JP2003528323A - 回路基板テスター - Google Patents

回路基板テスター

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JP2003528323A JP2001569506A JP2001569506A JP2003528323A JP 2003528323 A JP2003528323 A JP 2003528323A JP 2001569506 A JP2001569506 A JP 2001569506A JP 2001569506 A JP2001569506 A JP 2001569506A JP 2003528323 A JP2003528323 A JP 2003528323A
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Abstract

(57)【要約】 本発明は回路基板のテスターに関し、検査区画と、検査区画へ平行な平面内を移動するために配置された接触フィンガーであって、２つの接触フィンガーは検査電流回路の構成要素として１対のプローブを形成し、検査回路基板の回路基板検査ポイントの上に接触フィンガーを配置するための制御手段であって、複数の回路基板が検査手順の実行中において同時にテスターの中へ挿入でき、そして２組の接触フィンガーであって、１組は検査回路基板の表面側を検査するために且つ他の組は裏面側を検査するために配置されているものとを備える。本発明は、２組の接触フィンガーの間に少なくとも２つの検査用回路基板を収容するための部分を含む保持手段を備え、少なくとも１つの検査回路基板は接触フィンガーの２組のセットの１つに対してその表面側を向けて且つ他の検査用回路基板はその裏面側を向けて保持手段の中へ挿入でき、且つ検査手順の間、検査回路基板の表面及び裏面側の両方の上の回路基板検査ポイントに両方の組の接触フィンガーが接触できるようにした制御手段を備えることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、回路基板のテスターに関する。該テスターは、検査区画と検査区画
に対し平行する平面内において移動するために配置された接触フィンガーであっ
て、２つの接触フィンガーが検査電流回路の構成要素として１対のプローブを形
成し、検査すべき回路基板の回路基板検査ポイントの上に接触フィンガーを配置
するための制御手段であって、複数の回路基板を検査手順実行中において同時に
テスターの中へ挿入でき、そして一方は検査すべき回路基板の表面側を検査する
ために且つ他方は裏面側を検査するために配置されている２組の接触フィンガー
を備えている。
【０００２】
【従来の技術】
回路基板の検査装置、特に未実装の回路基板を検査するための装置は、基本的
にフィンガーテスター及び並列テスターとに区別できる。
【０００３】 フィンガーテスターは、その中で検査すべき回路基板上を渡した横断部材に沿
って移動するスライド上に配置されたプローブにより、検査回路基板の個々の回
路基板検査ポイントが逐次探査される装置であり、プローブは探査すべき各回路
基板検査ポイント上に位置決めされ、そうして回路基板検査ポイトンはプローブ
により接触される。
【０００４】 １つのそのようなフィンガーテスターは少なくとも２つの接触フィンガーを備
え、そのため２点の回路基板検査ポイントにおいて検査用回路基板の列に接触し
、開回路又は短絡回路が存在する区域を検査することができる。
【０００５】 フィンガーテスターは、例えばＥＰ０４８６１５３Ａ１に記載されている。フ
ィンガーテスターによりもたらされる利益は、いかなる機械的な変更を必要とせ
ずに多種類の回路基板検査を許容することである。加えて、全てのタイプの回路
基板がフィンガーテスターによって検査できる。
【０００６】 本発明は、そのようなフィンガーテスターに関する。
【０００７】 並列テスターは、通常はアダプターで代表される検査区画により検査回路基板
の接触位置の全て又は少なくともその大多数に接触するテスターであり、そのよ
うな並列テスターは速くかつ安全に多数の回路基板検査ポイントを走査すること
を許容する。
【０００８】 フィンガーテスターにまさる並列テスターの有利な点は、並列テスターは全て
の測定が事実上同時に実行されるため、より速い回路基板の検査を許容すること
である。しかしながら、検査回路基板のタイプが変化する度毎に通常は新しいア
ダプターの製作により成し遂げられる新しい検査区画が用意されることが必要で
ある。
【０００９】 並列テスターは高い処理量を達成するのを許容するため、好ましくは大量生産
に使用される。
【００１０】 従って、フィンガーテスターは本質的に並列テスターより遅いため、フィンガ
ーテスターの成功的マーケッティングのための顕著な基準の１つが、検査回路基
板を検査する速度であることが直接的に理解される。
【００１１】 ＥＰ０４６８１５３Ａ１より既に知られたフィンガーテスターにおいては、１
又はそれ以上の検査下にある回路基板の表面および裏面側両方を同時に検査でき
る。この目的のために２組の接触フィンガーが設けられ、その各々は検査区画の
２つの側面の１つに配置される。
【００１２】 検査区画は、１組の接触フィンガーを検査区画の上側に配置し且つ他の組を検
査区画の下側に配置するように、通常は水平方向に向けられる。
【００１３】 検査回路基板は、それらの端部により配置する２本のＵ溝レールによってテス
ター中に保持される。
【００１４】 また、互いに向き合う２本のレール手段によって保持できる特殊な回路基板の
ためのプレートタイプの製品は、ホルダーを使用することが知られている。その
ような“特殊品”は、例えばレールに挿入するためには適当でない形状であった
り、又は全ての側面を支持する必要があるほど可撓性に作られているものを含む
。
【００１５】 フィンガーテスターの場合、更により知られていることは、カメラによって検
査されている、回路基板のその理想的位置からの各々の回路基板検査ポイントの
片寄りを作図（マッピング）し、そして接触フィンガーを配置する際にこれらの
片寄りを考慮することである。
【００１６】 回路基板のいかなる誤配置も同様に作図され且つ考慮される。
【００１７】 検査用回路基板は、レールにあるストッパーに対抗して挿入され、個々の回路
基板検査ポイントはそのあと、ストッパーにより規定された座標系の中に向きを
定めて配置される。
【００１８】 並列テスターにおいては回路基板検査ポイントの望ましい位置からの実際上の
いかなる偏位も対応して、回路基板のシフト、又はアダプターによって補正する
ことが知られている。そのような方法及び装置は、例えばＤＥ４３０２５０９Ａ
１，ＪＰ４０３８４８０及びＥＰ０８７４２４３Ａ２の中で開示されている。
【００１９】 また、回路基板を検査区画に関して整列に配置することができる種々の装置も
知られており、これに関連して、例えばＤＥ４４１７８１１Ａ１，ＤＥ４３４２
６５４Ａ１，ＵＳ４８２０９７５，ＥＰ０８５９２３９Ａ２及びＥＰ０８３１３
３２Ａ１が参照される。偏位作図の光学的方法とは別に、そのような偏位を検知
する電気的方法（例えばＥＰ０８７４２４３Ａ２）が知られている。
【００２０】
