JP2010069618A - 液体吐出ヘッド及び圧電アクチュエータ - Google Patents

Abstract

【課題】焼成時において前記駆動に用いる電極による反りを抑制するとともに、前記複数の圧電層の、前記圧力室側からの亀裂の有無を検査する。
【解決手段】インクジェットヘッド３は、複数の圧力室１４Ａａとその各圧力室１４Ａａとそれぞれ連通する複数のノズルとを有するキャビティユニット１１と、キャビティユニット１１に固着された積層型圧電アクチュエータ１２とを備える。圧電アクチュエータ１２は、複数の圧電層１２ａ，１２ｂと駆動に用いる駆動電極２１，２２とダミー電極２３とが厚み方向に積層されて構成される。その積層体の積層方向における圧力室１４Ａａ側に、ダミー電極２３が位置している。焼成時において前記駆動に用いる電極２１，２２による反りを抑制するとともに、圧電層１５の、圧力室１４Ａａ側からの亀裂の有無を検査する機能を有する。
【選択図】 図４

Description

本発明は、液体吐出ヘッド及び圧電アクチュエータに関するものである。

液体吐出ヘッドとしてのインクジェットヘッドにおいて、複数の圧力室とその各圧力室とそれぞれ連通する複数のノズルとを有するキャビティユニットと、前記キャビティユニットに固着された積層型圧電アクチュエータとを備えるものは知られており、そのような圧電アクチュエータは、複数の圧電層と駆動に用いる駆動電極とを厚み方向に積層して構成されている。

そのようなアクチュエータは、通常、２層あるいは３層の圧電素子（ＰＺＴ）単板と駆動電極とを厚み方向に積層し焼成することにより形成されるが、駆動電極の配置が厚み方向において対称でないと、焼成後のアクチュエータに、いわゆる反りが発生する。

つまり図１３に示すように、圧電アクチェエータ１０１は、圧力室１４Ａａを平面視したとき（キャビティユニット１０２と圧電アクチュエータ１０１との積層方向から見たとき）、最も上側の圧電層１０３（第１層）の上側に形成され圧力室１０２ａの中央部分に対応する個別電極１２１と、上側から２番目の圧電層１０４（第２層・振動板）の上側に全体に亘って形成されるグランド電極１２２とを備える。焼成後のアクチュエータは、圧電材と電極材の収縮率が異なるために、駆動電極の配置が厚み方向において対称でないと、図１４に示すように、いわゆる反りが発生する。

そこで、複数の圧電層を有する構造において、それらの間に駆動に用いる駆動電極と駆動変形に寄与しないダミー電極とを厚み方向において対称に形成することで、圧電素子（ＰＺＴ）と電極との熱収縮率が異なることを原因とする、焼成時における圧電アクチュエータの反りを矯正することが提案されている（たとえば、特許文献１参照）。
特開２００１−１６２７９６号公報（請求項５）

特許文献１に記載の技術のように、駆動電極とダミー電極とを対称に形成することで、焼成時における圧電アクチュエータの反りを矯正することができるが、駆動変形に寄与する駆動電極とは異なり、ダミー電極は駆動変形に寄与しないので、ダミー電極は焼成後には無駄なものとなる。また、駆動電極のほかに、そのようなダミー電極を設けることは、圧電アクチュエータの大型化の原因ともなる。

この発明は、ダミー電極を利用して、焼成時における反りを抑制するだけでなく、前記複数の圧電層の、前記圧力室側からの亀裂の有無を検査することもできる液体吐出ヘッド及び圧電アクチュエータを提供することを目的とする。

請求項１の発明は、複数の圧力室とその各圧力室とそれぞれ連通する複数のノズルとを有するキャビティユニットと、前記キャビティユニットに固着された積層型圧電アクチュエータと、を備えている液体吐出ヘッドであって、前記積層型圧電アクチュエータは、複数の圧電層と駆動に用いる駆動電極とダミー電極とが厚み方向に積層されて構成されるとともに、その積層体の積層方向において前記ダミー電極が前記駆動電極よりも前記圧力室側に位置しており、前記ダミー電極は、前記圧電アクチュエータの焼成時において前記駆
動に用いる電極による反りを抑制するとともに、前記複数の圧電層の、前記圧力室側からの亀裂の有無を検査する機能を有することを特徴とする。ここで、「駆動に用いる駆動電極」とは、駆動に用いる、つまり圧電層に電界を付与し、圧電層の変形に寄与する電極を意味する。「ダミー電極」とは、駆動に用いない、つまり圧電層に電界を付与したり圧電層の変形に寄与したりしない電極を意味する。

このようにすれば、積層型圧電アクチュエータが、複数の圧電層と駆動に用いる駆動電極とダミー電極とを厚み方向に積層して構成されるとともに、前記ダミー電極が、その積層体の積層方向において前記駆動電極よりも前記圧力室側に位置しているので、前記ダミー電極の機能により、焼成時において前記駆動に用いる電極による、圧電アクチュエータの反りが抑制（あるいは矯正）される。また、焼成後においては、ダミー電極を利用して、前記複数の圧電層の、前記圧力室側からの亀裂の有無を検査することもできる。

請求項２に記載のように、請求項１の液体吐出ヘッドにおいて、前記ダミー電極は、前記各圧力室に対応する領域に存在するとともに、隣接する２つの前記圧力室の間に対応する領域には存在しないように形成されている構成とすることができる。

このようにすれば、前記ダミー電極は、隣接する２つの前記圧力室の間に対応する領域には存在しないように形成されていても、前記各圧力室に対応する領域に存在するので、そのダミー電極を、前記複数の圧電層の、前記圧力室側からの亀裂の有無の検査（検出）に利用することができる。

請求項３に記載のように、請求項１の液体吐出ヘッドにおいて、前記ダミー電極は、前記圧電層の全域にわたって形成されている構成とすることも可能である。

このようにすれば、ダミー電極は、前記圧電層の全域にわたって形成されているので、圧力室との関係を考慮する必要がなく、製造が容易である。

請求項４に記載のように、請求項１〜３のいずれかの液体吐出ヘッドにおいて、前記駆動に用いる電極のみを配置した場合における前記圧電アクチュエータの焼成時における反り量よりも、前記駆動に用いる電極および前記ダミー電極を配置した場合における前記圧電アクチュエータの焼成時における反り量が小さくなるように、前記ダミー電極が設けられていることが望ましい。

このようにすれば、ダミー電極を設けることで、設けない場合に比べて、前記圧電アクチュエータの焼成時における反り量が小さくなる。

請求項５に記載のように、請求項１〜３のいずれかの液体吐出ヘッドにおいて、前記駆動に用いる電極のみを配置した場合における前記圧電アクチュエータの焼成時における反り量と、前記駆動に用いる電極および前記ダミー電極のみを配置した場合における前記圧電アクチュエータの焼成時における反り量との差が一定量以下となるように、前記ダミー電極の大きさと設けられる位置とが設定されていることが望ましい。 なお、ここでの反り量とは、反りの方向には関係しない絶対値である。

