JP2003528323A - 回路基板テスター - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
本発明は回路基板のテスターに関し、検査区画と、検査区画へ平行な平面内を移動するために配置された接触フィンガーであって、2つの接触フィンガーは検査電流回路の構成要素として1対のプローブを形成し、検査回路基板の回路基板検査ポイントの上に接触フィンガーを配置するための制御手段であって、複数の回路基板が検査手順の実行中において同時にテスターの中へ挿入でき、そして2組の接触フィンガーであって、1組は検査回路基板の表面側を検査するために且つ他の組は裏面側を検査するために配置されているものとを備える。本発明は、2組の接触フィンガーの間に少なくとも2つの検査用回路基板を収容するための部分を含む保持手段を備え、少なくとも1つの検査回路基板は接触フィンガーの2組のセットの1つに対してその表面側を向けて且つ他の検査用回路基板はその裏面側を向けて保持手段の中へ挿入でき、且つ検査手順の間、検査回路基板の表面及び裏面側の両方の上の回路基板検査ポイントに両方の組の接触フィンガーが接触できるようにした制御手段を備えることを特徴とする。
Description
【0001】
本発明は、回路基板のテスターに関する。該テスターは、検査区画と検査区画
に対し平行する平面内において移動するために配置された接触フィンガーであっ
て、2つの接触フィンガーが検査電流回路の構成要素として1対のプローブを形
成し、検査すべき回路基板の回路基板検査ポイントの上に接触フィンガーを配置
するための制御手段であって、複数の回路基板を検査手順実行中において同時に
テスターの中へ挿入でき、そして一方は検査すべき回路基板の表面側を検査する
ために且つ他方は裏面側を検査するために配置されている2組の接触フィンガー
を備えている。
に対し平行する平面内において移動するために配置された接触フィンガーであっ
て、2つの接触フィンガーが検査電流回路の構成要素として1対のプローブを形
成し、検査すべき回路基板の回路基板検査ポイントの上に接触フィンガーを配置
するための制御手段であって、複数の回路基板を検査手順実行中において同時に
テスターの中へ挿入でき、そして一方は検査すべき回路基板の表面側を検査する
ために且つ他方は裏面側を検査するために配置されている2組の接触フィンガー
を備えている。
【0002】
回路基板の検査装置、特に未実装の回路基板を検査するための装置は、基本的
にフィンガーテスター及び並列テスターとに区別できる。
にフィンガーテスター及び並列テスターとに区別できる。
【0003】
フィンガーテスターは、その中で検査すべき回路基板上を渡した横断部材に沿
って移動するスライド上に配置されたプローブにより、検査回路基板の個々の回
路基板検査ポイントが逐次探査される装置であり、プローブは探査すべき各回路
基板検査ポイント上に位置決めされ、そうして回路基板検査ポイトンはプローブ
により接触される。
って移動するスライド上に配置されたプローブにより、検査回路基板の個々の回
路基板検査ポイントが逐次探査される装置であり、プローブは探査すべき各回路
基板検査ポイント上に位置決めされ、そうして回路基板検査ポイトンはプローブ
により接触される。
【0004】
1つのそのようなフィンガーテスターは少なくとも2つの接触フィンガーを備
え、そのため2点の回路基板検査ポイントにおいて検査用回路基板の列に接触し
、開回路又は短絡回路が存在する区域を検査することができる。
え、そのため2点の回路基板検査ポイントにおいて検査用回路基板の列に接触し
、開回路又は短絡回路が存在する区域を検査することができる。
【0005】
フィンガーテスターは、例えばEP0486153A1に記載されている。フ
ィンガーテスターによりもたらされる利益は、いかなる機械的な変更を必要とせ
ずに多種類の回路基板検査を許容することである。加えて、全てのタイプの回路
基板がフィンガーテスターによって検査できる。
ィンガーテスターによりもたらされる利益は、いかなる機械的な変更を必要とせ
ずに多種類の回路基板検査を許容することである。加えて、全てのタイプの回路
基板がフィンガーテスターによって検査できる。
【0006】
本発明は、そのようなフィンガーテスターに関する。
【0007】
並列テスターは、通常はアダプターで代表される検査区画により検査回路基板
の接触位置の全て又は少なくともその大多数に接触するテスターであり、そのよ
うな並列テスターは速くかつ安全に多数の回路基板検査ポイントを走査すること
を許容する。
の接触位置の全て又は少なくともその大多数に接触するテスターであり、そのよ
うな並列テスターは速くかつ安全に多数の回路基板検査ポイントを走査すること
を許容する。
【0008】
フィンガーテスターにまさる並列テスターの有利な点は、並列テスターは全て
の測定が事実上同時に実行されるため、より速い回路基板の検査を許容すること
である。しかしながら、検査回路基板のタイプが変化する度毎に通常は新しいア
ダプターの製作により成し遂げられる新しい検査区画が用意されることが必要で
ある。
の測定が事実上同時に実行されるため、より速い回路基板の検査を許容すること
である。しかしながら、検査回路基板のタイプが変化する度毎に通常は新しいア
ダプターの製作により成し遂げられる新しい検査区画が用意されることが必要で
ある。
【0009】
並列テスターは高い処理量を達成するのを許容するため、好ましくは大量生産
に使用される。
に使用される。
【0010】
従って、フィンガーテスターは本質的に並列テスターより遅いため、フィンガ
ーテスターの成功的マーケッティングのための顕著な基準の1つが、検査回路基
板を検査する速度であることが直接的に理解される。
ーテスターの成功的マーケッティングのための顕著な基準の1つが、検査回路基
板を検査する速度であることが直接的に理解される。
【0011】
EP0468153A1より既に知られたフィンガーテスターにおいては、1
又はそれ以上の検査下にある回路基板の表面および裏面側両方を同時に検査でき
る。この目的のために2組の接触フィンガーが設けられ、その各々は検査区画の
2つの側面の1つに配置される。
又はそれ以上の検査下にある回路基板の表面および裏面側両方を同時に検査でき
る。この目的のために2組の接触フィンガーが設けられ、その各々は検査区画の
2つの側面の1つに配置される。
【0012】
検査区画は、1組の接触フィンガーを検査区画の上側に配置し且つ他の組を検
査区画の下側に配置するように、通常は水平方向に向けられる。
査区画の下側に配置するように、通常は水平方向に向けられる。
【0013】
検査回路基板は、それらの端部により配置する2本のU溝レールによってテス
ター中に保持される。
ター中に保持される。
【0014】
また、互いに向き合う2本のレール手段によって保持できる特殊な回路基板の
ためのプレートタイプの製品は、ホルダーを使用することが知られている。その
ような“特殊品”は、例えばレールに挿入するためには適当でない形状であった
り、又は全ての側面を支持する必要があるほど可撓性に作られているものを含む
。
ためのプレートタイプの製品は、ホルダーを使用することが知られている。その
ような“特殊品”は、例えばレールに挿入するためには適当でない形状であった
り、又は全ての側面を支持する必要があるほど可撓性に作られているものを含む
。
【0015】
フィンガーテスターの場合、更により知られていることは、カメラによって検
査されている、回路基板のその理想的位置からの各々の回路基板検査ポイントの
片寄りを作図(マッピング)し、そして接触フィンガーを配置する際にこれらの
片寄りを考慮することである。
査されている、回路基板のその理想的位置からの各々の回路基板検査ポイントの
片寄りを作図(マッピング)し、そして接触フィンガーを配置する際にこれらの
片寄りを考慮することである。
【0016】
回路基板のいかなる誤配置も同様に作図され且つ考慮される。
【0017】
検査用回路基板は、レールにあるストッパーに対抗して挿入され、個々の回路
基板検査ポイントはそのあと、ストッパーにより規定された座標系の中に向きを
定めて配置される。
基板検査ポイントはそのあと、ストッパーにより規定された座標系の中に向きを
定めて配置される。
【0018】
並列テスターにおいては回路基板検査ポイントの望ましい位置からの実際上の
いかなる偏位も対応して、回路基板のシフト、又はアダプターによって補正する
ことが知られている。そのような方法及び装置は、例えばDE4302509A
1,JP4038480及びEP0874243A2の中で開示されている。
いかなる偏位も対応して、回路基板のシフト、又はアダプターによって補正する
ことが知られている。そのような方法及び装置は、例えばDE4302509A
1,JP4038480及びEP0874243A2の中で開示されている。
【0019】
また、回路基板を検査区画に関して整列に配置することができる種々の装置も
知られており、これに関連して、例えばDE4417811A1,DE4342
654A1,US4820975,EP0859239A2及びEP08313
32A1が参照される。偏位作図の光学的方法とは別に、そのような偏位を検知
する電気的方法(例えばEP0874243A2)が知られている。
知られており、これに関連して、例えばDE4417811A1,DE4342
654A1,US4820975,EP0859239A2及びEP08313
32A1が参照される。偏位作図の光学的方法とは別に、そのような偏位を検知
する電気的方法(例えばEP0874243A2)が知られている。
【0020】
従って本発明は、公知の装置の処理量と比較して回路基板の処理量を単純な方
法や手段により高めるために、最初引用された回路基板テスターを高度化する目
的を基にしている。
法や手段により高めるために、最初引用された回路基板テスターを高度化する目
的を基にしている。
【0021】
この目的は、本発明に従った回路基板テスターによって達成される。
【0022】
本発明に従った回路基板テスターは、以下のように特徴づけられる。
【0023】
2組の接触フィンガーの間に配置されるのは、少なくとも2つの検査回路基板
を収容するための部分を含む保持手段であって、その少なくとも1つの検査回路
基板は2組の接触フィンガーの1組に対しその表面側を向けて、且つ他の検査回
路基板はその裏面側を向けて保持手段の中へ挿入でき、且つその制御手段は検査
手順の間、両方の接触フィンガーの組が検査回路基板の表面及び裏面側の両方の
上の回路基板検査ポイントに接触できるように構成されている。
を収容するための部分を含む保持手段であって、その少なくとも1つの検査回路
基板は2組の接触フィンガーの1組に対しその表面側を向けて、且つ他の検査回
路基板はその裏面側を向けて保持手段の中へ挿入でき、且つその制御手段は検査
手順の間、両方の接触フィンガーの組が検査回路基板の表面及び裏面側の両方の
上の回路基板検査ポイントに接触できるように構成されている。
【0024】
本発明に従った回路基板は、その回路基板が“表裏面反対向きにして”配置で
きるように、即ちある数の回路基板はそれらの表面側を例えば上向きにして且つ
他の回路基板はそれらの裏面側を上向きにして配置できるように構成されている
。
きるように、即ちある数の回路基板はそれらの表面側を例えば上向きにして且つ
他の回路基板はそれらの裏面側を上向きにして配置できるように構成されている
。
【0025】
これは、1面側が他の面より実質的により多くの回路基板検査ポイントを有す
る特徴をなし、実際には裏面側に比較した表面側の回路基板検査ポイントの数の
相異が10対1の比率であって、即ち検査回路基板が例えば表面側に10000
の回路基板検査ポイントを、且つ裏面側にたった1000の回路基板検査ポイン
トを含むこともまれでない、一般的な回路基板の大多数の特性を活用する。
る特徴をなし、実際には裏面側に比較した表面側の回路基板検査ポイントの数の
相異が10対1の比率であって、即ち検査回路基板が例えば表面側に10000
の回路基板検査ポイントを、且つ裏面側にたった1000の回路基板検査ポイン
トを含むこともまれでない、一般的な回路基板の大多数の特性を活用する。
【0026】
本発明に従った装置においては、検査回路基板は表面及び裏面側の両方を接触
フィンガーの組に向けて配置され、且つその制御手段は回路基板検査ポイントの
組より検査回路基板の表面及び裏面側の両方に接触できるように設定されるため
、おおよそ同じ数の回路基板検査ポイントが2組の接触フィンガーによってそれ
ぞれのケースにおいて検査される。
フィンガーの組に向けて配置され、且つその制御手段は回路基板検査ポイントの
