WO2012029751A1 - 仮置き装置 - Google Patents
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- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67775—Docking arrangements
Definitions
- the present invention relates to a temporary placement device, and more particularly to a temporary placement device on which a transported object is temporarily placed.
- a substrate production line includes a clean room in which entry of foreign matter is suppressed, a cassette that houses a glass substrate and moves in the clean room, and a glass substrate. And a plurality of processing devices that perform predetermined processing.
- the glass substrate is accommodated in a cassette, and a transport vehicle transports the cassette in a clean room, and the cassette is delivered to a predetermined processing apparatus. Thereafter, the glass substrate is taken out from the cassette, placed in a processing chamber, and a predetermined process is performed on the glass substrate. When the predetermined processing is performed on the glass substrate, the glass substrate is taken out from the processing chamber and accommodated in the cassette.
- the cassette is transported to another processing apparatus. In this manner, the glass substrates accommodated in the cassette are sequentially processed.
- the substrate production line as described above may be temporarily placed in a space where a cassette can be placed in accordance with the complexity of each process.
- Such a space needs to be provided in a clean room in order to prevent foreign matter from entering the temporarily placed cassette.
- the clean room is maintained at a high level of cleanliness, and a very high running cost is required to maintain a high level of cleanliness.
- the present invention has been made in view of the problems as described above, and its purpose is a temporary placement apparatus capable of temporarily placing a transported object, and temporary placement in which a required installation area is reduced. Is to provide a device.
- the temporary placement device is a temporary placement device on which a conveyed product is temporarily placed.
- the temporary placement device has a mounting surface on which a transported object can be temporarily placed, and a drive unit that drives the mounting surface, and a transfer device that can transfer the transported object by driving the mounting surface;
- a transport device that can temporarily place the transported object on the transfer device and that can carry out the transported object temporarily placed on the transfer device.
- the said conveying apparatus can deliver a conveying apparatus and a conveyed product in the position adjacent to a conveying apparatus.
- the transfer path of the conveyed product is annular.
- the transport path of the conveyed product includes a meandering path that meanders.
- the meandering path includes a first transfer unit, a second transfer unit extending along the first transfer unit, a first connection unit connecting one end of the first transfer unit and one end of the second transfer unit. including.
- the first connecting portion is disposed adjacent to the transport path of the transport device.
- the transfer device includes a third transfer unit, a fourth transfer unit extending along the third transfer unit, a second connection unit that connects one end of the third transfer unit and one end of the fourth transfer unit, And a third connection part that connects the other end of the third transfer part and the other end of the fourth transfer part, and the interval between the third transfer part and the fourth transfer part is narrower than the width of the transfer device.
- the transfer device includes an evacuation transfer unit having a space for temporarily evacuating the temporarily placed conveyance object.
- the transported object is a cassette that can store a glass substrate, and further includes a cassette storage shelf that stores a plurality of cassettes in a height direction.
- the cassette is temporarily placed on the transfer device in a state of being stored in a cassette storage shelf.
- the apparatus further includes an adjacent transfer device arranged at a distance from the transfer device, and the transfer device is located between the transfer device and the adjacent transfer device, and at least the transfer object of the transfer device and the adjacent transfer device is Deliver.
- the apparatus further includes an upper transfer device disposed above the transfer device.
- the temporary placement apparatus according to the present invention can reduce the installation area.
- FIG. 1 It is a top view which shows typically the temporary placement apparatus 1 which concerns on this Embodiment 1.
- FIG. It is a perspective view which shows the transfer apparatus 5 and the conveyance vehicle 2 typically. It is a top view which shows the transfer apparatus 5 typically.
- 4 is a perspective view of the mounting table 4.
- FIG. It is a schematic diagram which shows a mode that the board
- FIG. 4 is a plan view showing a state in which the substrate storage cassette 3 is placed on the upper surface of the mounting table 4.
- FIG. It is a top view which shows typically the 1st modification of the temporary placement apparatus. It is a top view which shows the modification of the transfer apparatus 5, and shows a part of transfer apparatus 5.
- FIG. 6 is a perspective view showing a mounting table 4 for a conveying plate 39. It is a top view which shows typically the temporary placement apparatus 1 which concerns on this Embodiment 2.
- FIG. It is a top view which shows the transfer apparatus 5 typically. It is a top view which shows the detail of the transfer apparatus 5 shown in FIG.
- It is a schematic diagram which shows the 2nd modification of the transfer apparatus 5 shown by FIG. 6 is a schematic diagram showing a temporary placement device 1 according to Embodiment 3.
- FIG. It is the schematic diagram which showed typically the transfer apparatus 5 in the state by which the some substrate accommodation cassette 3 was temporarily placed.
- FIG. 5 It is a schematic diagram which shows the transfer apparatus 5 after driving the transfer apparatus 5 from the state shown in FIG. It is a perspective view which shows typically the laminated
- FIGS. Embodiment 1
- a manufacturing facility for a liquid crystal display device In the first embodiment, an example in which the present invention is applied to a manufacturing facility for a liquid crystal display device will be described.
- a liquid crystal display device manufacturing facility In the first embodiment, an example in which the present invention is applied to a liquid crystal display device manufacturing facility will be described as a typical example.
- a plasma display (PDP) manufacturing facility, an organic EL display manufacturing facility It goes without saying that the present invention can also be applied to a manufacturing facility equipped with a clean room such as a semiconductor device manufacturing facility or a manufacturing facility not equipped with a clean room.
- the manufacturing equipment of the liquid crystal display device includes a clean room, a temporary placement device 1 disposed in the clean room, a processing device that performs various processes on the glass substrate, and a transport device that transports a cassette in which the glass substrate is accommodated.
- the glass substrate is transferred to each processing apparatus by the transfer apparatus in a state of being stored in the substrate storage cassette.
- the glass substrate conveyed to the processing apparatus is taken out from the cassette and subjected to predetermined processing in the processing apparatus. Then, it is again accommodated in a cassette and conveyed to the next processing apparatus.
- the glass substrate is conveyed to a plurality of processing apparatuses while being accommodated in the cassette, and is subjected to a predetermined process in each processing apparatus.
- the cassette is temporarily placed in the temporary placement device 1 according to the present embodiment.
- FIG. 1 is a plan view schematically showing the temporary placement device 1 according to the first embodiment.
- the temporary placement device 1 includes a transport vehicle 2 that transports the substrate storage cassette 3, a travel path 22 in which the transport vehicle 2 travels and stops, a transport device 5, and a control unit 6 that controls driving of the transport device 5. .
- a rail 7 for the transport vehicle 2 to travel is laid in the travel path 22.
- the transport vehicle 2 is adopted as a transport device for transporting the substrate storage cassette 3.
- the transport device there are various other devices such as a conveyor and a suspended ceiling transport device.
- a conveyance device can be employed.
- FIG. 2 is a perspective view schematically showing the transfer device 5 and the transport vehicle 2.
- the transport vehicle 2 rolls on the rail 7 provided on the vehicle body 9 on which the substrate housing cassette 3 is placed, the fork 8 provided on the vehicle body 9, and the vehicle body 9.
- the fork 8 transfers the substrate storage cassette 3 in which a glass substrate subjected to a predetermined process is stored to the transfer device 5 or places the substrate storage cassette 3 temporarily placed on the transfer device 5 on the vehicle body 9. .
- the transfer device 5 is provided adjacent to the traveling passage 22.
