JP2006294495A - イオン注入装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 被処理体の表面に付着するパーティクルを少なくできるようにしたイオン注入装置を提供する。
【解決手段】 所定の不純物を含むイオンビームIBをウエーハWに照射して当該ウエーハWに該所定の不純物をイオン注入する装置であって、イオンビームIB中から所定の不純物以外の不純物を取り除く第1のアナライザーマグネット20と、このアナライザーマグネット20によって所定の不純物以外の不純物が取り除かれた後のイオンビームIBの形状を整える可変アパチャー40と、可変アパチャー40によってその形状が整えられた後のイオンビームIB中からパーティクルを取り除く第2のアナライザーマグネット90と、このアナライザーマグネット90によってパーティクルが取り除かれた後のイオンビームIBがウエーハWに当たるよう当該ウエーハWを支持するディスク51と、を有する。
【選択図】 図1
【解決手段】 所定の不純物を含むイオンビームIBをウエーハWに照射して当該ウエーハWに該所定の不純物をイオン注入する装置であって、イオンビームIB中から所定の不純物以外の不純物を取り除く第1のアナライザーマグネット20と、このアナライザーマグネット20によって所定の不純物以外の不純物が取り除かれた後のイオンビームIBの形状を整える可変アパチャー40と、可変アパチャー40によってその形状が整えられた後のイオンビームIB中からパーティクルを取り除く第2のアナライザーマグネット90と、このアナライザーマグネット90によってパーティクルが取り除かれた後のイオンビームIBがウエーハWに当たるよう当該ウエーハWを支持するディスク51と、を有する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、イオン注入装置に関し、特に、被処理体の表面に付着するパーティクルを減少できるようにしたイオン注入装置に関する。
従来から、アークチャンバ内で不純物をイオン化し、アナライザーマグネット(質量分析装置)により目的の不純物イオンを選択的に導出し、導出した不純物イオンをウエーハWなどの被処理体に所定量照射、所定深さ注入するイオン注入装置が知られている(例えば特許文献1参照。)。
図3(A)及び(B)は、従来例に係るイオン注入装置300をその上方向及び横方向から見た概略図である。図3(A)及び(B)に示すように、このイオン注入装置300は、バッチ処理の装置であり、アークチャンバ等で構成されるイオン発生源310と、アナライザーマグネット320(質量分析器)と、フラグファラデー330と、可変アパチャー340と、ディスク351を収納したディスクチャンバ350と、ウエーハWの出し入れを行うポート360等を含んだ構成となっている。
図3(A)及び(B)は、従来例に係るイオン注入装置300をその上方向及び横方向から見た概略図である。図3(A)及び(B)に示すように、このイオン注入装置300は、バッチ処理の装置であり、アークチャンバ等で構成されるイオン発生源310と、アナライザーマグネット320(質量分析器)と、フラグファラデー330と、可変アパチャー340と、ディスク351を収納したディスクチャンバ350と、ウエーハWの出し入れを行うポート360等を含んだ構成となっている。
このイオン注入装置300では、イオン発生源310から不純物イオンが引き出される。引き出された不純物イオンは、アナライザーマグネット320によってそのイオン種、荷電種(何価のイオン)毎に分離され、必要なイオンだけがイオンビームIBとしてフラグファラデー330、可変アパチャー340側に送られる。
フラグファラデー330はイオンビームIBの強さ(即ち、ビーム電流)を測定するためのカップ状の部材であり、その材質はカーボン等である。このフラグファラデー330は、ウエーハWに対するイオン注入を行う前にイオンビームIBの軌道(ビームライン)上に出てくるものであり、ウエーハWに対してイオン注入を行っている間は、ビームラインから外れた場所に収納されるようになっている。
フラグファラデー330はイオンビームIBの強さ(即ち、ビーム電流)を測定するためのカップ状の部材であり、その材質はカーボン等である。このフラグファラデー330は、ウエーハWに対するイオン注入を行う前にイオンビームIBの軌道(ビームライン)上に出てくるものであり、ウエーハWに対してイオン注入を行っている間は、ビームラインから外れた場所に収納されるようになっている。
