JP2010155407A - 液滴吐出ヘッド - Google Patents
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Abstract
【課題】圧電アクチュエータを大型化することなく、圧電アクチュエータの機能あるいは特性を検査するための検査手段を設ける。
【解決手段】圧電アクチュエータ12は、キャビティユニット11と圧電アクチュエータ12とが積層される方向Zから見て、複数のノズル16aが、ノズル列が平行に延びる2つのノズル列群として形成され、この2つのノズル列群はそれらの間に間隔が設けられている。二列のノズル列からなる一方のノズル列群に対応する領域S1と、この領域S1のノズル列と平行に配列された六列のノズル列からなる他方のノズル列群に対応する領域S2との間に、圧電アクチュエータ12の駆動に関与しない領域として、前記ノズル列が延在するノズル列方向Xに長い領域S3を有する。
【選択図】 図4
【解決手段】圧電アクチュエータ12は、キャビティユニット11と圧電アクチュエータ12とが積層される方向Zから見て、複数のノズル16aが、ノズル列が平行に延びる2つのノズル列群として形成され、この2つのノズル列群はそれらの間に間隔が設けられている。二列のノズル列からなる一方のノズル列群に対応する領域S1と、この領域S1のノズル列と平行に配列された六列のノズル列からなる他方のノズル列群に対応する領域S2との間に、圧電アクチュエータ12の駆動に関与しない領域として、前記ノズル列が延在するノズル列方向Xに長い領域S3を有する。
【選択図】 図4
Description
本発明は、インクジェットヘッドなどの液滴吐出ヘッドに関するものである。
液滴吐出ヘッド 例えばインクジェットプリンタに用いられるインクジェットヘッドとしては、複数のノズルと各ノズルに対応する圧力室とを備えたキャビティユニットに、前記各圧力室を選択的に駆動して前記ノズルからインクを吐出させる圧電アクチュエータを接合して固定した構造のものが知られている。
前記キャビティユニットは、レーザ加工等により微細なノズルが形成されたノズルプレートに、インク流路を形成するその他の複数のプレートが積層されている。そして、キャビティユニットにおける圧力室の背面に圧電アクチュエータを接合している。
そして、全てのインクジェットヘッドにおいてインクの吐出速度がほぼ一定になるように、圧電アクチュエータに印加する駆動電圧を各ヘッド毎に調整していた。具体的には、ヘッド内にインクを注入し、前記駆動電圧を変えながら、インク吐出状況や記録結果を観察して、各ヘッド毎に適正な駆動電圧を決定していた。
しかしながら、この従来の方法では、ヘッド毎にインクを実際に注入して行う作業であるため、調整作業が煩雑となり、また、肉眼による観察によって検査するため、検査結果に個人差を生じる。
そこで、本出願人は、実際に吐出特性を測定して、調整すると、ライン内での時間を要し、製造効率が低下するので、インクを充填する前の状態で、吐出特性を測定し、駆動電圧を決定したいという要求を満たすために、キャビティユニットのノズル径と圧電アクチュエータの静電容量値との組み合せに基づいて、所定駆動電圧で所定速度のインクを吐出するためのキャビティユニットと圧電アクチュエータとの組み合わせ規則をあらかじめ定める工程と、キャビティユニット毎のノズル径と圧電アクチュエータ毎の静電容量値とを、それぞれ測定する工程と、前記組み合せ規則に基づいて、対応するノズル径と静電容量値とをそれぞれ有するキャビティユニットと圧電アクチュエータとを選択し組み合わせる工程とを備えるインクジェットヘッドの製造方法を先に提案している(例えば特許文献1参照)。
特開2005−329628号公報
そのような吐出特性を測定し、駆動電圧を決定するために、圧電アクチュエータの機能あるいは特性を検査するための検査手段を前記圧電アクチュエータ自体に設けたいという要求がある。しかし、このような検査手段を圧電アクチュエータに設けると、圧電アクチュエータが大型化し、それに応じて吐出ヘッドが大型化してしまうという新たな問題が生じる。
この発明は、圧電アクチュエータを大型化することなく、圧電アクチュエータの機能あるいは特性を検査するための検査手段を設けることができる液滴吐出ヘッドを提供することを目的とする。
請求項1の発明は、複数のノズルおよび各ノズルにそれぞれ対応する複数の圧力室を備えたキャビティユニットと、前記複数の圧力室内の液体に対して選択的に圧力を付与する圧電アクチュエータとを備え、これらが積層されて構成される液滴吐出ヘッドであって、前記複数のノズルは、ノズル列が平行に延びる2つのノズル列群として形成され、この2つのノズル列群はそれらの間に間隔が設けられており、前記2つのノズル列群は、それぞれ、特性が異なる前記液体の液滴を吐出するものであり、前記圧電アクチュエータには、当該圧電アクチュエータの機能あるいは特性を検査するための検査手段が設けられ、前記検査手段が設けられている部分は、前記キャビティユニットと前記圧電アクチュエータとが積層される方向から見て、前記2つのノズル列群の間の間隔が設けられている部分と重なっていることを特徴とする。
2つのノズル列群は互いに特性が異なる液滴を吐出するものであるため、一方の群のノズルから吐出される液が他方の群のノズルに侵入することは避けなければならず、これらの群はある程度離間するように間隔をおいて設けられる。すると、圧電アクチュエータにおいても、その間隔が設けられている部分と、前記キャビティユニットと前記圧電アクチュエータとが積層される方向から見て、重なっている部分は、ノズルからの液滴の吐出には貢献しない機能的には無駄ナスペースとなっている。本発明は、圧電アクチュエータの無駄なスペースに検査手段が設けられているので、圧電アクチュエータを大きくすることなく、圧電アクチュエータの機能あるいは特性を検査するための検査手段を設けることができる。
また、特性の異なる液体の液滴を吐出する2つのノズル列群の間の間隔が設けられている部分と、前記キャビティユニットと前記圧電アクチュエータとが積層される方向から見て重なっている部分に、検査手段が設けられるので、異なる特性のそれぞれによる影響を検査する上で有利である。