組より検査回路基板の表面及び裏面側の両方に接触できるように設定されるため
、おおよそ同じ数の回路基板検査ポイントが2組の接触フィンガーによってそれ
ぞれのケースにおいて検査される。
【0027】
偶数の回路基板がテスターの中へ挿入できる時は、好ましくは回路基板の半分
は表面側を1つの組に向けて、且つ回路基板の他の半分は裏面側を他の組に向け
てテスターの中に配置される。
は表面側を1つの組に向けて、且つ回路基板の他の半分は裏面側を他の組に向け
てテスターの中に配置される。
【0028】
この結果、検査下にあるタイプの両方の組の回路基板の同じ数の表面及び裏面
側が検査され、そしてこのようにして両方の組の接触フィンガーは同じ数の回路
基板検査ポイントを検査することになる。この配置は、両方の組の接触フィンガ
ーが同じことを正確に実行することを保証する。
側が検査され、そしてこのようにして両方の組の接触フィンガーは同じ数の回路
基板検査ポイントを検査することになる。この配置は、両方の組の接触フィンガ
ーが同じことを正確に実行することを保証する。
【0029】
従来技術のテスターにおいては、2組の接触フィンガーのうち1組しか十分に
機能せず、即ち該組の接触フィンガーは一番多くの回路基板接触ポイントを有す
る検査回路基板の側に接触されるのに対し、従来技術のテスターにおける他の組
の接触フィンガーは単に実質的により少ない数の回路基板検査ポイントに接触す
るに過ぎない。
機能せず、即ち該組の接触フィンガーは一番多くの回路基板接触ポイントを有す
る検査回路基板の側に接触されるのに対し、従来技術のテスターにおける他の組
の接触フィンガーは単に実質的により少ない数の回路基板検査ポイントに接触す
るに過ぎない。
【0030】
これが検査中にこの組の回路基板検査ポイントがしばしば他の組の回路基板検
査ポイトンの検出が終了するまで無駄に待機しなければならない理由である。こ
の空き時間は本発明に従ったテスターにより排除され、又は少なくとも最小限に
短縮される。
査ポイトンの検出が終了するまで無駄に待機しなければならない理由である。こ
の空き時間は本発明に従ったテスターにより排除され、又は少なくとも最小限に
短縮される。
【0031】
本発明は、今や概略的な実施例を表わしている添付された図面を参照して詳細
に述べられるであろう。
に述べられるであろう。
【0032】
図1を参照すると、本発明にとって不可欠な構成要素のみが示された本発明に
従ったテスターの平面図が図解されており、従ってたとえこの装置が機能するた
めに必要であっても、本発明において不適切と考えられる部分は省略されている
。
従ったテスターの平面図が図解されており、従ってたとえこの装置が機能するた
めに必要であっても、本発明において不適切と考えられる部分は省略されている
。
【0033】
テスター1は本発明に従った保持プレート4(図2)を受け入れるために、2
本のU溝レール3によって横方向へ区画された検査区画2を含んでいる。
本のU溝レール3によって横方向へ区画された検査区画2を含んでいる。
【0034】
検査区画2の範囲は、案内レール7上の横断部材上を末端部分6により移動す
るために配置された2本の横断部材によってカバーされる。
るために配置された2本の横断部材によってカバーされる。
【0035】
どの場合でもU溝レール3の1つは、案内レール7の1つに平行且つ隣接して
配置される。
配置される。
【0036】
U溝レール3及びその開口部は検査区画2に向き合っており、且つ保持プレー
ト4がストッパー8に到達するまで保持プレート4をU溝レール3の中へ挿入可
能とするように、各末端にストッパー8が備えられる。
ト4がストッパー8に到達するまで保持プレート4をU溝レール3の中へ挿入可
能とするように、各末端にストッパー8が備えられる。
【0037】
横断部材5上には移動のため位置決め部材9が配置される。それぞれの位置決
め部材9は、対応する位置決め部材9上で鉛直方向(Z軸方向)にシフトできる
ように配置された接触フィンガー10を含む。
め部材9は、対応する位置決め部材9上で鉛直方向(Z軸方向)にシフトできる
ように配置された接触フィンガー10を含む。
【0038】
横断部材5は案内レール7に沿って移動でき、そして位置決め部材9は横断部
材5に沿って移動できるため、位置決め部材9は検査区画平面の中のX方向及び
Y方向のいかなる位置にも移動できる。位置決め部材の動きは制御手段11によ
って制御される。
材5に沿って移動できるため、位置決め部材9は検査区画平面の中のX方向及び
Y方向のいかなる位置にも移動できる。位置決め部材の動きは制御手段11によ
って制御される。
【0039】
保持プレート4の中に設けられるのは、検査回路基板の形状に対応している窓
12(図3,4a)である。
12(図3,4a)である。
【0040】
それぞれの窓12は、図示した実施例では鉛直方向に向けて配置されている壁
14と、位置決め縁13の全ての側面上の棚15で代表される位置決め縁13を
含み、棚15はその端部が保持プレート4の下方側面区域と面一になるように保
持プレート4と一体の位置決め壁14の下に形成される。
14と、位置決め縁13の全ての側面上の棚15で代表される位置決め縁13を
含み、棚15はその端部が保持プレート4の下方側面区域と面一になるように保
持プレート4と一体の位置決め壁14の下に形成される。
【0041】
窓12の位置決め壁14は検査回路基板16の形状に対して正確に適応し、そ
のため回路基板16が保持要素として役立つ棚15によって窓12から脱落する
ことが防止される窓12中に積極的に配置されることができる。
のため回路基板16が保持要素として役立つ棚15によって窓12から脱落する
ことが防止される窓12中に積極的に配置されることができる。
【0042】
検査回路基板16は保持プレート4の棚15の間に且つ保持プレート4の上に
配置されたカウンタープレート上に所定位置に固定されるため、図4bに示した
保持プレート4は窓12を積極的に位置決めするように構成する必要がないとい
うことに注目すべきである。
配置されたカウンタープレート上に所定位置に固定されるため、図4bに示した
保持プレート4は窓12を積極的に位置決めするように構成する必要がないとい
うことに注目すべきである。
【0043】
カウンタープレートはねじ留め具28により保持プレート4に固着され、その
ため検査回路基板はカウンタープレート27と保持プレート4との間の位置に締
め付けられ、そしてこのようにして固定して配置される。
ため検査回路基板はカウンタープレート27と保持プレート4との間の位置に締
め付けられ、そしてこのようにして固定して配置される。
【0044】
検査回路基板16を固定的に配置するためには、カウンタープレートに代えて
粘着性テープも使用できる。
粘着性テープも使用できる。
【0045】
保持プレート4の上には、平面に見た時に互いに鏡面対称に配置された2種類
の窓12a,12bが設けられている。図3に示した実施例においては、窓12
a,12bはそれぞれ対称軸17に対して鏡面対称に配置される。しかしながら
、窓12は他のいかなる方向において互い違いにさせて又は回転させて配置させ
ることができ、そのため対称軸は鏡面対称を形づくる一対の窓の間に限定されな
い。
の窓12a,12bが設けられている。図3に示した実施例においては、窓12
a,12bはそれぞれ対称軸17に対して鏡面対称に配置される。しかしながら
、窓12は他のいかなる方向において互い違いにさせて又は回転させて配置させ
ることができ、そのため対称軸は鏡面対称を形づくる一対の窓の間に限定されな
い。
【0046】
本発明において重要なことは、検査回路基板16の一部はその表面側を保持プ
レート4の1の面に向けてはめ込むことができ、且つ検査回路基板16の他の一
部はその表面側を保持プレート4の他の面に向けてはめ込むことができるように
、検査回路基板16を保持プレート4の中にはめ込むことができることである。
レート4の1の面に向けてはめ込むことができ、且つ検査回路基板16の他の一
部はその表面側を保持プレート4の他の面に向けてはめ込むことができるように
、検査回路基板16を保持プレート4の中にはめ込むことができることである。
【0047】
図示した実施例では、回路基板はその裏側が棚15の上に載って窓12aの中
に配置されているのに対して、窓12bの中では回路基板は棚15の上にその表
面側が載ってはめ込まれている。
に配置されているのに対して、窓12bの中では回路基板は棚15の上にその表
面側が載ってはめ込まれている。
【0048】
数個の検査回路基板16が保持プレート4の中にはめ込まれ、示した実施例で
は4枚の検査回路基板16が1つのユニットとしてストッパー8に到達するまで
テスターのU溝レール3の中に挿入される。
は4枚の検査回路基板16が1つのユニットとしてストッパー8に到達するまで
テスターのU溝レール3の中に挿入される。
【0049】
検査回路基板16の一部はその表面側を上方の接触フィンガー10、即ち接触
フィンガーの第1の組18に向いており、且つ回路基板の他の一部は下方の接触
フィンガー10,即ち接触フィンガーの第2の組19に向いているため、両方の
組18,19はそれぞれ検査回路基板16の表面及び裏面側に向いている(図2
)。
フィンガーの第1の組18に向いており、且つ回路基板の他の一部は下方の接触
フィンガー10,即ち接触フィンガーの第2の組19に向いているため、両方の
組18,19はそれぞれ検査回路基板16の表面及び裏面側に向いている(図2
)。
【0050】
制御手段11は、接触フィンガーの両方の組18,19の接触フィンガー10
が検査回路基板16の表面及び裏面側の回路基板検査ポイント20に接触できる
ように設定される。
が検査回路基板16の表面及び裏面側の回路基板検査ポイント20に接触できる
ように設定される。
【0051】
この目的のために、回路基板の検査プログラム(回路基板検査ポイントの座標
及び回路基板検査ポイントへ接触させるシーケンスが記憶される。)は、2組1
8,19の接触フィンガーの間に反対向きに挿入された回路基板16について表
面側と裏面側プログラムを含んでいる。
及び回路基板検査ポイントへ接触させるシーケンスが記憶される。)は、2組1
8,19の接触フィンガーの間に反対向きに挿入された回路基板16について表
面側と裏面側プログラムを含んでいる。
【0052】
従って本発明に従った制御手段は、回路基板の表面側を上向きに向けた回路基
板のための“通常”検査プログラムと、回路基板の裏面側を上向きに向けて逆向
きに挿入された回路基板のための“反転”検査プログラムを含む。
板のための“通常”検査プログラムと、回路基板の裏面側を上向きに向けて逆向
きに挿入された回路基板のための“反転”検査プログラムを含む。
【0053】
これらの検査プログラムは各々のケースにおいてテスター1の保持プレート4
の中にはめ込まれた回路基板の数に対応して繰り返され、テスター1の保持板4
の中の回路基板の対応する位置が縮尺される。有意な異なる数の回路基板検査ポ
イントが検査回路基板の表面及び裏面側に配置されることは通常のことである。
の中にはめ込まれた回路基板の数に対応して繰り返され、テスター1の保持板4
の中の回路基板の対応する位置が縮尺される。有意な異なる数の回路基板検査ポ
イントが検査回路基板の表面及び裏面側に配置されることは通常のことである。
【0054】
回路基板の表面側と裏面側の回路基板検査ポイントの比は、多くの場合3対1
から20対1の範囲であり、また裏面側に回路基板検査ポイントを全く有さない
回路基板も存在する。
から20対1の範囲であり、また裏面側に回路基板検査ポイントを全く有さない
回路基板も存在する。
【0055】
本発明に従った装置においては、両方の組18,19の接触フィンガーが検査
回路基板の表面及び裏面側の両方に接触するため、1組の接触フィンガーを単に
検査回路基板の表面側のみに接触させ且つ他の組の接触フィンガーは単に裏面側
のみに接触させるに過ぎない場合と比べて、回路基板検査ポイントの平均数が両
方の組18,19の接触フィンガーによって接触される。
回路基板の表面及び裏面側の両方に接触するため、1組の接触フィンガーを単に
検査回路基板の表面側のみに接触させ且つ他の組の接触フィンガーは単に裏面側
のみに接触させるに過ぎない場合と比べて、回路基板検査ポイントの平均数が両
方の組18,19の接触フィンガーによって接触される。
【0056】
回路基板の表面側が1組の接触フィンガーに向いている同じ数の回路基板が、
他の組の接触フィンガーへ向いて配置されている理想的なケースでは、正確に同
じ数の回路基板検査ポイントが、それぞれのケースにおいて、各々の組の接触フ
