JP2002353301A - 精密基板収納容器及びその押さえ部材 - Google Patents

精密基板収納容器及びその押さえ部材

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 収納容器に精密基板を収納する際に押さえ部
材から発生するアウトガス量を低減させるのに好適で、
収納した精密基板を安定に押圧保持できる精密基板収納
容器の押さえ部材及びこれを使用した精密基板収納容器
を提供する。 【解決手段】 本発明の押さえ部材は、少なくとも精密
基板を押圧保持する接触部と、該接触部を除く部分と
を、異なる材質で形成している。また、押さえ部材１
は、方形の枠体部２と、対向する各辺３からそれぞれ内
方に張出すように設けられた一対の架設部４に形成され
た接触部５と、支柱部１０を介してさらに張出した張出
辺縁部に形成された第二接触部１１とを熱可塑性エラス
トマ−で形成している。また、前記接触部５には、精密
基板の周縁部を受け入れる傾斜が途中で異なるＶ字状溝
６が設けられ、第二接触部１１を形成するくし歯状に分
離突出した弾性片１２には、精密基板の周縁部を押圧す
るＶ溝が設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、シリコンウェーハ
やマスクガラス等の精密基板の収納、貯蔵、保管、輸
送、工程内搬送等に用いられる精密基板収納容器及びそ
の精密基板押さえ部材に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】シリコンウェーハやマスクガラス等の精
密基板は、微小なパーティクルによる汚染を極度に嫌
う。これら精密基板を輸送・保管する工程にはクリーン
な環境が要求され、作業者による発塵、汚染を避けるた
めに自動化された機械により取り扱われる。また、精密
基板は、精密基板収納容器（以下、収納容器という。）
に収納された状態であっても、収納容器との接触による
擦れや、収納容器を構成する樹脂材料からの微量のアウ
トガスによっても汚染される可能性があった。
【０００３】そのため、収納容器の材料の選定にあたっ
ては、極力精密基板を汚染させないような原材料を選ぶ
必要があり、特に、精密基板と直に接触する押さえ部材
の原材料の選定は重要なものであった。押さえ部材の原
材料としては、例えば、特開平１１−１６３１１５号公
報に記載されているような、発生ガスを低減させたもの
が提案されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前記したとおり、精密
基板は微小なパーティクルによる汚染を極度に嫌うた
め、収納容器を使用したり保管したりする外部の環境及
び収納容器内部の環境もクリーンな状態とすることが望
まれている。さらに、昨今の半導体産業における精密基
板の大口径化と半導体デバイス部品の益々の高密度化、
高集積化に伴い、収納容器の内外の環境をよりクリーン
度の高い状態にすることが要求されている。
【０００５】一方、収納容器は、精密基板の大型化、大
口径化と共に、大容量のものとなってきており、それに
伴って押さえ部材の表面積も大きく部材の厚みも厚くな
り、精密基板を汚染するアウトガスの量も増加するた
め、その絶対量の低下が必要とされてきている。一般に
樹脂材料に比べ、押さえ部材を形成する熱可塑性エラス
トマー材料は、低分子成分や添加剤が多く、アウトガス
量が多いであろうと推測されていた。
【０００６】近年の分析方法の進歩により、成形品から
のアウトガス量を、対象物を密封容器に封入し、所定の
温度(例えば、６０℃)で一定時間(例えば、１時間)放置
した後、密封容器のガスを捕集して、ガスクロマトグラ
フィー、マススペクトル等によって定量、定性分析する
方法(ヘッドスペース法)によって精度良く測定すること
が可能となってきた。
【０００７】その結果、通常、収納容器を形成するポリ
プロピレンやポリカーボネートやポリブチレンテレフタ
レート等の熱可塑性樹脂に比べて、ポリオレフィン系の
熱可塑性エラストマーやポリエステル系等の熱可塑性エ
ラストマーは、１０〜５０倍程度アウトガスが発生し易
いこと、さらにテトラヒドロフラン等のように精密基板
に付着した場合に除去が困難な成分が熱分解等で発生す
ることが解ってきた。そのため、アウトガスの発生量が
多い熱可塑性エラストマー材料からなる押さえ部材のア
ウトガス対策が重要な課題となってきた。
【０００８】また、熱可塑性エラストマーのみからなる
押さえ部材は、クリープ変形量が大きく長期間の保管中
に保持力が変化してしまうので好ましくなく、１回でも
使用した後のものと新品とでは、精密基板の押さえ位置
や、保持力が変わってしまい、バラツキの要因となって
いたので、再使用ができずに交換されていた。
【０００９】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
のであり、収納容器に精密基板を収納する際に悪影響を
及ぼす押さえ部材から発生するアウトガス量を低減させ
るのに好適で、精密基板を円滑にかつ最適な押圧状態で
収納できる収納容器及びその押さえ部材を提供するもの
である。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するため、精密基板収納容器の押さえ部材を、少なく
とも精密基板を押圧保持する接触部と、この接触部を除
く部分とを、異なる材質で形成している。また、押さえ
部材は、蓋体の内側面に取り付けられるように形成され