この場合、請求項2に記載のように、請求項1の液滴吐出ヘッドにおいて、前記2つのノズル列群のうち一方のノズル列群が、第1のキャップ部で覆われ、他方のノズル列群が第2のキャップ部で覆われるものであり、前記第1および第2のキャップ部が前記2つのノズル列群を覆った状態で、前記第1のキャップ部の内部空間と前記第2のキャップ部の内部空間とを仕切る部分が、前記キャビティユニットと前記圧電アクチュエータとが積層される方向から見て、前記2つのノズル列群の間の間隔が設けられている部分と重なることが望ましい。ここで、キャップ部には、吸引パージに使用する吸引キャップや電源OFF時に使用する封止キャップの一部を構成するもので、第1および第2のキャップ部は一体に形成されていてもよいし、別体に形成されていてもよい。
このようにすれば、第1および第2のキャップ部で覆われる部分の間のデッドスペースに対応して生じる前記重なる部分(デッドスペース)を有効利用するので、圧電アクチュエータを大きくすることなく、検査手段を設けることができる。
請求項3に記載のように、請求項2の液滴吐出ヘッドにおいて、前記液滴はインク滴であり、前記一方のノズル列群は、顔料インクの液滴を吐出するものであり、前記他方のノズル列群は、染料インクの液滴を吐出するものとすることができる。
このようにすれば、顔料インクの液滴を吐出するノズル列群と染料インクを吐出するノズル列群との間に部分に、検査手段が設けられるので、異なる特性のそれぞれによる影響を検査する上で有利である。
請求項4に記載のように、請求項1〜3のいずれかの液滴吐出ヘッドにおいて、前記2つのノズル列群の間に対応する部分は、前記ノズル列が延在するノズル列方向に長いもの
であり、前記検査手段は、前記ノズル列方向に長いものであることが望ましい。
であり、前記検査手段は、前記ノズル列方向に長いものであることが望ましい。
このようにすれば、ノズル列群の間の、ノズル列方向に長い部分を利用して、ノズル列方向に長い検査手段が無理なく配置される。
請求項5に記載のように、請求項1〜4のいずれかの液滴吐出ヘッドにおいて、前記圧電アクチュエータは、活性層となる第1の圧電層と、この第1の圧電層に積層された拘束層となる第2の圧電層とを有し、前記第1の圧電層の一方の面には、前記複数の圧力室にそれぞれ個別に対向する複数の個別電極が設けられ、他方の面には、前記複数の圧力室に共通に対向する共通電極がそれぞれ設けられてなり、前記検査手段は、前記第1の圧電層の静電容量を、第1の静電容量として検出するために検査用定電位電極パターンとの間に前記第1の圧電層を挟むように設けられた第1の検査用駆動電極パターンと、前記第2の圧電層の静電容量を、第2の静電容量として検出するために検査用定電位電極パターンとの間に前記第2の圧電層を挟むように設けられた第2の検査用駆動電極パターンと、前記第1および第2の圧電層の両層についての、面内方向の静電容量を、第3の静電容量として検出するために前記第1の圧電層の上下面および前記第2の圧電層の下面に検査用定電位電極パターンとともに設けられた第3の検査用駆動電極パターンとを備える構成とすることができる。
このようにすれば、圧電アクチュエータ12の第1および第2の圧電層についての静電容量を検査するための検査手段が無理なく配置される。
本発明は、上記のように、2つのノズル列群の間の間隔が設けられている部分と、前記キャビティユニットと前記圧電アクチュエータとが積層される方向から見て、重なっている部分(デッドスペース)に検査手段が設けられているので、圧電アクチュエータを大きくすることなく、圧電アクチュエータの機能あるいは特性を検査するための検査手段を設けることができる。
以下、本発明の実施の形態を図面に沿って説明する。
図1(a)は本発明の実施の形態にかかるインクジェットプリンタ(液滴吐出装置)の概略構成を示す概略構成図、図1(b)は本発明にかかるキャビティユニット、圧電アクチュエータおよびフレキシブル配線板(COP)の関係を示す説明図である。
本発明に係るインクジェットプリンタ1は、図1(a)に示すように、インクカートリッジ(図示せず)が搭載されるキャリッジ2の下面に、記録用紙P(記録媒体)に記録するためのインクジェットヘッド3(液滴吐出ヘッド)が設けられている。キャリッジ2は、プリンタフレーム4内に設けられるキャリッジ軸5とガイド板(図示せず)とによって支持され、記録用紙Pの搬送方向Aと直交する方向Bにおいて往復移動する。図示しない給紙部からA方向に搬送される記録用紙Pは、プラテンローラ(図示せず)とインクジェットヘッド3との間に導入されて、インクジェットヘッド3から記録用紙Pに向けて吐出されるインクにより所定の記録がなされ、その後排紙ローラ6にて排紙される。
また、図1(b)に示すように、インクジェットヘッド3は、キャビティユニット11と、圧電アクチュエータ12とを下側から順に備え、圧電アクチュエータ12の上面に駆動信号を供給するフレキシブル配線板13(信号線)が設けられている。
キャビティユニット11は、図2に示すように、複数枚のプレート部材からなる積層体
14を含む。その積層体14の上側には、振動板としての圧電層15(トッププレート)が設けられる一方、下側には、複数のノズル列を平行に形成する複数のノズル16a(ノズル穴)を有するノズルプレート16、およびノズル16aに対応して貫通穴17aを有するスペーサプレート17を貼り合わせてなるプレートアッセンブリ18が一体に貼り付けられている。そして、圧電層15の上側に、各圧力室14Aa内のインク(液体)を選択的に吐出させるための圧電アクチュエータ12が接合(固着)されている。また、キャビティユニット11の開孔11aには、インク内に含有される塵挨などを捕獲するためのフィルタ19が設けられている。ノズルプレート16は、(積層体14を構成する)キャビティプレート14Aの1つの圧力室14Aaについて、1つのノズル16aがそれぞれ設けられた合成樹脂(例えば、ポリイミド樹脂)のプレートである。なお、ノズルプレート16は金属プレートとしてもよい。
14を含む。その積層体14の上側には、振動板としての圧電層15(トッププレート)が設けられる一方、下側には、複数のノズル列を平行に形成する複数のノズル16a(ノズル穴)を有するノズルプレート16、およびノズル16aに対応して貫通穴17aを有するスペーサプレート17を貼り合わせてなるプレートアッセンブリ18が一体に貼り付けられている。そして、圧電層15の上側に、各圧力室14Aa内のインク(液体)を選択的に吐出させるための圧電アクチュエータ12が接合(固着)されている。また、キャビティユニット11の開孔11aには、インク内に含有される塵挨などを捕獲するためのフィルタ19が設けられている。ノズルプレート16は、(積層体14を構成する)キャビティプレート14Aの1つの圧力室14Aaについて、1つのノズル16aがそれぞれ設けられた合成樹脂(例えば、ポリイミド樹脂)のプレートである。なお、ノズルプレート16は金属プレートとしてもよい。