- the transfer device 5 includes a placement surface 21 on which the substrate storage cassette 3 is temporarily placed and a drive unit 19 that drives the placement surface 21.
- a plurality of mounting tables 4 are arranged on the mounting surface 21 at intervals.
- the mounting table 4 is arranged on the mounting surface 21, so that the front row 11 adjacent to the traveling passage 22 and the rear row 12 located on the opposite side of the traveling passage 22 with respect to the front row 11. And are formed.
- the front row 11 extends in parallel with the traveling passage 22, and the rear row 12 extends in parallel with the front row 11.
- the mounting table 4 positioned in the rear row 12 moves to the front row 11 or the mounting table 4 positioned in the front row 11 moves to the rear row 12.
- the temporarily placed substrate storage cassette 3 is placed on the mounting table 4.
- the transfer path 20 of the transfer device 5 shown in FIG. 1 is formed in an annular shape, and the drive unit 19 drives the mounting surface 21 so that the substrate storage cassette 3 temporarily placed on the mounting surface 21 is transferred. It is conveyed on the route 20.
- the term “annular” means that the start point and the end point are connected.
- the control unit 6 determines that the selected placement table 4 on which the substrate storage cassette 3 is not placed is between the time when the transport vehicle 2 leaves the processing device and the time when the substrate storage cassette 3 is temporarily placed on the temporary placement device 1.
- the transfer device 5 is driven so as to be positioned in the front row 11.
- the transport vehicle 2 stops at a position adjacent to the selected mounting table 4 in the traveling passage 22. Then, the substrate storage cassette 3 uses the fork 8 to temporarily place the loaded substrate storage cassette 3 on the selected mounting table 4.
- the controller 6 drives the transfer device 5 in advance so that the selected substrate storage cassette 3 is arranged in the front row 11. Then, the transport vehicle 2 stops in the traveling passage 22 so as to be adjacent to the selected substrate storage cassette 3, and places the selected substrate storage cassette 3 on the vehicle body 9.
- the transport vehicle 2 places the temporarily placed substrate storage cassette 3 on the transfer device 5, receives the unloaded substrate storage cassette 3 from the transfer device 5, and transports it toward a predetermined processing device.
- the transport vehicle 2 since the substrate storage cassette 3 and the vacant mounting table 4 positioned in the rear row 12 can be moved to the front row 11, the transport vehicle 2 does not move to the rear row 12 side.
- the substrate storage cassette 3 can be transferred to and from the transfer device 5.
- FIG. 3 is a plan view schematically showing the transfer device 5.
- the transfer device 5 includes a transfer unit 13 adjacent to the travel path 22, a transfer unit 14 located on the opposite side of the transfer path 13 from the travel path 22, a connection unit 15, and a connection unit. 16.
- the transfer unit 13 extends in parallel with the traveling passage 22, and the transfer unit 14 is arranged in parallel with the transfer unit 13.
- the transfer direction of the substrate storage cassette 3 in the transfer unit 13 is opposite to the transfer direction of the substrate storage cassette 3 in the transfer unit 14.
- connection unit 15 is disposed at one end of the transfer unit 13 and the transfer unit 14, and the connection unit 15 moves the substrate storage cassette 3 from one of the transfer unit 13 and the transfer unit 14 to the other, thereby transferring the substrate storage cassette 3. Change the transfer direction.
- connection portion 16 is disposed at the other end of the transfer portion 13 and the transfer portion 14, and the connection portion 16 also transfers the substrate storage cassette 3 from one of the transfer portion 13 and the transfer portion 14 to the other, and the substrate storage cassette 3. Change the transfer direction.
- the transfer device 5 can transfer the substrate storage cassette 3 and the mounting table 4 so as to sequentially pass through the transfer unit 14, the connection unit 15, the transfer unit 13 and the connection unit 16, and conversely, the transfer unit 13 and the connection unit 15.
- the substrate storage cassette 3 and the mounting table 4 can be transferred so as to sequentially move the transfer unit 14 and the connection unit 16.
- the interval between the transfer unit 13 and the transfer unit 14 is, for example, narrower than the width of the transport vehicle 2, and the installation area of the transfer device 5 itself is kept small.
- the transfer unit 13 includes a transfer table 13a and a transfer table 13b arranged at a distance from the transfer table 13a.
- the mounting table 4 shown in FIG. 2 is arranged from the upper surface of the transfer table 13 a to the upper surface of the transfer table 13 b, and the transfer table 13 a and the transfer table 13 b support the bottom surface of the mounting table 4.
- the transfer unit 14 also includes a transfer table 14a and a transfer table 14b that are spaced apart from each other.
- the connection unit 15 also includes a transfer table 15a and a transfer table 15b
- the connection unit 16 also includes a transfer table 16a and a transfer table 16b.
- mounting surface 21 is formed by the upper surface of each transfer stand 13a, 13b, 14a, 14b, 15a, 15b, 16a, 16b.
- the transfer table 13 a includes a table body 18 and a plurality of rollers 17 provided on the upper surface of the table body 18.
- the roller 17 is rotated by the drive unit 19 shown in FIG.
- Other transfer stands are also configured in the same manner as the transfer stand 13a. And the mounting base 4 and the board
- the transfer unit 13 does not necessarily include the transfer table 13a and the transfer table 13b, and the transfer unit 14 does not necessarily include the transfer table 14a and the transfer table 14b. It is not essential that the connection parts 15 and 16 also include the transfer tables 15a, 15b, 16a and 16b.
- FIG. 4 is a perspective view of the mounting table 4.
- the mounting table 4 includes a plate-shaped base 30 and a plurality of support portions 31 provided on the upper surface of the base 30 at intervals.
- the support portions 31 are provided at four locations so as to support the vicinity of the corner portion of the substrate storage cassette 3 to be placed.
- the upper surface of the support part 31 is a flat surface.
- FIG. 5 is a schematic diagram showing a state in which the substrate storage cassette 3 is temporarily placed on the transfer unit 13.
- the transport vehicle 2 places the substrate storage cassette 3 on the fork 8 and moves the substrate storage cassette 3 above the transfer unit 13.
- a mounting table 4 is disposed on the upper surface of the transfer unit 13. Then, the fork 8 is lowered and the substrate storage cassette 3 is placed on the mounting table 4.
- FIG. 6 is a plan view showing a state in which the substrate storage cassette 3 is placed on the upper surface of the mounting table 4.
- the fork 8 includes a root portion 32 and three finger portions 33 protruding from the root portion 32.
- the finger portions 33 are provided at a distance from each other and support the bottom surface of the substrate storage cassette 3.
- the fork 8 When the fork 8 places the substrate storage cassette 3 on the mounting table 4, the fork 8 is positioned so that the support portion 31 is positioned between the finger portions 33 when the fork 8 and the mounting table 4 are viewed from above.
- the fork 8 is lowered downward, and the substrate storage cassette 3 is supported by each support portion 31. After the bottom surface of the substrate storage cassette 3 is supported by the support portion 31, the fork 8 is slightly lowered and then the fork 8 is pulled out. In this way, the substrate storage cassette 3 is temporarily placed on the transfer device 5.
- FIG. 7 is a plan view schematically showing a first modification of the temporary placement device 1.
- the position where the transfer vehicle 2 can deliver the transfer device 5 and the substrate storage cassette 3 is one place.
- the selected substrate storage cassette 3 is transferred to the transport vehicle 2 by transferring the selected mounting table 4 or substrate storage cassette 3 to the transfer position by the transfer device 5. be able to.
