JP2007001716A - ワーク収納装置及びワーク収納方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ワークである基板Wを収納する基板収納装置1は、基板Wを搬入された順番に上から収納する第一基板カセット10と、第一基板カセット10に収納された基板Wを下から順番に搬出する搬出コンベア3と、搬出コンベア3で搬送される基板Wを上から順番に収納する第二基板カセット20とを有している。第一基板カセット10から第二基板カセット20に基板Wが移載される際に、基板Wの配置順番が逆転するので、第二基板カセット20から基板Wを搬出するときには、最初に搬入された基板Wから搬出される。
【選択図】 図1
Description
この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、複数のワークを効率良く処理し、先に収納されたワークの滞留時間を低減させることを主な目的とする。
このワーク収納装置では、複数のワークが搬入端の搬入側バッファに順番に搬入されると、搬入側バッファから搬出側バッファにワークを移載する。このときにワークの配置を逆転させるので、ワークは搬入時の順番で搬出される。
このワーク収納装置では、ワークを移載する際に、両バッファを逆方向に移動させることで、ワークの収納順番を逆転させ、ワークを搬入時の順番で搬出できるように並べ替える。
このワーク収納装置では、基板は両バッファに上下に順番に収納される。基板を移載する際には、両バッファを上下方向に、かつ逆方向に移動させながら基板を並べ替える。
このワーク収納装置では、搬入側バッファと、搬送部と、搬出側バッファで1組の収納部を形成し、この収納部を並列に複数設けたので、1つの収納部でワークを移載している間に、他の収納部にワークを搬入したり、ワークを搬出したりすることが可能になる。
このワーク収納方法では、搬入側バッファに搬入した順番にワークを収納した後に、搬入側バッファから搬出側バッファにワークを移載し、この際にワークを並べ替えることで、ワークを搬入した順番に搬出できるようになる。
このワーク収納方法では、搬出側バッファからワークを搬出する際には、搬入側バッファは空いているので、この空いている搬入側バッファに新たなワークを順場に搬入し、収納させ、ワークの処理効率を向上させる。
図1及び図2に第1の実施の形態におけるワーク収納装置としての基板収納装置の概略構成を示す。図1及び図2に示すように、基板収納装置1は、床面などに設置されるベース部2を有し、ベース部2上には搬送部である搬送コンベア3が設けられている。搬送コンベア3は、鉛直方向で上向きに延びる搬送台4が複数平行に配設されており、各搬送台4の上部には、ローラ5が回転自在に取り付けられている。搬送台4は、平面視で細長形状を有し、ローラ5の回転軸と、搬送台4の長手方向とは一致しており、ローラ5の軸線方向と直交する方向に等間隔に搬送台4が並んでいる。各ローラ5は、不図示の駆動装置に連結されており、それぞれが回転駆動できるようになっている。
また、第一、第二基板カセット10,20は、逆方向に昇降動作を行うだけで済むので、装置構成を簡略化することができる。したがって、基板カセット10,20の大型化が容易になり、大型基板への対応が容易になる。第一、第二基板カセット10,20には、ロボットのアームを挿入するためのスペースを設ける必要がないので、収納効率を高めることができる。
さらに、第二基板カセット20から基板Wを搬出する間に、第一基板カセット10に新しい基板Wを搬入するようにしたので、多数の基板Wを効率良く搬入及び搬出することができる。
本発明の第二の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。なお、第一の実施の形態と同じ構成要素には、同一の符号を付す。また、重複する説明は省略する。
図5に示すように、基板収納装置51は、第一収納部52と、第二収納部53とが並列に配置され、第一収納部52又は第二収納部53の一方に基板Wを搬入する搬入側ローラコンベア54と、第一収納部52又は第二収納部53の一方からの基板Wを搬出する搬出側ローラコンベア54と、制御装置25とを有している。
まず、ステップS201に示すように、第一収納部52に基板Wを搬入する。基板Wは、搬入側ローラコンベア54から第一収納部52の第一基板カセット10に、上から順番に搬入される。第一基板カセット10の全てのスロットに基板Wを収納したら、ステップS202に進む。
例えば、基板Wの搬送は、ローラに限定されずにエアー浮上を用いても良い。
また、基板Wを略水平に搬送し、上下に並んで収納する代わりに、基板Wを略垂直に立たせた状態で搬送及び収納しても良い。この場合に、第一、第二基板カセット10,20は、基板Wを立たせたままで平行に収納するように構成され、制御装置25は、第一、第二基板カセット10,20を1スロットピッチ分ずつ左右方向、かつ逆方向に移動させる。このような構成でも前記と同様に効果が得られる。この場合に、基板Wは、垂直から僅かに傾斜させた姿勢でローラ搬送しても良いし、基板Wの下端に当接するように下側にローラを配設したりしても良い。
第二の実施の形態において、収納部(第一収納部52、第二収納部53)の数を3つ以上にすると、さらに多数の基板Wを効率良く処理することができる。
3 搬送コンベア(搬送部)
10 第一基板カセット(搬入側バッファ)
20 第二基板カセット(搬出側バッファ)
25 制御装置
52 第一収納部
53 第二収納部
W 基板(ワーク)
Claims (6)
- 搬入端に搬入されたワークを収納し、搬出端から搬出するワーク収納装置であって、
搬入端に設けられて複数のワークを搬入された順に配列して収納する搬入側バッファと、前記搬入側バッファに収納した複数の前記ワークを一つずつ前記搬入側バッファから搬出する搬送部と、搬出端に設けられて前記搬送部によって前記搬入側バッファから搬出された前記ワークを受け入れ可能で、受け入れ順に前記ワークを配列して収納する搬出側バッファと、前記搬送部が前記ワークを搬出する度に前記ワークの配列が逆転するように前記搬入側バッファ及び前記搬出側バッファを移動させる制御装置と、を有することを特徴とするワーク収納装置。 - 前記制御装置は、前記搬送部が前記ワークを搬出する度に前記搬入側バッファ及び前記搬出側バッファを逆方向に移動させるように構成したことを特徴とする請求項1に記載のワーク収納装置。
- 前記ワークは、薄板の基板であり、前記搬入側バッファと前記搬出側バッファとは、前記基板を上下に収納可能で、かつ独立に昇降自在に設けられていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のワーク収納装置。