た方形の枠体部と、この枠体部の一方の対向する各辺か
らそれぞれ内方に張出すように設けられた一対の架設部
とを有し、それぞれの架設部には精密基板を押圧保持す
る接触部が形成され、この接触部には、精密基板の周縁
部を受け入れるＶ字状溝が設けられている。このＶ字状
溝は、溝の奥側の第一傾斜面とこの第一傾斜面よりも開
口側に拡開する第二傾斜面とを有している。
【００１１】また、前記押さえ部材の接触部は、熱可塑
性エラストマーから形成されている。さらに、本発明の
精密基板収納容器は、少なくとも精密基板との接触部が
熱可塑性エラストマーから形成され、前記接触部以外を
熱可塑性樹脂から形成された押さえ部材が取り付けられ
ている。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を添
付図面に基づき詳細に説明するが、本発明は、以下の実
施形態に限定されるものではない。まず、本発明の押さ
え部材が適用される収納容器の一例を、図５に示す斜視
図に基づいて説明する。図５に示す収納容器は、精密基
板を収納する容器本体３０と、蓋体３１から構成されて
おり、容器本体３０内の対向する内壁面には、それぞれ
精密基板を水平状態で整列収納できるように、精密基板
の端縁部を受け入れ保持する断面が角張ったＵ字状の支
持部３２が一定間隔に連設されている。また、容器本体
３０の開口部の周縁には、蓋体３１を容器本体３０に係
止するための蓋体係止部３３が少なくとも一対形成さ
れ、容器本体３０の外側壁面には、自動搬送用のロボテ
ィックハンドルや手動搬送用のハンドルである把持部３
４が必要に応じて取り付けられている。
【００１３】蓋体３１の側壁には、前記した容器本体３
０の蓋体係止部３３と嵌合する係止部分を有する一対の
係止手段３５が軸止され、蓋体３１が容器本体３０に係
止されるときに、容器本体３０の内側縁に形成された段
差部と相対する部分には、この段差部に嵌り込む凸部３
６が形成され、この凸部３６の周囲には、収納容器の密
封性を維持するエンドレス形状をしたシール部材３７が
取り付けられている。さらに、蓋体３１の内側面には、
精密基板と当接してこれを押圧保持するための押さえ部
材３８が取付けられており、この押さえ部材には精密基
板を正しい位置で保持する溝が形成されている。
【００１４】また、容器本体３０と蓋体３１とは、成形
性が良好で機械的特性に優れ、汚染性の少ないポリカー
ボネート樹脂、ポリブチレンテレフタレート、ポリエー
テルスルフォン、ポリプロピレンなどの熱可塑性樹脂で
形成されるが、特には収納容器の内部が視認できるよう
に、透明性の良好な、ポリカーボネート樹脂、ノルボル
ネン系の樹脂、アクリル樹脂などの熱可塑性樹脂が採用
され、さらに、必要に応じて、帯電防止機能や導電性を
付与するための帯電防止剤や導電材料等の添加材を前記
した樹脂に添加したものも採用できる。
【００１５】次に、前記したような収納容器に適用され
る本発明の押さえ部材について、図１〜図４に基づいて
説明する。図１は、蓋体の内側面に取り付けられて、精
密基板を押圧保持する押さえ部材を示す平面図であり、
図２は、図１のＩ−Ｉ線に沿った拡大断面図であり、押
さえ部材に設けられる精密基板との接触部を示してい
る。また、図３は、図１の円で囲むＡ部の部分拡大平面
図であり、図４は、図３のＩＩ−ＩＩ線に沿った拡大断
面図である。
【００１６】図１、図２に示すように、本発明の押さえ
部材１には、方形の枠体部２と、この枠体部２の一方の
対向する各辺３，３からそれぞれ内方に張出した一対の
架設部４，４が設けられている。この架設部４，４は、
上面を傾斜面で切った切頭三角柱状に形成され、この上
面には、精密基板を押圧保持する接触部５，５が形成さ
れ、この接触部５，５の上面の傾斜面には、精密基板の
周縁部を受け入れるＶ字状溝６，６が形成されている。
このＶ字状溝６は、単一な傾斜面の組み合わせであって
も良いが、図４に示すように、溝の奥側の第一傾斜面７
と、この第一傾斜面７よりも開口側に拡開する第二傾斜
面８を有するように形成しても良い。
【００１７】図４に示すＶ字状溝６の第一傾斜面７は、
精密基板が収納容器内で支持されるときの水平面となす
角度が、１°〜５°の傾斜角度に形成され、Ｖ字状溝６
の奥部に精密基板１５の周縁部を嵌め入れて溝奥部の壁
面間で挟持状に保持する。また、同様に第二傾斜面８
は、精密基板が収納容器内で支持されるときの水平面と
なす角度が、６°〜７０°の傾斜角度に形成され、精密
基板１５をＶ字状溝６の奥部に円滑に導くための役割を
する。第二傾斜面８は、図３に示すように、上下方向で
非対称形となる傾斜面を千鳥状にかつ張出状に形成させ
て、円滑かつ確実にＶ字状溝６の奥部内に精密基板１４
を導くように形成されている。
【００１８】Ｖ字状溝６は、断面形状を第一傾斜面７か
ら第二傾斜面８に拡開した二段のテーパー状にすること
により、押さえ部材を取付けた蓋体を容器本体に取り付
けて閉じる際、内部に収納した精密基板１５の端縁に第
二傾斜面８が当接し、続いて精密基板１５の端縁部はそ
のままこの第二傾斜面８を滑って第一傾斜面７に入り、
円滑にＶ字状溝６の奥部に確実に導かれるが、傾斜面で
あるので精密基板の研磨面（鏡面加工部分）がＶ字状溝
の内面と接触することはない。Ｖ字状溝６は、その幅を
精密基板１５の厚さとほぼ同じにすることにより、Ｖ字
状溝６内に精密基板１５を確実に保持できて、収納容器
の輸送中に生じる振動や回転による摩擦等によるパーテ
ィクルの発生を防止できる。さらに、落下等の衝撃が収
納容器に加えられてもＶ字状溝６内から精密基板１５が
