DE60307485T2

DE60307485T2 - Verfahren und tinte zur herstellung elektronischer bauteile

Info

Publication number: DE60307485T2
Application number: DE60307485T
Authority: DE
Inventors: Alan John Blackley HOPPER; Mark Robert Blackley JAMES
Original assignee: Fujifilm Imaging Colorants Ltd
Current assignee: Fujifilm Imaging Colorants Ltd
Priority date: 2002-09-20
Filing date: 2003-08-22
Publication date: 2007-04-12
Anticipated expiration: 2023-08-23
Also published as: ATE335796T1; EP1543083A1; EP1543083B1; AU2003260741A1; DE60307485D1; US7427360B2; WO2004026977A1; TWI340754B; TW200422356A; JP2005539391A; KR20050057463A; CN1694934A; GB0221892D0; KR100966508B1; US20060154033A1

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen von Platinen, welches das Auftragen einer nicht-wässrigen ätzresistenten Acrylattinte durch einen Tintenstrahldrucker auf ein Laminat eines dielektrischen Substrates und eines elektrisch leitfähigen Metalls umfasst, wobei die Tinte durch Aussetzen gegenüber aktinischer Bestrahlung oder Teilchenbestrahlung polymerisiert wird, wodurch das frei gelegte Metall durch einen chemischen Ätzprozess entfernt und schließlich. die ätzresistente Tinte durch chemische Behandlung entfernt wird.
Platinen werden typischerweise durch ein kompliziertes Verfahren wie beispielsweise durch ein Trockenfilm-Negativphotomasken-Verfahren hergestellt, das sechs oder mehr diskrete Stadien umfasst. Zuerst wird ein dielektrisches Substrat mit Kupfer laminiert oder beschichtet, und über die Kupferfläche wird anschließend eine Photomaskenschicht gelegt. Es wird ein Photowerkzeug hergestellt, bei dem es sich um ein Negativ des erforderlichen elektrisch leitfähigen Schaltkreises der Platine und häufig um eine Silberemulsionsphotoplatte handelt. Das Photowerkzeug wird direkt über die Photomaskenschicht gelegt und anschließend UV-Licht ausgesetzt. Dies bewirkt eine Polymerisierung und Härtung der Photomaskenschicht in solchen Bereichen, die dem UV-Licht ausgesetzt sind, um ein latentes negatives Bild des erforderlichen elektrisch leitfähigen Schaltkreises in der Photomaskenschicht herzustellen. Die Photomaskenschicht wird anschließend chemisch behandelt, um die nicht frei liegenden Bereiche der Photomaske zu entfernen. Die chemische Behandlung ist typischerweise schwach alkalisch, wo die Photomaskenschicht freie Carbonsäuregruppen enthält.
Das frei gelegte Kupfer wird dann durch chemisches Ätzen selektiv von solchen Bereichen entfernt, die nicht durch die Photomaskenschichten geschützt sind.
Schließlich werden die frei liegenden Bereiche der Photomaskenschicht chemisch entfernt, beispielsweise indem stärkeres wässriges Alkali verwendet wird, wo die Photomaske freie Carbonsäuregruppen enthält.
Obgleich der Prozess bei der Herstellung von Platinen (hiernach als PCB bezeichnet) häufig eingesetzt wird, ist er aufwändig und teuer und verbraucht viel Material, da die Photomaske separat hergestellt und über den gesamten Bereich des Kupferlaminats/Laminats aus dielektrischem Substrat aufgetragen wird. Das Photowerkzeug, welches das Negativ des gewünschten elektrisch leitfähigen Schaltkreises enthält, ist darüber hinaus häufig von der Photomaskenschicht entfernt, so dass eine Brechung der UV-Strahlung stattfindet, was zur Entwicklung und Polymerisierung in Bereichen der Photomaske führt, die nicht direkt unterhalb der UV-transparenten Bereiche des Photowerkzeuges liegen. Dies muss bei der Herstellung des Photowerkzeugs berücksichtigt werden und kann die Dichte und Definition des elektrisch leitfähigen Schaltkreises reduzieren. Des Weiteren muss die chemische Struktur der Photomaske sehr sorgfältig kontrolliert werden, da ihre Entfernung vor und nach dem Aussetzen gegenüber UV-Licht von einer alkalischen Behandlung abhängt. Dichte und Integrität des beabsichtigten elektrisch leitfähigen Schaltkreises können ernsthaft beeinträchtigt werden, wenn die nicht ausgesetzte Photomaske entweder unvollständig entfernt wird oder wenn ein gewisser Teil der frei gelegten und polymerisierten Photomaske vor dem chemischen Ätzen des Kupfers entfernt wird.
Das Auftragen einer Photomaske auf bestimmte Bereiche eines Kupferlaminats/dielektrischen Laminats unter Verwendung der Tintenstrahldrucktechnologie ist daher von signifikantem Vorteil, da kein Photowerkzeug mehr benötigt wird. Das Bild bzw. das Negativ wird direkt aus einem Rechner digital zur Verfügung gestellt, die Anzahl der Verfahrensschritte wird halbiert, die Not wendigkeit eines differenziellen Entfernens (Stripping) der Photomaske mit wässriger Alkali verschiedener Stärke wird vermieden, und da kein Photowerkzeug vorliegt, das von der Photomaskenschicht distanziert ist, ergibt sich die Möglichkeit einer besseren Definition und Dichte des Schaltkreises. Außerdem bestehen Kosteneinsparungen im Hinblick auf das Photomaskenmaterial, da die Photomaske nur auf solche Bereiche aufgetragen wird, die gegen chemisches Ätzen geschützt werden müssen.
Aufgrund der möglichen Vorteile, die sich durch direkte Negativbilddarstellung der Photomaske mithilfe von Tintenstrahltechnologie bieten, gab es einige Versuche, diese Technologie für die Herstellung von PCBs zu entwickeln. US-Patent 5,270,368 beschreibt demnach eine UV-härtbare, ätzresistente Tintenzusammensetzung für Tintenstrahlanwendungen, welche eine Harzformulierung von zwei oder mehreren Harzkomponenten, einen Photoauslöser und einen organischen Trägerstoff umfasst. Die Harze haben ein relativ hohes Molekulargewicht, was die in der Tinte vorhandene Menge begrenzt, und der organische Trägerstoff muss die Viskosität der Tinte reduzieren, damit sie über Düsen verteilt werden kann. Abgesehen von dem Risiko wegen Flüchtigkeit und Flammbarkeit kann die Verdunstung des Lösungsmittels die Haftung zwischen dem Kupfer und der Photomaske sowie auch die Integrität der Photomaske selbst negativ beeinflussen, was negativen Einfluss auf die Dichte und Definition des Schaltkreises der PCB hat.
Es wurde festgestellt, dass die möglichen Vorteile des Auftragens einer Photomaske durch Tintenstrahldrucken ohne die Nachteile des Integrierens organischer Trägerstoffe durch sorgfältige Auswahl von Monomeren und unter Beibehaltung der Verteilbarkeit über Düsen erreicht werden können.
