JPH1086086A - 基板吸着部材および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、載置台への基板を確実に吸着でき、
精度の高い安定した基板検査を実現できる基板吸着部材
および装置を提供する。 【解決手段】基板吸着部１４１を有する中空の吸着パッ
ド１４の中空部に間隙１６を介して弾性部材からなるパ
ッド支持部材１５を挿入して、吸着パッド１４を弾性的
に支持するとともに、吸着パッド１４の所定範囲での動
きを可能にするように、これら吸着パッド１４およびパ
ッド支持部材１５を載置台１１の吸着パッド取付け部１
１１に押え枠体１８を用いて保持している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば液晶パネル
用の大型ガラス基板の検査工程に用いられる基板吸着部
材および装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】最近、液晶技術の進歩にともない、液晶
パネルなどの表示素子も大型化され、これとともに、マ
スター基板と呼ばれるガラス基板の大型化も進んでい
る。このようなガラス基板は、その大きさに対して厚さ
が極めて薄く、たわみ易いものになっているが、かかる
ガラス基板についても、品質管理の上から顕微鏡などを
使用した各種の検査が行われており、これら検査を検査
装置の大型ステージ上に載置した状態で行うようになっ
ている。

【０００３】そこで、従来、特開平７−１８３３６６号
公報に開示される大型ガラス基板のエア吸着方法が考え
られている。図１１は、載置台１の表面に複数の方形の
吸着溝２ａ〜２ｄを、載置台１の中心点Ｏに対して対称
的に、適当な間隔をおいて形成し、これら複数の方形の
吸着溝２ａ〜２ｄに対して、中心点Ｏに近い吸着溝２ａ
から遠い吸着溝２ｄの順で適当なタイムラグをなして順
にエア吸着することにより、このように載置台１上に載
置されるガラス基板３全面を、載置台１面に密着させ、
安定に固定できるようにしたものである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
エア吸着方法によると、仮に、図１２に示すようにガラ
ス基板３に反りがあって、ガラス基板３の周縁部分が載
置台１面から僅かに浮き上がっているような場合、載置
台１面とガラス基板３面が密着状態にならず、安定した
基板検査ができないことがある。このため、エア吸着力
を増して強引にガラス基板３面を密着させようとする
と、吸着時の大きな吸引力により極めて薄く壊れやすい
ガラス基板３が破損してしまうおそれがあった。

【０００５】また、最近の顕微鏡を使用した基板検査に
は、透過照明を使用して基板上の傷や埃を検出すること
が行われているが、上述した方法に適用される載置台１
では、載置台１中央部分に穴部を形成していないことか
ら、このような基板検査ができないという問題点もあっ
た。

【０００６】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、載置台への基板を確実に吸着でき、精度の高い安定
した基板検査を実現できる基板吸着部材および装置を提
供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
基板吸着部を有する中空の吸着パッドと、この吸着パッ
ド弾性的に支持する弾性部材からなるパッド支持部材
と、前記吸着パッドの所定範囲での動きを可能にして該
吸着パッドを固定部材に取付ける取付け手段とにより構
成している。

【０００８】請求項２記載の発明は、請求項１記載にお
いて、前記取付け部材は、前記吸着パッドの動きを制限
する弾性部材を有している。請求項３記載の発明は、基
板を載置する載置台と、この載置台上に配置され、エア
吸着力を発生する基板吸着部を有する吸着パッドと、こ
の吸着パッドを支持するとともに、前記吸着パッドを前
記載置台面より上方に位置させる弾性を有する支持部材
と、前記吸着パッドの基板吸着部にエア吸着力を発生さ
せるエア駆動力を発生するエア制御手段とにより構成し
ている。

【０００９】この結果、請求項１記載の発明によれば、
基板吸着部を有する吸着パッドは、弾性部材のパッド支
持部材による支持により、所定範囲で自由に動けるよう
になっているので、基板の傾きに対してもパッド支持部
材の変形により、吸着部を吸着でき、さらにパッド支持
部材の弾性力により外れにくい状態で保持できる。