このようにすれば、ダミー電極を設け、そのダミー電極の大きさと設けられる位置とを設定することで、ダミー電極を設けない場合の、前記圧電アクチュエータの焼成時における反り量との差が一定量以下となる。

請求項６に記載のように、請求項４または５の液体吐出ヘッドにおいて、前記圧電アクチュエータは、前記厚み方向の中間面より圧力室側に配置される各電極の面積と前記中間
面から各電極までの長さとの積の和が、厚さ方向の中間面より反圧力室側に配置される各電極の面積と前記中間面から各電極までの長さとの積の和と等しくなるように、駆動に用いる電極およびダミー電極が配置されている構成とすることができる。

このようにすれば、駆動に用いる電極とダミー電極との大きさ（面積）、位置のバランスがとられ、前記圧電アクチュエータの焼成時における反りが抑制される。

請求項７に記載のように、請求項１〜６のいずれかの液体吐出ヘッドにおいて、前記キャビティユニットは、導電性を有するように構成されるもので、前記ダミー電極と前記キャビティユニットには、それらの間の導通状態を検査する検査手段が接続可能である構成とすることができる。

このようにすれば、ダミー電極と、導電性を有するキャビティユニットとの間の導通状態（例えば、電気抵抗や電流の状態）を、検査手段にて検査することで、前記複数の圧電層の、前記圧力室側からの亀裂の有無を検査することができる。

請求項８に記載のように、請求項１〜６のいずれかの液体吐出ヘッドにおいて、前記キャビティユニットは、導電性を有するように構成されるもので、前記圧力室側の圧電層およびそれよりも前記圧力室から離れた圧電層に、ダミー電極もしくは駆動に用いる電極がそれぞれ設けられ、前記ダミー電極もしくは前記駆動電極と前記キャビティユニットには、それらの間の導通状態を検査する検査手段がそれぞれ接続可能であることが望ましい。

このようにすれば、ダミー電極もしくは前記駆動電極と、導電性を有するキャビティユニットとの間の導通状態を、検査手段にて検査することで、前記複数の圧電層の、前記圧力室側からの亀裂の有無を検査することができる。

請求項９に記載のように、請求項１〜６のいずれかの液体吐出ヘッドにおいて、前記圧力室側の圧電層およびそれよりも前記圧力室から離れた圧電層に、ダミー電極もしくは駆動に用いる電極がそれぞれ設けられ、前記圧力室側の圧電層およびそれの上側の圧電層のダミー電極もしくは駆動に用いる電極には、それらの間の導通状態を検査する検査手段が接続可能であることが望ましい。

このようにすれば、前記圧力室側の圧電層およびそれの上側の圧電層のダミー電極もしくは駆動に用いる電極の間の導通状態を、前記複数の圧電層の、前記圧力室側からの亀裂の有無を検査することができる。

請求項１０に記載のように、請求項１〜９のいずれかの液体吐出ヘッドにおいて、前記圧電アクチュエータは、前記駆動電極が前記厚み方向における前記圧力室と離れる側の部分に偏って設けられこの部分が活性部になるとともに、前記駆動電極が設けられていない前記圧力室に近接する側の部分が非活性部となるユニモルフタイプの圧電アクチュエータであり、前記ダミー電極は、前記非活性部となる部分に設けられている構成とすることができる。ここで、「活性部」とは、電圧の印加・非印加で、変形状態になったり、非変形状態になったりして形態が変化する部分を意味し、「非活性部」は、そのように形態が変化しない部分を意味する。

このようにすれば、液体の吐出のために形態が変化する（変形状態になったり非変形状態になったりする）活性部となる部分ではなく、形態が変化しない非活性部となる部分にダミー電極を設けているので、ダミー電極が液体の吐出に影響を与えるおそれがない。

請求項１１に記載のように、請求項１〜９のいずれかの液体吐出ヘッドにおいて、前記
圧電アクチュエータは、前記圧力室の中央部分に対応する第１の活性部と、前記圧力室の中央部分よりも外周側の部分に対応する第２の活性部を備えるものであり、前記駆動に用いる電極は、前記第１の活性部に対応する領域と前記第２の活性部に対応する領域とに跨ってこれら両領域をともに占めるように形成された個別電極と、前記第１の活性部に対応する領域を占めるように形成された第１の定電位電極と、少なくとも前記第２の活性部に対応する領域を占めるように形成された第２の定電位電極とを備えるものである構成とすることができる。

このようにすれば、第１の活性部の変形が、隣の圧力室に対する第１の活性部に伝達されるのが第２の活性部にてキャンセルされ、いわゆるクロストークの抑制に有利な構造を実現できる。

請求項１２の発明は、複数の圧力室とその各圧力室とそれぞれ連通する複数のノズルとを有するキャビティユニットに固着される積層型圧電アクチュエータであって、複数の圧電層と駆動に用いる駆動電極とダミー電極とが厚み方向に積層されて構成されるとともに、前記ダミー電極は、その積層体の積層方向における前記圧力室側に位置しており、焼成時において前記駆動に用いる電極による反りを抑制するとともに、前記複数の圧電層の、前記圧力室側からの亀裂の有無を検査する機能を有することを特徴とする。

このようにすれば、ダミー電極により、焼成時において前記駆動に用いる電極による、圧電アクチュエータの反りが抑制（あるいは矯正）され、また、焼成後においては、ダミー電極を利用して、前記複数の圧電層の、前記圧力室側からの亀裂の有無を検査することもできる。

本発明は、上記のように、複数の圧電層と駆動に用いる駆動電極とダミー電極とが厚み方向に積層されて構成されるとともに、前記ダミー電極が、その積層体の積層方向における前記圧力室側に位置しているので、前記ダミー電極によって、焼成時において前記駆動に用いる電極による、反りを抑制（あるいは矯正）することができる。また、焼成後においては、ダミー電極を利用して、前記複数の圧電層の、前記圧力室側からの亀裂の有無を検査することもできる。

以下、本発明の実施の形態を図面に沿って説明する。
（第１の実施の形態）
図１（ａ）は本発明の第１の実施の形態にかかるインクジェットプリンタ（液滴吐出装置）の概略構成を示す概略構成図、図１（ｂ）は本発明にかかるキャビティユニット、圧電アクチュエータ及びフレキシブル配線板（ＣＯＰ）の関係を示す説明図である。

