KR200469263Y1 - 유리 기판 운송 장치 - Google Patents

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KR200469263Y1 KR2020120007714U KR20120007714U KR200469263Y1 KR 200469263 Y1 KR200469263 Y1 KR 200469263Y1 KR 2020120007714 U KR2020120007714 U KR 2020120007714U KR 20120007714 U KR20120007714 U KR 20120007714U KR 200469263 Y1 KR200469263 Y1 KR 200469263Y1
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Abstract

유리 기판을 로드 및 언로드 하기 위해 이동 메커니즘과 결합하는 유리 기판 운송 장치는 이동 가능한 좌석, 상기 이동 가능한 좌석의 제 1 가장자리에 위치되는 제 1 보조 지지 모듈 및 상기 이동 가능한 좌석의 제 2 가장자리에 위치되는 제 2 보조 지지 모듈을 포함한다. 상기 이동 가능한 좌석은 상기 유리 기판을 지지하도록 수직으로 이동 가능한 지지 요소를 포함한다. 제 1 및 제 2 보조 지지 모듈들은 유지 플랫폼에 대항하여 수직으로 이동하도록 보조 지지 부재를 구동시키는 적어도 하나의 제 2 동력 리프트 유닛 및 적어도 하나의 보조 지지 부재를 각각 포함한다. 상기 유리 기판의 가장자리 영역을 지지하는 상기 보조 지지 모듈들을 통해, 상기 유리 기판은 상기 지지 요소의 고르지 못한 지지 힘에 의해 야기되는 구부러짐으로부터 방지될 수 있다.

