CN102380872B - 工业用机器人 - Google Patents

Abstract

一种工业用机器人，即便在包括将对臂进行支承的支承构件支承成能在上下方向上移动的柱状构件的情况下，也能以较简单的结构来抑制搬入的搬运对象物的位置偏移并恰当地修正该搬运对象物的倾斜。工业用机器人(1)包括：手部(3)，该手部(3)供搬运对象物装设；臂(4)，该臂(4)供手部(3)连结；支承构件(6)，该支承构件(6)对臂(4)进行支承；柱状构件(7)，该柱状构件(7)将支承构件(6)支承成能在上下方向上移动；基台(8)；旋转构件(9)，该旋转构件(9)对柱状构件(7)的下端进行支承并能相对于基台(8)转动；以及移动机构(10)，该移动机构(10)使柱状构件(7)相对于基台(8)在与上下方向正交的规定方向上相对移动。

Description

工业用机器人

技术领域

本发明涉及一种对规定的搬运对象物进行搬运的工业用机器人。

背景技术

目前，作为对液晶显示器用的玻璃基板进行搬运的工业用机器人，已知有一种具有供玻璃基板装设的两个手部和对两个手部中的每一个手部进行保持的两个臂的所谓双臂型机器人(例如，参照专利文献1)。专利文献1中记载的机器人包括：将臂的基端侧支承成能转动的支承构件；以及将支承构件支承成能在上下方向上移动的柱。在该机器人中，臂由第一臂和第二臂构成。另外，柱的下端以能转动的方式支承于基台，该基台支承于底座构件。基台能相对于底座构件在水平方向上直线状地移动。该机器人以手部在朝向规定方向的状态下直线状移动的方式使手部伸缩，从而搬运玻璃基板。

被专利文献1中记载的机器人等搬运的玻璃基板有时会在供该玻璃基板收纳的盒子等收纳部中相对于玻璃基板的搬出方向倾斜或位置偏移。因此，提出了一种用于对在倾斜或位置偏移的状态下收纳于收纳部的玻璃基板的倾斜、位置偏移进行修正并将玻璃基板搬运至规定的作业位置的手部的对位方法(例如，参照专利文献2)。若将该专利文献2中记载的对位方法应用于专利文献1中记载的机器人，能对在倾斜或位置偏移的状态下收纳于收纳部的玻璃基板的倾斜、位置偏移进行修正，并将玻璃基板搬入作业位置。

例如，在专利文献1所记载的机器人中，在收纳于收纳部的玻璃基板的倾斜被设于手部的传感器检测到的情况下，若使基台相对于底座构件在规定方向上移动，以修正被从收纳部搬出并被搬入作业位置的玻璃基板的倾斜，并使柱相对于基台旋转规定量，在该状态下，使臂伸缩以从收纳部搬出玻璃基板，然后，使基台朝相反的方向移动并使柱朝相反的方向旋转，来修正玻璃基板的倾斜，然后，将玻璃基板搬入作业位置，则能对以倾斜状态收纳于收纳部的玻璃基板的倾斜进行修正并将玻璃基板搬运至作业位置。另外，若这样搬运玻璃基板，则能抑制被搬入作业位置的玻璃基板的在基台相对于底座构件的移动方向上的位置偏移。也能在从收纳部搬出玻璃基板后，修正玻璃基板的倾斜并将玻璃基板搬入作业位置。

然而，在使用专利文献2中记载的对位方法来对玻璃基板的倾斜、位置偏移进行修正的情况下，由于基台必须能相对于底座构件在水平方向上移动，因此，机器人变得大型化。另外，例如，在手部沿基台相对于底座构件的移动方向直线状地移动以搬运玻璃基板的情况下，即便能修正玻璃基板的倾斜，有时也难以抑制玻璃基板在与基台相对于底座构件的移动方向正交的方向上的位置偏移。例如，在搬出玻璃基板时和搬入玻璃基板时中的任一情形下，当手部在与基台相对于底座构件的移动方向正交的方向上直线状地移动时，在该手部的移动方向上，若预估基台相对于底座构件的移动方向上的位置偏移来搬运玻璃基板，则能修正位置偏移，但由于是在手部上将玻璃基板偏移地加以搬运的，因此，不能充分地确保修正量。另外，在搬运玻璃基板时和搬入玻璃基板时这两种情形下，在手部沿基台相对于底座构件的移动方向直线状地移动的情况下，不能修正玻璃基板的位置偏移。另一方面，目前，还已知有一种能解决这些问题的机器人(例如，参照专利文献3)。

