JP2001025229A - 可動コイル型リニアモータを内蔵したスライド装置 - Google Patents

可動コイル型リニアモータを内蔵したスライド装置

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JP2001025229A
JP2001025229A JP11192365A JP19236599A JP2001025229A JP 2001025229 A JP2001025229 A JP 2001025229A JP 11192365 A JP11192365 A JP 11192365A JP 19236599 A JP19236599 A JP 19236599A JP 2001025229 A JP2001025229 A JP 2001025229A
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JP
Japan
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track rail
slider
linear motor
slide device
coil
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JP11192365A
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English (en)
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Takaaki Tsuboi
孝明 壺井
Norimitsu Kitade
憲充 北出
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Nippon Thompson Co Ltd
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Nippon Thompson Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、軌道レールとスライダとを備えた
直動案内ユニットに可動コイル型リニアモータを組み込
んで、コンパクトで、機器やワークへの取付けが容易な
可動コイル型リニアモータを内蔵したスライド装置を提
供する。 【解決手段】 軌道レール１１と軌道レール１１の長手
方向にスライドするスライダ１２とを備えた直動案内ユ
ニット１０において、軌道レール１１の一側の側面とス
ライダ１２との間にリニアモータ８０が配設される。リ
ニアモータ８０は、マグネットヨーク８３と界磁マグネ
ット８４から成る固定子８２と、スライダ１２の取付け
台６の側面に取り付けられた可動コイル組立体８１とか
ら成る。リニアモータ８０は直動案内ユニット１０にコ
ンパクトに組み込まれ、スライド装置１の構造を簡素に
し、機器やワークへの取付けも容易にしている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えば、半導体
・液晶関連装置、測定器、組立機、工作機械、産業用ロ
ボット、試験装置又は搬送機等の機器に使用され、軌道
レールに対して長手方向に沿って移動するスライダを備
え且つ内部に可動コイル型リニアモータを内蔵したスラ
イド装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、メカトロ技術の発展が目覚まし
く、当該技術を支える基礎的且つ汎用的な装置として直
動案内ユニットがある。直動案内ユニットは、現在で
は、工作機械、半導体製造装置、搬送装置、検査装置、
測定器、加工機、組立機、産業用ロボット等の各技術分
野の装置に組み込まれて多用されているが，技術の発展
と共にその用途は拡大しており、高精度、高速摺動化、
組立容易性、汎用化等の要求が益々高まっている。
【０００３】直動案内ユニットにおいて、ワーク、工
具、或いは物品や機器を高速で移動させ且つ高精度で位
置決めするため、駆動手段を内蔵し、コンパクトな構造
を有し、高推力、高速、高応答可能なスライド装置が求
められている。そのようなスライド装置として、リニア
モータが内蔵されたスライド装置がある。リニアモータ
には、電機子コイルをベース部材であるベッドにその長
手方向全長に渡って固定子として配設し、ベッドに対し
て長手方向に摺動自在なテーブルに永久磁石から成る界
磁マグネットを可動子として取り付けた可動マグネット
型のリニアモータと、ベッドに界磁マグネットを固定子
として設け、且つ所定の電気角だけずらした位相差をも
って順次配列された複数個の電機子コイルを可動子とし
てテーブルに設けた可動コイル型リニアモータとがあ
る。
【０００４】また、スライド装置として、断面Ｕ字状の
軌道レールとＵ字状の溝内を摺動するスライダとを備
え、スライダを軌道レールに対して摺動させるための駆
動手段を備えたものがある。そうしたスライド装置の一
つとして、断面Ｕ字状の長尺円弧でなるトラックレール
内に摺動自在な摺動台を有する転がり案内ユニットとし
て、トラックレール外側面に形成されているラックと噛
み合うピニオンを駆動する駆動モータを摺動台の外側に
向かって突出する張出側部に配設したものが提案されて
いる（特開平６−３０７４４５号公報）。しかしなが
ら、駆動モータが摺動台の上面に出っ張っているので、
ワークの摺動台への取付けが簡単でない。
【０００５】また、この種のスライド装置として、断面
Ｕ字状のサブステーションに摺動自在なメインステージ
を有し、メインステージを直線駆動する可動コイル型の
リニアモータ（ボイスコイル型のリニアモータ）をメイ
ンステージの側方の基台に配設したＸＹステージがある
（特開平８−１９０４３１号公報）。このＸＹステージ
では、リニアモータがメインステージの側方の基台上に
配設されているので、メインステージとリニアモータと
を同時に配置することができる程度の広い面積の平面が
必要である。
【０００６】また、この種のスライド装置として、断面
Ｕ字状のベース、ベース内に内蔵された可動コイル型の
多相ブラシレスリニアモータ、ベースのＵ字状の頂上に
配設されたガイドレールを介して摺動自在なテーブルか
ら成るリニアモータが提案されている（特開平６−３８
５０３号公報）。即ち、この可動コイル型リニアモータ
において、複数個の永久磁石が長手方向に交互に異極が
現れるように配設され、これらの永久磁石の表面に形成
される磁気空隙内に多相コイル及びこれら多相コイルへ