【発明が解決しようとする課題】
従って本発明は、公知の装置の処理量と比較して回路基板の処理量を単純な方
法や手段により高めるために、最初引用された回路基板テスターを高度化する目
的を基にしている。
【００２１】
【課題を解決するための手段】
この目的は、本発明に従った回路基板テスターによって達成される。
【００２２】 本発明に従った回路基板テスターは、以下のように特徴づけられる。
【００２３】 ２組の接触フィンガーの間に配置されるのは、少なくとも２つの検査回路基板
を収容するための部分を含む保持手段であって、その少なくとも１つの検査回路
基板は２組の接触フィンガーの１組に対しその表面側を向けて、且つ他の検査回
路基板はその裏面側を向けて保持手段の中へ挿入でき、且つその制御手段は検査
手順の間、両方の接触フィンガーの組が検査回路基板の表面及び裏面側の両方の
上の回路基板検査ポイントに接触できるように構成されている。
【００２４】 本発明に従った回路基板は、その回路基板が“表裏面反対向きにして”配置で
きるように、即ちある数の回路基板はそれらの表面側を例えば上向きにして且つ
他の回路基板はそれらの裏面側を上向きにして配置できるように構成されている
。
【００２５】 これは、１面側が他の面より実質的により多くの回路基板検査ポイントを有す
る特徴をなし、実際には裏面側に比較した表面側の回路基板検査ポイントの数の
相異が１０対１の比率であって、即ち検査回路基板が例えば表面側に１００００
の回路基板検査ポイントを、且つ裏面側にたった１０００の回路基板検査ポイン
トを含むこともまれでない、一般的な回路基板の大多数の特性を活用する。
【００２６】 本発明に従った装置においては、検査回路基板は表面及び裏面側の両方を接触
フィンガーの組に向けて配置され、且つその制御手段は回路基板検査ポイントの
組より検査回路基板の表面及び裏面側の両方に接触できるように設定されるため
、おおよそ同じ数の回路基板検査ポイントが２組の接触フィンガーによってそれ
ぞれのケースにおいて検査される。
【００２７】 偶数の回路基板がテスターの中へ挿入できる時は、好ましくは回路基板の半分
は表面側を１つの組に向けて、且つ回路基板の他の半分は裏面側を他の組に向け
てテスターの中に配置される。
【００２８】 この結果、検査下にあるタイプの両方の組の回路基板の同じ数の表面及び裏面
側が検査され、そしてこのようにして両方の組の接触フィンガーは同じ数の回路
基板検査ポイントを検査することになる。この配置は、両方の組の接触フィンガ
ーが同じことを正確に実行することを保証する。
【００２９】 従来技術のテスターにおいては、２組の接触フィンガーのうち１組しか十分に
機能せず、即ち該組の接触フィンガーは一番多くの回路基板接触ポイントを有す
る検査回路基板の側に接触されるのに対し、従来技術のテスターにおける他の組
の接触フィンガーは単に実質的により少ない数の回路基板検査ポイントに接触す
るに過ぎない。
【００３０】 これが検査中にこの組の回路基板検査ポイントがしばしば他の組の回路基板検
査ポイトンの検出が終了するまで無駄に待機しなければならない理由である。こ
の空き時間は本発明に従ったテスターにより排除され、又は少なくとも最小限に
短縮される。
【００３１】 本発明は、今や概略的な実施例を表わしている添付された図面を参照して詳細
に述べられるであろう。
【００３２】 図１を参照すると、本発明にとって不可欠な構成要素のみが示された本発明に
従ったテスターの平面図が図解されており、従ってたとえこの装置が機能するた
めに必要であっても、本発明において不適切と考えられる部分は省略されている
。
【００３３】 テスター１は本発明に従った保持プレート４（図２）を受け入れるために、２
本のＵ溝レール３によって横方向へ区画された検査区画２を含んでいる。
【００３４】 検査区画２の範囲は、案内レール７上の横断部材上を末端部分６により移動す
るために配置された２本の横断部材によってカバーされる。
【００３５】 どの場合でもＵ溝レール３の１つは、案内レール７の１つに平行且つ隣接して
配置される。
【００３６】 Ｕ溝レール３及びその開口部は検査区画２に向き合っており、且つ保持プレー
ト４がストッパー８に到達するまで保持プレート４をＵ溝レール３の中へ挿入可
能とするように、各末端にストッパー８が備えられる。
【００３７】 横断部材５上には移動のため位置決め部材９が配置される。それぞれの位置決
め部材９は、対応する位置決め部材９上で鉛直方向（Ｚ軸方向）にシフトできる
ように配置された接触フィンガー１０を含む。
【００３８】 横断部材５は案内レール７に沿って移動でき、そして位置決め部材９は横断部
材５に沿って移動できるため、位置決め部材９は検査区画平面の中のＸ方向及び
Ｙ方向のいかなる位置にも移動できる。位置決め部材の動きは制御手段１１によ
って制御される。
【００３９】 保持プレート４の中に設けられるのは、検査回路基板の形状に対応している窓
１２（図３，４ａ）である。
【００４０】 それぞれの窓１２は、図示した実施例では鉛直方向に向けて配置されている壁
１４と、位置決め縁１３の全ての側面上の棚１５で代表される位置決め縁１３を
含み、棚１５はその端部が保持プレート４の下方側面区域と面一になるように保
持プレート４と一体の位置決め壁１４の下に形成される。
【００４１】 窓１２の位置決め壁１４は検査回路基板１６の形状に対して正確に適応し、そ
のため回路基板１６が保持要素として役立つ棚１５によって窓１２から脱落する
ことが防止される窓１２中に積極的に配置されることができる。
【００４２】 検査回路基板１６は保持プレート４の棚１５の間に且つ保持プレート４の上に
配置されたカウンタープレート上に所定位置に固定されるため、図４ｂに示した
保持プレート４は窓１２を積極的に位置決めするように構成する必要がないとい
うことに注目すべきである。
【００４３】 カウンタープレートはねじ留め具２８により保持プレート４に固着され、その
ため検査回路基板はカウンタープレート２７と保持プレート４との間の位置に締
め付けられ、そしてこのようにして固定して配置される。
【００４４】 検査回路基板１６を固定的に配置するためには、カウンタープレートに代えて
粘着性テープも使用できる。
【００４５】 保持プレート４の上には、平面に見た時に互いに鏡面対称に配置された２種類
の窓１２ａ，１２ｂが設けられている。図３に示した実施例においては、窓１２
ａ，１２ｂはそれぞれ対称軸１７に対して鏡面対称に配置される。しかしながら
、窓１２は他のいかなる方向において互い違いにさせて又は回転させて配置させ
ることができ、そのため対称軸は鏡面対称を形づくる一対の窓の間に限定されな
い。
【００４６】 本発明において重要なことは、検査回路基板１６の一部はその表面側を保持プ
レート４の１の面に向けてはめ込むことができ、且つ検査回路基板１６の他の一
部はその表面側を保持プレート４の他の面に向けてはめ込むことができるように
、検査回路基板１６を保持プレート４の中にはめ込むことができることである。
【００４７】 図示した実施例では、回路基板はその裏側が棚１５の上に載って窓１２ａの中
に配置されているのに対して、窓１２ｂの中では回路基板は棚１５の上にその表
面側が載ってはめ込まれている。
