여 기판 수납 공간(27)에 연통하고 있다. 천판측 환형 돌출부(2467a)의 축심은, 수평 방향 유로 형성부(2453)의 환형 돌출부(2457a)의 축심과 일치하는 위치 관계를 갖고 있고, 천판측 환형 돌출부(2467a)의 하단부는, 수평 방향 유로 형성부(2453)의 환형 돌출부(2457a)의 상단부를 둘러싸도록 배치되어 있다. 천판측 환형 돌출부(2467a)의 하단부와, 수평 방향 유로 형성부(2453)의 환형 돌출부(2457a)의 상단부 사이에는, 후술하는 기체 분출 노즐부(8)의 하단부가 끼워넣어짐으로써, 기체 분출 노즐부(8)가 통기로 형성 부품(245)에, 탈부착 가능하게 고정되어 장착되어 있다.
통기로 형성 부품(245)에서의 통기로는, 도 10에서 화살표로 나타낸 같이, 접속부 통형상부(2452)의 하단에서 상단을 향해 접속부 통형상부(2452)의 축방향으로 연장되어 천판부(2461)에 이르고, 천판부(2461)의 타단부(2467)에 천판부(2461)의 하면을 따라 직각으로 꺾여져 연장되며, 천판부(2461)의 타단부에 있어서, 천판측 환형 돌출부(2467a)의 하단부로부터 천판측 환형 돌출부(2467a)의 내부로 연장되고, 천판측 환형 돌출부(2467a)의 축방향으로 직각으로 꺾여져, 천판측 환형 돌출부(2467a)의 축방향으로 연장되어 기판 수납 공간(27)으로 연장된다. 이와 같이, 통기로 형성 부품(245)에서의 통기로는, 직각으로 2회 꺾여져 있음으로써, 도 7에 나타내는 바와 같이, 전후 방향(D1) 및 좌우 방향(D3)으로 평행한 방향에 있어서, 통기로 형성 부품(245)에서의 통기로에 퍼지 가스가 유입하는 위치(A)와 퍼지 가스가 유출하는 위치(B)가 상이한 위치로 된다.
급기공(242)으로서의 관통공에는, 부가 부품으로서의 급기용 필터부(90)가 배치되어 있고, 배기공(243)으로서의 관통공에는, 배기용 필터부(91)가 배치되어 있다. 즉, 통기로 형성 부품(245), 급기용 필터부(90) 및 배기용 필터부(91)의 내부의 기체의 유로는, 기판 수납 공간(27)과 용기 본체(2)의 외부의 공간을 연통 가능한 통기로의 일부를 구성한다. 또한, 급기용 필터부(90)와 배기용 필터부(91)는, 벽부(20)에 배치되어 있고, 급기용 필터부(90)와 배기용 필터부(91)에 있어서는, 용기 본체(2)의 외부의 공간과 기판 수납 공간(27) 사이에서 기체가 통과 가능하다.
도 10, 도 11에 나타내는 바와 같이, 급기용 필터부(90)는, 내측 통형상 부재(100)와 외측 하우징부(200)와 패드(300)와 역지 밸브 기구인 작동 부재(500)를 구비하고 있다. 외측 하우징부(200)는, 대략 원통 형상을 갖고 있고, 하단면에는, 관통공(2001)이 형성되어 있다. 상단부는, 상방향을 향해 개구되어 있다. 외측 하우징부(200)의 측면의 내주면에는, 암나사가 나사산이 마련되어 있고, 암나사는, 도 10에 나타내는 바와 같이, 통기로 형성 부품(245)의 접속부 통형상부(2452)의 하부의 외주면에 형성된 수나사에 나사결합(螺合)하여, 통기로 형성 부품(245)의 접속부 통형상부(2452)의 하부를 하측에서 덮듯이 하여, 접속부 통형상부(2452)의 하부에 고정되어 있다.
도 10에 나타내는 바와 같이, 외측 하우징부(200)의 하단면에는, 환형의 오목부(2002)가 형성되어 있고, 오목부에는, 패드(300)가 끼워넣어져 있다. 외측 하우징부(200)의 내부 공간에는, 내측 통형상 부재(100)가 배치되어 있다. 내측 통형상 부재(100)는, 대략 원통 형상을 갖고 있고 상단면의 중앙부에는, 관통공(1001)이 형성되어 있다.
