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Die
Erfindung liegt auf dem Gebiet der Halbleitertechnologie und betrifft
ein Verfahren zum Strukturieren einer Schicht.
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Zur
Herstellung von mikroelektronischen Bauelementen, beispielsweise
Halbleiterspeichern, muß eine
Vielzahl von unterschiedlichen Materialien, die z.B. in Form von
Schichten auf einem Grundsubstrat aufgebracht sind, strukturiert
werden. Dazu werden die zu strukturierenden Schichten mit einer
geeigneten Ätzmaske
bedeckt und anschließend
einem Ätzmedium
ausgesetzt. Dieses führt
durch physikalischen und/oder chemischen Abtrag zu einem Entfernen
der zu strukturierenden Schicht von den nicht durch die Ätzmaske
bedeckten Bereiche des Grundsubstrats. Beim Ätzen kann es jedoch durch den
Angriff des Ätzmediums
auch zu einem teilweisen Entfernen der Ätzmaske kommen, in dessen Folge
die Schicht nicht mehr maßhaltig
geätzt
wird. Dies äußert sich
beispielsweise in geneigten Ätzflanken
der zu strukturierenden Schicht. Derartig geneigte Ätzflanken
sollen jedoch möglichst
weitestgehend vermieden werden, um den durch sie verursachten zusätzlichen
Platzbedarf zu vermindern. Auch eine Maßaufweitung durch geneigte Ätzfahren
kann beobachtet werden.
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Besondere
Schwierigkeiten bereitet das Ätzen
von Metall- und Metalloxidschichten. So erhält man beispielsweise beim Ätzen von
Platin mit einem Ätzverfahren
mit hoher physikalischer Komponente relativ steile Ätzflanken,
jedoch bilden sich dabei gleichzeitig Materialablagerungen an der Ätzmaske aus,
die nur äußerst schwer
entfernbar sind. Daher wird neben der physikalischen Komponente
dem Ätzverfahren
zusätzlich
eine reaktive chemische Komponente zugeordnet, um diese Materialablagerungen während des Ätzens zu
unterdrücken
bzw. abzutra gen. Derartige Ätzverfahren
werden beispielsweise in den Fachartikeln Yoo et al. "Control of Etch Slope during
Etching of Pt in Ar/Cl/O2 Plasmas", Japanese Journal
of Applied Physics Vol. 35, 1996, Seiten 2501 bis 2504 und Park
et al. "Platinium
Etching in an Inductively Coupled Plasma" 26th Essderc
1996, Seiten 631 bis 634 beschrieben. In beiden Fachartikeln wird Platin
in einem Argonplasma anisotrop geätzt, wobei dem Argonplasma
Chlorionen als chemische Komponente zur Reduzierung der Materialablagerungen beigesetzt
sind. Ungünstigerweise
entstehen jedoch bei diesen Verfahren stark geneigte Platinätzflanken, die
zu einer unerwünschten
Vergrößerung der Ätzstruktur
führen.
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Das Ätzen von
Platin in einem reinen Argonplasma wird in beiden Fachartikeln vermieden,
da die sich beim Ätzen
ausbildenden Materialablagerungen nur schwer entfernbar sind. Da
die Materialablagerungen aus dem gleichen Material wie die zu strukturierende
Schicht bestehen, würde
z.B. ein naßchemisches
Entfernen der Materialablagerungen auch zu einem unerwünschten
Angreifen der Schicht führen.
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Es
ist auch möglich,
Platin bei stark erhöhten Temperaturen
zu ätzen,
da das Platin bei hohen Temperaturen mit den Ätzgasen flüchtige Verbindungen bildet.
Voraussetzung hierfür
ist jedoch die Verwendung von sogenannten Hartmasken aus relativ
temperaturstabilen Maskenmaterialien. Der nachfolgend erforderliche
Abtrag der Hartmasken führt
jedoch gleichzeitig zu einem Abtrag freigelegten Grundsubstrats
und damit zu einer unerwünschten
Erhöhung der
Topologie der zu prozessierenden Struktur.
