JP2002093882A - 基板搬送装置及び基板検査システム - Google Patents
基板搬送装置及び基板検査システムInfo
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- JP2002093882A JP2002093882A JP2000285635A JP2000285635A JP2002093882A JP 2002093882 A JP2002093882 A JP 2002093882A JP 2000285635 A JP2000285635 A JP 2000285635A JP 2000285635 A JP2000285635 A JP 2000285635A JP 2002093882 A JP2002093882 A JP 2002093882A
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- lcd
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Abstract
(57)【要約】
【課題】実際に据え付けられた基板検査装置におけるL
CD基板を置くべき位置に正確にLCD基板を直接置く
こと。 【解決手段】2つの位置ずれ検出センサ40、41を基
板検査装置1に設け、これら位置ずれ検出センサ40、
41により検出されたLCD基板2の縁の位置に基づい
て左側ハンド17上に保持されているLCD基板2の実
際に据え付けられた基板検査装置1でLCD基板2を置
くべき位置33bに対する位置ずれを求め、この位置ず
れに基づいてLCD基板2を置くべき位置33bに置く
ように基板搬送ロボット6により修正動作する。
CD基板を置くべき位置に正確にLCD基板を直接置く
こと。 【解決手段】2つの位置ずれ検出センサ40、41を基
板検査装置1に設け、これら位置ずれ検出センサ40、
41により検出されたLCD基板2の縁の位置に基づい
て左側ハンド17上に保持されているLCD基板2の実
際に据え付けられた基板検査装置1でLCD基板2を置
くべき位置33bに対する位置ずれを求め、この位置ず
れに基づいてLCD基板2を置くべき位置33bに置く
ように基板搬送ロボット6により修正動作する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、基板、例えば液晶
基板やウエハ基板等の基板搬送装置及び基板検査システ
ムに関する。
基板やウエハ基板等の基板搬送装置及び基板検査システ
ムに関する。
【0002】
【従来の技術】図10及び図11は液晶ディスプレイ
(LCD)の基板検査装置及び基板搬送装置の全体構成
図であって、図10は正面図、図11は上方から見た構
成図である。基板検査装置1は製造過程にあるLCD基
板2を検査する機能を有するものであり、基板搬送装置
3は未検査のLCD基板2を基板検査装置1に供給し、
かつ検査済みのLCD基板2を基板検査装置1から取り
出すものとなっている。
(LCD)の基板検査装置及び基板搬送装置の全体構成
図であって、図10は正面図、図11は上方から見た構
成図である。基板検査装置1は製造過程にあるLCD基
板2を検査する機能を有するものであり、基板搬送装置
3は未検査のLCD基板2を基板検査装置1に供給し、
かつ検査済みのLCD基板2を基板検査装置1から取り
出すものとなっている。
【0003】このうち基板搬送装置3は、未検査のLC
D基板2及び検査済みのLCD基板2をまとめて収納し
て運搬するためのカセット4を収容するカセットステー
ション5と、LCD基板2を基板検査装置1とカセット
4との間で搬送するための基板搬送ロボット6とからな
っている。なお、カセット4は、未検査のLCD基板2
を収納するカセット4aと、検査済みのLCD基板2を
収納するカセット4bとからなっている。
D基板2及び検査済みのLCD基板2をまとめて収納し
て運搬するためのカセット4を収容するカセットステー
ション5と、LCD基板2を基板検査装置1とカセット
4との間で搬送するための基板搬送ロボット6とからな
っている。なお、カセット4は、未検査のLCD基板2
を収納するカセット4aと、検査済みのLCD基板2を
収納するカセット4bとからなっている。
【0004】この基板搬送ロボット6は、ロボット胴体
7と、このロボット胴体7を基板検査装置1とカセット
ステーション5との間で横方向(矢印イ方向)に平行移
動させる横移動機構8とを備えている。これらロボット
胴体7と横移動機構8とは、それぞれ連動し、基板搬送
ロボット6の動作によって、未検査のLCD基板2を収
納するカセット4aから未検査のLCD基板2を取り出
して基板検査装置1の基板載置用ステージ9上に載置
し、基板載置用ステージ9上に載置されたLCD基板2
は検査され、検査済みのLCD基板2を基板載置用ステ
ージ9から取り出してその検査済みLCD基板2を検査
済み基板を収納するカセット4bに差し入れるものとな
っている。
7と、このロボット胴体7を基板検査装置1とカセット
ステーション5との間で横方向(矢印イ方向)に平行移
動させる横移動機構8とを備えている。これらロボット
胴体7と横移動機構8とは、それぞれ連動し、基板搬送
ロボット6の動作によって、未検査のLCD基板2を収
納するカセット4aから未検査のLCD基板2を取り出
して基板検査装置1の基板載置用ステージ9上に載置
し、基板載置用ステージ9上に載置されたLCD基板2
は検査され、検査済みのLCD基板2を基板載置用ステ
ージ9から取り出してその検査済みLCD基板2を検査
済み基板を収納するカセット4bに差し入れるものとな
っている。
【0005】なお、横移動機構8は、基板検査装置1と
カセットステーション5との間で横方向に配置された一
対の直動軸受け10と、この直動軸受け10に対して平
行に配置されたボールねじ11とからなっている。
カセットステーション5との間で横方向に配置された一
対の直動軸受け10と、この直動軸受け10に対して平
行に配置されたボールねじ11とからなっている。
【0006】図12(a)(b)は基板搬送ロボット6の外観
図である。ロボット胴体7には、昇降可能なアーム台1
2が設けられている。このアーム台12には、左側搬送
アーム13と右側搬送アーム14とがそれぞれ回動自在
に、左右対称に対(ツインアーム)をなすように設けら
れている。
図である。ロボット胴体7には、昇降可能なアーム台1
2が設けられている。このアーム台12には、左側搬送
アーム13と右側搬送アーム14とがそれぞれ回動自在
に、左右対称に対(ツインアーム)をなすように設けら
れている。
【0007】左側搬送アーム13は、アーム台12に回
転自在に設けられた第1アーム15と、この第1アーム
15に連結された第2アーム16と、この第2アーム1
6に連結された左側ハンド17とから構成されている。
転自在に設けられた第1アーム15と、この第1アーム
15に連結された第2アーム16と、この第2アーム1
6に連結された左側ハンド17とから構成されている。
【0008】又、右側搬送アーム14は、左側搬送アー
ム13と同様に、アーム台12に回転自在に設けられた
第1アーム18と、この第1アーム18に連結された第
2アーム19と、この第2アーム19に連結された右側
ハンド20とから構成されている。
ム13と同様に、アーム台12に回転自在に設けられた
第1アーム18と、この第1アーム18に連結された第
2アーム19と、この第2アーム19に連結された右側
ハンド20とから構成されている。
【0009】なお、アーム台12の内部には、左側と右
側搬送アーム13,14をそれぞれ前進(伸ばす動き)
又は後退(縮める動き)させるための2つのアーム駆動
モータが設けられている。そして、左側と右側搬送アー
ム13,14は、それぞれ図示しない歯付プーリ及び歯
付ベルトによって左側と右側ハンド17、20を前進又
は後退するように構成されている。
側搬送アーム13,14をそれぞれ前進(伸ばす動き)
又は後退(縮める動き)させるための2つのアーム駆動
モータが設けられている。そして、左側と右側搬送アー
ム13,14は、それぞれ図示しない歯付プーリ及び歯
付ベルトによって左側と右側ハンド17、20を前進又
は後退するように構成されている。
【0010】なお、図10ではロボット胴体7に左側搬
送アーム13及び左側ハンド17のみを示しているが、
これは図示すると左側搬送アーム13と右側搬送アーム
14との動作が混乱するのを避けるためである。従っ
て、以下の図面においても左側搬送アーム13及び左側
ハンド17のみを示す。
送アーム13及び左側ハンド17のみを示しているが、
これは図示すると左側搬送アーム13と右側搬送アーム
14との動作が混乱するのを避けるためである。従っ
て、以下の図面においても左側搬送アーム13及び左側
ハンド17のみを示す。
【0011】このような構成の基板搬送ロボット6は、
アーム台12が図示しない昇降モータの駆動によって昇
降することにより、図13に示すようにアーム台12か
ら上の左側搬送アーム13及び右側搬送アーム14が一
体となって昇降する。
アーム台12が図示しない昇降モータの駆動によって昇
降することにより、図13に示すようにアーム台12か
ら上の左側搬送アーム13及び右側搬送アーム14が一
体となって昇降する。
【0012】又、基板搬送ロボット6は、図14に示す
ように横移動機構8の動作によって基板検査装置1とカ
セットステーション5との間で横方向に平行移動する。
ように横移動機構8の動作によって基板検査装置1とカ
セットステーション5との間で横方向に平行移動する。
【0013】又、基板搬送ロボット6は、LCD基板2
の方向を転換するために図示しない旋回モータの回転駆
