JP2003118859A - 可撓性板状体の取出装置および取出方法 - Google Patents
可撓性板状体の取出装置および取出方法Info
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- JP2003118859A JP2003118859A JP2001319501A JP2001319501A JP2003118859A JP 2003118859 A JP2003118859 A JP 2003118859A JP 2001319501 A JP2001319501 A JP 2001319501A JP 2001319501 A JP2001319501 A JP 2001319501A JP 2003118859 A JP2003118859 A JP 2003118859A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 取り出そうとするウエハなどの可撓性板状体
を破損させることなく、確実に１枚ずつ分離して取り出
すことができる可撓性板状体の取出装置および取出方法
を提供する。 【解決手段】 取出装置は、最上部のウエハ１２ａの一
部分を押えて固定する固定パッド１４と、ウエハ１２ａ
の他の部分を上方から吸着して引き上げる吸着パッド１
３と、ウエハ１２の引き上げられた端面部分を擦る摺接
体１６とを備える。複数枚積み重ねられた略四角形のウ
エハ１２を最上部から枚葉で取り出す際、固定パッド１
４によって最上部のウエハ１２ａの一部分を押えて固定
し、吸着パッド１３によってウエハ１２ａの他の部分を
吸着して上方に引き上げて反らし、この引き上げられた
端面部分を摺接体１６によって擦り、ウエハ１２ｂを分
離した後、最上部のウエハ１２ａを上方に引き上げて取
り出す。
を破損させることなく、確実に１枚ずつ分離して取り出
すことができる可撓性板状体の取出装置および取出方法
を提供する。 【解決手段】 取出装置は、最上部のウエハ１２ａの一
部分を押えて固定する固定パッド１４と、ウエハ１２ａ
の他の部分を上方から吸着して引き上げる吸着パッド１
３と、ウエハ１２の引き上げられた端面部分を擦る摺接
体１６とを備える。複数枚積み重ねられた略四角形のウ
エハ１２を最上部から枚葉で取り出す際、固定パッド１
４によって最上部のウエハ１２ａの一部分を押えて固定
し、吸着パッド１３によってウエハ１２ａの他の部分を
吸着して上方に引き上げて反らし、この引き上げられた
端面部分を摺接体１６によって擦り、ウエハ１２ｂを分
離した後、最上部のウエハ１２ａを上方に引き上げて取
り出す。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数枚積み重ねら
れた太陽電池用多結晶シリコーンウエハなどの可撓性板
状体を最上部から１枚ずつ吸着して取り出す可撓性板状
体の取出装置および取出方法に関する。
れた太陽電池用多結晶シリコーンウエハなどの可撓性板
状体を最上部から１枚ずつ吸着して取り出す可撓性板状
体の取出装置および取出方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】太陽電池用多結晶シリコーンウエハ（以
下、単に「ウエハ」という。）は、その特性上の問題で
強度の幅が広く、僅かな応力や変形によって破損するこ
とがある。そこで、太陽電池の製造工程においては、複
数枚積み重ねられた状態から最上部のウエハを１枚ずつ
取り出す際に、取り出そうとする１枚目のウエハ端部を
吸着手段で上方に引き上げて反らして変形させることに
よって、２枚目のウエハとの間に隙間を形成し、その隙
間に周囲の空気を流入させて密着状態から剥離（分離）
させて取り出す取出装置が一般に用いられている（たと
えば、特開平９−１２４１７２号公報、特開平８−３３
７３２８号公報、特開平６−１７９５３４号公報参
照）。以下、図面を参照しながら典型的な従来の取出装
置について説明する。
下、単に「ウエハ」という。）は、その特性上の問題で
強度の幅が広く、僅かな応力や変形によって破損するこ
とがある。そこで、太陽電池の製造工程においては、複
数枚積み重ねられた状態から最上部のウエハを１枚ずつ
取り出す際に、取り出そうとする１枚目のウエハ端部を
吸着手段で上方に引き上げて反らして変形させることに
よって、２枚目のウエハとの間に隙間を形成し、その隙
間に周囲の空気を流入させて密着状態から剥離（分離）
させて取り出す取出装置が一般に用いられている（たと
えば、特開平９−１２４１７２号公報、特開平８−３３
７３２８号公報、特開平６−１７９５３４号公報参
照）。以下、図面を参照しながら典型的な従来の取出装
置について説明する。
【０００３】図１３は、従来の取出装置におけるウエハ
取出しハンド１の概略を示す平面図であり、図１４はウ
エハ取出しハンド１の概略を示す正面図であり、図１５
はウエハ取出しハンド１の概略を示す側面図である。
取出しハンド１の概略を示す平面図であり、図１４はウ
エハ取出しハンド１の概略を示す正面図であり、図１５
はウエハ取出しハンド１の概略を示す側面図である。
【０００４】ウエハ２は略正方形の板状体であり、製造
工程では図１４および図１５に示すように複数枚積み重
ねられた状態で供給される。取出装置は、複数枚積み重
ねられた略四角形のウエハ２を最上部から枚葉で取り出
す装置であり、ウエハ取出しハンド１を備える。ウエハ
取出しハンド１は、図示しないエアーシリンダ機構など
の駆動部を有し、取出装置の制御部（図示せず）からの
制御によって昇降動作を行う。
工程では図１４および図１５に示すように複数枚積み重
ねられた状態で供給される。取出装置は、複数枚積み重
ねられた略四角形のウエハ２を最上部から枚葉で取り出
す装置であり、ウエハ取出しハンド１を備える。ウエハ
取出しハンド１は、図示しないエアーシリンダ機構など
の駆動部を有し、取出装置の制御部（図示せず）からの
制御によって昇降動作を行う。
【０００５】ウエハ取出しハンド１は、ウエハ２と略同
じ大きさの略正方形の支持板１ａを備え、この支持板１
ａの一対の対角位置端部にはそれぞれ吸着パッド３が１
個ずつ取り付けられており、他の一対の対角位置端部に
はそれぞれ固定パッド４が１個ずつ取り付けられてい
る。さらに、支持板１ａの中央部にはベルヌイチャック
ユニット５が取り付けられている。
じ大きさの略正方形の支持板１ａを備え、この支持板１
ａの一対の対角位置端部にはそれぞれ吸着パッド３が１
個ずつ取り付けられており、他の一対の対角位置端部に
はそれぞれ固定パッド４が１個ずつ取り付けられてい
る。さらに、支持板１ａの中央部にはベルヌイチャック
ユニット５が取り付けられている。
【０００６】図１６は、取出装置によるウエハ２の取出
動作を説明するための正面図である。図１６（ａ）は、
ウエハ２の取出動作開始時の動作状態を示している。こ
の状態は、ウエハ取出しハンド１全体が下降し、固定パ
ッド４（図１３および図１４参照）がウエハ２の一対の
対角位置端部に当接して下降が停止し、吸着パッド３は
ウエハ２に当接しているがまだ吸着していない状態であ
る。
動作を説明するための正面図である。図１６（ａ）は、
ウエハ２の取出動作開始時の動作状態を示している。こ
の状態は、ウエハ取出しハンド１全体が下降し、固定パ
ッド４（図１３および図１４参照）がウエハ２の一対の
対角位置端部に当接して下降が停止し、吸着パッド３は
