JPH11274276A - 基板保持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、大きさの異なる基板を原点基準部位
置を共通にして位置決めして保持できる基板保持装置を
提供する。 【解決手段】装置本体１の矩形状穴部１０１の隣接する
２側縁が交差する隅部に、当接片４１、４２を有する原
点基準部材４を設け、これら当接片４１、４２の間にガ
ラス基板３の原点基準となる角部を挿入しガラス基板３
の原点基準位置を決定し、また、矩形状穴部１０１の隣
接する２側縁のそれぞれの長溝６０１、７０１に沿って
移動自在に設けられる基板保持部６、７の保持部本体６
０２、７０２の板バネ６０３、７０３先端部のローラ６
０５、７０５をクリック溝６０１ａ（６０１ｂ）、７０
１ａ（７０１ｂ）に落とし込み、保持部本体６０２、７
０２の動きを規制し、板バネ６０４、７０４先端部のロ
ーラ６０６、７０６を介してガラス基板３を押圧し矩形
状穴部１０１の２側縁方向に保持させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶ディスプレイ
（ＬＣＤ）のガラス基板検査に用いられる基板保持装置
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】最近、ＬＣＤは、パソコン、カーナビゲ
ーション、ビデオカメラなど様々な分野で表示装置とし
て使用されている。そして、このようなＬＣＤには、基
幹部品としてガラス基板が用いられるが、ガラス基板の
精度がＬＣＤの品質に大きく影響することから、かかる
ガラス基板については厳格な検査が行われている。

【０００３】そこで、従来では、ガラス基板全体を保持
する基板保持装置が用いられ、この保持装置にガラス基
板を保持した状態で、基板表面の傷や埃の付着などの欠
陥を検査するようにしている。

【０００４】この欠陥検査においては、ガラス基板上の
欠陥部の位置特定が要求されるため、基板保持装置上に
保持されるガラス基板の位置再現性が必要となる。そこ
で、ガラス基板の位置再現性を得るため、特開平８−３
１３８１５号公報に開示されているように、基板保持装
置上に位置基準部材を設け、この位置基準部材にガラス
基板を押付けシリンダを用いて当接させて正確に位置決
めするようにしている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、最近になっ
て、ＬＣＤは、種々の大きさのものが存在し、また、一
枚のガラス基板から多数枚の基板を取り出す、いわゆる
多数枚取りに用いられるガラス基板など、目的に合せて
異なる大きさのものが種々存在している。

【０００６】ところが、このような大きさの異なるガラ
ス板に対しては、位置基準部材に単に押し当てて位置決
めするという対策だけしかなされておらず、安定して保
持することは難しく、このため、従来では、ガラス板の
大きさに応じて複数種類の基板保持装置を用意してお
り、経済的に不利になるという問題があった。

【０００７】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、大きさの異なる基板を原点基準部位置を共通にして
位置決めし安定して保持できる基板保持装置を提供する
ことを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
ＬＣＤ基板が載置される矩形状穴部を有する装置本体
と、この矩形状穴部の隣接する２側縁が交差する隅部に
設けられ、前記ＬＣＤ基板の原点基準位置を決定する原
点基準部材と、前記矩形状穴部の隣接する２側縁の一方
の側縁に沿って移動自在に設けられ、前記ＬＣＤ基板を
前記矩形状穴部の他方の側縁方向に押圧保持させる第１
の基板保持手段と、前記矩形状穴部の隣接する２側縁の
他方の側縁に沿って移動自在に設けられ、前記ＬＣＤ基
板を前記矩形状穴部の一方の側縁方向に押圧保持させる
第２の基板保持手段とにより構成している。

【０００９】請求項２記載の発明は、請求項１記載にお
いて、前記第１および第２の基板保持手段は、前記ＬＣ
Ｄ基板を前記原点基準部材に対して押圧力を作用させる
弾性部材を有する。

【００１０】請求項３記載の発明は、請求項１記載にお
いて、前記第１および第２の基板保持手段は、前記矩形
状穴部の側縁に沿って形成された長溝に移動可能に設け
られるとともに、任意の位置に固定可能とした移動クリ
ック部材を備えたクリック機構を有する。

【００１１】この結果、請求項１記載の発明によれば、
異なる大きさのＬＣＤ基板についても原点基準部位置を
共通にして位置決めするとともに安定して保持すること
ができる。

