BESCHREIBUNG
Die Erfindung betrifft eine Datenleitungs-Potentialeinstellschaltung,
insbesondere eine Datenleitungs-Potentialeinstellschaltung zur Verwendung in einer Metall-Isolator-Halbleiter-
oder MIS-Speicheranordnung, die aus Feldeffekttransistoren mit isoliertem Gatter, die nachstehend kurz als MISFETs bezeichnet
werden, besteht.
Bei einer MIS-Speicheranordnung zur Lieferung von zu schrei*
benden Datensignalen, die von einer Schreibschaltung erzeugt werden, durch ein Paar von gemeinsamen Datenleitungen an eine
ausgewählte Speicherzelle einer Vielzahl von Speicherzellen und zur Zuführung von auszulesenden Datensignalen, die dann
von der ausgewählten Speicherzelle erzeugt werden,durch die gemeinsamen Datenleitungen an eine Ausleseschaltung existiert
eine relativ hohe parasitäre oder Streukapazität in den paarweise angeordneten gemeinsamen Datenleitungen, so daß die
Signale mit einem Pegel, der den vorhergehenden Datensignalen entspricht, in den paarweise angeordneten gemeinsamen Datenleitungen
gehalten werden.
Die bei der Leseoperation ausgewählte Speicherzelle schafft ein derartiges Potential in den paarweise angeordneten
gemeinsamen Datenleitungen, das den darin gespeicherten Datensignalen entspricht. Eine Speicherzelle hat jedoch üblicherweise
eine verringerte Antriebskapazität für eine kapazitive Last, da eine integrierte Schaltung aus Halbleiterbauelementen
wegen der hohen Integration und des niedrigen Energieverbrauchs in ihrer Größe reduziert ist.
Wenn es daher erforderlich ist, daß das in den gemeinsamen Datenleitungen auf einem Pegel gehaltene Potential von
einer Speicherzelle auf einen anderen Pegel beträchtlich
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geändert wird, z.B. dann, wenn die Datensignale in eine andere Speicherzelle eingeschrieben und dann aus der erwähnten
einen Speicherzelle ausgelesen werden, ist eine relativ lange Zeit erforderlich- Infolgedessen wird die Zeit zum Auslesen
der Datensignale lang.
Um eine Verringerung der Betriebsgeschwindigkeit zu verhindern, ist es wünschenswert, daß die entsprechenden Potentiale
der paarweise angeordneten Datenleitungen vorher zwangsläufig in die Nähe des gleichförmigen Potentials gesetzt werden, das
durch die Speicherzellen bestimmt ist.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine neuartige Datenleitungs-Potentialeinstellschaltung anzugeben, mit
der das Potential eines Paares von Datenleitungen zwangsläufig auf einen vorgegebenen Pegel gesetzt werden kann.
Mit der erfindungsgemäßen Datenleitungs-Potentialeinstellschaltung
wird in vorteilhafter Weise erreicht, daß die Potentialdifferenz zwischen den paarweise angeordneten Datenleitungen
zwangsläufig reduziert wird.
Ein weiterer Vorteil der erfindungsgemäßen Datenleitungs-Potentialeinstellschaltung
besteht darin, daß die Zeit zum Einstellen des Potentials verkürzt wird. Ein weiterer Vorteil
der erfindungsgemäßen Datenleitungs-Potentialeinstellschaltung besteht darin, daß das jeweilige Potential auf den richtigen
Pegel gesetzt werden kann.
Schließlich wird mit der erfindungsgemäßen Datenleitungs-Potentialeinstellschaltung
in vorteilhafter Weise erreicht, daß eine damit ausgerüstete MIS-Speicheranordnung bei hoher
Geschwindigkeit arbeiten kann.
Gemäß der Erfindung wird das Potential eines Paares von Datenleitungen zwangsläufig auf einen Pegel eingestellt, der
im wesentlichen zwischen einem ersten und einem zweiten Pegel liegt, bevor er auf den ersten oder zweiten Pegel von einer
SignalZuführungsschaltung, wie z.B. einer Speicherzelle gesetzt
wird, und zwar entweder durch eine Schalteinrichtung zum Kurzschließen der Datenleitungen oder durch eine Schalteinrichtung
zum Kurzschließen der entsprechenden Datenleitungen
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mit voreingestellten Vorspannungsanschlüssen.
Somit genügt es, wenn die Signalzuführungsschaltung den paarweise angeordneten Datenleitungen nur eine kleine Pegelverschiebung
erteilt. Infolgedessen tritt der Effekt ein, daß die paarweise angeordneten Datenleitungen einen voreingestellten
Pegel durch die Wirkung der Signalzuführungsschaltung innerhalb kurzer Zeit erreichen.
Die Erfindung wird nachstehend anhand der Beschreibung von Ausführungsbeispielen und unter Bezugnahme auf die beiliegende
Zeichnung näher erläutert. Die Zeichnung zeigt in Figur 1 ein Blockschaltbild einer MIS-Speicheranordnung
u unter Verwendung einer ersten Ausführungsform der
erfindungsgemäßen Datenleitungs-Potentialeinstellschaltung;
Figur 2 eine schematische Schaltungsanordnung zur Erläuterung
des Blockes 4 in Figur 1;
Figur 3 eine schematische Schaltungsanordnung zur Erläuterung des Blockes 2 in Figur 1;
Figur 4 eine schematische Schaltungsanordnung zur Erläuterung des Blockes 10 in Figur 1;
Figur 5 ein Wellenformdiagramm zur Erläuterung der Betriebssignale der MIS-Speicheranordnung nach Figur 1;
Figur 6 eine Draufsicht zur Erläuterung einer integrierten Halbleiterschaltungsanordnung;
Figur 7 einen Schnitt längs der Linie A-A der Figur 6;
Figur 8 und 9 schematische Schaltungsanordnung zur Erläuterung von zwei weiteren Ausführungsformen der Datenleitungs-Potentialeinstellschaltungen;
Figur 10 eine schematische Schaltungsanordnung zur Erläuterung einer Vorspannungs-Generatorschaltung zur Verwendung
bei den Schaltungsanordnungen nach Figur 8 und 9; Figur 11 ein Blockschaltbild zur Erläuterung einer MIS-Speicheranordnung
unter Verwendung einer weiteren erfindungsgemäßen Ausführungsform einer Datenleitungs- Potentialeinstellschaltung;
Figur 12 eine schematische Schaltungsanordnung zur Erläuterung
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des Blockes 6 in Figur 11;
Figur 13 eine schematische Schaltungsanordnung zur Erläuterung des Blockes 7 in Figur 11;
Figur 14 eine schematische Schaltungsanordnung zur Erläuterung des Blockes 13 in Figur 11;
Figur 15 ein Wellenformdiagramm zur Erläuterung der Betriebssignale der MIS-Speicheranordnung nach Figur 11;
Figur 16A bis 16F, Figur 17 und Figur 18 schematische Schaltungsanordnungen
zur Erläuterung von weiteren erfindungsgemäßen Ausführungsformen von Datenleitungs-Po-
tentialeinstellschaltungen;
Figur 19 eine schematische Schaltungsanordnung zur Erläuterung
einer Vorspannungs-Generatorschaltung; und in Figur 20 ein Diagramm zur Erläuterung der charakteristischen
Betriebskurven eines MISFET.
Bei einer ersten Ausführungsform der neuartigen MIS-Speicheranordnung,
wie sie in Figur 1 dargestellt ist, bezeichnet das Bezugszeichen 11 eine Speichermatrix, die aus einer Vielzahl
von in Matrixform angeordneten Speicherzellen 5a bis 5d, Wortleitungen W1 bis Wi und paarweise angeordneten Ziffernleitungen
DO1 und D11 sowie DO2 und D12 besteht.
Jede der Speicherzellen, d.h. beispielsweise die Speicherzelle 5a besteht in der dargestellten Weise aus MISFETs Q1
und Q2 und ihren Ladewiderständen R1 und R2, welche zusammen
eine Flip-Flop-Schaltung bilden, und MISFETs Q3 und Q4 als Ubertragungsgatter. Bei diesen als Übertragungsgatter ausgelegten
MISFETs Q3 und Q4 werden ihre Gate-Elektroden als selektive Anschlüsse ihrer Speicherzelle und ihre Drain-Elektroden
D als ein Paar von Eingangs- und Ausgangs-Klemmen verwendet.
Die in derselben Zeile angeordneten Speicherzellen,z.B.
die Speicherzellen 5a und 5c, sind mit ihren entsprechenden selektiven Anschlüssen gemeinsam an die dieser Zeile entsprechende
Wortleitung W1 angeschlossen.
Andererseits sind die Speicherzellen, die in derselben . Reihe oder Spalte angeordnet sind, d.h. die Speicherzellen
5a und 5b, mit ihren entsprechenden Eingangs- und Ausgangs-
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a 9 ¥o soo
klemmen gemeinsam an die paarweise angeordneten Ziffernleitungen D01 und D02 angeschlossen, die dieser Reihe oder Spalte
entsprechen.
Die MISFETs Q5 bis Q8 der Senkungsbetriebsart, deren Gate-
und Source-Elektroden verbunden sind, sind als Lastelemente zwischen die entsprechenden Ziffernleitungen D01, D11, D02 und
D12 sowie einen Spannungsanschluß V.,-, geschaltet. Die Lastelemente
für die Ziffernleitungen werden verwendet, um die von den Speicherzellen kommenden Datensignale auszulesen, was
nachstehend näher erläutert werden soll. Die Lastwiderstände R1 und R2 der entsprechenden Speicherzellen sind so ausgelegt,
daß sie hohe Widerstände besitzen, um die während der Datenhaltevorgänge zu verbrauchende Energie zu reduzieren, während
die Lastelemente, die mit den oben erwähnten Ziffernleitungen verbunden sind, so ausgelegt sind, daß sie für die Leseoperationen
relativ niedrige Widerstände haben.
