WO2024029016A1 - 基板収納容器及びその蓋体 - Google Patents

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WO2024029016A1
WO2024029016A1 PCT/JP2022/029883 JP2022029883W WO2024029016A1 WO 2024029016 A1 WO2024029016 A1 WO 2024029016A1 JP 2022029883 W JP2022029883 W JP 2022029883W WO 2024029016 A1 WO2024029016 A1 WO 2024029016A1
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WO
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peripheral edge
lid
opening
opposing
substrate storage
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PCT/JP2022/029883
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English (en)
French (fr)
Inventor
隆二 福田
拓人 鹿
Original Assignee
ミライアル株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders

Definitions

  • the present invention relates to a substrate storage container for storing substrates such as semiconductor wafers, and a lid thereof.
  • Containers for storing substrates such as semiconductor wafers are conventionally known to include a container body and a lid.
  • the container body has a cylindrical wall portion with a container body opening formed at one end and closed at the other end.
  • a substrate storage space is formed within the container body.
  • the substrate storage space is surrounded by a wall and can accommodate a plurality of substrates.
  • the lid is removable from the opening of the container body and can close the opening of the container body.
  • a front retainer is provided in the portion of the lid that faces the substrate storage space when the container main body opening is closed.
  • the front retainer can support the edges of the plurality of substrates when the opening of the container body is closed by the lid.
  • a back side substrate support part is provided on the wall part so as to be paired with the front retainer.
  • the back substrate support section can support edges of a plurality of substrates.
  • the rear substrate support section works with the front retainer to support a plurality of substrates when the container main body opening is closed by the lid, thereby spacing adjacent substrates at a predetermined interval. Holds multiple substrates in parallel.
  • a sealing member is provided on the lid.
  • the sealing member is attached to the sealing member attachment portion of the lid and is arranged so as to go around the outer peripheral edge of the lid.
  • the sealing member is sandwiched between the sealing surface of the container body and the inner surface of the lid and is elastically deformed, so that the lid seals and closes the opening of the container body. do.
  • the seal member In order to ensure airtightness when the seal member is closed, the seal member needs to be properly attached to the seal member attachment portion of the lid and placed at the seal member placement target. However, it is not easy to place the seal member at the placement target.
  • An object of the present invention is to provide a substrate storage container and a lid in which it is easy to appropriately attach a sealing member to the sealing member attachment portion of the lid and arrange the sealing member at a placement target.
  • the present invention provides a container body having an opening periphery in which a substrate storage space capable of accommodating a plurality of substrates is formed inside and a container body opening communicating with the substrate storage space at one end;
  • the lid is removable from the opening and can close the opening of the container main body, the lid having a sealing member attachment part and a peripheral edge facing part facing the opening peripheral edge.
  • the lid body is attached to the sealing member attachment part of the lid body, and is interposed between the opening periphery part and the peripheral part opposing part, and the lid body is attached to the sealing member attachment part of the lid body, and is interposed between the opening peripheral part and the peripheral part opposing part.
  • the sealing member further includes a sealing member that closes the opening of the container main body in an airtight state by closely abutting the opposing portion, and the sealing member includes a base portion held by the sealing member mounting portion, and a portion extending from the base portion. a peripheral edge abutting lip portion that abuts the opening peripheral edge; and an opposing edge abutting lip portion that extends from the base and abuts the peripheral edge opposing portion;
  • the present invention relates to a substrate storage container having a cross-sectional shape that is not a straight plane, indicating the target arrangement of a contact lip.
  • the cross-sectional shape of the peripheral edge opposing portion which is not a straight plane, is a protruding shape that projects toward the opposing portion abutting lip portion with respect to a standard straight plane.
  • the protruding shape of the peripheral edge opposing portion may be a smoothly protruding shape, a shape in which a plurality of straight planes are connected, or a locally protruding protrusion that can restrict movement of the opposing portion abutting lip portion. It is preferable that the shape has the following shape.
  • the cross-sectional shape of the peripheral edge opposing portion which is not a straight plane, is a regulating recess recessed toward a side away from the opposing portion abutting lip with respect to a standard straight plane, and the opposing portion abutting lip It is preferable to have a regulating recess with which the part can be engaged.
  • the cross-sectional shape of the peripheral edge opposing portion which is not a straight plane, is provided so as to go around the peripheral edge portion of the lid body.
  • the present invention also provides a container body having an opening periphery in which a substrate storage space capable of accommodating a plurality of substrates is formed therein, and a container body opening communicating with the substrate storage space formed at one end;
  • a substrate storage comprising: a lid that is removable from an opening of a container body, has a sealing member attachment portion and a peripheral edge opposing portion that opposes the opening peripheral edge, and is capable of closing the opening of the container body.
  • a lid for a container the lid is attached to the sealing member attachment part of the lid, and is interposed between the opening peripheral part and the peripheral part opposing part, and the lid is attached to the opening peripheral part and the peripheral part.
  • the sealing member further includes a sealing member that tightly abuts the opening of the container body together with the lid in an airtight state, and the sealing member has a base that is held in the sealing member mounting portion and , a peripheral edge abutting lip part extending from the base and abutting the opening peripheral edge; and an opposing edge abutting lip part extending from the base and abutting the peripheral edge opposing part;
  • the present invention relates to a lid for a substrate storage container, which has a cross-sectional shape that is not a straight plane, indicating a target arrangement of the opposing abutment lip.
  • the present invention it is possible to provide a substrate storage container and a lid in which it is easy to properly attach the sealing member to the sealing member attachment portion of the lid and arrange the sealing member at a placement target.
  • FIG. 1 is an exploded perspective view showing a substrate storage container 1 according to a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is an exploded perspective view showing a state in which substrates W are stored in the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a perspective view showing the lid 3 with the seal member 4 and the front retainer 7 attached in the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a perspective view showing a sealing member 4 of the lid 3 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a rear view showing the lid 3 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention with the seal member 4 and front retainer 7 removed.
  • 6 is a sectional view taken along line AA in FIGS.
  • FIG. 6A is a partially enlarged view of FIG. 6A.
  • 6A is a diagram showing a state in which the seal member 4 is deviated from the placement target in FIG. 6A.
  • FIG. FIG. 6 is a cross-sectional view (corresponding to FIG. 6A) of the lid 3 of the substrate storage container 1 according to the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 7A is a partially enlarged view of FIG. 7A.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view (corresponding to FIG. 6A) showing the lid 3 of the substrate storage container 1 according to the third embodiment of the present invention.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view (corresponding to FIG. 6A) showing the lid 3 of the substrate storage container 1 according to the fourth embodiment of the present invention.
  • FIG. 8 is a plan view showing the substrate holding adapter 8.
  • FIG. 7 is a plan view showing a state in which a substrate W is held by a substrate holding adapter 8.
  • FIG. 10B is a schematic central vertical cross-sectional view of FIG. 10B.
  • FIG. 1 is an exploded perspective view showing a substrate storage container 1 according to a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is an exploded perspective view showing the substrate W stored in the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a perspective view showing the lid 3 with the seal member 4 and front retainer 7 attached in the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is a perspective view showing the sealing member 4 of the lid 3 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 5 is a rear view showing the lid 3 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention with the seal member 4 and front retainer 7 removed.
  • FIG. 6A is a cross-sectional view taken along line AA in FIGS. 3 and 5.
  • FIG. 6B is a partially enlarged view of FIG. 6A.
  • FIG. 6C is a diagram showing a state in which the seal member 4 is deviated from the placement target in FIG. 6A.
  • the direction from the container body 2 to the lid 3 (direction from the upper right to the lower left in FIG. 1), which will be described later, is defined as the front direction D11, and the opposite direction is defined as the rear direction D12, These are defined as the front-rear direction D1.
  • the direction from the lower wall 24 to the upper wall 23 (upward direction in FIG. 1), which will be described later, is defined as an upward direction D21
  • the opposite direction is defined as a downward direction D22, and these are defined as an up-down direction D2.
  • the direction from the second side wall 26 to the first side wall 25 (direction from the lower right to the upper left in FIG. 1), which will be described later, is defined as a left direction D31
  • the opposite direction is defined as a right direction D32. is defined as the left-right direction D3.
  • the substrate W (see FIG. 2) stored in the substrate storage container 1 is a disk-shaped silicon wafer, glass wafer, sapphire wafer, etc., and is a thin substrate used in industry.
  • the substrate W in this embodiment is a silicon wafer with a diameter of 200 mm to 450 mm.