ウエハ２に当接しているがまだ吸着していない状態であ
る。
【０００７】図１６（ｂ）は、吸着パッド３によってウ
エハ２を吸着した状態を示している。吸着パッド３の変
形（収縮）によって１枚目（最上部）のウエハ２ａの他
の一対の対角位置端部が上方に引き上げられ、２枚目の
ウエハ２ｂとの間に隙間６が発生し、外気が内部に向か
って流入している。
エハ２を吸着した状態を示している。吸着パッド３の変
形（収縮）によって１枚目（最上部）のウエハ２ａの他
の一対の対角位置端部が上方に引き上げられ、２枚目の
ウエハ２ｂとの間に隙間６が発生し、外気が内部に向か
って流入している。
【０００８】図１６（ｃ）は、ウエハ取出しハンド１の
中央部に備えられたベルヌイチャックユニット５によっ
て１枚目のウエハ２ａの中央部を引き上げた状態を示し
ている。中央部を引き上げることによって、引き上げら
れた対角位置端部で発生した隙間６が繋がり、ウエハ２
ａの引き上げられた対角位置端部間に連続したトンネル
（空洞）が形成される。このとき、図示しない固定パッ
ド４は一対の対角位置端部を上方から押えた状態であ
り、その位置では１枚目のウエハ２ａと２枚目のウエハ
２ｂとは密着している。
中央部に備えられたベルヌイチャックユニット５によっ
て１枚目のウエハ２ａの中央部を引き上げた状態を示し
ている。中央部を引き上げることによって、引き上げら
れた対角位置端部で発生した隙間６が繋がり、ウエハ２
ａの引き上げられた対角位置端部間に連続したトンネル
（空洞）が形成される。このとき、図示しない固定パッ
ド４は一対の対角位置端部を上方から押えた状態であ
り、その位置では１枚目のウエハ２ａと２枚目のウエハ
２ｂとは密着している。
【０００９】図１６（ｄ）は、図１６（ｃ）に示す状態
（ウエハ２ａの他の一対の対角位置端部を吸着パッド３
で吸着し、中央部をベルヌイチャックユニット５で引き
上げた状態）から、ウエハ取出しハンド１を矢印Ｒ１方
向へ、図示しないエアーシリンダ等の駆動機構によって
上昇させた状態を示している。ウエハ取出しハンド１を
上昇させることによって、１枚目のウエハ２ａと２枚目
のウエハ２ｂとが完全に分離され、取出作業が完了す
る。
（ウエハ２ａの他の一対の対角位置端部を吸着パッド３
で吸着し、中央部をベルヌイチャックユニット５で引き
上げた状態）から、ウエハ取出しハンド１を矢印Ｒ１方
向へ、図示しないエアーシリンダ等の駆動機構によって
上昇させた状態を示している。ウエハ取出しハンド１を
上昇させることによって、１枚目のウエハ２ａと２枚目
のウエハ２ｂとが完全に分離され、取出作業が完了す
る。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】ウエハ２を取り出す
際、ウエハ２の反らし量が小さいと破損は発生し難くな
るが、密着状態からの剥離（分離）が充分でなく、数枚
重なったままウエハ２が取り出されてしまうことがあ
る。一方、ウエハ２の反らし量を大きくすると、分離は
確実に行えるが、変形応力の増大による破損が発生し易
くなる。このように、反らし量の調整だけではウエハ２
を破損させることなく１枚ずつ取り出すのは大変困難で
あり、最適な取出装置および取出方法が切望されてい
る。
際、ウエハ２の反らし量が小さいと破損は発生し難くな
るが、密着状態からの剥離（分離）が充分でなく、数枚
重なったままウエハ２が取り出されてしまうことがあ
る。一方、ウエハ２の反らし量を大きくすると、分離は
確実に行えるが、変形応力の増大による破損が発生し易
くなる。このように、反らし量の調整だけではウエハ２
を破損させることなく１枚ずつ取り出すのは大変困難で
あり、最適な取出装置および取出方法が切望されてい
る。
【００１１】本発明の目的は、取り出そうとするウエハ
などの可撓性板状体を破損させることなく、確実に１枚
ずつ分離して取り出すことができる可撓性板状体の取出
装置および取出方法を提供することである。
などの可撓性板状体を破損させることなく、確実に１枚
ずつ分離して取り出すことができる可撓性板状体の取出
装置および取出方法を提供することである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明は、複数枚積み重
ねられた略四角形の可撓性板状体を最上部から枚葉で取
り出す取出装置において、最上部の可撓性板状体の一部
分を押えて固定する固定手段と、前記可撓性板状体の他
の部分を上方から吸着して引き上げる吸着手段と、前記
可撓性板状体の引き上げられた端面部分を擦る摺接体と
を備え、前記固定手段によって最上部の可撓性板状体の
一部分を押えて固定し、前記吸着手段によって前記可撓
性板状体の他の部分を吸着して上方に引き上げて反ら
し、この引き上げられた端面部分を前記摺接体によって
擦った後に、最上部の可撓性板状体を上方に引き上げて
取り出すことを特徴とする可撓性板状体の取出装置であ
る。
ねられた略四角形の可撓性板状体を最上部から枚葉で取
り出す取出装置において、最上部の可撓性板状体の一部
分を押えて固定する固定手段と、前記可撓性板状体の他
の部分を上方から吸着して引き上げる吸着手段と、前記
可撓性板状体の引き上げられた端面部分を擦る摺接体と
を備え、前記固定手段によって最上部の可撓性板状体の
一部分を押えて固定し、前記吸着手段によって前記可撓
性板状体の他の部分を吸着して上方に引き上げて反ら
し、この引き上げられた端面部分を前記摺接体によって
擦った後に、最上部の可撓性板状体を上方に引き上げて
取り出すことを特徴とする可撓性板状体の取出装置であ
る。
【００１３】本発明に従えば、固定手段と吸着手段とに
よって反らされた可撓性板状体の端面部分が、摺接体に
よって擦られる。これによって、たとえば２枚の可撓性
板状体が密着した状態で吸着されていた場合、摺接体に
よって端面部分が擦られて２枚の可撓性板状体間に隙間
が生じ、その隙間に周囲から外気が流入して、２枚目の
可撓性板状体が１枚目の可撓性板状体から分離される。
分離された２枚目の可撓性板状体は、下方に落下する。
３枚以上の可撓性板状体が密着していた場合も、同様に
して２枚目以降の可撓性板状体が分離される。したがっ
て、密着している可撓性板状体を分離するために、可撓
性板状体を過剰に反らせる必要がなくなるので、発生す
る応力が小さくなり、可撓性板状体の破損を防止でき
る。また、確実に１枚ずつ可撓性板状体を取り出すこと
ができるので、安定した可撓性板状体の供給が可能とな
る。
よって反らされた可撓性板状体の端面部分が、摺接体に
よって擦られる。これによって、たとえば２枚の可撓性
板状体が密着した状態で吸着されていた場合、摺接体に
よって端面部分が擦られて２枚の可撓性板状体間に隙間
が生じ、その隙間に周囲から外気が流入して、２枚目の
可撓性板状体が１枚目の可撓性板状体から分離される。
分離された２枚目の可撓性板状体は、下方に落下する。
３枚以上の可撓性板状体が密着していた場合も、同様に
して２枚目以降の可撓性板状体が分離される。したがっ
て、密着している可撓性板状体を分離するために、可撓
性板状体を過剰に反らせる必要がなくなるので、発生す
る応力が小さくなり、可撓性板状体の破損を防止でき
る。また、確実に１枚ずつ可撓性板状体を取り出すこと
ができるので、安定した可撓性板状体の供給が可能とな
る。
【００１４】また本発明は、前記固定手段は、前記可撓