積層体14は、図3に示すように、上側から順にキャビティプレート14A、べースプレート14B、アパチャープレート14C,2枚のマニホールドプレート14D,14Eおよびダンパープレート14Fがそれぞれ重ねられて金属拡散接合されたものである。これら6枚のプレート14A〜14Fは、各ノズル16a毎に個別にインク流路が形成されるように、互いに位置合わせして積層されている。ここで、キャビティプレート14Aは、複数の圧力室14Aaとして機能する開口が、ノズル列が延在するノズル列方向X(図4(a)参照)に対応して規則的に形成された金属プレートである。べースプレート14Bは、マニホールド14Da,14Ea(共通インク室)から各圧力室14Aaへの連通穴14Baおよび各圧力室14Aaから各ノズル16aへの連通穴14Bbがそれぞれ設けられた金属プレートである。アパチャープレート14Cには、それの上面に、各圧力室14Aaとマニホールド14Da,14Eaとを連通する連通路21が凹部通路として形成されるとともに、マニホールド14Da,14Eaから各圧力室14Aaへの連通穴14Caおよび各圧力室14Aaからノズル16aへの連通穴14Cbがそれぞれ設けられた金属プレートである。マニホールドプレート14D,14Eは、マニホールド14Da,14Eaに加えて、各圧力室14Aaから各ノズル16aへの連通穴14Db,14Ebがそれぞれ設けられた金属プレートである。ダンパープレート14Fは、下面に凹部として形成されるダンパー室14Faのほか、各圧力室14Aaを各ノズル16aに連通する連通穴14Fbが設けられた金属プレートである。
このように、キャビティユニット11は、複数のノズル16a、および複数のノズル16aのそれぞれ対応する複数の圧力室14Aaを備え、複数の圧力室14Aaが複数のノズル16aとそれぞれ連通している。圧力室14Aaには、インクを一時的に貯留するマニホールド(図示せず)からインクが供給される。なお、ノズル列方向Xには、図4(a)(b)に記載されるように、2つのノズル列の両側に配置されるように、圧力室14Aaの列が形成されている。
圧電アクチュエータ12は、複数の圧力室14Aa内のインクに対して選択的に圧力を付与するもので、図4(c)に示すように、活性層となる第1の圧電層12aと、拘束層となる第2の圧電層12bとを上側から順に有する。つまり、圧電アクチュエータ12は第1および第2の圧電層12a,12bを積層して形成されている。
第1の圧電層12aの一方の面(図4(c)において上面)には、図4(a)(c)に示すように、複数の圧力室14Aaにそれぞれ個別に対向する複数の個別電極21が設けられ、この個別電極21が形成する列が、ノズル列方向X(圧力室14Aaが延在する圧力室14Aaの列方向でもある)に延びている。また、第1の圧電層12aの他方の面(図4(c)において下面)には、複数の圧力室14Aaに共通に対向する共通電極22(定電位電極)がほぼ全面に亘って設けられている。
両圧電層12a,12bは、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)系のセラミックス材料(圧電シート)からなり、圧電層12aは、個別電極21が設けられている部位において、厚さ方向において分極されている。なお、この実施の形態では、圧電層15(トッププレート)も、圧電層12a,12bと同じ材料、つまり、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)系のセラミックス材料(圧電シート)からなる。
圧電アクチュエータ12は、キャビティユニット11と圧電アクチュエータ12とが積層される積層方向Z(図4(b)参照)から見て、複数のノズル16aが、ノズル列が平行に延びる2つのノズル列群として形成され、この2つのノズル列群はそれらの間に間隔が設けられている。二列のノズル列からなる一方のノズル列群に対応する領域S1と、この領域S1のノズル列と平行に配列された六列のノズル列からなる他方のノズル列群に対応する領域S2との間に、圧電アクチュエータ12の駆動に関与しない領域として、前記ノズル列が延在するノズル列方向Xに長い領域S3を有する。
つまり、図4(a)に示すように、一方のノズル列群に対応する領域S1には、二列のノズル列に対応して個別電極21の列が二列形成され、他方のノズル列群に対応する領域S2には、六列のノズル列に対応して個別電極21の列が六列形成されている。これらの領域S1,S2の間の、ノズル列方向Xに長い領域S3には、個別電極21、圧力室14Aaやノズル16aが設けられておらず、圧電アクチュエータ12の駆動に関与しない領域となっている。なお、前記一方のノズル列群は、ブラックインク(顔料インク)の液滴を吐出するものであり、前記別の特定のノズル列群は、カラーインク(染料インク)の液滴を吐出するものである。
また、キャビティユニット11のノズル面側には、図4(b)に示すように、吐出機能を回復する回復時には、吐出機能を回復する周知の回復装置の吸引キャップ31にて覆われるようになっており、この吸引キャップ31が、前記一方のノズル列群を覆う第1のキャップ部31aと、前記他方のノズル列群を覆う第2のキャップ部31bとを備える。そして、第1および第2のキャップ部31a,31bが前記2つのノズル列群を覆った状態で、第1のキャップ部31aの内部空間と第2のキャップ部31bの内部空間とを仕切る仕切り壁部31cが、前記2つのノズル列群の間の間隔が設けられている部分と重なるようになっている。そして、前記2つのノズル列群の間の部分に、積層方向Zから見て、領域S3(圧電アクチュエータ12の駆動に関与しない領域)が対向している。
この圧電アクチュエータ12の駆動に関与しない領域S3には、図4(a)に示すように、(i)圧電層12aの厚さ方向の静電容量(第1の静電容量C1)、(ii)圧電層12b
の厚さ方向の静電容量(第2の静電容量C2)、(iii)第1および第2の圧電層12a,
12bの両層についての、面内方向の静電容量(第3の静電容量C3)、を測定し、圧電アクチュエータ12の機能あるいは特性を検査するための検査手段41として、第1〜第3の検査用駆動電極パターン42,43,44と検査用定電位電極パターンとしての検査用グランド電極パターン45とが設けられている。第1〜第3の検査用駆動電極パターン42,43,44と検査用定電位電極パターンとして検査用グランド電極パターン45とに挟まれる部分が静電容量を形成することになる。
の厚さ方向の静電容量(第2の静電容量C2)、(iii)第1および第2の圧電層12a,