本発明に係るインクジェットプリンタ１は、図１（ａ）に示すように、インクカートリッジ（図示せず）が搭載されるキャリッジ２の下面に、記録用紙Ｐ（記録媒体）に記録するためのインクジェットヘッド３（液滴吐出ヘッド）が設けられている。キャリッジ２はプリンタフレーム４内に設けられるキャリッジ軸５とガイド板（図示せず）とによって支持され、記録用紙Ｐの搬送方向Ａと直交する方向Ｂにおいて往復移動する構成とされている。図示しない給紙部からＡ方向に搬送される記録用紙Ｐは、プラテンローラ（図示せず）とインクジェットヘッド３との間に導入されて、インクジェットヘッド３から記録用紙Ｐに向けて吐出されるインクにより所定の記録がなされ、その後排紙ローラ６にて排紙される。

また、図１（ｂ）に示すように、インクジェットヘッド３は、キャビティユニット１１
と、圧電アクチュエータ１２とを下側から順に備え、圧電アクチュエータ１２の上面に駆動信号を供給するフレキシブル配線板１３（信号線）が設けられている。

キャビティユニット１１は、図２に示すように、複数枚のプレート部材からなる積層体１４を含む。その積層体１４の上側には、振動板としての圧電層１５（トッププレート）が設けられる一方、下側には、ノズル穴１６ａを有するノズルプレート１６及びノズル穴１６ａに対応して貫通穴１７ａを有するスペーサプレート１７を貼り合わせてなるプレートアッセンブリ１８が一体に貼り付けられている。そして、圧電層１５の上側に、各圧力室１４Ａａ内のインク（液体）を選択的に吐出させるための圧電アクチュエータ１２が接合（固着）されている。また、キャビティユニット１１の開孔１１ａには、インク内に含有される塵挨などを捕獲するためのフィルタ１９が設けられている。ノズルプレート１６は、（積層体１４を構成する）キャビティプレート１４Ａの１つの圧力室１４Ａａについて、１つのノズル穴１６ａがそれぞれ設けられた合成樹脂（例えば、ポリイミド樹脂）のプレートである。なお、ノズルプレート１６は金属プレートとしてもよい。

積層体１４は、図３に示すように、上側から順にキャビティプレート１４Ａ、べースプレート１４Ｂ、アパチャープレート１４Ｃ，２枚のマニホールドプレート１４Ｄ，１４Ｅ及びダンパープレート１４Ｆがそれぞれ重ねられて金属拡散接合されたものである。これら６枚のプレート１４Ａ〜１４Ｆは、各ノズル穴１６ａ毎に個別にインク流路が形成されるように、互いに位置合わせして積層されている。ここで、キャビティプレート１４Ａは、複数の圧力室１４Ａａとして機能する開口が、ノズル列に対応して規則的に形成された金属プレートである。べースプレート１４Ｂは、マニホールド１４Ｄａ，１４Ｅａ（共通インク室）から各圧力室１４Ａａへの連通穴１４Ｂａ及び各圧力室１４Ａａから各ノズル穴１６ａへの連通穴１４Ｂｂがそれぞれ設けられた金属プレートである。アパチャープレート１４Ｃには、それの上面に、各圧力室１４Ａａとマニホールド１４Ｄａ，１４Ｅａとを連通する連通路２１が凹部通路として形成されるとともに、マニホールド１４Ｄａ，１４Ｅａ（共通インク室）から各圧力室１４Ａａへの連通穴１４Ｃａ及び各圧力室１４Ａａからノズル穴１６ａへの連通穴１４Ｃｂがそれぞれ設けられた金属プレートである。マニホールドプレート１４Ｄ，１４Ｅは、マニホールド１４Ｄａ，１４Ｅａに加えて、各圧力室１４Ａａから各ノズル穴１６ａへの連通穴１４Ｄｂ，１４Ｅｂがそれぞれ設けられた金属プレートである。ダンパープレート１４Ｆは、下面に凹部として形成されるダンパー室１４Ｆａのほか、各圧力室１４Ａａを各ノズル穴１６ａに連通する連通穴１４Ｆｂが設けられた金属プレートである。

このように、キャビティユニット１１は、複数のノズル穴１６ａ、複数のノズル穴１６ａの各々に連通する複数の圧力室１４Ａａ及びこの圧力室１４Ａａに供給するインクを一時的に貯留するマニホールド１４Ｄａ，１４Ｅａを含む構成とされ、複数の圧力室と１４Ａａが複数のノズル穴１６ａとそれぞれ連通している。

圧電アクチュエータ１２は、図４に示すように、複数層の圧電層１２ａ，１２ｂを上側から順に積層して形成されている。圧電層１２ａ，１２ｂは、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料（圧電シート）からなり、その厚み方向において分極している。なお、この実施の形態では圧電層１５も、圧電層１２ａ，１２ｂ吐同じ材料、つまり、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料（圧電シート）からなる。

そして、圧電アクチェエータ１２は、複数の圧電層１２ａ，１２ｂと、駆動に用いる駆動電極である個別電極２１及び定電位電極２２と、駆動に寄与しないダミー電極２３とを厚み方向に積層して構成されている。これら圧電層１２ａ，１２ｂと電極２１〜２３との積層体の積層方向における圧力室１４Ａａ側に、ダミー電極２３が位置している。これは
、圧電アクチュエータの１２の厚み方向において、その中心よりも圧力室１４Ａａ側にダミー電極２３が位置している、と言い換えることもできる。また、ダミー電極２３は、駆動に用いる個別電極２１及び定電位電極２２よりも圧力室１４Ａａ側に位置している。

つまり、図４に示すように、最も上側の圧電層１２ａ（第１層）の上側に形成され圧力室１４Ａａの中央部分に対応する個別電極２１と、上側から２番目の圧電層１２ｂ（第２層）の上側に全体に亘って形成されるグランド電極２２とを備える。また、上側から３番目の層となる圧電層１５の上側に全体に亘って形成されるダミー電極２３を備える。ここで、圧力室１４Ａａの中央部分とは、ノズル穴１６ａが配列されているノズル列方向Ｘにおける中央部分である。電極２１〜２３はＡｇ−Ｐｄ系等の金属材料からなる。

また、各圧電層１２ａ，１２ｂの電極２１〜２３は、平面視したとき（キャビティユニット１１と圧電アクチュエータ１２との積層方向から見たとき）、図５に示すように配置されている。即ち、圧電層１２ａ（第１層）の上面側には、各圧力室１４Ａａに対応して個別電極２１がノズル列方向において一定ピッチで形成されている。そして、隣り合う個別電極２１は、ノズル列方向において半ピッチずれて形成され、それらの列の間において、各個別電極２１の、フレキシブル配線板１３の接続端子（図示せず）に接続される接続端子部２１ａが千鳥状に形成されている。

