JP4950297B2 - 基板搬送システム - Google Patents
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Description
<全体構成>
図1は本発明の一実施形態に係る基板搬送システムAのレイアウトを示す平面図、図2は基板搬送システムAの側面図である。なお、各図において、矢印X、Yは相互に直交する水平方向、矢印Zは上下方向(鉛直方向)を示す。本実施形態の場合、基板搬送システムAは、方形薄板状のガラス基板Wを収納する収納カセット10と、ガラス基板Wを処理する処理装置20(その一部のみが図示されている。)と、の間でガラス基板を搬送する。なお、ガラス基板Wは図2においては破線で図示し、図1においては図示を省略している。
図3は収納カセット10の斜視図である。収納カセット10はガラス基板WをZ方向に多段に収納可能なカセットである。なお、図3はガラス基板Wが未収納の状態を示している。本実施形態の場合、収納カセット10は複数の柱部材11と、梁部材12と、により略直方体形状のフレーム体をなしている。柱部材11の配設間隔及び梁部材12の配設間隔は、移載コンベア32が収納カセット10の下方から収納カセット10内に進入できるように設定される。
次に、同時搬送コンベア30、個別搬送コンベア31及び移載コンベア32の構成について説明する。本実施形態の場合、これらのコンベアは、いずれも、複数のローラコンベアをマトリックス状に配置して構成されている。しかし、ベルトコンベア等、他の形式のコンベアを用いてもよい。
図6は一対の昇降装置80の斜視図、図7は昇降装置80の分解斜視図である。本実施形態では、昇降装置80により収納カセット10をZ方向に昇降することで、収納カセット10と移載コンベア32とをZ方向に相対的に移動させる。しかし、移載コンベア32をZ方向に昇降する構成としてもよい。なお、移載コンベア32を昇降する構成とした場合は、同時搬送コンベア30も昇降する構成とすることになる。
図1及び図2を参照して、移動ユニット50は、個別搬送コンベア31のY方向両側にそれぞれ設けられたベース部材51を備える。各ベース部材51上には、モータ52と、モータ52により回転駆動される一対の駆動プーリ53と、一対の従動プーリ54と、が搭載されている。駆動プーリ53と従動プーリ54との組は合計4組あり、各組の駆動プーリ53と従動プーリ54との間にはベルト55が巻き回されている。モータ52を駆動することで駆動プーリ53が回転し、ベルト55が走行する。
図11は基板搬送システムAの制御装置200の構成を示すブロック図である。制御装置200は基板搬送システムAの全体の制御を司るCPU201と、CPU201のワークエリアを提供すると共に、可変データ等が記憶されるRAM202と、制御プログラム、制御データ等の固定的なデータが記憶されるROM203と、を備える。RAM202、ROM203は他の記憶手段を採用可能である。
<同時搬送コンベアの搬送例>
図12及び図13は移載コンベア32から同時搬送コンベア30へガラス基板W1を搬送する場合の態様の例を示した図である。各「ローラコンベアユニットの組」を同期的に駆動することで、X方向に複数枚のガラス基板W1を並べて同時に搬送することができる。
本実施形態では、収納カセット10から搬出された複数枚のガラス基板を、同時搬送コンベア30によって、並列搬送することが可能である。つまり、Y方向に複数枚のガラス基板を並べて、これらのガラス基板を同時搬送することが可能である。これにより、ガラス基板の搬送途中において搬送能力を向上することができる。
図14乃至図16は、個別搬送コンベア31から処理装置20へガラス基板W1を一枚ずつ搬送する例を示した図である。図14の上側は、ガラス基板W1が2枚同時に個別搬送コンベア31上に搬送された態様を示す。2枚のガラス基板W1は、−X側の3つの「ローラコンベアユニットの組」上に載置されている。
図21乃至図24は、処理装置20から個別搬送コンベア31へガラス基板W1を一枚ずつ搬送し、個別搬送コンベア31上で、Y方向に複数のガラス基板W1を並べる例を示した図である。
本実施形態では、上記の通り、サイズが異なるガラス基板W1及びW2の搬送を行うことができる。これは、ガラス基板のサイズ、及び、搬送する位置に応じて、個別搬送コンベア31を構成するローラコンベアユニット100及び110を選択的に駆動すること、及び、移動ユニット50を駆動すること、により実現している。サイズが異なるガラス基板の搬送を行う場合、そのガラス基板のサイズを特定し、制御装置200の制御上、サイズを設定する必要がある。