性板状体の一対の対角位置端部を固定し、前記吸着手段
は、前記可撓性板状体の他の一対の対角位置端部を吸着
することを特徴とする。
性板状体の一対の対角位置端部を固定し、前記吸着手段
は、前記可撓性板状体の他の一対の対角位置端部を吸着
することを特徴とする。
【００１５】本発明に従えば、可撓性板状体における固
定位置と吸着位置との距離が比較的長くなるので、可撓
性板状体の反らし量を比較的大きくしても発生する応力
は小さく、可撓性板状体の破損を防止できる。また、可
撓性板状体を比較的大きく反らすことができるので、密
着している可撓性板状体を分離しやすくなる。
定位置と吸着位置との距離が比較的長くなるので、可撓
性板状体の反らし量を比較的大きくしても発生する応力
は小さく、可撓性板状体の破損を防止できる。また、可
撓性板状体を比較的大きく反らすことができるので、密
着している可撓性板状体を分離しやすくなる。
【００１６】さらに本発明は、前記可撓性板状体の略中
央部を吸着して引き上げる引上手段をさらに備え、前記
固定手段によって前記可撓性板状体の一対の対角位置端
部を押えて固定し、前記吸着手段によって前記可撓性板
状体の他の一対の対角位置端部を吸着して上方に引き上
げて反らした後に、前記引上手段によって前記可撓性板
状体の略中央部も吸着して上方に引き上げることを特徴
とする。
央部を吸着して引き上げる引上手段をさらに備え、前記
固定手段によって前記可撓性板状体の一対の対角位置端
部を押えて固定し、前記吸着手段によって前記可撓性板
状体の他の一対の対角位置端部を吸着して上方に引き上
げて反らした後に、前記引上手段によって前記可撓性板
状体の略中央部も吸着して上方に引き上げることを特徴
とする。
【００１７】本発明に従えば、可撓性板状体は一対の対
角位置端部が押えられて固定された状態で、他の一対の
対角位置端部が上方に引き上げられるとともに、その中
央部も引き上げられるので、引き上げられた対角位置端
部間が繋がってトンネル（空洞）が形成され、外気が中
央部まで流入し、確実に可撓性板状体を分離することが
できる。
角位置端部が押えられて固定された状態で、他の一対の
対角位置端部が上方に引き上げられるとともに、その中
央部も引き上げられるので、引き上げられた対角位置端
部間が繋がってトンネル（空洞）が形成され、外気が中
央部まで流入し、確実に可撓性板状体を分離することが
できる。
【００１８】また本発明は、前記吸着手段は、前記可撓
性板状体の引上量を調整できることを特徴とする。
性板状体の引上量を調整できることを特徴とする。
【００１９】また本発明は、前記引上手段は、前記可撓
性板状体を引上量を調整できることを特徴とする。
性板状体を引上量を調整できることを特徴とする。
【００２０】本発明に従えば、可撓性板状体の厚みや強
度などの特性に応じて引上量、すなわち反らせる量を調
整できる。これによって、発生する応力を考慮して可撓
性板状体を最適な量だけ反らせることができるので、可
撓性板状体を破損させることなく確実に分離することが
できる。
度などの特性に応じて引上量、すなわち反らせる量を調
整できる。これによって、発生する応力を考慮して可撓
性板状体を最適な量だけ反らせることができるので、可
撓性板状体を破損させることなく確実に分離することが
できる。
【００２１】また本発明は、可撓性板状体の略中央部の
引上量は、前記他の一対の対角位置端部の引上量より少
ないことを特徴とする。
引上量は、前記他の一対の対角位置端部の引上量より少
ないことを特徴とする。
【００２２】本発明に従えば、可撓性板状体の中央部の
引上量は引き上げられた対角位置端部の引上量よりも少
ないので、可撓性板状体に発生する応力が小さくなり、
可撓性板状体の破損を防止することができる。
引上量は引き上げられた対角位置端部の引上量よりも少
ないので、可撓性板状体に発生する応力が小さくなり、
可撓性板状体の破損を防止することができる。
【００２３】また本発明は、前記摺接体は、上下方向お
よび／または前記可撓性板状体の端面部分に近接離反す
る方向に移動可能であることを特徴とする。
よび／または前記可撓性板状体の端面部分に近接離反す
る方向に移動可能であることを特徴とする。
【００２４】本発明に従えば、摺接体は上下方向に移動
するので、可撓性板状体の端面部分を充分に擦ることが
でき、可撓性板状体を確実に分離することができる。ま
た、摺接体は、可撓性板状体の端面部分に近接離反する
方向に移動するので、必要時にのみ端面部分に接触さ
せ、不要時は離反させることができ、他の動作時に摺接
体が邪魔にならず、スムーズに取出作業を行うことがで
きる。
するので、可撓性板状体の端面部分を充分に擦ることが
でき、可撓性板状体を確実に分離することができる。ま
た、摺接体は、可撓性板状体の端面部分に近接離反する
方向に移動するので、必要時にのみ端面部分に接触さ
せ、不要時は離反させることができ、他の動作時に摺接
体が邪魔にならず、スムーズに取出作業を行うことがで
きる。
【００２５】また本発明は、引き上げられた可撓性板状
体の枚数を検出する検出手段をさらに備え、前記検出手
段による検出結果が２枚以上であるときに前記摺接体に
よる動作を行うことを特徴とする。
体の枚数を検出する検出手段をさらに備え、前記検出手
段による検出結果が２枚以上であるときに前記摺接体に
よる動作を行うことを特徴とする。
【００２６】本発明に従えば、２枚以上の可撓性板状体
が密着した状態で引き上げられたときだけ、摺接体で可
撓性板状体の端面部分を擦る分離動作を行うようにした
ので、無駄な動作を省くことができ、可撓性板状体を効
率良く取り出すことができる。
が密着した状態で引き上げられたときだけ、摺接体で可
撓性板状体の端面部分を擦る分離動作を行うようにした
ので、無駄な動作を省くことができ、可撓性板状体を効
率良く取り出すことができる。
【００２７】さらに本発明は、複数枚積み重ねられた略
四角形の可撓性板状体を最上部から枚葉で取り出す可撓
性板状体の取出方法において、最上部の可撓性板状体の
一部分を押えて固定する工程と、前記可撓性板状体の他
の部分を吸着して上方に引き上げる工程と、前記可撓性
板状体の引き上げられた端面部分を摺接体で擦る工程と
を含むことを特徴とする可撓性板状体の取出方法であ
る。
四角形の可撓性板状体を最上部から枚葉で取り出す可撓
性板状体の取出方法において、最上部の可撓性板状体の
一部分を押えて固定する工程と、前記可撓性板状体の他
の部分を吸着して上方に引き上げる工程と、前記可撓性
板状体の引き上げられた端面部分を摺接体で擦る工程と
を含むことを特徴とする可撓性板状体の取出方法であ
る。
【００２８】本発明に従えば、上方に引き上げられるこ
とによって反らされた可撓性板状体の端面部分が、摺接
体によって擦られる。これによって、たとえば２枚の可
撓性板状体が密着した状態で吸着されていた場合、摺接
体によって端面部分が擦られて２枚の可撓性板状体間に
隙間が生じ、その隙間に周囲から外気が流入して、２枚
目の可撓性板状体が１枚目の可撓性板状体から分離され
る。分離された２枚目の可撓性板状体は、下方に落下す
る。３枚以上の可撓性板状体が密着していた場合も、同
様にして２枚目以降の可撓性板状体が分離される。した
がって、密着している可撓性板状体を分離するために、
可撓性板状体を過剰に反らせる必要がなくなるので、発
生する応力が小さくなり、可撓性板状体の破損を防止で
きる。また、確実に１枚ずつ可撓性板状体を取り出すこ