そして、ダミー電極２３は、焼成時において前記駆動に用いる電極（個別電極２１，定電位電極２２）による反りを抑制（あるいは矯正）するという第１の機能を有する。それとともに、複数の圧電層１２ａ，１２ｂの、圧力室１４Ａａ側からの亀裂の有無を検査するという第２の機能も有する。なお、第１の機能を考慮して、圧電層１２ａ，１２ｂの層厚さが設定されている。

各個別電極２１の接続端子部２１ａには、フレキシブル配線板１３（信号線）を通じて、駆動信号を供給するドライバＩＣ９０（図１（ｂ）参照）が電気的に接続される。このドライバＩＣ９０及びフレキシブル配線板１３によって、圧電アクチュエータ１２の活性部Ｓに駆動電圧を印加する電圧印加手段が構成される。

つまり、圧力室１４Ａａの容積を変化させるために、個別電極２１には、フレキシブル配線板１３を通じて、第１の電位（グランド電位）及びそれと異なる第２の電位（正の電位、例えば２０Ｖ）が選択的に印加される。また、定電位電極２２は、第１の電位（グランド電位）が常時付与される。なお、活性部Ｓは、個別電極２１に第２の電位が付与され定電位電極２２に第１の電位が付与されて変形するときに印加される電圧の方向と同じ方向（分極方向）に分極されている。また、ダミー電極２３は、電位を付与する必要はないが、駆動に影響しないように、定電位電極２２と同様に第１の電位（グランド電位）が常時付与されるようにしてもよい。

このように、圧電アクチェエータ１２は、各圧力室１４Ａａに対応する個別電極２１を有し、この個別電極２１に、駆動信号として第１の電位（グランド電位）と第２の電位（正の電位）とを選択的に付与することで、圧力室１４Ａａの容積を変化させてノズル穴１６ａからインクを吐出させるようになっている。つまり、個別電極２１に第１の電位が付与されても活性部Ｓは変形しないが、第２の電位が付与されると、活性部Ｓは圧力室１４Ａａ内に突出するように変形し、圧力室１４Ａａの容積を小さくなるように変化させるので、ノズル穴１６ａからインクを吐出させることになる。

圧電アクチュエータ１２の上記構造においては、駆動に用いる電極（駆動電極２１，定電位電極２２）のみを配置した場合における圧電アクチュエータの焼成時における反り量（絶対値）と、駆動に用いる電極（駆動電極２１，定電位電極２２）およびダミー電極２
３のみを配置した場合における圧電アクチュエータ１２の焼成時における反り量（絶対値）との差が一定量以下となるように、ダミー電極２３の大きさと設けられる位置（圧電層の層厚さを含む）とが予め設定されている。このダミー電極２３の大きさと設けられる位置は、種類が異なる圧電アクチュエータごとに、製造に先立って、実験や解析により予め求められる。

例えば、圧電アクチュエータ１２は、前記厚み方向の中間面より圧力室１４Ａａ側に配置される各電極の面積と前記中間面から各電極までの長さとの積の和が、厚さ方向の中間面より反圧力室１４Ａａ側に配置される各電極の面積と前記中間面から各電極までの長さとの積の和とがほぼ等しくなるように、駆動に用いる電極（駆動電極２１，定電位電極２２）およびダミー電極２３が配置されている。

このように、圧電アクチェエータ１２が、複数の圧電層１２ａ，１２ｂと、駆動電極２１と、定電位電極２２と、ダミー電極２３とを厚み方向に積層して構成されるとともに、ダミー電極２３が、その積層体の積層方向における圧力室１４Ａａ側に所定の位置関係で配置するようにしていることから、ダミー電極２３によって、圧電アクチュエータ１２の焼成時において、駆動に用いる電極（駆動電極２１，定電位電極２２）のみ設けた場合に発生する反りが抑制される。

よって、圧電アクチュエータ１２の構造においては、駆動に影響を与えないダミー電極２３を設けるだけで、駆動に用いる電極（個別電極２１，定電位電極２２）のみを配置した場合における圧電アクチュエータ１２の焼成時における反り量よりも、前記駆動に用いる電極および前記ダミー電極を配置した場合における前記圧電アクチュエータの焼成時における反り量が小さくなる（ダミー電極２３の第１の機能）。

また、キャビティユニット１１は、金属プレートの積層体１４を有し導電性を有するように構成されているので、ダミー電極２３とキャビティユニット１１（キャビティプレート１４Ａ）には、それらの間の導通状態を検査する検査手段としての抵抗検出回路４１が接続されている。これにより、ダミー電極２３とキャビティユニット１１との間の導通状態に基づき、振動板としての圧電層１５の、圧力室１４Ａａ側からの亀裂、つまり吐出不良の原因となる亀裂の有無を検査することができる（ダミー電極２３の第２の機能）。

このような検査は、圧力室１４Ａａにインクあるいは導電性を有する検査液を満たした状態で行われる。ダミー電極２３とキャビティユニット１１（キャビティプレート１４Ａ）との間には、導電性を有しない振動板としての圧電層１５が存在するので、圧電層１５に、圧力室１４Ａａから圧電層１５を貫通してダミー電極２３まで延びる亀裂がない場合には、電気抵抗が大きくなる。一方、圧電層１５に、圧力室１４Ａａから圧電層１５を貫通してダミー電極２３まで延びる亀裂がある場合には、電気抵抗が小さくなる。これは、前記亀裂に浸入した前記インクあるいは導電性を有する検査液を通じて電流が流れるからである。

よって、このようにダミー電極２３とキャビティユニット１１との間の電気抵抗を検査することで、前述したような亀裂がない合格品であるか、亀裂がある不合格品であるかを簡単に判定することができる。

次に、制御装置５１を中心とするインクジェットプリンタ１の電気的構成について、図６のブロック図を参照して説明する。

制御装置５１は、中央処理装置であるＣＰＵと、プリンタ１の全体動作を制御するための各種プログラムやデータ等が格納されたＲＯＭと、前記ＣＰＵで処理されるデータ等を
一時的に記憶するＲＡＭと、外部装置との間で信号の送受信を行う入出力インターフェース等で構成されている。

そして、図６に示すように、制御装置５１は記録制御部５１Ａを備えている。この記録制御部５１Ａは、入力装置５２から入力された記録画像に関するデータに基づいて、その画像を記録用紙に記録するように、インクジェットヘッド３、キャリッジ２を駆動するキャリッジ駆動モータ５３、搬送機構５４の給紙モータ５４Ａおよび排紙モータ５４Ｂを制御する。さらに、記録制御部５１Ａは、記録に関する情報やエラーメッセージ等をディスプレイ５５に表示させるようになっている。