の通電方向を制御する界磁検出器を備えた可動子が前記
長手方向に移動可能に設けられている。永久磁石を間隔
を置いて配設し、隣接する永久磁石間に前記長手方向に
着磁してなる他の永久磁石を各々表面において同極が近
接するように周期的に嵌装固着し、連続する永久磁石が
形成されている。このリニアモータは、ベースに２条の
突起部を形成し、各突起部の頂上部に配設したガイドレ
ール上に可動子を走行させているので、背の高い装置に
なっている。
【０００７】また、この種のスライド装置として、断面
Ｕ字状の固定部のガイドレールに沿って案内走行する走
行ローラを有する可動体、可動体の上部に磁石可動型リ
ニアモータを配設した磁石可動型リニアモータが提案さ
れている（特開平８−１４０３２９号公報）。この磁石
可動型リニアモータは、可動体の上部にリニアモータを
配設しているので、ワークを可動体の上面に取り付ける
ことができず、ワークの組込みが困難になっている。
【０００８】また、この種のスライド装置として、断面
Ｕ字状に形成されている一対のリニアガイドのそれぞれ
を固定子の各側に配設し、その中央部に可動磁石型リニ
アモータを配設した可動磁石型リニアモータが提案され
ている（特開平１０−２９０５６０号公報）。この、可
動磁石型リニアモータでは、リニアガイドは固定子上に
配設されているので、固定子は大きな面積の平面を備え
る必要がある。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上記の各文献に記載さ
れているような、断面Ｕ字状の軌道レール、Ｕ字状の溝
内を摺動するスライダ、及びスライダを軌道レールに対
して摺動させるための駆動手段を備えたスライド装置
は、いずれも、ワークの取付けに困難性があったり、固
定子や可動子に広い面積或いは高さを必要としている。
【００１０】そこで、スライダが軌道レールの凹溝内で
長手方向に案内される直動案内ユニットにおいては、軌
道レールが凹溝を備えているために高い剛性を備えてい
るので、スライダを駆動させるリニアモータを直動案内
ユニットとコンパクトに組み込み、構造部材としても用
いることを可能にすると共に、ワークの取付けや各利用
分野での機器への適用等、取扱い易さを向上する点で解
決すべき課題がある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この発明の目的は、上記
の課題を解決することであり、ベッドに取り付けられる
軌道レール、ベッドに対して相対的に移動可能なテーブ
ルに取り付けられ且つ軌道レールの長手方向にスライド
可能なスライダ、前記軌道レールと前記スライダとを相
対移動するように駆動させる可動コイル型リニアモータ
を内蔵するスライド装置において、可動コイル型リニア
モータを構成する固定子や可動子に広い面積或いは高さ
を必要とせず、ワークの取付けも容易であり、半導体製
造装置、検査装置、測定器、加工機、組立機等におい
て、コンパクトであり、且つワーク、工具、或いは物品
や機器を高速で移動させ且つ高精度で位置決めし、高推
力、高速、高応答可能なる可動コイル型リニアモータを
内蔵したスライド装置を提供することである。
【００１２】この発明は、上記の目的を達成するため次
のように構成されている。即ち、この発明は、ベッドに
取り付けられ且つ互いに連結された一対の側部を有する
軌道レール、前記ベッドに対して相対移動されるテーブ
ルに取り付けられ且つ前記軌道レールの前記両側部間に
形成された案内路内を前記軌道レールの長手方向に沿っ
て摺動可能なスライダ、前記スライダを前記軌道レール
に対して相対移動させる駆動力を発生させる可動コイル
型リニアモータを具備し、前記可動コイル型リニアモー
タは、前記軌道レールの少なくとも一方の前記側部の外
側に取り付けられ且つ一対の界磁マグネットを備えたマ
グネットヨーク、及び前記スライダに取り付けられ且つ
一対の前記界磁マグネット間に配置されて前記界磁マグ
ネットと相互に電磁気作用をして前記軌道レールの長手
方向に向かう力を生じさせる可動コイル組立体から構成
されていることから成る可動コイル型リニアモータを内
蔵したスライド装置に関する。
【００１３】この可動コイル型リニアモータを内蔵した
スライド装置によれば、可動コイル型リニアモータは、
軌道レールの少なくとも一方の側部の外側に取り付けら
れたマグネットヨークに備わる一対の界磁マグネット
と、スライダに取り付けられ且つ一対の前記界磁マグネ
ット間に配置された可動コイル組立体との間に生じる電
磁気作用により、スライダと軌道レールとの間において
軌道レールの長手方向に向かう力が生じ、テーブルをベ
ッドに対して高速で移動させると共に高精度で位置決め
する。可動コイル型リニアモータの固定子としてのマグ
ネットヨークは軌道レールの少なくとも一方の側部の外
側に取り付けられ、可動コイル型リニアモータの可動子
としての可動コイル組立体はスライダに取り付けられて
いるので、軌道レールとスライダとを備えた直動案内ユ
ニットに対して可動コイル型リニアモータが、大きな面
積や高さを要することなく、コンパクトに且つ簡単に取
り付けられる。
【００１４】前記軌道レールは前記各側部の下部を互い
に連結する底部を備えており、前記案内路は前記各側部
と前記底部とによって形成される前記軌道レールの断面
Ｕ字状凹部内に形成されている。前記軌道レールの前記
底部には、前記軌道レールを前記ベッドへ取り付けるた
めの取付ボルトが挿通される取付け孔が形成されてい
る。断面Ｕ字状に形成された軌道レールは、それ自体が
曲げ等に対する剛性が高く、構造部材としても利用可能
である。軌道レールを断面Ｕ字状に形成する底部を利用
してベッドに取り付けられるので、取付け用の構造が簡
素化される。
【００１５】一方、前記テーブル及び前記可動コイル組
立体は、直接スライダに取り付けることも可能である
が、前記スライダに取り付けられている取付け台を介し
て前記スライダに取り付けることも可能である。
【００１６】前記スライダは、前記軌道レールの前記各
側部において長手方向に沿って互いに向かい合った両内
側壁面に形成された第１軌道溝と前記スライダに前記第
１軌道溝に対向した位置に形成された第２軌道溝とで形
成される軌道路を転走する転動体を介在して、前記軌道
レールに対して摺動自在である。軌道溝と転動体とを備
えた転がり案内機構、及びスライダの構造は、直動案内
ユニットとしては既知のものを利用可能である。
【００１７】前記軌道レールの両端にはエンドブロック
が配設されており、前記エンドブロックの外側端面には