【００４８】 数個の検査回路基板１６が保持プレート４の中にはめ込まれ、示した実施例で
は４枚の検査回路基板１６が１つのユニットとしてストッパー８に到達するまで
テスターのＵ溝レール３の中に挿入される。
【００４９】 検査回路基板１６の一部はその表面側を上方の接触フィンガー１０、即ち接触
フィンガーの第１の組１８に向いており、且つ回路基板の他の一部は下方の接触
フィンガー１０，即ち接触フィンガーの第２の組１９に向いているため、両方の
組１８，１９はそれぞれ検査回路基板１６の表面及び裏面側に向いている（図２
）。
【００５０】 制御手段１１は、接触フィンガーの両方の組１８，１９の接触フィンガー１０
が検査回路基板１６の表面及び裏面側の回路基板検査ポイント２０に接触できる
ように設定される。
【００５１】 この目的のために、回路基板の検査プログラム（回路基板検査ポイントの座標
及び回路基板検査ポイントへ接触させるシーケンスが記憶される。）は、２組１
８，１９の接触フィンガーの間に反対向きに挿入された回路基板１６について表
面側と裏面側プログラムを含んでいる。
【００５２】 従って本発明に従った制御手段は、回路基板の表面側を上向きに向けた回路基
板のための“通常”検査プログラムと、回路基板の裏面側を上向きに向けて逆向
きに挿入された回路基板のための“反転”検査プログラムを含む。
【００５３】 これらの検査プログラムは各々のケースにおいてテスター１の保持プレート４
の中にはめ込まれた回路基板の数に対応して繰り返され、テスター１の保持板４
の中の回路基板の対応する位置が縮尺される。有意な異なる数の回路基板検査ポ
イントが検査回路基板の表面及び裏面側に配置されることは通常のことである。
【００５４】 回路基板の表面側と裏面側の回路基板検査ポイントの比は、多くの場合３対１
から２０対１の範囲であり、また裏面側に回路基板検査ポイントを全く有さない
回路基板も存在する。
【００５５】 本発明に従った装置においては、両方の組１８，１９の接触フィンガーが検査
回路基板の表面及び裏面側の両方に接触するため、１組の接触フィンガーを単に
検査回路基板の表面側のみに接触させ且つ他の組の接触フィンガーは単に裏面側
のみに接触させるに過ぎない場合と比べて、回路基板検査ポイントの平均数が両
方の組１８，１９の接触フィンガーによって接触される。
【００５６】 回路基板の表面側が１組の接触フィンガーに向いている同じ数の回路基板が、
他の組の接触フィンガーへ向いて配置されている理想的なケースでは、正確に同
じ数の回路基板検査ポイントが、それぞれのケースにおいて、各々の組の接触フ
ィンガーにより接触される。
【００５７】 そのような配置においては、両方の組の接触フィンガーはテスターに挿入可能
な全ての回路基板が検査される間の検査中、全く同じことを実行することが必要
とされる。
【００５８】 このことは、１組の接触フィンガーは単に検査回路基板の表面側を検査し且つ
他の組は単に裏面側を検査するに過ぎない従来技術のテスターに比べて、相当な
時間を節約する結果をもたらす。
【００５９】 これら公知の装置においては、より少ない数の回路基板検査ポイントとの接触
が必要とされる接触フィンガーの組は決して完全に実行せず、１組の接触フィン
ガーは他の組の接触フィンガーが対応する検査測定を終えるまで待機しなければ
ならない間の相当な空き時間を生じる結果となるからである。
【００６０】 好ましくは保持プレート４の上に、接触フィンガー１０（図３）により検知し
、テスター１の中の保持プレート４の位置を画定するのを可能にするための少な
くとも２つの導電性する接触ポイント２１が設けられる。
【００６１】 ひとたび保持プレート４の位置が画定されると、検査回路基板１６は保持プレ
ート４の中に積極的に配置されているため、検査回路基板１６の位置もテスター
１に関して画定され、これにより個々の検査回路基板のための検査プログラムが
対応してＸ／Ｙ座標系において対応して縮尺するのを可能にする。
【００６２】 本発明に従った一つの好ましい具体例（図２）においては、それぞれの、そし
て全ての回路基板検査ポイントのその理想的な位置からの片寄りを作図（マッピ
ング）し、且つ回路基板の位置のズレを作図するためステーションを含む。
【００６３】 この作図（マッピング）ステーションは、保持プレート４それぞれの一方の側
を全体的に作図する２個のカメラ２３を含む。カメラは片寄り及び位置のズレの
決定において、カメラ２３によって捕捉された画像信号をデジタル解析する解析
装置２４へ電気的に接続される。
【００６４】 そのような解析方法は既に知られており、従って本発明においてはそれ自体を
詳述する必要がない。
【００６５】 またこれらの方法は、検査回路基板の生産により具体化する片寄りや位置のズ
レは大きさとして回路基板検査ポイトンとおよそ同じであるため、特に非常に高
密度の回路基板検査ポイトンや非常に小さな回路基板検査ポイトンを有する回路
基板が関係し、ミスアラインメントによって生ずるそのような片寄りや位置ズレ
による誤接触を生ずる場合に利用価値がある。
【００６６】 カメラ２３及び解析装置２４により、それぞれの回路基板検査ポイントの理想
的な位置からの偏位が作図される。
【００６７】 このようにして獲得された“偏位データ”は解析装置２４から制御手段１１へ
転送され、個々の回路基板検査ポイントのそれぞれが正確に接触されるように検
査中の接触フィンガー１１の移動に際し対応して考慮される。
【００６８】 保持プレート４にはめ込まれた個々の回路基板における回路基板偏位データは
、保持プレート４により規定されたＸ／Ｙ座標系を基準にして決定される。この
座標の系は、例えば保持プレート４に適用された接触ポイント２１により規定さ
れる。
【００６９】 本発明に従ったテスターのより好ましい具体例においては、保持プレート４は
、例えばコンベアーベルトにより作図ステーション２２から検査区画２の中へ自
動的に搬送される。
【００７０】 そのような１つの自動化テスターにおいては、検査区画２において検査手順が
実行されている間に、別の検査回路基板１６が挿入され、その中で作図される別
の保持プレート４を備える。この保持プレート４が設けられることにより、この
ようにして検査区画に関係なく片寄りや位置のズレを作図することが可能となる
。
【００７１】 従来技術のテスターにおいては、片寄りや位置のズレは回路基板が検査区画の
中へ挿入された後に作図される。片寄りや位置のズレを作図している間は実際の
検査を行うことはできない。このことが作図が検査時間を過度に制限することを
回避するためにできるだけ短時間に実行される必要がある理由である。
【００７２】 今や本発明に従った装置により、実質的により多くの時間が片寄りや位置のズ
レを測定するために利用でき、このようにして個々の回路基板検査ポイントを実
質的により正確に検知することが可能となる。
【００７３】 このことは回路基板検査ポイントが今や更に正確に検知されるため、特に高密
度の回路基板検査ポイトンや非常に小さな回路基板検査ポイントを有する回路基
板を検査する上でその処理量及び品質を大いに高める。
【００７４】 今や図５を参照すると、本発明に従ったテスターの更なる実施例が描かれてい
る。このテスターは移動する位置取り部材９が上に載っている固定された横断部
