JP2000280477A - インクジェット記録ヘッド、該インクジェット記録ヘッドが搭載されたヘッドカートリッジおよび記録装置 - Google Patents
インクジェット記録ヘッド、該インクジェット記録ヘッドが搭載されたヘッドカートリッジおよび記録装置Info
- Publication number
- JP2000280477A JP2000280477A JP9305199A JP9305199A JP2000280477A JP 2000280477 A JP2000280477 A JP 2000280477A JP 9305199 A JP9305199 A JP 9305199A JP 9305199 A JP9305199 A JP 9305199A JP 2000280477 A JP2000280477 A JP 2000280477A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ink
- recording head
- jet recording
- ink jet
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 故障を予知することができるインクジェット
記録ヘッド等の提供。 【解決手段】 インクジェット記録ヘッドは、インク滴
を吐出する吐出口(不図示)と、吐出口に連通されたイ
ンク流路(不図示)と、インク流路に充填されたインク
に気泡を発生させるための電気熱変換体(不図示)が備
えられた基板1とを有する。基板1において、電気熱変
換体は保護層としての耐キャビテーション層8に保護さ
れている。記録ヘッドは、インク流路内に充填されたイ
ンクと電気的に導通するように設けられた第1の測定電
極10と、耐キャビテーション層8が消耗するとインク
流路内に充填されたインクと電気的に導通するように基
板1に設けられた第2の測定電極7と、両電極7,10
がインク流路内に充填されたインクを介して電気的に導
通しているか否かを検出するためのリーク電流測定回路
とをさらに有している。
記録ヘッド等の提供。 【解決手段】 インクジェット記録ヘッドは、インク滴
を吐出する吐出口(不図示)と、吐出口に連通されたイ
ンク流路(不図示)と、インク流路に充填されたインク
に気泡を発生させるための電気熱変換体(不図示)が備
えられた基板1とを有する。基板1において、電気熱変
換体は保護層としての耐キャビテーション層8に保護さ
れている。記録ヘッドは、インク流路内に充填されたイ
ンクと電気的に導通するように設けられた第1の測定電
極10と、耐キャビテーション層8が消耗するとインク
流路内に充填されたインクと電気的に導通するように基
板1に設けられた第2の測定電極7と、両電極7,10
がインク流路内に充填されたインクを介して電気的に導
通しているか否かを検出するためのリーク電流測定回路
とをさらに有している。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、外部から入力され
る電気的画像信号に従って気泡発生素子を駆動すること
により発生した熱エネルギーで記録液を沸騰させ、その
発泡エネルギーを用いて記録媒体にインクを飛翔させて
画像記録を行うインクジェット記録ヘッド、該インクジ
ェット記録ヘッドが搭載されたヘッドカートリッジおよ
び記録装置に関する。
る電気的画像信号に従って気泡発生素子を駆動すること
により発生した熱エネルギーで記録液を沸騰させ、その
発泡エネルギーを用いて記録媒体にインクを飛翔させて
画像記録を行うインクジェット記録ヘッド、該インクジ
ェット記録ヘッドが搭載されたヘッドカートリッジおよ
び記録装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、高精細で美しいカラーの印字物を
安価にプリントアウトすることができる、インクジェッ
ト式の記録ヘッドを有するインクジェット記録装置が注
目を集めている。インクジェット記録ヘッドに備えられ
るインク吐出エネルギー発生素子としては、ピエゾ素子
等の電気機械変換体を用いたものや、レーザー等の電磁
波を照射して液体を発熱させ、この発熱による液体の膨
張を利用して液滴を吐出口から吐出させるものや、ある
いは電気熱変換体を用いたもの等が知られている。
安価にプリントアウトすることができる、インクジェッ
ト式の記録ヘッドを有するインクジェット記録装置が注
目を集めている。インクジェット記録ヘッドに備えられ
るインク吐出エネルギー発生素子としては、ピエゾ素子
等の電気機械変換体を用いたものや、レーザー等の電磁
波を照射して液体を発熱させ、この発熱による液体の膨
張を利用して液滴を吐出口から吐出させるものや、ある
いは電気熱変換体を用いたもの等が知られている。
【0003】なかでも、電気熱変換体を吐出エネルギー
発生素子として用い、発生させた熱エネルギーによって
インク滴を吐出口から吐出させる方式のインクジェット
記録ヘッドは、以下のような利点を有する。まず第1
に、インク滴を吐出する吐出口を高密度に配列し、高解
像度のプリントを得るために都合の良い構成を容易に取
ることが可能である。第2に、その構造上、コンパクト
化が可能である。第3に、最近の半導体分野において技
術進歩および信頼性の向上が著しいIC製造技術やマイ
クロ加工技術の長所を十二分に活用して製造することが
できる。そして、これらの技術を利用することで、記録
ヘッドの長尺化、2次元化、吐出口のマルチ化、高密度
化がさらに容易となり、しかも大量生産が可能で製造コ
ストも廉価となる。
発生素子として用い、発生させた熱エネルギーによって
インク滴を吐出口から吐出させる方式のインクジェット
記録ヘッドは、以下のような利点を有する。まず第1
に、インク滴を吐出する吐出口を高密度に配列し、高解
像度のプリントを得るために都合の良い構成を容易に取
ることが可能である。第2に、その構造上、コンパクト
化が可能である。第3に、最近の半導体分野において技
術進歩および信頼性の向上が著しいIC製造技術やマイ
クロ加工技術の長所を十二分に活用して製造することが
できる。そして、これらの技術を利用することで、記録
ヘッドの長尺化、2次元化、吐出口のマルチ化、高密度
化がさらに容易となり、しかも大量生産が可能で製造コ
ストも廉価となる。
【0004】ここで、このような従来のインクジェット
記録ヘッドについて、図15〜図17を参照して説明す
る。
記録ヘッドについて、図15〜図17を参照して説明す
る。
【0005】図15は、従来のインクジェット記録ヘッ
ドの主要部を示す斜視図である。図15に示すように、
従来のインクジェット記録ヘッドは、不図示の電気熱変
換体(ヒーター)が配列されたヒータボードユニット1
018の上に、ノズル1013および天板1015が形
成されている。各々のノズル1013の一方の端部は吐
出口1011となっており、ここから記録液(インク)
が吐出される。ノズル1013の他方の端部は共通イン
ク液室1012に連通されており、この共通インク液室
1012にはインクタンク(不図示)からインク供給流
路1014を通じてインクが供給される。
ドの主要部を示す斜視図である。図15に示すように、
従来のインクジェット記録ヘッドは、不図示の電気熱変
換体(ヒーター)が配列されたヒータボードユニット1
018の上に、ノズル1013および天板1015が形
成されている。各々のノズル1013の一方の端部は吐
出口1011となっており、ここから記録液(インク)
が吐出される。ノズル1013の他方の端部は共通イン
ク液室1012に連通されており、この共通インク液室
1012にはインクタンク(不図示)からインク供給流
路1014を通じてインクが供給される。
【0006】図16は図15に示したインクジェット記
録ヘッドのヒータボードユニットを示す断面図、図17
は図16に示したヒータボードユニットの平面図であ
る。なお、図16は図17に示したヒータボードユニッ
トのD−D線における断面図である。
録ヘッドのヒータボードユニットを示す断面図、図17
は図16に示したヒータボードユニットの平面図であ
る。なお、図16は図17に示したヒータボードユニッ
トのD−D線における断面図である。
