JPH02287164A - プロービング機構 - Google Patents
プロービング機構Info
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- JPH02287164A JPH02287164A JP1107173A JP10717389A JPH02287164A JP H02287164 A JPH02287164 A JP H02287164A JP 1107173 A JP1107173 A JP 1107173A JP 10717389 A JP10717389 A JP 10717389A JP H02287164 A JPH02287164 A JP H02287164A
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- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 39
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 15
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 7
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- WVQBLGZPHOPPFO-LBPRGKRZSA-N (S)-metolachlor Chemical compound CCC1=CC=CC(C)=C1N([C@@H](C)COC)C(=O)CCl WVQBLGZPHOPPFO-LBPRGKRZSA-N 0.000 description 4
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
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- Manipulator (AREA)
- Image Analysis (AREA)
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(概要〕
基準位置ン−りの検出出力に基づいてプロービングの基
準となる位置を定めた後、目的の測定点をプロービング
するプロービング機構に関し、正確なプロービングを行
なうことを目的とし、プロービング対象物上の基準位置
マークを検出装置で検出して得た検出信号を読み取り部
で読み取り、計輝機によりプロービングの基準位置を定
めた後プローバ制御部を介してプロービングアームを移
動させ、該プロービング対染物上の測定点にプローブを
プロービングするプロービング機構において、前記プロ
ーブを着脱自在に保持する第1のホルダと、前記検出8
置を着脱自在に保持する第2のホルダと、前記プロービ
ングアームの所定位置に設けられ、該第1及び第2のホ
ルダに保持されている該プローブ及び検出装置のうち所
望の一方をそのホルダの保持から解放させて保持するプ
0−バハンド部と、よりなり、該プローバハンド部によ
り前記プローブと前記検出装置とを交換保持するよう構
成する。
準となる位置を定めた後、目的の測定点をプロービング
するプロービング機構に関し、正確なプロービングを行
なうことを目的とし、プロービング対象物上の基準位置
マークを検出装置で検出して得た検出信号を読み取り部
で読み取り、計輝機によりプロービングの基準位置を定
めた後プローバ制御部を介してプロービングアームを移
動させ、該プロービング対染物上の測定点にプローブを
プロービングするプロービング機構において、前記プロ
ーブを着脱自在に保持する第1のホルダと、前記検出8
置を着脱自在に保持する第2のホルダと、前記プロービ
ングアームの所定位置に設けられ、該第1及び第2のホ
ルダに保持されている該プローブ及び検出装置のうち所
望の一方をそのホルダの保持から解放させて保持するプ
0−バハンド部と、よりなり、該プローバハンド部によ
り前記プローブと前記検出装置とを交換保持するよう構
成する。
本発明はプロ、−ピング機構に係り、特に基準位置マー
クの検出出力に基づいてプロービングの基準となる位置
を定めた後、目的の測定点をプロービングするプロービ
ング機構に関する。
クの検出出力に基づいてプロービングの基準となる位置
を定めた後、目的の測定点をプロービングするプロービ
ング機構に関する。
大規模集積回路(LSI)やプリント配線板等を電気的
に試験する場合、搭載された部品端子等をプロービング
する必要がある。
に試験する場合、搭載された部品端子等をプロービング
する必要がある。
しかし、LSIやプリント配線板は製造上、品質により
寸法誤差が生じ、また近年の高密度化によりランドのサ
イズ、ピッチが細かくなってきたため、よりプロービン
グ位置決め精度が厳しくなってぎた。また、上記のLS
Iやプリント配線板上のプロービングポイントは数千ポ
イントと多い。
寸法誤差が生じ、また近年の高密度化によりランドのサ
イズ、ピッチが細かくなってきたため、よりプロービン
グ位置決め精度が厳しくなってぎた。また、上記のLS