- the installation area of the temporary placement device 1 can be reduced by shortening the travel path 22.
- FIG. 8 is a plan view showing a modification of the transfer device 5 and showing a part of the transfer device 5.
- the transfer device 5 includes a transfer unit 13 that extends parallel to the traveling path 22, a transfer unit 14 that is adjacent to the transfer unit 13 and extends parallel to the transfer unit 13, the transfer unit 14, and the transfer unit
- the connection part 15 which connects the one ends of the part 13 and the connection part (not shown) which connects the other ends of the transfer part 13 and the transfer part 14 are included.
- a sprocket 40 is provided in the vicinity of the connecting portion 15, and the sprocket 40 is rotated by the driving unit 19 shown in FIG.
- the connection part 15 is curved in a semicircular shape.
- a plurality of rollers 42 are rotatably provided on the upper surfaces of the transfer units 14, the transfer units 13, and the connection units 15 at intervals.
- an annularly formed transport plate 39 is disposed on the roller 42.
- the carrying plate 39 is provided with the mounting table 4 and the connection plate 45 alternately, and the mounting table 4 and the connection plate 45 are coupled so as to be rotatable relative to each other.
- the connection plate 45 is not an essential configuration.
- FIG. 9 is a front view schematically showing the transfer unit 14. As shown in FIG. 9, the transfer unit 14 includes a transfer table 14a and a transfer table 14b.
- Rollers 42 and guide grooves 43 are provided on the upper surfaces of the transfer tables 14a and 14b.
- a shaft portion 48 extending downward, a chain 41 provided at a lower end portion of the shaft portion 48, and a guide roller 44 that enters the guide groove 43 are provided on the lower surface of the transport plate 39.
- a support portion 31 is formed on the upper surface of the mounting table 4 of the transport plate 39.
- the chain 41 extends along the lower surface of the transport plate 39 and has an annular shape.
- the sprocket 40 and the chain 41 mesh with each other, and the chain 41 moves as the sprocket 40 rotates.
- the chain 41 and the transport plate 39 are connected by a shaft portion 48, and the transport plate 39 also moves as the chain 41 moves.
- the mounting table 4 of the transport plate 39 moves on the transfer path 20 formed in an annular shape.
- FIG. 10 is a perspective view showing the mounting table 4 of the transport plate 39.
- the mounting table 4 includes a flat plate-like base 30 and a support portion 31 formed on the upper surface of the base 30.
- a recessed portion 47 that is recessed in an arc shape and an overhanging portion 46 that swells in an arc shape are formed.
- the recess 47 and the overhang 46 are arranged in the direction of the transfer path 20.
- connection plate 45 Also on the outer peripheral edge of the connection plate 45, an arc-shaped dent and an arc-shaped overhang are formed.
- the protruding portion of the connecting plate 45 located adjacent to the recessed portion 47 enters, and the protruding portion 46 of the mounting table 4 enters the arc-shaped recessed portion of the adjacent connecting plate 45.
- the contact part of the adjacent mounting base 4 and the connection board 45 is formed in circular arc shape, as shown in FIG. 8, the part located on the connection part 15 among the conveyance plates 39 is circular arc shape. Can be curved. Also in the transfer device 5 formed in this way, the substrate storage cassette 3 can be temporarily placed on the mounting table 4.
- the mounting table 4 is disposed on the mounting surface of the transfer device 5, and the substrate storage cassette 3 is disposed on the mounting table 4.
- the mounting table 4 is not necessarily required. Instead of this configuration, the substrate storage cassette 3 may be placed directly on the placement surface of the placement table 4.
- FIG. 11 is a plan view schematically showing the temporary placement device 1 according to the second embodiment.
- the temporary placement device 1 includes a travel path 22 where the transport vehicle 2 travels and stops, and a transfer device 5 provided at a position adjacent to the travel path 22.
- a plurality of mounting tables 4 are arranged on the upper surface of the transfer device 5, and the substrate storage cassette 3 is mounted on the upper surface of the mounting table 4.
- the transfer device 5 conveys the substrate storage cassette 3 and the mounting table 4 on the transfer path 20 formed in an annular shape.
- the transfer direction can be selected from either the direction indicated by the arrow in the figure or the opposite direction.
- FIG. 12 is a plan view schematically showing the transfer device 5.
- the transfer device 5 includes a meandering transfer unit 51 that has a meandering transfer path, and a transfer unit 66 (outer transfer unit) that connects both ends of the meandering transfer unit 51.
- the meandering transfer unit 51 includes a plurality of unit meandering parts 52A to 52C.
- the unit meandering part 52 ⁇ / b> A includes a transfer part 60, a transfer part 61 extending along the transfer part 60, and a connection part 67 that connects one end of the transfer part 60 and one end of the transfer part 61.
- the unit meandering part 52 ⁇ / b> B includes a transfer part 62, a transfer part 63 extending along the transfer part 62, and a connection part 69 that connects one end of the transfer part 62 and one end of the transfer part 63.
- the unit meandering part 52 ⁇ / b> C includes a transfer part 64, a transfer part 65 extending along the transfer part 64, and a connection part 71 connecting one end of the transfer part 64 and one end of the transfer part 65.
- the connecting portion 67, the connecting portion 69, and the connecting portion 71 are arranged adjacent to the traveling passage 22.
- the transfer part 61 of the unit meandering part 52A and the transfer part 62 of the unit meandering part 52B are connected by a connecting part 68.
- the transfer part 63 of the unit meandering part 52 ⁇ / b> B and the transfer part 64 of the unit meandering part 52 ⁇ / b> C are connected by a connection part 70.
- the transfer unit 66 connects the transfer unit 65 and the transfer unit 60. Among the plurality of transfer units 60 to 65, the interval between the transfer units 60 to 65 adjacent to each other is narrower than the width of the transport vehicle 2 and the travel path 22.
- the transfer path is meandering, the transfer path is long, and many substrate storage cassettes 3 can be temporarily placed.
- the substrate storage cassette 3 temporarily placed on the unit meandering parts 52A to 52C can be transferred to the connection parts 67 to 71 in a short time. it can.
- FIG. 13 is a plan view showing details of the transfer device 5 shown in FIG.
- the connection unit 67 includes a delivery table 67 a provided at one end of the transfer unit 60 and a delivery table 67 b provided at one end of the transfer unit 61.
- each of the connecting parts 68, 69, 70, 71 includes two delivery tables (68a, 68b, 69a, 69b, 70a, 70b, 71a, 71b), and the transfer parts are connected to each other.
- FIG. 14 is a schematic diagram showing a first modification of the transfer device 5 shown in FIG.
- the transfer device 5 shown in FIG. 14 employs a plurality of unit meandering parts 52D to 52F instead of the transfer part 66 shown in FIG. Thereby, the transfer path
- FIG. 15 is a schematic diagram showing a second modification of the transfer device 5 shown in FIG.
- the transfer device 5 shown in FIG. 15 further includes a plurality of unit meandering parts 52G to 52N.
- a wall portion 75 is disposed between the transfer device 5 and the traveling passage 22, and a delivery opening 76 is formed in the wall portion 75.
- the front end of the unit meandering portion 52I is located in the delivery opening 76.
- the transport vehicle 2 delivers the substrate storage cassette 3 at the tip of the unit meandering portion 52I.
- the temporary placement device 1 according to the third embodiment will be described with reference to FIG. Of the configurations shown in FIG. 16, the same or corresponding components as those shown in FIG. 1 to FIG.