外れることなく確実に保持できるので、精密基板の破損
を防止できる。
【００１９】押さえ部材の個々の接触部５は、精密基板
のそれぞれに弾性的に接触し保持できるように、隣接す
る接触部同士の間にはスリット１６が形成されていて、
それぞれの接触部が独立して精密基板と接触するように
なっている。また、接触部５は、収納容器を輸送する時
の振動による回転で精密基板に摩耗や損傷が生じないよ
うに、精密基板と接触する左右両側の各位置と精密基板
の中心を結ぶ線で形成される内角が、６０°〜１５０
°、好ましくは９０°〜１２０°の範囲となるように設
定すると良い。
【００２０】また、前記枠体部２の一方の対向する各辺
３，３から、それぞれ内方に張出すように設けられた一
対の架設部４，４の内方側に、枠体部２の他方の対向す
る辺９，９に連結する支柱部１０，１０が一体に設けら
れ、これらの支柱部１０，１０のそれぞれの側辺から延
びる張出辺縁部には、精密基板の周縁部と接触する第二
接触部１１，１１が形成されている。この第二接触部１
１，１１は、くし歯状に分離突出した多数の弾性片１２
に形成されており、この弾性片１２の先端突部には、容
器本体に収納された精密基板の周縁部を受け入れて係止
するＶ溝１３が設けられている。このＶ溝１３は、単一
な傾斜面の組み合わせであっても良いが、図４に示した
接触部のＶ字状溝６と同様、奥側に比べて開口側を拡開
する二つの傾斜面を有するように形成しても良い。Ｖ字
状溝６とＶ溝１３は、いずれも図４に示した断面形状と
することもできるし、どちらか一方だけを図４に示した
断面形状とすることもできる。
【００２１】第二接触部１１に形成される弾性片１２
は、弾性を有し、収納容器の落下などの強い衝撃から精
密基板を守り、より安全に輸送するのに重要な役割をす
る。なお、第二接触部１１は、図１のように上下方向に
一定ピッチで向き合うように設けるのが好ましいが、対
向する二列のうちどちらか一方にだけ第二接触部１１を
設けて(片側は一段置き)、全体として千鳥配置になるよ
うに設けても良い。この場合は、精密基板１５とは三点
接触になる。また、枠体部２の周縁部には、複数の切欠
や突起などの係止手段１４が設けられ、これらが蓋体の
内側面に形成された係止手段と組み合わされて、押さえ
部材１は蓋体の内側面に容易に着脱できるようになって
いる。
【００２２】本発明の押さえ部材１は、少なくとも上記
した接触部５及び第二接触部１１を形成する材料と、押
さえ部材１の前記接触部５，１１を除いた部分（以下、
非接触部という。）とを異なる原材料で形成し、これを
一体化したものである。ここで、熱可塑性エラストマー
から形成される少なくとも接触部の意味には、実際に精
密基板と接触するＶ字状溝６やＶ溝１３に加え、押さえ
部材が相対する精密基板のそれぞれに対して１枚毎に弾
性的に接触するように板ばね状に分割された弾性部分を
含んでいる。前記接触部５，１１は、これにかかる精密
基板収納時の衝撃緩和性に鑑み、曲げ弾性強度の良好な
ポリエステル系の熱可塑性エラストマーやポリオレフィ
ン系の熱可塑性エラストマーで形成すると良い。
【００２３】これに対し、押さえ部材の非接触部は、高
剛性で前記接触部５，１１との相溶性の良好な材質が選
択される。例えば、押さえ部材の接触部にポリエステル
系の熱可塑性エラストマーを選択した場合には、非接触
部はポリエチレンテレフタレートやポリブチレンテフタ
レート、ポリカーボネートあるいはこれらのアロイ樹脂
が好適であり、押さえ部材の接触部５，１１にポリオレ
フィン系の熱可塑性エラストマーを選択した場合には、
非接触部はポリプロピレンやポリエチレンなどが好適に
選択される。
【００２４】次に、本発明の異なる原材料からなる押さ
え部材を製造する方法を、図６、図７に示した成形用金
型の略図を用いて説明する。図において、２０は固定金
型を示し、２１は移動金型を示している。押さえ部材の
枠体部及び架設部の一部を形成する非接触部２２は、予
め専用の金型を用いて、ポリカーボネート樹脂やポリブ
チレンテレフタレートあるいはポリカーボネートとポリ
ブチレンテレフタレートのアロイ樹脂等から形成され
る。
【００２５】図６は、予め形成された押さえ部材の非接
触部２２を、接触部成形用の金型のキャビティ２３内に
インサートした状態を示している。図７は、図６のよう
に押さえ部材の非接触部２２がインサートされた金型を
射出成形機(図示せず)に取り付けて、型締し接触部を形
成するキャビティ２３内に、非接触部２２とは異なる樹
脂を注入口２４から充填する状態を示している。
【００２６】図６、図７では、金型はスリープレート構
造のものを示しているが、これに限らず、ホットランナ
ーを使った二枚プレートの構造のものでもよい。また、
接触部を先に成形し、非接触部２２を後から成形して一
体化しても良い。これまでは、非接触部２２と接触部の
どちらかの部品を先に形成して、後から成形するもう一
方の部品と一体化する例を説明したが、この他にも二色
成形機を使って、一つの金型を使って連続的に異なる樹
脂を成形することもできる。この場合は、一方の材料を
充填した後、金型のコアをスライドさせたり回転させた
りして新たなキャビティを形成し、そこに別の樹脂を充
填して先に成形した部分と一体化すると良い。
【００２７】本発明の押さえ部材１は、例えば、図５に
示す蓋体３１の内側面に形成された係止手段に、図１に
示す押さえ部材１の枠体部の係止手段１４を嵌め込んで
取付ける。その際、熱可塑性樹脂同士で擦られるように
なるので、この部分も接触部と同様に熱可塑性エラスト
