KR100934809B1

KR100934809B1 - 워크 수납 장치 및 워크 수납 방법

Info

Publication number: KR100934809B1
Application number: KR1020077027104A
Authority: KR
Inventors: 야스요시 기타자와
Original assignee: 신꼬오덴끼가부시끼가이샤
Priority date: 2005-06-23
Filing date: 2006-06-20
Publication date: 2009-12-31
Also published as: KR20080004620A; JP2007001716A; TW200738538A; JP4941627B2; CN101180229A; WO2006137407A1

Abstract

본 발명은 워크인 기판(W)을 수납하는 기판 수납 장치(1)에 관한 것이다.

상기 기판 수납 장치(1)는, 기판(W)이 반입된 순서대로 위로부터 수납하는 제1 기판 카셋트(10), 제1 기판 카셋트(10)에 수납된 기판(W)을 아래로부터 순서대로 반출하는 반출 컨베이어(3), 및 반출 컨베이어(3)로 반송되는 기판(W)을 위로부터 순서대로 수납하는 제2 기판 카셋트(20)를 갖추고 있다. 제1 기판 카셋트(10)로부터 제2 기판 카셋트(20)로 기판(W)이 이동 적재할 때, 기판(W)의 배치 순서가 역전하므로, 제2 기판 카셋트(20)로부터 기판(W)을 반출할 경우에는, 최초로 반입된 기판(W)으로부터 반출된다.

워크, 기판, 수납, 장치, 방법

Description

워크 수납 장치 및 워크 수납 방법{Work receiving device and work receiving method}

본 발명은 복수의 워크(work)를 차례대로 수납하고 찾는 워크 수납 장치 및 워크 수납 방법에 관한 것이다.

본 발명은 2005년6월23일에 일본국 특허청에 출원된 특원2005-183446에 기초한 우선권을 주장하고 그 내용을 여기에 원용한다.

복수의 워크를 차례대로 수납하고, 반출하는 장치로서는, 예를 들면, FPD(Flat Panel Display)용 기판을 수납하는 기판수납 장치가 알려져 있다(예를 들면, 일본국 특개평11-79388호 공보 참조).

이러한 장치에서는, 기판을 수납하는 슬롯을 상하에 배치한 카셋트와, 카셋트를 승강시키는 카셋트 승강 장치와, 카셋트 내에 아래쪽에서 진입해서 기판을 반송하는 롤러를 갖추고 있다. 롤러를 아래쪽으로부터 카셋트 내에 진입시켜, 기판을 반입하면, 기판을 상승시켜 새로운 슬롯에 기판을 반입한다. 그리고, 복수의 카셋트끼리를 이동 가능하게 배치하는 것이 있다(일본국 특개2004-155569호 공보 참조 ). 또한, 카셋트를 롤러가 있는 장소에 설치할 때의 처리를 쉽게 하기 위해서, 카셋트의 반송 수준보다도 낮은 위치에 기판을 반송하는 수준을 설정하거나 한 것이 있다(예를 들면, 일본국 특개2002-167038 참조).

이러한 장치에서는, 기판 등의 워크는, 카셋트의 승강에 의해 반입된 순서로 상하로 겹쳐 수납되므로, 워크를 카셋트로부터 반출할 경우에는, 최후에 반입한 워크로부터 반출하게 된다. 이러한 경우에는, 먼저 반입한 워크의 체류 시간이 길어져, 워크의 종류나 주위의 환경에 따라서는, 오염이나 열화가 진행해서 품질을 훼손하는 일이 있다.

이에 대하여, 워크를 임의의 위치부터 꺼낼 수 있는 로봇을 설치하면, 로봇 암을 삽입하기 위한 공간이 필요하게 되므로, 1 개의 카셋트에 수납할 수 있는 워크의 수가 줄어들어 버려, 수납 효율이 저하한다. 특히, 워크가 대형 디스플레이용의 기판인 경우에는 기판이 휘기 쉬우므로, 슬롯의 간격을 크게 하지 않으면 안 되어 수납 효율이 더욱 저하한다.

본 발명은 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 복수의 워크를 효율적으로 처리하고, 먼저 수납된 워크의 체류 시간을 줄이는 것을 주된 목적으로 한다.