Description

유리 기판 운송 장치{GLASS SUBSTRATE TRANSPORT APPARATUS}
본 출원은 운송 장치에 관련되며, 특히 유리 기판 운송 장치에 관련된다.
평면 스크린 디스플레이 장치들의 빠른 발달은 모든 종류의 얇은 패널 설계 및 큰 크기 패널 기술들을 많이 산출했다. 최근 몇 년 동안 태블릿 컴퓨터들 및 작고 중간 크기의 제품들 또한 매우 대중화되었다. 이것들은 모두 더 얇고 더 가벼운 패널들에 대한 많은 수요를 일으킨다. 결과적으로, 다량의 연구 개발 노력들은 더 얇고 더 강한 유리를 만드는 데 바쳐졌다. 패널들의 제작 공정 동안 필터들 및 트랜지스터들은 유리 기판상에 만들어져야 하며, 유리 기판은 몇 번이고 이동되고 운송되어야 한다. 손상 없이 유리 기판을 운송하고 정밀한 로딩(loading) 및 언로딩(unloading)을 수행하는 방법은 매우 중요하다.
기판 운송 장치(1)를 통해 유리 기판(2)을 운송하는 종래의 기술을 위해 도 1을 참조하시오. 기판 운송 장치(1)는 유리 기판(2)의 손상 또는 부정확한 위치를 피하기 위해 및 운송 동안 유리 기판(2)의 이동 또는 낙하를 방지하기 위해 진공 척 또는 정전기 척을 통해 유리 기판(2)을 유지한다. 유리 기판(2)은 기계적인 암(4)을 통해 로드되고 언로드되며, 리프트 메커니즘(3)을 통해 기판 운송 장치(1)의 플랫폼 위에 위치되도록 위로 움직여지거나 아래로 움직여진다. 도 1에 선 A-A로 취해진 단면을 위해 도 2를 또한 참조하시오. 리프트 메커니즘(3)은 유리 기판(2)의 무게 중심 영역을 지지한다. 유리 기판(2)이 더 얇아질 때, 그것은 더 쉽게 구부러짐 현상이 발생한다. 이것은 기계적인 암(4)의 로딩 및 언로딩을 더 어렵게 만든다. 더욱이, 구부러진 유리 기판(2)은 작동 동안 더 쉽게 흔들려서, 유리 기판(2)의 크래킹 또는 손상의 가능성 또한 증가시킨다.
본 발명의 주된 목적은 유리 기판들이 수직 이동들 동안 고르지 못한 힘들에 의해 야기되는 구부러짐으로부터 방지하는 것이다.
앞의 목적을 달성하기 위해, 본 출원은 유리 기판을 로드 및 언로드 하기 위해 이동 메커니즘과 결합하는 유리 기판 운송 장치를 제공한다. 유리 기판 운송 장치는 이동 가능한 좌석, 제 1 보조 지지 모듈 및 제 2 보조 지지 모듈을 포함한다. 이동 가능한 좌석은 유리 기판을 전달하기 위한 유지 플랫폼, 유지 플랫폼상에 위치된 지지 요소 및 유지 플랫폼에 대항하여 수직으로 이동하도록 지지 요소를 구동시키는 제 1 동력 리프트 유닛을 포함한다. 제 1 및 제 2 보조 지지 모듈들은 유리 기판의 가장자리 영역의 지지를 돕기 위해 이동 가능한 좌석의 제 1 가장자리로부터 멀리 떨어진 제 2 가장자리 및 제 1 가장자리에 각각 위치된다. 제 1 및 제 2 보조 지지 모듈들은 유지 플랫폼에 대항하여 수직으로 이동하도록 보조 지지 부재를 구동시키기 위해 적어도 하나의 제 2 동력 리프트 유닛 및 적어도 하나의 보조 지지 부재를 각각 포함한다.
전술한 구조에 의해, 제 1 및 제 2 보조 지지 모듈들은 유리 기판의 가장자리 영역을 위해 보조 지지를 제공하며, 유리 기판이 수직으로 이동될 때 지지 요소의 고르지 못한 지지 힘에 의한 구부러짐으로부터 유리 기판을 막을 수 있고, 이동 메커니즘에 의해 유리 기판을 부정확하게 로딩 및 언로딩 하는 것을 피할 수 있다. 게다가, 구부러짐에 의해 야기되는 유리 기판의 크래킹 또는 손상 또한 피할 수 있다.
본 출원의 전술한 것뿐만 아니라, 추가의 목적들, 특징들 및 이점들은 부수하는 도면들을 참조하여 계속될, 다음의 상세한 설명으로부터 더 쉽게 명백해질 것이다.
본 명세서 내에 포함되어 있음.
도 1은 종래 기술의 사시도이다.
도 2는 종래 기술의 측면도로서 지지 상태를 도시한다.
도 3은 본 출원의 실시예의 사시도이다.
도 4는 본 출원의 실시예의 블록 다이어그램이다.