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Die
Verwendung von Ätzverfahren
mit hoher physikalischer Komponente wird auch in der JP 5-21405
A vermieden, um die Bildung von schwer entfernbaren Materialablagerungen
zu verhindern. Zwar entstehen auch beim chemischen Ätzen von Platin mit
CF4 an den Seitenflanken der verwendeten Hartmaske
aus Spin-on-Glas Filme, diese lassen sich jedoch relativ leicht
mit einer Bürste
und unter Zuhilfenahme eines Wasserstrahls entfernen. Die Filme
werden mechanisch durch die Bürste
von der Oberfläche
entfernt. Der Wasserstrahl dient dann nur noch zum Fortspülen der
losen Filme. Da auch hier auf die Verwendung von physikalischen Ätzverfahren verzichtet
wird, entstehen beim Verfahren gemäß der JP 5-21405 A relativ
flache Ätzflanken.
Außerdem führt das
nachträgliche
Entfernen der Hartmaske zu einer Topologieverschärfung.
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Es
ist daher Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zum Strukturieren
einer Schicht anzugeben, bei dem möglichst steile Ätzflanken
ohne weiteren Angriff der zu strukturierenden Schicht entstehen.
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Diese
Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch
ein Verfahren zum Strukturieren einer Schicht mit folgenden Schritten:
- – ein
Substrat mit zumindest einer dauerhaft zu strukturierenden Schicht
wird bereitgestellt;
- – auf
diese Schicht wird eine Ätzmaske
aus einem Lackmaterial aufgebracht;
- – die
Schicht wird mittels eines Ätzverfahrens
mit hoher physikalischer Ätzkomponente
unter Verwendung der Ätzmaske
geätzt,
so daß dabei
sehr steile Ätzflanken
in der Schicht geschaffen werden, wobei durch das Ätzen zumindest
auf der Schicht bzw. auf dem Substrat festhaftende und mechanisch
relativ stabile Materialablagerungen entstehen, die weitestgehend
umverteiltes und abgetragenes Material der Schicht enthalten und die Ätzrückstände darstellen;
und
- – die
Schicht wird nachfolgend mit einem auf die Schicht gerichteten Flüssigkeitsstrahl
eines organischen Lösungsmittels
gereinigt, durch den dabei die Ätzrückstände und
gege benenfalls die Ätzmaske
weitestgehend von der Schicht entfernt werden,
wobei
- – der
Flüssigkeitsstrahl
mit einem Druck von 20 bis 150 bar durch zumindest eine Düse gepreßt wird
und
- – die
zu strukturierende Schicht eine Metallschicht, eine Metalloxidschicht
oder ein Schichtenstapel, der zumindest aus einer Metallschicht und
einer metalloxidhaltigen Schicht besteht, ist, wobei das Metall
aus der Gruppe bestehend aus Platin, Titan, Ruthenium, Tantal, Iridium,
Rhenium, Palladium, Eisen, Kobalt, Nickel, Barium, Strontium, Niob,
Blei, Zirkon, Lanthan, Wismut, Kalzium oder Kalium ausgewählt wird.
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Mit
Hilfe der Erfindung ist es möglich, Ätzrückstände sowie
die ggf. auf dem Substrat und der strukturierten Schicht verbliebene Ätzmaske
durch einen gerichteten Flüssigkeitsstrahl
weitestgehend rückstandsfrei
zu entfernen. Dabei wird der Umstand ausgenutzt, daß die Ätzrückstände durch
die Wucht des auf sie gerichteten Flüssigkeitsstrahl vom Substrat
entfernt werden. Insbesondere bei einer ausreichend hohen Strömungsgeschwindigkeit
des Flüssigkeitsstrahls
lassen sich auch festhaftende Ätzrückstände entfernen.