【0007】ヒーターボードユニット1018は、基板
1001の上に多数の膜を従来から公知のフォトリソ工
程を用いて成膜することで形成されている。基板100
1の上面にはその全面にわたって蓄熱層1005が形成
されており、その蓄熱層1005の上には電気熱変換体
を構成するヒーター材層1003が形成されている。ヒ
ーター材層1003の両端は配線電極層1004に接続
されている。ヒーター材層1003の上には、絶縁層1
006を介して、発泡した泡が消泡する際にヒーター材
層1003や絶縁層1006にダメージを直接与えるの
を防止する保護層としての耐キャビテーション層100
8が形成されている。
1001の上に多数の膜を従来から公知のフォトリソ工
程を用いて成膜することで形成されている。基板100
1の上面にはその全面にわたって蓄熱層1005が形成
されており、その蓄熱層1005の上には電気熱変換体
を構成するヒーター材層1003が形成されている。ヒ
ーター材層1003の両端は配線電極層1004に接続
されている。ヒーター材層1003の上には、絶縁層1
006を介して、発泡した泡が消泡する際にヒーター材
層1003や絶縁層1006にダメージを直接与えるの
を防止する保護層としての耐キャビテーション層100
8が形成されている。
【0008】通常、基板1001の材料としてはSiが
使われる場合が多いが、ガラスやセラミック、あるいは
各種金属基板を用いたものも従来から知られている。蓄
熱層1005は、基板1001とヒーター材層1003
あるいは配線電極1004との電気的絶縁を成すことの
他、ヒーター材層1003で発生した熱の多くが基板1
001に逃げるのを防止し、インクに効率的に熱が伝わ
るようにする目的で設けられている。蓄熱層1005や
絶縁層1006の材質としては、SiO2やSiN等の
絶縁物が用いられるのが一般的で、CVDやスパッタあ
るいは基板1001を熱酸化して形成した複数の種類の
材質の膜を組み合わせて使用することが多く、その膜厚
は0.5〜5μm程度の厚さにしたものが多い。ヒータ
ー材層1003の材料としては、HfB2やTaN等、
一般に単体金属よりも抵抗率の高い材料が使用されてい
る。
使われる場合が多いが、ガラスやセラミック、あるいは
各種金属基板を用いたものも従来から知られている。蓄
熱層1005は、基板1001とヒーター材層1003
あるいは配線電極1004との電気的絶縁を成すことの
他、ヒーター材層1003で発生した熱の多くが基板1
001に逃げるのを防止し、インクに効率的に熱が伝わ
るようにする目的で設けられている。蓄熱層1005や
絶縁層1006の材質としては、SiO2やSiN等の
絶縁物が用いられるのが一般的で、CVDやスパッタあ
るいは基板1001を熱酸化して形成した複数の種類の
材質の膜を組み合わせて使用することが多く、その膜厚
は0.5〜5μm程度の厚さにしたものが多い。ヒータ
ー材層1003の材料としては、HfB2やTaN等、
一般に単体金属よりも抵抗率の高い材料が使用されてい
る。
【0009】また、最上層の耐キャビテーション層10
08は、実使用時に、この層の上でインクが多数回数の
発泡,消泡を繰り返されることになる。発泡時には、耐
キャビテーション層1008は非常に高い温度でインク
にさらされるため、その化学的ダメージを最小にするに
は、耐キャビテーション層1008は化学的に強い材料
で形成されていなくてはならない。また、消泡時には、
耐キャビテーション層1008にはインクが激しくぶつ
かるキャビテーション現象が起こることが知られてい
る。そのため、キャビテーション現象によって非常に強
い機械的衝撃が耐キャビテーション層1008に加えら
れるため、耐キャビテーション層1008は化学的に強
いと同時に機械的に硬くて粘りのある材料で形成されて
いなくてはならない。
08は、実使用時に、この層の上でインクが多数回数の
発泡,消泡を繰り返されることになる。発泡時には、耐
キャビテーション層1008は非常に高い温度でインク
にさらされるため、その化学的ダメージを最小にするに
は、耐キャビテーション層1008は化学的に強い材料
で形成されていなくてはならない。また、消泡時には、
耐キャビテーション層1008にはインクが激しくぶつ
かるキャビテーション現象が起こることが知られてい
る。そのため、キャビテーション現象によって非常に強
い機械的衝撃が耐キャビテーション層1008に加えら
れるため、耐キャビテーション層1008は化学的に強
いと同時に機械的に硬くて粘りのある材料で形成されて
いなくてはならない。
【0010】この耐キャビテーション層1008には、
Ta等の硬くて粘りのある金属が適していることが知ら
れている。このような従来のインクジェット記録ヘッド
は、一般的に、耐キャビテーション層1008が化学的
および機械的なダメージを受けて摩耗・消耗し、その下
層の絶縁層1006およびヒーター材層1003が故障
・破断してインクの発泡ができなくなることで寿命とな
る。
Ta等の硬くて粘りのある金属が適していることが知ら
れている。このような従来のインクジェット記録ヘッド
は、一般的に、耐キャビテーション層1008が化学的
および機械的なダメージを受けて摩耗・消耗し、その下
層の絶縁層1006およびヒーター材層1003が故障
・破断してインクの発泡ができなくなることで寿命とな
る。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来のインクジェット記録ヘッドにおいては、耐キャ
ビテーション層が磨耗・消耗し、ヒーター材層が破断し
てインクの吐出ができなくなるまで、その寿命を知るこ
とができなかった。すなわち、記録ヘッドが完全に故障
するまで寿命がわからず、故障前に故障を予知すること
ができないといった問題点があった。そのため、画像記
録動作中に記録ヘッドが故障し、記録途中の記録媒体お
よび記録時間を無駄にしてしまうことがあった。
た従来のインクジェット記録ヘッドにおいては、耐キャ
ビテーション層が磨耗・消耗し、ヒーター材層が破断し
てインクの吐出ができなくなるまで、その寿命を知るこ
とができなかった。すなわち、記録ヘッドが完全に故障
するまで寿命がわからず、故障前に故障を予知すること
ができないといった問題点があった。そのため、画像記
録動作中に記録ヘッドが故障し、記録途中の記録媒体お
よび記録時間を無駄にしてしまうことがあった。
【0012】そこで本発明は、気泡発生素子を構成する
ヒーター材層の故障を予知することができるインクジェ
ット記録ヘッド、該インクジェット記録ヘッドが搭載さ
れたヘッドカートリッジおよび記録装置を提供すること
を目的とする。
ヒーター材層の故障を予知することができるインクジェ
ット記録ヘッド、該インクジェット記録ヘッドが搭載さ
れたヘッドカートリッジおよび記録装置を提供すること
を目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のインクジェット記録ヘッドは、インク滴を
吐出するための吐出口と、該吐出口にインクを供給する
ために前記吐出口に連通されたインク流路と、該インク
流路に充填された前記インクに気泡を発生させるための
気泡発生素子が備えられかつ該気泡発生素子を保護する
保護層が形成された基板とを有し、前記気泡を発生させ
ることにより生じる圧力によって前記吐出口から前記イ
ンク滴を吐出させるインクジェット記録ヘッドであっ
て、前記インク流路内に充填されたインクと電気的に導
通するように設けられた第1の電極と、前記保護層が消
耗すると前記インク流路内に充填されたインクと電気的
に導通するように前記基板に設けられた第2の電極と、
前記第1の電極と前記第2の電極とが前記インク流路内
に充填されたインクを介して電気的に導通しているか否
かを検出するための導通検出手段とをさらに有すること
を特徴とする。
め、本発明のインクジェット記録ヘッドは、インク滴を
吐出するための吐出口と、該吐出口にインクを供給する
ために前記吐出口に連通されたインク流路と、該インク
流路に充填された前記インクに気泡を発生させるための
気泡発生素子が備えられかつ該気泡発生素子を保護する
保護層が形成された基板とを有し、前記気泡を発生させ