도 3 및 4를 참조하여, 본 출원은 유리 기판(glass substrate; 20)을 로드(load)하고 언로드(unload)하기 위해 이동 메커니즘(moving mechanism; 10)과 결합하는 유리 기판 운송 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 유리 기판 운송 장치는 이동 가능한 좌석(movable seat; 30), 제 1 보조 지지 모듈(first ancillary support module; 40) 및 제 2 보조 지지 모듈(second ancillary support module; 50)을 포함한다. 이동 가능한 좌석(30)은 유리 기판(20)을 전달하기 위한 유지 플랫폼(holding platform; 31), 유지 플랫폼(30) 상에 위치되는 지지 요소(support element; 32) 및 유지 플랫폼(31)에 대항하여 수직으로 이동하도록 지지 요소(32)를 구동시키기 위한 제 1 동력 리프트 유닛(first power lift unit; 33)을 포함한다. 유지 플랫폼(31)은, 유지 플랫폼(31) 위에 위치되도록 요구될 때 유리 기판(20)을 간섭하는 것을 피하기 위해 구멍(aperture; 311) 내에 완전히 움츠러질 수 있는 지지 요소(32)를 유지하도록 적어도 하나의 구멍을 구비한다. 제 1 동력 리프트 유닛(The first power lift unit; 33)은 유지 플랫폼(31)에 대항하여 수직 이동을 제어하도록 제 1 동력 리프트 유닛(33)에 리프트 신호(lift signal; 61)를 제공하는 리프트 구동 모듈(lift driving module; 60)에 전자적으로 연결된다. 제 1 동력 리프트 유닛(33)은 지지 요소(32)를 수직으로 이동하도록 모터, 공기 리프트 장비(pneumatic lift equipment), 유압 리프트 장비(hydraulic lift equipment) 등일 수 있다. 게다가, 이 실시예에서는, 유리 기판(20)의 무게 중심에 대해 90도로 서로로부터 대칭으로 이격되는 네 개의 지지 요소들(32)이 있다. 이동 메커니즘(10)은, 유리 기판(20)의 폭과 일치하도록 서로로부터 이격되는, 두 개의 암들(arms; 11)을 구비하여, 유리 기판(20)은 지속적으로 로드되고 언로드 될 수 있다.
제 1 및 제 2 보조 지지 모듈들(40 및 50)은 유리 기판(20)의 가장자리 영역(edge area; 21)의 지지를 돕도록 이동 가능한 좌석(30)의 제 1 가장자리(34)로부터 멀리 떨어진 제 2 가장자리(35) 및 제 1 가장자리(34)에 각각 위치된다. 제1 및 제 2 보조 지지 모듈들(40 및 50)은 유지 플랫폼(31)에 대항하여 수직으로 이동하도록 보조 지지 부재(41 또는 51)를 구동시키기 위한 적어도 하나의 제 2 동력 리프트 유닛(42 또는 52) 및 적어도 하나의 보조 지지 부재(41 또는 51)를 각각 포함한다. 제 2 동력 리프트 유닛들(42 및 52)은 보조 지지 부재들(41 및 51)을 수직으로 이동하도록 모터들, 공기 리프트 장비, 유압 리프트 장비 등일 수 있다. 지지 요소(32), 제 1 보조 지지 모듈(40) 및 제 2 보조 지지 모듈(50)을 수직으로 및 동시에 이동시키기 위해, 및 유리 기판(20)이 고르지 못한 힘들을 받는 것으로부터 피하기 위해, 본 출원은 제 1 및 제 2 보조 지지 모듈들(40 및 50)이 수직으로 지지 요소(32)를 동시에 이동하도록 제 1 동력 리프트 유닛(33) 및 제 2 동력 리프트 유닛들(42 및 52)로 리프트 구동 모듈(60)에 의해 보내지는 리프트 신호(61)를 획득하도록 제 2 동력 리프트 유닛들(42 및 52) 및 리프트 구동 모듈(60)에 전자적으로 연결되는 신호 획득 모듈(90)을 더 포함한다.