材５を含む、単純な機械的構成からなる。
【００７５】 位置取り部材９には位置取り部材９や検査区画２に対して平行する平面内に回
転自在に取り付けられた回転腕２５が設けられる。位置取り部材９から遠く離れ
た回転腕２５の末端には、回路基板検査ポイントに接触するために接触フィンガ
テー１０が配置される。隣接する２つの横断部材５の間の距離は、回転腕２５の
2 倍の長さＬより短い。
【００７６】 １つの横断部材５に割り振られた接触フィンガー１０により検査区画２の検査
領域２６を走査することができ、該領域の縁は横断部材５からＬだけ離れている
。
【００７７】 これらの検査領域２６はそれらの縁部分において重なり合い、従ってこれらの
重複部分においては２つの異なる横断部材５の接触フィンガー１０が検査区画を
走査することができ、より早い検査を可能にする。
【００７８】 従って、本発明に従った保持プレート４はテスターの検査速度をより高めるた
めに、これらの検査領域２６の重複部分の中に窓１２及び検査回路基板が配置さ
れるようになっている。
【００７９】 窓１２の配置は、おおよそ同じ数の回路基板検査ポイントが個々の横断部材に
より接触されるように、コンピュータープログラムによってより最適化できる。
【００８０】 そのようなコンピュータープログラムはこのようにして、テスター１の検査区
画２の上の検査回路基板の理想的配置を自動的に決定するための方法を実行し、
換言すれば検査回路基板の配置はこのようにして、接触フィンガーの組に関して
のみならず個々の横断部材に関しても最適化される。
【００８１】 他の種類のテスターのためには、窓１２の位置はこれらの更なるテスターの仕
様書に従って規定し、最適化することができる。
【００８２】
【発明の効果】
本発明によって達成される利点は、以下に要約されるであろう。
【００８３】 ２組の接触フィンガーは検査中におおよそ同じ数の回路基板検査ポイントに接
触するため、２組の接触フィンガーの実質的に改善された作動が達成される。
【００８４】 任意の作図ステーションをもって、片寄り及び位置のズレが事前に高精度に作
図され、且つ保持手段（保持プレート４）により規定された座標系に関して画定
することができる。
【００８５】 検査回路基板の積極的位置決めをする全ての側面上の棚１５および位置決め壁
１４を有する保持プレート４を使用する時は、いかなる形状及び大きさの回路基
板とも両立する高い位置決め精度および安全性が達成される。
【００８６】 多数の検査回路基板を取付けるために適した保持プレートを使用することによ
り、テスターに装填および脱装填するために必要な時間が短縮される。
【００８７】 多数の検査回路基板が同時に処理され且つ検査されるため、自動化効果が実現
する。
【００８８】 本発明を実施例により上に詳述したが、本発明は関連する具体例に限定される
ものでないことを理解すべきである。
【００８９】 例えば、本発明の範囲から逸脱することなしに窓１２の位置決め縁１３の全て
の側面上の単一の棚１５に代えて、保持プレート４上に断面位置に配置されたい
くつかの棚を設けることもできる。単一の保持プレートに代えて任意の数の他の
保持手段を少なくとも２つの回路基板を配置するために備えることができ、それ
によって一つの回路基板はその表面側を上向きにして配置され、他方はその裏面
側を上向きにして配置することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明に従った回路基板テスターの平面図である。
【図２】 図１に示される本装置の側面図である。
【図３】 本発明に従った保持プレート（回路基板を除く）の平面図である。
【図４ａ】 図３に示されるＡ−Ａ線に沿って矢印の方向から見た保持プレート
（回路基板を含む）の断面図である。
【図４ｂ】 保持プレート（回路基板を含む）の更なる具体例の断面図である。
【図５】 その上に接触フィンガーが配置されている固定された横断部材及び回
転腕を含む本発明に従った回路基板テスターの更なる実施例の平面図である。
【符号の説明】
１・・・テスター ２・・・検査区画 ３・・・Ｕ溝レール ４・・・保持プレート ５・・・横断部材 ６・・・末端部分 ７・・・案内レール ８・・・ストッパー ９・・・位置取り部材 １０・・・接触フィンガー １１・・・制御手段 １２・・・窓 １３・・・位置決め縁 １４・・・位置決め壁 １５・・・棚 １６・・・検査回路基板 １７・・・対称軸 １８・・・接触フィンガーの第１の組 １９・・・接触フィンガーの第２の組 ２０・・・回路基板検査ポイント ２１・・・接触ポイント ２２・・・作図（マッピング） ２３・・・カメラ ２４・・・解析装置 ２５・・・回転腕 ２６・・・検査領域 ２７・・・カウンタープレート
【手続補正書】特許協力条約第３４条補正の翻訳文提出書
【提出日】平成１３年２月２２日（２００１．２．２２）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】 回路基板テスター
【特許請求の範囲】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】 本発明は、回路基板を検査するための装置及び方法に関する。該装置及び方法 は、検査区画と検査区画に対し平行する平面内において移動するために配置され
た接触フィンガーであって、２つの接触フィンガーが検査電流回路の構成要素と
して１対のプローブを形成し、検査すべき回路基板の回路基板検査ポイントの上
に接触フィンガーを配置するための制御手段であって、複数の回路基板を検査手
順実行中において同時にテスターの中へ挿入でき、そして一方は検査すべき回路
基板の表面側を検査するために且つ他方は裏面側を検査するために配置されてい
る２組の接触フィンガーを備えている。
【０００２】
【従来の技術】 回路基板の検査装置、特に未実装の回路基板を検査するための装置は、基本的
にフィンガーテスター及び並列テスターとに区別できる。
【０００３】 フィンガーテスターは、その中で検査すべき回路基板上を渡した横断部材に沿
って移動するスライド上に配置されたプローブにより、検査回路基板の個々の回
路基板検査ポイントが逐次探査される装置であり、プローブは探査すべき各回路
基板検査ポイント上に位置決めされ、そうして回路基板検査ポイトンはプローブ
により接触される。
【０００４】 １つのそのようなフィンガーテスターは少なくとも２つの接触フィンガーを備
え、そのため２点の回路基板検査ポイントにおいて検査用回路基板の列に接触し
、開回路又は短絡回路が存在する区域を検査することができる。
【０００５】 フィンガーテスターは、例えばＥＰ０４８６１５３Ａ１に記載されている。フ
ィンガーテスターによりもたらされる利益は、いかなる機械的な変更を必要とせ
ずに多種類の回路基板検査を許容することである。加えて、全てのタイプの回路
基板がフィンガーテスターによって検査できる。
【０００６】 本発明は、そのようなフィンガーテスターに関する。
【０００７】 並列テスターは、通常はアダプターで代表される検査区画により検査回路基板
の接触位置の全て又は少なくともその大多数に接触するテスターであり、そのよ
うな並列テスターは速くかつ安全に多数の回路基板検査ポイントを走査すること