내측 통형상 부재(100)의 상단면의 둘레부에는, 둘레부를 따라 O링(1002)이 설치되어 있고, O링(1002)을 통해 내측 통형상 부재(100)는, 통기로 형성 부품(245)의 접속부 통형상부(2452)의 상단면을 구성하는 벽부의 하면(2454a)(내면)에 맞닿아 있다. 하면(2454a)과 내측 통형상 부재(100) 사이에는, 필터체(50)가, 하면(2454a) 및 O링(1002)과 내측 통형상 부재(100)에 의해 끼워지도록 하여, 유지되어 있다. 또한, 내측 통형상 부재(100)의 하단면의 둘레부에는, 둘레부를 따라 O링(1003)이 설치되어 있고, O링(1003)을 통해 내측 통형상 부재(100)는, 외측 하우징부(200)의 하단면을 구성하는 벽부의 상면(2003)(내면)에 맞닿아 있다. 상하 방향에서의 내측 통형상 부재(100)의 중간부에는, 내측 통형상 부재(100)의 지름 방향 외측으로 돌출하는 플랜지부(1004)가 형성되어 있다. 플랜지부(1004)의 하면은, 통기로 형성 부품(245)의 접속부 통형상부(2452)의 내주면의 하단부에 설치된 내측 볼록부(2452a)의 상단면에 맞닿는다.
작동 부재(500)는, 밸브 본체(502)와 밸브 본체(502)를 일정 방향으로 밀기(付勢) 위한 스프링(501)에 의해 구성되어 있다. 밸브 본체(502)는, 내측 통형상 부재(100)의 내부의 통기 공간(1006)에서, 스프링(501)보다 기판 수납 공간(27)의 바깥쪽(도 10에서의 하측)에 배치되어 있다. 스프링(501)은 압축 스프링에 의해 구성되어 있고, 밸브 본체(502)를, 외측 하우징부(200)의 하단면을 구성하는 벽부의 상면(2003)(내면)에 맞닿도록 민다.
밸브 본체(502)가 상면(2003)에 맞닿음으로써, 밸브를 닫아, 통기로를 구성하는 내측 통형상 부재(100)의 내부의 통기 공간(1006)이 차단되어, 기판 수납 공간(27)과 용기 본체(2)의 외부의 공간의 연통이 차단되도록 구성되어 있다. 반대로, 스프링(501)의 미는 힘에 저항하여, 미도시의 가스 퍼지 장치의 퍼지 포트의 퍼지 포트 선단부에서 공급되는 퍼지 가스에 의해, 밸브 본체(502)가 기판 수납 공간(27)의 안쪽(도 10의 상방향)을 향해 밀어올려져, 밸브 본체(502)가 상면(2003)으로부터 이간됨으로써, 외측 하우징부(200)의 하단면의 관통공(2001)이 개방되어, 내측 통형상 부재(100)의 내부의 통기 공간(1006)의 차단이 해소되어 연통되고, 이것에 의해, 기판 수납 공간(27)과 용기 본체(2)의 외부의 공간이 연통되도록 구성되어 있다.
그리고, 배기공(243)에서의 배기용 필터부(91)의 구성은, 급기공(242)에서의 급기용 필터부(90)의 구성과 대략 동일하지만, 스프링(501)과 밸브 본체(502)의 위치 관계만이 상이하다. 배기공(243)에서는, 기판 수납 공간(27)의 안쪽측(예를 들어 도 10의 상측)에 밸브 본체(502)가, 급기공(242)에서의 밸브 본체(502)에 대하여 상하 반대로 배치되고, 밸브 본체(502)에 대하여 기판 수납 공간(27)의 바깥쪽측(예를 들어 도 10의 하측)에 스프링(501)이 설치되어 있다. 스프링(501)은, 밸브 본체(502)를, 내측 통형상 부재(100)의 상단면의 하면(1007)에 맞닿도록 민다.
