WO2012029751A1

WO2012029751A1 - 仮置き装置

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Publication number: WO2012029751A1
Application number: PCT/JP2011/069551
Authority: WO
Inventors: 章男松山
Original assignee: シャープ株式会社
Priority date: 2010-09-03
Filing date: 2011-08-30
Publication date: 2012-03-08

Abstract

　仮置き装置（１）は、基板収容カセット（３）などの搬送物を仮置き可能な載置面（２１）と、載置面（２１）を駆動する駆動部（１９）とを有し、載置面（２１）を駆動することで搬送物を移送可能とされた移送装置（５）と、搬送物を仮置き可能とされると共に、移送装置（５）に仮置きされた搬送物を搬出可能な搬送車両（２）などの搬送装置とを備え、搬送装置は、移送装置と隣り合う位置で移送装置と搬送物を受け渡し可能とされる。

Description

仮置き装置

　本発明は、仮置き装置であって、特に、搬送物が仮置きされる仮置き装置に関する。

　たとえば、特開２０００－２２８４３１号公報（特許文献１）に示すように基板製造ラインは、異物の侵入が抑制されたクリーンルームと、ガラス基板を収容し、クリーンルーム内を移動するカセットと、ガラス基板に所定の処理を施す複数の処理装置とを含む。

　ガラス基板はカセットに収容され、搬送車両がカセットをクリーンルーム内を搬送し、カセットが所定の処理装置に渡される。その後、カセットからガラス基板が取り出され、処理室に入れられ、ガラス基板に所定の処理が施される。所定の処理がガラス基板に施されると、処理室からガラス基板が取り出され、カセットに収容される。

　このように、カセット内のガラス基板に所定の処理が施されると、カセットは、別の処理装置に搬送される。このようにして、カセットに収容されたガラス基板に順次、処理が施される。

特開２０００－２２８４３１号公報

　上記のような基板製造ラインは、各工程の込み具合にあわせて、カセットを載置することができるスペースに仮置きする場合がある。

　このようなスペースは、仮置きされたカセット内に異物が入り込むことを抑制するために、クリーンルーム内に設ける必要がある。

　クリーンルーム内は高いクリーン度に維持されており、クリーン度を高く維持するために非常に高いランニングコストを要する。

　仮に、格子状に配列するカセットの仮置きスペースを設け、各仮置きスペースに搬送車両が行き来することができるように網目状に搬送車両用のレールを敷き詰めたとすると、レールが設置される設置面積が非常に大きくなる。

　このように、単に仮置きスペースをクリーンルーム内に設けたのでは、仮置きスペースに要する面積が大きくなり、基板製造ラインのランニングコストが非常に高くなってしまう。このような問題は、液晶表示装置の製造設備に限られず、クリーンルームを備えるプラズマ表示装置の製造設備、有機ＥＬディスプレイの製造設備、および半導体装置の製造設備などにおいても同様に生じる問題である。なお、装置の設置面積が広くなることに伴い設備のランニングコストが高騰する代表例として、クリーンルームを備えた製造設備を挙げて説明したが、装置の設置面積の低減を図る必要があるのはクリーンルームを備えた製造設備に限られず、他の種類の製造設備においても同様である。

　本発明は、上記のような課題に鑑みてなされた発明であって、その目的は、搬送物を仮置きすることができる仮置き装置であって、要する設置面積の低減が図られた仮置き装置を提供することである。

　本発明に係る仮置き装置は、搬送物が仮置される仮置き装置である。仮置き装置は、搬送物を仮置き可能な載置面と、載置面を駆動する駆動部とを有し、載置面を駆動することで搬送物を移送可能とされた移送装置と、搬送物を移送装置に仮置き可能とされると共に、移送装置に仮置きされた搬送物を搬出可能な搬送装置とを備える。上記搬送装置は、移送装置と隣り合う位置で移送装置と搬送物を受け渡し可能とされる。好ましくは、上記搬送物の移送経路が環状とされる。好ましくは、上記搬送物の移送経路は蛇行する蛇行経路を含む。

　好ましくは、上記蛇行経路は、第１移送部と、第１移送部に沿って延びる第２移送部と、第１移送部の一端および第２移送部の一端とを接続する第１接続部とを含む。上記第１接続部は、搬送装置の搬送経路と隣り合うように配置される。