In Figur 1 und den nachstehend näher beschriebenen Figuren
der Zeichnung sind die MISFETs der Senkungsbetriebsart mit anderen Symbolen bezeichnet als die MISFETs der Anreicherungsbetriebsart,
und zwar durch Hinzufügen von gestrichelten Linien zwischen den Source- und Drain-Elektroden, wie es in Figur 1
bei den MISFETs Q5 bis Q8 angedeutet ist.
Die oben erwähnten entsprechenden Ziffernleitungen D01,
D11, D02 und D12 sind außerdem in der dargestellten Weise an
gemeinsame Datenleitungen CDO und CD1 angeschlossen, und zwar über MISFETs Q9 und Q12, die jeweils eine Ubertragungsgatterschaltung
bilden.
Mit dem Bezugszeichen 4 ist ein X-Adressendecodierer bezeichnet, der so arbeitet, daß er Adressensignale von Adressen
eingängen AXa oder AXb durch eine Adressenpufferschaltung 3a oder 3b erhält und eine Wortleitung der Vielzahl von Wortleitungen
W1 bis Wi auswählt.
Bei der hier betrachteten AusfÜhrungsform ist, obwohl nicht
darauf beschränkt, um den Energieverbrauch der die Speichermatrix des Adressendecodierers oder dergleichen umgebenden
Schaltungen zu verringern, jeder der Logikblocks, welche die Peripherieschaltungen bilden, mit einem als Leistungsschalter
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arbeitenden MISFET ausgerüstet, der in Abhängigkeit von
Leistungsschaltsignalen gesteuert wird, welche auf der Basis von Chip-Wählsignalen erzeugt werden. Der MISFET für den
Leistungsschalter wird nicht-leitend gemacht/ wenn keine
Wahl des Chips erfolgt, so daß sein Energieverbrauch reduziert wird.
Figur 2 zeigt im einzelnen ein Beispiel des X-Adressendecodierers 4 nach Figur 1. Der entsprechende Block zur Auswahl
der Wortleitung W1 besteht aus den MISFETs Q16 bis Q24.
Ein NOR-Gatter besteht aus dem MISFET Q16, der als Senkungslast
arbeitet, und den Anreicherungs-MISFET Q17 und Q19, die
mit ihren Eingangsklemmen A1 bis A3 an die Ausgänge der Adressenpuff erschaltungen 3a oder 3b in Figur 1 angeschlossen sind.
Ferner besteht eine Inverterschaltung aus dem Senkungslast-
MISFET Q20 und dem Anreicherungs-MISFET Q21, welche das Ausgangssignal
des erwähnten NOR-Gatters erhalten. Außerdem besteht eine Gegentaktendstufe aus dem Anreicherungs-MISFET Q23,
der das Ausgangssignal des NOR-Gatters erhält, und dem Anreicherungs-MISFET Q24, der sein Signal vom Inverterkreis erhält.
Zwischen dem NOR-Gatter und der Inverterschaltung sowie einem Referenzpotentialpunkt oder Erdpunkt der Schaltung ist
ein gemeinsamer MISFET Q22 vorgesehen, der von den Leistungsschaltsignalen
gesteuert wird, welche über einen Anschluß
5 PS6 zugeführt werden. Ferner ist zwischen dem MISFET Q23 der Gegentaktendstufe und dem Spannungsanschluß V„c ein MISFET
Q25 vorgesehen, der von Leistungsschaltsignalen gesteuert
wird, die durch einen Anschluß PS4 zugeführt werden. Die übrigen Blöcke zur Wahl der jeweiligen Wortleitung Wi sind in
gleicher Weise aufgebaut.
Die Leistungsschaltsignale an den genannten Anschlüssen PS4 und PS6 werden von einem Zeitimpulsgenerator 10 erzeugt.
Dieser Zeitimpulsgenerator 10 hat beispielsweise, ohne darauf beschränkt zu sein, den in Figur 4 dargestellten Aufbau. In
Abhängigkeit von den Chipwählsignalen an einem Anschluß PS
werden die Leistungsschaltsignale an den genannten Anschlüssen
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PS4 und PS6 erzeugt.
Der Chipwählzustand wird angegeben durch den niedrigen
Pegel der Signale, die dem erwähnten Anschluß PS zugeführt weden. In Abhängigkeit von diesem Signalpegel werden die
Signale an den genannten Anschlüssen PS4 und PS6 auf einen hohen Pegel angehoben.
Der Chip-Nichtwählzustand wird angegeben durch den hohen
Pegel der Signale, die dem Anschluß PS zugeführt werdne. In Abhängigkeit von diesem Signalpegel werden die Signale an
den genannten Anschlüssen PS4 und PS6 auf einen niedrigen Pegel abgesenkt.
Infolgedessen werden während der Chipwähloperation die
MISFETs Q22, Q32 und Q25 des X-Adressendecodierers 4 leitend
gemacht, wenn die Signale bei den genannten Anschlüssen PS4 und PS6 den hohen Pegel annehmen. Wenn zu diesem Zeitpunkt
beispielsweise die Adressensignale an den Eingängen A1 bis A3 alle auf dem niedrigen Pegel sind, so werden die Signale an
der Wortleitung W1 entsprechend auf den hohen Pegel angehoben. Mit anderen Worten, es wird die Wortleitung W1 gewählt.
Während des Nichtwählzustandes des Chips werden die genannten MISFETs Q22, Q32 und Q25 nicht-leitend gemacht, und
zwar durch den niedrigen Pegel der Signale an den Anschlüssen PS4 und PS6. Unter dieser speziellen Bedingung sind die Signale
an den Wortleitungen W1 bis Wi auf dem niedrigen Pegel.
Figur 3 zeigt im einzelnen ein Ausführungsbeispiel des Y-Adressendecodierers 2 nach Figur 1. Jeder der Blöcke zur
Erzeugung von Wählsignalen an den entsprechenden Anschlüssen Y1 und Y2 besteht, wie im linken Teil der Figur der Zeichnung
erkennbar, aus einem NOR-Gatter, das seinerseits aus einem Senkungslast-MISFET Q35 und Anreicherungs-MISFETs Q36 bis Q38,
um<i.die Ausgangssignale von den Adressenpufferschaltungen 1a
und 1b an ihren Anschlüssen A7 bis A9 zu empfangen, und einem MISFET Q39 besteht, der von den Leistungsschaltsingalen gesteuert
wird.
Die Leistungsschaltsignale am erwähnten Anschluß PS5 gehen bei Nichtwahl des Chips auf den niedrigen Pegel, und zwar in
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gleicher Weise wie die oben erläuterten Anschlüsse PS4 und PS6. Infolgedessen werden bei Nichtwahl des Chips die Ausgänge
Y1 und Y2 des Y-Adressendecodierers 2 auf den hohen Pegel angehoben.
Obwohl es bei der Anordnung gemäß Figur 2 und 3 vorstellbar ist, daß die MISFETs Q22, Q32, Q39 und Q44, die
als Leistungsschalter arbeiten, an der Seite des Spannungsanschlusses V_c angeordnet sind, wird eine derartige Modifikation
nicht bevorzugt, da der Ausgangssignalpegel bei der Betätigung des Decodierers durch die Schwellwertspannung der
als Leistungsschalter arbeitenden MISFETs abgesenkt wird.
Wenn zur Verhinderung dieser Schwierigkeit von MISFETs mit einer niedrigen Schwellwertspannung Gebrauch gemacht wird,
so besteht die Neigung, daß ein Leckstrom bei dem Nichtwählzustand entsteht, der es schwierig macht, den Energieverbrauch
beim Chipnichtwählzustand zu reduzieren. Im Einklang mit der vorstehend gegebenen Begründung sind die als Leistungsschalter
arbeitenden MISFETs vorzugsweise an der Seite des Referenzpotentials vorgesehen.
Mit dem Bezugszeichen 8 ist in Figur 1 eine Ausleseschaltung bezeichnet, die mit ihren paarweise angeordneten
Eingängen IO und 11 direkt an die bereits erwähnten paarweise angeordneten, gemeinsamen Datenleitungen CDO und CD1 angeschlossen
sind. Somit erzeugt die Ausleseschaltung 8 solche Datensignale an ihrem Ausgangsanschluß DQ _,, wie es der
Potentialdifferenz zwischen den Signalen entspricht, die den
Eingängen IO und 11 zugeführt werden.
Das Bezugszeichen 9 bezeichnet eine Schreibschaltung. Diese Schreibschaltung 9 erzeugt solche Signale entgegengesetzter
Phase an ihren paarweise angeordneten Ausgängen OO und 01, wie es den Datensignalen entspricht, die an einem Eingangsanschluß D1n zugeführt werden. Die Ausgänge 00 und 01 sind
in der dargestellten Weise an die gemeinsamen Datenleitungen CDO und CD1 über die MISFETs Q13 und Q14 angeschlossen. Diese
MISFETs Q13 und Q14 werden in Abhängigkeit von den Schreibsteuersignalen
leitend bzw. nicht-leitend gemacht, welche über
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einen Anschluß WE zugeführt werden.
Bei der Speicheranordnung der hier beschriebenen Ausführungsanordnung
kann die Ausleseschaltung 8 eine hohe Eingangsimpedanz haben, da sie aus den MISFETs besteht. Andererseits
hat die Schreibschaltung 9 eine relativ niedrige Ausgangsimpedanz und ist durch die Wirkung der MISFETs Q13 und
Q14 während anderer Operationen als der Schreiboperation von
den gemeinsamen Datenleitungen abgetrennt. Infolgedessen werden bei der Nichtwähloperation nach der Auslese- oder
Schreiboperation die Auslese- oder Schreibsignale gehalten, da sie sich in den gemeinsamen Datenleitungen CDO und CD1
befinden.