また、制御装置５１は、吐出不良の原因となる、圧力室１４Ａａ側からの亀裂の有無を判定する亀裂判定部５１Ｂを有する。この亀裂判定部５１Ｂは、抵抗検出回路４１によって検出される、ダミー電極２３とキャビティユニット１１（キャビティプレート１４Ａ）との間の電気抵抗に基づいて判定することになる。具体的には、亀裂判定部５１Ｂは、抵抗検出回路４１で検出された電気抵抗の値が設定値以上である場合には、圧力室１４Ａａ側からダミー電極２３まで延びる亀裂がなく正常であると判定する一方、抵抗検出回路４１で検出された電気抵抗の値が設定値未満である場合には、圧力室１４Ａａ側からダミー電極２３まで延びる亀裂があるために．絶縁性が低下しており、異常であると判定する。さらに、その旨をディスプレイ５５に表示させてユーザーに報知する。

ここで、抵抗検出回路４１による電気抵抗の検出のタイミングは、特定のタイミングに限られず、インクジェットプリンタ１の記録動作中であってもよいし、あるいは、記録動作を行っていない待機中であってもよい。つまり、任意のタイミングにおいて、抵抗検出回路４１により、ダミー電極２３とキャビティユニット１１との間の電気抵抗を測定し、その結果に基づいて、亀裂判定部５１Ｂにより、圧力室１４Ａａ側からダミー電極２３まで延びる亀裂の有無の検査を行うことができる。

尚、上述した記録制御部５１Ａ及び亀裂判定部５１Ｂのそれぞれの機能は、制御装置５１のＲＯＭに記憶された各種制御プログラムがＣＰＵによって実行されることにより実現される。

また、最も圧力室１４Ａａ側の層である圧電層１５についてだけでなく、それの上側の層である圧電層１２ｂについても圧力室１４Ａａ側からの亀裂の有無を検査することができる。つまり、圧力室１４Ａａ側の圧電層１４Ａａよりも圧力室１４Ａａから離れた圧電層１２ｂに、定電位電極２２（グランド電位）が設けられているので、具体的に図示していないが、定電位電極２２とキャビティユニット１１（積層体１４）との間の導通状態を検査する別の検査手段（第２の抵抗検出回路）を接続することで、同様に、圧電層１５だけでなく、圧電層１２ｂも貫通する、圧力室１４Ａａ側からの亀裂の有無を検査することもできる。

前記実施の形態では、上側から３番目の層である圧電層１５の上側に全体に亘ってダミー電極２３を形成しているが、図７及び図８に示すように、ダミー電極２３Ａは、各圧力室１４Ａａに対応する領域に存在するとともに、隣接する２つの圧力室１４Ａａの間に対応する領域には存在しないように形成するようにしてもよい。これは、ダミー電極２３Ａは圧電アクチュエータの焼成時における反りを抑制するために設けられるものであり、圧電層１５の面全体に亘って形成する必要がないからである。また、ダミー電極２３による亀裂の有無の検出は、圧力室１４Ａａ内のインクが圧電層１５側へ浸透して、吐出機能を阻害することになるおそれがあるかどうかをチェックするためのものであり、この点からも、ダミー電極２３Ａが圧電層１５の上面全域に設けられている必要は特になく、複数の圧力室１４Ａａとそれぞれ対応する領域に設けられていればよいからである。この実施の
形態では、図８に示すように、ダミー電極２３Ａは、各圧力室１４Ａａに対応する領域に形成される複数の第１の部分２３Ａａと、圧力室１４Ａａの間の桁部１４Ａｂ（図７参照）にノズル列方向Ｘに形成され各第１の部分２３Ａａが接続される第２の部分２３Ａｂとを備える。なお、この第２の部分２３Ａｂは、個別電極２１の接続端子部２１ａが設けられている部位（桁部１４Ａｂ）に対応して形成されている。
（第２の実施の形態）
この実施の形態の場合には、圧電アクチュエータ１２Ａは、図９及び図１０に示すように、３つの層（複数層）の圧電層１２ｅ，１２ｆ，１２ｇを上側から順に積層して形成されている。

圧電アクチュエータ１２Ａは、図９及び図１０に示すように、最も上側の圧電層１２ｅ（第１層）の上側に形成され圧力室１４Ａａの中央部分に対応する個別電極３１と、上側から２番目の圧電層１２ｆ（第２層）の上側に形成され圧力室１４Ａａの中央部分に対応する第１の部分３２ａを有する第１の定電位電極３２と、上側から３番目の圧電層１２ｇ（第３層）の上側に全体に亘って形成される第２の定電位電極３３とを備える。そして、上側から４番目の層となり振動板として機能する圧電層１５の上側に全体に亘って形成されるダミー電極３４とを備える。なお、隣り合う個別電極３１は、ノズル列方向において半ピッチずれて形成され、それらの列の間において、各個別電極３１の、フレキシブル配線板１３の接続端子（図示せず）に接続される接続端子部３１ａが千鳥状に形成されている点は第１の実施の形態と同様である。

第１の活性部Ｓ１は個別電極３１と第１の定電位電極３２とで挟まれた部分であり、圧力室１４Ａａの中央部分に対応する一方、第２の活性部Ｓ２は個別電極３１と第２の定電位電極３３とで挟まれた部分であり、圧力室１４Ａａの中央部分よりも外周側の部分に対応する。この第２の活性部Ｓ２は、隣り合う圧力室１４Ａａを仕切る壁である桁部１４Ａｂに対応する領域だけでなく、圧力室１４Ａａの外周縁よりも内側部分（中央部分側）に対応する領域を含む。各個別電極３１は、第１及び第２の定電位電極３２，３３について共有され、電極３１〜３３はＡｇ−Ｐｄ系等の金属材料からなる。

そして、圧電アクチュエータ１２Ａは、駆動に用いる電極（個別電極３１，定電位電極３２，３３）が圧電アクチュエータ１２Ａの厚み方向における圧力室１４Ａａと離れる側の部分に偏って設けられ、この部分が第１及び第２の活性部Ｓ１，Ｓ２になるとともに、前記駆動電極が設けられていない圧力室１４Ａａに近接する側の部分（圧電層１２ｇ及び圧電層１５）が非活性部となるユニモルフタイプの圧電アクチュエータである。そして、ダミー電極３４は、前記非活性部となる部分に設けられ、前記駆動に用いる電極のみを配置した場合における圧電アクチュエータ１２Ａの焼成時における反り量（絶対値）と、前記駆動に用いる電極およびダミー電極３４を配置した場合における圧電アクチュエータ１２Ａの焼成時における反り量（絶対値）との差が一定量以下となるように、ダミー電極の３４大きさと設けられる位置とが設定されている。

また、キャビティユニット１１は、導電性を有するように構成されているので、ダミー電極３４とキャビティユニット１１（キャビティプレート１４Ａ）には、それらの間の導通状態を検査する検査手段としての抵抗検出回路４１が接続されている。これにより、第１の実施の形態と同様に、ダミー電極３４とキャビティユニット１１との間の導通状態に基づき、振動板としての圧電層１５の、圧力室１４Ａａ側からの亀裂、つまり吐出不良の原因となる亀裂の有無を検査することができる。

