DE4332857A1 - Halbleiterreinigungsvorrichtung - Google Patents
HalbleiterreinigungsvorrichtungInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Halbleiterreinigungs
vorrichtung zum Reinigen von Halbleiterscheiben und eine
Scheibenkassette zur Aufnahme der Halbleiterscheiben.
Der Aufbau einer herkömmlichen Halbleiterreinigungsvorrichtung
ist in Fig. 90 gezeigt. Eine Produktkassette, die nicht
gereinigte Scheiben enthält, ist in einen Lade/Endladebereich
11 eingelegt. Die Produktkassette wird durch einen
Förderroboter, der nicht dargestellt ist, zu einem
Verschiebebereich 12 bewegt. In dem Verschiebebereich 12 wird
die Scheibe aus der Produktkassette in eine Reinigungskassette
umgeschoben. Die Reinigungskassette, die die Scheiben 1
aufnimmt, ist zwischen einer Kassettenhand eines Bereichs 19
zur Förderung von zu reinigenden Produkten gehalten, so daß
sie sequenziell zu einem Reinigungsbereich 14, einem
Wasserreinigungsbereich 15 und einem Trocknungsbereich 16
bewegt wird. So wird das Verfahren zur Reinigung der Scheiben
1 ausgeführt.
Fig. 91 stellt eine Reinigungskassette 2 dar, die durch die
Kassettenhand des Bereichs 19 zur Förderung von zu reinigenden
Produkten gehalten wird. Die Reinigungskassette 2 ist so
angeordnet, daß sie eine Vielzahl von Scheiben 1 aufnehmen
kann. Die Kassettenhand besitzt einen Spannfutter-Halterarm
19b, der mit einem bewegbaren Arm 19a verbunden ist, und ein
Spannfutter 19c, das durch den zuvor genannten Spannfutter-
Halterarm 19b gehalten ist. Das Spannfutter 19c trägt einen
Flansch 2a der Reinigungskassette 2, so daß die Kassette 2
durch die Kassettenhand gehalten ist.
Das Verfahren zur Reinigung der Scheiben wird nun unter
Bezugnahme auf Fig. 92 beschrieben. Zuerst wird der bewegbare
Arm 19a zusammengezogen, während er die Kassette 2 hält, indem
von dem Spannfutter 19c Verwendung gemacht wird, und der
bewegbare Arm 19a wird entlang eines Transportweges 19d
bewegt, so daß die Kassette 2 oberhalb einer Reinigungskammer
14a eines Reinigungsbereiches 14 positioniert wird. Dann wird
der bewegbare Arm 19a ausgestreckt, um die Kassette 2 nach
unten zu bewegen, so daß sie in eine Reinigungslösung 14b in
der Reinigungskammer 14a eintaucht. Da sich das obere Ende der
Kassette 2 zu diesem Zeitpunkt im wesentlichen auf derselben
Höhe wie das obere Ende der in der Kassette 2 enthaltenen
Scheibe 1 befindet, bewirkt ein vollständiges Eintauchen der
Scheibe 1 in die Reinigungslösung 14b, daß ebenso das
Spannfutter 19c in die Reinigungslösung 14b eingetaucht wird.
Das Spannfutter 19c wird dann durch den Halterarm 19b
geöffnet, und anschließend wird der bewegbare Arm 19a
zusammengezogen, so daß das Spannfutter 19c in einer Standby-
Stellung oberhalb des Reinigungsbereiches 14 steht. Nachdem
die Scheibe 1 in der Reinigungslösung 14b behandelt worden
ist, wird der bewegbare Arm 19a wieder ausgestreckt, so daß
die Kassette 2 in der Reinigungslösung 14b zum Herausnehmen
aus der Reinigungskammer 14a gegriffen wird. Anschließend wird
die Kassette 2 in einer Wasserreinigungslösung 15b in einer
Wasserreinigungskammer 15a eingetaucht. Während einer Zeit
dauer, in der die Scheibe 1 dem Wasserreinigungsverfahren in
der Wasserreinigungslösung 15b ausgesetzt ist, wird das
Spannfutter 19c in einer Standby-Stellung oberhalb der
Scheibenreinigungskammer 15a gehalten. Nachdem das Wasser
reinigungsverfahren beendet worden ist, wird das Spannfutter
19c verwendet, um die Kassette 2 aus der Wasserreinigungs
kammer 15a herauszunehmen. Anschließend wird die Kassette 2 in
einen Trocknungsbereich 16 gesetzt. Während der Zeit, in der
die Scheibe 1 zusammen mit der Kassette 2 dem in dem
Trocknungsbereich stattfindenden Trocknungsvorgang ausgesetzt
ist, wird das Spannfutter 19c durch den bewegbaren Arm 19a zu
einem Handreinigungsbereich 13 bewegt. In dem Handreinigungs
bereich 13 wird das Spannfutter 19c gereinigt und getrocknet.
Dann wird das Spannfutter 19c verwendet, um die
Reinigungskassette 2, die sich in dem Trocknungsbereich 16
befindet, zu greifen und in einen Standby-Bereich zu bewegen.
Die Reinigungskassette 2, die die Scheibe 1 enthält und dem
Reinigungsvorgang ausgesetzt war, wird von dem Standby-Bereich
17 zu dem Verschiebebereich 19 durch einen Reinigungs
kassetten-Förderbereich 18 bewegt. In dem Verschiebebereich 12
wird die Scheibe 1 aus der Reinigungskassette 2 in die
Produktkassette geschoben, bevor die Scheibe 1 an den Lade-
Endladebereich 11 übergeben wird. Es sollte bemerkt werden,
daß die Produktkassette einen Aufbau ähnlich der
Reinigungskassette 2 hat.
Eine herkömmliche Reinigungsvorrichtung der zuvor beschrie
benen Art ist so ausgebildet, daß das Spannfutter 19c in die
Reinigungslösung 14b und die Wassereinigungslösung 15b
eingetaucht wird, wenn immer die Reinigungskassette 2 in die
Reinigungskammer 14a und in die Wasserreinigungskammer 15a
hineingeschoben und aus diesem herausgezogen wird. Daher muß
das Spannfutter 19c in dem Handreinigungsbereich 13 gereinigt
und getrocknet werden, um die getrocknete Scheibe 1 und die
Kassette 2 aus dem Trocknungsbereich 16 herauszunehmen.
Alternativ hierzu muß ein zusätzlicher Förderbereich mit einem
Spannfutter, das zuvor gereinigt worden ist, vorgesehen sein,
um die Kassette 2 aus dem Trocknungsbereich 16 herauszunehmen.
Im Ergebnis führte dies zu dem Problem, daß die Größe der
Reinigungsvorrichtung nicht verringert werden kann.
Da der Bereich 19 zur Förderung von zu reinigenden Produkten
kontinuierlich den Vorgang zur Förderung der
Reinigungskassette 2, die die Scheibe aufnimmt, und das
Verfahren zum Reinigen und Trocknen der Kassettenhand
kontinuierlich ausführt, muß der Bereich 19 zur Förderung von
zu reinigenden Produkten eine übermäßig hohe Belastung
aushalten und wird die Zeit zur Durchführung des Vorgangs zu
lang. Daher tritt das weitere Problem auf, daß die Funktion
der Reinigungsvorrichtung beeinträchtigt wird.
In der Reinigungskammer 14a des Reinigungsbereiches 14 wird
die Reinigungslösung 14b erhitzt, und die erhöhte Temperatur
wird durch eine Heizung oder desgleichen gehalten, um den
Vorgang auszuführen. Wenn ein leichtes Ätzen ausgeführt wird,
wird beispielsweise SCI (NH4OH + H2O2 + H2O) auf 40°C bis 50°C
erhitzt und auf dieser Temperatur gehalten. Wenn die
Rückstände entfernt sind, wird beispielsweise Schwefelsäure,
Wasserperoxyd (H2SO4 + H2O2 + H2O) auf 140°C bis 150°C erhitzt
und diese Temperatur zur Durchführung des gewünschten Vorgangs
gehalten.
Da die Halbleiterreinigungsvorrichtung in einem Sauberraum
angeordnet ist, wird die Umgebungslufttemperatur auf
beispielsweise 25°C geregelt. Daher wird die Reinigungslösung
14b an ihrer Oberfläche verdampft, um einen Nebel, d. h. einen
chemischen Nebel 14c, zu bilden, der, wie in Fig. 93 gezeigt
ist, dann beim Aufsteigen 14d mit einer natürlichen
Konvektion, die an der Oberfläche der Reinigungslösung 14b
stattfindet, zerstäubt wird. Um dies zu verhindern ist eine
lokale Auslaßleitung 14e lokal oberhalb der Reinigungskammer
14a so angeordnet, daß der chemische Nebel 14c, der mit dem
Aufsteigen 14d der natürlichen Konvektion aufsteigt, zusammen
mit dem Auslaßstrom angesaugt wird.
Andererseits wird der Förderroboter des Förderbereiches 19
vertikal bewegt, während er die Reinigungskassette 2 mit einer
Kassettenhand hält, um die Reinigungskassette 2 in die
Reinigunlösung 14 einzutauchen und dieselbe aus der
Reinigungslösung 14b wieder herauszuziehen.
Die lokale Auslaßleitung 14e kann jedoch nicht vollständig das
Aufsteigen 14d der natürlichen Konvektion und des chemischen
Nebels 14c von der gesamten Oberfläche der Reinigungskammer
14a aufsaugen, was dazu führt, daß ein Bereich des chemischen
Nebels 14c nach außen diffundiert. Wenn die Reinigungskassette
2 aus der Reinigungslösung 14b genommen wird, wird die
Reinigungskassette 2, die von der Reinigungslösung 14b naß
geworden ist, in eine obere Stellung angehoben, die nicht
durch den lokalen Auslaß berührt wird. Daher wird der
chemische Nebel 14c in der nassen Reinigungskassette 2 neu
erzeugt und der so erzeugte chemische Nebel 14c dann zerstäubt.
Daher haftet der chemische Nebel 14c an dem Förderroboter des
Förderbereiches in der Halbleiterreinigungsvorrichtung. Im
Ergebnis tritt das Problem auf, daß der Förderroboter
korrodiert und daß das Anhaften des chemischen Nebels 14c an
der Produktscheibe zu Fehlern führt.
Ein anderes Problem besteht darin, daß der chemische Nebel 14c
von der Zirkulation in den Sauberraum getragen wird und sich
dort zerstreut, wodurch die Ausrüstung korrigiert oder die
Produktscheibe übermäßig beschädigt wird.
Die vorliegende Erfindung ist darauf gerichtet, die
voranstehenden Probleme zu überwinden, und entsprechend
besteht eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung darin, eine
Halbleiterreinigungsvorrichtung anzugeben, deren Größe
reduziert werden kann und die exzellent in ihrer
Funktionsweise ist.
Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin,
eine Halbleiterreinigungsvorrichtung anzugeben, die in der
Lage ist zu verhindern, daß chemischer Nebel, der in einem
Reinigungsbereich erzeugt wird, und Dampf, der in einem Trock
nungsbereich erzeugt wird, sich in die Halbleiterreinigungs
vorrichtung oder einen Sauberraum zerstreuen.
Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin,
eine Scheibenkassette anzugeben, die es ermöglicht, eine
trockene Scheibe aus einem Trocknungsbereich herauszunehmen,
wobei die Scheibe gegen ein Naßwerden selbst dann geschützt
wird, wenn kein zusätzlicher Handreinigungsbereich vorgesehen
ist.
Gelöst wird diese Aufgabe gemäß einem ersten Aspekt der
vorliegenden Erfindung durch eine Halbleiterreinigungs
vorrichtung mit einem Lade/Entladebereich zum
Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, die eine Scheibe
enthält; einem Produkt-Einsetz/Herausnahme-Bereich zum
Einsetzen/ Herausnehmen der Scheibe aus der Produktkassette;
einem Reinigungsbereich zum Reinigen der Scheibe; einem
Wasserreinigungsbereich zum Reinigen der Scheibe, die in dem
Reinigungsbereich gereinigt worden ist, mit Wasser; einem
Trocknungsbereich zum Trocknen der Scheibe, die mit Wasser in
dem Wasserreinigungsbereich gereinigt worden ist; und einem
Förderbereich mit einer Scheibenhand, um die Scheibe, die aus
der Produktkassette in dem Produkt-Einsetz/Herausnahme-Bereich
herausgenommen worden ist, direkt zu halten und die durch die
Scheibenhand gehaltene Scheibe nacheinander dem
Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich und dem
Trocknungsbereich zuzuführen.
Eine weitere Ausführungsform einer Halbleiterreinigungs
vorrichtung besitzt einen Lade/Entladebereich zum
Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, die eine Scheibe
enthält; eine Reinigungskassette zur Aufnahme der Scheibe, an
der oberhalb der aufgenommenen Scheibe Halter ausgebildet
sind; einen Verschiebebereich zum Verschieben der Scheibe
zwischen der Produktkassette, die sich in dem
Lade/Entladebereich befindet, und der Reinigungskassette;
einen Reinigungsbereich zum Reinigen der in der
Reinigungskassette aufgenommenen Scheibe mit einer
Reinigungslösung; einen Wasserreinigungsbereich zum Reinigen
der Scheibe, die in dem Reinigungsbereich gereinigt worden
ist, mit Wasser, während sich die Scheibe in der
Reinigungskassette befindet; einen Trocknungsbereich zum
Trocknen der Scheibe, die mit Wasser in dem
Wasserreinigungsbereich gereinigt worden ist, während sich das
Scheibe in der Reinigungskassette befindet; und einen
Förderbereich, der die Halter der Reinigungskassette hält, um
die Reinigungskassette nacheinander von dem Lade/
Entladebereich dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungs
bereich und dem Trocknungsbereich zuzuführen; wobei sich die
Halter der Reinigungskassette oberhalb des Levels der
Reinigungslösung und des Reinigungswassers befinden, wenn die
darin enthaltene Scheibe vollständig in die Reinigungslösung
in dem Reinigungsbereich und in das Reinigungswasser in dem
Wasserreinigungsbereich eingetaucht ist.
Bei einer weiteren Ausführungsform sind der
Lade/Entladebereich und der Verschiebebereich in der
Breitenrichtung der Reinigungsvorrichtung angeordnet, ist der
Förderbereich in dem Mittelbereich der Reinigungsvorrichtung
in der Längsrichtung der Reinigungsvorrichtung angeordnet und
sind der Reinigungsbereich, der Wasserreinigungsbereich und
der Trocknungsbereich an den beiden Seiten des Förderbereiches
angeordnet.
Bei einer weiteren Ausführungsform sind der
Lade/Entladebereich, der Verschiebebereich, der
Reinigungsbereich, der Wasserreinigungsbereich und der
Trocknungsbereich so angeordnet, daß sie zwei Linien bilden
und ist der Förderbereich entlang der Zweilinienanordnung
angeordnet.
Weiterhin können der Lade/Entladebereich, der
Verschiebebereich, der Reinigungsbereich, der
Wasserreinigungsbereich und der Trocknungsbereich um den
Förderbereich herum angeordnet sein.
Gemäß einer anderen Ausbildungsform besitzt die
Halbleiterreinigungsvorrichtung einen ersten Luftfilter zum
Zuführen sauberer Luft an den Reinigungsbereich, den
Wasserreinigungsbereich und den Trocknungsbereich, um
Abwärtsströme an Stellen oberhalb des Reinigungsbereichs, des
Wasserreinigungsbereiches und des Trocknungsbereiches zu
bilden; einen ersten Auslaßbereich, der in der Nähe jeder
Kammer des Reinigungsbereiches, des Wasserreinigungsbereiches
und des Trocknungsbereiches angeordnet ist;
Temperaturerfassungsmittel zum Erfassen der Temperatur einer
Reinigungslösung in dem Reinigungsbereich und/oder der
Temperatur von Dampf in dem Trocknungsbereich; und
Luftfilterzuführdruck-Änderungsmittel zum Ändern des
Luftzuführdruckes des ersten Luftfilters entsprechend der
durch die Temperaturerfassungsmittel ermittelten Temperatur.
Zu einer Halbleiterreinigungsvorrichtung gemäß einer weiteren
Ausführungsform gehören ein erster Luftfilter zum Zuführen
sauberer Luft an den Reinigungsbereich, den
Wasserreinigungsbereich und den Trocknungsbereich, um
Abwärtsströme an Stellen oberhalb des Reinigungsbereichs, des
Wasserreinigungsbereiches und des Trocknungsbereiches zu
bilden; ein erster Auslaßbereich, der in der Nähe jeder Kammer
des Reinigungsbereiches, des Wasserreinigungsbereiches und des
Trocknungsbereiches angeordnet ist; eine Platte oberhalb der
Kammern, die die Bereiche oberhalb des Reinigungsbereiches,
des Wasserreinigungsbereiches und des Trocknungsbereiches
abdeckt, die Öffnungen direkt oberhalb der Kammern besitzt und
einen Umfangsbereich mit einer Vielzahl von kleinen Öffnungen
aufweist, der mit dem ersten Auslaßbereich verbunden ist; und
eine Aufnahmevorrichtung für ablaufendes Wasser, die unterhalb
der Vielzahl kleiner Öffnungen der oberhalb der Kammern
befindlichen Platte angeordnet ist.
Zu einer weiteren Ausführungsform einer
Halbleiterreinigungsvorrichtung gehören ein erster Luftfilter
zum Zuführen sauberer Luft an den Reinigungsbereich, den
Wasserreinigungsbereich und den Trocknungsbereich, um
Abwärtsströme an Stellen oberhalb des Reinigungsbereichs, des
Wasserreinigungsbereiches und des Trocknungsbereiches zu
bilden; ein erster Auslaßbereich, der in der Nähe jeder Kammer
des Reinigungsbereiches, des Wasserreinigungsbereiches und des
Trocknungsbereiches angeordnet ist; ein erster Wärmetauscher
zum Kühlen der Luft, die von dem ersten Luftfilter zu dem
Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich und dem
Trocknungsbereich geführt werden soll; und eine erste
Kühlvorrichtung, um dem Wärmetauscher ein Kältemittel
zuzuführen, wobei in dem ersten Wärmetauscher gekühlte Luft
und Aufwärtsströme natürlicher Konvektion von Dampf, der in
einer Reinigungskammer des Reinigungsbereiches oder einer
Dampfkammer des Trocknungsbereiches entsteht, an einer Stelle
neben dem oberen Ende der Reinigungskammer oder der
Dampfkammer zum Aufeinandertreffen gebracht werden, um den
Dampf in der gekühlten Luft zu kondensieren und Wassernebel zu
erzeugen.
Eine weitere Halbleiterreinigungsvorrichtung besitzt einen
ersten Luftfilter zum Zuführen sauberer Luft an den
Reinigungsbereich, den Wasserreinigungsbereich und den
Trocknungsbereich, um Abwärtsströme an Stellen oberhalb des
Reinigungsbereichs, des Wasserreinigungsbereiches und des
Trocknungsbereiches zu bilden; einen ersten Auslaßbereich, der
in der Nähe jeder Kammer des Reinigungsbereiches, des
Wasserreinigungsbereiches und des Trocknungsbereiches
angeordnet ist; und eine erste Doppel-Fluiddüse, die reines
Wasser unter Verwendung sauberer Luft oder eines Inaktiv-Gases
als ein zweites Fluid versprüht, um Reinwassernebel zu
erzeugen, der mit den Abwärtsströmen vermischt wird.
Zu einer weiteren Halbleiterreinigungsvorrichtung gehören
ein Luftvorhang-Gebläsemittel mit einer Ausblasöffnung, das
oberhalb der Reinigungskammer des Reinigungsbereiches und
einer Dampfkammer des Trocknungsbereiches entlang einer Seite
der Kammer ausgebildet ist und einen Luftvorhang in
horizontaler Richtung, die der Breitenrichtung entspricht, aus
der Ausblasöffnung in Richtung einer anderen Seite der Kammer
ausbläst; ein Luftvorhang-Auslaßmittel mit einer
Ansaugöffnung, das in gleicher Weise in der Breitenrichtung
einer anderen Seite der Reinigungskammer des
Reinigungsbereiches und der Dampfkammer des
Trocknungsbereiches ausgebildet ist, um den durch die
Ansausöffnung angesaugten Luftvorhang abzuführen; und ein
Rektifiziermittel, das in der Ausblasöffnung des Luftvorhang-
Gebläsemittels angeordnet ist, um den Luftvorhang als
Strömungsschicht mit einer Länge in der Richtung der Passage,
die allmählig im Verhältnis zu dem Abstand von der
Reinigungskammer und der Dampfkammer kürzer wird, auszublasen,
wobei die Geschwindigkeitsverteilung im umgekehrten Verhältnis
zu dem Abstand von der Kammer allmählich ansteigt.
Eine weitere Halbleiterreinigungsvorrichtung besitzt ein
Luftvorhang-Gebläsemittel mit einer Ausblasöffnung, das
oberhalb der Reinigungskammer des Reinigungsbereiches und
einer Dampfkammer des Trocknungsbereiches entlang einer Seite
der Kammer ausgebildet ist und einen Luftvorhang in
horizontaler Richtung, die der Breitenrichtung entspricht, aus
der Ausblasöffnung in Richtung einer anderen Seite der Kammer
ausbläst; ein Luftvorhang-Auslaßmittel mit einer
Ansaugöffnung, das in gleicher Weise in der Breitenrichtung
einer anderen Seite der Reinigungskammer des
Reinigungsbereiches und der Dampfkammer des
Trocknungsbereiches ausgebildet ist, um den durch die
Ansaugöffnung angesaugten Luftvorhang abzuführen;
Temperaturerfassungsmittel zum Erfassen der Temperatur einer
Reinigungslösung in dem Reinigungsbereich und/oder der
Temperatur von Dampf in dem Trocknungsbereich; und
Luftfilterzuführdruck-Änderungsmitteln zum Ändern des
Luftzuführdruckes des ersten Luftfilters entsprechend der
durch die Temperaturerfassungsmittel ermittelten Temperatur.
Zu einer weiteren Ausführungsform gehören ein Luftvorhang-
Gebläsemittel mit einer Ausblasöffnung, das oberhalb der
Reinigungskammer des Reinigungsbereiches und einer Dampfkammer
des Trocknungsbereiches entlang einer Seite der Kammer
ausgebildet ist und einen Luftvorhang in horizontaler
Richtung, die der Breitenrichtung entspricht, aus der
Ausblasöffnung in Richtung einer anderen Seite der Kammer
ausbläst; ein Luftvorhang-Auslaßmittel mit einer
Ansaugöffnung, das in gleicher Weise in der Breitenrichtung
einer anderen Seite der Reinigungskammer des
Reinigungsbereiches und der Dampfkammer des
Trocknungsbereiches ausgebildet ist, um den durch die
Ansaugöffnung angesaugten Luftvorhang abzuführen; ein zweiter
Wärmetauscher zum Kühlen der Luft, die von dem ersten
Luftfilter zu dem Reinigungsbereich, dem
Wasserreinigungsbereich und dem Trocknungsbereich geführt
werden soll; und eine zweite Kühlvorrichtung, um dem
Wärmetauscher ein Kältemittel zuzuführen, wobei in dem zweiten
Wärmetauscher gekühlte Luft und Aufwärtsströme natürlicher
Konvektion von Dampf, der in einer Reinigungskammer des
Reinigungsbereiches oder einer Dampfkammer des
Trocknungsbereiches entsteht, an einer Stelle neben dem oberen
Ende der Reinigungskammer oder der Dampfkammer zum
Aufeinandertreffen gebracht werden, um den Dampf in der
gekühlten Luft zu kondensieren und Wassernebel zu erzeugen.
Eine andere Halbleiterreinigungsvorrichtung besitzt ein
Luftvorhang-Gebläsemittel mit einer Ausblasöffnung, das
oberhalb der Reinigungskammer des Reinigungsbereiches und
einer Dampfkammer des Trocknungsbereiches entlang einer Seite
der Kammer ausgebildet ist und einen Luftvorhang in
horizontaler Richtung, die der Breitenrichtung entspricht, aus
der Ausblasöffnung in Richtung einer anderen Seite der Kammer
ausbläst; ein Luftvorhang-Auslaßmittel mit einer
Ansaugöffnung, das in gleicher Weise in der Breitenrichtung
einer anderen Seite der Reinigungskammer des
Reinigungsbereiches und der Dampfkammer des
Trocknungsbereiches ausgebildet ist, um den durch die
Ansausöffnung angesaugten Luftvorhang abzuführen; und eine
Doppel-Fluiddüse, die reines Wasser unter Verwendung sauberer
Luft oder eines Inaktiv-Gases als ein zweites Fluid versprüht,
um Reinwassernebel zu erzeugen, der in den von dem
Luftvorhang-Ausblasmittel ausgeblasenen Luftvorhang mischt.
Eine andere Halbleiterreinigungsvorrichtung besitzt einen
zweiten Luftfilter zum Zuführen sauberer Luft an den
Förderbereich; und einen zweiten Auslaßbereich zum Abführen
von Luft aus dem Förderbereich.
Gemäß einer anderen Ausführungsform besitzt eine
Halbleiterreinigungsvorrichtung einen Gaszuführbereich, der
gasförmiges Fluid durch einen zwischen dem Reinigungsbereich,
dem Wasserreinigungsbereich oder dem Trocknungsbereich und dem
Förderbereich gebildeten Spalt in den Förderbereich führt, um
einen positiven Druck in dem Förderbereich herzustellen; und
einen vierten Auslaßbereich zum Abführen eines Teils des von
dem Gaszuführbereich zugeführten Gases aus dem unteren Bereich
des Förderbereiches.
Zu einer anderen Halbleiterreinigungsvorrichtung gehört ein
fünfter Auslaßbereich, um Luft von dem Ende der Bahnkurve des
Förderbereiches abzuführen.
Eine andere Ausführungsform der erfindungsgemäßen
Halbleiterreinigungsvorrichtung weist eine Außenwandung der
Reinigungsvorrichtung zum Abdecken eines jeden Bereiches; und
einen sechsten Auslaßbereich, um Luft zwischen dem
Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich oder dem
Trocknungsbereich und der Außenwandung abzuführen, auf.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist die
Halbleiterreinigungsvorrichtung gebildet mit einer
abgedichteten Kammer zum Abdichten des Reinigungsbereiches,
des Wasserreinigungsbereiches, des Trocknungsbereiches und des
Förderbereiches; und einem Fensteraufbau, um die aus der
Produktkassette herausgenommene Scheibe in dem
Verschiebebereich in die abgedichtete Kammer einzusetzen oder
aus dieser herauszunehmen.
Eine weitere Halbleiterreinigungsvorrichtung ist gebildet mit
einem ersten Luftfilter zum Zuführen sauberer Luft an den
Reinigungsbereich, den Wasserreinigungsbereich und den
Trocknungsbereich; einem ersten Auslaßbereich, der in der Nähe
jeder Kammer des Reinigungsbereiches, des
Wasserreinigungsbereiches und des Trocknungsbereiches
angeordnet ist; einem Entnebler, der mit dem ersten
Auslaßbereich verbunden und angeordnet ist, um chemischen
Nebel und getrockneten Dampf, die mit der Auslaßluft vermischt
sind, zu entfernen.
Eine Scheiben-Reinigungskassette zur Aufnahme einer Mehrzahl
von Scheiben, um diese in Reinigungslösungen einzutauchen
gemäß der vorliegenden Erfindung besitzt einen Aufnahmebereich
zur Aufnahme einer Mehrzahl von Scheiben; und einen
Halterbereich, der an einer Stelle angeordnet ist, die höher
als der Flüssigkeitslevel in der Lösungskammer liegt, wenn die
Scheiben-Reinigungskassette in jede der Lösungskammern
eingesetzt ist.
Nachfolgend wird die vorliegende Erfindung anhand von
Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung
beschrieben. In der Zeichnung zeigt:
Fig. 1 ein Blockdiagramm, das den Gesamtaufbau einer
Reinigungsvorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung darstellt;
Fig. 2 eine perspektivische Ansicht, die den Aufbau eines
Produkt-Lade/Endladebereichs gemäß der ersten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung zeigt;
Fig. 3 bzw. 4 Schnittansichten, die eine Reinigungskammer und
eine Trocknungskammer gemäß der ersten Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung darstellen;
Fig. 5 ein Blockdiagramm, das den Gesamtaufbau einer
Reinigungsvorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung darstellt;
Fig. 6 eine perspektivische Ansicht, die eine Scheibenkassette
zur Verwendung in der zweiten Ausführungsform darstellt;
Fig. 7 eine perspektivische Ansicht, die einen Zustand
darstellt, in dem die Scheibenkassette, welche in Fig. 6
gezeigt ist, durch eine Kassettenhand gehalten ist;
Fig. 8 eine vergrößerte Ansicht, die einen wesentlichen
Bereich von Fig. 7 darstellt;
Fig. 9 bzw. 10 Schnittansichten, die Zustände darstellen, in
denen die in Fig. 6 gezeigte Scheibenkassette in eine
Reinigungskammer und eine Trocknungskammer gesetzt ist.
Fig. 11 bzw. 12 Blockdiagramme, die den Gesamtaufbau einer
Reinigungsvorrichtung gemäß einer dritten Ausführungsform und
einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung
darstellen;
Fig. 13 bzw. 14 eine Draufsicht und eine Vorderansicht, die
eine Reinigungsvorrichtung gemäß einer fünften Ausführungsform
darstellen;
Fig. 15 bis 17 Draufsichten, die Reinigungsvorrichtungen gemäß
sechsten bis achten Ausführungsformen darstellen;
Fig. 18 ein Blockdiagramm, das eine Reinigungsvorrichtug gemäß
einer neunten Ausführungsform darstellt;
Fig. 19 bis 25 Blockdiagramme, die Modifikationen der neunten
Ausführungsform darstellen;
Fig. 26 ein Blockdiagramm, das eine Reinigungsvorrichtung
gemäß einer zehnten Ausführungsform darstellt;
Fig. 27 bis 29 Blockdiagramme, die Modifikationen der zehnten
Ausführungsform darstellen;
Fig. 32 ein Blockdiagramm, das eine Modifikation der elften
Ausführungsform darstellt;
Fig. 33 eine Schnittansicht, die eine Reinigungskammer und
einer Wasserreinigungskammer gemäß einer zwölften und einer
13. Ausführungsform darstellt;
Fig. 34 und 35 Schnittansichten, die eine Wasserreinigungs
kammer gemäß einer 14. Ausführungsform und einer 15.
Ausführungsform darstellen;
Fig. 36 eine Schnittansicht, die eine Trocknungskammer gemäß
einer 16. Ausführungsform darstellt;
Fig. 37 eine Schnittansicht, die einen Zustand darstellt, in
dem die Scheibe und die Scheibenhand in der Trocknungskammer,
die in Fig. 36 gezeigt ist, getrocknet werden;
Fig. 38 einen Roboter zur Verwendung in einer
Reinigungsvorrichtung gemäß einer 18. Ausführungsform;
Fig. 39 eine Detailzeichnung von Fig. 38;
Fig. 40 eine perspektivische Ansicht, die eine Scheibenhand
gemäß einer 19. Ausführungsform darstellt;
Fig. 41 eine Vorderansicht, die eine Scheibenhaltestange der
in Fig. 40 gezeigten Scheibenhand darstellt;
Fig. 42 eine Schnittansicht entlang der Linie A-A von Fig. 41;
Fig. 43 und 44 Schnittansichten, die eine Scheibenhaltestange
gemäß Modifikationen darstellen;
Fig. 45 bzw. 46 eine Seitenansicht und eine Frontansicht, die
eine Scheibenkassette gemäß einer 20. Ausführungsform
darstellen;
Fig. 47 eine Schnittansicht, die einen Zustand darstellt, in
dem die Scheibenkassette gemäß der 20. Ausführungsform in die
Reinigungskammer eingesetzt ist;
Fig. 48 eine perspektivische Ansicht, die eine Scheibe
kassette gemäß einer 21. Ausführungsform darstellt;
Fig. 49 eine perspektivische Ansicht, die einen Handschuh zur
Verwendung in einer Reinigungsvorrichtung gemäß einer 22.
Ausführungsform darstellt;
Fig. 50 eine perspektivische Ansicht, die eine Kassettenhand
darstellt, an der der in Fig. 49 gezeigte Handschuh befestigt
ist;
Fig. 51 einen Reinigungsvorgang, der in dem Fall durchgeführt
werden soll, in dem der Handschuh gemäß der 22.
Ausführungsform verwendet wird;
Fig. 52 eine perspektivische Ansicht, die einen Handschuh
gemäß einer Modifikation der 22. Ausführungsform darstellt;
Fig. 53 einen weiteren Reinigungsvorgang, der in einem Fall
durchgeführt werden soll, in dem der Handschuh gemäß der 22.
Ausführungsform verwendet wird;
Fig. 54 bzw. 55 eine perspektivische Explosionsansicht und
eine perspektivische Ansicht, die eine Kassettenhand gemäß
einer 23. Ausführungsform darstellen;
Fig. 56 einen Reinigungsvorgang, der in einem Fall
durchgeführt werden soll, in dem die Kassettenhand gemäß einer
23. Ausführungsform verwendet wird;
Fig. 57 bis 59 eine Draufsicht, eine Vorderansicht und eine
Seitenansicht, die eine Halbleiterreinigungsvorrichtung gemäß
einer 24. Ausführungsform zeigen;
Fig. 60 eine Schnittansicht, die den Innenaufbau der
Reinigungsvorrichtung gemäß der 24. Ausführungsform im Detail
darstellt;
Fig. 61 eine Schnittansicht, die eine Reinigungsvorrichtung
gemäß einer 25. Ausführungsform darstellt;
Fig. 62 einen Steuerablauf zur Steuerung der Reinigungsvor
richtung gemäß der 25. Ausführungsform;
Fig. 63 einen Steuerablauf gemäß einer Modifikation der 25.
Ausführungsform;
Fig. 64 eine Schnittansicht, die einen Bereich mit einer
Reinigungskammer gemäß einer 26. Ausführungsform darstellt;
Fig. 65 eine Schnittansicht, die einen Bereich mit einer
Reinigungskammer gemäß einer 27. Ausführungsform darstellt;
Fig. 66 einen Graph, der die Beziehung zwischen der Entropie
von nasser Luft und Trockenheit darstellt;
Fig. 67 eine schematische Ansicht, die einen Zustand
darstellt, in dem chemischer Nebel durch Wassernebel in einer
27. Ausführungsform gefangen ist;
Fig. 68 bis 73 Schnittansichten, die den Aufbau eines
Bereiches mit einer Reinigungskammer gemäß einer 28.
Ausführungsform bis zu einer 33. Ausführungsform darstellen;
Fig. 74 bis 76 Schnittansichten, die den Innenbereich einer
Reinigungsvorrichtung gemäß einer 34. bis zu einer 36.
Ausführungsform darstellen;
Fig. 77 eine perspektivische Ansicht, die einen Bereich mit
einer Isolierungswandung der Reinigungsvorrichtung gemäß der
36. Ausführungsform darstellt;
Fig. 78 eine Schnittansicht, die den Innenbereich einer
Reinigungsvorrichtung gemäß einer 37. Ausführungsform
darstellt;
Fig. 79 bzw. 80 eine Schnittansicht und eine Draufsicht, die
eine Reinigungsvorrichtung gemäß einer 38. Ausführungsform
darstellen;
Fig. 81 eine Schnittansicht, die den Innenbereich einer
Reinigungsvorrichtung gemäß einer 39. Ausführungsform
darstellt;
Fig. 82 eine perspektivische Ansicht, die einen Fensteraufbau
einer Reinigungsvorrichtung gemäß einer 40. Ausführungsform
darstellt;
Fig. 83 bzw. 84 eine Draufsicht und eine Vorderansicht, die
eine Reinigungsvorrichtung gemäß einer 41. Ausführungsform
darstellen;
Fig. 85 bzw. 86 eine Draufsicht und eine Vorderansicht, die
eine Reinigungsvorrichtung gemäß einer 42. Ausführungsform
darstellen;
Fig. 87 einen Zustand, in dem die Reinigungsvorrichtung gemäß
der 42. Ausführungsform verwendet wird;
Fig. 88 eine perspektivische Ansicht, die eine Ladeverrie
gelungskammer einer Reinigungsvorrichtung gemäß einer 43.