Dies führt zu dem bereits erwähnten Problem, wenn die gespeicherte Information mit dem entgegengesetzten Pegel zu
dem gehaltenen ausgelesen wird. Um dieses Problem zu lösen, ist gemäß der Erfindung ein MISFET Q15, der als Zweiwegeschalter
arbeitet, in der dargestellten Weise zwischen den paarweise angeordneten gemeinsamen Datenleitungen CDO und CD1 angeordnet.
Somit wird dafür gesorgt, daß die paarweise angeordneten, gemeinsamen Datenleitungen CDO und CD1 dasselbe
Potential haben, indem man beim Chipnichtwählzustand den MISFET Q15 leitend macht, und zwar in Abhängigkeit von Steuersignalen
an einem Anschluß CSC.
Infolgedessen wird dann, wenn die Datensignale aus der Speicherzelle auszulesen sind, die vom X-Adressendecodierer
4 und dem Y-Adressendecodierer 2 neu zu wählen ist, die Zeitspanne verkürzt, bis die gemeinsamen Datenleitungen ODO und
CD1 eine vorgegebene Potentialdifferenz erreichen.
Bei der hier beschriebenen Ausführungsform können die
dem bereits erwähnten Anschluß CSC zuzuführenden Steuersignale einen relativ hohen Pegel besitzen, wie nachstehend näher
erläutert wird, da der MISFET Q15 in zufriedenstellender Weise
in seinen Leitungszustand gebracht wird.
Genauer gesagt,ist der Y-Adressendecodierer 2 der hier
beschriebenen Ausführungsform so aufgebaut, daß er MISFETs
Q39 und Q44 aufweist, die als Leistungsschalter an der Seite
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des Referenzpotentialanschlusses/ wie bereits erwähnt, arbeiten. Infolgedessen erreicht nur die ausgewählte Wählleitung
der Y-Adressenwählleitungen Y1 und Y2 ihren hohen Pegel während des Chipwählzustandes. Andererseits nehmen während des
Chipnichtwählzustandes beide Wählleitungen Y1 und Y2 ihren hohen Pegel an.
Wie sich aus dem konkreten Aufbau der in Figur 6 und 7
dargestellten integrierten Halbleiterschaltungen ergibt, bestehen relativ hohe Streukapazitäten C1 bis C4 zwischen den
Y-Adressenwählleitungen Y1 und Y2 und den gemeinsamen Datenleitungen
CDO und CD1.
Wenn die Potentiale der beiden Y-Adressenwählleitungen Y1 und Y2 auf den hohen Pegel angehoben werden, da sich der
Zustand vom Chipwählzustand zum Chipnichtwählzustand verschiebt,
so ändern sich infolgedessen die gemeinsamen Datenleitungen CDO und CD1, so daß sie aufgrund der Kombination zwischen den
Streukapazitäten das hohe Potential haben.
Um den bereits erwähnten MISFET Q15 zu betreiben, muß
sein Gate-Potential auf einen höheren Pegel als die Schwellwertspannung
der gemeinsamen Datenleitung CDO oder CD1 gebracht werden,welche als Quelle des MISFET Q15 arbeitet.
Die Steuersignale am Anschluß CSC sind daher so, daß sie den hohen Pegel haben, wie es oben bereits erläutert worden
ist.
Figur 6 zeigt eine Draufsicht einer integrierten Halbleiterschaltung,
die mit den Ziffernleitungen, den gemeinsamen Datenleitungen, den Y-Adressenwählleitungen und den MISFETs
ausgerüstet ist. Figur 7 zeigt einen Schnitt längs der Linie A-A der Figur 6.
Bei der Anordnung gemäß Figur 6 ist ein p-leitendes Siliziumsubstrat 100 an seiner Oberfläche in der mit gestrichelten
Linien dargestellten Weise mit η-leitenden Bereichen DLO1,
DL11, DL02 und DL12 zur Beschaltung der Speicherzellen 5b und 5d sowie η-leitenden Bereichen S9 bis S12 und D9 bis D12 zur
Bildung der Source- und Drain-Bereiche der MISFETs Q9 bis Q12 ausgebildet. Eine Gate-Elektrode G9, die aus einer poly-
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kristallinen Siliziumschicht mit einem Muster besteht, wie es strichpunktiert angedeutet ist, ist außerdem auf dem pleitenden
Siliziumsubstrat 100 zwischen den η-leitenden Bereichen S9 und D9 ausgebildet. Die anderen Gate-Elektroden
G10 bis G12 sind in gleicher Weise ausgebildet. Ein Siliziumoxidfilm
103 ist auf der gesamten Oberfläche, einschließlich der Oberfläche eines dicken Siliziumoxidfilmes 1O1 ausgebildet.
Der Siliziumoxidfilm 103 ist mit Löchern versehen, um die Verdrahtungsschichten D01, D11, DO2, D12, CDO und
CD1 zu bilden, die aus Aluminium oder dergleichen bestehen.
Die Verdrahtungsschicht D01 ist so ausgelegt, daß sie an den Stellen der angegebenen X-Markierungen in Figur 6 mit
dem n-leitenden Bereich DLO1 der Speicherzelle 5b und dem
Source-Bereich des MISFET Q9 in Kontakt steht und somit die Ziffernleitung DO1 gemäß Figur 1 bildet. In gleicher Weise
bilden die Verdrahtungschichten D11, D02 und D12 die Ziffernleitungen
D11, D02, bzw. D12 gemäß Figur 1.
Die Verdrahtungsschicht CDO ist so ausgelegt, daß sie mit den η-leitenden Bereichen D10 und D11 in Kontakt steht
und auf diese Weise die gemeinsame Datenleitung CDO gemäß Figur 1 bildet. In gleicher Weise bildet die Verdrahtungsschicht CD1 die andere gemeinsame Datenleitung CD1 gemäß Figur
Andererseits sind die Verdrahtungsschichten CDO und CD1 so ausgelegt, daß sie die Gate-Elektroden G9 bis G12 über den
relativ dünnen Siliziumoxidfilm 103 kreuzen.
Infolgedessen sind die Verdrahtungsschichten CDO und CD1
und die Gate-Elektroden G9 bis G12 wechselseitig über die Streukapazitäten C1 bis C4 verbunden (vgl. Figur 1).
Wie in Figur 4 dargestellt, werden bei der hier betrachteten Ausführungsform die Steuersignale dem oben erwähnten Anschluß
CSC von der Schaltung zugeführt, die aus einem Last-MISFET Q71, einem mit dem MISFET Q71 in Reihe geschalteten
Treiber-MISFET Q72, einem aktiven Last-MISFET Q73, einem mit dem MISFET Q73 in Reihe geschalteten Treiber-MISFET Q74
und einem Bootstrap-Kondensator C5 besteht.
Der MISFET Q72 wird an seiner Gate-Elektrode über den
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Anschluß PS6 mit Leistungsschaltsignalen versorgt/ die in entgegengesetzter Phase zu den an dem Anschluß PS zuzuführenden
Chipwählsignalen liegen und relativ verzögert sind. Der MISFET Q73 wird mit seiner Gate-Elektrode über
einen Anschluß PS mit Leistungsschaltsignalen versorgt, die im wesentlichen in gleicher Weise verarbeitet werden
wie die Chipwählsignale. Andererseits wird der MISFET Q74 an seiner Gate-Elektrode über einen Anschluß PS2 mit
Leistungsschaltsignalen versorgt, die eine relativ schnelle Zeitfolge haben.
Bei der oben beschriebenen Anordnung sind beim Chipwählzustand
die erwähnten MISFETs Q72 und Q74 leitend. Infolgedessen befindet sich das Potential des Anschlusses
CSC auf dem niedrigen Pegel, der im wesentlichen gleich dom Referenzpotential oder Erdpotential ist.
Wenn eine Verschiebung vom Chipwählzustand zum Chipnichtwählzustand
erfolgt, so wird der MSIFET Q73 zuerst leitend und dann der MISFET Q74 nicht leitend gemacht.
Zu diesem Zeitpunkt ist der MISFET Q72 immer noch leitend, so daß der Kondensator C5 aufgeladen wird. Nach einer
kleinen Zeitverzögerung wird der MISFET Q72 nichtleitend gemacht. In diesem speziellen Zustand wird eine Spannung,
uie im wesentlichen gleich der Versorgungsspannung ist, einem Anschluß des Kondensators C5 über den Last-MISFET
Q71 zugeführt, so daß die Ausgangssignale am Anschluß
CSC einen hohen Pegel erreichen, d.h. 2 V , der das
V*>Vr
Doppelte des Versorgungsspannungspegels ausmacht.
Die Operationen der vollständigen statischen MIS-Speicheranordnung,
deren Peripherieschaltung, wie z.B. der Decoder, mit dem Leistungsschalter ausgerüstet ist,
sollen nachstehend im einzelnen unter Bezugnahme auf das Diagramm der Betriebswellenformen in Fig. 5 erläutert
werden.
Zum Zeitpunkt to wird die Speicherschaltung in Abhängigkeit vom hohen Pegel der Chipwählsignale CS
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in seinen nichtleitenden Zustand gebracht. In Abhängigkeit von den Chipwählsignalen ändern sich die Leistungsschaltsignale
an den Anschlüssen PS5 und PS6 zu den Zeitpunkten t4 bzw. t5 von dem hohen zum niedrigen Pegel.
