JP6704323B2 - 液体吐出ヘッド、および記録装置 - Google Patents

Description

本開示は、液体吐出ヘッド、および記録装置に関する。

従来、印刷用ヘッドとして、例えば、液体を記録媒体上に吐出することによって、各種の印刷を行なう液体吐出ヘッドが知られている。液体吐出ヘッドは、例えば、流路部材と、圧電アクチュエータ基板とを備えている。流路部材は、例えば、複数の吐出孔、および複数の吐出孔にそれぞれ接続され、複数の吐出孔が外部へ開口する方向とは逆側に開口する複数の加圧室を備えている。圧電アクチュエータ基板は、複数の加圧室の開口を塞ぐように流路部材に重ねられ、複数の加圧室に個別に圧力を付与する。これにより、液体が吐出孔から吐出される。圧電アクチュエータ基板は、例えば、複数の加圧室に亘る広さを有する圧電体層と、圧電体層の流路部材側に重なり、複数の加圧室に亘る広さを有する共通電極と、圧電体層の流路部材とは反対側に重なり、複数の加圧室それぞれに対応して設けられた複数の個別電極とを備えている。複数の個別電極は、平面透視において、加圧室に重なる個別電極本体と、個別電極本体から引き出され、加圧室の外側に位置する引出電極とを備えている。特許文献１では、流路部材のうち平面透視において引出電極と重なる位置に、加圧室から分離された空隙部を設けている。

特開２０１４−２３１１８３号公報

本開示の一態様に係る液体吐出ヘッドは、流路部材と、圧電アクチュエータ基板とを備えている。前記流路部材は、吐出側へ開口している複数の吐出孔、および前記吐出側とは反対側へ開口している複数の加圧室開口をそれぞれ有しており、複数の前記吐出孔にそれぞれ接続されている複数の加圧室を備えている。前記圧電アクチュエータ基板は、前記流路部材の前記吐出側とは反対側に重なっており、複数の前記加圧室開口を塞いでいる。また、前記圧電アクチュエータ基板は、複数の前記加圧室開口に亘る広さを有している圧電体層と、前記圧電体層に対して前記流路部材側に重なっており、複数の前記加圧室開口に亘る広さを有している共通電極と、前記圧電体層に対して前記流路部材とは反対側に重なっており、平面透視において複数の前記加圧室開口にそれぞれ重なっている複数の個別電極とを備えている。前記個別電極は、平面透視において、前記加圧室開口に重なっている個別電極本体と、前記個別電極本体と接続されており、前記加圧室開口の外に位置している引出電極と、を備えている。前記流路部材は、前記圧電アクチュエータ基板側に開口し、平面透視において前記加圧室開口から突出して前記引出電極と重なっている拡張室開口を有している拡張室をさらに備えている。

本開示の一態様に係る記録装置は、上記の液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドを制御する制御部と、を備えている。

（ａ）は第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドを含む記録装置を概略的に示す側面図、（ｂ）は第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドを含む記録装置を概略的に示す平面図である。 第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドの分解斜視図である。 （ａ）は図２の液体吐出ヘッドの斜視図、（ｂ）は図２の液体吐出ヘッドの断面図である。 （ａ）はヘッド本体の分解斜視図、（ｂ）は第２流路部材の下面から見た斜視図である。 （ａ）は第２流路部材の一部を透過して見たヘッド本体の平面図、（ｂ）は第２流路部材を透過して見たヘッド本体の平面図である。 図５の一部を拡大して示す平面図である。 （ａ）は吐出ユニットの斜視図、（ｂ）は吐出ユニットの平面図、（ｃ）は吐出ユニット上の電極を示す平面図である。 （ａ）は図７（ｂ）のＶＩＩＩａ−ＶＩＩＩａ線断面図、（ｂ）は図７（ｂ）のＶＩＩＩｂ−ＶＩＩＩｂ線断面図である。 液体吐出ユニットの内部の流体の流れを示す概念図である。 図７（ｃ）のＸ−Ｘ線断面図である。

以下、本開示の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下の説明で用いられる図は模式的なものであり、図面上の寸法比率等は現実のものとは必ずしも一致していない。同一の部材を示す複数の図面同士においても、形状等を誇張するために、寸法比率等は互いに一致していないことがある。

＜第１の実施形態＞
（プリンタの全体構成）
図１を用いて、第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド２を含むカラーインクジェットプリンタ１（以下、プリンタ１と称する）について説明する。

プリンタ１は、記録媒体Ｐを搬送ローラ７４ａから搬送ローラ７４ｂへと搬送することにより、記録媒体Ｐを液体吐出ヘッド２に対して相対的に移動させる。制御部７６は、画像や文字のデータに基づいて、液体吐出ヘッド２を制御して、記録媒体Ｐに向けて液体を吐出させ、記録媒体Ｐに液滴を着弾させて、記録媒体Ｐに印刷を行なう。

本実施形態では、液体吐出ヘッド２はプリンタ１に対して固定されており、プリンタ１はいわゆるラインプリンタとなっている。記録装置の他の実施形態としては、いわゆるシリアルプリンタが挙げられる。

プリンタ１には、記録媒体Ｐとほぼ平行になるように平板状のヘッド搭載フレーム７０が固定されている。ヘッド搭載フレーム７０には２０個の孔（不図示）が設けられており、２０個の液体吐出ヘッド２がそれぞれの孔に搭載されている。５つの液体吐出ヘッド２は、１つのヘッド群７２を構成しており、プリンタ１は、４つのヘッド群７２を有している。

液体吐出ヘッド２は、図１（ｂ）に示すように細長い長尺形状をなしている。１つのヘッド群７２内において、３つの液体吐出ヘッド２は、記録媒体Ｐの搬送方向に交差する方向に沿って並んでおり、他の２つの液体吐出ヘッド２は搬送方向に沿ってずれた位置で、３つの液体吐出ヘッド２の間にそれぞれ一つずつ並んでいる。隣り合う液体吐出ヘッド２は、各液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲が、記録媒体Ｐの幅方向に繋がるように、あるいは端が重複するように配置されており、記録媒体Ｐの幅方向に隙間のない印刷が可能になっている。

４つのヘッド群７２は、記録媒体Ｐの搬送方向に沿って配置されている。各液体吐出ヘッド２には、図示しない液体タンクからインクが供給される。１つのヘッド群７２に属する液体吐出ヘッド２には、同じ色のインクが供給されるようになっており、４つのヘッド群で４色のインクを印刷している。各ヘッド群７２から吐出されるインクの色は、例えば、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）およびブラック（Ｋ）である。

なお、プリンタ１に搭載される液体吐出ヘッド２の個数は、単色で、１つの液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲を印刷するのなら１つでもよい。ヘッド群７２に含まれる液体吐出ヘッド２の個数、あるいはヘッド群７２の個数は、印刷する対象や印刷条件により適宜変更できる。例えば、さらに多色の印刷をするためにヘッド群７２の個数を増やしてもよい。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数配置して、搬送方向に交互に印刷することで、印刷速度、すなわち搬送速度を速くすることができる。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数準備して、搬送方向と交差する方向にずらして配置して、記録媒体Ｐの幅方向の解像度を高くしてもよい。