Iやプリント配線板上のプロービングポイントは数千ポ
イントと多い。
以上の点からLSI又はプリント配線板上に基準位置マ
ークを設け、それを検出してプロービングの基準となる
位置を定めて誤差補正することが、プロービング機構に
とって正確なプロービングを行なう上で不可欠である。
ークを設け、それを検出してプロービングの基準となる
位置を定めて誤差補正することが、プロービング機構に
とって正確なプロービングを行なう上で不可欠である。
第4図は従来のプロービング機構の一例の構成図を示す
。同図中、11はブローバで、そのプロービングアーム
12の先端にプローブ13とテレビカメラ14とが夫々
並列に取付は固定されている。また、プローバ11は固
定であるが、ブD −ピングアーム12はパルスモータ
等で構成されたプロービングアーム移動機構により移動
自在の構成とされている。
。同図中、11はブローバで、そのプロービングアーム
12の先端にプローブ13とテレビカメラ14とが夫々
並列に取付は固定されている。また、プローバ11は固
定であるが、ブD −ピングアーム12はパルスモータ
等で構成されたプロービングアーム移動機構により移動
自在の構成とされている。
15は計算機で、このプロービング機構全体の制御をつ
かさどる。また16はブローバ制御部で、計算機15か
らの制御信号を入力として受け、プローバ11内の前記
プロービングアーム移動機構を1IJ11Iシ、プロー
ビングアーム12を任意の方向及び距離分移動させる。
かさどる。また16はブローバ制御部で、計算機15か
らの制御信号を入力として受け、プローバ11内の前記
プロービングアーム移動機構を1IJ11Iシ、プロー
ビングアーム12を任意の方向及び距離分移動させる。
17は基準位置マーク読み取り部で、テレビカメラ14
からの映像信号が入力される。18は試験部で、ブロー
バ13からの信号が入力されると共に、計算機15から
の試験信号も入力される。
からの映像信号が入力される。18は試験部で、ブロー
バ13からの信号が入力されると共に、計算機15から
の試験信号も入力される。
また、19はプリント配線板で、試験すべきICや論理
回路が搭載されており、またその配線領域外の四隅に基
準位置マーク20が予め設けられている。
回路が搭載されており、またその配線領域外の四隅に基
準位置マーク20が予め設けられている。
かかる構成のプロービング機構は、プロービングに先立
ち、まず基準位置マーク20をテレビカメラ14でII
像し、それにより得られた映像信号を基準位置マーク読
み取り部17′に供給して、ここで基準位置マークを読
み取らゼ、その読み取りデータを計算機15に通知する
。これにより、計算機15はプロービングアーム12の
プリント配線板19に対するプロービングの基準位置を
補正する。
ち、まず基準位置マーク20をテレビカメラ14でII
像し、それにより得られた映像信号を基準位置マーク読
み取り部17′に供給して、ここで基準位置マークを読
み取らゼ、その読み取りデータを計算機15に通知する
。これにより、計算機15はプロービングアーム12の
プリント配線板19に対するプロービングの基準位置を
補正する。
次に、計算機15はプローバ制御部16を介してプロー
ビングアーム12を位置側部し、プリント配線板上に搭
載された回路の出力パッドにプローバ13を接触させた
後、その状態のまま当該回路の信号入力端子に所定の試
験信号を入力する。
ビングアーム12を位置側部し、プリント配線板上に搭
載された回路の出力パッドにプローバ13を接触させた
後、その状態のまま当該回路の信号入力端子に所定の試
験信号を入力する。
これにより、プローバ13を介して上記入力試験信号に
対応した信号が取り出され、試験部18に入力される。
対応した信号が取り出され、試験部18に入力される。
試験部18は計算fi15からの信号に基づき、プロー
バ13からどのような信号パターンが取り出されるべき
かが予めわかっており、プ0−バ13からの信号パター
ンがこの所定信号パターンと一致するか否かを試験し、
その試験結果を計算機15へ通知する。
バ13からどのような信号パターンが取り出されるべき
かが予めわかっており、プ0−バ13からの信号パター
ンがこの所定信号パターンと一致するか否かを試験し、
その試験結果を計算機15へ通知する。
計算1115はブO−バ13からの信号パターンが所定
信号パターンと一致するときは正常と判定するが、不一
致のときは故障と判断し、プローバ13の接触位置を出
力パッドから不一致の部分に応じた出力段の回路部に移
動させ、再び試験を行なう。
信号パターンと一致するときは正常と判定するが、不一
致のときは故障と判断し、プローバ13の接触位置を出
力パッドから不一致の部分に応じた出力段の回路部に移
動させ、再び試験を行なう。
以下、上記と同様にしてプローブ13の接触位置を出力
側より入力側り向へ順次移動して不良個所の追跡を行な
い、最終的な不良個所を検索する。
側より入力側り向へ順次移動して不良個所の追跡を行な
い、最終的な不良個所を検索する。
従って、プリント配線板19上のプローブ接触可能ポイ
ントは予め定まっているが、不良個所によってどのポイ
ントに接触するかが決まるから、プローブ13の接触ポ