Der Flüssigkeitsstrahl
wird bevorzugt durch zumindest eine Düse geformt, durch die Flüssigkeit
unter hohem Druck austritt und dabei einen relativ scharf gebündelten
und mit hoher Strömungsgeschwindigkeit
versehenen Hochdruckflüssigkeitsstrahl
bildet.
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Durch
Versuche konnte überraschenderweise
festgestellt werden, daß mittels
eines bevorzugt gebündelten
Flüssigkeitsstrahls
auch fest anhaftende und mit der zu ätzenden Schicht bzw. dem Substrat
verbundene Ätzrückstände von
der Schichtoberfläche
entfernbar sind. Derartige Ätzrückstände bestehen
häufig
aus einem amorphen oder polykristallinen Gemisch aus Schichtrückständen- und Ätzmaskenbestandteilen,
die mechanisch fest mit der zu strukturienden Schicht verbunden
sind. Die Schichtrückstände, d.h.
Materialablagerungen, schlagen sich zumindest teilweise während des Ätzprozesses an
den Seitenflanken der Ätzmaske
und auf der Oberseite der Ätzmaske
nieder und bilden dort zusammen mit teilweise aufgelockerten und
oberflächennahen Ätzmaskenschichten
eine mehrkomponentige festhaftende Schicht. Daher kann auch von aufgewachsenen Ätzrückständen bzw.
Materialablagerungen gesprochen werden. Diese sind chemisch selektiv
ohne Angriff der zu strukturierenden Schicht nur schwer zu entfernen,
da ein chemischer Abtrag der Materialablagerungen gleichzeitig die
zu strukturierende Schicht angreifen würde. Obwohl im weiteren von Ätzrückständen auf
der Schicht gesprochen wird, sollen auch die auf dem Substrat haftendenden Ätzrückstände mitumfaßt werden.
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Durch
den Flüssigkeitsstrahl
werden die Ätzrückstände weitestgehend
physikalisch entfernt. Ein chemischer Angriff auf die strukturierte
Schicht ist daher ausgeschlossen. Bevorzugt werden gegenüber der
Schicht weitestgehend inerte Flüssigkeiten
verwendet.
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Durch
das erfindungsgemäße Verfahren
ist es möglich,
die Schicht nahezu ausschließlich
mit einem Ätzverfahren
mit physikalischer Komponente zu ätzen und dadurch sehr steile Ätzflanken
(70°–90°) der geätzten Schicht
zu erhalten. Die bei diesem Ätzen,
z.B. bei reinem Argonsputtern, entstehenden unerwünschten
Materialablagerungen auf der Ätzmaske
werden jedoch gemäß der Erfindung
anschließend
weitestgehend rückstandsfrei
und einfach durch den Flüssigkeitsstrahl
entfernt. Die Verwendung von reaktiven Gasen beim Ätzen, die
zu facettierten Flanken führen
und dadurch die laterale Ausdehnung der aus der Schicht geätzten Strukturen
erhöhen,
ist nicht nötig.
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Bevorzugt
wird eine die zu strukturierende Schicht chemisch weitestgehend
nicht angreifende Flüssigkeit
verwendet. Dadurch kommt es während der
Reinigung durch den Flüssigkeitstrahl
nicht zu einem Abtrag der strukturierten Schicht. Diese bleibt vielmehr
maßhaltig.
Unterstützend
kann in der Flüssigkeit
eine die Ätzmaske
bzw. die Ätzmaskenreste angreifende
Substanz enthalten sein. Dadurch wird neben der zunächst rein
physikalischen Reinigungskomponente eine chemische Komponente hinzugefügt, die
jedoch ausschließlich
zu einem Abtrag der Ätzmaske
bzw. der Ätzmaskenreste
führt.
Günstig
ist beispielsweise die Verwendung von N-Methylpyrrolidon.