さらに、色の付いたインクを印刷する以外に、記録媒体Ｐの表面処理をするために、コーティング剤などの液体を印刷してもよい。

プリンタ１は、記録媒体Ｐに印刷を行なう。記録媒体Ｐは、搬送ローラ７４ａに巻き取られた状態になっており、２つの搬送ローラ７４ｃの間を通った後、ヘッド搭載フレーム７０に搭載されている液体吐出ヘッド２の下側を通る。その後２つの搬送ローラ７４ｄの間を通り、最終的に搬送ローラ７４ｂに回収される。

記録媒体Ｐとしては、印刷用紙以外に、布などでもよい。また、プリンタ１を、記録媒体Ｐの代わりに搬送ベルトを搬送する形態にし、記録媒体は、ロール状のもの以外に、搬送ベルト上に置かれた、枚葉紙、裁断された布、木材、あるいはタイルなどであってもよい。さらに、液体吐出ヘッド２から導電性の粒子を含む液体を吐出するようにして、電子機器の配線パターンなどを印刷してもよい。またさらに、液体吐出ヘッド２から反応容器などに向けて所定量の液体の化学薬剤や、化学薬剤を含んだ液体を吐出させて、反応させるなどして、化学薬品を作製してもよい。

また、プリンタ１に、位置センサ、速度センサ、温度センサなどを取り付け、制御部７６が、各センサからの情報から分かるプリンタ１各部の状態に応じて、プリンタ１の各部を制御してもよい。特に、液体吐出ヘッド２から吐出される液体の吐出特性（吐出量や吐出速度など）が外部の影響を受けるようであれば、液体吐出ヘッド２の温度や液体タンクの液体の温度、液体タンクの液体が液体吐出ヘッド２に加えている圧力に応じて、液体吐出ヘッド２において液体を吐出させる駆動信号を変えるようにしてもよい。

（液体吐出ヘッドの全体構成）
次に、図２〜１０を用いて第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド２について説明する。なお、図５，６では図面を分かりやすくするために、他の部材の下方にあって破線で描くべき流路などを実線で描いている。また、図５（ａ）では、第２流路部材６の一部を透過して示しており、図５（ｂ）では、第２流路部材６の全部を透過して示している。また、図９においては、従来の液体の流れを破線で示し、吐出ユニット１５の液体の流れを実線で示し、第２個別流路１４から供給された液体の流れを長破線で示している。

なお、図面には、第１方向Ｄ１、第２方向Ｄ２、第３方向Ｄ３、第４方向Ｄ４、第５方向Ｄ５、および第６方向Ｄ６を図示している。第１方向Ｄ１は、第１共通流路２０および第２共通流路２４の延びる方向の一方側であり、第４方向Ｄ４は、第１共通流路２０および第２共通流路２４の延びる方向の他方側である。第２方向Ｄ２は、第１統合流路２２および第２統合流路２６の延びる方向の一方側であり、第５方向Ｄ５は、第１統合流路２２および第２統合流路２６の延びる方向の他方側である。第３方向Ｄ３は、第１統合流路２２および第２統合流路２６の延びる方向に直交する方向の一方側であり、第６方向Ｄ６は、第１統合流路２２および第２統合流路２６の延びる方向に直交する方向の他方側である。

図２，３に示すように、液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体２ａと、筐体５０と、放熱板５２と、配線基板５４と、押圧部材５６と、弾性部材５８と、信号伝達部６０と、ドライバＩＣ６２とを備えている。なお、液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体２ａを備えていればよく、筐体５０、放熱板５２、配線基板５４、押圧部材５６、弾性部材５８、信号伝達部６０、およびドライバＩＣ６２は必ずしも備えていなくてもよい。

液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体２ａから信号伝達部６０が引き出されており、信号伝達部６０は、配線基板５４に電気的に接続されている。信号伝達部６０には、液体吐出ヘッド２の駆動を制御するドライバＩＣ６２が設けられている。ドライバＩＣ６２は、弾性部材５８を介して押圧部材５６により放熱板５２に押圧されている。なお、配線基板５４を支持する支持部材の図示は省略している。

放熱板５２は、金属あるいは合金により形成することができ、ドライバＩＣ６２の熱を外部に放熱するために設けられている。放熱板５２は、螺子あるいは接着剤により筐体５０に接合されている。

筐体５０は、ヘッド本体２ａの上面に載置されており、筐体５０と放熱板５２とにより、液体吐出ヘッド２を構成する各部材を覆っている。筐体５０は、第１開口５０ａと、第２開口５０ｂと、第３開口５０ｃと、断熱部５０ｄとを備えている。第１開口５０ａは、第３方向Ｄ３および第６方向Ｄ６に対向するようにそれぞれ設けられている。放熱板５２が第１開口５０ａに配置されることにより、第１開口５０ａは封止されている。第２開口５０ｂは、下方に向けて開口しており、第２開口５０ｂを介して配線基板５４および押圧部材５６が筐体５０の内部に配置される。第３開口５０ｃは、上方に向けて開口しており、配線基板５４に設けられたコネクタ（不図示）が収容される。

断熱部５０ｄは、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に延びるように設けられており、放熱板５２とヘッド本体２ａとの間に配置されている。それにより、放熱板５２に放熱された熱が、ヘッド本体２ａに伝わる可能性を低減することができる。筐体５０は、金属、合金、あるいは樹脂により形成することができる。

図４（ａ）に示すように、ヘッド本体２ａは、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に向けて長い平板形状をなしており、第１流路部材４と、第２流路部材６と、圧電アクチュエータ基板４０とを有している。ヘッド本体２ａは、第１流路部材４の上面に、圧電アクチュエータ基板４０および第２流路部材６が設けられている。圧電アクチュエータ基板４０は、図４（ａ）に示す破線の領域に載置される。圧電アクチュエータ基板４０は、第１流路部材４に設けられた複数の加圧室１０（図８参照）を加圧するために設けられており、複数の変位素子４８（図８参照）を有している。

（流路部材の全体構成）
第１流路部材４は、内部に複数の流路が形成されており、第２流路部材６から供給された液体を、下面に設けられた吐出孔８（図８参照）まで導いている。第１流路部材４は、上面が加圧室面４−１となっており、加圧室面４−１に開口２０ａ，２４ａ，２８ｃ，２８ｄが形成されている。開口２０ａは、複数設けられており、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に沿って配列されている。開口２０ａは、加圧室面４−１の第３方向Ｄ３における端部に配置されている。開口２４ａは、複数設けられており、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に沿って配列されている。開口２４ａは、加圧室面４−１の第６方向Ｄ６における端部に配置されている。開口２８ｃは、開口２０ａよりも第２方向Ｄ２における外側および第５方向Ｄ５における外側に設けられている。開口２８ｄは、開口２４ａよりも第２方向Ｄ２における外側および第５方向Ｄ５における外側に設けられている。

第２流路部材６は、内部に複数の流路が形成されており、液体タンクから供給された液体を第１流路部材４まで導いている。第２流路部材６は、第１流路部材４の加圧室面４−１の外周部上に設けられており、圧電アクチュエータ基板４０の載置領域の外側にて、接着剤（不図示）を介して、第１流路部材４と接合されている。

（第２流路部材（統合流路））
第２流路部材６は、図４，５に示すように、貫通孔６ａと、開口６ｂ，６ｃ，６ｄ，２２ａ，２６ａとが形成されている。貫通孔６ａは、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に延びるように形成されており、圧電アクチュエータ基板４０の載置領域よりも外側に配置されている。貫通孔６ａには、信号伝達部６０が挿通している。