  • the substrate storage container 1 is for storing a substrate W made of a silicon wafer as described above, and includes a container body 2, a lid 3, and a side substrate support part. It has a substrate support plate-like portion 5 as a substrate support portion, a back substrate support portion (not shown), and a front retainer 7 as a lid side substrate support portion.
  • the container body 2 has a cylindrical wall portion 20 with a container body opening 21 formed at one end and closed at the other end.
  • a substrate storage space 27 is formed within the container body 2.
  • the substrate storage space 27 is surrounded by the wall portion 20 .
  • a substrate support plate-shaped portion 5 is disposed in a portion of the wall portion 20 that forms the substrate storage space 27 .
  • the substrate storage space 27 can accommodate a plurality of substrates W.
  • the substrate support plate-like portions 5 are provided on the wall portion 20 in pairs in the left-right direction D3 within the substrate storage space 27.
  • the substrate support plate-shaped portion 5 keeps adjacent substrates W at a predetermined distance by abutting against the sides of the edges of the plurality of substrates W when the container main body opening 21 is not closed by the lid 3. It is possible to support the sides of the edges of a plurality of substrates W in a state where they are spaced apart and arranged in parallel.
  • a back side substrate support part (not shown) is provided on the back side of the board support plate-shaped part 5.
  • a back board support part (not shown) is provided on the wall part 20 in the board storage space 27 so as to form a pair with the front retainer 7.
  • the back side substrate support part (not shown) supports the edges of the plurality of substrates W by coming into contact with the rear parts of the edges of the plurality of substrates W when the container main body opening 21 is closed by the lid 3. The rear part of the part can be supported.
  • the lid 3 is attachable to and detachable from the opening periphery 28 forming the container main body opening 21, and is capable of closing the container main body opening 21.
  • the front retainer 7 is provided in a portion of the lid 3 that faces the substrate storage space 27 when the container main body opening 21 is closed by the lid 3.
  • the front retainer 7 is arranged inside the board storage space 27 so as to form a pair with a back board support part (not shown) in the front-back direction D1.
  • the front retainer 7 can support the front edges of the plurality of substrates W by coming into contact with the edges of the plurality of substrates W when the container main body opening 21 is closed by the lid 3.
  • the front retainer 7 supports the plurality of substrates W in cooperation with a back side substrate support part (not shown), thereby preventing adjacent substrates from being blocked.
  • a plurality of substrates W are held in a state where the Ws are spaced apart from each other at a predetermined interval and arranged in parallel. Each part will be explained in detail below.
  • the wall portion 20 of the container body 2 includes a back wall 22, an upper wall 23, a lower wall 24, a first side wall 25, and a second side wall 26.
  • the back wall 22, the upper wall 23, the lower wall 24, the first side wall 25, and the second side wall 26 are made of a plastic material or the like, and in this embodiment, are integrally formed of polycarbonate.
  • the first side wall 25 and the second side wall 26 are opposed to each other, and the upper wall 23 and lower wall 24 are opposed to each other.
  • the rear end of the upper wall 23 , the rear end of the lower wall 24 , the rear end of the first side wall 25 , and the rear end of the second side wall 26 are all connected to the back wall 22 .
  • the front end of the upper wall 23, the front end of the lower wall 24, the front end of the first side wall 25, and the front end of the second side wall 26 have a positional relationship facing the back wall 22, and the container main body opening 21 has a substantially rectangular shape.
  • An opening peripheral portion 28 is formed.
  • the opening peripheral portion 28 is provided at one end of the container body 2, and the back wall 22 is located at the other end of the container body 2.
  • the outer shape of the container body 2 formed by the outer surface of the wall portion 20 is box-shaped.
  • the inner surface of the wall portion 20, that is, the inner surface of the back wall 22, the inner surface of the upper wall 23, the inner surface of the lower wall 24, the inner surface of the first side wall 25, and the inner surface of the second side wall 26 is a substrate storage space surrounded by these. 27 is formed.
  • the container main body opening 21 formed in the opening peripheral portion 28 is surrounded by the wall portion 20 and communicates with a substrate storage space 27 formed inside the container main body 2 .
  • the substrate storage space 27 can accommodate up to 25 substrates W.
  • latch engagement recess that is recessed toward the outside of the board storage space 27.
  • 231A, 231B, 241A, and 241B are formed in the upper wall 23 and the lower wall 24, in the vicinity of the opening periphery 28, there is a latch engagement recess that is recessed toward the outside of the board storage space 27.
  • 231A, 231B, 241A, and 241B are formed in the upper wall 23 and the lower wall 24.
  • a total of four latch engagement recesses 231A, 231B, 241A, and 241B are formed, one each near the left and right ends of the upper wall 23 and the lower wall 24.
  • a flange fixing portion (not shown) and ribs 235A, 235B are provided integrally with the upper wall 23.
  • a flange fixing part (not shown) is arranged at the center of the upper wall 23.
  • a top flange 236 is fixed to the flange fixing portion (not shown).
  • the top flange 236 is located at the center of the upper wall 23.
  • the top flange 236 is a member that becomes a part of the substrate storage container 1 that is hung and suspended when the substrate storage container 1 is suspended in an AMHS (automatic wafer transfer system), a PGV (wafer substrate transfer vehicle), or the like.
  • a plurality of ribs 235A extend approximately leftward and rightward from the top flange 236, respectively. Further, a plurality of ribs 235B extend from the top flange 236 in the front direction D11, and a plurality of ribs 235B extend from the top flange 236 in the rear direction D12.
  • the lid body 3 is provided with a latch mechanism.
  • the latch mechanism is provided near both left and right ends of the lid 3, and as shown in FIGS. 1 to 3 and 5, two upper latch parts 32A that can protrude from the upper side of the lid 3 in an upward direction D21. and two lower latch parts 32B that can protrude from the lower side of the lid body 3 in the downward direction D22.
  • the two upper latch parts 32A are arranged near both left and right ends of the upper side of the lid body 3, and the two lower latch parts 32B are arranged near both left and right ends of the lower side of the lid body 3.
  • An operating section 33 is provided on the outer surface of the lid 3.
  • the upper latch part 32A and the lower latch part 32B can be made to protrude from the upper and lower sides of the lid body 3, and can also be prevented from protruding from the upper and lower sides. can do.
  • the upper latch portion 32A protrudes upward D21 from the upper side of the lid 3 and engages with the latch engagement recesses 231A and 231B of the container body 2, and the lower latch portion 32B protrudes downward from the lower side of the lid 3.
  • the lid body 3 is fixed to the opening peripheral portion 28 of the container body 2.
  • a front retainer 7 is fixedly provided inside the lid main body 30 of the lid 3.
  • the front retainer 7 is configured to be separated in the left-right direction D3.
  • the front retainer 7 has a front retainer board receiving part 73.
  • the front retainer board receiving parts 73 are arranged in pairs in the left-right direction D3, spaced apart at a predetermined interval in the left-right direction D3. Twenty-five pairs of the front retainer board receiving parts 73 arranged in pairs in this way are arranged in parallel in the vertical direction D2.
  • the lid 3 has a substantially rectangular shape that substantially matches the shape of the opening peripheral portion 28 of the container body 2. As shown in FIGS. The lid 3 is removable from the opening periphery 28 of the container main body 2, and by attaching the lid 3 to the opening periphery 28, the lid 3 can close the container main opening 21. .
  • the inner surface of the lid 3 (the back surface of the lid 3 shown in FIG. 1), which is the direction D12 just behind the opening edge of the opening periphery 28 when the lid 3 closes the container main body opening 21.
  • An annular sealing member 4 is attached to a surface opposite to the surface (sealing surface 281) of the stepped portion formed at the position.
  • the lip portion 42, which will be described later, of the seal member 4 is sandwiched between the sealing surface 281 and the peripheral portion opposing portion 331 that constitutes the inner surface of the lid body 3, and is elastically deformed.
  • the lid body 3 closes the container main body opening 21 in a sealed state.
  • the lid 3 has a lid main body 30.
  • the lid main body 30 forms the outer contour of the lid 3 having a substantially rectangular shape. Therefore, the lid main body 30 has a substantially rectangular shape.
  • the lid main body 30 has an inner surface 301 (see FIG. 3, etc.) and an outer surface 302.
  • the inner surface 301 faces the substrate storage space 27 when the container main body opening 21 is closed by the lid 3.
  • the outer surface 302 is exposed to the outside of the substrate storage container 1 when the container main body opening 21 is closed by the lid 3.
  • the lid main body 30 is made of a plastic material or the like, and in this embodiment, it is made of polycarbonate.