とができるので、安定した可撓性板状体の供給が可能と
なる。
とによって反らされた可撓性板状体の端面部分が、摺接
体によって擦られる。これによって、たとえば２枚の可
撓性板状体が密着した状態で吸着されていた場合、摺接
体によって端面部分が擦られて２枚の可撓性板状体間に
隙間が生じ、その隙間に周囲から外気が流入して、２枚
目の可撓性板状体が１枚目の可撓性板状体から分離され
る。分離された２枚目の可撓性板状体は、下方に落下す
る。３枚以上の可撓性板状体が密着していた場合も、同
様にして２枚目以降の可撓性板状体が分離される。した
がって、密着している可撓性板状体を分離するために、
可撓性板状体を過剰に反らせる必要がなくなるので、発
生する応力が小さくなり、可撓性板状体の破損を防止で
きる。また、確実に１枚ずつ可撓性板状体を取り出すこ
とができるので、安定した可撓性板状体の供給が可能と
なる。
【００２９】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の第１実施形態で
ある取出装置におけるウエハ取出しハンド１１の概略を
示す平面図であり、図２はウエハ取出しハンド１１の概
略を示す正面図であり、図３はウエハ取出しハンド１１
の概略を示す側面図である。
ある取出装置におけるウエハ取出しハンド１１の概略を
示す平面図であり、図２はウエハ取出しハンド１１の概
略を示す正面図であり、図３はウエハ取出しハンド１１
の概略を示す側面図である。
【００３０】可撓性板状体であるウエハ１２は略正方形
の板状体であり、製造工程では図２および図３に示すよ
うに複数枚積み重ねられた状態で供給される。取出装置
は、複数枚積み重ねられた略四角形のウエハ１２を最上
部から枚葉で取り出す装置であり、ウエハ取出しハンド
１１を備える。ウエハ取出しハンド１１は、図示しない
エアーシリンダ機構などの駆動部に取り付けられてお
り、取出装置の制御部（図示せず）からの制御によって
昇降動作を行う。
の板状体であり、製造工程では図２および図３に示すよ
うに複数枚積み重ねられた状態で供給される。取出装置
は、複数枚積み重ねられた略四角形のウエハ１２を最上
部から枚葉で取り出す装置であり、ウエハ取出しハンド
１１を備える。ウエハ取出しハンド１１は、図示しない
エアーシリンダ機構などの駆動部に取り付けられてお
り、取出装置の制御部（図示せず）からの制御によって
昇降動作を行う。
【００３１】ウエハ取出しハンド１１は、ウエハ１２と
略同じ大きさの略正方形の支持板１１ａを備え、この支
持板１１ａの一対の対角位置端部にはそれぞれ吸着手段
である吸着パッド１３が取り付けられており、他の一対
の対角位置端部にはそれぞれ固定手段である固定パッド
１４が取り付けられている。固定パッド１４は、たとえ
ばねじ構造によって高さ調節が可能な棒状体の先端に低
弾性ゴムを取り付けて構成されている。さらに、支持板
１１ａの中央部には引上手段であるベルヌイチャックユ
ニット１５が取り付けられている。
略同じ大きさの略正方形の支持板１１ａを備え、この支
持板１１ａの一対の対角位置端部にはそれぞれ吸着手段
である吸着パッド１３が取り付けられており、他の一対
の対角位置端部にはそれぞれ固定手段である固定パッド
１４が取り付けられている。固定パッド１４は、たとえ
ばねじ構造によって高さ調節が可能な棒状体の先端に低
弾性ゴムを取り付けて構成されている。さらに、支持板
１１ａの中央部には引上手段であるベルヌイチャックユ
ニット１５が取り付けられている。
【００３２】また、吸着パッド１３の近傍には、図示し
ない昇降機構に取り付けられたブラシ状の摺接体１６が
２個ずつ設置されている。摺接体１６は、その先端部分
がウエハ１２の端面部分に接触する位置に配置されてお
り、前記昇降機構によって上下方向に移動可能である。
摺接体１６は、ナイロン製またはポリアミド系樹脂製で
ある。
ない昇降機構に取り付けられたブラシ状の摺接体１６が
２個ずつ設置されている。摺接体１６は、その先端部分
がウエハ１２の端面部分に接触する位置に配置されてお
り、前記昇降機構によって上下方向に移動可能である。
摺接体１６は、ナイロン製またはポリアミド系樹脂製で
ある。
【００３３】図４は、取出装置によるウエハ１２の取出
動作を説明するための正面図である。図４（ａ）は、ウ
エハ取出しハンド１１の一対の対角位置端部に取り付け
られた吸着パッド１３によって最上部のウエハ１２ａを
吸着し、中央部に備えたベルヌイチャックユニット１５
によってウエハ１２ａの中央部を引き上げたままウエハ
取出しハンド１１全体が上昇している状態を示してい
る。この状態では、取り出そうとするウエハ１２ａの下
側には吸着時に分離できなかった２枚目のウエハ１２ｂ
が密着したままになっている。このとき、ウエハ１２ａ
とウエハ１２ｂとはともに下側へ凸状態で変形してい
る。
動作を説明するための正面図である。図４（ａ）は、ウ
エハ取出しハンド１１の一対の対角位置端部に取り付け
られた吸着パッド１３によって最上部のウエハ１２ａを
吸着し、中央部に備えたベルヌイチャックユニット１５
によってウエハ１２ａの中央部を引き上げたままウエハ
取出しハンド１１全体が上昇している状態を示してい
る。この状態では、取り出そうとするウエハ１２ａの下
側には吸着時に分離できなかった２枚目のウエハ１２ｂ
が密着したままになっている。このとき、ウエハ１２ａ
とウエハ１２ｂとはともに下側へ凸状態で変形してい
る。
【００３４】図４（ｂ）は、密着したままになっている
ウエハ１２ａとウエハ１２ｂの各端面部分に接触しなが
らブラシ状の摺接体１６が下降している状態を示してい
る。この状態では、摺接体１６の摺接によってウエハ１
２ｂは上側に凸形状に変形し、ウエハ１２ａとの間には
隙間１７が生じ、周囲から外気が流入して分離が始ま
る。
ウエハ１２ａとウエハ１２ｂの各端面部分に接触しなが
らブラシ状の摺接体１６が下降している状態を示してい
る。この状態では、摺接体１６の摺接によってウエハ１
２ｂは上側に凸形状に変形し、ウエハ１２ａとの間には
隙間１７が生じ、周囲から外気が流入して分離が始ま
る。
【００３５】図４（ｃ）は、ブラシ状の摺接体１６がさ
らに下降した状態を示し、密着していたウエハ１２ａと
ウエハ１２ｂとは完全に分離され、余分なウエハ１２ｂ
は下方へ落下していくことになる。
らに下降した状態を示し、密着していたウエハ１２ａと
ウエハ１２ｂとは完全に分離され、余分なウエハ１２ｂ
は下方へ落下していくことになる。
【００３６】以上のように第１実施形態によれば、反ら
されたウエハ１２の端面部分を摺接体１６によって擦る
ことによって密着しているウエハ１２ｂを分離するの
で、密着しているウエハ１２ｂを分離するために、ウエ
ハ１２を過剰に反らせる必要がなくなり、また発生する
応力が小さくなり、ウエハ１２の破損を防止できる。ま
た、確実に１枚ずつウエハ１２を取り出すことができる
ので、安定したウエハ１２の供給が可能となる。
されたウエハ１２の端面部分を摺接体１６によって擦る
ことによって密着しているウエハ１２ｂを分離するの
で、密着しているウエハ１２ｂを分離するために、ウエ
ハ１２を過剰に反らせる必要がなくなり、また発生する
応力が小さくなり、ウエハ１２の破損を防止できる。ま
た、確実に１枚ずつウエハ１２を取り出すことができる
ので、安定したウエハ１２の供給が可能となる。
【００３７】また、ウエハ１２における固定位置と吸着
