JP7495449B2 - 気体拡散装置、及びそれを含むウェーハ容器 - Google Patents
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Description
11 給気モジュール
12 多孔管
13 逆止弁
14 気体充填パネル
20、20’ ウェーハ容器
201 底部
202 頂部
203 内壁
204 環状側壁
205 結合構造
206 貫通通路
21 ケーシング
22 ドア
23 開口部
24 支持部
25 給気モジュール
251 弾性スリーブ
252 逆止弁
253 ろ過メンブレン
254 緩衝気室
255 密封環
26 排気モジュール
27、27’ 多孔管
271、271’ 開放端
272、272’ 縦方向空間
273 カラー
274 邪魔板
275 カラー
29 基盤
60 肩部
70 タワー
71 キャップ
72 開放端
80 背板
81、81’ サイドウィング
83 円弧状の背板
84 円弧状の背板
90 気体カートリッジ
91 底部
92 側壁
93 細長い凹溝
94 位置決め機構
95 密封環
96 環状側壁
97 緩衝気室
98 給気通路
827A、827B 多孔管
925A~925E 給気モジュール
927A~927E 多孔管
9205A~9205E 結合構造
1027A~1027D 多孔管
1327A~1327C 多孔管
2227 多孔管
2300 溝孔
2400 溝孔
C、C’、C” 中心軸
d、D 横方向の長さ
W ウェーハ
X 短軸
Y 長軸
θ、θ1、θ2 夾角
Claims (38)
- 閉鎖端と開放端とを有する縦方向空間を備えた少なくとも1つの多孔管と、
前記開放端の内側に連結されて、前記多孔管がウェーハ容器の底部上の対応する結合構造に組み付けられることを緩衝することで、前記開放端の破損を防ぐための少なくとも1つのカラーと、
を含む気体拡散装置。 - 前記多孔管の水平断面形状は、長軸と短軸を有する楕円形又は細長い形、或いは直径を有する円形である請求項1に記載の気体拡散装置。
- 前記底部の結合構造は、気体が前記縦方向空間に入るのを可能にする貫通通路を画定する請求項1に記載の気体拡散装置。
- 前記多孔管又は前記カラーは、PEEK、HTPC、FKM、PPS、PPO、塩素化ポリエーテル、POB、ポリアミドイミド、EP、PF、PEI、PI、LCP、及びこれらの少なくとも2つの組み合わせから成る群から選択された耐熱材料でできている請求項1に記載の気体拡散装置。
- 前記貫通通路は、前記縦方向空間内にある中心軸を有する請求項3に記載の気体拡散装置。
- 前記多孔管が前記ウェーハ容器に組み付けられた場合、前記多孔管の一側面がウェーハ容器内の複数のウェーハに面し、前記一側面に複数の凹溝が形成され、各凹溝の水平高さが前記ウェーハ容器内の隣り合うウェーハの間にある請求項1に記載の気体拡散装置。
- 前記多孔管は、取り外し可能なキャップ、タワー及び開放端から組み立てられる請求項1に記載の気体拡散装置。
- ウェーハ容器の底部に少なくとも1つの結合構造が設けられ、前記結合構造が中心軸を有する貫通通路を画定する、収容空間を備えたウェーハ容器に取り付けられる気体拡散装置であって、
緩衝気室であって前記ウェーハ容器の前記底部に配置され、前記緩衝気室が少なくとも1つの給気通路を有し、前記給気通路、前記緩衝気室、前記貫通通路及び前記収容空間が互いに連通する緩衝気室と、
少なくとも1つの多孔管であって、縦方向空間を有し、前記ウェーハ容器の前記結合構造に取り付けられ、前記多孔管の前記縦方向空間が前記緩衝気室と連通し、前記緩衝気室が供給する気体が前記多孔管を通り前記収容空間に入り、前記気体の給気中心軸と前記結合構造の中心軸とが同軸となる少なくとも1つの多孔管と
を含む気体拡散装置。 - 前記結合構造は、前記ウェーハ容器の前記底部から延びることによって形成され、前記多孔管の開放端は中心軸を有し、前記多孔管の前記縦方向空間は中心軸を有し、前記結合構造の前記中心軸と前記多孔管の前記開放端の前記中心軸と前記給気中心軸とが同軸となる請求項8に記載の気体拡散装置。