上記第1実施形態では、一つの収納カセット10と、一つの処理装置20との間で、ガラス基板を搬送する例を説明したが、複数の収納カセット10と、一つの処理装置20との間で、ガラス基板を搬送するようにすることもできる。図29は本発明の他の実施形態に係る基板搬送システムBのレイアウトを示す平面図である。同図において、基板搬送システムAと同じ構成については、同じ参照番号を付して説明を省略し、異なる構成についてのみ説明する。
上記第2実施形態では、移動ユニット50は、ガラス基板Wを一枚ずつY方向に移動するように構成したが、複数枚のガラス基板Wを同時にY方向に移動するように構成することもできる。
上記第2実施形態では、移動ユニット50及び昇降ユニット60により、個別搬送コンベア31間でガラス基板WをY方向に移動するように構成したが、これに加えて、同時搬送コンベア30間でもガラス基板WをY方向に移動するように構成してもよい。
上記第1実施形態では、収納カセット10がY方向に複数のガラス基板を収納し、移載コンベア32がY方向に複数のガラス基板を載置して同時に搬送するように構成したが、1枚ずつ搬送する構成とすることもできる。但し、この場合、ガラス基板の搬送枚数を変換することが必要となる。図35は本発明の他の実施形態に係る基板搬送システムCのレイアウトを示す平面図である。同図において、基板搬送システムAと同じ構成については、同じ参照番号を付して説明を省略し、異なる構成についてのみ説明する。また、同図においては、処理装置20、移載コンベア70、個別搬送コンベア31及び個別搬送コンベア31上のガラス基板を移動する移動ユニット50及び昇降ユニット60は省略されている。
上記第1乃至第5実施形態では、移動ユニット50、50’の載置部材56及び57をベルト伝導機構により移動する構成としたが、他の機構も採用できる。図36は、載置部材56及び57の移動機構の他の例を示す図である。図36の移動機構は、ボールねじ機構を用いたものである。Y方向には、レール部材501、ボールねじ502が配設され、これらが載置部材56及び57の移動軌道を規定する。ボールねじ502には、ボールナット503が螺合すると共に、ボールナット503はレール部材501上を摺動可能になっている。載置部材56及び57はボールナット503上に固定されている。
Claims (13)
- 基板を収納する収納カセットと、前記基板を処理する処理装置と、の間で基板を搬送する基板搬送システムであって、
前記収納カセット側に配置され、前記基板の搬送方向に直交する方向に複数枚の前記基板を並べて載置可能な幅を有し、前記複数枚の前記基板を前記搬送方向に同時搬送可能な第1のコンベアと、
前記処理装置側において前記第1のコンベアと連続して配置され、前記搬送方向に直交する方向に前記複数枚の前記基板を並べて載置可能な幅を有し、前記複数枚の基板を個別に前記搬送方向に搬送可能な第2のコンベアと、
前記第2のコンベア上の前記基板を載置する載置部を有し、前記第2のコンベア上で前記搬送方向に直交する方向に前記基板を移動する移動ユニットと、
前記載置部と前記第2コンベアとを相対的に昇降する昇降ユニットと、
を備えたことを特徴とする基板搬送システム。 - 前記第1のコンベアと連続し、かつ、前記収納カセットの下部に配置され、前記収納カセットに収納された前記基板を載置して前記搬送方向に搬送する第3のコンベアと、
前記収納カセットと前記第3のコンベアとを相対的に昇降する昇降装置と、
を更に備え、
前記収納カセットは、前記基板を収納するスロットを上下方向に複数備え、
各スロットは前記搬送方向と直交する方向に前記複数枚の前記基板を収納可能であり、
前記第3のコンベアは、前記搬送方向に直交する方向に前記複数枚の前記基板を並べて載置可能な幅を有し、前記複数枚の前記基板を前記搬送方向に同時搬送することを特徴とする請求項1に記載の基板搬送システム。 - 前記第2のコンベアは、前記基板のサイズに応じて選択的に駆動される複数のコンベアユニットを備え、
前記移動ユニットは、前記基板のサイズに応じた位置に前記基板を移動することを特徴とする請求項1に記載の基板搬送システム。 - 前記移動ユニットは、前記基板を移動すると共に前記基板の向きを調整することを特徴とする請求項1に記載の基板搬送システム。
- 前記第1のコンベアが、前記搬送方向に複数枚の前記基板を並べて載置可能な長さを有することを特徴とする請求項1に記載の基板搬送システム。