マーで成形して枠体部と一体化することが好ましい。
【００２８】本発明の押さえ部材は、精密基板の非接触
部と接触部とを異なる材料で形成したものであり、非接
触部２２は、熱可塑性樹脂で形成し、精密基板と接触す
る接触部５や第二接触部１１の周辺だけを熱可塑性エラ
ストマーで形成しているので、従来の押さえ部材に比べ
て熱可塑性エラストマーの使用量を容積比で１/３〜１/
６に低下できる。したがって、収納容器に精密基板を保
管しているときに発生するアウトガス量もほぼこれに比
例させて著しく低減でき、精密基板を収納容器内で長期
間保管する場合においても汚染することなく安全に使用
できる。また、押さえ部材の大部分を占める非接触部を
高剛性の熱可塑性樹脂で形成できるので、熱可塑性エラ
ストマーのみから形成された従来の押さえ部材に比べ
て、クリープ変形量が格段に小さくでき、長期間の保管
や再利用も可能となる。
【００２９】さらに、押さえ部材の接触部に設けられた
角度の異なる傾斜面を有するＶ字状溝により、精密基板
が収納された容器本体に、蓋体を係止して閉じる際、収
納容器内部の精密基板をＶ字状溝及び第二接触部に設け
られたＶ溝に円滑かつ確実に誘導することができ、かつ
蓋体を閉じた後には、前記溝内に誘導された精密基板が
溝内部に確実に保持されると共に第二接触部の弾性片が
精密基板を弾力的に押圧するので、収納された精密基板
への最適な押圧保持が実現できる。
【００３０】なお、前記実施の形態の説明では、蓋体内
面に取り付けられるフロントリテーナについて記載した
が、本発明はこれだけに止まらず、前記フロントリテー
ナと向き合うように収納容器の開口と相対する側壁に取
り付けられるリアリテーナについても同様に、精密基板
との接触部を熱可塑性エラストマーで形成し、その他の
部分をこれと異なる熱可塑性樹脂から形成し、一体化す
ることができる。
【００３１】
【発明の効果】本発明の押さえ部材によれば、収納容器
に精密基板を収納する際に悪影響を及ぼす押さえ部材か
ら発生するアウトガス量を大幅に低減させることがで
き、また、収納容器に収納した精密基板に対し、最適な
押圧状態で確実に保持できるので、収納容器にかかる振
動、衝撃等から精密基板を有効に保護することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の収納容器の押さえ部材を表す平面
図。
【図２】 図１のＩ−Ｉ線に沿った拡大断面図。
【図３】 図１の円で囲うＡ部の部分拡大平面図。
【図４】 図３のＩＩ−ＩＩ線に沿った拡大断面図。
【図５】 本発明の押さえ部材が取付けられる収納容器
の斜視図。
【図６】 金型に本発明の押さえ部材の非接触部をイン
サートした状態を示す概略断面図。
【図７】 金型に本発明の押さえ部材の接触部を形成す
る状態を示す概略断面図。
【符号の説明】
１ 押さえ部材 ２ 枠体部 ３ 枠体部の対向辺 ４ 架設部 ５ 精密基板の接触部 ６ Ｖ字状溝 ７ Ｖ字状溝の第一傾斜面 ８ Ｖ字状溝の第二傾斜面 ９ 枠体部の他の対向辺 １０ 支柱部 １１ 精密基板の第二接触部 １２ 弾性片 １３ Ｖ溝 １４ 係止手段 １５ 精密基板 １６ スリット ２０ 固定金型 ２１ 移動金型 ２２ 非接触部 ２３ キャビティ ２４ 注入口 ３０ 容器本体 ３１ 蓋体 ３２ 支持部 ３３ 蓋体係止部 ３４ 把持部 ３５ 係止手段 ３６ 凸部 ３７ シール部材 ３８ 押さえ部材
フロントページの続き (72)発明者 細井 正人 新潟県糸魚川市大字大和川715 新潟ポリ マー株式会社内 (72)発明者 工藤 秀雄 福島県西白河郡西郷村大字小田倉字大平 150 信越半導体株式会社半導体白河研究 所内 (72)発明者 松尾 孝 福島県西白河郡西郷村大字小田倉字大平 150 信越半導体株式会社半導体白河研究 所内 Ｆターム(参考） 3E096 AA06 BA15 BB03 CA08 CB03 DA03 DB01 DC01 FA03 GA04 5F031 CA02 CA05 DA08 EA02 EA06 EA10 EA12 EA14 EA19 FA01 FA02 NA02 NA18 PA18 PA21 PA26

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 一端に開口を有し、精密基板を収納する
    精密基板収納容器本体と前記収納容器本体に係止可能に
    設けられた蓋体とからなる精密基板収納容器に取付けら
    れる精密基板の押さえ部材であって、前記押さえ部材
    が、少なくとも精密基板を押圧保持する接触部とこの接
    触部を除く部分とを、異なる材質で形成してなることを
    特徴とする精密基板収納容器の押さえ部材。
  2. 【請求項２】 前記押さえ部材が、前記蓋体の内側面に
    取り付けられるように形成されており、方形の枠体部
    と、この枠体部の一方の対向する各辺からそれぞれ内方
    に張出すように設けられた一対の架設部とを有し、それ
    ぞれの架設部には精密基板を押圧保持する接触部が形成
    され、この接触部には、精密基板の周縁部を受け入れる
    Ｖ字状溝が設けられている請求項１記載の精密基板収納
    容器の押さえ部材。
  3. 【請求項３】 前記接触部に設けられたＶ字状溝が、溝
    の奥側の第一傾斜面とこの第一傾斜面よりも開口側に拡
    開する第二傾斜面とを有してなる請求項１または請求項
    ２記載の精密基板収納容器の押さえ部材。
  4. 【請求項４】 前記押さえ部材の接触部が、熱可塑性エ