イントは個々のプリント配線板19によって異なる。
ントは予め定まっているが、不良個所によってどのポイ
ントに接触するかが決まるから、プローブ13の接触ポ
イントは個々のプリント配線板19によって異なる。
しかるに、第4図に示した従来のプロービング機構はプ
ローブ13とテレビカメラ14とを並列にプロービング
アーム12の先端に取付は固定する構造であるため、第
5図に示す如くプローブ13とテレビカメラ14とを平
行に取付けた場合は、実際のプロービング点Pとテレビ
カメラ14による測定中心点Cとがずれることとなり、
プロービング時に誤差が生じ易かった。
ローブ13とテレビカメラ14とを並列にプロービング
アーム12の先端に取付は固定する構造であるため、第
5図に示す如くプローブ13とテレビカメラ14とを平
行に取付けた場合は、実際のプロービング点Pとテレビ
カメラ14による測定中心点Cとがずれることとなり、
プロービング時に誤差が生じ易かった。
また、従来、第6図に示す如くプローブ13によるプロ
ービング点Pとテレビカメラ14による測定中心点Cと
が同一になるように取付は固定したものもあったが、こ
の場合はテレビカメラ14が傾斜して取付けられるため
、基準位置マーク20を斜めから撮像することになり、
得られる画像が歪んだり、ぼけたりするため測定誤差を
生じ易いという問題があった。
ービング点Pとテレビカメラ14による測定中心点Cと
が同一になるように取付は固定したものもあったが、こ
の場合はテレビカメラ14が傾斜して取付けられるため
、基準位置マーク20を斜めから撮像することになり、
得られる画像が歪んだり、ぼけたりするため測定誤差を
生じ易いという問題があった。
本発明は以上の点に鑑みてなされたもので、正確なプロ
ービングを行なうことができるプロービング機構を提供
することを目的とする。
ービングを行なうことができるプロービング機構を提供
することを目的とする。
〔課題を解決するための手段)
第1図は本発明の原理構成図を示す。同図中、第4図と
同一構成部分には同一符号を付し、その説明を省略する
。第1図において、27はブロールハンド部で、プロー
ビングアーム26の所定位置に設けられている。また、
28及び29は夫々第1及び第2のホルダで、第1のホ
ルダ28はプ0−113を着脱自在に保持し、第2のホ
ルダ29は検出装置としてのテレビカメラ14を@脱自
在に保持している。
同一構成部分には同一符号を付し、その説明を省略する
。第1図において、27はブロールハンド部で、プロー
ビングアーム26の所定位置に設けられている。また、
28及び29は夫々第1及び第2のホルダで、第1のホ
ルダ28はプ0−113を着脱自在に保持し、第2のホ
ルダ29は検出装置としてのテレビカメラ14を@脱自
在に保持している。
本発明はブロールハンド部27によりプローブ13と検
出装置(テレビカメラ14)を交換保持できる構成とし
た点に特徴がある。
出装置(テレビカメラ14)を交換保持できる構成とし
た点に特徴がある。
ブロール25はプロービングアーム26とブロールハン
ド部27とを有し、計算機15の制御によりプロービン
グアーム26をホルダ28.29の位置まで自在に移動
させることができる。
ド部27とを有し、計算機15の制御によりプロービン
グアーム26をホルダ28.29の位置まで自在に移動
させることができる。
プロービング対象物としてのプリント配線板19上の基
準位置マーク20を検出する場合は、ブロールハンド部
27がホルダ28の位置にまで移動され、その後ブロー
ルハンド部27がホルダ29によるテレビカメラ14の
保持を解放させてテレビカメラ14を把持する。その後
、ブロールハンド部27はテレビカメラ14を第2図(
B)に示す如く把持した状態でプリント配線板19上の
基準位置マーク20上に移動し、基準位置マーク20を
テレビカメラ14にl1taさせる。
準位置マーク20を検出する場合は、ブロールハンド部
27がホルダ28の位置にまで移動され、その後ブロー
ルハンド部27がホルダ29によるテレビカメラ14の
保持を解放させてテレビカメラ14を把持する。その後
、ブロールハンド部27はテレビカメラ14を第2図(
B)に示す如く把持した状態でプリント配線板19上の
基準位置マーク20上に移動し、基準位置マーク20を
テレビカメラ14にl1taさせる。
また、基準位置マーク20を読み取った信号でプロービ
ングの基準位置を定めた後、計算機15はプロービング
アーム26をホルダ29の前に移動させてブロールハン
ド部27に把持されているテレビカメラ14を再びホル
ダ29に保持させる。
ングの基準位置を定めた後、計算機15はプロービング
アーム26をホルダ29の前に移動させてブロールハン
ド部27に把持されているテレビカメラ14を再びホル
ダ29に保持させる。
その後に空になったブロールハンド部27はホルダ28
の前にまで移動されてホルダ28からブ〇−ブ13の保
持を解放させると共にプローブ13を保持する。
の前にまで移動されてホルダ28からブ〇−ブ13の保
持を解放させると共にプローブ13を保持する。
その後、ブロールハンド部27は第2図(A)に示す如