【００１０】また、請求項２記載の発明によれば、基板
吸着部に基板を吸着した状態で、吸着パッドが弾性部材
に当接することにより、吸着パッドに対するバネ定数が
急激に増加して基板側の振動を抑制することができる。

【００１１】また、請求項３記載の発明によれば、吸着
パッドを載置台面より上方に突出させ弾性的に支持する
ことにより基板に反りが生じでも基板にパッドが近接
し、かつ吸引時に基板の傾きに添うように吸着パッドが
変形して基板に密着するので、吸着部での吸着を確実に
行うことができ、基板に関する検査を安定した状態で精
度よく行うことができる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に従い説明する。 （第１の実施の形態）図１は、本発明が適用されるガラ
ス基板を吸着保持する基板吸着装置の概略構成を示して
いる。図において、１１はガラス基板１２を載置する載
置台で、この載置台１１は、長方形の枠状をなしてい
て、この長方形の枠部分にガラス基板１２を載置すると
ともに、中央部分を透孔部に形成して、いわゆる中抜き
載置台に構成している。

【００１３】また、載置台１１には、複数の基板吸着部
材１３を設けている。この場合、基板吸着部材１３は、
載置台１１の長手方向の周縁に２個づつ、幅方向の周縁
に２個づつの合計８個を配置している。

【００１４】図２は、基板吸着部材１３の概略構成の断
面図を示している。この場合、図２は、左右対称形状の
中心面から半分だけを図示したものである。図におい
て、１４は合成樹脂などで形成される中空の吸着パッド
で、この吸着パッド１４は、上方に吸着部１４１を有
し、この吸着部１４１の中央部には、中空部に連通する
穴部１４２を形成している。また、この吸着パッド１４
の上方周面に、段部１４３を形成している。

【００１５】吸着パッド１４の中空部に僅かな間隙１６
を介して筒状のパッド支持部材１５を挿入している。こ
のパッド支持部材１５は、ゴムなどの比較的柔らかく変
形し易い弾性部材からなるもので、先端部に吸盤１５１
を形成し、この吸盤１５１面を吸着パッド１４の吸着部
１４１の裏面側に当接している。

【００１６】そして、このような吸着パッド１４とパッ
ド支持部材１５を有する基板吸着部材１３は、図３に示
すように載置台１１の吸着パッド取付け部１１１に取付
けられる。この場合、吸着パッド取付け部１１１は、溝
部１１２を形成し、この溝部１１２の底面に穴部１１３
を有していて、この溝部１１２にパッド支持部材１５を
設けた吸着パッド１４を僅かな間隙１７を介して設ける
とともに、溝部１１２底面の穴部１１３をパッド支持部
材１５の中空部、吸盤１５１を介して吸着パッド１４の
吸着部１４１中央部の穴部１４２に連通するようにして
いる。

【００１７】そして、吸着パッド１４の先端部に、押え
枠体１８の穴部１８１を挿通するとともに、この穴部１
８１周縁部に吸着パッド１４の段部１４３を係合するこ
とで、吸着パッド１４の抜落ちを防止して載置台１１上
に保持している。この場合、押え枠体１８の穴部１８１
と吸着パッド１４の先端部との間にも僅かな間隙２２を
形成して、吸着パッド１４の所定範囲での動きを可能に
している。また、押え枠体１８は、図示しないネジなど
により載置台１１に固定している。

【００１８】そして、このような基板吸着部材１３を取
付けた溝部１１２底面の穴部１１３に通気管１９を連通
するとともに、電磁弁２０を介して真空ポンプ２１を接
続し、この真空ポンプ２１でのエア引きによるエア駆動
力によりパッド支持部材１５を介して吸着パッド１４の
吸着部１４１にエア吸着力を得られるようにしている。

【００１９】次に、このように構成した実施の形態の動
作を説明する。いま、ガラス基板１２の検査工程におい
て、ガラス基板１２が、中抜きの載置台１１上に供給さ
れるが、この時、ガラス基板１２の周縁部が載置台１１
の長手方向および幅方向のそれぞれ周縁に設けられた基
板吸着部材１３上に位置するようにしている。

