KR20070037563A - 매크로 검사 장치 및 매크로 검사 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 매크로 검사 장치에 관한 것으로서, 검사를 받는 기판을 지지하는 기판 홀더와, 상기 기판에 조명광을 조사하는 매크로 조명 광학계와, 상기 기판 홀더를 지지하는 동시에 상기 기판이 상기 조명광으로 비추어진 상태에서 상기 기판 홀더의 자세를 제어하는 기판 홀더 구동 기구와, 상기 기판 홀더 사이에서 상기 기판의 수도(受渡)를 행하는 기판 반송(搬送) 기구와, 상기 기판 홀더 상에 수도된 상기 기판에 대하여 에어의 분사를 행함으로써, 상기 기판을 상기 기판 홀더 상으로부터 떠오르게 하는 기판 부상(浮上) 기구와, 이 기판 부상 기구에 의해 부상 상태에 있는 상기 기판을 상기 기판 홀더 상의 기준 위치에 위치 결정하는 기판 위치 결정 기구와, 이 기판 위치 결정 기구에 의해 위치 결정된 상기 기판을 상기 기판 홀더에 고정하는 기판 고정 기구를 구비한다.

매크로 검사 장치, 기판, 조명광, 기판 홀더, 위치 결정.

Description

매크로 검사 장치 및 매크로 검사 방법{MACRO INSPECTION APPARATUS AND MACRO INSPECTION METHOD}

본 발명은 유리 기판 등의 대형 기판의 외관 검사에 사용되는 매크로 검사 장치와, 이 매크로 검사 장치를 사용한 매크로 검사 방법에 관한 것이다.

본 출원은 일본국 특원 2004-279990호와, 일본국 특원 2004-279991호와, 일본국 특원 2004-279992호를 기초 출원으로 하고, 그들의 내용을 수용하는 것으로 한다.

액정 디스플레이(LCD) 등의 플랫 패널 디스플레이(FPD)의 제조 공정에서는, 각 제조 공정에서 제조되는 투명 기판(예를 들면, 마스터 유리 기판. 이후, 단지 유리 기판이라고 함)의 외관을 육안 관찰로 검사(매크로 검사)하는 검사 공정이 있다. 이 검사 공정에서는, 유리 기판을 지지한 기판 홀더를 소정 각도로 기립한 상태에서 윗쪽으로부터 매크로 조명광을 조사(照射)함으로써 동 유리 기판 상의 결함 검사를 가능하게 하는 기판 외관 검사 장치가 사용된다.

일본국 특개평 7(1995)-306153호 공보에 기재된 매크로 검사 장치는 직사각형의 유리 기판보다 약간 작은 개구부를 가지는 직사각형 프레임형의 프레임으로 이루어지는 기판 홀더와, 이 기판 홀더를 관찰자 측을 향하도록 소정 각도로 기립 하기 위한 상하 방향의 회전, 및 기판 홀더를 요동 또는 반전시키기 위한 좌우 방향의 회전을 가능하게 하는 2축 회전 기구를 구비하고 있다. 이 매크로 검사 장치에서는, 기판 홀더의 상면에서, 기판 배면의 주위부를 지지한다. 기판 홀더의 상면에는, 유리 기판을 협지(挾持)하여 위치 결정하는 정렬 기구가 설치되어 있다. 이 정렬 기구는 기판 홀더의 직사각형 개구부의 서로 인접하는 2변에 따라 고정되는 유리 기판의, 서로 인접하는 2변의 기준 위치를 규제하는 복수개의 기준 핀과, 이들 기준 핀과 대향하고, 기판 홀더의 직사각형 개구부의 서로 인접하는 다른 2변에 따라 설치되고, 상기 각 기준 핀 측으로 이동 가능한 가압 핀을 구비하고 있다. 기판 홀더 상에 유리 기판을 탑재한 상태에서, 각 가압 핀을 유리 기판측으로 가압함으로써, 유리 기판의 2변이 각각의 기준 핀에 가압되고, 그 결과, 기판 홀더 상의 기준 위치에 위치 결정된다.

일본국 특개평 11(1999)-94752호 공보에 기재된 매크로 검사 장치는 유리 기판을 지지하는 기판 홀더와, 상기 기판 홀더의 중앙부에 연결된 밀어 올리기 구동부를 구비하고, 기판 홀더의 전단부와 후단부를 바꿔 잡음으로써, 기판 홀더를 표면 측 또는 배면 측으로 회동시키고 있다. 이 매크로 검사 장치에서는, 기판 홀더를 표면 측으로 회동시키는 동시에 윗쪽으로부터 매크로 조명을 행함으로써 표면의 육안 관찰을 행하고, 배면 측으로 회동시키는 동시에 백라이트 조명을 행함으로써 배면의 육안 관찰을 행할 수 있다.

일본국 특개평 8(1996)-125004호 공보에 나타내는 매크로 검사 장치는 FPD용 유리 기판(2000mm)과 비교하여 200mm, 300mm로 매우 작은 웨이퍼 기판을 육안 관찰 로 검사하기 위한 검사 장치이다. 이 매크로 검사 장치는 베이스에 수평 방향으로 회전 가능하게 연결된 암의 선단에 트위스트 회전 가능한 손목부를 구비한 로봇을 구비하고 있다. 상기 손목부의 선단에는, 웨이퍼 기판을 파지(把持)하여 자전(自轉)하는 웨이퍼 홀더가 장착되어 있다. 웨이퍼 출입기에 의해 반송된 웨이퍼 기판의 주위를 웨이퍼 홀더로 파지하고, 손목부를 트위스트 회전시킴으로써 웨이퍼 기판을 표면 측 또는 배면 측으로 자전시켜 자세 제어함으로써, 웨이퍼 기판의 위치 결정과 그 표리면(表裏面)의 육안 관찰을 할 수 있다.

그러나, FPD용 매크로 검사 장치에 있어서는, 기판 사이즈가 해마다 대형화되고, 현재는 한 변이 2000mm를 넘어 3000mm에 가까운 유리 기판이 출현하고 있다. 유리 기판의 대형화에 따라 기판 홀더도 대형화할 필요가 있지만, 기판 홀더가 대형화되면, 기판 홀더를 회전ㆍ요동시키는 기판 홀더 구동 기구에 걸리는 부하(負荷)가 커진다고 하는 문제가 있었다. 특히, 기판 홀더 구동 기구로서 다관절 암 로봇을 사용하고, 이 다관절 암 로봇에 의해 기판 홀더를 캔틸레버로 지지하고, 기판 홀더를 소정 각도로 기립시켜 육안 관찰로 검사하는 매크로 검사 장치를 실현하려고 한 경우, 다관절 암 로봇에 큰 부하가 가해지기 때문에 실현이 곤란했다. 또, 기판 홀더의 사이즈가 커지면, 기판 홀더를 요동시키기 위한 스페이스도 크게 할 필요가 있으므로, 장치가 대형화된다고 하는 문제가 있었다.

본 발명은 상기 사정을 감안하여 이루어진 것이며, 기판 홀더를 회전ㆍ요동시키는 기판 홀더 구동 기구에 걸리는 부담을 저감하는 것을 목적으로 한다. 또, 장치의 대형화를 방지하는 것도 목적으로 한다.

또, 종래의 매크로 검사 장치에서는, 기판 홀더의 한 변에 회동축(回動軸)을 설치하여 캔틸레버 지지하고 있기 때문에, 기판 홀더의 대형화에 따라, 무거운 기판 홀더를 회동시켜 정지시킬 때, 기판 홀더의 선단부가 크게 진동하여 버리는 문제가 생긴다. 기판 홀더의 정지 시에 진동이 발생하면, 정지(靜止)하기까지 상당한 시간을 요한다. 그러므로, 기판 홀더가 정지할 때까지, 반송 장치에 의한 기판의 수도(受渡)를 할 수 없게 되어, 대기 시간이 증가한 만큼, 검사에 필요한 택트 타임이 증가하여 버린다고 하는 문제가 생긴다. 특히, 다관절 암 로봇에 의해 기판 홀더를 캔틸레버 지지하는 매크로 검사 장치를 실현하려고 한 경우, 다관절 암 로봇에 의해 기판 홀더를 기판의 수도 위치에 정지시킬 때, 기판 홀더의 선단부에 큰 회전 모멘트가 가해져 기판 홀더가 진동하기 때문에 실현이 곤란했다.

본 발명은 상기 사정을 감안하여 이루어진 것이며, 기판 홀더 구동 기구에 의해 회전 가능ㆍ요동 가능하게 지지된 기판 홀더를 기판의 수도 위치에 신속하게 정지 시킴으로써 기판의 수도 원활화를 도모하고, 택트 타임을 단축하여 검사의 효율화를 도모하는 것을 목적으로 한다. 또, 기판 홀더 상에 있어서의 기판의 위치 결정을 신속하게 행함으로써, 택트 타임을 단축하여 검사의 효율화를 도모하는 것도 목적으로 한다.

또, 기판 홀더의 자세를 자유롭게 제어할 수 있도록, 다관절 암 로봇으로 기판 홀더를 캔틸레버로 지지하는 매크로 검사 장치의 실용화가 진행되고 있다. 웨이퍼 기판과 같이 소형이며 경량인 기판에서는, 상기 일본국 특개평 8(1996)-125004호 공보에 나타낸 바와 같이, 기판 홀더를 캔틸레버 지지했다고 해도, 기판 홀더의 정지 시에 있어서의 기판 홀더의 진동에 의한 영향도 적고, 또 연결 개소에 가해지는 부하도 작기 때문에, 문제없이 취급할 수 있다. 그러나, FPD용 대형 유리 기판을 지지하는 기판 홀더는 대형ㆍ중량화 경향에 있다. 따라서, 상기 기판 홀더를 캔틸레버 지지하는 다관절 암 로봇을 사용하여 기판 홀더를 다(多)방향으로 자세 제어하려고 하면, 다관절 암 로봇의 암과 기판 홀더의 연결부로부터 기판 홀더 선단까지의 거리가 기판 사이즈에 비례하여 길어지기 때문에, 기판 홀더의 선단 측으로 크게 밸런스가 치우쳐, 정지 시의 회전 모멘트에 의해 기판 홀더가 크게 진동하는 동시에 암과 기판 홀더와의 연결부에 큰 부하가 가해진다고 하는 문제가 새로이 생긴다.

이와 같은 각종의 문제 때문에, 다관절 암 로봇을 사용한 매크로 검사 장치를 용이하게 실현될 수 없었다.

본 발명은 상기 사정을 감안하여 이루어진 것으로서, 기판 홀더를 이동시키는 기판 홀더 구동 기구(다관절 암 로봇을 구비한 검사용 로봇)의 구동부로의 부담을 경감하고, 다관절 암 로봇을 사용한 매크로 검사 장치를 실현하는 것을 목적으로 한다.

상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 이하의 수단을 채용했다.

즉, 본 발명의 매크로 검사 장치는 검사를 받는 기판을 지지하는 기판 홀더와, 상기 기판에 조명광을 조사하는 매크로 조명 광학계와, 상기 기판 홀더를 지지하는 동시에 상기 기판이 상기 조명광으로 비추어진 상태에서 상기 기판 홀더의 자세를 제어하는 기판 홀더 구동 기구와, 상기 기판 홀더 사이에서 상기 기판의 수도를 행하는 기판 반송 기구와, 상기 기판 홀더 상에 수도된 상기 기판에 대하여 에어의 분사를 행함으로써, 이 기판을 상기 기판 홀더 상으로부터 떠오르게 하는 기판 부상(浮上) 기구와, 이 기판 부상 기구에 의해 부상 상태에 있는 상기 기판을 상기 기판 홀더 상의 기준 위치에 위치 결정하는 기판 위치 결정 기구와, 이 기판 위치 결정 기구에 의해 위치 결정된 상기 기판을 상기 기판 홀더에 고정하는 기판 고정 기구를 구비한다.

이 매크로 검사 장치에서는, 기판 수도 위치에 대기하고 있는 기판 홀더에 대하여, 기판 반송 기구가 기판을 탑재한다. 이와 같이 하여 탑재된 기판은 기판 부상 기구의 에어의 분사에 의해 기판 홀더 상으로부터 떠오른다. 그리고, 이 부상 상태에 있는 기판을 기판 위치 결정 기구에 의해 기준 위치에 위치 결정한 후, 기판 고정 기구에 의해 고정한다. 이와 같이 하여 기판 홀더 상으로의 기판의 고정이 완료된 후, 기판 홀더 구동 기구에 의해 기판 홀더의 자세 제어를 행함으로써, 관찰자가 매크로 관찰을 행하기 쉽도록 기판의 이동 제어를 행한다. 따라서, 이 매크로 검사 장치에 의하면, 기판 홀더 상에 있어서의 기판의 위치 결정을 신속하게 행할 수 있으므로, 택트 타임을 단축하여 검사의 효율화를 도모하는 것이 가능하게 된다.