動によってアーム台12から上全体を図15に示すよう
に一体的に旋回運動する。
の方向を転換するために図示しない旋回モータの回転駆
動によってアーム台12から上全体を図15に示すよう
に一体的に旋回運動する。
【0014】又、基板搬送ロボット6は、LCD基板2
をカセットステーション5のカセット4a、4b、又は
基板検査装置1の基板載置用ステージ9に対して収納又
は取り出し、載置するために、図16に示すように図示
しないアーム駆動モータの回転駆動により左側と右側バ
ンド17,20を前進・後退させる動き(進退運動)を
行う。
をカセットステーション5のカセット4a、4b、又は
基板検査装置1の基板載置用ステージ9に対して収納又
は取り出し、載置するために、図16に示すように図示
しないアーム駆動モータの回転駆動により左側と右側バ
ンド17,20を前進・後退させる動き(進退運動)を
行う。
【0015】このように構成された基板検査装置及び基
板搬送装置でのLCD基板2の検査の一連の動作につい
て説明する。
板搬送装置でのLCD基板2の検査の一連の動作につい
て説明する。
【0016】先ず、基板搬送ロボット6は、横移動機構
8の動作によって未検査のLCD基板2を収納するカセ
ット4aの前方に移動し、この未検査のLCD基板2を
取り出すために左側搬送アーム13の左側ハンド17を
カセット4aの方向へ伸ばし、そのLCD基板2の下に
左側ハンド17を入れる。
8の動作によって未検査のLCD基板2を収納するカセ
ット4aの前方に移動し、この未検査のLCD基板2を
取り出すために左側搬送アーム13の左側ハンド17を
カセット4aの方向へ伸ばし、そのLCD基板2の下に
左側ハンド17を入れる。
【0017】次に、昇降モータの駆動によって左側ハン
ド17を少し上昇させ、LCD基板2を左側ハンド17
上に載置し、左側搬送アーム13を縮めてLCD基板2
をカセット4aから取り出し、基板搬送ロボット6の上
方まで持ってくる。
ド17を少し上昇させ、LCD基板2を左側ハンド17
上に載置し、左側搬送アーム13を縮めてLCD基板2
をカセット4aから取り出し、基板搬送ロボット6の上
方まで持ってくる。
【0018】次に、左側及び右側搬送アーム13,14
を旋回モータの回転駆動によって180度旋回させると
ともに、基板搬送ロボット6を横移動機構8によって横
方向に移動させ、かつ昇降モータを駆動して左側ハンド
17並びに右側ハンド20の高さ位置を基板検査装置1
の基板載置用ステージ9の高さ位置に合せる。
を旋回モータの回転駆動によって180度旋回させると
ともに、基板搬送ロボット6を横移動機構8によって横
方向に移動させ、かつ昇降モータを駆動して左側ハンド
17並びに右側ハンド20の高さ位置を基板検査装置1
の基板載置用ステージ9の高さ位置に合せる。
【0019】基板搬送ロボット6が横移動して基板検査
装置1の前方に位置決めされると、この基板搬送ロボッ
ト6は、基板検査装置1内の検査済みのLCD基板2を
取り出すために右側搬送アーム14の右側ハンド20を
伸ばし、そのLCD基板2の下に右側ハンド20を入れ
る。
装置1の前方に位置決めされると、この基板搬送ロボッ
ト6は、基板検査装置1内の検査済みのLCD基板2を
取り出すために右側搬送アーム14の右側ハンド20を
伸ばし、そのLCD基板2の下に右側ハンド20を入れ
る。
【0020】次に、昇降モータの駆動によって右側ハン
ド20を少し上昇させ、検査済みLCD基板2を右側ハ
ンド20上に載置し、右側搬送アーム14を縮めてその
LCD基板2を基板載置用ステージ9上から取り出し、
基板搬送ロボット6の上方まで持ってくる。
ド20を少し上昇させ、検査済みLCD基板2を右側ハ
ンド20上に載置し、右側搬送アーム14を縮めてその
LCD基板2を基板載置用ステージ9上から取り出し、
基板搬送ロボット6の上方まで持ってくる。
【0021】この検査済みLCD基板2の取り出しと差
し違いに、基板搬送ロボット6は、未検査のLCD基板
2を持っている左側ハンド17を前進させ、そのLCD
基板2を基板載置用ステージ9上に載置した後、何も載
置しない状態で左側ハンド17を後退させる。
し違いに、基板搬送ロボット6は、未検査のLCD基板
2を持っている左側ハンド17を前進させ、そのLCD
基板2を基板載置用ステージ9上に載置した後、何も載
置しない状態で左側ハンド17を後退させる。
【0022】次に、基板搬送ロボット6は、180度旋
回すると共に、横移動機構8の動作によって検査済みの
LCD基板2を収納するカセット4bの前方に移動し、
このカセット4b内に検査済みのLCD基板2を収納さ
せるために右側搬送アーム14の右側ハンド20を伸ば
し、そのLCD基板2をカセット4b内に収納する。そ
して、右側搬送アーム14を縮める。
回すると共に、横移動機構8の動作によって検査済みの
LCD基板2を収納するカセット4bの前方に移動し、
このカセット4b内に検査済みのLCD基板2を収納さ
せるために右側搬送アーム14の右側ハンド20を伸ば
し、そのLCD基板2をカセット4b内に収納する。そ
して、右側搬送アーム14を縮める。
【0023】これ以降、上記LCD基板2の検査の一連
の動作が繰り返される。
の動作が繰り返される。
【0024】
【発明が解決しようとする課題】カセット4a内には、
複数のLCD基板2が収納されているが、その収納スペ
ースはLCD基板2の大きさよりも広く形成されている
ので、各LCD基板2は、カセット4a内においてそれ
ぞれまちまちにずれた位置に収納されている。
複数のLCD基板2が収納されているが、その収納スペ
ースはLCD基板2の大きさよりも広く形成されている
ので、各LCD基板2は、カセット4a内においてそれ
ぞれまちまちにずれた位置に収納されている。
【0025】このようにまちまちの位置に収納されてい
るLCD基板2を基板搬送ロボット6の左側又は右側ハ
ンド17、20により取り出して基板検査装置1におけ
る基板載置用ステージ9上のLCD基板2を検査するた
めの所定位置に載置するには、基板搬送ロボット6で取
り出したLCD基板2の位置ずれを検出する位置ずれ検
出手段と、この位置ずれを補正する補正機構とが必要と
なる。
るLCD基板2を基板搬送ロボット6の左側又は右側ハ
ンド17、20により取り出して基板検査装置1におけ
る基板載置用ステージ9上のLCD基板2を検査するた
めの所定位置に載置するには、基板搬送ロボット6で取
り出したLCD基板2の位置ずれを検出する位置ずれ検
出手段と、この位置ずれを補正する補正機構とが必要と
なる。
【0026】このLCD基板2の位置ずれを検出、補正
する技術としては、例えば特開平11−312726号
公報がある。この技術は、LCD基板の移動路上に固定
的に配置された位置ずれ検出センサによりLCD基板の
隣り合う2辺から合計3点以上の位置検出を行い、ハン
ド等の支持部材に対するLCD基板の前後及び左右のず
れと傾きの全ての位置情報を取得し、これら位置情報に
基づいてハンドを駆動してLCD基板の位置補正を行う
ものである。
する技術としては、例えば特開平11−312726号
公報がある。この技術は、LCD基板の移動路上に固定
的に配置された位置ずれ検出センサによりLCD基板の
隣り合う2辺から合計3点以上の位置検出を行い、ハン
ド等の支持部材に対するLCD基板の前後及び左右のず
れと傾きの全ての位置情報を取得し、これら位置情報に
基づいてハンドを駆動してLCD基板の位置補正を行う
ものである。
【0027】ところが、図17に示すようにカセット4
a、4bを設置するためのカセット架台30及び基板検
査装置1は、実際にはいくらかのずれを持って据え付け
られることは避けられない。すなわち、カセット架台3
0は、設計上のカセット架台の位置30aに対して実際
に据え付けられたカセット架台の位置30bにはずれを
有しており、かつカセット4a、4bも設計上のカセッ
トの位置31aに対して実際に置かれるカセット4a、
4bの位置31bにもずれを有している。しかるに、カ
セット4a内に収納されているLCD基板2の実際の位
置32もまちまちにずれた位置に収納されている。
a、4bを設置するためのカセット架台30及び基板検
査装置1は、実際にはいくらかのずれを持って据え付け
られることは避けられない。すなわち、カセット架台3
0は、設計上のカセット架台の位置30aに対して実際
に据え付けられたカセット架台の位置30bにはずれを
有しており、かつカセット4a、4bも設計上のカセッ
トの位置31aに対して実際に置かれるカセット4a、
4bの位置31bにもずれを有している。しかるに、カ
セット4a内に収納されているLCD基板2の実際の位
置32もまちまちにずれた位置に収納されている。
【0028】基板搬送ロボット6の左側ハンド17によ
りカセット4aからLCD基板2を取り出したとき、こ
の左側ハンド17上に保持されるLCD基板2は、位置
ずれのないときのLCD基板2の位置2aに対して、実
際に保持されているLCD基板2の位置2bにずれが生
じる。
りカセット4aからLCD基板2を取り出したとき、こ
の左側ハンド17上に保持されるLCD基板2は、位置
ずれのないときのLCD基板2の位置2aに対して、実
際に保持されているLCD基板2の位置2bにずれが生
じる。
【0029】又、基板検査装置1も同様に、設計上の基
板検査装置の位置1aに対して実際に据え付けられた基
板検査装置の位置1bにもずれを有している。このよう
な事から基板検査装置1内における設計上のLCD基板
2を置く位置33aに対して実際に据え付けられた基板
検査装置1においてLCD基板2を置くべき位置33b
がずれて設定される。
板検査装置の位置1aに対して実際に据え付けられた基
