JP2001219390A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
- Publication number
- JP2001219390A JP2001219390A JP2000026691A JP2000026691A JP2001219390A JP 2001219390 A JP2001219390 A JP 2001219390A JP 2000026691 A JP2000026691 A JP 2000026691A JP 2000026691 A JP2000026691 A JP 2000026691A JP 2001219390 A JP2001219390 A JP 2001219390A
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- Japan
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- holding force
- holding
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- Pending
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ウエハＷ等の被搬送物を保持するための保持力
ｆが低下した場合でも、搬送速度ｓなどの搬送特性を適
切に選択・制御することで、効率よく搬送することがで
きる搬送装置を提供すること 【解決手段】 被搬送物Ｗを保持する保持部Ｈと、前記
保持部による保持力を検出する検出部ＳＮＳ，５と、前
記保持力に対応した所定の搬送特性Ｓを選択する選択部
６と、前記選択された搬送特性を制御する制御部７とを
有する。
ｆが低下した場合でも、搬送速度ｓなどの搬送特性を適
切に選択・制御することで、効率よく搬送することがで
きる搬送装置を提供すること 【解決手段】 被搬送物Ｗを保持する保持部Ｈと、前記
保持部による保持力を検出する検出部ＳＮＳ，５と、前
記保持力に対応した所定の搬送特性Ｓを選択する選択部
６と、前記選択された搬送特性を制御する制御部７とを
有する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は搬送装置、特にウエ
ハ等の感光性基板を搬送するために好適な搬送装置に関
する。
ハ等の感光性基板を搬送するために好適な搬送装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来、搬送装置を使用して例えばウエハ
の搬送を行う場合、保持力に関して予め設定された閾値
を基準として、保持力が当該閾値以上の場合は一定速度
の搬送を行うこと、または、保持力が当該閾値以下の場
合は、エラー状態として搬送を中止していた。
の搬送を行う場合、保持力に関して予め設定された閾値
を基準として、保持力が当該閾値以上の場合は一定速度
の搬送を行うこと、または、保持力が当該閾値以下の場
合は、エラー状態として搬送を中止していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の技術において
は、ウエハに対する保持力が所定の閾値以上の場合は、
ウエハの保持力の大小に関わらず、一定速度の搬送を行
っていた。このため、所定の閾値よりも大きい状態であ
りながら保持力が低下した状態でウエハを搬送した場
合、搬送されるウエハの位置が所定の位置に対してずれ
ること、又は最悪の場合は、ウエハを振り落としてしま
うことが発生するという問題があった。ここで、保持力
が真空吸着力のときに保持力が低下する場合としては、
例えば、何らかの外的要因により工場内の元圧力が低下
する場合、当該搬送装置以外の他の装置において真空に
引くことで当該搬送装置の真空値が一時的に低下する場
合、さらに気象状況によっては低気圧が到来することで
大気との差圧が小さくなり保持力が低下する場合等が挙
げられる。
は、ウエハに対する保持力が所定の閾値以上の場合は、
ウエハの保持力の大小に関わらず、一定速度の搬送を行
っていた。このため、所定の閾値よりも大きい状態であ
りながら保持力が低下した状態でウエハを搬送した場
合、搬送されるウエハの位置が所定の位置に対してずれ
ること、又は最悪の場合は、ウエハを振り落としてしま
うことが発生するという問題があった。ここで、保持力
が真空吸着力のときに保持力が低下する場合としては、
例えば、何らかの外的要因により工場内の元圧力が低下
する場合、当該搬送装置以外の他の装置において真空に
引くことで当該搬送装置の真空値が一時的に低下する場
合、さらに気象状況によっては低気圧が到来することで