Ausführungsform darstellt;
Fig. 89 eine Schnittansicht, die den Innenbereich einer
Reinigungsvorrichtung gemäß einer 44. Ausführungsform
darstellt;
Fig. 90 ein Blockdiagramm, das den Gesamtaufbau einer
herkömmlichen Halbleiterreinigungsvorrichtung darstellt;
Fig. 91 eine perspektivische Ansicht, die eine herkömmliche
Scheibenkassette und eine Kassettenhand darstellt;
Fig. 92 einen Reinigungsvorgang für die in Fig. 90 gezeigte
Reinigungsvorrichtung; und
Fig. 93 eine Schnittansicht, die einen Reinigungsbereich der
in Fig. 90 gezeigten Reinigungsvorrichtung darstellt.
Fig. 1 stellt schematisch den Aufbau einer Halbleiter
reinigungsvorrichtung 5a gemäß einer ersten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung dar. In der Längsrichtung eines
Bereiches 35 zur Förderung von zu reinigenden Produkten sind
die nachfolgenden Elemente aufeinanderfolgend angeordnet:
Ein Lade/Entladebereich 11A, ein Produkteinsetz-/Herausnahme
bereich 31A, ein Reinigungsbereich 32A, ein Wasser
reinigungsbereich 33A und ein Trocknungsbereich 34A. Wie in
Fig. 2 gezeigt ist, besitzt der Produkt-Einsetz-/Herausnahme
bereich 31A einen Halterrahmen 31a zum Halten einer
Produktkassette 4 und eine Scheiben-Einsetz/Herausnahme
vorrichtung 31b, die sich in vertikaler Richtung bewegen kann.
Die Produktkassette 4 hat eine Mehrzahl von Rillen 4a zum
Halten der Scheiben 1 und einen geöffneten unteren Bereich.
Der Aufbau ist so getroffen, daß die Scheiben-Einsetz/
Herausnahmevorrichtung 31b des Produkt-Einsetz/Herausnahme-
Bereiches 31A vertikal durch den Öffnungsbereich eingesetzt/
herausgenommen werden kann. Die Scheiben-Einsetz/Herausnahme-
Vorrichtung 31b besitzt an ihrer Oberseite eine Mehrzahl von
Rillen 31c zum Halten der Scheiben 1.
Der Aufbau des Reinigungsbereiches 32A ist in Fig. 3 gezeigt.
Eine Reinigungskammer 32a weist eine Scheibenaufnahme
vorrichtung 32b auf, die in ihr ausgebildet ist. In der
Scheibenaufnahmevorrichtung 32b ist eine Mehrzahl von Rillen,
die nicht dargestellt sind, ausgebildet, wobei die Rillen so
angeordnet sind, daß sie die Kanten der eingesetzten Scheiben
1 aufnehmen und die Scheiben 1 so halten. Auch der
Wasserreinigungsbereich 33A besitzt einen Aufbau, der ähnlich
dem des Reinigungsbereiches 32A ist, der in Fig. 3 gezeigt
ist.
Der Aufbau des Trocknungsbereiches 34A ist in Fig. 4 gezeigt.
Eine Trocknungskammer 34a besitzt eine Isopropylakohol
(nachfolgend "IPA" genannt) Rückgewinnungskammer 34b, so daß
ein doppelter Aufbau gebildet wird. Eine Kühlschlange 34c ist
entlang der Innenwandung des oberen Bereiches der
Trocknungskammer 34a angeordnet, während eine Heizung 34e zum
Erwärmen und Verdampfen des IPA 34d in der Trocknungskammer
34a unterhalb der Trocknungskammer 34a angeordnet ist.
Weiterhin ist ein Auslaßrohr 34f zum Auslassen des in der IPA-
Rückgewinnungskammer 34b rückgewonnenen IPAs mit der IPA-
Rückgewinnungskammer 34b verbunden.
Nachfolgend wird die Betriebsweise der ersten Ausführungsform
beschrieben. Zuerst wird die Produktkassette 4, in der die
Mehrzahl von Scheiben 1, die nicht gereinigt worden sind,
enthalten sind, in den Lade/Entladebereich 11A eingesetzt. Die
Produktkassette 4 wird zum Produkt-Einsetz/Herausnahme-Bereich
31A durch einen Förderroboter, der nicht dargestellt ist,
bewegt. Dann wird die Produktkassette 4 auf dem Halterrahmen
31a wie in Fig. 2 gezeigt plaziert. Wenn die Scheiben-
Einsetz/Herausnahme-Vorrichtung 31b in diesem Zustand nach
oben bewegt wird, wird die Kante jeder Scheibe 1 in die Rille
31c in der Scheiben-Einsetz/Herausnahme-Vorrichtung 31b
eingesetzt. Im Ergebnis werden die Mehrzahl von Scheibe 1
gehalten und nach oben aus der Produktkassette 4 heraus
gestoßen. Dann werden die Scheiben 1 durch eine Scheibenhand
35a des Bereichs 35 zur Förderung der zu reinigenden Produkte
gehalten, um von dem Produkt-Einsetz/Herausnahme-Bereich 31A
zum dem Reinigungsbereich 32A bewegt zu werden. Dann wird die
Mehrzahl von Scheiben 1 zu der Scheibenaufnahmevorrichtung 32b
in der Reinigungskammer 32a, die in Fig. 3 gezeigt ist,
geschickt. Nachdem die Scheiben 1 in dem Reinigungsbereich
32A gereinigt worden sind, werden die Scheiben 1 durch die
Scheibenhand 35a von dem Reinigungsbereich 32A zu der
Scheibenaufnahmevorrichtung des Wasserreinigungsbereiches 33A
geschickt, um mit Wasser in dem Wasserreinigungsbereich 33A
gereinigt zu werden.
Dann werden die Scheiben 1 von dem Wasserreinigungsbereich 33A
zu dem Trocknungsbereich 34A in der Weise geschickt, daß das
IPA 34d, das in dem Bodenbereich der Trocknungskammer 34a
vorhanden ist, erst durch die in Fig. 4 gezeigte Heizung 34e
erwärmt und verdampft wird, und ein Kühlmittel der
Kühlschlange 34c zugeführt wird, um die Atmosphäre des oberen
Bereiches der Trocknungskammer 34a zu kühlen. Im Ergebnis wird
der Dampf des IPA 34d, der von dem Bodenbereich der
Trocknungskammer 34a aufsteigt, in einem Bereich neben der
Kühlschlange 34c gekühlt und kondensiert, und entsprechend
wird das IPA 34d dem Bodenbereich der Trocknungskammer 34a
zurückgeführt. Wie zuvor beschrieben wurde, wobei ein Austritt
von IPA 34d aus der Trocknungskammer 34a verhindert, aber die
Trocknungskammer 34a jedoch mit dem verdampften IPA 34d
gefüllt ist.
Dann werden die Scheiben 1, die mit Wasser in dem
Wasserreinigungsbereich 33A gereinigt worden sind, und auf
deren Oberfläche sich noch Wasser befindet, in der
Rückgewinnungskammer 34a durch die Scheibenhand 35a gehalten.
Im Ergebnis wird der Dampf des IPA 34d, der sich in Kontakt
mit der Oberfläche der Scheibe 1 befindet, durch die Scheibe 1
gekühlt und verflüssigt, um mit dem an der Oberfläche der
Scheibe 1 befindlichen Wasser gemischt zu werden. Im Ergebnis
vergrößern sich Tröpfchen an der Oberfläche der Scheibe 1
allmählich, da die Wassertröpfchen eine große Menge von IPA
enthalten. Dann werden die Tröpfchen entlang der Oberfläche
des Scheibes 1 nach unten bewegt, bis die Wassertröpfchen in
die Rückgewinnungskammer 34b tropfen. Dabei tropfen
Fremdkörper, die an der Oberfläche des Scheibes anhaften,
zusammen mit den Wassertröpfchen herab. Die Wassertröpfchen,
die in die Rückgewinnungskammer 34b gefallen sind, durchlaufen
ein Auslaßrohr 34f, um an die Außenseite der Trocknungskammer
34a ausgelassen zu werden. Somit wird das Wasser an der
Oberfläche der Scheibe 1 allmählich durch das IPA ersetzt. Die
Temperatur der Oberfläche der Scheibe 1 wird allmählich
angehoben, bis sie die des Dampfes des IPAs 34d erreicht.
Daher wird das IPA, das an der Oberfläche des Scheibes 1
anstelle des Wassers anhaftet, verdampft.
Nachdem das Trocknen beendet worden ist, bewegt der Bereich 35
zur Förderung des zu reinigenden Produktes die Scheiben 1 von
dem Trocknungsbreich 34A zu dem Produkt-Einsetz/Herausnahme-
Bereich 31A durch seine Scheibenhand 35a so, daß die Scheibe 1
in die Produktkassette 4, die auf dem Halterrahnmen 31a
plaziert ist, eingesetzt werden. Dann wird die Produktkassette
4 zu dem Lade/Entladebereich 11A durch einen Förderroboter,
der nicht dargestellt ist, abtransportiert.
Wenn die Scheiben 1 mit Wasser in dem Wasserreinigungsbereich
33A gereinigt werden, wird auch die Scheibenhand 35a mit dem
Wasser in der Wasserreinigungskammer gereinigt. Wenn die
Scheibe 1 in dem Reinigungsbereich 32A gereinigt werden, kann
die Scheibenhand 35a gleichzeitig gereinigt werden. Das
Reinigen der Scheibenhand 35a kann jedoch weggelassen werden.
Da die zuvor beschriebene erste Ausführungsform so ausgebildet
ist, daß keine Reinigungskassette während des Reinigens, des
Wasserreinigens und des Trocknens der Scheiben verwendet wird,
können die Breite des Reinigungsbereiches 32A, des
Wasserreinigungsbereiches 33A und des Trocknungsbereiches 34A
um etwa 15% verglichen mit den Breiten der entsprechenden
Bereiche der herkömmlichen Konstruktionen gekürzt werden.
Weiterhin kann der Reinigungskassetten-Stand-by-Bereich der
herkömmlichen Halbleiterreinigungsvorrichtung weggelassen
werden, wodurch die Gesamtlänge der Reinigungsvorrichtung um
etwa 30% gekürzt werden kann.
Der Aufbau einer Halbleiterreinigungsvorrichtung 5B der
Kassettenart gemäß einer zweiten Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung ist in Fig. 5 gezeigt. In der
Längsrichtung eines Reinigungskassetten-Förderbereiches 25
sind die folgenden Elemente aufeinanderfolgend angeordnet:
Ein Lade/Entladebereich 11B, ein Verschiebebereich 31B, ein
Reinigungsbereich 32B, ein Wasserreinigungsbereich 33B, und
ein Trocknungsbereich 34B. Im Unterschied zu der ersten
Ausführungsform, bei der die kassettenlose Reinigungsvorrich
tung so aufgebaut ist, daß die Scheibe 1 direkt durch die
Scheibenhand 35a gehalten und gefördert wird, ist die zweite
Ausführungsform in der Weise ausgebildet, daß eine
Reinigungskassette 20, die wie in Fig. 6 gezeigt aufgebaut
ist, verwendet wird, um es zu ermöglichen, die Scheibe 1 in
die Reinigungskammer und die Wasserreinigungskammer
einzusetzen, ohne das Spannfutter der Kassettenhand mit der
Reinigungslösung und dem Reinigungswasser naß zu machen. Die
Reinigungskassette 20 besitzt eine Höhe H, die ausreichend
höher als die Höhe, d. h. der Durchmesser, der Scheibe 1 ist,
die in der Reinigungskassette 20 aufgenommen werden soll. Die
Mehrzahl von Scheiben 1 wird in dem Verschiebebereich 31B von
der Produktkassette zu der Reinigungskassette 20 geschoben,
und dann werden die Scheiben 1 wie in Fig. 7 gezeigt durch die
Kassettenhand des Reinigungskassetten-Förderbereiches 25
gehalten, um aufeinanderfolgend zu dem Reinigungsbereich 32B,
dem Wasserreinigungsbereich 33B und dem Trocknungsbereich 34B
bewegt zu werden.
Die Kassettenhand des Reinigungskassetten-Förderbereiches 25
besitzt einen Spannfutter-Halterarm 25b, der mit einem
bewegbaren Arm 25a verbunden ist, und ein Spannfutter 25c, das
durch den Spannfutter-Halterarm 25b gehalten ist. Wie in Fig.
8 gezeigt ist, sind in dem Spannfutter 25c Ausnehmungen 25d
ausgebildet. Durch ein Einsetzen von Haltern 20a der
Reinigungskassette 20 in die Ausnehmungen 25d wird die
Reinigungskassette 20 durch die Kassettenhand gehalten.
Da die Reinigungskassette 20 die Höhe H hat, die ausreichend
höher als die Scheibe 1 ist, sind die Halter 20a, die an dem
oberen Ende der Reinigungskassette 20 angeordnet sind, höher
positioniert als der Flüssigkeitslevel einer Reinigungslösung
32m, wenn die Reinigungskassette 20 unter Verwendung der
Kassettenhand des Reinigungskassetten-Förderbereiches 25 in
eine Reinigungskammer 32a des Reinigungsbereiches 32B
eingesetzt wird, um die Scheibe 1 vollständig in die
Reinigungslösung 32m einzutauchen (vergl. Fig. 9). Daher wird
das Spannfutter 25c der Kassettenhand zum Halten der Halter
20a der Reinigungskassette 20 nicht mit der Reinigungslösung
32m benetzt. Wenn die Reinigungskassette 20 in ähnlicher Weise
in den Wasserreinigungsbereich 33B eingesetzt wird, kann
verhindert werden, daß das Spannfutter 25c durch das
Reinigungswasser naß wird, obwohl die Scheibe 1 vollständig in
das Reinigungswasser 1 eingetaucht wird.
Nachdem der Wasserreinigungsvorgang beendet worden ist, wird
die Scheibe 1 zusammen mit der Reinigungskassette 20 in dem
Trocknungsbereich 34B getrocknet, wie in Fig. 10 gezeigt ist.
Der Trocknungsbereich 34B besitzt einen Doppelaufbau bestehend
aus einer Trocknungskammer 34k und einer IPA-
Rückgewinnungskammer 34q, der ähnlich dem in Fig. 4 gezeigten
Trocknungsbereich 34A ist. Weiterhin ist eine Kühlschlange 34n
entlang der Innenwandung des oberen Bereiches der
Trocknungskammer 34k angeordnet, während eine Heizung 34r zum
Erwärmen des enthaltenen IPAs 34n unterhalb der
Trocknungskammer 34k angeordnet ist. Weiterhin ist ein
Auslaßrohr zum Auslassen des in der IPA-Rückgewinnungskammer
34q enthaltenen IPAs mit der IPA-Rückgewinnungskammer 34q
verbunden.
Da diese Ausführungsform so ausgebildet ist, daß das
Spannfutter 25c der Kassettenhand nicht durch die
Reinigungslösung 32m oder das Reinigungswasser naß wird, kann
das Spannfutter 25 so wie es ist verwendet werden, um die
getrocknete Reinigungskassette 20 aus dem Trocknungsbereich
34B herauszunehmen. D.h., daß ein zusätzlicher Handreinigungs
bereich zum Reinigen und Trocknen der Kassettenhand weg
gelassen werden kann, was zu einer verringerten Größe der
Reinigungsvorrichtung führt.
Fig. 11 stellt den Aufbau einer Halbleiterreinigungsvor
richtung gemäß einer dritten Ausführungsform dar. In der
Längsrichtung eines Produkt-Förderbereiches 35 sind die
folgenden Elemente der Reihenfolge nach angeordnet: Ein Lade/
Entladebereich 11A, ein Produkt-Einsetz/Herausnahme-Bereich
31A, ein Scheibenhalterrahmen 200A, ein Reinigungsbereich 32A,
ein Wasserreinigungsbereich 33A, und ein Trocknungsbereich
34A.
Der Produktförderbereich 35 für das zu reinigende Produkt
führt die Scheibe der Reihe nach den folgenden Bereichen zu:
dem Produkt-Einsetz/Herausnahme-Bereich 31A, dem Reinigungs
bereich 32A, dem Wasserreinigungsbereich 33A, und dem
Trocknungsbereich 34A. Um die Förderung aufeinanderfolgend
durchzuführen, darf der Bereich, der dann die Scheibe erhält,
keine Scheibe haben. D.h., daß die Scheibe nur in einem Fall
gefördert werden kann, in dem eines der Bauteile Produkt-
Einsetz/Herausnahme-Bereich 31A, Reinigungsbereich 32A und
Trocknungsbereich 34A keine Scheibe enthält.
Das in dem Reinigungsbereich 32A durchzuführende Verfahren ist
so vorgesehen, daß die Zeiten für die Vorgänge streng
gesteuert werden, und besitzt keine Vorkehrungen, um zu
bestätigen, daß der Wasserreinigungsbereich 33A leer ist, und
dann den Reinigungsvorgang zu beginnen, um hierdurch den
Verfahrensablauf zu verbessern. Entsprechend weist die dritte
Ausführungsform den Scheibenhalterrahmen 200A auf, um ein
Problem zu überwinden, das darin besteht, daß die Scheibe aus
irgendeinem Grund, der beispielsweise darin bestehen kann, daß
in dem Produkt-Einsetz/Herausnahme-Bereich 31A oder dem
Trocknungsbereich 34A Fehler auftreten, aufeinanderfolgend
gefördert werden können. Wenn die Scheiben nicht sequenziell
gefördert werden können, wird der erste Scheibensatz in dem
Wasserreinigungsbereich 33A zuerst zur Seite an den
Scheibenhalterrahmen 200A gelegt, und dann wird das Scheibe,
das dem Reinigungsvorgang in dem Reinigungsbereich 32A
unterworfen wird, dem Wasserreinigungsbereich zugeführt. Wenn
der Wasserreinigungsrahmen 200A mit einer
Wasserreinigungsfunktion versehen ist, kann die in die
Reinigungslösung eingetauchte Scheibe direkt von dem
Reinigungsbereich 32A auf den Scheibenreinigungsrahmen 200A in
einem anormalen Fall, in dem die Scheibe nicht sequenziell
gefördert werden können, zur Seite gelegt werden. Die
Wasserreinigungsfunktion kann beispielsweise durch einen
Aufbau, bei dem reines Wasser gegen die Scheibe gespült wird,
oder einen Aufbau, bei dem die Scheibe in die
Wasserreinigungskammer, die ähnlich dem
Wasserreinigungsbereich 33A aufgebaut ist, eingetaucht werden,
verwirklicht werden.
Indem eine Wasserreinigungsfunktion, wie sie zuvor beschrieben
wurde, vorgesehen wird, kann die Scheibe, an dem die
Reinigungslösung anhaftet, an dem Scheibenhalterrahmen mit
Wasser gereinigt werden. Im Ergebnis kann ein Fortschreiten
des Reinigungsvorgangs verhindert werden.
Eine Reinigungsvorrichtung der Kassettenart mit einem
Kassettenhalterrahmen 200B ähnlich der dritten Ausführungsform
ist in Fig. 12 gezeigt. Wenn ein Fehler in dem
Verschiebebereich 31B oder einem Trocknungsbereich 34B oder
desgleichen aufgetreten ist, wodurch die Scheiben nicht
sequenziell gefördert werden können, wird die Reinigungs
kassette, die in dem Wasserreinigungsbereich 33B eingesetzt
ist, auf den Kassettenhalterrahmen 200B zur Seite gelegt, und
dann wird die Scheibe, die dem Reinigungsvorgang in dem
Reinigungsbereich 32B ausgesetzt ist, zusammen mit der
Reinigungskassette zu dem Wasserreinigungsbereich 33B
gefördert.
Wenn der Kassettenhalterrahmen 200B mit einer Wasser
reinigungsfunktion versehen ist, kann die Scheibe, die in die
Reinigungslösung eingetaucht ist, direkt von dem
Reinigungsbereich 32B auf den Scheibenhalterrahmen 200B in
einem anormalen Fall, in dem die Scheibe nicht sequenziell
gefördert werden können, direkt zur Seite gelegt werden.
Der Gesamtaufbau einer Reinigungsvorrichtung gemäß einer
fünften Ausführungsform, die so angeordnet ist, daß die
Scheibe 1 durch Handling gereinigt wird, ist in Fig. 13
gezeigt. Zu der Reinigungsvorrichtung gehören ein
Hauptbearbeitungsbereich 50 zur Durchführung der Schritte des
Reinigungsverfahrens und ein Lade/Entladebereich 51. Ein
Förderbereich 58 ist in dem Mittelbereich des
Hauptbearbeitungsbereiches 50 in der Längsrichtung der
Reinigungsvorrichtung angeordnet. Der Förderbereich 58 ist mit
einem Förderroboter versehen, der eine Bewegungsachse in der
Längsrichtung der Reinigungsvorrichtung und eine
Rotationsachse zur Drehung einer Scheibenhand besitzt. An den
beiden Seiten des Förderbereiches 58 sind ein
Scheibenhalterrahmen 52, eine Reinigungskammer 53a des
Reinigungsbereiches 53, Wasserreinigungskammern 54a und 55a
der Wasserreinigungsbereiche 54 und 55, und eine
Trocknungskammer 56a des Trocknungsbereiches 56 in der
Längsrichtung der Reinigungsvorrichtung in zwei Linien
angeordnet. Ein Lade/Entladebereich 51 ist an einem Endbereich
des Förderbereiches in der Breitenrichtung der
Reinigungsvorrichtung über eine weite Strecke angeordnet,
wobei der Lade/Entladebereich 51 sechs Produktkassetten-
Halterrahmen und einen Scheibenhalterrahmen hat, so daß sechs
Produktkassetten und ein Stapel von aus der Produktkassette
herausgenommenen Scheiben 1 in dem Lade/Entladebereich 51
plaziert werden können. Weiterhin ist ein Roboter 57 zum
Verschieben der Scheiben 1 zwischen der Produktkassette 22,
die in dem Lade/Entladebereich 51 plaziert ist, und dem
Scheibenhalterrahmen 51a neben dem Lade/Entladebereich 51
angeordnet.
Fig. 14 ist eine Vorderansicht, die die Reinigungsvorrichtung
darstellt. In der Fig. 14 bezeichnet die Bezugsziffer 58a eine
Scheibenhand des Förderbereiches 58.
Die Funktionsweise der Reinigungsvorrichtung gemäß der fünften
Ausführungsform wird nun beschrieben. Die Produktkassette 22,
die die Scheibe 1 enthält, ist in dem Produktkassetten-
Halterrahmen des Lade/Entladebereiches 51 plaziert. Der
Roboter 57 nimmt die Scheibe 1 aus der Produktkassette 22, um
sie zu dem Scheibenhalterrahmen 51a zu schieben. Die so
verschobene Scheibe 1 wird durch die Scheibenhand 58a des
Förderbereiches 58 gehalten, um zu dem Scheibenhalterrahmen 55
geschoben zu werden, wo sich die Scheibe 1 in einer Standby-
Lage befindet. Dann setzt der Förderbereich 58 die Scheibe 1
in die Reinigungskammer 53a des Reinigungsbereiches 53.
Nachdem die Scheibe 1 einem bestimmten Reinigungsvorgang
ausgesetzt worden ist, setzt der Förderbereich 58 die Scheibe
1 in die Wasserreinigungskammer 54a des Wasserreinigungs
bereiches 54. Nachdem ein bestimmter Wasserreinigungsvorgang
beendet ist, schickt der Förderbereich 58 die Scheibe 1 in die
Wasserreinigungskammer 55a des Wasserreinigungsbereiches 55,
um die Scheibe 1 mit Wasser zu reinigen. Dadurch, daß die
Wasserreinigungsvorgänge nacheinander in den beiden
Wasserreinigungskammern 54a und 55a ausgeführt werden, kann
die Taktzeit, die erforderlich ist, um den
Wasserreinigungsvorgang durchzuführen, verkürzt und ein guter
Reinigungseffekt gewährleistet werden.
Der Förderbereich 58 setzt die Scheibe 1, das dem Wasserrei
nigungsvorgang ausgesetzt wurde, in die Trocknungskammer 56a
des Trocknungsbereiches 56, um die Scheibe 1 dem
Trocknungsvorgang zu unterwerfen. Nachdem das Trocknen
abgeschlossen ist, nimmt der Förderbereich 58 das Scheibe aus
der Trocknungskammer 56a, um die Scheibe 1 zu dem
Scheibenhalterrahmen 51a des Lade/Entladebereiches 51 zu
schieben. Der Roboter 57 hält die Scheibe 1, die an dem
Scheibenhalterrahmen 51a plaziert ist, um die Scheibe 1 in
eine leere Produktkassette, die an dem Produktkassetten-
Halterrahmen plaziert ist, zu schieben.
Obwohl die fünfte Ausführungsform als kassettenlose
Reinigungsvorrichtung ausgebildet ist, um die Scheibe 1 direkt
zu handeln, kann durch das Vorsehen eines Scheibenkassetten-
Halterrahmens anstelle jedes Scheibenhalterrahmens 51a und 52
und die Verwendung einer Kassettenhand anstelle der
Scheibenhand in dem Förderbereich 58, eine
Reinigungsvorrichtung der Kassettenart mit einem ähnlichen
Layout gebildet werden.
Fig. 15 stellt den Gesamtaufbau einer Reinigungsvorrichtung
gemäß einer sechsten Ausführungsform dar. Ein Scheibe
halterrahmen 52 und eine Reinigungskammer 53a sind an einer
Seite eines Förderbereichs 58 angeordnet. Weiterhin sind eine
zweite Reinigungskammer 55a und eine Trocknungskammer 56a an
der gegenüberliegenden Seite des Förderbereiches 58 vorge
sehen. Zusätzlich ist eine erste Wasserreinigungskammer 54a an
dem Drehpunkt der Scheibenhand des Förderbereiches 58
vorgesehen. Indem eine Mehrzahl von Einheiten, die die
Reinigungsvorrichtung bilden, an den Drehpunkt der
Scheibenhand des Förderbereiches 58 angeordnet wird, wie dies
zuvor beschrieben wurde, kann eine Reinigungsvorrichtung
geringer Größe mit derselben Anzahl von Einheiten wie die der
Reinigungsvorrichtung gemäß der fünften Ausführungsform,
welche in den Fig. 13 und 14 gezeigt ist, verwirklicht werden.
Auch ermöglicht es bei der sechsten Ausführungsform die
Anordnung des Scheibenkassetten-Halterrahmens anstelle jedes
Scheibenhalterrahmens 51a und 52 und die Verwendung der
Kassettenhand anstelle der Scheibenhand in dem Förderbereich
58, eine Reinigungsvorrichtung der Kassettenart mit einem
ähnlichen Layout zu bilden.
Fi 99999 00070 552 001000280000000200012000285919988800040 0002004332857 00004 99880g. 16 stellt den Gesamtaufbau einer Reinigungsvorrichtung
gemäß einer sechsten Ausführungsform dar. Ein Scheibehalter
rahmen 52, eine zweite Wasserreinigungskammer 55a und eine
erste Wasserreinigungskammer 54a sind an einer Seite eines
Förderbereiches 58 angeordnet. Weiterhin sind eine Reinigungs
kammer 53a und eine Trocknungskammer 56a an der gegenüber
liegenden Seite des Förderbereiches 58 angeordnet. Der
Förderbereich 58 weist eine halbkreisförmige Drehkurve R1
einer Scheibenhand , die durch einen Scheibenhalterrahmen 51a
eines Lade/Entladebereiches 51 greift, und eine
halbkreisförmige Drehkurve R2 einer Scheibenhand, die durch
die Reinigungskammer 53a und der ersten Wasserreinigungskammer
54a greift und dem Lade/Entladebereich 51 zugewandt ist, auf.
Da die Drehkurven R1 und R2 der Scheibenhand des
Förderbereiches 58 so festgelegt sind, daß sie zu dem Lade-/
Entladebereich 51 weisen, kann eine Reinigungsvorrichtung
geringer Größe verwirklicht werden.
Auch bei der sechsten Ausführungsform kann durch Anordnung des
Scheibenkassetten-Halterrahmens anstelle jedes Scheibe
halterrahmens 51a und 52 und die Verwendung einer Kassetten
hand anstelle der Scheibenhand in dem Förderbereich 58, eine
Reinigungsvorrichtung der Kassettenart mit einem ähnlichen
Layout gebildet werden.
Fig. 16 stellt den Gesamtaufbau einer Reinigungsvorrichtung
gemäß einer siebten Ausführungsform dar. Ein Scheibehalter
rahmen 52, eine zweite Wasserreinigungskammer 55a und eine
erste Wasserreinigungskammer 54a sind an einer Seite eines
Förderbereiches 58 angeordnet. Weiterhin sind eine Reinigungs
kammer 53a und eine Trocknungskammer 56a an der gegenüber
liegenden Seite des Förderbereiches 58 vorgesehen. Den
Förderbereich 58 durchläuft eine halbkreisförmige Drehkurve R1
einer Scheibenhand, die durch einen im Scheibenhalterrahmen
51a eines Lade/Entladebereiches 51 reicht, und eine
halbkreisförmige Drehkurve R2 einer Scheibenhand, die durch
die Reinigungskammer 53a und die erste Wasserreinigungskammer
54a läuft und dem Lade/Entladebereich 51 zugewandt ist.
Da die Drehkurven R1 und R2 der Scheibenhand des
Förderbereiches 58 so angeordnet sind, daß sie dem Lade/
Entladebereich 51 zugewandt sind, kann eine
Reinigungsvorrichtung geringer Größe verwirklicht werden.
Auch ermöglicht es die siebte Ausführungsform, durch die
Anordnung des Scheibenkassetten-Halterrahmens anstelle der
Scheibenhalterrahmen 51a und 52 und durch Verwendung der
Kassettenhand anstelle der Scheibenhand in dem Förderbereich
58, eine Reinigungsvorrichtung der Kassettenart mit einem
ähnlichen Layout zu bilden.
Fig. 17 stellt den Gesamtaufbau einer Reinigungsvorrichtung
gemäß einer achten Ausführungsform dar. Die Reinigungsvor
richtung gemäß dieser Ausführungsform verwendet drei chemische
Lösungen, um die Scheibe 1 zu reinigen. An den beiden Seiten
eines Förderbereiches 78 eines Hauptbearbeitungsbereiches 70
sind ein Scheibenhalterrahmen 72, eine erste Reinigungskammer
73a, eine erste Wasserreinigungskammer 74a, eine zweite
Reinigungskammer 73b, eine zweite Wasserreinigungskammer 74b,
eine dritte Reinigungskammer 73c, eine dritte Wasserreini
gungskammer 74c, eine Wasserreinigungskammer 75 und eine
Trocknungskammer 76 in der Längsrichtung der Reinigungsvor
richtung in zwei Linien angeordnet. Weiterhin ist ein
Schieberoboter 77 in einem Endbereich des Förderbereiches 78
angeordnet und ein Lade/Entladebereich 71 neben dem
Schieberoboter 77 angeordnet. Die ersten bis dritten Reini
gungskammern 73a bis 73 c enthalten jeweils unterschiedliche
chemische Lösungen.
Die Funktionsweise der achten Ausführungsform wird nun
beschrieben. Eine Produktkassette 22, die die Scheibe 1
enthält, ist an einem Produkthalterrahmen des Lade/
Entladebereiches 71 plaziert. Der Schieberoboter 77 nimmt die
Scheibe 1 aus der Produktkassette 22, um die Scheibe 1 zu dem
Scheibenhalterrahmen 71a des Lade/Entladebereiches 71 zu
schieben. Die so verschobene Scheibe 1 wird durch die
Scheibenhand des Förderbereiches 78 gehalten, um zu dem
Scheibenhalterrahmen 72 verschoben zu werden, in dem die
Scheibe 1 sich in einer Standby-Position befindet. Dann setzt
der Förderbereich 78 die Scheibe 1 in die erste
Reinigungskammer 73a. Nachdem die Scheibe 1 einem bestimmten
Reinigungsvorgang unterworfen wurde, setzt der Förderbereich
78 die Scheibe 1 in die erste Wasserreinigungskammer 74a.
Nachdem ein bestimmter Wasserreinigungsvorgang beendet ist,
schiebt der Förderbereich 78 die Scheibe 1 zu der zweiten
Reinigungskammer 73b, um die Scheibe 1 einem bestimmten
Reinigungsvorgang zu unterwerfen. Weiterhin schiebt der
Förderbereich 78 die Scheibe 1 zu der zweiten Wasser
reinigungskammer 74b. Auf ähnliche Weise wird die Scheibe 1
der Reihenfolge nach zu der dritten Reinigungskammer 73c und
der dritten Wasserreinigungskammer 74c geschoben, so daß die
Reinigungsvorgänge, die die drei chemischen Lösungen
verwenden, der Reihe nach durchgeführt werden. Dann nimmt der
Förderbereich 78 die Scheibe 1 aus der dritten Wasser
reinigungskammer 74c heraus, um die Scheibe 1 in die letzte
Wasserreinigungskammer 75 zu setzen und einen bestimmten
Wasserreinigungsvorgang durchzuführen. Der Förderbereich 78
setzt die mit Wasser gereinigte Scheibe in einer bestimmten
Weise in die Trocknungskammer 76. Somit wird der Trocknungs
prozeß ausgeführt. Nachdem das Trocknen beendet ist, nimmt der
Förderbereich 78 die Scheibe 1 aus der Trocknungskammer 76, um
die Scheibe 1 an den Scheibenhalterrahmen 71a des Lade/
Entladebereiches 71 zu schieben. Der Schieberoboter 77 hält
die Scheibe 1, die an dem Scheibenhalterrahmen 71a plaziert
ist, um die Scheibe 1 zu einer leeren Produktkassette, die an
dem Produktkassetten-Halterrahmen plaziert ist, zu schieben.
Obwohl lediglich ein Aufbau beschrieben ist, bei dem lediglich
Scheiben 1 nur eines Loses in der Reinigungsvorrichtung
vorhanden sind, können selbstverständlich auch Scheiben 1
mehrerer Lose in der Reinigungsvorrichtung vorhanden sein und
jede Einheit kann die entsprechende Scheibe bearbeiten.
Auch bei der achten Ausführungsform ist es möglich, durch
Anordnung des Scheibenkassetten-Halterrahmens anstelle jedes
Scheibenhalterrahmens 71a und 72 und die Verwendung der
Kassettenhand anstelle der Scheibenhand in dem Förderbereich
78 eine Reinigungsvorrichtung mit einem ähnlichen Layout zu
bilden.