【００１２】請求項２記載の発明によれば、ＬＣＤ基板
に対する基板保持手段による衝撃力を弾性部材で吸収
し、特に衝撃力に弱いガラス基板の損傷を防止すること
ができる。請求項３記載の発明によれば、ＬＣＤ基板の
大きさに制限されない、任意の大きさのＬＣＤ基板を保
持することができる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に従い説明する。 （第１の実施の形態）図１は、本発明が適用される基板
保持装置の概略構成を示している。図において、１は装
置本体で、この装置本体１の中央部には、基板ホルダ部
として矩形状の穴部１０１を有し、この矩形状の穴部１
０１の周縁部に沿って複数の吸着部材２を配置し、これ
ら複数の吸着部材２により穴部１０１上に載置されるガ
ラス基板３を固定保持可能にしている。この場合、これ
らの吸着部材２には、図示しないエア配管が接続されて
いて、エアによる吸引力を得られるようにしている。

【００１４】なお、ガラス基板３を吸着固定しなくても
よい場合は、吸着部材２に代えてピン状の支持部材を配
置し、これら支持部材上にガラス基板３を載置してもよ
い。また、矩形状の穴部１０１の隣接する２側縁が交差
する隅部には、原点基準部材４を設けている。この原点
基準部材４は、直角に規制された基準面を有する一対の
当接片４１、４２からなり、これら当接片４１、４２の
間にＬＣＤ基板であるガラス基板３の原点基準となる角
部を挿入して当接させることで、ガラス基板３のＸ軸方
向およびＹ軸方向の位置を決定するようにしている。

【００１５】また、装置本体１の矩形状穴部１０１の原
点基準部材４を有する２側縁の一方の側縁に沿って複数
のＹ軸基準部材５を配置している。これらＹ軸基準部材
５は、原点基準部材４により原点基準位置を決定された
ガラス基板３の側縁を当接させることで、矩形状穴部１
０１上でのガラス基板３のＹ軸方向の基準位置を決定す
るようにしている。

【００１６】また、装置本体のＹ軸基準部材５に沿った
方向に基板保持部６を配置するとともに、この基板保持
部６と直交する方向、つまり矩形状の穴部１０１の原点
基準部材４を有する２側縁の他方の側縁に沿って基板保
持部７を配置している。ここで、基板保持部６は、当接
片４１のＸ軸基準面に対してガラス基板３を押し当てて
Ｘ軸方向の位置を決定するためのもので、また、基板保
持部７は、当接片４２のＹ軸基準面およびＹ軸基準部材
５に対してガラス基板３を押し当ててＹ軸方向の位置を
決定するためのものである。

【００１７】図２は、基板保持部６の概略構成を示して
いる。この場合、装置本体１の矩形状穴部１０１の原点
基準部材４を有する２側縁の一方の側縁に沿って長溝６
０１を形成している。この長溝６０１には、所定の間
隔、つまり、矩形状穴部１０１上に載置されるガラス基
板３の大きさに対応させて複数のクリック溝６０１ａ、
６０１ｂを有している。また、長溝６０１には、保持部
本体６０２を嵌入していて、この保持部本体６０２を長
溝６０１に沿って移動可能にしている。保持部本体６０
２には、板バネ６０３、６０４を設けている。このうち
板バネ６０３は、保持部本体６０２の移動方向に沿って
配置されるもので、基端部を保持部本体６０２に固定さ
れるとともに、先端部にローラ６０５を設けており、こ
のローラ６０５を保持本体６０２の長溝６０１に沿った
移動によりクリック溝６０１ａまたは６０１ｂに係合さ
せる、つまり落とし込むことにより保持部本体６０２の
動きを規制するようにしている。また、板バネ６０４
は、保持部本体６０２の移動方向と直交する方向に沿っ
て配置されるもので、基端部を保持部本体６０２に固定
されるとともに、矩形状穴部１０１側に突出した先端部
にローラ６０６を設け、保持本体６０２の長溝６０１に
沿った移動により、ガラス基板３を当接片４１のＸ軸基
準面に押しつける方向にバネ圧力が作用するようにして
いる。

【００１８】基板保持部７についても、図２で述べた基
板保持部６と同様な構成をなすもので、この場合、装置
本体１の矩形状穴部１０１の原点基準部材４を有する２
側縁の他方の側縁に沿って複数のクリック溝７０１ａ、
７０１ｂを有する長溝７０１を形成し、この長溝７０１
に対してローラ７０５を有する板バネ７０３、ローラ７
０６を有する板バネ７０４を備えた保持部本体７０２を
移動可能に設けていて、保持本体７０２の長溝７０１に
沿った移動により、板バネ７０３を介してローラ７０５
をクリック溝７０１ａまたは７０１ｂに落とし込むこと
で保持部本体７０２の移動を規制し、また、保持本体７
０２の長溝７０１に沿った移動により、板バネ７０４を
介してローラ７０６によりガラス基板３を当接片４１の
Ｙ軸基準面およびＹ軸基準部材５に押しつける方向にバ
ネ圧力が作用するようにしている。

