KR102605057B1 - 기판 수납 용기 - Google Patents

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Abstract

용기 본체, 뚜껑체(3), 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부가 폐색되어 있을 때, 기판 수납 공간에 대향하는 뚜껑체(3)의 부분에 배치되어 복수의 기판의 연부를 지지 가능한 뚜껑체측 기판 지지부(7)를 구비하는 기판 수납 용기이며, 뚜껑체측 기판 지지부(7)는 기판의 지지 시에 기판의 연부를 받는 뚜껑체측 기판 받이부와, 뚜껑체(3)의 내면측에서 유지되는 테두리부(71)이며 뚜껑체(3)의 내면측을 향하는 제1면(711) 및 제1면(711)의 반대면인 제2면(712)을 갖는 테두리부(71)를 구비하고, 뚜껑체(3)는 테두리부(71)를 삽입 상태로 유지시키는 테두리부 유지부(35)이며, 제1면(711)에 대면하는 제3면(353) 및 제2면(712)에 대면하는 제4면(354)을 갖는 테두리부 유지부(35)를 구비하고, 뚜껑체측 기판 지지부(7)는 추가로, 테두리부(71)의 제1면(711)의 측에 제3면(353)의 측으로 돌출되는 제1 볼록부(76)를 구비하는 동시에, 테두리부(71)의 제2면(712)의 측에 테두리부(71)의 삽입 상태에서 테두리부 유지부(35)에 계합되는 계합부(75)를 구비한다.

Description

기판 수납 용기
본 발명은 기판 수납 용기에 관한 것으로, 특히 반도체 웨이퍼 등의 기판을 병렬시킨 상태에서 복수 수납하는 기판 수납 용기에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼 등의 기판을 수납하는 기판 수납 용기로는, 용기 본체와 뚜껑체를 구비하는 구성의 것이 알려져 있다. 용기 본체는 일단부에 용기 본체 개구부가 형성되고, 타단부가 폐색된 통 형상의 벽부를 갖는다. 용기 본체 내에는 기판 수납 공간이 형성되어 있다. 기판 수납 공간은 벽부에 의해 둘러싸여 형성되어 있으며, 복수의 기판을 수납 가능하다. 용기 본체는 기판 수납 공간의 안측(奧側)에 안측 기판 지지부를 구비하고 있다.
뚜껑체는 용기 본체 개구부에 대해 착탈 가능하며, 용기 본체 개구부에 장착될 때 용기 본체 개구부를 폐색한다. 뚜껑체는 용기 본체 개구부에 장착될 때 용기 본체의 기판 수납 공간에 면하는 내측(內側)에 뚜껑체측 기판 지지부('프론트 리테이너'라고도 불림)를 구비하고 있다. 프론트 리테이너는 뚜껑체가 용기 본체 개구부에 장착될 때, 용기 본체의 안측 기판 지지부와 협동하여 복수의 기판을 지지한다. 프론트 리테이너는 기판 받이부, 테두리부, 기판 받이부를 뚜껑체의 내측의 면으로부터 소정 간격 이격된 위치에 유지(保持)시키기 위해 기판 받이부와 테두리부를 접속하는 다리부를 구비하고 있다. 뚜껑체는 상기 내측에 테두리부가 삽입되어 테두리부(나아가서는 프론트 리테이너 전체)를 유지시키는 테두리부 유지부를 더 구비하고 있다(특허문헌 1 참조).
일본 공개특허공보 특개2012-004380호
특허문헌 1에 기재된 기술에서는, 테두리부가 삽입된 테두리부 유지부의 부분에는 테두리부와 테두리부 유지부의 대향면끼리는 거의 면 형상으로 당접(當接)하고 있다. 때문에, 대향면 사이의 틈이 미소해지기 쉬워 대향면 사이로 세정액(헹굼액을 포함)이 침입하기 어렵고, 또한 대향면 사이로부터 세정액이 빠지기 어렵다. 그 결과, 대향면 사이에 대해, 세정력의 부족, 세정액의 잔류, 건조 부족 등의 문제가 발생하기 쉽다.
본 발명은 뚜껑체측 기판 지지부의 테두리부와, 테두리부가 삽입되는 뚜껑체의 테두리부 유지부의 대향면 사이에 대해, 세정력의 부족, 세정액의 잔류, 건조 부족 등의 문제가 발생하기 어려운 기판 수납 용기를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 일단부에 용기 본체 개구부가 형성된 개구 주연부(周緣部)를 가지며, 타단부가 폐색된 통 형상의 벽부를 구비하고, 상기 벽부의 내면에 의해, 복수의 기판을 수납 가능하며 상기 용기 본체 개구부에 연통하는 기판 수납 공간이 형성된 용기 본체; 상기 용기 본체 개구부에 대해 착탈 가능하며, 상기 용기 본체 개구부를 폐색 가능한 뚜껑체; 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기 본체 개구부가 폐색되어 있을 때, 상기 기판 수납 공간에 대향하는 상기 뚜껑체의 부분에 배치되어, 상기 복수의 기판의 연부(緣部)를 지지 가능한 뚜껑체측 기판 지지부; 및 상기 기판 수납 공간 내에서 상기 뚜껑체측 기판 지지부와 쌍을 이루도록 배치되어, 상기 복수의 기판의 연부를 지지 가능하며, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기 본체 개구부가 폐색되어 있을 때 상기 뚜껑체측 기판 지지부와 협동하여 상기 복수의 기판을 지지 가능한 안측 기판 지지부를 구비하며, 상기 뚜껑체측 기판 지지부는, 상기 기판의 지지 시에 상기 기판의 연부를 받는 뚜껑체측 기판 받이부와, 상기 뚜껑체의 내면측에서 유지되는 테두리부이며 상기 뚜껑체의 내면측을 향하는 제1면 및 상기 제1면의 반대면인 제2면을 갖는 테두리부를 구비하고, 상기 뚜껑체는, 상기 테두리부를 삽입 상태로 유지시키는 테두리부 유지부이며, 상기 제1면에 대면(對面)하는 제3면 및 상기 제2면에 대면하는 제4면을 갖는 테두리부 유지부를 구비하고, 상기 뚜껑체측 기판 지지부는, 추가로 상기 테두리부의 상기 제1면 측에, 상기 제3면 측으로 돌출되는 제1 볼록부를 구비하는 동시에, 상기 테두리부의 상기 제2면 측에, 상기 테두리부의 삽입 상태에서 상기 테두리부 유지부에 계합(係合)되는 계합부를 구비하는 기판 수납 용기에 관한 것이다.