また、可変アパチャー340は、イオンビームIBの形状を整えるための装置である。アナライザーマグネット320によってその種類が選択されたイオンビームIBは同一のイオン種、荷電種だけで構成されるので、イオン同士が反発し合って発散する傾向にあるが、発散したイオンビームIBはこの可変アパチャー340を通過することでその形が収束した形に整えられる。この可変アパチャー340はカーボン等で構成されている。
図3(B)に示したように、可変アパチャー340を通過したイオンビームIBはディスク351にセットされたウエーハWに注入される。
特開平2−30048号公報
注入前のビーム電流を計測するフラグファラデー330や、ビームの形状を整える可変アパチャー340はカーボン等で作られている。これらカーボン製の部材にイオンビームIBが当たるとカーボンは削られ粒子となって飛散する。ここで、飛散したカーボン粒子の一部がイオンビームIBに乗ってディスク351方向に運ばれ、その中のさらに一部がパーティクルとしてウエーハW(以下、「被処理体」ともいう。)Wの表面に付着してしまう、という問題があった。
本発明は、このような解決すべき問題に着目してなされたものであって、被処理体の表面に付着するパーティクルを少なくできるようにしたイオン注入装置の提供を目的とする。
〔発明1,2〕 上記目的を達成するために、発明1のイオン注入装置は、所定の不純物を含むイオンビームを被処理体に照射して当該被処理体に該所定の不純物をイオン注入する装置であって、前記イオンビーム中から前記所定の不純物以外の不純物を取り除く不純物選択手段と、前記不純物選択手段によって前記所定の不純物以外の不純物が取り除かれた後の前記イオンビームの形状を整えるビーム整形手段と、前記ビーム整形手段によってその形状が整えられた後の前記イオンビーム中からパーティクルを取り除くパーティクル除去手段と、前記パーティクル除去手段によって前記パーティクルが取り除かれた後の前記イオンビームが前記被処理体に当たるよう当該被処理体を支持する支持手段と、を有することを特徴とするものである。
ここで、「不純物選択手段」は例えばアナライザーマグネット(質量分析器)であり、「ビーム整形手段」は例えば可変アパチャーである。また、「支持手段」は例えばディスクである。
また、発明2のイオン注入装置は、発明1のイオン注入装置において、前記パーティクル除去手段はアナライザーマグネットであり、当該アナライザーマグネットによって前記イオンビームはその進行方向が変えられる、ことを特徴とするものである。
また、発明2のイオン注入装置は、発明1のイオン注入装置において、前記パーティクル除去手段はアナライザーマグネットであり、当該アナライザーマグネットによって前記イオンビームはその進行方向が変えられる、ことを特徴とするものである。
発明1及び発明2のイオン注入装置によれば、例えばイオンビームとビーム整形手段等との接触によりパーティクルが発生しても、このパーティクルはパーティクル除去手段で取り除かれる。従って、被処理体の表面に付着するパーティクルを少なくすることができる。
〔発明3〕 発明3のイオン注入装置は、発明2のイオン注入装置において、前記アナライザーマグネットは、前記イオンビームの前記進行方向を水平方向から上方向に変え、前記支持手段は、前記上方向に進む前記イオンビームが前記被処理体に当たるよう当該被処理体を下方向に向けた状態で支持する、ことを特徴とするものである。
このような構成であれば、イオンビームが上方向に進むのに対して、パーティクルは重力によって下方向に落下するので、イオンビーム中からパーティクルを効率良く取り除くことができる。
〔発明4〕 発明4のイオン注入装置は、発明1から発明3の何れか一のイオン注入装置において、前記パーティクル除去手段によって前記イオンビーム中から取り除かれた前記パーティクルを捕獲する捕獲手段、を有することを特徴とするものである。
このような構成であれば、アナライザーマグネットによってイオンビーム中から一旦取り除いたパーティクルの舞い上がりを防止することができる。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
(1)第1実施形態
図1(A)及び(B)は、本発明の第1実施形態に係るイオン注入装置100をその上方向及び横方向から見た概略図である。このイオン注入装置100は、アークチャンバ内で不純物をイオン化し、アナライザーマグネット(質量分析装置)により目的の不純物イオンを選択的に導出し、導出した不純物イオンをウエーハWに所定量照射、所定深さ注入するバッチ式のイオン注入装置100である。
(1)第1実施形態
図1(A)及び(B)は、本発明の第1実施形態に係るイオン注入装置100をその上方向及び横方向から見た概略図である。このイオン注入装置100は、アークチャンバ内で不純物をイオン化し、アナライザーマグネット(質量分析装置)により目的の不純物イオンを選択的に導出し、導出した不純物イオンをウエーハWに所定量照射、所定深さ注入するバッチ式のイオン注入装置100である。