Bei einer Halbleiterreinigungsvorrichtung gemäß dieser
Ausführungsform brauchen die folgenden Einheiten nicht in
einer geraden Linie angeordnet zu werden: Der Lade/
Entladebereich 11A, der Produkt-Einsetz/Herausnahme-Bereich
31A, der Reinigungsbereich 32A, der Wasserreinigungsbereich
33A und der Trocknungsbereich 34A. Eine in Fig. 18 gezeigte
Reinigungsvorrichtung ist beispielsweise so aufgebaut, daß ein
Produktförderbereich 351 mit einem Produkt-Einsetz/
Herausnahme-Bereich 311A verbunden ist, der parallel zu dem
Lade/Entladebereich 111 angeordnet ist. Der Wasserreinigungs
bereich 331 und der Reinigungsbereich 321 sind einander
zugewendet angeordnet, und zwischen ihnen liegt der Produkt
förderbereich 351. Auf ähnliche Weise sind der Wasser
reinigungsbereich 332 und der Reinigungsbereich 322 einander
zugewendet angeordnet, und sind der Wasserreinigungsbereich
333 und der Trocknungsbereich 341 einander zugewandt
angeordnet.
Wie zuvor beschrieben wurde, sind in Abhängigkeit von dem
verwendeten Reinigungsverfahren die Mehrzahl von
Reinigungsbereichen und Mehrzahl von Wasserreinigungsbereichen
manchmal erforderlich. Durch Verwendung des in Fig. 18
gezeigten Aufbaus kann die Gesamtlänge der Halbleiter
reinigungsvorrichtung verkürzt werden. Insbesondere ist die
Anordnung so getroffen, daß der Reinigungsbereich, in dem eine
chemische Lösung verwendet wird, und der Wasserreinigungs
bereich, in dem eine Wasserreinigung durchgeführt wird,
einander zugewandt sind, wodurch ein schädlicher Einfluß des
Dampfes der chemischen Lösung, der in dem Reinigungsbereich
erzeugt wird, auf eine andere Einheit eliminiert wird.
Ein anderer in Fig. 19 gezeigter Aufbau kann verwendet werden,
bei dem der Lade/Entladebereich 112 und der Produkt-Einsetz/
Herausnahme-Bereich 311A dem Trocknungsbereich 341 zugewandt
sind. Zwischen ihnen liegt der Produktförderbereich 351. Der
Wasserreinigungsbereich 331 ist dem Reinigungsbereich 321 und
der Wasserreinigungsbereich 332 dem Reinigungsbereich 322
zugewandt. Im Ergebnis kann durch diesen Aufbau die
Gesamtlänge der Reinigungsvorrichtung verkürzt werden. Andere
Anordnungen, wie sie in den Fig. 20 und 21 gezeigt sind,
können verwendet werden. Bei diesen ist der Produktförder
bereich 351 auf irgendeiner Seite der beiden Linien von
Einheiten statt in dem Mittelbereich angeordnet.
Jede der in den Fig. 18 bis 21 gezeigten Reinigungs
vorrichtungen ist eine kassettenlose Reinigungsvorrichtung, um
die Scheibe 1 durch die Scheibenhand direkt zu transportieren.
Andere Anordnungen, wie sie in den Fig. 22 bis 25 gezeigt
sind, können für die Reinigungsvorrichtung verwendet werden.
Hier ist ein Verschiebebereich 311B anstelle des Produkt-
Einsetz/Herausnahme-Bereiches 311A und ein Reinigungskasset
ten-Förderbereich 251 anstelle des Produktförderbereiches 351
vorgesehen. In jedem Fall kann eine Reinigungsvorrichtung der
Kassettenart mit einem ähnlichen Aufbau verwirklicht werden.
Es kann ein anderer Aufbau verwendet werden, bei dem der Lade/
Entladebereich 111, der Produkt-Einsetz/Herausnahme-Bereich
311A, der Reinigungsbereich 321, der Wasserreinigungsbereich
331 und der Trocknungsbereich 341 um den Produktförderbereich
352 herum angeordnet sind, wie in Fig. 26 gezeigt ist. Der
Produktförderbereich 352 besitzt einen Dreharm, um die Scheibe
jeder ihn umgebenden Einheit zuzuschieben. Obwohl bei dem in
Fig. 26 gezeigten Aufbau die vier Einheiten um den
Produktförderbereich 352 angeordnet sind, ist der Aufbau nicht
auf diese Ausführungsform beschränkt. Beispielsweise kann die
in Fig. 27 gezeigte Ausführungsform verwendet werden, bei der
fünf Einheiten einschließlich des zweiten Wasserreinigungs
bereiches 332 um den Produktförderbereich 352 angeordnet sind.
Im Ergebnis des in den Fig. 26 und 27 gezeigten Aufbaus kann
der Bereich des Produktförderbereiches 352 verringert und die
Gesamtlänge der Reinigungsvorrichtung verkürzt werden.
Jede der Reinigungsvorrichtungen gemäß der zehnten
Ausführungsform ist eine kassettenlose Reinigungsvorrichtung,
um die Scheibe 1 durch die Scheibenhand direkt zu handeln.
Andere Anordnungen, wie sie in den Fig. 28 und 29 gezeigt
sind, können für die Reinigungsvorrichtung verwendet werden.
Bei diesen ist ein Verschiebebereich 311B anstelle des
Produkt-Einsetz/Herausnahme-Bereiches 311A und ein Reinigungs
kassetten-Förderbereich 252 anstelle des Produktförderberei
ches 352 vorgesehen. In jedem Fall kann eine Reinigungs
vorrichtung der Kassettenart mit einem ähnlichen Aufbau
verwirklicht werden.
Fig. 30 stellt den Aufbau eines Systems dar, um die durch
einen Förderroboter durchgeführte Förderung gemäß der elften
Ausführungsform zu steuern. Ein Förderroboter-Steuerbereich 67
ist mit einem Förderroboter 58b verbunden. Eine
Fördersteuerungs-CPU 65 ist mit dem Förderroboter-
Steuerbereich 67 verbunden. Ein Reinigungskammer-Steuerbereich
68 ist mit der Fördersteuerungs-CPU 65 unter Zwischenschaltung
einer Bearbeitungszeit-Steuerungs-CPU 66 verbunden.
Die Betriebsphase der elften Ausführungsform wird nun unter
Bezugnahme auf die Fig. 31 beschrieben.
In Fig. 31 wird die Annahme getroffen, daß Scheibenkassetten
21, die mit Diagonallinien versehen sind, in dem Lade-/
Entladebereich 51, dem Scheibenkassetten-Halterrahmen 51a und
51b des Hauptbearbeitungsbereiches 50, den ersten und zweiten
Wasserreinigungskammern 54a und 55a und der Trocknungskammer
56a bearbeitet werden. Fig. 31 zeigt also einen Zustand, in
dem nur in der Reinigungskammer 53a in der Reinigungs
vorrichtung keine zu bearbeitende Scheibenkassette 21
vorgesehen ist.
Gemäß einem Befehl von der Förderroboter-Steuerungs-CPU 65
steuert der Förderroboter-Steuerbereich 67 den Förderroboter
58b so, daß dieser die nachstehenden Vorgänge der Reihe nach
ausführt:
Der Förderroboter 58b schiebt die Scheibenkassette 21, die an dem Scheibenkassetten-Halterrahmen 52b des Hauptbearbeitungs bereiches 50 plaziert ist, in die Reinigungskammer 53a. Anschließend schiebt der Förderroboter 58b die Scheibe kassette 21 auf den Scheibenkassetten-Halterrahmen 51b des Lade/Entladebereiches 51, schiebt die Scheibenkassette 21 in der Trocknungskammer 56a zu dem Scheibenkassetten-Halter rahmen 51b des Lade/Entladebereiches 51, schiebt die Scheibenkassette 21 in der zweiten Wasserreinigungskammer 55a in die Trocknungskammer 56a und schiebt die Scheibenkassette 21 in der ersten Wasserreinigungskammer 54a in die zweite Wasserreinigungskammer 55a. Nachdem eine bestimmte Bearbei tungszeit abgelaufen ist, sind die Scheibenkassetten 21 auf ähnliche Weise verschoben und bilden einen leeren Bereich, in dem keine Scheibenkassette 21 vorhanden ist, als Zentrum, das hier die erste Wasserreinigungskammer 54a ist. An dem Scheibenkassetten-Halterrahmen 51b des Lade/Entladebereichs 51 nimmt der Schieberoboter 57 die gereinigte Scheibe 1 aus der Scheibenkassette 21, um sie in die Produktkassette 22 zu legen. Weiterhin wird die Scheibe 1 in der anderen Produktkassette 22, die nicht gereinigt worden ist, in die Scheibenkassette 21 geschoben.
Der Förderroboter 58b schiebt die Scheibenkassette 21, die an dem Scheibenkassetten-Halterrahmen 52b des Hauptbearbeitungs bereiches 50 plaziert ist, in die Reinigungskammer 53a. Anschließend schiebt der Förderroboter 58b die Scheibe kassette 21 auf den Scheibenkassetten-Halterrahmen 51b des Lade/Entladebereiches 51, schiebt die Scheibenkassette 21 in der Trocknungskammer 56a zu dem Scheibenkassetten-Halter rahmen 51b des Lade/Entladebereiches 51, schiebt die Scheibenkassette 21 in der zweiten Wasserreinigungskammer 55a in die Trocknungskammer 56a und schiebt die Scheibenkassette 21 in der ersten Wasserreinigungskammer 54a in die zweite Wasserreinigungskammer 55a. Nachdem eine bestimmte Bearbei tungszeit abgelaufen ist, sind die Scheibenkassetten 21 auf ähnliche Weise verschoben und bilden einen leeren Bereich, in dem keine Scheibenkassette 21 vorhanden ist, als Zentrum, das hier die erste Wasserreinigungskammer 54a ist. An dem Scheibenkassetten-Halterrahmen 51b des Lade/Entladebereichs 51 nimmt der Schieberoboter 57 die gereinigte Scheibe 1 aus der Scheibenkassette 21, um sie in die Produktkassette 22 zu legen. Weiterhin wird die Scheibe 1 in der anderen Produktkassette 22, die nicht gereinigt worden ist, in die Scheibenkassette 21 geschoben.
Die Bearbeitungszeit-Steuerungs-CPU 66, die mit dem
Reinigungskammer-Steuerbereich 68 verbunden ist, überträgt die
Steuerzeit mit der eine vorbestimmte Bearbeitungszeit
bestimmt wird. Wenn der Zeitpunkt, an dem der Förderroboter 58
die Scheibenkassette 21 verschiebt, in Abhängigkeit von der
vorbestimmten Bearbeitungszeit des Hauptbearbeitungsbereiches
50 bestimmt wird, tritt manchmal der Fall ein, daß kein
Scheibe 1 in die Scheibenkassette 21 an dem Scheibe-Kassetten-
Halterrahmen 51b in dem Lade/Entladebereich 51 ein-gesetzt
wird. In diesem Fall wird die leere Scheibenkassette 21 nicht
in eine Standby-Position, sondern wie sie ist zu dem Förderweg
in dem Hauptbearbeitungsbereich 50 gebracht.
Ein Steuerbereich 69 für die Reinigungskammergruppe kann, wie
in Fig. 32 gezeigt ist, mit der Steuerungs-CPU 66 der
Bearbeitungsart anstelle des Reinigungskammer-Steuerbereiches
68 des in Fig. 30 gezeigten Systems verbunden werden. Der
Steuerbereich 69 der Reinigungskammergruppe besitzt einen
Reinigungskammer-Steuerbereich 69a zur Steuerung der
Reinigungskammer 53a und einen Wasserreinigungskammer-Steuer
bereich 69 b zur Steuerung der Wasserreinigungskammern 54a und
55a. Im Ergebnis kann in den Fällen, in denen zwei Einheiten
in der Reinigungsvorrichtung leer sind, d. h. keine
Scheibenkassette 21 in sie eingesetzt ist, ein Effekt erzielt
werden. Es wird die Annahme getroffen, daß die
Reinigungskammer 53a und die erste Wasserreinigungskammer 54a
keine Scheibenkassette 21 besitzen, die bearbeitet wird, und
daß der Lade/Entladebereich 51, die Reinigungskassetten-
Halterrahmen 51b und 52b des Hauptbearbeitungsbereiches 50,
die zweite Wasserreinigungskammer 55a und die Trocknungskammer
56a eine zu bearbeitende Scheibenkassette 21 aufweisen.
Gemäß einem Befehl von der Förderroboter-Steuerungs-CPU 65
steuert der Förderroboter-Steuerbereich 67 den Förderroboter
58 so, daß die nachstehenden Vorgänge der Reihe nach
ausgeführt werden:
Der Förderroboter 58b schiebt die Scheibenkassette 21, welche auf dem Scheibekasseten-Halterrahmen 52b des Hauptbearbei tungsbereiches 50 liegt, in die Reinigungskammer 53a, dann schiebt der Förderroboter 58b die Scheibenkassette 21 in der Reinigungskammer 53a in die erste Wasserreinigungskammer 54a, nachdem eine bestimmte Zeit vergangen ist. Da die erste Wasserreinigungskammer 54a sich dabei in einem leeren Zustand befindet, kann die Scheibenkassette 21 in die erste Wasserreinigungskammer 54a geschoben werden, sobald eine bestimmte Zeit in dem Reinigungsbereich 53 vergangen ist.
Der Förderroboter 58b schiebt die Scheibenkassette 21, welche auf dem Scheibekasseten-Halterrahmen 52b des Hauptbearbei tungsbereiches 50 liegt, in die Reinigungskammer 53a, dann schiebt der Förderroboter 58b die Scheibenkassette 21 in der Reinigungskammer 53a in die erste Wasserreinigungskammer 54a, nachdem eine bestimmte Zeit vergangen ist. Da die erste Wasserreinigungskammer 54a sich dabei in einem leeren Zustand befindet, kann die Scheibenkassette 21 in die erste Wasserreinigungskammer 54a geschoben werden, sobald eine bestimmte Zeit in dem Reinigungsbereich 53 vergangen ist.
Dann schiebt der Förderroboter 58b nacheinander die
Scheibenkassette 21 auf dem Scheibenkassetten-Halterrahmen 51b
des Lade/Entladebereiches 51 zu dem Scheibenkassetten-
Halterrahmen 52b des Hauptbearbeitungsbereiches 50, schiebt
die Scheibenkassette 21 in der Trocknungskammer 56a zu dem
Scheibenkassetten-Halterrahmen 51b des Lade/Entladebereiches
51 und schiebt die Scheibenkassette 21 in der zweiten
Wasserreinigungskammer 55a in die Trocknungskammer 56a. Die
Scheibenkassette 21, die von der Reinigungskammer 53a zu der
ersten Wasserreinigungskammer 54a geschoben wurde, wird durch
den Förderroboter 58b zu der zweiten Wasserreinigungskammer
55a geschoben, nachdem eine bestimmte Bearbeitungszeit
vergangen ist.
Wie zuvor beschrieben wurde, werden die Scheibenkassetten 21
verschoben, wobei der leere Bereich ohne eine Scheibenkassette
21 die Mitte bildet. An dem Scheibenkassetten-Halterrahmen 51b
des Lade/Entladebereiches 51 nimmt der Verschieberoboter 57
das gereinigte Scheibe 1 aus der Scheibenkassette 21 und setzt
das Scheibe 1 in die Produktkassette 22 ein. Anschließend
bewegt er das noch nicht gereinigte Scheibe in der anderen
Produktkassette 22 zu der Scheibenkassette 21.
Bei dem Steuertiming, das durch den Reinigungskammer-
Steuerbereich 69a und die Bearbeitungszeit-Steuerungs-CPU 66,
welche mit einem Wasserkühlkammer-Steuerbereich 69b verbunden
ist, vorgegeben wird, werden die Bearbeitungszeit in der
Reinigungskammer 53a und die Bearbeitungszeit in den
Wasserreinigungskammern 54a und 55a bestimmt. Wenn bei dem
Bewegungszeitablauf für die Scheibenkassette 21 ein Fall
auftritt, in dem keine Scheibe 1 in die Scheibenkassette 21 an
dem Scheibenkassetten-Halterrahmen 51b des Lade-/Entlade
bereiches 51 eingesetzt ist, wird die leere Scheibenkassette
21 nicht in eine Standby-Position an einem anderen Bereich
gebracht, sondern die leere Scheibenkassette 21 wird so wie
sie ist in den Förderweg in dem Hauptbearbeitungsbereich 50
geschoben.
Wenn die Reinigungsvorrichtung gemäß jeder der Ausführungs
formen so angeordnet ist, daß eine Isolierplatte 86 mit einer
Öffnung 86a, durch die Halter 21g der Scheibenkassette 21
erscheinen, nachdem die Scheibenkassette 21 in die Rei
nigungskaminer 85 eingesetzt worden ist, an der Reinigungs
kammer 85 angeordnet ist, kann verhindert werden, daß an den
Haltern 21g der Scheibenkassette 21 Nebel, der aufgrund des
Reinigungsvorganges auftritt, anhaftet. D.h., daß eine
Verschmutzung der Kassettenhand 88, die auftritt, wenn die
Halter 21g der gereinigten Scheibenkassette 21 durch die
Kassettenhand 88 des Förderroboters gehalten werden,
verhindert werden kann.
Indem der Level einer Wasserlösung 90 in einer Wasser
reinigungskammer 89 höher als der Level einer Reinigungslösung
in der Reinigungskammer 85 angesetzt wird, wie dies in Fig. 33
gezeigt ist, kann die Halteplatte 21a der Scheibenkassette
21, die in die Reinigungslösung 87 beim Reinigungsvorgang
eingetaucht ist, vollständig mit Wasser gereinigt werden.
Wenn der Aufbau so getroffen ist, daß, wie in Fig. 30 gezeigt
ist, reines Wasser und Trocknungsgas von einer Düse 91 auf
einen Bereich der Halter 21g der Scheibenkassette 21 und die
Halteplatte 21a, die außen erscheinen, wenn die Scheibe
kassette 21 in die Wasserreinigungskammer 89 eingesetzt ist,
gesprüht wird, kann der Nebel, der aufgrund des
Reinigungsvorganges anhaftet, entfernt werden.
Indem wie in Fig. 35 gezeigt die Scheibenhand 35a des
Förderbereiches 35 in reines Wasser 93 in der Wasser
reinigungskammer 92 von dem Moment an, an dem die Scheibe 1 in
die Wasserreinigungskammer 92 eingesetzt ist, eingetaucht
wird, können die Reinigungslösung und der Nebel, der an der
Scheibenhand 35a während des Reinigungsvorganges anhaftet,
entfernt werden.
Der Trocknungsbereich kann wie in Fig. 36 gezeigt aufgebaut
sein. Eine IPA-Rückgewinnungskammer 44b für die Scheibenhand
ist in einer Trocknungskammer 44a angeordnet, und eine IPA-
Rückgewinnungskammer 44c für die Scheibe ist in der
Rückgewinnungskammer 44b angeordnet. Die IPA-Rückgewinnungs
kammer 44c für die Scheibe hat eine Scheibeaufnahme
vorrichtung 44d. Die Scheibenaufnahmevorrichtung 44d besitzt
eine Mehrzahl von Rillen, um die Enden der eingesetzten
Scheiben 1 aufzunehmen und so die Scheiben 1 zu halten.
Auslaßleitungen 44e und 44f zur Rückgewinnung von IPA-
enthaltendem Wasser sind jeweils mit den Bodenbereichen der
IPA-RÜckgewinnungskammern 44b und 44c verbunden. Eine
Kühlschlange 44g ist entlang der Innenwandung des oberen
Bereiches der Trocknungskammer 44a angeordnet, und eine
Heizung 44h ist unterhalb der Trocknungskammer 44a angeordnet.
Der in dem Trocknungsbereich auszuführende Vorgang ent
sprechend der 16. Ausführungsform wird nun beschrieben. Die
mit Wasser in dem in Fig. 1 gezeigten Wasserreinigungsbereich
33A gereinigte Scheibe 1 wird durch die Scheibenhand 35a des
Produktförderbereiches 35 gehalten, um von der
Scheibenaufnahmevorrichtung 44d des Trocknungsbereiches
aufgenommen zu werden, wie in Fig. 37 gezeigt ist. Dann ist
nur die Scheibenhand 35a zwischen den beiden
Rückgewinnungskammern 44b und 44c angeordnet. Ein IPA 44i, der
in dem Bodenbereich der Trocknungskammer 44a vorhanden ist,
wird durch die Heizung 44h erhitzt und verdampft und wird an
der Oberfläche des Scheibes 1 und der Scheibenhand 35a
kondensiert. Dann tropfen Wassertröpfchen von der Oberfläche
der Scheibe 1 in die Rückgewinnungskammer 44c und tropfen
Wassertropfen von der Oberfläche der Scheibenhand 35a in die
Rückgewinnungskammer 44b, bevor das Wasser durch die
Auslaßrohre 44f und 44e ausgelassen wird. Somit können Wasser
und Fremdkörper an den Oberflächen der Scheibe 1 und
Scheibenhand 35a entfernt werden.
Da die 16. Ausführungsform so aufgebaut ist, daß
Wassertröpfchen einzeln von der Scheibe 1 und der
Scheibenhand 35a entfernt werden, kann eine Beschmutzung der
Scheibe 1 mit dem IPA, das die Scheibenhand 35a gereinigt hat,
verhindert werden, während gleichzeitig die Scheibe 1 und die
Scheibenhand 35a bearbeitet und getrocknet werden.
Die Reinigungsvorrichtung gemäß der in Fig. 13 gezeigten
fünften Ausführungsform kann in der Weise ausgebildet sein,
daß Scheiben 1 in einer Mehrzahl von Losen in der Reinigungs
vorrichtung vorgesehen sind, und daß der Reinigungsbereich 53,
die Wasserreinigungsbereiche 54 und 55 und der
Trocknungsbereich 56 gleichzeitig die Scheiben 1 der
entsprechenden Lose bearbeiten. Da die Scheiben 1 für sechs
Lose gleichzeitig in die voranstehende Reinigungsvorrichtung
mit dem Scheibe-halterrahmen 51a des Lade/Entladebereiches 51
und dem Scheibenhalterrahmen 52 an der Seite des
Produktförder-bereiches 58 eingesetzt werden können, wird
durch Anordnung von sechs oder mehr Produktkassetten-
Halterrahmen in dem Lade/Entladebereich 51 die
Betriebseffektivität der Reinigungs-vorrichtung maximiert. Ein
Produkt-Identifikationsaufkleber ist normalerweise an jeder
Produktkassette 22 befestigt, wobei der Produkt-
Identifikationsaufkleber neben dieser Seite der
Reinigungsvorrichtung positioniert werden kann, indem eine
Richtungssteuerungsfunktion für jeden Produktkassetten-
Halterrahmen vorgesehen wird.
Der detaillierte Aufbau des Roboters 57 gemäß der in Fig. 13
gezeigten fünften Ausführungsform ist in den Fig. 38 und 39
dargestellt. Der Roboter 57 ist so angeordnet, daß er die
Scheibe 1 zwischen der Produktkassette 22, die in dem Lade/
Entladebereich 51 plaziert ist, und dem Scheibe-Halterrahmen
51a verschiebt. Der Roboter besitzt eine Hand zum Halten der
Scheibe 1, eine Ausrichtungsflächen-Ausrichtungsvorrichtung
57b zum Ausrichten der Ausrichtungsfläche der Scheibe 1, die
in der Produktkassette 22 angeordnet ist, und ein
Vorsprungselement 57c, um die Scheibe 1 in der Produktkassette
22 über die Produktkassette 22 nach oben vorspringen zu
lassen. Der Roboter 57 wird entlang der Schiene 57d zu der
Position der Produktkassette 22, die an dem Produktkasset
tenhalter des Lade/Entladebereiches 51 plaziert ist, bewegt.
Der Roboter 57 verwendet die Ausrichtungsflächen-Ausrichtungs
vorrichtung 57b, um die Ausrichtungsflächenrichtungen der
Mehrzahl von Scheiben 1, die in der Produktkassette 22 vor
gesehen sind, auszurichten, und dann läßt das Vorsprungs
element 57c die Scheibe 1 aus der Produktkassette 22 über die
Produktkassette 22 nach oben vorspringen. In diesem Zustand
hält der Roboter 57 die Scheibe 1 mit seiner Hand 57a und
bewegt das Vorsprungselement 57c nach unten. Der Roboter 57
wird dann an eine Stelle des Scheibenhalterrahmens 51a des
Lade/Entladebereiches 51 bewegt. Dann wird das Vorsprungs
element 57c aus einer Position unterhalb der Scheibenkassette
21 nach oben bewegt, um die durch die Hand 57a gehaltene
Scheibe zu tragen. Nachdem die Hand 57a die Scheibe 1 frei
gegeben hat, wird das Vorsprungselement 57c nach unten bewegt,
um die Scheibe 1 zu dem Scheibenhalterrahmen 51a zu schieben.
Der Roboter 57 ist ein Roboter, der für kassettenlose
Reinigungsvorrichtungen vorgesehen ist, um direkt die Scheibe
1 zu handeln und diese zwischen der Produktkassette 22 und dem
Scheibenhalterrahmen 51a zu bewegen. Ein Roboter zum
Verschieben der Scheibe 1 zwischen der Produktkassette, die in
dem Lade/Entladebereich plaziert ist, und der Scheiben
kassette, die an dem Scheibenkassetten-Halterrahmen plaziert
ist, kann in ähnlicher Weise ausgebildet sein, um in einer
Reinigungsvorrichtung der Kassettenart verwendet zu werden.
Eine Scheibenhand 45a, die wie in Fig. 40 gezeigt aufgebaut
ist, kann als Scheibenhand für den Produktförderbereich
verwendet werden. Scheibenhaltestangen 45f und 45g zur
Herstellung der Verbindung zwischen dem Arm 45b, 45d der
beiden Armpaare 45b-45c und 45d-45e sind vorgesehen und
Scheibenhaltestangen 45h und 45i zur Herstellung der
Verbindung zwischen dem Arm 45c und 45e sind vorgesehen. Die
Scheibenhaltestangen 45f bis 45i sind parallel zueinander
angeordnet und besitzen eine Mehrzahl von Scheibenaufnahme
rillen 45j, die in den Fig. 41 und 42 gezeigt sind. Die
Scheibenaufnahmerille 45j besteht aus einem Scheibenführungs
bereich 45k, der in einer schrägen Querschnittsform
ausgebildet sein soll, einem Scheibenhaltebereich 45m zum
Halten der Scheibe 1 und einem Auslaßbereich 45n zum Auslassen
des an den Oberflächen der Scheiben 1 und der
Scheibenaufnahmerille 45 j kondensierten IPAs. Beispielsweise
ist bei einer 8-Inch-Scheibe mit einer Dicke von 725
Mikrometer die Anordnung so getroffen, daß die Breite der
Rille in dem Scheibenhaltebereich 45m 900 Mikrometer und die
Breite der Rille in dem Auslaßbereich 45n 200 bis 700
Millimeter beträgt.
Durch Verwendung der Scheibenhand 45a gemäß der 19.
Ausführungsform können eine Mehrzahl von Scheiben 1 sicher
gehalten werden. Entsprechend kann der Verfahrensablauf
verbessert werden. Da jede Scheibenaufnahmerille 45j den
Auslaßbereich 45n besitzt, kann das Trocknen der Scheibe 1,
die durch die Scheibenhand 45a gehalten ist, in dem
Trocknungsbereich 34 durchgeführt werden. Der
Trocknungsbereich 34 ist wie in Fig. 4 derartig ausgebildet,
daß IPA, das verschmutzt ist, weil es die Oberfläche der
Scheibe 1 und die des Scheibenendes 45a gereinigt hat, in den
Auslaßbereich 45n jeder Scheibenaufnahmerille 45j fließt, um
in die Rückgewinnungskammer 34b zu tropfen. Im Ergebnis kann
verhindert werden, daß Wasser und Fremdstoffe aus dem
verschmutzten IPA wieder an der Scheibe 1 anhaften und
entsprechend kann die Scheibe 1 in kurzer Zeit gereinigt und
getrocknet werden.
Der Auslaßbereich 45n jeder Scheibenaufnahmerille 45j kann
weggelassen werden. In dem Fall, daß ein Trocknungsbereich wie
in Fig. 36 gezeigt so angeordnet ist, daß die IPA-
Rückgewinnungskammer 44c für die Scheibe und die IPA-
Rückgewinnungskammer 44b für die Scheibenhand selbständig
vorgesehen sind, kommt die Scheibenhand 45a, die in Kontakt
mit dem IPA-Dampf steht, in einen Zustand, indem die
Scheibenhand 45a weg von der Scheibe 1 positioniert ist. Daher
kann der Auslaßbereich 45n der Wasseraufnahmerille 45j
weggelassen werden.
Eine Scheibenhaltestange 45b, die wie in Fig. 43 gezeigt
angeordnet ist, kann verwendet werden. Die Scheibenhaltestange
45b hat einen vertikalen Ausschnittsbereich 45g, in ihrer
Längsrichtung. Durch Ausbildung des Ausschnittsbereiches 45g
kann das verunreinigte IPA, das die Oberfläche der Scheibe 1
und die der Scheibenhand 45a gereinigt hat, leicht in den
Trocknungsbereich hineintropfen. Daher kann die Scheibe 1 in
einer kürzeren Zeit gereinigt und getrocknet werden.
Wenn eine Scheibenhaltestange 45r, die wie in Fig. 44 gezeigt
einen vorstehenden kreisbogenförmigen Bereich besitzt,
verwendet wird, um die Scheibe 1 zu halten, kann der
Kontaktbereich zwischen der Scheibe 1 und der
Scheibenaufnahmerille 455 minimiert werden. Daher kann die
Menge von IPA, die in dem Kontaktbereich zurückbleibt,
reduziert werden, und damit kann die Scheibe 1 in einer kurzen
Zeit gereinigt und getrocknet werden.
Eine Scheibenreinigungskassette 21 gemäß einer
20. Ausführungsform ist in den Fig. 45 und 46 dargestellt. Die
Scheibenkassette 21 besteht aus einem Paar von Halteplatten
21a und 21b und Scheibenhaltestangen 21c bis 21f, die parallel
zueinander angeordnet sind, um die Verbindung zwischen den
Halteplatten 21a und 21b miteinander herzustellen. Jede der
Scheibenhaltestangen 21c bis 21f besitzt eine Mehrzahl von
Scheibenaufnahmerillen zum Halten der Scheiben 1, die aus der
Zeichnung weggelassen sind. Jede der Halteplatten 21a und 21b
hat eine Höhe, die ausreichend höher als die Höhe der Scheibe
1 ist, welche in der Scheibenkassette 21 aufgenommen werden
soll. D.h., daß die Höhe der Halteplatten 21a und 21b größer
als der Durchmesser der Scheibe 1 ist. Weiterhin besitzt jede
der Halteplatten 21a und 21b Halter 21g an ihrem oberen Ende,
um die Scheibenkassette 21 zu halten.
Ein Zustand, in dem sich die Scheibe 1 in der Scheibenkassette
21 befindet und die Scheibenkassette 21 in die Reinigungs
kammer 14a eingesetzt ist, ist in Fig. 47 dargestellt. Da jede
der Halteplatten 21a und 21b eine Höhe besitzt, die
ausreichend höher als die Scheibe 1 ist, werden die Halter 21g
der Scheibenkassette 21 oberhalb des Levels der
Reinigungslösung 14b positioniert, wenn die Scheibe 1
vollständig in die Reinigungslösung 14 eingetaucht ist. Daher
wird das Spannfutter der Kassettenhand zum Halten der Halter
21g durch die Reinigungslösung 14b nicht naß. D.h., daß ein
zusätzlicher Handreinigungsbereich zum Reinigen und Trocknen
der Kassettenhand weggelassen werden kann. Alternativ hierzu
kann der Vorgang zum Austauschen der nassen Kassettenhand
durch eine trockene Kassettenhand weggelassen werden.
Da die Scheibenkassette 21 einen Oberflächenbereich besitzt,
der kleiner als der einer herkömmlichen boxförmigen
Scheibenkassette ist und die Scheibe 1 verglichen mit
derselben beträchtlich erscheint, kann der Reinigungseffekt
verbessert werden. Weiterhin macht es die Tatsache, daß die
Breite der Scheibenkassette 21 eng ist, möglich, die Größe der
Kammer jeder Einheit ähnlich wie bei der kassettenlosen
Reinigungsvorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform zu
verringern. Weiterhin können durch die Vorrichtung der
Kassettenart die folgenden Vorteile verwirklicht werden: Die
Scheibe 1 kann vor Beschädigungen bei der Förderung verglichen
mit der kassettenlosen Art geschützt werden; und die
Einstellung bei der Wartung kann leicht durchgeführt werden.
Wenn die Reinigungslösung 14b oder das Reinigungswasser 15b
eine blasenbildende Lösung ist, besteht die Gefahr, daß der
obere Endbereich der Scheibenkassette 21 durch Tropfen der
Lösung, die aufgrund der Blasenbildung entstehen, naß wird.
Entsprechend ist eine Schutzwandung 21h entlang der
Außenfläche der Scheibenkassette 21 wie in Fig. 48 gezeigt
vorgesehen, um die Tröpfchen aufgrund der Bildung von Blasen
abzuhalten. Daher kann das obere Ende der Scheibenkassette 21
nicht durch die Tropfen naß werden. Im Ergebnis kann
verhindert werden, daß das Spannfutter 25c der Kassettenhand
naß wird.
Eine herkömmliche Scheibenkassette 2 kann Spannfutter 19c
besitzen, an denen zusätzlich Handschuhe 19e wie in Fig. 49
gezeigt befestigt sind, um das Spannfutter 19c der
Kassettenhand vor einem Naßwerden durch die Reinigungslösung
14b oder das Reinigungswasser 15b, mit denen der
Reinigungsvorgang und den Wasserreinigungsvorgang durchgeführt
werden, zu schützen. Eine Kassettenhand mit dem Spannfutter
19c, an der zusätzlich ein Handschuh 19e befestigt ist, ist in
Fig. 50 gezeigt.
Wie in Fig. 51 gezeigt ist, werden die Spannfutter 19c, an
denen die Handschuhe 19e befestigt sind, dazu verwendet, die
Scheibenkassette 2 in die Reinigungskammer 14a in der Weise
einzusetzen, daß die Scheibe 1 vollständig in die
Reinigungslösung 14b eingetaucht wird. Obwohl ein Bereich des
Handschuhs 19e in die Reinigungslösung 14b währenddessen
eingetaucht wird, wird das Spannfutter 19c nicht durch die
Reinigungslösung 14b naß. Wenn die Scheibenkassette 2 in das
Reinigungswasser 15b in der Wasserreinigungskammer 15a
eingesetzt wird, kann ein Naßwerden des Spannfutters 19c durch
das Reinigungswasser 15b verhindert werden, obwohl ein Bereich
des Handschuhs 19e in das Reinigungswasser 15b eingetaucht
wird. Nachdem der Wasserreinigungsvorgang beendet worden ist,
wird die Scheibenkassette 2, an der die Handschuhe 19e
befestigt sind, in den Trocknungsbereich 16 eingesetzt, um den
Trocknungsvorgang durchzuführen. Nachdem der Trocknungsvorgang
beendet ist, werden die Handschuhe 19e von dem Spannfutter 19c
entfernt, und das Spannfutter 19c wird direkt verwendet, um
die getrocknete Scheibenkassette 2 aus dem Trocknungsbereich
16 herauszunehmen. Im Ergebnis kann ein zusätzlicher
Handreinigungsbereich zum Reinigen und Trocknen der
Kassettenhand weggelassen werden.
Wenn die Reinigungslösung 14b oder das Reinigungswasser 15b
eine blasenbildende Lösung ist, besteht die Gefahr, daß das
Spannfutter 19c durch die Tröpfchen der Lösung naß wird.