또한, 상기 뚜껑체측 기판 지지부는, 추가로 상기 테두리부의 상기 제2면 측에, 상기 제4면 측으로 돌출되는 제2 볼록부를 구비할 수도 있다.
또한, 상기 제1 볼록부 및/또는 상기 제2 볼록부는, 상기 기판의 면방향을 따라 연장되어 있을 수도 있다.
또한, 상기 제1 볼록부 및/또는 상기 제2 볼록부는, 상기 복수의 기판의 배열 방향을 따라 연장되어 있을 수도 있다.
또한, 상기 제1 볼록부 또는 상기 제2 볼록부는, 대면하는 상기 제3면 또는 상기 제4면에 점 접촉 가능한 형상을 가질 수도 있다.
본 발명에 의하면, 뚜껑체측 기판 지지부의 테두리부와, 테두리부가 삽입되는 뚜껑체의 테두리부 유지부와의 대향면 사이에 대해 세정력의 부족, 세정액의 잔류, 건조 부족 등의 문제가 발생하기 어려운 기판 수납 용기를 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 수납 용기(1)에서 뚜껑체(3)를 용기 본체(2)로부터 떼어낸 상태를 나타낸 사시도이다.
도 2a는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 뚜껑체(3)를 내측에서 본 사시도이다.
도 2b는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 뚜껑체(3)를 내측에서 본 배면도이다.
도 3a는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 뚜껑체(3)를 프론트 리테이너(7)를 떼어내고 내측에서 본 사시도이다.
도 3b는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 뚜껑체(3)를 프론트 리테이너(7)를 떼어내고 내측에서 본 배면도이다.
도 4a는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 프론트 리테이너(7)를 내측(지지측)에서 본 사시도이다.
도 4b는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 프론트 리테이너(7)를 외측에서 본 사시도이다.
도 5a는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 수납 용기(1)에서, 프론트 리테이너(7)의 테두리부(71)가 뚜껑체(3)의 테두리부 유지부(35)에 삽입되어 있는 부분의 확대 단면 사시도이다.
도 5b는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 수납 용기(1)에서, 프론트 리테이너(7)의 테두리부(71)가 뚜껑체(3)의 테두리부 유지부(35)에 삽입되어 있는 부분의 확대 단면도이다.
도 6a는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 수납 용기(1)에서, 프론트 리테이너(7)의 계합부(75)가 뚜껑체(3)의 테두리부 유지부(35)에 계합되어 있는 부분의 확대 사시도이다.
도 6b는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 수납 용기(1)에서, 프론트 리테이너(7)의 계합부(75)가 뚜껑체(3)의 테두리부 유지부(35)에 계합되어 있는 부분의 확대 배면도이다.
도 7a는 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 프론트 리테이너(7A)를 내측(지지측)에서 본 사시도(도 4a 대응도)이다.
도 7b는 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 프론트 리테이너(7A)를 외측에서 본 사시도(도 4b 대응도)이다.
도 8은 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 기판 수납 용기에서, 프론트 리테이너(7A)의 테두리부(71)가 뚜껑체(3)의 테두리부 유지부(35)에 삽입되어 있는 부분의 확대 단면 사시도(도 5a 대응도)이다.
도 9a는 본 발명의 제3 실시 형태에 따른 프론트 리테이너(7B)를 내측(지지측)에서 본 사시도(도 4a 대응도)이다.
도 9b는 본 발명의 제3 실시 형태에 따른 프론트 리테이너(7B)를 외측에서 본 사시도(도 4b 대응도)이다.
도 10은 본 발명의 제3 실시 형태에 따른 기판 수납 용기에서, 프론트 리테이너(7B)의 테두리부(71)가 뚜껑체(3)의 테두리부 유지부(35)에 삽입되어 있는 부분의 확대 단면 사시도(도 5a 대응도)이다.
[제1 실시 형태]
이하, 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 수납 용기에 대해 도 1~도 6b를 참조하면서 설명한다. 도 1은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 수납 용기(1)에서 뚜껑체(3)를 용기 본체(2)로부터 떼어낸 상태를 나타낸 사시도이다. 도 2a는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 뚜껑체(3)를 내측에서 본 사시도이다. 도 2b는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 뚜껑체(3)를 내측에서 본 배면도이다. 도 3a는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 뚜껑체(3)를 프론트 리테이너(7)를 떼어내고 내측에서 본 사시도이다. 도 3b는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 뚜껑체(3)를 프론트 리테이너(7)를 떼어내고 내측에서 본 배면도이다. 도 4a는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 프론트 리테이너(7)를 내측(지지측)에서 본 사시도이다. 도 4b는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 프론트 리테이너(7)를 외측에서 본 사시도이다.