12bの両層についての、面内方向の静電容量(第3の静電容量C3)、を測定し、圧電アクチュエータ12の機能あるいは特性を検査するための検査手段41として、第1〜第3の検査用駆動電極パターン42,43,44と検査用定電位電極パターンとしての検査用グランド電極パターン45とが設けられている。第1〜第3の検査用駆動電極パターン42,43,44と検査用定電位電極パターンとして検査用グランド電極パターン45とに挟まれる部分が静電容量を形成することになる。
第1〜第3の検査用駆動電極パターン42〜44の、領域S3に対する配置は、図4(a)および図5(a)〜(d)に示すように、キャビティユニット11と圧電アクチュエータ12とが積層される積層方向Zから見て、ノズル列方向Xの一側に第1および第2の検査用駆動電極パターン42,43が設けられ、他側に第3の検査用駆動電極パターン44が設けられている。
このように、圧電アクチュエータ12に対し、個別電極21や共通電極22が設けられ
駆動に関与する領域S1,S2とは別の領域S3に対し、検査手段41としての検査のために、第1〜第3の静電容量C1〜C3を測定する検査用駆動電極パターン42〜44および検査用グランド電極パターン45が組み込まれている。この検査手段41は、ノズル列方向Xに長いもので、積層方向Zから見て、検査手段41が設けられている部分は、前記2つのノズル列群の間の間隔が設けられている部分と対向しかつ重なっているので、圧電アクチュエータを大きくすることなく、検査手段41を設けることができる。
駆動に関与する領域S1,S2とは別の領域S3に対し、検査手段41としての検査のために、第1〜第3の静電容量C1〜C3を測定する検査用駆動電極パターン42〜44および検査用グランド電極パターン45が組み込まれている。この検査手段41は、ノズル列方向Xに長いもので、積層方向Zから見て、検査手段41が設けられている部分は、前記2つのノズル列群の間の間隔が設けられている部分と対向しかつ重なっているので、圧電アクチュエータを大きくすることなく、検査手段41を設けることができる。
具体的には、第1〜第3の検査用駆動電極パターン42〜44と検査用グランド電極パターン45は、領域S3において、図5(a)〜(d)に示すように、圧電アクチュエータ12の圧電層12a,12bに対し設けられている。
第1の圧電層12aの上面側においては、図5(a)に示すように、ノズル列方向Xの一側に第1の検査用駆動電極パターン42の矩形状電極部42Aが設けられ、他側に第3の検査用駆動電極パターン44の櫛状電極部44Aおよびそれに対応する検査用グランド電極パターン45の櫛状電極部45Aが設けられている。この第3の検査用駆動電極パターン44の櫛状電極部44Aは、ノズル列方向Xに直交する方向Y(図4(a)参照)に延びる複数の検査電極部44Aaと、ノズル列方向Xに延び検査電極部44Aaが接続される接続電極部44Abとを有する。この櫛状電極部44Aの検査電極部44Aaと間隔を存在させて、検査用グランド電極パターン45の櫛状電極部45Aの検査電極部45Aaが配置され、これらの検査電極部45Aaが、検査用駆動電極パターン44の接続電極部45Abと反対側において、ノズル列方向Xに延びる接続電極部45Abに接続されている。櫛状電極部44A,45A(第3の検査用駆動電極パターン44および検査用グランド電極パターン45)の接続電極部44Ab,45Abの、第1の検査用駆動電極パターン42の矩形状電極部42A側の端部には、接続端子部44Ac,45Acがそれぞれ設けられている。そして、櫛状電極部45A(検査用グランド電極パターン45)の接続端子部45Acに隣接して第1の検査用駆動電極パターン42の接続端子部42Acが配置され、この接続端子部42Acと第3の検査用駆動電極パターン44の接続端子部44Acとの間に、第2の検査用駆動電極パターン43の接続端子部43Acが配置されている。このように接続端子部42Ac,43Ac,44Ac,45Acが、積層方向Zから見て、矩形状電極部42A(第1の検査用駆動電極パターン42)が設けられている部分と、櫛状電極部44A(第3の検査用駆動電極パターン44)およびそれに対応する櫛状電極部45A(検査用グランド電極パターン45)が設けられている部分との間に配置されている。なお、キャビティユニット11には、検査用駆動電極パターン42〜44に電圧が印加され、検査用グランド電極パターン45との間に電位差が生じたときの、圧電層12a,12bの変形を拘束しないように空所11a,11bが形成されている。
第1の圧電層12aの下面側(第2の圧電層12bの上面側)においては、図5(b)に示すように、ノズル列方向Xの一側に、検査用グランド電極パターン45の矩形状電極部45BBが設けられ、他側に第3の検査用駆動電極パターン44の櫛状電極部44Bおよびそれに対応する検査用グランド電極パターン45の櫛状電極部45Bが設けられている。検査用グランド電極パターン45の矩形状電極部45BBは、第1の検査用駆動電極パターン42の矩形状電極部42Aに積層方向Zにおいて対向して設けられている。矩形状電極部45BBおよび櫛状電極部44B,45Bは、第1の圧電層12aの上面側の矩形状電極部42Aおよび櫛状電極部44A,45Aに積層方向Zにおいて対向して設けられている。そして、櫛状電極部44B,45Bは、検査電極部44Aa,45Aa、接続電極部44Ab,45Abおよび接続端子部44Ac,45Acに積層方向Zにおいて対向する検査電極部44Ba,45Ba、接続電極部44Bb,45Bbおよび中間電極部44Bc,45Bcを有する。また、第3の検査用駆動電極パターン44の中間電極部44Bcに隣接して、第2の検査用駆動電極パターン43の接続端子部43Acに積層方向Zにおいて対向する中間電極部42Bcが設けられている。
第2の圧電層12bの上面側においては、図5(c)に示すように、ノズル列方向Xの一側に、第2の検査用駆動電極パターン43の矩形状電極部43Cが設けられ、他側に、第1の圧電層12aの上面側と同様に、第3の検査用駆動電極パターン44の櫛状電極部44Cおよびそれに対応する検査用グランド電極パターン45の櫛状電極部45Cが設けられている。矩形状電極部43Cは、第1の検査用駆動電極パターン42の矩形状電極部42Aや検査用グランド電極パターン45の矩形状電極部45BBに積層方向Zにおいて対向して設けられている。櫛状電極部44C,45Cは、櫛状電極部44A,45Aに積層方向Zにおいて対向して設けられ、検査電極部44Aa,45Aa、接続電極部44Ab,45Abおよび接続端子部44Ac,45Acに積層方向Zにおいて対向する検査電極部44Ca,45Ca、接続電極部44Cb,45Cbおよび下側電極部44Cc,45Ccを有する。また、第3の検査用駆動電極パターン44の下側電極部44Ccに隣接して、第2の検査用駆動電極パターン43の接続端子部43Acに積層方向Zにおいて対向する下側電極部43Ccが設けられている。