Entsprechend ist eine Schutzwandung 19j entlang des äußeren
Endes des Handschuhs 19e ausgebildet, wie in Fig. 52 gezeigt
ist, so daß die Tröpfchen der Lösung von der Schutzwandung 19j
abgehalten werden. Im Ergebnis kann verhindert werden, daß das
obere Ende des zusätzlichen Handschuhs 19e durch die Tropfen
der Lösung naß wird. Im Ergebnis kann effektiv verhindert
werden, daß das Spannfutter 19c der Kassettenhand naß wird.
Es kann eine andere Anordnung verwendet werden, wie sie in
Fig. 53 gezeigt ist, und bei der das Spannfutter 19c direkt
verwendet wird, um die Scheibenkassette 2 von dem
Reinigungsvorgang zu dem Trocknungsvorgang zu transportieren,
und bei der der zusätzliche Handschuh 19e an dem Spannfutter
19c nur während des Herausnehmens der getrockneten
Scheibenkassette aus dem Trocknungsbereich 16 an dem
Spannfutter 19c befestigt ist. Selbst wenn das Spannfutter 19c
naß wird, macht es die Befestigung des zusätzlichen Handschuhs
19e möglich, daß die getrocknete Scheibe 1 und die
Scheibenkassette 2 aus dem Trocknungsbereich 16 herausgenommen
werden, ohne daß die getrocknete Scheibe und die
Scheibenkassette 2 naß werden.
Fig. 54 stellt eine Kassettenhand gemäß einer 23. Ausführungs
form dar. Die Kassettenhand besitzt eine Verbindungs
vorrichtung 19 für einen auswechselbaren Handschuh, die an
einem bewegbaren Arm 19a unter Zwischenschaltung eines
Handschuhhaltearms 19b verbunden ist, und ein bewegbares
Spannfutter 19g, das auswechselbar an der Verbindungs
vorrichtung 19f vorgesehen ist. Die Verbindungsvorrichtung 19f
besteht aus einem Elektromagnet, und das auswechselbare
Spannfutter 19g besteht aus einem magnetischen Material. Der
vordere Bereich der Verbindungsvorrichtung 19f ist in eine
Befestigungsöffnung 19 des auswechselbaren Spannfutters 19g
eingesetzt und elektrischer Strom durchläuft den Elektromagnet
in der Verbindungsvorrichtung 19f, so daß das Spannfutter 19g
mit der Verbindungsvorrichtung 19f wie in Fig. 55 gezeigt
verbunden wird, um als Teil der Kassettenhand zu dienen.
Wie in Fig. 56 gezeigt ist, ist das erste auswechselbare
Spannfutter 19g an der Verbindungsvorrichtung 19f befestigt
und wird das erste auswechselbare Spannfutter 19g verwendet,
um die Scheibenkassette 2 in die Reinigungskammer 14a in der
Weise einzusetzen, daß die Scheibe 1 vollständig in die
Reinigungslösung 14b eingetaucht ist. Dabei wird ein Teil des
auswechselbaren Spannfutters 19g in die Reinigungslösung 14b
eingetaucht. In ähnlicher Weise wird das erste auswechselbare
Spannfutter 19g verwendet, um die Scheibenkassette 2 in das
Reinigungswasser 15b in der Wasserreinigungskammer 15a
einzusetzen. Auch dabei wird ein Teil des auswechselbaren
Spannfutters 19g in das Reinigungswasser 15b eingetaucht.
Nachdem der Wasserreinigungsvorgang beendet ist, wird das
erste auswechselbare Spannfutter 19g verwendet, um die
Scheibenkassette 2 in den Trocknungsbereich 16 einzusetzten,
um den Trocknungsvorgang durchzuführen. Nachdem der
Trocknungsvorgang beendet ist, wird das auswechselbare
Spannfutter 19g, das durch die Reinigungslösung 14b und das
Reinigungswasser 15b naß geworden ist, entfernt und das zweite
auswechselbare Spannfutter 19i an der Verbindungsvorrichtung
19f befestigt. Indem das auswechselbare Spannfutter 19i
verwendet wird, um die getrocknete Scheibenkassette 2 aus dem
Trocknungsbereich 16 herauszunehmen, kann ein zusätzlicher
Handreinigungsbereich zum Reinigen und Trocknen der
Kassettenhand bei diesem Aufbau weggelassen werden.
Fig. 57 ist eine Gesamtansicht, die eine Halbleiterreinigungs
vorrichtung gemäß einer 24. Ausführungsform darstellt. Die
Halbleiterreinigungsvorrichtung besitzt einen Reinigungs
vorrichtungskörper 101 zur Durchführung jedes Schritts des
Reinigungsverfahrens und einen Lade/Entladebereich 102. Der
Reinigungsvorrichtungskörper 101 besitzt in seinem mittigen
Bereich einen Produktförderbereich 110, der entlang der
Längsrichtung der Reinigungsvorrichtung angeordnet ist. Der
Produktförderbereich 110 hat einen Förderroboter mit einer
Bewegungsachse in der Längsrichtung der Reinigungsvorrichtung
und einer Drehachse zum Drehen einer Kassettenhand 110h. An
den beiden Seiten des Produktförderbereiches 110 sind ein
Scheibenkassetten-Halterrahmen 123, eine Reinigungskammer 114
eines Reinigungsbereiches 105, Wasserreinigungskammern 120a
und 120b der Wasserreinigungsbereiche 106a und 106b und eine
Trocknungskammer 121 eines Trocknungsbereiches 107 in zwei
Linien, die sich in Längsrichtung der Reinigungsvorrichtung
erstrecken, angeordnet. Der Lade/Entladebereich 102 ist an
einem Endbereich des Produktförderbereiches 110 in der
Breitenrichtung der Reinigungsvorrichtung mit einer großen
Länge angeordnet, wobei der Lade/Entladebereich 102 sechs
Produktkassetten-Halterrahmen und einen Reinigungskassetten-
Halterrahmen 124 aufweist. Im Ergebnis können sechs Produkt
kassetten 22 und eine Reinigungskassette 21 gleichzeitig pla
ziert werden. Weiterhin ist ein Verschieberoboter zum
Verschieben der Scheibe zwischen der Produktkassette 22, die
in dem Lade/Entladebereich 102 plaziert ist, und der
Reingungskassette 21 neben dem Lade/Entladebereich 102
angeordnet.
Fig. 58 ist eine Vorderansicht, die die in Fig. 57 gezeigte
Halbleiterreinigungsvorrichtung darstellt. Bezugsziffer 126
bezeichnet einen Luftfilter, der an einem Reinigungsbereich
105, den Wasserreinigungsbereichen 106a und 106b und einem
Trocknungsbereich 107 der Halbleiterreinigungsvorrichtung
angeordnet ist, und wobei der Luftfilter 106 dazu dient,
saubere Luft zuzuführen.
Fig. 59 ist eine Seitenansicht, die die in Fig. 57 gezeigte
Halbleiterreinigungsvorrichtung darstellt. Bezugsziffer 127
bezeichnet einen Luftfilter zum Zuführen sauberer Luft zu dem
Lade/Entladebereich 102, die Bezugsziffer 128 bezeichnet einen
Auslaßbereich zum Auslassen der Luft aus dem Reinigungsbereich
105, den Wasserreingungsbereichen 106a und 106b und dem
Trocknungsbereich 107 der Halbleiterreinigungsvorrichtung,
und die Bezugsziffer 129 bezeichnet einen Auslaßbereich zum
Auslassen der Luft aus dem Lade/Entladebereich 102.
Der Betrieb wird nun beschrieben. Die Produktkassette 22, in
der sich die Scheibe befindet, ist an dem Produktkassetten-
Halterrahmen des Lade/Entladebereiches 102 angeordnet. Der
Verschieberoboter 125 nimmt die Scheibe aus der Produkt
kassette 22 heraus, um die Scheibe zu der Reinigungskassette
21 zu schieben, welche an dem Reinigungskassetten-Halterrahmen
124 positioniert ist. Die somit die Scheibe enthaltende
Kassette 21 wird durch die Kassettenhand 110h des Produkt
förderbereiches 110 gehalten, um zu dem Reinigungskassetten-
Halterrahmen 124 geschoben zu werden, in dem die
Reinigungskassette 21 sich dann in einer Standby-Position
befindet. Dann setzt der Produktförderbereich 110 die
Reinigungskassette 21 in die Reinigungskammer 114 des
Reinigungsbereiches 105 ein. Nachdem die Scheibe in der
Reinigungskassette auf eine bestimmte Weise gereinigt worden
ist, setzt der Produktförderbereich 110 die Reinigungskassette
21 in die Wasserreinigungskammer 120a des ersten Wasser
reinigungsbereiches 106a. Nachdem die Scheibe mit Wasser auf
eine bestimmte Weise gereinigt worden ist, setzt der
Produktförderbereich 110 die Reinigungskassette in die
Wasserreinigungskammer 120b des zweiten Wasserreinigungs
bereiches 106b ein, so daß sie mit Wasser gereinigt wird.
Indem die Scheiben nacheinander in zwei Wasserreinigungs
kammern 120a und 120b gereinigt werden, kann erwartet werden,
daß die Taktzeit, die erforderlich ist, um den Wasser
reinigungsvorgang zu beenden, verkürzt ist, und daß ein guter
Wasserreinigungsvorgang gewährleistet ist.
Der Produktförderbereich 110 setzt die Reinigungskassette 21,
die mit Wasser gereinigt worden ist, in die Trocknungskammer
121 des Trocknungsbereiches 107 ein. Nachdem das Trocknen
abgeschlossen ist, nimmt der Produktförderbereich 110 die
Reinigungskassette 21 aus der Trocknungskammer 121, um sie auf
den Reinigungskassetten-Halterrahmen 124 zu schieben. Der
Verschieberoboter 125 nimmt die Scheibe aus der Reinigungs
kassette 21, die auf dem Reinigungskassetten-Halterrahmen 124
liegt, um die Scheibe zu einer leeren Produktkassette zu
schieben, die auf dem Produktkassetten-Halterrahmen liegt.
Saubere Luft, die aus dem Luftfilter 126 herausgeblasen wird,
tritt durch den Halbleiterreinigungsvorrichtungskörper 100 ein
und wird durch den Auslaßbereich 128 ausgelassen. Andererseits
tritt saubere Luft, die aus dem Luftfilter 107 ausgeblasen
wird, durch den Lade/Entladebereich 102 und wird durch den
Auslaßbereich 129 ausgeblasen.
Der Luftstrom in der Halbleiterreinigungsvorrichtung 101 wird
nun beschrieben. Fig. 60 ist eine Vorderansicht im Schnitt,
die im Detail den Aufbau des Innenraums der in Fig. 57
gezeigten Halbleiterreinigungsvorrichtung zeigt. Die Bezugs
ziffern 126a und 126b bezeichnen Luftfilter, die oberhalb der
Reinigungskammer 114 des Reinigungsbereiches 105 und der
Wasserreinigungskammern 120a und 120b der Wasser
reinigungsbereiche 106a und 106b vorgesehen sind. Die
Luftfilter 126a und 126b sind vorgesehen, um saubere Luft
zuzuführen. Die Bezugsziffern 130a und 130b bezeichnen
Auslaßöffnungen zum Ansaugen und Auslassen von Luft, die um
die Reinigungskammer 114 und die Wasserreinigungskammern 120a
und 120b herum angeordnet sind. Die Bezugsziffern 131a bis
131g bezeichnen Auslaßleitungen, die mit den Auslaßöffnungen
130a und 130b verbunden sind. Die Bezugsziffern 132a und 132b
bezeichnen Auslaßrohre, die mit den Auslaßleitungen 131a bis
131g verbunden und dazu angeordnet sind, Luft zu der
Außenseite der Halbleiterreinigungsvorrichtung 1 auszublasen.
Bezugsziffer Al bezeichnet von den Luftfiltern 126a und 126b
kommende Ströme nach unten, A2a bis A2d bezeichnen Ströme
angesaugter Luft, die in die Auslaßöffnungen 127a und 127b
gesaugt werden, und A3a bis A3d bezeichnen Auslaßströme, die
über die Auslaßleitungen 128a bis 128g in die Auslaßrohre 132a
und 132b gelangen.
Die Ströme A1, die aus den Luftfiltern 126a und 126b nach
unten ausgeblasen werden, strömen durch die Produktförder
bereiche 110 und 110a, die Kassettenhand 110h und die
Reinigungskassette 21, um, wie durch A2a bis A2d bezeichnet
ist, durch die Auslaßöffnung 130a, die um die Reinigungskammer
114 des Reinigungsbereiches 105 herum ausgebildet ist, und die
Auslaßöffnung 130b, die um die Wasserreinigungskammer 120b des
Wasserreinigungsbereichs 106b herum ausgebildet ist, angesaugt
zu werden. Dann wird die angesaugte Luft von den
Auslaßleitungen 131a bis 131f zu den Auslaßrohren 132a und
132b abgeführt, wie dies durch die Auslaßströme A3a bis A3d
angedeutet ist. Im Ergebnis treffen die Abwärtsströme A1 in
gleichem Maße auf die oberen Bereiche der Reinigungskammer 114
und der Wasserreinigungskammer 120b, um den in der
Reinigungskammer 114 erzeugten chemischen Nebel zu fangen.
Dann werden die Abwärtsströme A1 gleichermaßen durch die
Auslaßöffnungen 130a und 130b angesaugten Luftströme A2a bis
A2d angesaugt. Daher kann verhindert werden, daß sich der
chemische Nebel oberhalb der Reinigungskammer 114 zerstreut.
Weiterhin kann chemischer Nebel durch die Abwärtsströme A1
gefangen werden, wobei der chemische Nebel in der
Kassettenhand 110h und der Reinigungskassette 21 erzeugt wird,
während die Kassettenhand 110h und die Reinigungskassette 21,
die in die Reinigungslösung der Reinigungskammer 114
eingetaucht sind, von dem Produktförderbereich 110a nach oben
herausgenommen werden. Daher wird der chemische Nebel zusammen
mit den angesaugten Luftströmen A2a bis A2d zu den
Auslaßrohren 132a und 132b abgeführt. Im Ergebnis kann ein
Zerstreuen des chemischen Nebels, der während der Förderung
erzeugt wird, verhindert werden.
Obwohl die Reinigungsvorrichtung gemäß dieser Ausführungsform
eine Vorrichtung der Kassettenart ist, d. h. eine
Reinigungskassette verwendet, kann diese Ausführungsform
natürlich auch an eine kassettenlose Reinigungsvorrichtung
angepaßt werden.
Fig. 61 ist eine Vorderansicht im Schnitt, die den
Innenbereich eines Halbleiterreinigungsvorrichtungskörpers
gemäß einer 25. Ausführungsform zeigt. Fig. 62 stellt den
Steuerablauf, der in der in Fig. 61 gezeigten Halbleiter
reinigungsvorrichtung abläuft, dar. In den Figuren bezeichnet
die Bezugsziffer 133 reines Wasser, das in der
Reinigungskammer 120 eingeschlossen ist. Die Bezugsziffer A4a
und A4b Aufwärtsströme von natürlicher Konvektion, und die
Bezugsziffern A5a und A5b bezeichnen Abwärtsströme direkt
oberhalb der Reinigungskammer 114 und der Wasser
reinigungskammer 120. Die Bezugsziffer 134 bezeichnet Mittel
zur Erfassung der Temperatur der Reinigungslösung, um die
Temperatur T1 der Reinigungslösung, die in der
Reinigungskammer 114 eingeschlossen ist, zu erfassen. Die
Bezugsziffer 135 bezeichnet die Temperaturerfassungsmittel zur
Erfassung der Temperatur Ta in der Reinigungsvorrichtung und
die Bezugsziffer 136 bezeichnet einen Berechnungsbereich zur
Berechnung des Steuerausgangs N1 von Mitteln 137 zur Änderung
der Luftdruckes, der von dem Luftfilter gemäß dem Ausgang T1
von dem Mittel 134 zur Erfassung der Temperatur der
Reinigungslösung und dem Ausgang Ta von dem Temperatur
erfassungsmittel zugeführt wird.
Die Reinigungslösung 115 in der Reinigungskammer 114 und
getrockneter Dampf in der Trocknungskammer 121 werden auf
unterschiedliche Temperaturen erhitzt, wenn das Verfahren wie
das leichte Ätzen und das entfernbare Ätzmittel unter
schiedlich sind. Es ist bekannt, daß die Temperaturanstiege
der Aufwärtsströme A4a und A4b der natürlichen Konvektionen,
die oberhalb der Reinigungskammer 114 und der Trocknungskammer
121 erzeugt werden, im Verhältnis zu dem Unterschied der
Temperatur T1 der Reinigungslösung, der Temperatur T2 des
getrockneten Dampfes und der Temperatur Ta der
Reinigungsvorrichtung stehen. Die Temperaturanstiege können
durch die Gleichung 1 ausgedrückt werden:
V1 = f1 (T1-Ta) (1)
wobei V1 die Geschwindigkeit der Aufwärtsbewegung der
Aufwärtsstrom der natürlichen Konvektion und f1 eine Funktion
ist.
Da die Geschwindigkeit V1, bei der der chemische Nebel 118 und
der getrocknete Dampf durch die natürlichen Konvektionen A4a
und A4b getragen nach oben bewegt werden, im Verhältnis zu dem
Anstieg der Temperatur T1 der Reinigungslösung und der
Temperatur des getrockneten Dampfes steht, muß der Druck zum
Zuführen von Luft von dem Luftfilter her gemäß der Temperatur
T1 der Reinigungslösung und der Temperatur T2 des getrockneten
Dampfes geändert werden, um die Geschwindigkeit V1 zu
beschränken. Die Luftzuführgeschwindigkeit (zuviel Druck) V2
des Luftgebläses und die Drehgeschwindigkeit N1 des
Luftzufuhrmotors stehen normalerweise in einem proportionalen
Verhältnis. Daher muß die Drehgeschwindigkeit N1 des
Luftzuführmotors gemäß der Gleichung 2 gesteuert werden:
N1 = f2 (T1-Ta) (2)
wobei f2 eine Funktion ist.
Um den zuvor erläuterten Steuerablauf zu erreichen, werden die
Mittel 134 zur Erfassung der Temperatur der Reinigungslösung
und die Temperaturerfassungsmittel 135 verwendet, um die
Temperatur T1 der Reinigungslösung und die Temperatur Ta in
der Reinigungsvorrichtung zu erfassen. Weiterhin werden
Signale, die die Ergebnisse der Erfassung darstellen, als
Eingangssignale dem Berechnungsbereich 36 zugeführt, um
Berechnungen gemäß Gleichung 3 durchzuführen. Dann wird die
Drehgeschwindigkeit N1 des Luftzuführmotors geändert. Die
Drehgeschwindigkeit N1 des Luftzuführmotors wird als Eingangs
signal dem Mittel 137 zur Änderung des Druckes der Luft, die
von dem Luftfilter zugeführt werden soll, zugeführt, um die
Drehgeschwindigkeit des Luftzuführmotors zu ändern.
Wenn mehrere Temperaturen in der Reinigungsvorrichtung gewählt
sind, muß der Luftzufuhrdruck so gesteuert werden, daß er an
die höchste Temperatur unter den mehreren Temperaturen
anpaßbar ist.
Fig. 63 stellt einen Steuerablauf für eine
Halbleiterreinigungsvorrichtung dar, der verwendet werden
kann, wenn mehrere Temperaturen vorliegen.
In Fig. 63 bezeichnen die Bezugsziffern 136a und 136b
Rechnungsbereiche, bezeichnet die Bezugsziffer 138 Mittel zur
Erfassung der Temperatur von getrocknetem Dampf zur Erfassung
der Temperatur T2 des trockenen Dampfes und bezeichnet die
Bezugsziffer 139 Vergleichsmittel.
Das Berechnungsmittel 136a berechnet die Drehgeschwindigkeit
N1 des Luftzuführmotors entsprechend der Temperatur T1 der
Reinigungslösung, während der Berechnungsbereich 136b die
Drehgeschwindigkeit N2 des Luftzuführmotors entsprechend der
Temperatur T2 des getrockneten Dampfes berechnet. Das
Vergleichsmittel 139 unterwirft die beiden Drehgeschwindig
keiten N1 und N2 einem Vergleich, um die größere Dreh
geschwindigkeit Nm zu übertragen. Die Drehgeschwindigkeit Nm
wird als Eingangssignal dem Mittel 137 zur Änderung des
Druckes der von dem Luftfilter zuzuführenden Luft zugeführt,
um die Drehgeschwindigkeit des Luftzuführmotors zu ändern.
Das Mittel 137 zur Änderung des Druckes der von dem Luftfilter
zuzuführenden Luft kann ein Mittel sein, um die Frequenz der
Energiequelle für den Luftzuführmotor zu steuern. Mittel zur
Steuerung der Energieversorgungsspannung des Luftzuführmotors
können natürlich verwendet werden, um einen ähnlichen Effekt
zu erzielen.
Wenn der Auslaßstrom so geändert wird, daß der Druck des Halb
leiterreinigungsvorrichtungskörpers und der Druck an der
Außenseite der Vorrichtung miteinander im Gleichgewicht
stehen, oder der Druck der Halbleiterreinigungsvorrichtung
geringer als der Druck an der Außenseite der Vorrichtung ist,
wenn der Luftzuführdruck des Luftfilters geändert wird, kann
eine Diffusion des chemischen Nebels zu der Außenseite des
Halbleiterreinigungsvorrichtungskörpers 101 verhindert werden.
Da diese Ausführungsform so aufgebaut ist, daß die
Luftzuführdrücke von den Luftfiltern 126a und 126b so geändert
werden, daß sie der Temperatur der Reinigungslösung in dem
Reinigungsbereich 105 und der Temperatur des Dampfes in dem
Trocknungsbereich 107 entsprechen, kann der Luftzuführdruck
angehoben werden, wenn die Temperatur der Reinigungslösung in
dem Reinigungsbereich 105 oder die Temperatur des Dampfes in
dem Trocknungsbereich 107 zu hoch liegt. Daher kann ein Effekt
eingeschränkter Abwärtsströme erzielt werden, um der größer
werdenden Kraft der natürlichen Konvektionen, die in dem
Reinigungsbereich 105 und dem Trocknungsbereich 107 erzeugt
werden, zu entsprechen. Im Ergebnis kann ein Anhaften von
chemischem Nebel, der in dem Reinigungsbereich 105 erzeugt
wird, und von Dampf, der in dem Trocknungsbereich 107 erzeugt
wird, an den Bauteileinheiten der Reinigungsvorrichtung und
damit eine Korrosion der Komponenteneinheiten verhindert
werden. Auch kann ein Anhaften des chemischen Nebels, bzw. des
Dampfes an der Scheibe, das zu Fehlern führen kann, und eine
Diffusion nach außen, die zu einer ähnlichen Korrosion und zu
ähnlichen Fehlern führt, verhindert werden.
Diese Ausführungsform kann sowohl bei einer Reinigungs
vorrichtung der Kassettenart, welche eine Reinigungskassette
verwendet, oder einer kassettenlosen Reinigungsvorrichtung,
bei der die Scheibe direkt gehandhabt wird, verwendet werden.
Fig. 64 ist eine Vorderansicht im Schnitt, die den Aufbau in
der Nähe einer Reinigungskammer einer Halbleiterreinigungsvor
richtung gemäß einer 26. Ausführungsform zeigt. In Fig. 64
bezeichnen die Bezugsziffern 130a bis 130d Auslaßöffnungen zum
Auslassen von Luft um die Reinigungskammer 114 herum, und die
Bezugsziffer 140 bezeichnet eine Platte oberhalb der
Reinigungskammer 114, die oberhalb der Reinigungskammer 114
öffenbar ist und eine Mehrzahl von kleinen Öffnungen aufweist,
die in einem Bereich ausgebildet sind, der die restlichen
Bereiche abdeckt. Die Bezugsziffer 141 bezeichnet eine
Entwässerungsplatte zur Aufnahme von Reinigungsmitteltropfen
143, die durch die Platte 140 oberhalb der Reinigungskammer
114 aufgefangen wurden und durch den Bereich mit den vielen
Öffnungen tropfen. Die Bezugsziffer 142 bezeichnet eine
Auslaßöffnung zum Abführen von abgelaufener Flüssigkeit 144,
die durch die Ablaufplatte 141 aufgefangen wurde. Die
Bezugsziffer 145 bezeichnet einen Auslaßlösungsstrom, der
durch die Auslaßöffnung 142 abgeführt wird. Die Bezugsziffern
A2a bis A2d bezeichnen Ansaugströme, die in die
Auslaßöffnungen 130a bis 130d gesaugt werden sollen, die
Bezugsziffern A3a bis A3b bezeichnen Auslaßströme, die durch
die Auslaßleitungen 131a bis 131b abgeführt werden sollen, die
Bezugsziffern A5a und A5b bezeichnen Abwärtsströme oberhalb
der Reinigungskammer 114, die die Positionen oberhalb der
Reinigungskammer 114 erreicht haben, und die Bezugsziffer A6
bezeichnet einen Abwärtsstrom oberhalb der Platte 140 oberhalb
der Reinigungskammer 114, der die Platte 140 oberhalb der
Reinigungskammer 114 erreicht hat.
Nachdem die Scheibe in der Reinigungskassette 21, die in die
Reinigungskammer 114 eingesetzt ist, auf eine bestimmte Weise
gereinigt worden ist, wird die Reinigungskassette durch den
Produktförderbereich 110 angehoben, um zu einer Wasser
reinigungskammer 120a transportiert zu werden. Dabei wird die
Korrosion der Vorrichtung aufgrund des Tropfens der Reini
gungslösung 115, die an der Reinigungskassette 21 anhaftet, in
in den Bereiche außerhalb der Reinigungskammer 114 dadurch
verhindert, daß die Reinigungskammer 114, die
Wasserreinigungskammern 120a und 120b und die
Trocknungskammer 121 durch die Aufnahmeplatte 140 oberhalb der
Reinigungskammer 114 abgedeckt wird, wobei die Platte 140
oberhalb der Kammer geöffnet ist. Tröpfchen der
Reinigungslösung, die durch die Platte 140 aufgefangen wurden,
treten durch den Bereich der Platte 140 mit den vielen
Öffnungen, um Reinigungsmitteltröpfchen 143 zu werden, die
durch die Ablaufplatte 141 gesammelt werden, um zu einer
Ablaufflüssigkeit 144 zu werden. Dann wird die
Ablaufflüssigkeit 144 zu dem Ablaufstrom 145, der zu der
Außenseite der Vorrichtung durch die Ablaufflüssigkeitauslaß
öffnung 142 abgeführt wird.
Da die Platte oberhalb der Kammer außer in dem Bereich
oberhalb der Kammer mit einer Vielzahl von Öffnungen
ausgebildet ist, können die Abwärtsströme gleichmäßig an der
gesamten Oberfläche der Halbleiterreinigungsvorrichtung
gebildet werden, ohne daß sie zu einem Stillstand kommen.
Weiterhin werden die Abwärtsströme A5a und A5b oberhalb der
Reinigungskammer 114 gebildet, und die Abwärtsströme A6 an der
Kammer, die durch den Öffnungsbereich der Platte 140 oberhalb
der Kammer treten, werden gebildet. Die Abwärtsströme A5a und
A5b oberhalb der Kammer und der Abwärtsstrom A6 an der Tafel
oberhalb der Kammer werden in die Einlaßöffnungen 130a bis
130d gesaugt, um durch die Auslaßleitungen 131a und 131b
ausgelassen zu werden.
Durch Änderung des Durchmessers der kleinen Öffnung, die in
der Tafel 140 oberhalb der Kammer gebildet ist, und durch
Änderung des Öffnungsverhältnisses kann das Verhältnis der
Abwärtsströme A5a und A5b oberhalb der Kammer zu dem
Abwärtsstrom A6 an der Platte oberhalb der Kammer geändert
werden.
Diese Ausführungsform ist so ausgebildet, daß die Platte 140
die oberhalb der Kammer angeordnet ist, nur oberhalb der
Kammer geöffnet wird, und daß der verbleibende Bereich der
Platte, der die anderen Bereiche abdeckt, mit einer Vielzahl
von Öffnungen ausgebildet ist, die mit dem Auslaßrohr
verbunden sind. Daher kann ein Stillstand des Luftstroms
aufgrund der Verzögerung der Abwärtsströme durch die Platte
140 oberhalb der Kammer verhindert werden. Außerdem können
alle Luftströme zu Abwärtsströmen umgelenkt werden. Weiterhin
ist der untere Bereich der Platte mit den vielen Öffnungen als
Ablaufflüssigkeits-Aufnahmevorrichtung ausgebildet, so daß
chemische Tröpfchen, die von der geförderten Scheibe tropfen,
aufgefangen werden können.
Obwohl die Beschreibung anhand einer Reinigungsvorrichtung der
Kassettenart, die eine Reinigungskassette verwendet, erfolgt
ist, kann die Ausführungsform natürlich auch bei
kassettenlosen Reinigungsvorrichtungen, die die Scheiben
direkt transportieren, verwendet werden.
Fig. 65 ist eine Vorderansicht im Schnitt, die den Aufbau
eines Bereiches der Halbleiterreinigungsvorrichtung gemäß
einer 27. Ausführungsform mit einer Reinigungskammer
darstellt. Fig. 66 ist ein Graph, der die Beziehung zwischen
der Entropie von nasser Luft und Trockenheit darstellt. Fig.
67 ist eine schematische Ansicht, die einen Zustand darstellt,
in dem chemischer Nebel durch Wassernebel gefangen wird.
In Fig. 65 bezeichnen die Bezugsziffern 146a und 146b kühlende
Wärmetauscher, die jeweils hinter den Luftfiltern 126a und
126b angeordnet sind und dazu dienen, die Abwärtsströme A1 zu
kühlen. Die Bezugsziffern 147a und 147b bezeichnen
Kühleinrichtungen zur Zuführung eines Kühlmittels an die
kühlenden Wärmetauscher 146a und 146b. Die Bezugsziffern 148a
und 148b bezeichnen Wassernebel der in dem Grenzauftreff
bereich zwischen den gekühlten Abwärtsströmen A1 und warmen
Aufwärtsströmen A4a und A4b kondensiert wird. In Fig. 66
bezeichnet das Symbol C gesättigte Wasserlinien. P1 bezeichnet
einen Zustand in der Reinigungsvorrichtung und P2 bezeichnet
einen Zustand an der Position, an der die Abwärtsströme und
die Aufwärtsströme der natürlichen Konvektion aufeinander
treffen. Ta bezeichnet die Temperatur in dem Zustand P1 und T3
bezeichnet die Temperatur in dem Zustand P2. In Fig. 67
bezeichnet die Bezugsziffer 118 chemischen Nebel, 148
bezeichnet Wassernebel, 118a bezeichnet chemischen Nebel, der
in Wassernebel aufgelöst ist, 118b bezeichnet Dampf der
chemischen Lösung und 118c bezeichnet Dampf der chemischen
Lösung, der in Wassernebel aufgelöst ist.
Chemischer Nebel 118, der auf den Aufwärtsströmen A4a und A4b
der natürlichen Konvektion getragen bewegt wird, besitzt das
Verhalten von Partikeln finiter Größe, auf die die Schwerkraft
wirkt, während der chemische Dampf 118b ein
Diffusionsverhalten zeigt. Wenn daher der chemische Nebel 118
und der chemische Dampf 118b durch die Abwärtsströme A5a bis
A5d an der Kammer gefangen werden, wird der chemische Nebel
118 manchmal von den Linien der Abwärtsströme A5a bis A5d an
der Kammer abgelenkt, da auf den chemischen Nebel 118 die
Schwerkraft wirkt. Andererseits zerstreut sich der chemische
Dampf 118b im Vergleich zu der Diffusion der Luftströme stark.
Daher ist es schwer, den chemischen Nebel 118 und den
chemischen Dampf 118b nur durch die Abwärtsströme der
Luftströme vollständig voneinander zu isolieren. Entsprechend
wird die Temperatur des Abwärtsstroms A1 niedriger als
diejenige der kühlenden Wärmetauscher 146a und 146b gehalten,
um Abwärtsströme A5a bis A5d niedriger Temperatur an der Kammer
zu bilden, die mit den heißen Aufwärtsströmen A4a und A4b der
natürlichen Konvektion, die in der Reinigungskammer 114
erzeugt wird, zusammenstoßen sollen.
Änderungen in der Feuchtigkeit des Luftstroms werden nun unter
Bezugnahme eines Graphen über die in Fig. 66 gezeigten
feuchten Luftströme beschrieben. Unter der Annahme, daß die
Zustände der Aufwärtsströme A4a und A4b der natürlichen
Konvektionen bei einer Temperatur T3, die höher als die
Umgebungstemperatur ist, stattfinden, P1 sind, verursacht das
Zusammenstoßen zwischen den Aufwärtsströmen A4a und A4b der
natürlichen Konvektionen mit den Abwärtsströmen A5a bis A5d an
der Kammer, daß die Abwärtsströme A5a bis A5d die Temperaturen
der Aufwärtsströme A4a und A4b der natürlichen Konvektion
verringern, was zu einem Zustand P2 führt, der parallel zu der
Achse der Abszisse des Graphen nach links verschoben ist, bis
er die gesättigte Dampflinie C erreicht, bei dem die
Kondensation von Wasser begonnen wird, das in den Luftströmen
enthalten ist. Im Ergebnis werden Wassernebel 148a und 148b
erzeugt. Unter der Annahme, daß die Temperatur zu diesem
Zeitpunkt T4 ist, muß die Temperatur der Abwärtsströme A5a bis
A5d an der Kammer so bestimmt sein, daß die Temperaturen der
Aufwärtsströme A4a und A4d der natürlichen Konvektionen
niedriger als T4 sind, nachdem das Zusammentreffen statt
gefunden hat, um Wassernebel 148a und 148b zu bilden.
Der chemische Nebel 118 und der chemische Dampf 118b werden in
dem erzeugten Wassernebel 148 aufgelöst und durch den
Wassernebel gefangen. Der Wassernebel kann zusammen mit den
Ansaugströmen durch die Auslaßöffnungen 130a bis 130d und die
Auslaßleitungen 131a bis 131d treten und wird durch die
Auslaßrohre 132a und 132b abgeführt.
Bei dieser Ausführungsform sind wie zuvor beschrieben die
Wärmetauscher 146a und 146b zum Kühlen der zugeführten Luft
und Kühlvorrichtungen 147a und 147b zum Zuführen von
Kühlmittel an die Wärmetauscher 146a und 146b vor oder hinter
den ersten und zweiten Luftfiltern 126a und 126b zum Zuführen
sauberer Luft an den Reinigungsbereich, den Wasserreinigungs
bereich und den Trocknungsbereich angeordnet. Im Ergebnis
treffen die gekühlte Luft, die von den Luftfiltern 126a und
126b zugeführt wird, und die Aufwärtsströme der natürlichen
Konvektion von Dampf, der in der Reinigungskammer in dem
Reinigungsbereich erzeugt wird, oder die Aufwärtsströme
natürlicher Konvektion von Dampf, der in der Dampfkammer des
Trocknungsbereichs erzeugt wird, an einer Stelle neben dem
oberen Ende der Reinigungskammer oder der Dampfkammer
aufeinander, um Dampf in der Kühlluft zu kondensieren und
Wassernebel zu erzeugen. Der Wassernebel fängt den chemischen
Nebel oder den Trocknungsdampf, so daß die Diffusion von
chemischem Nebel oder Dampf in die Reinigungsvorrichtung oder
zu der Außenseite der Vorrichtung, die zur Korrosion der
Vorrichtung oder zu Fehlern der Scheibe führt, verhindert
wird.