位置との距離が比較的長くなるので、ウエハ１２の反ら
し量を比較的大きくしても発生する応力は小さく、ウエ
ハ１２の破損を防止できる。また、ウエハ１２を比較的
大きく反らすことができるので、密着しているウエハ１
２ｂを分離しやすくなる。
位置との距離が比較的長くなるので、ウエハ１２の反ら
し量を比較的大きくしても発生する応力は小さく、ウエ
ハ１２の破損を防止できる。また、ウエハ１２を比較的
大きく反らすことができるので、密着しているウエハ１
２ｂを分離しやすくなる。
【００３８】さらに、ウエハ１２は一対の対角位置端部
が押えられて固定された状態で、他の一対の対角位置端
部が上方に引き上げられるとともに、その中央部も引き
上げられるので、引き上げられた対角位置端部間が繋が
ってトンネル（空洞）が形成され、外気が中央部まで流
入し、確実にウエハ１２を分離することができる。
が押えられて固定された状態で、他の一対の対角位置端
部が上方に引き上げられるとともに、その中央部も引き
上げられるので、引き上げられた対角位置端部間が繋が
ってトンネル（空洞）が形成され、外気が中央部まで流
入し、確実にウエハ１２を分離することができる。
【００３９】また、摺接体１６は上下方向に移動するの
で、ウエハ１２の端面部分を充分に擦ることができ、ウ
エハ１２を確実に分離することができる。
で、ウエハ１２の端面部分を充分に擦ることができ、ウ
エハ１２を確実に分離することができる。
【００４０】図５は、本発明の第２実施形態である取出
装置におけるウエハ取出しハンド２１の概略を示す平面
図であり、図６はウエハ取出しハンド２１の概略を示す
正面図であり、図７はウエハ取出しハンド２１の概略を
示す側面図である。なお、第２実施形態は、前述の第１
実施形態と構成が類似しているので、同一の構成には同
一の参照符号を付して詳細な説明は省略する。
装置におけるウエハ取出しハンド２１の概略を示す平面
図であり、図６はウエハ取出しハンド２１の概略を示す
正面図であり、図７はウエハ取出しハンド２１の概略を
示す側面図である。なお、第２実施形態は、前述の第１
実施形態と構成が類似しているので、同一の構成には同
一の参照符号を付して詳細な説明は省略する。
【００４１】第２実施形態の特徴は、吸着パッド１３お
よびベルヌイチャックユニット１５におけるウエハ１２
の引上量を調整可能にするとともに、摺接体１６を上下
方向だけでなく、ウエハ１２の端面に近接離反する方向
に移動可能に構成したことである。
よびベルヌイチャックユニット１５におけるウエハ１２
の引上量を調整可能にするとともに、摺接体１６を上下
方向だけでなく、ウエハ１２の端面に近接離反する方向
に移動可能に構成したことである。
【００４２】ウエハ１２は略正方形の板状体であり、製
造工程では図６および図７に示すように複数枚積み重ね
られた状態で供給される。ウエハ取出しハンド２１は、
ウエハ１２と略同じ大きさの略正方形の支持板２１ａを
備え、この支持板２１ａの一対の対角位置端部にはそれ
ぞれ吸着パッド１３が取り付けられており、他の一対の
対角位置端部にはそれぞれ固定パッド１４が取り付けら
れている。ウエハ取出しハンド２１は、図示しないエア
ーシリンダ機構などの駆動部を有し、取出装置の制御部
（図示せず）からの制御によって昇降動作を行う。
造工程では図６および図７に示すように複数枚積み重ね
られた状態で供給される。ウエハ取出しハンド２１は、
ウエハ１２と略同じ大きさの略正方形の支持板２１ａを
備え、この支持板２１ａの一対の対角位置端部にはそれ
ぞれ吸着パッド１３が取り付けられており、他の一対の
対角位置端部にはそれぞれ固定パッド１４が取り付けら
れている。ウエハ取出しハンド２１は、図示しないエア
ーシリンダ機構などの駆動部を有し、取出装置の制御部
（図示せず）からの制御によって昇降動作を行う。
【００４３】吸着パッド１３は、エアーシリンダなどで
実現される上下動作駆動部１８に取り付けられており、
図示しないストッパによって動作ストローク、すなわち
ウエハ１２の引上量を調整することができる。さらに、
支持板２１ａの中央部にはベルヌイチャックユニット１
５が取り付けられている。ベルヌイチャックユニット１
５は、エアーシリンダなどで実現される上下動作駆動部
１９に取り付けられており、図示しないストッパによっ
て動作ストローク、すなわちウエハ１２の引上量を調整
することができる。また、吸着パッド１３の近傍には、
図示しない前後・昇降動作機構に取り付けられた摺接体
１６が２個ずつ設置されている。
実現される上下動作駆動部１８に取り付けられており、
図示しないストッパによって動作ストローク、すなわち
ウエハ１２の引上量を調整することができる。さらに、
支持板２１ａの中央部にはベルヌイチャックユニット１
５が取り付けられている。ベルヌイチャックユニット１
５は、エアーシリンダなどで実現される上下動作駆動部
１９に取り付けられており、図示しないストッパによっ
て動作ストローク、すなわちウエハ１２の引上量を調整
することができる。また、吸着パッド１３の近傍には、
図示しない前後・昇降動作機構に取り付けられた摺接体
１６が２個ずつ設置されている。
【００４４】図８および図９は、取出装置によるウエハ
１２の取出動作を説明するための正面図である。図８
（ａ）は、一対の対角位置端部の吸着パッド１３が積み
重ねられたウエハ１２に接するまでウエハ取出しハンド
２１が下降し、近傍に設置された摺接体１６が前進・下
降した状態を示している。摺接体１６は、その先端部分
がウエハ１２の端部表面に接触している。なお、前進と
はウエハ１２の端面に近接する方向への移動をいい、ま
た後退とはウエハ１２の端面から離反する方向への移動
をいう。
１２の取出動作を説明するための正面図である。図８
（ａ）は、一対の対角位置端部の吸着パッド１３が積み
重ねられたウエハ１２に接するまでウエハ取出しハンド
２１が下降し、近傍に設置された摺接体１６が前進・下
降した状態を示している。摺接体１６は、その先端部分
がウエハ１２の端部表面に接触している。なお、前進と
はウエハ１２の端面に近接する方向への移動をいい、ま
た後退とはウエハ１２の端面から離反する方向への移動
をいう。
【００４５】図８（ｂ）は、積み重ねられて供給された
ウエハ１２に接していた吸着パッド１３が図示しない真
空ポンプ等の真空発生器によって最上部のウエハ１２ａ
を吸着した状態を示している。この状態では、吸着パッ
ド１３内部の空間が真空状態で圧縮変形することによっ
てウエハ１２ａを上方へ引き上げる作用が働く。その際
に、吸着パッド１３に吸着されたウエハ１２ａ以外のウ
エハ、すなわちウエハ１２ａの裏面に密着していたウエ
ハは近傍に設置された摺接体１６によってその端面部分
を擦られ、剥がされる。なお、吸着パッド１３は、ジャ
バラ形状の方が圧縮変形による上方への引上げ効果が大
きく有効である。
ウエハ１２に接していた吸着パッド１３が図示しない真
空ポンプ等の真空発生器によって最上部のウエハ１２ａ
を吸着した状態を示している。この状態では、吸着パッ
ド１３内部の空間が真空状態で圧縮変形することによっ
てウエハ１２ａを上方へ引き上げる作用が働く。その際
に、吸着パッド１３に吸着されたウエハ１２ａ以外のウ
エハ、すなわちウエハ１２ａの裏面に密着していたウエ
ハは近傍に設置された摺接体１６によってその端面部分
を擦られ、剥がされる。なお、吸着パッド１３は、ジャ
