JPH02287164A - プロービング機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （概要〕 基準位置ン−りの検出出力に基づいてプロービングの基
準となる位置を定めた後、目的の測定点をプロービング
するプロービング機構に関し、正確なプロービングを行
なうことを目的とし、プロービング対象物上の基準位置
マークを検出装置で検出して得た検出信号を読み取り部
で読み取り、計輝機によりプロービングの基準位置を定
めた後プローバ制御部を介してプロービングアームを移
動させ、該プロービング対染物上の測定点にプローブを
プロービングするプロービング機構において、前記プロ
ーブを着脱自在に保持する第１のホルダと、前記検出８
置を着脱自在に保持する第２のホルダと、前記プロービ
ングアームの所定位置に設けられ、該第１及び第２のホ
ルダに保持されている該プローブ及び検出装置のうち所
望の一方をそのホルダの保持から解放させて保持するプ
０−バハンド部と、よりなり、該プローバハンド部によ
り前記プローブと前記検出装置とを交換保持するよう構
成する。

〔産業上の利用分野〕

本発明はプロ、−ピング機構に係り、特に基準位置マー
クの検出出力に基づいてプロービングの基準となる位置
を定めた後、目的の測定点をプロービングするプロービ
ング機構に関する。

大規模集積回路（ＬＳＩ）やプリント配線板等を電気的
に試験する場合、搭載された部品端子等をプロービング
する必要がある。

しかし、ＬＳＩやプリント配線板は製造上、品質により
寸法誤差が生じ、また近年の高密度化によりランドのサ
イズ、ピッチが細かくなってきたため、よりプロービン
グ位置決め精度が厳しくなってぎた。また、上記のＬＳ
Ｉやプリント配線板上のプロービングポイントは数千ポ
イントと多い。

以上の点からＬＳＩ又はプリント配線板上に基準位置マ
ークを設け、それを検出してプロービングの基準となる
位置を定めて誤差補正することが、プロービング機構に
とって正確なプロービングを行なう上で不可欠である。

〔従来の技術〕

第４図は従来のプロービング機構の一例の構成図を示す
。同図中、１１はブローバで、そのプロービングアーム
１２の先端にプローブ１３とテレビカメラ１４とが夫々
並列に取付は固定されている。また、プローバ１１は固
定であるが、ブＤ　−ピングアーム１２はパルスモータ
等で構成されたプロービングアーム移動機構により移動
自在の構成とされている。

１５は計算機で、このプロービング機構全体の制御をつ
かさどる。また１６はブローバ制御部で、計算機１５か
らの制御信号を入力として受け、プローバ１１内の前記
プロービングアーム移動機構を１ＩＪ１１Ｉシ、プロー
ビングアーム１２を任意の方向及び距離分移動させる。

１７は基準位置マーク読み取り部で、テレビカメラ１４
からの映像信号が入力される。１８は試験部で、ブロー
バ１３からの信号が入力されると共に、計算機１５から
の試験信号も入力される。

また、１９はプリント配線板で、試験すべきＩＣや論理
回路が搭載されており、またその配線領域外の四隅に基
準位置マーク２０が予め設けられている。

かかる構成のプロービング機構は、プロービングに先立
ち、まず基準位置マーク２０をテレビカメラ１４でＩＩ
像し、それにより得られた映像信号を基準位置マーク読
み取り部１７′に供給して、ここで基準位置マークを読
み取らゼ、その読み取りデータを計算機１５に通知する
。これにより、計算機１５はプロービングアーム１２の
プリント配線板１９に対するプロービングの基準位置を
補正する。

次に、計算機１５はプローバ制御部１６を介してプロー
ビングアーム１２を位置側部し、プリント配線板上に搭
載された回路の出力パッドにプローバ１３を接触させた
後、その状態のまま当該回路の信号入力端子に所定の試
験信号を入力する。

これにより、プローバ１３を介して上記入力試験信号に
対応した信号が取り出され、試験部１８に入力される。

試験部１８は計算ｆｉ１５からの信号に基づき、プロー
バ１３からどのような信号パターンが取り出されるべき
かが予めわかっており、プ０−バ１３からの信号パター
ンがこの所定信号パターンと一致するか否かを試験し、
その試験結果を計算機１５へ通知する。

計算１１１５はブＯ−バ１３からの信号パターンが所定
信号パターンと一致するときは正常と判定するが、不一
致のときは故障と判断し、プローバ１３の接触位置を出
力パッドから不一致の部分に応じた出力段の回路部に移
動させ、再び試験を行なう。

