JP2011003908A5 - - Google Patents

Description

前記課題を解決するために、本発明の第１形態では、光源からの光で被照射面を照明する照明光学装置において、
前記光源からの光を照明瞳面またはその近傍の面に分布させる光学系と、
前記照明光学装置の光軸と交差する方向に沿って移動可能であって、入射光の偏光状態を所定の偏光状態に変換する偏光変換素子と、該偏光変換素子の前記照明光学装置の光路中における前記交差する方向での位置を所定位置に設定する駆動部とを備え、前記照明瞳面上もしくは前記その近傍の面上の第１領域に分布される光の偏光状態に対して、該第１領域とは異なる第２領域に分布される光の偏光状態を変更する偏光変換部と、
を含むことを特徴とする照明光学装置を提供する。

本発明の第２形態では、第１形態の照明光学装置を備え、
該照明光学装置により照明された所定のパターンを感光性基板上に露光することを特徴とする露光装置を提供する。

本発明の第３形態では、光源からの光で照明された所定のパターンを感光性基板上に露光する露光方法において、
前記光源からの光を照明瞳面またはその近傍の面に分布させること、および、
前記照明瞳面上又はその近傍の面上の第１領域に分布される光の偏光状態に対して、該第１領域とは異なる第２領域に分布される光の偏光状態を変更すること、
を含み、
前記変更することは、入射光の偏光状態を所定の偏光状態に変換する偏光変換素子を照明光路と交差する方向に沿って移動させることを含むことを特徴とする露光方法を提供する。

本発明の第４形態では、第３形態露光方法を用いて、所定のパターンを感光性基板に露光すること、および、
前記露光された前記感光性基板を現像すること、
を含むことを特徴とするデバイス製造方法を提供する。

Claims (23)