- the temporary placement device 1 shown in FIG. 16 also includes a temporary placement device 1 that can temporarily place the substrate storage cassette 3 and a transport vehicle 2 that transports the substrate storage cassette 3.
- the temporary storage device 1 is disposed in a clean room, and a plurality of devices 85, 86, and 87 such as processing devices are disposed in the clean room.
- the devices 85 to 87 are arranged at intervals, and the transfer device 5 is arranged to pass between the devices 85 to 87. Thereby, the effective use of the dead space between the devices 85 to 87 is achieved.
- the transfer device 5 includes a transfer unit 80, a transfer unit 81 connected to the transfer unit 80, and a retreat transfer unit 82 connected to the transfer unit 81.
- the transfer unit 80 is disposed between the device 85 and the device 86, and the retreating transfer unit 82 is disposed between the device 86 and the device 87.
- the transfer part 81 extends along the travel path 22.
- the transport vehicle 2 can deliver the substrate storage cassette 3 to and from the transfer unit 81.
- the number of substrate storage cassettes 3 that can be temporarily placed on the retreating transfer unit 82 is equal to or greater than the number of substrate storage cassettes 3 that can be temporarily placed on the transfer unit 80.
- FIG. 17 is a diagram schematically showing the transfer device 5 in a state where a plurality of substrate storage cassettes 3 are temporarily placed.
- a plurality of substrate storage cassettes 3 are temporarily placed on the upper surfaces of the transfer unit 80 and the transfer unit 81.
- the substrate storage cassette 3 is not temporarily placed in the retreat transfer unit 82.
- the substrate storage cassette 3A hatched by the oblique lines in FIG. 17 is carried out from the state in which the substrate storage cassette 3 is temporarily placed, at least one of the substrate storage cassettes 3 temporarily placed on the transfer unit 81 is required.
- the substrate storage cassette 3 temporarily placed on the transfer unit 80 is transferred to the transfer unit 81.
- the substrate storage cassette 3 ⁇ / b> A is positioned on the transfer unit 81 and is carried out by the transport vehicle 2.
- the selected substrate storage cassette is retracted to an empty space on the transfer unit 82 for retraction. 3 can be positioned on the transfer part 81.
- the space for allowing the substrate storage cassette 3 to be temporarily retracted is provided in the retreat transfer unit 82, whereby the selected substrate storage cassette 3 is stored. It can be taken out.
- FIG. 19 is a perspective view schematically showing a stacked transfer device that can be used instead of the transfer device 5 shown in FIG. 1 and the like.
- the stacked transfer device shown in FIG. 19 includes a transfer device 5, an upper transfer device 90 disposed above the transfer device 5, and a drive unit that drives the placement surfaces of the transfer device 5 and the upper transfer device 90. 19.
- the upper transfer device 90 is configured in the same manner as the transfer device 5.
- the transfer path of the substrate storage cassette 3 of the upper transfer device 90 is also formed in an annular shape.
- a plurality of mounting tables 4 are arranged at intervals on the mounting surface 91 of the upper transfer device 90.
- the transport vehicle 2 includes a lifting mechanism 92 that lifts and lowers the fork 8 in the height direction.
- the elevating mechanism 92 lifts the fork 8 in the height direction. Then, the substrate storage cassette 3 is delivered to and from the upper transfer device 90.
- the number of substrate storage cassettes 3 that can be temporarily placed can be increased.
- FIG. 20 is a schematic diagram showing a modified example of the mounting table. As shown in FIG. 20, the substrate storage cassette 3 may be temporarily placed on a storage shelf 98 on which a plurality of substrate storage cassettes 3 can be placed in the height direction.