【００２０】そして、この状態から、真空ポンプ２１で
エア引きが行われると、それぞれの基板吸着部材１３で
は、パッド支持部材１５を介して吸着パッド１４の吸着
部１４１にエア吸着力が得られ、ガラス基板１２は、載
置台１１上に吸着状態になって固定される。

【００２１】ここで、ガラス基板１２面が全く平なら
ば、載置台１１面と平行が保たれるので、何ら問題ない
が、仮に、ガラス基板１２に反りがあるような場合、載
置台１１面と平行でなくなることがある。この場合、本
発明の基板吸着部材１３では、吸着部１４１を有する吸
着パッド１４は、その中空部に弾性部材のパッド支持部
材１５で支持されており、ガラス基板１２の反りによる
傾きに対応してパッド支持部材１５の変形により、吸着
パッド１４が載置台１１の溝部１１２との間隙１７およ
び押え枠体１８の穴部１８１と吸着パッド１４の先端部
との間隙２２の範囲で自由に傾くようになっているの
で、ガラス基板１２の反り面に対して吸着パッド１４の
吸着部１４１がガラス基板１２に対してほぼ平行にな
り、ガラス基板１２が良好に吸着され、さらにパッド支
持部材１５の弾性力により吸着の外れにくい状態で保持
される。

【００２２】これにより、ガラス基板１２は、多少の反
りがあるような場合も、載置台１１上の複数の基板吸着
部材１３により確実に吸着して載置するようにできるの
で、反りによる焦点ズレや基板の振動ズレが防止でき、
安定した状態でガラス基板１２の検査を実施することが
できる。しかも、吸着パッド１４が載置台１１上面より
突出しているので、ガラス基板１２に反りが生じても常
に吸着パッド１４にガラス基板１２が近接して良好な吸
着力が作用する。また、ガラス基板１２を載置する載置
台１１は、中央部分を透孔部に形成した、いわゆる中抜
き載置台に構成しているので、透過照明を使用した傷や
埃の検出にも適用することができる。 （第２の実施の形態）ところで、第１の実施の形態で
は、吸着パッド１４を支持するパッド支持部材１５の変
形により吸着パッド１４が載置台１１の溝部１１２との
間隙１７の範囲で自由に傾くように構成しているが、パ
ッド支持部材１５には、ゴムなどの比較的柔らかく変形
し易い弾性部材を用いているため、仮に床面から振動が
侵入したり、クリーンルーム内のダウンブローなどによ
りガラス基板１２に振動が伝わりたわみを生じたような
場合、パッド支持部材１５が共振し、ガラス基板１２の
振動を抑制することができなくおそれがある。特に、顕
微鏡を使用した基板検査の場合に、ガラス基板１２の光
軸方向の振動、たわみにより顕微鏡像にブレやボケなど
が生じ易くなって、検査精度か低下してしまう。

【００２３】そこで、この第２の実施の形態では、この
ようなパッド支持部材１５自身の振動を防止するように
している。図４は、本発明の第２の実施の形態の概略構
成を示すもので、図３と同一部分には、同符号を付して
いる。

【００２４】この場合、押え枠体１８の穴部１８１の吸
着パッド１４の先端部と対向する周縁部に沿って弾性部
材、例えばゴムブッシュ２３を設けている。この場合、
ゴムブッシュ２３に代えて、ウレタンやシリコンなどの
弾性部材を使用してもよい。

【００２５】この場合、ゴムブッシュ２３と吸着パッド
１４の先端部との間隙２２は、検査対称のガラス基板１
２のたわみ易さなどを考慮して調整する。このようにす
ると、ガラス基板１２の反りによる傾きに対応してパッ
ド支持部材１５の変形により吸着パッド１４が傾いてガ
ラス基板１２の反り面に吸着された状態で、ガラス基板
１２に、床面からの振動やクリーンルーム内のダウンブ
ローにより、たわみが生じたような場合、このたわみが
ある程度進むと吸着パッド１４の傾きも大きくなって、
押え枠体１８の穴部１８１との間隙２２が狭まり、つい
には吸着パッド１４の先端部がゴムブッシュ２３に当接
して、その動きが制限される。