図1(A)及び(B)に示すように、このイオン注入装置100は、イオン発生源10と、第1のアナライザーマグネット(質量分析器)20と、フラグファラデー30と、可変アパチャー40と、第2のアナライザーマグネット(質量分析器)90と、ウエーハ支持用のディスク51と、ディクスを収納したディスクチャンバ50と、ウエーハWの出し入れを行うポート60等を含んだ構成となっている。
図1(B)に示すイオン発生源10は、アークチャンバ等で構成される。ヒ素、リンなどのn型不純物、又はボロンなどのp型不純物を含むイオンソース(ソースガス)をアーク放電によりイオン化し、引き出し電極イオンビームIBを発生させる。このイオン発生源10で発生したイオンビームIBは、アナライザーマグネットに向けて引き出される。
図1(A)に示す、第1のアナライザーマグネット20はマグネットを有し、このマグネットから発生する磁界にイオンビームIBを通して、イオンビームIB中から所定の不純物以外の不純物を取り除く装置である。このアナライザーマグネットによって、不純物はそのイオン種、荷電種(何価のイオン)毎に分離され、分離された不純物の中から必要なイオン(即ち、ウエーハWに注入すべき所定の不純物)だけがイオンビームIBとして取り出され、フラグファラデー30側に送られる。
図1(A)に示す、第1のアナライザーマグネット20はマグネットを有し、このマグネットから発生する磁界にイオンビームIBを通して、イオンビームIB中から所定の不純物以外の不純物を取り除く装置である。このアナライザーマグネットによって、不純物はそのイオン種、荷電種(何価のイオン)毎に分離され、分離された不純物の中から必要なイオン(即ち、ウエーハWに注入すべき所定の不純物)だけがイオンビームIBとして取り出され、フラグファラデー30側に送られる。
図1(A)及び(B)に示すフラグファラデー30は、イオンビームIBの強さ(即ち、ビーム電流)を測定するためのカップ状の部材であり、その材質は例えばカーボンである。このフラグファラデー30は、ウエーハWに対するイオン注入を行う前(即ち、製品処理前)にイオンビームIBの軌道(即ち、ビームライン)上に出てくるものであり、製品処理を開始しているときは、ビームラインから外れた場所に収納されるようになっている。
また、図1(A)及び(B)に示す可変アパチャー40は、イオンビームIBの形状を収束した形に整えるための装置である。アナライザーマグネット20を通過したイオンビームIBは同一のイオン種、荷電種だけで構成されるので、イオン同士が反発し合って発散する傾向にあるが、この発散しつつあるイオンビームIBは可変アパチャー40を通過することでその形状が収束する形に整えられる。この可変アパチャー40は例えばカーボンで構成されている。なお、可変アパチャー40の可変とは、指定されたイオン種によってアパチャーが可変、という意味である。
図1(B)に示す第2のアナライザーマグネット90は、第1のアナライザーマグネット20と同様マグネットを有し、このマグネットから発生する磁界にイオンビームIBを通すことで、イオンビームIB中から所定の不純物以外の不純物を取り除く装置である。このイオン注入装置100では、このアナライザーマグネット90によって、イオンビームIBの進行方向が水平方向から上方向に変えられる。
ディスク51は、その一方の面の周縁部に複数枚のウエーハWを一枚ずつ並べて支持する支持用の治具である。このイオン注入装置100では、ディスク51はウエーハWをその回路形成面を下方向に向けた状態で支持する。
次に、このイオン注入装置100の動作例について説明する。
図1(A)及び(B)において、まず始めに、イオンソースが導入されたイオン発生源10からイオンビームIBが引き出される。次に、このイオンビームIBはアナライザーマグネット20に進み、アナライザーマグネット20によってそのイオン種、荷電種毎に分離される。そして、必要なイオンだけがイオンビームIBとしてフラグファラデー30、可変アパチャー40側に送られる。
次に、このイオン注入装置100の動作例について説明する。
図1(A)及び(B)において、まず始めに、イオンソースが導入されたイオン発生源10からイオンビームIBが引き出される。次に、このイオンビームIBはアナライザーマグネット20に進み、アナライザーマグネット20によってそのイオン種、荷電種毎に分離される。そして、必要なイオンだけがイオンビームIBとしてフラグファラデー30、可変アパチャー40側に送られる。
次に、イオンビームIBは、製品処理前の段階では、アナライザーマグネット20→フラグファラデー30→可変アパチャー40の順に進み、製品処理を行っている間は、アナライザーマグネット20→可変アパチャー40の順に進む。