このように、ダミー電極３４は、焼成時において前記駆動に用いる電極（個別電極３１，定電位電極３２，３３）による反りを抑制するとともに、圧電層１５の、圧力室１４Ａａ側からの亀裂の有無を検査する機能を有することになる。

ところで、この圧電アクチュエータ１２Ａにおいては、図９に示すように、個別電極３１は、ノズル列方向Ｘに直交する方向Ｙにおいて第１の活性部Ｓ１に対応する領域と第２の活性部Ｓ２に対応する領域とに跨ってこれら両領域をともに占めるように形成されている。第１の定電位電極３２は、第１の活性部Ｓ１に対応する領域を占めるように形成されている。第２の定電位電極３３は、少なくとも第２の活性部Ｓ２に対応する領域を占めるように形成されている。そして、第１の活性部Ｓ１は、個別電極３１に第１の電位が付与され第１の定電位電極３２に第２の電位が付与されて変形するときに印加される電圧の方向と同じ方向（分極方向）に分極されている。一方、第２の活性部Ｓ２は、個別電極３１に第２の電位が付与され第２の定電位電極３３に第１の電位が付与されて変形するときに印加される電圧の方向と同じ方向に分極されている。つまり、電圧が印加される方向と分極方向が同じになるように分極される。

第１の定電位電極３２は、常時第２の電位（正の電位）とされ、第２の定電位電極３３は、常時第１の電位（グランド電位）とされる。そして、個別電極３１には、第１の電位（グランド電位）と第２の電位（正の電位）とが、圧力室１４Ａａの容積を変化させるために選択的に付与されるようになっている。次の表１に一例を示す。すなわち、分極時と駆動時とは電圧の印加方向は同一であるが、第１の定電位電極３２は常時正の電位（２０Ｖ：一定）とされ、第２の定電位電極３３には常時グランド電位（０Ｖ：一定）とされ、個別電極３１には正の電位（２０Ｖ：一定）が付与されたり、その付与が解除されたりする。よって、個別電極３１にグランド電位とされるときには、第１の活性部Ｓ１に電圧が印加されるが、第２の活性部Ｓ２には電圧が印加されず、一方、個別電極３１がグランド電位ではなく正の電位とされるときには、第１の活性部Ｓ１に電圧が印加されず、第２の活性部Ｓ２に電圧が印加されることになる。ここで、駆動時において電極間に印加される電圧は表１に示すように、分極時に印加される電圧よりも小さく、電極間に繰り返し電圧を印加することによる劣化を抑制するようになっている。

このように電極３１〜３３を配置することで、前記電圧印加手段により、個別電極３１に第２の電位（正の電位：２０Ｖ）を付与する、第１の活性部Ｓ１への電圧の非印加時（待機時）では、第１の活性部Ｓ１は、第１及び第２の方向Ｚ，Ｘにおいて伸縮しない、変形しない状態となる。このとき、第２の活性部Ｓ２は、電圧印加状態となり、圧力室１４Ａａに向かう積層方向Ｚ（第１の方向）に伸張し、その積層方向Ｚと直交するノズル列方向Ｘ（第２の方向）に収縮しようとするので、圧電層１２ｇ及び振動板としての圧電層１５の働きによって、ノズル列方向側部に位置する第２の活性部Ｓ２が、圧力室１４Ａａから離れる方向に反るように変形する。この第２の活性都Ｓ２の変形が、圧力室１４Ａａの容積変化を大きくするのに寄与し、マニホールド１４Ｄａ，１４Ｅａから圧力室１４Ａａにインクを多く吸い込むのに貢献する。

一方、個別電極３１に第１の電位（グランド電位）を付与する、第１の活性部Ｓ１への電圧の印加時（駆動時）には、第１の活性部Ｓ１は、分極方向と同じ方向に電圧が印加され、圧電横効果により、圧力室１４Ａａに向かう積層方向Ｚに伸張し、その積層方向Ｚと直交するノズル列方向Ｘに収縮して、圧力室１４Ａａ内の方向へ突出変形する状態となる。一方、圧電層１２ｇ，１５は、電界の影響を受けないため自発的には縮まないので、上
側に位置する圧電層１２ｅ，１２ｆと下側に位置する圧電層１２ｇ，１５との間で分極方向と垂直な方向への歪みに差を生じる。このことと、圧電層１５がキャビティプレート１４に固定されていることとが相侯って、圧電層１２ｅ，１２ｆは圧力室１４Ａａ側に凸となるように変形しようとする（ユニモルフ変形）。このため、圧力室１４Ａａの容積が低下して、インクの圧力が上昇し、ノズル穴１６ａからインクが吐出される。

この第１の活性部Ｓ１への電圧の印加時には、第２の活性部Ｓ２は、電圧の非印加状態となるので、第１及び第２の方向Ｚ，Ｘにおいて伸縮しない、変形しない状態に戻ることになる。よって、第１の活性部Ｓ１が、圧力室１４Ａａの方向へ突出変形する際には、第２の活性部Ｓ２は、変形しない状態に戻るので、第１の活性部Ｓ１の変形の影響が第２の活性部Ｓ２によってキャンセルされ、隣の圧力室１４Ａａにはほとんど及ばず、クロストークが抑制される。つまり、第１の活性部Ｓ１に対する電圧の印加と非印加との切替えによる第１の活性部Ｓ１の変形が、隣接する圧力室１４Ａａに伝播するのを抑制するように、第２の活性部Ｓ２に対する電圧の印加と非印加が切り替えられる。

その後、個別電極３１を、第１の定電位電極３２と同じ電位（グランド電位）に戻すと、前述したように、第１の活性部Ｓ１は変形しない状態となり、第２の活性部Ｓ２は、圧力室１４Ａａから離れる方向に反るように変形し、圧力室１４Ａａの容積が元の容積に戻るので、マニホールド１４Ｄａ，１４Ｅａから圧力室１４Ａａ内にインクを吸い込むことになる。

このような第１の活性部Ｓ１及び第２の活性部Ｓ２の変形によりインクの吐出動作が繰り返され、各吐出動作において、圧力室１４Ａａの容積変化を大きくして吐出効率を高めると共に、クロストークが抑制される。

なお、個別電極３１に第１の電位を付与した状態を待機状態とし、その後、一旦第２の電位を付与してから再び第１の電気に戻すことによりインクを吐出させる、いわゆる引き打ちという制御方法も可能である。