ることにより生じる圧力によって前記吐出口から前記イ
ンク滴を吐出させるインクジェット記録ヘッドであっ
て、前記インク流路内に充填されたインクと電気的に導
通するように設けられた第1の電極と、前記保護層が消
耗すると前記インク流路内に充填されたインクと電気的
に導通するように前記基板に設けられた第2の電極と、
前記第1の電極と前記第2の電極とが前記インク流路内
に充填されたインクを介して電気的に導通しているか否
かを検出するための導通検出手段とをさらに有すること
を特徴とする。
【0014】上記のように構成された本発明のインクジ
ェット記録ヘッドによれば、気泡の消泡時に発生するキ
ャビテーション等により保護層が消耗し、第2の電極が
インク流路中に露出してインクと電気的に導通すると、
第1の電極と第2の電極との間にインクを介して電流が
流れうる状態となる。したがって、両電極間に電流が流
れるか否かを導通検出手段で検出することにより、保護
層に故障が発生しているかどうかを検知することが可能
になる。そのため、気泡発生素子が故障する前にその故
障を予知することが可能となるので、画像記録動作中に
記録ヘッドが故障し、記録途中の記録媒体および記録時
間を無駄にしてしまうこと等が防止される。
ェット記録ヘッドによれば、気泡の消泡時に発生するキ
ャビテーション等により保護層が消耗し、第2の電極が
インク流路中に露出してインクと電気的に導通すると、
第1の電極と第2の電極との間にインクを介して電流が
流れうる状態となる。したがって、両電極間に電流が流
れるか否かを導通検出手段で検出することにより、保護
層に故障が発生しているかどうかを検知することが可能
になる。そのため、気泡発生素子が故障する前にその故
障を予知することが可能となるので、画像記録動作中に
記録ヘッドが故障し、記録途中の記録媒体および記録時
間を無駄にしてしまうこと等が防止される。
【0015】また、前記第2の電極は、前記基板におい
て前記気泡発生素子よりも前記インク流路に近い位置に
配置されている構成とすることが好ましい。
て前記気泡発生素子よりも前記インク流路に近い位置に
配置されている構成とすることが好ましい。
【0016】さらに、前記気泡発生素子は、前記気泡が
消泡する消泡位置の近傍を避けて形成されている構成と
することにより、第2の電極がインク流路に露出してか
ら気泡発生素子が故障するまでの時間がより長くなり、
その結果より早い段階で気泡発生素子の故障の前兆を検
知することが可能となる。
消泡する消泡位置の近傍を避けて形成されている構成と
することにより、第2の電極がインク流路に露出してか
ら気泡発生素子が故障するまでの時間がより長くなり、
その結果より早い段階で気泡発生素子の故障の前兆を検
知することが可能となる。
【0017】さらに、前記基板に前記第2の電極が設け
られる代わりに、前記基板自身が前記第2の電極の機能
を有するように構成されていてもよい。これにより、基
板の構成が簡素化され、ひいては記録ヘッドの生産コス
トの低減化および生産歩留まりの向上化が図られる。
られる代わりに、前記基板自身が前記第2の電極の機能
を有するように構成されていてもよい。これにより、基
板の構成が簡素化され、ひいては記録ヘッドの生産コス
トの低減化および生産歩留まりの向上化が図られる。
【0018】本発明のヘッドカートリッジは、上記本発
明のインクジェット記録ヘッドと、該インクジェット記
録ヘッドに供給されるインクを保持するインク容器とを
有する。
明のインクジェット記録ヘッドと、該インクジェット記
録ヘッドに供給されるインクを保持するインク容器とを
有する。
【0019】本発明の記録装置は、上記本発明のインク
ジェット記録ヘッドと、該インクジェット記録ヘッドか
らインクを吐出させるための駆動信号を供給する駆動信
号供給手段とを有する。
ジェット記録ヘッドと、該インクジェット記録ヘッドか
らインクを吐出させるための駆動信号を供給する駆動信
号供給手段とを有する。
【0020】また、本発明の記録装置は、上記本発明の
インクジェット記録ヘッドと、該インクジェット記録ヘ
ッドから吐出されたインクを受ける記録媒体を搬送する
記録媒体搬送手段とを有する。
インクジェット記録ヘッドと、該インクジェット記録ヘ
ッドから吐出されたインクを受ける記録媒体を搬送する
記録媒体搬送手段とを有する。
【0021】さらに、本発明の記録装置は、前記インク
ジェット記録ヘッドからインクを吐出し、記録媒体に前
記インクを付着させることで記録を行う構成としてもよ
い。
ジェット記録ヘッドからインクを吐出し、記録媒体に前
記インクを付着させることで記録を行う構成としてもよ
い。
【0022】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施形態について
図面を参照して説明する。
図面を参照して説明する。
【0023】(第1の実施形態)図1は本発明のインク
ジェット記録ヘッドの第1の実施形態の主要部を示す斜
視図である。本実施形態のインクジェット記録ヘッド
は、気泡発生素子としての不図示の電気熱変換体(ヒー
ター)が配列されたヒータボードユニット18の上に、
インク流路を成すノズル13および天板15が形成され
ている。各々のノズル13の一方の端部は吐出口11と
なっており、ここから記録液(インク)が吐出される。
ノズル13の他方の端部は共通インク液室12に連通さ
れており、この共通インク液室12にはインクタンク
(不図示)からインク供給流路14を通じてインクが供
給される。
ジェット記録ヘッドの第1の実施形態の主要部を示す斜
視図である。本実施形態のインクジェット記録ヘッド
は、気泡発生素子としての不図示の電気熱変換体(ヒー
ター)が配列されたヒータボードユニット18の上に、
インク流路を成すノズル13および天板15が形成され
ている。各々のノズル13の一方の端部は吐出口11と
なっており、ここから記録液(インク)が吐出される。
ノズル13の他方の端部は共通インク液室12に連通さ
れており、この共通インク液室12にはインクタンク
(不図示)からインク供給流路14を通じてインクが供
給される。
【0024】図2は図1に示したインクジェット記録ヘ
ッドのヒータボードユニットを示す断面図、図3は図2
に示したヒータボードユニットの平面図である。なお、
図2は図3に示したヒータボードユニットのA−A線に
おける断面図である。
ッドのヒータボードユニットを示す断面図、図3は図2
に示したヒータボードユニットの平面図である。なお、
図2は図3に示したヒータボードユニットのA−A線に
おける断面図である。
【0025】ヒーターボードユニット18は、多数の膜
を基板1の上に従来から公知のフォトリソ工程を用いて
成膜することで形成されている。基板1は単結晶Siで
形成されており、その表面にはSi基板を熱酸化して形
成される熱酸化絶縁層2が0.75μmの厚みで形成さ
れている。さらに熱酸化絶縁層2の上には、CVDによ
って形成されたSiO2からなる蓄熱層5が、基板1の
全面にわたって2.2μmの厚みで形成されている。
を基板1の上に従来から公知のフォトリソ工程を用いて
成膜することで形成されている。基板1は単結晶Siで
形成されており、その表面にはSi基板を熱酸化して形
成される熱酸化絶縁層2が0.75μmの厚みで形成さ
れている。さらに熱酸化絶縁層2の上には、CVDによ
って形成されたSiO2からなる蓄熱層5が、基板1の
全面にわたって2.2μmの厚みで形成されている。
【0026】さらに蓄熱層5の上には、気泡発生素子で
ある電気熱変換体を構成するヒーター材層3が、0.0
6μmの厚みで形成されている。ヒーター材層3はTa
Nからなり、スパッタで成膜され、フォトリソ工程で所
望のヒーターの形状にパターニングされている。このヒ
ーター材層3の両端には、ヒーターに電圧を印加するた
めの配線電極4が形成されている。配線電極層4は、A
lをスパッタで0.5μmの厚さに成膜することにより
形成される。配線電極層4の上には、CVDで成膜され
た厚さ0.7μmのSiN膜からなる絶縁層6a、厚さ
0.1μmのTa膜からなる第2の測定電極7、および
厚さ0.8μmのSiN膜からなる絶縁層6bが順次積
層されている。
ある電気熱変換体を構成するヒーター材層3が、0.0
