KR100589746B1 - Ｘｙｚ-축 테이블 - Google Patents

Ｘｙｚ-축 테이블 Download PDF

Info

Publication number
KR100589746B1
KR100589746B1 KR1020037006078A KR20037006078A KR100589746B1 KR 100589746 B1 KR100589746 B1 KR 100589746B1 KR 1020037006078 A KR1020037006078 A KR 1020037006078A KR 20037006078 A KR20037006078 A KR 20037006078A KR 100589746 B1 KR100589746 B1 KR 100589746B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
linear motor
armature
stage
movable element
axis
Prior art date
Application number
KR1020037006078A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20030051770A (ko
Inventor
김홍중
나가누마료이치
세이노히로미츠
Original Assignee
가부시끼가이샤 히다치 세이사꾸쇼
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시끼가이샤 히다치 세이사꾸쇼 filed Critical 가부시끼가이샤 히다치 세이사꾸쇼
Publication of KR20030051770A publication Critical patent/KR20030051770A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100589746B1 publication Critical patent/KR100589746B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
    • H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
    • H02K41/03—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
    • H02K41/031—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors of the permanent magnet type
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
    • B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
    • B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
    • B23Q1/62—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides
    • B23Q1/621—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair
    • B23Q1/626—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
    • B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
    • B23Q5/28—Electric drives
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K2201/00—Specific aspects not provided for in the other groups of this subclass relating to the magnetic circuits
    • H02K2201/18—Machines moving with multiple degrees of freedom

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Linear Motors (AREA)
  • Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Control Of Linear Motors (AREA)
  • Control Of Multiple Motors (AREA)

Abstract

본 발명은 리니어모터를 구비한 XYZ-축 테이블을 제공한다. XYZ-축 테이블은 베이스, 복수의 리니어 안내장치, 스테이지, X-축 구동 리니어모터, Y-축 구동 리니어모터, 및 Z-축 구동 리니어모터를 포함한다. 상기 리니어모터는 전기자 및 전기자에 대하여 상대적으로 이동할 수 있는 가동요소로 조성된다. 상기 리니어모터는 상기 전기자의 한 자극에 자기적으로 연결되고 상기 가동요소의 이동방향에 대하여 실질적으로 수직인 방향으로 제1스테이지 및 제2스테이지로 분리되도록 배열되는 하나의 자극 톱니열(teeth row) 및, 상기 가동요소의 다른 하나의 자극과 자기적으로 연결되고 상기 가동요소의 이동방향에 대하여 실질적으로 수직인 방향으로 제1스테이지와 제2스테이지로 분리되도록 배열되는 다른 하나의 자극 톱니열을 더욱 포함하고, 상기 하나의 자극 톱니열내에 있는 제1스테이지의 자극 톱니 및 상기 다른 하나의 자극 톱니열내의 제1스테이지의 자극 톱니가 상기 가동요소의 이동방향에 대하여 번갈아 배열되고, 상기 하나의 자극 톱니열내의 제2스테이지의 자극 톱니 및 상기 다른 하나의 자극 톱니열의 제2스테이지의 자극 톱니가 상기 가동요소의 이동방향에 대하여 번갈아 배열되며, 상기 자극 톱니열의 상기 하나 및 다른 하나의 제1스테이지들과 자극 톱니열의 상기 하나 및 다른 하나의 제2스테이지들 사이에 상기 가동요소가 배열된다.