- the storage shelf 98 has an opening formed on the surface on the traveling path 22 side, and the mounting table 4 is provided on the bottom surface of the storage shelf 98 and on the top plate surface.
- the substrate storage cassette 3 can be temporarily placed on each mounting table 4.
- the number of substrate accommodation cassettes 3 that can be temporarily placed on the transfer device 5A or the like can be increased.
- FIG. 21 is a plan view schematically showing the temporary placement device 1 according to the fourth embodiment.
- the temporary placement device 1 shown in FIG. 21 travels or stops on the two transfer devices 5 arranged at intervals, the travel path 22 disposed between the transfer devices 5, and the travel path 22. And a transport vehicle 2 for carrying out the operation. That is, the temporary placement device 1 includes one transfer device 5 and another transfer device (adjacent transfer device) 5 adjacent to the transfer device 5 with the travel path 22 interposed therebetween.
- the transport vehicle 2 can deliver the substrate storage cassette 3 to and from each transfer device 5.
- the traveling passage 22 is provided for each transfer device 5
- the installation area of the entire temporary placement device 1 can be reduced.
- the transfer apparatus 5 shown in FIG. 21 showed the example which applied the transfer apparatus 5 shown in the said Embodiment 1, as shown in FIG. 22, the transfer apparatus 5 shown in Embodiment 2 is employ
- the present invention is a temporary placement device, and in particular, can be applied to a temporary placement device provided with a plurality of placement tables on which glass substrate accommodation cassettes containing glass substrates are placed.
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Abstract
仮置き装置(1)は、基板収容カセット(3)などの搬送物を仮置き可能な載置面(21)と、載置面(21)を駆動する駆動部(19)とを有し、載置面(21)を駆動することで搬送物を移送可能とされた移送装置(5)と、搬送物を仮置き可能とされると共に、移送装置(5)に仮置きされた搬送物を搬出可能な搬送車両(2)などの搬送装置とを備え、搬送装置は、移送装置と隣り合う位置で移送装置と搬送物を受け渡し可能とされる。
Description
本発明は、仮置き装置であって、特に、搬送物が仮置きされる仮置き装置に関する。
たとえば、特開2000-228431号公報(特許文献1)に示すように基板製造ラインは、異物の侵入が抑制されたクリーンルームと、ガラス基板を収容し、クリーンルーム内を移動するカセットと、ガラス基板に所定の処理を施す複数の処理装置とを含む。
ガラス基板はカセットに収容され、搬送車両がカセットをクリーンルーム内を搬送し、カセットが所定の処理装置に渡される。その後、カセットからガラス基板が取り出され、処理室に入れられ、ガラス基板に所定の処理が施される。所定の処理がガラス基板に施されると、処理室からガラス基板が取り出され、カセットに収容される。
このように、カセット内のガラス基板に所定の処理が施されると、カセットは、別の処理装置に搬送される。このようにして、カセットに収容されたガラス基板に順次、処理が施される。
上記のような基板製造ラインは、各工程の込み具合にあわせて、カセットを載置することができるスペースに仮置きする場合がある。
このようなスペースは、仮置きされたカセット内に異物が入り込むことを抑制するために、クリーンルーム内に設ける必要がある。
クリーンルーム内は高いクリーン度に維持されており、クリーン度を高く維持するために非常に高いランニングコストを要する。
仮に、格子状に配列するカセットの仮置きスペースを設け、各仮置きスペースに搬送車両が行き来することができるように網目状に搬送車両用のレールを敷き詰めたとすると、レールが設置される設置面積が非常に大きくなる。
このように、単に仮置きスペースをクリーンルーム内に設けたのでは、仮置きスペースに要する面積が大きくなり、基板製造ラインのランニングコストが非常に高くなってしまう。このような問題は、液晶表示装置の製造設備に限られず、クリーンルームを備えるプラズマ表示装置の製造設備、有機ELディスプレイの製造設備、および半導体装置の製造設備などにおいても同様に生じる問題である。なお、装置の設置面積が広くなることに伴い設備のランニングコストが高騰する代表例として、クリーンルームを備えた製造設備を挙げて説明したが、装置の設置面積の低減を図る必要があるのはクリーンルームを備えた製造設備に限られず、他の種類の製造設備においても同様である。
本発明は、上記のような課題に鑑みてなされた発明であって、その目的は、搬送物を仮置きすることができる仮置き装置であって、要する設置面積の低減が図られた仮置き装置を提供することである。
本発明に係る仮置き装置は、搬送物が仮置される仮置き装置である。仮置き装置は、搬送物を仮置き可能な載置面と、載置面を駆動する駆動部とを有し、載置面を駆動することで搬送物を移送可能とされた移送装置と、搬送物を移送装置に仮置き可能とされると共に、移送装置に仮置きされた搬送物を搬出可能な搬送装置とを備える。上記搬送装置は、移送装置と隣り合う位置で移送装置と搬送物を受け渡し可能とされる。好ましくは、上記搬送物の移送経路が環状とされる。好ましくは、上記搬送物の移送経路は蛇行する蛇行経路を含む。
好ましくは、上記蛇行経路は、第1移送部と、第1移送部に沿って延びる第2移送部と、第1移送部の一端および第2移送部の一端とを接続する第1接続部とを含む。上記第1接続部は、搬送装置の搬送経路と隣り合うように配置される。
好ましくは、上記移送装置は、第3移送部と、第3移送部に沿って延びる第4移送部と、第3移送部の一端および第4移送部の一端を接続する第2接続部と、第3移送部の他端および第4移送部の他端を接続する第3接続部とを含み、第3移送部および第4移送部の間隔は、搬送装置の幅よりも狭い。好ましくは、上記移送装置は、仮置きされた搬送物を一時的に退避させるスペースを有する退避用移送部を含む。
好ましくは、上記搬送物は、ガラス基板を収容可能なカセットとされ、高さ方向に複数のカセットを収容するカセット収容棚をさらに備える。上記カセットは、カセット収容棚に収められた状態で、移送装置に仮置きされる。
好ましくは、上記移送装置と間隔をあけて配置された隣接移送装置をさらに備え、搬送装置は、移送装置と、隣接移送装置との間に位置し、移送装置および隣接移送装置の少なくとも搬送物の受け渡しを行う。好ましくは、上記移送装置の上方に配置された上部移送装置をさらに備える。
本発明に係る仮置き装置によれば、設置面積の低減を図ることができる。
図1から図22を用いて、本発明に係る仮置き装置について説明する。
(実施の形態1)
本実施の形態1においては、本発明を液晶表示装置の製造設備に適用した例について説明する。実施の形態1においては、典型例として、液晶表示装置の製造設備に本発明を適用した例について説明するが、プラズマディスプレイ (PDP, Plasma Display Panel)の製造設備、有機ELディスプレイの製造設備、および半導体装置の製造設備などのクリーンルームを備えた製造設備や、クリーンルームを備えていない製造設備においても、本発明を適用することができることは言うまでもない。
(実施の形態1)