Erfindungsgemäß ist ein Verfahren zum Herstellen einer elektronischen Vorrichtung bereitgestellt, umfassend ein dielektrisches Substrat, das mit einem elektrisch leitfähigen Metall oder einer elektrisch leitfähigen Legierung beschichtet ist, welches das Auftragen einer nicht-wässrigen ätzresistenten Tinte durch Tintenstrahldrucken auf ausgewählte Bereiche des Metalls oder der Legierung, Aussetzen der ätzresistenten Tinte gegenüber aktinischer Strahlung und/oder Teilchenbestrahlung zum Veranlassen von Polymerisation, Entfernen von ausgesetzten Metall oder Legierung durch ein chemisches Ätzverfahren und anschließend Entfernen der polymerisierten ätzresistenten Tinte durch Alkali umfasst, wobei die ätzresistente Tinte im Wesentlichen lösungsmittelfrei ist und folgende Bestandteile umfasst:

A) 30 bis 90 Teile funktionale Acrylatmonomere, die frei von Säuregruppen sind und Monofunktionalität oder höhere Funktionalität aufweisen, wobei 5–95 Gew.-% eines oder mehrere monofunktionale Monomere sind;
B) 1 bis 30 Teile funktionales Acrylatmonomer, das eine oder mehrere Acrylatgruppen enthält;
C) 0 bis 20 Teile Polymer oder Vorpolymer;
D) 0 bis 20 Teile Radikalauslöser;
E) 0 bis 5 Teile Farbmittel;
F) 0 bis 5 Teile oberflächenaktives Mittel und wobei die Tinte bei 40°C eine Viskosität von nicht mehr als 30 cPs (mPA·s) aufweist.

Wie hierin vorher beschrieben, ist die ätzresistente Tinte im Wesentlichen frei von organischen Lösungsmitteln. Damit ist gemeint, dass bei der Herstellung der verschiedenen zur Herstellung der Tinte verwendeten Bestandteile keine zusätzlichen Lösungsmittel erforderlich sind und nur Spuren von Lösungsmitteln als Unreinheiten oder Nebenprodukte vorhanden sein können. Es ist bevorzugt, dass die Tinte nicht mehr als 2 Teile, mehr bevorzugt nicht mehr als 1 Teil und insbesondere nicht mehr als 0,5 Teile an organischem Lösungsmittel enthält. Es ist sehr bevorzugt, dass die ätzresistente Tinte frei von organischem Lösungsmittel ist.
Die erforderliche Viskosität der ätzresistenten Tinte richtet sich weitgehend nach dem jeweils verwendeten Druckkopf und insbesondere nach dessen Betriebstemperatur. Gegenwärtig arbeiten die meisten geeigneten kommerziellen Druckköpfe bei einer Temperatur von 25°C bis 65°C. Folglich ist es bevorzugt, dass die Viskosität der ätzresistenten Tinte bei 40°C nicht größer ist als 30cPs (mPa·s). Die Viskosität kann mit jeder geeigneten Ausrüstung gemessen werden, wird aber vorzugsweise mithilfe eines Brookfield-Viskosimeters mit einer Drehspindel gemessen, beispielsweise einer Spindel der Nummer 18. Vorzugsweise ist die Viskosität bei 40°C nicht größer als 20 und insbesondere nicht größer als 15 cPs (mPa·s). Es ist auch bevorzugt, dass die Viskosität bei 40°C nicht weniger als 5 und insbesondere nicht weniger als 8 cPs (mPa·s) ist. Vorzugsweise ist die Viskosität bei 40°C zwischen 8 und 15 cPs (mPa·s). Die Betriebstemperatur des Druckkopfes ist vorzugsweise zwischen 30 und 60°C und insbesondere von 35 bis 45°C.
In einer Ausführungsform ist die Anzahl der Teile der Komponenten A) + B) + C) + D) + E) + F) = 100.
Das Tintenstrahldrucken wird vorzugsweise mit einem Peizo-Tintenstrahldrucker der Ausführung Drop-on-Demand (DOD) durchgeführt.
Der Begriff funktionales Acrylat, wie hierin verwendet, bedeutet jedes Monomer, das den Rest einer reaktiven Vinylgruppe enthält, wie beispielsweise CH₂=C(R)CO-, wobei R Wasserstoff, Alkyl oder Cyano ist. Wenn R Alkyl ist, ist es vorzugsweise C_1-6-Alkyl. Es ist besonders bevorzugt, dass die Acrylatfunktionalität von einer Methacryloyl- oder insbesondere einer Acryloylgruppe verliehen wird. Die Monomere können ein relativ niedriges Molekulargewicht aufweisen oder sie können von der Art her oligomer oder polymer sein und ein Molekulargewicht von bis zu 30.000 aufweisen. Sie unterscheiden sich von den Polymeren oder Vorpolymeren, welche Bestandteil C) der Tintenzusammensetzung ausmachen, insofern, als es sich dabei nicht um Polymere oder Vorpolymere handelt, die aus der Polymerisierung von funktionalen Acrylatmonomeren abgeleitet sind. Sie können allerdings makromolekular sein und Hydrocarbylgruppen enthalten, die durch eines oder mehrere Heteroatome verknüpft sind, wie beispielsweise in Polyethern, Polyamiden, Urethanen, Polyestern und Harnstoffen. Die einzige Einschränkung in Bezug auf die Art und die Molekülgröße der funktionalen Acrylatmonomere ist, dass sie miteinander kompatibel sein müssen, dass sie in dem ätzresistenten Tintenendprodukt keine separaten Phasen bilden dürfen, dass die ätzresistente Tinte die vorgeschriebene Viskosität aufweisen muss und dass das Tintenendprodukt nach der Polymerisation durch eine Alkalibehandlung entfernt werden muss. Typischerweise haben die funktionalen Acrylatmonomere ein Molekulargewicht unter 30.000, mehr bevorzugt nicht mehr als 10.000, noch mehr bevorzugt nicht mehr als 5.000 und insbesondere nicht mehr als 2.000, da dies dazu beiträgt, die Viskosität der ätzresistenten Tinte innerhalb der vorgeschriebenen Grenzen zu halten.