Description

ＸＹＺ-축 테이블 {XYZ-AXES TABLE}
본 발명은 XYZ-축 테이블에 관한 것으로서, 특히 반도체를 제조하는 스텝퍼장치, 공작기계 및 여타의 노광장치에 마스크를 위치시키는데 사용되는 XYZ-축 테이블에 관한 것이다.
종래의 XYZ-축 테이블에서, 리니어모터를 사용하는 경우에는, 리니어모터가 리니어방식으로 구동되도록 회전기기가 절단되고 개방되어 있는 구조를 갖는다.
XYZ-축 테이블에서, 종래기술에 설명된 리니어모터는 전기자와 가동요소 사이에 많은 양의 누설자속을 갖고, 자기인력이 전기자와 가동요소 사이의 영역에 한 방향으로 인가되므로, 가동요소의 지지기구에 큰 부하가 가해져서 구조체내에 스트레인(strain)이 발생되는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 전기자와 가동요소 사이의 부분을 통과하는 누설자속을 감소시켜 전기자와 가동요소 사이에 생성된 자기인력이 작아지는 XYZ-축 테이블을 제공하는 것이다.
본 발명에 따르면, 베이스, 복수의 리니어 안내장치, 스테이지, X-축 구동 리니어모터, Y-축 구동 리니어모터 및 Z-축 구동 리니어모터가 제공되는 XYZ-축 테이블이 제공된다. 리니어모터는 전기자에 대하여 상대적으로 이동할 수 있도록 전기자와 가동요소에 의하여 구성되는 구조를 갖는 것이 바람직하다. 또한, 상기 구조는, 리니어모터가 전기자의 한 자극에 자기적으로 연결되고 가동요소의 이동방향에 대하여 실질적으로 수직인 방향으로 제1스테이지 및 제2스테이지로 분리되도록 배치되는 하나의 자극 톱니열(teeth row) 및 전기자의 다른 하나의 자극과 자기적으로 연결되고 가동요소의 이동방향에 대하여 실질적으로 수직인 방향으로 제1스테이지와 제2스테이지로 분리되도록 배열되는 다른 하나의 자극 톱니열을 더욱 포함하고, 하나의 자극 톱니열내에 있는 제1스테이지의 자극 톱니 및 다른 하나의 자극 톱니열내의 제1스테이지의 자극 톱니가 가동요소의 이동방향에 대하여 번갈아 배열되고, 하나의 자극 톱니열내의 제2스테이지의 자극 톱니 및 다른 하나의 자극 톱니열의 제2스테이지의 자극 톱니가 가동요소의 이동방향에 대하여 번갈아 배열되며, 자극 톱니열들의 하나 및 다른 하나의 제1스테이지들과 자극 톱니열의 하나 및 다른 하나의 제2스테이지들 사이에 가동요소가 배열되도록 만들어지는 것이 바람직하다.
본 발명의 또 다른 형태에 따르면, 리니어 안내장치의 레일은 베이스의 동, 서, 남, 북영역을 포함하는 4개의 영역에 배열되고, 상기 레일은 레일에 의하여 안내되어 슬라이더가 자유롭게 이동할 수 있고 전기자의 상대적인 이동방향이 직각을 형성하도록 일체로 형성되고, 가동요소는 십자가형상을 형성하도록 스테이지에 연결되고, 동-서 방향으로 배열된 전기자 및 다른 하나의 남-북 방향으로 배열된 가동요소는 X-축 구동 리니어모터 및 Y-축 구동 리니어모터에 의하여 각각 구동되도 록 구성된 XYZ-축 테이블이 제공된다.
본 발명의 또 다른 형태에 따르면, 리니어 안내장치의 4개의 레일은 베이스상의 동, 서, 남, 북영역을 포함하는 4개의 영역에 배열되고, 가동요소는 십자가형상을 형성하도록 갭을 유지하면서 포개져서 배열되고, 자유롭게 이동할 수 있도록 레일에 의하여 안내되는 슬라이더는 슬라이더와 가동요소간의 상대적인 이동방향이 서로 수직이 되도록 그것의 양 끝단에 연결되고, 복수의 전기자는 리니어 안내장치의 내측에 집결되어 스테이지와 일체로 형성되고, 동-서 방향으로 배열된 한 전기자 및 남-북 방향으로 배열된 다른 하나의 전기자는 X-축 구동 리니어모터 및 Y-축 구동 리니어모터에 의하여 각각 구동되도록 구성된 XYZ-축 테이블이 제공된다.
본 발명의 또 다른 형태에 따르면, 리니어 안내장치의 레일은 X, Y축이 서로 수직으로 교차하도록 베이스에 배열되고, 자유롭게 이동하도록 레일에 의하여 안내된 슬라이더는 상대적인 운동방향이 수직이 되도록 전기자와 일체로 형성되고, 전기자는 L형상을 이루도록 스테이지에 연결되고, 동-서방향으로 배열된 한 전기자 및 남-북방향으로 배열된 다른 하나의 전기자는 X-축 구동 리니어모터 및 Y-축 구동 리니어모터에 의하여 각각 구동되도록 구성된 XYZ-축 테이블이 제공된다.
본 발명의 또 다른 형태에 따르면, XY테이블 및 Z-축 리니어 안내장치는 각도(θ)에서 구동하는 기능을 갖도록 구성된 XYZ-축 테이블이 제공된다.
본 발명의 또 다른 형태에 따르면, 각각의 리니어 안내장치가 베이스상에 독립적으로 배열되거나 또는 한축(one-axis)의 리니어 안내장치가 다른 하나의축(another-axis) 리니어장치상에 놓여지도록 구성되어, 리니어모터가 사용 되도록 구성된 XYZ-축 테이블이 제공된다.
본 발명의 또 다른 형태에 따르면, 리니어모터, 전기자와 가동요소와 자극간의 상대변위를 검출하는 센서, 센서의 신호를 피드백하는 제어부 및 동력구동부로 조성되는 폐루프제어시스템을 더욱 포함하는 XYZ-축 테이블이 제공된다.
본 발명의 또 다른 형태에 따르면, 리니어모터, 제어부 및 동력구동부로 조성되는 개루프제어시스템을 더욱 포함하는 XYZ-축 테이블이 제공된다.
본 발명의 또 다른 형태에 따르면, 리니어모터, 동력구동부 및 리니어모터의 유도전압을 검출하고 상기 검출된 전압값을 기초로 전기자와 가동요소간의 상대적인 자극위치를 추정하는 추정수단을 포함하는 제어부로 조성되는 제어시스템을 더욱 포함하는 XYZ-축 테이블이 제공된다.
