JP2016538732A - 基板キャリア用タワー - Google Patents
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Abstract
Description
Ptotal=P2+Q2=P2+1/2□□□V22 式(2)
上記の式において、Ptotalは総圧(ディフューザアセンブリ100全体において略一定)、P1はディフューザアセンブリ100の位置1における静圧、Q1は位置1における動圧、□は内在気体の密度(ディフューザアセンブリ100全体において略一定)、V1は位置1における内部流速、P2はディフューザアセンブリ100の位置2における静圧、Q2は位置2における動圧、V2は位置2における内部流速であり、位置2は位置1の下流側に位置している。図5には、排出速度V1’およびV2’(各位置1および2からディフューザを出る気体の速度)およびディフューザアセンブリ100を包囲する周囲圧力Poも示されている。
3つのディフューザ部382a,382b,382cは非限定的に図示するものであり、複数のディフューザ部の一例にすぎない。他の実施形態においては、ディフューザ部はこれより多くてもよいし少なくてもよい。
図20A、20Bおよび20Cに、前面開放式ウエハ容器の容器部604に装着されたディフューザタワー600を示す。ディフューザタワー600は、突出部もしくはボス部612等の容器部構造に固定されたブラケット608を介して容器部604に装着されている。タワーブラケットはクランプ部614を有し、クランプ部614は、クランプ部614に対して管状ディフューザが弾性的に固定される寸法を有している。
図22に、ディフューザ702、継手704およびパッケージ712を有する後付けキット700を示す。後付けキット700には、取り付け方法を示す指示記載表示706も記載されている。
Claims (56)
- 前面開放式ウエハ容器において用いられる多孔性タワーディフューザアセンブリであって、
ベース部、一体状片寄り部および一体状上向きニップル部を有している入口継手と、
焼結ポリマー管状部およびフレア状下部として構成されている多孔性タワーと、を備えており、前記フレア状下部が前記上向きニップル部と係合可能であるか、該上向きニップル部と係合している、
多孔性タワーディフューザアセンブリ。 - パージノズルおよび逆止弁と係合するためのエラストマーグロメットをさらに備えており、前記逆止弁が前記グロメットの貫通穴に嵌入される寸法を有している、請求項1に記載の多孔性タワーディフューザアセンブリ。
- 後付けキットとして構成されており、前記入口継手および多孔性タワーを収容しているパッケージをさらに備えている、請求項1に記載の多孔性タワーディフューザアセンブリ。
- 指示記載表示をさらに備えている、請求項3に記載の多孔性タワーディフューザアセンブリ。
- 前記フレア状下部よりも先端側の部分と比較して、前記フレア状下部に対してパージを増加させる手段をさらに備えている、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の多孔性タワーディフューザアセンブリ。
- 前記タワーが、多孔率の異なる少なくとも2つの異なる部分を有している、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の多孔性タワーディフューザアセンブリ。
- 多孔率のより高い部分が、多孔率のより低い部分よりも前記タワーの継手側端部に近い、請求項6に記載の多孔性タワーディフューザアセンブリ。
- 前記タワーが、径方向流出に対する抵抗を有する少なくとも2つの異なる部分を備えている、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の多孔性タワーディフューザアセンブリ。
- 前記上向きニップル部が複数のかえし部を有している、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の多孔性タワーディフューザアセンブリ。
- 前記上向きニップル部が穴を有し、前記多孔性タワーが前記継手に装着されたときに前記穴に隣接して環状スペースが形成され、前記穴が該環状スペースに隣接していることによって、パージガスが前記フレア状下部から拡散される、請求項7に記載の多孔性タワーディフューザアセンブリ。