6μmの厚みで形成されている。ヒーター材層3はTa
Nからなり、スパッタで成膜され、フォトリソ工程で所
望のヒーターの形状にパターニングされている。このヒ
ーター材層3の両端には、ヒーターに電圧を印加するた
めの配線電極4が形成されている。配線電極層4は、A
lをスパッタで0.5μmの厚さに成膜することにより
形成される。配線電極層4の上には、CVDで成膜され
た厚さ0.7μmのSiN膜からなる絶縁層6a、厚さ
0.1μmのTa膜からなる第2の測定電極7、および
厚さ0.8μmのSiN膜からなる絶縁層6bが順次積
層されている。
【0027】さらに、少なくともヒーター材層3におけ
る電気熱変換体の上方には、絶縁層6bを介して、発泡
した泡が消泡する際にヒーター材層3等にダメージを直
接与えるのを防止する保護層としての耐キャビテーショ
ン層8が形成されている。
る電気熱変換体の上方には、絶縁層6bを介して、発泡
した泡が消泡する際にヒーター材層3等にダメージを直
接与えるのを防止する保護層としての耐キャビテーショ
ン層8が形成されている。
【0028】また、インクジェット記録ヘッドの共通イ
ンク液室12(図1参照)には、第1の測定電極10が
インク流路中に露出した状態で備えられている。これら
第1の測定電極10および第2の測定電極7は、両電極
間にインクを介して電流が流れるか否かを検出する導通
検出手段としてのリーク電流測定回路に接続されてい
る。なお、本実施形態では、ステンレス製の天板15
(図1参照)を第1の電極電極10として使用したが、
図2においては、便宜上、第1の測定電極10が耐キャ
ビテーション層8の近傍に配置されているように示され
ている。
ンク液室12(図1参照)には、第1の測定電極10が
インク流路中に露出した状態で備えられている。これら
第1の測定電極10および第2の測定電極7は、両電極
間にインクを介して電流が流れるか否かを検出する導通
検出手段としてのリーク電流測定回路に接続されてい
る。なお、本実施形態では、ステンレス製の天板15
(図1参照)を第1の電極電極10として使用したが、
図2においては、便宜上、第1の測定電極10が耐キャ
ビテーション層8の近傍に配置されているように示され
ている。
【0029】次に、本実施形態のインクジェット記録ヘ
ッドにおける耐キャビテーション層の故障の検知方法を
説明する。
ッドにおける耐キャビテーション層の故障の検知方法を
説明する。
【0030】図2に示すように、耐キャビテーション層
8が故障していない状態では、リーク電流測定回路で第
1の測定電極10と第2の測定電極7との間のリーク電
流を測定しても、そのリーク電流は検出されない。これ
は、第1の測定電極10の電位はインクの導電性により
インクには伝わるが、インクと第2の測定電極7との間
が絶縁層6bで絶縁されているので第2の測定電極7の
電位はインクに伝わらず、両電極7,10間にリーク電
流が流れないためである。
8が故障していない状態では、リーク電流測定回路で第
1の測定電極10と第2の測定電極7との間のリーク電
流を測定しても、そのリーク電流は検出されない。これ
は、第1の測定電極10の電位はインクの導電性により
インクには伝わるが、インクと第2の測定電極7との間
が絶縁層6bで絶縁されているので第2の測定電極7の
電位はインクに伝わらず、両電極7,10間にリーク電
流が流れないためである。
【0031】図4は図2に示したヒータボードユニット
の耐キャビテーション層および絶縁層に故障が発生した
状態を示す図、図5は図4に示したヒータボードユニッ
トを示す平面図である。なお、図4は図5に示したヒー
タボードユニットのB−B線における断面図である。
の耐キャビテーション層および絶縁層に故障が発生した
状態を示す図、図5は図4に示したヒータボードユニッ
トを示す平面図である。なお、図4は図5に示したヒー
タボードユニットのB−B線における断面図である。
【0032】耐キャビテーション層8の上でインクの発
泡・消泡が多数回数繰り返されると、図4および図5に
示すように、耐キャビテーション層8および絶縁層6に
故障が発生し、消耗箇所9が形成される。この状態で
は、消耗箇所9では第2の測定電極7がインク中に露出
するが、ヒーター材層3はまだ破壊されていないため、
インクの発泡を行い、インクの吐出を行うことは可能で
ある。この状態で、リーク測定回路を用いて第1の測定
電極10と第2の測定電極7との間のリーク電流を測定
すると、インクを通じて第1の測定電極10と第2の測
定電極7との間にリーク電流が流れるため、これを検出
することで、耐キャビテーション層8および絶縁層6b
に故障が発生したことを検知することができる。
泡・消泡が多数回数繰り返されると、図4および図5に
示すように、耐キャビテーション層8および絶縁層6に
故障が発生し、消耗箇所9が形成される。この状態で
は、消耗箇所9では第2の測定電極7がインク中に露出
するが、ヒーター材層3はまだ破壊されていないため、
インクの発泡を行い、インクの吐出を行うことは可能で
ある。この状態で、リーク測定回路を用いて第1の測定
電極10と第2の測定電極7との間のリーク電流を測定
すると、インクを通じて第1の測定電極10と第2の測
定電極7との間にリーク電流が流れるため、これを検出
することで、耐キャビテーション層8および絶縁層6b
に故障が発生したことを検知することができる。
【0033】なお、インクに電位がかかっている状態で
インク吐出動作を行うと、記録ヘッド内において電気化
学反応が促進され、不適切な悪影響を及ぼすような状況
が発生しやすい。そのため、このリーク電流測定回路
は、第1の測定電極10と第2の測定電極7との間に常
に電圧をかけておくような構成ではなく、リーク電流の
測定時のみパルス電圧を印加するように構成されている
方が好ましい。
インク吐出動作を行うと、記録ヘッド内において電気化
学反応が促進され、不適切な悪影響を及ぼすような状況
が発生しやすい。そのため、このリーク電流測定回路
は、第1の測定電極10と第2の測定電極7との間に常
に電圧をかけておくような構成ではなく、リーク電流の
測定時のみパルス電圧を印加するように構成されている
方が好ましい。
【0034】このように、本実施形態では、ヒーター材
層3と耐キャビテーション層8との間に第2の測定電極
7を設け、インク液室内に設けた第1の測定電極10と
の間のリーク電流を検出することで、耐キャビテーショ
ン層8および絶縁層6bの故障を検知することができ
る。そのため、気泡発生素子であるヒータが故障する前
にその故障を予知することができるので、画像記録動作
中に記録ヘッドが故障し、記録途中の記録媒体および記
録時間を無駄にしてしまうこと等を防止することができ
る。
層3と耐キャビテーション層8との間に第2の測定電極
7を設け、インク液室内に設けた第1の測定電極10と
の間のリーク電流を検出することで、耐キャビテーショ
ン層8および絶縁層6bの故障を検知することができ
る。そのため、気泡発生素子であるヒータが故障する前
にその故障を予知することができるので、画像記録動作
中に記録ヘッドが故障し、記録途中の記録媒体および記
録時間を無駄にしてしまうこと等を防止することができ
る。
【0035】なお、本実施形態では第1の電極10を共
通インク液室12に設けたが、第1の電極10は外部の
インクタンク(不図示)やインク供給流路に設けてもよ
い。また、本実施形態ではリーク電流測定回路をインク
ジェット記録ヘッドの外部に設け、第1の測定電極10
および第2の電極7を配線を用いて接続したが、リーク
電流測定回路はインクジェット記録ヘッドの中に設けて
もよい。また、配線電極層4と第2の電極層7との間の
絶縁層6aの代わりに、図6に示すように、ヒーター材
層3および配線電極層4の表面を陽極酸化させて陽極酸
化絶縁膜16を形成し、ヒーター材層3および配線電極
層4と第2の測定電極7との電気的な絶縁を図る構成を
とってもよい。
通インク液室12に設けたが、第1の電極10は外部の
インクタンク(不図示)やインク供給流路に設けてもよ
い。また、本実施形態ではリーク電流測定回路をインク
ジェット記録ヘッドの外部に設け、第1の測定電極10
および第2の電極7を配線を用いて接続したが、リーク