본 발명의 또 다른 형태에 따르면, 리니어모터, 동력구동부 및 리니어모터를 통하여 흐르는 전류를 검출하고 상기 검출된 전류값을 기초로 전기자와 가동요소간의 상대적인 자극위치를 추정하는 추정수단을 포함하는 제어부를 포함하는 제어시스템을 더욱 포함하는 XYZ-축 테이블이 제공된다.
본 발명의 또 다른 형태에 따르면, 동축-구동리니어모터의 복수의 전기자가 배열되고, 극피치가 P로 설정될 때, 인접한 상이한 전기자의 자극 톱니간의 피치가 (kㆍP + P/M){(k=0, 1, 2, ...), (M=2, 3, 4, ...)}{여기서 k는 인접한 전기자가 배열될 수 있는 범위에서 자유롭게 선택된 숫자이고, M은 모터의 상의 개수이다.}로 설정되도록 구성된 XYZ-축 테이블이 제공된다.
본 발명의 또 다른 형태에 따르면, 관통구멍(through hole)이 XY테이블 및 베이스 모두의 중심부에 제공되도록 구성된 XYZ-축 테이블이 제공된다.
본 발명의 또 다른 형태에 따르면, 베이스와 스테이지 사이에 압축공기부상기능 또는 자기부상기능이 제공되도록 구성된 XYZ-축 테이블이 제공된다.
본 발명의 또 다른 형태에 따르면, 상술된 특징중의 어느 하나에서 설명된 바와 같이, XY테이블 또는 XYZ-축 테이블을 갖는 반도체제조스텝퍼장치, 공작기계 또는 노광장치가 제공된다.
본 발명의 상기 및 기타 특징이 이하에 설명된다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 리니어모터를 구비한 XYZ-축 테이블의 기본구조를 나타내는 개략도,
도 2는 본 발명에 사용된 리니어모터의 개략도,
도 3a는 리니어모터의 자속흐름을 나타내는 개략도,
도 3b는 분리된 코어로 구성된 조립체를 나타내는 개략도,
도 4는 몰딩된 리니어모터와 슬라이더가 결합되는 구조를 나타내는 개략도,
도 5a 및 도 5b는 본 실시예에 따른 리니어모터를 사용하는 구조체의 제어블록다이어그램,
도 6a 및 도 6b는 본 실시예에 따른 리니어모터를 사용하는 구조체의 또 다른 제어블록다이어그램,
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 리니어모터를 구비한 XYZ-축 테이블을 나타내는 개략도,
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 리니어모터를 구비한 XYZ-축 테이블을 나타내는 개략도,
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 리니어모터를 구비한 XYZ-축 테이블을 나타내는 개략도,
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 리니어모터를 구비한 XYZ-축 테이블을 나타내는 개략도이다.
본 발명에 따른 실시예가 첨부된 도면을 참조하여 이하에 설명된다.
도 1은 본 발명에 따른 실시예에 대응하는 XYZ-축 테이블의 기본구조를 나타내는 개략도이다.
도 1에서, 참조부호(101)는 베이스를 나타내고, 참조부호(102)는 리니어 안내장치의 레일을 나타내고, 참조부호(103)는 스테이지를 나타내고, 참조부호(3X)는 X-축 구동 리니어모터의 전기자를 나타내고, 참조부호(3Y)는 Y-축 구동 리니어모터의 전기자를 나타내고, 참조부호(3Z)는 Z-축 구동 리니어모터의 전기자를 나타내고, 참조부호(6X, 6Y, 6Z)는 각 축선의 가동요소를 나타내며, 참조부호(108)는 아암을 나타낸다. 따라서, 리니어모터를 구비한 XYZ-축 테이블은 상술된 요소들로 조성된다. 전기자(3X)는 영역(X1, X2)을 가진다. 전기자(3Y)는 영역(Y1, Y2)를 가진다. 전기자(3Z)는 영역(Z1, Z2)을 가진다.
또한, 공기부상작용 또는 자기부상작용에 의하여 베이스(101)와 스테이지(103) 사이에서 원활한 이동이 수행될 수 있다. 베이스(101)상의 X, Y축 에서 이동할 수 있는 영역은 XY-축 테이블에 포함될 수 있다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 XYZ-축 테이블에 사용되는, 축을 구동시키기 위한 리니어모터의 실시예를 나타내는 개략도이다.
도 2에서, 리니어모터는 전기자(3), 상기 전기자(3)에 대하여 상대적으로 이동하는 가동요소(6)에 의하여 조성된 리니어모터이고, 상기 리니어모터는 전기자의 한 자극(1)에 자기적으로 연결된 하나의 자극 톱니열을 더욱 포함하고 가동요소의 이동방향에 대하여 실질적으로 수직인 방향으로 제1스테이지와 제2스테이지로 분리되도록 배열된다.
또한, 리니어모터는 전기자(3)의 다른 하나의 자극(2)에 자기적으로 연결된 다른 하나의 자극 톱니열을 가지고 가동요소의 이동방향에 대하여 실질적으로 수직인 방향으로 제1스테이지와 제2스테이지로 분리되도록 배열된다. 발진형 모터는 자극 톱니열의 제1스테이지 자극 톱니가 그들 중의 하나에 제공되고 그것의 다른 하나의에 제공된 자극 톱니열의 제1스테이지 자극 톱니는 가동요소의 이동방향에 대하여 번갈아 배열되고, 자극 톱니열의 제2스테이지의 자극 톱니가 그들 중의 하나에 제공되고 그것의 다른 하나에 제공된 자극 톱니열의 제2스테이지의 자극 톱니가 가동요소의 이동방향에 대하여 번갈아 배열되고, 가동요소는 하나 및 다른 하나의 제1스테이지 자극 톱니열들과, 하나 및 다른 하나에 제공된 제2스테이지 자극 톱니열들 사이에 배열되도록 구성된다.
이 경우에, 전기자내의 상부 자극 톱니(11a) 및 하부 자극 톱니(21b)는 제1대향부로 형성되고, 하부 자극 톱니(12b) 및 상부 자극 톱니(22a)는 제2대향부로 형성된다. 따라서, 전기자는 (2n-1)번째 철심이 제1대향부가 되고 (2n)번째 철심은 제2대향부가 되도록 구성된다(이 경우에, n=1, 2, 3, ...임).