大気との差圧が小さくなり保持力が低下する場合等が挙
げられる。
【０００４】逆に、ウエハの保持力が所定の閾値以下の
場合は、エラー状態として搬送動作を行わないので、稼
働率が低いことなどの搬送装置としての信頼性が問題と
なっていた。
場合は、エラー状態として搬送動作を行わないので、稼
働率が低いことなどの搬送装置としての信頼性が問題と
なっていた。
【０００５】本発明は上記問題に鑑みてなされたもので
あり、ウエハ等の被搬送物を保持するための保持力が低
下した場合でも、搬送速度などの搬送特性を適切に選択
・制御することで、効率よく搬送することができる搬送
装置を提供することを目的とする。
あり、ウエハ等の被搬送物を保持するための保持力が低
下した場合でも、搬送速度などの搬送特性を適切に選択
・制御することで、効率よく搬送することができる搬送
装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、被搬送物を保持する保持部と、前記保持
部による保持力を検出する検出部と、前記保持力に対応
した所定の搬送特性を選択する選択部と、前記選択され
た搬送特性を制御する制御部とを有することを特徴とす
る搬送装置を提供する。
に、本発明は、被搬送物を保持する保持部と、前記保持
部による保持力を検出する検出部と、前記保持力に対応
した所定の搬送特性を選択する選択部と、前記選択され
た搬送特性を制御する制御部とを有することを特徴とす
る搬送装置を提供する。
【０００７】また、本発明では、前記保持力は真空吸着
力であることが好ましい。ここで、保持力とは、真空吸
着力に加えて、磁力、粘着力などをいう。そして、保持
力は、物理的な力に限られず被搬送物を保持するために
好適な全ての態様を包括する概念である。例えば、網で
包むこと等である。
力であることが好ましい。ここで、保持力とは、真空吸
着力に加えて、磁力、粘着力などをいう。そして、保持
力は、物理的な力に限られず被搬送物を保持するために
好適な全ての態様を包括する概念である。例えば、網で
包むこと等である。
【０００８】また、本発明では、前記搬送特性は、前記
被搬送物を搬送する速度であることが好ましい。この時
は、保持力が閾値以下の場合は搬送する速度を低下させ
ることが望ましい。図１は搬送速度を変化させる代表的
なパターンを示す図である（横軸は時間ｔ、縦軸は速度
ｓ）。例えば、図に示すような台形状パターン（ａ）や
Ｓ字状パターン（ｂ）が挙げられる。
被搬送物を搬送する速度であることが好ましい。この時
は、保持力が閾値以下の場合は搬送する速度を低下させ
ることが望ましい。図１は搬送速度を変化させる代表的
なパターンを示す図である（横軸は時間ｔ、縦軸は速度
ｓ）。例えば、図に示すような台形状パターン（ａ）や
Ｓ字状パターン（ｂ）が挙げられる。
【０００９】また、本発明では、前記搬送特性は、前記
被搬送物を搬送する加速度であることが好ましい。さら
に、搬送アームに保持されたウエハを、搬送加速度を制
御して搬送する場合（図２）には、次式（Ａ）を満足す
ることが望ましい。 （Ａ） ｍ・α＜μ（Ｓ×Ｐ＋ｍ×Ｇ） ここで、 α：ウエハ搬送時の加速度， Ｓ：ウエハ吸着面の面積， Ｐｓ：吸着部の圧力（負圧）， Ｐ０：ウエハ搬送時のウエハ周囲圧力（大気圧である場
合が多い）， Ｐ＝Ｐ０−Ｐｓ ｍ：ウエハの重さ Ｇ：重力 μ：静止摩擦係数をそれぞれ示している。
被搬送物を搬送する加速度であることが好ましい。さら
に、搬送アームに保持されたウエハを、搬送加速度を制
御して搬送する場合（図２）には、次式（Ａ）を満足す
ることが望ましい。 （Ａ） ｍ・α＜μ（Ｓ×Ｐ＋ｍ×Ｇ） ここで、 α：ウエハ搬送時の加速度， Ｓ：ウエハ吸着面の面積， Ｐｓ：吸着部の圧力（負圧）， Ｐ０：ウエハ搬送時のウエハ周囲圧力（大気圧である場
合が多い）， Ｐ＝Ｐ０−Ｐｓ ｍ：ウエハの重さ Ｇ：重力 μ：静止摩擦係数をそれぞれ示している。
【００１０】条件式（Ａ）を満足するように、運転パタ
ーンを制御すれば、ウエハの位置ズレは生じない。した
がって、位置ズレを発生しない効率の良い運転パターン
を選択できる。
ーンを制御すれば、ウエハの位置ズレは生じない。した
がって、位置ズレを発生しない効率の良い運転パターン
を選択できる。
【００１１】また、本発明では、前記搬送特性は、前記
被搬送物を搬送する加速度と速度との少なくとも何れか
一方を含む所定パターンであることが好ましい。
被搬送物を搬送する加速度と速度との少なくとも何れか
一方を含む所定パターンであることが好ましい。
【００１２】例えば、搬送特性を選択する例として以下
の場合が挙げられる。 （１）搬送開始前から保持力を測定して予め搬送経路