Infolgedessen werden die Operationen der Peripherieschaltung, wie z.B. der Adressendecodierer, unterbrochen.
Wenn in diesem Falle die vorherigen Operationen von der Lesebetriebsart sind, werden die Signale des vorherigen
Lesepegels in den gemeinsamen Datenleitungen CDO und CD1 gehalten. Diese gehaltenen Pegel der Lesepegelsignale
werden durch die Bootstrap-Effekte angehoben, die durch das Abschalten der Leistungsschalter erhalten werden.
Der MISFET Q15 wird leitend gemacht, und zwar in Abhängigkeit
von den Steuersignalen auf hohem Pegel, die durch die Verwendung der Leistungsschaltsignale an den Anschlüssen
PS2 und PS6 erzeugt werden. Infolgedessen werden die Potentiale der beiden gemeinsamen Datenleitungen CDO und CD1
auf den gleichen Pegel geändert.
Wenn andererseits die anschließenden Operationen von der Lesebetriebsart sind und wenn die auszulesenden Daten
den invertierten Signalen der Daten der vorherigen Operationen entsprechen, sind die gemeinsamen Datenleitungen
CDO und CD1 vorher auf den gleichen Pegel geändert worden, wie oben bereits erwähnt, so daß die Potentiale der gemeinsamen
Datenleitungen mit hoher Geschwindigkeit durch die Datensignale der ausgewählten Speicherzelle bestimmt werden.
Infolgedessen wird die Geschwindigkeit der Leseoperationen verbessert.
Wenn andererseits eine Pegeldifferenz während des Nichtwählzustandes vorliegt, wie sie strichliert in Fig.
angedeutet ist, so muß die Zeit t, verstreichen, bevor die Potentiale der gemeinsamen Datenleitungen gemäß den
Datensignalen invertiert werden.
Wenn andererseits der vorherige Operationszyklus von
. der Schreibbetriebsart ist, so nimmt die Pegeldifferenz zwischen den gemeinsamen Datenleitungen durch die Schreibschaltung
9 zu. Die Zeitverzögerung für den umgekehrten
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Lesezweck würde daher ohne die Anordnung des MISFET
Q15 weiter vergrößert. Wenn die Datensignale in eine der Speicherzellen eingeschrieben und dann aus einer
anderen Speicherzelle ausgelesen werden, so sind die mit der oben beschriebenen neuartigen Ausführungsform
erzielbaren Wirkungen besonders vorteilhaft.
Die Erfindung ist jedoch nicht auf die bislang beschriebenen Ausführungsformen beschränkt, vielmehr kann
selbstverständlich auch eine Ausdehnung auf Ausführungsformen erfolgen, wie sie beispielsweise in Fig. 8 und 9
dargestellt sind, bei denen die als Schalteinrichtungen arbeitende MISFETs Q8O, Q81, Q82 und Q83 in den paarweise
angeordneten, gemeinsamen Datenleitungen CDO und CD1 vorgesehen sind, so daß die gleiche Vorspannung während des
Chipnichtwählzustandes von einer Schaltung, beispielsweise einer in Fig. 10 dargestellten Schaltung 20, erzeugt werden
kann.
Fig. 11 zeigt ein Blockschaltbild zur Erläuterung einer MIS-Speicheranordnung, die mit einer Datenleitungspotentialeinstellschaltung
gemäß einer anderen Ausführungsform der Erfindung ausgerüstet ist.
Bei dieser Ausführungsform sind die paarweise angeordneten,
gemeinsamen Datenleitungen CDO und CD1 an eine Datenleitungspotential-Einstellschaltung
angeschlossen, die aus einer ersten Schaltung 9a und einer zweiten Schaltung 12,
den paarweise angeordneten Ausgangsklemmen der Schreibschaltung 6 sowie den paarweise angeordneten Eingangsklemmen
einer Ausleseschaltung 7 besteht.
Obwohl nicht darauf beschränkt, sind der Eingang der Schreibschaltung 6 und der Ausgang der Auslegeschaltung 7
an einen einzigen Eingabe/Ausgabe-Anschluß I/O angeschlossen.
Die Schreibschaltung 6 besteht, wie in Fig. 12 dargestellt, aus: einer ersten Inverterschaltung als Eingangspuffer mit den MISFETs Q120 und Q121; zweiten und dritten
Inverterschaltungen zur Wellenformausbildung mit den MISFETs Q123 und Q124 bzw. Q125 und Q126; vierten und fünften Inver-
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terschaltungen zur Wellenformausbildung mit den MISFETs Q127 und Q128 bzw. Q129 und 130; einem ersten Gegentaktverstärker
mit den MISFETs Q131 und Q132; einem zweiten
Gegentaktverstärker mit den MISFETs Q133 und Q134; den
MISFETs Q135 und Q136 zur Eingangsdatenumschaltung, die
zwischen die Ausgänge der ersten und zweiten Gegentaktverstärker und die gemeinsamen CDO bzw. CD1 geschaltet
sind; sowie den MISFETs QI37 bis Q140, die als Leistungsschalter
arbeiten.
Die als Leistungsschalter arbeitenden MISFETs Q137 bis Q139 werden an ihren Gate-Elektroden mit Steuersignalen
über einen Anschluß CSX versorgt, während der MISFET Q140 an seiner Gate-Elektrode mit Steuersignalen über einen
Anschluß WED versorgt wird.
Die oben erwähnten entsprechenden Steuersignale sowie die anderen Steuersignale, die im folgenden näher
erläutert sind, werden von nicht dargestellten Steuerschaltungen zugeführt, die in die MIS-Speicheranordnung
eingebaut sind, welche die Chipwählsignale von außen durch einei nicht dargestellten Anschluß CS und die Schreibsteuersignale
von außen durch einen nicht dargestellten Anschluß WE empfängt.
Der Zeitablauf der entsprechenden Steuersignale ist in den Fig. 15A bis 15J dargestellt.
Wie in Fig. 15B dargestellt, sind die Chipwählsignale am Anschluß CS so ausgelegt, daß sie den Chipnichtwählzustand
durch ihren hohen Pegel H und den Chipwählzustand
durch ihren niedrigen Pegel L vorgeben.
Wie in Fig. 15F dargestellt, sind die Schreibsteuersignale
an Anschluß WE so ausgelegt, daß sie die Leseoperation durch ihren hohen Pegel H und die Schreiboperation
durch ihren niedrigen Pegel L vorgeben.
Ein Anschluß CSA1 wird, wie in Fig. 15C dargestellt, von der oben erwähnten Steuerschaltung mit Steuersignalen
versorgt, die mit den Chipwählsignalen in Phase sind, wobei sie gegenüber diesen eine leichte Zeitverzögerung
besitzen.
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Ein Anschluß CSA2 wird, wie in Fig. 15D dargestellt, von der Steuerschaltung mit Steuersignalen versorgt, die
in Gegenphase zu den Signalen am Anschluß CSA1 sind, während sie eine leichte Zeitverzögerung gegenüber diesen besitzen.
Wie in Fig. 15E dargestellt, wird ein Anschluß CSX von der Steuerschaltung mit Steuersignalen versorgt, die
in Phase mit den Signalen am Anschluß CSA2 sind, wobei sie eine leichte Zeitverzögerung gegenüber diesen haben.
Wie in Fig. 15G dargestellt, wird ein Anschluß WE1
von der Steuerschaltung mit Steuersignalen versorgt, die in Abhängigkeit vom niedrigen Pegel der Schreibsteuersignale
nur dann auf den hohen Pegel angehoben werden, wenn die Chipwählsignale auf dem niedrigen Pegel sind.
Wie in Fig. 15H dargestellt, wird ein Anschluß WED von der Steuerschaltung mit Steuersignalen versorgt, deren
Anstiegszeit gegenüber der der Signale am Anschluß WE1 leicht verzögert ist und deren Abschaltzeit im wesentlichen
mit der dieser Signale zusammenfällt.
Wie in Fig. 151 dargestellt, wird ein Anschluß WE" von der Steuerschaltung mit Steuersignalen versorgt, die
in Gegenphase zu den Signalen am Anschluß WED sind und die mit einer leichten Zeitverzögerung gegenüber diesen variabel
sind.
Wie in Fig. 15J dargestellt, wird ein Anschluß WE1 von der Steuerschaltung mit Steuersignalen versorgt, die in
Gegenphase zu den Steuersignalen am Anschluß WE" sind und die mit einer leichten Zeitverzögerung gegenüber diesen
variabel sind.
Wenn die Schreibsteuersignale auf den hohen Pegel angehoben werden, während sich die Chipwählsignale auf dem niedrigen
Pegel befinden, liefert infolgedessen die in Fig. dargestellte Schreibschaltung 6 die Differentialsignale
entsprechend den Datensignalen an den Eingabe/Ausgabe-Anschluß I/O an die gemeinsamen Datenleitungen CDO und CD1
über die Datenumschaltungs-MISFETs Q135 und Q136. Mit
anderen Worten, wenn das Ptential an dem Eingabe/Ausgabe-Anschluß
I/O durch die Schreibschaltung 6 auf den hohen
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Pegel angehoben wird, so wird die eine gemeinsame Datenleitung CDO mit ihrem Potential auf den niedrigen Pegel
heruntergeschaltet, während die andere gemeinsame Datenleitung CD1 mit ihrem Potential auf den hohen Pegel angehoben
wird.
Obwohl die neuartige Schaltung keinesfalls darauf beschränkt ist, ist die erwähnte Schreibschaltung 6 so
ausgelegt, daß bei einer Versorgungsspannung V-, mit einem
Potential von + 4,5 Volt das Potential von einer der gemeinsamen Datenleitungen CDO und CD1 auf einen hohen Pegel von
3,8 Volt angehoben und das Potential der anderen gemeinsamen Datenleitung auf einen niedrigen Pegel von 0,3 Volt
abgesenkt wird.