또한, 하나의 코일(4)은 전기자(3)로 수용된다. 가동요소(6)가 제1대향부들 사이에 유지되고, 가동요소가 제2대향부들 사이에 유지되고, 가동부가 전기자에 대하여 상대적으로 이동하도록 구성된 리니어모터가 제공된다. 이 경우에, 전기자는 철심, 영구자석 및 코일(4)에 의하여 조성되고, 가동요소(6)는 영구자석, 자성체 및 한가지 또는 여러가지의 재료로 조합된 코일에 의하여 조성된다.
도 3a 및 도 3b는 본 실시예에 따른 리니어모터의 자속흐름을 나타내는 개략도이고, 조립체는 라미네이트된 강철판으로 조성된다. 도 2에 도시된 바와 같은 구조로 만들어지고, 상부자극톱니와 하부자극톱니 사이에서 자속이 수직방향으로 교대로 흐르는 전기자(3)가 본 실시예에 따른 리니어모터의 각 대향부내의 상부 자극톱니(11a 또는 22a)와 하부자극톱니(21b 또는 12b)사이의 갭에 형성됨에 따라, 도 3a에 도시된 바와 같이, 가동요소(6)가 갭을 통하여 상대적으로 이동한다.
또한, 본 실시예에 따른 리니어모터에서는, 가동요소(6) 및 상부자극톱니에 가해지는 인력과 가동요소(6) 및 하부자극톱니에 가해지는 인력이 실질적으로 동일한 크기를 갖고, 인력이 반대방향으로 가해지기 때문에, 전체 인력이 작아진다. 따라서, 전기자(3)와 가동요소(6)의 자극톱니 사이의 인력을 작게 만들 수 있고, 지지기구의 부하를 감소시킬 수 있다.
도 3b에서, 전기자는 라미네이트된 강철판으로 구성되고, 제1대향부 및 제2대향부의 복수의 세트가 번갈아 배열되도록 구성된다. 또한, 전기자의 코일이 배 열되는 (도 5의 철심(5)에 대응하는)철심부를 갖는 (상부자극톱니(11a 또는 22a)와 하부자극톱니(12b 또는 21b)에 대응하는)자극부 및 그 사이에 가동요소가 유지되는 대향부가 라미네이트된 강철판에 의하여 개별적으로 생성된 후 조립된다.
도 4는 도 3b에 도시된 라미네이트된 강철판으로 조성된 전기자를 몰딩하는 이미지를 나타낸다.
리니어 안내장치의 레일(102)은 전기자(3)내의 리니어 안내장치의 슬라이더(110)와 일체로 형성되는 방식으로 안내 및 지지되도록 슬라이드 그루브(111)들 사이에 유지된다.
도 5a, 5b, 6a, 6b는 본 실시예에 따른 리니어모터를 이용하는 제어블록다이어그램을 나타낸다.
도 5a는 전기자 및 가동요소로 조성되는 리니어모터(모터)와 전기자 및 가동요소 및 자극 사이의 상대변위를 검출하는 센서(도시되지 않음), 센서의 신호(신호)를 피드백시키는 제어부(컨트롤러) 및 동력구동부(드라이버 및 전원)로 구성되는 폐루프제어시스템을 구성하는 블록다이어그램을 나타낸다.
도 5b는 전기자와 가동요소로 조성되는 리니어모터(모터), 제어부(컨트롤러) 및 동력구동부(드라이버 및 전원)로 이루어지는 개루프제어시스템을 구성하는 블록다이어그램을 나타낸다.
도 6a는 전기자와 가동요소로 조성되는 리니어모터(모터), 전압센서, 제어부(컨트롤러) 및 동력구동부(드라이버 및 전원)로 이루어지는 자극무센서(sensorless)제어부를 구성하는 블록다이어그램을 나타낸다. 본 실시예 에서, 리니어모터에 의하여 발생된 유도전압(E0)은 전압센서를 이용하여 제어부에서 판독된다. 제어부에서는 유도전압의 크기로 자극위치를 추정하고, 리니어모터를구동하는 신호는 동력구동부로 출력된다. 본 구조에 따른 제어시스템에서, 리니어모터는 리니어모터부에 자극위치센서를 장착하지 않고도 안정적으로 (조화를 이루어)구동될 수 있다.
도 6b는 전기자와 가동요소로 조성되는 리니어모터(모터), 전류센서, 제어부(컨트롤러) 및 동력구동부(드라이버 및 전원)로 이루어지는 자극무센서제어시스템을 구성하는 블록다이어그램을 나타낸다. 본 실시예에서, 리니어모터를 흐르는 전류(I)는 전류센서를 이용하여 제어부내에서 판독된다. 제어부에서는, 리니어모터에 인가된 전압 및 검출된 전류값으로부터 리니어모터의 유도전압을 산출하여, 자극위치를 추정 및 산출한다. 본 구조에 따른 제어시스템에서, 리니어모터는 리니어모터부에 자극위치센서를 장착하지 않고도 안정적으로 (조화를 이루어)구동될 수 있다.
도 7은 도 1에 도시된 베이스(101)상의 XY테이블부를 상세히 나타낸 도면이다. 리니어모터를 구비한 XY테이블은 리니어 안내장치의 레일(102)이 베이스(101)의 동, 서, 남, 북영역을 포함하는 4개의 영역에 배열되고, 상기 레일은 자유롭게 이동할 수 있도록 레일에 의하여 안내되는 슬라이더 및 전기자의 상대적인 이동방향이 직각을 형성하도록 일체로 형성되고, 가동요소는 십자가형상을 형성하도록 스테이지에 연결되고, 동-서 방향으로 배열된 전기자 및 다른 하나의 남-북 방향으로 배열된 가동요소는 X-축 구동 리니어모터 및 Y-축 구동 리니어모터에 의하여 각각 구동되도록 구성된다.
본 실시예에 사용된 리니어모터는 전기자(3X1; 전기자(3X)의 X1구성요소) 및 전기자(3X2; 전기자(3X)의 X2구성요소)가 한 쌍의 형태로 X-축구동 리니어모터의 전기자를 조성하도록 구성되지만, 동일한 원리가 Y축 및 Z축의 경우에도 적용될 수 있다.
도 7에서, 일반적으로, 전기자(3X1) 및 전기자(3X2)는 전기자(3X1)의 자극톱니와 전기자(3X2)의 자극톱니 사이의 피치가 식(k·P + P/M){(k = 0, 1, 2,...), (M = 2, 3, 4,...)}을 만족하도록 직렬로 배열된다. 이 경우에, P는 극피치이고,(극피치(P)는 전기자 자극피치(Ps)와 가동요소 자극피치(Pm)로부터 선택됨), M은 모터의 위상수이다. 인접한 자극이 상이하도록 복수의 영구자석이 가동요소(6)에 배열된다.
