JP2009004161A - 試料表面上の異物除去方法及びこれに用いる荷電粒子装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】荷電粒子線が照射される試料150表面上の異物160を除去する異物除去方法であって、
試料表面の帯電情報を取得する工程と、
取得した前記帯電情報に基づいて、前記試料表面上の異物を検出する工程と、
試料を水平方向に移動させる工程と、
前記試料表面に対向し、近接して配置された吸着用電極50、50a、50bが、前記異物の帯電極性と異なる極性に帯電され、接近する前記異物を静電吸着する工程と、を有することを特徴とする。
【選択図】図6
Description
試料表面の帯電情報を取得する工程と、
取得した前記帯電情報に基づいて、前記試料表面上の異物を検出する工程と、
試料を水平方向に移動させる工程と、
前記試料表面に対向し、近接して配置された吸着用電極が、前記異物の帯電極性と異なる極性に帯電され、接近する前記異物を静電吸着する工程と、を有することを特徴とする。
前記吸着用電極は、前記試料に対向し、近接して配置された対物レンズの一部に組み込まれて配置され、前記異物を静電吸着しないときは前記対物レンズと同電位に帯電されていることを特徴とする。
前記吸着用電極に対向して設けられた回収用電極を、前記異物の帯電極性と異なる極性に帯電させるとともに、前記吸着用電極の帯電を切ることにより、前記異物を前記回収用電極に吸着する異物回収吸着工程を更に有することを特徴とする。
前記回収用電極は、前記荷電粒子線の照射により、前記異物の帯電極性と異なる極性に帯電する材料からなり、
前記回収用電極の帯電は、前記回収用電極に予め前記荷電粒子線を照射することにより行われることを特徴とする。
前記異物の帯電極性は、正帯電であることを特徴とする。これにより、異物が正帯電の場合も、異物回収を行うことができる。
前記異物の帯電極性は、負帯電であることを特徴とする。これにより、異物が負帯電の場合も、異物回収を行うことができる。
試料を水平移動可能に載置するステージと、
前記試料表面の帯電情報を取得する帯電情報取得手段と、
前記帯電情報に基づいて、前記試料表面上の異物を検出する異物検出手段と、
前記ステージと対向して設けられた吸着用電極とを有し、
該吸着用電極は、前記ステージの移動により前記試料表面上の前記異物が接近してきたときに、前記異物の帯電極性と異なる極性に帯電され、前記異物を静電吸着することを特徴とする。
前記試料表面に近接して設けられ、複数の電極を有する対物レンズを有し、
前記吸着用電極は、前記複数の電極の最も前記試料表面に近い電極の一部として形成され、該電極とは独立して電圧の印加が可能であることを特徴とする。
前記吸着用電極は、円環状に配置されていることを特徴とする。
前記吸着用電極は、放射状に配置されていることを特徴とする。
前記ステージは、前記異物と異なる極性に帯電可能な回収用電極を備えたことを特徴とする。
20 一次電子光学系
21 アパーチャ
22、81 レンズ
30 E×Bフィルタ
40 対物レンズ
41、42 電極
50、50a、50b 吸着用電極
51 正帯電異物吸着用電極
52 負帯電異物吸着用電極
55 吸着用電極制御ユニット
56、57、66、67 電源
60、60a、60b 回収用電極
61 正帯電異物回収用電極
62 負帯電異物回収用電極
65 回収用電極制御ユニット
70 ステージ
71 ステージ制御用ユニット
75 防振台
80 二次電子光学系
90 帯電情報取得手段
91 検出器
92 記憶手段
95 異物検出手段
100 真空筐体
110 ゲート弁
120 予備環境室
130 ドライポンプ
131 ターボ分子ポンプ
140 フープ
150 試料
160 異物
200、200a、200b、200c 荷電粒子線装置
Claims (11)
- 荷電粒子線が照射される試料表面上の異物を除去する異物除去方法であって、
試料表面の帯電情報を取得する工程と、
取得した前記帯電情報に基づいて、前記試料表面上の異物を検出する工程と、
試料を水平方向に移動させる工程と、
前記試料表面に対向し、近接して配置された吸着用電極が、前記異物の帯電極性と異なる極性に帯電され、接近する前記異物を静電吸着する工程と、を有することを特徴とする異物除去方法。 - 前記吸着用電極は、前記試料に対向し、近接して配置された対物レンズの一部に組み込まれて配置され、前記異物を静電吸着しないときは前記対物レンズと同電位に帯電されていることを特徴とする請求項1に記載の異物除去方法。
- 前記吸着用電極に対向して設けられた回収用電極を、前記異物の帯電極性と異なる極性に帯電させるとともに、前記吸着用電極の帯電を切ることにより、前記異物を前記回収用電極に吸着する異物回収吸着工程を更に有することを特徴とする請求項1又は2に記載の異物除去方法。
- 前記回収用電極は、前記荷電粒子線の照射により、前記異物の帯電極性と異なる極性に帯電する材料からなり、
前記回収用電極の帯電は、前記回収用電極に予め前記荷電粒子線を照射することにより行われることを特徴とする請求項3に記載の異物除去方法。 - 前記異物の帯電極性は、正帯電であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の異物除去方法。
- 前記異物の帯電極性は、負帯電であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の異物除去方法。
- 荷電粒子線が照射される試料表面上の異物を除去する荷電粒子線装置であって、
試料を水平移動可能に載置するステージと、
前記試料表面の帯電情報を取得する帯電情報取得手段と、
前記帯電情報に基づいて、前記試料表面上の異物を検出する異物検出手段と、
前記ステージと対向して設けられた吸着用電極とを有し、
該吸着用電極は、前記ステージの移動により前記試料表面上の前記異物が接近してきたときに、前記異物の帯電極性と異なる極性に帯電され、前記異物を静電吸着することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 前記試料表面に近接して設けられ、複数の電極を有する対物レンズを有し、
前記吸着用電極は、前記複数の電極の最も前記試料表面に近い電極の一部に組み込まれて配置され、該電極とは独立して電圧の印加が可能であることを特徴とする請求項7に記載の荷電粒子線装置。 - 前記吸着用電極は、円環状に配置されていることを特徴とする請求項7又は8に記載の荷電粒子線装置。
- 前記吸着用電極は、放射状に配置されていることを特徴とする請求項7又は8に記載の荷電粒子線装置。
- 前記ステージは、前記異物と異なる極性に帯電可能な回収用電極を備えたことを特徴とする請求項7乃至10にいずれか一項に記載の荷電粒子線装置。
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