ィンガーにより接触される。
他の組の接触フィンガーへ向いて配置されている理想的なケースでは、正確に同
じ数の回路基板検査ポイントが、それぞれのケースにおいて、各々の組の接触フ
ィンガーにより接触される。
【0057】
そのような配置においては、両方の組の接触フィンガーはテスターに挿入可能
な全ての回路基板が検査される間の検査中、全く同じことを実行することが必要
とされる。
な全ての回路基板が検査される間の検査中、全く同じことを実行することが必要
とされる。
【0058】
このことは、1組の接触フィンガーは単に検査回路基板の表面側を検査し且つ
他の組は単に裏面側を検査するに過ぎない従来技術のテスターに比べて、相当な
時間を節約する結果をもたらす。
他の組は単に裏面側を検査するに過ぎない従来技術のテスターに比べて、相当な
時間を節約する結果をもたらす。
【0059】
これら公知の装置においては、より少ない数の回路基板検査ポイントとの接触
が必要とされる接触フィンガーの組は決して完全に実行せず、1組の接触フィン
ガーは他の組の接触フィンガーが対応する検査測定を終えるまで待機しなければ
ならない間の相当な空き時間を生じる結果となるからである。
が必要とされる接触フィンガーの組は決して完全に実行せず、1組の接触フィン
ガーは他の組の接触フィンガーが対応する検査測定を終えるまで待機しなければ
ならない間の相当な空き時間を生じる結果となるからである。
【0060】
好ましくは保持プレート4の上に、接触フィンガー10(図3)により検知し
、テスター1の中の保持プレート4の位置を画定するのを可能にするための少な
くとも2つの導電性する接触ポイント21が設けられる。
、テスター1の中の保持プレート4の位置を画定するのを可能にするための少な
くとも2つの導電性する接触ポイント21が設けられる。
【0061】
ひとたび保持プレート4の位置が画定されると、検査回路基板16は保持プレ
ート4の中に積極的に配置されているため、検査回路基板16の位置もテスター
1に関して画定され、これにより個々の検査回路基板のための検査プログラムが
対応してX/Y座標系において対応して縮尺するのを可能にする。
ート4の中に積極的に配置されているため、検査回路基板16の位置もテスター
1に関して画定され、これにより個々の検査回路基板のための検査プログラムが
対応してX/Y座標系において対応して縮尺するのを可能にする。
【0062】
本発明に従った一つの好ましい具体例(図2)においては、それぞれの、そし
て全ての回路基板検査ポイントのその理想的な位置からの片寄りを作図(マッピ
ング)し、且つ回路基板の位置のズレを作図するためステーションを含む。
て全ての回路基板検査ポイントのその理想的な位置からの片寄りを作図(マッピ
ング)し、且つ回路基板の位置のズレを作図するためステーションを含む。
【0063】
この作図(マッピング)ステーションは、保持プレート4それぞれの一方の側
を全体的に作図する2個のカメラ23を含む。カメラは片寄り及び位置のズレの
決定において、カメラ23によって捕捉された画像信号をデジタル解析する解析
装置24へ電気的に接続される。
を全体的に作図する2個のカメラ23を含む。カメラは片寄り及び位置のズレの
決定において、カメラ23によって捕捉された画像信号をデジタル解析する解析
装置24へ電気的に接続される。
【0064】
そのような解析方法は既に知られており、従って本発明においてはそれ自体を
詳述する必要がない。
詳述する必要がない。
【0065】
またこれらの方法は、検査回路基板の生産により具体化する片寄りや位置のズ
レは大きさとして回路基板検査ポイトンとおよそ同じであるため、特に非常に高
密度の回路基板検査ポイトンや非常に小さな回路基板検査ポイトンを有する回路
基板が関係し、ミスアラインメントによって生ずるそのような片寄りや位置ズレ
による誤接触を生ずる場合に利用価値がある。
レは大きさとして回路基板検査ポイトンとおよそ同じであるため、特に非常に高
密度の回路基板検査ポイトンや非常に小さな回路基板検査ポイトンを有する回路
基板が関係し、ミスアラインメントによって生ずるそのような片寄りや位置ズレ
による誤接触を生ずる場合に利用価値がある。
【0066】
カメラ23及び解析装置24により、それぞれの回路基板検査ポイントの理想
的な位置からの偏位が作図される。
的な位置からの偏位が作図される。
【0067】
このようにして獲得された“偏位データ”は解析装置24から制御手段11へ
転送され、個々の回路基板検査ポイントのそれぞれが正確に接触されるように検
査中の接触フィンガー11の移動に際し対応して考慮される。
転送され、個々の回路基板検査ポイントのそれぞれが正確に接触されるように検
査中の接触フィンガー11の移動に際し対応して考慮される。
【0068】
保持プレート4にはめ込まれた個々の回路基板における回路基板偏位データは
、保持プレート4により規定されたX/Y座標系を基準にして決定される。この
座標の系は、例えば保持プレート4に適用された接触ポイント21により規定さ
れる。
、保持プレート4により規定されたX/Y座標系を基準にして決定される。この
座標の系は、例えば保持プレート4に適用された接触ポイント21により規定さ
れる。
【0069】
本発明に従ったテスターのより好ましい具体例においては、保持プレート4は
、例えばコンベアーベルトにより作図ステーション22から検査区画2の中へ自
動的に搬送される。
、例えばコンベアーベルトにより作図ステーション22から検査区画2の中へ自
動的に搬送される。
【0070】
そのような1つの自動化テスターにおいては、検査区画2において検査手順が
実行されている間に、別の検査回路基板16が挿入され、その中で作図される別
の保持プレート4を備える。この保持プレート4が設けられることにより、この
ようにして検査区画に関係なく片寄りや位置のズレを作図することが可能となる
。
実行されている間に、別の検査回路基板16が挿入され、その中で作図される別
の保持プレート4を備える。この保持プレート4が設けられることにより、この
ようにして検査区画に関係なく片寄りや位置のズレを作図することが可能となる
。
【0071】
従来技術のテスターにおいては、片寄りや位置のズレは回路基板が検査区画の
中へ挿入された後に作図される。片寄りや位置のズレを作図している間は実際の
検査を行うことはできない。このことが作図が検査時間を過度に制限することを
回避するためにできるだけ短時間に実行される必要がある理由である。
中へ挿入された後に作図される。片寄りや位置のズレを作図している間は実際の
検査を行うことはできない。このことが作図が検査時間を過度に制限することを
回避するためにできるだけ短時間に実行される必要がある理由である。
【0072】
今や本発明に従った装置により、実質的により多くの時間が片寄りや位置のズ
レを測定するために利用でき、このようにして個々の回路基板検査ポイントを実
質的により正確に検知することが可能となる。
レを測定するために利用でき、このようにして個々の回路基板検査ポイントを実
質的により正確に検知することが可能となる。
【0073】
このことは回路基板検査ポイントが今や更に正確に検知されるため、特に高密
度の回路基板検査ポイトンや非常に小さな回路基板検査ポイントを有する回路基
板を検査する上でその処理量及び品質を大いに高める。
度の回路基板検査ポイトンや非常に小さな回路基板検査ポイントを有する回路基
板を検査する上でその処理量及び品質を大いに高める。
【0074】
今や図5を参照すると、本発明に従ったテスターの更なる実施例が描かれてい
る。このテスターは移動する位置取り部材9が上に載っている固定された横断部
材5を含む、単純な機械的構成からなる。
る。このテスターは移動する位置取り部材9が上に載っている固定された横断部
材5を含む、単純な機械的構成からなる。
【0075】
位置取り部材9には位置取り部材9や検査区画2に対して平行する平面内に回
転自在に取り付けられた回転腕25が設けられる。位置取り部材9から遠く離れ
た回転腕25の末端には、回路基板検査ポイントに接触するために接触フィンガ
テー10が配置される。隣接する2つの横断部材5の間の距離は、回転腕25の
2 倍の長さLより短い。
転自在に取り付けられた回転腕25が設けられる。位置取り部材9から遠く離れ
た回転腕25の末端には、回路基板検査ポイントに接触するために接触フィンガ
テー10が配置される。隣接する2つの横断部材5の間の距離は、回転腕25の
2 倍の長さLより短い。
【0076】
1つの横断部材5に割り振られた接触フィンガー10により検査区画2の検査
領域26を走査することができ、該領域の縁は横断部材5からLだけ離れている
。
領域26を走査することができ、該領域の縁は横断部材5からLだけ離れている
。
【0077】
これらの検査領域26はそれらの縁部分において重なり合い、従ってこれらの
重複部分においては2つの異なる横断部材5の接触フィンガー10が検査区画を
走査することができ、より早い検査を可能にする。
重複部分においては2つの異なる横断部材5の接触フィンガー10が検査区画を
走査することができ、より早い検査を可能にする。
【0078】
従って、本発明に従った保持プレート4はテスターの検査速度をより高めるた
めに、これらの検査領域26の重複部分の中に窓12及び検査回路基板が配置さ
れるようになっている。
めに、これらの検査領域26の重複部分の中に窓12及び検査回路基板が配置さ
れるようになっている。
【0079】
窓12の配置は、おおよそ同じ数の回路基板検査ポイントが個々の横断部材に
より接触されるように、コンピュータープログラムによってより最適化できる。
より接触されるように、コンピュータープログラムによってより最適化できる。
【0080】
そのようなコンピュータープログラムはこのようにして、テスター1の検査区
画2の上の検査回路基板の理想的配置を自動的に決定するための方法を実行し、
換言すれば検査回路基板の配置はこのようにして、接触フィンガーの組に関して
のみならず個々の横断部材に関しても最適化される。
画2の上の検査回路基板の理想的配置を自動的に決定するための方法を実行し、
換言すれば検査回路基板の配置はこのようにして、接触フィンガーの組に関して
のみならず個々の横断部材に関しても最適化される。
【0081】
他の種類のテスターのためには、窓12の位置はこれらの更なるテスターの仕
様書に従って規定し、最適化することができる。
様書に従って規定し、最適化することができる。
【0082】
本発明によって達成される利点は、以下に要約されるであろう。
【0083】
2組の接触フィンガーは検査中におおよそ同じ数の回路基板検査ポイントに接
触するため、2組の接触フィンガーの実質的に改善された作動が達成される。
触するため、2組の接触フィンガーの実質的に改善された作動が達成される。
【0084】
任意の作図ステーションをもって、片寄り及び位置のズレが事前に高精度に作
図され、且つ保持手段(保持プレート4)により規定された座標系に関して画定
することができる。
図され、且つ保持手段(保持プレート4)により規定された座標系に関して画定
することができる。
【0085】
検査回路基板の積極的位置決めをする全ての側面上の棚15および位置決め壁
14を有する保持プレート4を使用する時は、いかなる形状及び大きさの回路基
板とも両立する高い位置決め精度および安全性が達成される。
14を有する保持プレート4を使用する時は、いかなる形状及び大きさの回路基
板とも両立する高い位置決め精度および安全性が達成される。
【0086】
多数の検査回路基板を取付けるために適した保持プレートを使用することによ
り、テスターに装填および脱装填するために必要な時間が短縮される。
り、テスターに装填および脱装填するために必要な時間が短縮される。
【0087】
多数の検査回路基板が同時に処理され且つ検査されるため、自動化効果が実現
する。
する。
【0088】
本発明を実施例により上に詳述したが、本発明は関連する具体例に限定される
ものでないことを理解すべきである。
ものでないことを理解すべきである。
【0089】
例えば、本発明の範囲から逸脱することなしに窓12の位置決め縁13の全て
の側面上の単一の棚15に代えて、保持プレート4上に断面位置に配置されたい
くつかの棚を設けることもできる。単一の保持プレートに代えて任意の数の他の
保持手段を少なくとも2つの回路基板を配置するために備えることができ、それ
によって一つの回路基板はその表面側を上向きにして配置され、他方はその裏面
側を上向きにして配置することができる。
の側面上の単一の棚15に代えて、保持プレート4上に断面位置に配置されたい
