JP5160298B2 - 基板収納容器 - Google Patents
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Description
容器本体の内部背面に、半導体ウェーハの周縁部後端に接触する板バネを取り付け、各支持片を半導体ウェーハの周縁部側方に下方から対向させてその内側の前後部には切り欠きをそれぞれ形成し、各切り欠きに、半導体ウェーハの裏面の周縁部を除く内側領域に下方から点接触する支持ピンを後付けして一体化し、容器本体の内部両側の後方と半導体ウェーハ用の突き当て壁とをそれぞれ一体成形するとともに、各突き当て壁を支持片の後方に位置させ、各突き当て壁の先端部を半導体ウェーハの周縁部側方に接触する接触部とし、この接触部には、半導体ウェーハの周縁部側方を支持する凹凸を形成したことを特徴としている。
2 周縁部
3 内側領域
10 容器本体
12 板バネ(弾性片)
15 支持片
16 切り欠き
17 支持ピン
18 突き当て壁
19 接触部
20 凹凸
30 蓋体
33 フロントリテーナ
Claims (1)
- 直径が450mm以上の半導体ウェーハを収納するフロントオープンボックスの容器本体と、この容器本体に着脱自在に嵌合される搬送用の嵌合保持体と、容器本体の開口した正面部に着脱自在に嵌合される蓋体とを含み、容器本体の内部両側に、半導体ウェーハ用の支持片をそれぞれ一体成形した基板収納容器であって、
容器本体の内部背面に、半導体ウェーハの周縁部後端に接触する板バネを取り付け、各支持片を半導体ウェーハの周縁部側方に下方から対向させてその内側の前後部には切り欠きをそれぞれ形成し、各切り欠きに、半導体ウェーハの裏面の周縁部を除く内側領域に下方から点接触する支持ピンを後付けして一体化し、容器本体の内部両側の後方と半導体ウェーハ用の突き当て壁とをそれぞれ一体成形するとともに、各突き当て壁を支持片の後方に位置させ、各突き当て壁の先端部を半導体ウェーハの周縁部側方に接触する接触部とし、この接触部には、半導体ウェーハの周縁部側方を支持する凹凸を形成したことを特徴とする基板収納容器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008122055A JP5160298B2 (ja) | 2008-05-08 | 2008-05-08 | 基板収納容器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008122055A JP5160298B2 (ja) | 2008-05-08 | 2008-05-08 | 基板収納容器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009272472A JP2009272472A (ja) | 2009-11-19 |
JP5160298B2 true JP5160298B2 (ja) | 2013-03-13 |
Family
ID=41438767
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2008122055A Active JP5160298B2 (ja) | 2008-05-08 | 2008-05-08 | 基板収納容器 |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5160298B2 (ja) |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06216229A (ja) * | 1993-01-18 | 1994-08-05 | Hitachi Ltd | ウェハキャリア |
JPH0662542U (ja) * | 1993-01-29 | 1994-09-02 | 信越半導体株式会社 | ウエーハカセット |
JPH07263520A (ja) * | 1994-03-17 | 1995-10-13 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板搬送・収納装置 |
JP3503710B2 (ja) * | 1994-06-28 | 2004-03-08 | 東京エレクトロン株式会社 | 半導体ウエハの熱処理用搭載治具及び熱処理装置 |
JP3552178B2 (ja) * | 1995-09-27 | 2004-08-11 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板収納カセット、インターフェイス機構および基板処理装置 |
JP4208303B2 (ja) * | 1998-09-08 | 2009-01-14 | 信越ポリマー株式会社 | 精密基板収納容器及びその組立方法 |
JP3938293B2 (ja) * | 2001-05-30 | 2007-06-27 | 信越ポリマー株式会社 | 精密基板収納容器及びその押さえ部材 |
JP4584023B2 (ja) * | 2005-05-17 | 2010-11-17 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器及びその製造方法 |
JP4412235B2 (ja) * | 2005-05-25 | 2010-02-10 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
JP5025962B2 (ja) * | 2006-02-15 | 2012-09-12 | ミライアル株式会社 | 薄板収納容器 |
-
2008
- 2008-05-08 JP JP2008122055A patent/JP5160298B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009272472A (ja) | 2009-11-19 |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120315 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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