본 발명의 워크 수납 장치의 특징은, 반입단에 반입된 워크를 수납하여, 반출단으로부터 반출하는 워크 수납 장치로서, 반입단에 설치되어 복수의 워크를 반입된 순서로 배열하여 수납하는 반입측 버퍼, 상기 반입측 버퍼에 수납한 복수의 상기 워크를 한 개 씩 상기 반입측 버퍼로부터 반출하는 반송부, 반출단에 설치되어 상기 반송부에 의해서 상기 반입측 버퍼로부터 반출된 상기 워크를 수납 가능하고, 수납된 순서로 상기 워크를 배열해 수납하는 반출측 버퍼, 및 상기 반송부가 상기 워크를 반출할 때마다 상기 워크의 배열이 역전하도록 상기 반입측 버퍼 및 상기 반출측 버퍼를 이동시키는 제어장치를 갖는 것이다.

이 워크 수납 장치에서는, 복수의 워크가 반입단의 반입측 버퍼에 차례로 반입되면 반입측 버퍼로부터 반출측 버퍼로 워크를 이동 적재한다. 이때 워크의 배치를 역전시키므로, 워크는 반입시의 순서로 반출된다.

본 발명의 워크 수납 장치에 있어서, 상기 제어장치는, 상기 반송부가 상기 워크를 반출할 때마다 상기 반입측 버퍼 및 상기 반출측 버퍼를 역방향으로 이동시키도록 구성한 것을 특징으로 한다.

이 워크 수납 장치에서는, 워크를 이동 적재할 때에, 양 버퍼를 역방향으로 이동시켜, 워크의 수납 순서를 역전시켜, 워크를 반입시의 순서로 반출할 수 있도록 재배치한다.

본 발명의 워크 수납 장치에 있어서, 상기 워크는 박판의 기판으로, 상기 반입측 버퍼와 상기 반출측 버퍼와는, 상기 기판을 상하로 수납 가능하고, 한편 독립적으로 승강이 자유롭게 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.

　이 워크 수납 장치에서는, 기판은 양 버퍼에 상하로 순서대로 수납된다. 기판을 이동 적재할 때는, 양 버퍼를 상하 방향으로, 한편 역방향으로 이동시키면서 기판을 재배치한다.

본 발명의 워크 수납 장치에 있어서, 상기 반입측 버퍼, 상기 반송부, 상기 반출측 버퍼를 묶어 병렬로 배치한 것을 특징으로 한다.

　이 워크 수납 장치에서는, 반입측 버퍼, 반송부와 반출측 버퍼로 1조의 수납부를 형성하여, 이 수납부를 병렬로 복수 개 설치한 것이므로, 1개의 수납부에서 워크를 이동 적재하는 사이, 다른 수납부에 워크를 반입하거나 워크를 반출하는 것이 가능하게 된다.

본 발명의 워크 수납 방법의 특징은, 반입단에 반입된 워크를 수납해, 반출단으로부터 반출하는 데 있어 복수의 워크가 반입된 순서로 반입측 버퍼에 수납하는 공정, 상기 반입측 버퍼에 수납한 복수의 상기 워크를 반입시에 순서대로 및 역순으로 한 개씩 상기 반입측 버퍼로부터 반출하는 공정, 상기 반입측 버퍼로부터 반출한 상기 워크를 반출측 버퍼로 받아들이는 순서로 수납하는 공정, 및 상기 반출측 버퍼로부터 상기 워크를 받아들이는 순서와는 반대의 순서로 반출하는 공정으로 이루어진다.

이 워크 수납 방법에서는, 반입측 버퍼에 반입한 순서로 워크를 수납한 후에, 반입측 버퍼로부터 반출측 버퍼로 워크를 이동 적재하고, 이때 워크를 재배치하는 것으로, 워크를 반입한 순서로 반출할 수 있게 된다.

본 발명의 워크 수납 방법에 있어서, 상기 반출측 버퍼로부터 상기 워크를 반출할 때에, 다른 상기 워크를 상기 반입측 버퍼로 반입하는 것을 특징으로 한다.

이 워크 수납 방법에서는, 반출측 버퍼로부터 워크를 반출할 때, 반입측 버퍼는 비어 있으므로, 이 비어 있는 반입측 버퍼에 새로운 워크를 순서대로 반입해 수납시켜 워크의 처리 효율을 향상시킨다.