Spezifische Beispiele funktionaler Acrylatmonomere, die frei von Säuregruppen sind, sind solche, die kommerziell unter den Handelsmarken Sartomer^TM, Actilane^TM und Photomer^TM erhältlich sind, beispielsweise Sartomer^TM 506 (Isobornylacrylat), Sartomer^TM 306 (Tripropylenglycoldiacrylat), Actilane^TM 430 (Trimethylolpropanethoxylattri acrylat), Actilane^TM 251 (ein trifunktionales Acrylatoligmer), Actilane^TM 411 (ein CTF-Acrylat), Photomer^TM 4072 (Trimethylolpropanpropoxylattriacrylat), Photomer^TM 5429 (ein Polyestertetraacrylat) und Photomer^TM 4039 (ein Phenolethoxylatmonoacrylat). Sartomer^TM, Actilane^TM und Photomer^TM sind Handelsmarken von Cray Valley Inc, Akros BV bzw. von Cognis Inc. Weitere Beispiele von Monomeren sind Laurylacrylat, Isodecylacrylat, Isooctylacrylat, Butylacrylat, 2-Hydroxyethylacrylat, 2-Hydroxypropylacrylat, 2-Ethylhexylacrylat, 1,6-Hexandioldiacrylat, Neopentylglycoldiacrylat, Diethylenglycoldiacrylat, Butandioldiacrylat, Trimethylolpropantriacrylat, Pentaerythritoltriacrylat, 1,3-Butylenglycoldiacrylat, 1,4-Butylenglycoldiacrylat, Triethylenglycoldiacrylat, Pentaerythritoltetraacrylat, Tripropylenglycoldiacrylat, Isobornylacrylat, 2-Norbornylacrylat, Cyclohexylacrylat, Phenoxyethylacrylat und Tetrahydrofurfurylacrylat. Kommerzielle Proben dieser funktionalen Acrylatmonomere, die frei von Säuregruppen sind, können in der Praxis Spuren von Säureverunreinigungen enthalten, in welchem Fall die Anzahl von Teilen an Acrylatmonomeren, die frei von Säuregruppen sind, als der Teil der Probe angesehen werden, der keine Säuregruppen enthält, d. h. es wird jeder Teil ausgeschlossen, der Säuregruppen aufweist.
Es ist bevorzugt, dass die Menge an monofunktionalem Acrylatmonomer 15–95 Gew.-% ist, mehr bevorzugt nicht weniger als 40–95 Gew.-%, insbesondere 60–95 Gew.-% und spezieller nicht weniger als 70–95 Gew.-% relativ zum Gesamtgewicht von Bestandteil A.
Die Säuregruppe des funktionalen Acrylatmonomers, das Bestandteil B) darstellt, ist vorzugsweise Sulphat, Phosphat und insbesondere Carbonsäure. Es ist besonders bevorzugt, dass das funktionale Acrylatmonomer, das eine oder mehrere Säuregruppen enthält, nur eine Säuregruppe aufweist. Diese Säuregruppe ermöglicht, dass die ätzresistente Tinte unter alkalischen Bedingungen von dem elektrisch leitfähigen Metall oder der elektrisch leitfähigen Legierung, wie beispielsweise Kupfer, der elektronischen Vorrichtung entfernt wird. Die Säuregruppe fördert auch die Adhäsion mit dem leitfähigen Metall wie beispielsweise Kupfer, und daher ist das Vorhandensein anderer spezifischer Metalladhäsionsfördermittel in der Tintenformulierung nicht entscheidend. Vorzugsweise befindet sich die Säuregruppe bzw. befinden sich die Säuregruppen in einem monofunktionalen Acrylatmonomer. Beispiele von funktionalen Acrylatmonomeren mit einer oder mehreren Säuregruppen sind Acrylsäure, Methacrylsäure, 2-Carboxylethylacrylat, 2-Acetamidoacrylsäure, Mono-2-(acryloyloxy)ethylsuccinat, 2,2-Bis(acryloylamid)essigsäure, Bis-(2-(methacryloyloxy)ethylphosphat, Bis(3-sulphopropyl)itaconsäure, Ethylenglycolmethacrylat, Itaconsäure, Mono-2(methacryloyloxy)ethylphosphat, Mono-2-(methacryloyloxy)ethylsuccinat, 2-(Sulphoxy)ethylmethacrylsäure, 2-Acrylamido-2-methyl-1-propansulphonsäure, 3-Sulphopropylacrylsäure, Mono-2-(methacryloyoxy)ethylphthalat, 3-Sulphopropylmethacrylsäure, Maleinsäure, Fumarsäure und Mono-2-(acryloyloxy)ethylphthalat. Acrylsäure, Methacrylsäure und 2-Carboxyethylacrylat sind als Säuregruppe-enthaltendes funktionales Acrylatmonomer sehr bevorzugt.
Zur Begrenzung von Lagerungsproblemen mit ätzresistenten Tinten, die ein Säuregruppe-enthaltendes funktionales Acrylatmonomer umfassen, kann es wünschenswert sein, die Tinte in Form einer Zweipackungszusammensetzung bereit zu stellen, wobei der Radikalauslöser (Bestandteil C) getrennt von dem Säuregruppe-enthaltenden funktionalen Acrylatmonomer (Bestandteil B) zur Verfügung gestellt wird. In einer bevorzugten Zweipackungszusammensetzung wird der Radikalauslöser in einer Formulierung zusammen mit entweder einigen oder allen der funktionalen Acrylatmonomere, die Bestandteil A bilden, vor allem der monofunktionalen Acrylatmonomere, zur Verfügung gestellt.
Die Menge an saurem funktionalem Monomer, das von Bestandteil B) dargestellt wird, ist vorzugsweise nicht höher als 20 Teile, mehr bevorzugt nicht höher als 15 Teile und insbesondere nicht höher als 10 Teile. Es ist bevorzugt, dass die Menge an sauren funktionalen Monomeren, die von Bestandteil B) dargestellt werden, nicht weniger als 3 Teile und insbesondere nicht weniger als 6 Teile ist. Es wurden geeignete Effekte erzielt, wenn die Menge an saurem funktionalem Monomer zwischen 5 Teilen und 15 Teilen liegt.
Die genaue chemische Struktur vieler Carbonsäure-enthaltender Monomere ist unbekannt, aber ihrer Beschreibung nach enthalten sie eine oder mehrere Carbonsäureeinheiten. Viele stammen von Diolen und Polyolen, die durch Reaktion mit (Meth)acrylsäure verestert werden und deshalb, oder absichtlich, freie (Meth)acrylsäure enthalten. Die freie (Meth)acrylsäure kann der einzige Bestandteil der im Handel erhältlichen funktionalen Acrylatmonomere sein, der eine Carbonsäureeinheit aufweist. Nichtsdestotrotz gelten solche kommerziellen Gemische, die freie (Meth)acrylsäure enthalten, für den Zweck dieser Erfindung als Einzelbestandteile, was Säurewerte angeht.
Bevorzugte funktionale Acrylatmonomere mit einer oder mehreren Säuregruppen, die von Bestandteil B) dargestellt werden, haben einen Säurewert von nicht weniger als 10 mg KOH/g, mehr bevorzugt nicht weniger als 20, noch mehr bevorzugt nicht weniger als 100 mg KOH/g und insbesondere nicht weniger als 200 mg KOH/g.
Wie hierin zuvor erwähnt, muss sich die ätzresistente Tinte unter alkalischen Bedingungen nach dem chemischen Ätzen des Metalls leicht entfernen lassen können. Folglich ist es bevorzugt, dass die gesamte ätzresistente Tinte einen Säurewert von über 30 haben sollte, mehr bevorzugt über 40 mg KOH/g. Obgleich Tinten mit einem Säurewert über 150 mg KOH/g verwendet werden könnten, bringen diese Werte im Allgemeinen keinen Vorteil.