を許容する。
【０００８】 フィンガーテスターにまさる並列テスターの有利な点は、並列テスターは全て
の測定が事実上同時に実行されるため、より速い回路基板の検査を許容すること
である。しかしながら、検査回路基板のタイプが変化する度毎に通常は新しいア
ダプターの製作により成し遂げられる新しい検査区画が用意されることが必要で
ある。
【０００９】 並列テスターは高い処理量を達成するのを許容するため、好ましくは大量生産
に使用される。
【００１０】 従って、フィンガーテスターは本質的に並列テスターより遅いため、フィンガ
ーテスターの成功的マーケッティングのための顕著な基準の１つが、検査回路基
板を検査する速度であることが直接的に理解される。
【００１１】 ＥＰ０４６８１５３Ａ１より既に知られたフィンガーテスターにおいては、１
又はそれ以上の検査下にある回路基板の表面および裏面側両方を同時に検査でき
る。この目的のために２組の接触フィンガーが設けられ、その各々は検査区画の
２つの側面の１つに配置される。
【００１２】 検査区画は、１組の接触フィンガーを検査区画の上側に配置し且つ他の組を検
査区画の下側に配置するように、通常は水平方向に向けられる。
【００１３】 検査回路基板は、それらの端部により配置する２本のＵ溝レールによってテス
ター中に保持される。
【００１４】 また、互いに向き合う２本のレール手段によって保持できる特殊な回路基板の
ためのプレートタイプの製品は、ホルダーを使用することが知られている。その
ような“特殊品”は、例えばレールに挿入するためには適当でない形状であった
り、又は全ての側面を支持する必要があるほど可撓性に作られているものを含む
。
【００１５】 フィンガーテスターの場合、更により知られていることは、カメラによって検
査されている、回路基板のその理想的位置からの各々の回路基板検査ポイントの
片寄りを作図（マッピング）し、そして接触フィンガーを配置する際にこれらの
片寄りを考慮することである。
【００１６】 回路基板のいかなる誤配置も同様に作図され且つ考慮される。
【００１７】 検査用回路基板は、レールにあるストッパーに対抗して挿入され、個々の回路
基板検査ポイントはそのあと、ストッパーにより規定された座標系の中に向きを
定めて配置される。
【００１８】 並列テスターにおいては回路基板検査ポイントの望ましい位置からの実際上の
いかなる偏位も対応して、回路基板のシフト、又はアダプターによって補正する
ことが知られている。そのような方法及び装置は、例えばＤＥ４３０２５０９Ａ
１，ＪＰ４０３８４８０及びＥＰ０８７４２４３Ａ２の中で開示されている。
【００１９】 また、回路基板を検査区画に関して整列に配置することができる種々の装置も
知られており、これに関連して、例えばＤＥ４４１７８１１Ａ１，ＤＥ４３４２
６５４Ａ１，ＵＳ４８２０９７５，ＥＰ０８５９２３９Ａ２及びＥＰ０８３１３
３２Ａ１が参照される。偏位作図の光学的方法とは別に、そのような偏位を検知
する電気的方法（例えばＥＰ０８７４２４３Ａ２）が知られている。
【００２０】 ＥＰ０７２２０９０Ａ２では、試験片をその２つの反対向きの表面上で保持手 段によって支持する平坦な試験片のための保持具について記載している。保持手 段の少なくとも１つは、接触フィンガーによって突き抜くことができる非導電性 のフィルムより作られる。
【００２１】 ＷＯ００／１７６６２は、電気的部品が搭載されたモジュールを検査するため の装置に関する。その装置はトレイと呼ばれるサンプルホルダーを備え、その中 に電気的部品が搭載されたいくつかのモジュールを挿入することができる。これ らのモジュールは、それらの下側の１縁の領域の中に電気的接点を有する。この 縁の領域において、モジュールは下側から案内され且つ接点変形要素が設けられ た支持要素によって接触され、それによってモジュールの電気的接点は上側にた わむことができる。検査ヘッドは上から降されて、モジュール自体を検査するた めにこれらの接触変形要素の両方及び更にはモジュールに接触する。
【００２２】 “ＯＰＥＮ−ＦＲＡＭＥ ＰＲＯＤＵＣＴ ＣＲＡＤＬＥ ＦＯＲ ＰＲＯＢ ＩＮＧ”ＩＢＭ技術公開公報，米国，ＩＢＭコーポレーション．ニューヨーク， Ｖｏｌ．３８，Ｎｏ．１２，１９９５年１２月１日，４９５〜４９６ページには 、中にマルチチップモジュール又は回路基板が挿入できる製品ホルダーが開示さ れている。それぞれのモジュール及び回路基板のため、モジュール及び／又は回 路基板を製品ホルダーに固定するための固定手段を備えた開口が設けられている 。
【００２３】
【発明が解決しようとする課題】 従って本発明は、公知の装置の処理量と比較して回路基板の処理量を単純な方
法や手段により高めるために、最初引用された回路基板テスターを高度化する目
的を基にしている。本発明はまた、フィンガーテスターによる検査中における回 路基板の処理量を増加するために適した方法を提供することも意図する。
【００２４】
【課題を解決するための手段】 この目的は、請求項１の特徴をもった装置により及び請求項１１の特徴をもっ た方法により 達成される。
【００２５】 本発明に従った回路基板テスターは、以下のように特徴づけられる。
【００２６】 ２組の接触フィンガーの間に配置されるのは、少なくとも２つの検査回路基板
を収容するための部分を含む保持手段であって、その少なくとも１つの検査回路
基板は２組の接触フィンガーの１組に対しその表面側を向けて、且つ他の検査回
路基板はその裏面側を向けて保持手段の中へ挿入でき、且つその制御手段は検査
手順の間、両方の接触フィンガーの組が検査回路基板の表面及び裏面側の両方の
上の回路基板検査ポイントに接触できるように構成されている。
【００２７】 本発明に従った回路基板は、その回路基板が“表裏面反対向きにして”配置で
きるように、即ちある数の回路基板はそれらの表面側を例えば上向きにして且つ
他の回路基板はそれらの裏面側を上向きにして配置できるように構成されている
。
【００２８】 これは、１面側が他の面より実質的により多くの回路基板検査ポイントを有す
る特徴をなし、実際には裏面側に比較した表面側の回路基板検査ポイントの数の
相異が１０対１の比率であって、即ち検査回路基板が例えば表面側に１００００
の回路基板検査ポイントを、且つ裏面側にたった１０００の回路基板検査ポイン
トを含むこともまれでない、一般的な回路基板の大多数の特性を活用する。
【００２９】 本発明に従った装置においては、検査回路基板は表面及び裏面側の両方を接触
フィンガーの組に向けて配置され、且つその制御手段は回路基板検査ポイントの
組より検査回路基板の表面及び裏面側の両方に接触できるように設定されるため
、おおよそ同じ数の回路基板検査ポイントが２組の接触フィンガーによってそれ
ぞれのケースにおいて検査される。
【００３０】 偶数の回路基板がテスターの中へ挿入できる時は、好ましくは回路基板の半分
は表面側を１つの組に向けて、且つ回路基板の他の半分は裏面側を他の組に向け
てテスターの中に配置される。
【００３１】 この結果、検査下にあるタイプの両方の組の回路基板の同じ数の表面及び裏面
側が検査され、そしてこのようにして両方の組の接触フィンガーは同じ数の回路