    ラストマーから形成されてなる請求項１ないし請求項３
    のいずれか１項記載の精密基板収納容器の押さえ部材。
  5. 【請求項５】 少なくとも精密基板との接触部が熱可塑
    性エラストマーから形成され、前記接触部以外を熱可塑
    性樹脂から形成された押さえ部材が取り付けられている
    ことを特徴とする精密基板収納容器。
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KR1020037000525A KR100890884B1 (ko) 2001-05-30 2002-05-30 정밀기판 수납용기 및 그 누름부재
US10/332,616 US7017749B2 (en) 2001-05-30 2002-05-30 Precision substrate storage container and retaining member therefor
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WO (1) WO2002097879A1 (ja)

Cited By (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7017750B2 (en) 2002-12-02 2006-03-28 Miraial Co., Ltd. Thin plate storage container
US7316315B2 (en) 2002-12-02 2008-01-08 Miraial Co., Ltd. Thin plate storage container and lid having at least one thin plate supporting member
US7357257B2 (en) 2002-12-27 2008-04-15 Miraial Co., Ltd. Thin plate supporting container
JP2009123813A (ja) * 2007-11-13 2009-06-04 Shin Etsu Polymer Co Ltd リテーナ及び基板収納容器
JP2009124063A (ja) * 2007-11-19 2009-06-04 Shin Etsu Polymer Co Ltd リテーナ及び基板収納容器
JP2009231386A (ja) * 2008-03-19 2009-10-08 Sanyo Electric Co Ltd 基板ケース及び処理方法
WO2009131016A1 (ja) 2008-04-25 2009-10-29 信越ポリマー株式会社 リテーナ、及びリテーナを備えた基板収納容器
JP2009272472A (ja) * 2008-05-08 2009-11-19 Shin Etsu Polymer Co Ltd 基板収納容器
JP2009283537A (ja) * 2008-05-20 2009-12-03 Shin Etsu Polymer Co Ltd 基板収納容器
JP2010013176A (ja) * 2008-07-07 2010-01-21 Shin Etsu Polymer Co Ltd 処理治具用の収納ケース
WO2011004729A1 (ja) * 2009-07-09 2011-01-13 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
JP2011222587A (ja) * 2010-04-05 2011-11-04 Shin Etsu Polymer Co Ltd リテーナ及び基板収納容器
JP2012004380A (ja) * 2010-06-17 2012-01-05 Shin Etsu Polymer Co Ltd 基板収納容器
US8356713B2 (en) 2007-11-09 2013-01-22 Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. Retainer and substrate storage container
KR101230775B1 (ko) * 2004-11-23 2013-02-06 엔테그리스, 아이엔씨. 웨이퍼 및 웨이퍼 유지용 용기의 조합체, 및 웨이퍼 유지용 용기
WO2014057573A1 (ja) * 2012-10-12 2014-04-17 ミライアル株式会社 蓋体側基板支持部の汚染を抑制する基板収納容器
WO2014057572A1 (ja) * 2012-10-12 2014-04-17 ミライアル株式会社 基板収納容器
KR101411367B1 (ko) 2012-01-17 2014-06-27 비아이 이엠티 주식회사 웨이퍼 카세트용 쿠션
JP2015518279A (ja) * 2012-04-09 2015-06-25 インテグリス・インコーポレーテッド ウェーハ輸送容器
JP2016127206A (ja) * 2015-01-07 2016-07-11 信越ポリマー株式会社 基板収納容器およびフロントリテーナ
JP2016149492A (ja) * 2015-02-13 2016-08-18 ミライアル株式会社 基板収納容器

Families Citing this family (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4681221B2 (ja) * 2003-12-02 2011-05-11 ミライアル株式会社 薄板支持容器