電流測定回路はインクジェット記録ヘッドの中に設けて
もよい。また、配線電極層4と第2の電極層7との間の
絶縁層6aの代わりに、図6に示すように、ヒーター材
層3および配線電極層4の表面を陽極酸化させて陽極酸
化絶縁膜16を形成し、ヒーター材層3および配線電極
層4と第2の測定電極7との電気的な絶縁を図る構成を
とってもよい。
【0036】(第2の実施形態)図7は本発明のインク
ジェット記録ヘッドの第2の実施形態におけるヒータボ
ードユニットを示す断面図、図8は図7に示したヒータ
ボードユニットを示す平面図である。なお、図7は図8
に示したヒータボードユニットのC−C線における断面
図である。
ジェット記録ヘッドの第2の実施形態におけるヒータボ
ードユニットを示す断面図、図8は図7に示したヒータ
ボードユニットを示す平面図である。なお、図7は図8
に示したヒータボードユニットのC−C線における断面
図である。
【0037】本実施形態のインクジェット記録ヘッドに
おけるヒータボードユニット38dは、ヒータの駆動に
よりインク中に発泡した泡が消える消泡位置37近傍の
下方において、ヒーター材層23の一部が除去されてい
る。さらに、消泡位置37近傍ではヒーター材層23の
一部が除去されていることに伴い、絶縁層26a,26
b、第2の測定電極27および耐キャビテーション層2
8の一部が凹んだ状態に形成されている。なお、本実施
形態のインクジェット記録ヘッドのその他の各構成は、
図1等に示した第1の実施形態と同様であるので、詳し
い説明は省略する。
おけるヒータボードユニット38dは、ヒータの駆動に
よりインク中に発泡した泡が消える消泡位置37近傍の
下方において、ヒーター材層23の一部が除去されてい
る。さらに、消泡位置37近傍ではヒーター材層23の
一部が除去されていることに伴い、絶縁層26a,26
b、第2の測定電極27および耐キャビテーション層2
8の一部が凹んだ状態に形成されている。なお、本実施
形態のインクジェット記録ヘッドのその他の各構成は、
図1等に示した第1の実施形態と同様であるので、詳し
い説明は省略する。
【0038】図9は図7に示したヒータボードユニット
の耐キャビテーション層および絶縁層に故障が発生した
状態を示す図、図10は図9に示したヒータボードユニ
ットを示す平面図である。なお、図9は図10に示した
ヒータボードユニットのB−B線における断面図であ
る。
の耐キャビテーション層および絶縁層に故障が発生した
状態を示す図、図10は図9に示したヒータボードユニ
ットを示す平面図である。なお、図9は図10に示した
ヒータボードユニットのB−B線における断面図であ
る。
【0039】消泡位置37の近傍は、キャビテーション
による耐キャビテーション層28への機械的ダメージが
最も強いため、最初に故障が発生するする場合が多い。
しかしながら、本実施形態によれば、図9および図10
に示すように、消泡位置37の近傍で耐キャビテーショ
ン層28および絶縁層26bが故障して消耗箇所29が
形成され、第2の測定電極27がインク中に露出した後
に、さらに下層の第2の側定電極27および絶縁層26
aに消耗が進んだ場合であっても、消泡位置37の直下
にはヒーター材層23が形成されていないため、第2の
測定電極27がインクに露出してからヒーターが破断さ
れるまでの時間をより長くすることができる。換言すれ
ば、本実施形態は第1の実施形態に比べて、より早い段
階でヒーター断線故障の前兆を検知することが可能とな
る。
による耐キャビテーション層28への機械的ダメージが
最も強いため、最初に故障が発生するする場合が多い。
しかしながら、本実施形態によれば、図9および図10
に示すように、消泡位置37の近傍で耐キャビテーショ
ン層28および絶縁層26bが故障して消耗箇所29が
形成され、第2の測定電極27がインク中に露出した後
に、さらに下層の第2の側定電極27および絶縁層26
aに消耗が進んだ場合であっても、消泡位置37の直下
にはヒーター材層23が形成されていないため、第2の
測定電極27がインクに露出してからヒーターが破断さ
れるまでの時間をより長くすることができる。換言すれ
ば、本実施形態は第1の実施形態に比べて、より早い段
階でヒーター断線故障の前兆を検知することが可能とな
る。
【0040】なお、第2の測定電極27が設けられるの
は耐キャビテーション層28とヒーター材層23との間
に限られず、例えば図11に示すように、第2の測定電
極27’をヒーター材層23と基板21との間に設けて
もよい。このように、第2の測定電極27’が基板21
において気泡発生素子を構成するヒーター材層23より
もインク流路に近い位置に配置されるように構成された
インクジェット記録ヘッドにおいても、上記と同様の作
用および効果を得ることができる。
は耐キャビテーション層28とヒーター材層23との間
に限られず、例えば図11に示すように、第2の測定電
極27’をヒーター材層23と基板21との間に設けて
もよい。このように、第2の測定電極27’が基板21
において気泡発生素子を構成するヒーター材層23より
もインク流路に近い位置に配置されるように構成された
インクジェット記録ヘッドにおいても、上記と同様の作
用および効果を得ることができる。
【0041】(第3の実施形態)図12は、本発明のイ
ンクジェット記録ヘッドの第3の実施形態におけるヒー
タボードユニットを示す断面図である。
ンクジェット記録ヘッドの第3の実施形態におけるヒー
タボードユニットを示す断面図である。
【0042】本実施形態のインクジェット記録ヘッドに
おけるヒータボードユニット58は、基板41が導電性
部材で形成され、基板41が第2の測定電極の機能を兼
ねるように構成されている。それに伴い、本実施形態の
ヒータボードユニット58では、図7に示したヒータボ
ードユニット38における絶縁層26aおよび第2の測
定電極27に相当する構成が省略されている。なお、本
実施形態のインクジェット記録ヘッドのその他の各構成
は、図7等に示した第2の実施形態と同様であるので、
詳しい説明は省略する。
おけるヒータボードユニット58は、基板41が導電性
部材で形成され、基板41が第2の測定電極の機能を兼
ねるように構成されている。それに伴い、本実施形態の
ヒータボードユニット58では、図7に示したヒータボ
ードユニット38における絶縁層26aおよび第2の測
定電極27に相当する構成が省略されている。なお、本
実施形態のインクジェット記録ヘッドのその他の各構成
は、図7等に示した第2の実施形態と同様であるので、
詳しい説明は省略する。
【0043】基板41の材料としては、Al、SUS、
Ni等の金属材料全般を使用することができるが、本実
施形態ではAlが用いられている。本実施形態の構成に
よれば、第2の測定電極等を成膜およびパターニングす
る必要がないため、第1および第2の実施形態に比べて
ヒータボードユニットの膜構成を単純にすることができ
るので、記録ヘッドの生産コストを下げ、生産歩留まり
を向上させることができる。
Ni等の金属材料全般を使用することができるが、本実
施形態ではAlが用いられている。本実施形態の構成に
よれば、第2の測定電極等を成膜およびパターニングす
る必要がないため、第1および第2の実施形態に比べて
ヒータボードユニットの膜構成を単純にすることができ
るので、記録ヘッドの生産コストを下げ、生産歩留まり
を向上させることができる。
【0044】[インクジェット記録ヘッドカートリッ
ジ]次に、上記説明したインクジェット記録ヘッドが搭
載されたヘッドカートリッジを、図13を参照して概略
説明する。図13は、前述したインクジェット記録ヘッ
ドが搭載されたヘッドカートリッジを示す斜視図であ
る。
ジ]次に、上記説明したインクジェット記録ヘッドが搭
載されたヘッドカートリッジを、図13を参照して概略
説明する。図13は、前述したインクジェット記録ヘッ
ドが搭載されたヘッドカートリッジを示す斜視図であ
る。
【0045】本実施形態のインクジェット記録ヘッドカ
ートリッジ71は、前述したインクジェット記録ヘッド
72と、インクジェット記録ヘッド72に供給されるイ
ンク等の液体を収容するインク容器73とを有してい
る。インク容器73に収容された液体は、インク供給流