前記スライド装置の手扱いを容易にする手掛け凹部が形
成されている。エンドブロックに形成された手掛け凹部
に手を掛けることにより、スライド装置の運搬、取扱い
が容易になる。
【００１８】前記マグネットヨークは、前記両界磁マグ
ネットが内側に対向した状態に配設された一対の対向
部、及び前記両対向部の底側で連結する連結底部から成
り、前記両対向部間に形成される開口部を上方に向けた
状態で前記軌道レールに取り付けられている。前記各界
磁マグネットは前記軌道レールの長手方向に極性が交互
に異なる磁極が並設されており、前記各界磁マグネット
の互いに対向する前記磁極の前記極性が反対極性とされ
ている。可動コイル型リニアモータの固定子側の構造
は、連結底部で一体に連結された一対の対向部を有する
マグネットヨークが、両対向部間に形成される開口部を
上方に向けた状態で軌道レールに取り付けられ、対向部
の対向内側に界磁マグネットが対向した状態に配設され
ているので、一対の対向部を接近させることが可能にな
り、マグネットヨークを可及的に幅狭に形成して、スラ
イド装置をコンパクトに構成することに寄与し得るもの
となっている。
【００１９】前記可動コイル組立体は、前記マグネット
ヨークが取り付けられた前記軌道レールの前記側部を越
えて延びる前記スライダ又は前記取付け台の突出部に取
り付けられていると共に、前記マグネットヨークの前記
開口部を通じて一対の前記界磁マグネット間に形成され
ている空隙内に延びている。スライダ又は取付け台に軌
道レールの側部を越えて延びる突出部を設け、突出部に
可動コイル組立体を取り付けるので、可動コイル組立体
の取付け構造と取付け作業が簡素化される。
【００２０】前記可動コイル組立体は、前記突出部の端
面に取り付けられ前記空隙内に配置されたコイル基板、
及び前記コイル基板に配設された多相の電機子コイルを
備え、前記電機子コイルは、略矩形に巻かれた捲線と前
記捲線の内部に樹脂モールド成形された芯部材とから成
り、前記芯部材に形成されている凸部を前記コイル基板
に形成された凹部又は孔部に嵌合して前記コイル基板に
固着されている。このように構成することにより、電機
子コイルは偏平な形状となり可動コイル組立体の厚さを
コイル基板との厚さと電機子コイルの厚さとの合計の厚
さにまで薄く構成することが可能になり、マグネットヨ
ークの界磁マグネット間に形成される空隙内に延びるよ
うに配置させることが可能になる。軌道レールの側部に
配設されるリニアモータの厚さも幅狭に構成され、スラ
イド装置が一層コンパクトに構成される。電機子コイル
の凸部をコイル基板に形成された凹部に嵌合することに
より、電機子コイルはコイル基板に確実に取り付けら
れ、テーブルの運転速度が高速化されても、各電機子コ
イルはコイル基板に対して位置ずれを生じない。コイル
基板と電機子コイルとの固着は接着剤でなされるが、樹
脂モールド成形しているので、電機子コイルが高温にな
っても型崩れせず、電機子コイルの強度が向上してスラ
イド装置の高速運転化を可能にしている。
【００２１】前記軌道レールに対する前記スライダの位
置を検出するための検出装置を具備しており、前記検出
装置は、前記軌道レールの前記可動コイル型リニアモー
タが配設されている側の前記側部の上面上に配設された
リニアスケール、及び前記スライダ又は前記取付け台の
突出部に取り付けられ前記リニアスケールを検出するセ
ンサヘッドから構成されている。
【００２２】前記可動コイル型リニアモータは、前記マ
グネットヨークに取り付けられたカバーによって覆われ
ている。マグネットヨークの開口部が上方を向いて開口
しているので、カバーによって可動コイル型リニアモー
タを覆うことにより、マグネットヨーク及び可動コイル
組立体への異物や塵埃の侵入を防止することが可能とな
る。前記可動コイル組立体が取り付けられる前記突出部
の上面は、前記テーブルが取り付けられる前記スライダ
又は前記取付け台の頂面よりも下方に位置されており、
前記カバーは前記テーブルと前記突出部の前記上面との
間に延びている。突出部の上面の位置を下げることによ
り、テーブル側の構造に変更を加えることなく、カバー
はスライダ又は取付け台の中央寄りまで拡がって延び、
カバーで覆うことが可能な範囲が拡大される。カバー
は、検出装置のリニアスケールの上方をも覆うことが可
能である。
【００２３】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
によるスライド装置の実施例を説明する。図１はこの発
明によるスライド装置の一例を一部を破断し一部を分解
して示す斜視図、図２は図１に示すスライド装置の矢視
Ａの方向で見た断面図、図３は図１に示すスライド装置
に用いられる直動案内ユニットを一部を破断して示す斜
視図、図４は図３に示す直動案内ユニットの矢視Ｂで見
た断面図、図５は図３に示す直動案内ユニットの平面
図、図６は図３に示す直動案内ユニットの側面図、図７
は図３に示す直動案内ユニットに用いられるスライダと
取付け台との取付け構造を示す部分断面図、図８は図１
に示すスライド装置に用いられるエンドブロックの正面
図、図９は図８に示すエンドブロックの平面図、図１０
は図８に示すエンドブロックの背面図、図１１は図８に
示すエンドブロックの底面図、図１２は図１に示すスラ
イド装置に用いられる取付け台を示す平面図、図１３は
図１２に示す取付け台の正面図、図１４は図１２に示す
取付け台の側面図、図１５は図１に示すスライド装置に
用いられる可動コイル型リニアモータの固定子を示す側
面図、図１６は可動コイル型リニアモータの平面図、図
１７は図１に示すスライド装置に用いられる可動コイル
型リニアモータの可動コイル組立体を示す図、図１８は
図１７に示す可動コイル組立体に用いられる電機子コイ
ルを示す平面図、図１９は図１８に示す電機子コイルの
側面図、図２０は図１７に示す可動コイル組立体に用い
られるコイル基板を示す平面図である。なお、この発明
の実施例を説明するに際して、上面、下面、頂面及び底
面等の上下に関する概念は、直動案内ユニットを通常の
姿勢で置いた場合における上下であり、横置きや逆さ置
きの場合を含む実際の使用状態を何ら制限するものでは
ない。
【００２４】図１及び図２に示すスライド装置１は、ベ
ッド２とテーブル３との間に適用されて（図２を参照）
両者を相対的に移動させる装置であり、基本的に、長尺
な軌道レール１１と軌道レール１１の長手方向に沿って
摺動可能に嵌挿されたスライダ１２とから構成される直
動案内ユニット１０、及びベッド２とテーブル３とに相
対移動を生じさせるため直動案内ユニット１０の軌道レ