　好ましくは、上記移送装置は、第３移送部と、第３移送部に沿って延びる第４移送部と、第３移送部の一端および第４移送部の一端を接続する第２接続部と、第３移送部の他端および第４移送部の他端を接続する第３接続部とを含み、第３移送部および第４移送部の間隔は、搬送装置の幅よりも狭い。好ましくは、上記移送装置は、仮置きされた搬送物を一時的に退避させるスペースを有する退避用移送部を含む。

　好ましくは、上記搬送物は、ガラス基板を収容可能なカセットとされ、高さ方向に複数のカセットを収容するカセット収容棚をさらに備える。上記カセットは、カセット収容棚に収められた状態で、移送装置に仮置きされる。

　好ましくは、上記移送装置と間隔をあけて配置された隣接移送装置をさらに備え、搬送装置は、移送装置と、隣接移送装置との間に位置し、移送装置および隣接移送装置の少なくとも搬送物の受け渡しを行う。好ましくは、上記移送装置の上方に配置された上部移送装置をさらに備える。

　本発明に係る仮置き装置によれば、設置面積の低減を図ることができる。

本実施の形態１に係る仮置き装置１を模式的に示す平面図である。移送装置５および搬送車両２を模式的に示す斜視図である。移送装置５を模式的に示す平面図である。載置台４の斜視図である。基板収容カセット３を移送部１３に仮置きする様子を示す模式図である。基板収容カセット３を載置台４の上面に載せた状態を示す平面図である。仮置き装置１の第１変形例を模式的に示す平面図である。移送装置５の変形例を示し、移送装置５の一部を示す平面図である。移送部１４を模式的に示す正面図である。搬送板３９の載置台４を示す斜視図である。本実施の形態２に係る仮置き装置１を模式的に示す平面図である。移送装置５を模式的に示す平面図である。図１２に示す移送装置５の詳細を示す平面図である。図１２に示された移送装置５の第１変形例を示す模式図である。図１２に示された移送装置５の第２変形例を示す模式図である。実施の形態３に係る仮置き装置１を示す模式図である。複数の基板収容カセット３が仮置きされた状態における移送装置５を模式的に示した模式図である。図１７に示す状態から移送装置５を駆動させた後の移送装置５を示す模式図である。図１などに示す移送装置５に代えて採用することができる積層型の移送装置を模式的に示す斜視図である。載置台の変形例を示す模式図である。本実施の形態４に係る仮置き装置１を模式的に示す平面図である。図２１に示す仮置き装置１の変形例を模式的に示す平面図である。

　図１から図２２を用いて、本発明に係る仮置き装置について説明する。
　（実施の形態１）
　本実施の形態１においては、本発明を液晶表示装置の製造設備に適用した例について説明する。実施の形態１においては、典型例として、液晶表示装置の製造設備に本発明を適用した例について説明するが、プラズマディスプレイ (PDP,　Plasma　Display　Panel)の製造設備、有機ELディスプレイの製造設備、および半導体装置の製造設備などのクリーンルームを備えた製造設備や、クリーンルームを備えていない製造設備においても、本発明を適用することができることは言うまでもない。

　液晶表示装置の製造設備は、クリーンルームと、このクリーンルーム内に配置された仮置き装置１と、ガラス基板に各種の処理を施す処理装置と、ガラス基板が収容されたカセットを搬送する搬送装置とを備える。ガラス基板は、基板収容カセットに収容された状態で搬送装置によって、各処理装置に搬送される。処理装置に搬送されたガラス基板は、カセットから取り出され、当該処理装置において、所定の処理が施される。その後、再度、カセットに収容され、次の処理装置に搬送される。

　このように、ガラス基板はカセットに収容された状態で複数の処理装置に搬送され、各処理装置において所定の処理が施される。

　液晶表示装置の製造過程中において、各処理工程の進み具合によっては、ガラス基板をカセットに収容した状態で仮置きする必要が生じる場合がある。その場合には、カセットを本実施の形態に係る仮置き装置１に仮置きする。