また、ダミー電極３４とキャビティユニット１１との間の導通状態に基づき、圧電層１５の、圧力室１４Ａａ側からの亀裂、つまり吐出不良の原因となる亀裂の有無の検査は、第１の実施の形態と同様に、圧力室１４Ａａにインクあるいは導電性を有する検査液を満たした状態で行われ、圧電層１５に、圧力室１４Ａａから圧電層１５を貫通してダミー電極３４まで延びる亀裂がない場合には、電気抵抗が大きくなる。一方、圧電層１５に、圧力室１４Ａａから圧電層１５を貫通してダミー電極３４まで延びる亀裂がある場合には、電気抵抗が小さくなる。よって、ダミー電極２３とキャビティユニット１１との間の電気抵抗を検査することで、前述したような亀裂がない合格品であるか、亀裂がある不合格品であるかを簡単に判定することができる。

前記第２の実施の形態では、第１の定電位電極３２は、圧力室１４Ａａの中央部分に対応する部分を有するようにしているが、図１１及び図１２に示すように、圧力室１４Ａａの中央部分に対応する部位が開口３２ｃ’となる第１の定電位電極３２Ａとすることも可能である。この場合には、個別電極３１と第２の定電位電極３３とで挟まれる圧電層１２ｅ，１２ｆによって第１の活性部Ｓ１’が、個別電極３１と第１の定電位電極３２Ａとにより挟まれる圧電層１２ｅによって第２の活性部Ｓ２’がそれぞれ形成されることになる。そして、第１の定電位電極３２Ａは、常時第２の電位（正の電位）とされ、第２の定電位電極３３は、常時第１の電位（グランド電位）とされる。そして、個別電極３１には、第１の電位（グランド電位）と第２の電位（正の電位）とが、圧力室１４Ａａの容積を変化させるために選択的に付与される。

第１の定電位電極３２Ａは、第２の活性部Ｓ２’に対応する領域及び、ノズル列方向に直交する方向において隣り合う圧力室１４Ａａ間の桁部１４Ａｂに対応する領域を占めるように形成されている。つまり、第２の定電位電極３３は、桁部１４Ａｂに対応する領域を含めて圧力室１４Ａａのノズル列方向側部に対応する領域まで延び、圧力室１４Ａａのノズル列方向において隣り合う２つの圧力室１４Ａａ，１４Ａａについて共有される。

そして、この実施の形態の場合も、キャビティユニット１１は、導電性を有するので、ダミー電極３４とキャビティユニット１１（キャビティプレート１４Ａ）との間には、抵抗検出回路４１が接続され、前述した場合と同様に、ダミー電極３４とキャビティユニット１１との間の導通状態に基づき、圧電層１５の、圧力室１４Ａａ側からの亀裂、つまり吐出不良の原因となる亀裂の有無を検査することができる。

よって、ダミー電極３４は、焼成時において前記駆動に用いる電極による反りを抑制するとともに、圧電層１５の、圧力室１４Ａａ側からの亀裂の有無を検査する機能を有することになる。

また、この実施の形態の場合も、圧力室１４Ａａ側の圧電層１４Ａａよりも圧力室１４Ａａから離れた圧電層１２ｇに、第２の定電位電極３３（グランド電位）が設けられているので、具体的に図示していないが、第２の定電位電極３３とキャビティユニット１１との間の導通状態を検査する別の検査手段（第２の抵抗検出回路）を接続することで、同様に、圧電層１５だけでなく、圧電層１２ｇも貫通する、圧力室１４Ａａ側からの亀裂の有無を検査することもできる。つまり、複数の圧電層１５，１２ｇの、圧力室１４Ａａ側からの亀裂の有無を検査することができる。

そして、圧電アクチュエータは、前述した実施の形態と同様な動作をする。つまり、個別電極３１に第２の電位（グランド電位）を付与する、第１の活性部Ｓ１’への電圧の非印加時（待機時）では、第１の活性部Ｓ１’は、第１及び第２の方向Ｚ，Ｘにおいて伸縮しない、変形しない状態となるが、ノズル列方向側部に位置する第２の活性部Ｓ２’は電圧印加状態となり、圧力室１４Ａａから離れる方向に反るように変形する。この第２の活性都Ｓ２’の変形が、圧力室１４Ａａの容積変化を大きくするのに寄与し、マニホールド１４Ｄａ，１４Ｅａから圧力室１４Ａａにインクを多く吸い込むのに貢献する。

一方、個別電極３１に第１の電位（正の電位：２０Ｖ）を付与する、第１の活性部Ｓ１’への電圧の印加時（駆動時）には、第１の活性部Ｓ１’は、圧電横効果により、圧力室１４Ａａに向かう積層方向Ｚに伸張し、その積層方向Ｚと直交するノズル列方向Ｘに収縮して、圧力室１４Ａａ内の方向へ突出変形する状態となり、圧力室１４Ａａの容積が低下して、インクの圧力が上昇し、ノズル穴１６ａからインクが吐出される。このとき、第２の活性部Ｓ２’は、電圧の非印加状態となるので、第１及び第２の方向Ｚ，Ｘにおいて伸縮しない、変形しない状態に戻ることになる。よって、第１の活性部Ｓ１’の変形の影響が第２の活性部Ｓ２’によってキャンセルされ、隣の圧力室１４Ａａにはほとんど及ばず、クロストークが抑制される。

その後、個別電極３１を、第１の定電位電極３２と同じ電位（グランド電位）に戻すと、前述したように、第１の活性部Ｓ１’は変形しない状態となり、第２の活性部Ｓ２’は、圧力室１４Ａａから離れる方向に反るように変形し、圧力室１４Ａａの容積が元の容積に戻るので、マニホールド１４Ｄａ，１４Ｅａから圧力室１４Ａａ内にインクを吸い込むことになる。

このような第１の活性部Ｓ１’及び第２の活性部Ｓ２’の変形によりインクの吐出動作が繰り返され、各吐出動作において、圧力室１４Ａａの容積変化を大きくして吐出効率を
高めると共に、クロストークが抑制される。

前述したほか、本発明は、次のように変更して実施することもできる。

(i)前記実施の形態では、インクジェットプリンタ１が、ダミー電極２３，３４とキャ
ビティユニット１１との間の電気抵抗を検出する抵抗検出回路４１を備えるようにしているが、製造段階において圧力室側からの亀裂の有無を検出する検査時においてのみ、プリンタ１のダミー電極２３，３４とキャビティユニット１１とに、抵抗検出回路としての抵抗検出器を接続し、電気抵抗を測定することができるように構成することも可能である。つまり、プリンタ１が抵抗検出回路を常時備えるのではなく、必要時に、プリンタ１に抵抗検出器（抵抗検出回路）が接続可能であるように構成することもできる。