专利文献3中记载的机器人包括：固定于基台的上表面的固定底座部；相对于固定底座部在上下方向上动作的上下臂；能相对于上下臂自由旋转的旋转臂；固定于旋转臂的第一臂底座部；相对于第一臂底座部在水平方向上直线状地移动的第一平移臂(日文：第1の直動ア一ム)；固定于第一平移臂的第二臂底座部；在与第一平移臂正交的方向上直线状地移动的第二平移臂(日文：第2の直動ア一ム)；以及固定于第二平移臂的手部。在该机器人中，由于在旋转臂与第二臂底座部之间配置有第一臂底座部及第一平移臂，因此，可解决上述问题，从而能抑制被搬入作业位置的搬运对象物的位置偏移并能修正该搬运对象物的倾斜。

专利文献1：日本专利特许第3973048号公报

专利文献2：日本专利特开2003-117862号公报

专利文献3：日本专利特开2004-196438号公报

然而，在将专利文献3中记载的结构直接应用到如专利文献1中记载的机器人那样的、具有将对臂进行支承的支承构件支承成能在上下方向上移动的柱的机器人中的情况下，会产生以下问题。即，在将专利文献3中记载的结构直接应用到具有对支承构件进行支承的柱的机器人的情况下，需在臂与支承构件之间配置相当于专利文献3中记载的第一臂底座部及第一平移臂的结构，但例如在机器人是双臂型机器人的情况下，需要两个相当于第一臂底座部及第一平移臂的结构，从而使机器人的结构变得复杂。另外，在臂与支承构件之间配置相当于第一臂底座部及第一平移臂的结构的情况下，需防止相当于第一平移臂的结构直线状地移动时臂与柱的干涉，因此，可能会限制相当于第一平移臂的结构的移动量。因此，当将专利文献3中记载的结构直接应用到具有对支承构件进行支承的柱的机器人时，根据玻璃基板的倾斜的情形，可能会难以恰当地修正该倾斜。

发明内容

因此，本发明的技术问题在于提供一种即便在包括将对臂进行支承的支承构件支承成能在上下方向上移动的柱状构件的情况下，也能以较简单的结构来抑制搬入的搬运对象物的位置偏移并能恰当地修正该搬运对象物的倾斜的工业用机器人。

为解决上述技术问题，本发明的工业用机器人的特征是，包括：手部，该手部供搬运对象物装设；臂，该臂供手部连结；支承构件，该支承构件对臂进行支承；柱状构件，该柱状构件将支承构件支承成能在上下方向上移动；基台；旋转构件，该旋转构件对柱状构件的下端进行支承并能相对于基台转动；以及移动机构，该移动机构使柱状构件相对于基台在与上下方向正交的规定方向上相对移动。

本发明的工业用机器人包括移动机构，该移动机构使柱状构件相对于基台在与上下方向正交的规定方向上相对移动。因此，若在检测出搬运对象物的倾斜时，使柱状构件相对于基台相对移动并使旋转构件相对于基台转动，则能抑制搬入的搬运对象物的位置偏移并能修正该搬运对象物的倾斜。即，即使未包括用于使基台在水平方向上移动的机构，也能抑制搬入的搬运对象物的位置偏移并能修正该搬运对象物的倾斜。