（コース）を切換える場合 （２）搬送している途中で、保持力が低下した時に該保
持力を検出して搬送パターンを変える場合 また、搬送している途中でパターンを変えてもパルス制
御技術やフィードバック技術、位置制御技術等を用いる
ことにより、被搬送物を所定の目標位置に搬送する事が
出来る。
の場合が挙げられる。 （１）搬送開始前から保持力を測定して予め搬送経路
（コース）を切換える場合 （２）搬送している途中で、保持力が低下した時に該保
持力を検出して搬送パターンを変える場合 また、搬送している途中でパターンを変えてもパルス制
御技術やフィードバック技術、位置制御技術等を用いる
ことにより、被搬送物を所定の目標位置に搬送する事が
出来る。
【００１３】上述した構成では、被搬送物（例えばウエ
ハ）の保持力に応じて最適な搬送特性となるように制御
することができる。このため、ウエハ保持機構の経年変
化や真空の圧力変化によって保持力が変化した場合で
も、搬送時にウエハの位置がずれる様なことは無い。ま
た、真空の圧力低下によってエラーを出すことも無く、
搬送動作を行うことができる。
ハ）の保持力に応じて最適な搬送特性となるように制御
することができる。このため、ウエハ保持機構の経年変
化や真空の圧力変化によって保持力が変化した場合で
も、搬送時にウエハの位置がずれる様なことは無い。ま
た、真空の圧力低下によってエラーを出すことも無く、
搬送動作を行うことができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】図３は、本発明の実施形態にかか
る搬送装置の概略構成を示す図である。本装置はウエハ
Ｗを所定のステージ４の位置に搬送するための装置であ
る。まず、フィーダアーム１のウエハ保持部Ｈは所定の
保持力にてウエハ２を保持する。ここで、ウエハ２の保
持力とは、真空吸着力と重力による静止摩擦力とを加え
た力をいう。次に、ウエハ２は、２本の腕を有する回転
アーム３の一方の腕の先端に設けられているウエハ保持
部Ｈ’に受け渡される。ウエハ保持部Ｈ’も、ウエハ保
持部Ｈと同様に真空吸着力でウエハ２を保持する。ここ
で、ウエハ保持部Ｈと、ウエハ保持部Ｈ’とには、真空
値を検出するための真空センサＳＮＳが取り付けられて
いる。該センサＳＮＳからの出力はウエハ保持力検出機
構部５へ送られる。そして、コンピュータ６は、真空値
と該真空値に応じた最適な搬送速度との対応テーブルを
有している。図４は、真空値−Ｐａ（横軸）と保持力ｆ
（縦軸）との関係を示す図である。図からも明らかなよ
うに、測定された真空値に対して一義的に保持力が対応
している。そして、保持力ｆ１，ｆ２，…に対して適切
な搬送速度Ｓ１，Ｓ２，…を予め定めておき、真空値と
搬送速度との対応テーブルを有していれば良い。なお、
１つの対応テーブルに限られず、例えば、真空値と搬送
加速度との対応テーブル、真空値と搬送パターンとの対
応テーブルなどの複数のテーブルを有していることが好
ましい。さらに、テーブルの代わりに、オペレータが測
定された真空値に対応した最適な搬送速度などを判断
し、キーボードＫＢから適切な搬送速度を入力しても良
い。
る搬送装置の概略構成を示す図である。本装置はウエハ
Ｗを所定のステージ４の位置に搬送するための装置であ
る。まず、フィーダアーム１のウエハ保持部Ｈは所定の
保持力にてウエハ２を保持する。ここで、ウエハ２の保
持力とは、真空吸着力と重力による静止摩擦力とを加え
た力をいう。次に、ウエハ２は、２本の腕を有する回転
アーム３の一方の腕の先端に設けられているウエハ保持
部Ｈ’に受け渡される。ウエハ保持部Ｈ’も、ウエハ保
持部Ｈと同様に真空吸着力でウエハ２を保持する。ここ
で、ウエハ保持部Ｈと、ウエハ保持部Ｈ’とには、真空
値を検出するための真空センサＳＮＳが取り付けられて
いる。該センサＳＮＳからの出力はウエハ保持力検出機
構部５へ送られる。そして、コンピュータ６は、真空値
と該真空値に応じた最適な搬送速度との対応テーブルを
有している。図４は、真空値−Ｐａ（横軸）と保持力ｆ
（縦軸）との関係を示す図である。図からも明らかなよ
うに、測定された真空値に対して一義的に保持力が対応
している。そして、保持力ｆ１，ｆ２，…に対して適切
な搬送速度Ｓ１，Ｓ２，…を予め定めておき、真空値と
搬送速度との対応テーブルを有していれば良い。なお、
１つの対応テーブルに限られず、例えば、真空値と搬送
加速度との対応テーブル、真空値と搬送パターンとの対
応テーブルなどの複数のテーブルを有していることが好
ましい。さらに、テーブルの代わりに、オペレータが測
定された真空値に対応した最適な搬送速度などを判断
し、キーボードＫＢから適切な搬送速度を入力しても良
い。
【００１５】次に、コンピュータ６からの信号はウエハ