WO2005112535A1 (ja) * 2004-05-13 2005-11-24 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. 部品供給用プレート収容体及び部品供給装置
JP4667769B2 (ja) * 2004-06-11 2011-04-13 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
US20060042998A1 (en) * 2004-08-24 2006-03-02 Haggard Clifton C Cushion for packing disks such as semiconductor wafers
WO2006035894A1 (ja) * 2004-09-29 2006-04-06 Hoya Corporation 薄膜付基板の支持部材、薄膜付基板の収納容器、マスクブランク収納体、転写マスク収納体、及び薄膜付基板の輸送方法
JP2006269771A (ja) * 2005-03-24 2006-10-05 Miraial Kk 気密容器
JP4584023B2 (ja) * 2005-05-17 2010-11-17 信越ポリマー株式会社 基板収納容器及びその製造方法
KR100693937B1 (ko) * 2005-10-13 2007-03-12 정자훈 멀티미디어 기능 강의대용 커버개폐레일장치
JP4827500B2 (ja) * 2005-11-16 2011-11-30 信越ポリマー株式会社 梱包体
KR101395467B1 (ko) * 2006-06-13 2014-05-14 엔테그리스, 아이엔씨. 재사용이 가능한 웨이퍼 용기용 탄성 쿠션
KR101472145B1 (ko) * 2006-11-07 2014-12-12 신에츠 폴리머 가부시키가이샤 기판 수납 용기
US20080157455A1 (en) * 2006-12-29 2008-07-03 Applied Materials, Inc. Compliant substrate holding assembly
TWM356220U (en) 2007-08-08 2009-05-01 E Pak International Inc Container
US7967146B2 (en) * 2007-08-08 2011-06-28 E.Pak International, Inc. Container
TWI337162B (en) * 2008-07-31 2011-02-11 Gudeng Prec Industral Co Ltd A wafer container with constraints
TWI384577B (zh) * 2008-07-31 2013-02-01 Gudeng Prec Industral Co Ltd 門上凹陷區域兩旁配置有晶圓限制件模組之前開式晶圓盒
US7971722B2 (en) * 2008-08-08 2011-07-05 Gudeng Precision Industral Co, Ltd Wafer container with restrainer
TWI400766B (zh) * 2008-08-27 2013-07-01 Gudeng Prec Industral Co Ltd 具一體成形晶圓限制件模組之前開式晶圓盒
TWI343353B (en) * 2008-11-04 2011-06-11 Gudeng Prec Industral Co Ltd A wafer container having the snap-fitting constraint module
US20100282695A1 (en) * 2008-11-05 2010-11-11 Mark Sandifer High strength camfer on quartzware
SG184004A1 (en) 2010-03-11 2012-10-30 Entegris Inc Thin wafer shipper
WO2012054627A2 (en) * 2010-10-19 2012-04-26 Entegris, Inc. Front opening wafer container with wafer cushion
US9099514B2 (en) 2012-03-21 2015-08-04 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Wafer holder with tapered region
TWI568653B (zh) 2012-05-04 2017-02-01 恩特葛瑞斯股份有限公司 具有安裝在門上的運輸緩衝墊的晶圓容器
TWM453240U (zh) * 2013-01-10 2013-05-11 Gudeng Prec Ind Co Ltd 具有保護套的限制件
US9304690B2 (en) 2014-05-07 2016-04-05 HGST Netherlands B.V. System and method for peer-to-peer PCIe storage transfers
JP6391333B2 (ja) * 2014-07-10 2018-09-19 ミライアル株式会社 基板収納容器及びリテーナ
KR20160033910A (ko) * 2014-09-19 2016-03-29 삼성전자주식회사 리테이너 및 이를 포함하는 웨이퍼 캐리어