ール１１とスライダ１２とを相対的に移動させる可動コ
イル型リニアモータ（以下、リニアモータと略す）８０
を備えている。
【００２５】直動案内ユニット１０において、軌道レー
ル１１は、取付けボルト４によってベッド２に取り付け
られる。スライダ１２には、取付けボルト７によって取
付け台６が取り付けられ、テーブル３は取付け台６に対
して取付けボルト８によって取り付けられる。図１で
は、軌道レール１１に対して２つのスライダ１２を示し
ているが、必要に応じて一つ又は３つ以上の適宜数のス
ライダ１２を軌道レール１１に配設することが可能であ
る。また、スライダ１２は、スライダ１２と別体である
取付け台６を介してテーブル３に取り付けられると説明
したが、取付け台６とスライダ１２とを一体に製作して
もよい。
【００２６】図３〜図６に示すように、直動案内ユニッ
ト１０の軌道レール１１は、一対の側部１３と各側部１
３の下部を連結する底部１４とから成り、両側部１３と
底部１４との内側にスライダ１２が走行可能な案内路と
なる断面Ｕ字状の凹溝１５が形成されている。スライダ
１２は、軌道レール１１との間において後述する直動転
がり案内機構を介して摺動自在である。軌道レール１１
には、直動転がり案内機構の転動体（ボール３０）を転
走可能とするため、各側部１３の内側に長手方向に沿っ
て互いに向かい合った内側壁面１６において、互いに対
向した一対の第１軌道溝１７が形成されている。軌道レ
ール１１の底部１４には、軌道レール１１の長手方向に
適当な間隔で２列に並ぶ取付孔１９が形成されている。
軌道レール１１は、取付孔１９を挿通する取付けボルト
４をベッド２に形成されているねじ穴５に螺合させるこ
とによりベッド２に固定される。
【００２７】軌道レール１１は、その断面はＵ字形であ
り、例えば、棒状の軌道レールと比較して、高い断面二
次モーメントを有しているので、スライダ１２との間で
作用する曲げや捩じりに対する剛性を大幅に高めること
が可能である。その結果、軌道レール１１を全底面で支
持させる使用形態以外にも、軌道レール１１の一端だけ
を支持した片持ち支持や軌道レール１１の両端を支持し
た両端支持の態様で使用することが可能である。更に、
軌道レール１１は、スライド装置１が適用される機械や
装置の構造材料として使用することも可能である。軌道
レール１１の高さは極力低くされているので、直動案内
ユニット１０がコンパクトに形成される。軌道レール１
１の側部１３の外側面及び底面は、それぞれ、スライダ
１２の摺動方向に平行なリニアモータ取付け面２７、ベ
ッド２への取付け面２８として高精度の平面に仕上げら
れている。
【００２８】スライダ１２は、図２〜図６に示すよう
に、軌道レール１１の凹溝１５内に大部分が収容された
ケーシング２０、ケーシング２０の両端面に配設された
エンドキャップ２１、及び軌道レール１１とエンドキャ
ップ２１との隙間をシールするため各エンドキャップ２
１の端面に配設されたエンドシール２２から構成されて
いる。エンドキャップ２１とエンドシール２２とは、取
付けねじ２５によってケーシング２０に取り付けられ
る。
【００２９】スライダ１２のケーシング２０は、略直方
体の形状を有しており、軌道レール１１の内幅の範囲内
に納まっている。ケーシング２０の高さは、軌道レール
１１と同様、極力低くされている。即ち、ケーシング２
０は、軌道レール１１の側部１３の上面１８より上方に
突出するスライダヘッド部３４を備えているが、その突
出量Ｄ（図４参照）は、略５ｍｍ、高くても１０ｍｍ以
内になるように極力抑えられている。したがって、スラ
イダ１２を軌道レール１１に組み込んだときにもスライ
ド装置１はコンパクトに構成される。
【００３０】軌道レール１１の各内側壁面１６にそれぞ
れ対向したケーシング２０の側面２３には、各第１軌道
溝１７に対向した第２軌道溝２４が形成されている。第
１軌道溝１７と第２軌道溝２４とは、転動体としての複
数のボール３０が転動する負荷軌道路３１を形成してい
る。ボール３０が負荷軌道路３１を転走することによ
り、スライダ１２は軌道レール１１に対してスムーズに
摺動可能である。ケーシング２０の側面２３には、軌道
レール１１の内側壁面１６との間をシールする上面シー
ル３３（図５）が設けられている。
【００３１】転動体３０は無限循環して転走するように
スライダ１２に組み込まれている。無限循環路は、対向
する第１軌道溝１７と第２軌道溝２４とから成る負荷軌
道路３１、ボール３０を帰還させるためのケーシング２
０に形成された無負荷軌道路としてのリターン孔３２、
及び負荷軌道路３１とリターン孔３２とに連通する無負
荷軌道路としてエンドキャップ２１に形成された方向転
換路（図示せず）から構成される。負荷軌道路３１を含
む無限循環路とボール３０とにより、スライダ１２を軌
道レール１１に対して摺動案内する直動転がり案内機構
が構成されている。スライダ１２の各側に配設されてい
る列状に転走するボール３０は比較的大径のボールであ
り、軌道レール１１の各第１軌道溝１７に対して、微視
的に見れば上下２つの接触域で接触している。したがっ
て、スライダ１２は軌道レール１１に対して合計４つの
線状領域で接触することになり、方向や大きさが変動す
る負荷荷重や複合荷重が作用する用途で使用しても、直
動案内ユニット１０に安定した高い精度と剛性を得るこ
とができる。
【００３２】スライダ１２には、無限循環路に潤滑剤を
供給するためのグリースニップル３５が、一方のエンド
シール２２の外面から突出した状態でエンドキャップ２
１に取り付けられており、外部からの潤滑油が各無限循
環路内に供給される。他方のエンドキャップ２１には、
潤滑油が漏れるのを封じる止め栓３６が取り付けられて
いる。負荷軌道路３１の上面において、ケーシング２０
と軌道レール１１との隙間は上面シール３３によってシ
ールされており、上方からの塵埃や異物等が負荷軌道路
３１に侵入するのを防止している。
【００３３】スライダ１２のケーシング２０において、
軌道レール１１の両側部１３の上面１８よりも上方に突
出量Ｄだけスライダヘッド部３４が突出している。スラ
イダヘッド部３４の横方向に面する少なくとも一方の側
面は、スライダ１２の摺動方向に平行な平面に精度良く
仕上げたスライダ取付け基準側面３７となっている。ス
ライダヘッド部３４の両方の側面をスライダ取付け基準
側面３７に形成しておき、いずれか一方のスライダ取付
け基準側面３７のみを利用してもよい。スライダヘッド
部３４の頂面の一部は取付け台６に取り付けられるスラ
イダ取付け基準頂面３８となっている。スライダ取付け