  • the peripheral edge portion of the lid main body 30 that faces the sealing surface 281 constituting the opening peripheral edge 28 of the container main body 2 has a seal member mounting portion 311 and a peripheral edge opposing portion 331. It has A holding groove 321 is formed in the seal member mounting portion 311 .
  • the seal member attachment portion 311 is formed so as to extend around the circumference of the lid main body 30, and the holding groove 321 also extends along the seal member attachment portion 311 around the circumference of the lid body 30. It exists in a circle.
  • a peripheral edge opposing portion 331 is a portion of the peripheral edge of the lid main body 30 that faces the sealing surface 281 that constitutes the opening peripheral edge 28 and is located outside the retaining groove 321 of the lid 3. .
  • the peripheral edge opposing portion 331 is a peripheral edge portion of the lid main body 30, and is constituted by a plate-shaped portion extending in the D2-D3 plane (perpendicular to the front-rear direction D1).
  • the holding groove 321 has a groove bottom surface 322 and a pair of groove side surfaces 323.
  • the shape of a cross section of the holding groove 321 cut in a direction perpendicular to the direction in which the holding groove 321 extends is approximately rectangular.
  • surfaces extending from the opening of the holding groove 321 in the depth direction of the holding groove 321 constitute a pair of groove side surfaces 323 .
  • the groove bottom surface 322 constitutes the bottom of the holding groove 321.
  • a base portion 41 of the seal member 4, which will be described later, is inserted into the holding groove 321. Thereby, the seal member 4 is attached to the seal member attachment part 311 of the lid body 3, and the lip part 42 of the seal member 4 can come into contact with the opening peripheral part 28 and the peripheral part opposing part 331.
  • the sealing member 4 is made of various thermoplastic elastomers such as elastically deformable polyester and polyolefin, fluororubber, silicone rubber, and the like. As shown in FIG. 4, the sealing member 4 has a rectangular ring shape and is arranged so as to go around the outer peripheral edge of the lid 3. As shown in FIG.
  • the seal member 4 has a base portion 41 and a lip portion 42. As shown in FIGS. 6A and 6C, the cross-sectional shape of the base 41 perpendicular to the annular circumferential direction of the seal member 4 is a substantially rectangular shape having irregularities on the outer periphery.
  • the base portion 41 has a distal end surface 411, a pair of side surfaces 412 extending from the distal end surface 411, and a proximal end 410 located at the end of the side surfaces 412.
  • the side surface 412 is an uneven surface in which concave portions and convex portions are alternately arranged and extended.
  • a distal end surface 411 and a pair of side surfaces 412 are inserted into the holding groove 321 .
  • a pair of side surfaces 412 of the base 41 inserted into the holding groove 321 and a pair of groove side surfaces 323 have an opposing positional relationship.
  • a lip portion 42 is integrally provided at the base end 410 located at the end of the side surface 412 extending from the distal end surface 411 of the base portion 41 .
  • the lip portion 42 extends from the proximal end 410 of the base portion 41 in a direction oblique to the direction in which the side surface 412 extends from the distal end surface 411 of the base portion 41 .
  • the lip portion 42 branches into two from the middle to form a peripheral edge abutting lip portion 421 and an opposing portion abutting lip portion 422.
  • the peripheral edge contact lip portion 421 contacts the sealing surface 281 of the opening peripheral portion 28 of the container main body 2, and the opposing portion contact lip portion 422 , comes into contact with the peripheral edge opposing portion 331.
  • the opposing portion abutting lip portion 422 extends in an oblique direction between the front direction D11 and the upward direction D21 (outward direction of the D2-D3 plane) so as to abut against the peripheral edge portion opposing portion 331.
  • the direction in which the peripheral edge contact lip portion 421 and the opposing portion abutment lip portion 422 extend differ depending on the position of the seal member 4 in the lid body 3, but the direction in which they extend is generally the outer direction of the D2-D3 plane. It can be said that.
  • the lip portion 42 of the sealing member 4 is brought into contact with the opening peripheral edge. 28 and the peripheral edge facing portion 331, and closely contacts the opening peripheral edge 28 and the peripheral edge facing portion 331, and closes the container main body opening 21 together with the lid 3 in an airtight state.
  • the peripheral edge portion opposing portion 331 has a cross-sectional shape that is not a straight plane and indicates the placement target PT of the opposing portion abutting lip portion 422.
  • the cross-sectional shape of the peripheral edge opposing portion 331 that is not a straight plane is provided so as to go around the peripheral edge of the lid body 3 .
  • the seal member 4 when the base 41 of the seal member 4 is completely inserted into the retaining groove 321 of the seal member attachment part 311 of the lid body 3 (the distal end surface 411 of the base 41 of the seal member 4 is inserted into the retaining groove 321 (in sufficient contact with the groove bottom surface 322), the seal member 4 in that state is placed at the placement target PT (see FIGS. 6A and 6B). In this state, airtightness is ensured by the seal member 4 when it is closed.
  • the seal member 4 in that state is not placed at the placement target PT (it is misaligned). In this state, airtightness may not be ensured when the seal member 4 closes (airtightness is not guaranteed).
  • the seal member 4 As described above, it is extremely important to arrange the seal member 4 at the arrangement target PT in order to ensure airtightness when the seal member 4 is closed. However, in the manufacturing process of the lid body 3, it is not easy to confirm that the seal member 4 has been placed at the placement target PT of the seal member attachment portion 311. Further, in the substrate storage container 1, in order to prevent contamination, it is not possible to provide markings indicating the placement target PT, for example, with deposits, on the seal member mounting portion 311.
  • the peripheral edge opposing portion 331 has a cross-sectional shape that is not a straight plane and indicates the placement target PT of the opposing portion abutting lip portion 422.
  • the peripheral edge portion opposing portion 331 has a non-straight surface on the side in the rear direction D12 that indicates the target arrangement of the opposing portion abutting lip portion 422.
  • a cross-sectional shape (surface) that is not a straight plane can indicate the placement target PT based on the shape without adding markings or the like.
  • the cross-sectional shape of the peripheral edge opposing portion 331 that is not a straight plane is on the side of the opposing portion abutting lip portion 422 (the side in the rear direction D12) with respect to the standard straight plane (reference plane) P. It has a protruding shape.
  • the standard straight plane P is typically a straight plane assumed when the peripheral edge opposing portion 331 is to be formed as a straight plane.
  • the protruding shape of the peripheral edge opposing portion 331 is a smoothly protruding shape.
  • the top of the protruding portion indicates the placement target PT.
  • the protruding portion may be a protrusion that extends all the way along the peripheral edge portion of the lid body 3 (vertical direction D2, horizontal direction D3), or may be a protrusion that partially extends. It may also be a convex portion that does not extend completely.
  • the substrate storage container 1 of the first embodiment has a substrate storage space 27 that can store a plurality of substrates W formed therein, and an opening periphery with a container main body opening 21 that communicates with the substrate storage space 27 at one end.
  • a container body 2 having a portion 28; a lid 3 that is detachable from the container body opening 21 and capable of closing the container body opening 21, and facing the seal member attachment portion 311 and the opening peripheral portion 28;
  • the lid body 3 has a peripheral edge facing portion 331.
  • the lid body 3 is attached to the seal member attachment part 311 of the lid body 3, is interposed between the opening peripheral part 28 and the peripheral part facing part 331, and is in close contact with the opening peripheral part 28 and the peripheral part facing part 331. It further includes a sealing member 4 that closes the container main body opening 21 in an airtight state by coming into contact with the container main body opening 21.
  • the seal member 4 includes a base portion 41 held by the seal member mounting portion 311, a peripheral edge contact lip portion 421 extending from the base portion 41 and abutting against the opening peripheral portion 28, and a peripheral edge portion facing portion 331 extending from the base portion 41. and an opposing abutting lip portion 422 that abuts against each other.
  • the peripheral edge opposing portion 331 has a cross-sectional shape that is not a straight plane that indicates the placement target PT of the opposing portion abutting lip portion 422 .
  • the opposing portion abutting lip portion 422 can be easily placed at the placement target PT with reference to the shape of the peripheral portion opposing portion 331. Contamination caused by the means for indicating the placement target PT basically does not occur.
  • FIG. 7A is a sectional view (corresponding to FIG. 6A) showing the lid 3 of the substrate storage container 1 according to the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 7B is a partially enlarged view of FIG. 7A.
  • the protruding shape of the peripheral edge opposing portion 331 is different from that in the first embodiment.
  • the other configurations in the second embodiment are the same as those in the first embodiment, so the same members are shown with the same reference numerals and the description thereof will be omitted.
  • the protruding shape of the peripheral edge opposing portion 331 is a shape in which a plurality of straight planes P1 and P2 are connected.