バラ形状の方が圧縮変形による上方への引上げ効果が大
きく有効である。
【００４６】図８（ｃ）は、一対の対角位置端部の吸着
パッド１３がウエハ１２ａを吸着したまま上下動作駆動
部１８によって上方へ引き上げられた状態を示してい
る。ウエハサイズが約１５０ｍｍ□で厚さが２００〜４
００μｍの場合、この引上げ高さは３〜７ｍｍが適当で
ある。
パッド１３がウエハ１２ａを吸着したまま上下動作駆動
部１８によって上方へ引き上げられた状態を示してい
る。ウエハサイズが約１５０ｍｍ□で厚さが２００〜４
００μｍの場合、この引上げ高さは３〜７ｍｍが適当で
ある。
【００４７】図９（ｄ）は、略中央部に取り付けられた
ベルヌイチャックユニット１５の吸着作用によって、ウ
エハ１２ａの中央部を引き上げた状態を示している。こ
の状態で、吸着パッド１３によって吸着して取り出そう
とするウエハ１２ａは、積み重ねられて供給されたウエ
ハ１２から完全に分離される。このとき、ベルヌイチャ
ックユニット１５によってウエハ１２ａの中央部を引き
上げる高さは、一対の対角位置端部を吸着パッド１３で
引き上げる高さの１／４〜１／２のときに、ウエハ１２
ａに発生する応力が最も小さくなり、ウエハ１２ａの破
損を防止することができる。
ベルヌイチャックユニット１５の吸着作用によって、ウ
エハ１２ａの中央部を引き上げた状態を示している。こ
の状態で、吸着パッド１３によって吸着して取り出そう
とするウエハ１２ａは、積み重ねられて供給されたウエ
ハ１２から完全に分離される。このとき、ベルヌイチャ
ックユニット１５によってウエハ１２ａの中央部を引き
上げる高さは、一対の対角位置端部を吸着パッド１３で
引き上げる高さの１／４〜１／２のときに、ウエハ１２
ａに発生する応力が最も小さくなり、ウエハ１２ａの破
損を防止することができる。
【００４８】図９（ｅ）は、略中央部に取り付けられた
ベルヌイチャックユニット１５でウエハ１２ａの中央部
を吸着したまま上下動作駆動部１９によってウエハ１２
ａの中央部を引き上げるとともに、図示しないエアーシ
リンダ等の昇降機構によってウエハ取出しハンド２１全
体が上昇した状態を示している。ここで、ベルヌイチャ
ックユニット１５を上昇させる動作は、最上部のウエハ
１２ａを積み重ねられて供給されたウエハ１２から分離
するために、ウエハ１２ａを変形させるとともに、分離
が完了した段階で可能な限り曲げ応力を軽減し、この取
り出したウエハ１２ａの破損を防止することを目的とし
ている。
ベルヌイチャックユニット１５でウエハ１２ａの中央部
を吸着したまま上下動作駆動部１９によってウエハ１２
ａの中央部を引き上げるとともに、図示しないエアーシ
リンダ等の昇降機構によってウエハ取出しハンド２１全
体が上昇した状態を示している。ここで、ベルヌイチャ
ックユニット１５を上昇させる動作は、最上部のウエハ
１２ａを積み重ねられて供給されたウエハ１２から分離
するために、ウエハ１２ａを変形させるとともに、分離
が完了した段階で可能な限り曲げ応力を軽減し、この取
り出したウエハ１２ａの破損を防止することを目的とし
ている。
【００４９】以上のような第２実施形態においても、前
述した第１実施形態と同様の効果が得られる。さらに第
２実施形態によれば、ウエハ１２の厚みや強度などの特
性に応じて引上量、すなわち反らせる量を調整できる。
これによって、発生する応力を考慮してウエハ１２を最
適な量だけ反らせることができるので、ウエハ１２を破
損させることなく確実に分離することができる。また、
ウエハ１２の中央部の引上量は引き上げられた対角位置
端部の引上量よりも少ないので、ウエハ１２に発生する
応力が小さくなり、ウエハ１２の破損を防止することが
できる。
述した第１実施形態と同様の効果が得られる。さらに第
２実施形態によれば、ウエハ１２の厚みや強度などの特
性に応じて引上量、すなわち反らせる量を調整できる。
これによって、発生する応力を考慮してウエハ１２を最
適な量だけ反らせることができるので、ウエハ１２を破
損させることなく確実に分離することができる。また、
ウエハ１２の中央部の引上量は引き上げられた対角位置
端部の引上量よりも少ないので、ウエハ１２に発生する
応力が小さくなり、ウエハ１２の破損を防止することが
できる。
【００５０】また、摺接体１６は上下方向に移動するだ
けでなく、ウエハ１２の端面部分に近接離反する方向に
移動するので、必要時にのみ端面部分に近接させ、不要
時は離反させることができ、他の動作時に摺接体１６が
邪魔にならず、スムーズに取出作業を行うことができ
る。
けでなく、ウエハ１２の端面部分に近接離反する方向に
移動するので、必要時にのみ端面部分に近接させ、不要
時は離反させることができ、他の動作時に摺接体１６が
邪魔にならず、スムーズに取出作業を行うことができ
る。
【００５１】図１０および図１１は、本発明の第３実施
形態を説明するための正面図である。なお、第３実施形
態は、前述の第２実施形態の構成と類似しているので、
同一の構成には同一の参照符号を付して詳細な説明は省
略する。
形態を説明するための正面図である。なお、第３実施形
態は、前述の第２実施形態の構成と類似しているので、
同一の構成には同一の参照符号を付して詳細な説明は省
略する。
【００５２】第３実施形態の特徴は、吸着したウエハ１
２の枚数を測定するレーザーマイクロメータ２０を設
け、吸着したウエハ１２の枚数が２枚以上である場合
に、摺接体１６による摺接動作を行うようにしたことで
ある。
２の枚数を測定するレーザーマイクロメータ２０を設
け、吸着したウエハ１２の枚数が２枚以上である場合
に、摺接体１６による摺接動作を行うようにしたことで
ある。
【００５３】図１０に示すように、ウエハ収納箱２２に
積み重ねられて供給されたウエハ１２ａをウエハ取出し
ハンド２１で上面から吸着して取り出した際に、ウエハ
収納箱２２の上方に設けた投光側レーザーマイクロメー
タ２０ａおよび受光側レーザーマイクロメータ２０ｂに
よるウエハ厚さ計測位置で一旦停止し、厚さを計測す
る。吸着したウエハ１２ａが１枚であれば、摺接体１６
を動作させず、ウエハ１２ａの取出し・搬送動作を継続
させる。
積み重ねられて供給されたウエハ１２ａをウエハ取出し
ハンド２１で上面から吸着して取り出した際に、ウエハ
収納箱２２の上方に設けた投光側レーザーマイクロメー
タ２０ａおよび受光側レーザーマイクロメータ２０ｂに
よるウエハ厚さ計測位置で一旦停止し、厚さを計測す
る。吸着したウエハ１２ａが１枚であれば、摺接体１６
を動作させず、ウエハ１２ａの取出し・搬送動作を継続
させる。
【００５４】ウエハ取出しハンド２１で吸着して取り出
し、計測位置まで上昇した際にウエハ厚さが２枚以上で
あれば、図１１に示すように、摺接体１６は図示しない
エアーシリンダ等の前後動作機構によって動作し、ウエ
ハ１２が通過する際に摺接体１６に接触する位置まで前
進する。ウエハ取出しハンド２１は、吸着したウエハ１
２ａとその裏面にウエハ１２ｂとを密着させたままさら
に上昇し、これによって端面部分が摺接体１６によって
擦られてウエハ１２ｂは剥離し、落下する。
し、計測位置まで上昇した際にウエハ厚さが２枚以上で
あれば、図１１に示すように、摺接体１６は図示しない
エアーシリンダ等の前後動作機構によって動作し、ウエ
ハ１２が通過する際に摺接体１６に接触する位置まで前
進する。ウエハ取出しハンド２１は、吸着したウエハ１
