JP2006245206A - 基板収納容器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 2枚の半導体ウェーハを収納する容器本体1と、容器本体1の開口部を開閉する蓋体とを備え、容器本体1を正面視で横長のフロントオープンボックスとしてその正面の開口部の長辺と短辺の長さの比を1.6〜25の範囲とする。そして、容器本体1の大部分である天井3、背面壁、及び両側壁10を一体成形して残りを別体のボトムプレート25とし、これらを成形後に再度成形して一体化する。容器本体1の大部分とボトムプレート25とを別々に成形し、これらを後から組み立てて成形するので、容器本体1の開口部が狭く奥ゆきが長くなっても、成形時に金型からの離型が困難になることがない。
【選択図】 図8
Description
ミニエンバイロメントシステムは、局所クリーン化を実現した空間において、直接人間を介することなく、半導体用の加工装置に対して半導体ウェーハを機械的に供給又は回収するシステムである。
これに対し、LSIメーカー等で加工処理される場合には、多品種少量生産の要請、試作品、少ロット品にも対応する必要があるので、短時間(例えば14〜20日)のうちに加工処理される必要がある。
容器本体の一部を一体形成して残部を別体とし、これら一部と残部とを組み合わせて一体化するようにしたことを特徴としている。
なお、容器本体の一部を天井、背面壁、及び両側壁として一体成形し、残部を底板とすることができる。
また、容器本体の一部と残部との組み合わせ面を隙間をおいて対向させ、この隙間にエラストマーを充填して硬化させることにより、容器本体の一部と残部とを一体化することもできる。
さらに、容器本体の一部と残部とを相互に異なる材料により形成することもできる。
また、容器本体の一部と残部とを相互に異なる材料を使用して形成すれば、容器本体に複数の機能や性能を付与することができる。
2 開口部
3 天井
8 背面壁
10 側壁
11 ティース
16 枠体
19 下部開口
20 組み合わせ面
21 凹部
25 ボトムプレート(底板)
26 封止用のエラストマー
27 組み合わせ面
28 凹部
30 蓋体
40 ガスケット
50 ロック機構
W 半導体ウェーハ(基板)
Claims (5)
- 少数枚の基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口部を開閉する蓋体とを含み、容器本体を正面視で横長のフロントオープンボックスとしてその正面の開口部の長辺と短辺の長さの比を1.6〜25の範囲とした基板収納容器であって、
容器本体の一部を一体形成して残部を別体とし、これら一部と残部とを組み合わせて一体化するようにしたことを特徴とする基板収納容器。 - 容器本体の一部を天井、背面壁、及び両側壁として一体成形し、残部を底板とした請求項1記載の基板収納容器。
- 容器本体の一部を天井、背面壁、及び底板として一体成形し、残部を両側壁とした請求項1記載の基板収納容器。
- 容器本体の一部と残部との組み合わせ面を隙間をおいて対向させ、この隙間にエラストマーを充填して硬化させることにより、容器本体の一部と残部とを一体化するようにした請求項1、2、又は3記載の基板収納容器。
- 容器本体の一部と残部とを相互に異なる材料により形成した請求項1ないし4いずれかに記載の基板収納容器。
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