Die Ausleseschaltung 7, die in Fig. 13 dargestellt ist,
bekteht aus: einem ersten Differentialverstärker, bestehend
aus den MISFETs Q141 bis Q144 sowie Q147 und Q165; einem
ersten Kompensator, bestehend aus den MISFETs Q145, Q146 und Q166, um den Ausgangssignalpegel des ersten Differentialverstärkers
abzutasten und diesen auf den richtigen Pegel zu bringen; einem zweiten Differentialverstärker, bestehend
aus den MISFETs Q148 bis Q151 sowie Q154 und Q167; einem
zweiten Kompensator, bestehend aus den MSIFETs Q152, Q153
und Q168; ersten und zweiten Gegentaktverstärker^ bestehend
aus den MISFETs Q155 und Q156 bzw. Q157 und Q158; dritten
und vierten Gegentaktverstärker^ bestehend aus den MISFETs Q159 und Q160 bzw. Q161 und Q162; einer Gegentaktendstufe,
bestehend aus den MISFETs Q163 und 0.164; den MISFETs Q172
und Q17 3 für den Erprobungszustand; sowie den MISFETe 0.169
bis Q171, die als Leistungsschalter arbeiten.
Die MISFETs Q165 bis Q168 der ersten und zweiten
Differentialverstärker und die ersten und zweiten Kompensatoren
werden von Steuersignalen eingeschaltet und ausgeschaltet, die ihnen über den Anschluß CSX zugeführt werden.
Wenn bei einer derart aufgebauten Ausleseschaltung 7 die Steuersignale am Anschluß WE1 auf hohem Pegel sind,
werden die in Reihe geschalteten Ausgangs-MlSFETs Q163
und Q164 durch die MISFETs Q173 und Q172 nichtleitend ge-
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macht. Infolgedessen wird der Eingabe/Ausgabe-Anschluß I/O in einen Floating-Zustand gebracht.
Wenn andererseits die Steuersignale am Anschluß WE1
auf niedrigem Pegel sind, so wird einer der genannten Ausgangs-MISFETs
Q163 oder QI64 leitend gemacht, während der
andere nichtleitend gemacht wird, und zwar in Abhängigkeit von den Differenzsignalen zwischen den gemeinsamen Datenleitungen
CDO und CDI. Mit anderen Worten, die Gegentaktendstufe erzeugt die Signale mit hohem oder niedrigem Pegel
in Abhängigkeit von den Differenzsignalen zwischen den gemeinsamen Datenleitungen CDO und CDI.
Wenn bei der hier betrachteten Ausführungsform die
Last-MISFETs Q5 bis Q8, die an die entsprechenden Ziffernleitungen
DO1, D11, DO2 und D12 angeschlossen sind, in
geeigneter Weise voreingestellt sind, so kann der Mittelpegel der Differenzsignale zwischen den paarweise angeordneten,
gemeinsamen Datenleitungen CDO und CD1, der durch die gewählte Speicherzelle bestimmt ist, mit dem
Mittelpegel der Differenzsignale zwischen den gemeinsamen Datenleitungen CDO und CD1 zusammenfallen, der im wesentlichen
durch die Schreibschaltung 6 bestimmt ist.
Die Potentiale auf den gemeinsamen Datenleitungen CDO und CD1, die durch die Datensignale der ausgewählten
Speicherzelle bestimmt sind, können Pegel in der beschriebenen Weise annehmen, z.B. einen hohen Pegel von 2,8 Volt
und einen niedrigen Pegel von 2,5 Volt, da die Ladetragkapazitäten der MISFETs Q1 und Q2 der Speicherzelle
begrenzt sind.
Infolgedessen kann die Auslegeschaltung 7 eine ausreichende Empfindlichkeit gegenüber Signalen kleiner Pegeldifferenz
zwischen den gemeinsamen Datenleitungen CDO und CD1 haben.
Wie in Fig. 11 dargestellt, besteht die erste Schaltung, die die Datenleitungs-Potentialeinstellschaltung
bildet, aus einer Schalteinrichtung 91, bestehend aus einem
MISFET Q1O2, der zwischen die gemeinsamen Datenleitungen CDO
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und CD1 geschaltet ist; sowie einer Stromzuführungseinrichtung
9", bestehend aus den MISFETs Q1OO und Q1O1, die zwischen die Spannungsversorgung Vrc und die gemeinsamen
Datenleitungen CDO bzw. CD1 geschaltet sind. Der MISFET Q1O2 wird an seiner Gate-Elektrode mit
Schreibsteuersignalen von einem Schreibimpulsrückste11-generator
13 über einen Anschluß 4>WR1 versorgt. In gleicher
Weise werden die MISFETs Q1OO und Q1O1 an ihren Gate-Elektroden
mit Schaltsteuersignalen über einen Anschluß ΦνίΙ12 versorgt.
Bei der hier besprochenen Ausführungsform ist berücksichtigt,
daß die Leseoperationen mit hoher Geschwindigkeit möglich sein sollen, auch wenn die Schreib- und Leseoperationen
während einer kontinuierlichen Chipwählperiode wiederholt werden.
Zu diesem Zweck werden die Schaltsteuersignale an den Anschlüssen 3>WR1 und <&WR2 für eine vorgegebene
Periode auf einen hohen Pegel angehoben, wie sich aus dem konkreten Ausführungsbeispiel des Schreibimpulsrückstellgenerators
13 in Fig. 1 ergibt, der nachstehend näher erläutert
ist, auch wenn der Chip im wesentlichen gewählt ist, wenn die Schreibsteuersignale auf ihren hohen oder
niedrigen Pegel geändert werden.
Infolgedessen wird der zwischen die gemeinsamen Datenleitungen CDO und CD1 geschaltete MISFET Q102 auch während
der Chipwählperiode im wesentlichen leitend gemacht. Im Unterschied zu der Chipnichtwählperiode kann
während der Chipwählperiode verhindert werden, daß die Potentiale auf den gemeinsamen Datenleitungen CDO und CD1
auf einen ungewünscht hohen Pegel angehoben werden, und zwar durch die Kombination der Streukapazitäten zwischen
den Y-Adressenwählleitungen Y1 und Y2 und den gemeinsamen Datenleitungen CDO und CD1.
Während der Chipwählperiode ist mit anderen Worten das Potential auf der gemeinsamen Datenleitung CDO und CD1,
die als Quelle für den MISFET Q102 arbeitet, auf einen relativ niedrigen Pegel. Infolgedessen ist der MISFET Q102 auch
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bei einem relativ niedrigen Gate-Potential leitend.
Wenn jedoch die Signale mit hohem Pegel bei relativ niedrigem Potential dem Anschluß 4>WR1 zugeführt werden,
so wird der MISFET Q102 im Sättigungsbereich Z2 der Kennlinien
betrieben, bei denen die Drain-Source-Spannung VDS gegen den Drain-Strom IDS aufgetragen ist (vgl. Fig.
20). Im Sättigungsbereich Z2 befindet sich der Drain-Strom im Sättigungszustand. Infolgedessen wird es schwierig,
einen Ausgleich zwischen dem Potential, das in der Streukapazität C6 der gemeinsamen Datenleitung CDO gehalten ist,
und dem Potential, das in der Streukapazität C7 der gemeinsamen Datenleitung.CDI gehalten ist, innerhalb einer kurzen
Zeit durch den MISFET Q102 vorzunehmen.
Bei der hier beschriebenen Ausfuhrungsform sind daher
die dem Anschluß 4>WR1 zuzuführenden Signale auf einem so
ausreichend hohen Pegel, daß der MISFET Q102 im Nichtsättigungsbereich
Z1 gemäß Fig. 20 betrieben werden kann.
Im Gegensatz dazu werden die MISFETs Q1OO und Q101
im wesentlichen im Sättigungsbereich betrieben, und zwar aus den nachstehend angegebenen Gründen.
Genauer gesagt ist es so, daß dann, wenn die MISFETs Q1OO und Q101 im Nichtsättigungsbereich betrieben würden,
wie es beim MISFET Q102 der Fall ist, die Potentiale auf den gemeinsamen Datenleitungen CDO und CD1 auf ein sehr
hohes Potential, im wesentlichen gleich der Versorgungsspannung, angehoben würden, und zwar aufgrund ihrer ausreichend
niedrigen Leitfähigkeit innerhalb einer relativ kurzen Zeitspanne. Da in diesem Falle die Ausleseschaltung
7 in der beschriebenen Weise so ausgelegt ist, daß sie ihre ausgezeichneten Betriebseigenschaften nur für Eingangssignale innerhalb eines vorgegebenen Bereiches besitzt,
muß eine relativ lange Zeitspanne verstreichen, bevor die Potentiale der gemeinsamen Datenleitungen CDO und CD1 auf
einen Pegel reduziert werden, der in einen vorgegebenen Bereich von der gewählten Speicherzelle fällt.
Aus der vorstehenden Begründung ergibt sich, daß die MISFETs Q100 und Q101 im Sättigungsbereich betrieben
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werden, um zu verhindern, daß die Potentiale der gemeinsamen
Datenleitungen CDO und CD1 auf einen ungewünschten Pegel ansteigen.
Der Schreibimpulsrückstellgenerator 13 ist so ausgelegt,
daß er einen Aufbau gemäß Fig. 14 aufweist. ·
In Fig. 14 besteht eine erste Inverterschaltung aus MISFETs Q180 und Q181. In Abhängigkeit von den Steuersignalen,
die auf der Basis der Chipwählsignale erzeugt und über einen Anschluß CSA1 zugeführt werden, erzeugt die erste Inverterschaltung
ihre invertierten Signale am Anschluß P5.