くプローブ13を保持した状態でプリント配線板19上
に移動された後、所望の測定点にプローブ13をプロー
ビングさせる。
くプローブ13を保持した状態でプリント配線板19上
に移動された後、所望の測定点にプローブ13をプロー
ビングさせる。
このように本発明によれば、第2図(A)。
(B)に示す如く、同じブロールハンド部27でブロー
ル13及びテレビカメラ14を順次保持しているので、
実際のプロービング点とテレビカメラ14の測定中心点
とを同・−にでき、しかもテレピカメラ14もプリント
配線板19に正対させることができるので、画像の歪み
やぼけは発生しない。
ル13及びテレビカメラ14を順次保持しているので、
実際のプロービング点とテレビカメラ14の測定中心点
とを同・−にでき、しかもテレピカメラ14もプリント
配線板19に正対させることができるので、画像の歪み
やぼけは発生しない。
(実施例)
第3図は本発明の要部の一実施例の機構図を示す。同図
中、第1図と同一構成部分には同一符号を付しである。
中、第1図と同一構成部分には同一符号を付しである。
第3図において、ブローバハンド部27は吸着用バキュ
ーム31a及び31bと案内部32a、32bとグラン
ド端子に一端が接続されたピン33とよりなり、これら
がプO−ピング7−ム26に固定されている。吸着用バ
キューム31a及び31bは空気によりプ0−713又
はテレビカメラ14を吸着する。
ーム31a及び31bと案内部32a、32bとグラン
ド端子に一端が接続されたピン33とよりなり、これら
がプO−ピング7−ム26に固定されている。吸着用バ
キューム31a及び31bは空気によりプ0−713又
はテレビカメラ14を吸着する。
また、ホルダ28及び29は同一構成であり、ホルダ2
8は第3図に示す如く、チャック34とこのチャック3
4のW8閉111@を行なうチャック開閉用アクチュエ
ータ35と、ガイド36a。
8は第3図に示す如く、チャック34とこのチャック3
4のW8閉111@を行なうチャック開閉用アクチュエ
ータ35と、ガイド36a。
36bとホルダ支持アングル37などよりなり、プロー
ブ13をガイド36a及び36bに沿って図中、左右方
向に移動自在な構成とされており、チャック34により
プローブ13の両側面を挟着して保持し、またチャック
34を開くことにより保持を解放する。
ブ13をガイド36a及び36bに沿って図中、左右方
向に移動自在な構成とされており、チャック34により
プローブ13の両側面を挟着して保持し、またチャック
34を開くことにより保持を解放する。
なお、ホルダ29もホルダ28と同一構成で、保持する
対象がテレビカメラ14である点がホルダ28と異なる
だけである。
対象がテレビカメラ14である点がホルダ28と異なる
だけである。
また、プO−プ13はプローブ本体13aと針13bと
からなり、プローブ本体13aの一側面には、突起部3
8a及び38bが前記案内部32a及び32bに嵌合す
る位置に設けられている。前記した吸着用バキューム3
1a及び31bはこの70一プ本体13aの側面を吸着
する。また、この吸着によりビン33がプローブ本体1
3aの側面に形成されている端子39に当接するように
構成されている。
からなり、プローブ本体13aの一側面には、突起部3
8a及び38bが前記案内部32a及び32bに嵌合す
る位置に設けられている。前記した吸着用バキューム3
1a及び31bはこの70一プ本体13aの側面を吸着
する。また、この吸着によりビン33がプローブ本体1
3aの側面に形成されている端子39に当接するように
構成されている。
かかる構成により、第3図に二点鎖線で示す位置にホル
ダ28により保持されていたプローブ13は、図示の如
くブローバハンド部27が正対した位置に来た時にチャ
ック34が開かれることによりプローバ13のホルダ2
8による保持が開放され、かつ、これと同時に吸着用バ
キューム31a及び31bにより同図に実線で示す如く
吸着される。
ダ28により保持されていたプローブ13は、図示の如
くブローバハンド部27が正対した位置に来た時にチャ
ック34が開かれることによりプローバ13のホルダ2
8による保持が開放され、かつ、これと同時に吸着用バ
キューム31a及び31bにより同図に実線で示す如く
吸着される。
また、逆にホルダ28にプ0−バ13を保持させるとき
は開いているチャック34内にプローバ13を移動した
後、チャック34を閉じると共に吸着用バキューム31
a及び31bへの吸入空気を絶つことにより、ブローバ
ハンド部27からホルダ28ヘプローバ13を移すこと
ができる。
は開いているチャック34内にプローバ13を移動した
後、チャック34を閉じると共に吸着用バキューム31
a及び31bへの吸入空気を絶つことにより、ブローバ
ハンド部27からホルダ28ヘプローバ13を移すこと
ができる。
テレビカメラ14も上記と同様にしてプ0−バハンド部
27とホルダ29との間で移動させることができる。
27とホルダ29との間で移動させることができる。
なお、本発明は上記の実施例に限定されるものではなく
、例えば基準位置マーク20を検出する手段は他の光学
的手段でもよい。