- 前記上向きニップル部が、前記多孔性タワーと締り嵌めを形成する寸法を有しているねじ部または複数のかえし部を有している、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の多孔性タワーディフューザアセンブリ。
- 前記ニップル部に径方向穴を有し、前記ニップル部が、前面開放式ウエハ容器内において上方に延びて第1ウエハのみにほぼ到達する寸法を有している、請求項11に記載の多孔性タワーディフューザアセンブリ。
- 前面開放式ウエハ容器と組み合わされている、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の多孔性タワーディフューザアセンブリ。
- 前面開放式ウエハ容器と組み合わされている、請求項5乃至13のいずれか一項に記載の多孔性タワーディフューザアセンブリ。
- 前面開放式ウエハ容器にて使用される多孔性タワーディフューザアセンブリであって、
ベース部および一体状上向きニップル部を有している入口継手と、
焼結ポリマー管状部および下部として構成されている多孔性タワーと、
を備えており、
前記下部が前記上向きニップル部と係合可能であるか、該上向きニップル部と係合しており、
前記多孔性タワーが、パージガスの径方向流出に対する抵抗が異なる少なくとも2つの異なる部分を有している、
多孔性タワーディフューザアセンブリ。 - 前記上向きニップル部が、前記多孔性タワーと締り嵌めを形成する寸法を有するねじ部または複数のかえし部を有している、請求項15に記載の多孔性タワーディフューザアセンブリ。
- 前記ニップル部に径方向穴を有している、請求項16に記載の多孔性タワーディフューザアセンブリ。
- 前面開放式ウエハ容器および第2の同一な多孔性タワーディフューザアセンブリと組み合わされている、請求項15乃至18のいずれか一項に記載の多孔性タワーディフューザアセンブリ。
- 前面開口部と、該前面開口部を密閉するドアと、底壁とを有している容器部を備えている前面開放式ウエハ容器であって、
ベース部、一体状片寄り部および一体状上向きニップル部を有しているとともに、前記底壁の穴に受容されている入口継手と、
焼結ポリマー管状部および下部として構成されている多孔性タワーと、を備えており、
前記下部が直径のより大きい部分を有しているとともに前記上向きニップル部と係合している、
前面開放式ウエハ容器。 - 前記ニップル部がかえし部およびねじ部のいずれか一方と、径方向穴とを有しており、前記ニップル部と多孔性タワーとの間において前記径方向穴に隣接して環状に延びるスペースが形成されている、請求項19に記載の前面開放式ウエハ容器。
- 前記フレア状下部よりも先端側の部分と比較して、該フレア状下部に対してパージを増加させる手段をさらに備えている、請求項6に記載の多孔性タワーディフューザアセンブリ。
- ベース部、一体状片寄り部および一体状上向きニップル部を有しているとともに、前記底壁の別の穴に受容されている別の入口継手と、
焼結ポリマー管状部およびフレア状下部として構成されている別の多孔性タワーと、をさらに備えており、前記フレア状下部が前記上向きニップル部と係合している、請求項19に記載の前面開放式ウエハ容器。 - 前面開放式ウエハ容器のパージ用後付けキットであって、
フレア状端部を有している多孔性媒体ディフューザと、
前記フレア状端部を受容するニップル部を有している入口継手と、
前記多孔性媒体ディフューザおよび入口継手を収容しているパッケージと、
を備えている、
パージ用後付けキット。 - エラストマーグロメットおよび逆止弁をさらに備えている、請求項23に記載のキット。
- 前記入口継手が片寄り部を有している、請求項23または24に記載のキット。
- 前記継手およびニップル部が、前記前面開放式ウエハ容器において上方に延びて第1ウエハのみにほぼ到達する寸法を有している、請求項23に記載のキット。
- 基板容器にて使用される多孔性タワーディフューザアセンブリの入口継手であって、
ベース部を貫通している軸方向穴を画定しているベース部と、
前記ベース部の第1面から延びており、前記ベース部の軸方向穴と連通している中心通路を画定しているとともに、壁部と、該壁部を貫通している横穴を画定している構造とを有しているニップル部と、