基板検査ポイントを検査することになる。この配置は、両方の組の接触フィンガ
ーが同じことを正確に実行することを保証する。
【００３２】 従来技術のテスターにおいては、２組の接触フィンガーのうち１組しか十分に
機能せず、即ち該組の接触フィンガーは一番多くの回路基板接触ポイントを有す
る検査回路基板の側に接触されるのに対し、従来技術のテスターにおける他の組
の接触フィンガーは単に実質的により少ない数の回路基板検査ポイントに接触す
るに過ぎない。
【００３３】 これが検査中にこの組の回路基板検査ポイントがしばしば他の組の回路基板検
査ポイトンの検出が終了するまで無駄に待機しなければならない理由である。こ
の空き時間は本発明に従ったテスターにより排除され、又は少なくとも最小限に
短縮される。
【００３４】 本発明は、今や概略的な実施例を表わしている添付された図面を参照して詳細
に述べられるであろう。
【００３５】 図１を参照すると、本発明にとって不可欠な構成要素のみが示された本発明に
従ったテスターの平面図が図解されており、従ってたとえこの装置が機能するた
めに必要であっても、本発明において不適切と考えられる部分は省略されている
。
【００３６】 テスター１は本発明に従った保持プレート４（図２）を受け入れるために、２
本のＵ溝レール３によって横方向へ区画された検査区画２を含んでいる。
【００３７】 検査区画２の範囲は、案内レール７上の横断部材上を末端部分６により移動す
るために配置された２本の横断部材によってカバーされる。
【００３８】 どの場合でもＵ溝レール３の１つは、案内レール７の１つに平行且つ隣接して
配置される。
【００３９】 Ｕ溝レール３及びその開口部は検査区画２に向き合っており、且つ保持プレー
ト４がストッパー８に到達するまで保持プレート４をＵ溝レール３の中へ挿入可
能とするように、各末端にストッパー８が備えられる。
【００４０】 横断部材５上には移動のため位置決め部材９が配置される。それぞれの位置決
め部材９は、対応する位置決め部材９上で鉛直方向（Ｚ軸方向）にシフトできる
ように配置された接触フィンガー１０を含む。
【００４１】 横断部材５は案内レール７に沿って移動でき、そして位置決め部材９は横断部
材５に沿って移動できるため、位置決め部材９は検査区画平面の中のＸ方向及び
Ｙ方向のいかなる位置にも移動できる。位置決め部材の動きは制御手段１１によ
って制御される。
【００４２】 保持プレート４の中に設けられるのは、検査回路基板の形状に対応している窓
１２（図３，４ａ）である。
【００４３】 それぞれの窓１２は、図示した実施例では鉛直方向に向けて配置されている壁
１４と、位置決め縁１３の全ての側面上の棚１５で代表される位置決め縁１３を
含み、棚１５はその端部が保持プレート４の下方側面区域と面一になるように保
持プレート４と一体の位置決め壁１４の下に形成される。
【００４４】 窓１２の位置決め壁１４は検査回路基板１６の形状に対して正確に適応し、そ
のため回路基板１６が保持要素として役立つ棚１５によって窓１２から脱落する
ことが防止される窓１２中に積極的に配置されることができる。
【００４５】 検査回路基板１６は保持プレート４の棚１５の間に且つ保持プレート４の上に
配置されたカウンタープレート上に所定位置に固定されるため、図４ｂに示した
保持プレート４は窓１２を積極的に位置決めするように構成する必要がないとい
うことに注目すべきである。
【００４６】 カウンタープレートはねじ留め具２８により保持プレート４に固着され、その
ため検査回路基板はカウンタープレート２７と保持プレート４との間の位置に締
め付けられ、そしてこのようにして固定して配置される。
【００４７】 検査回路基板１６を固定的に配置するためには、カウンタープレートに代えて
粘着性テープも使用できる。
【００４８】 保持プレート４の上には、平面に見た時に互いに鏡面対称に配置された２種類
の窓１２ａ，１２ｂが設けられている。図３に示した実施例においては、窓１２
ａ，１２ｂはそれぞれ対称軸１７に対して鏡面対称に配置される。しかしながら
、窓１２は他のいかなる方向において互い違いにさせて又は回転させて配置させ
ることができ、そのため対称軸は鏡面対称を形づくる一対の窓の間に限定されな
い。
【００４９】 本発明において重要なことは、検査回路基板１６の一部はその表面側を保持プ
レート４の１の面に向けてはめ込むことができ、且つ検査回路基板１６の他の一
部はその表面側を保持プレート４の他の面に向けてはめ込むことができるように
、検査回路基板１６を保持プレート４の中にはめ込むことができることである。
【００５０】 図示した実施例では、回路基板はその裏側が棚１５の上に載って窓１２ａの中
に配置されているのに対して、窓１２ｂの中では回路基板は棚１５の上にその表
面側が載ってはめ込まれている。
【００５１】 数個の検査回路基板１６が保持プレート４の中にはめ込まれ、示した実施例で
は４枚の検査回路基板１６が１つのユニットとしてストッパー８に到達するまで
テスターのＵ溝レール３の中に挿入される。
【００５２】 検査回路基板１６の一部はその表面側を上方の接触フィンガー１０、即ち接触
フィンガーの第１の組１８に向いており、且つ回路基板の他の一部は下方の接触
フィンガー１０，即ち接触フィンガーの第２の組１９に向いているため、両方の
組１８，１９はそれぞれ検査回路基板１６の表面及び裏面側に向いている（図２
）。
【００５３】 制御手段１１は、接触フィンガーの両方の組１８，１９の接触フィンガー１０
が検査回路基板１６の表面及び裏面側の回路基板検査ポイント２０に接触できる
ように設定される。
【００５４】 この目的のために、回路基板の検査プログラム（回路基板検査ポイントの座標
及び回路基板検査ポイントへ接触させるシーケンスが記憶される。）は、２組１
８，１９の接触フィンガーの間に反対向きに挿入された回路基板１６について表
面側と裏面側プログラムを含んでいる。
【００５５】 従って本発明に従った制御手段は、回路基板の表面側を上向きに向けた回路基
板のための“通常”検査プログラムと、回路基板の裏面側を上向きに向けて逆向
きに挿入された回路基板のための“反転”検査プログラムを含む。
【００５６】 これらの検査プログラムは各々のケースにおいてテスター１の保持プレート４
の中にはめ込まれた回路基板の数に対応して繰り返され、テスター１の保持板４
の中の回路基板の対応する位置が縮尺される。有意な異なる数の回路基板検査ポ
イントが検査回路基板の表面及び裏面側に配置されることは通常のことである。
【００５７】 回路基板の表面側と裏面側の回路基板検査ポイントの比は、多くの場合３対１
から２０対１の範囲であり、また裏面側に回路基板検査ポイントを全く有さない
回路基板も存在する。
【００５８】 本発明に従った装置においては、両方の組１８，１９の接触フィンガーが検査
回路基板の表面及び裏面側の両方に接触するため、１組の接触フィンガーを単に
検査回路基板の表面側のみに接触させ且つ他の組の接触フィンガーは単に裏面側
のみに接触させるに過ぎない場合と比べて、回路基板検査ポイントの平均数が両
方の組１８，１９の接触フィンガーによって接触される。
【００５９】 回路基板の表面側が１組の接触フィンガーに向いている同じ数の回路基板が、