  • a ridgeline formed by the plurality of straight planes P1 and P2 indicates the placement target PT. According to the second embodiment, the same effects as the first embodiment are achieved.
  • FIG. 8 is a sectional view (corresponding to FIG. 6A) showing the lid 3 of the substrate storage container 1 according to the third embodiment of the present invention.
  • the protruding shape of the peripheral edge opposing portion 331 is different from that in the first and second embodiments.
  • the other configurations in the third embodiment are the same as those in the first embodiment, so the same members are shown with the same reference numerals and the description thereof will be omitted.
  • the protruding shape of the peripheral edge opposing portion 331 has a locally protruding protrusion 332 that can restrict the movement of the opposing portion abutting lip portion 422.
  • the protruding shape of the peripheral edge portion opposing portion 331 is a shape having a locally protruding protrusion 332 that can restrict the movement of the opposing portion abutting lip portion 422.
  • the contact lip portion 422 is placed at the placement target PT in such a manner that it butts against the protrusion 332 . If the opposing part abutting lip part 422 deviates outward from the placement target PT, the opposing part abutting lip part 422 will not abut against the protrusion 332, and therefore it will be easy to determine whether or not it is placed at the placement target PT. Can be distinguished.
  • the facing part abutting lip part 422 abuts against the protrusion 332 and becomes easily caught by the protrusion 332. Therefore, the state in which the opposing portion abutting lip portion 422 is placed at the placement target PT is likely to be maintained.
  • FIG. 9 is a sectional view (corresponding to FIG. 6A) showing the lid 3 of the substrate storage container 1 according to the fourth embodiment of the present invention.
  • the fourth embodiment differs from the first to third embodiments in the cross-sectional shape of the peripheral edge opposing portion 331, which is not a straight plane.
  • the other configurations in the fourth embodiment are the same as those in the first embodiment, so the same members are shown with the same reference numerals and the description thereof will be omitted.
  • the cross-sectional shape of the peripheral edge opposing portion 331 is on the side away from the opposing portion abutting lip portion 422 (in the front direction) with respect to the perpendicular plane P serving as a reference.
  • the regulating recess 333 is recessed toward the D11 side) and has a regulating recess 333 that can be engaged with the opposing portion abutting lip portion 422.
  • the shape and size of the regulation recess 333 are not particularly limited as long as the opposing part abutment lip part 422 can engage with the regulation recess 333.
  • the same effects as the first embodiment are achieved.
  • the cross-sectional shape of the peripheral edge opposing portion 331 that is not a straight plane is a regulating recess 333 that is recessed toward the side away from the opposing portion abutting lip portion 422 with respect to the standard straight plane P. It has a regulating recess 333 that can be engaged with the opposing abutting lip 422 . Therefore, the opposing portion abutting lip portion 422 is disposed at the placement target PT in a manner that it engages with the regulation recess 333.
  • the opposing part abutting lip part 422 If the opposing part abutting lip part 422 deviates outward from the placement target PT, the opposing part abutting lip part 422 will not engage with the regulation recess 333, so it will be easy to determine whether or not it is placed at the placement target PT. can be determined. Once the facing part abutting lip part 422 is placed at the placement target PT, the facing part abutting lip part 422 engages with the regulation recess 333, so that the facing part abutting lip part 422 is placed at the placement target PT. This state is easily maintained.
  • the base 41 of the seal member 4 is inserted into the holding groove 321 and held by the seal member attachment part 311; not limited to.
  • the base portion 41 of the seal member 4 may be held by the seal member attachment portion 311 in a manner such that it is held or engaged with the base portion 41 .
  • the cross-sectional shape of the peripheral edge opposing portion 331 that is not a straight plane is provided so as to go around the peripheral portion of the lid body 3, but is not limited to this, and may be provided partially in the circumferential direction. It may be divided into a plurality of parts in the circumferential direction.
  • the shapes of the container body 2 and the lid 3 and the number and dimensions of the substrates W that can be stored in the container body 2 are determined by the shapes of the container body 2 and the lid 3 in this embodiment, and the number and dimensions of the substrates W that can be stored in the container body 2.
  • the number and dimensions of the substrates W are not limited.
  • FIG. 10A is a plan view showing the substrate holding adapter 8.
  • FIG. 10B is a plan view showing a state in which the substrate W is held by the substrate holding adapter 8.
  • FIG. 10C is a schematic central vertical cross-sectional view of FIG. 10B.
  • the board holding adapter 8 is a member that constitutes a part of the back board support part (not shown), the board support plate part 5, and the front retainer 7.
  • the substrate holding adapter 8 holds the back side substrate support part (not shown), the substrate support plate-shaped part 5, and the front retainer 7 in the embodiment shown in FIGS. It can also be thought of as an extension of .
  • the substrate holding adapter 8 includes an annular plate-shaped portion 81 and an adhesive sheet 82.
  • the annular plate-shaped portion 81 is a plate-shaped member that is approximately O-shaped in plan view (the outer circumferential edge 811 and the inner circumferential edge 812 are substantially circular).
  • the annular plate-shaped portion 81 is made of metal (for example, SUS), for example.
  • the adhesive sheet 82 is made of a thin film-like sheet member having adhesive properties, and is attached to the upper surface of the annular plate-like portion 81 so as to close the area inside the inner peripheral edge 812 of the annular plate-like portion 81 .
  • the adhesive sheet 82 can hold the substrate W due to its adhesive strength.
  • the substrate W is stuck and held in a region of the adhesive sheet 82 that is inside the inner peripheral edge 812 of the annular plate-shaped portion 81 .
  • a substrate holding adapter 8 as part of the retainer 7 supports the front edge of the substrate W.
  • the substrate holding adapter 8 as a part of the substrate supporting plate-like part 5 supports the side of the edge of the substrate W when the container main body opening 21 is not closed by the lid 3.
  • the substrate holding adapter 8 as part of the back side substrate support part supports the rear part of the edge of the substrate W when the container main body opening 21 is closed by the lid 3. do.
  • the substrate storage container 1 equipped with the substrate holding adapter 8 may be transported or stored in a state where the substrate holding adapter 8 is placed in the substrate storage space 27 without storing the substrate W, and is used. I can do it.
  • the substrate holding adapter 8 is not limited to an annular shape in a plan view, but may also be an arcuate shape (not closed).