くつかの棚を設けることもできる。単一の保持プレートに代えて任意の数の他の
保持手段を少なくとも2つの回路基板を配置するために備えることができ、それ
によって一つの回路基板はその表面側を上向きにして配置され、他方はその裏面
側を上向きにして配置することができる。
【図1】 本発明に従った回路基板テスターの平面図である。
【図2】 図1に示される本装置の側面図である。
【図3】 本発明に従った保持プレート(回路基板を除く)の平面図である。
【図4a】 図3に示されるA−A線に沿って矢印の方向から見た保持プレート
(回路基板を含む)の断面図である。
(回路基板を含む)の断面図である。
【図4b】 保持プレート(回路基板を含む)の更なる具体例の断面図である。
【図5】 その上に接触フィンガーが配置されている固定された横断部材及び回
転腕を含む本発明に従った回路基板テスターの更なる実施例の平面図である。
転腕を含む本発明に従った回路基板テスターの更なる実施例の平面図である。
1・・・テスター
2・・・検査区画
3・・・U溝レール
4・・・保持プレート
5・・・横断部材
6・・・末端部分
7・・・案内レール
8・・・ストッパー
9・・・位置取り部材
10・・・接触フィンガー
11・・・制御手段
12・・・窓
13・・・位置決め縁
14・・・位置決め壁
15・・・棚
16・・・検査回路基板
17・・・対称軸
18・・・接触フィンガーの第1の組
19・・・接触フィンガーの第2の組
20・・・回路基板検査ポイント
21・・・接触ポイント
22・・・作図(マッピング)
23・・・カメラ
24・・・解析装置
25・・・回転腕
26・・・検査領域
27・・・カウンタープレート
【手続補正書】特許協力条約第34条補正の翻訳文提出書
【提出日】平成13年2月22日(2001.2.22)
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】 回路基板テスター
【特許請求の範囲】
【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、回路基板を検査するための装置及び方法に関する。該装置及び方法
は、検査区画と検査区画に対し平行する平面内において移動するために配置され
た接触フィンガーであって、2つの接触フィンガーが検査電流回路の構成要素と
して1対のプローブを形成し、検査すべき回路基板の回路基板検査ポイントの上
に接触フィンガーを配置するための制御手段であって、複数の回路基板を検査手
順実行中において同時にテスターの中へ挿入でき、そして一方は検査すべき回路
基板の表面側を検査するために且つ他方は裏面側を検査するために配置されてい
る2組の接触フィンガーを備えている。
た接触フィンガーであって、2つの接触フィンガーが検査電流回路の構成要素と
して1対のプローブを形成し、検査すべき回路基板の回路基板検査ポイントの上
に接触フィンガーを配置するための制御手段であって、複数の回路基板を検査手
順実行中において同時にテスターの中へ挿入でき、そして一方は検査すべき回路
基板の表面側を検査するために且つ他方は裏面側を検査するために配置されてい
る2組の接触フィンガーを備えている。
【0002】
【従来の技術】
回路基板の検査装置、特に未実装の回路基板を検査するための装置は、基本的
にフィンガーテスター及び並列テスターとに区別できる。
にフィンガーテスター及び並列テスターとに区別できる。
【0003】
フィンガーテスターは、その中で検査すべき回路基板上を渡した横断部材に沿
って移動するスライド上に配置されたプローブにより、検査回路基板の個々の回
路基板検査ポイントが逐次探査される装置であり、プローブは探査すべき各回路
基板検査ポイント上に位置決めされ、そうして回路基板検査ポイトンはプローブ
により接触される。
って移動するスライド上に配置されたプローブにより、検査回路基板の個々の回
路基板検査ポイントが逐次探査される装置であり、プローブは探査すべき各回路
基板検査ポイント上に位置決めされ、そうして回路基板検査ポイトンはプローブ
により接触される。
【0004】
1つのそのようなフィンガーテスターは少なくとも2つの接触フィンガーを備
え、そのため2点の回路基板検査ポイントにおいて検査用回路基板の列に接触し
、開回路又は短絡回路が存在する区域を検査することができる。
え、そのため2点の回路基板検査ポイントにおいて検査用回路基板の列に接触し
、開回路又は短絡回路が存在する区域を検査することができる。
【0005】
フィンガーテスターは、例えばEP0486153A1に記載されている。フ
ィンガーテスターによりもたらされる利益は、いかなる機械的な変更を必要とせ
ずに多種類の回路基板検査を許容することである。加えて、全てのタイプの回路
基板がフィンガーテスターによって検査できる。
ィンガーテスターによりもたらされる利益は、いかなる機械的な変更を必要とせ
ずに多種類の回路基板検査を許容することである。加えて、全てのタイプの回路
基板がフィンガーテスターによって検査できる。
【0006】
本発明は、そのようなフィンガーテスターに関する。
【0007】
並列テスターは、通常はアダプターで代表される検査区画により検査回路基板
の接触位置の全て又は少なくともその大多数に接触するテスターであり、そのよ
うな並列テスターは速くかつ安全に多数の回路基板検査ポイントを走査すること
を許容する。
の接触位置の全て又は少なくともその大多数に接触するテスターであり、そのよ
うな並列テスターは速くかつ安全に多数の回路基板検査ポイントを走査すること
を許容する。
【0008】
フィンガーテスターにまさる並列テスターの有利な点は、並列テスターは全て
の測定が事実上同時に実行されるため、より速い回路基板の検査を許容すること
である。しかしながら、検査回路基板のタイプが変化する度毎に通常は新しいア
ダプターの製作により成し遂げられる新しい検査区画が用意されることが必要で
ある。
の測定が事実上同時に実行されるため、より速い回路基板の検査を許容すること
である。しかしながら、検査回路基板のタイプが変化する度毎に通常は新しいア
ダプターの製作により成し遂げられる新しい検査区画が用意されることが必要で
ある。
【0009】
並列テスターは高い処理量を達成するのを許容するため、好ましくは大量生産
に使用される。
に使用される。
【0010】
従って、フィンガーテスターは本質的に並列テスターより遅いため、フィンガ
ーテスターの成功的マーケッティングのための顕著な基準の1つが、検査回路基
板を検査する速度であることが直接的に理解される。
ーテスターの成功的マーケッティングのための顕著な基準の1つが、検査回路基
板を検査する速度であることが直接的に理解される。
【0011】
EP0468153A1より既に知られたフィンガーテスターにおいては、1
又はそれ以上の検査下にある回路基板の表面および裏面側両方を同時に検査でき
る。この目的のために2組の接触フィンガーが設けられ、その各々は検査区画の
2つの側面の1つに配置される。
又はそれ以上の検査下にある回路基板の表面および裏面側両方を同時に検査でき
る。この目的のために2組の接触フィンガーが設けられ、その各々は検査区画の
2つの側面の1つに配置される。
【0012】
検査区画は、1組の接触フィンガーを検査区画の上側に配置し且つ他の組を検
査区画の下側に配置するように、通常は水平方向に向けられる。
査区画の下側に配置するように、通常は水平方向に向けられる。
【0013】
検査回路基板は、それらの端部により配置する2本のU溝レールによってテス
ター中に保持される。
ター中に保持される。
【0014】
また、互いに向き合う2本のレール手段によって保持できる特殊な回路基板の
ためのプレートタイプの製品は、ホルダーを使用することが知られている。その
ような“特殊品”は、例えばレールに挿入するためには適当でない形状であった
り、又は全ての側面を支持する必要があるほど可撓性に作られているものを含む
。
ためのプレートタイプの製品は、ホルダーを使用することが知られている。その
ような“特殊品”は、例えばレールに挿入するためには適当でない形状であった
り、又は全ての側面を支持する必要があるほど可撓性に作られているものを含む
。
【0015】
フィンガーテスターの場合、更により知られていることは、カメラによって検
査されている、回路基板のその理想的位置からの各々の回路基板検査ポイントの
片寄りを作図(マッピング)し、そして接触フィンガーを配置する際にこれらの
片寄りを考慮することである。
査されている、回路基板のその理想的位置からの各々の回路基板検査ポイントの
片寄りを作図(マッピング)し、そして接触フィンガーを配置する際にこれらの
片寄りを考慮することである。
【0016】
回路基板のいかなる誤配置も同様に作図され且つ考慮される。
【0017】
検査用回路基板は、レールにあるストッパーに対抗して挿入され、個々の回路
基板検査ポイントはそのあと、ストッパーにより規定された座標系の中に向きを
定めて配置される。
基板検査ポイントはそのあと、ストッパーにより規定された座標系の中に向きを
定めて配置される。
【0018】
並列テスターにおいては回路基板検査ポイントの望ましい位置からの実際上の
いかなる偏位も対応して、回路基板のシフト、又はアダプターによって補正する
ことが知られている。そのような方法及び装置は、例えばDE4302509A
1,JP4038480及びEP0874243A2の中で開示されている。
いかなる偏位も対応して、回路基板のシフト、又はアダプターによって補正する
ことが知られている。そのような方法及び装置は、例えばDE4302509A
1,JP4038480及びEP0874243A2の中で開示されている。
【0019】
また、回路基板を検査区画に関して整列に配置することができる種々の装置も
知られており、これに関連して、例えばDE4417811A1,DE4342
654A1,US4820975,EP0859239A2及びEP08313
32A1が参照される。偏位作図の光学的方法とは別に、そのような偏位を検知
する電気的方法(例えばEP0874243A2)が知られている。
知られており、これに関連して、例えばDE4417811A1,DE4342
654A1,US4820975,EP0859239A2及びEP08313
32A1が参照される。偏位作図の光学的方法とは別に、そのような偏位を検知
する電気的方法(例えばEP0874243A2)が知られている。
【0020】
EP0722090A2では、試験片をその2つの反対向きの表面上で保持手 段によって支持する平坦な試験片のための保持具について記載している。保持手 段の少なくとも1つは、接触フィンガーによって突き抜くことができる非導電性 のフィルムより作られる。
【0021】
WO00/17662は、電気的部品が搭載されたモジュールを検査するため の装置に関する。その装置はトレイと呼ばれるサンプルホルダーを備え、その中 に電気的部品が搭載されたいくつかのモジュールを挿入することができる。これ らのモジュールは、それらの下側の1縁の領域の中に電気的接点を有する。この 縁の領域において、モジュールは下側から案内され且つ接点変形要素が設けられ た支持要素によって接触され、それによってモジュールの電気的接点は上側にた わむことができる。検査ヘッドは上から降されて、モジュール自体を検査するた めにこれらの接触変形要素の両方及び更にはモジュールに接触する。
【0022】
“OPEN−FRAME PRODUCT CRADLE FOR PROB ING”IBM技術公開公報,米国,IBMコーポレーション.ニューヨーク, Vol.38,No.12,1995年12月1日,495〜496ページには 、中にマルチチップモジュール又は回路基板が挿入できる製品ホルダーが開示さ れている。それぞれのモジュール及び回路基板のため、モジュール及び/又は回 路基板を製品ホルダーに固定するための固定手段を備えた開口が設けられている 。
【0023】
【発明が解決しようとする課題】
従って本発明は、公知の装置の処理量と比較して回路基板の処理量を単純な方
法や手段により高めるために、最初引用された回路基板テスターを高度化する目
的を基にしている。本発明はまた、フィンガーテスターによる検査中における回 路基板の処理量を増加するために適した方法を提供することも意図する。
法や手段により高めるために、最初引用された回路基板テスターを高度化する目
的を基にしている。本発明はまた、フィンガーテスターによる検査中における回 路基板の処理量を増加するために適した方法を提供することも意図する。
【0024】
【課題を解決するための手段】
この目的は、請求項1の特徴をもった装置により及び請求項11の特徴をもっ た方法により