도 5a는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 수납 용기(1)에서, 프론트 리테이너(7)의 테두리부(71)가 뚜껑체(3)의 테두리부 유지부(35)에 삽입되어 있는 부분의 확대 단면 사시도이다. 도 5b는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 수납 용기(1)에서, 프론트 리테이너(7)의 테두리부(71)가 뚜껑체(3)의 테두리부 유지부(35)에 삽입되어 있는 부분의 확대 단면도이다. 도 6a는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 수납 용기(1)에서, 프론트 리테이너(7)의 계합부(75)가 뚜껑체(3)의 테두리부 유지부(35)에 계합되어 있는 부분의 확대 사시도이다. 도 6b는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 수납 용기(1)에서, 프론트 리테이너(7)의 계합부(75)가 뚜껑체(3)의 테두리부 유지부(35)에 계합되어 있는 부분의 확대 배면도이다.
여기서, 설명의 편의상, 후술하는 용기 본체(2)로부터 뚜껑체(3)로 향하는 방향(도 1에서의 우상으로부터 좌하로 향하는 방향)을 전방향(D11)으로 정의하고, 그 반대 방향을 후방향(D12)으로 정의하고, 이들을 전후 방향(D1)으로 정의한다. 또한, 후술하는 하벽(24)으로부터 상벽(23)으로 향하는 방향(도 1에서의 상방향)을 상방향(D21)으로 정의하고, 그 반대 방향을 하방향(D22)으로 정의하고, 이들을 상하 방향(D2)으로 정의한다. 또한, 후술하는 제2 측벽(26)으로부터 제1 측벽(25)으로 향하는 방향(도 1에서의 우하로부터 좌상으로 향하는 방향)을 좌방향(D31)으로 정의하고, 그 반대 방향을 우방향(D32)으로 정의하고, 이들을 좌우 방향(D3)으로 정의한다. 각 도면에서는, 이들 방향을 나타내는 화살표를 붙여 설명한다.
또한, 기판 수납 용기(1)에 수납되는 기판(W)(도 1 참조)은 원반 형상의 실리콘 웨이퍼, 글라스 웨이퍼, 사파이어 웨이퍼 등이며, 산업에 이용되는 얇은 것이다. 본 실시 형태에서의 기판(W)은 직경 300mm의 실리콘 웨이퍼이다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 기판 수납 용기(1)는 용기 본체(2), 뚜껑체(3), 뚜껑체측 기판 지지부로서의 프론트 리테이너(7)(도 2a 참조), 안측 기판 지지부(도시 생략)를 가지고 있다.
[용기 본체]
도 1 및 도 2a에 나타낸 바와 같이, 용기 본체(2)는 일단부에 용기 본체 개구부(21)가 형성되는 동시에 타단부가 폐색된 통 형상의 벽부(20)를 갖는다. 용기 본체(2) 내에는 기판 수납 공간(27)이 형성되어 있다. 기판 수납 공간(27)은 벽부(20)에 의해 둘러싸여 형성되어 있다. 벽부(20)의 부분이며 기판 수납 공간(27)을 형성하고 있는 부분에는, 기판 지지 판형상부(201)가 배치되어 있다. 기판 수납 공간(27)에는 도 1에 나타낸 바와 같이, 복수의 기판(W)을 수납 가능하다.
벽부(20)에는 기판 수납 공간(27)의 내부에서 좌우 방향(D3)으로 쌍을 이루도록 기판 지지 판형상부(201, 201)가 마련되어 있다. 기판 지지 판형상부(201)는 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있지 않을 때, 인접하는 기판(W)끼리를 상하 방향(D2)으로 소정 간격으로 이격시켜 병렬시킨 상태에서 복수의 기판(W)의 연부를 지지할 수 있다. 기판 지지 판형상부(201)의 안측에는 안측 기판 지지부(도시하지 않음)가 마련되어 있다. 안측 기판 지지부(도시하지 않음)는 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때, 복수의 기판(W)의 연부의 뒷부분을 지지할 수 있다.
뚜껑체(3)는 용기 본체 개구부(21)를 형성하는 개구 주연부(28)에 대해 착탈 가능하다. 뚜껑체(3)는 개구 주연부(28)에 의해 둘러싸이는 위치 관계로, 즉 개구 주연부(28)에 의해 형성된 용기 본체 개구부(21)에 꼭 끼인 상태로 용기 본체 개구부(21)를 폐색할 수 있다. 프론트 리테이너(7)(도 2a 참조)는 뚜껑체(3)의 부분이며 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때 기판 수납 공간(27)에 대향하는 측, 즉 뚜껑체(3)의 내측(후방향(D12)의 측)에 마련되어 있다. 프론트 리테이너(7)(도 2a 참조)는 기판 수납 공간(27)의 내부에서 안측 기판 지지부(도시하지 않음)와 전후 방향(D1)으로 쌍을 이루도록 배치되어 있다.
프론트 리테이너(7)(도 2a 참조)는 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때, 복수의 기판(W)의 연부의 앞부분을 지지할 수 있다. 프론트 리테이너(7)는 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때, 안측 기판 지지부(도시하지 않음)와 협동하여 복수의 기판(W)을 지지함으로써, 인접하는 기판(W)끼리를 소정 간격으로 이격시켜 병렬시킨 상태에서 복수의 기판(W)을 유지시킨다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 용기 본체(2)의 벽부(20)는 내벽(22), 상벽(23), 하벽(24), 제1 측벽(25), 제2 측벽(26)을 갖는다. 내벽(22), 상벽(23), 하벽(24), 제1 측벽(25) 및 제2 측벽(26)은 플라스틱재 등으로 구성되어 있으며, 제1 실시 형태에서는 폴리카보네이트로 일체 성형되어 구성되어 있다.