搬送速度制御機構部７に送られる。そして、該制御機構
部７により、検出された真空値に最適な搬送速度となる
ようにフィーダーアーム１又は回転アーム３が制御され
る。そして、所定位置に設けられているステージ４上に
搬送される。
搬送速度制御機構部７に送られる。そして、該制御機構
部７により、検出された真空値に最適な搬送速度となる
ようにフィーダーアーム１又は回転アーム３が制御され
る。そして、所定位置に設けられているステージ４上に
搬送される。
【００１６】上記実施例はウエハの搬送装置について説
明したが、本発明はこれに限られるものではなく、被搬
送物を適当な保持力で搬送する機構を有する装置、例え
ば、半導体投影露光装置、顕微鏡観察装置等の全てに適
用することができる。
明したが、本発明はこれに限られるものではなく、被搬
送物を適当な保持力で搬送する機構を有する装置、例え
ば、半導体投影露光装置、顕微鏡観察装置等の全てに適
用することができる。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
例えばウエハの保持力によって搬送速度を変化させるこ
とで、ウエハを常に適切に搬送することができる。この
ため、ウエハを安全かつ的確に搬送できるという効果が
ある。さらに、経年変化による保持力の低下や、真空圧
等の変化による保持力の低下にも対応できるので、外部
環境の変化にも容易に対応が可能という効果も有してい
る。加えて、ウエハの吸着面状態による保持力の変化に
対しても常に効率的な搬送特性を選択できる。また、設
定された閾値よりも保持力が低下した場合でも、エラー
として搬送を中止することがなくなるので、信頼性が向
上し、かつ稼働率の点でも優れた搬送装置を提供でき
る。
例えばウエハの保持力によって搬送速度を変化させるこ
とで、ウエハを常に適切に搬送することができる。この
ため、ウエハを安全かつ的確に搬送できるという効果が
ある。さらに、経年変化による保持力の低下や、真空圧
等の変化による保持力の低下にも対応できるので、外部
環境の変化にも容易に対応が可能という効果も有してい
る。加えて、ウエハの吸着面状態による保持力の変化に
対しても常に効率的な搬送特性を選択できる。また、設
定された閾値よりも保持力が低下した場合でも、エラー
として搬送を中止することがなくなるので、信頼性が向
上し、かつ稼働率の点でも優れた搬送装置を提供でき
る。
【図１】搬送速度の制御パターンを示す図である。
【図２】ウエハを搬送する場合の断面を示す図である。
【図３】本実施例にかかる搬送装置の概略構成を示す図
である。
である。
【図４】真空値と保持力、搬送速度との関係を示す図で
ある。
ある。
１ フィーダーアーム ２ ウエハ ３ 回転アーム ４ ステージ ５ ウエハ保持力検出機構部 ６ コンピュータ ７ ウエハ搬送速度制御機構部 ＳＮＳ 真空センサ ＫＢ キーボード
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3C007 DS01 FS01 FS06 FU01 FU04 GU03 KS30 LV10 NS09 3F059 AA01 BA09 DC04 FC02 3F061 AA01 CA01 CA06 CC01 CC13 DB04 DC03 DD02 DD03 5F031 CA02 FA01 GA07 GA08 GA09 JA45 PA10
Claims (5)
- 【請求項１】 被搬送物を保持する保持部と、 前記保持部による保持力を検出する検出部と、 前記保持力に対応した所定の搬送特性を選択する選択部
と、 前記選択された搬送特性を制御する制御部と、 を有することを特徴とする搬送装置。 - 【請求項２】 前記保持力は真空吸着力であることを特
徴とする請求項１または２記載の搬送装置。 - 【請求項３】 前記搬送特性は、前記被搬送物を搬送す
る速度であることを特徴とする請求項１または２記載の
搬送装置。 - 【請求項４】 前記搬送特性は、前記被搬送物を搬送す
る加速度であることを特徴とする請求項１または２記載
の搬送装置。 - 【請求項５】 前記搬送特性は、前記被搬送物を搬送す
る加速度と速度との少なくとも何れか一方を含む所定パ
ターンであることを特徴とする請求項１記載の搬送装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000026691A JP2001219390A (ja) | 2000-02-03 | 2000-02-03 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000026691A JP2001219390A (ja) | 2000-02-03 | 2000-02-03 | 搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001219390A true JP2001219390A (ja) | 2001-08-14 |
