JP2007021855A - インクジェットヘッド及びその検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 キャビティユニット20における圧電アクチュエータ21が積層される面は導電性を有し、圧電アクチュエータ21には、圧力室24の開口を直接覆う第1のセラミックス層41と、複数の圧力室24に渡って面状に形成されたクラック検査用電極51の層と、第3のセラミックス層43と、駆動用電極に挟まれた第2のセラミックス層42とが、圧力室側からその順序で含まれる。圧力室24にインクを充填した状態で、キャビティユニット20とクラック検査用電極51との間の絶縁抵抗を測定することで、セラミックス層41における欠陥を検出する。
【選択図】 図5
Description
20 キャビティユニット
21 圧電アクチュエータ
22 フレキシブルフラットケーブル
23 ノズル
24 圧力室
36 キャビティプレート
41 第1のセラミックス層
42 第2のセラミックス層
43 第3のセラミックス層
44 第4のセラミックス層
46 表面電極
51 クラック検査用電極
52 個別電極
53 コモン電極
56 検査用端子
Claims (6)
- インクを吐出する複数のノズルが配置され、前記各ノズル毎に対応する複数の圧力室が平面上に開口形成されたキャビティユニットと、
前記キャビティユニットの前記圧力室が開口した面に積層され、インクが充填された前記圧力室に吐出圧力を与える圧電アクチュエータと、を備えるインクジェットヘッドにおいて、
前記キャビティユニットにおける前記圧電アクチュエータが積層される面は、導電性を有し、
前記圧電アクチュエータには、前記複数の圧力室にわたる大きさを有する扁平形状で且つその扁平な方向と直交する方向に積層される複数のセラミックス層と、このセラミックス層の扁平な方向の面上に配置される複数の電極層とが備えられ、
前記セラミックス層には、前記圧力室の開口を直接覆う第1のセラミックス層と、前記第1のセラミックス層における前記圧力室と対向する面とは反対の面側に配置される1層または複数層の第2のセラミックス層と、前記第1のセラミックス層と前記第2のセラミックス層との間に介在する第3のセラミックス層とが含まれ、
前記電極層には、前記第1のセラミックス層と第3のセラミックス層との間に配置され且つ前記複数の圧力室にわたって面状に形成されたクラック検査用電極の層と、前記第2のセラミックス層を挟んで対をなす駆動用電極の層とが含まれていることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 前記駆動用電極は、キャビティユニットの複数の圧力室に対応して共通に配置されたコモン電極と各圧力室毎に対応する個別電極とが前記第2のセラミックス層を挟んで構成され、
前記コモン電極の層が、前記第3のセラミックス層を挟んで前記クラック検査用電極の層と対向していることを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッド。 - 前記クラック検査用電極は、前記コモン電極と電気的に独立して設けられ、前記圧電アクチュエータが駆動されるときに、前記クラック検査用電極は、前記コモン電極とともに接地されることを特徴とする請求項2に記載のインクジェットヘッド。
- 前記第1のセラミックス層は、前記第2のセラミックス層よりも、厚みが薄く設定されていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
- 前記キャビティユニットは前記コモン電極と電気的に接続され、前記圧電アクチュエータが駆動されるときには、前記キャビティユニットは、前記コモン電極とともに接地されることを特徴とする請求項2から4のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
- インクを吐出する複数のノズルが配置され、前記各ノズル毎に対応する複数の圧力室が平面上に開口形成されたキャビティユニットと、
前記キャビティユニットの前記圧力室が開口した面に積層され、インクが充填された前記圧力室に吐出圧力を与える圧電アクチュエータと、を備えるインクジェットヘッドにおいて、
前記キャビティユニットにおける前記圧電アクチュエータが積層される面は、導電性を有し、
前記圧電アクチュエータには、前記複数の圧力室にわたる大きさを有する扁平形状で且つその扁平な方向と直交する方向に積層される複数のセラミックス層と、このセラミックス層の扁平な方向の面上に配置される複数の電極層とが備えられ、
前記セラミックス層には、前記圧力室の開口を直接覆う第1のセラミックス層と、前記第1のセラミックス層における前記圧力室と対向する面とは反対の面側に配置される1層または複数層の第2のセラミックス層と、前記第1のセラミックス層と前記第2のセラミックス層との間に介在する第3のセラミックス層とが含まれ、
前記電極層には、前記第1のセラミックス層と第3のセラミックス層との間に配置され且つ前記複数の圧力室にわたって面状に形成されたクラック検査用電極の層と、前記第2のセラミックス層を挟んで対をなす駆動用電極の層とが含まれ、
前記圧力室にインクが充填された状態で、前記クラック検査用電極と前記キャビティユニットにおける圧電アクチュエータが積層される面との間の電気的特性を測定し、前記第1のセラミックス層にクラックがあるか否かを検査するインクジェットヘッドの検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005205967A JP4678503B2 (ja) | 2005-07-14 | 2005-07-14 | インクジェットヘッド及びその検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007021855A true JP2007021855A (ja) | 2007-02-01 |
JP4678503B2 JP4678503B2 (ja) | 2011-04-27 |
Family
ID=37783246
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2005205967A Expired - Fee Related JP4678503B2 (ja) | 2005-07-14 | 2005-07-14 | インクジェットヘッド及びその検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP4678503B2 (ja) |
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