另外，在本发明中，由于移动机构使柱状构件相对于基台相对移动，因此，例如，即便工业用机器人是双臂型机器人，也无需配置两个移动机构。因此，能简化工业用机器人的结构。此外，在本发明中，在支承构件上支承有臂，移动机构使对支承构件进行支承的柱状构件相对于基台相对移动，因此，当柱状构件相对于基台相对移动时，柱状构件与臂不会干涉。因此，能确保柱状构件的移动量，即便要搬入的搬运对象物的倾斜较大，也能恰当地修正搬运对象物的倾斜。

这样，在本发明中，即使在工业用机器人包括能将对臂进行支承的支承构件支承成能在上下方向上移动的柱状构件的情况下，也能以较简单的结构抑制搬入的搬运对象物的位置偏移并能恰当地修正该搬运对象物的倾斜。另外，在本发明中，在搬运对象物未倾斜但引起位置偏移的情况下，能通过利用移动机构使柱状构件相对于基台移动来修正该位置偏移。此外，在发明中，通过利用移动机构使柱状构件相对于基台移动，能修正工业用机器人的设置误差、组装误差。

在本发明中，例如，旋转构件形成为从基台朝柱状构件延伸的细长块状，并包括：以能转动的方式保持于基台上的第一旋转部；以及供柱状构件的下端固定的第二旋转部，移动机构配置于第一旋转部与第二旋转部之间，第二旋转部能相对于第一旋转部直线状地相对移动。

在该情况下，较为理想的是，支承构件包括从柱状构件开始与旋转构件大致平行地延伸的细长块状的臂支承部，臂支承部的基端侧配置于柱状构件侧，臂支承于臂支承部的前端侧。若这样构成，则能将移动机构配置于由第二旋转部、柱状构件、支承构件、臂及手部等构成的结构体的重心的下侧。所以，能抑制对移动机构作用过大的外力。

另外，在该情况下，较为理想的是，从上下方向观察时，移动机构在臂支承部的长边方向上配置于柱状构件与臂的基端之间。若这样构成，则能将移动机构配置于容易成为死角的柱状构件与臂的基端之间。因此，即便在工业用机器人包括移动机构的情况下，也能使工业用机器人小型化。

在本发明中，移动机构也可配置于柱状构件的下端与旋转构件之间。

在本发明中，移动机构例如包括：电动机；与电动机的输出轴连结的螺钉构件；具有与螺钉构件的阳螺纹部螺合的阴螺纹部的螺母构件；以及直线引导件。

在本发明中，工业用机器人也可包括水平移动机构，该水平移动机构使基台在与上下方向正交的规定方向上移动。

如上所述，在本发明的工业用机器人中，即便是在包括能将对臂进行支承的支承构件支承成能在上下方向上移动的柱状构件的情况下，也能以较简单的结构抑制搬入的搬运对象物的位置偏移并能恰当地修正该搬运对象物的倾斜。

附图说明

图1是本发明实施方式的工业用机器人的俯视图。

图2是从图1的E-E方向表示工业用机器人的侧视图。

图3是从图1的F-F方向表示工业用机器人的主视图。

图4是用于对图2所示的移动机构及其周边部的结构进行说明的俯视图。

图5是用于从图4的G-G方向对移动机构及其周边部的结构进行说明的图。

图6是图4的H部的放大图。

图7是用于从图6的J-J方向对移动机构进行说明的图。

图8是用于对图1所示的基板以倾斜状态被收容时的工业用机器人的动作进行说明的俯视图。

图9是用于对本发明另一实施方式的移动机构的配置进行说明的图，图9(A)是俯视图，图9(B)是侧视图。

图10是用于对本发明另一实施方式的移动机构的配置进行说明的图，图10(A)是俯视图，图10(B)是侧视图。

图11是用于对本发明另一实施方式的移动机构的配置进行说明的俯视图。

图12是用于对本发明另一实施方式的旋转构件的结构进行说明的俯视图。

图13是本发明另一实施方式的工业用机器人的俯视图。

图14是本发明另一实施方式的工业用机器人的侧视图。

(符号说明)

1 机器人(工业用机器人)

2 基板(玻璃基板、搬运对象物)

3 手部(hand)