板検査装置の位置1bにもずれを有している。このよう
な事から基板検査装置1内における設計上のLCD基板
2を置く位置33aに対して実際に据え付けられた基板
検査装置1においてLCD基板2を置くべき位置33b
がずれて設定される。
【0030】このように据え付けられているカセット架
台30及び基板検査装置1に対して上記LCD基板2の
位置ずれを検出、補正する技術を適用すれば、図17に
示すように位置ずれ検出センサSが基板搬送ロボット6
のロボット架台34に固定されることにより、このロボ
ット架台34に対してカセット架台30がずれていて
も、実際に取り出されたLCD基板2の位置とずれのな
いLCD基板2とのずれ量を正確に算出できる。
台30及び基板検査装置1に対して上記LCD基板2の
位置ずれを検出、補正する技術を適用すれば、図17に
示すように位置ずれ検出センサSが基板搬送ロボット6
のロボット架台34に固定されることにより、このロボ
ット架台34に対してカセット架台30がずれていて
も、実際に取り出されたLCD基板2の位置とずれのな
いLCD基板2とのずれ量を正確に算出できる。
【0031】しかしながら、基板搬送ロボット6側で
は、基板検査装置1の実際に据え付けられた位置1bが
設計上の据え付け位置1aからどれだけずれて据え付け
られているかを認識していないので、LCD基板2の位
置ずれを補正したとしても、LCD基板2の載置位置
は、設計上のLCD基板2を置く位置33aに置くこと
になる。
は、基板検査装置1の実際に据え付けられた位置1bが
設計上の据え付け位置1aからどれだけずれて据え付け
られているかを認識していないので、LCD基板2の位
置ずれを補正したとしても、LCD基板2の載置位置
は、設計上のLCD基板2を置く位置33aに置くこと
になる。
【0032】このため,設計上のLCD基板2を置く位
置33aに置かれたLCD基板2を、実際に据え付けら
れた基板検査装置1においてLCD基板2を置くべき位
置33bに微修正する必要がある。
置33aに置かれたLCD基板2を、実際に据え付けら
れた基板検査装置1においてLCD基板2を置くべき位
置33bに微修正する必要がある。
【0033】図18乃至図23はかかる基板検査装置1
側でのLCD基板2の微修正機構の作用を説明するため
の図である。基板載置用ステージ9には、LCD基板2
を受け渡しするための4本の基板リフタ35a〜35d
と、LCD基板2を支持するための所定間隔毎に縦横方
向に配置された複数のピン36と、LCD基板2を位置
決めするための複数のクランプ用ローラ37a〜37h
とが備えられている。これらクランプ用ローラ37a〜
37hは、それぞれ空気圧シリンダ38a〜38dによ
り駆動するようになっている。
側でのLCD基板2の微修正機構の作用を説明するため
の図である。基板載置用ステージ9には、LCD基板2
を受け渡しするための4本の基板リフタ35a〜35d
と、LCD基板2を支持するための所定間隔毎に縦横方
向に配置された複数のピン36と、LCD基板2を位置
決めするための複数のクランプ用ローラ37a〜37h
とが備えられている。これらクランプ用ローラ37a〜
37hは、それぞれ空気圧シリンダ38a〜38dによ
り駆動するようになっている。
【0034】このような微修正機構の作用を説明する
と、先ず、図18(a)(b)に示すように左側ハンド17上
にLCD基板2が保持されて基板載置用ステージ9の上
方に向かって搬送される。このとき、4本の基板リフタ
35a〜35dは、上昇した状態にある。なお、同図1
8(a)は上方から見た図、同図(b)は側方から見た図であ
る。
と、先ず、図18(a)(b)に示すように左側ハンド17上
にLCD基板2が保持されて基板載置用ステージ9の上
方に向かって搬送される。このとき、4本の基板リフタ
35a〜35dは、上昇した状態にある。なお、同図1
8(a)は上方から見た図、同図(b)は側方から見た図であ
る。
【0035】次に、図19(a)(b)に示すように左側ハン
ド17上に保持されているLCD基板2が載置すべき位
置の真上に配置される。なお、同図19(a)は上方から
見た図、同図(b)は側方から見た図である。
ド17上に保持されているLCD基板2が載置すべき位
置の真上に配置される。なお、同図19(a)は上方から
見た図、同図(b)は側方から見た図である。
【0036】次に、図20に示すように基板搬送ロボッ
ト6により左側ハンド17が下降され、LCD基板2が
4本の基板リフタ35a〜35d上に載せられる。
ト6により左側ハンド17が下降され、LCD基板2が
4本の基板リフタ35a〜35d上に載せられる。
【0037】次に、図21(a)(b)に示すようにLCD基
板2が4本の基板リフタ35a〜35d上に載せられた
後、基板搬送ロボット6により左側ハンド17が抜かれ
る。なお、同図21(a)は上方から見た図、同図(b)は側
方から見た図である。
板2が4本の基板リフタ35a〜35d上に載せられた
後、基板搬送ロボット6により左側ハンド17が抜かれ
る。なお、同図21(a)は上方から見た図、同図(b)は側
方から見た図である。
【0038】次に、図22に示すように4本の基板リフ
タ35a〜35dが下降し、LCD基板2が複数のピン
36上に載置される。
タ35a〜35dが下降し、LCD基板2が複数のピン
36上に載置される。
【0039】次に、図23(a)(b)に示すように各クラン
プ用ローラ37a〜37hが各空気圧シリンダ38a〜
38dの駆動により動作し、LCD基板2を実際に据え
付けられた基板検査装置1においてLCD基板2を置く
べき位置33bに微修正する。この場合、LCD基板2
の二辺となる例えば各クランプ用ローラ37e〜37h
を基準位置として固定し、他の二辺の各クランプ用ロー
ラ37a〜37dを駆動してLCD基板2を基準位置の
各クランプ用ローラ37e〜37hに押し付けるように
してLCD基板2の位置を微修正する。
プ用ローラ37a〜37hが各空気圧シリンダ38a〜
38dの駆動により動作し、LCD基板2を実際に据え
付けられた基板検査装置1においてLCD基板2を置く
べき位置33bに微修正する。この場合、LCD基板2
の二辺となる例えば各クランプ用ローラ37e〜37h
を基準位置として固定し、他の二辺の各クランプ用ロー
ラ37a〜37dを駆動してLCD基板2を基準位置の
各クランプ用ローラ37e〜37hに押し付けるように
してLCD基板2の位置を微修正する。
【0040】しかしながら、LCD基板2の大きさは、
LCDの大面積化に伴って大型化する傾向にある。LC
D基板2の大きさがある程度大きくなると、LCD基板
2の重量が重くなる。そうすると、各クランプ用ローラ
37a〜37hを動かしてLCD基板2を押そうとして
も、LCD基板2と各ピン36との間の摩擦が大きくな
って、LCD基板2が動かなくなる。無理矢理に各クラ
ンプ用ローラ37a〜37hを動かしてLCD基板2を
押すと、LCD基板2が薄いために割れる虞がある。
LCDの大面積化に伴って大型化する傾向にある。LC
D基板2の大きさがある程度大きくなると、LCD基板
2の重量が重くなる。そうすると、各クランプ用ローラ
37a〜37hを動かしてLCD基板2を押そうとして
も、LCD基板2と各ピン36との間の摩擦が大きくな
って、LCD基板2が動かなくなる。無理矢理に各クラ
ンプ用ローラ37a〜37hを動かしてLCD基板2を
押すと、LCD基板2が薄いために割れる虞がある。
【0041】そこで本発明は、実際に据え付けられた基
板検査装置におけるLCD基板を置くべき位置に正確に
LCD基板を直接置ける基板搬送装置を提供することを
目的とする。
板検査装置におけるLCD基板を置くべき位置に正確に
LCD基板を直接置ける基板搬送装置を提供することを
目的とする。
【0042】又、本発明は、実際に据え付けられた基板
検査装置におけるLCD基板を置くべき位置に正確にL
CD基板を直接置いてLCD基板の検査ができる基板検
査システムを提供することを目的とする。
検査装置におけるLCD基板を置くべき位置に正確にL
CD基板を直接置いてLCD基板の検査ができる基板検
査システムを提供することを目的とする。
【0043】
【課題を解決するための手段】請求項1記載による本発
明は、ハンド上に基板を保持して搬送して所定位置に置
く基板搬送装置において、前記ハンドで保持された前記
基板の搬送経路上でかつこの搬送方向に対して略垂直方
向に設けられ、搬送される前記基板の縁を検出する位置
ずれ検出手段と、この位置ずれ検出手段により検出され
た前記基板の縁の位置に基づいて前記基板の前記所定位
置に対する位置ずれを求める位置ずれ演算手段と、この
位置ずれ演算手段により求められた位置ずれに基づいて
前記基板を前記所定位置に修正する位置修正手段と、を
具備したことを特徴とする基板搬送装置である。
明は、ハンド上に基板を保持して搬送して所定位置に置
く基板搬送装置において、前記ハンドで保持された前記
基板の搬送経路上でかつこの搬送方向に対して略垂直方
向に設けられ、搬送される前記基板の縁を検出する位置
ずれ検出手段と、この位置ずれ検出手段により検出され
た前記基板の縁の位置に基づいて前記基板の前記所定位
置に対する位置ずれを求める位置ずれ演算手段と、この
位置ずれ演算手段により求められた位置ずれに基づいて
前記基板を前記所定位置に修正する位置修正手段と、を
具備したことを特徴とする基板搬送装置である。
【0044】請求項2記載による本発明は、請求項1記
載の基板搬送装置において、前記位置ずれ検出手段は、
前記搬送方向に対して略垂直方向に設けられたラインセ
ンサ又は少なくとも2つの位置ずれ検出センサであるこ
とを特徴とする。
載の基板搬送装置において、前記位置ずれ検出手段は、
