JP2011228510A - 基板処理装置、及び、基板移載方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板処理装置は、基板搬送用の搬送ロボット30が配置された搬送チャンバ20と、搬送チャンバ20の周囲にスリットバルブ70を介して接続されたプロセスチャンバ10と、を備える。プロセスチャンバ10は、載置台11を備え、載置台11からリフトピン12に基板Wを移載することで搬送ロボット30への基板Wの受け渡しが可能になっている。リフトピン12を制御する移載制御部13は、搬送ロボット30が該当プロセスチャンバ10への基板の搬送動作を開始した後に、リフトピン12へ基板Wを移載させる。
【選択図】図1
Description
一方、搬送チャンバーの搬送ロボットは、他のプロセスチャンバやロードロックへの基板の搬入・搬出動作や次の基板保持位置の空き状態等の都合上、上記プロセスチャンバの基板の処理が終了しても、直ちに基板を搬出できない場合がある。
本発明は、上述の問題点に鑑みてなされたものであり、装置振動等による基板の位置ずれを簡便に防止可能な手段を提供することを目的とする。
このように、搬送ロボットによる動作とリフトピンによる動作とを協調させることで、処理済基板を支持ピン上に置かれている状態の時間を極力減らし、装置振動による基板の位置ずれを防ぐことができる。
ここで、「基板の搬出動作開始後のタイミング」における基板の搬出動作は、搬送ロボットが他の基板搬送動作を完了してから若しくは搬送ロボットが初期位置にある状態から、基板の搬出動作を完了するまでの動作を言う。従って、搬出対象基板を搬送ロボットに移載してから基板が処理室を出るまでの狭義の搬出動作とは異なる。
本発明によれば、特別な構造物を設けることなく、簡易かつ有効に基板の位置ずれを防止可能であり、また基板近傍に複雑な構造物を設けることによるパーティクルの発生等を防止可能である。
図1に本実施形態にかかる基板処理装置の外観図を示す。
図1の基板処理装置は、基板搬送用の搬送ロボット30が配置された搬送チャンバ20と、搬送チャンバ20の周囲にスリットバルブ70を介して接続されたプロセスチャンバ10と、ロードロック/アンロードロックチャンバ40A,40Bと、を備える。ロードロック/アンロードロックチャンバ40A,40Bは、大気側搬送ロボット51を備えた大気側基板供給室50と搬送チャンバ20との間に配置され、大気側基板供給室50から供給される基板を搬送チャンバ20に供給し、搬送チャンバ20から基板を回収するために設けられる。各チャンバ20,10は、夫々、ターボ分子ポンプなどの排気装置を備えており、夫々独立に減圧可能であり、減圧条件下で搬送ロボット30によるチャンバ20,10間での基板の搬送が可能である。なお、排気装置は、本発明の適用において必須のものではない。
vacuum deposition)成膜用のCVDチャンバ、基板を加熱又は冷却するための温度調整チャンバなどとして構成される。また、プロセスチャンバ10は、図2に示すように、処理対象の基板Wを載置するための載置台11と、リフトピン12と、チャンバ処理制御部14と、を備える。リフトピン12は、詳細は図示しないがシリンダなどの駆動装置に接続され、昇降可能になっており、下降状態では載置台11内部の孔に収納され(図3の状態)、上昇状態では載置台11表面に突き出て、載置台11から離した状態で基板Wを支持可能に構成されている(図2の状態)。
図4のフローでは、プロセスチャンバ10における移載制御部13と搬送制御部32における夫々の動作を示す。あるプロセスチャンバ10Aにおけるプロセス処理(例えば所定の成膜処理)が終了したことを検知すると(ステップS101)、当該プロセスチャンバ10Aの移載制御部13は、搬送制御部32から搬送タイミング信号が送信されるのを待機する(ステップS102)。このとき、搬送ロボット30は他のプロセスチャンバ10における基板の搬送を行っているため(ステップS001)、基板Wは載置台11上に載置されたままの状態で搬送順まで待機する(図3の状態)。
その後、搬送制御部32は、他の基板の搬送が完了し(ステップS002)、プロセスチャンバ10Aからの基板W回収動作を開始するところで、移動量の情報を含む搬送タイミング信号を出力する(ステップS103)。