Die ätzresistente Tinte kann unter alkalischen Bedingungen entfernt werden, die wässrig oder lösungsmittelbasiert sein können. Lösungsmittelbasierte Medien enthalten im Allgemeinen organische Amine, vor allem Alkanolamine wie beispielsweise Ethanolamin. Bevorzugte organische Lösungsmittel sind polarer Natur, da dies ihre Entfernung beim anschließenden wässrigen Spülen unterstützt. Es ist allerdings sehr bevorzugt, wässrige alkalische Medien zu verwenden, typischerweise Alkalimetallhydroxide, Carbonate und Bicarbonate.
Das Polymer oder Vorpolymer, das Bestandteil C) ausmacht, kann jedes beliebige polymere Material sein, das mit den von den Bestandteilen A) und B) dargestellten acrylischen funktionalen Monomeren kompatibel ist. Es unterscheidet sich dadurch von den von den Bestandteilen A) und B) dargestellten funktionalen Acrylatmonomeren, dass es keine Acrylatfunktionalität aufweist und/oder durch Polymerisierung eines oder zweier funktionaler Acrylatmonomere entsteht. Das Polymer oder Vorpolymer weist typischerweise eine durchschnittliche Molekulargewichtszahl von 500 bis etwa 100.000 auf. Vorzugsweise ist das Molekulargewicht nicht größer als 30.000 und insbesondere nicht größer als 10.000. Es ist auch bevorzugt, dass das Molekulargewicht nicht kleiner als 700 ist und insbesondere nicht kleiner als 1.000. Das polymere Material kann zu jeder beliebigen Klasse von Harzen gehören, wie beispielsweise Polyurethan, Polyester, Polyamid, Polyamid, Epoxy, silikonhaltiges Harz- oder fluoriertes Harzmaterial, einschließlich Gemische davon. Das Vorpolymer oder Polymer kann mit einem oder mehreren der funktionalen Acrylatmonomere, die von Bestandteil A) oder B) dargestellt werden, reagieren oder es kann mit dem von Bestandteil A) oder B) gebildeten Acrylatpolymer interkalieren. Wenngleich es keine Bedingung ist, dass das von Bestandteil C) dargestellte Polymer oder Vorpolymer Löslichkeit in wässriger Alkali aufweist, ist dies sehr bevorzugt, da es das Entfernen der abschließenden ätzresistenten Tinte nach der Herstellung des elektrisch leitfähigen Schaltkreises unterstützt. In manchen Fällen, in denen das Polymer oder Vorpolymer mit dem Polymer, das von den durch Bestandteil A) und B) dargestellten funktionalen Acrylatmonomeren gebildet wird, reagiert oder stark interkaliert, ist Löslichkeit des von Bestandteil C) dargestellten Polymers oder Vorpolymers in wässriger Alkali unnötig.
Es ist bevorzugt, dass die Menge an Bestandteil C), falls vorhanden, nicht größer als 10 Teile, mehr bevorzugt nicht größer als 5 Teile und insbesondere nicht größer als 3 Teile ist. Es ist insbesondere bevorzugt, dass die Tinte keinen Bestandteil C) aufweist.
Der von Bestandteil D) dargestellte Radikalauslöser kann jeder Auslöser sein, einschließlich wahlweise Synergisten, die handelsüblich verwendet werden, um die Polymerisation funktionaler Acrylatmonomere auszulösen. Der Initiator und Synergist, falls vorhanden, kann durch aktinische Strahlung wie beispielsweise UV-Strahlung oder durch beschleunigte Teilchen wie beispielsweise bei der Elektronenbestrahlung aktiviert werden. Geeignete Quellen aktinischer Bestrahlung umfassen Quecksilberlampen, Xenonlampen, Kohlebogenlampen, Wolframfaserlampen, Laser, Elektronenstrahl und Sonnenlicht. Ultraviolette (UV) Strahlung ist bevorzugt, vor allem die von Quecksilberlampen mit mittlerem Druck abgestrahlte. Vorzugsweise ist der Radikalauslöser ein Photoauslöser, der durch UV-Licht aktiviert wird.
Beispiele geeigneter Radikalauslöser und Synergisten sind Anthrachinon, substituierte Anthrachinone wie beispielsweise Alkyl und halogensubstituierte Anthrachinone wie beispielsweise 2-tert-Butylanthrachinon, 1-Chloranthrachinon, p-Chloranthrachinon, 2-Methylanthrachinon, 2-Ethylanthrachinonoctamethylanthrachinone und 2-Amylanthrachinon, wahlweise substituierte polynukleare Chinone wie beispielsweise 1,4-Naphthochinon, 9,10-Phenanthrachinon, 1,2-Benzanthrachinon, 2,3-Benzanthrachinon, 2-Methyl-1,4-naphthochinon,
2,3-Dichlornaphthochinon, 1,4-Dimethylanthrachinon, 2,3-Dimethylanthrachinon,
2-Phenylanthrachinon, 2,3-Diphehylanthrachinon, 3-Chlor-2-methylanthrachinon, Retenchinon, 7,8,9,10-Tetrahydronapthaanthrachinon, 1,2,3,4-Tetrahydrobenzanthracen-7,2-dion, Acetophenone wie beispielsweise Acetophenon, 2,2-Dimethyoxy-2-phenylacetophenon, 2,2-Diethoxy-2-phenylacetophenon, 1,1-Dichloracetophenon, 1-Hydroxycyclohexylphenylketon und 2-Methyl-1-(4-methylthio)phenyl-2-morpholinpropan-1-on; Thioxanthone wie beispielsweise 2-Methylthioxanthon, 2-Decylthioxanthon, 2-Dodecylthioxanthon, 2-Isopropylthioxanthon, 2,4-Dimethylthioxanthon, 2,4-Diethylthioxanthon, 2-Chlorthioxanthon und 2,4-Diisopropylthioxanthon; Ketale wie beispielsweise Acetophenondimethylketal und Dibenzylketal; Benzoine und Benzoinalkylether wie beispielsweise Benzoin, Benzylbenzoinmethylether, Benzoinisopropylether und Benzoinisobutylether; Azoverbindungen wie beispielsweise Azobisisovaleronitril; Benzophenone wie beispielsweise Benzophenon, Methylbenzophenon, 4,4¹-Dichlorbenzophenon, 4,4¹-Bis-diethylaminobenzophenon, Michler-Keton und Xanthon, einschließlich deren Gemische. Wichtige kommerzielle Auslöser und Synergisten sind Speedcure^TM ITX, EHA und 3040. Irgacure^TM 184,369, 907 und 1850 sind Daracure^TM 1173, Speedcure^TM, Irgacure^TM und Daracure^TM sind eingetragene Handelsmarken von Lambson Plc bzw. Ciba GmbH.
Die Menge an Radikalauslöser und Synergist beträgt vorzugsweise nicht mehr als 20 Teile, mehr bevorzugt nicht mehr als 15 Teile und insbesondere nicht mehr als 10 Teile je Gewicht.