開口６ｂは、第２流路部材６の上面に設けられており、第２流路部材の第２方向Ｄ２における端部に配置されている。開口６ｂは、液体タンクから第２流路部材６に液体を供給している。開口６ｃは、第２流路部材６の上面に設けられており、第２流路部材の第５方向Ｄ５における端部に配置されている。開口６ｃは、第２流路部材６から液体タンクに液体を回収している。開口６ｄは、第２流路部材６の下面に設けられており、開口６ｄにより形成された空間に圧電アクチュエータ基板４０が配置されている。

開口２２ａは、第２流路部材６の下面に設けられており、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に向けて延びるように設けられている。開口２２ａは、第２流路部材６の第３方向Ｄ３における端部に形成され、貫通孔６ａよりも第３方向Ｄ３側に設けられている。

開口２２ａは、開口６ｂと連通しており、開口２２ａが第１流路部材４により封止されることにより、第１統合流路２２を形成している。第１統合流路２２は、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に延びるように形成されており、第１流路部材４の開口２０ａおよび開口２８ｃに液体を供給する。

開口２６ａは、第２流路部材６の下面に設けられており、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に向けて延びるように設けられている。開口２６ａは、第２流路部材６の第６方向Ｄ６における端部に形成され、貫通孔６ａよりも第６方向Ｄ６側に設けられている。

開口２６ａは、開口６ｃと連通しており、開口２６ａが第１流路部材４により封止されることにより、第２統合流路２６を形成している。第２統合流路２６は、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に延びるように形成されており、第１流路部材４の開口２４ａおよび開口２８ｄから液体を回収する。

以上の構成により、液体タンクから開口６ｂに供給された液体は、第１統合流路２２に供給され、開口２２ａを介して第１共通流路２０に流れ込み、第１流路部材４に液体が供給される。そして、第２共通流路２４により回収された液体は、開口２６ａを介して第２統合流路２６に流れ込み、開口６ｃを介して外部へ液体が回収される。なお、第２流路部材６は、必ずしも設けなくてもよい。

なお、液体の供給および回収は、適宜な手段によって実現されてよい。例えば、図３（ａ）において点線で示すように、プリンタ１は、第１統合流路２２、第１流路部材４の流路および第２統合流路２６を含む循環流路７８と、第１統合流路２２から第１流路部材４の流路を経由して第２統合流路２６へ向かう流れを形成する流れ形成部７９とを有していてよい。

流れ形成部７９の構成は、適宜なものとされてよい。例えば、流れ形成部７９は、ポンプを含み、開口６ｃからの吸引および／または開口６ｂへの吐出を行う。また、例えば、流れ形成部７９は、開口６ｃから回収された液体を貯留する回収空間と、開口６ｂへ供給される液体を貯留する供給空間と、回収空間から供給空間へ液体を送出するポンプと、を有し、供給空間の液面を回収空間の液面よりも高くすることにより、第１統合流路２２と第２統合流路２６との間に圧力差を生じさせるものであってもよい。

循環流路７８のうち第１流路部材４および第２流路部材６の外側に位置する部分、ならびに流れ形成部７９は、液体吐出ヘッド２の一部であってもよいし、液体吐出ヘッド２の外部に設けられていてもよい。

（第１流路部材（共通流路および吐出ユニット））
図５〜８および図１０に示すように、第１流路部材４は、複数のプレート４ａ〜４ｍが積層されて形成されており、積層方向に断面を見たときに、上側に設けられた加圧室面４−１と、下側に設けられた吐出孔面４−２とを有している。加圧室面４−１上には、圧電アクチュエータ基板４０が載置されており、吐出孔面４−２に開口した吐出孔８から、液体が吐出される。複数のプレート４ａ〜４ｍは、金属、合金、あるいは樹脂により形成することができる。なお、第１流路部材４は、複数のプレート４ａ〜４ｍを積層せずに、樹脂により一体形成してもよい。

第１流路部材４は、複数の第１共通流路２０と、複数の第２共通流路２４と、複数の端部流路２８と、複数の吐出ユニット１５と、複数のダミー吐出ユニット１７とが形成されている。

第１共通流路２０は、第１方向Ｄ１から第４方向Ｄ４に延びるように設けられており、開口２０ａと連通するように形成されている。また、第１共通流路２０は、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に複数配列されている。

第２共通流路２４は、第４方向Ｄ４から第１方向Ｄ１に延びるように設けられており、開口２４ａと連通するように形成されている。また、第２共通流路２４は、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に複数配列されており、隣り合う第１共通流路２０同士の間に配置されている。そのため、第１共通流路２０および第２共通流路２４は、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に向けて、交互に配置されている。

第１流路部材４の第２共通流路２４にダンパ３０が形成されており、ダンパ３０を介して、第２共通流路２４と面した空間３２が配置されている。ダンパ３０は、第１ダンパ３０ａと、第２ダンパ３０ｂとを有している。空間３２は、第１空間３２ａと、第２空間３２ｂとを有している。第１空間３２ａは、第１ダンパ３０ａを介して液体が流れる第２共通流路２４の上方に設けられている。第２空間３２ｂは、第２ダンパ３０ｂを介して液体が流れる第２共通流路２４の下方に設けられている。

第１ダンパ３０ａは、第２共通流路２４の上方の略全域に形成されている。そのため、平面視すると、第１ダンパ３０ａは、第２共通流路２４と同形状をなしている。また、第１空間３２ａは、第１ダンパ３０ａの上方の略全域に形成されている。そのため、平面視すると、第１空間３２ａは、第２共通流路２４と同形状をなしている。

第２ダンパ３０ｂは、第２共通流路２４の下方の略全域に形成されている。そのため、平面視すると、第２ダンパ３０ｂは、第２共通流路２４と同形状をなしている。また、第２空間３２ｂは、第２ダンパ３０ｂの下方の略全域に形成されている。そのため、平面視すると、第２空間３２ｂは、第２共通流路２４と同形状をなしている。第１流路部材４は、第２共通流路２４にダンパ３０が設けられていることにより、第２共通流路２４の圧力変動を緩和することができ、流体クロストークが生じ難くなる。

第１ダンパ３０ａおよび第１空間３２ａは、プレート４ｄ，４ｅにハーフエッチングにより溝を形成し、溝同士が対向するように接合することにより形成することができる。この際、プレート４ｅのハーフエッチングにより残った残部が、第１ダンパ３０ａとなる。第２ダンパ３０ｂおよび第２空間３２ｂも同様に、プレート４ｋ，４ｌにハーフエッチングにより溝を形成することで作製することができる。

端部流路２８は、第１流路部材４の第２方向Ｄ２の端部、および第５方向Ｄ５の端部に形成されている。端部流路２８は、幅広部２８ａと、狭窄部２８ｂと、開口２８ｃ，２８ｄとを有している。開口２８ｃから供給された液体は、幅広部２８ａ、狭窄部２８ｂ、幅広部２８ａおよび開口２８ｄをこの順に流れることにより、端部流路２８を流れることとなる。それにより、端部流路２８に液体が存在するとともに、端部流路２８を液体が流れることとなり、端部流路２８の周囲に位置する第１流路部材４の温度が液体により均一化される。それゆえ、第１流路部材４は、第２方向Ｄ２の端部および第５方向Ｄ５の端部から放熱される可能性が低減することとなる。