本実施の形態1においては、本発明を液晶表示装置の製造設備に適用した例について説明する。実施の形態1においては、典型例として、液晶表示装置の製造設備に本発明を適用した例について説明するが、プラズマディスプレイ (PDP, Plasma Display Panel)の製造設備、有機ELディスプレイの製造設備、および半導体装置の製造設備などのクリーンルームを備えた製造設備や、クリーンルームを備えていない製造設備においても、本発明を適用することができることは言うまでもない。
液晶表示装置の製造設備は、クリーンルームと、このクリーンルーム内に配置された仮置き装置1と、ガラス基板に各種の処理を施す処理装置と、ガラス基板が収容されたカセットを搬送する搬送装置とを備える。ガラス基板は、基板収容カセットに収容された状態で搬送装置によって、各処理装置に搬送される。処理装置に搬送されたガラス基板は、カセットから取り出され、当該処理装置において、所定の処理が施される。その後、再度、カセットに収容され、次の処理装置に搬送される。
このように、ガラス基板はカセットに収容された状態で複数の処理装置に搬送され、各処理装置において所定の処理が施される。
液晶表示装置の製造過程中において、各処理工程の進み具合によっては、ガラス基板をカセットに収容した状態で仮置きする必要が生じる場合がある。その場合には、カセットを本実施の形態に係る仮置き装置1に仮置きする。
図1は、本実施の形態1に係る仮置き装置1を模式的に示す平面図である。仮置き装置1は、基板収容カセット3を搬送する搬送車両2と、搬送車両2が走行および停車する走行通路22と、移送装置5と、移送装置5の駆動を制御する制御部6とを備える。走行通路22には搬送車両2が走行するためのレール7が敷設されている。なお、本実施の形態1においては、基板収容カセット3を搬送する搬送装置として搬送車両2を採用しているが、搬送装置としては、他に、コンベア、吊り天井式の搬送装置等、各種の搬送装置を採用することができる。
図2は、移送装置5および搬送車両2を模式的に示す斜視図である。図2および上記図1において、搬送車両2は、基板収容カセット3が載せられる車両本体9と、車両本体9に設けられたフォーク8と、車両本体9に設けられ、レール7上を転動する複数の車輪10とを備える。
フォーク8は、所定の処理が施されたガラス基板が収容された基板収容カセット3を移送装置5に渡したり、移送装置5に仮置きされた基板収容カセット3を車両本体9上に載せたりする。
移送装置5は、走行通路22と隣り合うように設けられている。移送装置5は、基板収容カセット3を仮置きする載置面21と、この載置面21を駆動する駆動部19とを含む。載置面21には、複数の載置台4が間隔をあけて複数配置されている。本実施の形態1においては、載置台4が載置面21上に配列することで、走行通路22と隣り合う前列11と、この前列11に対して走行通路22と反対側に位置する後列12とが形成されている。前列11は、走行通路22と平行に延び、後列12は、前列11と平行に延びる。
載置面21が駆動すると、後列12に位置する載置台4が前列11に移動したり、前列11に位置する載置台4が後列12に移動したりする。
仮置きされる基板収容カセット3は、この載置台4上に載せられる。図1に示す移送装置5の移送経路20は環状に形成されており、駆動部19が載置面21を駆動することで、載置面21上に仮置きされた基板収容カセット3は、移送経路20上で搬送される。なお、環状とは、始点と終点とが連結していることを意味する。
制御部6は、搬送車両2が処理装置を出発してから仮置き装置1に基板収容カセット3を仮置きするまでの間に、基板収容カセット3が載せられていない選択された載置台4が前列11に位置するように、移送装置5を駆動する。
搬送車両2は、走行通路22内のうち選択された載置台4と隣り合う位置で停車する。そして、基板収容カセット3は、フォーク8を用いて、搬入した基板収容カセット3を選択された載置台4に仮置きする。
制御部6は、搬送車両2が仮置きされた基板収容カセット3を取りに来るときには、予め、選択された基板収容カセット3が前列11に配置されるように移送装置5を駆動する。そして、搬送車両2は、選択された基板収容カセット3と隣り合うように走行通路22内で停車し、選択された基板収容カセット3を車両本体9に載せる。
たとえば、搬送車両2は、仮置きする基板収容カセット3を移送装置5に載せ、搬出する基板収容カセット3を移送装置5から受け取り、所定の処理装置に向けて搬送する。
この仮置き装置1によれば、後列12に位置する基板収容カセット3や空いている載置台4を前列11に移動させることができるため、搬送車両2は、後列12側に移動せずとも、移送装置5との間で基板収容カセット3の受け渡しを行うことができる。
このため、後列12側に走行通路22やレール7を設ける必要がなく、仮置き装置1の設置面積の低減を図ることができる。
図3は、移送装置5を模式的に示す平面図である。この図3に示すように、移送装置5は、走行通路22と隣り合う移送部13と、移送部13に対して走行通路22と反対側に位置する移送部14と、接続部15および接続部16とを備える。
移送部13は、走行通路22と平行に延び、移送部14は、移送部13と平行に配置されている。移送部13の基板収容カセット3の搬送方向と、移送部14の基板収容カセット3の搬送方向とは反対方向となっている。
接続部15は、移送部13および移送部14の一端に配置されており、接続部15は、移送部13および移送部14の一方から他方に基板収容カセット3を移し変えて、基板収容カセット3の移送方向を転換させる。
接続部16は、移送部13および移送部14の他端に配置されており、接続部16も移送部13および移送部14の一方から他方に基板収容カセット3を移し変えて、基板収容カセット3の移送方向を転換させる。
移送装置5は、移送部14、接続部15、移送部13および接続部16を順次通るように基板収容カセット3および載置台4を移送させることができると共に、反対に移送部13、接続部15、移送部14および接続部16を順次廻るように基板収容カセット3および載置台4を移送させることができる。
移送部13と移送部14との間の間隔は、たとえば、搬送車両2の幅よりも狭く、移送装置5自体の設置面積が小さく抑えられている。
移送部13は、移送台13aと、移送台13aと間隔をあけて配置された移送台13bとを備える。図2に示す載置台4は、移送台13aの上面から移送台13bの上面に亘って配置され、移送台13aおよび移送台13bは、載置台4の底面を支持する。
移送部14も、互いに間隔をあけて配置された移送台14aおよび移送台14bを含む。接続部15も、移送台15aおよび移送台15bを含み、接続部16も、移送台16aおよび移送台16bを含む。
そして、各移送台13a,13b,14a,14b,15a,15b,16a,16bの上面によって載置面21が形成されている。
移送台13aは、台本体18と、台本体18の上面に設けられた複数のローラ17とを含む。ローラ17は、図1に示す駆動部19によって回転させられる。他の移送台も、移送台13aと同様に構成されている。そして、各移送台に設けられたローラが回転することで、載置台4および基板収容カセット3が移送される。なお、移送部13は、必ずしも移送台13aおよび移送台13bとを含むことは必須ではなく、移送部14も、移送台14aおよび移送台14bを含むことが必須ではない。接続部15,16も、移送台15a、15b、16a,16bを含むことが必須ではない。
図4は、載置台4の斜視図である。この図4に示すように、載置台4は、板状の土台30と、この土台30の上面に間隔をあけて設けられた複数の支持部31とを含む。
支持部31は、載せられる基板収容カセット3の角部の近傍を支持するように4箇所に設けられている。支持部31の上面は、平坦面とされている。
図5は、基板収容カセット3を移送部13に仮置きする様子を示す模式図である。この図5に示すように、搬送車両2はフォーク8上に基板収容カセット3を載せて、移送部13の上方に基板収容カセット3を移動させる。移送部13の上面には、載置台4が配置されている。そして、フォーク8を下方に下げて、基板収容カセット3を載置台4上に載せる。
図6は、基板収容カセット3を載置台4の上面に載せた状態を示す平面図である。この図6に示すように、フォーク8は、付根部32と、付根部32から張り出す3つの指部33とを含む。指部33は互いに間隔をあけて設けられており、基板収容カセット3の底面を支持する。
フォーク8が載置台4に基板収容カセット3を配置するときには、上方からフォーク8および載置台4を見たときに、各指部33の間に支持部31が位置するようにフォーク8が位置決めされる。
この状態で、フォーク8が下方に下がり、基板収容カセット3が各支持部31によって支持される。基板収容カセット3の底面が支持部31によって支持された後、さらに、フォーク8が僅かに下がり、その後、フォーク8が引き抜かれる。このようにして、基板収容カセット3が移送装置5に仮置きされる。
図7は、仮置き装置1の第1変形例を模式的に示す平面図である。この図7に示す例においては、搬送車両2が移送装置5と基板収容カセット3の受け渡しすることができる位置が一箇所とされている。この図7に示す仮置き装置1においても、移送装置5が選択された載置台4や基板収容カセット3を受け渡し位置まで移送することで、搬送車両2に選択された基板収容カセット3を受け渡すことができる。さらに、走行通路22を短くすることで、仮置き装置1の設置面積の低減を図ることができる。