【００２６】すると、この当接によりパッド支持部材１
５のバネ成分に、ゴムブッシュ２３のバネ成分が並列結
合され、この時点を境に吸着パッド１４に対するバネ定
数は、図５に示すように急激に増加するようになるの
で、吸着部１４１に吸着しているガラス基板１２が振動
しにくくなって、ガラス基板１２自身のたわみが抑制さ
れる。

【００２７】このようにすれば、ガラス基板１２に振動
が伝わるような場合でも、ガラス基板１２自身を振動し
にくくして、ガラス基板１２のたわみを抑制するように
できるので、顕微鏡を使用した基板検査の場合に、顕微
鏡像のブレやボケなどを確実に防止でき、精度の高い基
板検査を行うことができる。

【００２８】なお、パッド支持部材１５の弾性力とゴム
ブッシュ２３の弾性力のバランスを調整することによ
り、吸着パッド１４による吸着し易さと、ガラス基板１
２の振動しにくさとのバランスを最良に設定することも
できる。 （第３の実施の形態）この第３の実施の形態では、第２
の実施の形態で述べたゴムブッシュ２３の働きをパッド
支持部材１５自身に持たせるようにしたものである。

【００２９】この場合、図６（ａ）（ｂ）に示すように
ゴムなどの比較的柔らかく変形し易い弾性部材からなる
筒状のパッド支持部材１５は、先端部に吸盤１５１を形
成し、基端部側の周面の円周方向に沿って幅の狭い溝部
１５２を形成している。この場合、溝部１５２は、周面
のある点から直線状に形成してもよい。

【００３０】その他は、上述した図４と同様である。こ
の場合、ガラス基板１２に、たわみが生じたような場
合、このたわみがある程度進むと、吸着パッド１４の傾
きとともに、パッド支持部材１５の傾きも大きくなっ
て、溝部１５２の幅が狭まり、ついには、溝部１５２を
挟んだ両端部は、図６（ｂ）のように直接当接される。

【００３１】すると、この溝部１５２両端部の当接によ
り、パッド支持部材１５の溝部１５２部分でのバネ成分
に、溝部１５２両端部の当接によるバネ成分が並列に結
合されるようになって、この時点を境に吸着パッド１４
のたわみ方向のバネ定数は、上述した図５に似た急激な
増加特性が得られるので、この場合も第２の実施の形態
と同様な効果が得られる。

【００３２】また、ここでは、パッド支持部材１５に溝
部１５２を形成するようにしているで、第２実施の形態
と比べて加工箇所、部品点数を少なくでき、コスト的に
有利にできる。 （第４の実施の形態）図７は、本発明の第４の実施の形
態の概略構成を示している。

【００３３】この場合、基板載置台３１に段部３２１を
有する穴部３２を形成し、この穴部３２の段部３２１に
弾性を有するダイヤフラム３３を気密に取り付け、この
ダイヤフラム３３で仕切られた穴部３２下方を通気室３
２２に形成している。

【００３４】ダイヤフラム３３の中央部に連なる連通管
３４を介して吸着パッド３５を取り付けている。この吸
着パッド３５は、吸着部３５１を有し、この吸着部３５
１の中央部に連通管３４を介して通気室３２２に連通す
る穴部３５２を形成している。また、吸着パッド３５
は、ダイヤフラム３３に取り付けた状態で、載置台３１
面より上方に位置するようになっている。

【００３５】一方、穴部３２下方のを通気室３２２に
は、通気管３６を連通するとともに、電磁弁３７を介し
て真空ポンプ３８を接続し、この真空ポンプ３８でのエ
ア引きによるエア駆動力により、吸着パッド３５の吸着
部３５１にエア吸着力を得られるようにするとともに、
さらに通気室３２２の排気をも可能にしている。