1. 光源からの光で被照射面を照明する照明光学装置において、
   前記光源からの光を照明瞳面またはその近傍の面に分布させる光学系と、
   前記照明光学装置の光軸と交差する方向に沿って移動可能であって、入射光の偏光状態を所定の偏光状態に変換する偏光変換素子と、該偏光変換素子の前記照明光学装置の光路中における前記交差する方向での位置を所定位置に設定する駆動部とを備え、前記照明瞳面上もしくは前記その近傍の面上の第１領域に分布される光の偏光状態に対して、該第１領域とは異なる第２領域に分布される光の偏光状態を変更する偏光変換部と、
   を含むことを特徴とする照明光学装置。
2. 前記第１領域に分布される前記光は前記偏光変換素子を通過せず、前記第２領域に分布される光は前記偏光変換素子を通過することを特徴とする請求項１に記載の照明光学装置。
3. 前記偏光変換部は、入射光の偏光状態を所定の偏光状態に変換する別の偏光変換素子をさらに備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の照明光学装置。
4. 前記被照射面へ向かう光の偏光状態を測定するための偏光状態測定器をさらに備え、
   前記駆動部は、前記偏光状態測定器の測定結果に応じて、前記偏光変換素子を移動させることを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項に記載の照明光学装置。
5. 前記分布させる光学系は、前記照明光学装置の光路を横切る面に二次元的に配置された複数の光学要素を有するオプティカルインテグレータと、該オプティカルインテグレータからの光束を前記被照射面に導くコンデンサー光学系とをさらに備え、
   前記偏光変換素子は、前記オプティカルインテグレータの入射側の光路中に配置されることを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項に記載の照明光学装置。
6. 前記分布させる光学系は、そのファーフィールドに所定の光強度分布を形成する光束変換素子と、該光束変換素子からの光を前記照明瞳面又は前記その近傍の面に導く光学系とを備えることを特徴とする請求項１乃至５の何れか一項に記載の照明光学装置。
7. 前記光束変換素子は、回折光学素子を備えることを特徴とする請求項６に記載の照明光学装置。
8. 前記偏光変換素子は、入射する直線偏光に旋光角度を可変的に付与するための可変旋光部材を有することを特徴とする請求項１乃至７の何れか一項に記載の照明光学装置。
9. 前記被照射面に達する光の偏光状態を測定するための偏光状態測定器をさらに備え、
   前記駆動部は、前記偏光状態測定器の測定結果に応じて、前記可変旋光部材を移動させることを特徴とする請求項８に記載の照明光学装置。
10. 前記可変旋光部材は、その結晶光学軸が前記光軸に平行になるように配置されていることを特徴とする請求項８に記載の照明光学装置。
11. 前記偏光変換素子は、入射光と射出光との間に位相差を可変的に付与するための可変位相差部材を有することを特徴とする請求項１乃至１０の何れか一項に記載の照明光学装置。
12. 前記被照射面に達する光の偏光状態を測定するための偏光状態測定器をさらに備え、
    前記駆動部は、前記偏光状態測定器の測定結果に応じて、前記可変位相差部材を移動させることを特徴とする請求項１１に記載の照明光学装置。
13. 前記偏光変換素子は、入射光の楕円率を調整する部材と、入射光の偏光方向を調整する部材とを備えていることを特徴とする請求項１乃至１２の何れか一項に記載の照明光学装置。
14. 請求項１乃至１３の何れか一項に記載の照明光学装置を備え、
    該照明光学装置により照明された所定のパターンを感光性基板上に露光することを特徴とする露光装置。
15. 光源からの光で照明された所定のパターンを感光性基板上に露光する露光方法において、
    前記光源からの光を照明瞳面またはその近傍の面に分布させること、および、
    前記照明瞳面上又はその近傍の面上の第１領域に分布される光の偏光状態に対して、該第１領域とは異なる第２領域に分布される光の偏光状態を変更すること、
    を含み、
    前記変更することは、入射光の偏光状態を所定の偏光状態に変換する偏光変換素子を照明光路と交差する方向に沿って移動させることを含むことを特徴とする露光方法。
16. 前記第１領域に分布される前記光は前記偏光変換素子を通過せず、前記第２領域に分布される光は前記偏光変換素子を通過することを特徴とする請求項１５に記載の露光方法。
17. 前記変更することは、入射光の偏光状態を所定の偏光状態に変換する別の偏光変換素子を前記照明光路と交差する方向に沿って移動させることを含むことを特徴とする請求項１５または１６に記載の露光方法。
18. 前記偏光変換素子を経由した光の偏光状態を測定すること、および、
    前記測定された前記偏光状態に応じて前記偏光変換素子を移動させること、
    をさらに含むことを特徴とする請求項１５乃至１７の何れか一項に記載の露光方法。
19. オプティカルインテグレータを用いて入射する光束を二次元的に分割すること、および、
    該分割された光束で前記所定のパターンを重畳的に照明すること、
    をさらに含み、
    前記移動させることは、前記オプティカルインテグレータの入射側の光路中で前記偏光変換素子を移動させることを含む請求項１５乃至１９の何れか一項に記載の露光方法。
20. 前記分布させることは、
    光束変換素子を用いて、該光束変換素子のファーフィールドに所定の光強度分布を形成すること、および、
    該光束変換素子からの光を前記照明瞳面又は前記その近傍の面に導くこと、
    を含むことを特徴とする請求項１５乃至１９の何れか一項に記載の露光方法。
21. 前記偏光変換素子は、入射する直線偏光に旋光角度を付与することを特徴とする請求項１５乃至２０の何れか一項に記載の露光方法。
22. 前記偏光変換素子は、入射光と射出光との間に位相差を付与することを特徴とする請求項１５乃至２１の何れか一項に記載の露光方法。
23. 請求項１５乃至２２の何れか一項に記載の露光方法を用いて、所定のパターンを感光性基板に露光すること、および、
    前記露光された前記感光性基板を現像すること、
    を含むことを特徴とするデバイス製造方法。