  • Substrate storage container 2
  • Container body 3
  • Lid 4
  • Seal member 20
  • Wall portion 21
  • Container main body opening 27
  • Substrate storage space 28 Opening periphery
  • Base Lip portion 311
  • Seal member mounting portion 321
  • Holding groove 331
  • Peripheral opposing portion 332
  • Protrusion 321
  • Peripheral abutment lip 422
  • Opposite abutment lip P

Landscapes

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Abstract

基板収納容器１は、複数の基板Ｗを収納可能な基板収納空間２７が内部に形成され、一端部に基板収納空間２７に連通する容器本体開口部２１が形成された開口周縁部２８を有する容器本体２と、容器本体開口部２１に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能な蓋体３であって、シール部材取付部３１１と開口周縁部２８に対向する周縁部対向部３３１とを有する蓋体３と、を備える。蓋体３は、蓋体３のシール部材取付部３１１に取り付けられ、開口周縁部２８と周縁部対向部３３１との間に介在して開口周縁部２８及び周縁部対向部３３１に密着して当接することにより、容器本体開口部２１を気密状態で閉塞するシール部材４を更に有する。シール部材４は、シール部材取付部３１１に保持される基部４１と、基部４１から延びて開口周縁部２８に当接する周縁部当接リップ部４２１と、基部４１から延びて周縁部対向部３３１に当接する対向部当接リップ部４２２と、を有する。周縁部対向部３３１は、対向部当接リップ部４２２の配置目標ＰＴを示す直平面でない断面形状を有する。

Description

基板収納容器及びその蓋体
　本発明は、半導体ウェーハ等の基板を収納する基板収納容器、及びその蓋体に関する。
　半導体ウェーハ等の基板を収納する容器としては、容器本体と蓋体とを備える構成のものが、従来より知られている。
　容器本体は、一端部に容器本体開口部が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部を有する。容器本体内には基板収納空間が形成されている。基板収納空間は、壁部により取り囲まれて形成されており、複数の基板を収納可能である。蓋体は、容器本体開口部に対して着脱可能であり、容器本体開口部を閉塞可能である。
　蓋体の部分であって容器本体開口部を閉塞しているときに基板収納空間に対向する部分には、フロントリテーナが設けられている。フロントリテーナは、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、複数の基板の縁部を支持可能である。また、フロントリテーナと対をなすようにして、奥側基板支持部が壁部に設けられている。奥側基板支持部は、複数の基板の縁部を支持可能である。奥側基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、フロントリテーナと協働して複数の基板を支持することにより、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板を保持する。
　また、蓋体には、シール部材が設けられている。シール部材は、蓋体のシール部材取付部に取り付けられて、蓋体の外周縁部を一周するように配置されている。蓋体が開口周縁部に装着されたときに、シール部材は、容器本体のシール面と蓋体の内面とにより挟まれて弾性変形し、蓋体は、容器本体開口部を密閉した状態で閉塞する。開口周縁部から蓋体が取り外されることにより、容器本体内の基板収納空間に対して、基板が出し入れ可能となる（例えば、特許文献１参照）。
特許第４９５３６９０号公報
　シール部材による閉塞時の気密性を確保するためには、シール部材は、蓋体のシール部材取付部に適切に取り付けられて、シール部材の配置目標に配置される必要がある。しかしながら、シール部材を配置目標に配置することは容易ではない。
　本発明は、蓋体のシール部材取付部にシール部材を適切に取り付けてシール部材を配置目標に配置させることが容易な基板収納容器、及び蓋体を提供することを目的とする。
　本発明は、複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に前記基板収納空間に連通する容器本体開口部が形成された開口周縁部を有する容器本体と、前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体であって、シール部材取付部と前記開口周縁部に対向する周縁部対向部とを有する蓋体と、を備える基板収納容器であって、前記蓋体は、前記蓋体の前記シール部材取付部に取り付けられ、前記開口周縁部と前記周縁部対向部との間に介在して前記開口周縁部及び前記周縁部対向部に密着して当接することにより、前記容器本体開口部を気密状態で閉塞するシール部材を更に有し、前記シール部材は、前記シール部材取付部に保持される基部と、前記基部から延びて前記開口周縁部に当接する周縁部当接リップ部と、前記基部から延びて前記周縁部対向部に当接する対向部当接リップ部と、を有し、前記周縁部対向部は、前記対向部当接リップ部の配置目標を示す直平面でない断面形状を有する、基板収納容器に関する。
　また、前記周縁部対向部における直平面でない前記断面形状は、基準となる直平面に対して、前記対向部当接リップ部の側に突出した突出形状であることが好ましい。
　また、前記周縁部対向部における前記突出形状は、滑らかに突出した形状、複数の直平面が連結した形状、又は、前記対向部当接リップ部の移動を規制可能に局部的に突出した突起を有する形状であることが好ましい。
　また、前記周縁部対向部における直平面でない前記断面形状は、基準となる直平面に対して、前記対向部当接リップ部から離れる側に凹んだ規制凹部であって、前記対向部当接リップ部が係合可能な規制凹部を有することが好ましい。
　また、前記周縁部対向部における直平面でない前記断面形状は、前記蓋体の周縁部分に沿って一周するように設けられていることが好ましい。
　また、本発明は、複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に前記基板収納空間に連通する容器本体開口部が形成された開口周縁部を有する容器本体と、前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、シール部材取付部と前記開口周縁部に対向する周縁部対向部とを有し、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、を備える基板収納容器における蓋体であって、前記蓋体は、前記蓋体の前記シール部材取付部に取り付けられ、前記開口周縁部と前記周縁部対向部との間に介在して前記開口周縁部及び前記周縁部対向部に密着して当接することにより、前記蓋体と共に前記容器本体開口部を気密状態で閉塞するシール部材を更に有し、前記シール部材は、前記シール部材取付部に保持される基部と、前記基部から延びて前記開口周縁部に当接する周縁部当接リップ部と、前記基部から延びて前記周縁部対向部に当接する対向部当接リップ部と、を有し、前記周縁部対向部は、前記対向部当接リップ部の配置目標を示す直平面でない断面形状を有する、基板収納容器の蓋体に関する。
　本発明によれば、蓋体のシール部材取付部にシール部材を適切に取り付けてシール部材を配置目標に配置させることが容易な基板収納容器、及び蓋体を提供することができる。
本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１を示す分解斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１に基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１においてシール部材４及びフロントリテーナ７が取り付けられた状態の蓋体３を示す斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３のシール部材４を示す斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１においてシール部材４及びフロントリテーナ７が取り外された状態の蓋体３を示す背面図である。 図３及び図５のＡ－Ａ線に沿った断面図である。 図６Ａの部分拡大図である。 図６Ａについてシール部材４が配置目標からずれている状態を示す図である。 本発明の第２実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３を示す断面図（図６Ａ対応図）である。 図７Ａの部分拡大図である。 本発明の第３実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３を示す断面図（図６Ａ対応図）である。 本発明の第４実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３を示す断面図（図６Ａ対応図）である。 基板保持アダプタ８を示す平面図である。 基板保持アダプタ８により基板Ｗが保持された状態を示す平面図である。 図１０Ｂの模式的な中央縦断面図である。
〔第１実施形態〕
　以下、本発明の第１実施形態の基板収納容器１について、図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１を示す分解斜視図である。図２は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１に基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。図３は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１においてシール部材４及びフロントリテーナ７が取り付けられた状態の蓋体３を示す斜視図である。図４は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３のシール部材４を示す斜視図である。図５は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１においてシール部材４及びフロントリテーナ７が取り外された状態の蓋体３を示す背面図である。図６Ａは、図３及び図５のＡ－Ａ線に沿った断面図である。図６Ｂは、図６Ａの部分拡大図である。図６Ｃは、図６Ａについてシール部材４が配置目標からずれている状態を示す図である。