상기 기판 홀더 구동 기구가 다관절 암 로봇을 구비해도 된다.

상기 기판 위치 결정 기구가 상기 기판 홀더 이외의 위치에 설치되어 있어도 된다.

이 경우, 기판 위치 결정 기구가 기판 홀더에 설치되어 있지 않은 분 만큼, 기판 홀더를 소형화, 경량화시킬 수 있다. 따라서, 기판 홀더의 이동을 신속하게 행할 수 있게 되어, 검사 시간을 단축할 수 있다. 또, 기판 홀더의 자세를 제어하는 기판 홀더 구동 기구를 소형화할 수 있어, 매크로 검사 장치 전체를 소형화, 경량화할 수 있다.

상기 기판 위치 결정 기구가 상기 기판을 그 주위로부터 협지함으로써, 상기 위치 결정을 행하도록 해도 된다.

상기 기판 위치 결정 기구가 상기 기준 위치에 달했을 때의 상기 기판에 맞닿는 위치에 고정된 위치 결정 부재와, 상기 기판을 상기 위치 결정 부재를 향해 가압하는 가압 장치를 구비해도 된다.

상기 기판 홀더에 상기 기판 위치 결정 기구 사이의 간섭을 피하는 제1 노치를 형성해도 된다.

이 경우, 기판 위치 결정 기구가 기판을 지지하기 쉽게 하기 위해, 기판 위치 결정 기구의, 기판을 지지하는 지지부의 크기를 크게 해도, 이 지지부가 기판 홀더에 형성된 제1 노치에 의해 기판 홀더에 간섭하는 것을 회피할 수 있다.

상기 기판 위치 결정 기구가 상기 기판 홀더 상에 설치되어 상기 기준 위치에 달했을 때의 상기 기판에 맞닿는 위치에 고정된 위치 결정 부재와, 상기 기판 홀더 이외의 위치에 설치되어 상기 기판을 상기 위치 결정 부재를 향해 가압하는 가압 장치를 구비해도 된다.

이 경우, 기판 수도 위치에 대기시킨 기판 홀더 상에 기판 홀더를 탑재하고, 그 후, 가압 장치에 의해 기판을 위치 결정 부재에 가압함으로써, 기판을 기준 위치에 위치 결정할 수 있다. 또한, 가압 장치는 기판 홀더 외에 설치되어 있으므로, 가압 장치를 기판 홀더에 설치하는 경우와 비교하여 기판 홀더를 경량화할 수 있다. 그 결과, 기판 홀더 구동 기구에 걸리는 부하(즉, 기판 홀더의 회전 모멘트)를 저감시킬 수 있다. 따라서, 기판 홀더 구동 기구를 소형화할 수 있으므로, 매크로 검사 장치 전체의 소형화도 도모할 수 있다.

상기 기판 부상 기구에 의해 상기 기판을 상기 기판 홀더로부터 부상시킨 상태에서, 상기 기판 홀더 구동 기구에 의해 상기 기판 홀더를 경사지게 했을 때, 상기 기판 홀더의 경사에 따라 이동하는 상기 기판이 상기 기준 위치에 달했을 때 맞닿는 위치 결정 부재를 상기 기판 위치 결정 기구에 구비해도 된다.

이 경우, 수도 위치에서 기판을 기판 홀더로 받은 후, 기판 부상 기구에 의한 에어의 분사에 의해 기판을 기판 홀더 상으로부터 떠오르게 한 상태에서, 기판 홀더를 기판 홀더 구동 기구에 의해 경사지게 한다. 그러면, 기판 홀더의 경사에 따라 기판이 자중(自重)에 의해 이동하고, 위치 결정 부재에 접촉함으로써 그 이동이 정지되어 기준 위치로의 위치 결정이 완료된다. 이와 같이, 기판 홀더 상에서의 위치 결정을 위해 기판을 이동시키는 구성 요소를 생략할 수 있다.

상기 기판 홀더를 정면에서 본 경우의 외형 치수를, 상기 기판을 정면에서 본 경우의 외형 치수보다 작게 해도 된다.

이 경우, 기판 위치 결정 기구가 기판을 지지하기 쉽게 하기 위해, 기판 위치 결정 기구의, 기판을 지지하는 지지부의 크기를 크게 해도, 이 지지부가 기판 홀더에 간섭하는 것을 회피할 수 있다.

상기 기판 반송 기구 사이에 있어서의 상기 기판의 수도 위치로 이동한 상기 기판 홀더를 정지시키는 정지 기구를 추가로 구비해도 된다.

이 경우, 상기 수도 위치로 이동한 기판 홀더를 미리 대기하고 있는 정지 기구에 의해 정지시키므로, 기판 홀더를 캔틸레버 지지 상태에서 상기 수도 위치에 단순하게 정지시킨 경우와 비교하여, 기판 홀더의 요동을 억제, 또는 방지할 수 있다. 그 결과, 기판 홀더를 소정 위치에서 극히 신속하게 정지시킬 수 있으므로, 기판 수도 위치에 있어서의 기판의 수도 동작을 신속하게 행하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 기판 검사에 불필요한 로스타임을 삭감할 수 있고, 기판 검사의 택트 타임을 대폭 단축하여 검사의 효율화를 도모할 수 있다.

상기 정지 기구가 상기 수도 위치에 달했을 때의 상기 기판 홀더에 맞닿아 상기 기판 홀더의 진동을 감쇠시키는 탄성체를 구비해도 된다.

상기 정지 기구가, 축선이 기판 홀더에 대략 수직을 이루도록 정위치(定位置)에 고정된 스프링을 추가로 구비하고, 이 스프링 상에 상기 탄성체를 설치해도 된다.

상기 기판 홀더의 측부에 제2 노치를 형성하고, 상기 정지 기구에 상기 수도 위치에 달했을 때의 상기 기판 홀더의 상기 제2 노치에 거는 걸림부를 구비하게 해도 된다.

상기 정지 기구가 상기 수도 위치에 달했을 때의 상기 기판 홀더를 협지하는 협지 수단을 구비해도 된다.

상기 정지 기구가 상기 수도 위치에 달했을 때의 상기 기판 홀더를 받아들이는 오목부를 가지는 동시에 상기 기판이 상기 수도 위치로 향하는 방향을 따라 회동하는 회동 부재와, 이 회동 부재에 받아들여진 상기 기판 홀더가 상기 수도 위치에 달했을 때의 회전 위치에 상기 회동 부재를 정지시키는 회동 규제 부재를 구비해도 된다.

상기 정지 기구가 상기 수도 위치에 달한 상기 기판 홀더를 받아내는 캐치(catch) 위치와, 이 캐치 위치로부터 이격된 대피 위치 사이에서 이동하도록 해도 된다.

이 경우, 검사 실시 중인 기판 홀더가 정지 기구와 간섭하는 것을 확실하게 회피할 수 있다.

그리고, 상기 정지 기구가 상기 캐치 위치 및 상기 대피 위치 사이를 수평 이동하도록 해도 된다.

또는, 상기 정지 기구가 상기 캐치 위치 및 상기 대피 위치 사이를 회전 이동하도록 해도 된다.

상기 기판 홀더 구동 기구가 상기 기판 홀더의 한 변을, 상기 한 변에 평행한 제1 축선 주위에 상기 기판 홀더가 회동 가능하도록 지지하고, 상기 제1 축선을 회전 중심으로 하여 상기 기판 홀더의 위치와는 반대측에 위치하는 웨이트가 상기 기판 홀더에 설치되도록 해도 된다.

이 경우, 제1 축선을 회전 중심으로 하여, 기판 홀더와 웨이트가 어울리기 때문에, 웨이트를 구비하지 않은 경우와 비교하여, 기판 홀더 구동 기구에 걸리는 부하(즉, 기판 홀더의 회전 모멘트)를 저감시킬 수 있다. 그 결과, 기판 홀더 구동 기구를 소형화할 수 있으므로, 매크로 검사 장치 전체의 소형화도 도모할 수 있다. 또, 기판 홀더 구동 기구로서 다관절 암 로봇을 채용하는 것도 가능하게 된다.

상기 홀더 구동 기구가 상기 기판 홀더를 상기 제1 축선으로 직교하는 동시에 상기 기판 홀더가 이루는 평면에 평행한 제2 축선 주위로 회동 가능하게 지지하고, 상기 기판 홀더의 중심 위치와, 상기 제1 축선 및 상기 제2 축선 사이의 교점과, 상기 웨이트의 중심(重心) 위치가 대략 일직선 상에 배치되도록 해도 된다.

이 경우, 제1 축선 회전의 모멘트 밸런스와, 제2 축선 회전의 모멘트 밸런스를 조정할 수 있으므로, 기판 홀더 구동 기구에 걸리는 부하(즉, 기판 홀더의 회전 모멘트)를 저감시킬 수 있다. 그 결과, 기판 홀더 구동 기구를 확실하게 소형화할 수 있으므로, 매크로 검사 장치 전체의 소형화도 도모할 수 있다.

상기 홀더 구동 기구가 상기 기판 홀더를 상기 제1 축선으로 직교하는 동시에 상기 기판 홀더가 이루는 평면에 평행한 제2 축선 주위로 회동 가능하게 지지하고, 상기 웨이트가 상기 제2 축선을 사이에 끼워 서로 접근하도록 한 쌍 설치하도록 해도 된다.

이 경우, 한 쌍의 웨이트를 제2 축선을 사이에 끼워 서로 접근하도록 설치하므로, 제2 축선 회전의 회전 모멘트를 작게 할 수 있다.

본 발명의 매크로 검사 방법은 검사를 받는 기판의 수도 위치에 기판 홀더를 정지시키는 기판 홀더 정지 스텝과, 상기 기판 홀더 상에 상기 기판을 탑재하는 기판 탑재 스텝과, 상기 기판에 대하여 에어를 분사하여 상기 기판을 상기 기판 홀더 상으로부터 떠오르게 하는 기판 부상 스텝과, 부상 상태에 있는 상기 기판을 상기 기판 홀더 상의 기준 위치에 위치 결정하는 기판 위치 결정 스텝과, 상기 기판 위치 결정 스텝 후의 상기 기판을 상기 기판 홀더에 고정하는 기판 고정 스텝을 가진다.

이 매크로 검사 방법에 의하면, 기판 홀더 상에 있어서의 기판의 위치 결정을 신속하게 행할 수 있으므로, 택트 타임을 단축하여 검사의 효율화를 도모하는 것이 가능하게 된다.

그리고, 상기 기판 위치 결정 스텝에서는, 상기 기판을 그 주위로부터 협지함으로써, 상기 위치 결정을 행해도 된다.

상기 기판이 상기 기준 위치에 달했을 때 맞닿는 위치 결정 부재를 상기 기판 홀더에 설치하고, 상기 기판 위치 결정 스텝에서, 부상 상태의 상기 기판을 상기 위치 결정 부재에 접촉시키도록 상기 기판 홀더를 경사지게 해도 된다.

이 경우, 기판 홀더를 기판 홀더 구동 기구에 의해 경사지게 하면, 기판 홀더의 경사에 따라 기판이 이동하고, 위치 결정 부재에 접촉함으로써 그 이동이 정지되어 기준 위치로의 위치 결정이 완료된다. 이와 같이, 기판 홀더 상에서의 위치 결정을 위해 기판을 이동시키는 구성 요소를 생략할 수 있다.

상기 기판 홀더 정지 스텝에서, 상기 수도 위치로 이동한 상기 기판 홀더의 진동을 감쇠시킴으로써, 상기 기판 홀더를 정지시켜도 된다.

이 경우, 상기 수도 위치로 이동한 기판 홀더의 진동을 감쇠시킴으로써 기판 홀더를 정지시키므로, 기판 홀더를 캔틸레버 지지 상태에서 상기 수도 위치에 단순하게 정지시킨 경우와 비교하여, 극히 신속하게 정지시킬 수 있다. 따라서, 기판 수도 위치에 있어서의 기판의 수도 동작을 신속하게 행하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 기판 검사에 불필요한 로스타임을 삭감할 수 있고, 기판 검사의 택트 타임을 대폭 단축하여 검사의 효율화를 도모할 수 있다.

상기 기판 홀더 정지 스텝에서, 상기 수도 위치로 이동한 상기 기판 홀더를 협지함으로써, 상기 기판 홀더를 정지시켜도 된다.

상기 기판 홀더 정지 스텝에서, 상기 수도 위치로 이동한 상기 기판 홀더를 정위치에 걸리게 함으로써, 상기 기판 홀더를 정지시켜도 된다.