(ii)キャビティユニットが導電性を有する構成としているが、導電性を有しない場合には、圧力室１４Ａａ側の層である圧電層１５に設けたダミー電極２３，２３Ａ，３４と、それよりも圧力室１４Ａａから離れた側の圧電層１２ｂ，１２ｇに設けた駆動に用いる電極２２，３３との間に、それらの間の導通状態を検査する検査手段が接続可能であるようにすることも可能である。

(iii)本発明は、液体吐出ヘッドがインクジェットヘッドである場合に限定されるもの
ではなく、着色液を微小液滴として塗布、あるいは導電液を吐出して配線パターンを形成するなどの他の液体吐出ヘッドにも適用することができる。

(iv)記録媒体としては記録用紙だけでなく、樹脂、布などの各種のものを用いることができ、また吐出する液体としてはインクだけでなく、着色液、機能液などの各種のものを用いることができる。

図１（ａ）は本発明の第１の実施の形態にかかるインクジェットプリンタ（液滴吐出装置）の概略構成を示す概略構成図、図１（ｂ）は本発明にかかるキャビティユニット、圧電アクチュエータ及びフレキシブル配線板（ＣＯＰ）の関係を示す説明図である。 キャビティユニットの上側に圧電アクチュエータを貼り付けた状態を示す斜視図である。 キャビティユニットを、構成要素である各プレートに分解し、それらを振動板共に示す図である。 第１の実施の形態の概略断面図である。 第１の実施の形態について、圧電アクチュエータの各圧電層における電極の配置の説明図である。 前記インクジェットプリンタの電気的構成を概略的に示すブロック図である。 第１の実施の形態の変形例についての図４と同様の図である。 第１の実施の形態の変形例についての図５同様の図である。 第２の実施の形態についての図４と同様の図である。 第２の実施の形態についての図５と同様の図である。 第２の実施の形態の変形例についての図４と同様の図である。 第２の実施の形態の変形例についての図５と同様の図である。 従来例についての図４と同様の図である。 従来例についての図５と同様の図である。

符号の説明

１ インクジェットプリンタ
３ インクジェットヘッド（液体吐出ヘッド）
１２，１２Ａ 圧電アクチュエータ
１２ａ，１２ｂ，１２ｅ〜１２ｇ 圧電層
１５ 圧電層
２１，３１ 個別電極
２２，３２，３２Ａ，３３ 定電位電極
２３，３４ ダミー電極
４１ 電気抵抗検出回路
５１Ｂ 亀裂判定部

Claims (12)

1. 複数の圧力室とその各圧力室とそれぞれ連通する複数のノズルとを有するキャビティユニットと、
   前記キャビティユニットに固着された積層型圧電アクチュエータと、
   を備えている液体吐出ヘッドであって、
   前記積層型圧電アクチュエータは、
   複数の圧電層と駆動に用いる駆動電極とダミー電極とが厚み方向に積層されて構成されるとともに、その積層体の積層方向において前記ダミー電極が前記駆動電極よりも前記圧力室側に位置しており、
   前記ダミー電極は、前記圧電アクチュエータの焼成時において前記駆動に用いる電極による反りを抑制するとともに、前記複数の圧電層の、前記圧力室側からの亀裂の有無を検査する機能を有することを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記ダミー電極は、前記各圧力室に対応する領域に存在するとともに、隣接する２つの前記圧力室の間に対応する領域には存在しないように形成されていることを特徴とする請求項１記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記ダミー電極は、前記圧電層の全域にわたって形成されていることを特徴とする請求項１記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記駆動に用いる電極のみを配置した場合における前記圧電アクチュエータの焼成時における反り量よりも、前記駆動に用いる電極および前記ダミー電極を配置した場合における前記圧電アクチュエータの焼成時における反り量が小さくなるように、前記ダミー電極が設けられていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記駆動に用いる電極のみを配置した場合における前記圧電アクチュエータの焼成時における反り量と、前記駆動に用いる電極および前記ダミー電極のみを配置した場合における前記圧電アクチュエータの焼成時における反り量との差が一定量以下となるように、前記ダミー電極の大きさと設けられる位置とが設定されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記圧電アクチュエータは、前記厚み方向の中間面より圧力室側に配置される各電極の面積と前記中間面から各電極までの長さとの積の和が、厚さ方向の中間面より反圧力室側に配置される各電極の面積と前記中間面から各電極までの長さとの積の和と等しくなるように、駆動に用いる電極およびダミー電極が配置されていることを特徴とする請求項４または５記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記キャビティユニットは、導電性を有するように構成されるもので、
   前記ダミー電極と前記キャビティユニットには、それらの間の導通状態を検査する検査手段が接続可能であることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
8. 前記キャビティユニットは、導電性を有するように構成されるもので、
   前記圧力室側の圧電層およびそれよりも前記圧力室から離れた圧電層に、ダミー電極もしくは駆動に用いる電極がそれぞれ設けられ、
   前記ダミー電極もしくは前記駆動電極と前記キャビティユニットには、それらの間の導通状態を検査する検査手段がそれぞれ接続可能であることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
9. 前記圧力室側の圧電層およびそれよりも前記圧力室から離れた圧電層に、ダミー電極もしくは駆動に用いる電極がそれぞれ設けられ、
   前記圧力室側の圧電層およびそれの上側の圧電層のダミー電極もしくは駆動に用いる電極には、それらの間の導通状態を検査する検査手段が接続可能であることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
10. 前記圧電アクチュエータは、前記駆動電極が前記厚み方向における前記圧力室と離れる側の部分に偏って設けられこの部分が活性部になるとともに、前記駆動電極が設けられていない前記圧力室に近接する側の部分が非活性部となるユニモルフタイプの圧電アクチュエータであり、
    前記ダミー電極は、前記非活性部となる部分に設けられていることを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
11. 前記圧電アクチュエータは、前記圧力室の中央部分に対応する第１の活性部と、前記圧力室の中央部分よりも外周側の部分に対応する第２の活性部を備えるものであり、
    前記駆動に用いる電極は、前記第１の活性部に対応する領域と前記第２の活性部に対応する領域とに跨ってこれら両領域をともに占めるように形成された個別電極と、前記第１の活性部に対応する領域を占めるように形成された第１の定電位電極と、少なくとも前記第２の活性部に対応する領域を占めるように形成された第２の定電位電極とを備えるものであることを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
12. 複数の圧力室とその各圧力室とそれぞれ連通する複数のノズルとを有するキャビティユニットに固着される積層型圧電アクチュエータであって、
    複数の圧電層と駆動に用いる駆動電極とダミー電極とが厚み方向に積層されて構成されるとともに、前記ダミー電極は、その積層体の積層方向における前記圧力室側に位置しており、
    焼成時において前記駆動に用いる電極による反りを抑制するとともに、前記複数の圧電層の、前記圧力室側からの亀裂の有無を検査する機能を有することを特徴とする圧電アクチュエータ。

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