他の組の接触フィンガーへ向いて配置されている理想的なケースでは、正確に同
じ数の回路基板検査ポイントが、それぞれのケースにおいて、各々の組の接触フ
ィンガーにより接触される。
【００６０】 そのような配置においては、両方の組の接触フィンガーはテスターに挿入可能
な全ての回路基板が検査される間の検査中、全く同じことを実行することが必要
とされる。
【００６１】 このことは、１組の接触フィンガーは単に検査回路基板の表面側を検査し且つ
他の組は単に裏面側を検査するに過ぎない従来技術のテスターに比べて、相当な
時間を節約する結果をもたらす。
【００６２】 これら公知の装置においては、より少ない数の回路基板検査ポイントとの接触
が必要とされる接触フィンガーの組は決して完全に実行せず、１組の接触フィン
ガーは他の組の接触フィンガーが対応する検査測定を終えるまで待機しなければ
ならない間の相当な空き時間を生じる結果となるからである。
【００６３】 好ましくは保持プレート４の上に、接触フィンガー１０（図３）により検知し
、テスター１の中の保持プレート４の位置を画定するのを可能にするための少な
くとも２つの導電性する接触ポイント２１が設けられる。
【００６４】 ひとたび保持プレート４の位置が画定されると、検査回路基板１６は保持プレ
ート４の中に積極的に配置されているため、検査回路基板１６の位置もテスター
１に関して画定され、これにより個々の検査回路基板のための検査プログラムが
対応してＸ／Ｙ座標系において対応して縮尺するのを可能にする。
【００６５】 本発明に従った一つの好ましい具体例（図２）においては、それぞれの、そし
て全ての回路基板検査ポイントのその理想的な位置からの片寄りを作図（マッピ
ング）し、且つ回路基板の位置のズレを作図するためステーションを含む。
【００６６】 この作図（マッピング）ステーションは、保持プレート４それぞれの一方の側
を全体的に作図する２個のカメラ２３を含む。カメラは片寄り及び位置のズレの
決定において、カメラ２３によって捕捉された画像信号をデジタル解析する解析
装置２４へ電気的に接続される。
【００６７】 そのような解析方法は既に知られており、従って本発明においてはそれ自体を
詳述する必要がない。
【００６８】 またこれらの方法は、検査回路基板の生産により具体化する片寄りや位置のズ
レは大きさとして回路基板検査ポイトンとおよそ同じであるため、特に非常に高
密度の回路基板検査ポイトンや非常に小さな回路基板検査ポイトンを有する回路
基板が関係し、ミスアラインメントによって生ずるそのような片寄りや位置ズレ
による誤接触を生ずる場合に利用価値がある。
【００６９】 カメラ２３及び解析装置２４により、それぞれの回路基板検査ポイントの理想
的な位置からの偏位が作図される。
【００７０】 このようにして獲得された“偏位データ”は解析装置２４から制御手段１１へ
転送され、個々の回路基板検査ポイントのそれぞれが正確に接触されるように検
査中の接触フィンガー１１の移動に際し対応して考慮される。
【００７１】 保持プレート４にはめ込まれた個々の回路基板における回路基板偏位データは
、保持プレート４により規定されたＸ／Ｙ座標系を基準にして決定される。この
座標の系は、例えば保持プレート４に適用された接触ポイント２１により規定さ
れる。
【００７２】 本発明に従ったテスターのより好ましい具体例においては、保持プレート４は
、例えばコンベアーベルトにより作図ステーション２２から検査区画２の中へ自
動的に搬送される。
【００７３】 そのような１つの自動化テスターにおいては、検査区画２において検査手順が
実行されている間に、別の検査回路基板１６が挿入され、その中で作図される別
の保持プレート４を備える。この保持プレート４が設けられることにより、この
ようにして検査区画に関係なく片寄りや位置のズレを作図することが可能となる
。
【００７４】 従来技術のテスターにおいては、片寄りや位置のズレは回路基板が検査区画の
中へ挿入された後に作図される。片寄りや位置のズレを作図している間は実際の
検査を行うことはできない。このことが作図が検査時間を過度に制限することを
回避するためにできるだけ短時間に実行される必要がある理由である。
【００７５】 今や本発明に従った装置により、実質的により多くの時間が片寄りや位置のズ
レを測定するために利用でき、このようにして個々の回路基板検査ポイントを実
質的により正確に検知することが可能となる。
【００７６】 このことは回路基板検査ポイントが今や更に正確に検知されるため、特に高密
度の回路基板検査ポイトンや非常に小さな回路基板検査ポイントを有する回路基
板を検査する上でその処理量及び品質を大いに高める。
【００７７】 今や図６を参照すると、本発明に従ったテスターの更なる実施例が描かれてい
る。このテスターは移動する位置取り部材９が上に載っている固定された横断部
材５を含む、単純な機械的構成からなる。
【００７８】 位置取り部材９には位置取り部材９や検査区画２に対して平行する平面内に回
転自在に取り付けられた回転腕２５が設けられる。位置取り部材９から遠く離れ
た回転腕２５の末端には、回路基板検査ポイントに接触するために接触フィンガ
テー１０が配置される。隣接する２つの横断部材５の間の距離は、回転腕２５の
2 倍の長さＬより短い。
【００７９】 １つの横断部材５に割り振られた接触フィンガー１０により検査区画２の検査
領域２６を走査することができ、該領域の縁は横断部材５からＬだけ離れている
。
【００８０】 これらの検査領域２６はそれらの縁部分において重なり合い、従ってこれらの
重複部分においては２つの異なる横断部材５の接触フィンガー１０が検査区画を
走査することができ、より早い検査を可能にする。
【００８１】 従って、本発明に従った保持プレート４はテスターの検査速度をより高めるた
めに、これらの検査領域２６の重複部分の中に窓１２及び検査回路基板が配置さ
れるようになっている。
【００８２】 窓１２の配置は、おおよそ同じ数の回路基板検査ポイントが個々の横断部材に
より接触されるように、コンピュータープログラムによってより最適化できる。
【００８３】 そのようなコンピュータープログラムはこのようにして、テスター１の検査区
画２の上の検査回路基板の理想的配置を自動的に決定するための方法を実行し、
換言すれば検査回路基板の配置はこのようにして、接触フィンガーの組に関して
のみならず個々の横断部材に関しても最適化される。
【００８４】 他の種類のテスターのためには、窓１２の位置はこれらの更なるテスターの仕
様書に従って規定し、最適化することができる。
【００８５】
【発明の効果】 本発明によって達成される利点は、以下に要約されるであろう。
【００８６】 ２組の接触フィンガーは検査中におおよそ同じ数の回路基板検査ポイントに接
触するため、２組の接触フィンガーの実質的に改善された作動が達成される。
【００８７】 任意の作図ステーションをもって、片寄り及び位置のズレが事前に高精度に作
図され、且つ保持手段（保持プレート４）により規定された座標系に関して画定
することができる。
【００８８】 検査回路基板の積極的位置決めをする全ての側面上の棚１５および位置決め壁
１４を有する保持プレート４を使用する時は、いかなる形状及び大きさの回路基