達成される。
【0025】
本発明に従った回路基板テスターは、以下のように特徴づけられる。
【0026】
2組の接触フィンガーの間に配置されるのは、少なくとも2つの検査回路基板
を収容するための部分を含む保持手段であって、その少なくとも1つの検査回路
基板は2組の接触フィンガーの1組に対しその表面側を向けて、且つ他の検査回
路基板はその裏面側を向けて保持手段の中へ挿入でき、且つその制御手段は検査
手順の間、両方の接触フィンガーの組が検査回路基板の表面及び裏面側の両方の
上の回路基板検査ポイントに接触できるように構成されている。
を収容するための部分を含む保持手段であって、その少なくとも1つの検査回路
基板は2組の接触フィンガーの1組に対しその表面側を向けて、且つ他の検査回
路基板はその裏面側を向けて保持手段の中へ挿入でき、且つその制御手段は検査
手順の間、両方の接触フィンガーの組が検査回路基板の表面及び裏面側の両方の
上の回路基板検査ポイントに接触できるように構成されている。
【0027】
本発明に従った回路基板は、その回路基板が“表裏面反対向きにして”配置で
きるように、即ちある数の回路基板はそれらの表面側を例えば上向きにして且つ
他の回路基板はそれらの裏面側を上向きにして配置できるように構成されている
。
きるように、即ちある数の回路基板はそれらの表面側を例えば上向きにして且つ
他の回路基板はそれらの裏面側を上向きにして配置できるように構成されている
。
【0028】
これは、1面側が他の面より実質的により多くの回路基板検査ポイントを有す
る特徴をなし、実際には裏面側に比較した表面側の回路基板検査ポイントの数の
相異が10対1の比率であって、即ち検査回路基板が例えば表面側に10000
の回路基板検査ポイントを、且つ裏面側にたった1000の回路基板検査ポイン
トを含むこともまれでない、一般的な回路基板の大多数の特性を活用する。
る特徴をなし、実際には裏面側に比較した表面側の回路基板検査ポイントの数の
相異が10対1の比率であって、即ち検査回路基板が例えば表面側に10000
の回路基板検査ポイントを、且つ裏面側にたった1000の回路基板検査ポイン
トを含むこともまれでない、一般的な回路基板の大多数の特性を活用する。
【0029】
本発明に従った装置においては、検査回路基板は表面及び裏面側の両方を接触
フィンガーの組に向けて配置され、且つその制御手段は回路基板検査ポイントの
組より検査回路基板の表面及び裏面側の両方に接触できるように設定されるため
、おおよそ同じ数の回路基板検査ポイントが2組の接触フィンガーによってそれ
ぞれのケースにおいて検査される。
フィンガーの組に向けて配置され、且つその制御手段は回路基板検査ポイントの
組より検査回路基板の表面及び裏面側の両方に接触できるように設定されるため
、おおよそ同じ数の回路基板検査ポイントが2組の接触フィンガーによってそれ
ぞれのケースにおいて検査される。
【0030】
偶数の回路基板がテスターの中へ挿入できる時は、好ましくは回路基板の半分
は表面側を1つの組に向けて、且つ回路基板の他の半分は裏面側を他の組に向け
てテスターの中に配置される。
は表面側を1つの組に向けて、且つ回路基板の他の半分は裏面側を他の組に向け
てテスターの中に配置される。
【0031】
この結果、検査下にあるタイプの両方の組の回路基板の同じ数の表面及び裏面
側が検査され、そしてこのようにして両方の組の接触フィンガーは同じ数の回路
基板検査ポイントを検査することになる。この配置は、両方の組の接触フィンガ
ーが同じことを正確に実行することを保証する。
側が検査され、そしてこのようにして両方の組の接触フィンガーは同じ数の回路
基板検査ポイントを検査することになる。この配置は、両方の組の接触フィンガ
ーが同じことを正確に実行することを保証する。
【0032】
従来技術のテスターにおいては、2組の接触フィンガーのうち1組しか十分に
機能せず、即ち該組の接触フィンガーは一番多くの回路基板接触ポイントを有す
る検査回路基板の側に接触されるのに対し、従来技術のテスターにおける他の組
の接触フィンガーは単に実質的により少ない数の回路基板検査ポイントに接触す
るに過ぎない。
機能せず、即ち該組の接触フィンガーは一番多くの回路基板接触ポイントを有す
る検査回路基板の側に接触されるのに対し、従来技術のテスターにおける他の組
の接触フィンガーは単に実質的により少ない数の回路基板検査ポイントに接触す
るに過ぎない。
【0033】
これが検査中にこの組の回路基板検査ポイントがしばしば他の組の回路基板検
査ポイトンの検出が終了するまで無駄に待機しなければならない理由である。こ
の空き時間は本発明に従ったテスターにより排除され、又は少なくとも最小限に
短縮される。
査ポイトンの検出が終了するまで無駄に待機しなければならない理由である。こ
の空き時間は本発明に従ったテスターにより排除され、又は少なくとも最小限に
短縮される。
【0034】
本発明は、今や概略的な実施例を表わしている添付された図面を参照して詳細
に述べられるであろう。
に述べられるであろう。
【0035】
図1を参照すると、本発明にとって不可欠な構成要素のみが示された本発明に
従ったテスターの平面図が図解されており、従ってたとえこの装置が機能するた
めに必要であっても、本発明において不適切と考えられる部分は省略されている
。
従ったテスターの平面図が図解されており、従ってたとえこの装置が機能するた
めに必要であっても、本発明において不適切と考えられる部分は省略されている
。
【0036】
テスター1は本発明に従った保持プレート4(図2)を受け入れるために、2
本のU溝レール3によって横方向へ区画された検査区画2を含んでいる。
本のU溝レール3によって横方向へ区画された検査区画2を含んでいる。
【0037】
検査区画2の範囲は、案内レール7上の横断部材上を末端部分6により移動す
るために配置された2本の横断部材によってカバーされる。
るために配置された2本の横断部材によってカバーされる。
【0038】
どの場合でもU溝レール3の1つは、案内レール7の1つに平行且つ隣接して
配置される。
配置される。
【0039】
U溝レール3及びその開口部は検査区画2に向き合っており、且つ保持プレー
ト4がストッパー8に到達するまで保持プレート4をU溝レール3の中へ挿入可
能とするように、各末端にストッパー8が備えられる。
ト4がストッパー8に到達するまで保持プレート4をU溝レール3の中へ挿入可
能とするように、各末端にストッパー8が備えられる。
【0040】
横断部材5上には移動のため位置決め部材9が配置される。それぞれの位置決
め部材9は、対応する位置決め部材9上で鉛直方向(Z軸方向)にシフトできる
ように配置された接触フィンガー10を含む。
め部材9は、対応する位置決め部材9上で鉛直方向(Z軸方向)にシフトできる
ように配置された接触フィンガー10を含む。
【0041】
横断部材5は案内レール7に沿って移動でき、そして位置決め部材9は横断部
材5に沿って移動できるため、位置決め部材9は検査区画平面の中のX方向及び
Y方向のいかなる位置にも移動できる。位置決め部材の動きは制御手段11によ
って制御される。
材5に沿って移動できるため、位置決め部材9は検査区画平面の中のX方向及び
Y方向のいかなる位置にも移動できる。位置決め部材の動きは制御手段11によ
って制御される。
【0042】
保持プレート4の中に設けられるのは、検査回路基板の形状に対応している窓
12(図3,4a)である。
12(図3,4a)である。
【0043】
それぞれの窓12は、図示した実施例では鉛直方向に向けて配置されている壁
14と、位置決め縁13の全ての側面上の棚15で代表される位置決め縁13を
含み、棚15はその端部が保持プレート4の下方側面区域と面一になるように保
持プレート4と一体の位置決め壁14の下に形成される。
14と、位置決め縁13の全ての側面上の棚15で代表される位置決め縁13を
含み、棚15はその端部が保持プレート4の下方側面区域と面一になるように保
持プレート4と一体の位置決め壁14の下に形成される。
【0044】
窓12の位置決め壁14は検査回路基板16の形状に対して正確に適応し、そ
のため回路基板16が保持要素として役立つ棚15によって窓12から脱落する
ことが防止される窓12中に積極的に配置されることができる。
のため回路基板16が保持要素として役立つ棚15によって窓12から脱落する
ことが防止される窓12中に積極的に配置されることができる。
【0045】
検査回路基板16は保持プレート4の棚15の間に且つ保持プレート4の上に
配置されたカウンタープレート上に所定位置に固定されるため、図4bに示した
保持プレート4は窓12を積極的に位置決めするように構成する必要がないとい
うことに注目すべきである。
配置されたカウンタープレート上に所定位置に固定されるため、図4bに示した
保持プレート4は窓12を積極的に位置決めするように構成する必要がないとい
うことに注目すべきである。
【0046】
カウンタープレートはねじ留め具28により保持プレート4に固着され、その
ため検査回路基板はカウンタープレート27と保持プレート4との間の位置に締
め付けられ、そしてこのようにして固定して配置される。
ため検査回路基板はカウンタープレート27と保持プレート4との間の位置に締
め付けられ、そしてこのようにして固定して配置される。
【0047】
検査回路基板16を固定的に配置するためには、カウンタープレートに代えて
粘着性テープも使用できる。
粘着性テープも使用できる。
【0048】
保持プレート4の上には、平面に見た時に互いに鏡面対称に配置された2種類
の窓12a,12bが設けられている。図3に示した実施例においては、窓12
a,12bはそれぞれ対称軸17に対して鏡面対称に配置される。しかしながら
、窓12は他のいかなる方向において互い違いにさせて又は回転させて配置させ
ることができ、そのため対称軸は鏡面対称を形づくる一対の窓の間に限定されな
い。
の窓12a,12bが設けられている。図3に示した実施例においては、窓12
a,12bはそれぞれ対称軸17に対して鏡面対称に配置される。しかしながら
、窓12は他のいかなる方向において互い違いにさせて又は回転させて配置させ
ることができ、そのため対称軸は鏡面対称を形づくる一対の窓の間に限定されな
い。
【0049】
本発明において重要なことは、検査回路基板16の一部はその表面側を保持プ
レート4の1の面に向けてはめ込むことができ、且つ検査回路基板16の他の一
部はその表面側を保持プレート4の他の面に向けてはめ込むことができるように
、検査回路基板16を保持プレート4の中にはめ込むことができることである。
レート4の1の面に向けてはめ込むことができ、且つ検査回路基板16の他の一
部はその表面側を保持プレート4の他の面に向けてはめ込むことができるように
、検査回路基板16を保持プレート4の中にはめ込むことができることである。
【0050】
図示した実施例では、回路基板はその裏側が棚15の上に載って窓12aの中
に配置されているのに対して、窓12bの中では回路基板は棚15の上にその表
面側が載ってはめ込まれている。
に配置されているのに対して、窓12bの中では回路基板は棚15の上にその表
面側が載ってはめ込まれている。
【0051】
数個の検査回路基板16が保持プレート4の中にはめ込まれ、示した実施例で
は4枚の検査回路基板16が1つのユニットとしてストッパー8に到達するまで
テスターのU溝レール3の中に挿入される。
は4枚の検査回路基板16が1つのユニットとしてストッパー8に到達するまで
テスターのU溝レール3の中に挿入される。
【0052】
検査回路基板16の一部はその表面側を上方の接触フィンガー10、即ち接触
フィンガーの第1の組18に向いており、且つ回路基板の他の一部は下方の接触
フィンガー10,即ち接触フィンガーの第2の組19に向いているため、両方の
組18,19はそれぞれ検査回路基板16の表面及び裏面側に向いている(図2
)。
フィンガーの第1の組18に向いており、且つ回路基板の他の一部は下方の接触
フィンガー10,即ち接触フィンガーの第2の組19に向いているため、両方の
組18,19はそれぞれ検査回路基板16の表面及び裏面側に向いている(図2
)。
【0053】
制御手段11は、接触フィンガーの両方の組18,19の接触フィンガー10
が検査回路基板16の表面及び裏面側の回路基板検査ポイント20に接触できる
ように設定される。
が検査回路基板16の表面及び裏面側の回路基板検査ポイント20に接触できる
ように設定される。
【0054】
この目的のために、回路基板の検査プログラム(回路基板検査ポイントの座標
及び回路基板検査ポイントへ接触させるシーケンスが記憶される。)は、2組1