제1 측벽(25)과 제2 측벽(26)이 대향하고 있으며, 상벽(23)과 하벽(24)이 좌우 방향(D3)으로 대향하고 있다. 상벽(23)의 후단, 하벽(24)의 후단, 제1 측벽(25)의 후단 및 제2 측벽(26)의 후단은 모두 내벽(22)에 접속되어 있다. 상벽(23)의 전단, 하벽(24)의 전단, 제1 측벽(25)의 전단 및 제2 측벽(26)의 전단은 내벽(22)과 대향하는 위치 관계를 가지며, 대략 직사각형 형상을 한 용기 본체 개구부(21)를 형성하는 개구 주연부(28)를 구성한다.
개구 주연부(28)는 용기 본체(2)의 일단부에 마련되어 있으며, 내벽(22)은 용기 본체(2)의 타단부에 위치한다. 벽부(20)의 외면에 의해 형성되는 용기 본체(2)의 외형은 박스 형상이다. 벽부(20)의 내면, 즉 내벽(22)의 내면, 상벽(23)의 내면, 하벽(24)의 내면, 제1 측벽(25)의 내면 및 제2 측벽(26)의 내면은 이들에 의해 둘러싸인 기판 수납 공간(27)을 형성하고 있다. 개구 주연부(28)에 형성된 용기 본체 개구부(21)는 벽부(20)에 의해 둘러싸여 용기 본체(2)의 내부에 형성된 기판 수납 공간(27)과 연통되어 있다. 기판 수납 공간(27)에는 최대 21장의 기판(W)을 수납할 수 있다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 하벽(24)의 외면에는 용기 본체 다리부(243)가 마련되어 있다. 용기 본체 다리부(243)는 하벽(24)의 좌우 양단연(兩端緣)에 일체 성형되어 있으며, 하벽(24)의 좌우 양단연을 따라 전후 방향(D1)으로 연장되어 있다. 용기 본체 다리부(243)는 하벽(24)을 하측(하방향(D22)의 측)으로 하여 용기 본체(2)를 수평한 평탄면 위에 재치(載置)했을 때, 상기 평탄면에 당접하여 용기 본체(2)를 안정적으로 지지한다.
[뚜껑체, 프론트 리테이너]
이하, 도 2a~도 6b를 참조하여 뚜껑체(3), 프론트 리테이너(7)에 대해 상세히 설명한다.
도 2a~도 6b에 나타낸 바와 같이, 뚜껑체(3)의 내측에는 뚜껑체측 기판 지지부로서의 프론트 리테이너(7)가 고정되어 있다. 프론트 리테이너(7)는 상하 방향(D2)의 연장되는 테두리부(71), 리테이너 다리부(72), 뚜껑체측 기판 받이부(73)를 구비한다. 테두리부(71), 리테이너 다리부(72) 및 뚜껑체측 기판 받이부(73)는 수지로 일체 성형되어 서로 접속되어 있다.
프론트 리테이너(7)는 도 4a 및 도 4b에 나타낸 바와 같은 형상을 가지고 있다. 즉, 테두리부(71)는 좌방향(D31)측의 단부 및 우방향(D32)측의 단부에서, 상하 방향(D2)을 따라 평행하게 연장되어 있다.
프론트 리테이너(7)의 좌방향(D31)측의 테두리부(71) 및 우방향(D32)측의 테두리부(71)는 각각 돌출편부(715)를 가지고 있다. 돌출편부(715)는 좌우 방향(D3)의 외측으로 연장되어 다시 후방향(D12)으로 돌출되어 있으며, 또한 상하 방향(D2)으로 이격되어 복수개 마련되어 있다.
좌방향(D31)측의 리테이너 다리부(72)는 좌방향(D31)측의 테두리부(71)로부터 전체적으로 볼때 오른쪽 뒤를 향해 연장되어 있다. 그리고, 좌방향(D31)측의 리테이너 다리부(72)는 그 선단부에서, 뚜껑체측 기판 받이부(73)의 좌방향(D31)측의 단부에 접속되어 있다.
한편, 우방향(D32)측의 리테이너 다리부(72)는 우방향(D32)측의 테두리부(71)로부터 왼쪽 뒤를 향해 연장되어 있다. 그리고, 우방향(D32)측의 리테이너 다리부(72)는 그 선단부에서, 뚜껑체측 기판 받이부(73)의 우방향(D32)측의 단부에 접속되어 있다.
따라서, 뚜껑체측 기판 받이부(73)는 뚜껑체(3)의 내측의 면으로부터 후방향(D12)으로 소정 간격을 둔 위치에 배치되어 있다.
좌우 양측의 리테이너 다리부(72)는 탄성 변형하기 쉬운 구성으로 되어 있다. 때문에, 리테이너 다리부(72)는 뚜껑체측 기판 받이부(73)가 뚜껑체(3)의 내측의 면에 대해 접근하는 방향(전방향(D11))으로 외력을 받을 때, 그 외력에 따라 탄성 변형함으로써 뚜껑체측 기판 받이부(73)를 변위시키는 것이 가능하다.
뚜껑체측 기판 받이부(73)는 좌방향(D31)측의 리테이너 다리부(72)의 선단부에 접속된 좌방향(D31)측의 단부로부터, 우방향(D32)측의 리테이너 다리부(72)의 선단부에 접속된 우방향(D32)측의 단부까지 연속적으로 구성될 수도 있다(도시하지 않음).