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Optional
kann vor dem Entfernen der Ätzrückstände und
Materialablagerungen die Ätzmaske zumindest
teilweise entfernt werden. Dadurch verlieren die Ätzrückstände bis
zu einem gewissen Grad ihre mechanische Unterstützung durch die Ätzmaske und
können
daher leichter durch den Flüssigkeitsstrahl
entfernt werden. Die Ätzmaske
kann beispielsweise durch ein Veraschen des Ätzmaskenmaterials oder durch
naßchemischen
Abtrag entfernt werden. Günstig
ist weiterhin eine abschließende
Reinigung der geätzten
Schicht, um noch anhaftende Rückstände zu entfernen.
Die abschließende
Reinigung erfolgt bevorzugt unter Einwirkung von Ultraschall oder
Megaschall.
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Mit
dem erfindungsgemäßen Verfahren
können
Metallschichten, Metalloxidschichten oder Schichtenstapel, die zumindest
aus einer Metallschicht und einer metalloxidhaltigen Schicht bestehen,
mit sehr steilen Profilflanken strukturiert werden.
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Dieses
Verfahren wird bei der Strukturierung von Metallschichten aus insbesondere
Platin, Ruthenium, Iridium, Rhenium, Palladium, Eisen, Kobalt, Nickel,
Schichten aus Iridiumoxid und Rutheniumoxid sowie von amorphen bzw,
po lykristallinen metalloxidhaltigen Schichten, die zur Herstellung
von Halbleiterspeichern verwendet werden, benutzt.
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Im
folgenden wird die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels beschrieben
und schematisch in einer Zeichnung dargestellt. Es zeigen:
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1a bis 1e einzelne
Verfahrensschritte des erfindungsgemäßen Verfahrens,
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2 und 3 auf
einem Schichtenstapel verbliebene Ätzrückstände, und
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4 und 5 eine
Vorrichtung.
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In 1 ist ein Grundsubstrat 5 dargestellt, auf
dessen Oberseite eine Schichtstruktur aus einer Oxid- oder Nitridschicht 10,
einer Barrierenschicht 15 und einer Platinschicht 20 angeordnet
sind. Die Platinschicht 20 und die Barrierenschicht 15 stellen
hier zusammen die zu strukturierende Schicht dar. Die Barrierenschicht 15 besteht
ihrerseits aus einer etwa 100 nm dicken Titannitridschicht und einer
darunter befindlichen etwa 20 nm dicken Titanschicht. Die Platinschicht 20 ist
etwa 250 nm dick. Auf die Platinschicht wird nachfolgend eine Ätzmaske 25 aufgebracht.
Die Ätzmaske 25 kann
aus einem fotolithografisch strukturierbaren Material, beispielsweise Photolack,
bestehen und dadurch leicht strukturiert werden. Sofern ein lichtunempfindliches
Maskenmaterial verwendet wird, erfolgt das Strukturieren der Ätzmaske 25 unter
Verwendung einer weiteren fotolithografisch strukturierbaren Schicht.
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Anschließend werden
die Platinschicht 20 und die Barrierenschicht 15 geätzt. Dies
erfolgt bevorzugt in einem MERIE-Reaktor (Magnetically Enhanced
Reactive Ion Etching), wobei die Prozeßkammer zuvor auf einen Druck.
von etwa1,33·10–2 evaku iert
wurde. Danach wird die Platinschicht 20 in reinem Argonplasma
etwa 3 Minuten lang bei etwa 50°C
geätzt,
wobei das verwendete Magnetfeld etwa 0,008 T (80 Gauss) aufweist
und die zur Aufrechterhaltung des Plasmas nötige Leistung etwa 750 Watt
beträgt. Der
Argonätzprozeß ist ein
nahezu rein physikalischer Ätzvorgang,
da das Platin nur durch die beschleunigten Argonionen abgetragen
wird. Da die Barrierenschicht 15 im Gegensatz zur Platinschicht 20 unterschiedlich
stark durch Argon geätzt
wird, dient die Barrierenschicht 15 hier gleichzeitig als Ätzstoppschicht,
so daß ein
eventuell auftretendes räumlich
inhomogenes Ätzen
der Platinschicht 20 nicht zu einer ungleichmäßigen Ätztopologie
führt.