8,19の接触フィンガーの間に反対向きに挿入された回路基板16について表
面側と裏面側プログラムを含んでいる。
及び回路基板検査ポイントへ接触させるシーケンスが記憶される。)は、2組1
8,19の接触フィンガーの間に反対向きに挿入された回路基板16について表
面側と裏面側プログラムを含んでいる。
【0055】
従って本発明に従った制御手段は、回路基板の表面側を上向きに向けた回路基
板のための“通常”検査プログラムと、回路基板の裏面側を上向きに向けて逆向
きに挿入された回路基板のための“反転”検査プログラムを含む。
板のための“通常”検査プログラムと、回路基板の裏面側を上向きに向けて逆向
きに挿入された回路基板のための“反転”検査プログラムを含む。
【0056】
これらの検査プログラムは各々のケースにおいてテスター1の保持プレート4
の中にはめ込まれた回路基板の数に対応して繰り返され、テスター1の保持板4
の中の回路基板の対応する位置が縮尺される。有意な異なる数の回路基板検査ポ
イントが検査回路基板の表面及び裏面側に配置されることは通常のことである。
の中にはめ込まれた回路基板の数に対応して繰り返され、テスター1の保持板4
の中の回路基板の対応する位置が縮尺される。有意な異なる数の回路基板検査ポ
イントが検査回路基板の表面及び裏面側に配置されることは通常のことである。
【0057】
回路基板の表面側と裏面側の回路基板検査ポイントの比は、多くの場合3対1
から20対1の範囲であり、また裏面側に回路基板検査ポイントを全く有さない
回路基板も存在する。
から20対1の範囲であり、また裏面側に回路基板検査ポイントを全く有さない
回路基板も存在する。
【0058】
本発明に従った装置においては、両方の組18,19の接触フィンガーが検査
回路基板の表面及び裏面側の両方に接触するため、1組の接触フィンガーを単に
検査回路基板の表面側のみに接触させ且つ他の組の接触フィンガーは単に裏面側
のみに接触させるに過ぎない場合と比べて、回路基板検査ポイントの平均数が両
方の組18,19の接触フィンガーによって接触される。
回路基板の表面及び裏面側の両方に接触するため、1組の接触フィンガーを単に
検査回路基板の表面側のみに接触させ且つ他の組の接触フィンガーは単に裏面側
のみに接触させるに過ぎない場合と比べて、回路基板検査ポイントの平均数が両
方の組18,19の接触フィンガーによって接触される。
【0059】
回路基板の表面側が1組の接触フィンガーに向いている同じ数の回路基板が、
他の組の接触フィンガーへ向いて配置されている理想的なケースでは、正確に同
じ数の回路基板検査ポイントが、それぞれのケースにおいて、各々の組の接触フ
ィンガーにより接触される。
他の組の接触フィンガーへ向いて配置されている理想的なケースでは、正確に同
じ数の回路基板検査ポイントが、それぞれのケースにおいて、各々の組の接触フ
ィンガーにより接触される。
【0060】
そのような配置においては、両方の組の接触フィンガーはテスターに挿入可能
な全ての回路基板が検査される間の検査中、全く同じことを実行することが必要
とされる。
な全ての回路基板が検査される間の検査中、全く同じことを実行することが必要
とされる。
【0061】
このことは、1組の接触フィンガーは単に検査回路基板の表面側を検査し且つ
他の組は単に裏面側を検査するに過ぎない従来技術のテスターに比べて、相当な
時間を節約する結果をもたらす。
他の組は単に裏面側を検査するに過ぎない従来技術のテスターに比べて、相当な
時間を節約する結果をもたらす。
【0062】
これら公知の装置においては、より少ない数の回路基板検査ポイントとの接触
が必要とされる接触フィンガーの組は決して完全に実行せず、1組の接触フィン
ガーは他の組の接触フィンガーが対応する検査測定を終えるまで待機しなければ
ならない間の相当な空き時間を生じる結果となるからである。
が必要とされる接触フィンガーの組は決して完全に実行せず、1組の接触フィン
ガーは他の組の接触フィンガーが対応する検査測定を終えるまで待機しなければ
ならない間の相当な空き時間を生じる結果となるからである。
【0063】
好ましくは保持プレート4の上に、接触フィンガー10(図3)により検知し
、テスター1の中の保持プレート4の位置を画定するのを可能にするための少な
くとも2つの導電性する接触ポイント21が設けられる。
、テスター1の中の保持プレート4の位置を画定するのを可能にするための少な
くとも2つの導電性する接触ポイント21が設けられる。
【0064】
ひとたび保持プレート4の位置が画定されると、検査回路基板16は保持プレ
ート4の中に積極的に配置されているため、検査回路基板16の位置もテスター
1に関して画定され、これにより個々の検査回路基板のための検査プログラムが
対応してX/Y座標系において対応して縮尺するのを可能にする。
ート4の中に積極的に配置されているため、検査回路基板16の位置もテスター
1に関して画定され、これにより個々の検査回路基板のための検査プログラムが
対応してX/Y座標系において対応して縮尺するのを可能にする。
【0065】
本発明に従った一つの好ましい具体例(図2)においては、それぞれの、そし
て全ての回路基板検査ポイントのその理想的な位置からの片寄りを作図(マッピ
ング)し、且つ回路基板の位置のズレを作図するためステーションを含む。
て全ての回路基板検査ポイントのその理想的な位置からの片寄りを作図(マッピ
ング)し、且つ回路基板の位置のズレを作図するためステーションを含む。
【0066】
この作図(マッピング)ステーションは、保持プレート4それぞれの一方の側
を全体的に作図する2個のカメラ23を含む。カメラは片寄り及び位置のズレの
決定において、カメラ23によって捕捉された画像信号をデジタル解析する解析
装置24へ電気的に接続される。
を全体的に作図する2個のカメラ23を含む。カメラは片寄り及び位置のズレの
決定において、カメラ23によって捕捉された画像信号をデジタル解析する解析
装置24へ電気的に接続される。
【0067】
そのような解析方法は既に知られており、従って本発明においてはそれ自体を
詳述する必要がない。
詳述する必要がない。
【0068】
またこれらの方法は、検査回路基板の生産により具体化する片寄りや位置のズ
レは大きさとして回路基板検査ポイトンとおよそ同じであるため、特に非常に高
密度の回路基板検査ポイトンや非常に小さな回路基板検査ポイトンを有する回路
基板が関係し、ミスアラインメントによって生ずるそのような片寄りや位置ズレ
による誤接触を生ずる場合に利用価値がある。
レは大きさとして回路基板検査ポイトンとおよそ同じであるため、特に非常に高
密度の回路基板検査ポイトンや非常に小さな回路基板検査ポイトンを有する回路
基板が関係し、ミスアラインメントによって生ずるそのような片寄りや位置ズレ
による誤接触を生ずる場合に利用価値がある。
【0069】
カメラ23及び解析装置24により、それぞれの回路基板検査ポイントの理想
的な位置からの偏位が作図される。
的な位置からの偏位が作図される。
【0070】
このようにして獲得された“偏位データ”は解析装置24から制御手段11へ
転送され、個々の回路基板検査ポイントのそれぞれが正確に接触されるように検
査中の接触フィンガー11の移動に際し対応して考慮される。
転送され、個々の回路基板検査ポイントのそれぞれが正確に接触されるように検
査中の接触フィンガー11の移動に際し対応して考慮される。
【0071】
保持プレート4にはめ込まれた個々の回路基板における回路基板偏位データは
、保持プレート4により規定されたX/Y座標系を基準にして決定される。この
座標の系は、例えば保持プレート4に適用された接触ポイント21により規定さ
れる。
、保持プレート4により規定されたX/Y座標系を基準にして決定される。この
座標の系は、例えば保持プレート4に適用された接触ポイント21により規定さ
れる。
【0072】
本発明に従ったテスターのより好ましい具体例においては、保持プレート4は
、例えばコンベアーベルトにより作図ステーション22から検査区画2の中へ自
動的に搬送される。
、例えばコンベアーベルトにより作図ステーション22から検査区画2の中へ自
動的に搬送される。
【0073】
そのような1つの自動化テスターにおいては、検査区画2において検査手順が
実行されている間に、別の検査回路基板16が挿入され、その中で作図される別
の保持プレート4を備える。この保持プレート4が設けられることにより、この
ようにして検査区画に関係なく片寄りや位置のズレを作図することが可能となる
。
実行されている間に、別の検査回路基板16が挿入され、その中で作図される別
の保持プレート4を備える。この保持プレート4が設けられることにより、この
ようにして検査区画に関係なく片寄りや位置のズレを作図することが可能となる
。
【0074】
従来技術のテスターにおいては、片寄りや位置のズレは回路基板が検査区画の
中へ挿入された後に作図される。片寄りや位置のズレを作図している間は実際の
検査を行うことはできない。このことが作図が検査時間を過度に制限することを
回避するためにできるだけ短時間に実行される必要がある理由である。
中へ挿入された後に作図される。片寄りや位置のズレを作図している間は実際の
検査を行うことはできない。このことが作図が検査時間を過度に制限することを
回避するためにできるだけ短時間に実行される必要がある理由である。
【0075】
今や本発明に従った装置により、実質的により多くの時間が片寄りや位置のズ
レを測定するために利用でき、このようにして個々の回路基板検査ポイントを実
質的により正確に検知することが可能となる。
レを測定するために利用でき、このようにして個々の回路基板検査ポイントを実
質的により正確に検知することが可能となる。
【0076】
このことは回路基板検査ポイントが今や更に正確に検知されるため、特に高密
度の回路基板検査ポイトンや非常に小さな回路基板検査ポイントを有する回路基
板を検査する上でその処理量及び品質を大いに高める。
度の回路基板検査ポイトンや非常に小さな回路基板検査ポイントを有する回路基
板を検査する上でその処理量及び品質を大いに高める。
【0077】
今や図6を参照すると、本発明に従ったテスターの更なる実施例が描かれてい
る。このテスターは移動する位置取り部材9が上に載っている固定された横断部
材5を含む、単純な機械的構成からなる。
る。このテスターは移動する位置取り部材9が上に載っている固定された横断部
材5を含む、単純な機械的構成からなる。
【0078】
位置取り部材9には位置取り部材9や検査区画2に対して平行する平面内に回
転自在に取り付けられた回転腕25が設けられる。位置取り部材9から遠く離れ
た回転腕25の末端には、回路基板検査ポイントに接触するために接触フィンガ
テー10が配置される。隣接する2つの横断部材5の間の距離は、回転腕25の
2 倍の長さLより短い。
転自在に取り付けられた回転腕25が設けられる。位置取り部材9から遠く離れ
た回転腕25の末端には、回路基板検査ポイントに接触するために接触フィンガ
テー10が配置される。隣接する2つの横断部材5の間の距離は、回転腕25の
2 倍の長さLより短い。
【0079】
1つの横断部材5に割り振られた接触フィンガー10により検査区画2の検査
領域26を走査することができ、該領域の縁は横断部材5からLだけ離れている
。
領域26を走査することができ、該領域の縁は横断部材5からLだけ離れている
。
【0080】
これらの検査領域26はそれらの縁部分において重なり合い、従ってこれらの
重複部分においては2つの異なる横断部材5の接触フィンガー10が検査区画を
走査することができ、より早い検査を可能にする。
重複部分においては2つの異なる横断部材5の接触フィンガー10が検査区画を
走査することができ、より早い検査を可能にする。
【0081】
従って、本発明に従った保持プレート4はテスターの検査速度をより高めるた
めに、これらの検査領域26の重複部分の中に窓12及び検査回路基板が配置さ
れるようになっている。
めに、これらの検査領域26の重複部分の中に窓12及び検査回路基板が配置さ
れるようになっている。
【0082】
窓12の配置は、おおよそ同じ数の回路基板検査ポイントが個々の横断部材に
より接触されるように、コンピュータープログラムによってより最適化できる。
より接触されるように、コンピュータープログラムによってより最適化できる。
【0083】
そのようなコンピュータープログラムはこのようにして、テスター1の検査区
画2の上の検査回路基板の理想的配置を自動的に決定するための方法を実行し、
換言すれば検査回路基板の配置はこのようにして、接触フィンガーの組に関して