Obwohl die Beschreibung anhand einer Reinigungsvorrichtung der
Kassettenart, welche eine Reinigungskassette verwendet,
erfolgt ist, kann die Ausführungsform natürlich bei einer
kassettenlosen Reinigungsvorrichtung, die keine Reinigungs
kassette verwendet und die Scheibe direkt handhabt, verwendet
werden.
Fig. 68 ist eine Vorderansicht im Schnitt, die den Aufbau
eines Bereiches einer Halbleiterreinigungsvorrichtung gemäß
einer 28. Ausführungsform mit einer Reinigungskammer zeigt. In
Fig. 68 bezeichnet die Bezugsziffer 149 eine Doppel-Fluiddüse,
Bezugsziffer 150 eine Reinwasserdüse, Bezugsziffer 151 ein
Gasrohr, Bezugsziffer 152 ein Lösungsrohr, Bezugsziffer 153
ein Gasrohr zum Zuführen der Lösung unter Druck, Bezugsziffer
154 inaktives Gas oder saubere Luft und Bezugsziffer 155
feinen Nebel aus reinem Wasser.
Das inaktive Gas oder die klare Luft 154 wird in das Gasrohr
151 und das Gasrohr 153 zum Zuführen der Lösung unter Druck,
die mit der Doppel-Fluiddüse 149 verbunden sind, verteilt.
Reines Wasser, das in dem Reinwassertank 150 akkumuliert ist,
wird dem Lösungsrohr 152 unter dem Druck des inaktiven Gases,
das von dem Gasrohr 153 zur Zuführung der Lösung unter Druck
zugeführt wird, oder unter dem Druck der reinen Luft 154
zugeführt. Das inaktive Gas oder die saubere Luft 154 wird der
Doppel-Fluiddüse 149 durch das Gasrohr 151 zugeführt. Reines
Wasser wird derselben von dem Lösungsrohr 152 zugeführt. Im
Ergebnis wird feiner Dampf 155 aus reinem Wasser erzeugt. Der
feine Reinwasserdampf 155 erreicht zusammen mit der
Abwärtsstrom A1 und den Abwärtsströmen A5a und A5b auf der
Kammer die Position oberhalb der Reinigungskammer 114 und
fängt den chemischen Nebel 118 und den chemischen Dampf 118b,
indem er sie wie in Fig. 67 gezeigt löst. Der Reinwassernebel
155 tritt zusammen mit den Ansaugströmen durch die
Auslaßöffnungen 130a und 130b und die Auslaßleitungen 131a und
131b und wird dann durch das Auslaßrohr 132 abgeführt.
Obwohl diese Ausführungsform so angeordnet ist, daß das reine
Wasser durch Verwendung der Doppel-Fluiddüse 149 fein
zerstäubt wird, kann das reine Wasser durch Verwendung von
Ultraschall oder einer Drehscheibe oder eines transparenten
Naßfilms oder eines Heizverfahren zerstäubt werden, um einen
ähnlichen Effekt zu erzielen.
Diese Ausführungsform ist wie zuvor beschrieben so
ausgebildet, daß eine Ausblasöffnung der Doppel-Fluiddüse 149
zum Versprühen sauberer Luft oder des Inaktiv-Gases 154 als
das zweites Fluid hinter dem ersten Luftfilter 126 zum
Zuführen sauberer Luft an den Reinigungsbereich, den
Wasserreinigungsbereich und den Trocknungsbereich angeordnet
ist, um den Reinwassernebel 155 mit den Abwärtsströmen zu
mischen. Daher fängt der Wassernebel 155 den chemischen Nebel,
der in der Reinigungskammer 114 des Reinigungsbereiches
erzeugt wird, oder den Dampf, der von der Dampfkammer des
Trocknungsbereiches erzeugt wird, so daß die Diffusion des
chemischen Nebels oder des Dampfes in die
Reinigungsvorrichtung oder zu der Außenseite der Vorrichtung,
wodurch die Korrosion der Vorrichtung oder Fehler der Scheibe
verursacht würde, verhindert wird.
Die Ausführungsform kann sowohl bei einer Reinigungs
vorrichtung der Kassettenart als auch bei einer kassettenlosen
Reinigungsvorrichtung verwendet werden.
Fig. 69 ist eine Frontansicht im Schnitt, die den Aufbau eines
Teils einer Halbleiterreinigungsvorrichtung gemäß einer 29.
Ausführungsform mit einer Reinigungskammer zeigt. In Fig. 69
bezeichnet die Bezugsziffer 156 ein Luftvorhang-Gebläse, die
Bezugsziffer 158 die Luftvorhang-Ausblasöffnung, die an einer
Seite der Reinigungskammer 114 angeordnet ist und eine gleiche
Breite hat, die Bezugsziffer 157 eine Luftvorhang-
Luftzuführleitung zur Herstellung der Verbindung zwischen dem
Luftvorhang-Gebläse 156 und der Luftvorhang-Ausblasöffnung
158, die Bezugsziffer 159 die Verteilung der Luftvorhang-
Ausblasgeschwindigkeit, die Bezugsziffer 160 einen
Luftvorhang, der oberhalb der Reinigungskammer 114 gebildet
wird, die Bezugsziffer 161 eine Luftvorhang-Ansaugöffnung, die
an einer Seite der Reinigungskammer 114 und der Luftvorhang-
Ausblasöffnung 158 zugewandt ausgebildet ist, und die
Bezugsziffer 162 bezeichnet eine Luftvorhang-Auslaßleitung zur
Herstellung der Verbindung zwischen der Luftvorhang-
Ansaugöffnung 161 und dem Auslaßrohr.
Der Luftvorhang 160, der von dem Luftvorhang-Gebläse 156
zugeführt und durch die Luftvorhang-Ausblasöffnung 158 über
die Luftvorhang-Luftzuführleitung 157 ausgeblasen wird, wird
gebildet, um den Bereich oberhalb der Reinigungskammer 114
abzudecken, und wird dann durch die Luftvorhang-Ansaugöffnung
161 angesaugt. Dann wird er über die Luftvorhang-Auslaßleitung
162 in das Auslaßrohr abgeführt. Im Ergebnis wird der Bereich
oberhalb der Reinigungskammer 114 durch einen Luftvorhang 160
abgeschirmt, und entsprechend wird der chemische Nebel, der in
der Reinigungskammer 114 erzeugt wird, durch den Luftvorhang
160 gefangen und in die Luftvorhang-Auslaßöffnung 161
abgesaugt. Daher kann die Diffusion des chemischen Nebels in
den Bereich oberhalb der Reinigungskammer 114 verhindert
werden.
Diese Ausführungsform ist so getroffen, daß der Luftvorhang
160, der an einer Seite der Kammer gebildet wird und die
gleiche Dicke in der Breitenrichtung der Kammer besitzt,
horizontal durch die Öffnung oberhalb der Reinigungskammer des
Reinigungsbereiches und der Dampfkammer des Trocknungs
bereiches ausgeblasen wird. Die Luftvorhang-Ansaugöffnung 161,
die gleichermaßen in der Breitenrichtung ausgebildet ist, ist
an der gegenüberliegenden Seite angeordnet. Daher wird das
Aufsteigen von chemischem Nebel, der von der Reinigungskammer
114 des Reinigungsbereiches erzeugt wird, und das des Dampfes,
der in der Dampfkammer des Trocknungsbereiches erzeugt wird,
aufgrund der natürlichen Konvektion durch den Luftvorhang 160
abgeschirmt und der Auslaßleitung 162 wieder zugeführt. Somit
kann die Diffusion des chemischen Nebels oder des Dampfnebels
in die Reinigungskammer oder zu der Außenseite verhindert
werden.
Diese Ausführungsform kann sowohl bei einer Reinigungs
vorrichtung der Kassettenart als auch bei einer Reinigungs
vorrichtung der kassettenlosen Art verwendet werden.
Fig. 70 ist eine Vorderansicht im Schnitt, die den Aufbau
eines Bereiches einer Halbleiterreinigungsvorrichtug gemäß
einer 30. Ausführungsform mit einer Reinigungskammer dar
stellt. In Fig. 70 bezeichnet die Bezugsziffer 156 ein Luft-
Vorhang-Gebläse, die Bezugsziffer 158 eine Luftvorhang-
Ausblasöffnung, die an einer Seite der Reinigungskammer 114
angeordnet ist und eine gleiche Breite aufweist, die Bezugs
ziffer 157 eine Luftvorhang-Luftzufuhrleitung zur Herstellung
der Verbindung zwischen dem Luftvorhang-Gebläse 156 und der
Luftvorhang-Ausblasöffnung 158, die Bezugsziffer 160 einen
Luftvorhang, der oberhalb der Reinigungskammer 114 gebildet
ist, die Bezugsziffer 161 eine Luftvorhang-Ansaugöffnung, die
an einer Seite der Reinigungskammer 114 so angeordnet ist, daß
sie der Luftvorhang-Ausblasöffnung 158 zugewandt ist, die
Bezugsziffer 162 eine Luftvorhang-Auslaßleitung zur Her
stellung der Verbindung zwischen der Luftvorhang-Ansaugöffnung
161 und dem Auslaßrohr, und die Bezugsziffer 163 eine Strom
platte, die direkt vor der Luftvorhang-Ausblasöffnung 158 und
entlang des Richtungsverlaufs der Luftvorhang-Luftzufuhr
leitung 157 angeordnet ist, wobei die Länge der Stromplatte
163 in der Richtung des Weges im Verhältnis zu dem Abstand von
der Reinigungskammer 114 verkürzt ist. Bezugsziffer 164
bezeichnet die Ausblasgeschwindigkeitsverteilung des Luftvor
hangs 160.
Der Luftvorhang 160, der von dem Luftvorhang-Gebläse 156
zugeführt und durch die Luftvorhang-Ausblasöffnung 158 über
die Luftvorhang-Luftzufuhrleitung 157 ausgeblasen wird, wird
gebildet, um den Bereich oberhalb der Reinigungskammer 114
abzudecken, und durch die Luftvorhang-Ansaugöffnung 161 wieder
angesaugt. Dann wird die angesaugte Luft über die Luftvorhang-
Auslaßleitung 162 in das Auslaßrohr abgeführt. Dabei wird der
Geschwindigkeitsgradient in der Scherschicht des Luftvorhangs
an dem oberen Ende des Luftvorhangs 160 verringert, und
entsprechend wird die Luftinduktion von dem Raum oberhalb der
Reinigungskammer 114 verringert. Da der Temperaturgradient in
der Scherschicht des Luftvorhangs am unteren Ende des
Luftvorhangs 160 größer wird, wird der chemische Nebel, der
von der Reinigungskammer 114 erzeugt wird, effektiv induziert
und durch den Luftvorhang 160 gefangen. Im Ergebnis wird der
Bereich oberhalb der Reinigungskammer 114 effektiv durch den
Luftvorhang isoliert, so daß der von der Reinigungskammer 114
erzeugte chemische Nebel durch den Luftvorhang 160 gefangen
und dann in die Luftvorhang-Ansaugöffnung 161 gesaugt wird.
Dadurch kann die Diffusion des chemischen Nebels in dem
Bereich oberhalb der Reinigungskammer 114 verhindert werden.
Diese Ausführungsform ist wie zuvor beschrieben in der Weise
angeordnet, daß ein Stromgitter oder die Stromplatte 163 mit
einer Länge in der Richtung des Pfades, die im Verhältnis zu
dem Abstand von der Reinigungskammer 114 oder der Dampfkammer
verkürzt ist, in der Luftvorhang-Ausblasöffnung 158 angeordnet
ist, um den Luftvorhang in einem Schichtstrom auszublasen. Die
Geschwindigkeitsverteilung verläuft so, daß die
Geschwindigkeit im umgekehrten Verhältnis zu der Kammer
ansteigt. Daher ist der Geschwindigkeitsgradient in der
Scherschicht des Luftvorhangs neben der Erzeugungsquelle für
den chemischen Nebel und den Dampf vergrößert. Im Ergebnis
werden chemischer Nebel und Dampf induziert, so daß der
Isolierungseffekt verbessert wird, und entsprechend kann eine
Diffusion des chemischen Nebels und des Dampfnebels in die
Reinigungskammer 114 oder nach außen verhindert werden.
Diese Ausführungsform kann bei einer Reinigungsform der
Kassettenart oder der kassettenlosen Art gleichermaßen
verwendet werden.
Fig. 71 ist eine Vorderansicht im Schnitt, die einen Bereich
einer Halbleiterreinigungsvorrichtung gemäß einer 31. Ausfüh
rungsform mit einer Reinigungskammer zeigt. In Fig. 71
bezeichnet die Bezugsziffer 134 ein Reinigungslösung-
Temperaturerfassungsmittel zum Erfassen der Temperatur T1
einer Reinigungslösung, die in einer Reinigungskammer 114
eingeschlossen ist, die Bezugsziffer 156 ein Luftvorhang-
Gebläse, die Bezugsziffer 158 eine Luftvorhang-Ausblasöffnung,
die entlang einer Seite der Reinigungskammer 114 ausgebildet
ist und eine gleiche Breite aufweist, die Bezugsziffer 157
eine Luftvorhang-Luftzufuhrleitung zur Herstellung der
Verbindung zwischen dem Luftvorhang-Gebläse 156 und der
Luftvorhang-Ausblasöffnung 158, die Bezugsziffer 159 die
Geschwindigkeitsverteilung des ausgeblasenen Luftvorhangs 160,
die Bezugsziffer 160 einen Luftvorhang, der oberhalb der
Reinigungskammer 114 gebildet wird, die Bezugsziffer 161 eine
Luftvorhang-Ansaugöffnung, die entlang einer Seite der
Reinigungskammer 114 so ausgebildet ist, daß sie der Luftvor
hang-Ausblasöffnung 158 zugewandt ist. Die Bezugsziffer 162
bezeichnet eine Luftvorhang-Auslaßleitung zur Herstellung der
Verbindung zwischen der Luftvorhang-Ansaugöffnung 161 und dem
Auslaßrohr. Die Bezugsziffer 165 bezeichnet ein Luftvorhang
strom-Temperaturerfassungsmittel zur Erfassung der Luft
stromtemperatur Ta des Luftvorhangs, und die Bezugsziffer 136
bezeichnet einen Berechnungsbereich zur Berechnung eines
Steuerausgangs N1 eines Luftvorhang-Luftzufuhrdruck-Änderungs
mittels 166, in dem der Ausgang T1 von einem Reinigungslösung-
Temperaturerfassungsmittel 134 und ein Ausgang Ta von dem
Luftvorhangstrom-Temperaturerfassungsmittel 165 erhalten wird.
Da die Geschwindigkeit V1 das Ansteigen des chemischen Nebels
118 und des getrockneten Dampfes, die von der natürlichen
Konvektion A4 getragen werden, im Verhältnis zu dem Ansteigen
der Reinigungslösungstemperatur T1 und der Temperatur des
getrockneten Dampfes ansteigt, muß der Druck zum Ausblasen des
Luftvorhangs 160 entsprechend der Temperatur T1 der Reini
gungslösung und der Temperatur T2 des getrockneten Dampf es
geändert werden. Das Reinigungslösung-Temperaturerfassungs
mittel 134 und das Luftvorhang-Luftstromtemperatur
erfassungsmittel 165 werden verwendet, um die Reinigungs
lösungstemperatur T1 und die Luftvorhang-Luftstromtemperatur
Ta zu ermitteln und die Signale, die die Ergebnisse
darstellen, dem Berechnungsbereich 136 als Eingangssignale
zuzuführen. Durch Verwendung der Eingangssignale werden die
Berechnungen entsprechend der Gleichung 2, die im Rahmen der
25. Ausführungsform beschrieben wurde, durchgeführt und dann
die Drehgeschwindigkeit N1 des Luftvorhang-Gebläses verändert.
Das Luftvorhang-Luftzufuhrdruck-Änderungsmittel 166 ändert die
Drehgeschwindigkeit des Luftvorhang-Gebläses 156 entsprechend
der Drehgeschwindigkeit N1, die im Berechnungsbereich 136
berechnet wurde.
Das Luftvorhang-Luftzufuhrdruck-Änderungsmittel 166 kann ein
Mittel sein, um die Frequenzen der Energiequelle für das
Luftvorhang-Gebläse 156 zu steuern oder ein Mittel zur
Steuerung der Energieversorgungsspannung, die an dem
Luftvorhang-Gebläse 156 anliegt, zu steuern, sein.
Da diese Ausführungsform wie zuvor beschrieben so aufgebaut
ist, daß der Druck zum Zuführen des Luftvorhangs gemäß der
Reingungslösungstemperatur in dem Reinigungsbereich und der
Dampftemperatur in dem Trocknungsbereich geändert wird, kann
der Luftzufuhrdruck erhöht werden, wenn die Reinigungslösungs
temperatur in dem Reinigungsbereich oder die Dampftemperatur
in dem Trocknungsbereich zu hoch ist. Im Ergebnis kann der
Isolierungseffekt des Luftvorhangs entsprechend der
Aufwärtsströme der natürlichen Konvektionen, die in dem
Reinigungsbereich und dem Trocknungsbereich erzeugt werden,
erzielt werden. Von daher kann das Anhaften von chemischem
Nebel, der in dem Reinigungsbereich erzeugt wird, oder das
Anhaften von Dampf, der in dem Trocknungsbereich erzeugt wird,
an den Bauteileinheiten der Reinigungsvorrichtung damit das
Korrodieren der Bauteileinheiten verhindert werden. Außerdem
können ein Anhaften an der Scheibe, das zu einem Fehler führen
kann, und eine Diffusion nach außen, die eine ähnliche
Korrosion und ähnliche Fehler zur Folge haben kann, verhindert
werden.
Diese Ausführungsform kann sowohl bei einer Reinigungs
vorrichtung der Kassettenart als auch bei einer Reinigungs
vorrichtung der kassettenlosen Art verwendet werden.
Fig. 72 ist eine Vorderansicht im Schnitt, die den Aufbau
eines Bereichs einer Halbleiterreinigungsvorrichtung gemäß
einer 32. Ausführungsform mit einer Reinigungskammer zeigt. In
Fig. 72 bezeichnet die Bezugsziffer 118 chemischen Nebel, die
Bezugsziffer 156 ein Luftvorhang-Gebläse, die Bezugsziffer 158
eine Luftvorhang-Ausblasöffnung, die an einer Seite der
Reinigungskammer 114 ausgebildet ist und eine gleiche Breite
aufweist, und die Bezugsziffer 157 bezeichnet eine
Luftvorhang-Luftzufuhrleitung zur Herstellung der Verbindung
zwischen dem Luftvorhang-Gebläse 156 und der Luftvorhang-
Ausblasöffnung 158. Die Bezugsziffer 159 bezeichnet die Ver
teilung der Luftvorhang-Ausblasgeschwindigkeiten. Die Bezugs
ziffer 160 bezeichnet einen Luftvorhang, der oberhalb der
Reinigungskammer 114 gebildet ist. Die Bezugsziffer 161
bezeichnet eine Luftvorhang-Ansaugöffnung, die entlang einer
Seite der Reinigungskammer 114 so ausgebildet ist, daß sie der
Luftvorhang-Ausblasöffnung 158 zugewandt ist. Die Bezugsziffer
162 bezeichnet eine Luftvorhang-Auslaßleitung zur Herstellung
der Verbindung zwischen der Luftvorhang-Ansaugöffnung 161 und
dem Auslaßrohr. Die Bezugsziffer 167 bezeichnet einen
kühlenden Wärmetauscher, der in der Luftvorhang-Luftzufuhr
leitung 157 angeordnet ist und dazu dient, den Luftvorhang
strom zu kühlen. Die Bezugsziffer 168 bezeichnet eine Kühlvor
richtung zur Zuführung von Kühlmedium an den kühlenden
Wärmetauscher 167. Die Bezugsziffer 148 bezeichnet schließlich
Wassernebel, der an einer Grenze, an der der gekühlte
Luftvorhangstrom und die heißen Aufwärtsströme A4 der
natürlichen Konvektion zusammenstoßen, gebildet wird.
Die Temperatur des ausgeblasenen Luftvorhangs wird durch den
kühlenden Wärmetauscher 167 verringert, so daß der Niedrig
temperatur-Luftvorhang 160 gebildet wird, der durch die heißen
Aufwärtsströme A4 der natürlichen Konvektion, die in der
Reinigungskammer 114 erzeugt werden, unterteilt wird.
Feuchtigkeitsänderungen in dem Luftstrom werden nun unter
Bezugnahme auf den Graphen nasser Luft, der in Fig. 66 gezeigt
ist, beschrieben.
Unter der Annahme, daß der Zustand der Aufwärtsströme A4 der
natürlichen Konvektionen bei einer Temperatur T3, die höher
als die Umgebungstemperatur ist, P1 ist, wird beim
Zusammentreffen zwischen den Aufwärtsströmen A4 der
natürlichen Konvektionen mit dem Niedrigtemperatur-Luftvorhang
160 an der Reinigungskammer 114 bewirkt, daß der Luftvorhang
160 die Temperatur T3 der Aufwärtsströme A4 der natürlichen
Konvektionen absenkt, was zu einem Zustand P2 führt, der
parallel zu der Abszisse der Fig. 66 nach links verschoben
ist, bis die gesättigte Dampflinie C erreicht wird, an der
Kondensation des Wassers beginnt, das in den Luftströmen
enthalten ist. Im Ergebnis werden Wassernebel erzeugt.
Angenommen, daß die Temperatur zu diesem Zeitpunkt T4 ist,
wird die Temperatur der Aufwärtsströme A4 der natürlichen
Konvektionen nach dem Zusammentreffen unterhalb von T4 in
Abhängigkeit von der Temperatur des Luftvorhangs, der
ausgeblasen wird, abgesenkt. Im Ergebnis kann Wassernebel
erzeugt werden. Der chemische Nebel 118 und der chemische
Dampf 118b werden in dem erzeugten Wassernebel 148 gelöst und
durch den Wassernebel eingefangen. Der Wassernebel wird
zusammen mit den Ansaugströmen durch die Luftvorhang-
Auslaßöffnung 160 und die Luftvorhang-Auslaßleitung 162 zu dem
Auslaßrohr abgeführt.
Bei dieser Ausführungsform sind die Wärmetauscher 167 zum
Kühlen von zuzuführender Luft und die Kühlvorrichtung 168 zum
Zuführen des Kühlmittels an den Wärmetauscher 167 vor oder
hinter dem Luftvorhang-Gebläse 156 angeordnet, um zu bewirken,
daß gekühlte Luft von dem Luftvorhang-Gebläse 156 zugeführt
wird. Die Aufwärtsströme der natürlichen Konvektion des in der
Reinigungskammer 114 des Reinigungsbereiches erzeugten Dampfes
oder die Aufwärtsströme natürlicher Konvektion des Dampfes,
der in der Dampfkammer des Trocknungsbereiches erzeugt wird,
treffen auf den Abwärtsstrom von dem Luftvorhang-Gebläse 156
in der Nähe des oberen Endes der Reinigungskammer oder
Dampfkammer. Im Ergebnis wird der Dampf in der Kühlluft
kondensiert, so daß Wassernebel erzeugt wird. Der Wassernebel
fängt den chemischen Nebel oder den getrockneten Dampf, so daß
die Diffusion des chemischen Nebels oder des Dampfes in die
Reinigungsvorrichtung oder zu der Außenseite der Vorrichtung,
und dadurch die Korrosion der Vorrichtung oder Fehler der
Scheibe verhindert werden.
Diese Ausführungsform kann sowohl auf eine Reinigungs
vorrichtung der Kassettenart als auch auf eine Reinigungs
vorrichtung der kassettenlosen Art angewendet werden.
Fig. 73 ist eine Vorderansicht im Schnitt, die den Aufbau
eines Bereiches einer Halbleiterreinigungsvorrichtung gemäß
einer 33. Ausführungsform mit einer Reinigungskammer
darstellt. In Fig. 73 bezeichnet die Bezugsziffer 149 eine
Doppel-Fluiddüse, Bezugsziffer 150 einen Reinwassertank,
Bezugsziffer 151 ein Gasrohr, Bezugsziffer 152 ein Fluidrohr,
Bezugsziffer 153 ein Gasrohr zum Zuführen der Lösung unter
Druck, Bezugsziffer 154 inaktives Gas oder saubere Luft,
Bezugsziffer 155 feinen Reinwassernebel, Bezugsziffer 156 ein
Luftvorhang-Gebläse, Bezugsziffer 158 eine Luftvorhang-
Ausblasöffnung, die entlang einer Seite der Reinigungskammer
114 angeordnet ist und die gleiche Breite besitzt, und die
Bezugsziffer 157 bezeichnet eine Luftvorhang-Luftzufuhrleitung
zur Herstellung der Verbindung zwischen dem Luftvorhang-
Gebläse 156 und der Luftvorhang-Ausblasöffnung 158. Die
Bezugsziffer 159 bezeichnet die Verteilung der Ausblas
geschwindigkeiten in dem Luftvorhang. Die Bezugsziffer 160
bezeichnet einen Luftvorhang, der oberhalb der Reinigungs
kammer 114 gebildet ist. Bezugsziffer 161 bezeichnet eine
Luftvorhang-Ansaugöffnung, die entlang einer Seite der
Reinigungskammer 114 so angeordnet ist, daß sie der Luftvor
hang-Ausblasöffnung 158 zugewandt ist. Bezugsziffer 162
bezeichnet schließlich eine Luftvorhang-Auslaßleitung zur
Herstellung der Verbindung zwischen der Luftvorhang-
Ansaugöffnung 161 und dem Auslaßrohr.
Das inaktive Gas oder die saubere Luft 154 wird in dem Gasrohr
151 und dem Gasrohr < ;B 46085 00070 552 001000280000000200012000285914597400040 0002004332857 00004 45966OL<153 zum Zuführen der Lösung unter Druck,
die mit der Doppel-Fluiddüse 149 verbunden sind, verteilt.
Reinwasser, das in dem Reinwassertank 150 akkumuliert ist,
wird dem Lösungsrohr 152 unter dem Druck des inaktiven Gases,
das von dem Gasrohr 153 zum Zuführen der Lösung unter Druck
zugeführt wird, oder dem Druck der reinen Luft 154 zugeführt.
Das inaktive Gas oder die saubere Luft 154 wird dann über das
Gasrohr 151 der Doppel-Fluiddüse 149 zugeführt und reines
Wasser wird derselben von dem Lösungsrohr 152 zugeführt. Im
Ergebnis wird feiner Reinwassernebel 155 erzeugt. Der feine
Reinwassernebel 155 wird mit dem Luftstrom in der Luftvorhang-
Luftzufuhrleitung 157 gemischt und wird zusammen mit dem
Luftvorhang 160 durch die Luftvorhang-Ausblasöffnung 158
ausgeblasen. In einer Position oberhalb der Reinigungskammer
114 fängt er den chemischen Nebel 118 und den chemischen Dampf
118b, indem er ihn wie in Fig. 67 gezeigt, löst. Der
Reinwassernebel 155 tritt zusammen mit den Ansaugströmen in
dem Luftvorhang durch die Auslaßöffnungen 161 des Luftvorhangs
und die Auslaßleitung 162 des Luftvorhangs und wird dann durch
das Auslaßrohr abgeführt.
Bei dieser Ausführungsform wird das Reinwasser zwar durch
Verwendung der Doppel-Fluiddüse 149 fein zerstäubt, das
Reinwasser kann aber auch durch Verwendung von Ultraschall
oder einer Drehscheibe oder einem transparenten Naßfilm oder
einem Heizverfahren zerstäubt werden, um einen ähnlichen
Effekt zu erzielen.
Diese Ausführungsform ist wie zuvor beschrieben in der Weise
aufgebaut, daß eine Ausblasöffnung einer Doppel-Fluiddüse 149
zum Zersprühen sauberer Luft oder des Inaktiv-Gases 154 als
Sekundärfluid neben der Luftvorhang-Ausblasöffnung 158
ausgebildet ist, um den reinen Wassernebel 155 in den
Luftvorhang 160 zu mischen. Dabei fängt der Wassernebel 155
den chemischen Nebel, der in der Reinigungskammer 114 des
Reinigungsbereiches erzeugt wird, oder den Dampf, der von der
Dampfkammer des Trocknungsbereiches erzeugt wird, so daß die
Verteilung des chemischen Nebels oder des Dampfes in die
Reinigungsvorrichtung oder zur Außenseite der Vorrichtung und
damit die Korrosion der Vorrichtung oder Fehler der Scheibe
führen kann verhindert werden.
Diese Ausführungsform kann an eine Reinigungsvorrichtung der
Kassettenart, die eine Reinigungskassette verwendet, und eine
kassettenlose Reinigungsvorrichtung, die keine Reinigungs
kassette verwendet und direkt die Scheibe handelt, angepaßt
werden.
Fig. 74 ist eine Vorderansicht im Schnitt, die den Aufbau
eines Bereichs in einer Halbleiterreinigungsvorrichtung gemäß
einer 34. Ausführungsform darstellt. In Fig. 74 bezeichnen die
Bezugsziffer 126a und 126b erste Luftfilter, die oberhalb der
Reinigungskammer 114 des Reinigungsbereiches 105 und der
Wasserreinigungskammern 120a und 120b der
Wasserreinigungsbereiche 106a und 106b vorgesehen sind, um
saubere Luft zuzuführen. Die Bezugsziffern 130a und 130b
bezeichnen erste Auslaßöffnungen, die ausgebildet sind, um
Luft um die Reinigungskammer und die Wasserreinigungskammern
120a und 120b herum anzusaugen und abzuführen. Die
Bezugsziffern 131a bis 131b bezeichnen erste Auslaßleitungen,
die mit den ersten Auslaßöffnungen 130a und 130b verbunden
sind. Die Bezugsziffern 132a und 132b bezeichnen erste
Auslaßrohre, die mit den ersten Auslaßleitungen 131a bis 131g
verbunden sind, um Luft zu der Außenseite der
Halbleiterreinigungsvorrichtung 101 auszulassen. Die
Bezugsziffer 169 bezeichnet einen zweiten Luftfilter, der
oberhalb des Förderbereiches 110 angeordnet ist, und dazu
dient, saubere Luft zuzuführen. Die Bezugsziffer 170
bezeichnet eine zweite Auslaßöffnung, die vorgesehen ist, um
Luft um den Förderbereich 110b herum anzusaugen und
abzuführen. Die Bezugsziffern 171 und 171b bezeichnen zweite
Auslaßleitungen, die mit der zweiten Auslaßöffnung 170
verbunden sind, und 172 bezeichnet ein zweites Auslaßrohr, das
mit den zweiten Auslaßleitungen 171a und 171b verbunden ist,
um Luft zu der Außenseite der Halbleiterreinigungsvorrichtung
101 abzuführen.
Die Bezugsziffer A1 bezeichnet einen ersten Abwärtsstrom, der
von den ersten Luftfiltern 126a und 126b kommt, A2a bis A2d
bezeichnen erste Ansaugströme, die durch die ersten
Auslaßöffnungen 127a und 127b angesaugt werden sollen, A3a bis
A3d bezeichnen erste Auslaßströme in die ersten Auslaßrohre
132a, 132b über die ersten Auslaßleitungen 128a bis 128g, A7
bezeichnet einen zweiten von dem zweiten Luftfilter 169
kommende Abwärtsstrom, A8 bezeichnet einen zweiten
Ansaugstrom, der in die zweite Auslaßöffnung 170 gesaugt wird,
und A9 bezeichnet einen zweiten Auslaßstrom in die zweiten
Auslaßrohre 172 über die zweiten Auslaßleitungen 171a und
171b.
Die aus den ersten Luftfiltern 126a und 126b ausgeblasenen
Abwärtsströme A1 treten durch den Produktförderbereich 110a,
die Kassettenhand 110h und die Reinigungskassette 21, um als
A2a bis A2d durch die erste Auslaßöffnung 130a, die um die
Reinigungskammer 114 des Reinigungsbereiches 105 herum
ausgebildet ist, und die erste Auslaßöffnung 130b, die um die
Wasserreinigungskammer 120b des Wasserreinigungsbereiches 106b
herum ausgebildet ist, abgesaugt zu werden. Dann werden die
Abwärtsströme A1 als erste Auslaßströme A3a bis A3d durch die
ersten Auslaßleitungen 131a bis 131f und die ersten
Auslaßrohre 132a und 132b abgeführt. Die zweiten Abwärtsströme
A6, die aus dem Luftfilter 169 ausgeblasen werden, durchtreten
den Produktförderbereich 110 und werden durch die zweite
Auslaßöffnung 170, die um den Produktförderbereich 110b herum
ausgebildet ist, als A8 angesaugt. Dann wird der zweite
Abwärtsstrom A7 aus den zweiten Auslaßleitungen 171a und 171b
in das zweite Auslaßrohr 172 als zweiter Auslaßstrom A9
abgeführt.
Im Ergebnis treffen die ersten Abwärtsströme A1 die Bereiche
oberhalb der Reinigungskammer 114 und der
Wasserreinigungskammer 120, um den in der Reinigungskammer 114
erzeugten chemischen Nebel zu fangen, und dann werden aus
ihnen die Ansaugströme A2a bis A2d, die in die ersten
Auslaßöffnungen 130a und 130b gesaugt werden. Weiterhin werden
die zweiten Abwärtsströme A7 genauso um den Förderbereich 110
gebildet, so daß die ersten Abwärtsströme A1 und die zweiten
Abwärtsströme A8 voneinander getrennt werden können. Die
Aufwärtsbewegung und Diffusion des chemischen Nebels, der in
dem Reinigungsbereich erzeugt wird, und des Dampfes in dem
Trocknungsbereich durch die natürliche Konvektion kann
verhindert und durch die ersten Abwärts-Ströme A1 isoliert
werden. Im Ergebnis kann die Erzeugung von Fehlern in der
Scheibe verhindert werden. Weiterhin isoliert die Behinderung
der zweiten Abwärtsstrom A2 dieselbe, um zu verhindern, daß
chemischer Nebel aus der Reinigungskammer und Dampf des
Trocknungsbereiches an der Fördervorrichtung haftet, so daß
diese korrodiert. Außerdem kann verhindert werden, daß
mechanischer Staub, der in dem Förderbereich erzeugt wird, an
der Scheibe, die gereinigt worden ist, anhaftet.
Weiterhin wird chemischer Nebel, der von der Kassettenhand
110h und der Reinigungskassette 21 erzeugt wird, wenn die in
die Reinigungslösung in der Reinigungskammer 114 eingetauchte
Kassettenhand 110h und die Reinigungskassette 21 durch den
Produktförderbereich 110a angehoben wird, durch die ersten
Abwärtsströme A1 gefangen und in die ersten Auslaßrohre 132a
und 132b zusammen mit den ersten Absaugströme A2a bis A2d
abgeführt. Daher kann die Diffusion des chemischen Nebels, der
während der Förderung erzeugt wird, auch verhindert werden.
Zu dieser Ausführungsform gehören die ersten Luftfilter 126a
und 126b zum Zuführen sauberer Luft zu dem Reinigungsbereich,
dem Wasserreinigungsbereich und dem Trocknungsbereich sowie
die ersten Auslaßrohre 132a und 132b, die in der Nachbarschaft
der Kammern des Reinigungsbereiches, des Wasserreinigungs
bereiches und des Trocknungsbereiches angeordnet sind, so daß
Abwärtsströme oberhalb des Reinigungsbereiches, des
Wasserreinigungsbereiches und des Trocknungsbereiches gebildet
werden. Weiterhin sind zweite Luftfilter 169 zum Zuführen
sauberer Luft zu dem Förderbereich und das zweite Auslaßrohr
zum Auslassen von Luft von dem Förderbereich vorgesehen. Von
daher werden die Aufwärtsbewegung und Diffusion des chemischen
Nebels, der in dem Reinigungsbereich erzeugt wird, und von
Dampf des Trocknungsbereiches aufgrund der natürlichen
Konvektion durch die Abwärtsströme eingeschränkt und isoliert
werden. Im Ergebnis werden Fehler in der Scheibe verhindert.