도 7에서, 전기자(3X1) 및 전기자(3X2)는 전기자(3X1)의 자극톱니와 전기자(3X2)의 자극톱니 사이의 피치가 식{(k·P; k = 0, 1, 2,...)}을 만족하도록 직렬로 배열되고 복수의 영구자석은 전기자(6X1; 전기자(6X)중에 X1에 대응하는 부분)와 전기자(6X2; 전기자(6X)중에 X2에 대응하는 부분) 사이에서 자극의 중심이 공식(kP + P/M)을 만족하도록 배열될 수 있다.
달리 말하면, 전기자들(6X1, 6X2)은 (kP + P/M)피치를 시프트시켜 일체로 형성된다. 상대적으로, 전기자들(6X1, 6X2)은 정렬되고 전기자들(3X1, 3X2)의 중심 은 (k·P + P/M)피치가 시프트될 수 있다.
이동 자기장이 교대로 생성되도록 전기자(3X1, 3X2)의 코일(4)을 여자시킬 때, 상부자극표면과 하부자극표면 사이의 갭(8)을 통하여 모든 극피치에서 자속이 반대방향으로 흐르고, 추진력은 이동에 필수 불가결한 P/2로 인하여 생성되고, 가동요소(6)는 상대적으로 이동하고, 가동요소에 연결된 스테이지(103)는 자유롭게 이동한다.
도 7에서, 강자성기판 및 비자성기판이 가동요소(6)로 결합되거나 영구자석이 공통으로 사용될 수 있다. 또한, 비교적 자유롭게 이동하는 리니어모터는 영구자석 대신에 가동요소(6)의 주위에 이동자기장을 생성하는 코일을 감고, 전기자(3)에 계자전류를 흐르게 하여 얻어질 수 있다.
여기서는, 2개의 전기자가 직렬로 배열된 구조로 도 7설명이 이루어지지만, 복수의 전기자가 직렬로 배열될 수도 있다. 동일한 방식으로, 상기 구조는 2개의 전기자가 병렬로 배열되고 2개의 가동요소가 일체로 형성되거나 복수의 전기자가 병렬로 연결되고 복수의 가동요소가 일체로 형성되도록 만들어질 수도 있다.
이 경우에, 본 발명에 따른 실시예에서, 2상 리니어모터가 설명되었지만, 본 발명은 3상, 4상, 5상 등등과 같은 다상 리니어모터에 사용될 수 있다.
도 8, 9, 10은 본 발명의 여타의 실시예에 따른 XYZ-축 테이블을 나타낸다.
도 8은 도 7에 도시된 전기자(3X1, 3X2)가 한면의 한 부분에 집결되도록 구성된 여타의 실시예를 나타낸다. 리니어모터를 가지고 있는 XY테이블은, X축과 Y축이 서로 수직으로 교차하도록 베이스(101)내에 리니어 안내장치의 레일(102)이 배열되고, 자유롭게 이동할 수 있도록 레일(102)에 의하여 안내되는 슬라이더가 상대적인 이동방향이 수직이 되도록 전기자와 일체로 형성되고, 전기자들(6X, 6Y)이 L형상을 형성하도록 스테이지(103)에 연결되고, 동-서방향으로 배열된 한 전기자(3X)와 남-북방향으로 배열된 다른 하나의 전기자(3Y)가 각각 X-축 구동 리니어모터 및 Y-축 구동 리니어모터에 의하여 구동되도록 구성된다. 리니어모터가 상술된 바와 같이 결합될 수 있기 때문에, 배열의 자유도가 향상된다. 또한 리니어모터의 수를 줄일 수 있다.
도 9는 리니어 안내장치의 4개의 레일(102)이 베이스상에서 동, 서, 남, 북영역의 4개의 영역에 배열되고, 가동요소(6X, 6Y)는 십자가형상을 형성하도록 갭을 유지하면서 포개져서 배열되고, 자유롭게 이동할 수 있도록 레일(102)에 의하여 안내되는 슬라이더(110)는 슬라이더와 가동요소 사이에서 상대적인 이동방향이 서로 수직이 되도록 그것의 양 끝단부에 연결되고, 복수의 전기자는 리니어 안내장치의 내측에 집결시켜 스테이지(103)와 일체로 형성되고, 동-서방향으로 배열된 한 전기자(3X) 및 남-북방향으로 배열된 다른 하나의 전기자(3Y)는 각각 X-축 구동 리니어모터 및 Y-축 구동 리니어모터에 의하여 구동되도록 구성된다. 상술된 바와 같이 리니어모터가 결합될 수 있기 때문에, 배선(wire)구성을 간단하게 만들 수 있다.
도 10은 XY테이블 및 툴을 구비하고 있는 Z-축 리니어 안내장치가 각각 각도(θ)에서 구동하도록 구성된 리니어모터를 구비한 XYZ-축 테이블을 나타낸다. 따라서, 툴의 작동자유도가 증가된다. 툴 대신에, 인쇄장치 및 현미경 등등의 관측장치가 추가될 수 있다.
또한, 관통구멍이 XY테이블 및 베이스 모두의 중심부에 제공될 수 있기 때문에, 긴 물체가 스테이지상에 장착될 수 있다. 따라서, 다루어질 수 있는 대상물의 범위를 확대시킬 수 있다.
상술된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따르면, 리니어모터는 유효자속에 대한 자기회로의 자기통로를 짧게 할 수 있고 자극톱니의 누설자속을 감소시킬 수 있으므로, 효율이 향상될 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 리니어모터에서는, 가동요소(6) 및 상부자극톱니에 적용되는 인력과 가동요소(6) 및 하부자극톱니에 적용되는 인력은 동일한 크기를 갖고, 인력이 반대방향으로 가해져서, 전체 인력은 작아진다. 따라서, 가동요소(6)의 자극톱니와 전기자(3) 사이의 인력을 작게 만들 수 있고, 지지기구의 부하를 감소시킬 수 있어, 내구성을 향상시킬 수 있다. 또한, 부품의 개수를 감소시킬 수 있으며, XY테이블을 얇게 만들 수 있다. 또한, 상술된 구조에 따르면, XYZ-축 테이블 또는 XY테이블을 갖는 반도체제조스텝퍼, 공작기계, 노광장치 등등을 제공할 수 있다.
본 발명에 따르면, 향상된 효율 및 높은 내구성을 갖는 XY테이블 또는 XYZ-축 테이블을 제공할 수 있다.