- 前記結合構造は、前記ウェーハ容器の前記底部から延びることによって形成され、前記多孔管の開放端は中心軸を有し、前記多孔管の前記縦方向空間は中心軸を有し、前記結合構造の前記中心軸と前記多孔管の前記開放端の前記中心軸と前記給気中心軸とが同軸となり、前記多孔管の前記縦方向空間の中心軸が前記結合構造の中心軸、前記多孔管の前記開放端の前記中心軸及び前記給気中心軸からオフセットされる請求項8に記載の気体拡散装置。
- 前記多孔管の前記縦方向空間は、閉鎖端と開放端とを有し、前記開放端は対応する前記結合構造に嵌められて、前記気体が前記緩衝気室を経由して前記開放端を通り前記縦方向空間に入ることを可能にする請求項8に記載の気体拡散装置。
- 前記多孔管の水平断面形状は、長軸と短軸を有する楕円形又は細長い形、或いは直径を有する円形である請求項8に記載の気体拡散装置。
- 前記多孔管の開放端に設けられ、前記開放端と前記結合構造との間に位置する第1カラーをさらに含む請求項12に記載の気体拡散装置。
- 第2カラーであって前記結合構造に設けられたときに、前記第1カラーと前記結合構造との間に位置することで、気密性を高めるための第2カラーをさらに含む請求項13に記載の気体拡散装置。
- 前記第1カラーの材料は、前記開放端が破損するのを防ぐため、前記多孔管の材料よりも柔らかい請求項13に記載の気体拡散装置。
- 前記開放端が破損するのを防ぐため、前記第1カラーと前記多孔管とが一体に焼結または接合される請求項14に記載の気体拡散装置。
- 前記結合構造、前記多孔管、前記第1カラー及び/又は前記第2カラーは、PEEK、HTPC、FKM、PPS、PPO、塩素化ポリエーテル、POB、ポリアミドイミド、EP、PF、PEI、PI、LCP、及びこれらの少なくとも2つの組み合わせから成る群から選択された耐熱材料でできている請求項16に記載の気体拡散装置。
- 前記多孔管の一側に近づくように設けられ、前記気体が前記収容空間に入るように前記気体の気流方向を調整するための気流ガイド部材をさらに含む請求項8に記載の気体拡散装置。
- 少なくとも1つの給気モジュールであって前記緩衝気室に連通・結合され、前記給気中心軸を有し、前記給気通路を通り前記緩衝気室に入るように単一の給気方向の前記気体を供給するための少なくとも1つの給気モジュールをさらに含む請求項8に記載の気体拡散装置。
- ウェーハ容器の底部に少なくとも2つの結合構造が設けられ、前記各結合構造が中心軸を有する貫通通路を画定する、収容空間を備えたウェーハ容器に取り付けられる気体拡散装置であって、
気体カートリッジであって、前記ウェーハ容器の前記底部に配置されて緩衝気室を画定し、前記緩衝気室が少なくとも1つの給気通路を有し、前記給気通路、前記緩衝気室、前記貫通通路及び前記収容空間が互いに連通する気体カートリッジと、
少なくとも2つの多孔管であって、各々縦方向空間を有し、前記ウェーハ容器の対応する前記結合構造にそれぞれ取り付けられ、前記縦方向空間が前記緩衝気室と連通し、前記緩衝気室が供給する気体が少なくとも2つの多孔管を通り前記収容空間に入る少なくとも2つの多孔管と、
を含む気体拡散装置。 - 前記少なくとも2つの結合構造は、前記ウェーハ容器の前記底部から延びることによって形成され、前記各多孔管の前記縦方向空間の開放端は中心軸を有し、前記縦方向空間は中心軸を有し、各前記貫通通路の前記中心軸と各前記多孔管の前記開放端の前記中心軸と各前記多孔管の前記縦方向空間の前記中心軸と前記気体が通過する給気中心軸とは同軸となる請求項20に記載の気体拡散装置。
- 前記少なくとも2つの結合構造は、前記ウェーハ容器の前記底部から延びることによって形成され、各前記多孔管の開放端は中心軸を有し、各前記多孔管の前記縦方向空間は中心軸を有し、各前記貫通通路の前記中心軸と各前記多孔管の前記開放端の前記中心軸と前記気体が通過する給気中心軸とは同軸となり、各前記多孔管の前記縦方向空間の前記中心軸は前記貫通通路の前記中心軸、前記多孔管の前記開放端の前記中心軸及び前記給気中心軸からオフセットされる請求項20に記載の気体拡散装置。