상기 기판 홀더의 회전 모멘트를 이 회전 모멘트와 어울리는 회전 모멘트를 발생시키는 웨이트에 의해 상쇄해도 된다.

이 경우, 기판 홀더에 의한 회전 모멘트와 웨이트에 의한 회전 모멘트가 균형이 잡히기 때문에, 웨이트를 구비하지 않은 경우와 비교하여, 기판 홀더의 자세 제어를 행하기 위한 구동 기구에 걸리는 부하(즉, 기판 홀더의 회전 모멘트)를 저감시킬 수 있다. 그 결과, 상기 구동 기구를 소형화할 수 있으므로, 매크로 검사 장치 전체의 소형화도 도모할 수 있다. 또, 구동 기구로서 다관절 암 로봇을 채용하는 것도 가능하게 된다.

본 발명의 매크로 검사 장치 및 매크로 검사 방법에 의하면, 기판 홀더 상에 있어서의 기판의 위치 결정을 신속하게 행할 수 있으므로, 택트 타임을 단축하여 검사의 효율화를 도모하는 것이 가능하게 된다.

또, 본 발명에 의하면, 예를 들면, 기판 위치 결정 기구를 기판 홀더 이외의 위치에 설치한 경우, 기판 위치 결정 기구가 기판 홀더에 설치되어 있지 않은 분 만큼, 기판 홀더를 소형화, 경량화할 수 있다. 따라서, 기판 홀더 구동 기구에 걸리는 부담을 저감할 수 있으므로, 기판 홀더 구동 기구를 소형화할 수 있어, 매크로 검사 장치 전체를 소형화, 경량화할 수 있다.

또, 본 발명에 의하면, 전술한 바와 같이, 기판 홀더 구동 기구에 걸리는 부담을 저감할 수 있으므로, 구동 기구로서 다관절 암 로봇을 사용한 매크로 검사 장치를 실현하는 것이 가능하게 된다.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 관한 매크로 검사 장치의 개략 구성을 나타낸 측면도이다.

도 2는 동 매크로 검사 장치에 구비되어 있는 기판 홀더가 수평 위치에 있을 때의 평면도를 나타낸 도면으로서, 도 1의 II-II선 화살표 도면이다.

도 3은 동 매크로 검사 장치에 구비되어 있는 기판 지지부를 도 2의 III-III선, IV-IV선에 따라 본 단면도이다. 지면(紙面) 우측도는 흡착부의 위치에 있어서의 기판 지지부의 단면도, 지면 좌측도는 지지핀의 위치에 있어서의 기판 지지부의 단면도를 나타낸다.

도 4는 동 매크로 검사 장치의 도 1에 상당하는 도면으로서, 리프트 핀을 상승시켜 기판을 지지시킨 상태를 나타내는 측면도이다.

도 5는 동 매크로 검사 장치에 구비되어 있는 반송용 로봇을 나타낸 평면도 이다

도 6은 본 발명의 제2 실시예에 관한 매크로 검사 장치의 주요부를 나타낸 도면으로서, 도 2에 상당하는 평면도이다.

도 7은 본 발명의 제3 실시예에 관한 매크로 검사 장치의 주요부를 나타낸 도면으로서, 정지 기구에 의해 지지된 기판 홀더의 측면도이다.

도 8은 동 정지 기구의 다른 예를 설명하는 측면도이다.

도 9는 동 정지 기구의 다른 예를 설명하는 측면도이다.

도 10은 동 정지 기구의 다른 예를 설명하는 측면도이다.

도 11은 동 정지 기구의 다른 예를 설명하는 측면도이다.

도 12는 동 정지 기구의 다른 예를 설명하는 측면도이다.

도 13은 동 정지 기구의 다른 예를 설명하는 측면도이다.

도 14는 동 매크로 검사 장치의 기판 홀더의 다른 예를 나타낸 도면으로서, 도 2에 상당하는 평면도이다.

도 15는 동 기판 홀더의 측면도이다.

도 16은 본 발명의 제4 실시예에 관한 매크로 검사 장치의 기판 홀더를 나타낸 도면으로서, 도 2에 상당하는 평면도이다.

도 17은 동 기판 홀더의 측면도이다.

도 18은 동 기판 홀더의 다른 예를 설명하는 평면도이다.

도 19는 동 기판 홀더의 다른 예를 설명하는 평면도이다.

도 20은 동 기판 홀더의 측면도이다.

도 21은 동 기판 홀더의 다른 예를 설명하는 평면도이다.

도 22는 동 기판 홀더의 측면도이다.

[도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명]

1: 매크로 검사 장치 3: 광원(매크로 조명 광학계)

6, 81: 기판 홀더 7e: 걸어맞춤 홈(제2 노치)

9, 11, 84: 흡착부(기판 고정 기구) 15: 검사용 로봇(기판 홀더 구동 기구,

다관절 암 로봇) 20: 정렬 수단(기판 위치 결정 기구)

21: 실린더(가압 장치) 28: 반송용 로봇(기판 반송 기구)

42a, 42b: 기준 핀(위치 결정 부재) 43a, 43b: 노치(제1 노치)

50: 정지 기구 52: 탄성체

55: 진동 감쇠부(스프링) 56: 걸어맞춤 핀(걸림부)

61, 62: 고정 브래킷, 가동 브래킷(협지 수단)

72: 접촉부(회동 부재) 74: 스토퍼 핀(회동 규제 부재)

90: 밸런스 웨이트(웨이트) W: 기판

X: 연결축(제1 축선) Y: 중심축(제2 축선)

본 발명의 매크로 검사 장치의 각 실시예를 도면을 참조하면서 이하에 설명한다.

[제1 실시예]

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 관한 매크로 검사 장치의 개략 구성을 나타낸 측면도이다.

매크로 검사 장치(1)는 클린 룸 내에 배치되며, 상면 및 하면이 개방된 공간의 주위를 둘러싸는 측벽을 가지는 장치 본체(2)를 구비한다. 이 장치 본체(2)의 상면에는, 장치 본체(2) 내의 클린도를 높이기 위한 필터(도시 생략)가 장착되어 있다. 또, 장치 본체(2)의 상부에는, 매크로 조명 광학계로서, 예를 들면, 메탈 할로이드 램프나 나트륨 램프 등의 매크로 조명용 광원(3)과, 이 광원(3)으로부터 출사되는 조명광의 광축 상에 설치된 반사 미러(4)가 설치되어 있다. 반사 미러(4)의 아래쪽에는, 광원(3)으로부터의 조명광을 수속(收束)시켜 기판 W에 인도하는 프레넬 렌즈(Fresnel lens)(5)가 배치되어 있다. 프레넬 렌즈(5)는 광원(3)으로부터의 발산광을 수속광으로 한다. 또한, 광원(3)으로부터의 발산광을 균일한 면광원(面光源)으로 변경하는 산란 기능을 가지는 투과형 액정 산란판이, 프레넬 렌즈(5)에 근접하여 배치되어 있다. 매크로 조명 광학계는 액정 디스플레이나 플라즈마 디스플레이 등 투명 기판의 전체를 일괄 조명해도 되고, 또 부분적으로 조명하고, 조명광을 1차원 방향 또는 이차원 방향으로 주사시키도록 해도 된다.

기판 W는 투명한 평판으로 이루어지는 플랫 패널 디스플레이(FPD)용 투명 기판으로, 기판 반송 장치(반송 로봇)에 의해, 도 1 중에 가상선으로 나타낸 바와 같이, 수평으로 배치된 기판 홀더(6) 상에 반입된다. 매크로 검사 장치로 검사되는 투명 기판으로서는, FPD용 직사각형 패널을 복수개 제조할 수 있는 다면(多面)따기의 마스터 유리 기판이 있으며, 외형이 직사각형으로 형성되고, 주위 에지보다 약 간 내측에 직사각형의 패턴 영역이 형성되어 있다. 이하, 기판 주위와 직사각형 패턴 사이를 「기판의 주위부」라고 한다.

도 2에 나타낸 바와 같이, 기판 홀더(6)는 기판 W의 외형보다 작은 직사각형의 개구부(8)가 형성된 직사각형 프레임형의 홀더 본체(7)를 가진다. 홀더 본체(7)는 서로 평행한 한 쌍의 장변부(7a, 7b) 각각의 양단부가 한 쌍의 단변부(7c, 7d)에 의해 연결됨으로써, 개구부(8)를 형성하고 있다. 개구부(8)의 크기는 기판 W의 외형 치수보다 작고, 상기 직사각형 패턴 영역보다 약간 큰 직사각형 치수로 형성되어 있다. 그리고, 홀더 본체(7)의 내주 측 주위부에서, 기판 W의 배면 주위부를 지지한다. 홀더 본체(7)의 내주 측 주위부에서 기판 W와 겹치는 영역에는, 흡착부(기판 고정 기구)(9)가 소정 간격을 두고 복수개 설치되어 있다. 이들 흡착부(9)는 홀더 본체(7)의 상면보다 약간 돌출되어, 흡착 시에 홀더 본체(7)의 상면과 대략 면일치되도록 설정된 흡착 패드와, 이 흡착 패드에 형성된 관통 구멍에 통기관(通氣管)을 통해 접속된 흡인용 유체 펌프로 구성되어 있다(이상, 도시 생략).

흡착부(9)에는, 기판 W의 위치 결정 시 기판 W를 에어의 분사에 의해 부상시켜 기판 홀더(6)에 대한 접촉 저항(마찰 저항)을 저감시키는 기판 부상 수단으로서, 예를 들면, 상기 통기관에 전환 밸브를 통해, 에어를 송풍하는 배기용 유체 펌프가 접속되어 있다(이상, 도시 생략). 이에 따라, 상기 각 흡착 패드(9)로부터 압착 에어의 송풍이 가능하게 되어 있고, 상기 밸브의 전환에 의해 흡인과 송풍을 택일적으로 행할 수 있도록 되어 있다. 이와 같이, 흡인과 송풍(기판 부상 기구)이 가능한 구성을, 모든 흡착부(9)에 갖게 해도 되지만, 일부의 흡착부(9)에만 갖 게 하도록 해도 된다. 또, 흡착부(9)와는 별도로, 기판 부상 수단으로서, 에어 송풍용 노즐 구멍을 가지는 송풍 상부를 홀더 본체(7)에 형성하여, 에어 흡인과 에어 송풍을 별도 계통으로 해도 된다.

홀더 본체(7)의 개구부(8)내에는, 복수개의 기판 지지부(10)가 서로 충분한 간격을 두고 고정되어 있다. 각 기판 지지부(10)는 금속제이며, 도 3의 좌우 양 도면에 나타낸 바와 같이, 그 개략 단면 형상이 폭 치수와 비교하여 긴 높이 치수인 세로가 긴 봉형(棒形)(창살 모양)으로 되어 있고, 홀더 본체(7)와 비교하여 소형이며 또한 경량으로 되어 있다. 이들 기판 지지부(10)의 상세 단면 형상은 동 도 3의 좌우 양 도면에 나타낸 바와 같이, 세로가 긴 육각형 형상을 가지고 있으며, 상단 및 하단 중 적어도 상단에는, 기판 W를 투과한 조명광이 기판 지지부(10)의 상단에서 반사하여 관찰의 방해가 되지 않도록, 상기 조명광을 관찰 시야 외를 향해 반사하는 경사면(10b, 10d)이 형성되어 있다. 본 실시예에서는, 각 기판 지지부(10)의 상단과 하단의 양쪽에 경사면(10b, 10b)이 형성되어 있다.

이들 기판 지지부(10)의 상부에는, 능선의 일부를 평탄하게 노치하여 형성한 장착면(10a)에, 기판 W의 배면에 흡착하는 흡착부(기판 고정 기구)(11)(도 3의 우측도)와, 기판 W의 배면에 맞닿는 지지핀(12)(도 3의 좌측도)이 수직으로 돌출되어 있다. 이들 흡착부(11) 및 지지핀(12)은, 도 2에 나타낸 바와 같이, 동일 기판 지지부(10) 상에 교대로 배치해도 되고, 또, 각 기판 지지부(10) 모두에 흡착부(12)를 배치해도 되고, 또한 각 기판 지지부(10) 교대로 지지핀(12) 또는 흡착부(11)를 배치해도 된다.

흡착부(11)는 기판 지지부(10)의 상면에 수직 설치된 로드(11a)와, 로드(11a)의 선단에 장착된 흡착 패드(11b)를 구비하고 있다. 로드(11a) 및 흡착 패드(11b)에는, 에어 유통 구멍(도시 생략)이 형성되어 있고, 이 에어 유통 구멍에 통기관을 통해 상기 흡인용 유체 펌프가 접속되어 있다(이상, 도시 생략).