　図１は、本実施の形態１に係る仮置き装置１を模式的に示す平面図である。仮置き装置１は、基板収容カセット３を搬送する搬送車両２と、搬送車両２が走行および停車する走行通路２２と、移送装置５と、移送装置５の駆動を制御する制御部６とを備える。走行通路２２には搬送車両２が走行するためのレール７が敷設されている。なお、本実施の形態１においては、基板収容カセット３を搬送する搬送装置として搬送車両２を採用しているが、搬送装置としては、他に、コンベア、吊り天井式の搬送装置等、各種の搬送装置を採用することができる。

　図２は、移送装置５および搬送車両２を模式的に示す斜視図である。図２および上記図１において、搬送車両２は、基板収容カセット３が載せられる車両本体９と、車両本体９に設けられたフォーク８と、車両本体９に設けられ、レール７上を転動する複数の車輪１０とを備える。

　フォーク８は、所定の処理が施されたガラス基板が収容された基板収容カセット３を移送装置５に渡したり、移送装置５に仮置きされた基板収容カセット３を車両本体９上に載せたりする。

　移送装置５は、走行通路２２と隣り合うように設けられている。移送装置５は、基板収容カセット３を仮置きする載置面２１と、この載置面２１を駆動する駆動部１９とを含む。載置面２１には、複数の載置台４が間隔をあけて複数配置されている。本実施の形態１においては、載置台４が載置面２１上に配列することで、走行通路２２と隣り合う前列１１と、この前列１１に対して走行通路２２と反対側に位置する後列１２とが形成されている。前列１１は、走行通路２２と平行に延び、後列１２は、前列１１と平行に延びる。

　載置面２１が駆動すると、後列１２に位置する載置台４が前列１１に移動したり、前列１１に位置する載置台４が後列１２に移動したりする。

　仮置きされる基板収容カセット３は、この載置台４上に載せられる。図１に示す移送装置５の移送経路２０は環状に形成されており、駆動部１９が載置面２１を駆動することで、載置面２１上に仮置きされた基板収容カセット３は、移送経路２０上で搬送される。なお、環状とは、始点と終点とが連結していることを意味する。

　制御部６は、搬送車両２が処理装置を出発してから仮置き装置１に基板収容カセット３を仮置きするまでの間に、基板収容カセット３が載せられていない選択された載置台４が前列１１に位置するように、移送装置５を駆動する。

　搬送車両２は、走行通路２２内のうち選択された載置台４と隣り合う位置で停車する。そして、基板収容カセット３は、フォーク８を用いて、搬入した基板収容カセット３を選択された載置台４に仮置きする。

　制御部６は、搬送車両２が仮置きされた基板収容カセット３を取りに来るときには、予め、選択された基板収容カセット３が前列１１に配置されるように移送装置５を駆動する。そして、搬送車両２は、選択された基板収容カセット３と隣り合うように走行通路２２内で停車し、選択された基板収容カセット３を車両本体９に載せる。

　たとえば、搬送車両２は、仮置きする基板収容カセット３を移送装置５に載せ、搬出する基板収容カセット３を移送装置５から受け取り、所定の処理装置に向けて搬送する。

　この仮置き装置１によれば、後列１２に位置する基板収容カセット３や空いている載置台４を前列１１に移動させることができるため、搬送車両２は、後列１２側に移動せずとも、移送装置５との間で基板収容カセット３の受け渡しを行うことができる。

　このため、後列１２側に走行通路２２やレール７を設ける必要がなく、仮置き装置１の設置面積の低減を図ることができる。

　図３は、移送装置５を模式的に示す平面図である。この図３に示すように、移送装置５は、走行通路２２と隣り合う移送部１３と、移送部１３に対して走行通路２２と反対側に位置する移送部１４と、接続部１５および接続部１６とを備える。

　移送部１３は、走行通路２２と平行に延び、移送部１４は、移送部１３と平行に配置されている。移送部１３の基板収容カセット３の搬送方向と、移送部１４の基板収容カセット３の搬送方向とは反対方向となっている。

　接続部１５は、移送部１３および移送部１４の一端に配置されており、接続部１５は、移送部１３および移送部１４の一方から他方に基板収容カセット３を移し変えて、基板収容カセット３の移送方向を転換させる。

　接続部１６は、移送部１３および移送部１４の他端に配置されており、接続部１６も移送部１３および移送部１４の一方から他方に基板収容カセット３を移し変えて、基板収容カセット３の移送方向を転換させる。