前記搬送方向に対して略垂直方向に設けられたラインセ
ンサ又は少なくとも2つの位置ずれ検出センサであるこ
とを特徴とする。
【0045】請求項3記載による本発明は、ハンド上に
基板を保持して搬送して所定位置に置く基板搬送装置に
おいて、前記所定位置に置かれる前記基板の少なくとも
二辺の縁を検出するように設けられた位置ずれ検出手段
と、この位置ずれ検出手段により前記基板の二辺の縁が
検出されるように前記基板の位置を修正する位置修正手
段と、を具備したことを特徴とする基板搬送装置であ
る。
基板を保持して搬送して所定位置に置く基板搬送装置に
おいて、前記所定位置に置かれる前記基板の少なくとも
二辺の縁を検出するように設けられた位置ずれ検出手段
と、この位置ずれ検出手段により前記基板の二辺の縁が
検出されるように前記基板の位置を修正する位置修正手
段と、を具備したことを特徴とする基板搬送装置であ
る。
【0046】請求項4記載による本発明は、請求項3記
載の基板搬送装置において、前記位置ずれ検出手段は、
前記所定位置に置かれる前記基板の少なくとも二辺の縁
を検出するように設けられた少なくとも3つの位置ずれ
検出センサ又は少なくとも二辺の縁を検出するように設
けられた少なくとも2つのラインセンサであることを特
徴とする。
載の基板搬送装置において、前記位置ずれ検出手段は、
前記所定位置に置かれる前記基板の少なくとも二辺の縁
を検出するように設けられた少なくとも3つの位置ずれ
検出センサ又は少なくとも二辺の縁を検出するように設
けられた少なくとも2つのラインセンサであることを特
徴とする。
【0047】請求項5記載による本発明は、請求項1又
は3記載の基板搬送装置において、前記位置修正手段
は、ハンドの姿勢を前後移動、左右移動、旋回運動させ
ることを特徴とする。
は3記載の基板搬送装置において、前記位置修正手段
は、ハンドの姿勢を前後移動、左右移動、旋回運動させ
ることを特徴とする。
【0048】請求項6記載による本発明は、請求項1又
は3記載の基板搬送装置において、前記位置修正手段
は、前記ハンド上に設けられ、前記基板を保持すると共
に微動可能な複数の可動保持体と、これら可動保持体を
前記基板の二辺の縁が前記位置ずれ検出手段により検出
されるようにそれぞれ微動させる駆動機構と、からなる
ことを特徴とする。
は3記載の基板搬送装置において、前記位置修正手段
は、前記ハンド上に設けられ、前記基板を保持すると共
に微動可能な複数の可動保持体と、これら可動保持体を
前記基板の二辺の縁が前記位置ずれ検出手段により検出
されるようにそれぞれ微動させる駆動機構と、からなる
ことを特徴とする。
【0049】請求項7記載による本発明は、請求項6記
載の基板搬送装置において、前記可動保持体は、前後方
向、左右方向、回転方向に微動自在であることを特徴と
する。
載の基板搬送装置において、前記可動保持体は、前後方
向、左右方向、回転方向に微動自在であることを特徴と
する。
【0050】請求項8記載による本発明は、基板を収納
するカセットステーションを有し、前記基板を保持する
ハンドを備えた基板搬送装置と、前記基板を検査する基
板検査装置とを備え、前記基板搬送装置の動作により、
前記カセットステーションに収納されている前記基板を
前記ハンド上に保持して取り出し、この基板を前記ハン
ド上に保持した状態で前記基板検査装置内に搬送し、前
記基板を前記基板検査装置内のステージ上の所定位置に
載置する基板検査システムにおいて、前記基板搬送装置
に、請求項1又は3記載の基板搬送装置を用いたことを
特徴する基板検査システムである。
するカセットステーションを有し、前記基板を保持する
ハンドを備えた基板搬送装置と、前記基板を検査する基
板検査装置とを備え、前記基板搬送装置の動作により、
前記カセットステーションに収納されている前記基板を
前記ハンド上に保持して取り出し、この基板を前記ハン
ド上に保持した状態で前記基板検査装置内に搬送し、前
記基板を前記基板検査装置内のステージ上の所定位置に
載置する基板検査システムにおいて、前記基板搬送装置
に、請求項1又は3記載の基板搬送装置を用いたことを
特徴する基板検査システムである。
【0051】
【発明の実施の形態】(1)以下、本発明の第1の実施
の形態について図面を参照して説明する。なお、図10
乃至図12、図17と同一部分には同一符号を付してそ
の詳しい説明は省略する。
の形態について図面を参照して説明する。なお、図10
乃至図12、図17と同一部分には同一符号を付してそ
の詳しい説明は省略する。
【0052】図1は基板搬送装置3と基板検査装置1と
を備えた基板検査システムの構成図である。基板検査装
置1には、2つの位置ずれ検出センサ40、41が設け
られている。これら位置ずれ検出センサ40、41は、
基板搬送ロボット6の左側又は右側ハンド17、20上
にLCD基板2を保持して搬送するときのその搬送方向
に対して略垂直方向上に、LCD基板2の幅よりも狭い
間隔をおいて並べて設けられている。なお、図1では左
側ハンド17のみ示している。これら位置ずれ検出セン
サ40、41は、搬送されるLCD基板2の縁を検出す
るもので、例えば一対の発光素子と受光素子との組み合
わせや、磁気や電気によって位置を検出するその他の検
出素子から構成されている。
を備えた基板検査システムの構成図である。基板検査装
置1には、2つの位置ずれ検出センサ40、41が設け
られている。これら位置ずれ検出センサ40、41は、
基板搬送ロボット6の左側又は右側ハンド17、20上
にLCD基板2を保持して搬送するときのその搬送方向
に対して略垂直方向上に、LCD基板2の幅よりも狭い
間隔をおいて並べて設けられている。なお、図1では左
側ハンド17のみ示している。これら位置ずれ検出セン
サ40、41は、搬送されるLCD基板2の縁を検出す
るもので、例えば一対の発光素子と受光素子との組み合
わせや、磁気や電気によって位置を検出するその他の検
出素子から構成されている。
【0053】位置ずれ演算手段42は、2つの位置ずれ
検出センサ40、41から出力される各検出信号を入力
し、これら検出信号からLCD基板2の縁の位置に基づ
いて左側ハンド17上に保持されているLCD基板2の
所定位置、すなわち実際に据え付けられた基板検査装置
1でLCD基板2を置くべき位置33bに対する位置ず
れを求める機能を有している。
検出センサ40、41から出力される各検出信号を入力
し、これら検出信号からLCD基板2の縁の位置に基づ
いて左側ハンド17上に保持されているLCD基板2の
所定位置、すなわち実際に据え付けられた基板検査装置
1でLCD基板2を置くべき位置33bに対する位置ず
れを求める機能を有している。
【0054】位置修正手段43は、位置ずれ演算手段4
2により求められた実際に据え付けられた基板検査装置
1でLCD基板2を置くべき位置33bに対する位置ず
れを受け取り、この位置ずれに基づいて左側ハンド17
上に保持されているLCD基板2を、実際に据え付けら
れた基板検査装置1でLCD基板2を置くべき位置33
bに置くように修正する修正指令を基板搬送ロボット6
に送出する機能を有している。
2により求められた実際に据え付けられた基板検査装置
1でLCD基板2を置くべき位置33bに対する位置ず
れを受け取り、この位置ずれに基づいて左側ハンド17
上に保持されているLCD基板2を、実際に据え付けら
れた基板検査装置1でLCD基板2を置くべき位置33
bに置くように修正する修正指令を基板搬送ロボット6
に送出する機能を有している。
【0055】なお、これら位置ずれ演算手段42及び位
置修正手段43は、基板検査装置1側又は基板搬送装置
3側のいずれに設けてもよい。
置修正手段43は、基板検査装置1側又は基板搬送装置
3側のいずれに設けてもよい。
【0056】次に、上記の如く構成された基板検査シス
テムの作用について説明する。
テムの作用について説明する。
【0057】先ず、基板搬送ロボット6は、横移動機構
8の動作によって未検査のLCD基板2を収納するカセ
ット4aの前方に移動し、この未検査のLCD基板2を
取り出すために左側搬送アーム13をカセット4aの方
向へ伸ばし、そのLCD基板2の下に左側ハンド17を
入れる。
8の動作によって未検査のLCD基板2を収納するカセ
ット4aの前方に移動し、この未検査のLCD基板2を
取り出すために左側搬送アーム13をカセット4aの方
向へ伸ばし、そのLCD基板2の下に左側ハンド17を
入れる。
【0058】次に、昇降モータの駆動によって左側ハン
ド17を少し上昇させ、LCD基板2を左側ハンド17
上に載置し、左側搬送アーム13を縮めてLCD基板2
をカセット4aから取り出し、基板搬送ロボット6の上
方まで持ってくる。
ド17を少し上昇させ、LCD基板2を左側ハンド17
上に載置し、左側搬送アーム13を縮めてLCD基板2
をカセット4aから取り出し、基板搬送ロボット6の上
方まで持ってくる。
【0059】次に、左側及び右側搬送アーム13,14
を旋回モータの回転駆動によって180度旋回させると
ともに、基板搬送ロボット6を横移動機構8によって横
方向に移動させ、かつ昇降モータを駆動して左側ハンド
17並びに右側ハンド20の高さ位置を基板検査装置1
の基板載置用ステージ9の高さ位置に合せる。
を旋回モータの回転駆動によって180度旋回させると
ともに、基板搬送ロボット6を横移動機構8によって横
方向に移動させ、かつ昇降モータを駆動して左側ハンド
17並びに右側ハンド20の高さ位置を基板検査装置1
の基板載置用ステージ9の高さ位置に合せる。
【0060】基板搬送ロボット6が横移動して基板検査
装置1の前方に位置決めされると、この基板搬送ロボッ
ト6は、基板検査装置1内の検査済みのLCD基板2を