흡착부(11)에는, 기판 W의 위치 결정 시 기판 W를 에어의 분사에 의해 부상시켜 기판 홀더(6)에 대한 접촉 저항(마찰 저항)을 저감시키는 기판 부상 수단으로서, 예를 들면, 상기 통기관에 전환 밸브를 통해 에어를 송풍하는 배기용 유체 펌프가 접속되어 있다(이상, 도시 생략). 이에 따라, 흡착 패드(11b)로부터 압착 에어가 송풍 가능하게 되어, 상기 밸브의 전환에 의해 흡인과 송풍을 택일적으로 행할 수 있다. 이와 같이, 흡인과 송풍이 가능한 구성을, 모든 흡착부(11)에 갖게 해도 되고, 일부의 흡착부(11)에만 갖게 해도 된다. 또, 흡착부(11)와는 별도로, 기판 부상 기구로서, 에어 송풍용 노즐 구멍을 가지는 송풍부를 홀더 본체(7)에 형성하여, 에어 흡인과 에어 송풍을 별도 계통으로 해도 된다.

지지핀(12)은 기판 지지부(10)의 상면에 수직 설치된 로드(12b)와, 로드(12b)의 선단에 테플론(등록 상표) 등의 유리 기판보다 경도가 작고 내마모성이 우수한 감마재(減摩材)로 이루어지는 대략 구형(球形)의 접촉부(12a)가 형성되어 있다. 흡착부(11)의 상단 위치 및 지지핀(12)의 상단 위치는 모두 흡착부(9)의 상면 위치와 대략 동일하게 되도록 높이 조정되어 있다.

도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 기판 홀더(6)를 회전ㆍ구동시키는 기판 홀더 구동 기구로서, 예를 들면, 다방향(도시 A, B, C, D의 방향)으로 자유롭게 움 직이는, 복수개의 암을 연결한 다관절 암 로봇인 검사용 로봇(15)이 장치 본체(1)의 하부에 배치되어 있다.

도 2에 나타낸 바와 같이, 홀더 본체(7) 한쪽의 장변부(7a)는 검사용 로봇(15)의 선단 암(16)에 연결되어 있다. 검사용 로봇(15)은 도시하지 않은 제어 장치에 의해, 예를 들면, 도 1에 가상선으로 나타낸 바와 같이, 기판 홀더(6)가 수평으로 자세 유지되는 기판 수도 위치로부터, 도 1에 실선으로 나타내는 소정의 경사 각도까지 기판 홀더(6)를 화살표 A 방향으로 회전시키거나, 기판 홀더(6)를 선단 암(16)의 축선 주위의 화살표 C 방향(도 2)으로 회전시키거나, 기판 홀더(6)를 화살표 B(도 1)방향으로 상하 이동시키거나, 기판 홀더(6)를 화살표 D 방향(도 2)으로 좌우 이동시키거나 할 수 있다.

이 검사용 로봇(15)을 사용함으로써, 기판 홀더(6)를 매크로 조명 하에서의 관찰에 적합한 각도로 기립한 상태에서, 기판 홀더(6)를 상하 좌우로 이동시킬 수 있어, 기판 W의 전체면에 대하여 매크로 조명광을 주사시킬 수 있다. 매크로 조명 광학계를 X Y 방향으로 이동 가능하게 설치한 경우에는, 검사용 로봇(15)으로서, 기판 홀더(6)를 화살표 A 방향으로 회전 또는 요동시키는 1축 방식의 기판 홀더 구동 기구나, 기판 홀더(6)를 화살표 A 방향과 화살표 C 방향으로 회전시키는 2축 방식의 기판 홀더 구동 기구를 채용해도 된다.

그리고, 일어서게 했을 때의 기판 홀더(6)의 앞면 위치에 대응하도록, 장치 본체(2)에는, 개구(도시 생략)가 형성되어 있고, 일어서게 한 상태의 기판 W의 외관을 관찰자가 육안 관찰할 수 있도록 되어 있다.

도 2에 나타낸 바와 같이, 기판 W를 받아들이기 위해 기판 수도 위치에 기판 홀더(6)를 수평으로 자세 제어한 상태에서는, 기판 홀더(6)의 주위에 프레임(17)이 배치되도록 되어 있다. 프레임(17)은 검사용 로봇(15)이 요동 가능한 범위를 제외하고, 홀더 본체(7)의 각변부(7a, 7b, 7c, 7d)에 따라 홀더 본체(7)의 주위를 둘러싸도록 장치 본체(2)에 대하여 고정되어 있다. 이 프레임(17)의 상부에는, 기판 W를 홀더 본체(7) 상의 기준 위치에 위치 결정하는 기판 위치 결정 기구로서 복수개의 정렬 수단(20)이, 홀더 본체(7)의 주위로부터 이격되어 장착되어 있다. 이들 정렬 수단(20)은 홀더 본체(7)의 장변부(7a, 7b) 및 단변부(7d)에 대향하는 위치에 있는 프레임(17)에는 2개씩 설치되고, 기판 홀더 W의 단변부(7c)와 대향하는 위치의 프레임(17)에는 1개 설치되어 있다. 단변부(7d) 측, 장변부(7a, 7b) 측에 설치되어 있는 각 정렬 수단(20)은 기판 W의 각 코너부에 대향하도록 형성되어 있다. 단, 단변부(7c) 측에 설치된 정렬 수단(20)은 기판 W의 좌측 단변의 중심 부근에 대향하도록 설치되어 있다.

각 정렬 수단(20)은 프레임(17)에 고정된 실린더(21) 등으로 이루어지는 구동부와, 실린더(21)에 진퇴 가능하게 지지된 로드형의 가압 핀(22) 등으로 이루어지는 가압 부재를 구비한다. 가압 핀(22)의 선단에는, 테플론(등록 상표) 등의 유리 기판보다 경도가 작고, 내마모성이 우수한 감마재로 이루어지는 원주형의 접촉부(22a)가 형성되어 있다. 각 가압 핀(22)은 기판 홀더(6)의 상면 위치보다 약간 윗쪽 위치에 배치되고, 이들 가압 핀(22)의 접촉부(22a)가 유리 기판 W의 측면에 가압되는 정렬 위치(기준 위치)와, 도 2에 가상선으로 나타낸 바와 같이, 가압 핀(22)의 접촉부(22a)가 홀더 본체(7)보다 외측을 향해 이격된 퇴피 위치로 이동 가능하게 되어 있다.

정렬 수단(20)은 실린더 구동의 구성에 한정되지 않고, 예를 들면, 모터(구동부)에 링크 기구(가압 부재)를 통해 접촉부(22a)를 진퇴시키는 구성을 채용해도 된다. 또, 홀더 본체(7)를, 기판 W의 주위부가 홀더 본체(7)로부터 약간 튀어 나오도록, 홀더 본체(7)의 외형 치수를 기판 W의 외형 치수보다 약간 작게 형성하고, 홀더 본체(7)로부터 튀어 나온 기판 W의 주위에, 각 가압 핀(22)의 접촉부(22a)를 가압하도록 해도 된다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 수평으로 자세 제어된 기판 홀더(6)의 아래쪽에는, 리프트 장치(24)가 배치되어 있다. 리프트 장치(24)는, 도 5에 나타낸 바와 같이, 평면에서 본 경우에 기판 홀더(6)의 각 기판 지지부(10)와 기판 반송용 로봇(28)의 빗살형 핑거(31)가 간섭하지 않는 복수개 개소에 배치된 리프트 핀(25)과, 도 1에 나타낸 바와 같이, 이들 리프트 핀(25)을 지지하는 리프트 핀 지지 바(26)와, 이 리프트 핀 지지 바(26)를 승강시키는 액추에이터부(27)를 구비하고 있다.

각 리프트 핀(25)은 도 4에 나타낸 바와 같은 기판 홀더(6)의 상면 위치보다 높은 위치까지 돌출하는 리프트 위치와, 도 1에 나타낸 바와 같은 기판 홀더(6)의 하면 위치보다 내린 퇴피 위치로 이동 가능하다. 각 리프트 핀(25)의 선단에는, 테플론(등록 상표) 등의 유리 기판보다 경도가 작고 내마모성이 우수한 감마재로 이루어지는 대략 구형의 접촉부가 형성되어 있다.

도 5에 반송용 로봇(28)을 나타낸다. 반송용 로봇(28)은 기판 홀더(6)에 기판 W를 반입하거나, 기판 홀더(6)로부터 기판 W를 반출하거나 할 때 사용되며, 다관절 암 로봇을 구비하고 있다. 이 반송 로봇(28)의 선단 암(29)에 로봇 핸드(30)가 장착되어 있다. 로봇 핸드(30)는 빗살형으로 설치된 복수개의 핑거(31)를 구비하고 있으며, 각 핑거(31)의 상면에는, 흡착부(32)가 등간격 배치되어, 기판 W를 흡착 지지한다.

도 2에 나타낸 바와 같이, 로봇 핸드(30)는 장치 본체(2)의 기판 삽입구(2a)를 통해 기판 홀더(6)의 윗쪽에 삽입되었을 때, 정렬 수단(20)이나 리프트 핀(25)을 피하도록, 핑거(31)의 형상이나 배치가 설정되어 있다.

본 실시예의 매크로 검사 장치(1)의 동작에 대하여 이하에 설명한다.

먼저, 각 정렬 수단(20)의 가압 핀(22)을 상기 퇴피 위치로 퇴피시키고 나서, 검사용 로봇(15)에 의해 기판 홀더(6)를 기판 W의 반입출에 적합한 수평의 기판 수도 위치에 대기시킨다. 반송용 로봇(28)은 도시하지 않은 카세트로부터 기판 W를 한 장 흡착 지지하여 꺼내 기판 홀더(6)의 윗쪽으로 이송하고 나서, 기판 W에 대한 흡착을 해제한다. 그 후, 리프트 장치(24)는 액추에이터부(27)를 구동시키고, 리프트 핀(25)을 반송용 로봇(28)의 핑거(31)보다 윗쪽으로 이동시켜 기판 W를 받는다. 이 때의 리프트 핀(25)은 홀더 본체(7), 각 기판 지지부(10), 및 반송용 로봇(28)의 빗살형 핑거(31)에 간섭하지 않도록 설치되어 있으므로, 홀더 본체(7)의 개구부(8)를 통과하고, 반송용 로봇(28)의 각 핑거(31) 사이를 빠져 나가 기판 W를 들어 올린다. 이에 따라, 반송용 로봇(28)에 탑재된 기판 W는 반송용 로 봇(28)의 핑거(31)로부터 리프트 핀(25)으로 이송된다. 이 상태에서, 반송용 로봇(28)에 의해 로봇 핸드(30)를 홀더 본체(7)에 접촉하지 않는 위치까지 강하시킨 후, 로봇 핸드(30)를 기판 홀더(6)의 이동 경로 상으로부터 퇴피시킨다.

다음에 액추에이터부(27)를 구동하여 리프트 핀(25)을 상기 퇴피 위치까지 강하시키면, 기판 W의 배면이 홀더 본체(7)의 흡착부(9)와, 기판 지지부(10)의 흡착부(11) 및 지지핀(12)에 맞닿아, 리프트 핀(25)으로부터 기판 홀더(6)에 기판 W가 탑재된다. 기판 W를 기판 홀더(6) 상에 탑재시키면, 기판 부상 기구로서 기능하는 흡착부(9, 11)로부터 압착 에어를 송풍하여 기판 W를 홀더 본체(7)로부터 약간 부상시킨다. 기판 W를 에어로 띄운 상태에서, 각 정렬 수단(20)을 구동하여 각 가압 핀(22)을 기판 W를 향해 돌출시킨다. 그 결과, 기판 W는 각 가압 핀(22)에 의해 협지되어 기준 위치에 정렬된다. 기판 W가 위치 결정된 상태에서, 흡착부(9, 11)로부터의 압착 에어 공급을 정지시키고, 기판 W를 홀더 본체(7) 및 각 기판 지지부(10) 상에 탑재한다. 이 후, 흡착부(8, 11)에 의해 흡인을 개시하여, 위치 결정된 기판 W를 흡착 지지한다.

그리고, 기판 W를 위치 결정할 때, 홀더 본체(7)의 대각선을 사이에 두고 한쪽에 배치되는 정렬 수단(20)을 위치 결정 기준용으로 설정하고, 이 기준용 정렬 수단(20)의 접촉부(22a)를 홀더 본체(7)의 기준 위치에 고정하고, 다른 쪽에 배치되는 정렬 수단(20)을 기판 가압용으로 설정하고, 이 가압용 정렬 수단(20)의 접촉부(22a)에 의해 기판 W를 기준용 정렬 수단(20)의 접촉부(22a)에 가압하여 위치 결정하도록 해도 된다.