　移送装置５は、移送部１４、接続部１５、移送部１３および接続部１６を順次通るように基板収容カセット３および載置台４を移送させることができると共に、反対に移送部１３、接続部１５、移送部１４および接続部１６を順次廻るように基板収容カセット３および載置台４を移送させることができる。

　移送部１３と移送部１４との間の間隔は、たとえば、搬送車両２の幅よりも狭く、移送装置５自体の設置面積が小さく抑えられている。

　移送部１３は、移送台１３ａと、移送台１３ａと間隔をあけて配置された移送台１３ｂとを備える。図２に示す載置台４は、移送台１３ａの上面から移送台１３ｂの上面に亘って配置され、移送台１３ａおよび移送台１３ｂは、載置台４の底面を支持する。

　移送部１４も、互いに間隔をあけて配置された移送台１４ａおよび移送台１４ｂを含む。接続部１５も、移送台１５ａおよび移送台１５ｂを含み、接続部１６も、移送台１６ａおよび移送台１６ｂを含む。

　そして、各移送台１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂの上面によって載置面２１が形成されている。

　移送台１３ａは、台本体１８と、台本体１８の上面に設けられた複数のローラ１７とを含む。ローラ１７は、図１に示す駆動部１９によって回転させられる。他の移送台も、移送台１３ａと同様に構成されている。そして、各移送台に設けられたローラが回転することで、載置台４および基板収容カセット３が移送される。なお、移送部１３は、必ずしも移送台１３ａおよび移送台１３ｂとを含むことは必須ではなく、移送部１４も、移送台１４ａおよび移送台１４ｂを含むことが必須ではない。接続部１５，１６も、移送台１５ａ、１５ｂ、１６ａ，１６ｂを含むことが必須ではない。

　図４は、載置台４の斜視図である。この図４に示すように、載置台４は、板状の土台３０と、この土台３０の上面に間隔をあけて設けられた複数の支持部３１とを含む。

　支持部３１は、載せられる基板収容カセット３の角部の近傍を支持するように４箇所に設けられている。支持部３１の上面は、平坦面とされている。

　図５は、基板収容カセット３を移送部１３に仮置きする様子を示す模式図である。この図５に示すように、搬送車両２はフォーク８上に基板収容カセット３を載せて、移送部１３の上方に基板収容カセット３を移動させる。移送部１３の上面には、載置台４が配置されている。そして、フォーク８を下方に下げて、基板収容カセット３を載置台４上に載せる。

　図６は、基板収容カセット３を載置台４の上面に載せた状態を示す平面図である。この図６に示すように、フォーク８は、付根部３２と、付根部３２から張り出す３つの指部３３とを含む。指部３３は互いに間隔をあけて設けられており、基板収容カセット３の底面を支持する。

　フォーク８が載置台４に基板収容カセット３を配置するときには、上方からフォーク８および載置台４を見たときに、各指部３３の間に支持部３１が位置するようにフォーク８が位置決めされる。

　この状態で、フォーク８が下方に下がり、基板収容カセット３が各支持部３１によって支持される。基板収容カセット３の底面が支持部３１によって支持された後、さらに、フォーク８が僅かに下がり、その後、フォーク８が引き抜かれる。このようにして、基板収容カセット３が移送装置５に仮置きされる。

　図７は、仮置き装置１の第１変形例を模式的に示す平面図である。この図７に示す例においては、搬送車両２が移送装置５と基板収容カセット３の受け渡しすることができる位置が一箇所とされている。この図７に示す仮置き装置１においても、移送装置５が選択された載置台４や基板収容カセット３を受け渡し位置まで移送することで、搬送車両２に選択された基板収容カセット３を受け渡すことができる。さらに、走行通路２２を短くすることで、仮置き装置１の設置面積の低減を図ることができる。

　図８は、移送装置５の変形例を示し、移送装置５の一部を示す平面図である。
　この図８に示す例においても、移送装置５は走行通路２２と平行に延びる移送部１３と、この移送部１３と隣り合い、移送部１３と平行に延びる移送部１４と、移送部１４および移送部１３の一端同士を接続する接続部１５と、移送部１３および移送部１４の他端同士を接続する接続部（図示せず）とを含む。接続部１５の近傍には、スプロケット４０が設けられており、スプロケット４０は、上記図１に示す駆動部１９によって回転させられる。接続部１５は、半円状に湾曲している。