Claims (20)

  1. 베이스;
    복수의 리니어 안내장치;
    스테이지;
    X-축 구동 리니어모터; 및
    Y-축 구동 리니어모터를 포함하는 XY-축 테이블로서,
    상기 리니어모터는 전기자 및 전기자에 대하여 상대적으로 이동할 수 있는 가동요소로 조성되도록 구성되고;
    상기 리니어모터는, 상기 전기자의 한 자극에 자기적으로 연결되고 상기 가동요소의 이동방향에 대하여 실질적으로 수직인 방향으로 제1스테이지와 제2스테이지로 분리되도록 배열되는 하나의 자극 톱니열(teeth row) 및, 상기 전기자의 다른 하나의 자극에 자기적으로 연결되고 상기 가동요소의 이동방향에 대하여 실질적으로 수직인 방향으로 제1스테이지와 제2스테이지로 분리되도록 배열되는 다른 하나의 자극 톱니열을 더욱 포함하고,
    상기 하나의 자극 톱니열내에 있는 제1스테이지의 자극 톱니 및 상기 다른 하나의 자극 톱니열내에 있는 제1스테이지의 자극 톱니가 상기 가동요소의 이동방향에 대하여 번갈아 배열되고, 상기 하나의 자극 톱니열내에 있는 제2스테이지의 자극 톱니 및 상기 다른 하나의 자극 톱니열내에 있는 제2스테이지의 자극 톱니가 상기 가동요소의 이동방향에 대하여 번갈아 배열되며,
    상기 자극 톱니열의 상기 하나 및 다른 하나의 제1스테이지들과 자극 톱니열의 상기 하나 및 다른 하나의 제2스테이지들 사이에 상기 가동요소가 배열되는 것을 특징으로 하는 XY-축 테이블.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 리니어 안내장치의 레일은 상기 베이스의 동, 서, 남, 북영역을 포함하는 4개의 영역에 배열되고, 상기 레일은 상기 레일에 의하여 안내된 슬라이더가 자유롭게 이동하고 상기 전기자의 상대적인 이동방향이 직각을 형성하도록 일체로 형성되고, 상기 가동요소는 십자가형상을 형성하도록 상기 스테이지에 연결되고, 동-서 방향으로 배열된 상기 하나의 전기자 및 남-북 방향으로 배열된 상기 나머지 가동요소는 X-축 구동 리니어모터 및 Y-축 구동 리니어모터에 의하여 각각 구동되는 것을 특징으로 하는 XY-축 테이블.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 리니어 안내장치의 4개의 레일은 상기 베이스상의 동, 서, 남, 북영역을 포함하는 4개의 영역에 배열되고, 상기 가동요소는 십자가형상을 형성하도록 갭을 유지하면서 포개져서 배열되고, 자유롭게 이동할 수 있도록 상기 레일에 의하여 안내된 슬라이더는 상기 슬라이더와 상기 가동요소간의 상대적인 이동방향이 서로 수직이 되도록 그것의 양 끝단에 연결되고, 상기 복수의 전기자는 상기 리니어 안내장치의 내측에 집결되어 상기 스테이지와 일체로 형성되고, 동-서 방향으로 배열된 상기 한 전기자 및 남-북 방향으로 배열된 상기 다른 하나의 전기자는 상기 X-축 구동 리니어모터 및 상기 Y-축 구동 리니어모터에 의하여 각각 구동되는 것을 특징으로 하는 XY-축 테이블.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 리니어 안내장치의 상기 레일은 X, Y축이 서로 수직으로 교차하도록 상기 베이스에 배열되고, 자유롭게 이동할 수 있도록 상기 레일에 의하여 안내된 상기 슬라이더는 상대적인 운동방향이 수직이 되도록 상기 전기자와 일체로 형성되고, 상기 전기자는 L형상을 형성하도록 상기 스테이지에 연결되고, 동-서방향으로 배열된 상기 한 전기자 및 남-북방향으로 배열된 상기 다른 하나의 전기자는 상기 X-축 구동 리니어모터 및 상기 Y-축 구동 리니어모터에 의하여 각각 구동되는 것을 특징으로 하는 XY-축 테이블.
  5. 삭제
  6. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 각각의 리니어 안내장치는 상기 베이스상에 독립적으로 배열되거나 또는 한-축(one-axis)의 리니어 안내장치가 다른 하나의-축(another-axis)의 리니어장치상에 놓여지고, 그에 따라 상기 리니어모터가 사용되는 것을 특징으로 하는 XY-축 테이블.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 리니어모터, 상기 전기자와 상기 가동요소와 자극간의 상대변위를 검출하는 센서, 상기 센서의 신호를 피드백하는 제어부 및 동력구동부로 조성되는 폐루프제어시스템을 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 XY-축 테이블.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 리니어모터, 제어부 및 동력구동부로 조성되는 개루프제어시스템을 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 XY-축 테이블.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 리니어모터, 동력구동부 및 상기 리니어모터의 유도전압을 검출하고 상기 검출된 전압값을 기초로 상기 전기자와 상기 가동요소간의 상대적인 자극위치를 추정하는 추정수단으로 구성되는 제어시스템을 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 XY-축 테이블.
  10. 제1항에 있어서,
    리니어모터, 동력구동부 및 상기 리니어모터를 통과하는 전류를 검출하고 상기 검출된 전류값을 기초로 상기 전기자와 상기 가동요소간의 상대적인 자극위치를 추정하는 추정수단을 포함하는 제어부를 포함하는 제어시스템을 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 XY-축 테이블.
  11. 제1항에 있어서,
    동축-구동리니어모터의 복수의 전기자가 배열되고, 극피치가 P로 설정될 때, 상기 인접한 상이한 전기자의 자극 톱니들간의 피치가 (kㆍP + P/M){(k = 0, 1, 2,...), (M = 2, 3, 4,...)}{여기서 k는 상기 인접한 전기자가 배열될 수 있는 범위에서 자유롭게 선택된 숫자이고, M은 모터의 상의 개수이다.}으로 설정되는 것을 특징으로 하는 XY-축 테이블.
  12. 제1항에 있어서,
    관통구멍이 상기 XY테이블 및 상기 베이스 모두의 중심부에 제공되는 것을 특징으로 하는 XY-축 테이블.
  13. 제1항에 있어서,
    압축공기부상기능 또는 자기부상기능이 상기 베이스와 상기 스테이지 사이에 제공되는 것을 특징으로 하는 XY-축 테이블.
  14. 삭제
  15. 삭제
  16. 삭제
  17. 삭제
  18. 삭제
  19. 삭제
  20. 삭제
KR1020037006078A 2000-11-02 2001-11-02 Ｘｙｚ-축 테이블 KR100589746B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000340365A JP3945148B2 (ja) 2000-11-02 2000-11-02 Ｘｙテーブル及びｘｙｚテーブル
JPJP-P-2000-00340365 2000-11-02
PCT/JP2001/009611 WO2002045245A2 (en) 2000-11-02 2001-11-02 Xyz-axes table