　ここで、説明の便宜上、後述の容器本体２から蓋体３へ向かう方向（図１における右上から左下へ向かう方向）を前方向Ｄ１１と定義し、その反対の方向を後方向Ｄ１２と定義し、これらを前後方向Ｄ１と定義する。また、後述の下壁２４から上壁２３へと向かう方向（図１における上方向）を上方向Ｄ２１と定義し、その反対の方向を下方向Ｄ２２と定義し、これらを上下方向Ｄ２と定義する。また、後述する第２側壁２６から第１側壁２５へと向かう方向（図１における右下から左上へ向かう方向）を左方向Ｄ３１と定義し、その反対の方向を右方向Ｄ３２と定義し、これらを左右方向Ｄ３と定義する。
　また、基板収納容器１に収納される基板Ｗ（図２参照）は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板Ｗは、直径２００ｍｍ～４５０ｍｍのシリコンウェーハである。
　図１～図２に示すように、基板収納容器１は、上述のようなシリコンウェーハからなる基板Ｗを収納するためのものであり、容器本体２と、蓋体３と、側方基板支持部としての基板支持板状部５と、奥側基板支持部（図示せず）と、蓋体側基板支持部としてのフロントリテーナ７とを有している。
　図１に示すように、容器本体２は、一端部に容器本体開口部２１が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を有する。容器本体２内には基板収納空間２７が形成されている。基板収納空間２７は、壁部２０により取り囲まれて形成されている。壁部２０の部分であって基板収納空間２７を形成している部分には、基板支持板状部５が配置されている。基板収納空間２７には、図２に示すように、複数の基板Ｗを収納可能である。
　基板支持板状部５は、基板収納空間２７内において、左右方向Ｄ３に対をなすように壁部２０に設けられている。基板支持板状部５は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、複数の基板Ｗの縁部の側部に当接することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部の側部を支持可能である。基板支持板状部５の奥側には、奥側基板支持部（図示せず）が設けられている。
　奥側基板支持部（図示せず）は、基板収納空間２７内においてフロントリテーナ７と対をなすように壁部２０に設けられている。奥側基板支持部（図示せず）は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部の後部に当接することにより、複数の基板Ｗの縁部の後部を支持可能である。
　蓋体３は、容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能である。フロントリテーナ７は、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に設けられている。フロントリテーナ７は、基板収納空間２７の内部において、前後方向Ｄ１に奥側基板支持部（図示せず）と対をなすように配置されている。
　フロントリテーナ７は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより複数の基板Ｗの縁部の前部を支持可能である。フロントリテーナ７は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、奥側基板支持部（図示せず）と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗを保持する。以下、各部について、詳細に説明する。
　図１等に示すように、容器本体２の壁部２０は、奥壁２２と上壁２３と下壁２４と第１側壁２５と第２側壁２６とを有する。奥壁２２、上壁２３、下壁２４、第１側壁２５、及び第２側壁２６は、プラスチック材等により構成されており、本実施形態では、ポリカーボネートにより一体成形されて構成されている。
　第１側壁２５と第２側壁２６とは対向しており、上壁２３と下壁２４とは対向している。上壁２３の後端、下壁２４の後端、第１側壁２５の後端、及び第２側壁２６の後端は、全て奥壁２２に接続されている。上壁２３の前端、下壁２４の前端、第１側壁２５の前端、及び第２側壁２６の前端は、奥壁２２に対向する位置関係を有し、略長方形状をした容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８を構成する。
　開口周縁部２８は、容器本体２の一端部に設けられており、奥壁２２は、容器本体２の他端部に位置している。壁部２０の外面により形成される容器本体２の外形は箱状である。壁部２０の内面、即ち、奥壁２２の内面、上壁２３の内面、下壁２４の内面、第１側壁２５の内面、及び第２側壁２６の内面は、これらによって取り囲まれた基板収納空間２７を形成している。開口周縁部２８に形成された容器本体開口部２１は、壁部２０により取り囲まれて容器本体２の内部に形成された基板収納空間２７に連通している。基板収納空間２７には、最大で２５枚の基板Ｗを収納可能である。
　図１、図２に示すように、上壁２３及び下壁２４の部分であって、開口周縁部２８の近傍の部分には、基板収納空間２７の外方へ向かって窪んだラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂが形成されている。ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂは、上壁２３及び下壁２４の左右両端部近傍に１つずつ、計４つ形成されている。
　図１、図２に示すように、上壁２３の外面においては、フランジ固定部（図示せず）及びリブ２３５Ａ、２３５Ｂが、上壁２３と一体成形されて設けられている。フランジ固定部（図示せず）は、上壁２３の中央部に配置されている。フランジ固定部（図示せず）には、トップフランジ２３６が固定される。トップフランジ２３６は、上壁２３の中央部に配置されている。トップフランジ２３６は、ＡＭＨＳ（自動ウェーハ搬送システム）、ＰＧＶ（ウェーハ基板搬送台車）等において基板収納容器１を吊り下げる際に、基板収納容器１において掛けられて吊り下げられる部分となる部材である。
　リブ２３５Ａは、トップフランジ２３６から概ね左方向、右方向にそれぞれ複数本延びている。また、リブ２３５Ｂは、トップフランジ２３６から前方向Ｄ１１に複数本延びており、また、トップフランジ２３６から後方向Ｄ１２に複数本延びている。
　蓋体３においては、ラッチ機構が設けられている。ラッチ機構は、蓋体３の左右両端部近傍に設けられており、図１～図３及び図５に示すように、蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出可能な２つの上側ラッチ部３２Ａと、蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出可能な２つの下側ラッチ部３２Ｂと、を備えている。２つの上側ラッチ部３２Ａは、蓋体３の上辺の左右両端近傍に配置されており、２つの下側ラッチ部３２Ｂは、蓋体３の下辺の左右両端近傍に配置されている。
　蓋体３の外面においては操作部３３が設けられている。操作部３３を蓋体３の前側から操作することにより、上側ラッチ部３２Ａ、下側ラッチ部３２Ｂを蓋体３の上辺、下辺から突出させることができ、また、上辺、下辺から突出させない状態とすることができる。上側ラッチ部３２Ａが蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂに係合し、且つ、下側ラッチ部３２Ｂが蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２４１Ａ、２４１Ｂに係合することにより、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８に固定される。
　蓋体３の蓋体本体３０の内側には、フロントリテーナ７が固定されて設けられている。本実施形態においては、フロントリテーナ７は、左右方向Ｄ３に分離して、構成されている。フロントリテーナ７は、フロントリテーナ基板受け部７３を有している。フロントリテーナ基板受け部７３は、左右方向Ｄ３に所定の間隔で離間して対をなすようにして、左右方向Ｄ３には２つずつ配置されている。このように対をなすようにして２つずつ配置されたフロントリテーナ基板受け部７３は、上下方向Ｄ２に２５対並列した状態で設けられている。基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられることにより、フロントリテーナ基板受け部７３は、基板Ｗの縁部の端縁を挟持して支持する。
　図３～図５に示すように、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８の形状と略一致する略長方形状を有している。蓋体３は容器本体２の開口周縁部２８に対して着脱可能であり、開口周縁部２８に蓋体３が装着されることにより、蓋体３は、容器本体開口部２１を閉塞可能である。蓋体３の内面（図１に示す蓋体３の裏側の面）であって、蓋体３が容器本体開口部２１を閉塞しているときの開口周縁部２８の開口縁のすぐ後方向Ｄ１２の位置に形成された段差の部分の面（シール面２８１）に対向する面には、環状のシール部材４が取り付けられている。
　蓋体３が開口周縁部２８に装着されたときに、シール部材４の後述するリップ部４２は、シール面２８１と蓋体３の内面を構成する周縁部対向部３３１とにより挟まれて弾性変形し、蓋体３は、容器本体開口部２１を密閉した状態で閉塞する。開口周縁部２８から蓋体３が取り外されることにより、容器本体２内の基板収納空間２７に対して、基板Ｗを出し入れ可能となる。
　より詳細には、蓋体３は、蓋体本体３０を有している。蓋体本体３０は、略長方形をした蓋体３の外郭を形成している。このため、蓋体本体３０は略長方形状を有する。蓋体本体３０は、内面３０１（図３等参照）と、外面３０２とを有している。内面３０１は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する。外面３０２は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、基板収納容器１の外部に露出する。蓋体本体３０は、プラスチック材等により構成されており、本実施形態では、ポリカーボネートにより成形されて構成されている。