【００１９】次に、以上のように構成した実施の形態の
動作を説明する。まず、寸法の大きなガラス基板３を装
置本体１の矩形状穴部１０１上に載置する場合を説明す
る。

【００２０】この場合、装置本体１の矩形状穴部１０１
上にガラス基板３を供給し、ガラス基板３の原点基準と
なる角部を原点基準部材４の当接片４１、４２の間に挿
入する。

【００２１】この状態で、基板保持部６の保持部本体６
０２を長溝６０１に沿って移動させると、板バネ６０３
先端部のローラ６０５が、この時のガラス基板３の大き
さに対応したクリック溝６０１ａに落ち込み、保持部本
体６０２の移動が規制される。この時、矩形状穴部１０
１側に突出した板バネ６０４によりローラ６０６を介し
てガラス基板３の側端が押圧され、この板バネ６０４の
バネ力によりガラス基板３は、当接片４１のＸ軸基準面
に押しつけられ、Ｘ軸方向の位置決めがなされる。

【００２２】また、基板保持部７についても、保持部本
体７０２を長溝７０１に沿って移動させると、板バネ７
０３先端部のローラ７０５が、この時のガラス基板３の
大きさに対応した長溝７０１のクリック溝７０１ａに落
ち込み、保持部本体７０２の移動が規制される。これに
より、矩形状穴部１０１側に突出した板バネ７０４によ
りローラ７０６を介してガラス基板３の側端が押圧さ
れ、この板バネ７０４のバネ力によりガラス基板３は、
当接片４２のＹ軸基準面およびＹ軸基準部材５に押しつ
けられ、Ｙ軸方向の位置決めがなされる。

【００２３】そして、この状態から、対応するガラス基
板３の周縁部に沿って複数配置された吸着部材２を、図
示しないエア配管を介してエアによる吸引力を作用させ
ることにより、ガラス基板３は、矩形状穴部１０１上に
所定の位置を堅持した状態で固定保持されることにな
る。

【００２４】次に、寸法の小さなガラス基板３´を装置
本体１の矩形状穴部１０１上に載置する場合を説明す
る。この場合、ガラス基板３´の大きさに合せて装置本
体１の矩形状穴部１０１上に補助枠部８を取付ける。こ
の補助枠部８も、吸着部材９を有していて、図示しない
エア配管が接続され、エアによる吸引力を得られるよう
にしている。この場合もガラス基板３´を吸着固定する
必要がない時には、吸着部材２、９に代えてピン状の支
持部材を配置し、これらの支持部材上にガラス基板３´
を載置してもよい。

【００２５】この状態から、装置本体１の矩形状穴部１
０１上にガラス基板３´を供給し、ガラス基板３´の原
点基準となる角部を原点基準部材４の当接片４１、４２
の間に挿入する。

【００２６】そして、基板保持部６の保持部本体６０２
を長溝６０１に沿って図示左方向に移動させると、板バ
ネ６０３先端部のローラ６０５が、この時のガラス基板
３´の大きさに対応したクリック溝６０１ｂに落ち込
み、保持部本体６０２の移動が規制される。この時、矩
形状穴部１０１側に突出した板バネ６０４によりローラ
６０６を介してガラス基板３´の側端が押圧され、この
板バネ６０４のバネ力によりガラス基板３´は、当接片
４１のＸ軸基準面に押しつけられ、Ｘ軸方向の位置決め
がなされる。

【００２７】また、基板保持部７についても、保持部本
体７０２を長溝７０１に沿って図示下方向に移動される
と、板バネ７０３先端部のローラ７０５が、この時のガ
ラス基板３´の大きさに対応した長溝７０１のクリック
溝７０１ｂに落ち込み、保持部本体７０２の移動が規制
される。これにより、矩形状穴部１０１側に突出した板
バネ７０４によりローラ７０６を介してガラス基板３´
が押圧され、この板バネ７０４のバネ力によりガラス基
板３´は、当接片４２のＹ軸基準面およびＹ軸基準部材
５に押しつけられ、Ｙ軸方向の位置決めがなされる。

【００２８】そして、この状態から、対応するガラス基
板３´の周縁部に沿って複数配置された吸着部材２およ
び吸着部材９を、図示しないエア配管を介してエアによ
る吸引力を作用させることにより、ガラス基板３´は、
矩形状穴部１０１上に所定の位置を堅持した状態で固定
保持されることになる。

【００２９】従って、このような構成によれば、装置本
体１の矩形状穴部１０１の隣接する２側縁が交差する隅
部に、当接片４１、４２を有する原点基準部材４を設け
るとともに、基板保持部材６、７を長溝６０１、７０１
に沿って移動自在に設け、クリック機構によりガラス基
板３、３´の大きさに応じた位置にて保持部本体６０
２、７０２の移動を規制することで、異なる大きさのガ
ラス基板３、３´についても原点基準部位置を共通にし
て正確に位置決めできるとともに、板バネ６０３、７０
３のバネ力によりガラス基板３、３´を安定して保持す
ることができ、また、板バネ６０３、７０３のバネ力に
よりガラス基板３、３´に対する基板保持手段による衝
撃力を吸収して衝撃による破損を防止することができ
る。 （第２の実施の形態）図３（ａ）（ｂ）（ｃ）は、本発
明の第２の実施の形態の要部の概略構成を示すもので、
図１と同一部分には、同符号を付している。