기판 W를 홀더 본체(7) 상의 기준 위치에 위치 결정하여 흡착 지지시키면, 검사용 로봇(15)이 기판 홀더(6)를 수평 위치로부터, 도 1에 실선으로 나타낸 바와 같이, 기판 W가 관찰자를 향하도록 일어나게 한다. 이 상태에서, 광원(3)으로부터의 조명광에 의해 기판 W를 그 윗쪽으로부터 비추어, 관찰자에 의한 매크로 검사가 행해진다. 이 때, 검사용 로봇(15)에 의해, 기판 홀더(6)를 미소(微小) 각도로 상하 방향 또는 좌우 방향으로 요동시켜, 기판 W에 대하여 조명광의 입사 각도를 변화시키면서 매크로 검사를 행하도록 해도 된다. 기판 W 배면의 매크로 검사를 행하는 경우에는, 검사용 로봇(15)에 의해 기판 W를 반전시켜, 기판 W의 배면을 조명 방향을 향해 매크로 검사를 행하도록 해도 된다. 또한, 도시하지 않은 백라이트 장치를 설치하여, 기판 W를 그 배면 측으로부터 비추면서 관찰을 행하도록 해도 된다.

매크로 검사가 종료되면, 기판 홀더(6)를 수평 위치까지 되돌린 후, 흡착부(9, 11)에 의한 흡착 지지를 해제한다. 다시, 리프트 장치(25)의 액추에이터부(27)를 구동하고, 리프트 핀(25)을 상승시켜, 기판 W를 기판 홀더(6)로부터 리프트 핀(25) 상으로 이송한다. 이 상태에서, 반송용 로봇(28)은 로봇 핸드(30)를 수평으로 이동시켜 핑거(31)를 홀더 본체(7)와 기판 W 사이에 삽입하고, 로봇 핸드(30)를 상승시켜 리프트 핀(25)으로부터 기판 W를 받고, 기판 W를 흡착부(32)에 의해 흡착 지지한 후, 로봇 핸드(30)를 후퇴시켜 상기 카세트를 향해 반출한다.

이상의 설명과 같이, 본 실시예의 매크로 검사 장치(1)는 검사를 받는 기판 W를 지지하는 기판 홀더(6)와, 기판 W에 조명광을 조사하는 광원(매크로 조명 광학 계)(3)과, 기판 홀더(6)를 지지하는 동시에 기판 W가 조명광으로 비추어진 상태에서 기판 홀더(6)의 자세를 제어하는 검사용 로봇(기판 홀더 구동 기구)(15)과, 기판 홀더(6)사이에서 기판 W의 수도를 행하는 반송용 로봇(기판 반송 기구)(28)과, 기판 홀더(6) 상에 수도된 기판 W에 대하여 에어의 분사를 행함으로써, 이 기판 W를 기판 홀더(6) 상으로부터 떠오르게 하는 상기 통기관, 상기 전환 밸브, 상기 배기용 유체 펌프를 가지는 기판 부상 기구와, 이 기판 부상 기구에 의해 부상 상태에 있는 기판 W를 기판 홀더(6) 상의 기준 위치에 위치 결정하는 정렬 수단(기판 위치 결정 기구)(20)과, 이 정렬 수단(20)에 의해 위치 결정된 기판 W를 기판 홀더(6)에 고정하는 흡착부(기판 고정 기구)(9, 11)를 구비한다.

그리고, 본 실시예의 매크로 검사 장치(1)에 의하면, 기판 W를 정렬시키는 위치 결정 기구로서 기능하는 정렬 수단(20)을 기판 홀더(6)와는 별체로 설치했으므로, 기판 홀더(6) 상에 구동부를 가지는 정렬 수단(20)을 설치할 필요가 없어진다. 이 큰 장착 스페이스를 필요로 하는 정렬 수단(20)을 홀더 본체(7) 상으로부터 분리함으로써, 정렬 수단(20)을 배치하는 스페이스분 만큼 홀더 본체(7)의 폭 치수를 작게 할 수 있어, 기판 홀더(6)를 경량화할 수 있다. 또한, 기판 홀더(6)의 경량화에 의해, 기판 홀더(6)를 구동시키는 검사 로봇(5)에 걸리는 부하를 저감시킬 수 있다. 그 결과, 검사용 로봇(15)에 소형의 다관절 암 로봇을 사용하는 것이 가능하게 된다. 또는, 이들 기판 홀더(6) 및 검사용 로봇(15)의 소형화에 의해, 매크로 검사 장치(1)를 소형화할 수 있어, 클린 룸의 설치 스페이스를 작게 할 수 있다.

그리고, 홀더 본체(7)는 기판 W의 주위부가 홀더 본체(7)로부터 약간 튀어 나오도록 홀더 본체(7)의 외형 치수를 기판 W의 외형 치수보다 약간 작게 하고 있으므로, 가압용 정렬 수단(20)의 가압 핀(22)의 진퇴 시 가압 핀(22)과 홀더 본체(7)의 간섭을 방지할 수 있다. 또한, 가압 핀(22)의 선단에 장착되는 접촉부(22a)를 크게 할 수 있으므로, 홀더 본체(7)가 상하 방향으로 다소 어긋나도, 이들 접촉부(22a)를 확실하게 기판 W에 접촉시켜 가압할 수 있다. 또한, 홀더 본체(7)의 외형 치수를 기판 외형 치수 내로 소형화할 수 있어, 한층 더 경량화를 도모할 수 있다.

[제2 실시예]

본 발명의 매크로 검사 장치의 제2 실시예에 대하여, 도면을 참조하면서 이하에 설명한다. 그리고, 상기 제1 실시예와 동일 구성 요소에는 동일 부호를 부여하고, 그 설명을 생략한다.

도 6에 나타낸 바와 같이, 검사용 로봇(15)의 선단 암(16)이 장착되어 있는 홀더 본체(7)의 장변부(7a) 상면에는, 기준용 정렬 수단(기준용 기판 위치 결정 기구)인 기준 핀(42a)이 2개 고정되고, 단변부(7c) 상면에는, 기준 핀(42b)이 고정되어 있다. 각 기준 핀(42a)은 기판 W의 코너부에 대응하는 위치에 배치되고, 기준 핀(42b)은 기판 W의 좌측 에지 중앙부에 대응하는 위치에 배치되어 있다.

장치 본체(2)에는, 홀더 본체(7)의 장변부(7b) 및 단변부(7d)에 따르도록, 프레임(44) 및 프레임(45)이 장착되고, 이들 프레임(44, 45)에는, 기판 W를 각 기준 핀(42a, 42b)에 가압하기 위한 가압용 정렬 수단(가압용 기판 위치 결정 기 구)(20)이 2개씩 설치되어 있다.

기판 홀더 본체(7)의 장변부(7b) 및 단변부(7d)에는, 가압용 정렬 수단(20)에 대응한 위치에 노치(43a, 43b)가 기판 홀더 본체(7)의 외주면으로부터 개구부(8)를 향해 움푹 패이도록 형성되어 있다. 이들 노치(43a, 43b)는, 도 6에 나타낸 바와 같이, 기판 W의 내측으로 수 밀리 정도 비집고 들어가는 위치까지 노치되어 있다.

본 실시예에서는, 상기 제1 실시예에서 설명한 구성으로부터, 홀더 본체(7)의 장변부(7a) 및 단변부(7c)에 따라 설치된 각각의 프레임을 생략하고 있다. 그리고, 이 생략한 프레임에 고정되어 있던 실린더 등의 구동부를 가지는 위치 결정용 정렬 수단(20)을 구동부가 없는 기준 핀(42a, 42b)에 대신하고 있다. 또한, 홀더 본체(7)의, 각 가압용 정렬 수단(20)과 대향하는 위치에 노치(43a, 43b)를 형성하고 있다. 이상 설명한 점 이외의 구성은 상기 제1 실시예의 구성과 동일하며, 중복되는 설명은 생략한다.

본 실시예의 매크로 검사 장치(1)의 동작에 대하여 이하에 설명한다.

본 실시예는 상기 제1 실시예에 대하여, 기판 W의 위치 결정 방법만이 상이하다. 이 상이한 위치 결정의 방법에 대하여 이하에 설명한다. 도 5에 나타낸 바와 같은 반송용 로봇(28)으로 반입된 기판 W를 기판 홀더(6) 상에 탑재한 후, 기판 부상 기구로서 기능하는 흡착부(9, 11)로부터 압착 에어를 송풍하여 기판 W를 부상시킨다. 다음에, 각 정렬 수단(20)이 가압 핀(22)을 기판 W를 향해 돌출시키면, 기판 W의 측면이 가압되고, 기판 W의 반대 측 측면이 기준 핀(42a, 42b)에 가압되 어 위치 결정된다. 기판 W가 위치 결정된 상태에서, 흡착부(9, 11)로부터의 압착 에어의 공급을 정지시켜 기판 W를 홀더 본체(7) 및 각 기판 지지부(10) 상에 탑재한다. 이 후, 흡착부(9, 11)에 의해 흡인을 개시하여, 위치 결정된 기판 W를 흡착 지지한다.

이상 설명한 본 실시예의 매크로 검사 장치에 의하면, 기판 W를 정렬시키는 기준용 정렬 수단을, 구동부가 없는 염가의 기준 핀(42a, 42b)으로 대신함으로써, 장치의 제조 비용을 저감시킬 수 있다. 또한, 홀더 본체(7)의 장변부(7a) 및 단변부(7c)에 따라 배치되는 프레임을 줄일 수 있으므로, 검사용 로봇(15) 및 반송용 로봇(28)이 프레임과 간섭하기 어려워져, 검사용 로봇(15) 및 반송용 로봇(28)의 동작이 넓어진다.

또, 홀더 본체(7)에 노치(43a, 43b)를 형성했으므로, 가압용 정렬 수단(20)의 가압 핀(22) 진퇴 시 가압 핀(22) 및 홀더 본체(7) 사이의 간섭을 방지할 수 있다. 노치(43a, 43b)를 형성함으로써, 가압 핀(22)의 선단에 장착된 접촉부(22a)의 사이즈를 크게 할 수 있으므로, 홀더 본체(7)가 상하 방향으로 다소 어긋나도 기판 W에 접촉하여, 확실하게 기판 W를 가압할 수 있다. 또, 홀더 본체(7)에 기준 핀(42a, 42b)을 고정하는 동시에, 가압용 정렬 수단(20)에만 구동 기구를 구비함으로써, 상기 제1 실시예와 같이 모든 정렬 수단에 구동 기구를 구비한 것과 비교하여, 위치 결정 제어가 간단하게 된다. 즉, 상기 제1 실시예에서는, 모든 정렬 수단을 정확하게 위치 결정 제어할 필요가 있지만, 본 실시예에서는, 가압용 정렬 수단(20)에 의해 기판 W를 기준 핀(42a, 42b)에 가압하고, 소정 가압력에 이르면 가 압을 정지시킨다고 하는 간단한 위치 결정 제어로 끝나기 때문에, 위치 결정을 더욱 신속하게 행할 수 있다. 그 밖의 효과는 상기 제1 실시예와 동일하다.

그리고, 본 발명은 상기 제2 실시예에 한정되지 않고 널리 응용할 수 있다.

예를 들면, 기구부를 더욱 줄여 장치를 더욱 소형화, 경량화하는 것을 목적으로 하여, 도 6에 나타낸 기판 홀더(6)에서, 가압용 정렬 수단(20) 및 노치(43a, 43b) 를 형성하지 않고, 기판 W의 기준 위치를 규제하는 기준 핀(42a, 42b)만을 설치하도록 해도 된다.

이 경우, 기판 W를 반입할 때는, 리프트 핀(25)으로 기판 W를 기판 홀더(6)에 탑재하면, 기판 W를 기판 부상 기구로서 기능하는 흡착부(9, 11)로부터 에어를 분사하여 부상시킨 상태에서, 검사용 로봇(15)을 구동하여, 최초에, 장변부(7a)에 대하여 장변부(7b)가 조금 높아지도록 홀더 본체(7)를 경사지게 한다. 이에 따라, 부상한 기판 W는 자중에 의해 홀더 본체(7)를 따라 장변부(7a) 측으로 이동하여, 기준 핀(42a)에 맞닿아 기판 W의 아래쪽 위치가 정해진다. 이 상태에서, 검사용 로봇(15)을 구동하여, 단변부(7c)에 대하여 단변부(7b)가 조금 높아지도록 홀더 본체(7)를 경사지게 한다. 이에 따라, 부상한 기판 W는 2개의 기준 핀(42a)에 맞닿은 채의 상태에서, 단변부(7c) 측으로 이동하여, 기준 핀(42b)에 맞닿아 기판 W의 우측 위치가 정해진다. 이와 같이, 홀더 본체(7)를, 기준 핀(42a, 42b)이 아래가 되도록 조금 경사지게 함으로써, 기판 W의 자중에 의해 기판 W를 기준 핀(42a, 42b)에 맞닿게 하여 위치 결정하는 것이 가능하게 된다.