ここで、フラグファラデー30や可変アパチャー40はカーボンで作られており、そこにイオンビームIBが当たるとカーボンは削られ、粒子となって飛散する傾向がある。飛散したカーボン粒子の一部は、イオンビームIBに乗ってアナライザーマグネット90まで運ばれる。このようなカーボン粒子の大きさは、例えば0.1〜1.0[μm]程度である。
ここで、フラグファラデー30や可変アパチャー40はカーボンで作られており、そこにイオンビームIBが当たるとカーボンは削られ、粒子となって飛散する傾向がある。飛散したカーボン粒子の一部は、イオンビームIBに乗ってアナライザーマグネット90まで運ばれる。このようなカーボン粒子の大きさは、例えば0.1〜1.0[μm]程度である。
可変アパチャー40を通りその形状が収束する方向に整えられたイオンビームIBは、アナライザーマグネット90に到達する。そして、このアナライザーマグネット90によって、その進行方向が水平方向から上方向に変えられる。
ここで、イオンビームIBは既に第1のアナライザーマグネット20を通過しているので、大多数の成分が必要なイオン(ウエーハWに注入すべき所定の不純物)だけで構成されている。従って、イオンビームIBは上方向に曲がって進む。
ここで、イオンビームIBは既に第1のアナライザーマグネット20を通過しているので、大多数の成分が必要なイオン(ウエーハWに注入すべき所定の不純物)だけで構成されている。従って、イオンビームIBは上方向に曲がって進む。
これに対して、カーボン粒子は上方向には進まず重力によって下方向に落下するので、イオンビームIB中からカーボン粒子を効率良く取り除くことができる。その後、上方向に進んだイオンビームIBは、ディスクチャンバ50内に入り、ディスク51によって下向きに支持されたウエーハWの回路形成面に照射される。
このように、本発明の第1実施形態に係るイオン注入装置100によれば、イオンビームIBとフラグファラデー30との接触や、イオンビームIBと可変アパチャー40との接触によってカーボン粒子(即ち、パーティクル)が発生しても、このカーボン粒子は第2のアナライザーマグネット90によってイオンビームIB中から取り除かれる。従って、ウエーハWの表面に付着するパーティクルを少なくすることができる。
このように、本発明の第1実施形態に係るイオン注入装置100によれば、イオンビームIBとフラグファラデー30との接触や、イオンビームIBと可変アパチャー40との接触によってカーボン粒子(即ち、パーティクル)が発生しても、このカーボン粒子は第2のアナライザーマグネット90によってイオンビームIB中から取り除かれる。従って、ウエーハWの表面に付着するパーティクルを少なくすることができる。
この第1実施形態では、ウエーハWが本発明の「被処理体」に対応し、アナライザーマグネット20が本発明の「不純物選択手段」に対応している。また、可変アパチャー40が本発明の「ビーム整形手段」に対応し、アナライザーマグネット90が本発明の「パーティクル除去手段」に対応している。さらに、ディスク51が本発明の「支持手段」に対応し、イオン注入装置100が本発明の「イオン注入装置」に対応している。
(2)第2実施形態
図2は、本発明の第2実施形態に係るイオン注入装置200の構成例を示す該略図であり、イオン注入装置200を横方向から見た図である。図2において、図1(B)に示したイオン注入装置100と同一の機能を有する部分には同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
図2は、本発明の第2実施形態に係るイオン注入装置200の構成例を示す該略図であり、イオン注入装置200を横方向から見た図である。図2において、図1(B)に示したイオン注入装置100と同一の機能を有する部分には同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
図2に示すように、このイオン注入装置200では、第2のアナライザーマグネット90の底面にカーボン粒子(パーティクル)を捕獲するためのトラップ95が設けられている。このトラップ95は、例えばイオンビームIBの軌道に影響を与えない程度の負電荷(−)を帯びたシートである。
負電荷(−)とした理由は、フラグファラデー30、可変アパチャー40等から発生したカーボン粒子はプラス(+)の電荷を帯びる傾向があるからである。負電荷(−)を帯びたシートをアナライザーマグネット90の底面に敷いておくことで、カーボン粒子を引き寄せて捕獲することが可能である。