JP6430195B2 (ja) * 2014-09-29 2018-11-28 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板収納容器
JP6430649B2 (ja) 2014-12-18 2018-11-28 インテグリス・インコーポレーテッド 衝撃状態保護具を有するウエハ収納容器
TWM510539U (zh) * 2015-03-13 2015-10-11 Entegris Inc 使用於膜架傳送裝置的修改彈簧墊
TW201709386A (zh) * 2015-03-25 2017-03-01 恩特葛瑞斯股份有限公司 晶片容器
CN107431036B (zh) * 2015-04-10 2021-09-28 信越聚合物株式会社 基板收纳容器
KR102325657B1 (ko) * 2017-08-09 2021-11-12 미라이얼 가부시키가이샤 기판 수납 용기
CN107521807B (zh) * 2017-08-31 2019-02-05 重庆旭永科技发展有限公司 一种多用托盘
CN114287055A (zh) * 2019-07-19 2022-04-05 恩特格里斯公司 晶片缓冲器
JP7313975B2 (ja) * 2019-08-27 2023-07-25 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
JP7414982B2 (ja) * 2020-05-19 2024-01-16 ミライアル株式会社 基板収納容器

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4061228A (en) * 1976-12-20 1977-12-06 Fluoroware, Inc. Shipping container for substrates
US5253755A (en) * 1991-03-20 1993-10-19 Fluoroware, Inc. Cushioned cover for disk container
US5273159A (en) * 1992-05-26 1993-12-28 Empak, Inc. Wafer suspension box
US5555981A (en) * 1992-05-26 1996-09-17 Empak, Inc. Wafer suspension box
JP2908985B2 (ja) 1994-07-19 1999-06-23 信越ポリマー株式会社 ウェーハ収納容器のウェーハ抑え
JPH08204356A (ja) * 1995-01-27 1996-08-09 Mitsubishi Electric Corp 電子機器筺体の防水構造
JP2779143B2 (ja) 1995-03-17 1998-07-23 信越ポリマー株式会社 半導体ウェーハ収納容器
JP3968142B2 (ja) * 1997-02-20 2007-08-29 Ｓｕｍｃｏ Ｔｅｃｈｘｉｖ株式会社 包装容器における半導体ウェハの支持溝構造
US6267245B1 (en) * 1998-07-10 2001-07-31 Fluoroware, Inc. Cushioned wafer container
EP0998177B1 (en) * 1998-10-30 2007-04-18 Bridgestone Corporation Gasketed covers and process for producing the covers
JP3556519B2 (ja) 1999-04-30 2004-08-18 信越ポリマー株式会社 基板収納容器の識別構造及び基板収納容器の識別方法

Cited By (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7017750B2 (en) 2002-12-02 2006-03-28 Miraial Co., Ltd. Thin plate storage container
US7216766B2 (en) 2002-12-02 2007-05-15 Miraial Co., Ltd. Thin plate storage container with handled supporting member
US7316315B2 (en) 2002-12-02 2008-01-08 Miraial Co., Ltd. Thin plate storage container and lid having at least one thin plate supporting member
US7357257B2 (en) 2002-12-27 2008-04-15 Miraial Co., Ltd. Thin plate supporting container
US7383955B2 (en) 2002-12-27 2008-06-10 Miraial Co., Ltd. Thin plate supporting container
US7410061B2 (en) 2002-12-27 2008-08-12 Miraial Co., Ltd. Thin plate supporting container
US7497333B2 (en) 2002-12-27 2009-03-03 Miraial Co., Ltd. Thin plate supporting container