【００３６】しかして、いま、図７（ａ）に示すように
吸着パッド３５の吸着部３５１が載置台３１面より上方
に位置している状態から、ガラス基板３９が載置された
場合、吸着パッド３５の吸着部３５１は、ダイヤフラム
３３の弾性により、図７（ｂ）に示すようにガラス基板
３９に多少の反りが存在していても、ガラス基板３９面
に添うように密着される。

【００３７】この状態から、電磁弁３７を開くと、真空
ポンプ３８から吸着パッド３５の吸部３５１までのエア
通路が確保され、真空ポンプ３８でのエア引きにより吸
着パッド３５の吸着部３５１へのガラス基板３９の吸着
が成立する（図７（ｂ））。

【００３８】さらに、真空ポンプ３８によりエア引きを
行うと、通気室３２２内の気圧が低下し、図７（ｃ）に
示すようにダイヤフラム３３が通気室３２２側にたわ
む。これにより吸着パッド３５の吸着部３５１は、下方
向に引き込まれるようになり、ガラス基板３９は、載置
台３１面と面一の状態で固定される。

【００３９】この場合、吸着部３５１の面積をＳ1 、ダ
イヤフラム３３の面積をＳ2 とし、真空ポンプ３８によ
り、これら吸着部３５１およびダイヤフラム３３にかか
る外気との差圧力をＰとすると、吸着部３５１に作用す
る吸着力はＳ1 ・Ｐで、ダイヤフラム３３に作用する引
張り力は、Ｓ2 ・Ｐとなる。これにより、Ｓ1 ・Ｐ＜Ｓ
2 ・Ｐとすると、ガラス基板３９を載置台３１面まで引
き込んだとき、ガラス基板３９が吸着部３５１から外れ
るおそれがあるので、Ｓ1 ・Ｐ＞Ｓ2 ・Ｐになるように
設定する必要がある。

【００４０】これにより、ガラス基板３９に多少の反り
などがあっても、ガラス基板３９に対する吸着パッド３
５の吸着部３５１の吸着を確実に行い、載置台３１上に
固定するようにできるので、ガラス基板３９に関する検
査を安定した状態で精度よく行うことができる。

【００４１】また、吸着部３５１によりガラス基板３９
を吸着した状態から、ダイヤフラム３３を通気室３２２
側にたわませてガラス基板３９を載置台３１上に固定す
るようにしているが、このダイヤフラム３３のたわみの
時点から吸着部３５１に対するダイヤフラム３３の弾性
が急激に変化され、上述した図５に似た特性が得られる
ので、この場合も第２の実施の形態と同様な効果が得ら
れる。

【００４２】その後、電磁弁３７を閉じると、真空ポン
プ３８から吸着パッド３５の吸着部３５１までのエア通
路が遮断され、吸着部３５１によるガラス基板３９の吸
着状態が解除される。次いで、ガラス基板３９を載置台
３１から取り除くと、ダイヤフラム３３とともに吸着パ
ッド３５も図７（ａ）の状態に自動復帰される。

【００４３】なお、図８に示すように、載置台３１上に
上述した図７の構成のものに、さらに複数の吸着溝４０
を配置し、これら吸着溝４０に通気管３６１を連通する
とともに、電磁弁３７１を介して真空ポンプ３８に接続
するようにして、最初に電磁弁３７を開いて上述したよ
うにガラス基板３９を載置台３１面まで引き込んだ後、
電磁弁３７１を開いて吸着溝４０にエア吸着力を作用さ
せるようにすれば、ガラス基板３９を効率的に吸着で
き、より強固にガラス基板３９を固定することができ
る。 （第５の実施の形態）図９は、本発明の第５の実施の形
態の概略構成を示すもので、図７と同一部分には同符号
を付している。

【００４４】この場合、載置台３１の穴部３２中に吸着
部３５１を有する吸着パッド３５をＯリング４１を介し
て上下動可能に設け、この吸着パッド３５下方の穴部３
２を通気室３２２に形成している。そして、吸着部３５
１中央部の穴部３５２を通気室３２２に連通している。