4 臂

6 支承构件

7 柱状构件

8 基台

9 旋转构件

10 移动机构

16 臂支承部

20 第一旋转部

21 第二旋转部

25 电动机

26 滚珠螺杆(螺钉构件)

27 螺母构件

28 直线引导件

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。

(工业用机器人的概略结构)

图1是本发明实施方式的工业用机器人1的俯视图。图2是从图1的E-E方向表示工业用机器人1的侧视图。图3是从图1的F-F方向表示工业用机器人1的主视图。在以下的说明中，将彼此正交的三个方向分别设为X方向、Y方向及Z方向。在本实施方式中，Z方向与上下方向一致。另外，在以下的说明中，将X方向设为前后方向，将Y方向设为左右方向。

本实施方式的工业用机器人1(以下，称为“机器人1”。)是用于对搬运对象物即液晶显示器用的玻璃基板2(以下，称为“基板2”。)进行搬运的搬运用多关节型机器人。如图1～图3所示，机器人1包括：供基板2装设的两个手部3；前端侧与两个手部3中的每一个手部3连结的两个臂4；以及对两个臂4进行支承的主体部5。主体部5包括：支承构件6，该支承构件6对两个臂4的基端侧进行支承；柱状构件7，该柱状构件7将支承构件6支承成能在上下方向上移动；基台8，该基台8构成主体部5的下端部分；旋转构件9，该旋转构件9对柱状构件7的下端进行支承并能相对于基台8转动；以及移动机构10，该移动机构10使柱状构件7相对于基台8在水平方向上相对移动。

在本实施方式中，基板2的位置偏移是指基板2相对于以正确的姿势配置于规定的基准位置时的基板2在前后方向和/或左右方向上平行地偏移的状态。另外，基板2的倾斜是指基板2在倾斜时的中心○与以正确的姿势配置于规定的基准位置时的中心○(参照图1)一致，但以中心○为中心倾斜规定角度的状态。

手部3的基端侧以能转动的方式与臂4的前端侧连结。与上述专利文献2中记载的工业用机器人相同，在该手部3上安装有传感器(未图示)，该传感器用于对收纳于规定的收纳位置的基板2的倾斜(具体而言，是基板2相对于前后方向等基板2的搬出方向的倾斜)进行检测。与上述专利文献2中记载的工业用机器人相同，在支承构件6上安装有用于对基板2的端面进行检测的边缘传感器。另外，用于对基板2的倾斜进行检测的传感器除了安装于机器人1之外，有时也可安装于基板2的收纳位置。

臂4包括第一臂部13和第二臂部14这两个臂部。第一臂部13的基端侧以能转动的方式支承于支承构件6的前端侧。第二臂部14的基端侧以能转动的方式支承于第一臂部13的前端侧。在第二臂部14的前端侧，以能转动的方式支承有手部3的基端侧。本实施方式的机器人1具有用于使臂4相对于主体部5伸缩的驱动用电动机(未图示)，当该驱动用电动机启动时，臂4会伸缩，以使手部3在朝向规定方向的状态下直线状地移动。

支承构件6包括：构成支承构件6的基端侧部分的升降部15；以及对两个臂4分别进行支承的两个臂支承部16。升降部15以能上下移动的方式保持于柱状构件7。臂支承部16形成为将与手部3的移动方向正交的方向作为长边方向的细长扁平的块状。两个臂支承部16的基端固定于升降部15。在臂支承部16的前端侧以能转动的方式保持有第二臂部14的基端侧。在本实施方式中，两个手部3、两个臂4及两个臂支承部16被配置成在上下方向上重叠。即，本实施方式的机器人1是双臂型机器人。

柱状构件7包括：固定于旋转构件9的第一柱部17；以及将升降部15保持成能在上下方向上移动的第二柱部18。第二柱部18能相对于第一柱部17在上下方向上移动。

旋转构件9形成为从基台8朝柱状构件7延伸的细长扁平的块状。如图1所示，该旋转构件9被配置成与臂支承部16大致平行。即，旋转构件9与臂支承部16大致平行地延伸。在本实施方式中，旋转构件9的长边方向相对于臂支承部16的长边方向略微倾斜。具体而言，旋转构件9的长边方向相对于臂支承部16的长边方向略微倾斜，以使臂支承部16与旋转构件9之间的距离随着从柱状构件7朝向基台8而变小。因此，在本实施方式中，能使在臂4收缩的状态下旋转的机器人1的旋转半径变小。