基準側面３７とスライダ取付け基準頂面３８とは、互い
に直交する平面として形成されている。
【００３４】取付け台６のスライドヘッド３４への取付
け構造の詳細が、図７に示されている。取付け台６に
は、スライダ１２への取付け時において、スライダ１２
のスライダ取付け基準側面３７が当接するスライダ取付
け側面４１と、スライダ１２のスライダ取付け基準頂面
３８が当接するスライダ取付け下面４２とが、互いに直
交する面として段状に形成されている。スライダ取付け
基準側面３７は、幅がＤ以内（５ｍｍ〜１０ｍｍ）の平
面であり、実質的に全面に渡って充分な剛性を以てスラ
イダ取付け側面４１に突き当てられ、取付け台６のスラ
イダ１２への取付けに際してスライダ１２の横方向に位
置決めし且つ姿勢を規制している。また、スライダ１２
のスライダ取付け基準頂面３８をスライダ取付け下面４
２に当接させて取付け台６を縦方向にも規制される。
【００３５】この位置決め状態で、取付けボルト７を取
付け台６の４個で１組の取付け孔６３（図１参照）を通
して、スライダ取付け基準頂面３８に開口するスライダ
１２の４個のねじ穴３９（図３参照）にそれぞれ螺入す
ることにより、取付け台６がスライダ１２に取り付けら
れる。スライダ１２のスライダ取付け基準側面３７は、
軌道レール１１のリニアモータ取付け面２７と平行な面
に形成されているので、取付け台６をリニアモータ取付
け面２７に沿って精度良く取り付けることができる。こ
のようにしてスライダ１２に取り付けられた取付け台６
に対して、テーブル３が取付けボルト８によって取り付
けられる。
【００３６】軌道レール１１の端部には、エンドブロッ
ク４３Ｌ，４３Ｒが取付けボルトのような固着手段によ
って取り付けられており（図１）、軌道レール１１の端
部全面を覆って、異物や塵埃等が案内路に侵入するのを
防止している。図８〜図１１に、図１に示すスライダ装
置に用いられる右側のエンドブロック４３Ｒを示す。左
側のエンドブロック４３Ｌについて右側のエンドブロッ
ク４３Ｒと対称構造を有しているので、以下、エンドブ
ロックについては総称して符号４３を用いる。エンドブ
ロック４３は、外側端面４４には下方、即ち、底面４７
に開放した手扱い用の凹部５１が形成されており、凹部
５１に手を掛けることにより、スライド装置１を手で持
ち上げたり持ち運ぶという手扱いを容易にしている。
【００３７】エンドブロック４３の軌道レール１１側の
内側端面４５には、軌道レール１１の端部が嵌挿される
Ｕ字状の嵌挿凹部５２が形成されている。嵌挿凹部５２
は、軌道レール１１の側部１３，１３が嵌挿される一対
の側部用凹部５３と、各側部用凹部５３を繋げると共に
底面４７に開放し且つ軌道レール１１の底部１４が嵌挿
される底部用凹部５４とからなる。エンドブラケット４
３は、嵌挿凹部５２に嵌挿した軌道レール１１にエンド
ブロック４３の上面４６に開口する取付け孔５５に通し
て軌道レール１１の各側部１３，１３にねじ込まれる取
付けねじによって固着される。エンドブロック４３の上
面４６と側面４８との間には、後述するカバー９３のた
めの斜面４９と段差部５０とが形成されている。
【００３８】各エンドブロック４３の内側端面４５の上
部には、スライダ１２がエンドブロック４３に衝突する
ときの衝撃を緩和させるため、合成ゴムのような弾性体
から成るストッパ５８が配設されている。なお、スライ
ダ１２が複数設けられている場合には、互いに衝突する
可能性のあるスライダ１２，１２のいずれか一方の端
面、即ち、取付け台６の端面に、同様のストッパ５８を
配設する。
【００３９】図１及び図２に示すように、スライダ１２
を軌道レール１１に対して相対的に駆動するための駆動
源となるリニアモータ８０が、スライダ１２のスライダ
取付け基準頂面３８に固着した取付け台６の側部に配設
されている。取付け台６の詳細を図１２〜図１４を参照
して説明する。取付け台６は、スライダ１２の頂面３８
に取り付けられた台本体６１を有している。台本体６１
の上面６２はワークを取り付けるための取付け平面とな
っている。台本体６１には取付け台６をスライダ１２に
取り付ける取付けボルト７が挿通される４つの取付け孔
６３が形成されており、更に、テーブル３を取り付ける
ための４つのねじ穴６４が上面６２に開口するように形
成されている。
【００４０】台本体６１の下面６５には、後述する可動
コイル組立体への電源コード６７及びセンサコード６８
を反対側の側面部へ導出するための凹溝６６が横断して
形成されている。台本体６１の一側の側面６９から一対
の段状の突出部７０，７０が一体的に突出して形成され
ており、突出部７０，７０に後述のリニアモータ８０の
可動子である可動コイル組立体８１が取り付けられてい
る。側面６９には、一対の突出部７０，７０の間におい
て検出装置７５のセンサヘッド７７が取り付けられる。
反対側の側面７１には、電源コード６７及びセンサコー
ド６８を軌道レール１１の外側壁部に沿って保護し、ス
ライダ１２の移動に伴って屈曲しつつ追従するケーブル
ベア７２の一端部が取付け具７８（図２）を介して取り
付けられている。ケーブルベア７２の他端部は、図示し
ないが、軌道レール１１に固定された固定具７９（図
２）に取り付けられている。なお、台本体６１の端面７
３には、ストッパ５８を取り付けるための一対の取付け
穴７４が形成されている。
【００４１】軌道レール１１に対するスライダ１１の位
置を正確に知るため、軌道レール１１とスライダ１２と
の相対位置を検出する検出装置７５が設けられている。
検出装置７５は、軌道レール１１の上面１８に略全長に
渡って配設されている帯状のリニアスケール（光リニア
スケール）７６と、取付け台６においてリニアスケール
７６に対向する位置に配設されているセンサヘッド（光
センサヘッド）７７とから構成されている。リニアスケ
ール７６は、光学式に代えて磁気式スケールとすること
ができる。センサヘッド７７には、台本体６１の凹溝６
６内に配設されたセンサコード６８が接続されている。
センサヘッド７７が検出したリニアスケール７６上の位
置情報は、取付け台６の内部の配線及びケーブルベアを
通じてコントローラ（図示せず）に送られる。コントロ
ーラは、センサコード６８を通じて入力された位置情報
に基づいて電源コード６７を通じてリニアモータ８０の
駆動用の電力を可動コイル組立体８１に供給し、スライ
ダ１２の位置と移動とを制御する。リニアスケール７６
には、適宜、原点マークが配設される。テーブルのベッ
ドに対する位置情報を得るための検出装置は、ベッドに
対してスライドするテーブルの中央部分に近い位置に配