Außerdem kann verhindert werden, daß chemischer Nebel, der in
der Reinigungskammer, und Dampf, der in der Trocknungskammer
erzeugt wird, sich an dem Förderbereich anlagern, so daß
dieser korrodieren würde. Weiterhin kann verhindert werden,
daß sich mechanischer Staub, der in dem Förderbereich erzeugt
wird, an der gereinigten Scheibe anhaftet.
Obwohl die Beschreibung anhand einer Reinigungsvorrichtung der
Kassettenart, die eine Reinigungskassette verwendet, erfolgt
ist, kann diese Ausführungsform auch an kassettenlose
Reinigungsvorrichtungen, die keine Reinigungskassetten verwen
den, sondern direkt die Scheibe transportieren, angepaßt
werden.
Fig. 75 ist eine Vorderansicht im Schnitt, die den Aufbau des
Bereiches in der Halbleiterreinigungsvorrichtung gemäß einer
35. Ausführungsform darstellt. In Fig. 75 bezeichnet A1 erste
Abwärtsströme, die aus ersten Luftfiltern 126a und 126b
ausgeblasen werden, bezeichnet A7 zweite Abwärtsströme, die
aus den zweiten Luftfiltern 169 ausgeblasen werden, und A10
Abwärtsströme, die von dem Förderbereich 110 zu dem
Reinigungsbereich 105, dem Wasserreinigungsbereich 106 und dem
Trocknungsbereich 107 strömen.
Wenn die Geschwindigkeit (Luftzufuhrdruck) des ersten
Abwärtsstroms A1, der aus den ersten Luftfiltern 126a und 126b
ausgeblasen wird, V2 beträgt und die Geschwindigkeit
(Luftzufuhrdruck) des zweiten Abwärtsstroms A7, der aus den
zweiten Luftfiltern 169 ausgeblasen werden, V3 beträgt und die
Geschwindigkeit V3 stets größer als V2 ist, werden die zweiten
Abwärtsströme A7 in den Luftstrom A10, der von dem
Förderbereich 110 zu dem Reinigungsbereich 105, dem
Wasserreinigungsbereich 106 und dem Trocknungsbereich 107
strömt, und den zweiten Ansaugstrom A8, der in die zweite
Auslaßöffnung 170 gesaugt wird, aufgeteilt, da der Luftdruck
der zweiten Abwärtsströme A7 größer als der des ersten
Abwärtsstroms A1 ist. Daher kann das Eintreten von chemischem
Nebel aus der Reinigungskammer 114 und von Dampf aus dem
Trocknungsbereich in den Förderbereich weiterhin vollständig
verhindert werden.
Da diese Ausführungsform so aufgebaut ist, daß der
Luftzufuhrdruck des zweiten Luftfilters 169 höher als der der
ersten Luftfilter 126a und 126b zum Zuführen sauberer Luft in
den Reinigungsbereich, den Wasserreinigungsbereich und den
Trocknungsbereich ist, kann das Eintreten von chemischem Nebel
von der Reinigungskammer 114 und von Dampf aus dem
Trocknungsbereich in den Förderbereich weiterhin vollständig
verhindert werden.
Obwohl die Beschreibung anhand einer Reinigungsvorrichtung der
Kassettenart, die die Reinigungskassette verwendet, erfolgt
ist, kann diese Ausführungsform natürlich auch an Reinigungs
vorrichtungen, die keine Reinigungskassette verwenden und die
Scheibe direkt handeln, angepaßt werden.
Fig. 76 ist eine Vorderansicht im Schnitt, die den Aufbau der
Halbleiterreinigungsvorrichtung gemäß einer 36. Ausführungs
form darstellt. Fig. 77 ist eine perspektivische Ansicht, die
die Isolierwandungen der Halbleiterreinigungsvorrichtung gemäß
dieser Ausführungsform darstellt. In den Fig. 76 und 77
bezeichnet die Bezugsziffer 110c einen Förderarm, bezeichnen
die Bezugsziffern 173a und 173b Isolierwandungen zum Isolieren
des Förderbereiches von dem Reinigungsbereich, dem Wasser
reinigungsbereich und dem Trocknungsbereich, bezeichnet die
Bezugsziffer 174 einen Ausnehmungsbereich, den der Förderarm
110c bei der Vertikalbewegung des Förderarms 110 durchgreift,
bezeichnen die Bezugsziffern A2c erste Ansaug-Ströme, die
durch Trennung der ersten Abwärtsströme A1, die von den ersten
Luftfiltern 126a und 126b ausgeblasen werden, von den
Isolierwandungen 173a und 173b entstehen, wobei die ersten
Ansaugströme A2b und A2c in die ersten Auslaßöffnungen 130a
und 130b eingesaugt werden. Das Symbol A8 bezeichnet zweite
Ansaugströme, die gebildet werden, indem die zweiten
Abwärtsströme A7, die aus dem zweiten Luftfilter 169
ausgeblasen werden, durch die Isolierwandungen 173a und 173b
getrennt werden, wobei die zweiten Ansaugströme A8 in die
zweiten Auslaßöffnungen 170 gesaugt werden. Das Symbol M1
bezeichnet die Vertikalbewegung des Förderbereiches 110, M2
bezeichnet die Vertikalbewegung des Förderbereiches 110c, und
M3 bezeichnet die Horizontalbewegung des Förderarms 110c.
Die ersten Abwärtsströme A1 und die zweiten Abwärts-Ströme A2
können durch physikalische Mittel vollständig voneinander
getrennt werden. Bei dieser Ausführungsform werden der Raum
des Förderbereiches 110 und die Räume oberhalb der
Reinigungskammer 114 und der Trocknungskammer 121 voneinander
durch die Isolierwandungen 173a und 173b getrennt. Dabei wird
die Reinigungskassette 21 durch die Kassettenhand 110h des
Förderbereiches 110 gehalten, um sie zu der Reinigungskammer
114, der Wasserreinigungskammer 120 und der Trocknungskammer
121 zu schieben, so daß das Verfahren durchgeführt wird. Um
dies zu erreichen, kann der Arm 110c des Förderbereiches eine
Vertikalbewegung M2 durchführen und greift dabei die
Ausnehmung 174 der Isolierwandungen 173a und 173b, wenn der
Förderbereich 110 die vertikale Bewegung M1 ausführt. Die
Horizontalbewegung M3 des Arms 110 des Förderbereiches wird in
einem Raum oberhalb des oberen Endes der Isolierwandung 173
durchgeführt.
Die Ausführungsform ist so getroffen, daß die Isolierwandung
173 zum Isolieren des Förderbereiches von dem Reinigungs
bereich, dem Wasserreinigungsbereich und dem Trocknungsbereich
vorgesehen ist. Weiterhin werden die von den zweiten
Luftfiltern 169 kommenden Abwärtsströme zum Zuführen sauberer
Luft zu dem Förderbereich zu dem zweiten Auslaßrohr 172 in dem
unteren Bereich des Förderbereiches geschickt, während die von
den ersten Luftfiltern 126a und 126b kommenden Abwärtsströme
zum Zuführen sauberer Luft zu dem Förderbereich, dem
Wasserreinigungsbereich und dem Trocknungsbereich den ersten
Auslaßöffnungen 130a und 130b zugeordnet sind, welche um die
Kammern in dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich
und dem Trocknungsbereich herum angeordnet sind. Da die
Abwärtsströme vollständig in individuelle Abwärtsströme
unterteilt sind, kann die Korrosion des Förderbereiches
aufgrund des Anhaftens chemischen Nebels und der Verschmutzung
der Scheibe aufgrund von mechanischem Staub, der in dem
Förderbereich erzeugt wird, vollständig verhindert werden.
Obwohl die Beschreibung anhand einer Reinigungsvorrichtung der
Kassettenart, die eine Reinigungskassette verwendet, erfolgt
ist, kann diese Ausführungsform natürlich an eine
kassettenlose Reinigungsvorrichtung, die keine Reinigungs
kassette verwendet und direkt die Scheibe handelt, angepaßt
werden.
Fig. 78 ist eine geschnittene Vorderansicht, die den Aufbau in
einer Halbleiterreinigungsvorrichtung gemäß einer 37.
Ausführungsform darstellt. In Fig. 78 bezeichnet die
Bezugsziffer 189 einen Gaszufuhrbereich zum Zuführen eines
gasförmigen Materials in einen Spalt, der zwischen mindestens
einem der Reinigungsbereiche 105a, 105b, der Wasserreinigungs
bereiche 106a bis 106c oder der Trocknungsbereiche 107 und dem
Förderbereich 110 gebildet ist. Die Bezugsziffer 189a
bezeichnet Gas, und die Bezugsziffer 172 bezeichnet einen
vierten Auslaßbereich zum Auslassen von Luft aus dem unteren
Bereich des Förderbereiches 110.
Zuerst wird die Bedarfsmenge, die von dem Gaszufuhrbereich 189
zugeführt werden soll, so festgelegt, daß sie größer als die
Menge ist, die von dem vierten Auslaßbereich 172 abgeführt
werden soll. Da das Gas 189a von dem Gaszufuhrbereich 189 in
den Spalt zwischen den Reinigungsbereichen 105a und 105b, den
Wasserreinigungsbereichen 106a bis 106c, dem Trocknungsbereich
107 und dem Förderbereich 110 zugeführt wird, erreicht der
Nebel von den Reinigungsbereichen 105a und 105b, den
Wasserreinigungsbereichen 106a bis 106c und den
Trocknungsbereich 107 den Förderbereich 110 nicht. Daher kann
der Mechanismusbereich des Förderbereiches 110 vor einer
Korrosion durch den Nebel geschützt werden. Weiterhin wird
Staub, der in dem Mechanismusbereich des Förderbereiches 110
erzeugt wird, zusammen mit einem Teil des Gases 189a in den
vierten Auslaßbereich 172 geführt. Daher kann verhindert
werden, daß Staub an der gereinigten Scheibe anhaftet.
Diese Ausführungsform kann sowohl für eine Reinigungs
vorrichtung der Kassettenart, die eine Reinigungskassette ver
wendet, als auch für eine kassettenlose Reinigungsvorrichtung,
die keine Reinigungskassette verwendet und direkt die Scheibe
handelt, verwendet werden.
Fig. 79 ist eine Vorderansicht im Schnitt, die den Aufbau des
Innenbereiches einer Halbleiterreinigungsvorrichtung gemäß
einer 38. Ausführungsform darstellt. Fig. 80 ist eine
Draufsicht der Reinigungsvorrichtung gemäß dieser Ausführungs
form. In den Fig. 79 und 80 bezeichnet die Bezugsziffer 126
einen Luftfilter zum Zuführen sauberer Luft in die
Reinigungsvorrichtung, bezeichnet die Bezugsziffer 131a eine
Auslaßleitung, die mit einem Auslaßrohr 132 in Verbindung
steht, bezeichnet 130a einen Öffnungsbereich, der mit der
Auslaßleitung 131 in Verbindung steht, bezeichnet 190 einen
fünften Auslaßbereich zum Auslassen von Luft aus dem
Endbereich der Bewegungsbahn des Förderbereiches 110, und
bezeichnet 300b stehende Luft.
Die Luftmenge, die von dem Luftfilter 126 zugeführt werden
soll, und die Luftmenge, die aus dem Auslaßrohr 132
ausgelassen wird, werden zuerst ins Gleichgewicht gebracht.
Von dem Luftfilter 126 zugeführte Luft tritt durch den
Öffnungsbereich 130a, der in den Reinigungsbereichen 105a und
105b, den Wasserreinigungsbereiche 106a bis 106c und dem
Trocknungsbereich 107 gebildet ist, um durch die Auslaßleitung
131a zu dem Auslaßrohr 132 ausgelassen zu werden. Ein Teil der
Luft steht unerwünschter Weise an einem Ende der Bewegungsbahn
des Förderbereiches 110. Die stillstehende Luft 300b enthält
Nebel, wenn die Scheibe aus jedem Bereich angehoben wird. Um
das Eintreten von stillstehender Luft 300b in die
Wasserreinigungsbereiche 106a und 106b zu verhindern, wenn der
Förderroboter 110 eines Förderbereiches 110 betätigt wird,
wodurch der Nebel an der Scheibe, die mit Wasser gereinigt
wird, oder an der angehobenen Scheibe, die mit Wasser
gereinigt worden ist, anhaftet, führt der fünfte Auslaßbereich
190 die stillstehende Luft 300b aus dem Ende der
Bewegungskurve des Förderbereiches 110 ab.
Im Ergebnis können Probleme, die aufgrund des Nebels in der
Reinigungsvorrichtung auftreten, verhindert werden.
Diese Ausführungsform kann sowohl für eine Reinigungs
vorrichtung der Kassettenart, als auch für eine kassettenlose
Reinigungsvorrichtung verwendet werden.
Fig. 81 ist eine Vorderansicht im Schnitt, die den Aufbau des
Innenbereiches einer Halbleiterreinigungsvorrichtung gemäß
einer 39. Ausführungsform darstellt. In Fig. 81 bezeichnet die
Bezugsziffer 191 einen sechsten Auslaßbereich zum Auslassen
von Luft aus dem Bereich zwischen zumindest einem der
Reinigungsbereiche 105a und 105b, dem Wasserreinigungsbereich
106a bis 106c und dem Trocknungsbereich 107 und der
Außenwandung 101a des Reinigungsvorrichtungskörpers 101. Die
Bezugsziffer 300c bezeichnet stehende Luft.
Die Luftmenge, die von dem Luftfilter 126 zugeführt werden
soll, und die Luftmenge, die von dem Auslaßrohr 132 abgeführt
werden soll, werden zunächst ins Gleichgewicht gebracht. Luft,
die von dem Luftfilter 126 zugeführt wird, tritt durch den
Öffnungsbereich 130a, der in den Reinigungsbereichen 105a und
105b, den Wasserreinigungsbereichen 106a bis 106c und dem
Trocknungsbereich 107 ausgebildet ist, und wird dem Auslaßrohr
132 durch die Auslaßleitung 131a zugeführt. Das Vorhandensein
der Außenwandung 101a des Reinigungsvorrichtungskörpers 101
führt jedoch dazu, daß ein Teil der Luft zwischen den
Reinigungsbereichen 105a, 105b, den Wasserreinigungsbereichen
106a bis 106c und dem Trocknungsbereich 107 und der
Außenwandung 101a zum Stehen kommt. Die stillstehende Luft
300c enthält Nebel, wenn die Scheibe aus jedem Bereich
angehoben wird. Um das Eintreten von stillstehender Luft 300c
in jeden Bereich und das Anhaften von Nebel an der Scheibe,
die mit Wasser gereinigt wird, oder an der angehobenen
Scheibe, die mit Wasser gereinigt worden ist, zu verhindern,
führt der sechste Auslaßbereich 191 die stillstehende Luft
300c ab.
Im Ergebnis können Probleme, die aufgrund des Nebels in der
Reinigungsvorrichtung auftreten, verhindert werden.
Diese Ausführungsform kann bei Reinigungsvorrichtungen der
Kassettenart, die die Reinigungskassette verwenden, und bei
kassettenlosen Reinigungsvorrichtungen, die keine Reinigungs
kassette verwenden und die Scheibe direkt handeln, verwendet
werden.
Fig. 82 ist eine perspektivische Ansicht, die einen
Fensteraufbau einer Halbleiterreinigungsvorrichtung gemäß
einer 40. Ausführungsform darstellt. In Fig. 82 bezeichnet die
Bezugsziffer 180 einen Öffnungsbereich, der in einer
Teilungsplatte zum Abdichten des Reinigungsbereiches, des
Wasserreinigungsbereiches und des Trocknungsbereiches zu
abgedichteten Kammern ausgebildet ist, die Bezugsziffer 181
einen Außenrahmen, der um den Öffnungsbereich 180 herum
ausgebildet ist, die Bezugsziffer 182 eine Tür, die entlang
des Außenrahmens 181 so angeordnet ist, daß sie geöffnet
werden kann, und die Bezugsziffer 183 ein Führungselement zum
Führen des Öffnungs-/Schließvorgangs der Tür 182.
Um den Reinigungsbereich, den Wasserreinigungsbereich und den
Trocknungsbereich zu abgedichteten Kammern abzudichten und ein
Einsetzen/Herausnehmen der Produktkassette 22 oder der
Reinigungskassette 21 zu bewirken, ist ein Fensteraufbau 177
wie in Fig. 82 gezeigt vorgesehen. Die Tür 182 gleitet entlang
des Führungselements 183, um den Öffnungsbereich 180 zu
öffnen/schließen, wobei ein Kontakt mit dem Außenrahmen 181
verhindert wird. Der Außenrahmen 181 besitzt eine Mehrzahl von
Auslaßöffnungen 184, um Luft durch die Auslaßöffnungen 134
zumindest dann abzuführen, wenn die Tür 182 geöffnet oder
geschlossen wird. Im Ergebnis kann das Eintreten von Staub,
der aufgrund des Öffnens/Schließens der Tür 182 erzeugt wird,
und von Nebel verhindert werden.
Diese Ausführungsform kann bei Reinigungsvorrichtungen der
Kassettenart, die die Reinigungskassette verwenden, und bei
kassettenlose Reinigungsvorrichtungen, die keine Reinigungs
kassette verwenden und die Scheibe direkt handeln, verwendet
werden.
Fig. 83 ist eine Draufsicht, die eine Halbleiterreinigungs
vorrichtung gemäß einer 41. Ausführungsform darstellt. Fig. 84
ist eine Vorderansicht, die diese Ausführungsform darstellt.
In den Fig. 83 und 84 bezeichnet die Bezugsziffer 175 eine
Ladungsverschlußkammer, die neben dem Fensteraufbau 177,
welcher zwischen dem Reinigungsvorrichtungskörper 101 und dem
Lade/Entladebereich 102 ausgebildet ist, angeordnet ist, und
die Bezugsziffern 176a und 176b bezeichnen Türen der
Ladungsverschlußkammer 175 zum Einsetzen/Herausnehmen der
Produktkassette 22 in die bzw. aus der Ladungsverschlußkammer
175.
Was die Ladungsverschlußkammer 175 angeht, sind ihre Türen
176a und 176b und der Fensteraufbau 177 geschlossen. Die
Produktkassette 22, in der sich die Scheibe befindet, ist auf
dem Produktkassetten-Halterrahmen des Lade/Entladebereiches
102 plaziert. Der Verschieberoboter 125 nimmt die Scheibe aus
der Produktkassette 22 und öffnet die Türen 176a und 176b der
Ladungsverschlußkammer 175, um die Scheibe in die Ladungs
verschlußkammer 175 einzusetzen und sie zu der Reinigungs
kassette 21, die auf dem Reinigungskassetten-Halterrahmen 124
liegt, zu schieben. Dann werden die Türen 176a und 176b der
Ladungsverschlußkammer 175 geschlossen. Die Reinigungskassette
21, die so die Scheibe enthält, wird durch die Kassettenhand
110h des Produktförderbereiches 110 gehalten, nachdem der
Fensteraufbau 177 der Ladungsverschlußkammer 175 geöffnet
worden ist. Im Ergebnis wird sie auf den Reinigungskassetten-
Halterrahmen 123 geschoben und auf dem Reinigungskassetten-
Halterrahmen 123 in eine Standby-Position gebracht. Dann wird
der Fensteraufbau der Ladungsverschlußkammer 175 geschlossen.
Nachdem der Reinigungsvorgang abgeschlossen ist, nimmt der
Produktförderbereich 110 die Reinigungskassette 21 aus der
Trocknungskammer 121 und öffnet den Fensteraufbau 177 der
Ladungsverschlußkammer 175, um die Reinigungskassette 21 in
die Ladungsverschlußkammer 175 einzuführen und sie auf den
Reinigungskassetten-Halterrahmen 124 des Lade-/Entladeberei
ches 102 zu legen. Dann wird der Fensteraufbau der
Ladungsverschlußkammer 175 geschlossen. Dann öffnet der Ver
schieberoboter 125 die Türen 176a und 176b der Ladungs
verschlußkammer 175 und nimmt die Scheibe aus der Reinigungs
kassette 21, welche auf dem Reinigungskassetten-Halterrahmen
124 liegt, um sie zu einer leeren Produktkassette 22 zu
schieben, welche auf dem Produktkassetten-Halterrahmen liegt.
Dann werden die Türen 176a und 176b der Ladungsverschlußkammer
175 geschlossen.
Dadurch kann ein Anhaften an der Scheibe, das zu einem Fehler
führen kann und eine Diffusion nach außen, die zu einer
ähnlichen Korrosion und zur Entstehung von Fehlern führt,
verhindert werden.
Wie zuvor beschrieben ist diese Ausführungsform so aufgebaut,
daß der Reinigungsbereich, der Wasserreinigungsbereich, der
Trocknungsbereich und der Förderbereich in abgedichteten
Kammern gebildet sind. Weiterhin ist die Ladungsverschluß
kammer 175 auf dieser Seite des Fensteraufbaus 177
ausgebildet, der geöffnet/geschlossen werden kann, um die
Scheibenhand zum Halten der Reinigungskassette 21, in der sich
die Scheibe befindet, welche von der Produktkassette 22 in den
Lade/Entladebereich 102 geschoben worden ist,
einzusetzen/herauszunehmen, oder die Scheibe, welche aus der
Produktkassette 22 herausgenommen ist, direkt zu halten. Daher
wird ein Luftstrom beim Öffnen des Fensters aufgrund der
Druckdifferenz zwischen dem statischen Druck in der abgedich
teten Kammer und dem statischen Druck des Außenbereiches, der
durch den Fensteraufbau isoliert ist, erzeugt. Dieser bewirkt,
daß chemischer Nebel, der in dem Reinigungsbereich erzeugt
wird, und Dampf, der in dem Trocknungsbereich erzeugt wird,
an den Bauteileinheiten in den abgedichteten Kammern anhaftet,
was dazu führt, daß die Komponenteneinheiten korrodieren.
Weiterhin kann ein Anhaften an der Scheibe, was zu einem
Fehler führen kann und eine Diffusion nach außen, die eine
ähnliche Korrosion und Entstehen von Fehlern zur Folge hat,
verhindert werden.
Obwohl die Beschreibung anhand einer Reinigungsvorrichtung der
Kassettenart, welche die Reinigungskassette verwendet, erfolgt
ist, kann diese Ausführungsform natürlich auch bei einer
kassettenlosen Reinigungsvorrichtung, die keine Reinigungs
kassette verwendet und die Scheibe direkt transportiert,
verwendet werden.
Die Fig. 86 und 87 sind eine Draufsicht und eine
Seitenansicht, die eine Halbleiterreinigungsvorrichtung gemäß
einer 42. Ausführungsform darstellen. Die Produktkassette, in
der sich die noch nicht gereinigte Scheibe befindet, wird in
den Lade/Entladebereich 102 eingesetzt. Die Scheibe in der
Produktkassette wird durch den Verschieberoboter 125 aus der
Produktkassette herausgenommen, um in den Verschiebebereich
geschoben zu werden. In dem Verschiebebereich wird die Scheibe
zu der Reinigungskassette 21 geschoben. Nachdem der
Verschiebeberoboter 125 aus dem Verschiebebereich entfernt
worden ist, wird die Schutzplatte 187b geschlossen und das
Fenster 177 geöffnet. Die die Scheibe enthaltende
Reinigungskassette 21 wird durch die Kassettenhand des
Förderroboters 110a des Förderbereiches 110 gehalten, um in
den Reinigungsbereich 105a eingesetzt zu werden. Dann wird das
Fenster 177 geschlossen und die Isolierplatte 187b geöffnet.
Die Reinigungskassette 21, die in den Reinigungsbereich 105a
eingesetzt ist, wird nachfolgend zu dem Reinigungsbereich
105b, den Wasserreinigungsbereichen 106a bis 106c und dem
Trocknungsbereich 107 bewegt. Im Ergebnis wird ein
Scheibenreinigungsvorgang abgeschlossen.
Die Isolierplatte 187b wird geschlossen, das Fenster wird
geöffnet und die Reinigungskassette 21 wird zusammen mit der
Scheibe, welche gereinigt worden ist, zu dem Verschiebebereich
durch den Förderroboter 110a transportiert. Dann wird das
Fenster 177 geschlossen und die Isolierplatte 187b geöffnet.
Der Verschieberoboter 125 nimmt die Scheibe aus der
Reinigungskassette 21, um sie in den Lade/Entladebereich 102
zu transportieren. Die Scheibe wird zu der Produktkassette in
dem Lade/Entladebereich 102 transportiert, bevor sie abgeführt
wird.
In Fig. 87 ist ein Zustand gezeigt, in dem die
Reinigungsvorrichtung gemäß dieser Ausführungsform in einer
Halbleiterherstellungsfabrik verwendet wird. In Fig. 87
bezeichnet die Bezugsziffer 132 eine Auslaßleitung, die mit
der Leitung der Fabrik verbunden ist, die Bezugsziffer 301
eine andere Herstellvorrichtung, die Bezugsziffer 201 eine
Trocknungszone, die für eine andere Herstellungsvorrichtung
eine exzellente Sauberkeit hervorbringt, und die Bezugsziffer
118 Nebel, der von der Reinigungsvorrichtung fliegt.
Die Reinigungsvorrichtung 101 gemäß dieser Ausführungsform ist
so angeordnet, daß die abgedichtete Kammer den Reinigungs
bereich, den Wasserreinigungsbereich und den Trocknungsbereich
von der Trocknungszone 201 isoliert. Weiterhin werden das
Fenster 177 und die Isolierplatte 187 nicht gleichzeitig
geöffnet, selbst wenn bei einem Vorgang die Scheibe in der
Produktkassette gereinigt wird. Daher kann die Gefahr, daß der
Nebel 118 von der Reinigungsvorrichtung 101 und der
Trocknungszone 201 fliegt, vollständig eliminiert werden.
Somit kann die Notwendigkeit, die andere Herstellvorrichtung
und die Luftanlagen zu teilen, eliminiert werden. Weiterhin
kann selbst dann, wenn der Luftstrom in der Trocknungszone 201
aufgrund eines Bewegens der Vorrichtung, von Gegenständen und
Personen geändert wird, verhindert werden, daß der Nebel 118
zu der Trocknungszone 201 fliegt. Daher kann die Herstellung
fehlerhafter Produkte und eine Beeinträchtigung in den
Eigenschaften aufgrund des Nebels verhindert werden.
Obwohl die Beschreibung anhand einer Reinigungsvorrichtung der
Kassettenart, welche eine Reinigungskassette verwendet,
erfolgt ist, kann diese Ausführungsform natürlich auch bei
Reinigungsvorrichtungen der kassettenlosen Art, die keine
Reinigungskassette verwenden und die Scheibe direkt
transportieren, verwendet werden.
Fig. 88 ist eine perspektivische Ansicht, die eine
Ladungsverschlußkammer einer Halbleiterreinigungsvorrichtung
gemäß einer 43. Ausführungsform darstellt. In Fig. 88
bezeichnet die Bezugsziffer 175 eine Ladungsverschlußkammer,
die neben dem Fensteraufbau angeordnet ist, welcher zwischen
dem Reinigungsvorrichtungskörper 101 und dem Lade/Entlade
bereich 102 ausgebildet ist, bezeichnen die Bezugsziffern 176a
und 176b Türen der Ladungsverschlußkammer 175, die
geöffnet/geschlossen werden können, um die Produktkassette 22
in die Ladungsverschlußkammer 175 einzusetzen oder aus dieser
herauszunehmen, bezeichnet die Bezugsziffer 178 einen
Luftfilter, der in dem oberen Bereich der
Ladungsverschlußkammer 175 vorgesehen und angeordnet ist, um
der Ladungsverschlußkammer 175 saubere Luft zuzuführen,
bezeichnet die Bezugsziffer 179 einen Auslaßbereich zum
Auslassen von Luft aus der Ladungsverschlußkammer 175, und
bezeichnet die Bezugsziffer 184 ein Auslaßrohr, das mit dem
Auslaßbereich 179 verbunden und dazu angeordnet ist, Luft
schließlich zu der Außenseite der Ladungsverschlußkammer
abzuführen.
Die Abwärtsströme A11, die aus dem Luftfilter 178 ausgeblasen
werden, treten durch die Ladungsverschlußkammer 175 und werden
dann zu der Außenseite der Ladungsverschlußkammer 175 durch
das Auslaßrohr 174 über den Auslaßbereich 179 abgeführt.
Dadurch kann der Innenbereich der Ladungsverschlußkammer 175
immer sauber gehalten werden. Weiterhin wird der statische
Druck in der Ladungsverschlußkammer 175 immer auf demselben
Wert gehalten wie der Druck des in dem vorhergehenden Vorgang
geöffneten Bereichs. D.h., daß selbst wenn die Türen 176a und
176b der Ladungsverschlußkammer geöffnet und dann geschlossen
werden, der Innendruck der Ladungsverschlußkammer 175 derselbe
wie der statische Druck des externen Bereiches ist. Wenn daher
der Fensteraufbau 177 der Ladungsverschlußkammer 175 dann
geöffnet wird, besteht zwischen dem inneren statischen Druck
der Ladungsverschlußkammer 175 und dem inneren statischen
Druck des Reinigungsvorrichtungskörpers 101 eine
Druckdifferenz. Obwohl der aufgrund der Druckdifferenz
entstehende Luftstrom verglichen mit dem Fall, in dem die
Ladungsverschlußkammer 175 nicht vorhanden ist, sehr klein
ist, weil die Kapazität in der Ladungsverschlußkammer 175
klein ist, muß der Luftstrom völlig verhindert werden.
Entsprechend werden der Luftzufuhrdruck des Luftfilters 178
und der Luftauslaßdruck aus dem Auslaßrohr 184 geändert und
werden der statische Druck in der Ladungsverschlußkammer 175
und der des Raums in dem nächsten Vorgang ermittelt. Dann
werden der statische Druck in der Ladungsverschlußkammer 175
und der in dem im nächsten Schritt zu verbindenden Raum
aufgrund eines Signals, das die ermittelten statischen Drücke
anzeigt, auf denselben Wert gebracht.
Da diese Ausführungsform wie zuvor beschrieben so vorgesehen
ist, daß die Ladungsverschlußkammer 175 mit einem dritten
Luftfilter 178 zur Zuführung sauberer Luft und dem dritten
Auslaßrohr 184 zum Auslassen von Luft aus der
Ladungsverschlußkammer 175 versehen ist, kann der Innenbereich
der Ladungsverschlußkammer 175 sauber gehalten werden.
Weiterhin kann verhindert werden, daß Staub wegen des
Luftstroms, der aufgrund einer Druckdifferenz entsteht, wenn
die Tür der Ladungsverschlußkammer 175 geöffnet wird, fliegt.
Obwohl die Beschreibung anhand einer Reinigungsvorrichtung der
Kassettenart, die die Reinigungskassette verwendet, erfolgt
ist, kann diese Ausführungsform natürlich bei einer kassetten
losen Reinigungsvorrichtung, die keine Reinigungskassette
verwendet und die Scheibe direkt handelt, verwendet werden.
Fig. 89 ist eine Vorderansicht im Schnitt, die den Aufbau des
Innenbereiches einer Halbleiterreinigungsvorrichtung gemäß
einer 44. Ausführungsform darstellt. In Fig. 89 bezeichnet die
Bezugsziffer 126 einen Luftfilter, der oberhalb der
Reinigungskammer 114 vorgesehen ist und dazu dient, saubere
Luft zuzuführen. Die Bezugsziffern 130a und 130b bezeichnen
Auslaßöffnungen zum Ansaugen und Auslassen von Luft um die
Reinigungskammer 114 herum. Die Bezugsziffern 131a und 131b
bezeichnen Auslaßleitungen, die mit den Auslaßöffnungen 130a
und 130b verbunden sind. Die Bezugsziffer 132 bezeichnet ein
Auslaßrohr, das mit den Auslaßleitungen 131a und 131b
verbunden ist und dazu dient, Luft zu der Außenseite der Halb
leiterreinigungsvorrichtung 101 abzuführen. Die Bezugsziffer
185 bezeichnet schließlich einen Entnebler zum Beseitigen
chemischen Nebels, der in der Reinigungskammer 114 erzeugt und
mit den Ansaugströmen A5a und A5b und den Auslaßströmen A3a
und A3b vermischt wird. Das Symbol A1 bezeichnet Abwärtströme,
die von dem Luftfilter 126 ausgehen. Die Symbole A5a und A5b
bezeichnen Ansaugströme, die in die Auslaßöffnungen 130a und
130b eingesaugt werden sollen. Die Symbole A3a und A3b
bezeichnen schließlich Auslaßströme, die in das Auslaßrohr 132
über die Auslaßleitungen 131a und 131b abgeführt werden.
Die Abwärtsströme A1, die aus dem Luftfilter 126 ausgeblasen
werden, treten durch einen Raum oberhalb der Reinigungskammer
114, fangen den chemischen Nebel, der in der Reinigungskammer
114 erzeugt wird, werden durch die Auslaßöffnungen 130a und
130b, die um die Reinigungskammer 114 herum ausgebildet sind,
angesaugt, wie durch die Luftströme A5a und A5b angedeutet
ist, und werden durch die Auslaßleitungen 131a und 131b zu dem
Auslaßrohr 132 abgeführt, wie durch die Auslaßströme A3a und
A3b angedeutet ist. Dabei wird der Entnebler 185, der gebildet
wird, indem ein netzförmiges Blatt in das Auslaßrohr 132
eingesetzt wird, verwendet, um den chemischen Nebel zu
entfernen.
Im Ergebnis wird das unerwünschte Rückführen des chemischen
Nebels, der in das Auslaßrohr eingedrungen ist, und das
unerwünschte Zurückführen zu dem Sauberraum verhindert, so daß
eine Diffusion des chemischen Nebels und des getrockneten
Dampf es in den gesamten Sauberraum oder in die
Reinigungsvorrichtung und damit eine Korrosion der Vorrichtung
und ein Entstehen von Fehlern in der Scheibe verhindert.
Der Entnebler 185 ist so ausgebildet, daß das netzförmige
Blatt in das Auslaßrohr eingesetzt ist. Das netzförmige Blatt
kann aber auch durch ein poröses Material oder einen Aufbau
ersetzt sein, bei dem der Auslaßstrom in reines Wasser
eingeblasen wird, um einen ähnlichen Effekt zu erzielen.
Wie zuvor beschrieben, wird bei dieser Ausführungsform der
erste Filter 126 zum Zuführen sauberer Luft in den Reinigungs
bereich, den Wasserreinigungsbereich und den Trocknungsbereich
und das erste Auslaßrohr 182, das in der Nachbarschaft der
Kammern des Reinigungsbereichs, des Wasserreinigungsbereichs
und des Trocknungsbereichs angeordnet ist, verwendet.
Weiterhin ist der Entnebler 185 aus einem porösen Material
oder einem netzförmigen Füllstoff hergestellt und an einer
Zwischenposition des Auslaßrohrs 132 angeordnet. Daher können
chemischer Nebel und getrockneter Dampf, die mit der
Auslaßluft vermischt sind, entfernt werden, so daß ein
Zerstreuen des chemischen Nebels oder des getrockneten
Dampfes, der von der zirkulierenden Luft getragen wird, in die
Vorrichtung oder zu der Außenseite der Vorrichtung und damit
die Korrosion der Vorrichtung und das Entstehen von Fehlern in
der Scheibe verhindert werden.