另外，旋转构件9包括：以能转动的方式保持于基台8上的第一旋转部20；以及供柱状构件7的下端固定的第二旋转部21，第一旋转部20的前端侧与第二旋转部21的基端侧连结。另外，第一旋转部20的基端侧与基台8连结，在第二旋转部21的前端侧固定有第一柱部17的下端。第二旋转部21能相对于第一旋转部20在与臂支承部16的长边方向平行的方向(即，与手部3的移动方向正交的方向)上直线状地相对移动。第一旋转部20及第二旋转部21形成为中空状。

如图2所示，移动机构10配置于第一旋转部20与第二旋转部21之间。即，移动机构10配置于第一旋转部20与第二旋转部21的连结部。以下，对移动机构10及其周边部的结构进行说明。

如上所述，第二柱部18能相对于第一柱部17在上下方向上移动，另外，升降部15能相对于第二柱部18在上下方向上移动。即，机器人1包括使第二柱部18及升降部15升降的升降机构(未图示)。另外，旋转构件9能相对于基台8转动。即，机器人1包括使旋转构件9转动的旋转机构(未图示)。

(移动机构及其周边部的结构)

图4是用于对图2所示的移动机构10及其周边部的结构进行说明的俯视图。图5是用于从图4的G-G方向对移动机构10及其周边部的结构进行说明的图。图6是图4的H部的放大图。图7是用于从图6的J-J方向对移动机构10进行说明的图。

如图5所示，第二旋转部21的从侧面观察时的形状为两次折曲的台阶状，包括供第一柱部17的下端固定的固定部21a和与第一旋转部20连结的连结部21b。固定部21a和连结部21b彼此大致平行地配置，且连结部21b配置于固定部21a的上侧。另外，连结部21b与第一旋转部20的前端侧在上下方向上重叠。具体而言，连结部21b配置于第一旋转部20的前端侧的上侧。此外，固定部21配置在与第一旋转部20的高度大致相同的高度。

如图4所示，从上下方向观察时，移动机构10在臂支承部16的长边方向上配置于对臂4的基端侧进行支承的臂支承部16的前端侧与柱状构件7之间。即，从上下方向观察时，移动机构10在臂支承部16的长边方向上配置于臂4的基端与柱状构件7之间。另外，移动机构10包括：作为驱动源的旋转型电动机25；与电动机25的输出轴连结的作为螺钉构件的滚珠螺杆26；具有与滚珠螺杆26的阳螺纹部螺合的阴螺纹部的螺母构件27；以及直线引导件28。

如图5所示，电动机25配置于第二旋转部21的连结部21b的内部。另外，电动机25固定于连结部21b的内部。在电动机25的输出轴上安装有减速机29。在减速机29的输出轴上通过连接器30而安装有滚珠螺杆26。即，滚珠螺杆26通过减速机29及连接器30而与电动机25的输出轴连结。另外，滚珠螺杆26被固定于第二旋转部21的轴承31支承成能旋转。如图5所示，螺母构件27固定于支架32上，并配置于连结部21b的内部。支架32固定于第一旋转部20的前端侧的上表面。

直线引导件28包括导轨33和与导轨33卡合并沿着导轨33滑动的引导体34。如图7所示，导轨33固定于第一旋转部20的前端侧的上表面。引导体34固定于第二旋转部21的连结部21b的下表面。如图6所示，从上下方向观察时，直线引导件28配置于电动机25、滚珠螺杆26及螺母构件27等的两侧。

在移动机构10中，当电动机25启动时，滚珠螺杆26旋转，如图4的双点划线所示，第二旋转部21相对于第一旋转部20在臂支承部16的长边方向上移动。

(工业用机器人的概略动作)