【００４５】そして、通気室３２２には、圧縮バネ４２
を設け、この圧縮バネ４２の弾性力により、吸着パッド
３５を上方向に押し上げるようにしている。しかして、
この場合も、吸着パッド３５は、圧縮バネ４２の弾性力
により載置台３１面より上方に位置されており、載置台
３１上にガラス基板３９が載置されると、このガラス基
板３９面に添うように密着される。この状態から、電磁
弁３７を開くと、真空ポンプ３８から吸着パッド３５の
吸着部３５１までのエア通路が確保され、真空ポンプ３
８でのエア引きにより吸着パッド３５の吸着部３５１へ
のガラス基板３９の吸着が成立する。

【００４６】この状態から、さらに真空ポンプ３８によ
りエア引きを行うと、通気室３２２内部が排気され、吸
着パッド３５は、圧縮バネ４２の弾性力に抗して下方向
に引き込まれるようになって、ガラス基板３９は、載置
台３１面と面一の状態で固定される（図９）。

【００４７】この場合、吸着部３５１の面積をＳ11、通
気室３２２の断面積をＳ12とし、真空ポンプ３８によ
り、これら吸着部３５１および通気室３２２にかかる外
気との差圧力をＰとすると、吸着部３５１に作用する吸
着力はＳ11・Ｐで、圧縮バネ４２に作用する引張り力
は、Ｓ12・Ｐとなる。これにより、Ｓ11・Ｐ＜Ｓ12・Ｐ
とすると、ガラス基板３９を載置台３１面まで引き込ん
だとき、ガラス基板３９が吸着部３５１から外れるおそ
れがあるので、Ｓ11・Ｐ＞Ｓ12・Ｐになるように設定す
る必要がある。

【００４８】このようにしても、第４の実施の形態と同
様な効果を期待できる。 （第６の実施の形態）図１０は、本発明の第６の実施の
形態の概略構成を示すもので、図７と同一部分には同符
号を付している。

【００４９】この場合、載置台３１の穴部３２中に吸着
パッド３５の吸着部３５１中央部の穴部３５２に連通す
るベローズ管４３を取り付け、このベローズ管４３に通
気管３６を連通し、さらに電磁弁３７を介して真空ポン
プ３８を接続している。また、この時のベローズ管４３
の弾性により吸着パッド３５を上方向に押し上げるよう
にしている。

【００５０】しかして、この場合も、吸着パッド３５
は、ベローズ管４３の弾性力により載置台３１面より上
方に位置されており、載置台３１上にガラス基板３９が
載置されると、このガラス基板３９面に添うように密着
される。この状態から、電磁弁３７を開くと、真空ポン
プ３８から吸着パッド３５の吸着部３５１までのエア通
路が確保され、真空ポンプ３８でのエア引きにより吸着
パッド３５の吸着部３５１へのガラス基板３９の吸着が
成立する。

【００５１】この状態から、さらに真空ポンプ３８によ
りエア引きを行うと、ベローズ管４３内部が排気され、
ベローズ管４３の圧縮方向の変形とともに、吸着パッド
３５は、下方向に引き込まれるようになって、ガラス基
板３９は、載置台３１面と面一の状態で固定される（図
１０）。

【００５２】この場合、吸着部３５１の面積をＳ21、ベ
ローズ管４３の断面積をＳ22とし、真空ポンプ３８によ
り、これら吸着部３５１およびベローズ管４３にかかる
外気との差圧力をＰとすると、吸着部３５１に作用する
吸着力はＳ21・Ｐで、ベローズ管４３に作用する引張り
力は、Ｓ22・Ｐとなる。これにより、Ｓ21・Ｐ＜Ｓ22・
Ｐとすると、ガラス基板３９を載置台３１面まで引き込
んだとき、ガラス基板３９が吸着部３５１から外れるお
それがあるので、Ｓ21・Ｐ＞Ｓ22・Ｐになるように設定
する必要がある。