そして、第3の検査用駆動電極パターン44および検査用グランド電極パターン45の検査電極部44Aa,44Ba,44Ca,45Aa,45Ba,45Caは、複数箇所において、内部電極が設けられた導電性スルーホール44d,45dにて電気的に接続されている。第2および第3の検査用駆動電極パターン43,44および検査用グランド電極パターン45の接続端子部43Ac,44Ac,45Ac、中間電極部43Bc,44Bc,45Bcおよび下側電極部43Cc,44Cc,45Ccも、内部電極が設けられた導電性スルーホール43e,44e,45eにて電気的に接続されている。
以上のように、第1〜第3の検査用駆動電極パターン42〜44および検査用グランド電極パターン45を設けたことにより、図5(a)〜(d)に示すように、第1の検査用駆動電極パターン42は、検査用グランド電極パターン45との間に第1の圧電層12aを挟むように設けられ、第1の圧電層12aの厚さ方向の静電容量を、第1の静電容量C1として、検査のために測定できるようになっている。第2の検査用駆動電極パターン43は、検査用グランド電極パターン45との間に第2の圧電層12bを挟むように設けられ、第2の圧電層12bの厚さ方向の静電容量を、第2の静電容量C2として、検査のために測定できるようになっている。第3の検査用駆動電極パターン44は、第1の圧電層12aの上下面および第2の圧電層12bの下面に検査用グランド電極パターン45とともに設けられ、第1および第2の圧電層12a,12bの両層についての、面内方向の静電容量を、第3の静電容量C3として、検査のために測定できるようになっている。なお、第1〜第3の検査用駆動電極パターン42〜44と検査用グランド電極パターン45との間の部分は、分極されている。つまり、第1および第2の検査用駆動電極パターン42,43の矩形状電極部42A,43Cと検査用グランド電極パターン45の矩形状電極部45BBとの間は圧電層12a,12bの厚さ方向において分極され、第3の検査用駆動電極パターン44の櫛状電極部44A,44B,44Cと検査用グランド電極パターン45の櫛状電極部45A,45B,45Cとの間は、面内方向において分極されている。
そして、第1および第2の検査用駆動電極パターン42,43が設けられている部分と第3の検査用駆動電極パターン44が設けられている部分との間に、キャビティユニット11と圧電アクチュエータ12とが積層される方向Zから見て、第1〜第3の検査用駆動電極パターン42〜44および検査用グランド電極パターン45の接続端子部42c,43c,44c,45cが配置されている。
このように、第1〜第3の検査用駆動電極パターン42〜44と検査用グランド電極パターン44とが配置されたものにおいては、前述したように誘電率εおよび圧電層12a,12bの厚さt1,t2と相関がある第1〜第3の静電容量C1〜C3は、次の式で表
せる。ここで、第1〜第3の検査用駆動電極パターン42〜44の専有面積は、それぞれ駆動電極21の専有面積よりも大きいので、個別電極21と共通電極22を用いて静電容量C1〜C3を測定する場合よりも精度よく検出できる。
C1=ε・A1/t1
C2=ε・A2/t2
C3=ε・(t1+t2)・L/G
ε :誘電率
t1:第1の圧電層12a(活性層)の厚さ(図5(d)参照)
t2:第2の圧電層12b(拘束層)の厚さ(図5(d)参照)
A1:第1の検査用駆動電極パターン42の電極面積
A2:第2の検査用駆動電極パターン43の電極面積
L :第3の検査用駆動電極パターン44と検査用グランド電極パターン45との間に
形成される間隔の長さ(図5(a)での線分Lの長さ)
G :第3の検査用駆動電極パターン44と検査用グランド電極パターン45との距離(図5(a)参照)
よって、第1〜第3の静電容量は、誘電率εと第1および第2の圧電層12a,12bの厚さt1,t2との間に相関があり、それらよりも測定が容易であるので、第1〜第3の静電容量を測定すれば、ノズル16aからの液滴を設定吐出速度で吐出させるために個別電極21に印加する必要がある駆動電圧V10(設定吐出速度10m/sでノズル16aから液滴を吐出させるのに必要な駆動電圧)を簡単に予測することができ、圧電アクチュエータ12の機能あるいは特性の検査に利用することができる。
せる。ここで、第1〜第3の検査用駆動電極パターン42〜44の専有面積は、それぞれ駆動電極21の専有面積よりも大きいので、個別電極21と共通電極22を用いて静電容量C1〜C3を測定する場合よりも精度よく検出できる。
C1=ε・A1/t1
C2=ε・A2/t2
C3=ε・(t1+t2)・L/G
ε :誘電率
t1:第1の圧電層12a(活性層)の厚さ(図5(d)参照)
t2:第2の圧電層12b(拘束層)の厚さ(図5(d)参照)
A1:第1の検査用駆動電極パターン42の電極面積
A2:第2の検査用駆動電極パターン43の電極面積
L :第3の検査用駆動電極パターン44と検査用グランド電極パターン45との間に
形成される間隔の長さ(図5(a)での線分Lの長さ)
G :第3の検査用駆動電極パターン44と検査用グランド電極パターン45との距離(図5(a)参照)
よって、第1〜第3の静電容量は、誘電率εと第1および第2の圧電層12a,12bの厚さt1,t2との間に相関があり、それらよりも測定が容易であるので、第1〜第3の静電容量を測定すれば、ノズル16aからの液滴を設定吐出速度で吐出させるために個別電極21に印加する必要がある駆動電圧V10(設定吐出速度10m/sでノズル16aから液滴を吐出させるのに必要な駆動電圧)を簡単に予測することができ、圧電アクチュエータ12の機能あるいは特性の検査に利用することができる。
続いて、第1〜第3の静電容量C1〜C3に基づき、設定吐出速度(例えば吐出速度10m/s)で吐出できる駆動電圧V10の予測方法について説明する。ここで、第1〜第3の工程は、第4の工程に先立って行えばよく、第1〜第3の工程の順番は前後してもよいのはもちろんである。なお、静電容量は、インピーダンスアナライザーを用いて、駆動電圧パターン42〜44の接続端子部42c,43c,44cと検査用グランド電極パターン45の接続端子部45cとの間に一定周期の電圧を加えたときの電流値から求める方法などにより測定される。
(準備工程)