以下、上記と同様にしてプローブ１３の接触位置を出力
側より入力側り向へ順次移動して不良個所の追跡を行な
い、最終的な不良個所を検索する。

従って、プリント配線板１９上のプローブ接触可能ポイ
ントは予め定まっているが、不良個所によってどのポイ
ントに接触するかが決まるから、プローブ１３の接触ポ
イントは個々のプリント配線板１９によって異なる。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかるに、第４図に示した従来のプロービング機構はプ
ローブ１３とテレビカメラ１４とを並列にプロービング
アーム１２の先端に取付は固定する構造であるため、第
５図に示す如くプローブ１３とテレビカメラ１４とを平
行に取付けた場合は、実際のプロービング点Ｐとテレビ
カメラ１４による測定中心点Ｃとがずれることとなり、
プロービング時に誤差が生じ易かった。

また、従来、第６図に示す如くプローブ１３によるプロ
ービング点Ｐとテレビカメラ１４による測定中心点Ｃと
が同一になるように取付は固定したものもあったが、こ
の場合はテレビカメラ１４が傾斜して取付けられるため
、基準位置マーク２０を斜めから撮像することになり、
得られる画像が歪んだり、ぼけたりするため測定誤差を
生じ易いという問題があった。

本発明は以上の点に鑑みてなされたもので、正確なプロ
ービングを行なうことができるプロービング機構を提供
することを目的とする。

〔課題を解決するための手段） 第１図は本発明の原理構成図を示す。同図中、第４図と
同一構成部分には同一符号を付し、その説明を省略する
。第１図において、２７はブロールハンド部で、プロー
ビングアーム２６の所定位置に設けられている。また、
２８及び２９は夫々第１及び第２のホルダで、第１のホ
ルダ２８はプ０−１１３を着脱自在に保持し、第２のホ
ルダ２９は検出装置としてのテレビカメラ１４を＠脱自
在に保持している。

本発明はブロールハンド部２７によりプローブ１３と検
出装置（テレビカメラ１４）を交換保持できる構成とし
た点に特徴がある。

〔作°用〕

ブロール２５はプロービングアーム２６とブロールハン
ド部２７とを有し、計算機１５の制御によりプロービン
グアーム２６をホルダ２８．２９の位置まで自在に移動
させることができる。

プロービング対象物としてのプリント配線板１９上の基
準位置マーク２０を検出する場合は、ブロールハンド部
２７がホルダ２８の位置にまで移動され、その後ブロー
ルハンド部２７がホルダ２９によるテレビカメラ１４の
保持を解放させてテレビカメラ１４を把持する。その後
、ブロールハンド部２７はテレビカメラ１４を第２図（
Ｂ）に示す如く把持した状態でプリント配線板１９上の
基準位置マーク２０上に移動し、基準位置マーク２０を
テレビカメラ１４にｌ１ｔａさせる。

また、基準位置マーク２０を読み取った信号でプロービ
ングの基準位置を定めた後、計算機１５はプロービング
アーム２６をホルダ２９の前に移動させてブロールハン
ド部２７に把持されているテレビカメラ１４を再びホル
ダ２９に保持させる。

その後に空になったブロールハンド部２７はホルダ２８
の前にまで移動されてホルダ２８からブ〇−ブ１３の保
持を解放させると共にプローブ１３を保持する。

その後、ブロールハンド部２７は第２図（Ａ）に示す如
くプローブ１３を保持した状態でプリント配線板１９上
に移動された後、所望の測定点にプローブ１３をプロー
ビングさせる。

このように本発明によれば、第２図（Ａ）。

（Ｂ）に示す如く、同じブロールハンド部２７でブロー
ル１３及びテレビカメラ１４を順次保持しているので、
実際のプロービング点とテレビカメラ１４の測定中心点
とを同・−にでき、しかもテレピカメラ１４もプリント
配線板１９に正対させることができるので、画像の歪み
やぼけは発生しない。

（実施例） 第３図は本発明の要部の一実施例の機構図を示す。同図
中、第１図と同一構成部分には同一符号を付しである。

第３図において、ブローバハンド部２７は吸着用バキュ
ーム３１ａ及び３１ｂと案内部３２ａ、３２ｂとグラン
ド端子に一端が接続されたピン３３とよりなり、これら
がプＯ−ピング７−ム２６に固定されている。吸着用バ
キューム３１ａ及び３１ｂは空気によりプ０−７１３又
はテレビカメラ１４を吸着する。