图8是用于对图1所示的基板2以倾斜状态被收容时的工业用机器人1的动作进行说明的俯视图。

在如上构成的机器人1中，第二柱部18相对于第一柱部17上下移动，且支承构件16相对于第二柱部18与手部3及臂4等一起上下移动。另外，臂4相对于主体部5伸缩。具体而言，臂4伸缩以使手部3在朝向规定方向的状态下直线状地移动。此外，旋转构件9相对于基台8转动。通过这些动作的组合，机器人1将基板2从供基板2收纳的收纳位置朝对基板2进行规定作业的作业位置搬运。

此处，在本实施方式中，机器人1在搬出收纳于收纳位置的基板2时，首先，使手部3伸缩，并利用设于手部3的传感器对基板2相对于基板2的搬出方向的倾斜进行检测。若通过该基板2的倾斜检测动作未检测出基板2的倾斜(或者基板2的倾斜在规定值以下)，则机器人1再次使手部3伸缩，以将基板2从收纳位置搬出并将搬出的基板2搬入规定的作业位置。此时，在收纳位置装设基板2时的机器人1的状态处于如图8的双点划线所示的状态。即，此时，手部3与基板2的搬出方向大致平行。

另一方面，当通过基板2的倾斜检测动作检测出基板2的倾斜时(或者检测出的基板2的倾斜超过规定值时)，为了抑制基板2在与基板2的搬出方向大致正交的方向上的位置偏移，并对基板2的倾斜进行修正，机器人1使旋转构件9相对于基台8转动规定量，并使电动机25启动，以使第二旋转部21相对于第一旋转部20在臂支承部16的长边方向上移动。即，使柱状构件7相对于基台8在臂支承部16的长边方向上移动。然后，机器人1使手部3伸缩以将基板2从收纳位置搬出。此时，在收纳位置装设基板2时的机器人1的状态处于如图8的实线所示的状态。即，此时，手部3相对于基板2的搬出方向与基板2的倾斜相同程度地倾斜。另外，机器人1在搬出基板2后，使电动机25启动，以使第二旋转部21朝与刚才的移动方向相反的方向移动，并使旋转构件9朝与刚才的转动方向相反的方向转动规定量。然后，机器人1使手部3伸缩以将基板2搬入作业位置。

这样，在本实施方式中，根据基板2的倾斜使旋转构件9相对于基台8转动规定量，并在使第二旋转部21相对于第一旋转部20移动的状态下，从收纳位置搬出基板2，然后，在使旋转构件9朝相反的方向转动规定量，并使第二旋转部21朝相反的方向移动后，将基板2搬入作业位置，因此，在与基板2的搬出方向正交的方向上的位置偏移被抑制的状态下将基板2搬入作业位置时，收纳于收纳位置的基板2的倾斜被修正了。在通过基板2的倾斜检测动作检测出基板2的倾斜的情况下，使旋转构件9相对于基台8转动，另外，也可使第二旋转部21相对于第一旋转部20转动并使臂4伸缩。

(本实施方式的主要效果)

如上所述，本实施方式的机器人1包括移动机构10，该移动机构10使柱状构件7相对于基台8在与手部3的移动方向正交的方向上相对移动。因此，当检测出基板2的倾斜时，若使柱状构件7相对于基台8相对移动并使旋转构件9相对于基台8转动，则能抑制搬入的基板2的位置偏移并能修正该基板2的倾斜。即，即使未包括用于使基台8在水平方向上移动的机构，也能抑制搬入的基板2的位置偏移并能修正该基板2的倾斜。

另外，在本实施方式中，由于移动机构10使柱状构件7相对于基台8相对移动，因此，即便机器人1是双臂型机器人，也无需配置两个移动机构10。因此，能简化机器人1的结构。此外，在本实施方式中，在支承构件6上支承有臂4，移动机构10使对支承构件6进行支承的柱状构件7相对于基台8相对移动，因此，当柱状构件7相对于基台8相对移动时，柱状构件7与臂4不会干涉。因此，在本实施方式中，能确保柱状构件7的移动量，且即便要搬入的基板2的倾斜较大，也能恰当地修正基板2的倾斜。