　蓋体本体３０の周縁の部分であって容器本体２の開口周縁部２８を構成するシール面２８１に対向する部分は、図６Ａ等に示すように、シール部材取付部３１１と周縁部対向部３３１とを有している。シール部材取付部３１１には、保持溝３２１が形成されている。シール部材取付部３１１は、蓋体本体３０の周縁の部分を一周するように存在して形成されており、保持溝３２１もシール部材取付部３１１に沿って、蓋体本体３０の周縁の部分を一周するように存在している。開口周縁部２８を構成するシール面２８１に対向する蓋体本体３０の周縁の部分であって、保持溝３２１よりも蓋体３の外方の部分により、周縁部対向部３３１は構成されている。周縁部対向部３３１は、蓋体本体３０の周縁の部分であって、Ｄ２－Ｄ３平面に拡がる（前後方向Ｄ１に垂直な）板状の部分により構成されている。
　図６Ａに示すように、保持溝３２１は、溝底面３２２及び一対の溝側面３２３を有している。保持溝３２１の延びる方向に直交する方向で切った保持溝３２１の断面の形状は、略矩形である。当該断面において、保持溝３２１の開口から保持溝３２１の深さ方向に延びる面は、一対の溝側面３２３を構成する。溝底面３２２は、保持溝３２１の底を構成する。保持溝３２１には、シール部材４の後述する基部４１が挿入される。これにより、シール部材４は、蓋体３のシール部材取付部３１１に取り付けられており、シール部材４のリップ部４２は、開口周縁部２８及び周縁部対向部３３１に当接可能である。
　シール部材４は、弾性変形可能なポリエステル系、ポリオレフィン系など各種熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム製、シリコンゴム製等により構成されている。図４に示すように、シール部材４は、長方形状の環状を有しており、蓋体３の外周縁部を一周するように配置されている。
　シール部材４は、基部４１とリップ部４２とを有している。図６Ａ及び図６Ｃに示すように、シール部材４の環状の周方向に直交する基部４１の断面形状は、外周に凹凸を有する略矩形である。基部４１は、先端面４１１と、先端面４１１から延びる一対の側面４１２と、側面４１２の延びた先に位置する基端４１０とを有している。側面４１２は、凹み及び凸部が交互に並んで延びる凹凸面となっている。基部４１において、先端面４１１と一対の側面４１２とが保持溝３２１に挿入される。保持溝３２１に挿入された基部４１の一対の側面４１２と一対の溝側面３２３とは、対向する位置関係を有している。
　基部４１の先端面４１１から側面４１２の延びた先に位置する基端４１０には、リップ部４２が一体成形されて設けられている。リップ部４２は、基部４１の先端面４１１から側面４１２の延びる方向に対して斜めの方向へ、基部４１の基端４１０から延びている。リップ部４２は、図６Ａ等に示すように、途中から２つに分岐して周縁部当接リップ部４２１と対向部当接リップ部４２２とを構成する。蓋体３が容器本体開口部２１を閉塞しているときに、周縁部当接リップ部４２１は、容器本体２の開口周縁部２８のシール面２８１に当接し、対向部当接リップ部４２２は、周縁部対向部３３１に当接する。
　図６Ａに示す、蓋体３の上方向Ｄ２１の側の部位を例にして説明すると、周縁部当接リップ部４２１は、開口周縁部２８に当接するように、後方向Ｄ１２と上方向Ｄ２１（Ｄ２－Ｄ３平面の外側方向）との間の斜めの方向へ延びている。対向部当接リップ部４２２は、周縁部対向部３３１に当接するように、前方向Ｄ１１と上方向Ｄ２１（Ｄ２－Ｄ３平面の外側方向）との間の斜めの方向へ延びている。なお、蓋体３におけるシール部材４の位置によって、周縁部当接リップ部４２１及び対向部当接リップ部４２２が延びる方向は、異なるが、当該延びる方向は、概ね、Ｄ２－Ｄ３平面の外側方向ということができる。
　周縁部当接リップ部４２１の開口周縁部２８への当接と、対向部当接リップ部４２２の周縁部対向部３３１への当接とにより、シール部材４のリップ部４２は、開口周縁部２８と周縁部対向部３３１との間に介在して開口周縁部２８及び周縁部対向部３３１に密着して、蓋体３と共に容器本体開口部２１を気密状態で閉塞する。
　次に、周縁部対向部３３１の形状について詳述する。図６Ｂに示すように、周縁部対向部３３１は、対向部当接リップ部４２２の配置目標ＰＴを示す、直平面でない断面形状を有する。周縁部対向部３３１における直平面でない断面形状は、蓋体３の周縁部分に沿って一周するように設けられている。例えば、本実施形態においては、シール部材４の基部４１が蓋体３のシール部材取付部３１１の保持溝３２１に完全に挿入されると（シール部材４の基部４１の先端面４１１が保持溝３２１の溝底面３２２に十分に当接していると）、その状態のシール部材４は、配置目標ＰＴに配置されている（図６Ａ、図６Ｂ参照）。この状態では、シール部材４による閉塞時の気密性が確保される。
　一方、図６Ｃに示すように、蓋体３のシール部材取付部３１１の保持溝３２１へのシール部材４の基部４１の挿入が不十分であると、（典型的には、シール部材４の基部４１の先端面４１１が保持溝３２１の溝底面３２２に当接していないと）、その状態のシール部材４は、配置目標ＰＴに配置されていない（ズレている）。この状態では、シール部材４による閉塞時の気密性が確保されないことがある（気密性の確保が保証されない）。
　このように、シール部材４を配置目標ＰＴに配置させることは、シール部材４による閉塞時の気密性の確保のために、極めて重要である。しかし、蓋体３の製造過程において、シール部材４をシール部材取付部３１１の配置目標ＰＴに配置させたことを確認することは容易ではない。また、基板収納容器１においては、汚染防止のために、シール部材取付部３１１に、例えば、付着物により配置目標ＰＴを示すマーキングを付与することはできない。
　これに対して、本実施形態においては、周縁部対向部３３１は、対向部当接リップ部４２２の配置目標ＰＴを示す、直平面でない断面形状を有する。別の見方をすると、周縁部対向部３３１は、対向部当接リップ部４２２の配置目標を示す直平面でない面を、後方向Ｄ１２の側に有する。直平面でない断面形状（面）は、マーキング等を付与しなくても、形状に基づいて、配置目標ＰＴを示すことができる。
　図６Ｂに示すように、周縁部対向部３３１における直平面でない断面形状は、基準となる直平面（基準平面）Ｐに対して、対向部当接リップ部４２２の側（後方向Ｄ１２の側）に突出した突出形状である。基準となる直平面Ｐは、典型的には、周縁部対向部３３１を直平面で形成しようとした場合に想定される直平面である。
　第１実施形態においては、周縁部対向部３３１における突出形状は、滑らかに突出した形状である。突出した部分の頂部が配置目標ＰＴを示す。突出した部分は、蓋体３の周縁部分（上下方向Ｄ２、左右方向Ｄ３）に沿って全周に亘って延びる突条であってもよく、部分的に延びる突条であってもよく、実質的に延びていない凸部であってもよい。
　上記構成の第１実施形態に係る基板収納容器１によれば、以下のような効果を得ることができる。第１実施形態の基板収納容器１は、複数の基板Ｗを収納可能な基板収納空間２７が内部に形成され、一端部に基板収納空間２７に連通する容器本体開口部２１が形成された開口周縁部２８を有する容器本体２と、容器本体開口部２１に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能な蓋体３であって、シール部材取付部３１１と開口周縁部２８に対向する周縁部対向部３３１とを有する蓋体３と、を備える。蓋体３は、蓋体３のシール部材取付部３１１に取り付けられ、開口周縁部２８と周縁部対向部３３１との間に介在して開口周縁部２８及び周縁部対向部３３１に密着して当接することにより、容器本体開口部２１を気密状態で閉塞するシール部材４を更に有する。シール部材４は、シール部材取付部３１１に保持される基部４１と、基部４１から延びて開口周縁部２８に当接する周縁部当接リップ部４２１と、基部４１から延びて周縁部対向部３３１に当接する対向部当接リップ部４２２と、を有する。周縁部対向部３３１は、対向部当接リップ部４２２の配置目標ＰＴを示す直平面でない断面形状を有する。
　そのため、第１実施形態によれば、周縁部対向部３３１の形状を参考にして、対向部当接リップ部４２２を配置目標ＰＴに容易に配置することができる。配置目標ＰＴを示す手段に起因する汚染は基本的には生じない。
〔第２実施形態〕
　次に、本発明の第２実施形態について、図面を参照しながら説明する。図７Ａは、本発明の第２実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３を示す断面図（図６Ａ対応図）である。図７Ｂは、図７Ａの部分拡大図である。
　図７Ａに示すように、第２実施形態では、第１実施形態と比べて、周縁部対向部３３１における突出形状が異なる。第２実施形態におけるその他の構成については、第１実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。
　第２実施形態においては、図７Ａ及び図７Ｂに示すように、周縁部対向部３３１における突出形状は、複数の直平面Ｐ１、Ｐ２が連結した形状である。複数の直平面Ｐ１、Ｐ２によって形成される稜線が配置目標ＰＴを示す。第２実施形態によれば、第１実施形態と同様の効果が奏される。
〔第３実施形態〕
　次に、本発明の第３実施形態について、図面を参照しながら説明する。図８は、本発明の第３実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３を示す断面図（図６Ａ対応図）である。
　図８に示すように、第３実施形態では、第１及び第２実施形態と比べて、周縁部対向部３３１における突出形状が異なる。第３実施形態におけるその他の構成については、第１実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。
　第３実施形態においては、図８に示すように、周縁部対向部３３１における突出形状は、対向部当接リップ部４２２の移動を規制可能に局部的に突出した突起３３２を有する形状である。
　第３実施形態によれば、第１実施形態と同様の効果が奏される。また、第３実施形態によれば、周縁部対向部３３１における突出形状は、対向部当接リップ部４２２の移動を規制可能に局部的に突出した突起３３２を有する形状であるため、対向部当接リップ部４２２は、突起３３２に突き当たる形で、配置目標ＰＴに配置されることになる。仮に、対向部当接リップ部４２２が配置目標ＰＴから外側にずれていると、対向部当接リップ部４２２は突起３３２に突き当たらないため、配置目標ＰＴに配置されているか否かについて容易に判別できる。対向部当接リップ部４２２が配置目標ＰＴに一旦配置されると、対向部当接リップ部４２２は突起３３２に突き当たり、突起３３２に引っ掛かりやすくなる。そのため、対向部当接リップ部４２２が配置目標ＰＴに配置されている状態が維持されやすい。