その後、移載制御部13は所定時間経過後、リフトピン12を下降させることで、基板Wが搬送ロボット30の保持部31に移載され(ステップS109)、搬送制御部32が搬送ロボット30のアームを収縮し、保持部31を搬送チャンバ20内に戻すことで、基板搬出動作が完了する(ステップS110)。
また、搬送制御部32から移動量の情報を含む搬送タイミング信号を送信することで、各プロセスチャンバ10におけるプロセス終了時に、搬送ロボット30がどのような基板搬送動作を行っていたとしても、正確に移載タイミングを算出し、振動の少ない適切なタイミングで基板搬出動作を行うことができる。
また、どのプロセスチャンバ10からの基板搬出動作を行う場合にも、搬送制御部32の側から一定のタイミングで搬送タイミング信号を送信し、それを受信するプロセスチャンバ10の側で移載タイミングを算出することで、各プロセスにより載置台11の吸着力が異なる場合にも、必要な移載時間を逆算して適切な移載タイミングを算出することが可能である。また、搬送制御部32側で判断しなくてよいので、負荷が少なく、プロセスチャンバの構成や処理内容に応じた変更が容易である。
次に、図6に示すフローチャートを用いて、第2実施形態について説明する。本実施形態は、ほぼ第1実施形態と同様の動作を行うが、搬送タイミング信号を送信する契機と、搬送タイミング信号が含む情報が異なっている。具体的には、第2実施形態では、プロセスが終了した移載制御部13からの、自チャンバを特定可能な情報(例えば、10A)を含む搬送問合せ信号の送信(ステップS101−1)に応答して、搬送制御部32が搬送タイミング信号を当該指定されたプロセスチャンバ10Aに送信している(ステップS101−2)。これにより、よりプロセスチャンバ10A側での必要に応じた信号を得ることができる。
次に、第3実施形態について、図7のフローを用いて説明する。第3実施形態では装置構成は上述の実施形態と略同様であるが、移載制御部13で移載タイミングを演算することなく、リフトピン12を上昇させている点で他の実施形態と異なっている。以下、上記実施形態と同じ部分は簡略化して説明する。
プロセスチャンバ10Aにおけるプロセスが終了すると(ステップS201)、移載制御部13では搬送制御部32からの信号を待機する(ステップS202)。搬送制御部32は、搬出対象基板を有するプロセスチャンバ10Aからの基板の回収に向かうべく、プロセスチャンバ10A方向に保持部31を向ける回転動作が完了した時点(ステップS203)で、搬送タイミング信号を移載制御部13に送信する(ステップS204)。これを受信した移載制御部13において、リフトピン12の上昇動作を行う(ステップS205)。その後は、上述の実施形態と同様であり、所定時間の進行に従ったシーケンス動作により、基板W下まで搬送ロボット30の保持部31が伸長した後(ステップS206)、リフトピン12を下降させて保持部31に基板Wを移載し(ステップS207)、搬送ロボット30を搬送チャンバ20内へ収縮させることで(ステップS208)、基板の搬出動作を完了する。
なお、上記実施形態では、リフトピン12を載置台11に対して上下動させることで、移載動作を行っているがこれに限らず、載置台11の方をリフトピン12に対して移動させてもよく、両方を移動させて移載動作を行うようにしてもよい。
20 搬送チャンバ
30 搬送ロボット
31 保持部
70 スリットバルブ
Claims (7)
- 基板搬送可能な搬送ロボット、及び、前記搬送ロボットにより搬送される基板が通過可能な複数の搬送口を有する搬送室と、
前記搬送ロボットを制御する搬送ロボット制御手段と、
前記搬送口を介して搬送室に接続される処理室と、を備え、
前記処理室は、
基板を載置可能な処理台と、
搬出対象の基板を前記処理台から離間した状態で支持し、前記搬送ロボットに移載可能な基板支持ピンと、
前記基板支持ピン及び前記処理台の少なくとも一方の駆動を制御して、前記基板を処理台から基板支持ピンに移載させる移載制御手段と、を備え、
前記搬送ロボット制御手段は、搬出対象基板を有する処理室からの基板の搬出動作開始後のタイミングを知らせる搬送タイミング信号を当該処理室の移載制御手段に送信し、