路14(図1参照)を通ってインクジェット記録ヘッド
72の共通インク液室12(図1参照)に供給される。
ートリッジ71は、前述したインクジェット記録ヘッド
72と、インクジェット記録ヘッド72に供給されるイ
ンク等の液体を収容するインク容器73とを有してい
る。インク容器73に収容された液体は、インク供給流
路14(図1参照)を通ってインクジェット記録ヘッド
72の共通インク液室12(図1参照)に供給される。
【0046】なお、このインク容器73は、インクの消
費後に液体を再充填して使用してもよい。このために
は、インク容器73にインク注入口を設けておくことが
望ましい。また、インクジェット記録ヘッド72とイン
ク容器73とは一体であってもよく、あるいは分離可能
としてもよい。
費後に液体を再充填して使用してもよい。このために
は、インク容器73にインク注入口を設けておくことが
望ましい。また、インクジェット記録ヘッド72とイン
ク容器73とは一体であってもよく、あるいは分離可能
としてもよい。
【0047】[記録装置]次に、上記説明したインクジ
ェット記録ヘッドが搭載された記録装置を、図14を参
照して説明する。図14は、前述のインクジェット記録
ヘッドが搭載された記録装置の概略構成を示す斜視図で
ある。
ェット記録ヘッドが搭載された記録装置を、図14を参
照して説明する。図14は、前述のインクジェット記録
ヘッドが搭載された記録装置の概略構成を示す斜視図で
ある。
【0048】本実施形態の記録装置81は、図13を参
照して説明したインクジェット記録ヘッドカートリッジ
71が、駆動モータ82の正逆回転に連動して駆動力伝
達ギア83,84を介して回転するリードスクリュー8
5の螺旋溝86に対して係合されたキャリッジ87上に
搭載されている。インクジェット記録ヘッドカートリッ
ジ71は、駆動モータ82の動力によってキャリッジ8
7とともにガイド88に沿って矢印aおよびb方向に往
復移動される。図示しない記録媒体供給装置によってプ
ラテン89上を搬送される記録媒体Pを押さえる紙押さ
え板90は、キャリッジ87の全移動領域に渡って記録
媒体Pをプラテン89に対して押圧する。
照して説明したインクジェット記録ヘッドカートリッジ
71が、駆動モータ82の正逆回転に連動して駆動力伝
達ギア83,84を介して回転するリードスクリュー8
5の螺旋溝86に対して係合されたキャリッジ87上に
搭載されている。インクジェット記録ヘッドカートリッ
ジ71は、駆動モータ82の動力によってキャリッジ8
7とともにガイド88に沿って矢印aおよびb方向に往
復移動される。図示しない記録媒体供給装置によってプ
ラテン89上を搬送される記録媒体Pを押さえる紙押さ
え板90は、キャリッジ87の全移動領域に渡って記録
媒体Pをプラテン89に対して押圧する。
【0049】リードスクリュー85の一端の近傍には、
フォトカプラ91,92が配設されている。これらはキ
ャリッジ87のレバー87aのこの域での存在を確認し
て駆動モータ82の回転方向切り換え等を行うためのホ
ームポジション検知手段である。図14において、符号
93は、インクジェット記録ヘッドカートリッジ71の
インクジェット記録ヘッドのうち、吐出口が設けられて
いる前面を覆うキャップ部材94を支持する支持部材で
ある。また、符号95は、インクジェット記録ヘッドか
ら空吐出等されてキャップ部材94の内部に溜まったイ
ンクを吸引するインク吸引手段である。このインク吸引
手段95により、キャップ内の開口部(不図示)を介し
てインクジェット記録ヘッドの吸引回復が行われる。
フォトカプラ91,92が配設されている。これらはキ
ャリッジ87のレバー87aのこの域での存在を確認し
て駆動モータ82の回転方向切り換え等を行うためのホ
ームポジション検知手段である。図14において、符号
93は、インクジェット記録ヘッドカートリッジ71の
インクジェット記録ヘッドのうち、吐出口が設けられて
いる前面を覆うキャップ部材94を支持する支持部材で
ある。また、符号95は、インクジェット記録ヘッドか
ら空吐出等されてキャップ部材94の内部に溜まったイ
ンクを吸引するインク吸引手段である。このインク吸引
手段95により、キャップ内の開口部(不図示)を介し
てインクジェット記録ヘッドの吸引回復が行われる。
【0050】符号96はクリーニングブレードであり、
符号97はクリーニングブレード96を前後方向(上記
キャリッジ87の移動方向に直交する方向)に移動可能
にする移動部材であり、クリーニングブレード96およ
び移動部材97は本体支持体98に支持されている。上
記のクリーニングブレード96はこの形態に限らず、他
の周知のクリーニングブレードであってもよい。符号9
9は吸引回復操作にあたって吸引を開始するためのレバ
ーであり、キャリッジ87と係合するカム100の移動
に伴って移動し、駆動モータ82からの駆動力がクラッ
チ切り換え等の公知の伝達手段で移動制御される。記録
装置81には、インクジェット記録ヘッドに設けられた
電気熱変換体(不図示)にインクを吐出させるための駆
動信号を付与したり、前述した各機構の駆動制御を司っ
たりする記録信号供給手段としての記録制御部(不図
示)が、装置本体内に設けられている。
符号97はクリーニングブレード96を前後方向(上記
キャリッジ87の移動方向に直交する方向)に移動可能
にする移動部材であり、クリーニングブレード96およ
び移動部材97は本体支持体98に支持されている。上
記のクリーニングブレード96はこの形態に限らず、他
の周知のクリーニングブレードであってもよい。符号9
9は吸引回復操作にあたって吸引を開始するためのレバ
ーであり、キャリッジ87と係合するカム100の移動
に伴って移動し、駆動モータ82からの駆動力がクラッ
チ切り換え等の公知の伝達手段で移動制御される。記録
装置81には、インクジェット記録ヘッドに設けられた
電気熱変換体(不図示)にインクを吐出させるための駆
動信号を付与したり、前述した各機構の駆動制御を司っ
たりする記録信号供給手段としての記録制御部(不図
示)が、装置本体内に設けられている。
【0051】記録装置81では、図示しない記録媒体搬
送装置によりプラテン89上を搬送される記録媒体Pに
対し、インクジェット記録ヘッドは記録媒体Pの全幅に
わたって往復移動しながら液体を吐出し、記録媒体Pに
その吐出されたインクを付着させることで記録媒体Pに
記録を行う。
送装置によりプラテン89上を搬送される記録媒体Pに
対し、インクジェット記録ヘッドは記録媒体Pの全幅に
わたって往復移動しながら液体を吐出し、記録媒体Pに
その吐出されたインクを付着させることで記録媒体Pに
記録を行う。
【0052】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、インク
流路内に充填されたインクと電気的に導通するように設
けられた第1の電極と、気泡発生素子を保護する保護層
が消耗するとインク流路内に充填されたインクと電気的
に導通するように基板に設けられた第2の電極と、第1
の電極と第2の電極とがインク流路内に充填されたイン
クを介して電気的に導通しているか否かを検出するため
の導通検出手段とを有するので、両電極間に電流が流れ
るか否かを導通検出手段で検出することにより保護層に
故障が発生しているかどうかを検知し、気泡発生素子が
故障する前にその故障を予知することができる。そのた
め、画像記録動作中に記録ヘッドが故障し、記録途中の
記録媒体および記録時間を無駄にしてしまうこと等を防
止することができる。
流路内に充填されたインクと電気的に導通するように設
けられた第1の電極と、気泡発生素子を保護する保護層
が消耗するとインク流路内に充填されたインクと電気的
に導通するように基板に設けられた第2の電極と、第1
の電極と第2の電極とがインク流路内に充填されたイン
クを介して電気的に導通しているか否かを検出するため
の導通検出手段とを有するので、両電極間に電流が流れ
るか否かを導通検出手段で検出することにより保護層に
故障が発生しているかどうかを検知し、気泡発生素子が
故障する前にその故障を予知することができる。そのた
め、画像記録動作中に記録ヘッドが故障し、記録途中の
記録媒体および記録時間を無駄にしてしまうこと等を防