〔第４実施形態〕
　次に、本発明の第４実施形態について、図面を参照しながら説明する。図９は、本発明の第４実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３を示す断面図（図６Ａ対応図）である。
　図９に示すように、第４実施形態では、第１～第３実施形態と比べて、周縁部対向部３３１における直平面でない断面形状が異なる。第４実施形態におけるその他の構成については、第１実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。
　第４実施形態においては、図９に示すように、周縁部対向部３３１における直平面でない断面形状は、基準となる直平面Ｐに対して、対向部当接リップ部４２２から離れる側（前方向Ｄ１１の側）に凹んだ規制凹部３３３であって、対向部当接リップ部４２２が係合可能な規制凹部３３３を有する。規制凹部３３３の形状や大きさは、対向部当接リップ部４２２が規制凹部３３３に係合可能であれば、特に制限されない。
　第４実施形態によれば、第１実施形態と同様の効果が奏される。また、第４実施形態によれば、周縁部対向部３３１における直平面でない断面形状は、基準となる直平面Ｐに対して、対向部当接リップ部４２２から離れる側に凹んだ規制凹部３３３であって、対向部当接リップ部４２２が係合可能な規制凹部３３３を有する。そのため、対向部当接リップ部４２２は、規制凹部３３３に係合する形で、配置目標ＰＴに配置されることになる。仮に、対向部当接リップ部４２２が配置目標ＰＴから外側にずれていると、対向部当接リップ部４２２は規制凹部３３３に係合しないため、配置目標ＰＴに配置されているか否かについて容易に判別できる。対向部当接リップ部４２２が配置目標ＰＴに一旦配置されると、対向部当接リップ部４２２は規制凹部３３３に係合するため、対向部当接リップ部４２２が配置目標ＰＴに配置されている状態が維持されやすい。
　本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。
　例えば、実施形態においては、シール部材４の基部４１は、保持溝３２１に挿入される形で、シール部材取付部３１１に保持されているが、シール部材取付部３１１に保持される形態は、これに制限されない。例えば、シール部材４の基部４１は、挟持されたり、係合されたりする形で、シール部材取付部３１１に保持されてもよい。
　実施形態においては、周縁部対向部３３１における直平面でない断面形状は、蓋体３の周縁部分に沿って一周するように設けられているが、これに制限されず、周方向に部分的に設けられていてもよく、周方向に複数に分かれて設けられていてもよい。
　また、容器本体２及び蓋体３の形状や、容器本体２に収納可能な基板Ｗの枚数、寸法は、本実施形態における容器本体２及び蓋体３の形状や、容器本体２に収納可能な基板Ｗの枚数、寸法に限定されない。
　基板Ｗは、基板保持アダプタ８を用いて、基板収納空間２７に収納されることができる。図１０Ａは、基板保持アダプタ８を示す平面図である。図１０Ｂは、基板保持アダプタ８により基板Ｗが保持された状態を示す平面図である。図１０Ｃは、図１０Ｂの模式的な中央縦断面図である。基板保持アダプタ８は、奥側基板支持部（図示せず）、基板支持板状部５及びフロントリテーナ７の一部を構成する部材である。基板保持アダプタ８は、図１～図３に示される実施形態における奥側基板支持部（図示せず）、基板支持板状部５及びフロントリテーナ７を平面視中央（基板Ｗの中心）の側へ延長した部分であると考えることもできる。
　図１０Ａに示すように、基板保持アダプタ８は、円環板状部８１と粘着シート８２とを備える。円環板状部８１は、平面視で略Ｏ字状（外周縁８１１及び内周縁８１２が略円状）の板状部材からなる。円環板状部８１は、例えば、金属（例えば、ＳＵＳ）製である。粘着シート８２は、粘着性を有する薄膜状のシート部材からなり、円環板状部８１の内周縁８１２の内側の領域を塞ぐように、円環板状部８１の上面に取り付けられている。図１０Ｂ及び図１０Ｃに示すように、粘着シート８２は、その粘着力により、基板Ｗを保持可能である。基板Ｗは、粘着シート８２における、円環板状部８１の内周縁８１２よりも内側の領域に、貼り付けられて保持される。
　図１～図３に示される実施形態に基板保持アダプタ８に適用する場合、フロントリテーナ７のフロントリテーナ基板受け部７３が円環板状部８１の縁部の前部を支持することより、フロントリテーナ７の一部としての基板保持アダプタ８は基板Ｗの縁部の前部を支持する。同様に、基板支持板状部５の一部として基板保持アダプタ８は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、基板Ｗの縁部の側部を支持する。同様に、奥側基板支持部（図示せず）の一部としての基板保持アダプタ８は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、基板Ｗの縁部の後部を支持する。
　基板Ｗが収納された基板収納容器１に振動や衝撃などが加わったときにおいて、その振動や衝撃などは、粘着シート８２によって低減される。そのため、粘着シート８２に保持されている基板Ｗには、振動や衝撃などが伝わりにくい。従って、スライス後に追加加工されて強度が低下した基板Ｗであっても、基板収納容器１に収納されているときに、基板２が振動や衝撃に起因して破損することが起こりにくい。
　基板保持アダプタ８を備えた基板収納容器１は、基板Ｗを収納せずに、基板保持アダプタ８を基板収納空間２７に配置した状態において、搬送されたり、保管されたりして、使用されることができる。
　基板保持アダプタ８は、平面視において円環状の形態に制限されず、（閉じていない）円弧状の形態であってもよい。
１　　基板収納容器
２　　容器本体
３　　蓋体
４　シール部材
２０　壁部
２１　容器本体開口部
２７　基板収納空間
２８　開口周縁部
４１　基部
４２　リップ部
３１１　シール部材取付部
３２１　保持溝
３３１　周縁部対向部
３３２　突起
３３３　規制凹部
４２１　周縁部当接リップ部
４２２　対向部当接リップ部
Ｐ　基準となる直平面
Ｐ１，Ｐ２　複数の直平面
ＰＴ　配置目標
Ｗ　　基板

Claims (10)

  1. 　複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に前記基板収納空間に連通する容器本体開口部が形成された開口周縁部を有する容器本体と、
    　前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体であって、シール部材取付部と前記開口周縁部に対向する周縁部対向部とを有する蓋体と、を備える基板収納容器であって、
    　前記蓋体は、前記蓋体の前記シール部材取付部に取り付けられ、前記開口周縁部と前記周縁部対向部との間に介在して前記開口周縁部及び前記周縁部対向部に密着して当接することにより、前記容器本体開口部を気密状態で閉塞するシール部材を更に有し、
    　前記シール部材は、前記シール部材取付部に保持される基部と、前記基部から延びて前記開口周縁部に当接する周縁部当接リップ部と、前記基部から延びて前記周縁部対向部に当接する対向部当接リップ部と、を有し、
    　前記周縁部対向部は、前記対向部当接リップ部の配置目標を示す直平面でない断面形状を有する、基板収納容器。
  2. 　前記周縁部対向部における直平面でない前記断面形状は、基準となる直平面に対して、前記対向部当接リップ部の側に突出した突出形状である、請求項１に記載の基板収納容器。
  3. 　前記周縁部対向部における前記突出形状は、滑らかに突出した形状、複数の直平面が連結した形状、又は、前記対向部当接リップ部の移動を規制可能に局部的に突出した突起を有する形状である、請求項２に記載の基板収納容器。
  4. 　前記周縁部対向部における直平面でない前記断面形状は、基準となる直平面に対して、前記対向部当接リップ部から離れる側に凹んだ規制凹部であって、前記対向部当接リップ部が係合可能な規制凹部を有する、請求項１に記載の基板収納容器。
  5. 　前記周縁部対向部における直平面でない前記断面形状は、前記蓋体の周縁部分に沿って一周するように設けられている、請求項１～請求項４のいずれかに記載の基板収納容器。
  6. 　複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に前記基板収納空間に連通する容器本体開口部が形成された開口周縁部を有する容器本体と、
    　前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、シール部材取付部と前記開口周縁部に対向する周縁部対向部とを有し、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、を備える基板収納容器における蓋体であって、
    　前記蓋体は、前記蓋体の前記シール部材取付部に取り付けられ、前記開口周縁部と前記周縁部対向部との間に介在して前記開口周縁部及び前記周縁部対向部に密着して当接することにより、前記蓋体と共に前記容器本体開口部を気密状態で閉塞するシール部材を更に有し、
    　前記シール部材は、前記シール部材取付部に保持される基部と、前記基部から延びて前記開口周縁部に当接する周縁部当接リップ部と、前記基部から延びて前記周縁部対向部に当接する対向部当接リップ部と、を有し、
    　前記周縁部対向部は、前記対向部当接リップ部の配置目標を示す直平面でない断面形状を有する、基板収納容器の蓋体。
  7. 　前記周縁部対向部における直平面でない前記断面形状は、基準となる直平面に対して、前記対向部当接リップ部の側に突出した突出形状である、請求項６に記載の蓋体。
  8. 　前記周縁部対向部における前記突出形状は、滑らかに突出した形状、複数の直平面が連結した形状、又は、前記対向部当接リップ部の移動を規制可能に局部的に突出した突起を有する形状である、請求項７に記載の蓋体。
  9. 　前記周縁部対向部における直平面でない前記断面形状は、基準となる直平面に対して、前記対向部当接リップ部から離れる側に凹んだ規制凹部であって、前記対向部当接リップ部が係合可能な規制凹部を有する、請求項６に記載の蓋体。
  10. 　前記周縁部対向部における直平面でない前記断面形状は、前記蓋体の周縁部分に沿って一周するように設けられている、請求項６～請求項９のいずれかに記載の蓋体。
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