　図８に示す例においては、各移送部１４、移送部１３および接続部１５の上面には、複数のローラ４２が間隔をあけて回転自在に設けられている。ローラ４２上には、環状に形成された搬送板３９が配置されている。

　搬送板３９は、載置台４と、接続板４５とが交互に設けられており、載置台４と接続板４５とは互いに相対的に回転可能に連結されている。なお、図８に示すように、載置台４と載置台４との間に接続板４５を配置することで、接続部１５上を基板収容カセット３が移動するときに、基板収容カセット３同士が接触することを抑制することができる。なお、基板収容カセット３や移送装置５などのサイズによっては、接続板４５に替えて、載置台４を配置したとしても、基板収容カセット３同士が接触しない場合がある。このため、接続板４５は必須の構成ではない。

　図９は、移送部１４を模式的に示す正面図である。図９に示すように、移送部１４は、移送台１４ａおよび移送台１４ｂを含む。

　移送台１４ａ，１４ｂの上面には、ローラ４２と、ガイド溝４３とが設けられている。搬送板３９の下面には、下方に向けて延びる軸部４８と、軸部４８の下端部に設けられたチェーン４１と、ガイド溝４３に入り込むガイドローラ４４とが設けられている。搬送板３９の載置台４の上面には、支持部３１が形成されている。

　チェーン４１は、図８に示すように、搬送板３９の下面に沿って伸びており、環状に形成されている。スプロケット４０とチェーン４１とは互いに噛み合い、スプロケット４０が回転することで、チェーン４１が移動する。

　チェーン４１と搬送板３９とは軸部４８によって連結されており、チェーン４１が移動することで、搬送板３９も移動する。この結果、搬送板３９の載置台４は、環状に形成された移送経路２０上を移動する。

　図１０は、搬送板３９の載置台４を示す斜視図である。この図１０に示すように、載置台４は、平板状の土台３０と、土台３０の上面に形成された支持部３１とを含む。土台３０の外周縁部には、円弧状に凹まされた凹み部４７と、円弧状に膨らむ張出部４６とが形成されている。凹み部４７と張出部４６とは移送経路２０方向に配列している。

　接続板４５の外周縁部にも、円弧状のへ凹み部と、円弧状の張出部とが形成されている。凹み部４７には、隣に位置する接続板４５の張出部が入り込み、載置台４の張出部４６は、隣り合う接続板４５の円弧状の凹み部に入り込んでいる。

　このように、隣り合う載置台４および接続板４５の接触部分が円弧状に形成されているため、図８に示すように、搬送板３９のうち、接続部１５上に位置する部分は円弧状に湾曲することができる。このように形成された移送装置５においても、載置台４に基板収容カセット３を仮置きすることができる。なお、本実施の形態１においては、移送装置５の載置面上に載置台４を配置し、この載置台４上に、基板収容カセット３を配置しているが、載置台４は必ずしも必須の構成ではなく、基板収容カセット３を載置台４の載置面に直接載せるようにしてもよい。

　（実施の形態２）
　図１１から図１５を用いて、本実施の形態２に係る仮置き装置１について説明する。なお、図１１および図１５に示す構成のうち、上記図１から図１０に示す構成と同一または相当する構成については、同一の符号を付してその説明を省略する場合がある。

　図１１は、本実施の形態２に係る仮置き装置１を模式的に示す平面図である。この図１１に示すように、仮置き装置１は、搬送車両２が走行および停車する走行通路２２と、走行通路２２と隣り合う位置に設けられた移送装置５とを備える。

　移送装置５の上面には、複数の載置台４が配列しており、この載置台４の上面上に基板収容カセット３が載せられている。

　移送装置５は、環状に形成された移送経路２０上で基板収容カセット３および載置台４を搬送する。なお、移送方向は、図の矢印に示す方向およびその反対方向のいずれの方向をも選択することができる。

　図１２は、移送装置５を模式的に示す平面図である。移送装置５は、移送経路が蛇行する蛇行移送部５１と、蛇行移送部５１の両端を接続する移送部６６（外側移送部）とを含む。