止することができる。
【図1】本発明のインクジェット記録ヘッドの第1の実
施形態の主要部を示す斜視図である。
施形態の主要部を示す斜視図である。
【図2】図1に示したインクジェット記録ヘッドのヒー
タボードユニットを示す断面図である。
タボードユニットを示す断面図である。
【図3】図2に示したヒータボードユニットの平面図で
ある。
ある。
【図4】図2に示したヒータボードユニットの耐キャビ
テーション層および絶縁層に故障が発生した状態を示す
図である。
テーション層および絶縁層に故障が発生した状態を示す
図である。
【図5】図4に示したヒータボードユニットを示す平面
図である。
図である。
【図6】図2等に示したヒータボードユニットの変形例
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図7】図7は本発明のインクジェット記録ヘッドの第
2の実施形態におけるヒータボードユニットを示す断面
図である。
2の実施形態におけるヒータボードユニットを示す断面
図である。
【図8】図7に示したヒータボードユニットを示す平面
図である。
図である。
【図9】図7に示したヒータボードユニットの耐キャビ
テーション層および絶縁層に故障が発生した状態を示す
図である。
テーション層および絶縁層に故障が発生した状態を示す
図である。
【図10】図9に示したヒータボードユニットを示す平
面図である。
面図である。
【図11】図7等に示したヒータボードユニットの変形
例を示す断面図である。
例を示す断面図である。
【図12】本発明のインクジェット記録ヘッドの第3の
実施形態におけるヒータボードユニットを示す断面図で
ある。
実施形態におけるヒータボードユニットを示す断面図で
ある。
【図13】本発明のインクジェット記録ヘッドが搭載さ
れたヘッドカートリッジを示す斜視図である。
れたヘッドカートリッジを示す斜視図である。
【図14】本発明のインクジェット記録ヘッドが搭載さ
れた記録装置の概略構成を示す斜視図である。
れた記録装置の概略構成を示す斜視図である。
【図15】従来のインクジェット記録ヘッドの主要部を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図16】図15に示したインクジェット記録ヘッドの
ヒータボードユニットを示す断面図である。
ヒータボードユニットを示す断面図である。
【図17】図16に示したヒータボードユニットの平面
図である。
図である。
1,21,41 基板 2,22 熱酸化絶縁層 3,23,43 ヒーター材層 4,24,44 配線電極層 5,25,45 蓄熱層 6a,6b,26a,26b,46 絶縁層 7,27 第2の測定電極 8,28,48 耐キャビテーション層 9,29 消耗箇所 10,30,50 第1の測定電極 11 吐出口 12 共通インク液室 13 ノズル 14 インク供給流路 15 天板 16 陽極酸化絶縁膜 18,38,58 ヒータボードユニット 37 消泡位置 71 インクジェット記録ヘッドカートリッジ 72 インクジェット記録ヘッド 73 インク容器 81 記録装置 82 駆動モータ 83,84 駆動伝達ギア 85 リードスクリュー 86 螺旋溝 87 キャリッジ 87a,99 レバー 88 ガイド 89 プラテン 90 紙押さえ板 91,92 フォトカプラ 93 支持部材 94 キャップ部材 95 インク吸引手段 96 クリーニングブレード 97 移動部材 98 本体支持体 100 カム P 記録媒体
Claims (8)
- 【請求項1】 インク滴を吐出するための吐出口と、該
吐出口にインクを供給するために前記吐出口に連通され
たインク流路と、該インク流路に充填された前記インク
に気泡を発生させるための気泡発生素子が備えられかつ
該気泡発生素子を保護する保護層が形成された基板とを
有し、前記気泡を発生させることにより生じる圧力によ
って前記吐出口から前記インク滴を吐出させるインクジ
ェット記録ヘッドであって、 前記インク流路内に充填されたインクと電気的に導通す
るように設けられた第1の電極と、前記保護層が消耗す
ると前記インク流路内に充填されたインクと電気的に導
通するように前記基板に設けられた第2の電極と、前記
第1の電極と前記第2の電極とが前記インク流路内に充
填されたインクを介して電気的に導通しているか否かを
検出するための導通検出手段とをさらに有することを特
徴とするインクジェット記録ヘッド。 - 【請求項2】 前記第2の電極は、前記基板において前
記気泡発生素子よりも前記インク流路に近い位置に配置
されている請求項1に記載のインクジェット記録ヘッ
ド。 - 【請求項3】 前記気泡発生素子は、前記気泡が消泡す
る消泡位置の近傍を避けて形成されている請求項1また
は2に記載のインクジェット記録ヘッド。 - 【請求項4】 前記基板に前記第2の電極が設けられる
代わりに、前記基板自身が前記第2の電極の機能を有す
るように構成されている請求項1から3のいずれか1項
に記載のインクジェット記録ヘッド。 - 【請求項5】 請求項1から4のいずれか1項に記載の
インクジェット記録ヘッドと、該インクジェット記録ヘ
ッドに供給されるインクを保持するインク容器とを有す
るヘッドカートリッジ。 - 【請求項6】 請求項1から4のいずれか1項に記載の
インクジェット記録ヘッドと、該インクジェット記録ヘ
ッドからインクを吐出させるための駆動信号を供給する
駆動信号供給手段とを有する記録装置。 - 【請求項7】 請求項1から4のいずれか1項に記載の
インクジェット記録ヘッドと、該インクジェット記録ヘ
ッドから吐出されたインクを受ける記録媒体を搬送する
記録媒体搬送手段とを有する記録装置。 - 【請求項8】 前記インクジェット記録ヘッドからイン
クを吐出し、記録媒体に前記インクを付着させることで
記録を行う請求項6または7に記載の記録装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9305199A JP2000280477A (ja) | 1999-03-31 | 1999-03-31 | インクジェット記録ヘッド、該インクジェット記録ヘッドが搭載されたヘッドカートリッジおよび記録装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9305199A JP2000280477A (ja) | 1999-03-31 | 1999-03-31 | インクジェット記録ヘッド、該インクジェット記録ヘッドが搭載されたヘッドカートリッジおよび記録装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000280477A true JP2000280477A (ja) | 2000-10-10 |
Family
ID=14071721
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9305199A Pending JP2000280477A (ja) | 1999-03-31 | 1999-03-31 | インクジェット記録ヘッド、該インクジェット記録ヘッドが搭載されたヘッドカートリッジおよび記録装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000280477A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006088446A (ja) * | 2004-09-22 | 2006-04-06 | Fuji Xerox Co Ltd | 液体吐出ヘッドの検査方法及びプリンタ装置 |
JP2008195047A (ja) * | 2007-01-16 | 2008-08-28 | Brother Ind Ltd | 液体吐出装置およびその検査方法 |
JP2010069618A (ja) * | 2008-09-16 | 2010-04-02 | Brother Ind Ltd | 液体吐出ヘッド及び圧電アクチュエータ |
JP2010143139A (ja) * | 2008-12-19 | 2010-07-01 | Canon Inc | 液体吐出ヘッド用基板、液体吐出ヘッド及び液体吐出装置 |