（吐出ユニット）
図６，７を用いて、吐出ユニット１５について説明する。吐出ユニット１５は、吐出孔８と、加圧室１０と、第１個別流路１２と、第２個別流路１４と、第３個別流路１６とを有している。なお、液体吐出ヘッド２では、第１個別流路１２および第２個別流路１４から加圧室１０へ液体を供給し、第３個別流路１６が加圧室１０から液体を回収している。なお、詳細は後述するが、第２個別流路１４の流路抵抗は、第１個別流路１２の流路抵抗よりも低くなっている。

吐出ユニット１５は、隣り合う第１共通流路２０と第２共通流路２４との間に設けられており、第１流路部材４の平面方向にマトリクス状に形成されている。吐出ユニット１５は、吐出ユニット列１５ａと、吐出ユニット行１５ｂとを有している。吐出ユニット列１５ａでは、吐出ユニット１５が第１方向Ｄ１から第４方向Ｄ４に向けて配列されている。吐出ユニット行１５ｂでは、吐出ユニット１５が第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に向けて配列されている。

加圧室１０は、加圧室列１０ｃと、加圧室行１０ｄとを有している。また、吐出孔８は、吐出孔列８ａと、吐出孔行８ｂとを有している。吐出孔列８ａおよび加圧室列１０ｃも同様に、第１方向Ｄ１から第４方向Ｄ４に向けて配列されている。また、吐出孔行８ｂおよび加圧室行１０ｄも同様に、第２方向Ｄ２から第５方向Ｄ５に向けて配列されている。

第１方向Ｄ１および第４方向Ｄ４と、第２方向Ｄ２および第５方向Ｄ５とが成す角度は直角からずれている。このため、第１方向Ｄ１に沿って配置されている吐出孔列８ａに属する吐出孔８同士は、その直角からのずれの分、第２方向Ｄ２にずれて配置される。そして、吐出孔列８ａが第２方向Ｄ２に並んで配置されるので、異なる吐出孔列８ａに属する吐出孔８は、その分、第２方向Ｄ２にずれて配置される。これらが合わさって、第１流路部材４の吐出孔８は、第２方向Ｄ２に一定間隔で並んで配置されている。これにより、吐出した液体により形成される画素で所定の範囲を埋めるように印刷ができる。

図６において、吐出孔８を第３方向Ｄ３および第６方向Ｄ６に投影すると、仮想直線Ｒの範囲に３２個の吐出孔８が投影され、仮想直線Ｒ内で各吐出孔８は３６０ｄｐｉの間隔に並ぶ。これにより、仮想直線Ｒに直交する方向に記録媒体Ｐを搬送して印刷すれば、３６０ｄｐｉの解像度で印刷できる。

ダミー吐出ユニット１７は、最も第２方向Ｄ２側に位置する第１共通流路２０と、最も第２方向Ｄ２側に位置する第２共通流路２４との間に設けられている。また、ダミー吐出ユニット１７は、最も第５方向Ｄ５側に位置する第１共通流路２０と、最も第５方向Ｄ５側に位置する第２共通流路２４との間にも設けられている。ダミー吐出ユニット１７は、最も第２方向Ｄ２または第５方向Ｄ５側に位置する吐出ユニット列１５ａの吐出を安定させるために設けられている。

加圧室１０は、図７，８に示すように、加圧室本体１０ａと部分流路１０ｂとを有している。加圧室本体１０ａは、上方（吐出側とは反対側）に開口する開口１０ｈを有している。加圧室本体１０ａの形状は、例えば、概ね、高さが比較的小さい柱体である。従って、以下において、平面視における加圧室本体１０ａの形状（平面形状）の説明は、開口１０ｈまたは加圧室本体１０ａの下面の形状の説明でもある。なお、ここでは、エッチングの誤差（アンダーカット等）は無視している。加圧室本体１０ａは、平面視して、円形状をなしており、加圧室本体１０ａの下面の一部から下方に向けて部分流路１０ｂが延びている。加圧室本体１０ａは、加圧室本体１０ａ上に設けられた変位素子４８から圧力を受けることにより、部分流路１０ｂ中の液体を加圧する。

加圧室本体１０ａは、略円板形状であり、平面形状は円形状をなしている。平面形状が円形状であることにより、変位量、および変位により生じる加圧室１０の体積変化を大きくすることができる。部分流路１０ｂは、直径が加圧室本体１０ａより小さい略円柱形状であり、平面形状は円形状である。また、部分流路１０ｂは、加圧室面４−１から見たときに、加圧室本体１０ａ内に収納されている。

なお、部分流路１０ｂは、吐出孔８側に向かって断面積の小さくなる円錐状あるいは円錐台状であってもよい。それにより、第１共通流路２０および第２共通流路２４の幅を大きくでき、上述の圧力損失の差を小さくできる。

加圧室１０は、第１共通流路２０の両側に沿って配置されており、片側１列ずつ、合計２列の加圧室列１０ｃを構成している。第１共通流路２０とその両側に並んでいる加圧室１０とは、第１個別流路１２および第２個別流路１４を介して接続されている。

また、加圧室１０は、第２共通流路２４の両側に沿って配置されており、片側１列ずつ、合計２列の加圧室列１０ｃを構成している。第２共通流路２４とその両側に並んでいる加圧室１０とは、第３個別流路１６を介して接続されている。

図７を用いて、第１個別流路１２、第２個別流路１４および第３個別流路１６について説明する。

第１個別流路１２は、第１共通流路２０と加圧室本体１０ａとを接続している。第１個別流路１２は、第１共通流路２０の上面から上方へ向けて延びた後、第５方向Ｄ５に向けて延び、第４方向Ｄ４に向けて延びた後、再び上方へ向けて延びて加圧室本体１０ａの下面に接続されている。

第２個別流路１４は、第１共通流路２０と部分流路１０ｂとを接続している。第２個別流路１４は、第１共通流路２０の下面から第５方向Ｄ５へ向けて延び、第１方向Ｄ１に向けて延びた後、部分流路１０ｂの側面に接続されている。

第３個別流路１６は、第２共通流路２４と部分流路１０ｂとを接続している。第３個別流路１６は、第２共通流路２４の側面から第２方向Ｄ２に向けて延び、第４方向Ｄ４に向けて延びた後、部分流路１０ｂの側面に接続されている。

そして、第２個別流路１４の流路抵抗は、第１個別流路１２の流路抵抗よりも低くなっている。第２個別流路１４の流路抵抗を、第１個別流路１２の流路抵抗よりも低くするには、例えば、第２個別流路１４が形成されるプレート４ｌの厚みを、第１個別流路１２が形成されるプレート４ｃの厚みよりも厚くすればよい。また、平面視して、第２個別流路１４の幅を、第１個別流路１２の幅よりも広くしてもよい。また、平面視して、第２個別流路１４の長さを、第１個別流路１２の長さよりも短くしてもよい。