図8は、移送装置5の変形例を示し、移送装置5の一部を示す平面図である。
この図8に示す例においても、移送装置5は走行通路22と平行に延びる移送部13と、この移送部13と隣り合い、移送部13と平行に延びる移送部14と、移送部14および移送部13の一端同士を接続する接続部15と、移送部13および移送部14の他端同士を接続する接続部(図示せず)とを含む。接続部15の近傍には、スプロケット40が設けられており、スプロケット40は、上記図1に示す駆動部19によって回転させられる。接続部15は、半円状に湾曲している。
この図8に示す例においても、移送装置5は走行通路22と平行に延びる移送部13と、この移送部13と隣り合い、移送部13と平行に延びる移送部14と、移送部14および移送部13の一端同士を接続する接続部15と、移送部13および移送部14の他端同士を接続する接続部(図示せず)とを含む。接続部15の近傍には、スプロケット40が設けられており、スプロケット40は、上記図1に示す駆動部19によって回転させられる。接続部15は、半円状に湾曲している。
図8に示す例においては、各移送部14、移送部13および接続部15の上面には、複数のローラ42が間隔をあけて回転自在に設けられている。ローラ42上には、環状に形成された搬送板39が配置されている。
搬送板39は、載置台4と、接続板45とが交互に設けられており、載置台4と接続板45とは互いに相対的に回転可能に連結されている。なお、図8に示すように、載置台4と載置台4との間に接続板45を配置することで、接続部15上を基板収容カセット3が移動するときに、基板収容カセット3同士が接触することを抑制することができる。なお、基板収容カセット3や移送装置5などのサイズによっては、接続板45に替えて、載置台4を配置したとしても、基板収容カセット3同士が接触しない場合がある。このため、接続板45は必須の構成ではない。
図9は、移送部14を模式的に示す正面図である。図9に示すように、移送部14は、移送台14aおよび移送台14bを含む。
移送台14a,14bの上面には、ローラ42と、ガイド溝43とが設けられている。搬送板39の下面には、下方に向けて延びる軸部48と、軸部48の下端部に設けられたチェーン41と、ガイド溝43に入り込むガイドローラ44とが設けられている。搬送板39の載置台4の上面には、支持部31が形成されている。
チェーン41は、図8に示すように、搬送板39の下面に沿って伸びており、環状に形成されている。スプロケット40とチェーン41とは互いに噛み合い、スプロケット40が回転することで、チェーン41が移動する。
チェーン41と搬送板39とは軸部48によって連結されており、チェーン41が移動することで、搬送板39も移動する。この結果、搬送板39の載置台4は、環状に形成された移送経路20上を移動する。
図10は、搬送板39の載置台4を示す斜視図である。この図10に示すように、載置台4は、平板状の土台30と、土台30の上面に形成された支持部31とを含む。土台30の外周縁部には、円弧状に凹まされた凹み部47と、円弧状に膨らむ張出部46とが形成されている。凹み部47と張出部46とは移送経路20方向に配列している。
接続板45の外周縁部にも、円弧状のへ凹み部と、円弧状の張出部とが形成されている。凹み部47には、隣に位置する接続板45の張出部が入り込み、載置台4の張出部46は、隣り合う接続板45の円弧状の凹み部に入り込んでいる。
このように、隣り合う載置台4および接続板45の接触部分が円弧状に形成されているため、図8に示すように、搬送板39のうち、接続部15上に位置する部分は円弧状に湾曲することができる。このように形成された移送装置5においても、載置台4に基板収容カセット3を仮置きすることができる。なお、本実施の形態1においては、移送装置5の載置面上に載置台4を配置し、この載置台4上に、基板収容カセット3を配置しているが、載置台4は必ずしも必須の構成ではなく、基板収容カセット3を載置台4の載置面に直接載せるようにしてもよい。
(実施の形態2)
図11から図15を用いて、本実施の形態2に係る仮置き装置1について説明する。なお、図11および図15に示す構成のうち、上記図1から図10に示す構成と同一または相当する構成については、同一の符号を付してその説明を省略する場合がある。
図11から図15を用いて、本実施の形態2に係る仮置き装置1について説明する。なお、図11および図15に示す構成のうち、上記図1から図10に示す構成と同一または相当する構成については、同一の符号を付してその説明を省略する場合がある。
図11は、本実施の形態2に係る仮置き装置1を模式的に示す平面図である。この図11に示すように、仮置き装置1は、搬送車両2が走行および停車する走行通路22と、走行通路22と隣り合う位置に設けられた移送装置5とを備える。
移送装置5の上面には、複数の載置台4が配列しており、この載置台4の上面上に基板収容カセット3が載せられている。
移送装置5は、環状に形成された移送経路20上で基板収容カセット3および載置台4を搬送する。なお、移送方向は、図の矢印に示す方向およびその反対方向のいずれの方向をも選択することができる。
図12は、移送装置5を模式的に示す平面図である。移送装置5は、移送経路が蛇行する蛇行移送部51と、蛇行移送部51の両端を接続する移送部66(外側移送部)とを含む。
蛇行移送部51は、複数の単位蛇行部52A~52Cを含む。単位蛇行部52Aは、移送部60と、移送部60に沿って延びる移送部61と、移送部60の一端および移送部61の一端を接続する接続部67とを含む。
単位蛇行部52Bは、移送部62と、移送部62に沿って延びる移送部63と、移送部62の一端および移送部63の一端を接続する接続部69とを含む。
単位蛇行部52Cは、移送部64と、移送部64に沿って延びる移送部65と、移送部64の一端および移送部65の一端を接続する接続部71とを含む。
各単位蛇行部52A~52Cのうち、接続部67、接続部69および接続部71は、走行通路22と隣り合うように配置されている。
単位蛇行部52Aの移送部61と単位蛇行部52Bの移送部62とは、接続部68によって接続されている。単位蛇行部52Bの移送部63と、単位蛇行部52Cの移送部64とは、接続部70によって接続されている。移送部66は、移送部65および移送部60を接続している。複数の移送部60~65のうち、互いに隣り合う移送部60~65同士の間隔は、上記の搬送車両2および走行通路22の幅よりも狭くなっている。
このように構成された移送装置5においては、移送経路が蛇行しており、移送経路が長くなっており、多くの基板収容カセット3を仮置きすることができる。
単位蛇行部52A~52Cの移送部60~65の移送経路長は短いため、単位蛇行部52A~52C上に仮置きされた基板収容カセット3を短時間で接続部67~71に移送することができる。
なお、図13は、図12に示す移送装置5の詳細を示す平面図である。この図12に示すように、接続部67は、移送部60の一端に設けられた受渡台67aと、移送部61の一端に設けられた受渡台67bを含む。接続部68,69,70,71も同様に、各々2つの受渡台(68a,68b,69a,69b,70a,70b,71a,71b)を含み、移送部同士が接続されている。
図14は、図12に示された移送装置5の第1変形例を示す模式図である。この図14に示す移送装置5においては、図12に示す移送部66に替えて、複数の単位蛇行部52D~52Fを採用している。これにより、移送装置5の移送経路が長くなり、多くの基板収容カセット3を仮置きすることができる。
図15は、図12に示された移送装置5の第2変形例を示す模式図である。この図15に示す移送装置5は、さらに、複数の単位蛇行部52G~52Nを備えている。この図15に示す例においては、移送装置5と、走行通路22との間には、壁部75が配置されており、壁部75には、受け渡し用開口部76が形成されている。受け渡し用開口部76には、単位蛇行部52Iの先端部が位置している。搬送車両2は、単位蛇行部52Iの先端部において、基板収容カセット3の受け渡しを行う。
(実施の形態3)
図16を用いて、本実施の形態3に係る仮置き装置1について説明する。なお、図16に示す構成のうち、上記図1から図15に示す構成と同一または相当する構成については同一の符号を付してその説明を省略する。この図16に示す仮置き装置1も、基板収容カセット3を仮置き可能な仮置き装置1と、基板収容カセット3を搬送する搬送車両2とを備える。
図16を用いて、本実施の形態3に係る仮置き装置1について説明する。なお、図16に示す構成のうち、上記図1から図15に示す構成と同一または相当する構成については同一の符号を付してその説明を省略する。この図16に示す仮置き装置1も、基板収容カセット3を仮置き可能な仮置き装置1と、基板収容カセット3を搬送する搬送車両2とを備える。
仮置き装置1は、クリーンルーム内に配置されており、クリーンルーム内には、処理装置等の複数の装置85,86,87が配置されている。各装置85~87は、間隔をあけて配置されており、移送装置5は、各装置85~87の間を通るように配置されている。これにより、装置85~87間のデッドスペースの有効活用が図られている。
移送装置5は、移送部80と、移送部80に接続された移送部81と、移送部81に接続された退避用移送部82とを含む。