그러나, 본 실시 형태에서는, 뚜껑체측 기판 받이부(73)는 좌방향(D31)측의 단부와 우방향(D32)측의 단부의 중앙 부분에서 2분할되어 있다. 즉, 뚜껑체측 기판 받이부(73)는 좌방향(D31)측의 단부로부터 중앙 부근까지의 좌방향(D31)측의 뚜껑체측 기판 받이부(73)와, 우방향(D32)측의 단부로부터 중앙 부근까지의 우방향(D32)측의 뚜껑체측 기판 받이부(73)로 분할되어 있다.
좌방향(D31)측의 뚜껑체측 기판 받이부(73)의 우방향(D32)측의 단부와, 우방향(D32)측의 뚜껑체측 기판 받이부(73)의 좌방향(D31)측의 단부는 접속부(74)에 의해 서로 접속되어 있다. 접속부(74)는 전체적으로 볼 때 좌우 방향(D3)으로 연장되어 있다.
[테두리부 유지부]
뚜껑체(3)의 테두리부 유지부(35)는 프론트 리테이너(7)의 테두리부(71)를 삽입 상태로 유지시킨다. 상세히 설명하면, 뚜껑체(3)의 내면(후방향(D12)측의 면)에는 상하 방향(D2)을 따라 연장되는 동시에 복수(예를 들어 3개)로 분할된 좌방향(D31)측의 테두리부 유지부(35), 및 상하 방향(D2)을 따라 연장되는 동시에 복수(예를 들어 5개)로 분할된 우방향(D32)측의 테두리부 유지부(35)가 마련되어 있다.
좌방향(D31)측의 테두리부 유지부(35) 및 우방향(D32)측의 테두리부 유지부(35)는 뚜껑체(3)의 좌우 방향(D3)의 중앙을 지나 상하 방향(D2)을 따라 가상되는 중심선을 사이에 두고 좌우 양측에서, 그 가상되는 중심선으로부터 서로 등거리에 위치하고 있다.
도 2a~도 3b에 나타낸 바와 같이, 좌방향(D31)측의 테두리부 유지부(35)는 뚜껑체(3)의 내면으로부터 후방향(D12)으로 약간 연장되며, 그 선단으로부터 우방향(D32)으로 연장되는 L 앵글의 단면 형상을 갖는다. 따라서, 좌방향(D31)측의 테두리부 유지부(35)는 뚜껑체(3)의 내면상에서, 우방향(D32)으로 개구된 긴 홈(351)을 갖는다. 좌방향(D31)측의 테두리부 유지부(35)의 긴 홈(351)에는 프론트 리테이너(7)의 좌방향(D31)측의 테두리부(71)가 삽입된다.
우방향(D32)측의 테두리부 유지부(35)는 뚜껑체(3)의 내면의 표면으로부터 후방향(D12)으로 약간 연장되며, 그 선단으로부터 좌방향(D31)으로 연장되는 L 앵글의 단면 형상을 갖는다. 따라서, 우방향(D32)측의 테두리부 유지부(35)는 뚜껑체(3)의 내면상에서, 좌방향(D31)으로 개구된 긴 홈(351)을 갖는다. 우방향(D32)측의 테두리부 유지부(35)의 긴 홈(351)에는 프론트 리테이너(7)의 우방향(D32)측의 테두리부(71)가 삽입된다.
복수(예를 들어 5개)로 분할된 좌방향(D31)측의 테두리부 유지부(35)와 동일 라인상이면서 테두리부 유지부(35)와 중첩되지 않는 부분은 절결부(36)로 되어 있다. 프론트 리테이너(7)의 테두리부(71)의 돌출편부(715)를 절결부(36)에 배치시키도록 테두리부(71)를 테두리부 유지부(35)의 긴 홈(351)에 삽입시키면, 프론트 리테이너(7)의 테두리부(71)는 뚜껑체(3)의 내면측에서 유지된다.
[본 발명의 주요 특징 부분]
프론트 리테이너(7)는 테두리부(71), 리테이너 다리부(72) 및 뚜껑체측 기판 받이부(73)에 더하여, 추가로 제1 볼록부(76), 제2 볼록부(77) 및 계합부(75)를 구비한다. 제1 볼록부(76), 제2 볼록부(77) 및 계합부(75)와 관련하여, 테두리부(71) 및 뚜껑체(3)의 테두리부 유지부(35)는 이하에 상세히 설명하는 특징적인 구성을 갖는다.
테두리부(71)는 뚜껑체(3)의 내면측을 향하는 제1면(711) 및 제1면(711)의 반대면인 제2면(712)을 갖는다. 즉, 제1면(711)은 테두리부(71)에서의 전방향(D11)측의 면이며, 제2면(712)은 테두리부(71)에서의 후방향(D12)측의 면이다.
테두리부 유지부(35)는 테두리부(71)의 삽입 상태(테두리부 유지부(35)에 테두리부(71)가 삽입되어 있는 상태)에서, 프론트 리테이너(7)의 제1면(711)에 대면하는 제3면(353) 및 프론트 리테이너(7)의 제2면(712)에 대면하는 제4면(354)을 갖는다.
제1면(711), 제2면(712), 제3면(353) 및 제4면(354)의 면 형상은 제한되지 않으며, 예를 들어 직평면, 이차 곡면, 삼차 곡면일 수도 있다.