取り出すために右側搬送アーム14を伸ばし、そのLC
D基板2の下に右側ハンド20を入れる。
装置1の前方に位置決めされると、この基板搬送ロボッ
ト6は、基板検査装置1内の検査済みのLCD基板2を
取り出すために右側搬送アーム14を伸ばし、そのLC
D基板2の下に右側ハンド20を入れる。
【0061】次に、昇降モータの駆動によって右側ハン
ド20を少し上昇させ、検査済みLCD基板2を右側ハ
ンド20上に載置し、右側搬送アーム14を縮めてその
LCD基板2を基板載置用ステージ9上から取り出し、
基板搬送ロボット6の上方まで持ってくる。
ド20を少し上昇させ、検査済みLCD基板2を右側ハ
ンド20上に載置し、右側搬送アーム14を縮めてその
LCD基板2を基板載置用ステージ9上から取り出し、
基板搬送ロボット6の上方まで持ってくる。
【0062】この検査済みLCD基板2の取り出しと差
し違いに、基板搬送ロボット6は、未検査のLCD基板
2を持っている左側ハンド17を前進させ、そのLCD
基板2を基板載置用ステージ9上に載置した後、何も載
置しない状態で左側ハンド17を後退させる。
し違いに、基板搬送ロボット6は、未検査のLCD基板
2を持っている左側ハンド17を前進させ、そのLCD
基板2を基板載置用ステージ9上に載置した後、何も載
置しない状態で左側ハンド17を後退させる。
【0063】このように左側ハンド17を前進させてL
CD基板2を基板載置用ステージ9上に載置するとき、
左側ハンド17上に保持しているLCD基板2を、実際
に据え付けられた基板検査装置1でLCD基板2を置く
べき位置33bに対して位置修正を行う。
CD基板2を基板載置用ステージ9上に載置するとき、
左側ハンド17上に保持しているLCD基板2を、実際
に据え付けられた基板検査装置1でLCD基板2を置く
べき位置33bに対して位置修正を行う。
【0064】この位置修正の動作について図2(a)〜(e)
を参照して説明する。なお、ここでも左側搬送アーム1
3についてのみ説明する。
を参照して説明する。なお、ここでも左側搬送アーム1
3についてのみ説明する。
【0065】左側ハンド17上に保持しているLCD基
板2は、カセット架台30の設置位置のずれやカセット
4a内のLCD基板2のそれぞれ異なる収納位置、基板
検査装置1の設置位置のずれなどによって、各位置ずれ
検出センサ40,41の配置方向に対して傾いて保持さ
れている。
板2は、カセット架台30の設置位置のずれやカセット
4a内のLCD基板2のそれぞれ異なる収納位置、基板
検査装置1の設置位置のずれなどによって、各位置ずれ
検出センサ40,41の配置方向に対して傾いて保持さ
れている。
【0066】この状態で、基板搬送ロボット6が左側搬
送アーム13を伸ばしていくと、図2(a)に示すように
左側ハンド17上に保持しているLCD基板2の前縁が
いずれか一方の位置ずれ検出センサ40,41、例えば
位置ずれ検出センサ41の配置位置に先に到達、すなわ
ち位置ずれ検出センサ41を切るようになる。このと
き、位置ずれ検出センサ41は、LCD基板2の前縁を
検出してその検出信号を出力する。
送アーム13を伸ばしていくと、図2(a)に示すように
左側ハンド17上に保持しているLCD基板2の前縁が
いずれか一方の位置ずれ検出センサ40,41、例えば
位置ずれ検出センサ41の配置位置に先に到達、すなわ
ち位置ずれ検出センサ41を切るようになる。このと
き、位置ずれ検出センサ41は、LCD基板2の前縁を
検出してその検出信号を出力する。
【0067】位置ずれ演算手段42は、位置ずれ検出セ
ンサ41から出力された検出信号を入力し、このときの
左側搬送アーム13の第2アーム16の角度を記憶し、
この角度に基づいてLCD基板2の前後方向のずれ量を
算出する。
ンサ41から出力された検出信号を入力し、このときの
左側搬送アーム13の第2アーム16の角度を記憶し、
この角度に基づいてLCD基板2の前後方向のずれ量を
算出する。
【0068】左側搬送アーム13がさらに伸びると、図
2(b)に示すように左側ハンド17上に保持しているL
CD基板2の前縁が他方の位置ずれ検出センサ40の配
置位置を切る。このとき、位置ずれ検出センサ40は、
LCD基板2の前縁を検出してその検出信号を出力す
る。
2(b)に示すように左側ハンド17上に保持しているL
CD基板2の前縁が他方の位置ずれ検出センサ40の配
置位置を切る。このとき、位置ずれ検出センサ40は、
LCD基板2の前縁を検出してその検出信号を出力す
る。
【0069】位置ずれ演算手段42は、位置ずれ検出セ
ンサ40から出力された検出信号を入力し、このときの
左側搬送アーム13の第2アーム16の角度を記憶し、
先の位置ずれ検出センサ41によりLCD基板2の前縁
を検出したときの第2アーム16の角度と今回の第2ア
ーム16の角度とに基づいてLCD基板2の傾きを算出
する。
ンサ40から出力された検出信号を入力し、このときの
左側搬送アーム13の第2アーム16の角度を記憶し、
先の位置ずれ検出センサ41によりLCD基板2の前縁
を検出したときの第2アーム16の角度と今回の第2ア
ーム16の角度とに基づいてLCD基板2の傾きを算出
する。
【0070】左側搬送アーム13はさらに伸び、図2
(c)に示すように左側ハンド17上に保持しているLC
D基板2が基板載置用ステージ9の上方に重なるように
なる。そして、基板搬送ロボット6は、横移動機構8の
動作によって横方向に移動する。この横移動によりLC
D基板2の側縁が他方の位置ずれ検出センサ40の配置
位置を切る。このとき、位置ずれ検出センサ40は、L
CD基板2の側縁を検出してその検出信号を出力する。
(c)に示すように左側ハンド17上に保持しているLC
D基板2が基板載置用ステージ9の上方に重なるように
なる。そして、基板搬送ロボット6は、横移動機構8の
動作によって横方向に移動する。この横移動によりLC
D基板2の側縁が他方の位置ずれ検出センサ40の配置
位置を切る。このとき、位置ずれ検出センサ40は、L
CD基板2の側縁を検出してその検出信号を出力する。
【0071】位置ずれ演算手段42は、基板搬送ロボッ
ト6の横方向への移動距離を記憶し、この移動距離に基
づいてLCD基板2の左右方向のずれ量を算出する。
ト6の横方向への移動距離を記憶し、この移動距離に基
づいてLCD基板2の左右方向のずれ量を算出する。
【0072】位置修正手段43は、位置ずれ演算手段4
2により求められた実際に据え付けられた基板検査装置
1でLCD基板2を置くべき位置33bに対する位置ず
れ、すなわちLCD基板2の前後方向のずれ量、傾き及
び左右方向のずれ量を受け取り、これらLCD基板2の
前後方向のずれ量、傾き及び左右方向のずれ量に基づい
て左側ハンド17上に保持されているLCD基板2を、
実際に据え付けられた基板検査装置1でLCD基板2を
置くべき位置33bに置くように修正する修正指令を基
板搬送ロボット6に送出する。
2により求められた実際に据え付けられた基板検査装置
1でLCD基板2を置くべき位置33bに対する位置ず
れ、すなわちLCD基板2の前後方向のずれ量、傾き及
び左右方向のずれ量を受け取り、これらLCD基板2の
前後方向のずれ量、傾き及び左右方向のずれ量に基づい
て左側ハンド17上に保持されているLCD基板2を、
実際に据え付けられた基板検査装置1でLCD基板2を
置くべき位置33bに置くように修正する修正指令を基
板搬送ロボット6に送出する。
【0073】この基板搬送ロボット6は、位置修正手段
43からの修正指令を受けて、図2(e)に示すように左
側ハンド17上に保持されているLCD基板2を、実際
に据え付けられた基板検査装置1でLCD基板2を置く
べき位置33bに置くように修正動作する。
43からの修正指令を受けて、図2(e)に示すように左
側ハンド17上に保持されているLCD基板2を、実際
に据え付けられた基板検査装置1でLCD基板2を置く
べき位置33bに置くように修正動作する。
【0074】次に、基板搬送ロボット6は、180度旋
回すると共に、横移動機構8の動作によって検査済みの
LCD基板2を収納するカセット4bの前方に移動し、
このカセット4b内に検査済みのLCD基板2を収納さ
せるために右側搬送アーム14を伸ばし、そのLCD基
板2をカセット4b内に収納する。そして、右側搬送ア
ーム14を縮める。
回すると共に、横移動機構8の動作によって検査済みの
LCD基板2を収納するカセット4bの前方に移動し、
このカセット4b内に検査済みのLCD基板2を収納さ
せるために右側搬送アーム14を伸ばし、そのLCD基
板2をカセット4b内に収納する。そして、右側搬送ア
ーム14を縮める。
【0075】これ以降、上記LCD基板2の検査の一連
の動作が繰り返される。
の動作が繰り返される。
【0076】このように上記第1の実施の形態において
は、2つの位置ずれ検出センサ40、41を基板検査装
置1に設け、これら位置ずれ検出センサ40、41によ
り検出されたLCD基板2の縁の位置に基づいて左側ハ
ンド17上に保持されているLCD基板2の実際に据え
付けられた基板検査装置1でLCD基板2を置くべき位
置33bに対する位置ずれを求め、この位置ずれに基づ
いてLCD基板2を置くべき位置33bに置くように修
正動作するので、LCD基板2の大きさがLCDの大面
積化に伴って大型化してその重量が重くなっても、LC
D基板2を無理矢理に押して動かして割る可能性も防止
することができ、LCD基板2を、実際に据え付けられ
た基板検査装置1における基板載置用ステージ9上のL
CD基板2を置くべき位置に正確に直接置くことが出来
る。これにより、基板検査装置1では、LCD基板2に
対して高精度な検査が可能となる。