前記ニップル部と動作可能に連結されているとともに開孔側壁部を有している多孔性媒体ディフューザであって、ディフューザ軸線に沿って該多孔性媒体ディフューザ内を延びているディフューザ通路を画定しており、該ディフューザ通路が前記多孔性媒体ディフューザの基端部に開口を形成しているとともに前記ニップル部の中心通路と同軸状である多孔性媒体ディフューザと、
を備えており、
前記ニップル部が前記ディフューザ通路の開口内に延びて、前記多孔性媒体ディフューザが前記横穴を囲んでいる、
入口継手。 - 前記ベース部の第2面に支持されている管状部をさらに備えており、前記第2面が前記ベース部の第1面とは反対である、請求項27に記載の入口継手。
- 前記ベース部は、該ベース部の第1面に対して垂直な第1軸線を中心としており、
前記ニップル部の中心通路が前記第1軸線と略平行な第2軸線を画定しており、
前記第2軸線が前記第1軸線から径方向にずれている、請求項27に記載の入口継手。 - 前記ベース部の軸方向穴が、前記第1軸線と略平行な第3軸線を画定しており、
前記第3軸線が前記第1軸線および第2軸線から径方向にずれている、請求項29に記載の入口継手。 - 前記ニップル部が、かえし部と、前記壁部のテーパー部とを有するかえし付きニップル部であって、前記かえし部が前記かえし付きニップル部の大きい外径を画定しており、前記テーパー部が前記かえし部の近傍においてより小さい外径を画定しており、
前記横穴が前記壁部のテーパー部を貫通しており、
前記かえし部のテーパー部と前記多孔性媒体ディフューザのディフューザ通路の境界との間に環状プレナム部が形成されており、該環状プレナム部が前記横穴を介して前記かえし付きニップル部の中心通路と連通している、請求項27に記載の入口継手。 - 前記ニップル部の壁部が、該壁部の外面に形成された外側ねじ部を有している、請求項27に記載の入口継手。
- 前記多孔性媒体ディフューザの基端部が、該基端部の内面に形成された内側ねじ部を有しており、該内側ねじ部が前記ニップル部の外側ねじ部に適合している、請求項32に記載の入口継手。
- 前記多孔性媒体ディフューザが前記基端部にフレア部を有している、請求項27に記載の入口継手。
- 基板容器にて使用される多孔性タワーディフューザアセンブリの入口継手であって、
前記基板容器の床部に取り付けるためのパージモジュールであって、管状部および上部を含むハウジングを有しており、前記上部が該上部を貫通する穴を画定する構造を有しており、前記穴が中心軸線を画定するとともに該中心軸線と同軸状をなしているパージモジュールと、
前記ハウジング内に位置している連結具であって、前記上部の穴の中心軸線と略同軸状をなしている貫通通路を画定している連結具と、
前記連結具に動作可能に連結されているとともに前記パージモジュールの上部の穴を通って延びている基端部を有している多孔性媒体ディフューザであって、開孔側壁部を有するとともに、前記多孔性媒体ディフューザ内を延びているディフューザ通路を画定しており、該ディフューザ通路が前記多孔性媒体ディフューザの基端部に開口を画定しており、前記開口が前記穴の中心軸線と略同軸状をなしている多孔性媒体ディフューザと、
を備えており、
前記多孔性媒体ディフューザにおいて、前記穴と同一面上に位置するととともに該穴のすぐ上を延びている部分が多孔性材料から形成されている、
入口継手。 - 前記連結具が雌連結具である、請求項35に記載の入口継手。
- 前記雌連結具がねじ切りされた雌連結具である、請求項36に記載の入口継手。
- 前記多孔性媒体ディフューザの基端部の外面に外側ねじ部が設けられており、該外側ねじ部が前記ねじ切りされた雌連結具に適合している、請求項37に記載の入口継手。
- 基板を搬送するシステムであって、
基板を出し入れするための開口部と、該開口部を密閉して覆うように構成されているドアとを有している基板容器であって、前記開口部が縦方向と略平行な面上に位置している基板容器と、
前記基板容器内に配置されているとともに該基板容器の内部に気体状作動流体を導入するように構成されているディフューザアセンブリであって、前記基板容器を前記気体状作動流体にてパージするために前記開口部に向かって気体状作動流体を送るように方向付けされているとともに、前記開口部の上半分に向かう気体状作動流体よりも前記開口部の下半分に向かう気体状作動流体の速度が大きくなるよう気体状作動流体を送るように構成されているディフューザアセンブリと、