이 구성에 의해, 밸브 본체(502)가 하면(1007)에 맞닿음으로써 밸브가 닫혀, 통기로를 구성하는 내측 통형상 부재(100)의 내부의 통기 공간(1006)이 차단되어, 기판 수납 공간(27)과 용기 본체(2)의 외부의 공간의 연통이 차단되도록 구성되어 있다. 반대로, 스프링(501)의 미는 힘에 저항하여, 기판 수납 공간(27)에서의 가스에 의해, 밸브 본체(502)가 기판 수납 공간(27)의 바깥쪽(도 10의 아래방향)을 향해 밀어내려져, 밸브 본체(502)가 하면(1007)으로부터 이간됨으로써, 통기 공간(1006)의 관통공이 개방되어, 내측 통형상 부재(100)의 내부의 통기 공간(1006)의 차단이 해소되어 연통되고, 이것에 의해, 기판 수납 공간(27)과 용기 본체(2)의 외부의 공간이 연통되도록 구성되어 있다.
기체 분출 노즐부(8)는, 도 4~도 6 등에 나타내는 바와 같이, 상단부가 폐색되고, 하단부가 개구되어 있는 대략 원통 형상의 부분을 갖는 노즐부 본체(81)와, 노즐부 본체(81)에 퍼지 가스를 유통시키는 가스 유통부(82)와 가스 유통부(82)와, 통기로 형성 부품(245)을 접속하는 접속부(83)를 갖고 있다.
기체 분출 노즐부(8)는, 수평 방향 유로 형성부(2453)의 타단부(2457)에 고정되어 있으므로, 기판 수납 공간(27)에 수납되어 있는 기판(W)의 둘레부보다, 기판(W)의 지름 방향 바깥쪽 위치에 배치되어 있다. 노즐부 본체(81)에는, 기체 분출 노즐부(8)의 내부와 외부를 연통하는 관통공에 의해 구성되는 개구부(812)가 형성되어 있다. 개구부(812)는, 기체 분출 노즐부(8)의 상단부 근방의 위치에서 하단부 근방의 위치에 이를 때까지, 상하 방향(D2)에 있어서는, 기판 수납 용기(1)에 수납 가능한 기판(W)의 수와 동일한 수인 25개 형성되어 있다.
또한, 기체 분출 노즐부(8)는, 세정액 유입 저해부를 갖고 있다. 세정액 유입 저해부는, 개구부(812)의 근방, 보다 구체적으로, 개구부(812)의 상측 및 하측에 있어서, 전후 방향(D1) 및 좌우 방향(D3)에 평행한 방향에 있어서 각각 노즐부 본체(81)로부터 이간하는 방향으로 진행함에 따라 하방향(D22)으로 경사지는 경사 차양(813)에 의해 구성되어 있다. 경사 차양(813)은, 노즐부 본체(81)의 원주 방향(周方向)에서의 4분의 3바퀴 정도에 걸쳐 형성되어 있고, 이것과 마찬가지로, 개구부(812)도 노즐부 본체(81)의 주방향에서의 4분의 3바퀴 정도에 걸쳐 형성되어 있다. 경사 차양(813)은, 용기 본체(2)를 세정할 때에, 개구부(812)의 근방에 있어서 개구부(812)로부터 통기로측으로의 세정액의 유입을 막는다. 또한, 경사 차양(813)은, 개구부(812)로부터 기체를 하방향(D22)을 향해 유출시키는 하방 유출부를 구성한다.
도 2에 나타내는 바와 같이, 한쌍 설치된 기체 분출 노즐부(8)의 노즐부 본체(81)는, 좌우 방향에 있어서 서로 대향하는 측과 반대의 측에서, 퍼지 가스를 일시적으로 저장 가능한 가스 유통부(82)에 접속되어 있다. 그리고, 가스 유통부(82)의 하단부는 접속부(83)에 접속되어 있고, 접속부(83)의 하단부는, 천판측 환형 돌출부(2467a)의 하단부와 수평 방향 유로 형성부(2453)의 환형 돌출부(2457a)의 상단부 사이에 끼워넣어져 있고, 이것에 의해, 기체 분출 노즐부(8)는, 통기로 형성 부품(245)에, 탈부착 가능하게 고정되어 장착되어 있다.