프론트 리테이너(7)는 테두리부(71)의 제1면(711)의 측에 제3면(353)의 측으로 돌출되는 제1 볼록부(76)를 구비한다. 프론트 리테이너(7)는 테두리부(71)의 제2면(712)의 측에 제4면(354)의 측으로 돌출되는 제2 볼록부(77)를 구비한다. 제1 실시 형태에서는, 제1 볼록부(76) 및 제2 볼록부(77)는 기판(W)의 면 방향 D1-D3(D1-D3 평면)을 따라 연장되어 있다. 상세하게는, 제1 볼록부(76) 및 제2 볼록부(77)가 연장되는 방향은 좌우 방향(D3)이다. 제1 볼록부(76) 및 제2 볼록부(77)는 각각 상하 방향(D2)으로 간격을 두고 복수 배열되어 있다. 제1 볼록부(76) 및 제2 볼록부(77)는 테두리부 유지부(35)에 대향하는 위치에 마련되어 있으며, 절결부(36)에 대응하는 위치에는 마련되어 있지 않다.
제1 볼록부(76)에서의 전방향(D11)측의 면은 테두리부 유지부(35)의 제3면(353)에 대향하고 있으며, 테두리부 유지부(35)의 제3면(353)에 당접 가능하다. 제2 볼록부(77)에서의 후방향(D12)측의 면은 테두리부 유지부(35)의 제4면(354)에 대향하고 있으며, 테두리부 유지부(35)의 제4면(354)에 당접 가능하다.
한편, 제1 볼록부(76)가 있기 때문에, 테두리부(71)의 제1면(711)은 테두리부 유지부(35)의 제3면(353)에 당접하지 않는다. 마찬가지로, 제2 볼록부(77)가 있기 때문에, 테두리부(71)의 제2면(712)은 테두리부 유지부(35)의 제4면(354)에 당접하지 않는다.
뚜껑체측 기판 지지부(7)는 테두리부(71)의 제2면(712)의 측에 계합부(75)를 구비한다. 계합부(75)는 테두리부(71)의 삽입 상태에서 테두리부 유지부(35)에 계합된다. 상세히 설명하면, 계합부(75)는 후방향(D12)으로 돌출되는 동시에 좌우 방향(D3)의 외측을 따라 연장되는 키로서 기능한다. 테두리부 유지부(35)는 전후 방향(D1)으로 관통되는 동시에 좌우 방향(D3)의 내측으로 개방되는 피계합부(355)를 구비한다. 피계합부(355)는 키로서의 계합부(75)에 계합하는 키 홈으로서 기능한다.
상술한 바와 같이, 프론트 리테이너(7)의 테두리부(71)의 돌출편부(715)를 절결부(36)에 배치시키도록 테두리부(71)를 테두리부 유지부(35)의 긴 홈(351)에 삽입시키면, 프론트 리테이너(7)의 테두리부(71)는 뚜껑체(3)의 내면측에서 유지되지만, 이것만으로는 뚜껑체(3)와 프론트 리테이너(7)의 사이에 덜걱거림(특히 상하 방향(D2)의 덜걱거림)이 발생한다. 그러나, 이 유지 상태에서, 추가로 뚜껑체측 기판 지지부(7)의 계합부(75)가 테두리부 유지부(35)의 피계합부(355)에 계합된다. 이로써, 덜걱거림(특히 상하 방향(D2)의 덜걱거림)이 거의 발생하지 않는다.
이상과 같이 구성된 기판 수납 용기(1)는 이하와 같이 동작하여, 이하와 같은 효과를 나타낼 수 있다.
제1 실시 형태의 기판 수납 용기(1)에서는, 프론트 리테이너(7)는 기판(W)의 지지 시에 기판(W)의 연부를 받는 뚜껑체측 기판 받이부(73), 뚜껑체(3)의 내면측에서 유지되는 테두리부(71)이며 뚜껑체(3)의 내면측을 향하는 제1면(711) 및 제1면(711)의 반대면인 제2면(712)을 갖는 테두리부(71)를 구비한다. 뚜껑체(3)는 테두리부(71)를 삽입 상태로 유지시키는 테두리부 유지부(35)이며, 제1면(711)에 대면하는 제3면(353) 및 제2면(712)에 대면하는 제4면(354)을 갖는 테두리부 유지부(35)를 구비한다. 뚜껑체측 기판 지지부(7)는 추가로, 테두리부(71)의 제1면(711)의 측에 제3면(353)의 측으로 돌출되는 제1 볼록부(76)를 구비하는 동시에, 테두리부(71)의 제2면(712)의 측에 테두리부(71)의 삽입 상태에서 테두리부 유지부(35)에 계합되는 계합부(75)를 구비한다.
때문에, 제1 실시 형태에 의하면, 테두리부(71)의 삽입 상태에서, 테두리부(71)의 제1면(711)은 테두리부 유지부(35)의 제3면(353)에 면 형상으로는 당접하지 않는다. 때문에, 제1면(711)과 제3면(353)의 사이(대향면 사이)의 틈이 비교적 크게 형성되어, 대향면 사이로 세정액(헹굼액을 포함)이 침입하기 쉽고, 또한 대향면 사이로부터 세정액이 빠지기 쉽다. 또한, 테두리부(71)의 제1면(711)의 측에 계합부(75)가 마련되어 있는 경우와 비교해, 테두리부(71)의 제2면(712)의 측에 계합부(75)가 마련되어 있는 것이 대향면 사이로 세정액이 침입하기 쉽고, 또한 대향면 사이로부터 세정액이 빠지기 쉽다. 그 결과, 대향면 사이에 대해 세정력의 부족, 세정액의 잔류, 건조 부족 등의 문제가 발생하기 어렵다.
[제2 실시 형태]
다음으로, 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 기판 수납 용기에 대해 도 7a~도 8을 참조하면서 설명한다. 도 7a는 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 프론트 리테이너(7A)를 내측(지지측)에서 본 사시도(도 4a 대응도)이다. 도 7b는 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 프론트 리테이너(7A)를 외측에서 본 사시도(도 4b 대응도)이다. 도 8은 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 기판 수납 용기에서, 프론트 리테이너(7A)의 테두리부(71)가 뚜껑체(3)의 테두리부 유지부(35)에 삽입되어 있는 부분의 확대 단면 사시도(도 5a 대응도)이다.