以上のような構成により、第１流路部材４では、開口２０ａを介して第１共通流路２０に供給された液体は、第１個別流路１２および第２個別流路１４を介して加圧室１０に流れ込み、一部の液体は吐出孔８から吐出される。そして、残りの液体は、加圧室１０から、第３個別流路１６を介して第２共通流路２４に流れ込み、開口２４ａを介して、第１流路部材４から第２流路部材６に排出される。

（圧電アクチュエータ）
図７（ｃ），８を用いて圧電アクチュエータ基板４０について説明する。第１流路部材４の上面には、変位素子４８を含む圧電アクチュエータ基板４０が接合されており、各変位素子４８が加圧室１０上に位置するように配置されている。圧電アクチュエータ基板４０は、加圧室１０によって形成された加圧室群と略同一の形状の領域を占有している。また、各加圧室１０の開口１０ｈは、第１流路部材４の加圧室面４−１に圧電アクチュエータ基板４０が接合されることで閉塞される。

圧電アクチュエータ基板４０は、圧電体である２枚の圧電セラミック層４０ａ、４０ｂからなる積層構造を有している。これらの圧電セラミック層４０ａ、４０ｂは、例えば、それぞれ５０μｍ以下、より具体的には２０μｍ程度の厚さを有している。圧電セラミック層４０ａ、４０ｂのいずれの層も複数の加圧室１０を跨ぐように延在している。

これらの圧電セラミック層４０ａ、４０ｂは、例えば、強誘電性を有する、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系、ＮａＮｂＯ_３系、ＢａＴｉＯ_３系、（ＢｉＮａ）ＮｂＯ_３系、ＢｉＮａＮｂ_５Ｏ_１５系などのセラミックス材料からなる。なお、圧電セラミック層４０ｂは、振動板として働いており、必ずしも圧電体である必要はなく、代わりに、圧電体でない他のセラミック層、金属板または樹脂板を用いてもよい。振動板は、第１流路部材４の一部を構成する部材に兼用されているかのような構成とされてもよい。例えば、振動板は、図示の例とは異なり、加圧室面４−１全体に亘る広さを有するとともに、開口２０ａ，２４ａ，２８ｃ，２８ｄと対向する開口を有していてもよい。

なお、液体吐出ヘッド２において、第１流路部材４と圧電アクチュエータ基板４０との境界は、製造工程等に関わらず、加圧室１０の開口１０ｈの位置を基準に判断されてよい。例えば、第１流路部材４と圧電アクチュエータ基板４０とが接着される場合と、第１流路部材４と開口１０ｈを塞ぐ振動板（またはそのうちの一部の層）とを接着したものと、圧電アクチュエータ基板４０から振動板（または前記一部の層）を除いたものとが接着される場合とで、積層体における第１流路部材４および圧電アクチュエータ基板４０の範囲は変わらない。

圧電アクチュエータ基板４０には、共通電極４２と、個別電極４４と、接続電極４６とが形成されている。共通電極４２は、圧電セラミック層４０ａと圧電セラミック層４０ｂとの間の領域に面方向の略全面にわたって形成されている。そして、個別電極４４は、圧電アクチュエータ基板４０の上面における加圧室１０と対向する位置に配置されている。

圧電セラミック層４０ａの個別電極４４と共通電極４２とに挟まれている部分は、厚さ方向に分極されており、個別電極４４に電圧を印加すると変位する、ユニモルフ構造の変位素子４８となっている。そのため、圧電アクチュエータ基板４０は、複数の変位素子４８を有している。

共通電極４２は、Ａｇ−Ｐｄ系などの金属材料により形成することができ、共通電極４２の厚さは２μｍ程度とすることができる。共通電極４２は、圧電セラミック層４０ａを貫通して形成されたビアホールを介して圧電セラミック層４０ａ上の共通電極用表面電極（不図示）と繋がっており、共通電極用表面電極を介して接地され、グランド電位に保持されている。

個別電極４４は、Ａｕ系などの金属材料により形成されており、個別電極本体４４ａと、引出電極４４ｂとを有している。図７（ｃ）に示すように、平面透視において、個別電極本体４４ａは、加圧室本体１０ａ（開口１０ｈ）に重なる部分であり、引出電極４４ｂは、加圧室本体１０ａの外に位置する部分である。

個別電極本体４４ａは、中央部４４ａａと、中央部４４ａａから突出している接続部４４ａｂとを有している。中央部４４ａａは、個別電極本体４４ａの大部分を構成し、圧電セラミック層４０ａに対する電圧印加を担う部分である。接続部４４ａｂは、中央部４４ａａと引出電極４４ｂとを接続する部分である。

中央部４４ａａは、平面視して、略円形状に形成されており、加圧室本体１０ａよりも小さく形成されている。別の観点では、中央部４４ａａの平面形状は、加圧室本体１０ａと概ね相似形である。接続部４４ａｂの平面形状は、例えば、加圧室本体１０ａの内側から外側へ一定の幅で直線状に延びる形状（長方形）である。

引出電極４４ｂは、個別電極本体４４ａから引き出されている。引出電極４４ｂの形状は、例えば、加圧室本体１０ａの加圧室本体１０ａから離れる方向へ一定の幅で直線状に延びる形状（長方形）である。引出電極４４ｂおよび個別電極本体４４ａの接続部４４ａｂは、例えば、同一の幅で直線状につながっている。引出電極４４ｂの個別電極本体４４ａとは反対側の端部上には接続電極４６が形成されている。

接続電極４６は、例えばガラスフリットを含む銀−パラジウムからなり、厚さが１５μｍ程度で凸状に形成されている。接続電極４６は、信号伝達部６０に設けられた電極と電気的に接合されている。

液体吐出ヘッド２は、制御部７６の制御により、ドライバＩＣ６２などを介して、個別電極４４に供給される駆動信号に従って、変位素子４８を変位させる。駆動方法としては、いわゆる引き打ち駆動を用いることができる。

（吐出ユニットの詳細および作用）
図９を用いて液体吐出ヘッド２の吐出ユニット１５を詳細に説明する。

吐出ユニット１５は、吐出孔８と、加圧室１０と、第１個別流路１２と、第２個別流路１４と、第３個別流路１６とを備えている。第１個別流路１２および第２個別流路１４は、第１共通流路２０（図８参照）に接続されており、第３個別流路１６は、第２共通流路２４（図８参照）に接続されている。

第１個別流路１２は、加圧室１０のうち加圧室本体１０ａの第１方向Ｄ１側に接続されている。第２個別流路１４は、加圧室１０のうち部分流路１０ｂの第４方向Ｄ４側に接続されている。第３個別流路１６は、加圧室１０のうち部分流路１０ｂの第１方向Ｄ１側に接続されている。

第１個別流路１２から供給された液体は、加圧室本体１０ａを通って部分流路１０ｂを下方に向けて流れ、一部が吐出孔８から吐出される。吐出孔８から吐出されなかった液体は、第３個別流路１６を介して、吐出ユニット１５の外部に回収される。

第２個別流路１４から供給された液体は、一部が吐出孔８から吐出される。吐出孔８から吐出されなかった液体は、部分流路１０ｂ内を上方へ向けて流れ、第３個別流路１６を介して、吐出ユニット１５の外部に回収される。

図９に示すように、第１個別流路１２から供給された液体は、加圧室本体１０ａ、および部分流路１０ｂを流れて吐出孔８から吐出される。従来の吐出ユニットにおける液体の流れは破線で示すように、加圧室本体１０ａの中央部から吐出孔８に向けて一様に略直線状に流れている。