【００３０】この場合、基板保持部６は、装置本体１の
矩形状穴部１０１の側縁に沿って形成した長溝６０１中
に移動クリック部材１１を配置している。この移動クリ
ック部材１１は、クリック溝１１１を形成したもので、
長溝６０１に沿って移動可能にしている。

【００３１】長溝６０１の底面には、同図（ｃ）に示す
ように長穴６０１１を形成し、この長穴６０１１を介し
て固定ねじ１２を移動クリック部材１１にねじ込み可能
にし、この固定ねじ１２により移動クリック部材１１を
長溝６０１に沿った任意の位置に固定できるようにして
いる。この場合、固定ねじ１２が挿通される長穴６０１
１の側縁に、ガラス基板３の大きさを表す表示やスケー
ルを付しておけば、ガラス基板３の大きさに応じて固定
ねじ１２のねじ込み位置を簡単変更することができる。
また、この移動クリック部材１１は、必要に応じて個数
を増やすことができる。

【００３２】そして、長溝６０１の任意の位置に固定ね
じ１２により固定された移動クリック部材１１のクリッ
ク溝１１１に、保持本体６０２の板バネ６０３先端部の
ローラ６０５を落とし込むことにより、保持部本体６０
２の動きを規制するようにしている。

【００３３】基板保持部７についても、上述した基板保
持部６と同様に構成している。したがって、このように
しても、上述したと同様な効果が期待でき、さらに、固
定ねじ１２により移動クリック部材１１を長溝６０１に
沿った任意の位置に固定できるので、任意の大きさのガ
ラス基板３の保持に対応させることができ、基板の大き
さに制限されない、適用範囲の広いものが得られる。

【００３４】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、異
なる大きさのＬＣＤ基板についても原点基準部位置を共
通にして位置決めするとともに、安定して保持すること
ができるとともに、ガラス基板に対する基板保持手段に
よる衝撃力を弾性部材で吸収することができる。

【００３５】また、保持部本体の動きを規制するための
移動クリック部材の固定位置を変更するのみで、ＬＣＤ
基板の大きさに制限されない、任意の大きさのＬＣＤ基
板を保持することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態の概略構成を示す
図。

【図２】第１の実施の形態に用いられる基板保持部材の
概略構成を示す図。

【図３】本発明の第２の実施の形態に用いられる基板保
持部材の概略構成を示す図。

【符号の説明】

１…装置本体、 １０１…矩形状穴部、 ２…吸着部材、 ３、３´…ガラス基板、 ４…原点基準部材、 ５…Ｙ軸基準部材、 ６、７…基板保持部、、 ６０１、７０１…長溝、 ６０１ａ、６０１ｂ、７０１ａ、７０１ｂ…クリック
溝、 ６０２、７０２…保持部本体、 ６０３、７０３…板バネ、 ６０４、７０４…板バネ、 ６０５、７０５…ローラ、 ６０６、７０６…ローラ、 ８…補助枠、 ９…吸着部材、 １１…移動クリック部材、 １１１…クリック溝、 １２…固定ねじ。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液晶ディスプレイ用基板が載置される矩
   形状穴部を有する装置本体と、 この矩形状穴部の隣接する２側縁が交差する隅部に設け
   られ、前記液晶ディスプレイ用基板の原点基準位置を決
   定する原点基準部材と、 前記矩形状穴部の隣接する２側縁の一方の側縁に沿って
   移動自在に設けられ、前記液晶ディスプレイ用基板を前
   記矩形状穴部の他方の側縁方向に押圧保持させる第１の
   基板保持手段と、 前記矩形状穴部の隣接する２側縁の他方の側縁に沿って
   移動自在に設けられ、前記液晶ディスプレイ用基板を前
   記矩形状穴部の一方の側縁方向に押圧保持させる第２の
   基板保持手段とを具備したことを特徴とする基板保持装
   置。
2. 【請求項２】 前記第１および第２の基板保持手段は、
   前記液晶ディスプレイ用基板を前記原点基準部材に対し
   て押圧力を作用させる弾性部材を有することを特徴とす
   る請求項１記載の基板保持装置。
3. 【請求項３】 前記第１および第２の基板保持手段は、
   前記矩形状穴部の側縁に沿って形成された長溝に移動可
   能に設けられるとともに、任意の位置に固定可能とした
   移動クリック部材を備えたクリック機構を有することを
   特徴とする請求項１記載の基板保持装置。