본 발명에 따르면, 2 개의 버퍼의 사이에 워크를 재배치하도록 한 것으로, 워크를 반입한 순서로 반출할 수 있도록 한다. 따라서, 최초로 반입된 워크의 체류 시간을 단축할 수 있다. 체류 시간의 길이가 워크의 품질에 영향을 주는 경우에는, 최초로 반입된 워크의 체류 시간을 단축하는 것으로 품질의 격차를 방지하는 것이 가능하게 된다.

도 1은 본 발명의 제1의 실시 형태에 관한 기판 수납 장치의 구성을 나타내는 측면도이다.

도 2는 본 발명의 제1의 실시 형태에 관한 기판 수납 장치의 평면도이다.

도 3은 본 발명의 제1의 실시 형태에 관한 기판 수납 장치에 있어서, 기판을 반입할 때의 초기상태의 배치를 나타내는 도면이다.

도 4는 본 발명의 제1의 실시 형태에 관한 기판 수납 장치를 사용한, 기판의 수납 방법을 나타내는 타임차트이다.

도 5는 본 발명의 제2의 실시 형태에 관한 기판 수납 장치의 구성을 나타내는 측면도이다.

도 6은 본 발명의 제2의 실시 형태에 관한 기판 수납 장치를 사용한, 기판의 수납 방법을 나타내는 타임차트이다.

(부호의 설명)

1,51 : 기판 수납 장치(워크 수납 장치) 3 : 반송컨베이어(반송부)

10 : 제1 기판 카셋트(반입측 버퍼)

20 : 제2 기판 카셋트(반출측 버퍼) 25 : 제어장치

52 : 제1 수납부 53 : 제2 수납부

본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태에 대해 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

또한, 이하의 각 실시의 형태에 있어서, 수납 대상이 되는 워크는 유리 등으로 된 박판 상의 기판(W)으로 설명하지만, 워크는 기판(W)에 한정되지 않고 조립 도중의 부품 등이어도 좋다.

(제1의 실시 형태)

　도 1 및 도 2는, 본 발명의 제1의 실시의 형태에 있어서의 워크 수납 장치로서의 기판 수납 장치의 개략 구성을 나타낸다. 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 기판 수납 장치(1)는, 마루 면 등에 설치되는 베이스부(2)를 갖고, 베이스부(2)상에는 반송부인 반송 컨베이어(3)가 설치되어 있다.

반송 컨베이어(3)는, 연직 방향으로 상향으로 늘어나는 여러 개의 반송대(4)가 평행으로 배치되고 있고, 각 반송대(4)의 상부에는, 롤러(5)가 회전이 자유롭게 장착되어 있다. 반송대(4)는 평면에서 보아 가늘고 긴 형상을 갖고, 롤러(5)의 회 전축과 반송대(4)의 길이 방향과는 일치하고 있어, 롤러(5)의 축선 방향과 직교하는 방향으로 동일 간격으로 반송대(4)가 줄지어 있다. 각 롤러(5)는 도시하지 않은 구동장치에 연결되고 있어 각각이 회전 구동할 수 있게 되어 있다.

이 기판 수납 장치(1)에서는, 반송대(4)의 배열 방향의 일단 측의 3개의 반송대(4) 및 롤러(5)가 기판(W)의 반입단을 형성하고, 이들 반송대(4) 및 롤러(5)를 평면에서 보아 둘러싸도록 제1 기판 카셋트(10)가 배치되어 있다.

제1 기판 카셋트(10)는, 외형이 직육면체 형상으로 되어 있어, 직사각형 프레임으로 된 천정부(10A)와 저부(10B)를 복수의 지주(10C)로 연결한 구성을 갖고, 반입측 버퍼로서 기능 한다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 제1 기판 카셋트(10)의 저부(10B)는, 반입단의 3개의 반송대(4)의 외연을 맞댄 형상보다 크고, 롤러(5)와 평행인 대들보(11)가 2개 걸쳐져 있다. 대들보(11)는 저부(10B)의 일그러짐을 방지하는 것으로, 반송대(4)의 틈새로 진입 가능한 배치 및 크기로 되어 있다.

지주(10C)에는, 복수의 기판(W)을 연직 방향으로 등 간격으로 여러 개 설치하기 위한 막대 부재(棧部材, 도시 생략)가 등 간격으로 고정되어 있다. 이 막대 부재에 의해서, 기판(W)을 한 장 수납 가능한 슬롯이 연직 방향으로 여러 개 형성된다. 제1 기판 카셋트(10)의 일 단부측 및 타 단부측은 기판(W)이 출납 가능하게 열려 있다.