【００５３】このようにしても、第４の実施の形態と同
様な効果を期待できる。なお、上述した第１乃至第６の
実施の形態では、一貫してガラス基板について述べた
が、ウェハなどの大型基板吸着にも適用することができ
る。また、第４の実施の形態では、吸着パッドを固定す
るための押え枠体を載置台１１の上面に取り付けるよう
にしたが、吸着パッドだけが載置台上面より突出するよ
うに押え枠体を載置台に埋め込むこともできる。

【００５４】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、基
板吸着部を有する吸着パッドは、弾性部材のパッド支持
部材による支持により、所定範囲で自由に動けるように
なっていて、基板の傾きに対してもパッド支持部材の変
形により、吸着部を吸着でき、さらにパッド支持部材の
弾性力により外れにくい状態で保持できるので、安定し
た状態での基板検査を実現できる。

【００５５】また、基板吸着部に基板を吸着した状態
で、弾性部材のバネ定数の急激な増加により基板の振動
を抑制できるので、顕微鏡を使用した基板検査の場合
に、顕微鏡像のブレや焦点ズレによるボケなどを確実に
防止でき、精度の高い検査を行うことができる。

【００５６】また、載置台上面より吸着パッドを突出さ
せ、この吸着パッドを弾性的に支持することにより、基
板に反りなどがあっても吸着部での吸着を確実に行うこ
とができ、基板に関する検査を安定した状態で精度よく
行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態の概略構成を示す
図。

【図２】第１の実施の形態に用いられる基板吸着部材の
概略構成を示す図。

【図３】第１の実施の形態に用いられる基板吸着部材の
概略構成を示す図。

【図４】本発明の第２の実施の形態に用いられる基板吸
着部材の概略構成を示す図。

【図５】第２の実施の形態を説明するための図。

【図６】本発明の第３の実施の形態に用いられる基板吸
着部材を構成するパッド支持部材の概略構成を示す図。

【図７】本発明の第４実施の形態の概略構成を示す図。

【図８】第４実施の形態の概略構成を示す図。

【図９】本発明の第５実施の形態の概略構成を示す図。

【図１０】本発明の第６実施の形態の概略構成を示す
図。

【図１１】従来の基板吸着装置の一例の概略構成を示す
図。

【図１２】載置台上のガラス基板の状態を説明するため
の図。

【符号の説明】

１１…載置台、 １１１…吸着パッド取付け部、 １１２…溝部、 １１３…穴部、 １２…ガラス基板、 １３…基板吸着部材、 １４…吸着パッド、 １４１…吸着部、 １４２…穴部、 １４３…段部、 １５…パッド支持部材、 １５１…吸盤、 １５２…溝部、 １６…間隙、 １７…間隙、 １８…押え枠体、 １８１…穴部、 １９…通気管、 ２０…電磁弁、 ２１…真空ポンプ、 ２２…間隙、 ２３…ゴムブッシュ、 ３１…載置台、 ３２…穴部、 ３２２…通気室、 ３３…ダイヤフラム、 ３４…連通管、 ３５…吸着パッド、 ３５１…吸着部、 ３６…通気管、 ３７…電磁弁、 ３８…真空ポンプ、 ３９…ガラス基板、 ４１…Ｏリング、 ４２…圧縮バネ、 ４３…ベローズ管。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板吸着部を有する中空の吸着パッド
   と、 この吸着パッドを弾性的に支持する弾性部材からなるパ
   ッド支持部材と、 前記吸着パッドの所定範囲での動きを可能にして該吸着
   パッドを固定部材に取付ける取付け手段とを具備したこ
   とを特徴とする基板吸着部材。
2. 【請求項２】 前記取付け部材は、前記吸着パッドの動
   きを制限する弾性部材を有することを特徴とする請求項
   １記載の基板吸着部材。
3. 【請求項３】 基板を載置する載置台と、 この載置台上に配置され、エア吸着力を発生する基板吸
   着部を有する吸着パッドと、 この吸着パッドを支持するとともに、前記吸着パッドを
   前記載置台面より上方に位置させる弾性を有する支持部
   材と、 前記吸着パッドの基板吸着部にエア吸着力を発生させる
   エア制御手段とを具備したことを特徴とする基板吸着装
   置。