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Nach
dem Ätzen
der Platinschicht 20 wird die Barrierenschicht 15 in
einem reinen Chlorplasma für etwa
30 sec geätzt.
Da ein Ätzangriff
des Chlors auf der Seitenwand des strukturierten Platins nur unwesentlich
erfolgt, und da die Oberseite der Platinschicht 20 weiterhin
durch die Maske 25 geschützt ist, wird die Platinschicht 20 während der
Barrierenätzung
nicht weiter abgetragen.
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Insbesondere
beim Ätzen
der Platinschicht 20 bilden sich Materialablagerungen 30 (redepositions)
an den Seitenwänden
der Ätzmaske 25 aus. Diese
bestehen überwiegend
aus umverteilten Platin. Durch das Ätzen kann es weiterhin auch
zu einem teilweisen Abtragen der Ätzmaske 25 kommen,
was sich in leicht geneigten Flanken der Ätzmaske 25 bemerkbar
macht. Grundsätzlich
werden jedoch mittels Argonsputtern äußerst steile Flanken (80°–90°) 32 geätzt. Materialablagerungen
entstehen darüber
hinaus auch auf der Oberseite der Ätzmaske 25. Diese werden
jedoch durch die Argonionen immer wieder abgetragen, so daß dort eine
sich ständig
erneuernde Schicht bildet, die äußerst dünn ist.
Diese dünne Schicht
ist in den Figuren nicht dargestellt.
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Zum
Entfernen der Materialablagerungen 30 und der Ätzmaske 25 werden
anschließend
mehrere Reinigungsschritte durchgeführt. Zunächst wird die Ätzmaske 25 durch
Einwirkung eines Sauerstoffplasmas verbrannt, wodurch auf der Platinschicht 20 nur noch
die Materialablagerungen 30 in Form von steilen Wänden verbleiben,
die nach Entfernen der Ätzmaske 25 aufgrund
der nun fehlenden mechanischen Unterstützung zueinander gebogen sein
können.
Es ist möglich,
daß bei
dem Veraschen die Ätzmaske 25 bis
auf einige Rückstände 35 von
der Platinschicht 20 entfernt wird. Diese Rückstände 35 können durch eine
naßchemische
Reinigung in einer karoschen Säure
(H2O2 + H2SO9) oder durch
ein Hydroxylamin, Katechol und Ethylendiamin enthaltendes Reinigungsmedium
entfernt werden. Alternativ kann auch die gesamte Maske 25 naßchemisch
entfernt werden.
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Eventuell
verbliebene Ätzmaskenrückstände 35 und
die Materialablagerungen 30 werden nachfolgend durch einen
Flüssigkeitsstrahl 45 weitestgehend
rückstandsfrei
von der Platinschicht 20 entfernt. Der Flüssigkeitsstrahl 45 wird
mittels einer Düse 40 geformt,
durch die die Flüssigkeit
mit hohem Druck strömt.
Günstig
ist ein Druck, der materialabhängig zwischen
20 und 150 bar gewählt
wird. Bei Platin haben sich etwa 80 bar bewährt.
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Die
verwendete Flüssigkeit
des Flüssigkeitsstrahls 45 ist
bevorzugt eine N-Methylpyrrolidon-Lösung (NMP), die eine Temperatur
von etwa 80°C
aufweist. Bei dieser Temperatur lösen sich besonders gut eventuell
verbliebene Ätzmaskenreste
von der Platinschicht 20 ab. Zur Temperierung des Flüssigkeitsstrahls 45 ist
die Düse 40 mit
einer Heizvorrichtung 50 versehen.