まず、前記駆動電圧V10を予測するための準備段階として、複数のインクジェットヘッド(液滴吐出ヘッド)に対して、第1〜第3の静電容量C1〜C3を測定するとともに実際に液滴を、設定吐出速度(例えば吐出速度10m/s)で吐出できる駆動電圧V10を測定し、これらの測定値に基づいて、前記第1〜第3の静電容量C1〜C3と設定吐出速度で吐出できる駆動電圧V10との関係を、例えば表1に例示するように表(テーブル)で表すか、あるいは測定値に基づき前述したように実験式を作成する。このように実際の測定値を用いて作成した表や実験式を用いるので、製造誤差(圧電層12a,12bの厚さt1,t2のバラツキなど)があることの影響が打ち消される。
(準備工程)
まず、前記駆動電圧V10を予測するための準備段階として、複数のインクジェットヘッド(液滴吐出ヘッド)に対して、第1〜第3の静電容量C1〜C3を測定するとともに実際に液滴を、設定吐出速度(例えば吐出速度10m/s)で吐出できる駆動電圧V10を測定し、これらの測定値に基づいて、前記第1〜第3の静電容量C1〜C3と設定吐出速度で吐出できる駆動電圧V10との関係を、例えば表1に例示するように表(テーブル)で表すか、あるいは測定値に基づき前述したように実験式を作成する。このように実際の測定値を用いて作成した表や実験式を用いるので、製造誤差(圧電層12a,12bの厚さt1,t2のバラツキなど)があることの影響が打ち消される。
また、前記表1にしめすような準備工程での測定データから、静電容量C1,C2,C3を変数として、駆動電圧V10を表す実験式(関係式)を求めると、次の式となるので、この式を用いて駆動電圧V10を予測することもできる。
また、前述した表1のほか、次の表2〜表4に示すように、1つの静電容量例えば第3の静電容量C3をパラメータとして、複数種類の表を作成することも可能である。この場合には、測定値の1つである第3の静電容量C3に基づき、使用すべき表を、表2〜4の中から選択し、その選択した表により、第2および第3の静電容量C1,C2に基づき、駆動電圧V10を予測することもできる。この表2〜表4を用いる場合も、表の数をもっと増やすことも可能であるし、前記実験式を併用することも可能である。
(第1の工程)
インク(液体)を吐出する前に、第1の圧電層12aについての、厚さ方向の静電容量である第1の静電容量C1を測定する。
(第2の工程)
インク(液体)を吐出する前に、第2の圧電層12aについての、厚さ方向の静電容量である第2の静電容量C2を測定する。
(第3の工程)
インク(液体)を吐出する前に、第1および第2の圧電層12a,12bの両層についての、面内方向の静電容量である第3の静電容量C3を測定する。
(第4の工程)
測定された第1〜第3の静電容量C1〜C3に基づき、各圧力室14Aaに対応するノズル16aからインクを設定吐出速度で吐出させる駆動電圧V10を予測する。
つまり、前記第1〜第3の工程で順不同で測定された第1〜第3の静電容量C1〜C3と、前記準備工程で作成された表1、表2〜表4(テーブル)あるいは前記実験式とを用いて、ノズル16aからの設定吐出速度でインクを吐出させる駆動電圧V10を予測する。
この点についてさらに詳述すると、前記表1を用いて予測する場合には、第1〜第3の静電容量C1〜C3の測定値の近似値が、前記表1に存在しない場合があり、前記表2〜表4を用いて予測する場合には、第1および第2の静電容量C2,C3の測定値の近似値が、選択した表に存在しない場合があるので、そのような場合には前記実験式を併用して駆動電圧V10を予測するようにしてもよい。つまり、表1や表2〜4のみから駆動電圧V10を予測できない場合には、前記実験式を用いて駆動電圧V10を求めるようにすることができる。
このようにして、予測された駆動電圧V10を利用して、圧電アクチュエータが設定吐出速度で液滴を吐出する機能あるいは特性を発揮するかどうかをチェックし、圧電アクチュエータ12の合否を判定する検査を行うことができる。
前記実施の形態では、圧電アクチュエータ12の機能あるいは特性を検査する検査手段41として、第3の検査用駆動電極パターン44および検査用グランド電極パターン45の検査電極部44Aa,44Ba,44Ca,45Aa,45Ba,45Caがノズル列方向Xに直交する方向Yに延びるように設けているが、図6および図7(a)〜(d)に示すように、第1〜第3の静電容量C1〜C3を測定し、圧電アクチュエータ12の合否を判定する検査手段51として、第1〜第3の検査用駆動電極パターン52〜54および検査用グランド電極パターン55を設け、第3の検査用駆動電極パターン54および検査用グランド電極パターン55の検査電極部54Aa,54Ba,54Ca,55Aa,55Ba,55Caがノズル列方向Xに平行に延びるように設けることも可能である。なお
、キャビティユニット11には、駆動電極パターン52と駆動電極パターン53Cの矩形状電極部53Cとに電圧が印加され、グランド電極パターン55の矩形状電極部55BBとの間に電位差が生じたときの変形を拘束しないように空所11cが形成されている。
、キャビティユニット11には、駆動電極パターン52と駆動電極パターン53Cの矩形状電極部53Cとに電圧が印加され、グランド電極パターン55の矩形状電極部55BBとの間に電位差が生じたときの変形を拘束しないように空所11cが形成されている。
この場合は、第1の圧電層12aの上面側においては、図7(a)に示すように、ノズル列方向Xの一側に矩形状の第1の検査用駆動電極パターン52が設けられ、他側に第3の検査用駆動電極パターン54のコ字状電極部54Aおよびそれに対応する検査用グランド電極パターン55のコ字状電極部55Aが設けられている。この第3の検査用駆動電極パターン54のコ字状電極部54Aは、ノズル列方向Xに延びる複数の検査電極部54Aaと、ノズル列方向Xに直交する方向Yに延び検査電極部54Aaが接続される接続電極部54Abとを有する。このコ字状電極部54Aの検査電極部54Aaと間隔を存在させて、検査用グランド電極パターン55のコ字状電極部55Aの検査電極部55Aaが配置され、これらの検査電極部55Aaが、検査用駆動電極パターン54の電極本体部55Aと反対側においてノズル列方向Xに直交する方向Yに延びる接続電極部55Abに接続されている。コ字状電極部54A,55A(第3の検査用駆動電極パターン54および検査用グランド電極パターン55)の接続電極部54Ab、55Abの、第1の検査用駆動電極パターン52側の端部には、接続端子部54Ac,55Acが設けられている。これら両接続端子部54Ac,55Acの間に、第2の検査用駆動電極パターン53の接続端子部53Acが配置されている。このように接続端子部53Ac,54Ac,55Acが、第1の検査用駆動電極パターン52が設けられている部分と第3の検査用駆動電極パターン54およびそれに対応する検査用グランド電極パターン55が設けられている部分との間に、キャビティユニット11と圧電アクチュエータ12とが積層される方向Zから見て、第1〜第3の検査用駆動電極パターン52〜54および検査用グランド電極パターン55の接続端子部53Ac〜55Acが配置されている。