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20030051770A KR20030051770A (ko) 2003-06-25
KR100589746B1 true KR100589746B1 (ko) 2006-06-15

Family

ID=18815292

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020037006078A KR100589746B1 (ko) 2000-11-02 2001-11-02 Ｘｙｚ-축 테이블

Country Status (8)

Country Link
US (2) US6448733B1 (ko)
EP (1) EP1330864B1 (ko)
JP (1) JP3945148B2 (ko)
KR (1) KR100589746B1 (ko)
CN (1) CN100479985C (ko)
DE (1) DE60109635T2 (ko)
TW (1) TW531600B (ko)
WO (1) WO2002045245A2 (ko)

Families Citing this family (39)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3395155B2 (ja) * 1999-05-07 2003-04-07 株式会社日立製作所 リニアモータ及びその製造方法
KR100440389B1 (ko) * 2001-12-26 2004-07-14 한국전기연구원 2상 횡자속형 영구자석 여자 선형 전동기
JP3744437B2 (ja) * 2002-02-20 2006-02-08 株式会社日立製作所 駆動装置
JP3821101B2 (ja) * 2003-02-04 2006-09-13 株式会社日立製作所 直線駆動装置、その制御方法及びｘｙテーブル
DE10304462B4 (de) * 2003-02-04 2007-03-29 Weiss Gmbh Sondermaschinentechnik Rundschalttisch
US7057370B2 (en) * 2003-06-21 2006-06-06 Igor Victorovich Touzov Ultra-fast precision motor with X, Y and Theta motion and ultra-fast optical decoding and absolute position detector
JP4603316B2 (ja) * 2003-08-27 2010-12-22 山洋電気株式会社 シリンダ型リニアモータ用可動子
US20050100716A1 (en) * 2003-11-12 2005-05-12 January James R. Watercolor canvas
JP4089597B2 (ja) * 2003-11-18 2008-05-28 株式会社日立製作所 リニアモータ及びｘｙステージ
US7084532B2 (en) * 2004-03-03 2006-08-01 Asm Assembly Automation Ltd. Decoupling of actuators for positioning an object
KR20070011577A (ko) * 2004-05-07 2007-01-24 마그네모션, 인코포레이티드 단일 경로를 기반으로 하는 작용기들을 이용한 3차원 동작
JP4815787B2 (ja) * 2004-11-16 2011-11-16 日産自動車株式会社 工作機械の送り装置
DE102006022193B4 (de) * 2006-05-12 2009-08-27 Rovema - Verpackungsmaschinen Gmbh Vertikale Schlauchbeutelmaschine mit zwei Linearmotoren
EP2008763B1 (de) * 2007-06-30 2010-04-14 Trumpf Werkzeugmaschinen GmbH + Co. KG Werkzeugmaschine mit einer Funktionseinheit mit Linearantrieb
DE102007037886B4 (de) * 2007-08-10 2014-01-23 Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gGmbH Feldgeführter planarer Präzisionsantrieb mit einem luftgelagerten Läufer
JP2009136065A (ja) * 2007-11-29 2009-06-18 Canon Inc 平面モータおよびそれを用いたステージ
CN101339914B (zh) * 2008-08-27 2010-06-16 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 二维电动位移平台
JP5277040B2 (ja) * 2009-03-31 2013-08-28 株式会社日立製作所 駆動装置，ｘｙステージ及びｘｙｚステージ
US9000626B2 (en) 2008-12-10 2015-04-07 Hitachi, Ltd. Thrust generation mechanism, drive device, XY stage and XYZ stage
US9032880B2 (en) 2009-01-23 2015-05-19 Magnemotion, Inc. Transport system powered by short block linear synchronous motors and switching mechanism
US8616134B2 (en) 2009-01-23 2013-12-31 Magnemotion, Inc. Transport system powered by short block linear synchronous motors
WO2010091093A1 (en) * 2009-02-03 2010-08-12 Abbott Cardiovascular Systems Inc. Improved laser cutting process for forming stents
EP2393628B1 (en) * 2009-02-03 2017-06-21 Abbott Cardiovascular Systems Inc. Improved laser cutting system
EP2393627B1 (en) * 2009-02-03 2018-05-09 Abbott Cardiovascular Systems Inc. Multiple beam laser system for forming stents
JP5796575B2 (ja) * 2010-06-09 2015-10-21 株式会社日立製作所 リニアモータおよびそれを用いた位置決め装置
CN105813886B (zh) 2013-09-21 2018-04-03 麦克纳莫绅有限公司 用于包装和其它用途的线性电机运输
CA2831197A1 (en) * 2013-10-28 2015-04-28 Patrick Mcfadden Electric linear actuator
CN104330244A (zh) * 2014-11-23 2015-02-04 保定维特瑞交通设施工程有限责任公司 交通控制显示单元光电性能参数的测试装置
DE102014117150A1 (de) * 2014-11-24 2016-05-25 Beckhoff Automation Gmbh XY-Tisch für ein lineares Transportsystem
JP6864844B2 (ja) 2015-07-20 2021-04-28 エムオーティーエックス リミテッド 横方向磁束リニアモータ
JP6425642B2 (ja) * 2015-12-07 2018-11-21 三菱重工機械システム株式会社 平面誘導モータ
CN105443930A (zh) * 2015-12-10 2016-03-30 合肥工业大学 一种xy精密定位平台
CN105563434B (zh) * 2016-03-15 2018-05-18 丹阳正联知识产权运营管理有限公司 一种工作台的x、y、z轴向进给机构
CN106002330A (zh) * 2016-06-07 2016-10-12 王启先 一种用于加工的浮动式工作台装置
CN106002329A (zh) * 2016-06-07 2016-10-12 王启先 一种简易的浮动式工作台机构
NL2018266B1 (en) * 2017-01-31 2018-08-16 Ccm Beheer Bv Planar positioning device
TWI664642B (zh) * 2018-08-20 2019-07-01 全研科技有限公司 高精度線性馬達一次對位平台
CN110941081B (zh) * 2019-12-13 2021-07-30 南通大学 一种磁悬浮式载物台及其控制方法
CN115285433B (zh) * 2022-09-02 2024-03-22 常州麒麟自动化***有限公司 一种磁瓦整列装置