JP2012000921A (ja) * | 2010-06-18 | 2012-01-05 | Canon Inc | 液体吐出ヘッド用基板および液体吐出ヘッド |
US20150070433A1 (en) * | 2013-09-10 | 2015-03-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid ejection apparatus and liquid ejection head |
US9527281B2 (en) | 2013-09-10 | 2016-12-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid ejection head and liquid ejection apparatus |
JP2018001748A (ja) * | 2016-06-23 | 2018-01-11 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド用基板、液体吐出ヘッド及び液体吐出装置 |
-
1999
- 1999-03-31 JP JP9305199A patent/JP2000280477A/ja active Pending
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006088446A (ja) * | 2004-09-22 | 2006-04-06 | Fuji Xerox Co Ltd | 液体吐出ヘッドの検査方法及びプリンタ装置 |
JP4609018B2 (ja) * | 2004-09-22 | 2011-01-12 | 富士ゼロックス株式会社 | 液体吐出ヘッドの検査方法及びプリンタ装置 |
JP2008195047A (ja) * | 2007-01-16 | 2008-08-28 | Brother Ind Ltd | 液体吐出装置およびその検査方法 |
JP2010069618A (ja) * | 2008-09-16 | 2010-04-02 | Brother Ind Ltd | 液体吐出ヘッド及び圧電アクチュエータ |
JP2010143139A (ja) * | 2008-12-19 | 2010-07-01 | Canon Inc | 液体吐出ヘッド用基板、液体吐出ヘッド及び液体吐出装置 |
JP2012000921A (ja) * | 2010-06-18 | 2012-01-05 | Canon Inc | 液体吐出ヘッド用基板および液体吐出ヘッド |
US20150070433A1 (en) * | 2013-09-10 | 2015-03-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid ejection apparatus and liquid ejection head |
US9259926B2 (en) | 2013-09-10 | 2016-02-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid ejection apparatus and liquid ejection head |
US9527281B2 (en) | 2013-09-10 | 2016-12-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid ejection head and liquid ejection apparatus |
JP2018001748A (ja) * | 2016-06-23 | 2018-01-11 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド用基板、液体吐出ヘッド及び液体吐出装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7950769B2 (en) | Circuit board for ink jet head, ink jet head having the same, method for cleaning the head and ink jet printing apparatus using the head | |
KR100335589B1 (ko) | 잉크 제트 헤드용 기판, 잉크 제트 헤드, 잉크 제트카트리지 및 잉크 제트 기록 장치 | |
JP2000280477A (ja) | インクジェット記録ヘッド、該インクジェット記録ヘッドが搭載されたヘッドカートリッジおよび記録装置 | |
US6357862B1 (en) | Substrate for ink jet recording head, ink jet recording head and method of manufacture therefor | |
US6799833B2 (en) | Ink jet recording head and ink jet recording apparatus | |
JP3710364B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
JP4687183B2 (ja) | 液滴吐出ヘッドの製造方法 | |
KR20050067035A (ko) | 잉크 제트 헤드, 잉크 제트 헤드의 구동 방법, 및 잉크제트 기록 장치 | |
JP2007230127A (ja) | インクジェット記録ヘッド用基体の製造方法 | |
JPH1034971A (ja) | インクジェット記録装置の液室内インク有無検出機構および同機構を搭載するインクジェット記録装置 | |
JPH1158743A (ja) | 液体吐出ヘッド及びその製造方法 | |
JP3970016B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置 | |
JP2001341309A (ja) | サーマルインクジェットヘッド | |
JP3871047B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP3658221B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド、該ヘッド用基板及び該基板の製造方法 | |
KR20050067041A (ko) | 잉크젯 헤드, 이를 구동하는 방법 및 잉크젯 기록 장치 | |
JP4497869B2 (ja) | 回路基板の製造方法 | |
EP0825027B1 (en) | An ink jet head substrate, a method for manufacturing the substrate, an ink jet recording head having the substrate, and a method for manufacturing the head | |
JPH064326B2 (ja) | 液体噴射記録ヘツド | |
US10981381B2 (en) | Liquid discharge head substrate, liquid discharge head, and liquid discharge apparatus | |
KR20020048115A (ko) | 잉크젯 프린트헤드 | |
JP2019005935A (ja) | 液体吐出ヘッド用基板、液体吐出ヘッド、および液体吐出ヘッド用基板の製造方法 | |
JP2005205891A (ja) | インクジェットヘッド用の基体、インクジェットヘッド、該インクジェットヘッドの駆動方法およびインクジェット記録装置 | |
JP2005305967A (ja) | 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置 | |
JP3542369B2 (ja) | 薄膜抵抗素子を有する基板の製造方法、インクジェットヘッド及びインクジェット装置 |