負電荷(−)とした理由は、フラグファラデー30、可変アパチャー40等から発生したカーボン粒子はプラス(+)の電荷を帯びる傾向があるからである。負電荷(−)を帯びたシートをアナライザーマグネット90の底面に敷いておくことで、カーボン粒子を引き寄せて捕獲することが可能である。
或いは、このトラップ95は粘性を有するシートでも良い。上述したように、カーボン粒子は重力によって落下してくるので、一旦落下したカーボン粒子が再び上方向に舞い上がることがないようにシートに粘着させる。
このような構成であれば、アナライザーマグネット90によってイオンビームIB中から一旦取り除いたパーティクルをしっかりと捕まえておくことができ、アナライザーマグネット90底面からのパーティクルの舞い上がりを防止することができる。
このような構成であれば、アナライザーマグネット90によってイオンビームIB中から一旦取り除いたパーティクルをしっかりと捕まえておくことができ、アナライザーマグネット90底面からのパーティクルの舞い上がりを防止することができる。
この第2の実施形態では、トラップ95が本発明の「捕獲手段」に対応し、イオン注入装置200が本発明の「イオン注入装置」に対応している。その他の対応関係は、第1実施形態と同じである。
10 イオン発生源、20 第1のアナライザーマグネット(質量分析器)、30 フラグファラデー、40 可変アパチャー、50 ディスクチャンバ、51 ディスク、60 ポート、90 第2のアナライザーマグネット(質量分析器)、95 トラップ、100,200 イオン注入装置、IB イオンビーム、W ウエーハ
Claims (4)
- 所定の不純物を含むイオンビームを被処理体に照射して当該被処理体に該所定の不純物をイオン注入する装置であって、
前記イオンビーム中から前記所定の不純物以外の不純物を取り除く不純物選択手段と、
前記不純物選択手段によって前記所定の不純物以外の不純物が取り除かれた後の前記イオンビームの形状を整えるビーム整形手段と、
前記ビーム整形手段によってその形状が整えられた後の前記イオンビーム中からパーティクルを取り除くパーティクル除去手段と、
前記パーティクル除去手段によって前記パーティクルが取り除かれた後の前記イオンビームが前記被処理体に当たるよう当該被処理体を支持する支持手段と、を有することを特徴とするイオン注入装置。 - 前記パーティクル除去手段はアナライザーマグネットであり、当該アナライザーマグネットによって前記イオンビームはその進行方向が変えられる、ことを特徴とする請求項1に記載のイオン注入装置。
- 前記アナライザーマグネットは、前記イオンビームの前記進行方向を水平方向から上方向に変え、
前記支持手段は、前記上方向に進む前記イオンビームが前記被処理体に当たるよう当該被処理体を下方向に向けた状態で支持する、ことを特徴とする請求項2に記載のイオン注入装置。 - 前記パーティクル除去手段によって前記イオンビーム中から取り除かれた前記パーティクルを捕獲する捕獲手段、を有することを特徴とする請求項1から請求項3の何れか一項に記載のイオン注入装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005115574A JP2006294495A (ja) | 2005-04-13 | 2005-04-13 | イオン注入装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005115574A JP2006294495A (ja) | 2005-04-13 | 2005-04-13 | イオン注入装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2006294495A true JP2006294495A (ja) | 2006-10-26 |
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ID=37414821
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005115574A Pending JP2006294495A (ja) | 2005-04-13 | 2005-04-13 | イオン注入装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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2005
- 2005-04-13 JP JP2005115574A patent/JP2006294495A/ja active Pending
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