Obwohl die Beschreibung anhand einer Reinigungsvorrichtung der
Kassettenart, die die Reinigungskassette verwendet, erfolgt
ist, kann diese Ausführungsform natürlich auch bei einer
kassettenlosen Reinigungsvorrichtung, die keine Reinigungs
kassette verwendet und die Scheibe direkt transportiert,
verwendet werden.
Dargestellt und beschrieben ist eine Halbleiterreinigungs
vorrichtung mit einem Lade/Entladebereich zum
Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, die eine Scheibe
enthält; einem Produkt-Einsetzt-/Herausnahme-Bereich zum
Einsetzen/ Herausnehmen der Scheibe aus der Produktkassette;
einem Reinigungsbereich zum Reinigen der Scheibe; einem
Wasserreinigungsbereich zum Reinigen der Scheibe, die in dem
Reinigungsbereich gereinigt worden ist, mit Wasser; einem
Trocknungsbereich zum Trocknen der Scheibe, die mit Wasser in
dem Wasserreinigungsbereich gereinigt worden ist; und einem
Förderbereich mit einer Scheibenhand, um die Scheibe, die aus
der Produktkassette in dem Produkt-Einsetz/Herausnahme-Bereich
herausgenommen worden ist, direkt zu halten und anschließend
die durch die Scheibenhand gehaltene Scheibe dem
Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich und dem
Trocknungsbereich zuzuführen.
Claims (49)
1. Halbleiterreinigungsvorrichtung mit:
einem Lade/Entladebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, die eine Scheibe enthält;
einem Produkt-Einsetz/Herausnahme-Bereich zum Einsetzen- Herausnehmen der Scheibe in die bzw. aus der Produktkassette;
einem Reinigungsbereich zum Reinigen der Scheibe;
einem Wasserreinigungsbereich zum Reinigen der Scheibe, die in dem Reinigungsbereich gereinigt worden ist, mit Wasser;
einem Trocknungsbereich zum Trocknen der Scheibe, die mit Wasser in dem Wasserreinigungsbereich gereinigt worden ist; und
einem Förderbereich mit einer Scheibenhand, um die Scheibe, die aus der Produktkassette in dem Produkt- Einsetz/Herausnahme-Bereich herausgenommen worden ist, direkt zu halten und die durch die Scheibenhand gehaltene Scheibe nacheinander dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich und dem Trocknungsbereich zuzuführen.
einem Lade/Entladebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, die eine Scheibe enthält;
einem Produkt-Einsetz/Herausnahme-Bereich zum Einsetzen- Herausnehmen der Scheibe in die bzw. aus der Produktkassette;
einem Reinigungsbereich zum Reinigen der Scheibe;
einem Wasserreinigungsbereich zum Reinigen der Scheibe, die in dem Reinigungsbereich gereinigt worden ist, mit Wasser;
einem Trocknungsbereich zum Trocknen der Scheibe, die mit Wasser in dem Wasserreinigungsbereich gereinigt worden ist; und
einem Förderbereich mit einer Scheibenhand, um die Scheibe, die aus der Produktkassette in dem Produkt- Einsetz/Herausnahme-Bereich herausgenommen worden ist, direkt zu halten und die durch die Scheibenhand gehaltene Scheibe nacheinander dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich und dem Trocknungsbereich zuzuführen.
2. Halbleiterreinigungsvorrichtung mit:
einem Lade/Entladebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, die eine Scheibe enthält;
einer Reinigungskassette zur Aufnahme der Scheibe, an der oberhalb der aufgenommenen Scheibe Halter ausgebildet sind;
einem Verschiebebereich zum Verschieben der Scheibe zwischen der Produktkassette, die sich in dem Lade/Entladebereich befindet, und der Reinigungskassette;
einem Reinigungsbereich zum Reinigen der in der Reinigungskassette aufgenommenen Scheibe mit einer Reinigungslösung;
einem Wasserreinigungsbereich zum Reinigen der Scheibe, die in dem Reinigungsbereich gereinigt worden ist, mit Wasser, während sich die Scheibe in der Reinigungskassette befindet;
einem Trocknungsbereich zum Trocknen der Scheibe, die mit Wasser in dem Wasserreinigungsbereich gereinigt worden ist, während sich die Scheibe in der Reinigungskassette befindet; und
einem Förderbereich, der die Halter der Reinigungskassette hält, um die Reinigungskassette von dem Lade/Entladebereich nacheinander dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungs bereich und dem Trocknungsbereich zuzuführen;
wobei sich die Halter der Reinigungskassette oberhalb des Levels der Reinigungslösung und des Reinigungswassers befinden, wenn die darin enthaltene Scheibe vollständig in die Reinigungslösung in dem Reinigungsbereich und in das Reinigungswasser in dem Wasserreinigungsbereich eingetaucht ist.
einem Lade/Entladebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, die eine Scheibe enthält;
einer Reinigungskassette zur Aufnahme der Scheibe, an der oberhalb der aufgenommenen Scheibe Halter ausgebildet sind;
einem Verschiebebereich zum Verschieben der Scheibe zwischen der Produktkassette, die sich in dem Lade/Entladebereich befindet, und der Reinigungskassette;
einem Reinigungsbereich zum Reinigen der in der Reinigungskassette aufgenommenen Scheibe mit einer Reinigungslösung;
einem Wasserreinigungsbereich zum Reinigen der Scheibe, die in dem Reinigungsbereich gereinigt worden ist, mit Wasser, während sich die Scheibe in der Reinigungskassette befindet;
einem Trocknungsbereich zum Trocknen der Scheibe, die mit Wasser in dem Wasserreinigungsbereich gereinigt worden ist, während sich die Scheibe in der Reinigungskassette befindet; und
einem Förderbereich, der die Halter der Reinigungskassette hält, um die Reinigungskassette von dem Lade/Entladebereich nacheinander dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungs bereich und dem Trocknungsbereich zuzuführen;
wobei sich die Halter der Reinigungskassette oberhalb des Levels der Reinigungslösung und des Reinigungswassers befinden, wenn die darin enthaltene Scheibe vollständig in die Reinigungslösung in dem Reinigungsbereich und in das Reinigungswasser in dem Wasserreinigungsbereich eingetaucht ist.
3. Halbleiterreinigungsvorrichtung nach Anspruch 1,
gekennzeichnet durch
einen Scheiben-Halterrahmen, um die Scheibe zeitweise zur
Seite zu legen.
4. Halbleiterreinigungsvorrichtung nach Anspruch 2,
gekennzeichnet durch
einen Kassetten-Halterrahmen, um die Reinigungskassette, in der
sich die Scheibe befindet, zeitweise zur Seite zu legen.
5. Halbleiterreinigungsvorrichtung nach Anspruch 3,
gekennzeichnet durch
Wasserreinigungsmittel, um die auf dem Scheiben-Halterrahmen
zur Seite gelegte Scheibe mit Wasser zu reinigen.
6. Halbleiterreinigungsvorrichtung nach Anspruch 4,
gekennzeichnet durch
Wasserreinigungsmittel, um die Scheibe, die sich in der auf
dem Kassetten-Halterrahmen zur Seite gelegten
Reinigungskassette befindet, mit Wasser zu reinigen.
7. Halbleiterreinigungsvorrichtung nach Anspruch 2,
gekennzeichnet durch
einen Fördersteuerbereich zum Steuern des Förderbereiches, um
aufeinanderfolgend die Reinigungskassetten in einer Zahl, die
kleiner als die Summe der Bereiche in dem Reinigungsbereich,
dem Wasserreinigungsbereich und dem Trocknungsbereich, in
denen sich die Reinigungskassetten befinden, zu fördern.
8. Halbleiterreinigungsvorrichtung nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet, daß
der Reinigungsbereich eine Reinigungskammer zur Aufnahme der
Reinigungslösung und einen Öffnungsbereich, durch den die
Halter der Reinigungskassette, die in die Reinigungskammer
eingesetzt ist, nach außen erscheinen, besitzt, und der
Reinigungsbereich weiterhin eine Isolierplatte besitzt, um die
Reinigungskammer zu isolieren.
9. Halbleiterreinigungsvorrichtung nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet, daß
der Wasserreinigungsbereich eine Wasserreinigungskammer zur
Aufnahme von Reinigungswasser besitzt, dessen Level höher als
der Level der Reinigungslösung in dem Reinigungsbereich und
niedriger als die Halter der Reinigungskassette ist.
10. Halbleiterreinigungsvorrichtung nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet, daß
der Reinigungsbereich eine Düse besitzt, um reines Wasser
gegen die Halter der Reinigungskassette zu spritzen.
11. Halbleiterreinigungsvorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
der Wasserreinigungsbereich mit Wasser die durch die
Scheibenhand des Förderbereiches gehaltene Scheibe zusammen
mit der Scheibenhand reinigt.
12. Halbleiterreinigungsvorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
der Trocknungsbereich die Scheibe und die Scheibenhand des
Förderbereiches mit Dampf trocknet und den Dampf zum Trocknen
der Scheibe und den Dampf zum Trocknen der Scheibenhand
voneinander trennt.
13. Halbleiterreinigungsvorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
der Lade/Entladebereich Produktkassetten-Halterrahmen in einer
Anzahl, die größer als die Anzahl der Scheiben ist, die sich
gleichzeitig in dem Reinigungsbereich, dem Wasser
reinigungsbereich und dem Trocknungsbereich befinden, und
einen oder mehrere Scheiben-Halterrahmen besitzt.
14. Halbleiterreinigungsvorrichtung nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet, daß
der Lade/Entladebereich Produktkassetten-Halterrahmen in einer
Anzahl, die größer als die Anzahl der Reinigungskassetten ist,
die gleichzeitig in den Reinigungsbereich, den
Wasserreinigungsbereich und den Trocknungsbereich eingesetzt
werden, und ein oder mehrere Reinigungskassetten-Halterrahmen
besitzt.
15. Halbleiterreinigungsvorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
der Produkt-Einsetz/Herausnahme-Bereich Schienen, entlang
derer der Lade/Entladebereich bewegbar ist, eine Hand zum
Halten der Scheibe, eine Ausrichtungsflächen-
Ausrichtungsvorrichtung zum Ausrichten der Ausrichtungsflächen
der Scheiben, die in der Produktkassette enthalten sind, und
ein Vorsprungselement, um die Scheibe in der Produktkassette
in eine Position oberhalb der Produktkassette nach oben
vorspringen zu lassen, besitzt.
16. Halbleiterreinigungsvorrichtung nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet, daß
der Verschiebebereich Schienen, entlang derer der
Lade/Entladebereich bewegbar ist, eine Hand zum Halten der
Scheibe, eine Ausrichtungsflächen-Ausrichtungsvorrichtung zum
Ausrichten der Ausrichtungsflächen der in der Produktkassette
befindlichen Scheiben, und ein Vorsprungselement, um die
Scheibe in der Produktkassette in eine Position oberhalb der
Produktkassette vorspringen zu lassen, besitzt.
17. Halbleiterreinigungsvorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Scheibenhand des Förderbereiches eine Mehrzahl von
Scheibenhaltestangen aufweist, die parallel zueinander
angeordnet sind, und jede der Scheibenhaltestangen eine
Mehrzahl von Scheibenaufnahmerillen mit jeweils einem
Scheibenführungsbereich geneigten Querschnitts und einem
Scheibenhaltebereich, der sich an den Scheibenführungsbereich
anschließt, besitzt.
18. Halbleiterreinigungsvorrichtung nach Anspruch 2,
zu der weiterhin ein zusätzlicher Handschuh gehört, der
wahlweise an der Kassettenhand des Förderbereiches befestigbar
ist, um die Kassettenhand davor zu schützen, daß sie durch die
Reinigungslösung in dem Reinigungsbereich und das
Reinigungswasser in dem Wasserreinigungsbereich naß wird.
19. Halbleiterreinigungsvorrichtung nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Kassettenhand des Förderbereiches eine auswechselbare
Spannfutterverbindungsvorrichtung und ein auswechselbares
Spannfutter, das lösbar an der Verbindungsvorrichtung
befestigt ist, aufweist.
20. Halbleiterreinigungsvorrichtung mit:
einem Lade/Entladebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, die eine Scheibe enthält;
einem Verschiebebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, in der sich eine Scheibe befindet;
einem Reinigungsbereich zu Reinigen der der Scheibe, die in dem Verschiebebereich aus der Produktkassette herausgenommen wurde;
einem Wasserreinigungsbereich, um mit Wasser die in dem Reinigungsbereich gereinigte Scheibe zu reinigen;
einem Trocknungsbereich zum Trocknen der Scheibe, die mit Wasser in dem Wasserreinigungsbereich gereinigt worden ist;
einem Förderbereich, um die aus der Produktkassette herausgenommene Scheibe in dem Verschiebebereich nacheinander dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich und dem Trocknungsbereich zuzuführen,
wobei der Lade/Entladebereich und der Verschiebebereich in der Breitenrichtung der Reinigungsvorrichtung angeordnet sind, der Förderbereich in dem Mittelbereich der Reinigungsvorrichtung in der Längsrichtung der Reinigungsvorrichtung angeordnet ist, und der Reinigungsbereich, der Wasserreinigungsbereich und der Trocknungsbereich auf beiden Seiten des Förderbereiches angeordnet sind.
einem Lade/Entladebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, die eine Scheibe enthält;
einem Verschiebebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, in der sich eine Scheibe befindet;
einem Reinigungsbereich zu Reinigen der der Scheibe, die in dem Verschiebebereich aus der Produktkassette herausgenommen wurde;
einem Wasserreinigungsbereich, um mit Wasser die in dem Reinigungsbereich gereinigte Scheibe zu reinigen;
einem Trocknungsbereich zum Trocknen der Scheibe, die mit Wasser in dem Wasserreinigungsbereich gereinigt worden ist;
einem Förderbereich, um die aus der Produktkassette herausgenommene Scheibe in dem Verschiebebereich nacheinander dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich und dem Trocknungsbereich zuzuführen,
wobei der Lade/Entladebereich und der Verschiebebereich in der Breitenrichtung der Reinigungsvorrichtung angeordnet sind, der Förderbereich in dem Mittelbereich der Reinigungsvorrichtung in der Längsrichtung der Reinigungsvorrichtung angeordnet ist, und der Reinigungsbereich, der Wasserreinigungsbereich und der Trocknungsbereich auf beiden Seiten des Förderbereiches angeordnet sind.
21. Halbleiterreinigungsvorrichtung mit:
einem Lade/Entladebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, die eine Scheibe enthält;
einem Verschiebebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, in der sich eine Scheibe befindet;
einem Reinigungsbereich zu Reinigen der der Scheibe, die in dem Verschiebebereich aus der Produktkassette herausgenommen wurde;
einem Wasserreinigungsbereich, um mit Wasser die in dem Reinigungsbereich gereinigte Scheibe zu reinigen;
einem Trocknungsbereich zum Trocknen der Scheibe, die mit Wasser in dem Wasserreinigungsbereich gereinigt worden ist;
einem Förderbereich, um die aus der Produktkassette herausgenommene Scheibe in dem Verschiebebereich nacheinander dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich und dem Trocknungsbereich zuzuführen,
wobei der Lade/Entladebereich, der Verschiebebereich, der Reinigungsbereich, der Wasserreinigungsbereich und der Trocknungsbereich so angeordnet sind, daß sie zwei Linien bilden, und der Förderbereich entlang der Zweilinienanordnung angeordnet ist.
einem Lade/Entladebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, die eine Scheibe enthält;
einem Verschiebebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, in der sich eine Scheibe befindet;
einem Reinigungsbereich zu Reinigen der der Scheibe, die in dem Verschiebebereich aus der Produktkassette herausgenommen wurde;
einem Wasserreinigungsbereich, um mit Wasser die in dem Reinigungsbereich gereinigte Scheibe zu reinigen;
einem Trocknungsbereich zum Trocknen der Scheibe, die mit Wasser in dem Wasserreinigungsbereich gereinigt worden ist;
einem Förderbereich, um die aus der Produktkassette herausgenommene Scheibe in dem Verschiebebereich nacheinander dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich und dem Trocknungsbereich zuzuführen,
wobei der Lade/Entladebereich, der Verschiebebereich, der Reinigungsbereich, der Wasserreinigungsbereich und der Trocknungsbereich so angeordnet sind, daß sie zwei Linien bilden, und der Förderbereich entlang der Zweilinienanordnung angeordnet ist.
22. Halbleiterreinigungsvorrichtung mit:
einem Lade/Entladebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, die eine Scheibe enthält;
einem Verschiebebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, in der sich eine Scheibe befindet;
einem Reinigungsbereich zu Reinigen der der Scheibe, die in dem Verschiebebereich aus der Produktkassette herausgenommen wurde;
einem Wasserreinigungsbereich, um mit Wasser die in dem Reinigungsbereich gereinigte Scheibe zu reinigen;
einem Trocknungsbereich zum Trocknen der Scheibe, die mit Wasser in dem Wasserreinigungsbereich gereinigt worden ist;
einem Förderbereich, um die aus der Produktkassette herausgenommene Scheibe in dem Verschiebebereich nacheinander dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich und dem Trocknungsbereich zuzuführen,
wobei der Lade/Entladebereich, der Verschiebebereich, der Reinigungsbereich, der Wasserreinigungsbereich und der Trocknungsbereich um den Förderbereich herum angeordnet sind.
einem Lade/Entladebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, die eine Scheibe enthält;
einem Verschiebebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, in der sich eine Scheibe befindet;
einem Reinigungsbereich zu Reinigen der der Scheibe, die in dem Verschiebebereich aus der Produktkassette herausgenommen wurde;
einem Wasserreinigungsbereich, um mit Wasser die in dem Reinigungsbereich gereinigte Scheibe zu reinigen;
einem Trocknungsbereich zum Trocknen der Scheibe, die mit Wasser in dem Wasserreinigungsbereich gereinigt worden ist;
einem Förderbereich, um die aus der Produktkassette herausgenommene Scheibe in dem Verschiebebereich nacheinander dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich und dem Trocknungsbereich zuzuführen,
wobei der Lade/Entladebereich, der Verschiebebereich, der Reinigungsbereich, der Wasserreinigungsbereich und der Trocknungsbereich um den Förderbereich herum angeordnet sind.
23. Halbleiterreinigungsvorrichtung mit:
einem Lade/Entladebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, die eine Scheibe enthält;
einem Verschiebebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, in der sich eine Scheibe befindet;
einem Reinigungsbereich zu Reinigen der der Scheibe, die in dem Verschiebebereich aus der Produktkassette herausgenommen wurde;
einem Wasserreinigungsbereich, um mit Wasser die in dem Reinigungsbereich gereinigte Scheibe zu reinigen;
einem Trocknungsbereich zum Trocknen der Scheibe, die mit Wasser in dem Wasserreinigungsbereich gereinigt worden ist;
einem Förderbereich, um die aus der Produktkassette herausgenommene Scheibe in dem Verschiebebereich nacheinander dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich und dem Trocknungsbereich zuzuführen,
einem ersten Luftfilter zum Zuführen sauberer Luft an den Reinigungsbereich, den Wasserreinigungsbereich und den Trocknungsbereich, um Abwärtsströme an Stellen oberhalb des Reinigungsbereichs, des Wasserreinigungsbereiches und des Trocknungsbereiches zu bilden;
einem ersten Auslaßbereich, der in der Nähe jeder Kammer dem Reinigungsbereiches, des Wasserreinigungsbereiches und des Trocknungsbereiches angeordnet ist;
Temperaturerfassungsmitteln zum Erfassen der Temperatur einer Reinigungslösung in dem Reinigungsbereich und/oder der Temperatur von Dampf in dem Trocknungsbereich; und
Luftfilterzuführdruck-Änderungsmitteln zum Ändern des Luftzuführdruckes des ersten Luftfilters entsprechend der durch die Temperaturerfassungsmittel ermittelten Temperatur.
einem Lade/Entladebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, die eine Scheibe enthält;
einem Verschiebebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, in der sich eine Scheibe befindet;
einem Reinigungsbereich zu Reinigen der der Scheibe, die in dem Verschiebebereich aus der Produktkassette herausgenommen wurde;
einem Wasserreinigungsbereich, um mit Wasser die in dem Reinigungsbereich gereinigte Scheibe zu reinigen;
einem Trocknungsbereich zum Trocknen der Scheibe, die mit Wasser in dem Wasserreinigungsbereich gereinigt worden ist;
einem Förderbereich, um die aus der Produktkassette herausgenommene Scheibe in dem Verschiebebereich nacheinander dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich und dem Trocknungsbereich zuzuführen,
einem ersten Luftfilter zum Zuführen sauberer Luft an den Reinigungsbereich, den Wasserreinigungsbereich und den Trocknungsbereich, um Abwärtsströme an Stellen oberhalb des Reinigungsbereichs, des Wasserreinigungsbereiches und des Trocknungsbereiches zu bilden;
einem ersten Auslaßbereich, der in der Nähe jeder Kammer dem Reinigungsbereiches, des Wasserreinigungsbereiches und des Trocknungsbereiches angeordnet ist;
Temperaturerfassungsmitteln zum Erfassen der Temperatur einer Reinigungslösung in dem Reinigungsbereich und/oder der Temperatur von Dampf in dem Trocknungsbereich; und
Luftfilterzuführdruck-Änderungsmitteln zum Ändern des Luftzuführdruckes des ersten Luftfilters entsprechend der durch die Temperaturerfassungsmittel ermittelten Temperatur.
24. Halbleiterreinigungsvorrichtung mit:
einem Lade/Entladebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, die eine Scheibe enthält;
einem Verschiebebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, in der sich eine Scheibe befindet;
einem Reinigungsbereich zu Reinigen der der Scheibe, die in dem Verschiebebereich aus der Produktkassette herausgenommen wurde;
einem Wasserreinigungsbereich, um mit Wasser die in dem Reinigungsbereich gereinigte Scheibe zu reinigen;
einem Trocknungsbereich zum Trocknen der Scheibe, die mit Wasser in dem Wasserreinigungsbereich gereinigt worden ist;
einem Förderbereich, um die aus der Produktkassette herausgenommene Scheibe in dem Verschiebebereich nacheinander dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich und dem Trocknungsbereich zuzuführen,
einem ersten Luftfilter zum Zuführen sauberer Luft an den Reinigungsbereich, den Wasserreinigungsbereich und den Trocknungsbereich, um Abwärtsströme an Stellen oberhalb des Reinigungsbereichs, des Wasserreinigungsbereiches und des Trocknungsbereiches zu bilden;
einem ersten Auslaßbereich, der in der Nähe jeder Kammer des Reinigungsbereiches, des Wasserreinigungsbereiches und des Trocknungsbereiches angeordnet ist;
einer Platte oberhalb der Kammern, die die Bereiche oberhalb des Reinigungsbereiches, des Wasserreinigungsbereiches und des Trocknungsbereiches abdeckt und die Öffnungen direkt oberhalb der Kammern besitzt und einen Umfangsbereich mit einer Vielzahl von kleinen Öffnungen aufweist, der mit dem ersten Auslaßbereich verbunden ist; und
einer Aufnahmevorrichtung für ablaufendes Wasser, die unterhalb der Vielzahl kleiner Öffnungen der oberhalb der Kammern befindlichen Platte angeordnet ist.
einem Lade/Entladebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, die eine Scheibe enthält;
einem Verschiebebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, in der sich eine Scheibe befindet;
einem Reinigungsbereich zu Reinigen der der Scheibe, die in dem Verschiebebereich aus der Produktkassette herausgenommen wurde;
einem Wasserreinigungsbereich, um mit Wasser die in dem Reinigungsbereich gereinigte Scheibe zu reinigen;
einem Trocknungsbereich zum Trocknen der Scheibe, die mit Wasser in dem Wasserreinigungsbereich gereinigt worden ist;
einem Förderbereich, um die aus der Produktkassette herausgenommene Scheibe in dem Verschiebebereich nacheinander dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich und dem Trocknungsbereich zuzuführen,
einem ersten Luftfilter zum Zuführen sauberer Luft an den Reinigungsbereich, den Wasserreinigungsbereich und den Trocknungsbereich, um Abwärtsströme an Stellen oberhalb des Reinigungsbereichs, des Wasserreinigungsbereiches und des Trocknungsbereiches zu bilden;
einem ersten Auslaßbereich, der in der Nähe jeder Kammer des Reinigungsbereiches, des Wasserreinigungsbereiches und des Trocknungsbereiches angeordnet ist;
einer Platte oberhalb der Kammern, die die Bereiche oberhalb des Reinigungsbereiches, des Wasserreinigungsbereiches und des Trocknungsbereiches abdeckt und die Öffnungen direkt oberhalb der Kammern besitzt und einen Umfangsbereich mit einer Vielzahl von kleinen Öffnungen aufweist, der mit dem ersten Auslaßbereich verbunden ist; und
einer Aufnahmevorrichtung für ablaufendes Wasser, die unterhalb der Vielzahl kleiner Öffnungen der oberhalb der Kammern befindlichen Platte angeordnet ist.
25. Halbleiterreinigungsvorrichtung nach Anspruch 24,
gekennzeichnet durch
Temperaturerfassungsmittel zum Erfassen der Temperatur einer Reinigungslösung in dem Reinigungsbereich und/oder der Temperatur von Dampf in dem Trocknungsbereich; und
Luftfilterzuführdruck-Änderungsmittel zum Ändern des Luftzuführdruckes des ersten Luftfilters entsprechend der durch die Temperaturerfassungsmittel ermittelten Temperatur.
Temperaturerfassungsmittel zum Erfassen der Temperatur einer Reinigungslösung in dem Reinigungsbereich und/oder der Temperatur von Dampf in dem Trocknungsbereich; und
Luftfilterzuführdruck-Änderungsmittel zum Ändern des Luftzuführdruckes des ersten Luftfilters entsprechend der durch die Temperaturerfassungsmittel ermittelten Temperatur.
26. Halbleiterreinigungsvorrichtung mit:
einem Lade/Entladebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, die eine Scheibe enthält;
einem Verschiebebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, in der sich eine Scheibe befindet;
einem Reinigungsbereich zu Reinigen der der Scheibe, die in dem Verschiebebereich aus der Produktkassette herausgenommen wurde;
einem Wasserreinigungsbereich, um mit Wasser die in dem Reinigungsbereich gereinigte Scheibe zu reinigen;
einem Trocknungsbereich zum Trocknen der Scheibe, die mit Wasser in dem Wasserreinigungsbereich gereinigt worden ist;
einem Förderbereich, um die aus der Produktkassette herausgenommene Scheibe in dem Verschiebebereich nacheinander dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich und dem Trocknungsbereich zuzuführen,
einem ersten Luftfilter zum Zuführen sauberer Luft an den Reinigungsbereich, den Wasserreinigungsbereich und den Trocknungsbereich, um Abwärtsströme an Stellen oberhalb des Reinigungsbereichs, des Wasserreinigungsbereiches und des Trocknungsbereiches zu bilden;
einem ersten Auslaßbereich, der in der Nähe jeder Kammer des Reinigungsbereiches, des Wasserreinigungsbereiches und des Trocknungsbereiches angeordnet ist;
einem ersten Wärmetauscher zum Kühlen der Luft, die von dem ersten Luftfilter zu dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich und dem Trocknungsbereich geführt werden soll; und
einer ersten Kühlvorrichtung, um dem Wärmetauscher ein Kältemittel zuzuführen,
wobei in dem ersten Wärmetauscher gekühlte Luft und Aufwärtsströme natürlicher Konvektion von Dampf, der in einer Reinigungskammer des Reinigungsbereiches oder einer Dampfkammer des Trocknungsbereiches entsteht, an einer Stelle neben dem oberen Ende der Reinigungskammer oder der Dampfkammer zum Aufeinandertreffen gebracht werden, um den Dampf in der gekühlten Luft zu kondensieren und Wassernebel zu erzeugen.
einem Lade/Entladebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, die eine Scheibe enthält;
einem Verschiebebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, in der sich eine Scheibe befindet;
einem Reinigungsbereich zu Reinigen der der Scheibe, die in dem Verschiebebereich aus der Produktkassette herausgenommen wurde;
einem Wasserreinigungsbereich, um mit Wasser die in dem Reinigungsbereich gereinigte Scheibe zu reinigen;
einem Trocknungsbereich zum Trocknen der Scheibe, die mit Wasser in dem Wasserreinigungsbereich gereinigt worden ist;
einem Förderbereich, um die aus der Produktkassette herausgenommene Scheibe in dem Verschiebebereich nacheinander dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich und dem Trocknungsbereich zuzuführen,
einem ersten Luftfilter zum Zuführen sauberer Luft an den Reinigungsbereich, den Wasserreinigungsbereich und den Trocknungsbereich, um Abwärtsströme an Stellen oberhalb des Reinigungsbereichs, des Wasserreinigungsbereiches und des Trocknungsbereiches zu bilden;
einem ersten Auslaßbereich, der in der Nähe jeder Kammer des Reinigungsbereiches, des Wasserreinigungsbereiches und des Trocknungsbereiches angeordnet ist;
einem ersten Wärmetauscher zum Kühlen der Luft, die von dem ersten Luftfilter zu dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich und dem Trocknungsbereich geführt werden soll; und
einer ersten Kühlvorrichtung, um dem Wärmetauscher ein Kältemittel zuzuführen,
wobei in dem ersten Wärmetauscher gekühlte Luft und Aufwärtsströme natürlicher Konvektion von Dampf, der in einer Reinigungskammer des Reinigungsbereiches oder einer Dampfkammer des Trocknungsbereiches entsteht, an einer Stelle neben dem oberen Ende der Reinigungskammer oder der Dampfkammer zum Aufeinandertreffen gebracht werden, um den Dampf in der gekühlten Luft zu kondensieren und Wassernebel zu erzeugen.
27. Halbleiterreinigungsvorrichtung mit:
einem Lade/Entladebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, die eine Scheibe enthält;
einem Verschiebebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, in der sich eine Scheibe befindet;
einem Reinigungsbereich zu Reinigen der der Scheibe, die in dem Verschiebebereich aus der Produktkassette herausgenommen wurde;
einem Wasserreinigungsbereich, um mit Wasser die in dem Reinigungsbereich gereinigte Scheibe zu reinigen;
einem Trocknungsbereich zum Trocknen der Scheibe, die mit Wasser in dem Wasserreinigungsbereich gereinigt worden ist;
einem Förderbereich, um die aus der Produktkassette herausgenommene Scheibe in dem Verschiebebereich nacheinander dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich und dem Trocknungsbereich zuzuführen,
einem ersten Luftfilter zum Zuführen sauberer Luft an den Reinigungsbereich, den Wasserreinigungsbereich und den Trocknungsbereich, um Abwärtsströme an Stellen oberhalb des Reinigungsbereichs, des Wasserreinigungsbereiches und des Trocknungsbereiches zu bilden;
einem ersten Auslaßbereich, der in der Nähe jeder Kammer des Reinigungsbereiches, des Wasserreinigungsbereiches und des Trocknungsbereiches angeordnet ist; und
einer ersten Doppel-Fluiddüse, die reines Wasser unter Verwendung sauberer Luft oder eines Inaktiv-Gases als ein zweites Fluid versprüht, um Reinwassernebel zu erzeugen, der mit den Abwärtsströmen vermischt wird.
einem Lade/Entladebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, die eine Scheibe enthält;
einem Verschiebebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, in der sich eine Scheibe befindet;
einem Reinigungsbereich zu Reinigen der der Scheibe, die in dem Verschiebebereich aus der Produktkassette herausgenommen wurde;
einem Wasserreinigungsbereich, um mit Wasser die in dem Reinigungsbereich gereinigte Scheibe zu reinigen;
einem Trocknungsbereich zum Trocknen der Scheibe, die mit Wasser in dem Wasserreinigungsbereich gereinigt worden ist;
einem Förderbereich, um die aus der Produktkassette herausgenommene Scheibe in dem Verschiebebereich nacheinander dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich und dem Trocknungsbereich zuzuführen,
einem ersten Luftfilter zum Zuführen sauberer Luft an den Reinigungsbereich, den Wasserreinigungsbereich und den Trocknungsbereich, um Abwärtsströme an Stellen oberhalb des Reinigungsbereichs, des Wasserreinigungsbereiches und des Trocknungsbereiches zu bilden;
einem ersten Auslaßbereich, der in der Nähe jeder Kammer des Reinigungsbereiches, des Wasserreinigungsbereiches und des Trocknungsbereiches angeordnet ist; und
einer ersten Doppel-Fluiddüse, die reines Wasser unter Verwendung sauberer Luft oder eines Inaktiv-Gases als ein zweites Fluid versprüht, um Reinwassernebel zu erzeugen, der mit den Abwärtsströmen vermischt wird.
28. Halbleiterreinigungsvorrichtung mit:
einem Lade/Entladebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, die eine Scheibe enthält;
einem Verschiebebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, in der sich eine Scheibe befindet;
einem Reinigungsbereich zu Reinigen der der Scheibe, die in dem Verschiebebereich aus der Produktkassette herausgenommen wurde;
einem Wasserreinigungsbereich, um mit Wasser die in dem Reinigungsbereich gereinigte Scheibe zu reinigen;
einem Trocknungsbereich zum Trocknen der Scheibe, die mit Wasser in dem Wasserreinigungsbereich gereinigt worden ist;
einem Förderbereich, um die aus der Produktkassette herausgenommene Scheibe in dem Verschiebebereich nacheinander dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich und dem Trocknungsbereich zuzuführen,
einem ersten Luftfilter zum Zuführen sauberer Luft an den Reinigungsbereich, den Wasserreinigungsbereich und den Trocknungsbereich, um Abwärtsströme an Stellen oberhalb des Reinigungsbereichs, des Wasserreinigungsbereiches und des Trocknungsbereiches zu bilden;
einem Luftvorhang-Gebläsemittel mit einer Ausblasöffnung, das oberhalb der Reinigungskammer des Reinigungsbereiches und einer Dampfkammer des Trocknungsbereiches entlang einer Seite der Kammer ausgebildet ist und einen Luftvorhang in horizontaler Richtung, die der Breitenrichtung entspricht, aus der Ausblasöffnung in Richtung einer anderen Seite der Kammer ausbläst;
einem Luftvorhang-Auslaßmittel mit einer Ansaugöffnung, das in gleicher Weise in der Breitenrichtung einer anderen Seite der Reinigungskammer des Reinigungsbereiches und der Dampfkammer des Trocknungsbereiches ausgebildet ist, um den durch die Ansaugöffnung angesaugten Luftvorhang abzuführen; und
einem Rektifiziermittel, das in der Ausblasöffnung des Luftvorhang-Gebläsemittels angeordnet ist, um den Luftvorhang als Strömungsschicht mit einer Länge in der Richtung der Passage, die allmählig im Verhältnis zu dem Abstand von der Reinigungskammer und der Dampfkammer kürzer wird, auszublasen, wobei die Geschwindigkeitsverteilung im umgekehrten Verhältnis zu dem Abstand von der Kammer allmählich ansteigt.
einem Lade/Entladebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, die eine Scheibe enthält;
einem Verschiebebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, in der sich eine Scheibe befindet;
einem Reinigungsbereich zu Reinigen der der Scheibe, die in dem Verschiebebereich aus der Produktkassette herausgenommen wurde;
einem Wasserreinigungsbereich, um mit Wasser die in dem Reinigungsbereich gereinigte Scheibe zu reinigen;
einem Trocknungsbereich zum Trocknen der Scheibe, die mit Wasser in dem Wasserreinigungsbereich gereinigt worden ist;
einem Förderbereich, um die aus der Produktkassette herausgenommene Scheibe in dem Verschiebebereich nacheinander dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich und dem Trocknungsbereich zuzuführen,
einem ersten Luftfilter zum Zuführen sauberer Luft an den Reinigungsbereich, den Wasserreinigungsbereich und den Trocknungsbereich, um Abwärtsströme an Stellen oberhalb des Reinigungsbereichs, des Wasserreinigungsbereiches und des Trocknungsbereiches zu bilden;
einem Luftvorhang-Gebläsemittel mit einer Ausblasöffnung, das oberhalb der Reinigungskammer des Reinigungsbereiches und einer Dampfkammer des Trocknungsbereiches entlang einer Seite der Kammer ausgebildet ist und einen Luftvorhang in horizontaler Richtung, die der Breitenrichtung entspricht, aus der Ausblasöffnung in Richtung einer anderen Seite der Kammer ausbläst;
einem Luftvorhang-Auslaßmittel mit einer Ansaugöffnung, das in gleicher Weise in der Breitenrichtung einer anderen Seite der Reinigungskammer des Reinigungsbereiches und der Dampfkammer des Trocknungsbereiches ausgebildet ist, um den durch die Ansaugöffnung angesaugten Luftvorhang abzuführen; und
einem Rektifiziermittel, das in der Ausblasöffnung des Luftvorhang-Gebläsemittels angeordnet ist, um den Luftvorhang als Strömungsschicht mit einer Länge in der Richtung der Passage, die allmählig im Verhältnis zu dem Abstand von der Reinigungskammer und der Dampfkammer kürzer wird, auszublasen, wobei die Geschwindigkeitsverteilung im umgekehrten Verhältnis zu dem Abstand von der Kammer allmählich ansteigt.