이러한 제1 기판 카셋트(10)는, 제1 승강기구(13)에 의해서 연직 방향으로 이동이 자유롭게 지지 되고 있다.

이 기판 수납 장치(1)에서는, 타단측의 3개의 반송대(4) 및 롤러(5)가 기 판(W)의 반출단을 형성하고 있고, 이들 반송대(4) 및 롤러(5)를 평면으로 보아 둘러 싸도록 제2 기판 카셋트(20)가 배치되어 있다.

제2 기판 카셋트(20)는 상기 제1 기판 카셋트(10)과 동일한 구성을 갖고, 반출측 버퍼로서 기능한다. 즉, 제2 기판 카셋트(20)는, 반송대(4)를 삽입 가능한 저부(10B)를 갖고, 반송대(4) 사이에 진입 가능한 대들보(11)가 2개 걸쳐져 복수의 기판(W)을 연직 방향으로 등 간격으로 여러 개 설치 가능하게 되어 있다. 제2 기판 카셋트(20)의 일 단부측 및 타 단부측은, 기판(W)을 출납 가능하도록 열려 있다.

이 제2 기판 카셋트(20)는, 제2 승강기구(14)에 의해서 연직 방향으로 이동이 자유롭게 지지되어 있다.

각 승강기구(13),(14) 및 롤러(5)의 구동장치는, 제어장치(25)에 접속되어 있다. 제어장치(25)는, CPU(중앙연산유닛)등을 갖추고, 후술하는 기판(W)의 반입 반출 동작을 제어하도록 구성되어 있다.

그　다음, 상기 실시의 형태의 작용에 대해 설명한다.

도 3은 본 발명의 제1의 실시 형태에 관한 기판 수납 장치에 있어서, 기판을 반입할 때의 초기상태의 배치를 나타내는 도면이다. 초기상태로서 도 3에 나타내는 바와 같이, 제1 기판 카셋트(10)는, 가장 하부에서 대기하고 있고, 맨 위의 막대 부재보다 근소하게 롤러(5)가 위쪽으로 돌출되어 있다. 한편, 제2 기판 카셋트(20)는, 가장 위쪽에서 대기하고 있어, 맨 밑의 막대 부재보다 근소하게 롤러(5)가 위쪽으로 돌출되어 있다.

도4의 타임 차트에 나타내는 스텝 S101과 같이, 최초로 제1 기판 카셋트(10)에 기판(W)를 반입한다. 구체적으로는, 한 장의 기판(W)이 도시를 생략한 반송 장치에 의해서 제1 기판 카셋트(10)의 일 단부측의 통로로부터 삽입된다. 제어장치(25)는, 반입단의 3개의 롤러(5)를 회전시켜, 이들 롤러(5)에 반송되도록 하여 기판(W)이 제1 기판 카셋트(10) 내로 진입한다.

한 장의 기판(W)의 반입이 종료하면, 제1 승강기구(13)가 구동해, 2번째의 막대 부재가 롤러(5)보다 약간 아래 쪽에 오도록 1 슬롯핏치 분 만큼 제1 기판 카셋트(10)를 상승시킨다. 이때 먼저 반입된 기판(W)은, 맨 위의 막대 부재에 주연부가 지지되도록 하여 상승한다. 그리고, 그 기판(W)의 아래 쪽에 2매째의 기판(W)이 상기와 같이 하여 반입된다.

이후는, 필요한 모든 기판(W)이 반입될 때까지, 같은 동작을 반복한다. 그 결과, 제1 기판 카셋트(10)에는, 복수의 기판(W)이 먼저 반입된 순서로 위로부터 수납된다.

그런 다음, 도 4의 스텝 S102 로서, 기판(W)을 제1 기판 카셋트(10)로부터 제2 기판 카셋트(20)로 이동 적재한다. 구체적으로는, 제어장치(25)가 모든 롤러(5)를 회전 구동시켜, 제1 기판 카셋트(10)의 맨 밑의 기판(W)을 반출해, 제2 기판 카셋트(20)에 배달한다.