Andererseits besteht eine zweite Inverterschaltung aus den MISFETs Q185 und Q186. In Abhängigkeit von den
Steuersignalen, die auf der Basis der Schreibsteuersignale erzeugt und durch einen Anschluß WED zugeführt werden, erzeugt
der zweite Inverter seine invertierten Signale am Anschluß P1.
Eine dritte Inverterschaltung besteht aus den MISFETs Q187 und Q188. Die Operationen dieser dritten Inverterschaltung
sind durch den MISFET Q192 begrenzt, der zwischen den MISFET Q187 und die Versorgungsspannung Vcc geschaltet
ist.
Außerdem ist ein erstes NOR-Gatter vorgesehen, das zwei Eingangsklemmen besitzt und aus den MSIFETs Q189 bis Q191
besteht. In gleicher Weise wie die dritte Inverterschaltung ist das erste NOR-Gatter ebenfalls so ausgelegt, daß seine
Operationen von dem MSIFET Q193 gesteuert sind, der zwischen
den MISFET Q189 und die Versorgungsspannung V__ geschaltet
ist.
Ferner ist ein zweites NOR-Gatter mit zwei Eingangsklemmen vorgesehen, das aus den MISFETs Q182 bis Q184 besteht.
Eine vierte Inverterschaltung besteht aus den MISFETs Q194 und Q195, und eine fünfte Inverterschaltung besteht aus
den MISFETs Q2OO und Q2O1.
Ein drittes NOR-Gatter mit zwei Eingangsklemmen besteht aus den beiden MISFETs Q196 und Q199.
Eine Schaltung mit mitlaufender Ladespannung oder eine Bootstrap-Schaltung besteht aus den beiden MISFETs Q2O2 und
Q2O3 sowie einem Kondensator C8.
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Das dritte NOR-Gatter ist, wie aus der Zeichnung erkennbar, so ausgelegt, daß sein Eingangsanschluß mit dem
des zweiten NOR-Gatters zusammengeschaltet ist, so daß es gleiche Operationen ausführt wie das zweite NOR-Gatter.
Während jedoch das Potential mit hohem Pegel am Ausgang P4 des zweiten NOR-Gatters auf einen Pegel angehoben werden.,
kann, der im wesentlichen höchstens gleich der Versorgungsspannung ist, kann das Potential mit hohem Pegel am Ausgang
P7 des dritten NOR-Gatters durch die Wirkung der Bootstrap-Schaltung
auf einen höheren als die Versorgungsspannung angehoben werden. Das dritte NOR-Gatter verwendet daher als
Last den MISFET Q196 der Anreicherungsbetriebsart, der vom
Potential mit hohem Pegel am Ausgang P7 nicht leitend gemacht wird. Der MISFET Q196 wird durch die Signale getrieben, die
am Ausgang P6 der vierten Inverterschaltung erhältlich sind.
Wenn die Signale am Anschluß CSA1 sich gemäß dem Chipnichtwählzustand
auf hohem Pegel befinden, so wird dementsprechend der MISFET Q191 des ersten NOR-Gatters leitend gemacht,
so daß er an seinem Ausgang P3 Signale mit niedrigem Pegel erzeugt.
Da zu diesem Zeitpunkt der Chipnichtwählzustand vorliegt, wie es oben beschrieben worden ist, sind die am Anschluß WED
erhältichen Signale auf ihrem niedrigen Pegel.
Infolgedessen erhält das zweite NOR-Gatter die Signale mit niedrigem Pegel an seinen beiden Eingangsklemmen durch
die Anschlüsse P3 und WED, so daß es Signale mit hohem Pegel an seinem AusgangP4 erzeugt, d.h. tfWR2.
Gleichzeitig erzeugt das dritte NOR-Gatter auch seine Signale mit hohem Pegel an seinem Ausgang P4, d.h. ΦWR1.
Zu diesem Zeitpunkt erzeugt darüber hinaus die fünfte Inverterschaltung
seine Signale mit niedrigem Pegel an seinem Ausgang P8 in Abhängigkeit von den Signalen mit hohem Pegel am Ausgang
P7. Die Bootstrapschaltung spricht auf die Signale mit niedrigem Pegel am Ausgang P8 an und erzeugt ihre Signale mit
hohem Pegel am Ausgang P9. Da der Kondensator C8 vorher aufgeladen
worden ist, werden, wie sich aus der nachstehenden Beschreibung ergibt, die Signale mit hohem Pegel am Ausgang
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Ρ7 durch die Signale mit hohem Pegel am Ausgang P9 und die im Kondensator C8 gespeicherte Energie verstärkt.
Wenn die Signale am Anschluß CSAI sich auf niedrigem
Pegel befinden, so spricht die erste Inverterschaltung darauf an, und erzeugt ihre Signale mit hohem Pegel am
Ausgang PS.
In Abhängigkeit von den Signalen mit hohem Pegel am Ausgang PS werden die MISFETs Q192 und Q193 leitend gemacht,
so daß die dritte Inverterschaltung und das erste NOR-Gatter in ihre Betriebszustände gebracht werden.
Da die Signale am Anschluß CSA1, wie oben beschrieben,
auf niedrigem Pegel sind, ist der MISFET Q191 im ersten
NOR-Gatter, der das Signal auf einer Eingangsseite erhält, im nichtleitenden Zustand. Infolgedessen ist der Signalpegel
am Ausgang P3 des ersten NOR-Gatters in Abhängigkeit von dem Signalpegel am Ausgang P2 der dritten Inverterschaltung
bestimmt.
Wenn zu diesem bestimmten Zeitpunkt die Signale am Anschluß WED in Abhängigkeit von der Schreiboperation der
Datensignale in der Speicherzelle auf ihrem niedrigen Pegel sind, so nehmen die Signale am Anschluß P1 den zweiten Inverterschaltung
ihren hohen Pegel an, während die Signale am Ausgang P2 der dritten Inverterschaltung ihren niedrigen
Pegel annehmen. In Abhängigkeit vom niedrigen Pegel der Signale am Ausgang P2 nehmen die Signale am Ausgang P3 des
ersten NOR-Gatters ihren hohen Pegel an.
Die zweiten und dritten NOR-Gatter erhalten die Signale mit hohem Pegel durch den Ausgang P3, so daß sie ihre Signale
mit niedrigem Pegel an ihrem entsprechenden Ausgängen P4 bzw. P7 erzeugen, d.h. 4>WR2 und 4>WR1.
Wenn die Signale am Anschluß WED ihren hohen Pegel in Abhängigkeit von der Schreiboperation der Datensignale in
der Speicherzelle annehmen, so werden bei den zweiten und dritten NOR-Gattern in Abhängigkeit davon ihre entsprechenden
MISFETs Q184 und Q199 leitend gemacht, so daß die Signale
<I>WR2 und 4>WR1 an den entsprechenden Anschlüssen auf niedrigem
Pegel abgesenkt werden. Wenn darüber hinaus die Signale am
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Anschluß WED In der oben beschriebenen Weise auf den hohen
Pegel angehoben werden, so fällt das Signal am Ausgang P3 des ersten NOR-Gatters auf den niedrigen Pegel nach einer
derartigen Verzögerungszeit ab, wie sie durch die ersten
und zweiten Inverterschaltungen und das erste NOR-Gatter bestimmt ist.
Wenn die Signale am Anschluß WED wieder von ihrem hohen auf ihren niedrigen Pegel zurückgebracht werden, und zwar
in Abhängigkeit von der Beendigung der Schreiboperation der Datensignale in die Speicherzelle, so werden die MISFETs
Q184 und Q199 der zweiten und dritten NOR-Gatter nichtleitend
gemacht.
Zu diesem Zeitpunkt werden in Abhängigkeit von den Signalen mit niedrigem Pegel am Ausgang P3 des ersten NOR-Gatters
die überigen MSIFETs Q183 und Q197 der zweiten und dritten NOR-Gatter ebenfalls ebenfalls nichtleitend gemacht.
Infolgedessen erzeugen die zweiten und dritten NOR-Gatter ihre Signale mit hohem Pegel an ihren entsprechenden
Anschlüssen i>WR2 und 4>WR1 .
Wenn die Signale am Anschluß WED auf den niedrigen Pegel abfallen, wie es oben erläutert worden ist, so werden die
Signale am Ausgang P3 des ersten NOR-Gatters auf ihren hohen Pegel nach einer solchen Verzögerungszeit angehoben, wie sie
durch die ersten und zweiten Inverterschaltungen und das NOR-Gatter bestimmt ist.
Infolgedessen erzeugen die zweiten und dritten NOR-Gatter ihre Signale mit hohem Pegel an ihren entsprechenden
Anschlüssen 4>WR2 und 4WR1 für die oben angegebene Verzögerungszeit.
Wenn die Signale am Anschluß 4>WR1 vom niedrigen auf den
hohen Pegel geändert werden, so werden, wie oben angegeben, die Signale am Ausgang P8 der fünften Inverterschaltung dementsprechend
von ihrem hohen auf den niedrigen Pegel geändert. Da in diesem Falle in der fünften Inverterschaltung
eine Verzögerung der Signale erfolgt, werden die MISFETs in der Bootstrap-Schaltung für die Verzögerungszeit der ersten
Inverterschaltung leitend gemacht, wenn die Signale an» An-
030017/0747
Schluß 4>WR1 auf ihren hohen Pegel angehoben werden.
