JP2009272472A - 基板収納容器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】φ450mm以上の半導体ウェーハ1を複数枚収納する容器本体10を正面部の開口したフロントオープンボックスタイプに成形し、この容器本体10の内部両側に、半導体ウェーハ1用の支持片15をそれぞれ対設する。各支持片15の前後部に切り欠き16を形成し、各切り欠き16には、半導体ウェーハ1裏面の周縁部2を除く内側領域3に下方から接触する支持ピン17を後付けする。本構成によれば、半導体ウェーハ1裏面の周縁部2を除く内側領域3に支持ピン17を適切に接触させることができる。また、成形された支持片15に支持ピン17が後付けされるので、容器本体10と支持片15の一体成形に支障を来たすことがない。
【選択図】図7
Description
支持片に切り欠きを形成し、この切り欠きに、半導体ウェーハの裏面の周縁部を除く内側領域に接触する支持ピンを後から取り付けたことを特徴としている。
また、容器本体の内部背面に、半導体ウェーハの周縁部後端に接触する弾性片を取り付けることができる。
また、突き当て壁の半導体ウェーハに接触する接触部には、半導体ウェーハを支持する複数の凹凸を配列することが可能である。
さらに、容器本体の内部両側の後方に、半導体ウェーハ用の突き当て壁を設ければ、半導体ウェーハと突き当て壁との接触により、半導体ウェーハの前後方向への位置ずれを抑制することができる。
2 周縁部
3 内側領域
10 容器本体
12 板バネ(弾性片)
15 支持片
16 切り欠き
17 支持ピン
18 突き当て壁
19 接触部
20 凹凸
30 蓋体
33 フロントリテーナ
Claims (3)
- 直径が450mm以上の半導体ウェーハを収納する容器本体を、正面部が開口したフロントオープンボックスに構成し、この容器本体の内部両側に、半導体ウェーハ用の支持片をそれぞれ設けた基板収納容器であって、
支持片に切り欠きを形成し、この切り欠きに、半導体ウェーハの裏面の周縁部を除く内側領域に接触する支持ピンを後から取り付けたことを特徴とする基板収納容器。 - 容器本体の内部背面に、半導体ウェーハの周縁部後端に接触する弾性片を取り付けた請求項1記載の基板収納容器。
- 容器本体の内部両側の後方に、半導体ウェーハ用の突き当て壁を設けた請求項1又は2記載の基板収納容器。
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