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3575650A (en) * 1970-01-08 1971-04-20 Werner H Fengler Linear high-torque electric stepping motor system
DE2654075A1 (de) * 1976-11-29 1978-06-01 Papst Motoren Kg Linearmotor
SU696579A1 (ru) * 1978-03-20 1979-11-05 Ростовский-на-Дону институт инженеров железнодорожного транспорта Линейный асинхронный двигатель
US4254350A (en) * 1979-07-12 1981-03-03 Miroshnichenko Vitaly T Asynchronous line-fed motor
US4241268A (en) * 1979-09-20 1980-12-23 Popov Alexandr D Linear induction motor
JPS61136753A (ja) * 1984-12-04 1986-06-24 Omron Tateisi Electronics Co リニアモ−タ
JPS63127841A (ja) * 1986-11-14 1988-05-31 Toshiba Corp Ｘ−ｙステ−ジ
US4857781A (en) * 1988-07-13 1989-08-15 Eastman Kodak Company High-speed non-contact linear motor with magnetic levitation
JP3182158B2 (ja) * 1991-02-25 2001-07-03 キヤノン株式会社 露光装置用のステージ支持装置
US5416397A (en) * 1993-10-04 1995-05-16 Ford Motor Company Linear motor control system and method of use
FR2727174A1 (fr) * 1994-11-21 1996-05-24 Aerospatiale Palier magnetique a noyau de bobine rapporte
US5668421A (en) * 1995-04-06 1997-09-16 E. B. Eddy Forest Products Ltd. Pressurized air-gap guided active linear motor suspension system
US5662568A (en) * 1995-05-12 1997-09-02 Ingersoll Milling Machine Co. Symmetrical multi-axis linear motor machine tool
JPH09246789A (ja) * 1996-03-07 1997-09-19 Brother Ind Ltd 電子部品実装装置
JP3832891B2 (ja) * 1996-03-28 2006-10-11 日本トムソン株式会社 リニア電磁アクチュエータを用いたｘｙテーブル
JP3791082B2 (ja) * 1996-12-04 2006-06-28 株式会社安川電機 リニアモータ
US6078114A (en) * 1998-04-08 2000-06-20 Universal Instruments Corporation Method and apparatus for vibration reduction/control in a variable reluctance linear motor
JP3945142B2 (ja) * 2000-10-12 2007-07-18 株式会社日立製作所 リニアモータ及びその制御方法
JP4061834B2 (ja) * 2000-11-02 2008-03-19 株式会社日立製作所 リニアモータ
JP3945149B2 (ja) * 2000-11-06 2007-07-18 株式会社日立製作所 リニアモータとその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
TW531600B (en) 2003-05-11
EP1330864A2 (en) 2003-07-30
US6703806B2 (en) 2004-03-09
WO2002045245A2 (en) 2002-06-06
CN100479985C (zh) 2009-04-22
JP3945148B2 (ja) 2007-07-18
CN1606822A (zh) 2005-04-13
US20020195984A1 (en) 2002-12-26
DE60109635T2 (de) 2006-01-19
KR20030051770A (ko) 2003-06-25
US20020050804A1 (en) 2002-05-02
US6448733B1 (en) 2002-09-10
JP2002142438A (ja) 2002-05-17
DE60109635D1 (de) 2005-04-28
WO2002045245A3 (en) 2002-07-25
EP1330864B1 (en) 2005-03-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100589746B1 (ko) Ｘｙｚ-축 테이블
KR100443590B1 (ko) 리니어모터 및 그 제조방법
JP3815750B2 (ja) ステージ装置、ならびに前記ステージ装置を用いた露光装置およびデバイス製造方法
KR100743117B1 (ko) 리니어모터 및 그 구동시스템 및 그 제조방법
JP2003158866A (ja) フォーサ及び三相リニアモータシステム
JP4061834B2 (ja) リニアモータ
US6876108B2 (en) Linear motor, its controlling method, and XY table
RU2037944C1 (ru) Линейный двигатель и позицирующее устройство, содержащее по меньшей мере один линейный двигатель
JPH0699327A (ja) Ｘ−ｙテーブルの駆動装置
JP2003134791A (ja) 永久磁石形同期リニアモータ
JPH0638503A (ja) リニアモータ
JP4175076B2 (ja) コアレス形リニアモータ
JP3906443B2 (ja) リニアモータ
JP4352439B2 (ja) リニアモータ
JP2005051869A (ja) 駆動装置及びそれを用いたｘｙテーブル
JPH037055A (ja) リニアモータ装置
JPH0785646B2 (ja) パルスモータ
JP2003235238A (ja) 駆動装置，搬送システム及びドアシステム

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20100603

Year of fee payment: 5

LAPS Lapse due to unpaid annual fee