JP4278460B2 - ワーク搬送システムの制御方法 - Google Patents
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Description
本発明は、ゲート板の開閉動作中であっても、ワークをゲート板が設けられている位置に搬送させて、高スループット化を実現させることを目的とする。
図1は、本発明によるワーク搬送システムの制御方法を示すフローチャート、図2はトランスチャンバからプロセスチャンバにワークを搬入する状態を示す説明図、図3はワークとゲート板との関係を示す説明図である。
図2において、搬送元となるトランスチャンバ20に搬送ロボット21が設置されており、搬送先であるプロセスチャンバ23にゲート板24が設けられている。ワークWは搬送ロボット21のアーム22に保持されて、搬送軌跡Aに沿って点P1、点P2を経てプロセスチャンバ23内の所定位置点P3に搬入される。点P1は搬送ロボット21に設定された速度で搬送したときに、ワークWがゲート板24の位置に近接してもこの位置に来たゲート板24とは接触しない状態で停止させることができる距離にある位置、点P2はワークWがゲート板24と機械的に干渉するようになる直前の位置である。
ゲート板24の開閉動作は一定の速度で開閉するものとし、25はこのゲート板の開閉度を測定する開度検出器である。
まずワークWがアーム22に保持され搬送を開始すると、速度パターンB生成処理(ステップ1)で点P3を最終位置とした速度パターンBを生成し、この速度パターンによって搬送ロボット21がワークWを搬送軌跡Aに沿って搬送させる。ワークWが点P1に到達した時点(ステップ2)で、ゲート板24の開度検出器25よりゲート板開閉情報26を入手してゲート板の開度状態をチェックする(ステップ3)。ゲート板24が既に開き終わっている場合は(ステップ8)でそのまま速度パターンBの速度を継続し、何らかの事情でゲート板が閉じている場合は(ステップ9)で直ちに減速停止させる。ゲート板が開動作の途中であれば、速度パターンBの速度を維持して搬送した場合にワークがゲート板と接触するかどうかを(ステップ4)で演算し判断する。
この判断結果で、接触しない場合は(ステップ8)によりそのまま速度を継続する。接触すると判断された場合は、(ステップ5)で接触しない速度を算出し、変更した速度パターンCを生成し(ステップ6)連続して搬送する。なお、速度パターンBは、搬送時間を小さくするため、できるだけ高速にしているため、速度パターンCは速度パターンBより通常は減速される。
ワークが点P2を通過(ステップ7)した後は、ゲート板24はワークと接触しないよう十分に開いているので、(ステップ8)で速度パターンBに戻して搬送終点点P3で停止させる。
これに対して、従来は点線で示すように、ゲート板が完全に開いた状態になってワークを搬入させるため時間Tだけ搬送完了が遅れる。
点P3と点P2の距離が小さく、搬出時間がゲート板の閉動作時間より長いときは、搬出を開始して前記2つの時間の時間差に応じたタイミングでゲート板の閉動作を行わせ、搬出時間がゲート板の閉動作時間より小さいときは、先にゲート板を動作させ、時間差で搬出を開始する。これにより搬出開始からゲート板が完全に閉まるまでの時間を短縮できる。
なお、点P3と点P2の距離が十分に大きければ、点P3とP2の間にP1に相当する点を設け、速度パターンを変えるようにすることができる。
ワークWが点P1から点P2に到達するまでの時間をTR、ゲート板24がゲート板開度情報による開度G1から、ワークWの大きさやアームのゲート板開閉方向の高さによって決められる接触を生じない開度G2になるまでの時間をTGとすると、TRがTGより大きい場合は接触しない、TRがTGと等しいか小さいときは接触すると判断される。
ここでTRは、
Sg:ゲート板の閉から開度G2までの距離
Vg:ゲート板の速度パターンの最大速度
Ag:ゲート板の速度パターンの加速度
である。
21 搬送ロボット
22 アーム
23 プロセスチャンバ
24 ゲート板
25 開度検出器
W ワーク
A 搬送軌跡
P1 ワークがゲート板に接触しないで停止できる位置
P2 ワークがゲート板に機械的に干渉する直前の位置
P3 搬入位置
Claims (1)
- それぞれ開口部を開閉するゲート板をそなえた複数のチャンバと、前記チャンバ相互間にアームに支持したワークを搬入および搬出させる搬送ロボットをそなえたワーク搬送システムにおいて、搬送元チャンバから搬送先チャンバに前記搬送ロボットによりワークを搬送する搬送軌跡を設定し、前記搬送軌跡に沿って設定した速度パターンで搬送されるワークが、搬送先チャンバのゲート板位置の直前で停止することができる距離にある第1の点と、ワーク先端が前記ゲート板に機械的に干渉する直前の第2の点を設定し、搬送されるワークが第1の点に到達した時点で、前記ゲート板の開度を測定し、前記測定されたゲート板の開度から搬送されてくるワークに機械的に干渉しない開度になる時までの最小の時間TGを演算するとともに、ワークの搬送速度を、第1の点から第2の点に到達するまでの時間TRが時間TGより大きくなるように設定して制御することを特徴とするワーク搬送システムの制御方法。
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