　蛇行移送部５１は、複数の単位蛇行部５２Ａ～５２Ｃを含む。単位蛇行部５２Ａは、移送部６０と、移送部６０に沿って延びる移送部６１と、移送部６０の一端および移送部６１の一端を接続する接続部６７とを含む。

　単位蛇行部５２Ｂは、移送部６２と、移送部６２に沿って延びる移送部６３と、移送部６２の一端および移送部６３の一端を接続する接続部６９とを含む。

　単位蛇行部５２Ｃは、移送部６４と、移送部６４に沿って延びる移送部６５と、移送部６４の一端および移送部６５の一端を接続する接続部７１とを含む。

　各単位蛇行部５２Ａ～５２Ｃのうち、接続部６７、接続部６９および接続部７１は、走行通路２２と隣り合うように配置されている。

　単位蛇行部５２Ａの移送部６１と単位蛇行部５２Ｂの移送部６２とは、接続部６８によって接続されている。単位蛇行部５２Ｂの移送部６３と、単位蛇行部５２Ｃの移送部６４とは、接続部７０によって接続されている。移送部６６は、移送部６５および移送部６０を接続している。複数の移送部６０～６５のうち、互いに隣り合う移送部６０～６５同士の間隔は、上記の搬送車両２および走行通路２２の幅よりも狭くなっている。

　このように構成された移送装置５においては、移送経路が蛇行しており、移送経路が長くなっており、多くの基板収容カセット３を仮置きすることができる。

　単位蛇行部５２Ａ～５２Ｃの移送部６０～６５の移送経路長は短いため、単位蛇行部５２Ａ～５２Ｃ上に仮置きされた基板収容カセット３を短時間で接続部６７～７１に移送することができる。

　なお、図１３は、図１２に示す移送装置５の詳細を示す平面図である。この図１２に示すように、接続部６７は、移送部６０の一端に設けられた受渡台６７ａと、移送部６１の一端に設けられた受渡台６７ｂを含む。接続部６８，６９，７０，７１も同様に、各々２つの受渡台（６８ａ，６８ｂ，６９ａ，６９ｂ，７０ａ，７０ｂ，７１ａ，７１ｂ）を含み、移送部同士が接続されている。

　図１４は、図１２に示された移送装置５の第１変形例を示す模式図である。この図１４に示す移送装置５においては、図１２に示す移送部６６に替えて、複数の単位蛇行部５２Ｄ～５２Ｆを採用している。これにより、移送装置５の移送経路が長くなり、多くの基板収容カセット３を仮置きすることができる。

　図１５は、図１２に示された移送装置５の第２変形例を示す模式図である。この図１５に示す移送装置５は、さらに、複数の単位蛇行部５２Ｇ～５２Ｎを備えている。この図１５に示す例においては、移送装置５と、走行通路２２との間には、壁部７５が配置されており、壁部７５には、受け渡し用開口部７６が形成されている。受け渡し用開口部７６には、単位蛇行部５２Ｉの先端部が位置している。搬送車両２は、単位蛇行部５２Ｉの先端部において、基板収容カセット３の受け渡しを行う。

　（実施の形態３）
　図１６を用いて、本実施の形態３に係る仮置き装置１について説明する。なお、図１６に示す構成のうち、上記図１から図１５に示す構成と同一または相当する構成については同一の符号を付してその説明を省略する。この図１６に示す仮置き装置１も、基板収容カセット３を仮置き可能な仮置き装置１と、基板収容カセット３を搬送する搬送車両２とを備える。

　仮置き装置１は、クリーンルーム内に配置されており、クリーンルーム内には、処理装置等の複数の装置８５，８６，８７が配置されている。各装置８５～８７は、間隔をあけて配置されており、移送装置５は、各装置８５～８７の間を通るように配置されている。これにより、装置８５～８７間のデッドスペースの有効活用が図られている。

　移送装置５は、移送部８０と、移送部８０に接続された移送部８１と、移送部８１に接続された退避用移送部８２とを含む。

　移送部８０は、装置８５と装置８６との間に配置されており、退避用移送部８２は装置８６と装置８７との間に配置されている。移送部８１は、走行通路２２に沿って延びている。搬送車両２は、移送部８１との間で基板収容カセット３の受け渡しをすることができる。退避用移送部８２上に仮置き可能な基板収容カセット３の数は、移送部８０上に仮置き可能な基板収容カセット３の数以上である。