- 前記搬入側バッファと、前記搬送部と、前記搬出側バッファとを複数組み並列に配置したことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のワーク収納装置。
- 搬入端に搬入されたワークを収納し、搬出端から搬出するにあたり、複数のワークを搬入された順に搬入側バッファに収納する工程と、前記搬入側バッファに収納した複数の前記ワークを搬入時に順番と逆の順番で一つずつ前記搬入側バッファから搬出する工程と、前記搬入側バッファから搬出した前記ワークを搬出側バッファに受け入れ、受け入れ順に収納する工程と、前記搬出側バッファから前記ワークを受け入れ順とは逆の順番に搬出する工程と、を有することを特徴とするワーク収納方法。
- 前記搬出側バッファから前記ワークを搬出する際に、他の前記ワークを前記搬入側バッファに搬入することを特徴とする請求項5に記載のワーク収納方法。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005183446A JP4941627B2 (ja) | 2005-06-23 | 2005-06-23 | ワーク収納装置 |
US11/368,622 US20070007708A1 (en) | 2005-06-23 | 2006-03-07 | Paper taking out device |
CNA2006800181072A CN101180229A (zh) | 2005-06-23 | 2006-06-20 | 工件收纳装置及工件收纳方法 |
PCT/JP2006/312341 WO2006137407A1 (ja) | 2005-06-23 | 2006-06-20 | ワーク収納装置及びワーク収納方法 |
KR1020077027104A KR100934809B1 (ko) | 2005-06-23 | 2006-06-20 | 워크 수납 장치 및 워크 수납 방법 |
TW095122286A TW200738538A (en) | 2005-06-23 | 2006-06-21 | Apparatus for receiving workpiece and method of receiving thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005183446A JP4941627B2 (ja) | 2005-06-23 | 2005-06-23 | ワーク収納装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007001716A true JP2007001716A (ja) | 2007-01-11 |
JP4941627B2 JP4941627B2 (ja) | 2012-05-30 |
Family
ID=37570436
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005183446A Expired - Fee Related JP4941627B2 (ja) | 2005-06-23 | 2005-06-23 | ワーク収納装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4941627B2 (ja) |
KR (1) | KR100934809B1 (ja) |
CN (1) | CN101180229A (ja) |
TW (1) | TW200738538A (ja) |
WO (1) | WO2006137407A1 (ja) |
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KR101183043B1 (ko) | 2008-12-12 | 2012-09-20 | 가부시키가이샤 아이에이치아이 | 기판을 보관 및 공급하는 시스템 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2005
- 2005-06-23 JP JP2005183446A patent/JP4941627B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-06-20 KR KR1020077027104A patent/KR100934809B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2006-06-20 WO PCT/JP2006/312341 patent/WO2006137407A1/ja active Application Filing
- 2006-06-20 CN CNA2006800181072A patent/CN101180229A/zh active Pending
- 2006-06-21 TW TW095122286A patent/TW200738538A/zh unknown
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20080004620A (ko) | 2008-01-09 |
WO2006137407A1 (ja) | 2006-12-28 |
KR100934809B1 (ko) | 2009-12-31 |
JP4941627B2 (ja) | 2012-05-30 |
CN101180229A (zh) | 2008-05-14 |
TW200738538A (en) | 2007-10-16 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080611 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20101201 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110126 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110328 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20110328 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110712 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110909 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120201 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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