２ａとその裏面にウエハ１２ｂとを密着させたままさら
に上昇し、これによって端面部分が摺接体１６によって
擦られてウエハ１２ｂは剥離し、落下する。
【００５５】以上のような第３実施形態においても、前
述の第１および第２実施形態と同様の効果が得られる。
さらに第３実施形態によれば、２枚以上のウエハ１２が
密着した状態で引き上げられたときだけ、摺接体１６で
ウエハ１２の端面部分を擦る分離動作を行うようにした
ので、無駄な動作を省くことができ、ウエハ１２を効率
良く取り出すことができる。
述の第１および第２実施形態と同様の効果が得られる。
さらに第３実施形態によれば、２枚以上のウエハ１２が
密着した状態で引き上げられたときだけ、摺接体１６で
ウエハ１２の端面部分を擦る分離動作を行うようにした
ので、無駄な動作を省くことができ、ウエハ１２を効率
良く取り出すことができる。
【００５６】図１２は、本発明の第４実施形態を説明す
るための正面図である。なお、第４実施形態は前述の第
２実施形態の構成と類似しているので、同一の構成には
同一の参照符号を付して詳細な説明は省略する。
るための正面図である。なお、第４実施形態は前述の第
２実施形態の構成と類似しているので、同一の構成には
同一の参照符号を付して詳細な説明は省略する。
【００５７】第４実施形態の特徴は、ウエハ収納箱２２
のウエハ取出し口の近傍に摺接体１６を取り付けて固定
したことである。
のウエハ取出し口の近傍に摺接体１６を取り付けて固定
したことである。
【００５８】第４実施形態では、ウエハ取出しハンド２
１によって吸着し上方へ取り出される際に、ウエハ１２
ａの端面は摺接体１６によって擦られる。このとき、２
枚目のウエハ１２ｂのように、吸着して取り出されよう
とするウエハ１２ａの裏面に密着していた場合は、摺接
体１６によってウエハ１２ｂの端面が擦られ、ウエハ１
２ｂは分離されてウエハ収納箱２２内に落下する。
１によって吸着し上方へ取り出される際に、ウエハ１２
ａの端面は摺接体１６によって擦られる。このとき、２
枚目のウエハ１２ｂのように、吸着して取り出されよう
とするウエハ１２ａの裏面に密着していた場合は、摺接
体１６によってウエハ１２ｂの端面が擦られ、ウエハ１
２ｂは分離されてウエハ収納箱２２内に落下する。
【００５９】以上のような第４実施形態においても、前
述の第２実施形態と同様の効果が得られる。さらに、第
４実施形態によれば、摺接体１６を固定したことによっ
て、構成を簡略化することができる。
述の第２実施形態と同様の効果が得られる。さらに、第
４実施形態によれば、摺接体１６を固定したことによっ
て、構成を簡略化することができる。
【００６０】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、固定手段
と吸着手段とによって反らされた可撓性板状体の端面部
分が、摺接体によって擦られるので、たとえば２枚の可
撓性板状体が密着した状態で吸着されていた場合、摺接
体によって端面部分が擦られて２枚の可撓性板状体間に
隙間が生じ、その隙間に周囲から外気が流入して、２枚
目の可撓性板状体が１枚目の可撓性板状体から分離され
る。したがって、密着している可撓性板状体を分離する
ために、可撓性板状体を過剰に反らせる必要がなくなる
ので、発生する応力が小さくなり、可撓性板状体の破損
を防止できる。また、確実に１枚ずつ可撓性板状体を取
り出すことができるので、安定した可撓性板状体の供給
が可能となる。
と吸着手段とによって反らされた可撓性板状体の端面部
分が、摺接体によって擦られるので、たとえば２枚の可
撓性板状体が密着した状態で吸着されていた場合、摺接
体によって端面部分が擦られて２枚の可撓性板状体間に
隙間が生じ、その隙間に周囲から外気が流入して、２枚
目の可撓性板状体が１枚目の可撓性板状体から分離され
る。したがって、密着している可撓性板状体を分離する
ために、可撓性板状体を過剰に反らせる必要がなくなる
ので、発生する応力が小さくなり、可撓性板状体の破損
を防止できる。また、確実に１枚ずつ可撓性板状体を取
り出すことができるので、安定した可撓性板状体の供給
が可能となる。
【００６１】また本発明によれば、可撓性板状体におけ
る固定位置と吸着位置との距離が比較的長くなるので、
可撓性板状体の反らし量を比較的大きくしても発生する
応力は小さく、可撓性板状体の破損を防止できる。ま
た、可撓性板状体を比較的大きく反らすことができるの
で、密着している可撓性板状体を分離しやすくなる。
る固定位置と吸着位置との距離が比較的長くなるので、
可撓性板状体の反らし量を比較的大きくしても発生する
応力は小さく、可撓性板状体の破損を防止できる。ま
た、可撓性板状体を比較的大きく反らすことができるの
で、密着している可撓性板状体を分離しやすくなる。
【００６２】また本発明によれば、可撓性板状体は一対
の対角位置端部が押えられて固定された状態で、他の一
対の対角位置端部が上方に引き上げられるとともに、そ
の中央部も引き上げられるので、対角位置端部間が繋が
りトンネル（空洞）が形成され、外気が中央部まで流入
し、確実に可撓性板状体を分離することができる。
の対角位置端部が押えられて固定された状態で、他の一
対の対角位置端部が上方に引き上げられるとともに、そ
の中央部も引き上げられるので、対角位置端部間が繋が
りトンネル（空洞）が形成され、外気が中央部まで流入
し、確実に可撓性板状体を分離することができる。
【００６３】また本発明によれば、可撓性板状体の厚み
や強度などの特性に応じて引上量、すなわち反らせる量
を調整できる。これによって、発生する曲げ応力を考慮
して可撓性板状体を最適な量だけ反らせることができる
ので、可撓性板状体を破損させることなく確実に分離す
ることができる。
や強度などの特性に応じて引上量、すなわち反らせる量
を調整できる。これによって、発生する曲げ応力を考慮
して可撓性板状体を最適な量だけ反らせることができる
ので、可撓性板状体を破損させることなく確実に分離す
ることができる。
【００６４】また本発明によれば、可撓性板状体の中央
部の引上量は一対の対角位置端部の引上量よりも少ない
ので、可撓性板状体が受ける曲げ応力が小さくなり、可
撓性板状体の破損を防止することができる。
部の引上量は一対の対角位置端部の引上量よりも少ない
ので、可撓性板状体が受ける曲げ応力が小さくなり、可
撓性板状体の破損を防止することができる。
【００６５】また本発明によれば、摺接体は上下方向に
移動するので、可撓性板状体の端面部分を充分に擦るこ
とができ、可撓性板状体を確実に分離することができ
る。また、摺接体は可撓性板状体の端面部分に近接離反
する方向に移動するので、必要時にのみ端面部分に近接
させ、不要時は離反させることができ、他の動作時に摺
接体が邪魔にならず、スムーズに取出作業を行うことが
できる。
移動するので、可撓性板状体の端面部分を充分に擦るこ
とができ、可撓性板状体を確実に分離することができ
る。また、摺接体は可撓性板状体の端面部分に近接離反
する方向に移動するので、必要時にのみ端面部分に近接
させ、不要時は離反させることができ、他の動作時に摺
接体が邪魔にならず、スムーズに取出作業を行うことが
できる。
【００６６】また本発明によれば、２枚以上の可撓性板
状体が密着した状態で引き上げられたときだけ、摺接体
で可撓性板状体の端面部分を擦る分離動作を行うように
したので、無駄な動作を省くことができ、可撓性板状体