Family
ID=18552394
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000026691A Pending JP2001219390A (ja) | 2000-02-03 | 2000-02-03 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001219390A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006024683A (ja) * | 2004-07-07 | 2006-01-26 | Nikon Corp | 搬送装置、露光装置、及び搬送方法 |
| JP2006041386A (ja) * | 2004-07-29 | 2006-02-09 | Nikon Corp | 搬送方法、搬送装置、露光装置及び吸着状態検出方法 |
| JP2010005732A (ja) * | 2008-06-26 | 2010-01-14 | Toyota Industries Corp | ロボットハンド機構、ロボットハンド機構を備えたロボット及びロボットハンド機構の制御方法 |
| JP2013139071A (ja) * | 2012-01-05 | 2013-07-18 | Yaskawa Electric Corp | 搬送システム |
| KR20230154886A (ko) | 2021-03-05 | 2023-11-09 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 처리 장치 및 반송 방법 |
-
2000
- 2000-02-03 JP JP2000026691A patent/JP2001219390A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006024683A (ja) * | 2004-07-07 | 2006-01-26 | Nikon Corp | 搬送装置、露光装置、及び搬送方法 |
| JP2006041386A (ja) * | 2004-07-29 | 2006-02-09 | Nikon Corp | 搬送方法、搬送装置、露光装置及び吸着状態検出方法 |
| JP2010005732A (ja) * | 2008-06-26 | 2010-01-14 | Toyota Industries Corp | ロボットハンド機構、ロボットハンド機構を備えたロボット及びロボットハンド機構の制御方法 |
| JP2013139071A (ja) * | 2012-01-05 | 2013-07-18 | Yaskawa Electric Corp | 搬送システム |
| US9111976B2 (en) | 2012-01-05 | 2015-08-18 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Transfer system |
| KR20230154886A (ko) | 2021-03-05 | 2023-11-09 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 처리 장치 및 반송 방법 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070105 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080612 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080617 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080812 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090303 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090501 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090707 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100112 |