검사용 로봇(15)에 다방향으로 자세 제어 가능한 다관절 암 로봇을 채용하 여, 기판 W의 정렬을 행하도록 한 경우에는, 기판 W를 정렬시키는 정렬 수단 중, 구동부를 필요로 하지 않는 기준용 정렬 수단을, 구동 기구부가 없는 염가의 기준 핀(42a, 42b)만으로 구성할 수 있다. 그 경우, 더욱 가격의 저감을 도모할 수 있는 동시에, 홀더 본체(7)의 주변으로부터, 정렬 수단을 장착하기 위한 프레임을 모두 생략할 수 있어, 장치 전체의 소형화를 도모할 수 있다. 그 밖의 효과는 상기 제1 실시예와 동일하다.

상기 다관절 암 로봇을 채용하여 기판 W의 정렬을 행하는 경우, 검사용 로봇(15)은 한번에 장변부(7a)와 단변부(7c)의 코너부가 가장 낮아지도록, 홀더 본체(7)를 경사지게 하고, 기판 W를 그 자중에 의해, 홀더 본체(7)의 양변에 설치된 기준 핀(42a, 42a, 42b)을 향해 이동시키도록 해도 된다. 이 경우, 원 액션으로 기판 W를 정렬시킬 수 있다.

또, 전술한 어느 하나의 경우에 있어서, 검사용 로봇(15)에 의해, 기판 홀더(6)를 미소하게 흔들도록 구동시켜도 된다. 기판 홀더(6)가 흔들림으로써, 기판 W가 신속하게 이동하여 정렬된다. 이 경우에는, 에어의 분사에 의한 부상을 반드시 행하지 않아도 된다.

또, 기구부를 줄여, 장치를 더욱 소형화, 경량화 및 가격 저하시키기 위해, 리프트 장치(24)로부터 승강 기구를 제거하고, 이 리프트 장치(24)를 도 1에 나타낸 바와 같은 소정 위치에 고정해도 된다. 이 경우에는, 리프트 핀(25)의 길이는 그 선단부(27a)가 수평 위치에 있는 기판 홀더(6)의 하면보다 낮은 위치에 고정되도록 설정한다. 기판 W의 반입 반출을 행할 때는 검사용 로봇(15)을 구동시켜, 기 판 홀더(6)를 리프트 핀(25)보다 낮아지도록 하강시킨다. 이에 따라, 리프트 핀(25)의 선단부가 기판 홀더(6)의 상면으로부터 돌출하므로, 반송용 로봇(28)에 의해 기판 W를 리프트 핀(25) 상에 탑재하고, 반송용 로봇(28)을 퇴피시킨 후 검사용 로봇(28)에 의해 기판 홀더(8)를 상승시킴으로써, 반송용 로봇(28)으로부터 검사용 로봇(15)으로의 기판 W의 수도가 가능하게 된다. 그 후, 검사용 로봇(다관절 로봇)(15)이 기판 홀더(6)를 상승시키면, 기판 W가 리프트 핀(25)으로부터 기판 홀더(6)에 탑재된다. 기판 W의 위치 결정, 흡착, 및 매크로 관찰은 상기와 동일하게 하여 행한다. 기판 W를 반출할 때는 리프트 핀(25)보다 조금 높은 위치에서, 기판 W의 흡착 지지를 해제하고 나서, 기판 홀더(6)를 리프트 핀(25)의 선단보다 낮은 위치까지 하강시킨다. 그 결과, 리프트 핀(25)에 기판 W가 이송되므로, 반송용 로봇(28)으로 기판 W를 반출하는 것이 가능하게 된다.

이와 같은 구성을 채용한 경우, 기판 W의 수도 위치에서, 기판 W를 탑재한 상태에서 수평으로 승강시키는 리프트 장치의 승강 기능을 검사용 로봇(15)에 겸용시킴으로써, 리프트 핀(25)을 승강시키는 기구를 설치할 필요가 없어진다. 그 결과, 장치의 소형화, 경량화를 도모할 수 있다. 그 밖의 효과는 상기 제1 실시예와 동일하다.

기판 홀더(6)는 그 단변부가 검사용 로봇(다관절 로봇)(15)의 선단 암(16)에 장착되어 있어도 된다.

도 6에 나타낸 기판 홀더(6)로부터, 노치(43a, 43b)를 생략해도 된다. 또, 도 1에 나타낸 기판 홀더(6)에 대하여, 정렬 수단(20)의 배치에 맞추어 노치(43a, 43b)를 형성해도 된다.

[제3 실시예]

본 발명의 매크로 검사 장치의 제3 실시예에 대하여, 도면을 참조하면서 이하에 설명한다. 그리고, 상기 제1 실시예와 동일 구성 요소에는, 동일 부호를 부여하고, 그 설명을 생략한다.

본 실시예에서는, 기판 홀더(6)를 회전ㆍ구동시키는 기판 홀더 구동 기구로서 검사용 다관절 암 로봇(검사용 로봇(15))을 채용하고 있다. 그리고, 이 검사용 로봇(15)에 의해 회전ㆍ요동 가능하게 지지한 기판 홀더(6)를, 기판 수도 위치에서 신속하게 정지시켜 기판 W의 수도를 원활하게 행하고, 택트 타임을 단축하여 검사 효율을 향상시키기 위해, 정지 기구(50)를 구비하고 있다. 이 정지 기구(50)를 설치한 이외는 상기 제1 실시예와 동일하며, 중복되는 설명은 생략한다.

검사용 로봇(15)의 선단 암(16)에 연결된 기판 홀더(6)는, 도 7에 나타낸 바와 같이, 기판 수도 위치에서 수평으로 자세 유지된다. 정지 기구(50)는 기판 홀더(6)를 기판 수도 위치에 규제하는 스토퍼 기능을 가지고 있으며, 기판 홀더(6)의 선단 측(자유단 측)에 배치되어 있다. 이 정지 기구(50)는 기판 홀더(6)의 충격을 흡수하여 진동을 억제하는 정지 기능을 추가로 가진다.

도 7에 나타낸 정지 기구(50)는 연직(鉛直) 방향으로 수직 설치된 지주(51)의 선단부(상단부)에, 예를 들면, 고무 또는 스펀지 등의 수지계 탄성체(52)가 장착된 스토퍼(53)를 구비하고 있으며, 탄성체(52)의 상면이 접촉부(54)로 되어 있다. 이 정지 기구(50)는 기판 수도 위치에 배치된 홀더 본체(7)의 선단 아래쪽에 설치되어 있다. 홀더 본체(7)는 수평으로 자세 유지되는 기판 수도 위치에 배치되었을 때, 그 선단부 하면이 스토퍼(53)의 접촉부(54)에 맞닿는다.

상기 제1 실시예에서 설명한 바와 같이, 기판 홀더(6)는 검사용 로봇(15)에 의한 기판 W의 반입 시와, 매크로 검사 후의 기판 W의 반출 시에 반송용 로봇(28) 사이의 기판 수도 위치로 이동된다.

검사용 로봇(15)에 의해, 기판 홀더(6)가 매크로 관찰에 의한 소정 각도로부터 기판 수도 위치의 수평 각도로 이동(회전)되면, 홀더 본체(7)의 선단부 하면이 스토퍼(53)의 접촉부(54)에 맞닿는다. 이에 따라, 홀더 본체(7)는 선단부에 요동을 생기게 하지 않고, 기판 수도 위치에 신속하게 정지한다. 이 때, 검사용 로봇(15)을 고속으로 회전시키고, 기판 수도 위치의 바로 앞에서 회전을 감속시켜 홀더 본체(7)를 스토퍼(53)에 천천히 접촉시킴으로써, 스토퍼(53)에 대한 홀더 본체(7)의 충격력을 완화시키는 동시에, 기판 홀더(6)의 고속 이동에 의해 기판 W의 수도에 필요한 시간을 단축할 수 있다.

기판 수도 위치로 이동한 홀더 본체(7)가 정지했는지 여부의 판단으로서는, 예를 들면, 진동 센서 등을 사용해도 되지만, 소정 시간이 경과했는지 여부에 의해 판단하도록 해도 된다. 홀더 본체(7)가 정지한 것을 센서나 시간에 의해 확인한 후, 반송용 로봇(28)을 구동 제어하여, 기판 홀더(6)로부터의 기판 W의 수도를 행한다.

그리고, 본 실시예에서는, 정지 기구(50)로 홀더 본체(7)의 선단부를 지지함으로써 기판 홀더(6)의 요동을 멈추었지만, 기판 홀더(6)의 지지 개소로서는, 선단 부에 한정되지 않고, 그 밖의 개소를 채용해도 된다. 구체적으로는, 기판 홀더(6)의 중심(重心)에 대하여, 그 홀더 본체(7)의, 구동 암(16)에 의한 지지 개소와는 반대 측, 즉, 상기 중심의 위치로부터 상기 선단부의 위치까지의 사이라면 된다.

이상의 설명과 같이, 정지 기구(50)를 구비한 본 실시예의 매크로 검사 장치(1)에 의하면, 기판 수도 위치로 이동되는 기판 홀더(6)의 중심에 대하여, 그 홀더 본체(7)의, 구동 암(16)에 의한 지지 개소와는 반대 측이 스토퍼(53)에 의해 지지되므로, 기판 홀더(6)를 기판 수도 위치에서 극히 신속하게 정지시킬 수 있어, 기판 수도 위치에 있어서의 기판 W의 수도 동작을 신속하게 행하게 하는 것이 가능하게 된다.

이에 따라, 기판 W의 검사에 불필요한 로스타임을 삭감할 수 있어, 기판 W 검사의 택트 타임을 대폭 단축하고, 검사의 효율화를 도모할 수 있다.

또, 기판 수도 위치에서, 미리 위치 결정된 정지 기구(50)에 홀더 본체(7)를 접촉시킴으로써, 기판 홀더(6)를 정밀도 양호하게 수평으로 지지시킬 수 있어, 기판 W의 수도를 원활하게 행할 수 있다.

정지 기구(50)로서는, 예를 들면, 지주(支柱)(51)를 신축 가능하게 하여 접촉부(54)의 높이 위치를 상하로 조정 가능하게 하는 것이 바람직하다. 이 경우, 기판 수도 위치에 있어서의 접촉부(54)의 높이 위치의 정밀도를 향상시킬 수 있다. 또, 기판 수도 위치의 변경 등에 대하여 용이하게 대응할 수 있다.

또, 접촉부(54)에 흡착부 또는 자석을 설치하여, 홀더 본체(7)가 맞닿았을 때, 이 홀더 본체(7)의 하면을 진공 흡착 또는 자력에 의해 흡착함으로써, 더욱 신 속하고도 확실하게 기판 홀더(6)를 기판 수도 위치에 정지시킬 수 있다.

그리고, 정지 기구(50)로서는, 상기 구조의 것에 한정되지 않고, 각종 구조의 것이 적용가능하다.

여기에서, 정지 기구(50)의 다른 예에 대하여 설명한다.

도 8에 나타낸 정지 기구(50)는 지주(51)의 선단부에 댐퍼 및 스프링으로 이루어지는 진동 감쇠부(55)를 형성한 경우의 예이다.

이와 같은 진동 감쇠부(55)를 형성한 경우, 접촉부(54)에 맞닿는 홀더 본체(7)로부터의 진동 및 충격을 확실하게 받아내어 기판 홀더(6)를 신속하게 정지시킬 수 있다.

도 9에 나타낸 정지 기구(50)는 지주(51)의 선단부에 접촉부로서 걸어맞춤 핀(56)을 가지는 걸어맞춤부(57)를 구비한 경우의 예이다. 걸어맞춤 핀(56)은 홀더 본체(7) 측을 향해 돌출되어 있고, 홀더 본체(7)의 선단부에 형성된 걸어맞춤 홈(7e)에 걸어맞춤 가능하게 되어 있다. 걸어맞춤 핀(56)은 선단이 반구형으로 형성된 원주 형상을 가지며, 도시하지 않은 코일 스프링에 접속된 상태에서, 걸어맞춤부(57)의 구멍 내에 삽입되어 있다. 그 결과, 걸어맞춤 핀(56)은 상기 구멍에 대하여 출몰(出沒) 가능하게 설치되어 있다.