기판 지지 판형상부(5)는, 도 2 등에 나타내는 바와 같이, 제1 측벽(25) 및 제2 측벽(26)에 각각 설치되어 있고, 좌우 방향(D3)에 있어서 쌍을 이루도록 하여 기판 수납 공간(27) 내에서 용기 본체(2)에 설치되어 있다. 구체적으로, 도 4 등에 나타내는 바와 같이, 기판 지지 판형상부(5)는, 판부(51)를 갖고 있다.
판부(51)는, 판형상의 대략 호(弧)형상을 갖고 있다. 판부(51)는, 제1 측벽(25), 제2 측벽(26) 각각에, 상하 방향(D2)에 25장씩 총 50장 설치되어 있다. 인접하는 판부(51)는, 상하 방향(D2)에 있어서 10 mm~12 mm 간격으로 서로 이간되어 평행한 위치 관계로 배치되어 있다.
또한, 제1 측벽(25)에 설치된 25장의 판부(51)와 제2 측벽(26)에 설치된 25장의 판부(51)는, 서로 좌우 방향(D3)에 있어서 대향하는 위치 관계를 갖고 있다. 판부(51)의 상면에는, 볼록부(511, 512)가 설치되어 있다. 판부(51)에 지지된 기판(W)은, 볼록부(511, 512)의 돌출단에만 접촉하고, 면으로 판부(51)에 접촉하지 않는다.
이러한 구성의 기판 지지 판형상부(5)는, 복수의 기판(W) 중 인접하는 기판(W)끼리를, 소정 간격으로 이간한 상태이면서 서로 평행한 위치 관계로 한 상태로, 복수의 기판(W)의 가장자리부를 지지 가능하다.
도 4에 나타내는 바와 같이, 안측 기판 지지부(6)는, 안측 끝가장자리 지지부(60)를 갖고 있다. 안측 끝가장자리 지지부(60)는, 기판 지지 판형상부(5)의 판부(51)의 후단부에, 용기 본체(2)와 일체 성형되어 구성되어 있다.
안측 끝가장자리 지지부(60)는 기판 수납 공간(27)에 수납 가능한 기판(W)의 한 장당 대응된 개수, 구체적으로, 25개 설치되어 있다. 제1 측벽(25) 및 제2 측벽(26)에 배치된 안측 끝가장자리 지지부(60)는 전후 방향(D1)에 있어서, 후술하는 미도시의 프론트 리테이너와 쌍을 이루는 것 같은 위치 관계를 갖고 있다. 기판 수납 공간(27) 내에 기판(W)이 수납되어 뚜껑체(3)가 닫혀짐으로써, 안측 끝가장자리 지지부(60)는, 기판(W)의 가장자리부의 끝가장자리를 협지하여 지지한다.
뚜껑체(3)는, 도 1 등에 나타내는 바와 같이, 용기 본체(2)의 개구 둘레부(28)의 형상과 대략 일치하는 대략 직사각 형상을 갖고 있다. 뚜껑체(3)는 용기 본체(2)의 개구 둘레부(28)에 대하여 탈부착 가능하고, 개구 둘레부(28)에 뚜껑체(3)가 장착됨으로써, 뚜껑체(3)는, 용기 본체 개구부(21)를 폐색 가능하다. 뚜껑체(3)의 내면(도 1에 나타내는 뚜껑체(3)의 뒤쪽의 면)으로서, 뚜껑체(3)가 용기 본체 개구부(21)를 폐색하고 있을 때의 개구 둘레부(28)의 바로 후방향(D12)의 위치에 형성된 단차의 부분의 면(밀봉면(281))에 대향하는 면에는, 환형의 밀봉 부재(4)가 장착되어 있다. 밀봉 부재(4)는, 탄성 변형 가능한 폴리에스테르계, 폴리올레핀계 등 각종 열가소성 엘라스토머, 불소 고무제, 실리콘 고무제 등에 의해 구성되어 있다. 밀봉 부재(4)는, 뚜껑체(3)의 바깥 둘레부를 한 바퀴 돌도록 배치되어 있다.
뚜껑체(3)가 개구 둘레부(28)에 장착되었을 때에, 밀봉 부재(4)는, 밀봉면(281)과 뚜껑체(3)의 내면에 끼워져 탄성 변형되고, 뚜껑체(3)는, 용기 본체 개구부(21)를 밀폐한 상태로 폐색된다. 개구 둘레부(28)로부터 뚜껑체(3)가 분해됨으로써, 용기 본체(2) 내의 기판 수납 공간(27)에 대하여, 기판(W)을 넣고 빼는 것이 가능해진다.