US7520388B2 (en) 2002-12-27 2009-04-21 Miraial Co., Ltd. Thin plate supporting container
KR101230775B1 (ko) * 2004-11-23 2013-02-06 엔테그리스, 아이엔씨. 웨이퍼 및 웨이퍼 유지용 용기의 조합체, 및 웨이퍼 유지용 용기
JP5253410B2 (ja) * 2007-11-09 2013-07-31 信越ポリマー株式会社 リテーナ及び基板収納容器
US8356713B2 (en) 2007-11-09 2013-01-22 Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. Retainer and substrate storage container
JP2009123813A (ja) * 2007-11-13 2009-06-04 Shin Etsu Polymer Co Ltd リテーナ及び基板収納容器
JP2009124063A (ja) * 2007-11-19 2009-06-04 Shin Etsu Polymer Co Ltd リテーナ及び基板収納容器
JP2009231386A (ja) * 2008-03-19 2009-10-08 Sanyo Electric Co Ltd 基板ケース及び処理方法
US8118169B2 (en) 2008-04-25 2012-02-21 Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. Retainer and substrate storage container provided with same retainer
WO2009131016A1 (ja) 2008-04-25 2009-10-29 信越ポリマー株式会社 リテーナ、及びリテーナを備えた基板収納容器
JP2009272472A (ja) * 2008-05-08 2009-11-19 Shin Etsu Polymer Co Ltd 基板収納容器
JP2009283537A (ja) * 2008-05-20 2009-12-03 Shin Etsu Polymer Co Ltd 基板収納容器
JP2010013176A (ja) * 2008-07-07 2010-01-21 Shin Etsu Polymer Co Ltd 処理治具用の収納ケース
JP2011018771A (ja) * 2009-07-09 2011-01-27 Shin Etsu Polymer Co Ltd 基板収納容器
WO2011004729A1 (ja) * 2009-07-09 2011-01-13 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
JP2011222587A (ja) * 2010-04-05 2011-11-04 Shin Etsu Polymer Co Ltd リテーナ及び基板収納容器
JP2012004380A (ja) * 2010-06-17 2012-01-05 Shin Etsu Polymer Co Ltd 基板収納容器
KR101411367B1 (ko) 2012-01-17 2014-06-27 비아이 이엠티 주식회사 웨이퍼 카세트용 쿠션
JP2015518279A (ja) * 2012-04-09 2015-06-25 インテグリス・インコーポレーテッド ウェーハ輸送容器
WO2014057573A1 (ja) * 2012-10-12 2014-04-17 ミライアル株式会社 蓋体側基板支持部の汚染を抑制する基板収納容器
WO2014057572A1 (ja) * 2012-10-12 2014-04-17 ミライアル株式会社 基板収納容器
JPWO2014057572A1 (ja) * 2012-10-12 2016-08-25 ミライアル株式会社 基板収納容器
US9698033B2 (en) 2012-10-12 2017-07-04 Miraial Co., Ltd. Substrate storing container
JP2016127206A (ja) * 2015-01-07 2016-07-11 信越ポリマー株式会社 基板収納容器およびフロントリテーナ
JP2016149492A (ja) * 2015-02-13 2016-08-18 ミライアル株式会社 基板収納容器

Also Published As

Publication number Publication date
EP1394850A1 (en) 2004-03-03
ATE473517T1 (de) 2010-07-15
EP1394850A4 (en) 2006-03-08
WO2002097879A1 (fr) 2002-12-05
JP3938293B2 (ja) 2007-06-27
DE60236931D1 (de) 2010-08-19
KR20030022279A (ko) 2003-03-15
TWI272690B (en) 2007-02-01
EP1394850B1 (en) 2010-07-07
US7017749B2 (en) 2006-03-28
KR100890884B1 (ko) 2009-03-31
US20030221985A1 (en) 2003-12-04

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