第1の圧電層12aの下面側(第2の圧電層12bの上面側)においては、図7(b)に示すように、ノズル列方向Xの一側に、第1の検査用駆動電極パターン52に対応して検査用グランド電極パターン55の矩形状電極部55Bが設けられ、他側に第3の検査用駆動電極パターン54のコ字状電極部54Bおよびそれに対応する検査用グランド電極パターン55のコ字状電極部55Bが設けられている。矩形状電極部55BBは、圧電層12aの上面側に設けられる第1の検査用駆動電極パターン52に積層方向Zにおいて対向して設けられ、コ字状電極部54B,55Bは、圧電層12aの上面側に設けられるコ字状電極部54A,55Bに積層方向Zにおいて対向して設けられ、検査電極部54Aa,55Aa、接続電極部54Ab,55Abおよび接続端子部54Ac,55Acに積層方向Zにおいて対向する検査電極部54Ba,55Ba、接続電極部54Bb,55Bbおよび中間電極部54Bc,55Bcを有する。また、中間電極部54Bc,55Bcの間に、第2の検査用駆動電極パターン53の接続端子部53Acに積層方向Zにおいて対向する中間電極部53Bcが設けられている。
第2の圧電層12bの上面側においては、図5(c)に示すように、ノズル列方向Xの一側に、第2の検査用駆動電極パターン53の矩形状電極部53Cが設けられ、他側に、第1の圧電層12aの上面側と同様に、第3の検査用駆動電極パターン54のコ字状電極部54Cおよびそれに対応する検査用グランド電極パターン55のコ字状電極部55Cが設けられている。第2の検査用駆動電極パターン53の矩形状電極部53Cは、第1の検査用駆動電極パターン52や検査用グランド電極パターン55の矩形状電極部55BBに積層方向Zにおいて対向して設けられている。また、コ字状電極部54C,55Cは、第1の圧電層12aの上面側に設けられるコ字状電極部54A,55Aに積層方向Zにおいて対向して設けられ、検査電極部54Aa,55Aa、接続電極部54Ab,55Abおよび接続端子部54Ac,55Acに積層方向Zにおいて対向する下側電極部54Cc,55Ccを有する。また、下側電極部54Cc,55Ccの間に、第2の検査用駆動電極
パターン53の接続端子部53Acに積層方向Zにおいて対向する下側電極部53Ccが設けられている。
パターン53の接続端子部53Acに積層方向Zにおいて対向する下側電極部53Ccが設けられている。
そして、第3の検査用駆動電極パターン54および検査用グランド電極パターン55の検査電極部54Aa,54Ba,54Ca,55Aa,55Ba,55Caは、複数箇所において、内部電極が設けられた導電性スルーホール54d,55dにて電気的に接続されている。第2および第3の検査用駆動電極パターン53,54および検査用グランド電極パターン55の接続端子部53Ac,54Ac,55Ac、中間電極部53Bc,54Bc,55Bcおよび下側電極部53Cc,54Cc,55Ccも、内部電極が設けられた導電性スルーホール53e,54e,55eにて電気的に接続されている。
そして接続端子部53c,54c,55cが、キャビティユニット11と圧電アクチュエータ12とが積層される方向Zから見て、第1の検査用駆動電極パターン52が設けられている部分と第3の検査用駆動電極パターン54およびそれに対応する検査用グランド電極パターン55が設けられている部分との間に配置されている。
この実施の形態の場合も、前述した実施の形態と同様に、第1〜第3の検査用駆動電極パターンおよび検査用グランド電極パターン55を設けたことにより、図7(a)〜(d)に示すように、第1の検査用駆動電極パターン52は、検査用グランド電極パターン55との間に第1の圧電層12aを挟むように設けられ、第1の圧電層12aの厚さ方向の静電容量を、第1の静電容量C1として、検査のために測定できるようになっている。第2の検査用駆動電極パターン53は、検査用グランド電極パターン55との間に第2の圧電層12bを挟むように設けられ、第2の圧電層12bの厚さ方向の静電容量を、第2の静電容量C2として、検査のために測定できるようになっている。第3の検査用駆動電極パターン54は、第1の圧電層12aの上下面および第2の圧電層の下面に検査用グランド電極パターンとともに設けられ、第1および第2の圧電層12a,12bの両層についての、面内方向の静電容量を、第3の静電容量C3として、検査のために測定できるようになっている。
よって、第1〜第3の静電容量を、検査のために測定した後は、前述した実施の形態と同様に、準備工程で作成された表1〜表4(テーブル)あるいは前記実験式とを用いて、ノズル16aからの設定吐出速度でインクを吐出させる駆動電圧V10を予測し、圧電アクチュエータが設定吐出速度で液滴を吐出する機能あるいは特性を発揮するかどうかをチェックし、圧電アクチュエータ12の合否を判定する検査を行うことができる。
前述したほか、本発明は、次のように変更して実施することもできる。
(i)前記実施の形態では、検査手段として静電容量を測定して検査するものであるが、
本発明はそれに限定されるものではなく、他の特性を検査するものであってもよく、例えば共振周波数を測定して、圧電アクチュエータの合否を判定する検査を行うものであってもよい。
本発明はそれに限定されるものではなく、他の特性を検査するものであってもよく、例えば共振周波数を測定して、圧電アクチュエータの合否を判定する検査を行うものであってもよい。
(ii)前記実施の形態の吸引キャップ31は第1および第2のキャップ部31a,31bが一体に形成されているが、両キャップ部が別体として形成されていてもよい。また、吐出機能を回復する回復装置に使用する吸引キャップに限られず、第1および2のキャップ部を有し電源OFF時に使用する封止キャップであってもよい。
(iii)本発明は、液体吐出ヘッドがインクジェットヘッドである場合に限定されるもの
ではなく、着色液を微小液滴として塗布、あるいは導電液を吐出して配線パターンを形成するなどの他の液体吐出ヘッドにも適用することができる。