제2 실시 형태에 따른 기판 수납 용기가 제1 실시 형태에 따른 기판 수납 용기(1)와 주로 다른 점은 프론트 리테이너의 제1 볼록부 및 제2 볼록부의 형상이다. 그 이외의 구성에 대해서는 제1 실시 형태의 구성과 동일하므로, 설명을 생략한다. 동일한 부호에 대해서는 동일한 부호를 붙여 설명한다.
제1 실시 형태에 따른 프론트 리테이너(7)에서는, 제1 볼록부(76) 및 제2 볼록부(77)가 기판(W)의 면방향(D1-D3 평면)을 따라 연장되어 있다. 이에 반해, 도 7a~도 8에 나타낸 바와 같이, 제2 실시 형태에 따른 프론트 리테이너(7A)에서는 제1 볼록부(76) 및 제2 볼록부(77)가 복수의 기판(W)의 배열 방향(상하 방향(D2))을 따라 연장되어 있다. 제1 볼록부(76) 및 제2 볼록부(77)는 테두리부 유지부(35)에 대향하는 위치에 마련되어 있으며, 절결부(36)에 대응하는 위치에는 마련되어 있지 않다.
아울러, 제2 실시 형태에서는, 제1 볼록부(76) 및 제2 볼록부(77)가 각각 좌우 방향(D3)으로 1개만 마련되어 있으나, 이에 제한되지 않으며, 좌우 방향(D3)으로 복수개 마련되어 있을 수도 있다.
제2 실시 형태에 의하면, 제1 실시 형태의 효과에 더하여, 이하와 같은 효과를 나타낼 수 있다. 제2 실시 형태에서는, 제1 볼록부(76) 및 제2 볼록부(77)가 복수의 기판(W)의 배열 방향(상하 방향(D2))을 따라 연장되어 있다. 때문에, 테두리부(71)의 삽입 상태에서, 제1 볼록부(76) 및 제2 볼록부(77)는 제1면(711)과 제3면(353)의 사이(대향면 사이) 및 제2면(712)과 제4면(354)의 사이(대향면 사이)에서, (테두리부 유지부(35)의 긴 홈(351)이 연장되는 방향인) 상하 방향(D2)의 세정액의 유동을 저해하기 어렵다. 따라서, '세정력의 부족, 세정액의 잔류, 건조 부족 등의 문제가 발생하기 어렵다'는 효과가 더욱 향상된다.
[제3 실시 형태]
다음으로, 본 발명의 제3 실시 형태에 따른 기판 수납 용기에 대해 도 9a~도 10을 참조하면서 설명한다. 도 9a는 본 발명의 제3 실시 형태에 따른 프론트 리테이너(7B)를 내측(지지측)에서 본 사시도(도 4a 대응도)이다. 도 9b는 본 발명의 제3 실시 형태에 따른 프론트 리테이너(7B)를 외측에서 본 사시도(도 4b 대응도)이다. 도 10은 본 발명의 제3 실시 형태에 따른 기판 수납 용기에서, 프론트 리테이너(7B)의 테두리부(71)가 뚜껑체(3)의 테두리부 유지부(35)에 삽입되어 있는 부분의 확대 단면 사시도(도 5a 대응도)이다.
제3 실시 형태에 따른 기판 수납 용기가 제2 실시 형태에 따른 기판 수납 용기와 주로 다른 점은 프론트 리테이너의 제1 볼록부 및 제2 볼록부의 형상이다. 그 이외의 구성에 대해서는 제2 실시 형태의 구성과 동일하므로 설명을 생략한다. 동일한 부호에 대해서는 동일한 부호를 붙여 설명한다.
도 9a~도 10에 나타낸 바와 같이, 제3 실시 형태에 따른 프론트 리테이너(7B)에서는, 제1 볼록부(76) 및 제2 볼록부(77)는 각각 대면하는 제3면(353) 및 제4면(354)에 점 접촉 가능한 형상을 갖는다. 점 접촉 가능한 형상으로는, 예를 들어 제3면(353) 또는 제4면(354)을 향해 불룩해진 삼차원 곡면 형상이나, 제3면(353) 또는 제4면(354)의 측에 정점을 가지면서 복수의 평면으로 구성되는 다면체 형상을 들 수 있다. 제1 볼록부(76) 및 제2 볼록부(77)는 테두리부 유지부(35)에 대향하는 위치에 마련되어 있으며, 절결부(36)에 대응하는 위치에는 마련되어 있지 않다.
아울러, 제3 실시 형태에서는, 제1 볼록부(76) 및 제2 볼록부(77)는 각각 상하 방향(D2)으로 연장되는 직선상에 배치되는 동시에, 상하 방향(D2)으로 간격을 두고 복수 배열되어 있으나, 이에 제한되지 않는다. 제1 볼록부(76) 및 제2 볼록부(77)는 임의의 배치를 취할 수 있으며, 예를 들어 상하 방향(D2)을 따라 지그재그로 배열할 수도 있다.