　図１７および図１８を用いて、本実施の形態３の移送装置５の駆動について説明する。図１７は、複数の基板収容カセット３が仮置きされた状態における移送装置５を模式的に示した図である。

　図１７に示すように、移送部８０および移送部８１の上面上には複数の基板収容カセット３が仮置きされている。その一方で、退避用移送部８２には、基板収容カセット３が仮置きされていない。

　このように、基板収容カセット３が仮置きされた状態から図１７中の斜線でハッチングされた基板収容カセット３Ａを搬出するときには、移送部８１上に仮置きされた基板収容カセット３の少なくと一部を退避用移送部８２に移送し、移送部８０に仮置きされた基板収容カセット３を移送部８１に移送する。これにより、図１８に示すように、基板収容カセット３Ａが移送部８１上に位置し、搬送車両２によって搬出される。このように、移送部８０上に仮置きされた基板収容カセット３を搬出するときには、退避用移送部８２上の空きスペースに他の基板収容カセット３を退避させることで、選択された基板収容カセット３を移送部８１上に位置させることができる。

　このように、本実施の形態３に係る移送装置５においては、基板収容カセット３を一時的に退避させることができるスペースを退避用移送部８２に設けることで、選択された基板収容カセット３を搬出可能とされている。

　図１９は、図１などに示す移送装置５に代えて採用することができる積層型の移送装置を模式的に示す斜視図である。

　この図１９に示す積層型の移送装置は、移送装置５と、この移送装置５の上方に配置された上部移送装置９０と、移送装置５および上部移送装置９０の載置面を駆動する駆動部１９とを備える。

　上部移送装置９０は、移送装置５と同様に構成されている。上部移送装置９０の基板収容カセット３の移送経路も環状に形成されている。そして、上部移送装置９０の載置面９１上には、複数の載置台４が間隔をあけて配置されている。

　搬送車両２は、フォーク８を高さ方向に昇降させる昇降機構９２を備えている。載置面９１上の載置台４に基板収容カセット３を仮置きするときや、仮置きされた基板収容カセット３を搬出するするときには、昇降機構９２がフォーク８を高さ方向に持ち上げる。そして、上部移送装置９０との間で、基板収容カセット３の受渡しを行う。

　このように、移送装置を高さ方向に積層することで、仮置きすることができる基板収容カセット３の数を増やすことができる。

　図２０は、載置台の変形例を示す模式図である。この図２０に示すように、高さ方向に複数の基板収容カセット３を載せることができる収容棚９８に基板収容カセット３を仮置きするようにしてもよい。

　この図２０に示す例においては、収容棚９８は、走行通路２２側の面に開口部が形成されており、収容棚９８の底面上と、天板面上とに載置台４が設けられ、各載置台４に基板収容カセット３を仮置き可能とされている。

　このような収容棚９８を用いて、基板収容カセット３を仮置きすることで、移送装置５Ａ等に仮置きすることができる基板収容カセット３の数を増やすことができる。

　（実施の形態４）
　図２１および図２２を用いて、本実施の形態４に係る仮置き装置１について説明する。なお、図２１および図２２において、上記図１から図２０に示す構成と同一または相当する構成については、その説明を省略する。

　図２１は、本実施の形態４に係る仮置き装置１を模式的に示す平面図である。図２１に示す仮置き装置１は、間隔あけて配置された２つの移送装置５と、移送装置５の間に配置された走行通路２２と、この走行通路２２上で走行したり、停車したりする搬送車両２とを備える。すなわち、仮置き装置１は、１つの移送装置５と、この移送装置５に対して走行通路２２を挟んで隣接する他の移送装置（隣接移送装置）５とを含む。

　このように、走行通路２２の両側に移送装置５を配置することで、搬送車両２は各移送装置５との間で基板収容カセット３の受け渡しが可能となる。この結果、移送装置５ごとに走行通路２２を設けた場合と比較すると、仮置き装置１全体の設置面積の低減を図ることができる。

　なお、図２１に示す移送装置５は、上記実施の形態１に示す移送装置５を適用した例を示したが、図２２に示すように、実施の形態２に示す移送装置５を採用してもよい。また、走行通路２２を挟んで隣り合う移送装置５は、同一形状の移送装置５を採用する必要もなく、各々異なる形状の移送装置５を採用してもよい。さらには、走行通路２２に沿って、複数の移送装置５を配列させてもよい。