这样，在本实施方式中，即使在机器人1包括能将对臂4进行支承的支承构件6支承成能在上下方向上移动的柱状构件7的情况下，也能以较简单的结构抑制要搬入的基板2的位置偏移并能恰当地修正该基板2的倾斜。另外，在本实施方式中，在基板2未倾斜但在与基板2的搬出方向正交的方向上引起位置偏移的情况下，能通过使柱状构件7相对于基台8移动来修正该位置偏移。此外，在本实施方式中，通过利用移动机构10使柱状构件7相对于基台8移动，能修正机器人1的设置误差、组装误差。因此，能容易地进行机器人1的设置、组装。

在本实施方式中，移动机构10配置于第一旋转部20与第二旋转部21之间。另外，从柱状构件7开始与旋转构件9大致平行地延伸的臂支承部16的基端侧配置于柱状构件7侧，臂4支承于臂支承部16的前端侧。因此，能将移动机构10配置于由第二旋转部21、柱状构件7、支承构件6、臂4及手部3等构成的结构体的重心的下侧。所以，能抑制对直线引导件28作用过大的外力。

在本实施方式中，从上下方向观察时，移动机构10在臂支承部16的长边方向上配置于柱状构件7与臂4的基端之间。因此，能在容易成为死角的柱状构件7与臂4的基端之间沿上下方向重叠地配置第一旋转部20的基端侧和第二旋转部21的连结部21b，并能配置移动机构10。因此，第一旋转部20的基端侧和第二旋转部21的连结部21b被配置成在上下方向上重叠，另外，即使在第一旋转部20与第二旋转部21之间配置有移动机构10，也能使机器人1小型化。

(其他实施方式)

上述实施方式是本发明的优选实施方式的一例，但并不限定于此，能在不改变本发明思想的范围内进行各种变形。

在上述实施方式中，电动机25固定于第二旋转部21的连结部21b的内部，螺母构件27通过支架32固定于第一旋转部20。除此之外，例如图9所示，也可在第一旋转部20的前端侧的内部固定有电动机25，在第二旋转部21的内部固定有螺母构件27。

在上述实施方式中，移动机构10配置于第一旋转部20与第二旋转部21之间。除此之外，例如图10所示，移动机构10也可配置于柱状构件7的下端(即第一柱部17的下端)与旋转构件9之间。即，移动机构10也可配置于柱状构件7与旋转构件9的连结部。在该情况下，无需由第一旋转部20和第二旋转部21这两个构件构成旋转构件9，旋转构件9如图10所示由一个构件构成。另外，在该情况下，例如，电动机25固定于旋转构件9的内部，螺母构件27固定于第一柱部17的下端。此外，例如，导轨33固定于旋转构件9的前端侧上表面，引导体34固定于第一柱部17的下端。

在上述实施方式中，旋转构件9的长边方向相对于臂支承部16的长边方向略微倾斜，第二旋转部21相对于第一旋转部20在臂支承部16的长边方向上直线状地相对移动。除此之外，例如图11所示，也可将移动机构10配置成使第二旋转部21相对于第一旋转部20朝与臂支承部16的长边方向略微倾斜的旋转构件9的长边方向(箭头V的方向)相对移动。另外，还可将移动机构10配置成使第二旋转部21相对于第一旋转部20朝旋转构件9的长边方向以外的方向且与手部3的移动方向不一致的方向(例如，相对于手部3的移动方向倾斜规定角度的方向)相对移动。

在上述实施方式中，旋转构件9的长边方向相对于臂支承部16的长边方向略微倾斜。除此之外，例如图12所示，从上下方向观察时，旋转构件9的第一旋转部20形成为将与臂支承部16的长边方向平行的方向作为长边方向的大致长方形。在该情况下，第二旋转部21的从上下方向观察时的形状例如为两次折曲的台阶状，连结部21b配置于第一旋转部20的前端侧的上侧。也可以旋转构件9整体的长边方向与臂支承部16的长边方向平行的方式形成旋转构件9。