設されているので、テーブルの移動による位置変化（ピ
ッチング、ヨーイング、ローリング）の影響が小さくな
り、検出精度を向上させることができる。更に、センサ
ヘッドを可動コイル組立体に隣接して配設したので、配
線を纏めることができる。
【００４２】スライド装置１はリニアモータ８０を内蔵
しており、リニアモータ８０の可動コイル組立体８１
は、台本体６１の一側の側面６９に突出形成されている
一対の突出部７０，７０に取り付けられている。図１５
及び図１６には、リニアモータ８０の固定子８２が示さ
れている。固定子８２は、スライダ１２のスライド方向
を横断する断面で見てコ字状に一体化されたマグネット
ヨーク８３と、マグネットヨーク８３に支持された界磁
マグネット８４とを備えている。マグネットヨーク８３
は、リニアモータ８０の固定子側部品として、軌道レー
ル１１の全長さに渡って延びた状態で軌道レール１１の
取付け面２７に取り付けられている。
【００４３】図１５に示すように、マグネットヨーク８
３は、空隙９０を介して互いに対向する一対の対向部８
５，８５及び両対向部８５，８５と一体形成され且つ連
結する連結底部８６から構成されている。マグネットヨ
ーク８３の上方は、軌道レール１１の長手方向に沿って
開口部８７として開いているが、一体化構成により全体
の剛性を高く維持できるので、マグネットヨーク８３を
薄肉に構成でき、スライド装置１を特に幅方向にコンパ
クトに構成しても磁気吸引力に起因した支障をきたすよ
うな撓みを生じない。マグネットヨーク８３は、長手方
向には所定の長さで分割されている。マグネットヨーク
８３は、連結底部８６に形成されている取付け孔８８を
貫通する複数の取付けねじ８９（図２）によって軌道レ
ール１１に取り付けられる。
【００４４】マグネットヨーク８３の左右の対向部８
５，８５の内側には、それぞれ薄板状の界磁マグネット
８４，８４が配設されている。図１６に示すように、界
磁マグネット８４，８４は、空隙９０を介して対向する
磁極の極性が反対極性とされたマグネット片９１ａ，９
１ｂ・・・，９２ａ，９２ｂ・・・を密に並べて構成さ
れている。各マグネット片は、厚み方向に磁化された薄
肉の矩形板であり、軌道レール１１の長手方向には極性
が交互に異なる磁極に配置されている。エンドブロック
４３は、界磁マグネット８４，８４の端面を塞いでいる
ので、磁石の吸引による異物のスライダ装置１内への侵
入を防止している。
【００４５】スライド装置１は、検出装置７５を内蔵し
た状態で備えており、且つカバー９３で覆っているの
で、スライド装置１の外部には出っ張るものがなくな
り、コンパクトに構成されると共に外観をすっきりさ
せ、使用に際しても、外部の機器との干渉が極力回避さ
れる。検出装置７５は、スライダ１２の摺動方向の中央
部分に近い位置に配設されているので、テーブル３の移
動による位置変化（ピッチング、ヨーイング、ローリン
グ）の影響が小さくなり、検出精度を向上させることが
できる。更に、センサヘッド７７を、後述する可動コイ
ル組立体８１に隣接して配設しているので、センサにつ
いての配線を纏めることができる。
【００４６】カバー９３は、マグネットヨーク８３の外
側面を覆う側板部９４、エンドブロック４３の側面４
８、斜面４９と段差面５０に沿う形状となっている傾斜
板部９５及び上板部９６を有しており、側板部９４はマ
グネットヨーク８３に、また及び上板部９６はエンドブ
ロック４３に取り付けられている。カバー９３はリニア
モータ８０及びリニアスケール７６の上方を覆っている
ので、検出装置７５を破損する危険性が少ない。取付け
台６の突出部７０の上面７０ａは、取付け台６の上面６
２より下げられているので、カバー９３の上板部９６
は、テーブル３の下面と突出部７０の上面７０ａとの間
の隙間内にまで延びて、リニアスケール７６及びセンサ
ヘッド７７の上方を覆うことができる。
【００４７】取付け台６の突出部７０の端面７０ｂに
は、可動コイル組立体８１が固定ねじ１０２によって固
定されている。可動コイル組立体８１は、図１７に示す
ようにマグネットヨーク８３の開口部８７を通じて空隙
９０内に配置されるコイル基板１００と、コイル基板１
００に取り付けられた可動子としての多相の電機子コイ
ル１０１とから成る。電機子コイル１０１は３相のコア
レスコイルであって、３の倍数である６個（或いは、９
個であってもよい）の電機子コイル１０１が一列に密に
並べて配設されている。各電機子コイル１０１は、コイ
ル基板１００の面と平行な面内にループを描くような捲
線とされている。電機子コイル１０１は、空芯（後述す
るように、樹脂をモールドしてもよい）の周りに矩形状
に捲線して形成されている。
【００４８】コイル基板１００及びコイル基板１００に
取り付けられる電機子コイル１０１の詳細を図１８、並
びに図１９及び図２０に基づいて説明する。図２０に示
すコイル基板１００の平面図から分かるように、コイル
基板１００を取付け台６に取り付けるため、固定ねじ１
０２が挿通する貫通孔１０３が一列に並んで形成されて
いる。コイル基板１００には、また、６個の電機子コイ
ル１０１の位置決め用に６対の凹部（穴又は貫通孔であ
っても良い）１０４（一部のみ符号を付す）が長手方向
に等間隔に隔置して形成されている。
【００４９】各電機子コイル１０１は、図１８及び図１
９に示すように、偏平且つ矩形に輪状に巻かれた捲線１
０５と、捲線１０５の内部に樹脂成形により形成された
芯部材１０８とから成る。芯部材１０８には、捲線１０
５の一端部１０６が引き出されている配線用孔１０９が
貫通形成されていると共に、コイル基板１００に配設さ
れる側に一対の凸部１１０，１１１が形成されている。
凸部１１０はコイル基板１００に形成された凹部１０４
と対応して外形が丸形に形成されており、凸部１１１
は、凸部１１０の一部を切り欠き残りの部分を凸部１１
０の外形と同じ外形としたものである。凸部１１０，１
１１がコイル基板１００の凹部１０４に嵌合することに
より、各電機子コイル１０１はコイル基板１００に位置
ずれすることなく確実に取り付けられ、テーブル３の運
転速度の高速化に適応することができる。コイル基板１
００と電機子コイル１０１との固着は接着剤でなされる
が、樹脂モールド成形しているので、電機子コイル１０
１が高温になっても型崩れせず、電機子コイル１０１の
強度が向上してスライド装置の高速運転化を可能にして
いる。捲線１０５の一端部１０６は、図１７に示すコイ
ル基板１００側の端子１１２に接続され、捲線１０５の
外側に引き出される他端部１０７は、図１７に示すコイ