前記移載制御手段は、前記搬送ロボット制御手段からの搬送タイミング信号の受信に基づいて、前記搬送ロボットの搬出動作開始後に前記基板を基板支持ピンに移載させることを特徴とする基板処理装置。 - 前記移載制御手段は、前記搬送タイミング信号に基づいて、前記搬送ロボットの移載位置への到着タイミングを演算し、前記演算した到着タイミングに間に合うように前記基板を基板支持ピンに移載させることを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記搬送ロボット制御手段は、前記搬出動作に伴う移動量、又は、前記搬出動作開始までに行われる搬送動作を特定可能な搬送順序情報を含む搬送タイミング信号を前記移載制御手段に送信することを特徴とする請求項2に記載の基板処理装置。
- 前記搬送ロボット制御手段は、前記移載制御手段からの前記処理室における処理の終了示す処理終了信号の受信に応答して、前記搬送タイミング信号を送信することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の基板処理装置。
- 前記搬送ロボット制御手段は、回転動作により搬出対象の基板を有する処理室に向き、伸長動作により前記基板支持ピンに支持された基板位置に近づくものであって、前記回転動作完了後に、当該搬出対象基板を有する処理室の移載制御手段に前記搬送タイミング信号を送信し、
前記移載制御手段は、前記搬送タイミング信号の受信に応答して前記基板を基板支持ピンに移載させることを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。 - 基板搬送可能な搬送ロボット、及び、前記搬送ロボットが搬送可能な複数の搬送口を有する搬送室と、前記搬送口を介して搬送室に接続し、かつ、基板を載置可能な処理台、搬出対象の基板を前記処理台から離間した状態で支持し、前記搬送ロボットに移載可能な基板支持ピン、及び、前記基板支持ピン及び前記処理台の少なくとも一方の駆動を制御して、前記基板を処理台から基板支持ピンに移載させる移載制御手段を有する処理室と、を備える基板処理装置において、基板を処理台から搬送ロボットに基板支持ピンを介して移載させる移載方法であって、
前記移載制御手段は、前記搬送ロボットによる自処理室からの搬出動作開始後に前記基板を基板支持ピンに移載させることを特徴とする基板移載方法。 - 基板搬送可能な搬送ロボット、及び、前記搬送ロボットにより搬送される基板が通過可能な複数の搬送口を有する搬送室と、前記搬送口を介して搬送室に接続し、かつ、基板を載置可能な処理台、搬出対象の基板を前記処理台から離間した状態で支持し、前記搬送ロボットに移載可能な基板支持ピン、及び、前記基板支持ピン及び前記処理台の少なくとも一方の駆動を制御して、前記基板を処理台から基板支持ピンに移載させる移載制御手段を有する処理室と、を備える基板処理装置において、基板を処理台から搬送ロボットに基板支持ピンを介して移載させる移載方法であって、
前記移載制御手段は、前記搬送ロボットによる自処理室からの搬出動作開始後に前記基板を基板支持ピンに移載させることを特徴とする基板移載方法。
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JP2012216634A (ja) * | 2011-03-31 | 2012-11-08 | Tokyo Electron Ltd | 基板受け渡し装置、基板受け渡し方法及び基板処理装置 |
CN104213086A (zh) * | 2014-09-12 | 2014-12-17 | 光驰科技(上海)有限公司 | 一种双臂自动装片式溅射镀膜方法及其装置 |
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JPH11121581A (ja) * | 1997-10-13 | 1999-04-30 | Kokusai Electric Co Ltd | 基板搬送機構 |
JP2010093125A (ja) * | 2008-10-09 | 2010-04-22 | Toray Eng Co Ltd | 基板処理システムおよび基板処理方法 |
JP2011119442A (ja) * | 2009-12-03 | 2011-06-16 | Canon Inc | 基板搬送装置、それを用いた露光装置、及びデバイスの製造方法 |
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