- 前記第1及び第2のコンベアが複数のローラコンベアユニットにより構成されることを特徴とする請求項1に記載の基板搬送システム。
- 前記第3のコンベアが複数のローラコンベアユニットにより構成されることを特徴とする請求項2に記載の基板搬送システム。
- 前記収納カセットと前記処理装置とが前記搬送方向に離間して配置されていることを特徴とする請求項1に記載の基板搬送システム。
- 基板を収納する第1及び第2の収納カセットと、前記第1及び第2の収納カセットから離間して配置され、前記基板を処理する処理装置と、の間で基板を搬送する基板搬送システムであって、
前記第1の収納カセット側に配置され、前記基板の搬送方向に直交する方向に複数枚の前記基板を並べて載置可能な幅を有し、前記複数枚の前記基板を前記搬送方向に同時搬送可能な第1の同時搬送コンベアと、
前記第2の収納カセット側に配置され、前記搬送方向に直交する方向に複数枚の前記基板を並べて載置可能な幅を有し、前記複数枚の前記基板を前記搬送方向に同時搬送可能な第2の同時搬送コンベアと、
前記処理装置側において前記第1の同時搬送コンベアと連続して配置され、前記搬送方向に直交する方向に前記複数枚の前記基板を並べて載置可能な幅を有し、前記複数枚の基板を個別に前記搬送方向に搬送可能な第1の個別搬送コンベアと、
前記処理装置側において前記第2の同時搬送コンベアと連続して配置され、前記搬送方向に直交する方向に前記複数枚の前記基板を並べて載置可能な幅を有し、前記複数枚の基板を個別に前記搬送方向に搬送可能な第2の個別搬送コンベアと、
前記第1及び第2の個別搬送コンベア上の前記基板を載置する載置部を有し、前記第1及び第2の個別搬送コンベアに跨って、前記搬送方向に直交する方向に前記基板を移動する移動ユニットと、
前記載置部と前記第1及び2の個別搬送コンベアとを相対的に昇降する昇降ユニットと、
を備えたことを特徴とする基板搬送システム。 - 前記第1及び第2の同時搬送コンベア上の前記基板を載置する第2の載置部を有し、前記第1及び第2の同時搬送コンベアに跨って、前記搬送方向に直交する方向に前記基板を移動する第2の移動ユニットと、
前記第2の載置部と前記第1及び2の同時搬送コンベアとを相対的に昇降する第2の昇降ユニットと、
を更に備えたことを特徴とする請求項9に記載の基板搬送システム。 - 前記第1及び第2の個別搬送コンベアは、前記搬送方向に複数枚の前記基板を並べて載置可能な長さを有し、
前記載置部が、前記第1及び第2の個別搬送コンベア上で前記搬送方向に並べて載置された複数枚の前記基板毎に設けられ、
前記移動ユニットは、前記搬送方向に並べて載置された複数枚の前記基板を、前記搬送方向に直交する方向に同時搬送することを特徴とする請求項9に記載の基板搬送システム。 - 前記第1及び第2の収納カセットは、前記搬送方向に直交する方向に並べて配置され、
前記処理装置は、前記第1及び第2の収納カセットから前記搬送方向に離間して配置されていることを特徴とする請求項9に記載の基板搬送システム。 - 基板を収納する第1及び第2の収納カセットと、前記第1及び第2の収納カセットから離間して配置され、前記基板を処理する処理装置と、の間で基板を搬送する基板搬送システムであって、
前記第1の収納カセット側に配置され、前記基板の搬送方向に直交する方向に複数枚の前記基板を並べて載置可能な幅を有し、前記複数枚の前記基板を前記搬送方向に同時搬送可能な第1の同時搬送コンベアと、
前記第2の収納カセット側に配置され、前記搬送方向に直交する方向に複数枚の前記基板を並べて載置可能な幅を有し、前記複数枚の前記基板を前記搬送方向に同時搬送可能な第2の同時搬送コンベアと、
前記処理装置側において前記第1の同時搬送コンベアと連続して配置され、前記搬送方向に直交する方向に前記複数枚の前記基板を並べて載置可能な幅を有し、前記複数枚の基板を個別に前記搬送方向に搬送可能な個別搬送コンベアと、
前記処理装置側において前記第2の同時搬送コンベアと連続して配置され、前記搬送方向に直交する方向に前記複数枚の前記基板を並べて載置可能な幅を有する第3の同時搬送コンベアと、
前記個別搬送コンベア及び前記第3の同時搬送コンベア上の前記基板を載置する載置部を有し、前記個別搬送コンベア及び前記第3の同時搬送コンベアに跨って、前記搬送方向に直交する方向に前記基板を移動する移動ユニットと、
前記載置部と、前記個別搬送コンベア及び前記第3の同時搬送コンベアと、を相対的に昇降する昇降ユニットと、
を備えたことを特徴とする基板搬送システム。
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