は、2つの位置ずれ検出センサ40、41を基板検査装
置1に設け、これら位置ずれ検出センサ40、41によ
り検出されたLCD基板2の縁の位置に基づいて左側ハ
ンド17上に保持されているLCD基板2の実際に据え
付けられた基板検査装置1でLCD基板2を置くべき位
置33bに対する位置ずれを求め、この位置ずれに基づ
いてLCD基板2を置くべき位置33bに置くように修
正動作するので、LCD基板2の大きさがLCDの大面
積化に伴って大型化してその重量が重くなっても、LC
D基板2を無理矢理に押して動かして割る可能性も防止
することができ、LCD基板2を、実際に据え付けられ
た基板検査装置1における基板載置用ステージ9上のL
CD基板2を置くべき位置に正確に直接置くことが出来
る。これにより、基板検査装置1では、LCD基板2に
対して高精度な検査が可能となる。
【0077】(2)次に、本発明の第2の実施の形態に
ついて図面を参照して説明する。なお、図1と同一部分
には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
ついて図面を参照して説明する。なお、図1と同一部分
には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【0078】図3は基板搬送装置3と基板検査装置1と
を備えた基板検査システムの構成図である。
を備えた基板検査システムの構成図である。
【0079】実際に据え付けられた基板検査装置1の基
板載置用ステージ9上におけるLCD基板2を置くべき
位置33bの縁の二辺上には、3つの位置ずれ検出セン
サ50、51、52が設けられている。これら位置ずれ
検出センサ50、51、52は、左側ハンド17又は右
側ハンド20に保持されているLCD基板2の縁を検出
するもので、例えば反射型センサが用いられている。な
お、これら位置ずれ検出センサ50、51、52は、一
対の発光素子と受光素子との組み合わせや、磁気や電気
によって位置を検出するその他の検出素子から構成して
もよい。
板載置用ステージ9上におけるLCD基板2を置くべき
位置33bの縁の二辺上には、3つの位置ずれ検出セン
サ50、51、52が設けられている。これら位置ずれ
検出センサ50、51、52は、左側ハンド17又は右
側ハンド20に保持されているLCD基板2の縁を検出
するもので、例えば反射型センサが用いられている。な
お、これら位置ずれ検出センサ50、51、52は、一
対の発光素子と受光素子との組み合わせや、磁気や電気
によって位置を検出するその他の検出素子から構成して
もよい。
【0080】位置修正手段53は、各位置ずれ検出セン
サ50、51、52から出力された検出信号を入力し、
これら検出信号に基づいて左側ハンド17又は右側ハン
ド20上に保持されているLCD基板2を、実際に据え
付けられた基板検査装置1でLCD基板2を置くべき位
置33b上でLCD基板2の二辺の縁が検出されるよう
にLCD基板2の姿勢を修正する修正指令を基板搬送ロ
ボット6に送出する機能を有している。
サ50、51、52から出力された検出信号を入力し、
これら検出信号に基づいて左側ハンド17又は右側ハン
ド20上に保持されているLCD基板2を、実際に据え
付けられた基板検査装置1でLCD基板2を置くべき位
置33b上でLCD基板2の二辺の縁が検出されるよう
にLCD基板2の姿勢を修正する修正指令を基板搬送ロ
ボット6に送出する機能を有している。
【0081】次に、上記の如く構成された基板検査シス
テムの作用について説明する。
テムの作用について説明する。
【0082】先ず、基板搬送ロボット6は、横移動機構
8の動作によって未検査のLCD基板2を収納するカセ
ット4aの前方に移動し、この未検査のLCD基板2を
取り出すために今度は右側搬送アーム14をカセット4
aの方向へ伸ばし、そのLCD基板2の下に右側ハンド
20を入れる。
8の動作によって未検査のLCD基板2を収納するカセ
ット4aの前方に移動し、この未検査のLCD基板2を
取り出すために今度は右側搬送アーム14をカセット4
aの方向へ伸ばし、そのLCD基板2の下に右側ハンド
20を入れる。
【0083】次に、昇降モータの駆動によって右側ハン
ド20を少し上昇させ、LCD基板2を右側ハンド20
上に載置し、右側搬送アーム14を縮めてLCD基板2
をカセット4aから取り出し、基板搬送ロボット6の上
方まで持ってくる。
ド20を少し上昇させ、LCD基板2を右側ハンド20
上に載置し、右側搬送アーム14を縮めてLCD基板2
をカセット4aから取り出し、基板搬送ロボット6の上
方まで持ってくる。
【0084】次に、左側及び右側搬送アーム13,14
を旋回モータの回転駆動によって180度旋回させると
ともに、基板搬送ロボット6を横移動機構8によって横
方向に移動させ、かつ昇降モータを駆動して左側ハンド
17並びに右側ハンド20の高さ位置を基板検査装置1
の基板載置用ステージ9の高さ位置に合せる。
を旋回モータの回転駆動によって180度旋回させると
ともに、基板搬送ロボット6を横移動機構8によって横
方向に移動させ、かつ昇降モータを駆動して左側ハンド
17並びに右側ハンド20の高さ位置を基板検査装置1
の基板載置用ステージ9の高さ位置に合せる。
【0085】基板搬送ロボット6が横移動して基板検査
装置1の前方に位置決めされると、この基板搬送ロボッ
ト6は、基板検査装置1内の検査済みのLCD基板2を
取り出すために左側搬送アーム13を伸ばし、そのLC
D基板2の下に左側ハンド17を入れる。
装置1の前方に位置決めされると、この基板搬送ロボッ
ト6は、基板検査装置1内の検査済みのLCD基板2を
取り出すために左側搬送アーム13を伸ばし、そのLC
D基板2の下に左側ハンド17を入れる。
【0086】次に、昇降モータの駆動によって左側ハン
ド17を少し上昇させ、検査済みLCD基板2を左側ハ
ンド17上に載置し、左側搬送アーム13を縮めてその
LCD基板2を基板載置用ステージ9上から取り出し、
基板搬送ロボット6の上方まで持ってくる。
ド17を少し上昇させ、検査済みLCD基板2を左側ハ
ンド17上に載置し、左側搬送アーム13を縮めてその
LCD基板2を基板載置用ステージ9上から取り出し、
基板搬送ロボット6の上方まで持ってくる。
【0087】この検査済みLCD基板2の取り出しと差
し違いに、基板搬送ロボット6は、未検査のLCD基板
2を持っている右側ハンド20を前進させ、そのLCD
基板2を基板載置用ステージ9上に載置した後、何も載
置しない状態で右側ハンド20を後退させる。
し違いに、基板搬送ロボット6は、未検査のLCD基板
2を持っている右側ハンド20を前進させ、そのLCD
基板2を基板載置用ステージ9上に載置した後、何も載
置しない状態で右側ハンド20を後退させる。
【0088】このように右側ハンド20を前進させてL
CD基板2を基板載置用ステージ9上に載置するとき、
右側ハンド20上に保持しているLCD基板2を、実際
に据え付けられた基板検査装置1でLCD基板2を置く
べき位置33bに対して位置修正を行う。
CD基板2を基板載置用ステージ9上に載置するとき、
右側ハンド20上に保持しているLCD基板2を、実際
に据え付けられた基板検査装置1でLCD基板2を置く
べき位置33bに対して位置修正を行う。
【0089】この位置修正の動作について図4(a)〜(d)
を参照して説明する。なお、ここでは右側搬送アーム1
4についてのみ説明する。
を参照して説明する。なお、ここでは右側搬送アーム1
4についてのみ説明する。
【0090】右側ハンド20上に保持しているLCD基
板2は、カセット架台30の設置位置のずれやカセット
4a内のLCD基板2のそれぞれ異なる収納位置、基板
検査装置1の設置位置のずれなどによって、基板検査装
置1でLCD基板2を置くべき位置33bに対してずれ
て右側ハンド20上に保持されている。
板2は、カセット架台30の設置位置のずれやカセット
4a内のLCD基板2のそれぞれ異なる収納位置、基板
検査装置1の設置位置のずれなどによって、基板検査装
置1でLCD基板2を置くべき位置33bに対してずれ
て右側ハンド20上に保持されている。
【0091】この状態で、基板搬送ロボット6が右側搬
送アーム14を伸ばしていくと、LCD基板2の縁が図
4(a)に示すように3つの位置ずれ検出センサ50,5
1,52のうち例えば1つの位置ずれ検出センサ50を
切る。このとき位置ずれ検出センサ50は、LCD基板
2の縁を検出してその検出信号を出力する。
送アーム14を伸ばしていくと、LCD基板2の縁が図
4(a)に示すように3つの位置ずれ検出センサ50,5
1,52のうち例えば1つの位置ずれ検出センサ50を
切る。このとき位置ずれ検出センサ50は、LCD基板
2の縁を検出してその検出信号を出力する。
【0092】位置修正手段53は、位置ずれ検出センサ
50から出力された検出信号を入力し、このときの基板
搬送ロボット6の姿勢を記憶する。
50から出力された検出信号を入力し、このときの基板
搬送ロボット6の姿勢を記憶する。
【0093】もう少し基板搬送ロボット6が右側搬送ア
ーム14を伸ばすと、LCD基板2の縁が他の位置ずれ
検出センサ51を切る。このとき位置ずれ検出センサ5
1は、LCD基板2の縁を検出してその検出信号を出力
する。
ーム14を伸ばすと、LCD基板2の縁が他の位置ずれ
検出センサ51を切る。このとき位置ずれ検出センサ5
1は、LCD基板2の縁を検出してその検出信号を出力
する。
【0094】位置修正手段53は、先に位置ずれ検出セ
ンサ50によりLCD基板2の縁を検出したときの基板
搬送ロボット6の姿勢と、今回位置ずれ検出センサ51
によりLCD基板2の縁を検出したときの基板搬送ロボ