제3 실시 형태에 의하면, 제2 실시 형태의 효과에 더하여, 이하와 같은 효과를 나타낼 수 있다. 제3 실시 형태에서는, 제1 볼록부(76) 및 제2 볼록부(77)는 각각 대면하는 제3면(353) 및 제4면(354)에 점 접촉 가능한 형상을 갖는다. 때문에, 테두리부(71)의 삽입 상태에서, 제1 볼록부(76) 및 제2 볼록부(77)는 제1면(711)과 제3면(353)의 사이(대향면 사이) 및 제2면(712)과 제4면(354)의 사이(대향면 사이)에서 상하 방향(D2) 및 좌우 방향(D3)의 세정액의 유동을 저해하기 어렵다. 따라서, '세정력의 부족, 세정액의 잔류, 건조 부족 등의 문제가 발생하기 어렵다'는 효과가 더욱 향상된다.
본 발명은 상술한 실시 형태로 한정되지 않으며, 특허 청구의 범위에 기재된 기술적 범위에서 다양한 변형이 가능하다.
제2 볼록부(77)는 마련되지 않을 수도 있다. 각 실시 형태의 구성은 적절히 조합 가능하다.
또한, 용기 본체 및 뚜껑체의 형상, 용기 본체에 수납 가능한 기판의 장수 또는 치수는 본 실시 형태에서의 용기 본체(2) 및 뚜껑체(3)의 형상이나 장수나 치수로 한정되지 않는다.
1: 기판 수납 용기
2: 용기 본체
3: 뚜껑체
7: 프론트 리테이너(뚜껑체측 기판 지지부)
20: 벽부
21: 용기 본체 개구부
27: 기판 수납 공간
28: 개구 주연부
35: 테두리부 유지부
71: 테두리부
73: 뚜껑체측 기판 받이부
75: 계합부
76: 제1 볼록부
77: 제2 볼록부
353: 제3면
354: 제4면
711: 제1면
712: 제2면
D1-D3: 면방향
D2: 상하 방향(배열 방향)
W: 기판

Claims (5)

  1. 일단부에 용기 본체 개구부가 형성된 개구 주연부를 가지며, 타단부가 폐색된 통 형상의 벽부를 구비하고, 상기 벽부의 내면에 의해, 복수의 기판을 수납 가능하며 상기 용기 본체 개구부에 연통하는 기판 수납 공간이 형성된 용기 본체;
    상기 용기 본체 개구부에 대해 착탈 가능하며, 상기 용기 본체 개구부를 폐색 가능한 뚜껑체;
    상기 뚜껑체에 의해 상기 용기 본체 개구부가 폐색되어 있을 때, 상기 기판 수납 공간에 대향하는 상기 뚜껑체의 부분에 배치되어, 상기 복수의 기판의 연부를 지지 가능한 뚜껑체측 기판 지지부; 및
    상기 기판 수납 공간 내에서 상기 뚜껑체측 기판 지지부와 쌍을 이루도록 배치되어, 상기 복수의 기판의 연부를 지지 가능하며, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기 본체 개구부가 폐색되어 있을 때 상기 뚜껑체측 기판 지지부와 협동하여 상기 복수의 기판을 지지 가능한 안측 기판 지지부를 구비하며,
    상기 뚜껑체측 기판 지지부는, 상기 기판의 지지 시에 상기 기판의 연부를 받는 뚜껑체측 기판 받이부와, 상기 뚜껑체의 내면측에서 유지되는 테두리부이며 상기 뚜껑체의 내면측을 향하는 제1면 및 상기 제1면의 반대면인 제2면을 갖는 테두리부를 구비하고,
    상기 뚜껑체는, 상기 테두리부를 삽입 상태로 유지시키는 테두리부 유지부이며, 상기 제1면에 대면하는 제3면 및 상기 제2면에 대면하는 제4면을 갖는 테두리부 유지부를 구비하며,
    상기 뚜껑체측 기판 지지부는, 추가로 상기 테두리부의 상기 제1면 측에, 상기 제3면 측으로 돌출되는 제1 볼록부를 구비하는 동시에, 상기 테두리부의 상기 제2면 측에, 상기 테두리부의 삽입 상태에서 상기 테두리부 유지부에 계합되는 계합부를 구비하고,
    상기 계합부는, 상기 뚜껑체측 기판 지지부의 좌측 및 우측 각각에 좌우 방향으로 쌍이 되도록 설치되고, 후방향으로 돌출되고 좌우 방향의 외측을 따라 연장되는 키로서 기능하고, 상기 테두리부 유지부는, 전후 방향으로 관통되는 동시에 좌우 방향의 내측으로 개방되는 피계합부를 구비하고, 상기 피계합부는, 상기 테두리부 유지부의 좌측 및 우측 각각에 좌우 방향으로 쌍이 되도록 설치되고, 키로서의 상기 계합부에 계합하는 키 홈으로서 기능하며,
    상기 테두리부 유지부는 상기 뚜껑체의 내면으로부터 후방향으로 연장되고 그 선단으로부터 좌우방향 내측으로 연장되는 L 앵글의 단면 형상을 갖고, 상기 테두리부 유지부는, 상기 복수의 기판의 배열방향을 따라 연장되고, 상기 테두리부 유지부의 상기 배열방향의 양단부는 개방되어 있는, 기판 수납 용기.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 뚜껑체측 기판 지지부는, 추가로 상기 테두리부의 상기 제2면 측에, 상기 제4면 측으로 돌출되는 제2 볼록부를 구비하는 기판 수납 용기.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 볼록부 및/또는 상기 제2 볼록부는, 상기 기판의 면방향을 따라 연장되어 있는 기판 수납 용기.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 제1 볼록부 및/또는 상기 제2 볼록부는, 상기 복수의 기판의 배열 방향을 따라 연장되어 있는 기판 수납 용기.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 제1 볼록부 또는 상기 제2 볼록부는, 대면하는 상기 제3면 또는 상기 제4면에 점 접촉 가능한 형상을 갖는 기판 수납 용기.
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