ではなく、着色液を微小液滴として塗布、あるいは導電液を吐出して配線パターンを形成するなどの他の液体吐出ヘッドにも適用することができる。
(iv)本発明は、記録用紙に代えて、樹脂、布などの各種の記録媒体を用いることができ、また吐出する液体としてはインクだけでなく、着色液、機能液などの各種のものを用いることができる。
1 インクジェットプリンタ
3 インクジェットヘッド
12 圧電アクチュエータ
12a 第1の圧電層
12b 第2の圧電層
14Aa 圧力室
16a ノズル
21 個別電極
22 共通電極
41,51 検査手段
42 第1の検査用駆動電極パターン
42c,43c,44c,45c 接続端子部
43 第2の検査用駆動電極パターン
44 第3の検査用駆動電極パターン
44Aa,44Ba,44Ca,45Aa,45Ba,45Ca 検査電極部
45 検査用グランド電極パターン
52 第1の検査用駆動電極パターン
53c,54c,55c 接続端子部
53 第2の検査用駆動電極パターン
54 第3の検査用駆動電極パターン
54Aa,54Ba,54Ca,55Aa,55Ba,55Ca 検査電極部
55 検査用グランド電極パターン
S1〜S3 領域
3 インクジェットヘッド
12 圧電アクチュエータ
12a 第1の圧電層
12b 第2の圧電層
14Aa 圧力室
16a ノズル
21 個別電極
22 共通電極
41,51 検査手段
42 第1の検査用駆動電極パターン
42c,43c,44c,45c 接続端子部
43 第2の検査用駆動電極パターン
44 第3の検査用駆動電極パターン
44Aa,44Ba,44Ca,45Aa,45Ba,45Ca 検査電極部
45 検査用グランド電極パターン
52 第1の検査用駆動電極パターン
53c,54c,55c 接続端子部
53 第2の検査用駆動電極パターン
54 第3の検査用駆動電極パターン
54Aa,54Ba,54Ca,55Aa,55Ba,55Ca 検査電極部
55 検査用グランド電極パターン
S1〜S3 領域
Claims (5)
- 複数のノズルおよび各ノズルにそれぞれ対応する複数の圧力室を備えたキャビティユニットと、前記複数の圧力室内の液体に対して選択的に圧力を付与する圧電アクチュエータとを備え、これらが積層されて構成される液滴吐出ヘッドであって、
前記複数のノズルは、ノズル列が平行に延びる2つのノズル列群として形成され、この2つのノズル列群はそれらの間に間隔が設けられており、
前記2つのノズル列群は、それぞれ、特性が異なる前記液体の液滴を吐出するものであり、
前記圧電アクチュエータには、当該圧電アクチュエータの機能あるいは特性を検査するための検査手段が設けられ、
前記検査手段が設けられている部分は、前記キャビティユニットと前記圧電アクチュエータとが積層される方向から見て、前記2つのノズル列群の間の間隔が設けられている部分と重なっていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
- 前記2つのノズル列群のうち一方のノズル列群が、第1のキャップ部で覆われ、他方のノズル列群が第2のキャップ部で覆われるものであり、
前記第1および第2のキャップ部が前記2つのノズル列群を覆った状態で、前記第1のキャップ部の内部空間と前記第2のキャップ部の内部空間とを仕切る部分が、前記2つのノズル列群の間の間隔が設けられている部分と重なることを特徴とする請求項1記載の液滴吐出ヘッド。
- 前記液滴はインク滴であり、
前記一方のノズル列群は、顔料インクの液滴を吐出するものであり、前記他方のノズル列群は、染料インクの液滴を吐出するものであることを特徴とする請求項2記載の液滴吐出ヘッド。
- 前記2つのノズル列群の間に対応する部分は、前記ノズル列が延在するノズル列方向に長いものであり、
前記検査手段は、前記ノズル列方向に長いものであることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド。
- 前記圧電アクチュエータは、活性層となる第1の圧電層と、この第1の圧電層に積層された拘束層となる第2の圧電層とを有し、前記第1の圧電層の一方の面には、前記複数の圧力室にそれぞれ個別に対向する複数の個別電極が設けられ、他方の面には、前記複数の圧力室に共通に対向する共通電極がそれぞれ設けられてなり、
前記検査手段は、前記第1の圧電層の静電容量を、第1の静電容量として検出するために検査用定電位電極パターンとの間に前記第1の圧電層を挟むように設けられた第1の検査用駆動電極パターンと、前記第2の圧電層の静電容量を、第2の静電容量として検出するために検査用定電位電極パターンとの間に前記第2の圧電層を挟むように設けられた第2の検査用駆動電極パターンと、前記第1および第2の圧電層の両層についての、面内方向の静電容量を、第3の静電容量として検出するために前記第1の圧電層の上下面および前記第2の圧電層の下面に検査用定電位電極パターンとともに設けられた第3の検査用駆動電極パターンとを備えることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008335684A JP2010155407A (ja) | 2008-12-29 | 2008-12-29 | 液滴吐出ヘッド |
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JP2008335684A JP2010155407A (ja) | 2008-12-29 | 2008-12-29 | 液滴吐出ヘッド |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2013188930A (ja) * | 2012-03-13 | 2013-09-26 | Brother Industries Ltd | 圧電アクチュエータの駆動信号決定方法、及び、液体吐出装置 |
US8616683B2 (en) | 2012-03-13 | 2013-12-31 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Liquid ejection device |
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2008
- 2008-12-29 JP JP2008335684A patent/JP2010155407A/ja active Pending
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