Das Farbmittel, das Bestandteil E) der ätzresistenten Tinte darstellt, ist vorzugsweise ein Pigment und kann organisch oder anorganisch sein, einschließlich solche Pigmente mit Oberflächenmodifikation, welche eine Selbstdispersion in der Tinte erleichtert. Das Pigment kann aus einer der bekannten Pigmentklassen stammen, die beispielsweise in der dritten Auflage des Farbindex (1971) und dessen späteren Überarbeitungen und Ergänzungen im Kapitel mit der Überschrift „Pigmente" beschrieben sind. Beispiele anorganischer Pigmente sind Titandioxid, Preußischblaun, Kadmiumsulfid, Eisenoxide, Zinnober, Ultramarin und die Chrompigmente, einschließlich Chromate, Molybdate und gemischte Chromate und Sulfate von Blei, Zink, Barium, Kalzium und deren Gemische und Modifikationen, die im Handel als grünlich-gelbe bis rote Pigmente unter den Namen Primrose, Lemon, Middle, Orange, Scarlet und Red Chrome bekannt sind. Beispiele organischer Pigmente sind solche aus der Reihe, Azo, Diazo, kondensiertes Azo, Thioindigo, Indanthron, Isoindanthron, Anthanthron, Anthrachinon, Isodibenzathron, Triphendioxazin, Chinacridon und Phthalocyanin, insbesondere Kupferphthalocyanin und seine nuklearen halogenierten Derivate, und außerdem Lacke von sauren, basischen und beizenden Farbstoffe. Kohlenschwarz ist zwar rein anorganisch, verhält sich aber hinsichtlich seiner Dispersionseigenschaften wie ein organisches Pigment. Bevorzugte organische Pigmente sind Phthalocyanine, insbesondere Kupferphthalocyanine, Monoazos, Diazos, Indanthrone, Anthanthrone, Chinacridone und Kohlenschwarzpigmente.
Wie hierin oben erwähnt, wird die ätzresistente Tintenstrahlzusammensetzung bei der Herstellung von elektrischen Vorrichtungen verwendet, welche ein dielektrisches Substrat und einer Beschichtung einer leitfähigen Schicht umfassen, wie beispielsweise PCBs. In diesem Industriesektor ist die bevorzugte Farbe blau oder grün, und daher ist das Pigment vorzugsweise eines aus der Reihe der Phthalocyanine. Beispiele blauer Pigmente sind C.I. Pigment Blue 1, 15, 15:1, 15:2, 15:3, 15:4, 15:6, 16, 24 und 60. Grüne Pigmente sind im Allgemeinen eine Mischung aus blauen und gelben oder orangen Pigmenten, oder es kann sich um ein grünes Pigment als solches handeln, wie beispielsweise halogeniertes Metallphthalocyanin, beispielsweise ein bromiertes Kupfer- oder Nickelphthalocyanin.
Das Pigment ist typischerweise in die ätzresistente Tintenstrahlzusammensetzung integriert, indem es zusammen mit einem oder mehreren der funktionalen Acrylatmonomere in Gegenwart eines Dispersionsmittels zermahlen wird. Bei dem Dispersionsmittel handelt es sich vorzugsweise um einen Polyester/ein Polyamin, und es handelt sich dabei beispielsweise um ein Dispersionsmittel wie in US 6,197,877 beschrieben. Dispersionsmittel dieses Typs sind unter der Handelsmarke Solsperse^TM-Dispersionsmittel (Avecia Ltd) erhältlich. Das Dispersionsmittel kann auch einen Synergisten wie beispielsweise ein quaternäres Ammoniumsalz eines partiell sulfonierten Kupferphthalocyaninpigments enthalten. Beispiele solcher Synergisten sind in GB-A-1508576, GB-A-2108143 und WO 01/14479 beschrieben und unter der Handelsmarke Solsperse^TM erhältlich.
Das Verhältnis von Dispersionsmittel zu Synergist ist typischerweise 1:1 bis 10:1 nach Gewicht und vorzugsweise etwa 5:1 nach Gewicht. Die Gesamtmenge an Dispersionsmittel und Synergist zu Pigment kann über einen weiten Bereich variieren und ist typischerweise 50 Gew.-% bis 150 Gew.-% relativ zum Gewicht des Farbmittels. Die Menge an Farbmittel in der ätzresistenten Tinte ist vorzugsweise nicht größer als 5 Teile, mehr bevorzugt nicht größer als 3 Teile und insbesondere nicht größer als 2 Teile je Gewicht.
Das oberflächenaktive Mittel, das ggf. Bestandteil F) der ätzresistenten Tintenzusammensetzung darstellt, kann jedes oberflächenaktive Material sein, das zur Homogenität der Tinte beiträgt und eine wünschenswerte Oberflächenspannung und Benetzungseigenschaften der resultierenden Tinte bereit stellt. Das oberflächenaktive Mittel kann auch ausgewählt sein, um die Viskosität der Tintenzusammensetzung auf die gewünschten Grenzen einzustellen. Es ist vorzugsweise anionisch oder insbesondere nicht-ionisch und vorzugsweise von der Art her aliphatisch, wahlweise enthaltend Siliziumatome und/oder Fluor.
Das oberflächenaktive Mittel ist vorzugsweise mit den Acrylatmonomeren (Bestandteil A) reaktiv, und es ist besonders bevorzugt, dass es eine oder mehrere funktionale (Meth)acrylatgruppen enthält, wie hierin oben definiert. Beispiele von oberflächenaktiven Mitteln aus organischem Siliziumacrylat sind Polysilikone, die Wiederholungseinheiten der Formel -Si(R¹, R¹)-O enthalten, wobei jedes R¹ unabhängig monovalentes Hydrocarbyl ist, das Alkyl oder Aryl sein kann, und außerdem mindestens eine Gruppe der Formel -Si(-X-R¹-O), wobei X eine (Meth)acrylateinheit ist. Spezifische Beispiele sind Tegorad^TM 2200N und 2100 von Tego Chemie.
Die ätzresistente Tinte hat vorzugsweise eine Oberflächenspannung zwischen 20 und 40 und insbesondere zwischen 25 und 35 mN/m. Folglich beträgt die Menge an Bestandteile F) im Allgemeinen zwischen 0,1 und 0,6 Teilen.
Die ätzresistente Tinte kann außer den oben spezifizierten Bestandteilen A) bis F) des Weiteren andere Hilfsstoffe enthalten, die gängigerweise in Zusammensetzungen verwendet werden, welche durch Strahlung oder Teilchenbestrahlung härtbar sind. Solche Hilfsstoffe umfassen Gleitmodifikatoren, thixotrope Stoffe, schaumbildende Mittel, schaumhemmende Mittel, Wachse, Öle, Weichmacher, Bindemittel, Antioxidanzien, Photoauslöserstabilisatoren, Glanzmittel, Fungizide, Bakterizide, organischer und/oder anorganische Füllteilchen, Nivellierungsmittel, Trübungsmittel, antistatische Mittel und Metalladhäsionsfördermittel.
