JP2008221686A - 液体吐出ヘッドの検査方法及び製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧電層が圧力室の内壁となっている個別インク流路にインクを充填する(S16)。インクのpHが圧電層の等電点に対応したpHよりも大きい場合には、流路ユニットの電位が共通電極の電位より高くなるように両者間に電圧を印加し、インクのpHが圧電層の等電点に対応したpHよりも小さい場合には、流路ユニットの電位が共通電極の電位より低くなるように両者間に電圧を印加して、両者間の電気特性値を測定する(S17〜S19)。そして、抵抗値がしきい値以上のものを選んで(S20)、それ以外を破棄する(S21)。
【選択図】図9
Description
2 ヘッド本体
9 流路ユニット
21 アクチュエータユニット
31、33 配線パターン
35 ハンダ
31a、33a 端子
50 COF
54 制御基板
54a コネクタ
52 ドライバIC
57 ネジ
71 リザーバユニット
101 インクジェットプリンタ
108 インク吐出口
110 圧力室
122 キャビティプレート
132 個別インク流路
134 共通電極
135 個別電極
138 クラック
141〜143 圧電層
Claims (9)
- 一表面に開口する圧力室を経てノズルに至る個別液体流路が形成された導電性を有する流路ユニットと、前記圧力室の開口を塞ぐように前記一表面に固定された絶縁層、前記絶縁層上に形成されて前記圧力室と対向する第1電極、前記第1電極上に形成された圧電層、及び、前記圧電層上に形成されて前記圧力室と対向する第2電極を有し、前記圧力室内の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータとを備えた液体吐出ヘッドの検査方法において、
前記流路ユニットの前記個別液体流路を、導電性を有する液体で充填する充填工程と、
液体のpHが前記絶縁層の等電点に対応したpHより大きい場合には前記流路ユニットの電位が前記第1電極の電位よりも高くなり且つ液体のpHが前記絶縁層の等電点に対応したpHより小さい場合には前記流路ユニットの電位が前記第1電極の電位よりも低くなるように、前記流路ユニットと前記第1電極との間に電圧を印加して、前記流路ユニットと前記第1電極との間の電気特性値を測定する測定工程とを備えていることを特徴とする液体吐出ヘッドの検査方法。 - 前記流路ユニットと前記第1電極との間に印加される電圧が、水の電気分解電圧以上で前記絶縁層の破壊電圧未満であることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッドの検査方法。
- 前記第1電極が、前記圧力室全体と対向していることを特徴とする請求項1又は2に記載の液体吐出ヘッドの検査方法。
- 前記測定工程で測定される電気特性値が抵抗値であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの検査方法。
- 一表面に開口する圧力室を経てノズルに至る個別液体流路が形成された導電性を有する流路ユニットと、前記圧力室の開口を塞ぐように前記一表面に固定された絶縁層、前記絶縁層上に形成されて前記圧力室と対向する第1電極、前記第1電極上に形成された圧電層、及び、前記圧電層上に形成されて前記圧力室と対向する第2電極を有し、前記圧力室内の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータと、前記第1電極に電気的に接続された第1配線を有する配線部材とを備えた液体吐出ヘッドの製造方法において、
前記流路ユニット、前記圧電アクチュエータ、及び、前記配線部材を組み付ける組付工程と、
前記流路ユニットの前記個別液体流路を、導電性を有する液体で充填する充填工程と、
液体のpHが前記絶縁層の等電点に対応したpHより大きい場合には前記流路ユニットの電位が前記第1電極の電位よりも高くなり且つ液体のpHが前記絶縁層の等電点に対応したpHより小さい場合には前記流路ユニットの電位が前記第1電極の電位よりも低くなるように、前記流路ユニットと前記第1電極との間に電圧を印加して、前記流路ユニットと前記第1電極との間の電気特性値を測定する測定工程とを備えていることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記流路ユニットと前記第1電極との間に印加される電圧が、水の電気分解電圧以上で前記絶縁層の破壊電圧未満であることを特徴とする請求項5に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第1電極が、前記圧力室全体と対向していることを特徴とする請求項5又は6に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記測定工程後に、前記第1配線と、前記流路ユニットに電気的に接続された第2配線とを電気的に接続する接続工程をさらに備えていることを特徴とする請求項5〜7のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記接続工程において、前記第1配線と前記第2配線とを、前記液体吐出ヘッドに固定された基板上で接続することを特徴とする請求項8に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
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