ル基板１００側の端子１１３に接続される。
【００５０】界磁マグネット８４，８４による磁束は、
マグネットヨーク８３内を通過すると共に、空隙９０に
おいては常に界磁マグネット８４，８４の磁極面に対し
て垂直に生じようとする。電機子コイル１０１は、図１
６に示すように、界磁マグネット８４，８４間の空隙９
０内において、界磁マグネット８４，８４が空隙９０に
おいて生じる磁束と電機子コイル１０１の捲線方向とが
直交するように配設されている。電機子コイル１０１に
電流を流すと、電機子コイル１０１がフレミングの左手
の法則により矢印Ｆで示すマグネットヨーク８３の長手
方向の駆動力を受け、従って、電機子コイル１０１を支
持しているスライダ１２は軌道レール１１の長手方向に
沿って移動する。電機子コイル１０１に図示と逆方向の
電流を流すと、電機子コイル１０１には矢印Ｆと逆方向
の駆動力が作用し、スライダ１２も矢印Ｆと逆方向に移
動する。したがって、電機子コイル１０１への通電を制
御することにより、スライダ１２を所定位置に移動させ
ることができる。
【００５１】界磁マグネット８４，８４が空隙９０に作
る磁束密度は、各マグネット片９１、９２の磁極（Ｎ極
とＳ極）が交番に代えられているので、軌道レール１１
の長手方向に正弦波状に変化する。各電機子コイル１０
１（３相Ｕ，Ｖ，Ｗ、図１７参照）には、互いに位相差
があり且つ各電機子コイル１０１が占める位置座標にお
ける磁束の向きに応じて正弦波状に変化する電流が流さ
れる。したがって、フレミングの左手の法則により、３
相の各電機子コイル１０１は右側（図のＦ方向）に推力
を受け、電機子コイル１０１の全体即ち，可動コイル組
立体８１が、常にＦ方向（図１６）に連続的に駆動され
るので、スライダ１２、即ち、テーブル３は所定の直線
運動を維持できる。スライド装置１は、コントローラと
連動して、長手方向に沿って自在に移動、位置決め可能
なものとなっている。なお、リニアモータ８０は、推力
を大きくするため片側のみならず両側に配置しても良
い。また、更に、各側で並列に複数のリニアモータ８０
を配設しても良い。
【００５２】軌道レール１１にはスライダ１２のストロ
ークの範囲を規定するリミット板及びスライダ１２の原
点を規定する原点マークを設けることができる。スライ
ダ１２又は可動コイル組立体８１には、リミット板及び
原点マークを検出するリミットセンサを設けることがで
きる。
【００５３】
【発明の効果】この発明による可動コイル型リニアモー
タを内蔵したスライド装置は、以上のように構成されて
いるので、次のような効果を奏する。即ち、この発明に
よる可動コイル型リニアモータを内蔵したスライド装置
においては、可動コイル型リニアモータの固定子として
のマグネットヨークは軌道レールの少なくとも一方の側
部の外側に取り付けられ、可動コイル型リニアモータの
可動子としての可動コイル組立体はスライダに取り付け
られているので、軌道レールとスライダとを備えた直動
案内ユニットに対して可動コイル型リニアモータが、大
きな面積や高さを要することなく、コンパクトに且つ簡
単に取り付けられる。また、ワークの取付けや各利用分
野での機器への適用も簡単且つ容易になる。その結果、
この発明による可動コイル型リニアモータを内蔵したス
ライド装置によれば、半導体・液晶関連装置、測定器、
組立機、工作機械、産業用ロボット、試験装置又は搬送
機等の機器等において、ワークの加工や搬送を行う際
に、ワークの位置及び姿勢を好ましい状態に維持するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明によるスライド装置の一例を一部を破
断し一部を分解して示す斜視図である。
【図２】図１に示すスライド装置の矢視Ａの方向で見た
断面図である。
【図３】図１に示すスライド装置に用いられる直動案内
ユニットを一部を破断して示す斜視図である。
【図４】図３に示す直動案内ユニットの矢視Ｂで見た断
面図である。
【図５】図３に示す直動案内ユニットの平面図である。
【図６】図３に示す直動案内ユニットの側面図である。
【図７】図３に示す直動案内ユニットに用いられるスラ
イダと取付け台との取付け構造を示す部分断面図であ
る。
【図８】図１に示すスライド装置に用いられるエンドブ
ロックの正面図である。
【図９】図８に示すエンドブロックの平面図である。
【図１０】図８に示すエンドブロックの背面図である。
【図１１】図８に示すエンドブロックの底面図である。
【図１２】図１に示すスライド装置に用いられる取付け
台を示す平面図である。
【図１３】図１２に示す取付け台の正面図である。
【図１４】図１２に示す取付け台の側面図である。
【図１５】図１に示すスライド装置に用いられる可動コ
イル型リニアモータの固定子を示す側面図である。
【図１６】可動コイル型リニアモータの平面図である。
【図１７】図１に示すスライド装置に用いられる可動コ
イル型リニアモータの可動コイル組立体を示す図であ
る。
【図１８】図１７に示す可動コイル組立体に用いられる
電機子コイルを示す平面図である。
【図１９】図１８に示す電機子コイルの側面図である。
【図２０】図１７に示す可動コイル組立体に用いられる
コイル基板を示す平面図である。
【符号の説明】
１ スライド装置 ２ ベッド ３ テーブル ４，７，８ 取付けボルト ５ ねじ穴 ６ 取付け台 １０ 直動案内ユニット １１ 軌道レール １２ スライダ １３ 側部 １４ 底部 １５ 凹部 １６ 内側壁面 １７ 第１軌道溝 １８ 側部の上面 １９ 取付け孔 ２０ ケーシング ２１ エンドキャップ ２２ エンドシール ２４ 第２軌道溝 ２７ リニアモータ取付け面 ３０ ボール（転動体） ３１ 負荷軌道路 ３２ リターン孔 ３４ スライダヘッド部 ３７ スライダ取付け基準側面 ３８ スライダ取付け基準頂面 ４１ スライダ取付け側面 ４２ スライダ取付け下面 ４３ エンドブロック ５１ 凹部 ５８ ストッパ ６１ 台本体 ７０ 突出部 ７０ａ 上面 ７５ 検出装置 ７６ リニアスケール ８０ 可動コイル型リニアモータ ８１ 可動コイル組立体 ８２ 固定子 ８３ マグネットヨーク ８４ 界磁マグネット ８５ 対向部 ８６ 連結底部 ８７ 開口部 ９０ 空隙 ９１，９２ マグネット片 ９３ カバー １００ コイル基板 １０１ 電機子コイル １０３ 貫通孔 １０４ 凹部 １０５ 捲線 １０６、１０７ 捲線の端部 １０８ 芯部材 １１０，１１１ 凸部