정지 기구(50)에서는, 홀더 본체(7)가 기판 수도 위치로 이동하면, 이 홀더 본체(7)의 걸어맞춤 홈(7e)에 걸어맞춤 핀(56)이 걸어 맞추어진다. 그 결과, 기판 홀더(6)를 기판 수도 위치에 신속하게 정지시킬 수 있다.

도 10에 나타낸 정지 기구(50)는 지주(51)의 선단부에 측면에서 보아 ㄷ자형 으로 형성되어 일단 측이 서로 회동 가능하게 연결된 고정 브래킷(61) 및 가동 브래킷(62)과, 가동 브래킷(62)을 회동시키는 구동 기구(도시 생략)를 구비하고 있다. 고정 브래킷(61)은 지주(51)에 고정되고, 가동 브래킷(62)과의 연결측과 반대측의 타단부에 탄성체(64)가 설치되고, 그 표면이 접촉부(65)로 되어 있다. 가동 브래킷(62)의 타단부에도 탄성체(66)가 설치되고, 그 표면이 협지부(67)로 되어 있다.

그리고, 이 정지 기구(50)에서는, 가동 브래킷(62)이 도 10의 가상선으로 나타내는 위치에 배치된 상태에서, 홀더 본체(7)가 기판 수도 위치로 이동된다. 그리고, 홀더 본체(7)의 선단부 하면이 고정 브래킷(61)의 접촉부(65)에 맞닿으면, 상기 구동 기구에 의해 가동 브래킷(62)이 시계 회전(도면 중 화살표 α 방향)으로 회동된다. 이에 따라, 홀더 본체(7)는 그 선단부가 고정 브래킷(61)의 접촉부(65)와 가동 브래킷(62)의 협지부(67)에 의해 협지되어, 기판 홀더(6)가 기판 수도 위치에서 신속하게 정지시킬 수 있다.

도 11에 나타낸 정지 기구(50)는 지주(51)의 선단부로 회동 가능하게 지지된 지지 브래킷(71)을 구비하고 있다. 이 지지 브래킷(71)은 측면에서 보아 V자형으로 형성되고, V자를 형성하는 내측의 면이 각각 접촉부(72)로 되어 있다.

이 정지 기구(50)에서는, 지지 브래킷(71)이 도면 중 가상선에 의해 나타내는 위치에 배치된 상태에서, 홀더 본체(7)가 기판 수도 위치로 이동되어, 그 선단부가 지지 브래킷(71)에 접촉하면, 지지 브래킷(71)이 회전축(73)을 중심으로 하여 시계 회전(도면 중 화살표 β 방향)으로 회동되어, 스토퍼 핀(74)에 맞닿아 도면 중 실선으로 나타내는 위치에 정지한다. 이에 따라, 홀더 본체(7)는 그 선단부에 있어서의 상하의 코너부가 지지 브래킷(71) 각각의 접촉부(72)에 맞닿게 되므로, 기판 홀더(6)가 기판 수도 위치에 신속하게 정지된다.

도 12에 나타낸 정지 기구(50)는 그 하부에 이동 기구(75)를 구비하고 있다. 이 이동 기구(75)는 스토퍼(53)를 도시하지 않은 레일을 따라 직선적으로 이동시킴으로써, 기판 홀더(6)가 맞닿는 접촉부(54)를 기판 수도 위치에 배치된 홀더 본체(7)의 선단부 하방 위치로부터 벗어난 위치(도면 중 가상선에 의해 나타내는 위치)에 배치시킬 수 있다.

이 이동 기구(75)를 구비한 정지 기구(50)에서는, 홀더 본체(7)가 기판 수도 위치로 이동할 때만 스토퍼(53)가 기판 수도 위치 측으로 이동하여, 접촉부(54)에 홀더 본체(7)가 맞닿아 정지된다.

즉, 이 정지 기구(50)는 검사 시의 홀더 본체(7)에 대하여 스토퍼(53)가 간섭하지 않도록, 필요 시 이외일 때는 이동 기구(75)에 의해 스토퍼(53)를 대피 위치(도면 중 가상선에 의해 나타내는 위치)로 이동시킨다.

그리고, 필요 시 이외일 때 스토퍼(53)를 대피 위치로 이동시키는 기구로서는, 직선적으로 수평 이동시키는 것에 한정되지 않고, 소정의 축을 중심으로 하여 회전시킴으로써 스토퍼(53)를 평면에서 보아 원호형으로 이동시키는 회전식을 채용해도 된다.

도 13에 나타낸 정지 기구(50)는 스토퍼(53)를 구성하는 지주(51)가 도중에서 분할되어 있고, 그 분할 개소보다 상부의 스토퍼(53)가 하부에 대하여 회동 가 능하게 연결되어 있다

이 정지 기구(50)에서는, 홀더 본체(7)가 기판 수도 위치로 이동할 때만, 지주(51)가 직선형을 이루어, 접촉부(54) 상에 홀더 본체(7)가 맞닿아 정지된다.

즉, 이 정지 기구(50)의 경우에도, 검사 시의 홀더 본체(7)에 대하여 스토퍼(53)가 간섭하지 않도록, 필요 시 이외일 때는 지주(51)가 연결 부분에 의해 굴곡되어 대피 위치(도면 중 가상선에 의해 나타내는 위치)로 스토퍼(53)가 이동한다.

그리고, 본 실시예에서는, 프레임형으로 형성된 기판 홀더(6)를 구비한 매크로 검사 장치(1)를 예로 들어 설명했지만, 기판 홀더로서는, 프레임형의 것에 한정되지 않는 것은 물론이다.

도 14 및 도 15는 각각 다른 기판 홀더의 평면도 및 측면도이다. 이들 도면에 나타낸 기판 홀더(81)는 복수개의 가늘고 긴 기판 지지부(82)를 빗살형으로 배치한 홀더 본체(83)를 구비하고 있으며, 각 기판 지지부(82)의 상면에는, 전술한 흡착부(9)와 동일한 흡착부(84)가 서로 간격을 두고 배치되어 있다. 그리고, 상기 기판 홀더(81)에서는, 홀더 본체(83) 상에 탑재된 기판 W를 각 기판 지지부(82) 상의 각 흡착부(84)에 의해 진공 흡착하여 지지한다.

이와 같은 구조의 기판 홀더(81)를 채용한 경우, 기판 수도 위치로 이동되는 기판 홀더(81)의 각 기판 지지부(82)의 선단부 하면 측이, 정지 기구(50)의 스토퍼(53)에 의해 지지되어, 신속하게 정지된다.

특히, 상기 구조의 기판 홀더(81)에 의하면, 프레임형의 기판 홀더와 비교하 여 경량화와 함께 외형 치수의 소형화가 도모되므로, 기판 수도 위치에 있어서의 요동의 발생 자체를 억제할 수 있어, 더욱 신속하게 정지시킬 수 있다.

[제4 실시예]

본 발명의 매크로 검사 장치의 제4 실시예에 대하여, 도면을 참조하면서 이하에 설명한다. 그리고, 상기 제1 실시예와 동일 구성 요소에는, 동일 부호를 부여하고, 그 설명을 생략한다.

도 16 및 도 17은 각각 다른 기판 홀더의 평면도 및 측면도이다. 본 실시예에서는, 상기 기판 홀더(6)를 회전ㆍ요동시키는 구동 기구로서 검사용 다관절 암 로봇(검사용 로봇(15))을 채용하고 있으며, 검사용 로봇(15)의 구동부로의 부담을 경감하고, 장치 전체의 소형화를 도모하는 것을 목적으로 하여 밸런스 웨이트(90)를 구비하고 있다. 이 밸런스 웨이트(90)를 설치한 것 이외는 상기 제1 실시예와 동일하며, 중복되는 설명은 생략한다.

홀더 본체(7)의 일단 측에 형성된 연결부(7f)에는, 검사용 다관절 암 로봇(기판 홀더 구동 기구)을 채용한 검사용 로봇(15)의 선단 암(16)이 연결축 X를 중심으로 하여 회동 가능하게 연결되어 있다. 이에 따라, 상기 기판 홀더(6)가 검사용 로봇(15)에 의해 캔틸레버 지지되어 있다. 검사용 로봇(15)은, 예를 들면, 도 1에 가상선으로 나타낸 바와 같은 수평으로 자세 유지되는 위치로부터, 도 1에 실선으로 나타낸 바와 같은 소정의 경사 각도까지 일어선 위치까지, 기판 홀더(6)를 요동시키거나 회전시키거나 하는 것이 가능하게 되어 있다.

기판 홀더(6)에는, 검사용 로봇(15)의 선단 암(16)이 연결된 연결 측 단부에 한 쌍의 밸런스 웨이트(90)가 장착되어 있다. 이들 밸런스 웨이트(90)는 기판 홀더(6)의 양 측부 근방에 고정된 지지 암(91)의 선단에 지지되어 있고, 선단 암(16)과의 연결축 X에 대하여 기판 홀더(6)와는 반대 측에 배치되어 있다.

이들 밸런스 웨이트(90)는 선단 암(16)과의 연결 개소를 통과하는 기판 홀더(6)의 중심축 Y를 사이에 둔 양측에 각각 나누어 설치되고, 또한 연결축 X를 경계로 기판 홀더(6)의 중심 G의 반대 측에 각각 배치되어 있다.

이에 따라, 연결축 X에는, 기판 홀더(6)의 중량에 의해 생기는 회전 모멘트가 밸런스 웨이트(90)의 중량에 의해 생기는 회전 모멘트로 줄어들고 있다. 그리고, 기판 홀더(6)의 중량에 의해 생기는 회전 모멘트를 대략 균형이 잡히게 하여 상쇄시키도록, 밸런스 웨이트(90)의 중량 및 배치를 설정해도 된다.

이상 설명한 구성을 가지는 본 실시예의 매크로 검사 장치(1)에 의하면, 검사용 로봇(15)의 선단 암(16)과의 연결 측 단부에 선단 암(16)과의 연결축 X에 대하여 중심 G와 반대 측에 밸런스 웨이트(90)를 설치했으므로, 기판 홀더(6)의 중량에 의해 생기는 연결축 X 주위의 회전 모멘트를, 밸런스 웨이트(90)의 중량에 의해 생기는 연결축 X 주위의 회전 모멘트로 감소시킬 수 있다.

그 결과, 기판 홀더(6)를 요동 가능하게 캔틸레버 지지하는 검사용 로봇(15)의 구동부로의 부하를 대폭 저감하여, 장치 전체의 소형화를 도모할 수 있다.

또, 각 밸런스 웨이트(90)를, 선단 암(16)과의 연결 개소를 통과하는 기판 홀더(6)의 중심축 Y를 사이에 둔 양측에 각각 나누어 설치했으므로, 선단 암(16)과의 연결 개소에 대한 각 밸런스 웨이트(91)에 의한 회전 모멘트의 밸런스도 균형이 잡히게 할 수 있고, 이에 따라, 중심축 Y를 중심으로 한 기판 홀더(6)의 회동을 원활하게 행할 수 있다.

그리고, 밸런스 웨이트(90)는 검사용 로봇(15)의 선단 암(16)과의 연결 개소를 통과하는 기판 홀더(6)의 중심축 Y를 따라 위치 조절이 가능하게 해도 된다. 이 경우, 밸런스 웨이트(90)의 위치를 조절함으로써, 홀더 본체(7)의 무게 변화나 경사 각도 등에 맞추어 연결축 X에 있어서의 회전 모멘트의 밸런스를 더욱 고정밀도로 제어할 수 있다.

밸런스 웨이트(90)의 장착 위치는 연결축 X 주위의 회전 모멘트를 감소시킬 수 있는 위치라면, 본 실시예의 위치에 한정되지 않는다. 밸런스 웨이트(90)의 장착 위치가 상이한 다른 예에 대하여, 이하에 설명한다.

도 18은 한 쌍의 밸런스 웨이트(90)를, 연결부(7f)에 근접 배치한 경우를 나타낸다.

이 경우, 중심축 Y 주위의 기판 홀더(6)의 관성 모멘트를 매우 작게 할 수 있어, 중심축 Y를 중심으로 한 기판 홀더(6)의 회동을 원활하게 행할 수 있다.

도 19 및 도 20은 선단 암(16)이 연결되는 연결부(7f)를 연결축 X에 대하여 홀더 본체(7)와는 반대측으로 연장시킨 지지 암(91)과 이 지지 암(91)에 지지된 하나의 밸런스 웨이트(90)를 구비한 경우를 나타낸다. 밸런스 웨이트(90)는 기판 홀더(6)의 중심축 Y 상에 설치되어 있다.