このような流れが生じると、加圧室１０のうち、第２個別流路１４が接続された部位と反対側に位置する領域８０付近には液体が流れにくい構成となり、例えば、領域８０付近に液体の滞留する領域が生じるおそれがある。

これに対して、吐出ユニット１５では、第１個別流路１２および第２個別流路１４が加圧室１０に接続されており、これらの流路から加圧室１０に液体が供給される。

そのため、第１個別流路１２から吐出孔８へ供給される液体の流れに対して、第２個別流路１４から加圧室１０へ供給された液体の流れを衝突させることができる。それにより、加圧室１０から吐出孔８へ供給される液体の流れが、一様に略直線状に流れにくくなり、加圧室１０内に液体が滞留する領域を生じにくくすることができる。

すなわち、加圧室１０から吐出孔８へ供給される液体の流れにより生じた液体の滞留点の位置が、加圧室１０から吐出孔８へ供給される液体の流れとの衝突により移動することになり、加圧室１０内に液体の滞留する領域を生じにくくすることができる。

また、加圧室１０が、加圧室本体１０ａおよび部分流路１０ｂを有しており、第１個別流路１２が加圧室本体１０ａに接続され、第２個別流路１４が部分流路１０ｂに接続されている。そのため、第１個別流路１２が、加圧室１０全体を流れるように液体を供給するとともに、第２個別流路１４から供給された液体の流れにより、部分流路１０ｂに液体の滞留する領域が生じにくくなる。

また、第３個別流路１６は、部分流路１０ｂに接続されている。そのため、第２個別流路１４から第３個別流路１６に向けて流れる液体の流れが、部分流路１０ｂの内部を横断する構成となる。その結果、加圧室本体１０ａから吐出孔８へ供給される液体の流れを横切るように、第２個別流路１４から第３個別流路１６へ向けて流れる液体を流すことができる。それゆえ、さらに部分流路１０ｂ内に液体の滞留する領域が生じにくくなる。

（拡張室）
図７および図１０に示すように、第１流路部材４は、加圧室本体１０ａを拡張するかのように形成された拡張室２５を備えている。拡張室２５は、加圧室１０と同様に圧電アクチュエータ基板４０側に開口している（開口２５ｈ（図１０参照）を有している。）。拡張室２５の形状は、例えば、概ね、柱体である。従って、以下において、平面視における拡張室２５の形状（平面形状）の説明は、開口２５ｈまたは拡張室２５の下面の形状の説明でもある。なお、ここでは、エッチングの誤差（アンダーカット等）は無視している。拡張室２５（開口２５ｈ）は、平面透視において、加圧室本体１０ａ（開口１０ｈ）から突出して引出電極４４ｂと重なっている。

このような拡張室２５が形成されることによって、例えば、引出電極４４ｂの直下においては、加圧室本体１０ａの内壁と圧電アクチュエータ基板４０とが非接触となる、または接触が低減される。ここで、液体の吐出のために共通電極４２と個別電極４４とに電圧を印加すると、中央部４４ａａの直下だけでなく、引出電極４４ｂの直下においても、圧電セラミック層４０ａに電圧が印加される。従って、本実施形態とは異なり、引出電極４４ｂの直下において加圧室本体１０ａの内壁と圧電アクチュエータ基板４０とが接触していると、例えば、圧電セラミック層４０ａの平面方向における収縮または伸長によって、加圧室本体１０ａの内壁が当該内壁の面する方向に振動するおそれがある。しかし、上記のように拡張室２５によって加圧室本体１０ａの内壁と圧電アクチュエータ基板４０とが非接触とされ、または接触が低減されていることから、そのような内壁の振動が低減される。その結果、例えば、加圧室本体１０ａの内壁の意図しない振動によって吐出特性が低下するおそれが低減される。

上記のような効果は、圧電セラミック層４０ａのうち引出電極４４ｂと重なる部分が、個別電極本体４４ａと重なる部分と同様に分極されている場合に顕著となる。例えば、圧電アクチュエータ基板４０またはヘッド本体２ａを作製してから、個別電極４４および共通電極４２に電圧を印加することによって分極すると、圧電セラミック層４０ａは、引出電極４４ｂの直下においても分極されることになる。なお、このような圧電アクチュエータ基板４０またはヘッド本体２ａを組み上げてからの分極は、圧電セラミック層４０ａが比較的薄い場合（例えば５０μｍ以下）において行われることが多い。圧電セラミック層４０ａが比較的薄いと、分極処理によって生じる圧電セラミック層４０ａの変形がその後の製造工程に及ぼす影響が相対的に大きくなることからである。

なお、加圧室本体１０ａは、通常、円形、楕円形（数学上の楕円でなくてよい）、長円形（長方形の短辺を外側に膨らむ弧状とした形状）、菱形、平行四辺形など、一定の形状を有していることが多い。一方、拡張室２５は、加圧室本体１０ａから「突出」している部分である。従って、第１流路部材４の上面に加圧室１０内に通じる開口が開口している場合において、当該開口が、加圧室１０の開口１０ｈのみからなるものであるか、開口１０ｈに加えて拡張室２５の開口２５ｈを含むものであるかは、通常、その開口の形状から簡単に判定できることが多い。また、加圧室１０および拡張室２５の機能に照らして、開口１０ｈの面積は、開口２５ｈの面積よりも明らかに大きいから、この点も判定の一助となる。また、開口に、突出している部分があっても、個別電極４４（引出電極４４ｂ）との重なりが全くなければ、当該部分は拡張室２５の開口２５ｈではない。

第１流路部材４の上面に開口する開口が、突出している部分（拡張室２５の開口２５ｈ）を有しているか否か判定が難しい場合は、例えば、以下のように、数学上の凸集合の考え方を用いて判定してもよい。

加圧室本体１０ａの平面形状は、例えば、数学上の凸である（凸集合からなる）ことが多い。確認的に記載すると、平面形状が凸であるとは、その平面形状に含まれる任意の２点を結ぶ線分上の任意の点が当該平面形状に含まれることをいう。このような形状としては、例えば、凸閉曲線を外縁とする形状または凸多角形が挙げられる。凸閉曲線を外縁とする形状としては、例えば、円形または楕円形が挙げられる。凸多角形としては、例えば、菱形または平行四辺形が挙げられる。その他、凸である形状としては、長円形、または凸多角形の角部を曲線で面取りした形状が挙げられる。

そして、加圧室本体１０ａから突出する拡張室２５が設けられると、加圧室本体１０ａおよび拡張室２５の全体としての平面形状は、数学上の凸でなくなる（非凸集合からなる）場合が多い。確認的に記載すると、平面形状が凸でない場合とは、平面形状に含まれる任意の２点を結ぶ線分上の任意の点が当該平面形状の外に位置し得ることをいう。なお、非凸集合の語は、否定的表現であるが、凹集合の語よりも一般的に用いられる。

従って、例えば、第１流路部材４の上面に開口する開口の平面形状が凸であれば、当該開口は、加圧室本体１０ａの開口１０ｈのみからなると判定できる。また、第１流路部材４の上面に開口する開口の平面形状が非凸であれば、開口１０ｈに加えて、拡張室２５の開口２５ｈを含み得ると判定することができる。また、非凸の場合においては、平面形状の外縁には外側に凹となる角部または湾曲部が形成されているから、その位置を境界として、加圧室本体１０ａおよび突出部分（拡張室２５）を特定できる。なお、両者の境界は、必ずしも明確でなくてもよい。突出部分の存在が確認でき、当該突出部分と個別電極との重なりの有無を判定できればよい。