Infolgedessen wird der Kondensator C8 durch die Signale mit hohem Pegel am Anschluß i>WR1 vorher aufgeladen. Nach der
Verzögerungszeit der fünften Inverterschaltung wird der MISFET Q2O3 nichtleitend gemacht. Infolgedessen werden die
Signale am Anschluß P9 der Bootstrap-Schaltung auf ihren hohen Pegel angehoben, so daß die Signale am Anschluß 4>WR1
durch die Wirkung des Kondensators C8 auf einen höheren Pegel angehoben werden.
Bei der hier erörterten Ausführungsform wird die erste Schaltung 9a der Datenleitungs-Potentialeinstellschaltung
so betrieben, daß sie im wesentlichen die Potentiale der paarweise angeordneten, gemeinsamen Datenleitungen CDO und
CD1 bei hoher Geschwindigkeit ausgleicht. Mit der dargestellten Anordnung ist es jedoch schwierig, daß die erste Schaltung 9a
so arbeitet, daß die Potentiale auf den paarweise angeordneten, gemeinsamen Datenleitungen CDO und CD1 einen gewünschten Pegel
exakt annehmen.
Um diese Schwierigkeit auszuräumen, wird bei der hier erörterten Ausführungsform eine zweite Schaltung 12 verwendet,
die bei einer relativ niedrigen Geschwindigkeit arbeitet, aber ein genau eingestelltes Potential haben kann und in
Kombination mit der ersten Schaltung 9a arbeitet. Aufgrund einer derartigen Konstruktion können die Potentiale auf den
paarweise angeordneten, gemeinsamen Datenleitungen CDO und CD1 durch die Wirkung der ersten Schaltung 9a mit hoher Geschwindigkeit
in die Nähe des gewünschten Pegels gebracht und dann durch die Wirkung der zweiten Schaltung 12 auf den
gewünschten Pegel selbst gebracht werden.
Wie sich aus Fig. 11 entnehmen läßt, besteht die zweite Schaltung 12 aus: MISFETs Q106 und Q107, die in Reihe zwischen
die Versorgungsspannung V_.c und die gemeinsame Datenleitung
CDO geschaltet sind; MISFETs Q109 und Q110, die in Reihe
zwischen die Versorgungsspannung Vcc und die andere gemeinsame
Datenleitung CD1 geschaltet sind; MISFETs Q108 und Q111, die zwischen die gemeinsamen Datenleitungen CDO und CD1 und
den Referenzpotentialanschluß geschaltet sind; und MISFETs
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Q103 und Q105, die in Reihe zwischen die Versorgungsspannung
Vc_ und den Referenzpotentialanschluß geschaltet sind.
Die MISFETs Q103, Q107 und QI11 werden an ihren Gate-Elektroden
über den Anschluß WE' mit Steuersignalen, die in der oben beschriebenen Weise auf der Basis der Schreibsteuersignale
auf den niedrigen Pegel abfallen, während der MISFET Q104 an seiner Gate-Elektrode über den Anschluß CSA2
mit Steuersignalen versorgt wird, die in der beschriebenen Weise auf der Basis der Chipwählsignale auf den hohen Pegel
angehoben werden.
Der MISFET Q105 wird an seiner Gate-Elektrode mit der
Versorgungsspannung versorgt. Andererseits werden die MISFETs Q108 und Q111 an ihren Gate-Elektroden von dem
Verbindungspunkt zwischen den MISFETs Q104 und Q105 mit den Steuersignalen versorgt, die in Abhängigkeit von den Steuersignalen
an den Anschluüssen WE1 und CSA2 geliefert werden.
Wenn in der zweiten Schaltung 12 die Signale am Anschluß WE' auf den hohen Pegel angehoben werden, so werden
die MISFETs Q103, Q107 und Q110 in Abhängigkeit davon leitend gemacht. In Abhängigkeit vom Leitzustand des MISFETs Q103
wird außerdem zwischen der Drain-Elektrode und Source-Elektrode des MSIFET Q105 eine Vorspannung erzeugt, die
in der Weise arbeitet, daß sie die MISFETs Q108 und Q111
leitend macht.
Infolgedessen beginnen die MISFETs Q106 bis Q108, die in Reihe zwischen die Versorgungsspannung V_,c und den
Referenzpotentialanschluß geschaltet sind, ihre Operationen. Das Potential auf der gemeinsamen Datenleitung CDO wird so
variiert, daß es mit der geteilten Spannung zusammenfällt, die durch die MISFETs Q106 bis Q108 aufgebaut wird. In
gleicher Weise wird das Potential auf der gemeinsamen Datenleitung CD1 so variiert, daß es mit der geteilten
Spannung zusammenfällt, die durch die in Reihe geschalteten MISFETs Q109 bis QI11 aufgebaut wird.
Die entsprechenden geteilten Spannungen werden auf solche Werte eingestellt, daß sie mit dem Mittelwert innerhalb
des Ziffernleitungspotentialbereiches zusammenfallen,
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der durch die Speicherzelle bestimmt ist, wenn die Datensignale ausgelesen werden. Bei der hier betrachteten
Ausführungsform arbeitet die zweite Schaltung 12 außerdem so, daß sie als Last wirkt, die zwischen die gemeinsamen
Datenleitungen CDO und CD1 geschaltet ist, wenn die Datensignale aus der ausgewählten Speicherzelle ausgelesen
werden.
Die MISFETs Q106 bis QI11 der zweiten Schaltung 12
besitzen eine relativ kleine Größe, ähnlich wie die Last-MISFETs Q5 bis Q8, die an die Ziffernleitungen angeschlossen
sind, und zwar im Hinblick darauf, eine Pegeldifferenz
zwischen den Signalen zu verhindern, die von der Speicherzelle den gemeinsamen Datenleitungen CDO und CD1 zugeführt
werden.
Infolgedessen können die Potentialveränderungen auf den gemeinsamen Datenleitungen CDO und CD1, die durch die zweite
Schaltung bestimmt sind, relativ niedrig sein, wie es oben erläutert worden ist.
Fig. 15 zeigt das Zeitablaufdiagramm der Speicheranordnung
gemäß der oben beschriebenen Ausfuhrungsform.
Zum Zeitpunkt t1 sind die Chipwählsignale am Anschluß
CS, wie in Fig. 15B dargestellt, von ihrem hohen Pegel H auf ihren niedrigen Pegel L abgefallen, um den Chipwählzustand
zu ermöglichen.
Zum gleichen Zeitpunkt werden neue Adressensignale, z. B. die Adressensignale zur Angabe der Speicherzelle,
dem Adresseneingang A. des X-Adressendecodierers 4 und dem Y-Adressendecodierer 2 zugeführt, wie es in Fig.15A dargestellt
ist.
Infolgedessen wird das Potential der Wortleitung W1 sowie der Y-Adressenwählleitung Y1 auf den hohen Pegel angehoben.
Wenn die Wortleitung W1 den hohen Pegel annimmt, so wird die Flipflopschaltung (Q1, Q2, R1 und R2) der Speicherzelle
5a über die datenübertragenden MISFETs Q3 und Q4 mit den Ziffernleitungen D01 und D11 verbunden. Wenn andererseits
die Y-Adressenwählleitung Y1 den hohen Pegel annimmt, so werden die Ziffernleitungen DO1 und D11 über die MISFETs Q9
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und Q1O mit den gemeinsamen Datenleitungen CDO bzw.
CD1 verbunden.
Wenn die Schreibsteuersignale am Anschluß WE auf den niedrigen Pegel abfallen, wie es in Fig. 15F dargestellt
ist, so nehmen die Signale am Anschluß WE1 den hohen Pegel an, wie es in Fig. 15G dargestellt ist.
Zum Zeitpunkt t~ werden die Signale am Anschluß WED auf den hohen Pegel angehoben, wie es in Fig. 15H dargestellt
ist.
Infolgedessen werden die Datensignale für die Schreiboperation von der Schreibschaltung 6 gemäß Fig. 12 durch
die Daten umwandelnden MISFETs Q135 und Q136 den gemeinsamen
Datenleitungen CDO und CD1 zugeführt. Wenn die dem Eingabe/-Ausgabe-Anschluß
I/O zugeführten Datensignale beispielsweise auf hohem Pegel sind, so wird das Potential der gemeinsamen
Datenleitung CD1 auf einen hohen Pegel von V1H angehoben, während das Potential der anderen gemeinsamen Datenleitung
CDO auf einen Pegel von V1L abfällt, wie es in Fig. 15K dargestellt ist. Wie oben erläutert, ist der hohe Pegel der
gemeinsamen Datenleitungen, der durch die Schreibschaltung 6 eingestellt wird, ein relativ hohes Potential, beispielsweise
mit 3,8 Volt, während ihr niedriger Pegel ein relativ niedriges Potential ist, beispielsweise 0,3 Volt.
Aufgrund der Tatsache, daß die Signale auf den gerneinsamen
Datenleitungen der Speicherzelle 5a durch die MISFETs Q9 und Q10 und die Ziffernleitungen zugeführt werden, werden
die MISFETs Q1 und Q2 der Speicherzelle 5a leitend bzw. nichtleitend
gemacht.
Obwohl nicht darauf beschränkt, ist der hohe Pegel der Datensignale so ausgelegt, daß er einem der Binäreignale
entspricht. Dementsprechend sind der leitende Zustand des MISFET Q1 der Speicherzelle und der nichtleitende Zustand
des MISFET Q2 der Speicherzelle so ausgelegt, daß sie einem
Pegel von Binärsignalen entsprechen.
Wenn die Steuersignale am Anschluß WE1 zum Zeitpunkt t3
auf den niedrigen Pegel zurückkehren, wie es in Fig. 15G dargestellt ist, so v/erden die gemeinsamen Datenleitungen CDO
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und CD1 elektrisch von der Schreibschaltung 6 getrennt. In diesem Augenblick halten jedoch die gemeinsamen Datenleitungen
CD1 und CDO die Potentiale V1H und V1L mit hohem
und niedrigem Pegel, die während der Schreiboperation zugeführt werden, und zwar durch die Wirkung der Streukapazitäten
C6 und C7.