を備えているシステム。 - 前記ディフューザアセンブリが前記基板容器の後部の近くに位置しており、該後部が前記開口部の反対側に位置している、請求項39に記載のシステム。
- 前記ディフューザアセンブリが前記基板容器の内部に前記気体状作動流体を導入するために前記基板容器に装着されるように構成された入口タワーを有し、該入口タワーが、流入口を画定している第1端部と、該第1端部とは反側側の閉端部とを有しており、前記入口タワーが、前記流入口から閉端部まで延びる内部流路を画定しているとともに、前記内部流路と連通している多孔性外側スリーブを有している、請求項39に記載のシステム。
- 前記入口タワーが、前記流入口と閉端部との間に前記内部流路に沿って配置されている少なくとも1つの流れ規制部を有している、請求項39に記載のシステム。
- 前記タワーが、径方向流出に対する抵抗が互いに異なる少なくとも2つの異なる部分を有している、請求項39乃至42のいずれか一項に記載の多孔性タワーディフューザアセンブリ。
- 前記タワーが、互いに異なる多孔率を有している少なくとも2つの異なる部分を有している、請求項39乃至42のいずれか一項に記載の多孔性タワーディフューザアセンブリ。
- 前記継手およびニップル部が、前面開放式ウエハ容器内において最も低いウエハにほぼ到達するよう延びる寸法を有している、請求項1乃至44のいずれか一項に記載の多孔性タワーディフューザアセンブリ。
- 前面開放式ウエハ容器の多孔性タワーディフューザアセンブリであって、
ベース部、一体状片寄り部および一体状上向きニップル部を有している入口継手と、
焼結ポリマー管状部およびフレア状下部として構成されている多孔性タワーと、
を備えており、
前記フレア状下部が前記上向きニップル部と係合可能であるか、該上向きニップル部と係合している、
多孔性タワーディフューザアセンブリ。 - パージノズルおよび逆止弁と係合するためのエラストマーグロメットをさらに備えており、前記逆止弁が前記グロメットの貫通穴に嵌入される寸法を有している、請求項46に記載の前面開放式ウエハ容器の多孔性タワーディフューザアセンブリ。
- 追加の入口継手と多孔性タワーとをさらに備えている、請求項46に記載の前面開放式ウエハ容器の多孔性タワーディフューザアセンブリ。
- 前記フレア状下部よりも先端側の部分と比較して、該フレア状下部に対してパージを増加させる手段をさらに備えている、請求項46乃至48のいずれか一項に記載の前面開放式ウエハ容器の多孔性タワーディフューザアセンブリ。
- 前記タワーが、多孔率の異なる少なくとも2つの異なる部分を有している、請求項46乃至48のいずれか一項に記載の前面開放式ウエハ容器の多孔性タワーディフューザアセンブリ。
- 多孔率のより高い部分が、多孔率のより低い部分よりも前記タワーの継手側端部に近い、請求項6に記載の前面開放式ウエハ容器の多孔性タワーディフューザアセンブリ。
- 前記タワーが、径方向流出に対する抵抗を有する少なくとも2つの異なる部分を有している、請求項46乃至48のいずれか一項に記載の前面開放式ウエハ容器の多孔性タワーディフューザアセンブリ。
- 前記上向きニップル部が複数のかえし部を有している、請求項46乃至48のいずれか一項に記載の前面開放式ウエハ容器の多孔性タワーディフューザアセンブリ。
- 前記上向きニップル部が穴を有し、前記多孔性タワーが前記継手に装着されたときに前記穴に隣接して環状スペースが形成され、前記穴が該環状スペースに隣接していることによって、パージガスが前記フレア状下部から拡散される、請求項53に記載の前面開放式ウエハ容器の多孔性タワーディフューザアセンブリ。
- 前記上向きニップル部が、前記多孔性タワーと締り嵌めを形成する寸法を有するねじ部または複数のかえし部を有している、請求項46乃至48のいずれか一項に記載の前面開放式ウエハ容器の多孔性タワーディフューザアセンブリ。
- 前記ニップル部に径方向穴を有し、前記ニップル部が、前面開放式ウエハ容器内において上方に延びて最も低い第1ウエハのみにほぼ到達する寸法を有している、請求項55に記載の前面開放式ウエハ容器の多孔性タワーディフューザアセンブリ。
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