フロントページの続き Ｆターム(参考） 3J104 AA03 AA23 AA34 AA65 AA69 AA73 AA76 AA79 BA05 BA21 DA13 DA16 DA18 DA20 EA01 EA02 EA06 5H641 BB06 GG03 GG05 GG26 HH02 JA09

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ベッドに取り付けられ且つ互いに連結さ
    れた一対の側部を有する軌道レール、前記ベッドに対し
    て相対移動されるテーブルに取り付けられ且つ前記軌道
    レールの前記両側部間に形成された案内路内を前記軌道
    レールの長手方向に沿って摺動可能なスライダ、前記ス
    ライダを前記軌道レールに対して相対移動させる駆動力
    を発生させる可動コイル型リニアモータを具備し、前記
    可動コイル型リニアモータは、前記軌道レールの少なく
    とも一方の前記側部の外側に取り付けられ且つ一対の界
    磁マグネットを備えたマグネットヨーク、及び前記スラ
    イダに取り付けられ且つ一対の前記界磁マグネット間に
    配置されて前記界磁マグネットと相互に電磁気作用をし
    て前記軌道レールの長手方向に向かう力を生じさせる可
    動コイル組立体から構成されていることから成る可動コ
    イル型リニアモータを内蔵したスライド装置。
  2. 【請求項２】 前記軌道レールは前記各側部の下部を互
    いに連結する底部を備えており、前記案内路は前記各側
    部と前記底部とによって形成される前記軌道レールの断
    面Ｕ字状凹部内に形成されていることから成る請求項１
    に記載の可動コイル型リニアモータを内蔵したスライド
    装置。
  3. 【請求項３】 前記軌道レールの前記底部には、前記軌
    道レールを前記ベッドへ取り付けるための取付ボルトが
    挿通される取付け孔が形成されていることから成る請求
    項２に記載の可動コイル型リニアモータを内蔵したスラ
    イド装置。
  4. 【請求項４】 前記テーブル及び前記可動コイル組立体
    は、前記スライダに取り付けられている取付け台を介し
    て前記スライダに取り付けられていることから成る請求
    項１〜３のいずれか１項に記載の可動コイル型リニアモ
    ータを内蔵したスライド装置。
  5. 【請求項５】 前記スライダは、前記軌道レールの前記
    各側部において長手方向に沿って互いに向かい合った両
    内側壁面に形成された第１軌道溝と前記スライダに前記
    第１軌道溝に対向した位置に形成された第２軌道溝とで
    形成される軌道路を転走する転動体を介在して、前記軌
    道レールに対して摺動自在であることから成る請求項１
    〜４のいずれか１項に記載の可動コイル型リニアモータ
    を内蔵したスライド装置。
  6. 【請求項６】 前記軌道レールの両端にはエンドブロッ
    クが配設されており、前記エンドブロックの外側端面に
    は前記スライド装置の手扱いを容易にする手掛け凹部が
    形成されていることから成る請求項１〜５のいずれか１
    項に記載の可動コイル型リニアモータを内蔵したスライ
    ド装置。
  7. 【請求項７】 前記マグネットヨークは、前記両界磁マ
    グネットが内側に対向した状態に配設された一対の対向
    部、及び前記両対向部の底側で一体に連結する連結底部
    から成り、前記両対向部間に形成される開口部を上方に
    向けた状態で前記軌道レールに取り付けられていること
    から成る請求項１〜６のいずれか１項に記載の可動コイ
    ル型リニアモータを内蔵したスライド装置。
  8. 【請求項８】 前記各界磁マグネットは前記軌道レール
    の長手方向に極性が交互に異なる磁極が並設されてお
    り、前記各界磁マグネットの互いに対向する前記磁極の
    前記極性が反対極性とされていることから成る請求項７
    に記載の可動コイル型リニアモータを内蔵したスライド
    装置。
  9. 【請求項９】 前記可動コイル組立体は、前記マグネッ
    トヨークが取り付けられた前記軌道レールの前記側部を
    越えて延びる前記スライダ又は前記取付け台の突出部に
    取り付けられていると共に、前記マグネットヨークの前
    記開口部を通じて一対の前記界磁マグネット間に形成さ
    れている空隙内に延びていることから成る請求項７又は
    ８に記載の可動コイル型リニアモータを内蔵したスライ
    ド装置。
  10. 【請求項１０】 前記可動コイル組立体は、前記突出部
    の端面に取り付けられ前記空隙内に配置されたコイル基
    板、及び前記コイル基板に配設された多相の電機子コイ
    ルを備え、前記電機子コイルは、略矩形に巻かれた捲線
    と前記捲線の内部に樹脂モールド成形された芯部材とか
    ら成り、前記芯部材に形成されている凸部を前記コイル
    基板に形成された凹部又は孔部に嵌合して前記コイル基
    板に固着されていることから成る請求項９に記載の可動
    コイル型リニアモータを内蔵したスライド装置。
  11. 【請求項１１】 前記軌道レールに対する前記スライダ
    の位置を検出するための検出装置を具備しており、前記
    検出装置は、前記軌道レールの前記可動コイル型リニア
    モータが配設されている側の前記側部の上面上に配設さ
    れたリニアスケール、及び前記スライダ又は前記取付け
    台の突出部に取り付けられ前記リニアスケールを検出す
    るセンサヘッドから構成されていることから成る請求項
    １〜１０のいずれか１項に記載の可動コイル型リニアモ
    ータを内蔵したスライド装置。
  12. 【請求項１２】 前記可動コイル型リニアモータは、前
    記マグネットヨークに取り付けられたカバーによって覆
    われていることから成る請求項１〜１１のいずれか１項
    に記載の可動コイル型リニアモータを内蔵したスライド
    装置。
  13. 【請求項１３】 前記可動コイル組立体が取り付けられ
    る前記突出部の上面は、前記テーブルが取り付けられる
    前記スライダ又は前記取付け台の頂面よりも下方に位置
    されており、前記カバーは前記テーブルと前記突出部の
    前記上面との間に延びていることから成る請求項１２に
    記載の可動コイル型リニアモータを内蔵したスライド装
    置。
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