뚜껑체(3)에는, 래치 기구가 설치되어 있다. 래치 기구는, 뚜껑체(3)의 좌우 양단부 근방에 설치되어 있고, 도 1에 나타내는 바와 같이, 뚜껑체(3)의 상변으로부터 상방향(D21)으로 돌출 가능한 2개의 상측 래치부(32A)와, 뚜껑체(3)의 하변으로부터 하방향(D22)으로 돌출 가능한 2개의 하측 래치부(32B)를 구비하고 있다. 2개의 상측 래치부(32A)는, 뚜껑체(3)의 상변의 좌우 양단 근방에 배치되어 있고, 2개의 하측 래치부(32B)는, 뚜껑체(3)의 하변의 좌우 양단 근방에 배치되어 있다.
뚜껑체(3)의 외면에는 조작부(33)가 설치되어 있다. 조작부(33)를 뚜껑체(3)의 전측에서 조작함으로써, 상측 래치부(32A), 하측 래치부(32B)를 뚜껑체(3)의 상변, 하변으로부터 돌출시킬 수 있고 또한, 상변, 하변으로부터 돌출시키지 않는 상태로 할 수 있다. 상측 래치부(32A)가 뚜껑체(3)의 상변으로부터 상방향(D21)으로 돌출하여, 용기 본체(2)의 래치 계합 오목부(231A, 231B)에 계합하는 한편, 미도시의 하측 래치부가 뚜껑체(3)의 하변으로부터 하방향(D22)으로 돌출하여, 용기 본체(2)의 래치 계합 오목부(241A, 241B)에 계합함으로써, 뚜껑체(3)는, 용기 본체(2)의 개구 둘레부(28)에 고정된다.
뚜껑체(3)의 내측에는, 기판 수납 공간(27)의 바깥쪽으로 움푹 팬 오목부(미도시)가 형성되어 있다. 오목부(미도시) 및 오목부의 외측의 뚜껑체(3)의 부분에는, 프론트 리테이너(미도시)가 고정되어 설치되어 있다.
프론트 리테이너(미도시)는, 프론트 리테이너 기판 수용부(미도시)를 갖고 있다. 프론트 리테이너 기판 수용부(미도시)는, 좌우 방향(D3)으로 소정 간격으로 이간되어 쌍을 이루도록 하여 2개씩 배치되어 있다. 이와 같이 쌍을 이루도록 하여 2개씩 배치된 프론트 리테이너 기판 수용부는, 상하 방향(D2)으로 25쌍 병렬한 상태로 설치되어 있다. 기판 수납 공간(27) 내에 기판(W)이 수납되어, 뚜껑체(3)가 닫혀짐으로써, 프론트 리테이너 기판 수용부는, 기판(W)의 가장자리부의 끝가장자리를 협지하여 지지한다.
상기 구성의 본 실시형태에 따른 기판 수납 용기(1)에 의하면, 아래와 같은 효과를 얻을 수 있다.
상술한 바와 같이, 기판 수납 용기(1)는, 일단부에 용기 본체 개구부(21)가 형성된 개구 둘레부(28)를 갖고, 타단부가 폐색된 통형상의 벽부(20)를 구비하고, 벽부(20)의 내면에 의해, 복수의 기판(W)을 수납 가능하고 용기 본체 개구부(21)에 연통하는 기판 수납 공간(27)이 형성된 용기 본체(2)와 용기 본체 개구부(21)에 대하여 탈부착 가능하고, 용기 본체 개구부(21)를 폐색 가능한 뚜껑체(3)와 기판 수납 공간(27)과 용기 본체(2)의 외부의 공간을 연통 가능한 통기로(P)를 구비하고 있다. 통기로(P)는, 용기 본체(2)에 인서트 성형된 통기로 형성 부품(245)에 형성되어 있다.