29. Halbleiterreinigungsvorrichtung nach Anspruch 28,
gekennzeichnet durch
einen ersten Luftfilter zum Zuführen sauberer Luft an den Reinigungsbereich, den Wasserreinigungsbereich und den Trocknungsbereich, um Abwärtsströme an Stellen oberhalb des Reinigungsbereichs, des Wasserreinigungsbereiches und des Trocknungsbereiches zu bilden; und
einen ersten Auslaßbereich, der in der Nähe jeder Kammer des Reinigungsbereiches, des Wasserreinigungsbereiches und des Trocknungsbereiches angeordnet ist.
einen ersten Luftfilter zum Zuführen sauberer Luft an den Reinigungsbereich, den Wasserreinigungsbereich und den Trocknungsbereich, um Abwärtsströme an Stellen oberhalb des Reinigungsbereichs, des Wasserreinigungsbereiches und des Trocknungsbereiches zu bilden; und
einen ersten Auslaßbereich, der in der Nähe jeder Kammer des Reinigungsbereiches, des Wasserreinigungsbereiches und des Trocknungsbereiches angeordnet ist.
30. Halbleiterreinigungsvorrichtung mit:
einem Lade/Entladebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, die eine Scheibe enthält;
einem Verschiebebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, in der sich eine Scheibe befindet;
einem Reinigungsbereich zu Reinigen der der Scheibe, die in dem Verschiebebereich aus der Produktkassette herausgenommen wurde;
einem Wasserreinigungsbereich, um mit Wasser die in dem Reinigungsbereich gereinigte Scheibe zu reinigen;
einem Trocknungsbereich zum Trocknen der Scheibe, die mit Wasser in dem Wasserreinigungsbereich gereinigt worden ist;
einem Förderbereich, um die aus der Produktkassette herausgenommene Scheibe in dem Verschiebebereich nacheinander dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich und dem Trocknungsbereich zuzuführen,
einem ersten Luftfilter zum Zuführen sauberer Luft an den Reinigungsbereich, den Wasserreinigungsbereich und den Trocknungsbereich, um Abwärtsströme an Stellen oberhalb des Reinigungsbereichs, des Wasserreinigungsbereiches und des Trocknungsbereiches zu bilden;
einem Luftvorhang-Gebläsemittel mit einer Ausblasöffnung, das oberhalb der Reinigungskammer des Reinigungsbereiches und einer Dampfkammer des Trocknungsbereiches entlang einer Seite der Kammer ausgebildet ist und einen Luftvorhang in horizontaler Richtung, die der Breitenrichtung entspricht, aus der Ausblasöffnung in Richtung einer anderen Seite der Kammer ausbläst;
einem Luftvorhang-Auslaßmittel mit einer Ansaugöffnung, das in gleicher Weise in der Breitenrichtung einer anderen Seite der Reinigungskammer des Reinigungsbereiches und der Dampfkammer des Trocknungsbereiches ausgebildet ist, um den durch die Ansausöffnung angesaugten Luftvorhang abzuführen; und
Temperaturerfassungsmitteln zum Erfassen der Temperatur einer Reinigungslösung in dem Reinigungsbereich und/oder der Temperatur von Dampf in dem Trocknungsbereich; und
Luftfilterzuführdruck-Änderungsmitteln zum Ändern des Luftzuführdruckes des ersten Luftfilters entsprechend der durch die Temperaturerfassungsmittel ermittelten Temperatur.
einem Lade/Entladebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, die eine Scheibe enthält;
einem Verschiebebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, in der sich eine Scheibe befindet;
einem Reinigungsbereich zu Reinigen der der Scheibe, die in dem Verschiebebereich aus der Produktkassette herausgenommen wurde;
einem Wasserreinigungsbereich, um mit Wasser die in dem Reinigungsbereich gereinigte Scheibe zu reinigen;
einem Trocknungsbereich zum Trocknen der Scheibe, die mit Wasser in dem Wasserreinigungsbereich gereinigt worden ist;
einem Förderbereich, um die aus der Produktkassette herausgenommene Scheibe in dem Verschiebebereich nacheinander dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich und dem Trocknungsbereich zuzuführen,
einem ersten Luftfilter zum Zuführen sauberer Luft an den Reinigungsbereich, den Wasserreinigungsbereich und den Trocknungsbereich, um Abwärtsströme an Stellen oberhalb des Reinigungsbereichs, des Wasserreinigungsbereiches und des Trocknungsbereiches zu bilden;
einem Luftvorhang-Gebläsemittel mit einer Ausblasöffnung, das oberhalb der Reinigungskammer des Reinigungsbereiches und einer Dampfkammer des Trocknungsbereiches entlang einer Seite der Kammer ausgebildet ist und einen Luftvorhang in horizontaler Richtung, die der Breitenrichtung entspricht, aus der Ausblasöffnung in Richtung einer anderen Seite der Kammer ausbläst;
einem Luftvorhang-Auslaßmittel mit einer Ansaugöffnung, das in gleicher Weise in der Breitenrichtung einer anderen Seite der Reinigungskammer des Reinigungsbereiches und der Dampfkammer des Trocknungsbereiches ausgebildet ist, um den durch die Ansausöffnung angesaugten Luftvorhang abzuführen; und
Temperaturerfassungsmitteln zum Erfassen der Temperatur einer Reinigungslösung in dem Reinigungsbereich und/oder der Temperatur von Dampf in dem Trocknungsbereich; und
Luftfilterzuführdruck-Änderungsmitteln zum Ändern des Luftzuführdruckes des ersten Luftfilters entsprechend der durch die Temperaturerfassungsmittel ermittelten Temperatur.
31. Halbleiterreinigungsvorrichtung mit:
einem Lade/Entladebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, die eine Scheibe enthält;
einem Verschiebebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, in der sich eine Scheibe befindet;
einem Reinigungsbereich zu Reinigen der der Scheibe, die in dem Verschiebebereich aus der Produktkassette herausgenommen wurde;
einem Wasserreinigungsbereich, um mit Wasser die in dem Reinigungsbereich gereinigte Scheibe zu reinigen;
einem Trocknungsbereich zum Trocknen der Scheibe, die mit Wasser in dem Wasserreinigungsbereich gereinigt worden ist;
einem Förderbereich, um die aus der Produktkassette herausgenommene Scheibe in dem Verschiebebereich nacheinander dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich und dem Trocknungsbereich zuzuführen,
einem ersten Luftfilter zum Zuführen sauberer Luft an den Reinigungsbereich, den Wasserreinigungsbereich und den Trocknungsbereich, um Abwärtsströme an Stellen oberhalb des Reinigungsbereichs, des Wasserreinigungsbereiches und des Trocknungsbereiches zu bilden;
einem Luftvorhang-Gebläsemittel mit einer Ausblasöffnung, das oberhalb der Reinigungskammer des Reinigungsbereiches und einer Dampfkammer des Trocknungsbereiches entlang einer Seite der Kammer ausgebildet ist und einen Luftvorhang in horizontaler Richtung, die der Breitenrichtung entspricht, aus der Ausblasöffnung in Richtung einer anderen Seite der Kammer ausbläst;
einem Luftvorhang-Auslaßmittel mit einer Ansaugöffnung, das in gleicher Weise in der Breitenrichtung einer anderen Seite der Reinigungskammer des Reinigungsbereiches und der Dampfkammer des Trocknungsbereiches ausgebildet ist, um den durch die Ansausöffnung angesaugten Luftvorhang abzuführen;
einem zweiten Wärmetauscher zum Kühlen der Luft, die von dem ersten Luftfilter zu dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich und dem Trocknungsbereich geführt werden soll; und
einer zweiten Kühlvorrichtung, um dem Wärmetauscher ein Kältemittel zuzuführen,
wobei in dem zweiten Wärmetauscher gekühlte Luft und Aufwärtsströme natürlicher Konvektion von Dampf, der in einer Reinigungskammer des Reinigungsbereiches oder einer Dampfkammer des Trocknungsbereiches entsteht, an einer Stelle neben dem oberen Ende der Reinigungskammer oder der Dampfkammer zum Aufeinandertreffen gebracht werden, um den Dampf in der gekühlten Luft zu kondensieren und Wassernebel zu erzeugen.
einem Lade/Entladebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, die eine Scheibe enthält;
einem Verschiebebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, in der sich eine Scheibe befindet;
einem Reinigungsbereich zu Reinigen der der Scheibe, die in dem Verschiebebereich aus der Produktkassette herausgenommen wurde;
einem Wasserreinigungsbereich, um mit Wasser die in dem Reinigungsbereich gereinigte Scheibe zu reinigen;
einem Trocknungsbereich zum Trocknen der Scheibe, die mit Wasser in dem Wasserreinigungsbereich gereinigt worden ist;
einem Förderbereich, um die aus der Produktkassette herausgenommene Scheibe in dem Verschiebebereich nacheinander dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich und dem Trocknungsbereich zuzuführen,
einem ersten Luftfilter zum Zuführen sauberer Luft an den Reinigungsbereich, den Wasserreinigungsbereich und den Trocknungsbereich, um Abwärtsströme an Stellen oberhalb des Reinigungsbereichs, des Wasserreinigungsbereiches und des Trocknungsbereiches zu bilden;
einem Luftvorhang-Gebläsemittel mit einer Ausblasöffnung, das oberhalb der Reinigungskammer des Reinigungsbereiches und einer Dampfkammer des Trocknungsbereiches entlang einer Seite der Kammer ausgebildet ist und einen Luftvorhang in horizontaler Richtung, die der Breitenrichtung entspricht, aus der Ausblasöffnung in Richtung einer anderen Seite der Kammer ausbläst;
einem Luftvorhang-Auslaßmittel mit einer Ansaugöffnung, das in gleicher Weise in der Breitenrichtung einer anderen Seite der Reinigungskammer des Reinigungsbereiches und der Dampfkammer des Trocknungsbereiches ausgebildet ist, um den durch die Ansausöffnung angesaugten Luftvorhang abzuführen;
einem zweiten Wärmetauscher zum Kühlen der Luft, die von dem ersten Luftfilter zu dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich und dem Trocknungsbereich geführt werden soll; und
einer zweiten Kühlvorrichtung, um dem Wärmetauscher ein Kältemittel zuzuführen,
wobei in dem zweiten Wärmetauscher gekühlte Luft und Aufwärtsströme natürlicher Konvektion von Dampf, der in einer Reinigungskammer des Reinigungsbereiches oder einer Dampfkammer des Trocknungsbereiches entsteht, an einer Stelle neben dem oberen Ende der Reinigungskammer oder der Dampfkammer zum Aufeinandertreffen gebracht werden, um den Dampf in der gekühlten Luft zu kondensieren und Wassernebel zu erzeugen.
32. Halbleiterreinigungsvorrichtung mit:
einem Lade/Entladebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, die eine Scheibe enthält;
einem Verschiebebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, in der sich eine Scheibe befindet;
einem Reinigungsbereich zu Reinigen der der Scheibe, die in dem Verschiebebereich aus der Produktkassette herausgenommen wurde;
einem Wasserreinigungsbereich, um mit Wasser die in dem Reinigungsbereich gereinigte Scheibe zu reinigen;
einem Trocknungsbereich zum Trocknen der Scheibe, die mit Wasser in dem Wasserreinigungsbereich gereinigt worden ist;
einem Förderbereich, um die aus der Produktkassette herausgenommene Scheibe in dem Verschiebebereich nacheinander dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich und dem Trocknungsbereich zuzuführen,
einem ersten Luftfilter zum Zuführen sauberer Luft an den Reinigungsbereich, den Wasserreinigungsbereich und den Trocknungsbereich, um Abwärtsströme an Stellen oberhalb des Reinigungsbereichs, des Wasserreinigungsbereiches und des Trocknungsbereiches zu bilden;
einem Luftvorhang-Gebläsemittel mit einer Ausblasöffnung, das oberhalb der Reinigungskammer des Reinigungsbereiches und einer Dampfkammer des Trocknungsbereiches entlang einer Seite der Kammer ausgebildet ist und einen Luftvorhang in horizontaler Richtung, die der Breitenrichtung entspricht, aus der Ausblasöffnung in Richtung einer anderen Seite der Kammer ausbläst;
einem Luftvorhang-Auslaßmittel mit einer Ansaugöffnung, das in gleicher Weise in der Breitenrichtung einer anderen Seite der Reinigungskammer des Reinigungsbereiches und der Dampfkammer des Trocknungsbereiches ausgebildet ist, um den durch die Ansausöffnung angesaugten Luftvorhang abzuführen; und
einer Doppel-Fluiddüse, die reines Wasser unter Verwendung sauberer Luft oder eines Inaktiv-Gases als ein zweites Fluid versprüht, um Reinwassernebel zu erzeugen, der in den von dem Luftvorhang-Ausblasmittel ausgeblasenen Luftvorhang mischt.
einem Lade/Entladebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, die eine Scheibe enthält;
einem Verschiebebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, in der sich eine Scheibe befindet;
einem Reinigungsbereich zu Reinigen der der Scheibe, die in dem Verschiebebereich aus der Produktkassette herausgenommen wurde;
einem Wasserreinigungsbereich, um mit Wasser die in dem Reinigungsbereich gereinigte Scheibe zu reinigen;
einem Trocknungsbereich zum Trocknen der Scheibe, die mit Wasser in dem Wasserreinigungsbereich gereinigt worden ist;
einem Förderbereich, um die aus der Produktkassette herausgenommene Scheibe in dem Verschiebebereich nacheinander dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich und dem Trocknungsbereich zuzuführen,
einem ersten Luftfilter zum Zuführen sauberer Luft an den Reinigungsbereich, den Wasserreinigungsbereich und den Trocknungsbereich, um Abwärtsströme an Stellen oberhalb des Reinigungsbereichs, des Wasserreinigungsbereiches und des Trocknungsbereiches zu bilden;
einem Luftvorhang-Gebläsemittel mit einer Ausblasöffnung, das oberhalb der Reinigungskammer des Reinigungsbereiches und einer Dampfkammer des Trocknungsbereiches entlang einer Seite der Kammer ausgebildet ist und einen Luftvorhang in horizontaler Richtung, die der Breitenrichtung entspricht, aus der Ausblasöffnung in Richtung einer anderen Seite der Kammer ausbläst;
einem Luftvorhang-Auslaßmittel mit einer Ansaugöffnung, das in gleicher Weise in der Breitenrichtung einer anderen Seite der Reinigungskammer des Reinigungsbereiches und der Dampfkammer des Trocknungsbereiches ausgebildet ist, um den durch die Ansausöffnung angesaugten Luftvorhang abzuführen; und
einer Doppel-Fluiddüse, die reines Wasser unter Verwendung sauberer Luft oder eines Inaktiv-Gases als ein zweites Fluid versprüht, um Reinwassernebel zu erzeugen, der in den von dem Luftvorhang-Ausblasmittel ausgeblasenen Luftvorhang mischt.
33. Halbleiterreinigungsvorrichtung mit:
einem Lade/Entladebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, die eine Scheibe enthält;
einem Verschiebebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, in der sich eine Scheibe befindet;
einem Reinigungsbereich zu Reinigen der der Scheibe, die in dem Verschiebebereich aus der Produktkassette herausgenommen wurde;
einem Wasserreinigungsbereich, um mit Wasser die in dem Reinigungsbereich gereinigte Scheibe zu reinigen;
einem Trocknungsbereich zum Trocknen der Scheibe, die mit Wasser in dem Wasserreinigungsbereich gereinigt worden ist;
einem Förderbereich, um die aus der Produktkassette herausgenommene Scheibe in dem Verschiebebereich nacheinander dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich und dem Trocknungsbereich zuzuführen,
einem zweiten Luftfilter zum Zuführen sauberer Luft an den Förderbereich; und
einem zweiten Auslaßbereich zum Abführen von Luft aus dem Förderbereich.
einem Lade/Entladebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, die eine Scheibe enthält;
einem Verschiebebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, in der sich eine Scheibe befindet;
einem Reinigungsbereich zu Reinigen der der Scheibe, die in dem Verschiebebereich aus der Produktkassette herausgenommen wurde;
einem Wasserreinigungsbereich, um mit Wasser die in dem Reinigungsbereich gereinigte Scheibe zu reinigen;
einem Trocknungsbereich zum Trocknen der Scheibe, die mit Wasser in dem Wasserreinigungsbereich gereinigt worden ist;
einem Förderbereich, um die aus der Produktkassette herausgenommene Scheibe in dem Verschiebebereich nacheinander dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich und dem Trocknungsbereich zuzuführen,
einem zweiten Luftfilter zum Zuführen sauberer Luft an den Förderbereich; und
einem zweiten Auslaßbereich zum Abführen von Luft aus dem Förderbereich.
34. Halbleiterreinigungsvorrichtung nach Anspruch 33,
gekennzeichnet durch
einen ersten Luftfilter zum Zuführen sauberer Luft an den Reinigungsbereich, den Wasserreinigungsbereich und den Trocknungsbereich, um Abwärtsströme an Stellen oberhalb des Reinigungsbereichs, des Wasserreinigungsbereiches und des Trocknungsbereiches zu bilden; und
einen ersten Auslaßbereich, der in der Nähe jeder Kammer des Reinigungsbereiches, des Wasserreinigungsbereiches und des Trocknungsbereiches angeordnet ist.
einen ersten Luftfilter zum Zuführen sauberer Luft an den Reinigungsbereich, den Wasserreinigungsbereich und den Trocknungsbereich, um Abwärtsströme an Stellen oberhalb des Reinigungsbereichs, des Wasserreinigungsbereiches und des Trocknungsbereiches zu bilden; und
einen ersten Auslaßbereich, der in der Nähe jeder Kammer des Reinigungsbereiches, des Wasserreinigungsbereiches und des Trocknungsbereiches angeordnet ist.
35. Halbleiterreinigungsvorrichtung nach Anspruch 34,
dadurch gekennzeichnet, daß
der zweite Luftfilter Luft mit einem Luftzuführdruck, der
höher als der Luftzuführdruck des ersten Luftfilters liegt,
zuführt.
36. Halbleiterreinigungsvorrichtung nach Anspruch 33,
gekennzeichnet durch
ein Luftvorhang-Gebläsemittel mit einer Ausblasöffnung, das
oberhalb der Reinigungskammer des Reinigungsbereiches und
einer Dampfkammer des Trocknungsbereiches entlang einer Seite
der Kammer ausgebildet ist und einen Luftvorhang in
horizontaler Richtung, die der Breitenrichtung entspricht, aus
der Ausblasöffnung in Richtung einer anderen Seite der Kammer
ausbläst; und
ein Luftvorhang-Auslaßmittel mit einer Ansaugöffnung, das in gleicher Weise in der Breitenrichtung einer anderen Seite der Reinigungskammer des Reinigungsbereiches und der Dampfkammer des Trocknungsbereiches ausgebildet ist, um den durch die Ansausöffnung angesaugten Luftvorhang abzuführen.
ein Luftvorhang-Auslaßmittel mit einer Ansaugöffnung, das in gleicher Weise in der Breitenrichtung einer anderen Seite der Reinigungskammer des Reinigungsbereiches und der Dampfkammer des Trocknungsbereiches ausgebildet ist, um den durch die Ansausöffnung angesaugten Luftvorhang abzuführen.
37. Halbleiterreinigungsvorrichtung mit:
einem Lade/Entladebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, die eine Scheibe enthält;
einem Verschiebebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, in der sich eine Scheibe befindet;
einem Reinigungsbereich zu Reinigen der der Scheibe, die in dem Verschiebebereich aus der Produktkassette herausgenommen wurde;
einem Wasserreinigungsbereich, um mit Wasser die in dem Reinigungsbereich gereinigte Scheibe zu reinigen;
einem Trocknungsbereich zum Trocknen der Scheibe, die mit Wasser in dem Wasserreinigungsbereich gereinigt worden ist;
einem Förderbereich, um die aus der Produktkassette herausgenommene Scheibe in dem Verschiebebereich nacheinander dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich und dem Trocknungsbereich zuzuführen,
einem Gaszuführbereich, der gasförmiges Fluid durch einen zwischen dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich oder dem Trocknungsbereich und dem Förderbereich gebildeten Spalt in den Förderbereich führt, um einen positiven Druck in dem Förderbereich herzustellen; und
einem vierten Auslaßbereich zum Abführen eines Teils des von dem Gaszuführbereich zugeführten Gases aus dem unteren Bereich des Förderbereiches.
einem Lade/Entladebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, die eine Scheibe enthält;
einem Verschiebebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, in der sich eine Scheibe befindet;
einem Reinigungsbereich zu Reinigen der der Scheibe, die in dem Verschiebebereich aus der Produktkassette herausgenommen wurde;
einem Wasserreinigungsbereich, um mit Wasser die in dem Reinigungsbereich gereinigte Scheibe zu reinigen;
einem Trocknungsbereich zum Trocknen der Scheibe, die mit Wasser in dem Wasserreinigungsbereich gereinigt worden ist;
einem Förderbereich, um die aus der Produktkassette herausgenommene Scheibe in dem Verschiebebereich nacheinander dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich und dem Trocknungsbereich zuzuführen,
einem Gaszuführbereich, der gasförmiges Fluid durch einen zwischen dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich oder dem Trocknungsbereich und dem Förderbereich gebildeten Spalt in den Förderbereich führt, um einen positiven Druck in dem Förderbereich herzustellen; und
einem vierten Auslaßbereich zum Abführen eines Teils des von dem Gaszuführbereich zugeführten Gases aus dem unteren Bereich des Förderbereiches.
38. Halbleiterreinigungsvorrichtung mit:
einem Lade/Entladebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, die eine Scheibe enthält;
einem Verschiebebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, in der sich eine Scheibe befindet;
einem Reinigungsbereich zu Reinigen der der Scheibe, die in dem Verschiebebereich aus der Produktkassette herausgenommen wurde;
einem Wasserreinigungsbereich, um mit Wasser die in dem Reinigungsbereich gereinigte Scheibe zu reinigen;
einem Trocknungsbereich zum Trocknen der Scheibe, die mit Wasser in dem Wasserreinigungsbereich gereinigt worden ist;
einem Förderbereich, um die aus der Produktkassette herausgenommene Scheibe in dem Verschiebebereich nacheinander dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich und dem Trocknungsbereich zuzuführen; und
einem fünften Auslaßbereich, um Luft von dem Ende der Bahnkurve des Förderbereiches abzuführen.
einem Lade/Entladebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, die eine Scheibe enthält;
einem Verschiebebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, in der sich eine Scheibe befindet;
einem Reinigungsbereich zu Reinigen der der Scheibe, die in dem Verschiebebereich aus der Produktkassette herausgenommen wurde;
einem Wasserreinigungsbereich, um mit Wasser die in dem Reinigungsbereich gereinigte Scheibe zu reinigen;
einem Trocknungsbereich zum Trocknen der Scheibe, die mit Wasser in dem Wasserreinigungsbereich gereinigt worden ist;
einem Förderbereich, um die aus der Produktkassette herausgenommene Scheibe in dem Verschiebebereich nacheinander dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich und dem Trocknungsbereich zuzuführen; und
einem fünften Auslaßbereich, um Luft von dem Ende der Bahnkurve des Förderbereiches abzuführen.
39. Halbleiterreinigungsvorrichtung mit:
einem Lade/Entladebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, die eine Scheibe enthält;
einem Verschiebebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, in der sich eine Scheibe befindet;
einem Reinigungsbereich zu Reinigen der der Scheibe, die in dem Verschiebebereich aus der Produktkassette herausgenommen wurde;
einem Wasserreinigungsbereich, um mit Wasser die in dem Reinigungsbereich gereinigte Scheibe zu reinigen;
einem Trocknungsbereich zum Trocknen der Scheibe, die mit Wasser in dem Wasserreinigungsbereich gereinigt worden ist;
einem Förderbereich, um die aus der Produktkassette herausgenommene Scheibe in dem Verschiebebereich nacheinander dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich und dem Trocknungsbereich zuzuführen,
einer Außenwandung der Reinigungsvorrichtung zum Abdecken eines jeden Bereiches; und
einem sechsten Auslaßbereich, um Luft zwischen dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich oder dem Trocknungsbereich und der Außenwandung abzuführen.
einem Lade/Entladebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, die eine Scheibe enthält;
einem Verschiebebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, in der sich eine Scheibe befindet;
einem Reinigungsbereich zu Reinigen der der Scheibe, die in dem Verschiebebereich aus der Produktkassette herausgenommen wurde;
einem Wasserreinigungsbereich, um mit Wasser die in dem Reinigungsbereich gereinigte Scheibe zu reinigen;
einem Trocknungsbereich zum Trocknen der Scheibe, die mit Wasser in dem Wasserreinigungsbereich gereinigt worden ist;
einem Förderbereich, um die aus der Produktkassette herausgenommene Scheibe in dem Verschiebebereich nacheinander dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich und dem Trocknungsbereich zuzuführen,
einer Außenwandung der Reinigungsvorrichtung zum Abdecken eines jeden Bereiches; und
einem sechsten Auslaßbereich, um Luft zwischen dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich oder dem Trocknungsbereich und der Außenwandung abzuführen.
40. Halbleiterreinigungsvorrichtung mit:
einem Lade/Entladebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, die eine Scheibe enthält;
einem Verschiebebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, in der sich eine Scheibe befindet;
einem Reinigungsbereich zu Reinigen der der Scheibe, die in dem Verschiebebereich aus der Produktkassette herausgenommen wurde;
einem Wasserreinigungsbereich, um mit Wasser die in dem Reinigungsbereich gereinigte Scheibe zu reinigen;
einem Trocknungsbereich zum Trocknen der Scheibe, die mit Wasser in dem Wasserreinigungsbereich gereinigt worden ist;
einem Förderbereich, um die aus der Produktkassette herausgenommene Scheibe in dem Verschiebebereich nacheinander dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich und dem Trocknungsbereich zuzuführen;
einer abgedichteten Kammer zum Abdichten des Reinigungsbereiches, des Wasserreinigungsbereiches, des Trocknungsbereiches und des Förderbereiches; und
einem Fensteraufbau, um die aus der Produktkassette herausgenommene Scheibe in dem Verschiebebereich in die abgedichtete Kammer einzusetzen oder aus dieser heraus zunehmen.
einem Lade/Entladebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, die eine Scheibe enthält;
einem Verschiebebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, in der sich eine Scheibe befindet;
einem Reinigungsbereich zu Reinigen der der Scheibe, die in dem Verschiebebereich aus der Produktkassette herausgenommen wurde;
einem Wasserreinigungsbereich, um mit Wasser die in dem Reinigungsbereich gereinigte Scheibe zu reinigen;
einem Trocknungsbereich zum Trocknen der Scheibe, die mit Wasser in dem Wasserreinigungsbereich gereinigt worden ist;
einem Förderbereich, um die aus der Produktkassette herausgenommene Scheibe in dem Verschiebebereich nacheinander dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich und dem Trocknungsbereich zuzuführen;
einer abgedichteten Kammer zum Abdichten des Reinigungsbereiches, des Wasserreinigungsbereiches, des Trocknungsbereiches und des Förderbereiches; und
einem Fensteraufbau, um die aus der Produktkassette herausgenommene Scheibe in dem Verschiebebereich in die abgedichtete Kammer einzusetzen oder aus dieser heraus zunehmen.
41. Halbleiterreinigungsvorrichtung nach Anspruch 40,
dadurch gekennzeichnet, daß
der Fensteraufbau einen Außenrahmen zum Unterteilen des in der
abgedichteten Kammer gebildeten Öffnungsbereiches, eine Tür,
die verschiebbar an dem Außenrahmen befestigt ist, ein
Führungselement, um die Tür zu verschieben und dabei einen
Kontakt zwischen der Tür und dem Außenrahmen zu verhindern,
und eine in dem Außenrahmen gebildete Auslaßöffnung aufweist.
42. Halbleiterreinigungsvorrichtung nach Anspruch 40,
gekennzeichnet durch
eine Ladungsverschlußkammer, die an der Außenseite des
Fensteraufbaus ausgebildet ist, wobei die
Ladungsverschlußkammer geöffnet und geschlossen werden kann.
43. Halbleiterreinigungsvorrichtung nach Anspruch 40,
gekennzeichnet durch
eine Isolierplatte, um den Fensteraufbau von einem Bereich
neben dem Lade/Entladebereich her zu umgeben, wobei die
Isolierplatte geöffnet und geschlossen werden kann.
44. Halbleiterreinigungsvorrichtung nach Anspruch 42,
gekennzeichnet durch
einen dritten Luftfilter zum Zuführen von sauberer Luft an die
Ladungsverschlußkammer und einen dritten Auslaßbereich zum
Abführen von Luft aus der Ladungsverschlußkammer.
45. Halbleiterreinigungsvorrichtung nach Anspruch 44,
dadurch gekennzeichnet, daß
der dritte Luftfilter auf einen Luftzuführdruck eingestellt
ist, der mit der Atmosphäre in der abgedichteten Kammer im
Gleichgewicht steht, wenn der Fensteraufbau geöffnet ist, und
auf einen Luftzuführdruck einstellbar ist, der mit der
Atmosphäre an der Außenseite der abgedichteten Kammer im
Gleichgewicht steht.
46. Halbleiterreinigungsvorrichtung mit:
einem Lade/Entladebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, die eine Scheibe enthält;
einem Verschiebebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, in der sich eine Scheibe befindet;
einem Reinigungsbereich zu Reinigen der der Scheibe, die in dem Verschiebebereich aus der Produktkassette herausgenommen wurde;
einem Wasserreinigungsbereich, um mit Wasser die in dem Reinigungsbereich gereinigte Scheibe zu reinigen;
einem Trocknungsbereich zum Trocknen der Scheibe, die mit Wasser in dem Wasserreinigungsbereich gereinigt worden ist;
einem Förderbereich, um die aus der Produktkassette herausgenommene Scheibe in dem Verschiebebereich nacheinander dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich und dem Trocknungsbereich zuzuführen,
einem ersten Luftfilter zum Zuführen sauberer Luft an den Reinigungsbereich, den Wasserreinigungsbereich und den Trocknungsbereich, um Abwärtsströme an Stellen oberhalb des Reinigungsbereichs, des Wasserreinigungsbereiches und des Trocknungsbereiches zu bilden;
einem ersten Auslaßbereich, der in der Nähe jeder Kammer des Reinigungsbereiches, des Wasserreinigungsbereiches und des Trocknungsbereiches angeordnet ist;
einem Entnebler, der mit dem ersten Auslaßbereich verbunden und angeordnet ist, um chemischen Nebel und getrockneten Dampf, die mit der Auslaßluft vermischt sind, zu entfernen.
einem Lade/Entladebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, die eine Scheibe enthält;
einem Verschiebebereich zum Einsetzen/Herausnehmen einer Produktkassette, in der sich eine Scheibe befindet;
einem Reinigungsbereich zu Reinigen der der Scheibe, die in dem Verschiebebereich aus der Produktkassette herausgenommen wurde;
einem Wasserreinigungsbereich, um mit Wasser die in dem Reinigungsbereich gereinigte Scheibe zu reinigen;
einem Trocknungsbereich zum Trocknen der Scheibe, die mit Wasser in dem Wasserreinigungsbereich gereinigt worden ist;
einem Förderbereich, um die aus der Produktkassette herausgenommene Scheibe in dem Verschiebebereich nacheinander dem Reinigungsbereich, dem Wasserreinigungsbereich und dem Trocknungsbereich zuzuführen,
einem ersten Luftfilter zum Zuführen sauberer Luft an den Reinigungsbereich, den Wasserreinigungsbereich und den Trocknungsbereich, um Abwärtsströme an Stellen oberhalb des Reinigungsbereichs, des Wasserreinigungsbereiches und des Trocknungsbereiches zu bilden;
einem ersten Auslaßbereich, der in der Nähe jeder Kammer des Reinigungsbereiches, des Wasserreinigungsbereiches und des Trocknungsbereiches angeordnet ist;
einem Entnebler, der mit dem ersten Auslaßbereich verbunden und angeordnet ist, um chemischen Nebel und getrockneten Dampf, die mit der Auslaßluft vermischt sind, zu entfernen.
47. Scheiben-Reinigungskassette zur Aufnahme einer Mehrzahl
von Scheiben, um die Scheiben in jede Lösungskammer einer
Reinigungsvorrichtung einzutauchen, mit:
einem Aufnahmebereich zur Aufnahme einer Mehrzahl von Scheiben; und
einem Halterbereich, der an einer Stelle angeordnet ist, die höher als der Flüssigkeitslevel in der Lösungskammer liegt, wenn die Scheiben-Reinigungskassette in jede der Lösungskammern eingesetzt ist.
einem Aufnahmebereich zur Aufnahme einer Mehrzahl von Scheiben; und
einem Halterbereich, der an einer Stelle angeordnet ist, die höher als der Flüssigkeitslevel in der Lösungskammer liegt, wenn die Scheiben-Reinigungskassette in jede der Lösungskammern eingesetzt ist.
48. Scheiben-Reinigungskassette nach Anspruch 47,
dadurch gekennzeichnet, daß
der Aufnahmebereich ein Paar von Halteplatten und eine
Mehrzahl von Scheibenhaltestangen zur Herstellung der
Verbindung zwischen Endbereichen der Halteplatten sowie
Aufnahmerillen zum Halten der Mehrzahl von Scheiben besitzt,
und daß die Halterbereiche an den restlichen Enden des Paars
von Halteplatten ausgebildet sind.
49. Scheiben-Reinigungskassette nach Anspruch 48,
dadurch gekennzeichnet, daß
jedes Paar von Halteplatten einen Lösungsschutz besitzt.
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