のみならず個々の横断部材に関しても最適化される。
画2の上の検査回路基板の理想的配置を自動的に決定するための方法を実行し、
換言すれば検査回路基板の配置はこのようにして、接触フィンガーの組に関して
のみならず個々の横断部材に関しても最適化される。
【0084】
他の種類のテスターのためには、窓12の位置はこれらの更なるテスターの仕
様書に従って規定し、最適化することができる。
様書に従って規定し、最適化することができる。
【0085】
【発明の効果】
本発明によって達成される利点は、以下に要約されるであろう。
【0086】
2組の接触フィンガーは検査中におおよそ同じ数の回路基板検査ポイントに接
触するため、2組の接触フィンガーの実質的に改善された作動が達成される。
触するため、2組の接触フィンガーの実質的に改善された作動が達成される。
【0087】
任意の作図ステーションをもって、片寄り及び位置のズレが事前に高精度に作
図され、且つ保持手段(保持プレート4)により規定された座標系に関して画定
することができる。
図され、且つ保持手段(保持プレート4)により規定された座標系に関して画定
することができる。
【0088】
検査回路基板の積極的位置決めをする全ての側面上の棚15および位置決め壁
14を有する保持プレート4を使用する時は、いかなる形状及び大きさの回路基
板とも両立する高い位置決め精度および安全性が達成される。
14を有する保持プレート4を使用する時は、いかなる形状及び大きさの回路基
板とも両立する高い位置決め精度および安全性が達成される。
【0089】
多数の検査回路基板を取付けるために適した保持プレートを使用することによ
り、テスターに装填および脱装填するために必要な時間が短縮される。
り、テスターに装填および脱装填するために必要な時間が短縮される。
【0090】
多数の検査回路基板が同時に処理され且つ検査されるため、自動化効果が実現
する。
する。
【0091】
本発明を実施例により上に詳述したが、本発明は関連する具体例に限定される
ものでないことを理解すべきである。
ものでないことを理解すべきである。
【0092】
例えば、本発明の範囲から逸脱することなしに窓12の位置決め縁13の全て
の側面上の単一の棚15に代えて、保持プレート4上に断面位置に配置されたい
くつかの棚を設けることもできる。単一の保持プレートに代えて任意の数の他の
保持手段を少なくとも2つの回路基板を配置するために備えることができ、それ
によって一つの回路基板はその表面側を上向きにして配置され、他方はその裏面
側を上向きにして配置することができる。
の側面上の単一の棚15に代えて、保持プレート4上に断面位置に配置されたい
くつかの棚を設けることもできる。単一の保持プレートに代えて任意の数の他の
保持手段を少なくとも2つの回路基板を配置するために備えることができ、それ
によって一つの回路基板はその表面側を上向きにして配置され、他方はその裏面
側を上向きにして配置することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に従った回路基板テスターの平面図である。
【図2】 図1に示される本装置の側面図である。
【図3】 本発明に従った保持プレート(回路基板を除く)の平面図である。
【図4a】 図3に示されるA−A線に沿って矢印の方向から見た保持プレート
(回路基板を含む)の断面図である。
(回路基板を含む)の断面図である。
【図4b】 保持プレート(回路基板を含む)の更なる具体例の断面図である。
【図5】 その上に接触フィンガーが配置されている固定された横断部材及び回
転腕を含む本発明に従った回路基板テスターの更なる実施例の平面図である。
転腕を含む本発明に従った回路基板テスターの更なる実施例の平面図である。
【符号の説明】
1・・・テスター
2・・・検査区画
3・・・U溝レール
4・・・保持プレート
5・・・横断部材
6・・・末端部分
7・・・案内レール
8・・・ストッパー
9・・・位置取り部材
10・・・接触フィンガー
11・・・制御手段
12・・・窓
13・・・位置決め縁
14・・・位置決め壁
15・・・棚
16・・・検査回路基板
17・・・対称軸
18・・・接触フィンガーの第1の組
19・・・接触フィンガーの第2の組
20・・・回路基板検査ポイント
21・・・接触ポイント
22・・・作図(マッピング)
23・・・カメラ
24・・・解析装置
25・・・回転腕
26・・・検査領域
27・・・カウンタープレート
Claims (10)
- 【請求項1】 検査区画(2)と、 前記検査区画に平行な平面内を移動のために配置された接触フィンガー(10
)であって、該接触フィンガー(10)の2つが試験電流回路の構成要素として
のプローブ対を形成している接触フィンガー(10)と、 検査回路基板(16)の回路基板検査ポイント(20)上に前記接触フィンガ
ー(10)を配置するための制御手段(11)を備えている回路基板テスターで
あって、検査手順の間前記回路基板(16)の複数を同時に前記テスター(1)
中に挿入することができ、そして前記接触フィンガー(10)は、回路基板(1
6)の表面側を検査するための1つの組にそして回路基板の裏面側を検査するた
めの他の組に接触フィンガー(10)が2つの組(18,19)に配置されてい
る回路基板テスターであって、 少なくとも2つの検査回路基板(16)を収容するための部分を含んでいる保
持手段(4)が接触フィンガー(10)の前記2つの組の間に配置されており、
検査回路基板(16)の少なくとも1つはその表面側で、そして他方の回路基板
(16)はその裏面側で接触フィンガー(10)の前記2組の1つに対面するよ
うに前記保持手段(4)に挿入することができ、そして前記制御手段(11)は
接触フィンガー(10)の両方の組が検査中前記検査回路基板(16)の表面側
および裏面側上の回路基板検査ポイント(20)に接触できるように構成されて
いることを特徴とする回路基板テスター。 - 【請求項2】 前記検査回路基板(16)のおおよそ半分はそれらの表面側を1組(18)の
接触フィンガー(10)に向けて前記保持プレート(4)の中に挿入でき、且つ
検査回路基板(16)の他の半分はそれらの裏面側を前記1組(18)の接触フ
ィンガー(10)に向けて挿入できることを特徴とする請求項1のテスター。 - 【請求項3】 前記保持手段は、その中に前記検査回路基板(16)とほぼ同じ形状を有する
窓(12)、及び前記検査回路基板(16)を保持するための保持部材を備えた
保持プレート(4)を含んでいることを特徴とする請求項1又は2のテスター。 - 【請求項4】 前記保持部材は、前記窓(12)の位置決め縁(13)から突出する棚(15
)として形づくられていることを特徴とする請求項3のテスター。 - 【請求項5】 前記棚(15)は、前記保持プレート(4)と一体的に形成され、且つ板状半製
品から切削により造られていることを特徴とする請求項4のテスター。 - 【請求項6】 前記保持プレート(4)を上から見た時に、第1の窓(12a)の形状は検査
回路基板(16)の形状に一致しており、且つ上から見て第2の窓(12b)の
形状は前記第1の窓(12a)に対して鏡面対称であることを特徴とする請求項
3乃至5のいずれかのテスター。 - 【請求項7】 いくつかの対の鏡面対称の窓(12a,12b)が設けられていることを特徴
とする請求項6のテスター。 - 【請求項8】 横断部材(5)が前記検査区画(2)の範囲をカバーし且つ固定して配置され
ており、前記接触フィンガー(10)は前記横断部材(5)の上に回転腕(25
)によって配置されており、そのために前記接触フィンガー(10)は前記検査
区画(2)の筋状の検査領域(26)をカバーし、隣接する横断部材(5)の前
記検査領域(26)は重なり合い、そして 鏡面対称に形づくられた窓(12a,12b)の対は、隣接する検査領域(2
6)の前記重複部分の中に配置されていることを特徴とする請求項7のテスター
。 - 【請求項9】 前記回路基板検査ポイント(20)の片寄り及び/又は位置のズレを作図(マ
ッピング)するための作図(マッピング)ステーション(22)が設けられてお
り、前記作図ステーション(22)は前記検査区画(2)の外側に配置され、且
つ前記個々の回路基板(16)を前記保持手段により規定された座標系に関して
作図することを許容するように前記保持プレート(4)の中に挿入できるように
設定されていることを特徴とする請求項1乃至8のいずれかのテスター。 - 【請求項10】 前記保持手段(4)は、前記テスター(1)の前記検査区画(2)の中にある
前記保持手段(4)の位置を検出するために、前記接触フィンガー(10)によ
る接触のために少なくとも2つの電気的接点(21)を含んでいることを特徴と
する請求項9のテスター。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008122392A (ja) * | 2001-12-07 | 2008-05-29 | Atg Test Systems Gmbh & Co Kg | フィンガー・テスター |
JP2016511410A (ja) * | 2013-03-13 | 2016-04-14 | エクセラ・コーポレーションXcerra Corp. | プリント回路基板のテスト装置のクロスメンバユニット及びそのクロスメンバユニットを有するテスト装置 |
Families Citing this family (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE20005123U1 (de) | 2000-03-20 | 2001-08-02 | atg test systems GmbH & Co. KG Reicholzheim, 97877 Wertheim | Vorrichtung zum Prüfen von Leiterplatten |
DE10220343B4 (de) * | 2002-05-07 | 2007-04-05 | Atg Test Systems Gmbh & Co. Kg Reicholzheim | Vorrichtung und Verfahren zum Prüfen von Leiterplatten und Prüfsonde |
DE10320925B4 (de) * | 2003-05-09 | 2007-07-05 | Atg Test Systems Gmbh & Co.Kg | Verfahren zum Testen von unbestückten Leiterplatten |
TWI235834B (en) * | 2004-06-16 | 2005-07-11 | Star Techn Inc | Apparatus for probing multi-dies |
US7463042B2 (en) * | 2005-06-30 | 2008-12-09 | Northrop Grumman Corporation | Connector probing system |
US7256596B1 (en) * | 2005-11-01 | 2007-08-14 | Russell Robert J | Method and apparatus for adapting a standard flying prober system for reliable testing of printed circuit assemblies |
US8645149B2 (en) * | 2006-01-23 | 2014-02-04 | Balboa Water Group, Inc. | Testing method and system |
US8436636B2 (en) | 2006-10-10 | 2013-05-07 | Apple Inc. | Methods and apparatuses for testing circuit boards |
US8362793B2 (en) | 2006-11-07 | 2013-01-29 | Apple Inc. | Circuit boards including removable test point portions and configurable testing platforms |
US8294558B2 (en) * | 2006-12-04 | 2012-10-23 | Fujitsu Ten Limited | Starting control apparatus and tuner device |
TW200918914A (en) * | 2007-10-24 | 2009-05-01 | King Yuan Electronics Co Ltd | Testing system module |