Bei der hier betrachteten Ausführungsform fallen die Steuersignale am Anschluß WED gleichzeitig mit den Signalen
am Anschluß WE1, wie es in Fig. 15H dargestellt ist.
Infolgedessen werden an den Anschlüssen 4>WR1 und 4>WR2
von dem Schreibimpulsrückstellgenerator 13 gemäß Fig. 14
Steuersignale erzeugt, die gleichzeitig mit dem Abfallen der Signale am Anschluß WE1 angehoben werden, wie es in den
Fig. 15L und 15M dargestellt ist.
Obwohl nicht speziell darauf beschränkt, wird gemäß der Ausführungsform nach Fig. 14 das Potential der Signale am
Anschluß 4>WR2 auf einen Pegel verstärkt, der im wesentlichen
gleich dem der Versorgungsspannung von 4,5 Volt ist. Andererseits wird das Potential der Signale am Anschluß
*WR1 auf einen Pegel angehoben, der den Wert 2 (V _, - V,. )
besitzt, z.B. ungefähr 8,3 Volt. In obigem Falle steht Vcc
für die Versorgungsspannung, während V , für die Schwellwertspannung
der MISFETs steht.
Der MISFET Q102 der ersten Schaltung 9a wird durch die Steuersignale am Anschluß 4>WR1 in seinen leitenden Zustand
gebracht.
Infolgedessen werden die Ladungen der Streukapazität C7 über den MISFET Q1O2 der Streukapazität C6 zugeführt, so
daß das Potential auf der gemeinsamen Datenleitung CD1 abgesenkt wird, während das Potential auf der anderen gemeinsamen
Datenleitung CDO angehoben wird, wie es in Fig. 15K dargestellt ist.
Die Potentiale auf den gemeinsamen Datenleitungen CDO und CD1, die durch die Wirkung des MISFET Q102 in ihren ausgeglichenen
Zustand gebracht werden, sind so ausgelegt, daß sie mit dem mittleren Pegel zwischen den Signalen mit
hohem und niedrigem Pegel zusammenfallen, welche von der
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Schreibschaltung 6 erzeugt werden.
Aufgrund der vorstehend geschilderten Umstände sind die Speicherzellen in ihrer Größe verringert, so daß ihre
Lasttreibkapazität auf einen niedrigen Pegel begrenzt ist. Infolgedessen ist der Spannungsabfall, der in der Lasteinrichtung
der Ziffernleitungen durch die Speicherzellen hervorgerufen wird, entsprechend begrenzt.
Die Potentiale auf den gemeinsamen Datenleitungen CDO und CD1, die durch die Speicherzellen gegeben sind, werden
dementsprechend auf einen relativ hohen Pegel erhöht.
Das ausgeglichene Potential auf den gemeinsamen Datenleitungen CDO und CD1, das nur durch den MISFET Q102 bestimmt
ist, wird niedriger als das Potential auf diesen, das durch die Speicherzellen vorgegeben wird.
Infolgedessen sorgen bei der erfindungsgemäßen Ausführungsform die am Anschluß 4>WR2 erhältlichen Steuersignale
dafür, daß die MISFETs Q100 undQ1O2 leitend werden und die
Potentiale auf den gemeinsamen Datenleitungen CDO und CD1 angehoben werden.
Zum Zeitpunkt t. wird die Potentialdifferenz zwischen
den Potentialen V2L' und V2H1 auf den gemeinsamen Datenleitungen
CDO und CD1 auf einen so niedrigen Pegel reduziert, der ungefähr 0,3 Volt ausmacht.
Nach dem Zeitpunkt t. werden die Potentiale auf den gemeinsamen Datenleitungen CDO und CD1 durch die MISFETs
Q100 und Q101 angehoben.
Zum Zeitpunkt t5 werden die Signale an den Anschlüssen
Φνίΐίΐ und 3>WR2 auf den niedrigen Pegel zurückgeführt und die
MISFETs Q100 bis Q102 der ersten Schaltung 9a nichtleitend
gemacht. Zu diesem Zeitpunkt nehmen die Potentiale auf den gemeinsamen Datenleitungen CD1 und CDO die Pegel von V2H"
und V2L" an, wie es in Fig. 15K dargestellt ist.
Vor dem Zeitpunkt t_ wird die zweite Schaltung 12 vorher in ihren Betriebszustand gebracht, so daß sie in der
Weise arbeitet, daß sie die Potentiale auf den gemeinsamen Datenleitungen CDO und CD1 nach dem Zeitpunkt t_ auf das
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richtige Potential bringt.
Zum Zeitpunkt t_ werden die Adressensignale so geändert,
daß sie die andere auszulesende Speicherzelle angeben.
Infolgedessen werden die Potentiale auf den gemeinsamen Datenleitungen CDO und CD1 von der Speicherzelle bestimmt,
die neu gewählt worden ist.
Die Datensignale der neugewählten Speicherzelle werden zum Zeitpunkt t_ durch die Ausleseschaltung 7 ausgelesen.
Die Fig. 16A bis 16F, 17 und 18 zeigen schematische
Schaltungsanordnungen von weiteren Ausführungsformen gemäß der Erfindung.
Hier werden die Anschlüsse <t>WR1 und 4>WR2 aus den
oben erläuterten Figuren mit Schaltsignalen, um die MISFETs bei ihrem ungesättigten Zustand zu betreiben, und Schalt-Signalen,
um die MISFETs bei gesättigtem Zustand zu betreiben, von einer Schaltung versorgt, beispielsweise der
in Fig. 14 dargestellten Schaltung.
Fig. 16A zeigt eine Schaltung der Bauart, bei der die zweite Schaltung in der Ausführungsform gemäß Fig. 11 entbehrlich
ist.
Fig. 16B zeigt eine Schaltung, um zu verhindern, daß die Potentiale auf den gemeinsamen Datenleitungen CDO und
CD1 auf einen höheren Pegel ansteigen als eine vorgegebene Spannung und zwar durch Anlegen einer Vorspannung, die auf
einen niedrigeren Pegel als die Versorgungsspannung begrenzt ist, an den Anschluß V-,-' . Die Vorspannung wird auf einen
Pegel eingestellt, der beispielsweise gleich der gesetzten Spannung der gemeinsamen Datenleitungen ist. Die Vorspannung
kann, obwohl nicht darauf beschränkt, durch eine Schaltung gemäß Fig. 19 erzeugt werden.
Fig. 16C zeigt eine Schaltung zur Steuerung der MISFETs Q100 bis Q1O2 in Abhängigkeit von den dem Anschluß 4>WR1 zuzuführenden
Schaltsignalen mit hohem Pegel. Durch die Verwendung dieser Schaltung werden die MISFETs Q100 bis Q1O2
bei ihrem !ungesättigten Zustand betrieben, so daß die Potentiale auf den gemeinsamen Datenleitungen rasch angehoben werden
können.
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Fig. 16D gibt eine Schaltung an, um Schaltsignale mit hohem Pegel vom Anschluß <i>WR1 den MISFETs Q1OO bis Q1O2 zuzuführen
und um die Vorspannung, die in der Fig. 16B dargestellten Weise begrenzt ist, dem Anschluß V-, ' zuzuführen.
Fig. 16E zeigt eine Schaltung der Bauart, bei der die MISFETs Q1OO und Q1O1 mit ihren Gate- und Drain-Elektroden
verbunden und die verbundenen Punkte an die Anschlüsse 4>WR1
oder *WR2 angeschlossen sind.
Fig. 16F zeigt eine Schaltung der Bauart, bei der die MISFETs Q1OO und Q1O1 mit ihren Gate-Elektroden an die Versorgungsspannung
Vcc angeschlossen sind. Bei der Schaltung
gemäß Fig. 16F sind die MISFETs ständig leitend. Die MISFETs Q1OO und Q1O1 sind daher so ausgelegt, daß ihre Stromversorgungskapazitäten
so reduziert sind, daß sie den Operationen der anderen Schaltungen, wie z.B. der Schreibschaltung, keine
Beschränkung auferlegen.
Fig. 17 zeigt eine Schaltung der Bauart, bei der die mit der zweiten Schaltung 12 zu kombinierende erste Schaltung
9a so ausgelegt ist, daß sie einen Aufbau der in Fig. 16C dargestellten Art besitzt.
Fig. 18 zeigt eine Schaltung der Bauart, bei der die
mit der zweiten Schaltung 12 zu kombinierende erste Schaltung 9a so ausgelegt ist, daß sie aus dem MISFET Q1O2 besteht.
Selbstverständlich ist die Erfindung nicht auf die oben beschriebenen Ausführungsbeispiele beschränkt. Beispielsweise
kann die zweite Schaltung 12 gemäß der Ausführungsform nach Fig. 11 mit den entsprechenden Schaltungen
kombiniert werden,, die in den Fig. 16A bis 16F dargestellt sind. Außerdem können die MISFETs Q100 bis Q1O2 durch einen
bipolaren Transistor ersetzt werden.
Andererseits können die MISFETs Q1OO bis Q1O2 in
Senkungsbetriebsart ausgelegt sein, obwohl sie bei den Ausführungsbeispielen zur Anreicherungsbetriebsart gehören.
Außerdem können die MISFETs durch bipolare Transistoren, Dioden oder Widerstände ersetzt werden. Darüber hinaus
können die MISFETs auch durch eine Vielzahl von Bauelementen
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οι sot zt weiden, die· zwischen die; Voi spannungsqucl It;
und die; Datenleitungon geschaltet sind. Auch die zweite
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