기판(W)이 제2 기판 카셋트(20) 내에 수납되면, 제어장치(25)는, 제1 승강기구(13)를 구동시켜 제1 기판 카셋트(10)를 1 슬롯핏치 분 만큼 하강시키는 한편, 제2 승강 기구(14)를 구동시켜 제2 기판 카셋트(20)를 1 슬롯핏치 분 만큼 상승시킨다. 그 결과, 제2 기판 카셋트(20) 내의 기판(W)은, 맨 위의 막대 부재에 지지되도록 하여 상승한다.

또한, 제1 기판 카셋트(10) 아래로부터 2번째의 기판(W)이 롤러(5)에 의해서 제1 기판 카셋트(10)로부터 반출되어 제2 기판 카셋트(20)의 위로부터 2번째의 슬롯에 반입된다.

이후는, 제1 기판 카셋트(10)의 모든 기판(W)이 제2 기판 카셋트(20)로 이동 적재되기까지의 같은 동작을 반복하고, 그 후, 롤러(5) 및 승강기구(13),(14)를 정지시킨다. 이렇게 하여, 제1 기판 카셋트(10)는 비게 되고, 제2 기판 카셋트(20)에는 복수의 기판(W)이 먼저 반입된 순서로 아래로부터 수납된다.

이 기판 수납 장치(1)로부터 기판(W)을 반출할 때는, 스텝 S103 으로서, 제2 기판 카셋트(20)로부터 기판(W)을 한 장씩 반출한다. 제어장치(25)는, 반출단의 3개의 롤러(5)를 회전시켜, 맨 밑, 즉 반입단에 최초로 반입된 기판(W)을 제2 기판 카셋트(20)의 타 단부로부터 반출하여, 도시 않은 다른 장치로 전달한다. 다른 장치는, 반송 장치라도 좋고 공지의 생산 장치여도 좋다. 기판(W)을 한 장 반출하면, 제2 승강기구(14)를 구동시켜, 제2 기판 카셋트(20)를 슬롯핏치 분 만큼 하강시킨다. 그 결과, 아래로부터 2번째, 즉 반입단에 2번째로 반입된 기판(W)이 기판 수납 장치(1)로부터 반출된다. 이후는, 필요한 기판(W)을 모두 반출할 때까지 같은 동작을 반복한다.

이 사이, 제1 기판 카셋트(10)는 비어 있으므로, 새로운 기판(W)을 반입할 수 있다. 이로 인해, 제2 기판 카셋트(20)로부터 기판(W)을 반출하는 동안에, 제1 기판 카셋트(10)에는 새로운 기판(W)이 수납된다. 따라서, 이후는, 스텝 S102 와 스템 S103 을 반복하여 복수의 기판(W)을 반입하고, 반입한 순서대로 반출할 수 있게 된다.

이 실시의 형태에 의하면, 복수의 기판(W)을 차례로 수납하여, 제1, 제2 기판 카셋트(10),(20) 간에 기판(W)의 이동 적재를 실시하여 기판(W)을 재배치하도록 한 것으로, 먼저 반입한 기판(W)으로부터 반출하는 것이 가능하게 된다. 이 때문에, 먼저 반입한 기판(W)의 체류 시간이 증대하는데 기인하는 품질의 격차를 방지할 수 있다. 또한, 먼저 반입된 기판(W)의 체류시간이 짧아지므로, 먼지가 쌓이는 것 등을 최소한으로 줄일 수 있다.

또한, 제1, 제2 기판 카셋트(10),(20)는, 역방향으로 승강 동작을 실시하는 것만으로 끝나므로, 장치 구성을 간략화할 수 있다. 따라서, 기판 카셋트(10),(20)의 대형화가 용이하게 되어, 대형 기판으로의 대응이 용이하게 된다. 제1, 제2 기판 카셋트(10),(20)에는, 로봇의 암을 삽입하기 위한 공간을 마련할 필요가 없기 때문에, 수납 효율을 높일 수 있다.

또한, 제2 기판 카셋트(20)로부터 기판(W)을 반출하는 동안에, 제1 기판 카셋트(10)에 새로운 기판(W)을 반입하도록 하여, 다수의 기판(W)을 효율 좋게 반입 및 반출할 수 있다.

(제2의 실시의 형태)

본 발명의 제2의 실시의 형태에 대해 도면을 참조해 상세하게 설명한다. 또한, 제1의 실시의 형태와 같은 구성요소에는, 동일한 부호를 첨부한다. 또한, 중복되는 설명은 생략한다.