在上述实施方式中，主体部5不能在水平方向上移动，但主体部5也可形成为能在水平方向上移动。即，如图13、图14所示，机器人1也可包括：将基台8支承成能在水平方向(例如左右方向)上移动的底座构件40；以及使基台8相对于底座构件40在水平方向上移动的水平移动机构。

在上述实施方式中，支承构件6包括臂支承部16，臂4的基端侧支承于臂支承部16的前端侧。除此之外，例如，也可使支承构件6由升降部15构成，使臂4的基端侧支承于升降部15。另外，在上述实施方式中，移动机构10包括旋转型电动机25、滚珠螺杆26及螺母构件27，但移动机构10也可以是线性电动机。

在上述实施方式中，第二柱部18能相对于第一柱部17在上下方向上移动。除此之外，例如，也可在第一柱部17的规定位置固定第二柱部18。在该情况下，只有保持于第二柱部18的升降部15在上下方向上移动。另外，在上述实施方式中，柱状构件7包括第一柱部17和第二柱部18，但柱状构件7也可由一个柱部构成。在该情况下，升降部15以能在上下方向上移动的方式保持于该柱部。

在上述实施方式中，臂4由第一臂部13和第二臂部14这两个臂部构成，但臂4也可由三个以上的臂部构成。另外，在上述实施方式中，机器人1是包括两个手部3及两个臂4等的所谓双臂型机器人，但机器人1也可以是包括一个手部3及一个臂4等的单臂型机器人。另外，在上述实施方式中，被机器人1搬运的搬运对象物是基板2，但被机器人1搬运的搬运对象物也可以是基板2以外的半导体薄片等。

Claims (7)

1.一种工业用机器人，包括：手部，该手部供搬运对象物装设；臂，该臂供所述手部连结；支承构件，该支承构件对所述臂进行支承；柱状构件，该柱状构件将所述支承构件支承成能在上下方向上移动；基台；旋转构件，该旋转构件对所述柱状构件的下端进行支承并能相对于所述基台转动；以及移动机构，该移动机构使所述柱状构件相对于所述基台在与上下方向正交的规定方向上相对移动，所述旋转构件形成为从所述基台朝所述柱状构件延伸的细长块状，其特征在于，

所述旋转构件包括：以能转动的方式保持于所述基台上的第一旋转部；以及供所述柱状构件的下端固定的第二旋转部，

所述移动机构配置于所述第一旋转部与所述第二旋转部之间，

所述第二旋转部能相对于所述第一旋转部直线状地相对移动。

2.如权利要求1所述的工业用机器人，其特征在于，

所述支承构件包括从所述柱状构件开始延伸的细长块状的臂支承部，在从上下方向观察时，所述臂支承部与所述旋转构件大致平行地延伸，

所述臂支承部的基端侧配置于所述柱状构件侧，

所述臂支承于所述臂支承部的前端侧。

3.如权利要求2所述的工业用机器人，其特征在于，

从上下方向观察时，所述移动机构在所述臂支承部的长边方向上配置于所述柱状构件与所述臂的基端之间。

4.如权利要求1所述的工业用机器人，其特征在于，

所述移动机构配置于所述柱状构件的下端与所述旋转构件之间。

5.如权利要求1至4中任一项所述的工业用机器人，其特征在于，

所述移动机构包括：电动机；与所述电动机的输出轴连结的螺钉构件；具有与所述螺钉构件的阳螺纹部螺合的阴螺纹部的螺母构件；以及直线引导件。

6.如权利要求1至4中任一项所述的工业用机器人，其特征在于，

所述工业用机器人包括水平移动机构，该水平移动机构使所述基台在与上下方向正交的规定方向上移动。

7.如权利要求5所述的工业用机器人，其特征在于，

所述工业用机器人包括水平移动机构，该水平移动机构使所述基台在与上下方向正交的规定方向上移动。