を効率良く取り出すことができる。
状体が密着した状態で引き上げられたときだけ、摺接体
で可撓性板状体の端面部分を擦る分離動作を行うように
したので、無駄な動作を省くことができ、可撓性板状体
を効率良く取り出すことができる。
【図１】本発明の第１実施形態である取出装置における
ウエハ取出しハンド１１の概略を示す平面図である。
ウエハ取出しハンド１１の概略を示す平面図である。
【図２】ウエハ取出しハンド１１の概略を示す正面図で
ある。
ある。
【図３】ウエハ取出しハンド１１の概略を示す側面図で
ある。
ある。
【図４】取出装置によるウエハ１２の取出動作を説明す
るための正面図である。
るための正面図である。
【図５】本発明の第２実施形態である取出装置における
ウエハ取出しハンド２１の概略を示す平面図である。
ウエハ取出しハンド２１の概略を示す平面図である。
【図６】ウエハ取出しハンド２１の概略を示す正面図で
ある。
ある。
【図７】ウエハ取出しハンド２１の概略を示す側面図で
ある。
ある。
【図８】取出装置によるウエハ１２の取出動作を説明す
るための正面図である。
るための正面図である。
【図９】取出装置によるウエハ１２の取出動作を説明す
るための正面図である。
るための正面図である。
【図１０】本発明の第３実施形態を説明するための正面
図である。
図である。
【図１１】本発明の第３実施形態を説明するための正面
図である。
図である。
【図１２】本発明の第４実施形態を説明するための正面
図である。
図である。
【図１３】従来の取出装置におけるウエハ取出しハンド
１の概略を示す平面図である。
１の概略を示す平面図である。
【図１４】ウエハ取出しハンド１の概略を示す正面図で
ある。
ある。
【図１５】ウエハ取出しハンド１の概略を示す側面図で
ある。
ある。
【図１６】取出装置によるウエハ２の取出動作を説明す
るための正面図である。
るための正面図である。
１１，２１ ウエハ取出しハンド
１１ａ，２１ａ 支持板
１２，１２ａ，１２ｂ ウエハ
１３ 吸着パッド
１４ 固定パッド
１５ ベルヌイチャックユニット
１６ 摺接体
１７ 隙間
１８，１９ 上下動作駆動部
２０ レーザーマイクロメータ
２０ａ 投光側レーザーマイクロメータ
２０ｂ 受光側レーザーマイクロメータ
２２ ウエハ収納箱
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 3F048 AA00 AB09 BA12 BB05 DA04
DC12 EB16
3F343 FA13 FB19 FC01 GA01 GB02
GC05 GD04 JB02 JB28 JD03
JD15 JD18 JD39 KB05 KB17
MA13 MA55 MB04 MB14 MC17
MC23
5F031 CA09 DA01 FA02 FA07 GA28
GA49 JA05 JA21 JA32 LA15
PA20
Claims (9)
- 【請求項１】 複数枚積み重ねられた略四角形の可撓性
板状体を最上部から枚葉で取り出す取出装置において、 最上部の可撓性板状体の一部分を押えて固定する固定手
段と、 前記可撓性板状体の他の部分を上方から吸着して引き上
げる吸着手段と、 前記可撓性板状体の引き上げられた端面部分を擦る摺接
体とを備え、 前記固定手段によって最上部の可撓性板状体の一部分を
押えて固定し、前記吸着手段によって前記可撓性板状体
の他の部分を吸着して上方に引き上げて反らし、この引
き上げられた端面部分を前記摺接体によって擦った後
に、最上部の可撓性板状体を上方に引き上げて取り出す
ことを特徴とする可撓性板状体の取出装置。 - 【請求項２】 前記固定手段は、前記可撓性板状体の一
対の対角位置端部を固定し、前記吸着手段は、前記可撓
性板状体の他の一対の対角位置端部を吸着することを特
徴とする請求項１記載の可撓性板状体の取出装置。 - 【請求項３】 前記可撓性板状体の略中央部を吸着して
引き上げる引上手段をさらに備え、 前記固定手段によって前記可撓性板状体の一対の対角位
置端部を押えて固定し、前記吸着手段によって前記可撓
性板状体の他の一対の対角位置端部を吸着して上方に引
き上げて反らした後に、前記引上手段によって前記可撓
性板状体の略中央部も吸着して上方に引き上げることを
特徴とする請求項２記載の可撓性板状体の取出装置。 - 【請求項４】 前記吸着手段は、前記可撓性板状体の引
上量を調整できることを特徴とする請求項１記載の可撓
性板状体の取出装置。 - 【請求項５】 前記引上手段は、前記可撓性板状体の引
上量を調整できることを特徴とする請求項３記載の可撓
性板状体の取出装置。 - 【請求項６】 可撓性板状体の略中央部の引上量は、一
対の対角位置端部の引上量より少ないことを特徴とする
請求項３記載の可撓性板状体の取出装置。 - 【請求項７】 前記摺接体は、上下方向および／または
前記可撓性板状体の端面部分に近接離反する方向に移動
可能であることを特徴とする請求項１記載の可撓性板状
体の取出装置。 - 【請求項８】 引き上げられた可撓性板状体の枚数を検
出する検出手段をさらに備え、 前記検出手段による検出結果が２枚以上であるときに前
記摺接体による動作を行うことを特徴とする請求項１記
載の可撓性板状体の取出装置。 - 【請求項９】 複数枚積み重ねられた略四角形の可撓性
板状体を最上部から枚葉で取り出す可撓性板状体の取出
方法において、 最上部の可撓性板状体の一部分を押えて固定する工程
と、 前記可撓性板状体の他の部分を吸着して上方に引き上げ
る工程と、 前記可撓性板状体の引き上げられた端面部分を摺接体で
擦る工程とを含むことを特徴とする可撓性板状体の取出
方法。
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|---|---|---|---|
| JP2001319501A JP3859481B2 (ja) | 2001-10-17 | 2001-10-17 | 可撓性板状体の取出装置および取出方法 |
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| JP2001319501A JP3859481B2 (ja) | 2001-10-17 | 2001-10-17 | 可撓性板状体の取出装置および取出方法 |
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|---|---|
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| JP2001319501A Expired - Fee Related JP3859481B2 (ja) | 2001-10-17 | 2001-10-17 | 可撓性板状体の取出装置および取出方法 |
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|---|---|
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2001
- 2001-10-17 JP JP2001319501A patent/JP3859481B2/ja not_active Expired - Fee Related
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