ット6の姿勢とに基づいてLCD基板2の回転方向に対
する微修正量を算出し、その修正指令を基板搬送ロボッ
ト6に送出する。
ンサ50によりLCD基板2の縁を検出したときの基板
搬送ロボット6の姿勢と、今回位置ずれ検出センサ51
によりLCD基板2の縁を検出したときの基板搬送ロボ
ット6の姿勢とに基づいてLCD基板2の回転方向に対
する微修正量を算出し、その修正指令を基板搬送ロボッ
ト6に送出する。
【0095】この基板搬送ロボット6は、位置修正手段
53からの修正指令を受けると、図4(b)に示すように
回転方向に対する微修正動作を行う。
53からの修正指令を受けると、図4(b)に示すように
回転方向に対する微修正動作を行う。
【0096】次に、基板搬送ロボット6は、図4(c)に
示すように右側搬送アーム14をさらに伸ばす。そうす
ると、LCD基板2の縁が再び位置ずれ検出センサ50
を切る。このとき位置ずれ検出センサ50は、再びLC
D基板2の縁を検出してその検出信号を出力する。
示すように右側搬送アーム14をさらに伸ばす。そうす
ると、LCD基板2の縁が再び位置ずれ検出センサ50
を切る。このとき位置ずれ検出センサ50は、再びLC
D基板2の縁を検出してその検出信号を出力する。
【0097】位置修正手段53は、位置ずれ検出センサ
51から出力された検出信号を入力し、このとき基板搬
送ロボット6による右側搬送アーム14の差し出しを停
止する。
51から出力された検出信号を入力し、このとき基板搬
送ロボット6による右側搬送アーム14の差し出しを停
止する。
【0098】次に、基板搬送ロボット6は、図4(c)に
示すように横移動機構8によって横方向に移動させる。
そうすると、LCD基板2の縁が位置ずれ検出センサ5
1、52を切る。このとき位置ずれ検出センサ51、5
2は、LCD基板2の縁を検出してその検出信号を出力
する。位置修正手段53は、位置ずれ検出センサ51、
52から出力された検出信号を入力し、このとき横移動
機構8による基板搬送ロボット6の横移動を停止する。
示すように横移動機構8によって横方向に移動させる。
そうすると、LCD基板2の縁が位置ずれ検出センサ5
1、52を切る。このとき位置ずれ検出センサ51、5
2は、LCD基板2の縁を検出してその検出信号を出力
する。位置修正手段53は、位置ずれ検出センサ51、
52から出力された検出信号を入力し、このとき横移動
機構8による基板搬送ロボット6の横移動を停止する。
【0099】しかして、基板搬送ロボット6は、図4
(d)に示すように右側搬送アーム14を動作させ、右側
ハンド20上に保持されているLCD基板2を、実際に
据え付けられた基板検査装置1でLCD基板2を置くべ
き位置33bに置く。
(d)に示すように右側搬送アーム14を動作させ、右側
ハンド20上に保持されているLCD基板2を、実際に
据え付けられた基板検査装置1でLCD基板2を置くべ
き位置33bに置く。
【0100】次に、基板搬送ロボット6は、180度旋
回すると共に、横移動機構8の動作によって検査済みの
LCD基板2を収納するカセット4bの前方に移動し、
このカセット4b内に検査済みのLCD基板2を収納さ
せるために右側搬送アーム14を伸ばし、そのLCD基
板2をカセット4b内に収納する。そして、右側搬送ア
ーム14を縮める。
回すると共に、横移動機構8の動作によって検査済みの
LCD基板2を収納するカセット4bの前方に移動し、
このカセット4b内に検査済みのLCD基板2を収納さ
せるために右側搬送アーム14を伸ばし、そのLCD基
板2をカセット4b内に収納する。そして、右側搬送ア
ーム14を縮める。
【0101】これ以降、上記LCD基板2の検査の一連
の動作が繰り返される。
の動作が繰り返される。
【0102】このように上記第2の実施の形態において
は、実際に据え付けられた基板検査装置1の基板載置用
ステージ9上におけるLCD基板2を置くべき位置33
bの縁の二辺上に3つの位置ずれ検出センサ50、5
1、52を設け、これら位置ずれ検出センサ50、5
1、52により検出されたLCD基板2の縁の位置に基
づいて右側ハンド20上に保持されているLCD基板2
を、実際に据え付けられた基板検査装置1でLCD基板
2を置くべき位置33b上でLCD基板2の二辺の縁が
検出されるようにLCD基板2の姿勢を修正するので、
上記第1の実施の形態と同様に、LCD基板2の大きさ
がLCDの大面積化に伴って大型化してその重量が重く
なっても、LCD基板2を無理矢理に押して動かして割
る可能性を防止することができ、LCD基板2を、実際
に据え付けられた基板検査装置1における基板載置用ス
テージ9上のLCD基板2を置くべき位置33bに正確
に直接置くことが出来る。これにより、基板検査装置1
では、LCD基板2に対して高精度な検査が可能とな
る。
は、実際に据え付けられた基板検査装置1の基板載置用
ステージ9上におけるLCD基板2を置くべき位置33
bの縁の二辺上に3つの位置ずれ検出センサ50、5
1、52を設け、これら位置ずれ検出センサ50、5
1、52により検出されたLCD基板2の縁の位置に基
づいて右側ハンド20上に保持されているLCD基板2
を、実際に据え付けられた基板検査装置1でLCD基板
2を置くべき位置33b上でLCD基板2の二辺の縁が
検出されるようにLCD基板2の姿勢を修正するので、
上記第1の実施の形態と同様に、LCD基板2の大きさ
がLCDの大面積化に伴って大型化してその重量が重く
なっても、LCD基板2を無理矢理に押して動かして割
る可能性を防止することができ、LCD基板2を、実際
に据え付けられた基板検査装置1における基板載置用ス
テージ9上のLCD基板2を置くべき位置33bに正確
に直接置くことが出来る。これにより、基板検査装置1
では、LCD基板2に対して高精度な検査が可能とな
る。
【0103】又、基板検査装置1の基板載置用ステージ
9上におけるLCD基板2を置くべき位置33bの縁の
二辺上に3つの反射型の位置ずれ検出センサ50、5
1、52を設けるだけなので、上記第1の実施の形態の
ように、基板検査装置1の組立時の各位置ずれ検出セン
サ50、51、52の調整が不要であり、その分だけ装
置全体の原価を下げることができる。
9上におけるLCD基板2を置くべき位置33bの縁の
二辺上に3つの反射型の位置ずれ検出センサ50、5
1、52を設けるだけなので、上記第1の実施の形態の
ように、基板検査装置1の組立時の各位置ずれ検出セン
サ50、51、52の調整が不要であり、その分だけ装
置全体の原価を下げることができる。
【0104】(3)次に、本発明の第3の実施の形態に
ついて図面を参照して説明する。なお、図1と同一部分
には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
ついて図面を参照して説明する。なお、図1と同一部分
には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【0105】本発明の第3の実施の形態は、実際に据え
付けられた基板検査装置1における基板載置用ステージ
9上の置くべき位置33bにLCD基板2を修正して置
くための位置修正手段を左側及び右側ハンド17,20
に設けたものである。なお、ここでは右側ハンド20に
設けた位置修正手段について説明する図5は右側ハンド
20に設けた位置修正機構の構成図である。右側ハンド
20には、ハンドの元側にLCD基板2を保持すると共
に微動可能な可動保持体としての2つの可動パッド6
0,61がそれぞれ対称な位置に設けられ、かつ先端側
に2つの固定パッド62,63がそれぞれ対称な位置に
設けられている。
付けられた基板検査装置1における基板載置用ステージ
9上の置くべき位置33bにLCD基板2を修正して置
くための位置修正手段を左側及び右側ハンド17,20
に設けたものである。なお、ここでは右側ハンド20に
設けた位置修正手段について説明する図5は右側ハンド
20に設けた位置修正機構の構成図である。右側ハンド
20には、ハンドの元側にLCD基板2を保持すると共
に微動可能な可動保持体としての2つの可動パッド6
0,61がそれぞれ対称な位置に設けられ、かつ先端側
に2つの固定パッド62,63がそれぞれ対称な位置に
設けられている。
【0106】各可動パッド60,61は、図6(a)に示
すように右側ハンド20内に埋め込まれる如く内設され
るもので、テフロン(登録商標)管64によりベース6
5が回転自在に設けられている。このベース65には、
凹形状の嵌合部66が形成されている。この嵌合部66
には、弾性部材67が設けられている。そして、この弾
性部材67には、吸着パッド68が設けられている。
すように右側ハンド20内に埋め込まれる如く内設され
るもので、テフロン(登録商標)管64によりベース6
5が回転自在に設けられている。このベース65には、
凹形状の嵌合部66が形成されている。この嵌合部66
には、弾性部材67が設けられている。そして、この弾
性部材67には、吸着パッド68が設けられている。
【0107】各固定パッド62,63は、図6(b)に示
すように右側ハンド20内に埋め込まれる如く内設され
るもので、ベース69上に弾性部材70が設けられ、こ
の弾性部材70上に吸着パッド71が固定されている。
このように弾性部材70上に吸着パッド71が固定され
ているので、吸着パッド71にはガタが持たされてい
る。
すように右側ハンド20内に埋め込まれる如く内設され
るもので、ベース69上に弾性部材70が設けられ、こ
の弾性部材70上に吸着パッド71が固定されている。
このように弾性部材70上に吸着パッド71が固定され
ているので、吸着パッド71にはガタが持たされてい
る。
【0108】上記各可動パッド60,61は、図5に示