移送部80は、装置85と装置86との間に配置されており、退避用移送部82は装置86と装置87との間に配置されている。移送部81は、走行通路22に沿って延びている。搬送車両2は、移送部81との間で基板収容カセット3の受け渡しをすることができる。退避用移送部82上に仮置き可能な基板収容カセット3の数は、移送部80上に仮置き可能な基板収容カセット3の数以上である。
図17および図18を用いて、本実施の形態3の移送装置5の駆動について説明する。図17は、複数の基板収容カセット3が仮置きされた状態における移送装置5を模式的に示した図である。
図17に示すように、移送部80および移送部81の上面上には複数の基板収容カセット3が仮置きされている。その一方で、退避用移送部82には、基板収容カセット3が仮置きされていない。
このように、基板収容カセット3が仮置きされた状態から図17中の斜線でハッチングされた基板収容カセット3Aを搬出するときには、移送部81上に仮置きされた基板収容カセット3の少なくと一部を退避用移送部82に移送し、移送部80に仮置きされた基板収容カセット3を移送部81に移送する。これにより、図18に示すように、基板収容カセット3Aが移送部81上に位置し、搬送車両2によって搬出される。このように、移送部80上に仮置きされた基板収容カセット3を搬出するときには、退避用移送部82上の空きスペースに他の基板収容カセット3を退避させることで、選択された基板収容カセット3を移送部81上に位置させることができる。
このように、本実施の形態3に係る移送装置5においては、基板収容カセット3を一時的に退避させることができるスペースを退避用移送部82に設けることで、選択された基板収容カセット3を搬出可能とされている。
図19は、図1などに示す移送装置5に代えて採用することができる積層型の移送装置を模式的に示す斜視図である。
この図19に示す積層型の移送装置は、移送装置5と、この移送装置5の上方に配置された上部移送装置90と、移送装置5および上部移送装置90の載置面を駆動する駆動部19とを備える。
上部移送装置90は、移送装置5と同様に構成されている。上部移送装置90の基板収容カセット3の移送経路も環状に形成されている。そして、上部移送装置90の載置面91上には、複数の載置台4が間隔をあけて配置されている。
搬送車両2は、フォーク8を高さ方向に昇降させる昇降機構92を備えている。載置面91上の載置台4に基板収容カセット3を仮置きするときや、仮置きされた基板収容カセット3を搬出するするときには、昇降機構92がフォーク8を高さ方向に持ち上げる。そして、上部移送装置90との間で、基板収容カセット3の受渡しを行う。
このように、移送装置を高さ方向に積層することで、仮置きすることができる基板収容カセット3の数を増やすことができる。
図20は、載置台の変形例を示す模式図である。この図20に示すように、高さ方向に複数の基板収容カセット3を載せることができる収容棚98に基板収容カセット3を仮置きするようにしてもよい。
この図20に示す例においては、収容棚98は、走行通路22側の面に開口部が形成されており、収容棚98の底面上と、天板面上とに載置台4が設けられ、各載置台4に基板収容カセット3を仮置き可能とされている。
このような収容棚98を用いて、基板収容カセット3を仮置きすることで、移送装置5A等に仮置きすることができる基板収容カセット3の数を増やすことができる。
(実施の形態4)
図21および図22を用いて、本実施の形態4に係る仮置き装置1について説明する。なお、図21および図22において、上記図1から図20に示す構成と同一または相当する構成については、その説明を省略する。
図21および図22を用いて、本実施の形態4に係る仮置き装置1について説明する。なお、図21および図22において、上記図1から図20に示す構成と同一または相当する構成については、その説明を省略する。
図21は、本実施の形態4に係る仮置き装置1を模式的に示す平面図である。図21に示す仮置き装置1は、間隔あけて配置された2つの移送装置5と、移送装置5の間に配置された走行通路22と、この走行通路22上で走行したり、停車したりする搬送車両2とを備える。すなわち、仮置き装置1は、1つの移送装置5と、この移送装置5に対して走行通路22を挟んで隣接する他の移送装置(隣接移送装置)5とを含む。
このように、走行通路22の両側に移送装置5を配置することで、搬送車両2は各移送装置5との間で基板収容カセット3の受け渡しが可能となる。この結果、移送装置5ごとに走行通路22を設けた場合と比較すると、仮置き装置1全体の設置面積の低減を図ることができる。
なお、図21に示す移送装置5は、上記実施の形態1に示す移送装置5を適用した例を示したが、図22に示すように、実施の形態2に示す移送装置5を採用してもよい。また、走行通路22を挟んで隣り合う移送装置5は、同一形状の移送装置5を採用する必要もなく、各々異なる形状の移送装置5を採用してもよい。さらには、走行通路22に沿って、複数の移送装置5を配列させてもよい。
今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものではない。本発明の技術的範囲は請求の範囲によって画定され、また請求の範囲の記載と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。
本発明は、仮置き装置であって、特に、ガラス基板が収容されたガラス基板収容カセットが載置される載置台を複数備えた仮置き装置に適用することができる。
1 仮置き装置、2 搬送車両、3,3A 基板収容カセット、4 載置台、5 移送装置、6 制御部、7 レール、8 フォーク、9 車両本体、10 車輪、11 前列、12 後列、13,14,60,61,62,63,64,65,66,80,81 移送部、13a,13a,13b,14a,14b,15a,15b,16a,16b 移送台、15,16,67,68,69,70,71 接続部、17,42 ローラ、18 台本体、19 駆動部、20 移送経路、21,91 載置面、22 走行通路、30 土台、31 支持部、32 付根部、33 指部、39 搬送板、40 スプロケット、41 チェーン、43 ガイド溝、44 ガイドローラ、45 接続板、46 張出部、47 凹み部、48 軸部、50 外側移送部、51 蛇行移送部、52A~52I 単位蛇行部、75 壁部、76 受け渡し用開口部、82 退避用移送部、85~87 装置、90 上部移送装置、92 昇降機構、98 収容棚。
Claims (9)
- 搬送物(3)が仮置される仮置き装置であって、
前記搬送物(3)を仮置き可能な載置面(21)と、前記載置面(21)を駆動する駆動部(19)とを有し、前記載置面(21)を駆動することで前記搬送物(3)を移送可能とされた移送装置(5)と、
前記搬送物(3)を搬送し、前記移送装置(5)に仮置きする搬送装置(2)と、
を備え、
前記搬送装置(2)は、前記移送装置(5)と隣り合う位置で前記移送装置(5)と前記搬送物(3)を受け渡し可能とされた、仮置き装置。 - 前記移送装置(5)の前記搬送物(3)の移送経路が環状とされた、請求項1に記載の仮置き装置。
- 前記移送装置(5)の前記搬送物(3)の移送経路は蛇行する蛇行経路を含む、請求項1または請求項2に記載の仮置き装置。
- 前記蛇行経路は、第1移送部と、前記第1移送部に沿って延びる第2移送部と、前記第1移送部の一端および前記第2移送部の一端とを接続する第1接続部とを含み、
前記第1接続部は、前記搬送装置(2)の搬送経路と隣り合うように配置された、請求項3に記載の仮置き装置。 - 前記移送装置(5)は、第3移送部と、前記第3移送部に沿って延びる第4移送部と、前記第3移送部の一端および前記第4移送部の一端を接続する第2接続部と、前記第3移送部の他端および前記第4移送部の他端を接続する第3接続部とを含み、
前記第3移送部および前記第4移送部の間隔は、前記搬送装置(2)の幅よりも狭い、請求項1に記載の仮置き装置。 - 前記移送装置(5)は、仮置きされた前記搬送物(3)を一時的に退避させるスペースを有する退避用移送部(82)を含む、請求項1に記載の仮置き装置。
- 前記搬送物(3)は、ガラス基板を収容可能なカセット(3)とされ、
高さ方向に複数の前記カセット(3)を収容するカセット収容棚(98)をさらに備え、
前記カセット(3)は、前記カセット収容棚(98)に収められた状態で、前記移送装置(5)に仮置きされる、請求項1から請求項6のいずれかに記載の仮置き装置。 - 前記移送装置(5)と間隔をあけて配置された隣接移送装置をさらに備え、
前記搬送装置(2)は、前記移送装置(5)と、前記隣接移送装置との間に位置し、前記移送装置(5)および前記隣接移送装置の少なくとも一方と前記搬送物(3)の受け渡しを行う、請求項1から請求項7のいずれかに記載の仮置き装置。 - 前記移送装置(5)の上方に配置された上部移送装置(90)をさらに備えた、請求項1から請求項8のいずれかに記載の仮置き装置。
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Cited By (1)
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- 2011-08-30 WO PCT/JP2011/069551 patent/WO2012029751A1/ja active Application Filing
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