WO2010082094A2 (en) * | 2009-01-17 | 2010-07-22 | Doublecheck Semiconductors Pte. Ltd. | Method and apparatus for testing a semiconductor wafer |
US8289042B2 (en) | 2010-01-19 | 2012-10-16 | Research In Motion Limited | Test apparatus and pallet for parallel RF testing of printed circuit boards |
EP2348324B1 (en) * | 2010-01-19 | 2012-09-26 | Research In Motion Limited | Test apparatus, manufacturing method, and pallet for parallel RF testing of printed circuit boards |
CN102955122A (zh) * | 2011-08-18 | 2013-03-06 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 电路板测试装置 |
US9989583B2 (en) * | 2013-03-13 | 2018-06-05 | Xcerra Corporation | Cross-bar unit for a test apparatus for circuit boards, and test apparatus containing the former |
CN104111415B (zh) * | 2013-04-16 | 2016-12-14 | 张光容 | Pcb板测试装置 |
TW201500747A (zh) * | 2013-06-25 | 2015-01-01 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | 自動化測量系統及方法 |
CN103728550A (zh) * | 2013-12-27 | 2014-04-16 | 昆山迈致治具科技有限公司 | 一种pcb板性能检测治具 |
DE102015113046A1 (de) * | 2015-08-07 | 2017-02-09 | Xcerra Corp. | Positioniereinrichtung für einen Paralleltester zum Testen von Leiterplatten und Paralleltester zum Testen von Leiterplatten |
CN105137263B (zh) * | 2015-08-21 | 2018-04-20 | 广州兴森快捷电路科技有限公司 | 一种多料号合拼板电性能测试方法 |
DE102017102700A1 (de) * | 2017-02-10 | 2018-09-13 | Atg Luther & Maelzer Gmbh | Prüfvorrichtung und Verfahren zum Prüfen von Leiterplatten |
TWI657988B (zh) * | 2017-03-24 | 2019-05-01 | 鴻勁精密股份有限公司 | Electronic component working machine |
CN113777464A (zh) * | 2020-06-10 | 2021-12-10 | 深南电路股份有限公司 | 一种电路板功能测试装置、***及方法 |
CN117110826A (zh) * | 2022-05-12 | 2023-11-24 | 中兴智能科技南京有限公司 | 一种测试设备和测试方法 |
CN115629299B (zh) * | 2022-12-19 | 2023-03-17 | 柯泰光芯(常州)测试技术有限公司 | 一种实现隔离开尔文测试的半导体芯片测试方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01143210A (ja) * | 1987-11-28 | 1989-06-05 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品チップ保持治具および電子部品チップ取扱い方法 |
JPH0424076U (ja) * | 1990-06-20 | 1992-02-27 |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4017793A (en) * | 1975-08-11 | 1977-04-12 | Haines Fred E | Printed circuit board circuit tester |
DE2800775A1 (de) * | 1978-01-09 | 1979-07-12 | Luther & Maelzer Gmbh | Verfahrensanordnung und vorrichtung zur aufnahme und funktionsmessueberpruefung von unbestueckten leiterplatten |
GB8700754D0 (en) | 1987-01-14 | 1987-02-18 | Int Computers Ltd | Test apparatus for printed circuit boards |
DE4008771A1 (de) * | 1990-03-19 | 1991-09-26 | Lohse Christian Schalttech | Pruefgeraet fuer beidseitig mit integrierten schaltungen bestueckte leiterplatten |
US5408189A (en) | 1990-05-25 | 1995-04-18 | Everett Charles Technologies, Inc. | Test fixture alignment system for printed circuit boards |
JPH0438480A (ja) | 1990-06-03 | 1992-02-07 | Kyoei Sangyo Kk | プリント配線板検査機用アダプタ上下タイプ |
EP0468153B1 (de) | 1990-07-25 | 1995-10-11 | atg test systems GmbH | Kontaktierungsvorrichtung für Prüfzwecke |
US5469064A (en) * | 1992-01-14 | 1995-11-21 | Hewlett-Packard Company | Electrical assembly testing using robotic positioning of probes |
JP2720688B2 (ja) | 1992-01-31 | 1998-03-04 | ジェイエスアール株式会社 | 回路基板の検査方法 |
EP0760104B1 (de) | 1994-05-20 | 1999-02-03 | Luther & Maelzer GmbH | System und verfahren zum prüfen der korrekten position einer kontaktinseln und leiterbahnen aufweisenden leiterplatte in einer prüfvorrichtung |
DE19500416A1 (de) * | 1995-01-10 | 1996-07-11 | Atg Test Systems Gmbh | Haltevorrichtung für flächenförmige Prüflinge |
DE19503329C2 (de) | 1995-02-02 | 2000-05-18 | Ita Ingb Testaufgaben Gmbh | Testvorrichtung für elektronische Flachbaugruppen |
DE29616272U1 (de) | 1996-09-18 | 1998-01-29 | atg test systems GmbH, 97877 Wertheim | Adapter zum Prüfen von elektrischen Leiterplatten |
DE19700505A1 (de) * | 1997-01-09 | 1998-07-16 | Atg Test Systems Gmbh | Verfahren zum Prüfen von Leiterplatten |
IT1290345B1 (it) | 1997-02-18 | 1998-10-22 | Circuit Line Spa | Metodo e dispositivo per la correzione dell'errore di allineamento fra aghi di test e punti di test nella fase di test elettrico di |
IT1291643B1 (it) | 1997-04-22 | 1999-01-19 | Circuit Line Spa | Metodo di regolazione automatica per l'eliminazione dell'errore di centraggio in fase di test elettrico di circuiti stampati |
JP2002504690A (ja) | 1998-02-18 | 2002-02-12 | ルーテル ウント メルツァー ゲーエムベーハー | プリント回路基板の検査を行なうための方法および装置 |
DE19821225A1 (de) * | 1998-02-18 | 1999-08-19 | Luther & Maelzer Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Prüfen von gedruckten Leiterplatten |
WO2000017662A1 (de) * | 1998-09-24 | 2000-03-30 | Mci Computer Gmbh | Testvorrichtung für module |
DE20005123U1 (de) | 2000-03-20 | 2001-08-02 | atg test systems GmbH & Co. KG Reicholzheim, 97877 Wertheim | Vorrichtung zum Prüfen von Leiterplatten |
-
2000
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2001
- 2001-03-16 TW TW090106172A patent/TW515905B/zh not_active IP Right Cessation
-
2002
- 2002-09-17 US US10/245,905 patent/US6677773B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01143210A (ja) * | 1987-11-28 | 1989-06-05 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品チップ保持治具および電子部品チップ取扱い方法 |
JPH0424076U (ja) * | 1990-06-20 | 1992-02-27 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008122392A (ja) * | 2001-12-07 | 2008-05-29 | Atg Test Systems Gmbh & Co Kg | フィンガー・テスター |
JP2016511410A (ja) * | 2013-03-13 | 2016-04-14 | エクセラ・コーポレーションXcerra Corp. | プリント回路基板のテスト装置のクロスメンバユニット及びそのクロスメンバユニットを有するテスト装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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