상기 구성에 의해, 시판품인 로드 포트, 즉, 용기 본체(2)의 위치 결정이나, 용기 본체(2)의 외면에 설치되어 통기로에 연통하는 급기공(242)으로 퍼지 가스를 보내는 가스 퍼지 장치의 퍼지 포트가, 소정 위치에 고정되어 있는 구성이라도, 해당 퍼지 포트의 위치에 구속되지 않는 용기 본체(2) 내부의 위치에, 기판 수납 공간(27)으로 퍼지 가스가 유입되는 개구부를 형성하는 것이 가능해진다. 그 결과, 기판 수납 공간(27)에 수납되어 있는 기판(W)의 연직 하방의 위치(상하 방향에 있어서, 기판 수납 공간(27)에 수납되어 있는 기판과 겹쳐지는 위치)가 되지 않도록, 기판 수납 공간(27)으로 퍼지 가스가 유입되는 개구부(천판부(2461)의 길이 방향에서의 타단부(2467)에 형성된 관통공(2457c))를 형성하는 것이 가능해진다. 그러므로, 기판 수납 용기(1)의 용기 본체 개구부(21)가 뚜껑체(3)에 의해 폐색되어 있거나 되어 있지 않아도, 복수개 수납되어 있는 기판(W) 사이의 틈에, 퍼지 가스를 용이하게 유입시켜, 이 틈에서의 가스의 치환 효율을 높이는 구성으로 할 수 있다.
또한, 미리 용기 본체(2)에 통기로 형성 부품(245)이 인서트 성형되어 있기 때문에, 통기로 형성 부품(245)을 갖는 용기 본체(2)의 치수 정밀도를 높이는 것이 가능해져, 퍼지 가스에 의한 치환 효율을 높이는 것이 가능해진다. 또한, 통기로 형성 부품(245)과 용기 본체(2) 사이에 O링 등을 필요로 하지 않는 간단한 구성으로 하는 것이 가능하다.
또한, 통기로 형성 부품(245)에는, 1개의 통기로(P)가 형성되어 있다. 이 구성에 의해, 통기로 형성 부품(245)에서, 퍼지 가스를 기판 수납 공간(27)의 외부로부터 기판 수납 공간(27)의 내부로 유통시키는 것이 가능하다.
또한, 통기로 형성 부품(245)은, 복수의 부품(용기 본체 피접속부(2451), 천판부(2461))이 조합되어 구성된다. 이 구성에 의해, 통기로 형성 부품(245)에 있어서, 용이하게 통기로(P)를 2회 직각으로 꺾여진 형상으로 하는 것이 가능해진다.
또한, 통기로 형성 부품(245)은, 통기로 형성 부품(245)의 통기로(P)에 기체가 유입되는 부분을 형성하는 제1 부품부로서의 용기 본체 피접속부(2451)와, 통기로 형성 부품(245)의 통기로(P)에 유입된 기체가 통기로에서 충돌하여 기체가 흐르는 방향이 바뀌는 부분을 형성하는 제2 부품부로서의 천판부(2461)를 구비한다. 이 구성에 의해, 용기 본체 피접속부(2451)에서 통기로 형성 부품(245)에 유입된 퍼지 가스를 천판부(2461)에 충돌시킴으로써, 직각으로 퍼지 가스의 흐름의 방향이 바뀌다.
또한, 통기로 형성 부품(245)에는, 부가 부품으로서의 노즐부 본체(81)를 탈부착 가능하게 장착 가능하다. 이 구성에 의해, 필요에 따라 노즐부 본체(81) 등의 부가 부품을 용이하게 통기로 형성 부품(245)에 장착하는 것이 가능하다.
본 발명은, 상술한 실시형태에 한정되지 않고, 특허청구범위에 기재된 기술적 범위에서 변형이 가능하다.
예를 들어, 통기로 형성 부품(245)에는, 1개의 통기로가 형성되어 있었지만, 이것에 한정되지 않는다. 통기로 형성 부품에는, 적어도 1개의 통기로가 형성되어 있으면 된다. 따라서, 통기로 형성 부품에는, 복수의 통기로가 형성되어 있을 수도 있고, 예를 들어, 분기하여 복수의 통기로가 형성되어 있을 수도 있다. 또한, 통기로 형성 부품(245)은, 용기 본체 피접속부(2451)와 천판부(2461)의 2개의 부품이 조합되어 구성되었지만, 이것에 한정되지 않는다. 통기로 형성 부품은, 복수의 부품이 조합되어 구성될 수도 있고, 예를 들어, 3개의 부품에 의해 구성되어 있을 수도 있다. 또한, 통기로 형성 부품(245)에 탈부착 가능한 부가 부품은, 노즐부 본체(81)나 급기용 필터부(90)였지만, 이들에 한정되지 않는다.