板とも両立する高い位置決め精度および安全性が達成される。
【００８９】 多数の検査回路基板を取付けるために適した保持プレートを使用することによ
り、テスターに装填および脱装填するために必要な時間が短縮される。
【００９０】 多数の検査回路基板が同時に処理され且つ検査されるため、自動化効果が実現
する。
【００９１】 本発明を実施例により上に詳述したが、本発明は関連する具体例に限定される
ものでないことを理解すべきである。
【００９２】 例えば、本発明の範囲から逸脱することなしに窓１２の位置決め縁１３の全て
の側面上の単一の棚１５に代えて、保持プレート４上に断面位置に配置されたい
くつかの棚を設けることもできる。単一の保持プレートに代えて任意の数の他の
保持手段を少なくとも２つの回路基板を配置するために備えることができ、それ
によって一つの回路基板はその表面側を上向きにして配置され、他方はその裏面
側を上向きにして配置することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明に従った回路基板テスターの平面図である。
【図２】 図１に示される本装置の側面図である。
【図３】 本発明に従った保持プレート（回路基板を除く）の平面図である。
【図４ａ】 図３に示されるＡ−Ａ線に沿って矢印の方向から見た保持プレート
（回路基板を含む）の断面図である。
【図４ｂ】 保持プレート（回路基板を含む）の更なる具体例の断面図である。
【図５】 その上に接触フィンガーが配置されている固定された横断部材及び回
転腕を含む本発明に従った回路基板テスターの更なる実施例の平面図である。
【符号の説明】 １・・・テスター ２・・・検査区画 ３・・・Ｕ溝レール ４・・・保持プレート ５・・・横断部材 ６・・・末端部分 ７・・・案内レール ８・・・ストッパー ９・・・位置取り部材 １０・・・接触フィンガー １１・・・制御手段 １２・・・窓 １３・・・位置決め縁 １４・・・位置決め壁 １５・・・棚 １６・・・検査回路基板 １７・・・対称軸 １８・・・接触フィンガーの第１の組 １９・・・接触フィンガーの第２の組 ２０・・・回路基板検査ポイント ２１・・・接触ポイント ２２・・・作図（マッピング） ２３・・・カメラ ２４・・・解析装置 ２５・・・回転腕 ２６・・・検査領域 ２７・・・カウンタープレート

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 検査区画（２）と、 前記検査区画に平行な平面内を移動のために配置された接触フィンガー（１０
    ）であって、該接触フィンガー（１０）の２つが試験電流回路の構成要素として
    のプローブ対を形成している接触フィンガー（１０）と、 検査回路基板（１６）の回路基板検査ポイント（２０）上に前記接触フィンガ
    ー（１０）を配置するための制御手段（１１）を備えている回路基板テスターで
    あって、検査手順の間前記回路基板（１６）の複数を同時に前記テスター（１）
    中に挿入することができ、そして前記接触フィンガー（１０）は、回路基板（１
    ６）の表面側を検査するための１つの組にそして回路基板の裏面側を検査するた
    めの他の組に接触フィンガー（１０）が２つの組（１８，１９）に配置されてい
    る回路基板テスターであって、 少なくとも２つの検査回路基板（１６）を収容するための部分を含んでいる保
    持手段（４）が接触フィンガー（１０）の前記２つの組の間に配置されており、
    検査回路基板（１６）の少なくとも１つはその表面側で、そして他方の回路基板
    （１６）はその裏面側で接触フィンガー（１０）の前記２組の１つに対面するよ
    うに前記保持手段（４）に挿入することができ、そして前記制御手段（１１）は
    接触フィンガー（１０）の両方の組が検査中前記検査回路基板（１６）の表面側
    および裏面側上の回路基板検査ポイント（２０）に接触できるように構成されて
    いることを特徴とする回路基板テスター。
  2. 【請求項２】 前記検査回路基板（１６）のおおよそ半分はそれらの表面側を１組（１８）の
    接触フィンガー（１０）に向けて前記保持プレート（４）の中に挿入でき、且つ
    検査回路基板（１６）の他の半分はそれらの裏面側を前記１組（１８）の接触フ
    ィンガー（１０）に向けて挿入できることを特徴とする請求項１のテスター。
  3. 【請求項３】 前記保持手段は、その中に前記検査回路基板（１６）とほぼ同じ形状を有する
    窓（１２）、及び前記検査回路基板（１６）を保持するための保持部材を備えた
    保持プレート（４）を含んでいることを特徴とする請求項１又は２のテスター。
  4. 【請求項４】 前記保持部材は、前記窓（１２）の位置決め縁（１３）から突出する棚（１５
    ）として形づくられていることを特徴とする請求項３のテスター。
  5. 【請求項５】 前記棚（１５）は、前記保持プレート（４）と一体的に形成され、且つ板状半製
    品から切削により造られていることを特徴とする請求項４のテスター。
  6. 【請求項６】 前記保持プレート（４）を上から見た時に、第１の窓（１２ａ）の形状は検査
    回路基板（１６）の形状に一致しており、且つ上から見て第２の窓（１２ｂ）の
    形状は前記第１の窓（１２ａ）に対して鏡面対称であることを特徴とする請求項
    ３乃至５のいずれかのテスター。
  7. 【請求項７】 いくつかの対の鏡面対称の窓（１２ａ，１２ｂ）が設けられていることを特徴
    とする請求項６のテスター。
  8. 【請求項８】 横断部材（５）が前記検査区画（２）の範囲をカバーし且つ固定して配置され
    ており、前記接触フィンガー（１０）は前記横断部材（５）の上に回転腕（２５
    ）によって配置されており、そのために前記接触フィンガー（１０）は前記検査
    区画（２）の筋状の検査領域（２６）をカバーし、隣接する横断部材（５）の前
    記検査領域（２６）は重なり合い、そして 鏡面対称に形づくられた窓（１２ａ，１２ｂ）の対は、隣接する検査領域（２
    ６）の前記重複部分の中に配置されていることを特徴とする請求項７のテスター
    。
  9. 【請求項９】 前記回路基板検査ポイント（２０）の片寄り及び／又は位置のズレを作図（マ
    ッピング）するための作図（マッピング）ステーション（２２）が設けられてお
    り、前記作図ステーション（２２）は前記検査区画（２）の外側に配置され、且
    つ前記個々の回路基板（１６）を前記保持手段により規定された座標系に関して
    作図することを許容するように前記保持プレート（４）の中に挿入できるように
    設定されていることを特徴とする請求項１乃至８のいずれかのテスター。
  10. 【請求項１０】 前記保持手段（４）は、前記テスター（１）の前記検査区画（２）の中にある
    前記保持手段（４）の位置を検出するために、前記接触フィンガー（１０）によ
    る接触のために少なくとも２つの電気的接点（２１）を含んでいることを特徴と
    する請求項９のテスター。
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