　今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものではない。本発明の技術的範囲は請求の範囲によって画定され、また請求の範囲の記載と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。

　本発明は、仮置き装置であって、特に、ガラス基板が収容されたガラス基板収容カセットが載置される載置台を複数備えた仮置き装置に適用することができる。

　１　仮置き装置、２　搬送車両、３，３Ａ　基板収容カセット、４　載置台、５　移送装置、６　制御部、７　レール、８　フォーク、９　車両本体、１０　車輪、１１　前列、１２　後列、１３，１４，６０，６１，６２，６３，６４，６５，６６，８０，８１　移送部、１３ａ，１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂ　移送台、１５，１６，６７，６８，６９，７０，７１　接続部、１７，４２　ローラ、１８　台本体、１９　駆動部、２０　移送経路、２１，９１　載置面、２２　走行通路、３０　土台、３１　支持部、３２　付根部、３３　指部、３９　搬送板、４０　スプロケット、４１　チェーン、４３　ガイド溝、４４　ガイドローラ、４５　接続板、４６　張出部、４７　凹み部、４８　軸部、５０　外側移送部、５１　蛇行移送部、５２Ａ～５２Ｉ　単位蛇行部、７５　壁部、７６　受け渡し用開口部、８２　退避用移送部、８５～８７　装置、９０　上部移送装置、９２　昇降機構、９８　収容棚。

Claims

　搬送物（３）が仮置される仮置き装置であって、
　前記搬送物（３）を仮置き可能な載置面（２１）と、前記載置面（２１）を駆動する駆動部（１９）とを有し、前記載置面（２１）を駆動することで前記搬送物（３）を移送可能とされた移送装置（５）と、
　前記搬送物（３）を搬送し、前記移送装置（５）に仮置きする搬送装置（２）と、
　を備え、
　前記搬送装置（２）は、前記移送装置（５）と隣り合う位置で前記移送装置（５）と前記搬送物（３）を受け渡し可能とされた、仮置き装置。
　前記移送装置（５）の前記搬送物（３）の移送経路が環状とされた、請求項１に記載の仮置き装置。
　前記移送装置（５）の前記搬送物（３）の移送経路は蛇行する蛇行経路を含む、請求項１または請求項２に記載の仮置き装置。
　前記蛇行経路は、第１移送部と、前記第１移送部に沿って延びる第２移送部と、前記第１移送部の一端および前記第２移送部の一端とを接続する第１接続部とを含み、
　前記第１接続部は、前記搬送装置（２）の搬送経路と隣り合うように配置された、請求項３に記載の仮置き装置。
　前記移送装置（５）は、第３移送部と、前記第３移送部に沿って延びる第４移送部と、前記第３移送部の一端および前記第４移送部の一端を接続する第２接続部と、前記第３移送部の他端および前記第４移送部の他端を接続する第３接続部とを含み、
　前記第３移送部および前記第４移送部の間隔は、前記搬送装置（２）の幅よりも狭い、請求項１に記載の仮置き装置。
　前記移送装置（５）は、仮置きされた前記搬送物（３）を一時的に退避させるスペースを有する退避用移送部（８２）を含む、請求項１に記載の仮置き装置。
　前記搬送物（３）は、ガラス基板を収容可能なカセット（３）とされ、
　高さ方向に複数の前記カセット（３）を収容するカセット収容棚（９８）をさらに備え、
　前記カセット（３）は、前記カセット収容棚（９８）に収められた状態で、前記移送装置（５）に仮置きされる、請求項１から請求項６のいずれかに記載の仮置き装置。
　前記移送装置（５）と間隔をあけて配置された隣接移送装置をさらに備え、
　前記搬送装置（２）は、前記移送装置（５）と、前記隣接移送装置との間に位置し、前記移送装置（５）および前記隣接移送装置の少なくとも一方と前記搬送物（３）の受け渡しを行う、請求項１から請求項７のいずれかに記載の仮置き装置。
　前記移送装置（５）の上方に配置された上部移送装置（９０）をさらに備えた、請求項１から請求項８のいずれかに記載の仮置き装置。