なお、以下の凸集合の考え方を利用した判定方法は、あくまで拡張室２５の有無を簡単に判定できない場合のものである。従って、例えば、加圧室１０の開口１０ｈの形状は、必ずしも凸である必要はない。

上述のように、圧電アクチュエータ基板４０は、引出電極４４ｂの個別電極本体４４ａとは反対側の端部に対して圧電セラミック層４０ａとは反対側に重なっている接続電極４６をさらに有している。そして、拡張室２５の開口２５ｈは、例えば、平面透視において接続電極４６に対する重なりが接続電極４６の面積（平面視にける面積）の半分未満である。

従って、例えば、平面透視において開口２５ｈが接続電極４６の全体に重なっている態様（当該態様も本開示に係る技術に含まれる。）に比較して、圧電アクチュエータ基板４０は、接続電極４６の直下における第１流路部材４との接触面積が大きい。これにより、例えば、圧電アクチュエータ基板４０は、剛性に関して接続電極４６の直下において補強される。その結果、例えば、信号伝達部６０に設けられた電極と接続電極４６とを接合するときに、接続電極４６の直下において圧電アクチュエータ基板４０が変形するおそれが低減される。ひいては、接合の精度が向上して、液体吐出ヘッド２の信頼性が向上する。

また、拡張室２５が設けられる構成において、加圧室１０の開口１０ｈの平面形状は、例えば、円形である。

従って、例えば、圧電アクチュエータ基板４０によって拡張室２５内の液体が加圧され、拡張室２５から加圧室本体１０ａへ圧力波が伝搬するとき、圧力波は、平面視において広い角度に亘って伝搬するから、分散され易い。その結果、例えば、拡張室２５が液滴の吐出に及ぼす影響が緩和される。また、加圧室本体１０ａのいずれの位置から拡張室２５が突出しても、拡張室２５から加圧室本体１０ａへの圧力の伝搬態様は概ね一定である。その結果、例えば、複数の吐出ユニット１５間で引出電極４４ｂの位置が互いに相違している場合において、当該相違に起因する複数の吐出ユニット１５間の吐出特性のばらつきが低減される。

また、拡張室２５の吐出側の面には、部分流路１０ｂ、液体の供給のための流路（第１個別流路１２または第２個別流路１４）、および液体の回収のための流路（第３個別流路１６）のいずれも開口していない。

従って、例えば、拡張室２５の下面と部分流路１０ｂまたは第１個別流路１２とが接続されている態様（当該態様も本開示に係る技術に含まれる）に比較して、圧電アクチュエータ基板４０が拡張室２５に付与する圧力が加圧室１０内の圧力または流れに及ぼす影響が低減される。その結果、例えば、吐出特性が向上する。

また、平面視において、部分流路１０ｂの加圧室本体１０ａに対する開口位置（接続位置）は、加圧室本体１０ａに対して所定方向の一方側（第４方向Ｄ４側）へ偏心しており、拡張室２５の開口２５ｈは、例えば、加圧室１０の開口１０ｈの面積重心Ｐ１（図７（ｃ））よりも前記一方側（第４方向Ｄ４側）の部分から突出している。

従って、拡張室２５で生じた圧力波は、例えば、加圧室本体１０ａにおいて、第４方向Ｄ４側から面積重心Ｐ１側へ拡散しつつ伝搬し、続いて、面積重心Ｐ１から第１方向Ｄ１側へ集中しつつ伝搬する。そして、当該圧力波は、拡散する過程において部分流路１０ｂへ回折して入り込む。その結果、例えば、圧力波が集中する過程において部分流路１０ｂに入り込む態様（当該態様も本開示に係る技術に含まれる）に比較して、拡張室２５の圧力が吐出に及ぼす影響を低減することができる。

なお、部分流路１０ｂの加圧室本体１０ａへの開口が加圧室本体１０ａに対して偏心しているか否かは、例えば、両者の面積重心を基準に判定してよい。面積重心は、確認的に記載すると、そのまわりでの１次モーメントが０になる位置である。

また、平面視において、部分流路１０ｂの加圧室本体１０ａに対する開口位置（接続位置）は、加圧室本体１０ａに対して所定方向の一方側（第４方向Ｄ４側）へ偏心しており、拡張室２５の開口２５ｈは、例えば、加圧室１０の開口１０ｈから前記所定方向（第４方向Ｄ４）に交差する方向へ突出している。

従って、加圧室本体１０ａの面積重心Ｐ１から部分流路１０ｂへ入り込む圧力波と、拡張室２５から加圧室本体１０ａへ伝搬する圧力波との進行方向がずれやすくなる。その結果、例えば、両者の進行方向が同一または逆である態様（当該態様も本開示に係る技術に含まれる）に比較して、加圧室本体１０ａの広い範囲に亘って定在波が生じるおそれが低減される。すなわち、意図しない比較的大きな圧力変動が生じるおそれが低減される。

また、拡張室２５の、厚さ（吐出側からその反対側への大きさ）は、加圧室本体１０ａの厚さと同等である。

従って、例えば、加圧室本体１０ａの厚み全体に亘って、引出電極４４ｂと重なる位置にある加圧室本体１０ａの内壁が拡張室２５によって切り欠かれることになる。その結果、例えば、内壁の振動が加圧室本体１０ａの圧力に及ぼす影響がより確実に低減される。

平面透視において、引出電極４４ｂのうち加圧室１０の開口１０ｈから少なくとも途中までの部分は、幅全体が拡張室２５の開口２５ｈに収まっている。

すなわち、加圧室本体１０ａの内壁のうち、平面透視において引出電極４４ｂと重なる部分の全体が拡張室２５によって切り欠かれる。従って、例えば、内壁の振動が加圧室本体１０ａの圧力に及ぼす影響がより確実に低減される。

なお、拡張室２５の平面視における具体的な形状および位置は、引出電極４４ｂの形状および位置等に応じて適宜に設定されてよい。図示の例では、拡張室２５は、引出電極４４ｂと同様に、一定の幅で直線状に延びる形状（概略長方形）とされており、その幅および長さは、引出電極４４ｂよりも小さい。

なお、以上の実施形態において、圧電セラミック層４０ａは圧電体層の一例である。開口１０ｈは加圧室開口の一例である。開口２５ｈは拡張室開口の一例である。搬送ローラ７４ａ〜７４ｄは搬送部の一例である。

本開示の態様は、上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。

加圧室に接続され、液体の供給または回収に供される流路の構成は、実施形態に例示したものに限定されない。例えば、図９において、第２個別流路１４および／または第３個別流路１６の部分流路１０ｂから延びる方向が図示とは逆にされてもよい。また、例えば、第１個別流路１２および第３個別流路１６から加圧室１０に液体が供給され、第２個別流路１４から液体が回収されてもよい。第１個別流路１２が液体の回収に利用されてもよい。また、３本の個別流路のうち１本が液体の供給に利用され、２本が液体の回収に利用されてもよい。個別流路は、３本設けられている必要はなく、例えば、液体の供給用の１本のみ（例えば第１個別流路１２のみ）が設けられてもよいし、供給用の１本と回収用の１本との合計２本が設けられてもよい。