また、ホルダ２８及び２９は同一構成であり、ホルダ２
８は第３図に示す如く、チャック３４とこのチャック３
４のＷ８閉１１１＠を行なうチャック開閉用アクチュエ
ータ３５と、ガイド３６ａ。

３６ｂとホルダ支持アングル３７などよりなり、プロー
ブ１３をガイド３６ａ及び３６ｂに沿って図中、左右方
向に移動自在な構成とされており、チャック３４により
プローブ１３の両側面を挟着して保持し、またチャック
３４を開くことにより保持を解放する。

なお、ホルダ２９もホルダ２８と同一構成で、保持する
対象がテレビカメラ１４である点がホルダ２８と異なる
だけである。

また、プＯ−プ１３はプローブ本体１３ａと針１３ｂと
からなり、プローブ本体１３ａの一側面には、突起部３
８ａ及び３８ｂが前記案内部３２ａ及び３２ｂに嵌合す
る位置に設けられている。前記した吸着用バキューム３
１ａ及び３１ｂはこの７０一プ本体１３ａの側面を吸着
する。また、この吸着によりビン３３がプローブ本体１
３ａの側面に形成されている端子３９に当接するように
構成されている。

かかる構成により、第３図に二点鎖線で示す位置にホル
ダ２８により保持されていたプローブ１３は、図示の如
くブローバハンド部２７が正対した位置に来た時にチャ
ック３４が開かれることによりプローバ１３のホルダ２
８による保持が開放され、かつ、これと同時に吸着用バ
キューム３１ａ及び３１ｂにより同図に実線で示す如く
吸着される。

また、逆にホルダ２８にプ０−バ１３を保持させるとき
は開いているチャック３４内にプローバ１３を移動した
後、チャック３４を閉じると共に吸着用バキューム３１
ａ及び３１ｂへの吸入空気を絶つことにより、ブローバ
ハンド部２７からホルダ２８ヘプローバ１３を移すこと
ができる。

テレビカメラ１４も上記と同様にしてプ０−バハンド部
２７とホルダ２９との間で移動させることができる。

なお、本発明は上記の実施例に限定されるものではなく
、例えば基準位置マーク２０を検出する手段は他の光学
的手段でもよい。

〔発明の効果〕

上述の如く、本発明によれば、実際のプロービング点と
基準位置マーク検出装置の測定中心点とが夫々一致し、
しかも検出装置はプロービング対象物に正対するように
取付けることができるため、従来に比べ精度の高いプロ
ービングを行なうことができる等の特長を有するもので
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の原理構成図、 第２図は本発明の作用説明図、 第３図は本発明の要部の一実施例の機構図、第４図は従
来の一例の構成図、 第５図及び第６図は夫々従来の要部の各側の機構図であ
る。 図において、 １４はテレビカメラ、 １５は計算機、 １６はプ０−バ制御部、 １７は基準位置マーク読み取り部、 １８は試験部、 １９はプリント配線板 ２０は基準位置マーク、 ２５はプ０−バ、 ２６はプロービングアーム、 ２７はプ０−バハンド部、 ２８はプローブ用ホルダ、 ２９はテレビカメラ用ホルダ を示す。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 プロービング対象物（１９）上の基準位置マーク（２０
   ）を検出装置（１４）で検出して得た検出信号を読み取
   り部（１７）で読み取り、計算機（１５）によりプロー
   ビングの基準位置を定めた後プローバ制御部（１６）を
   介してプロービングアーム（２６）を移動させ、該プロ
   ービング対象物（１９）上の測定点にプローブ（１３）
   をプロービングするプロービング機構において、 前記プローブ（１３）を着脱自在に保持する第１のホル
   ダ（２８）と、 前記検出装置（１４）を着脱自在に保持する第２のホル
   ダ（２９）と、 前記プロービングアーム（２６）の所定位置に設けられ
   、該第１及び第２のホルダ（２８、２９）に保持されて
   いる該プローブ（１３）及び検出装置（１４）のうち所
   望の一方をそのホルダ （２８ａ、２９）の保持から解放させて保持するプロー
   バハンド部（２７）と、 よりなり、該プローバハンド部（２７）により前記プロ
   ーブ（１３）と前記検出装置（１４）とを交換保持する
   よう構成したことを特徴とするプロービング機構。