JP2017005082A - 基板収納容器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 複数枚の半導体ウェーハを上下方向に整列収納可能なフロントオープンボックスの容器本体1と、容器本体1の外部から内部に不活性ガスを供給可能な給気バルブ20と、給気バルブ20からの不活性ガスを容器本体1の内部後方から正面方向に供給可能なパージユニット40とを備え、パージユニット40を中空に形成し、パージユニット40内に、容器本体1の給気バルブ20に連通する不活性ガス用の導入路を設け、導入路に、不活性ガスを循環させる循環路を接続し、パージユニット40を容器本体1の背面壁6内面寄りに立設してその正面を容器本体1の正面方向に向けるとともに、パージユニット40の正面に、循環路46の不活性ガスを吹き出す複数の吹出口42を並設する。
【選択図】 図3
Description
パージユニットを中空に形成し、このパージユニットの内部に、容器本体の底部後方の給気部材に連通(連なり通る)するパージガス用の導入路を設け、この導入路に、パージガスを循環させるエンドレスの循環路を接続し、パージユニットを容器本体の内部後方に立て設けてその正面を容器本体の正面方向に向けるとともに、このパージユニットの正面には、循環路のパージガスを吹き出す吹出口を設けたことを特徴としている。
また、パージユニットの内部に、略トラック形の循環路を形成してその直線部を容器本体の上下方向に向け、循環路の直線部下方と下方の湾曲部のいずれかに導入路を接続することができる。
また、パージユニットを中空の略柱形に形成してその内部には導入路を設け、この導入路に略トラック形の循環路を接続し、パージユニットの正面に、循環路のパージガスを吹き出す複数の吹出口を並べ設けることが可能である。
循環路を、略筒形の配管により略トラック形に形成するとともに、配管を前後一対の配管部材に分割し、前部の配管部材を前部のユニットハウジング内に設けて複数の吹出口に連通させ、後部の配管部材を、後部のユニットハウジング内に設けて前部の配管部材に接離可能に対向させ、この後部の配管部材を導入路に接続することが可能である。
さらに、パージユニットの循環路内の圧力バラツキを3Pa以下とすることが好ましい。
請求項3記載の発明によれば、パージユニット内の上下部間に亘る領域に大きな循環路を縦長に形成することができるので、問題化しやすい最上段と最下段の基板間における湿度のバラツキが大きくなるおそれを有効に排除することができる。
このような容器本体1は、蓋体開閉装置71に位置決めして搭載され、開口した正面に蓋体11が圧入して嵌合された状態でパージされたり、EFEM72に併設された蓋体開閉装置71に位置決めして搭載され、蓋体開閉装置71により正面からシール状態の蓋体11が取り外された後、正面が開口した状態でパージされる。
表面プレート14は、横長の正面矩形に形成され、補強用や取付用のリブ、螺子孔等が複数配設される。この表面プレート14の両側部には、施錠機構15用の操作孔がそれぞれ穿孔される。
2 底板(底部)
4 支持片
6 背面壁
7 取付孔
11 蓋体
15 施錠機構
20 給気バルブ(給気部材)
30 排気バルブ
40 パージユニット
41 パージプレート
42 吹出口
43 メンブレンフィルタ
44 パージ空間
45 導入路
46 循環路
47 直線部
48 湾曲部
50 前部のユニットハウジング
50A 後部のユニットハウジング
51 前部の配管部材
51A 後部の配管部材
60 タワーノズル
70 パージ装置
71 蓋体開閉装置
72 EFEM
73 ファンフィルターユニット
W 半導体ウェーハ(基板)
Claims (6)
- 複数枚の基板を上下方向に並べて収納可能なフロントオープンボックスの容器本体と、この容器本体の外部から内部にパージガスを供給可能な給気部材と、この給気部材からのパージガスを容器本体の内部後方から正面方向に供給可能なパージユニットとを備えた基板収納容器であって、
パージユニットを中空に形成し、このパージユニットの内部に、容器本体の底部後方の給気部材に連通するパージガス用の導入路を設け、この導入路に、パージガスを循環させるエンドレスの循環路を接続し、パージユニットを容器本体の内部後方に立て設けてその正面を容器本体の正面方向に向けるとともに、このパージユニットの正面には、循環路のパージガスを吹き出す吹出口を設けたことを特徴とする基板収納容器。 - パージユニットを中空の略箱形に形成してその正面を着脱自在のパージプレートとし、このパージプレートに、循環路に対向する複数の吹出口を略等間隔に配列し、パージプレートと循環路との間に、濾過用のフィルタを介在させた請求項1記載の基板収納容器。
- パージユニットの内部に、略トラック形の循環路を形成してその直線部を容器本体の上下方向に向け、循環路の直線部下方と下方の湾曲部のいずれかに導入路を接続した請求項1又は2記載の基板収納容器。
- パージユニットを中空の略柱形に形成してその内部には導入路を設け、この導入路に略トラック形の循環路を接続し、パージユニットの正面に、循環路のパージガスを吹き出す複数の吹出口を並べ設けた請求項1記載の基板収納容器。
- パージユニットを、容器本体の上下方向に伸びる前後一対のユニットハウジングに分割し、前部のユニットハウジングに複数の吹出口を並べて穿孔し、後部のユニットハウジング内に導入路を形成し、
循環路を、略筒形の配管により略トラック形に形成するとともに、配管を前後一対の配管部材に分割し、前部の配管部材を前部のユニットハウジング内に設けて複数の吹出口に連通させ、後部の配管部材を、後部のユニットハウジング内に設けて前部の配管部材に接離可能に対向させ、この後部の配管部材を導入路に接続するようにした請求項4記載の基板収納容器。 - パージユニットの循環路内の圧力バラツキを3Pa以下とした請求項1ないし5いずれかに記載の基板収納容器。
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