、例えば基準位置マーク20を検出する手段は他の光学
的手段でもよい。
上述の如く、本発明によれば、実際のプロービング点と
基準位置マーク検出装置の測定中心点とが夫々一致し、
しかも検出装置はプロービング対象物に正対するように
取付けることができるため、従来に比べ精度の高いプロ
ービングを行なうことができる等の特長を有するもので
ある。
基準位置マーク検出装置の測定中心点とが夫々一致し、
しかも検出装置はプロービング対象物に正対するように
取付けることができるため、従来に比べ精度の高いプロ
ービングを行なうことができる等の特長を有するもので
ある。
第1図は本発明の原理構成図、
第2図は本発明の作用説明図、
第3図は本発明の要部の一実施例の機構図、第4図は従
来の一例の構成図、 第5図及び第6図は夫々従来の要部の各側の機構図であ
る。 図において、 14はテレビカメラ、 15は計算機、 16はプ0−バ制御部、 17は基準位置マーク読み取り部、 18は試験部、 19はプリント配線板 20は基準位置マーク、 25はプ0−バ、 26はプロービングアーム、 27はプ0−バハンド部、 28はプローブ用ホルダ、 29はテレビカメラ用ホルダ を示す。
来の一例の構成図、 第5図及び第6図は夫々従来の要部の各側の機構図であ
る。 図において、 14はテレビカメラ、 15は計算機、 16はプ0−バ制御部、 17は基準位置マーク読み取り部、 18は試験部、 19はプリント配線板 20は基準位置マーク、 25はプ0−バ、 26はプロービングアーム、 27はプ0−バハンド部、 28はプローブ用ホルダ、 29はテレビカメラ用ホルダ を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 プロービング対象物(19)上の基準位置マーク(20
)を検出装置(14)で検出して得た検出信号を読み取
り部(17)で読み取り、計算機(15)によりプロー
ビングの基準位置を定めた後プローバ制御部(16)を
介してプロービングアーム(26)を移動させ、該プロ
ービング対象物(19)上の測定点にプローブ(13)
をプロービングするプロービング機構において、 前記プローブ(13)を着脱自在に保持する第1のホル
ダ(28)と、 前記検出装置(14)を着脱自在に保持する第2のホル
ダ(29)と、 前記プロービングアーム(26)の所定位置に設けられ
、該第1及び第2のホルダ(28、29)に保持されて
いる該プローブ(13)及び検出装置(14)のうち所
望の一方をそのホルダ (28a、29)の保持から解放させて保持するプロー
バハンド部(27)と、 よりなり、該プローバハンド部(27)により前記プロ
ーブ(13)と前記検出装置(14)とを交換保持する
よう構成したことを特徴とするプロービング機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1107173A JP2706512B2 (ja) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | プロービング機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1107173A JP2706512B2 (ja) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | プロービング機構 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02287164A true JPH02287164A (ja) | 1990-11-27 |
JP2706512B2 JP2706512B2 (ja) | 1998-01-28 |
Family
ID=14452331
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1107173A Expired - Lifetime JP2706512B2 (ja) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | プロービング機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2706512B2 (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07151834A (ja) * | 1993-09-15 | 1995-06-16 | Hewlett Packard Co <Hp> | プローブのロボット式位置決めを用いた電子アセンブリの検査システム |
JPH08262114A (ja) * | 1995-03-23 | 1996-10-11 | Hioki Ee Corp | 回路基板検査装置におけるプローブの移動制御方法 |
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JP2706512B2 (ja) | 1998-01-28 |
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