이 실시예에서, 제 1 및 제 2 보조 지지 모듈들(40 및 50)은 두 개의 보조 지지 부재들(41 또는 51), 및 두 개의 제 2 동력 리프트 유닛들(42 또는 52)을 각각 구비한다. 두 개의 보조 지지 부재들(41 및 51)은 유리 기판(20)의 폭보다 더 작은 거리로 서로로부터 이격된다. 보조 지지 부재들(41 및 51)이 이동 메커니즘(10)을 거쳐 유리 기판(20)의 로딩 및 언로딩을 간섭하는 것으로부터 피하기 위해, 두 개의 보조 지지 부재들(41 및 51)은 두 개의 암들(11) 사이보다 더 작은 거리에서 서로로부터 이격되며, 즉, 암들(11) 및 보조 지지 부재들(41 및 51) 사이에 간섭을 방지하기 위해 보조 지지 부재들(41 및 51)이 두 암들(11) 사이에 배치된다.
이동 메커니즘(10)의 로딩 및 언로딩 다양성을 높이기 위해, 유리 기판(20) 또한 다른 방향들로 로드 및 언로드 될 수 있다. 이동 가능한 좌석(30)은 제 1 가장자리(34)에 수직인 제 3 가장자리(36) 및 제 3 가장자리(36)로부터 멀리 떨어진 제 4 가장자리(37)를 더 구비한다. 제 3 보조 지지 모듈(70) 및 제 4 보조 지지 모듈(80)은 유리 기판(20)의 가장자리 영역(21)의 지지를 돕도록 제 3 가장자리(36) 및 제 4 가장자리(37)에 각각 위치된다. 제 3 및 제 4 보조 지지 모듈들(70 및 80)은 제 1 및 제 2 보조 지지 모듈들(40 및 50)과 같이 구조되고, 또한 보조 지지 부재(71 또는 81) 및 제 2 동력 리프트 유닛(72 또는 82)을 각각 구비한다. 유리 기판(20)은 직사각형인 것으로 나타내진다. 유리 기판(20)이 제 1 가장자리(34)를 통해 이동 가능한 좌석(30) 안으로 로드될 때, 제 3 및 제 4 보조 지지 모듈들(70 및 80)을 접촉하지 않고 제 1 및 제 2 보조 지지 모듈들(40 및 50)로부터 보조 지지를 받는다. 그러나 제 3 또는 제 4 가장자리(36 또는 37)를 거쳐 이동 가능한 좌석(30)을 들어갈 때, 유리 기판(20)은 제 3 및 제 4 보조 지지 모듈들(70 및 80)로부터 보조 지지를 받는다.
결론적으로, 본 출원은 다음과 같은 특징들을 제공한다:
유리 기판의 가장자리 영역을 지지하는 제 1, 제 2, 제 3 및 제 4 보조 지지 모듈들을 통해, 지지 요소의 고르지 못한 지지 힘에 의해 야기되는 수직 이동 동안 유리 기판의 구부러짐은 방지될 수 있으며, 이동 메커니즘에 의한 유리 기판의 부정확한 로딩 및 언로딩의 문제점 또한 피해질 수 있다.
구부러짐에 의해 야기되는 유리 기판의 크래킹 또는 손상은 피할 수 있다.
신호 획득 모듈을 통해 리프트 신호를 획득하는 것에 의해, 제 1 및 제 2 동력 리프트 유닛들은 유리 기판이 수직 이동들 동안 고르지 못한 힘들을 받음으로부터 피하도록 동시에 위 및 아래도 이동될 수 있다.
간략하게, 본 출원은 종래의 기술들을 넘어 상당한 개선들을 제공한다.
본 출원의 바람직한 실시예가 공개를 위해 설명되었지만, 본 출원의 한정이 아니며, 본 출원의 공개된 실시예의 변형들뿐만 아니라 다른 실시예들이 당업자들에게 나타날 수 있다. 따라서, 첨부된 청구항들은 본 출원의 사상 및 범위에서 벗어나지 않은 모든 실시예들을 포함하도록 의도된다.
10: 이동 메커니즘
11: 암
20: 유리 기판
21: 가장자리 영역
30: 이동 가능한 좌석
31: 유지 플랫폼
32: 지지 요소
33: 제 1 동력 리프트 유닛
34: 제 1 가장자리
35: 제 2 가장자리
36: 제 3 가장자리
37: 제 4 가장자리
311: 구멍
40: 제 1 보조 지지 모듈
41, 51, 71, 81: 보조 지지 부재
42, 52, 72, 82: 제 2 동력 리프트 유닛
50: 제 2 보조 지지 모듈
60: 리프트 구동 모듈
61: 리프트 신호
70: 제 3 보조 지지 모듈
80: 제 4 보조 지지 모듈
90: 신호 획득 모듈