또한, 용기 본체 및 뚜껑체의 형상, 용기 본체에 수납 가능한 기판의 개수나 치수는, 본 실시형태에서의 용기 본체(2) 및 뚜껑체(3)의 형상, 용기 본체(2)에 수납 가능한 기판(W)의 개수나 치수에 한정되지 않는다. 또한, 본 실시형태에서의 기판(W)은, 직경 300 mm의 실리콘 웨이퍼였지만, 이 값에 한정되지 않는다.
또한, 본 실시형태에서는, 하벽(24)의 전부의 2군데의 관통공은, 용기 본체(2)의 내부의 기체를 배출하기 위한 배기공(243)이며, 후부의 2군데의 관통공은, 용기 본체(2)의 내부에 기체를 급기하기 위한 급기공(242)이었지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 예를 들어, 하벽의 전부의 2군데의 관통공 중 적어도 1개에 대해서도, 용기 본체의 내부에 기체를 급기하기 위한 급기공으로 해도 된다. 이와 같이 함으로써, 용기 본체의 전단부에서의 가장 낮은 위치로부터 퍼지 가스를 공급하는 것이 가능해진다.
또한, 안측 기판 지지부는, 본 실시형태에서는 안측 기판 지지부(6)에 의해 구성되었지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 예를 들어, 용기 본체에 일체 성형되어 구성된 리어 리테이너에 의해, 안측 기판 지지부가 구성될 수도 있다.
1: 기판 수납 용기
2: 용기 본체
3: 뚜껑체
8: 기체 분출 노즐부
20: 벽부
21: 용기 본체 개구부
22: 안벽
90: 급기용 필터부
245: 통기로 형성 부품
2451: 용기 본체 피접속부(부품, 제1 부품부)
2461: 천판부(부품, 제2 부품부)
A: 통기로
W: 기판

Claims (5)

  1. 일단부에 용기본체 개구부가 형성된 개구 둘레부를 갖고, 타단부가 폐색된 통형상의 벽부를 구비하고, 상기 벽부의 내면에 의해, 복수의 기판을 수납 가능하고 상기 용기 본체 개구부에 연통하는 기판 수납 공간이 형성된 용기 본체;
    상기 용기 본체 개구부에 대하여 탈부착 가능하고, 상기 용기 본체 개구부를 폐색 가능한 뚜껑체; 및
    상기 기판 수납 공간과 상기 용기 본체의 외부 공간을 연통 가능한 통기로;를 구비하고,
    상기 통기로는, 상기 용기 본체에 인서트 성형된 통기로 형성 부품에 형성되고,
    상기 통기로 형성 부품은, 복수의 부품이 조합되어 구성되고,
    상기 통기로 형성 부품은,
    상기 용기 본체에 인서트 성형되어 상기 통기로 형성 부품의 통기로에 기체가 유입되는 부분을 형성하는 제1 부품부; 및
    상기 용기 본체에 인서트 성형되어 상기 통기로 형성 부품의 통기로에 유입된 기체가 상기 통기로에서 충돌하여 기체의 흐르는 방향이 바뀌는 부분을 형성하는 제2부품부;를 구비하고,
    상기 제2 부품부에 형성된 관통공을 관통하여 상기 통기로 형성 부품에 고정되는 기체 분출 노즐부를 구비하며,
    상기 통기로 형성 부품에는, 부가 부품을 탈부착 가능하게 장착 가능하고,
    상기 부가 부품은, 급기용 필터부에 의해 구성되되,
    상기 기체 분출 노즐부와 상기 제1 부품부로 상기 제2 부품부를 끼우도록 하여 상기 기체 분출 노즐부는 상기 통기로 형성 부품의 상기 제1 부품부에 고정되는 기판 수납 용기.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 통기로 형성 부품에는, 적어도 1개의 통기로가 형성되어 있는 기판 수납 용기.
  3. 삭제
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