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Um
alle Bereiche des Grundsubstrats 5, das üblicherweise
ein Wafer ist, mit dem Flüssigkeitsstrahl 45 zu überstreichen,
wird das Grundsubstrat 5 mit etwa 200 Hz rotiert. Gleichzei tig
wird der Flüssigkeitstrahl
45 vom Innenbereich zum Außenbereich des
Grundsubstrats 5 bewegt. Günstig ist, die Bewegungsgeschwindigkeit
des Flüssigkeitsstrahls
45 zum Außenbereich
des Grundsubstrats 5 hin zu verringern, um der vom Flüssigkeitsstrahl 45 pro
Umdrehung zu überstreichenden
Fläche
des Grundsubstrats 5 Rechnung zu tragen. Typischerweise
dauert ein Reinigungsvorgang etwa 4 min.
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Gute
Reinigungsergebnisse werden bei einem Abstand der Düse 40 vom
Grundsubstrat von etwa 1 bis 3 cm und einem Abstrahlwinkel von etwa 90° zur Grundsubstratoberfläche erhalten.
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Ein
großer
Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens
besteht darin, daß die
auf die Oberfläche auftreffende
Flüssigkeit
relativ leicht durch einen nachfolgenden Spülschritt mit deionisiertem
Wasser weitestgehend rückstandsfrei
vom Grundsubstrat 5 beseitigt werden kann. Daher ist dieses
Verfahren auch besonders kostengünstig.
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Abschließend kann
optional eine naßchemische
Reinigung und/oder eine Reinigung mit weichen Bürsten (Scrubber) zum Entfernen
von eventuell verbliebenen Partikeln bzw. Resten durchgeführt werden.
Dies erfolgt bevorzugt in Anwesenheit einer stark verdünnten Flußsäure (HF)
oder verdünntem Ammoniak
unter Einwirkung von Ultraschall bzw. Megaschall.
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Die
Reinigungswirkung des Flüssigkeitsstrahls
beruht auf mehreren sich ergänzenden
Komponenten. Die Hauptwirkung wird durch die Impulseinwirkung des
Flüssigkeitsstrahles
erzielt. Dabei brechen die auf der Schichtoberfläche aufgewachsenen Ätzrückstände ab und
können
dadurch von der die Schichtoberfläche überstreichenden Flüssigkeit, die
entlang der Oberfläche
einen Flüssigkeitsstrom bildet,
fortgetragen werden. Durch den am Grundsubstrat bzw. an der Substratoberfläche vorbeistreichenden
Flüssigkeitsstrom
wird eine Reibungskraft erzeugt, die zu einem Forttragen der Ätzrückstände führt. Diese
Reibungskraft hängt
von der Geschwindigkeit der Flüssigkeitsmoleküle ab, so
daß es
aufgrund der in unmittelbarer Nähe
der Schichtoberfläche
ruhenden Flüssigkeitsschicht
dazu kommen kann, daß die
Reibungskraft zum Entfernen von fest anhaftenden und relativ kleinen Ätzrückständen nicht mehr
ausreicht. Wird die Strömungsgeschwindigkeit des
Flüssigkeitsstrahls 45 entsprechend
erhöht,
führt dies
zu zwei die Reinigungswirkung unterstützenden Effekten. Zum einen
gleiten die Flüssigkeitsmoleküle mit höherer Geschwindigkeit über die
Schichtoberfläche
und führen
dadurch zu einer höheren
Reibungskraft. Andererseits treffen die Flüssigkeitsmoleküle aus dem
Flüssigkeitsstrahl 45 mit
hoher Geschwindigkeit auf die Substratoberfläche, so daß die Flüssigkeitsmoleküle zumindest
in diesem Bereich bis zu dem an der Oberfläche anhaftenden und weitestgehend
ruhenden Flüssigkeitsfilm
gelangen und dort ebenfalls eine Flüssigkeitsströmung herbeiführen. Die
Dicke des ruhenden Flüssigkeitsstroms
wird somit verringert, so daß bereits
nach kurzer Entfernung von der Schichtoberfläche ein starker, die Ätzrückstände forttragender
Flüssigkeitsstrom
herrscht. Auch das Anlösen
von Lackresten 35, durch das warme organische Lösungsmittel
ist entscheidend.