- 前記少なくとも2つの結合構造は、前記ウェーハ容器の前記底部から延びることによって形成され、各多孔管の前記縦方向空間の開放端は、中心軸を有し、各多孔管の前記縦方向空間は中心軸を有し、各貫通通路の前記中心軸と各多孔管の前記開放端の前記中心軸と各多孔管の縦方向空間の前記中心軸とは同軸となり、前記気体が通過する給気中心軸の位置は同軸上の前記貫通通路の前記中心軸、前記開放端の中心軸及び前記縦方向空間の前記中心軸からオフセットされる請求項20に記載の気体拡散装置。
- 前記少なくとも2つの結合構造は、前記ウェーハ容器の前記底部から延びることによって形成され、各多孔管の開放端は中心軸を有し、各多孔管の前記縦方向空間は中心軸を有し、各前記貫通通路の前記中心軸と各前記多孔管の前記開放端の前記中心軸とは同軸となり、前記気体が通過する給気中心軸及び前記縦方向空間の前記中心軸はいずれも同軸上の前記貫通通路の前記中心軸及び前記開放端の前記中心軸からオフセットされる請求項20に記載の気体拡散装置。
- 前記気体カートリッジは、底部と、前記底部から延びる側壁とを備え、前記気体カートリッジの底部に前記給気通路が形成されている請求項20に記載の気体拡散装置。
- 前記気体カートリッジが前記ウェーハ容器の底部に取り付けられて、前記気体カートリッジの前記底部、前記側壁及び前記ウェーハ容器の底部で前記緩衝気室を画成する請求項25に記載の気体拡散装置。
- 前記気体カートリッジの底部の下面から複数の環状側壁が延在し、各前記環状側壁は給気中心軸を有する給気モジュールを装填するための取付空間を画成し、前記取付空間、前記気体カートリッジの前記底部の前記給気通路は前記緩衝気室と連通して、前記給気モジュールが供給する単一の給気方向の前記気体は前記給気通路を経由して前記緩衝気室に入る請求項20に記載の気体拡散装置。
- 前記ウェーハ容器は、前記ウェーハ容器の前記底部に取り付けられた基盤を含み、前記緩衝気室が前記ウェーハ容器の前記底部と前記基盤との間に介在する請求項20に記載の気体拡散装置。
- 前記基盤の製造材料は、自潤滑性材料を含む請求項28に記載の気体拡散装置。
- 底部を含み、前記底部に複数の結合構造が配置され、前記複数の結合構造が複数の貫通通路を画成するケーシングと、
前記底部の下方に形成され、複数の給気通路を備え、前記複数の給気通路が対応する貫通通路に流体的に連通される緩衝気室と、
各多孔管が前記底部の結合構造に対応して嵌められるための開放端を有し、対応する貫通通路を介して前記緩衝気室に連通して、気体が複数の多孔管を経由して前記ケーシングの収容空間に入るようにさせる複数の多孔管と
を含むウェーハ容器。 - 前記多孔管は、閉鎖端と開放端とを有する縦方向空間を備え、前記緩衝気室内の気体が前記開放端を通り前記縦方向空間に入ることができる請求項30に記載のウェーハ容器。
- 前記開放端と前記結合構造との間に設けられたカラーをさらに含み、前記開放端の破損を避けるため、前記カラーの材料は前記多孔管の材料よりも柔らかい請求項30に記載のウェーハ容器。
- 底部と、前記底部から延びる側壁とを備え、前記底部に前記給気通路を形成する気体カートリッジをさらに含む請求項30に記載のウェーハ容器。
- 前記気体カートリッジが前記ケーシングの前記底部に取り付けられて、前記気体カートリッジと前記ケーシングの前記底部とが前記緩衝気室を画成する請求項33に記載のウェーハ容器。
- 前記気体カートリッジの前記底部から複数の環状側壁が延在し、各前記環状側壁は給気モジュールを装填するための取付空間を画成する請求項33に記載のウェーハ容器。
- 前記ウェーハ容器は、前記ケーシングに取り外し可能に結合されたドアと、前記ケーシングの内側に配置された一対の支持部とをさらに含み、PEEK、HTPC、FKM、PPS、PPO、塩素化ポリエーテル、POB、ポリアミドイミド、EP、PF、PEI、PI、LCP、及びこれらの少なくとも2つの組み合わせから成る群から選択された耐熱材料でできている請求項30に記載のウェーハ容器。
- ウェーハ容器は、前記ケーシングの下方に連結されて前記ケーシングを支えるための基盤をさらに含み、前記緩衝気室が前記ケーシングの前記底部と前記基盤との間に介在する請求項30に記載のウェーハ容器。
- 前記基盤の製造材料は、自潤滑性材料を含む請求項37に記載のウェーハ容器。
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