Claims (8)

  1. 유리 기판을 전달하기 위한 유지 플랫폼, 상기 유지 플랫폼상에 위치되는 지지 요소 및 상기 유지 플랫폼에 대항하여 수직으로 이동하도록 상기 지지 요소를 구동시키기 위한 제 1 동력 리프트 유닛을 포함하는 이동 가능한 좌석; 및
    상기 유리 기판의 가장자리 영역의 지지를 돕도록 상기 이동 가능한 좌석의 제 1 가장자리로부터 멀리 떨어진 제 2 가장자리 및 상기 제 1 가장자리에 각각 위치되는 제 1 보조 지지 모듈 및 제 2 보조 지지 모듈, 상기 제 1 및 제 2 지지 모듈들은 상기 유지 플랫폼에 대항하여 수직으로 이동하도록 적어도 하나의 보조 지지 부재를 구동시키기 위한 적어도 하나의 제 2 동력 리프트 유닛 및 적어도 하나의 보조 지지 부재를 각각 포함함;
    을 포함하고,
    상기 유리 기판을 로드 및 언로드 하기 위해 이동 메커니즘과 결합하는 유리 기판 운송 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    수직 이동들을 제어하도록 상기 제 1 동력 리프트 유닛에 전기적으로 연결되는 리프트 구동 모듈을 더 포함하는, 유리 기판 운송 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제 1 동력 리프트 유닛 및 상기 제 2 동력 리프트 유닛들에게 보내고 상기 리프트 구동 모듈로부터 리프트 신호를 획득하도록 상기 리프트 구동 모듈 및 상기 제 2 동력 리프트 유닛들에 전기적으로 연결되는 신호 획득 모듈을 더 포함하는, 유리 기판 운송 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제 1 동력 리프트 유닛 및 상기 제 2 동력 리프트 유닛은 모터들, 공기 리프트 장비 및 유압 리프트 장비로 구성되는 그룹으로부터 선택되는, 유리 기판 운송 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 이동 가능한 좌석은 상기 유리 기판의 무게 중심에 대해 90도로 서로로부터 대칭으로 이격되는 네 개의 지지 요소들을 포함하는, 유리 기판 운송 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제 1 보조 지지 모듈 및 상기 제 2 보조 지지 모듈은 두 개의 보조 지지 부재들 및 두 개의 제 2 동력 리프트 모듈들을 각각 포함하고, 상기 두 개의 지지 부재들은 상기 유리 기판의 폭보다 더 작은 거리에서 서로로부터 이격되는, 유리 기판 운송 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 이동 가능한 좌석은 상기 제 1 가장자리에 수직인 제 3 가장자리 및 상기 제 3 가장자리로부터 멀리 떨어진 제 4 가장자리를 더 포함하고, 상기 이동 가능한 좌석의 상기 제 3 가장자리 및 상기 제 4 가장자리에는 상기 유리 기판의 상기 가장자리 영역의 지지를 돕도록 제 3 보조 지지 모듈 및 제 4 보조 지지 모듈이 각각 제공되는, 유리 기판 운송 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 유리 플랫폼은 상기 지지 요소를 유지하도록 적어도 하나의 구멍을 포함하는, 유리 기판 운송 장치.
KR2020120007714U 2012-01-31 2012-08-30 유리 기판 운송 장치 KR200469263Y1 (ko)

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TW101201753U TWM431163U (en) 2012-01-31 2012-01-31 Glass substrate transportation device

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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20040105729A (ko) * 2002-02-25 2004-12-16 동경 엘렉트론 주식회사 반도체 처리 시스템에 있어서의 지지 기구
KR20060118394A (ko) * 2003-07-04 2006-11-23 로제 가부시키가이샤 박판상 기판의 반송 장치 및 그 반송 제어 방법
KR20090084778A (ko) * 2006-08-31 2009-08-05 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 기판 탑재 기구, 기판 주고받음 방법, 기판 처리 장치 및 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체
KR20110131837A (ko) * 2010-05-31 2011-12-07 주식회사 밀레니엄투자 선형 기판이송장치를 갖는 기판처리시스템

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20040105729A (ko) * 2002-02-25 2004-12-16 동경 엘렉트론 주식회사 반도체 처리 시스템에 있어서의 지지 기구
KR20060118394A (ko) * 2003-07-04 2006-11-23 로제 가부시키가이샤 박판상 기판의 반송 장치 및 그 반송 제어 방법
KR20090084778A (ko) * 2006-08-31 2009-08-05 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 기판 탑재 기구, 기판 주고받음 방법, 기판 처리 장치 및 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체
KR20110131837A (ko) * 2010-05-31 2011-12-07 주식회사 밀레니엄투자 선형 기판이송장치를 갖는 기판처리시스템

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