Das Metall oder die Legierung kann eine beliebige aus solchen sein, die herkömmlicherweise für elektrische Vorrichtungen verwendet werden, und kann Gold, Nickel/Gold, Nickel, Zinn, Zinn/Blei, Aluminium, Zinn/Aluminium und insbesondere Kupfer enthalten.
Das dielektrische Substrat der elektronischen Vorrichtung kann jedes nicht leitfähige Material sein, ist aber typischerweise ein Papier/Harz-Komposit, Harz/Glasfaser-Komposit, Keramik, Polyester oder Polyimid (z. B. Kapton^TM von DuPont Inc).
Die ätzresistente Tinte kann durch jedes aus dem Stand der Technik der Zusammensetzungen, die durch Strahlung oder Teilchenbestrahlung härtbar sind, bekannte Verfahren hergestellt werden. Typischerweise werden die Bestandteile A) und B) unter schnellem Rühren bei einer Temperatur von 20 bis 60°C zusammen gemischt, vorzugsweise unter gedämpften Lichtbedingungen, bis eine homogene Lösung erhalten wird. Anschließend wird Bestandteil D) zugegeben und das Rühren bei 20 bis 60°C unter gedämpften Lichtbedingungen fortgesetzt. Schließlich wird wahlweise Bestandteil C), E) und F) zugegeben.
Wie hierin oben erwähnt, ist Bestandteil E) vorzugsweise ein Pigment, insbesondere ein blaues oder grünes Pigment, und wird vorzugsweise durch einen beliebigen Reibungsprozess hergestellt, wie beispielsweise das Vermischen mit Dispersionsmittel in Gegenwart kleiner Mengen von Bestandteil A) und/oder Bestandteil B) durch Zermahlen oder Behandeln in einer Kugel- oder Perlmühle. Wenn Bestandteil E) ein Pigment ist, wird es in einer vordispergierten Form zu den anderen Bestandteilen der Tinte gegeben.
Die Tintenzusammensetzung wird dann vorzugsweise bei 20 bis 25°C gefiltert, um etwaiges Teilchenmaterial zu entfernen. Die Filtration umfasst auch einen Prozess, der als Kaskadenfiltration bekannt ist, wenn die Tintenzusammensetzung durch im feiner werdende Filtermedien geleitet wird, beispielsweise durch Filter mit 10, 6, 4,5, 2,5 und 1,2 Mikron.
Die ätzresistente Tinte kann zu jedem beliebigen Zeitpunkt, nachdem die Tinte aus einer Tintenstrahldruckdüse eines Druckkopfes herausgedrückt wird, aktinischer Strahlung und/oder Teilchenbestrahlung ausgesetzt werden und umfasst Aussetzen während des Ablassens oder nach dem Ablassen.
Nach der Polymerisation der ätzresistenten Tinte durch Aussetzen gegenüber aktinischer Strahlung und/oder Teilchenbestrahlung (z. B. Elektronenstrahl), wird das Laminat einem chemischen Ätzprozess unterzogen, um solche Teile des elektrisch leitfähigen Metalls zu entfernen, die nicht von der polymerisierten ätzresistenten Tinte geschützt sind. Das Entfernen dieses Metalls führt zu dem gewünschten leitfähigen Metallschaltkreis mit einer Beschichtung aus polymerisierter ätzresistenter Tinte.
Das chemische Ätzen kann mit jedem Mittel erfolgen, das für das jeweilige Metall oder die jeweilige Legierung geeignet ist. Wenn das leitfähige Metall Kupfer ist, wird das Ätzen vorzugsweise mit wässrigem saurem Kupfer(II)chlorid, wässrigem ammoniakalischem Kupfer(II)-Komplex und wässrigem Eisen(III)chlorid, wahlweise enthaltend Salzsäure, durchgeführt.
Das Ätzen wird typischerweise bei einer Temperatur von 20 bis 100°C durchgeführt, obgleich 25 bis 60°C bevorzugt sind, und umfasst Sprühen oder Eintauchen, wo das Laminat von dem chemischen Ätzmittel berührt werden soll, wenn es entweder in waagrechter oder senkrechter Position ist.
Sprühen ist bevorzugt, insbesondere dann, wenn sich das Laminat in senkrechter Position befindet, da dies ein schnelleres Entfernen des chemischen Ätzmittels erlaubt, welches das entfernte Metall und/oder die entfernte Legierung enthält. Die Geschwindigkeit des Ätzens kann beschleunigt werden, indem das chemische Ätzmittel bewegt wird, beispielsweise durch Bewegung durch Schallwellen.
Als eine offensichtliche Variante des obigen kann das dielektrische Substrat des Laminats auf beiden Seiten ein elektrisch leitfähiges Metall oder eine elektrisch leitfähige Legierung enthalten, damit jede Seite des Laminats mit einem Negativ eines elektrisch leitfähigen Schaltkreises tintenstrahlbedruckt werden kann. Beide Seiten eines solchen Laminats können gleichzeitig aktinischer Strahlung oder Teilchenbestrahlung ausgesetzt werden, und das ausgesetzte Metall kann von beiden Seiten gleichzeitig chemisch geätzt werden.
Nach Behandeln des Laminats mit dem chemischen Ätzmittel wird es vorzugsweise mit Wasser gespült, um Spuren des Ätzmittels zu entfernen, und anschließend wird das Laminat bei einer Temperatur von 0 bis 100°C, vorzugsweise bei 40 bis 60°C, mit Alkali behandelt, um das ätzresistente Polymer zu entfernen. Dadurch wird der gewünschte elektrisch leitfähige Schaltkreis derart frei gelegt, dass verschiedene elektrisch leitfähige Schaltkreise wie gewünscht verbunden werden können. Schließlich wird das Laminat mit Wasser gespült und getrocknet.
Laminate, die ein dielektrisches Substrat und einen elektrisch leitfähigen Schaltkreis umfassen, welcher mithilfe der erfindungsgemäßen ätzresistenten Tinte hergestellt wurde, können einzeln oder in Kombination in Platinen (PCBs) bei der Herstellung elektronischer Vorrichtungen verwendet werden.