도 5는 본 발명의 제2의 실시 형태에 관한 기판 수납 장치의 구성을 나타내는 측면도이다. 도 5에 나타내는 바와 같이, 기판 수납 장치(51)는, 제1 수납부(52), 제2 수납부(53)가 병렬로 배치되고, 제1 수납부(52) 또는 제2 수납부(53)의 한편에 기판(W)을 반입하는 반입측 롤러 컨베이어(54), 제1 수납부(52) 또는 제2 수납부(53)의 한편으로부터의 기판(W)을 반출하는 반출측 롤러 컨베이어(54)와 제어장치(25)를 갖추고 있다.

제1 수납부(52) 및 제2 수납부(53)는, 각각이 제1의 실시의 형태의 기판 수납 장치(1)와 같은 구성으로 되어 있다. 즉, 베이스부(2)상에 반송 컨베이어(3)가 설치되고 있고, 반송 컨베이어(3)의 길이 방향으로 제1 기판 카셋트(10)와 제2 기판 카셋트(20)가 배치되어 각각이 제1, 제2 승강기구(13),(14)에 의해서 독립적으로 승강이 자유롭게 지지되어 있다.

반입측 롤러 컨베이어(54)는, 제1, 제2 수납부(52),(53)의 반송 방향으로 기판(W)을 이동시키는 롤러(60)가 다수 설치되어 있고 그 단부(54A),(54B)는 제1, 제2 수납부(52),(53)의 각각의 반입단에 대응해서 설치되어 있다. 또한, 반출단(54A),(54B)에는, 롤러(61)가 롤러(60)의 회전 방향과 직교하는 방향으로 회전 가능하게 여러 개 설치되어 있다. 마찬가지로, 반출측 롤러 컨베이어(55)는, 기판(W)을 반송 방향으로 이동시키는 롤러(60)가 다수 설치되어 있다.

제1, 제2 수납부(52),(53)의 반출단에 대응하는 단부(55A),(55B)에는, 롤러(60)에 더하여, 롤러(61)가 기판(W)의 반출 방향과 직교하는 방향으로 기판(W)을 반송 가능하게 다수 설치되어 있다. 또한, 롤러(61)는, 승강이 자유롭게 설치되는 것이 바람직하다.

그 다음, 이 실시의 형태의 작용에 대해 설명한다.

도 6은 본 발명의 제2의 실시 형태에 관한 기판 수납 장치를 사용한, 기판의 수납 방법을 나타내는 타임차트이다. 이하에서는, 도 6의 타임차트에 나타내는 바와 같이, 제1 수납부(52)에 먼저 기판(W)을 반입하는 경우에 대해 설명하지만, 제2 수납부(53)로부터 먼저 기판(W)을 반입해도 좋다.

우선, 스텝 S201 에 나타내는 바와 같이, 제1 수납부(52)에 기판(W)을 반입한다. 기판(W)은, 반입측 롤러 컨베이어(54)로부터 제1 수납부(52)의 제1 기판 카셋트(10)에, 위로부터 차례대로 반입된다. 제1 기판 카셋트(10)의 모든 슬롯에 기판(W)을 수납하면, 스텝 S202 로 진행된다.

　스텝 S202 에서는, 제1 수납부(52)에 있어서 제1 기판 카셋트(10)로부터 제2 기판 카셋트(20)에 기판(W)을 한 장씩 이동 적재한다. 이때, 제어장치(25)는, 제1, 제2 기판 카셋트(10),(20)를 역방향으로 1 슬롯핏치 분 씩 이동시켜, 먼저 반입된 기판(W)을 제2 기판 카셋트(20)의 아래로부터 차례로 수납시킨다.

이 스텝 S202 에서는, 반입측 롤러 컨베이어(54)로부터 기판(W)이 제2 수납부(53)의 제1 기판 카셋트(10)로 반입된다. 기판(W)은, 반입측 롤러 컨베이어(54)의 단부로부터 롤러(61)의 회전에 의해서 단부(54B)로 반송되고, 여기로부터 제2 수납부(53)의 제1 기판 카셋트(10)에 위로부터 차례로 반입된다.

제1, 제2 수납부(52),(53)의 각 제1 기판 카셋트(10)에는, 같은 매수의 기판(W)이 수납되므로, 제1 수납부(52)에서의 기판(W)의 이동 적재가 종료함과 거의 동시에, 제2 수납부(53)로의 기판(W)의 반입이 종료한다.