加圧室開口（開口１０ｈ）の形状、および個別電極本体の中央部（４４ａａ）の形状は、円形に限定されない。例えば、実施形態の説明において凸である形状の例として列挙した種々の形状とされてよい。

拡張室開口（開口２５ｈ）の形状、および引出電極（４４ｂ）の形状も長方形に限定されない。例えば、引出電極は、直線状に延びるのではなく、曲線状に延びてもよい。このような引出電極の形状に応じて、拡張室開口も曲線状に延びてよい。また、例えば、引出電極は、その先端（個別電極本体とは反対側）に、幅が広くなるパッド状部分を有していてもよい。このような引出電極の形状において、拡張室開口は、パッド状部分と重なっていなくてもよいし、重なっていてもよい。

また、拡張室開口の形状は、引出電極の形状を反映したものでなくてもよい。例えば、長方形の引出電極が設けられている場合において、拡張室開口の形状は、加圧室側を中心側とする半円状であったり、加圧室側を底辺とする２等辺三角形であったりしてもよい。

また、拡張室開口は、実施形態において例示したように加圧室からの突出量が幅よりも大きくてもよいし、実施形態とは逆に、幅が突出量よりも大きくてもよい。拡張室の厚みは、加圧室本体の厚みと同等でなくてもよい。例えば、拡張室は、プレート４ａの上面をハーフエッチングすることによって形成され、加圧室本体１０ａの厚みの概ね半分の厚みを有していてもよい。その場合、加圧室本体１０ａの意図しない振動による吐出特性の低下を抑えつつ、プレート４ａの剛性の低下を抑えることができる。また、拡張室の幅は、引出電極の幅以上でなくてもよい。

圧電体アクチュエータ基板は、ユニモルフ型のものに限定されず、バイモルフ型のものであってもよい。

実施形態において説明した具体的な構成は、拡張室が設けられた全ての吐出ユニットについて成り立つ必要はない。例えば、拡張室と、その他の空間（加圧室本体、部分流路または個別流路）との位置関係は、全ての吐出ユニットについて成り立つ必要はない。一部の吐出ユニットにおいてのみ、特定の効果が奏されるだけでも、液体吐出ユニットの信頼性等は向上する。

１・・・カラーインクジェットプリンタ
２・・・液体吐出ヘッド
２ａ・・・ヘッド本体
４・・・第１流路部材
４a〜４ｍ・・・プレート
４−１・・・加圧室面
４−２・・・吐出孔面
６・・・第２流路部材
８・・・吐出孔
１０・・・加圧室
１０ａ・・・加圧室本体
１０ｂ・・・部分流路
１０ｈ・・・開口（加圧室開口）
１２・・・第１個別流路
１４・・・第２個別流路
１５・・・吐出ユニット
１６・・・第３個別流路
２０・・・第１共通流路
２２・・・第１統合流路
２４・・・第２共通流路
２５・・・拡張室
２５ｈ・・・開口（拡張室開口）
２６・・・第２統合流路
２８・・・端部流路
３０・・・ダンパ
３２・・・ダンパ室
４０・・・圧電アクチュエータ基板
４０ａ・・・圧電セラミック層（圧電体層）
４２・・・共通電極
４４・・・個別電極
４６・・・接続電極
４８・・・変位素子
５０・・・筐体
５２・・・放熱板
５４・・・配線基板
５６・・・押圧部材
５８・・・弾性部材
６０・・・信号伝達部
６２・・・ドライバＩＣ
７０・・・ヘッド搭載フレーム
７２・・・ヘッド群
７４ａ，７４ｂ，７４ｃ，７４ｄ・・・搬送ローラ（搬送部）
７６・・・制御部
Ｐ・・・記録媒体
Ｄ１・・・第１方向
Ｄ２・・・第２方向
Ｄ３・・・第３方向
Ｄ４・・・第４方向
Ｄ５・・・第５方向
Ｄ６・・・第６方向

Claims (8)

1. 吐出側へ開口している複数の吐出孔、および
   前記吐出側とは反対側へ開口している複数の加圧室開口をそれぞれ有しており、複数の前記吐出孔にそれぞれ接続されている複数の加圧室を備えている流路部材と、
   前記流路部材の前記吐出側とは反対側に重なっており、複数の前記加圧室開口を塞いでいる圧電アクチュエータ基板と、
   を備えており、
   前記圧電アクチュエータ基板は、
   複数の前記加圧室開口に亘る広さを有している圧電体層と、
   前記圧電体層に対して前記流路部材側に重なっており、複数の前記加圧室開口に亘る広さを有している共通電極と、
   前記圧電体層に対して前記流路部材とは反対側に重なっており、平面透視において複数の前記加圧室開口にそれぞれ重なっている複数の個別電極とを備えており、
   前記個別電極は、平面透視において、
   前記加圧室開口に重なっている個別電極本体と、
   前記個別電極本体と接続されており、前記加圧室開口の外に位置している引出電極と、を備えており、
   前記流路部材は、前記圧電アクチュエータ基板側に開口し、平面透視において前記加圧室開口から突出して前記引出電極と重なっている拡張室開口を有している拡張室をさらに備えており、
   前記加圧室開口及び前記拡張室開口は、いずれも、前記流路部材の、前記圧電アクチュエータ基板側に面する平面状の第１面に開口しており、前記第１面における平面形状に関して、前記拡張室開口は前記加圧室開口から突出し、これにより、前記加圧室開口及び前記拡張室開口の全体の前記第１面における平面形状は、非凸集合がなす形状を呈しており、
   前記加圧室は、
   前記加圧室開口を有している加圧室本体と、
   前記加圧室本体の前記吐出側の面の一部から前記吐出孔に延びる部分流路と、を備えており、
   平面視において、前記部分流路の前記加圧室本体に対する開口位置は、前記加圧室本体に対して所定方向の一方側へ偏心しており、
   前記拡張室開口は、前記加圧室開口から前記所定方向に交差する方向へ突出している
   液体吐出ヘッド。
2. 前記圧電アクチュエータ基板は、前記引出電極の前記個別電極本体とは反対側の端部に対して前記圧電体層とは反対側に重なっている接続電極をさらに有しており、
   前記拡張室開口は、平面透視において前記接続電極に対する重なりが前記接続電極の面積の半分未満である
   請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記加圧室開口の平面形状は円形である
   請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記拡張室の前記吐出側の面には、前記部分流路、液体の供給のための流路、および液体の回収のための流路のいずれも開口していない
   請求項１〜３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記拡張室開口は、前記加圧室開口の面積重心よりも前記一方側の部分から突出している
   請求項１〜４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記拡張室の、前記吐出側からその反対側への厚さは、前記加圧室本体の、前記吐出側からその反対側への厚さと同等である
   請求項１〜５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
7. 平面透視において、前記引出電極のうち前記加圧室開口から少なくとも途中までの部分は、幅全体が前記拡張室開口に収まっている
   請求項１〜６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
8. 請求項１〜７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドと、
   記録媒体を前記液体吐出ヘッドに搬送する搬送部と、
   前記液体吐出ヘッドを制御する制御部と、
   を備えている記録装置。

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