Manche der ätzresistenten Tinten bildet ein weiteres Merkmal der vorliegenden Erfindung. Als weiterer Aspekt der Erfindung ist daher eine nicht wässrige ätzresistente Tinte zum Tintenstrahldrucken bereit gestellt, die im Wesentlichen frei von organischen Lösungsmitteln ist und umfasst:

A) 30 bis 90 Teile funktionale Aacrylatmonomere, die frei von Säuregruppen sind und Monofunktionalität oder höhere Funktionalität aufweisen, wobei 5–95 Gew.-% eines oder mehrere monofunktionale Monomere sind;
B) 1 bis 30 Teile funktionales Acrylatmonomer, das eine oder mehrere Säuregruppen enthält;
C) 0 bis 20 Teile Polymer oder Vorpolymer;
D) 0,1 bis 20 Teile Radikalauslöser;
E) 0 bis 10 Teile Farbmittel;
F) oberflächenaktives Mittel, das in bis zu 5 Teilen vorhanden ist, und

Eine weitere erfindungsgemäße Tinte ist eine nicht wässrige ätzresistente Tinte zum Tintenstrahldrucken, die im Wesentlichen frei von organischen Lösungsmitteln ist und umfasst:

A) 30 bis 90 Teile funktionale Acrylatmonomere, die frei von Säuregruppen sind und Monofunktionalität oder höhere Funktionalität aufweisen, wobei 5–95 Gew.-% eines oder mehrere monofunktionale Monomere sind;
B) 1 bis 30 Teile funktionales Acrylatmonomer, das eine oder mehrere Säuregruppen enthält;
C) 0 bis 20 Teile Polymer oder Vorpolymer;
D) 0,1 bis 20 Teile Radikalauslöser;
E) 0 bis 10 Teile Farbmittel;
F) oberflächenaktives Mittel, das in bis zu 5 Teilen vorhanden ist, und

In einer Ausführungsform der obigen Tinten beträgt die Anzahl der Teile der Bestandteile A) + B) + C) + D) + E) + F) = 100.
Vorzugsweise handelt es sich bei der Säuregruppe von Bestandteil B) um eine Carbonsäuregruppe(n). Es ist auch bevorzugt, dass das funktionale Acrylatmonomer, das eine oder mehrere Säuregruppen aufweist, einen Säurewert von nicht weniger als 65 mg KOH/g und insbesondere nicht weniger als 120mg KOH/g aufweist.
Die ätzresistente Tinte kann Herstellern elektronischer Vorrichtung in Form von Ersatz- oder Nachfüllkartuschen für Tintendrucker verfügbar gemacht werden. Als weiterer Aspekt der Erfindung ist daher eine Kartusche bereitgestellt, welche eine Kammer und eine Tinte aufweist, wobei sich die Tinte in der Kammer befindet und es sich bei der Tinte, wie hierin oben definiert, um eine ätzresistente Tinte handelt.
Die erfindungsgemäße ätzresistente Tinte kann in anderen verwandten Ätzverfahren verwendet werden, beispielsweise beim Glasätzen, Keramikätzen, bei Sichtan zeigen, Silikonätzen, bei der Fertigung von Mikroreaktoren, bei der Herstellung von Analysevorrichtungen, bei der Herstellung von Sensoren, bei der Strukturierung organischer Halbleiter, bei der Strukturierung anorganischer Halbleiter und bei der dielektrischen Strukturierung.
Ein weiterer Aspekt der vorliegenden Erfindung stellt eine elektrische Vorrichtung bereit, die mit einem Prozess in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung erhalten wird.
Die Erfindung wird des Weiteren durch folgende nicht einschränkende Beispiele veranschaulicht, wobei alle Teile nach Gewicht angegeben sind, sofern nicht anders angegeben.
Beispiel 1 bis 51
Die eigentlichen Bestandteile, die zur Herstellung der ätzresistenten Tinte verwendet werden, und ihre Mengen sind in Tabelle 1 unten angegeben. Das Säuregruppenfreie funktionale Acrylatmonomer (Bestandteil 1 bis 11) und das funktionale Acrylatmonomer mit einer oder mehreren Säuregruppen (Bestandteil 12 bis 20) wurden bei 25°C unter Rühren zusammen gemischt, um eine homogene Lösung zu erhalten. Anschließend wurde der Radikalauslöser (Bestandteil 21 bis 30) zugegeben und die Mischung bei 60°C unter gedämpftem Licht gerührt, bis der Radikalauslöser gelöst war. Die Mischung wurde dann auf 25°C gekühlt, und es wurde das oberflächenaktive Mittel (Bestandteil 31) zugegeben, um ein flüssiges Medium zu erhalten. Eine Dispersion des Farbmittels (Bestandteil 32) wurde hergestellt, indem das Farbmittel und das Dispersionsmittel (Bestandteil 33) in Gegenwart von Glaskügelchen mit einem Durchmesser von 3 mm und einer relativ kleinen Menge an funktionalem Acrylatmonomer (1 bis 11) zermahlen wurden. Diese Dispersion wurde dann dem flüssigen Medium (Bestandteil 1 bis 31) zugegeben und unter gedämpftem Licht gründ lich gemischt. Schließlich wurde die Mischung durch eine Reihe von Glasfaserfiltern mit einer Porengröße von 10, 6, 4,5, 2,5 und 1,2 μ in einer Kaskade gefiltert, um Teilchenmaterial zu entfernen.
Die Eigenschaften der Tinten sind in Tabelle 2 unten aufgeführt. Die Viskosität der Tinte wurde bei 40°C anhand eines Brookfield-Viskosimeters bei einer Drehung von 100 Umdrehungen pro Minute gemessen, das mit einer Spindel Nr. 18 ausgestattet war. Die Oberflächenspannung wurde mit einem DuNony-Ring bei 25°C gemessen, und die Sprühbarkeit/Leistung der Tinte wurde nach der Inbetriebnahme und nach der Auslösung mit einem Spectra Galaxy 30pt-Druckkopf anhand einer willkürlichen Skala der Bewertung gut, moderat und schlecht beurteilt.
Die Tinte wurde mit einem K-Bar oder durch Tintenstrahldrucken mit einem Spectra Galaxy Drucker auf eine kupferkaschiertes Glasfaser/Harz-Platte zu einer Dicke von 25μ aufgetragen. Die Tinte wurde dann durch Aussetzen gegenüber UV-Licht bei 300–900 mJ/cm (bzw. 2,8–3,6 W/cm² bei einer Durchgangsgeschwindigkeit von 10–35 m/Min.) unter Verwendung einer bei 120 W/cm betriebenen „Fusion D Bulb" gehärtet.
Es wurden folgende Eigenschaften des gehärteten Films beurteilt:

– Kratzfestigkeit anhand des IPC-Testverfahrens TM 2.4.27.2 von IPC-TM-650.
– Adhäsion anhand des ASTM-Testverfahrens D 3359-87 und Bewertung als gut, moderat oder schlecht.
– Ätzresistenz mit einem sauren Eisen(III)chlorid-Stripbad bei 50°C für 10 Minuten in einem Ultraschallbad, das 28% (Gew./Gew.) Eisen(III)chlorid in 0,07% (Gew./Gew.) Salzsäure enthielt.
– Alkalisches Strippen mit 2,5–5% (Gew./Gew.) wässrigen Natriumhydroxid bei 50°C für 5 Minuten in einem Ultraschallstripbad.