스텝 S203 에서, 제1 수납부(52)로부터 반출측 롤러 컨베이어(55)에 기판(W)을 한 장씩 반출한다. 이때의 제2 기판 카셋트(20)는 1 슬롯핏치 분 씩 차례로 하강시키고, 기판(W)은 먼저 반입된 것으로부터 차례로 반출된다. 이와 동시에, 제1 수납부(52)가 비어 있는 제1 기판 카셋트(10)에 반출측 롤러 컨베이어(55)로부터 기판(W)이 한 장씩 반입되어 제1 기판 카셋트(10) 위로부터 차례로 수납된다.

이 스텝 S203 에 있어서는, 제2 수납부(53)의 제1 기판 카셋트(10)에 수납한 기판(W)을 제2 기판 카셋트(20)로 이동 적재한다. 제1, 제2 기판 카셋트(10),(20)는 역방향으로 승강하여, 제2 기판 카셋트(20)에는, 먼저 반입된 기판(W)이 아래로부터 차례로 수납된다.

계속 되는 스텝 S204 에서는, 제1 수납부(52)에서 기판(W)의 이동 적재를 실시함과 동시에, 제2 수납부(53)의 제2 기판 카셋트(20)로부터 기판(W)을 차례로 반출한다. 제2 수납부(53)에 있어서, 기판(W)은, 먼저 반입된 것으로부터 차례로 반출측 롤러 컨베이어(55)로 반출된다. 또한, 제2 수납부(53)에서는, 비어 있는 제1 기판 카셋트(10)에 기판(W)이 위로부터 차례로 반입된다.

이후는, 스텝 S203 과 스텝 S204 를 교대로 실시해 기판(W)을 수납된 순서로 반출한다.

제2의 실시의 형태에 의하면, 제1 수납부(52), 제2 수납부(53)를 병렬로 설치하는 것으로 다수의 기판(W)을, 수납한 순서로 반출하는 것이 가능하게 되어, 작업 효율이 향상된다. 그 외의 효과는, 제1의 실시의 형태와 같다.

본 발명은, 상기한 각 실시의 형태에 한정되지 않고 넓게 응용할 수 있다.

예를 들면, 기판(W)의 반송은, 롤러에 한정되지 않고 에어 부상을 이용해도 좋다.

기판(W)을 대략 수평으로 반송해, 상하로 줄지어 수납하는 대신에, 기판(W)을 대략 수직으로 세운 상태로 반송 및 수납해도 좋다. 이 경우에, 제1, 제2 기판 카셋트(10),(20)는, 기판(W)을 세운 채로 평행으로 수납하도록 구성되어 제어장치(25)는, 제1, 제2 기판 카셋트(10),(20)를 1 슬롯핏치 분 씩 좌우 방향, 또한 역방향으로 이동시킨다. 이러한 구성에서도 상기와 같은 효과를 얻을 수 있다. 이 경우에, 기판(W)은, 수직에 가깝게 경사시킨 자세로 롤러 반송해도 좋고, 기판(W)의 하단에 맞닿도록 아래쪽으로 롤러를 설치하거나 해도 좋다.

　제2의 실시의 형태에 있어서, 수납부{제1 수납부(52), 제2 수납부(53)}의 수를 3개 이상으로 하면, 한층 더 다수의 기판(W)을 효율 좋게 처리할 수 있다.

본 발명은 기판 등의 워크를 수납하는 장치로서, 반입한 순서로 반출시킬 수 있는 장치에 적용할 수 있다.

Claims

반입단과 반출단과의 사이에 병렬로 설치된 제1 수납부 및 제2 수납부를 구비하고,

상기 제1 수납부 및 상기 제2 수납부는 각각, 상기 반입단으로부터 반입된 복수의 워크를 반입된 순서로 배열하여 수납하는 반입측 버퍼와, 상기 반입측 버퍼에 수납된 복수의 상기 워크를 한 개씩 상기 반입측 버퍼로부터 반출하는 반송부와, 상기 반송부에 의해서 상기 반입측 버퍼로부터 반출된 상기 워크를 수납가능하고, 수납순서로 상기 워크를 배열해 수납하는 상기 반출단에 설치된 반출측 버퍼를 가지고,