상기 구조에 의하면, 중심축 Y 주위에 있어서의 기판 홀더(6)의 관성 모멘트를 더욱 작게 할 수 있어, 중심축 Y를 중심으로 한 기판 홀더(6)의 회동을 더욱 원 활하게 행할 수 있다.

그리고, 이 경우, 선단 암(16)이 지지 암(91) 및 밸런스 웨이트(90)에 간섭 하지 않도록, 예를 들면, 홀더 본체(7)의 연결부(7f)에 대하여 구동 암(16)이 대략 직교하도록 연결시켜, 가동 범위가 매우 제한되지 않도록 하는 것이 바람직하다.

그리고, 본 변형예에서는, 프레임형으로 형성된 기판 홀더(6)를 구비한 매크로 검사 장치(1)를 예로 들어 설명했지만, 기판 홀더로서는, 프레임형의 것에 한정되지 않는 것은 물론이다.

도 21, 및 도 22에 나타낸 것은 도 14에 나타낸 것과 동일 기판 홀더(81)이며, 복수개의 가늘고 긴 기판 지지부(82)를 빗살형으로 배치하고, 각 기판 지지부(82)의 상면에는, 각 흡착부(84)가 서로 간격을 두고 형성되어 있다.

그리고, 상기 기판 홀더(81)에도, 선단 암(16)과 홀더 본체(83)의 연결부(83a)와의 연결 측 단부에, 한 쌍의 지지 암(91)을 통해 한 쌍의 밸런스 웨이트(90)가 장착되어 있고, 이들 밸런스 웨이트(90)가 연결축 X를 경계로 기판 홀더(81)의 중심 G의 반대 측에 배치되어 있다.

이에 따라, 연결축 X 주위에서, 기판 홀더(81)의 중량에 의해 생기는 회전 모멘트와, 밸런스 웨이트(90)의 중량에 의해 생기는 회전 모멘트가 대략 균형이 잡혀 상쇄된다.

특히, 상기 구조의 기판 홀더(81)에 의하면, 프레임형의 기판 홀더와 비교하여 소형 경량화가 도모되므로, 밸런스 웨이트(90)로서도 경량의 것을 사용할 수 있어, 한층 더 장치의 소형화를 도모할 수 있다.

본 발명에 의하면, 기판 홀더 상에 있어서의 기판의 위치 결정을 신속하게 행할 수 있으므로, 택트 타임을 단축하여 검사의 효율화를 도모하는 것이 가능하게 된다.

또, 본 발명에 의하면, 예를 들면, 기판 위치 결정 기구를 기판 홀더 이외의 위치에 설치한 경우, 기판 위치 결정 기구가 기판 홀더에 설치되어 있지 않은 분 만큼, 기판 홀더를 소형화, 경량화할 수 있다. 따라서, 기판 홀더 구동 기구에 걸리는 부담을 저감할 수 있으므로, 기판 홀더 구동 기구를 소형화할 수 있어, 매크로 검사 장치 전체를 소형화, 경량화할 수 있다.

또, 본 발명에 의하면, 전술한 바와 같이, 기판 홀더 구동 기구에 걸리는 부담을 저감할 수 있으므로, 구동 기구로서 다관절 암 로봇에 의한 매크로 검사 장치를 실현하는 것이 가능하게 된다.

Claims (28)

1. 검사를 받는 기판을 지지하는 기판 홀더와,

   상기 기판에 조명광을 조사하는 매크로 조명 광학계와,

   상기 기판 홀더를 지지하고, 상기 기판이 상기 조명광으로 비추어진 상태에서 상기 기판 홀더의 자세를 제어하는 기판 홀더 구동 기구와,

   상기 기판 홀더 사이에서 상기 기판의 수도(受渡)를 행하는 기판 반송(搬送) 기구와,

   상기 기판 홀더 상에 수도된 상기 기판에 대하여 에어의 분사를 행함으로써, 상기 기판을 상기 기판 홀더 상으로부터 떠오르게 하는 기판 부상(浮上) 기구와,

   상기 기판 부상 기구에 의해 부상 상태에 있는 상기 기판을 상기 기판 홀더 상의 기준 위치에 위치 결정하는 기판 위치 결정 기구와,

   상기 기판 위치 결정 기구에 의해 위치 결정된 상기 기판을 상기 기판 홀더에 고정하는 기판 고정 기구

   를 구비한 매크로 검사 장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 기판 홀더 구동 기구는 다관절 암 로봇을 구비한 것을 특징으로 하는 매크로 검사 장치.
3. 제1항에 있어서,

   상기 기판 위치 결정 기구는 상기 기판 홀더 이외의 위치에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 매크로 검사 장치.
4. 제1항에 있어서,

   상기 기판 위치 결정 기구는 상기 기판을 그 주위로부터 협지(挾持)함으로써, 상기 위치를 결정하는 것을 특징으로 하는 매크로 검사 장치.
5. 제3항에 있어서,

   상기 기판 위치 결정 기구가 상기 기준 위치에 달했을 때의 상기 기판에 맞닿는 위치에 고정된 위치 결정 부재와, 상기 기판을 상기 위치 결정 부재를 향해 가압하는 가압 장치를 구비한 것을 특징으로 하는 매크로 검사 장치.
6. 제3항에 있어서,

   상기 기판 홀더에 상기 기판 위치 결정 기구 사이의 간섭을 피하는 제1 노치가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 매크로 검사 장치.
7. 제1항에 있어서,

   상기 기판 위치 결정 기구가 상기 기판 홀더 상에 설치되어 상기 기준 위치에 달했을 때의 상기 기판에 맞닿는 위치에 고정된 위치 결정 부재와, 상기 기판 홀더 이외의 위치에 설치되어 상기 기판을 상기 위치 결정 부재를 향해 가압하는 가압 장치를 구비한 것을 특징으로 하는 매크로 검사 장치.
8. 제1항에 있어서,

   상기 기판 부상 기구에 의해 상기 기판을 상기 기판 홀더로부터 부상시킨 상태에서, 상기 기판 홀더 구동 기구에 의해 상기 기판 홀더를 경사지게 했을 때, 상기 기판 홀더의 경사에 따라 이동하는 상기 기판이 상기 기준 위치에 달했을 때 맞닿는 위치 결정 부재가 상기 기판 위치 결정 기구에 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 매크로 검사 장치.
9. 제1항에 있어서,

   상기 기판 홀더를 정면에서 본 경우의 외형 치수는 상기 기판을 정면에서 본 경우의 외형 치수보다 작은 것을 특징으로 하는 매크로 검사 장치.
10. 제1항에 있어서,

    상기 기판 반송 기구 사이에 있어서의 상기 기판의 수도 위치로 이동한 상기 기판 홀더를 정지시키는 정지(靜止) 기구를 추가로 구비한 것을 특징으로 하는 매크로 검사 장치.
11. 제10항에 있어서,

    상기 정지 기구가 상기 수도 위치에 달했을 때의 상기 기판 홀더에 맞닿아 상기 기판 홀더의 진동을 감쇠시키는 탄성체를 구비한 것을 특징으로 하는 매크로 검사 장치.
12. 제11항에 있어서,

    상기 정지 기구는, 축선이 기판 홀더에 대략 수직을 이루도록 정위치(定位置)에 고정된 스프링을 추가로 구비하고, 상기 스프링 상에 상기 탄성체가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 매크로 검사 장치.
13. 제10항에 있어서,

    상기 기판 홀더의 측부에 제2 노치가 형성되고,

    상기 정지 기구가 상기 수도 위치에 달했을 때의 상기 기판 홀더의 상기 제2 노치에 거는 걸림부를 구비한 것을 특징으로 하는 매크로 검사 장치.
14. 제10항에 있어서,

    상기 정지 기구가 상기 수도 위치에 달했을 때의 상기 기판 홀더를 협지하는 협지 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 매크로 검사 장치.
15. 제10항에 있어서,

    상기 정지 기구가 상기 수도 위치에 달했을 때의 상기 기판 홀더를 받아들이 는 오목부를 가지고, 상기 기판이 상기 수도 위치로 향하는 방향을 따라 회동(回動)하는 회동 부재와, 상기 회동 부재에 받아들여진 상기 기판 홀더가 상기 수도 위치에 달했을 때의 회전 위치에 상기 회동 부재를 정지시키는 회동 규제 부재를 구비한 것을 특징으로 하는 매크로 검사 장치.
16. 제10항에 있어서,

    상기 정지 기구가 상기 수도 위치에 달한 상기 기판 홀더를 받아내는 캐치(catch) 위치와, 상기 캐치 위치로부터 이격된 대피 위치 사이에서 이동하는 것을 특징으로 하는 매크로 검사 장치.
17. 제16항에 있어서,

    상기 정지 기구는 상기 캐치 위치 및 상기 대피 위치 사이를 수평 이동하는 것을 특징으로 하는 매크로 검사 장치.
18. 제16항에 있어서,

    상기 정지 기구는 상기 캐치 위치 및 상기 대피 위치 사이를 회전 이동하는 것을 특징으로 하는 매크로 검사 장치.
19. 제1항에 있어서,

    상기 기판 홀더 구동 기구가 상기 기판 홀더의 한 변을, 상기 한 변에 평행 한 제1 축선(軸線) 주위로 상기 기판 홀더가 회동 가능하도록 지지하고,

    상기 제1 축선을 회전 중심으로 하여 상기 기판 홀더의 위치와는 반대측에 위치하는 웨이트(weight)가 상기 기판 홀더에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 매크로 검사 장치.
20. 제19항에 있어서,

    상기 홀더 구동 기구가 상기 기판 홀더를 상기 제1 축선으로 직교하고, 상기 기판 홀더가 이루는 평면에 평행한 제2 축선 주위로 회동 가능하게 지지되고,

    상기 기판 홀더의 중심(重心) 위치와, 상기 제1 축선 및 상기 제2 축선 사이의 교점과, 상기 웨이트의 중심 위치가 대략 일직선 상에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 매크로 검사 장치.
21. 제19항에 있어서,

    상기 홀더 구동 기구가 상기 기판 홀더를 상기 제1 축선과 직교하고, 상기 기판 홀더가 이루는 평면에 평행한 제2 축선 주위로 회동 가능하게 지지하고,

    상기 웨이트가 상기 제2 축선을 사이에 끼워 서로 접근하도록 한 쌍 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 매크로 검사 장치.
22. 검사를 받는 기판의 수도 위치에 기판 홀더를 정지시키는 기판 홀더 정지 스텝과,

    상기 기판 홀더 상에 상기 기판을 탑재하는 기판 탑재 스텝과,

    상기 기판에 대하여 에어를 분사하여 상기 기판을 상기 기판 홀더 상으로부터 떠오르게 하는 기판 부상 스텝과,

    부상 상태에 있는 상기 기판을 상기 기판 홀더 상의 기준 위치에 위치 결정하는 기판 위치 결정 스텝과,

    상기 기판 위치 결정 스텝 후의 상기 기판을 상기 기판 홀더에 고정하는 기판 고정 스텝

    을 포함하는 매크로 검사 방법.
23. 제22항에 있어서,

    상기 기판 위치 결정 스텝에서는, 상기 기판을 그 주위로부터 협지함으로써, 상기 위치를 결정하는 것을 특징으로 하는 매크로 검사 방법.
24. 제22항에 있어서,

    상기 기판이 상기 기준 위치에 달했을 때 맞닿는 위치 결정 부재를 상기 기판 홀더에 설치하고,

    상기 기판 위치 결정 스텝에서, 부상 상태의 상기 기판을 상기 위치 결정 부재에 접촉시키도록 상기 기판 홀더를 경사지게 하는 것을 특징으로 하는 매크로 검사 방법.
25. 제22항에 있어서,

    상기 기판 홀더 정지 스텝에서, 상기 수도 위치로 이동한 상기 기판 홀더의 진동을 감쇠시킴으로써, 상기 기판 홀더를 정지시키는 것을 특징으로 하는 매크로 검사 방법.
26. 제22항에 있어서,

    상기 기판 홀더 정지 스텝에서, 상기 수도 위치로 이동한 상기 기판 홀더를 협지함으로써, 상기 기판 홀더를 정지시키는 것을 특징으로 하는 매크로 검사 방법.
27. 제22항에 있어서,

    상기 기판 홀더 정지 스텝에서, 상기 수도 위치로 이동한 상기 기판 홀더를 정(定)위치에 걸리게 함으로써, 상기 기판 홀더를 정지시키는 것을 특징으로 하는 매크로 검사 방법.
28. 제22항에 있어서,

    상기 기판 홀더의 회전 모멘트를, 상기 회전 모멘트와 어울리는 회전 모멘트를 발생시키는 웨이트에 의해 상쇄하는 것을 특징으로 하는 매크로 검사 방법.

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