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Das
erfindungsgemäße Verfahren
kann auch zum gemeinsamen Strukturieren eines Schichtenstapels 55 verwendet
werden, der z.B. aus einer Barrierenschicht 15, einer Platinschicht 20 sowie
einer metalloxidhaltigen Schicht 60 besteht. Derartige
Schichtenstapel 55 werden beispielsweise zur Herstellung von
Halbleiterspeichern verwendet. Die metalloxidhaltige Schicht 60 besteht
bevorzugt aus einem Material der allgemeinen Form ABOx oder
BOx, wobei A für zumindestens ein Metall aus
der Gruppe Barium, Strontium, Niob, Blei, Zirkon, Lanthan, Wismut,
Kalzium und Kalium, B für
Titan, Ruthenium oder Tantal und O für Sauerstoff steht. X liegt
zwischen 2 und 12. Vertreter dieser Stoffklassen sind beispielsweise Strontium-Wismut-Tantalat (SrBi2TazO9) und Tantaloxid
(Ta2O5).
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Die
beim Ätzen
dieses Schichtenstapels 55 entstehenden Materialablagerungen 30 können nach dem
Veraschen der Ätzmaske 25 auch
zueinander leicht geneigt sein. Dies ist in 2 dargestellt.
Die unter dem Schichtenstapel 55 befindliche Schicht 10, die
bevorzugt aus Siliziumdioxid oder Siliziumnitrid besteht, wirkt
beim Ätzen
des Schichtenstapels 55 gleichzeitig als Ätzstoppschicht.
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In 3 sind
die Materialablagerungen 30 infolge des gemeinsamen Ätzens einer
weiteren Platinschicht 62 und der metalloxidhaltigen Schicht 60 dargestellt.
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Das
Strukturieren der Platinschicht 20 bzw. des Schichtenstapels 55 erfolgt
bevorzugt in einer Reinigungskammer 65, die in der 5 dargestellt ist.
Diese weist eine Schleuse 70 zum Einführen des Grundsubstrats 75 in
die Reinigungskammer 65 auf. weiterhin ist die Reinigungskammer 65 mit
einer hier nicht näher
dargestellten Pumpe über
einen Absaugstutzen 80 verbunden über diese Pumpe kann z.B. auch
das Reinigungsmedium (Flüssigkeitsstrahl) abgesaugt
und dem Reinigungsprozeß ressourcensparend
wieder zugeführt
werden. Das Grundsubstrat 75 liegt auf einem beheizbaren
Substratträger 85, der über eine
Heizung 90 beheizt wird. In der Prozeßkammer 65 sind weiterhin
bewegbare Düsen 40 angeordnet,
die rasterförmig
bzw. radial das Grundsubstrat 75 überstreichen können.
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Die
Flüssigkeit
zum Entfernen der Ätzrückstände 30 wird
den Düsen 40 über eine
Druckleitung 100 zugeführt.
Diese, wie auch das Reservoir 95 und die Düsen 40,
sind von einer Heizvorrichtung 50 in Form von elektrischen
Heizwendeln zum Erwärmen des
Flüssigkeit
umgeben.
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Gemäß 4 ist
die Reinigungskammer 65 mit der Ätzkammer 110 zu einem
sogenannten Cluster tool zusammengefaßt. Das Grundsubstrat 75 wird von
einer Inputstation über
eine Transportstation 115, in der ein reduzierter Druck
herrscht, in die Ätzkammer 110 transportiert.
Nach dem Ätzen
wird die Maske in einer sogenannten Strip-kammer 120 entfernt und
durch eine weitere Transportstation 116, in der bevorzugt
etwa atmosphärischer
Druck herrscht, zur Reinigungskammer 65 überführt. Sofern
auf ein Veraschen der Maske verzichtet werden kann, wird keine Stripkammer 120 benötigt und
die weitere Transportstation 116 kann als Trockensystem
ausgeführt werden.