상기 제1수납부 또는 상기 제2 수납부의 반송부가 상기 워크를 반출할 때, 상기 워크가 반입된 순서와 역순으로 배열되도록 상기 제1 수납부 또는 상기 제2 수납부의 반입측 버퍼 및 상기 제1 수납부 또는 상기 제2 수납부의 반출측 버퍼를 이동시키는 제어장치와,

상기 반입단에 설치되어, 상기 제1 수납부 또는 상기 제2 수납부의 반입측 버퍼에 상기 워크를 반입하는 반입측 컨베이어와,

상기 반출단에 설치되어, 상기 제1 수납부 또는 상기 제2 수납부의 반출측 버퍼로부터 상기 워크를 반출하는 반출측 컨베이어를 갖춘 것을 특징으로 하는 워크 수납 장치.
제1항에 있어서,

상기 제어장치는, 상기 반송부가 상기 워크를 반출할 때, 상기 반입측 버퍼 및 상기 반출측 버퍼를 서로 역방향으로 이동시키도록 구성한 것을 특징으로 하는 워크 수납 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,

상기 워크는 박판의 기판이고, 상기 반입측 버퍼와 상기 반출측 버퍼는 상기 기판을 상하로 수납 가능하면서 독립적으로 승강이 자유롭게 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 워크 수납 장치.
제1항에 있어서,

상기 반출측 컨베이어가 상기 제1 수납부의 반출측 버퍼로부터 상기 워크를 반하는 것과 동시에 상기 반입측 컨베이어가 상기 제1 수납부의 반입측 버퍼에 상기 워크를 반입할 때, 상기 제2 수납부의 반송부가 상기 제2 수납부의 반입측 버퍼에 수납된 상기 워크를 상기 제2 수납부의 반출측 버퍼로 이동시키고,

상기 반출측 컨베이어가 상기 제2 수납부의 반출측 버퍼로부터 상기 워크를 반출하는 것과 동시에 상기 반입측 컨베이어가 상기 제1 수납부의 반입측 버퍼에 상기 워크를 반입할 때, 상기 제1 수납부의 반송부가 상기 제1 수납부의 반입측 버퍼에 수납된 상기 워크를 상기 제1 수납부의 반출측 버퍼로 이동시키는 것을 특징으로 하는 워크 수납장치.
병렬로 설치된 각각이 반입측 버퍼와 반출측 버퍼를 가지는 제1 수납부, 및 제2의 수납부를 구비하는 워크 수납장치의 워크 수납방법에서,

반입단에 반입된 워크를 수납하고, 반출단으로부터 반출하는 데 있어, 복수의 워크를 반입된 순서로 상기 제1 수납부 또는 상기 제2 수납부의 반입측 버퍼에 수납하는 제1의공정,

상기 제1 수납부의 반입측 버퍼에 수납된 복수의 상기 워크를 반입시의 순서대로 및 역순으로 한 개씩 상기 제1 수납부의 반입측 버퍼로부터 반출하고, 상기 제1 수납부의 반입측 버퍼로부터 반출된 상기 워크를 상기 제1 수납부의 반출측 버퍼로 받아들이는 순서로 수납하는 제2의 공정,

상기 제2 수납부의 반입측 버퍼에 수납된 복수의 상기 워크를 반입시의 순서대로 및 역순으로 한 개씩 상기 제2 수납부의 반입측 버퍼로부터 반출하고, 상기 제2 수납부의 반입측 버퍼로부터 반출된 상기 워크를 상기 제2 수납부의 반출측 버퍼로 받아들이는 순서로 수납하는 제3의 공정,

상기 제1 수납부 또는 상기 제2 수납부의 반출측 버퍼로부터 상기워크를 받아들이는 순서와는 반대의 순서로 반출하는 제4의 공정을 가지고,

상기 제4의 공정에서, 상기 제1 수납부의 반출측 버퍼로부터 상기 워크를 반출하는 것과 동시에 상기 제1의 공정에서 상기 제1 수납부의 반입측 버퍼에 상기 워크를 수납할 때, 상기 제3의 공정을 행하고,

상기 제4의 공정에서, 상기 제2 수납부의 반출측 버퍼로부터 상기 워크를 반출하는 것과 동시에, 상기 제1의 공정에서 상기 제2 수납부의 반입측 버퍼에 상기 워크를 수납할 때, 상기 제2의 공정을 행하는 것을 특징으로 하는 워크 수납 방법.
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