Legenden:
In allen Beispielen werden folgende Legenden verwendet:
MAES Mono-2-(methacryloyloxyethyl)succinat von Aldrich BisMAEP Bis(2-(methacryloyloxy)ethylphosphat von Aldrich EGMP Ethylenglycolmethacrylatphosphat von Aldrich MAEP th Mono-2(methacryloyloxy)ethylphthalat von Aldrich

Claims

Verfahren zum Herstellen einer elektronischen Vorrichtung, umfassend ein dielektrisches Substrat, das mit einem elektrisch leitfähigen Metall oder einer elektrisch leitfähigen Legierung beschichtet ist, welches das Auftragen einer nicht-wässrigen ätzresistenten Tinte durch Tintenstrahldrucken auf ausgewählte Bereiche des Metalls oder der Legierung, Aussetzen der ätzresistenten Tinte gegenüber aktinischer Strahlung und/oder Teilchenbestrahlung zum Veranlassen von Polymerisation, Entfernen von ausgesetztem Metall oder Legierung durch ein chemisches Ätzverfahren und anschließend Entfernen der polymerisierten ätzresistenten Tinte durch Alkali umfasst, wobei die ätzresistente Tinte im Wesentlichen lösungsmittelfrei ist und folgende Bestandteile umfasst: A) 30 bis 90 Teile funktionale Acrylatmonomere, die frei von Säuregruppen sind und Monofunktionalität oder höhere Funktionalität aufweisen, wobei 5–95 Gew.-% ein oder mehrere monofunktionale Monomere sind; B) 1 bis 30 Teile funktionales Acrylatmonomer, das eine oder mehrere Acrylatgruppen enthält; C) 0 bis 20 Teile Polymer oder Vorpolymer; D) 0 bis 20 Teile Radikalauslöser; E) 0 bis 5 Teile Farbmittel; F) 0 bis 5 Teile oberflächenaktives Mittel und wobei die Tinte bei 40°C eine Viskosität von nicht mehr als 30 cPs (mPA·s) aufweist und alle Teile nach Gewicht angegeben sind.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Menge an monofunktionalem Acrylatmonomer 70–95 Gew.-% von Bestandteil A) beträgt.
Verfahren nach Anspruch 1 oder Anspruch 2, wobei die Menge an Bestandteil B) nicht mehr als 10 Teile ist.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 2, wobei die Menge an Bestandteil B) nicht weniger als 6 Teile ist.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei es sich bei Bestandteil B) um Acrylsäure oder Mono-2-(methacryloyl)ethylphthalat handelt.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei es sich bei dem Radikalauslöser um einen durch UV-Licht aktivierten Photoauslöser handelt.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei die Tinte eine Oberflächenspannung von 20 bis 40 mN/m aufweist.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei die Viskosität der Tinte bei 40°C 8 bis 20 cPs (mPa·s) beträgt.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei Bestandteil B) einen Säurewert von nicht weniger als 100 mg KOH/g aufweist.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, wobei die gesamte ätzresistente Tinte einen Säurewert von mehr als 30 mg KOH/g aufweist.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 10, wobei die Menge von Polymer oder Vorpolymer (Bestandteil C) Null ist.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11, wobei die Menge an Radikalauslöser nicht weniger als 0,1 Teile beträgt.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 12, wobei die Anzahl von Teilen von Bestandteilen A) + B) + C) + D) + E) + F) = 100 beträgt.
Elektronische Vorrichtung, umfassend ein dielektrisches Substrat und ein elektrisch leitfähiges Metall oder eine elektrisch leitfähige Legierung, das oder die teilweise mit einer nicht-wässrigen ätzresistenten Tintenzusammensetzung durch ein Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 13 beschichtet ist.
Elektronische Vorrichtung nach Anspruch 14, die aktivischer Strahlung ausgesetzt wurde.
Elektronische Vorrichtung nach Anspruch 14 oder Anspruch 15, bei der es sich um eine Platine handelt.
Nicht-wässrige ätzresistente Tinte zum Tintenstrahldrucken, die im Wesentlichen frei von organischen Lösungsmitteln ist und umfasst: A) 30 bis 90 Teile funktionale Acrylatmonomere, die frei von Säuregruppen sind und Monofunktionalität oder höhere Funktionalität aufweisen, wobei 5–95 Gew.-% ein oder mehrere monofunktionale Monomere sind; B) 1 bis 30 Teile funktionales Acrylatmonomer, das eine oder mehrere Säuregruppen enthält; C) 0 bis 20 Teile Polymer oder Vorpolymer; D) 0,1 bis 20 Teile Radikalauslöser; E) 0 bis 10 Teile Farbmittel; F) oberflächenaktives Mittel, das in bis zu 5 Teilen vorhanden ist, und wobei die Tinte bei 40°C eine Viskosität von nicht mehr als 30 cPs (mPA·s) aufweist und alle Teile nach Gewicht angegeben sind.
Nicht-wässrige ätzresistente Tinte zum Tintenstrahldrucken, die im Wesentlichen frei von organischen Lösungsmitteln ist und umfasst: A) 30 bis 90 Teile funktionale Acrylatmonomere, die frei von Säuregruppen sind und Monofunktionalität oder höhere Funktionalität aufweisen, wobei 5–95 Gew.-% ein oder mehrere monofunktionale Monomere sind; B) 1 bis 30 Teile funktionales Acrylatmonomer, das eine oder mehrere Säuregruppen enthält; C) 0 bis 20 Teile Polymer oder Vorpolymer; D) 0,1 bis 20 Teile Radikalauslöser; E) 0 bis 10 Teile Farbmittel; und F) oberflächenaktives Mittel, das in bis zu 5 Teilen vorhanden ist, wobei die Tinte einen Säurewert von mehr als 30 mg KOH/g und weniger als 120 mg KOH/g aufweist und alle Teile nach Gewicht angegeben sind.
Tinte nach Anspruch 17 oder Anspruch 18, wobei die Säuregruppe(n) des funktionalen Acrylatmonomers von Bestandteil B) eine Carbonsäuregruppe enthält (enthalten).
Tinte nach einem der Ansprüche 17 bis 19, wobei die Anzahl von Teilen von Bestandteilen A) + B) + C) + D) + E) + F) = 100 beträgt.
Tinte nach Anspruch 17 oder Anspruch 18, wobei Bestandteil F) 0,1 bis 0,6 Teile des oberflächenaktiven Mittels beträgt.
Kartusche, umfassend eine Kammer und eine Tinte, wobei die Tinte in der Kammer vorhanden ist, und es sich bei der Tinte um eine ätzresistente Tinte nach einem der Ansprüche 17 bis 20 handelt.
Verwendung einer nicht-wässrigen ätzresistenten Tinte zum Tintenstrahldrucken, wobei die Tinte im Wesentlichen frei von organischen Lösungsmitteln ist und umfasst A) 30 bis 90 Teile funktionale Acrylatmonomere, die frei von Säuregruppen sind und Monofunktionalität oder höhere Funktionalität aufweisen, wobei 5–95 Gew.-% ein oder mehrere monofunktionale Monomere sind; B) 1 bis 30 Teile funktionales Acrylatmonomer, das eine oder mehrere Säuregruppen enthält; C) 0 bis 20 Teile Polymer oder Vorpolymer; D) 0,1 bis 20 Teile Radikalauslöser; E) 0 bis 10 Teile Farbmittel; F) 0 bis 5 Teile oberflächenaktives Mittel, und wobei die Tinte bei 40°C eine Viskosität von nicht mehr als 30 cPs (mPA·s) aufweist und alle Teile nach Gewicht angegeben sind.