すように、それぞれ各モータ72〜75、各変換部76
〜79及び各リンク機構80〜83からなる駆動機構に
よって右側ハンド20上に保持しているLCD基板2の
姿勢を、前後、左右及び回転方向に微動駆動するものと
なっている。なお、各変換部76〜79は、それぞれ各
モータ72〜75の回転運動を直線運動に変換するもの
で、例えば各モータ72〜75の軸に連結された棒状の
ネジに移動体を螺合したものとなっている。
すように、それぞれ各モータ72〜75、各変換部76
〜79及び各リンク機構80〜83からなる駆動機構に
よって右側ハンド20上に保持しているLCD基板2の
姿勢を、前後、左右及び回転方向に微動駆動するものと
なっている。なお、各変換部76〜79は、それぞれ各
モータ72〜75の回転運動を直線運動に変換するもの
で、例えば各モータ72〜75の軸に連結された棒状の
ネジに移動体を螺合したものとなっている。
【0109】ここで、一方の可動パッド60は、1組づ
つの各モータ72,73、各変換部76,77及び各リ
ンク機構80,81により微動駆動し、他方の可動パッ
ド65は、1組づつの各モータ74,75、各変換部7
8,79及び各リンク機構82,83により微動駆動す
るものとなっている。
つの各モータ72,73、各変換部76,77及び各リ
ンク機構80,81により微動駆動し、他方の可動パッ
ド65は、1組づつの各モータ74,75、各変換部7
8,79及び各リンク機構82,83により微動駆動す
るものとなっている。
【0110】一方の可動パッド60に対して各リンク機
構80,81は、それぞれベース65における互いに直
交する隣り合う各辺上の各端部84,85に連結されて
いる。又、他方の可動パッド61に対して各リンク機構
82,83は、それぞれベース65における互いに直交
する隣り合う各辺上の各端部86,87に連結されてい
る。
構80,81は、それぞれベース65における互いに直
交する隣り合う各辺上の各端部84,85に連結されて
いる。又、他方の可動パッド61に対して各リンク機構
82,83は、それぞれベース65における互いに直交
する隣り合う各辺上の各端部86,87に連結されてい
る。
【0111】次に、LCD基板2の姿勢を前後、左右及
び回転方向に微動駆動する作用について図7を参照して
説明する。
び回転方向に微動駆動する作用について図7を参照して
説明する。
【0112】同図(a)はLCD基板2の姿勢を前後移動
するときの図を示す。このLCD基板2の前後移動は、
各モータ72,74を駆動して各リンク機構80,82
を動作させると共に、各モータ73,75を停止して各
リンク機構81,83を固定する。これにより、各可動
パッド60、61の各ベース65は、それぞれ固定され
た端部85、87を中心として回転し、その結果として
右側ハンド20上に保持されているLCD基板2が前後
移動する。
するときの図を示す。このLCD基板2の前後移動は、
各モータ72,74を駆動して各リンク機構80,82
を動作させると共に、各モータ73,75を停止して各
リンク機構81,83を固定する。これにより、各可動
パッド60、61の各ベース65は、それぞれ固定され
た端部85、87を中心として回転し、その結果として
右側ハンド20上に保持されているLCD基板2が前後
移動する。
【0113】同図(b)はLCD基板2の姿勢を左右移動
するときの図を示す。このLCD基板2の左右移動は、
各モータ73,75を駆動して各リンク機構81,83
を動作させると共に、各モータ72,74を停止して各
リンク機構80,82を固定する。これにより、各可動
パッド60、61の各ベース65は、それぞれ固定され
た端部84、86を中心として回転し、その結果として
右側ハンド20上に保持されているLCD基板2が左右
移動する。
するときの図を示す。このLCD基板2の左右移動は、
各モータ73,75を駆動して各リンク機構81,83
を動作させると共に、各モータ72,74を停止して各
リンク機構80,82を固定する。これにより、各可動
パッド60、61の各ベース65は、それぞれ固定され
た端部84、86を中心として回転し、その結果として
右側ハンド20上に保持されているLCD基板2が左右
移動する。
【0114】同図(c)はLCD基板2の姿勢を図中時計
回りに回転するときの図を示す。このLCD基板2の回
転は、モータ72のみを駆動してリンク機構80のみを
動作させると共に、他の各モータ73,74、75を停
止して他のリンク機構81,82、83を固定する。こ
れにより、可動パッド60のベース65のみが固定され
た端部85を中心として回転し、その結果として右側ハ
ンド20上に保持されているLCD基板2が回転する。
回りに回転するときの図を示す。このLCD基板2の回
転は、モータ72のみを駆動してリンク機構80のみを
動作させると共に、他の各モータ73,74、75を停
止して他のリンク機構81,82、83を固定する。こ
れにより、可動パッド60のベース65のみが固定され
た端部85を中心として回転し、その結果として右側ハ
ンド20上に保持されているLCD基板2が回転する。
【0115】なお、図8は左側ハンド17及び右側ハン
ド20の概略断面図である。左側ハンド17の直ぐ上方
に右側ハンド20が重なるように配置されている。右側
ハンド20には、上記の如く各モータ72〜75、各変
換部76〜79及び各リンク機構80〜83が設けら
れ、左側ハンド17にも同様に、可動パッド88、8
9、モータ90,91、各変換部92,93及び各リン
ク機構94,95が設けられている。
ド20の概略断面図である。左側ハンド17の直ぐ上方
に右側ハンド20が重なるように配置されている。右側
ハンド20には、上記の如く各モータ72〜75、各変
換部76〜79及び各リンク機構80〜83が設けら
れ、左側ハンド17にも同様に、可動パッド88、8
9、モータ90,91、各変換部92,93及び各リン
ク機構94,95が設けられている。
【0116】次に、上記第2の実施の形態の基板検査シ
ステムに適用した場合の基板検査装置1でのLCD基板
2を置くべき位置33bに対して位置修正するときの動
作について図9を参照して説明する。なお、基板搬送装
置3と基板検査装置1とを備えた基板検査システム全体
の動作は、上記第1及び第2の実施の形態と同様なので
省略する。
ステムに適用した場合の基板検査装置1でのLCD基板
2を置くべき位置33bに対して位置修正するときの動
作について図9を参照して説明する。なお、基板搬送装
置3と基板検査装置1とを備えた基板検査システム全体
の動作は、上記第1及び第2の実施の形態と同様なので
省略する。
【0117】基板搬送ロボット6が右側搬送アーム14
を伸ばしていくと、LCD基板2は、3つの位置ずれ検
出センサ50,51,52の上方に位置するようにな
る。
を伸ばしていくと、LCD基板2は、3つの位置ずれ検
出センサ50,51,52の上方に位置するようにな
る。
【0118】この状態に、上記図7(a)に示すように各
モータ72,74を駆動して各リンク機構80,82を
動作させると共に、各モータ73,75を停止して各リ
ンク機構81,83を固定することにより、LCD基板
2を前後移動させると、図9(a)(b)に示すようにLCD
基板2の縁が3つの位置ずれ検出センサ50,51,5
2のうち各位置ずれ検出センサ50、51をそれぞれ異
なるタイミングで切る。これらタイミングは、LCD基
板2の前への移動、又は後への移動により異なる。
モータ72,74を駆動して各リンク機構80,82を
動作させると共に、各モータ73,75を停止して各リ
ンク機構81,83を固定することにより、LCD基板
2を前後移動させると、図9(a)(b)に示すようにLCD
基板2の縁が3つの位置ずれ検出センサ50,51,5
2のうち各位置ずれ検出センサ50、51をそれぞれ異
なるタイミングで切る。これらタイミングは、LCD基
板2の前への移動、又は後への移動により異なる。
【0119】このとき位置ずれ検出センサ50、51
は、それぞれのタイミングでLCD基板2の縁を検出し
てその検出信号を出力する。
は、それぞれのタイミングでLCD基板2の縁を検出し
てその検出信号を出力する。
【0120】位置修正手段53は、各位置ずれ検出セン
サ50、51からそれぞれ出力された各検出信号を入力
し、このときの基板搬送ロボット6の各姿勢をそれぞれ
記憶する。そして、位置修正手段53は、例えば、先に
位置ずれ検出センサ51によりLCD基板2の縁を検出
したときの基板搬送ロボット6の姿勢と、今回位置ずれ
検出センサ50によりLCD基板2の縁を検出したとき
の基板搬送ロボット6の姿勢とに基づいてLCD基板2
の回転方向に対する微修正量を算出し、この微修正量に
応じた各モータ制御信号を各モータ72〜75に送出す
る。
サ50、51からそれぞれ出力された各検出信号を入力
し、このときの基板搬送ロボット6の各姿勢をそれぞれ
記憶する。そして、位置修正手段53は、例えば、先に
位置ずれ検出センサ51によりLCD基板2の縁を検出
したときの基板搬送ロボット6の姿勢と、今回位置ずれ
検出センサ50によりLCD基板2の縁を検出したとき
の基板搬送ロボット6の姿勢とに基づいてLCD基板2
の回転方向に対する微修正量を算出し、この微修正量に
応じた各モータ制御信号を各モータ72〜75に送出す
る。
【0121】これにより、モータ72のみが駆動してリ
ンク機構80のみが動作し、可動パッド60のベース6
5のみが固定された端部85を中心として図7(c)の場
合の回転とは逆に回転し、その結果として右側ハンド2
0上に保持されているLCD基板2が図9(c)に示すよ
うに旋回する。
ンク機構80のみが動作し、可動パッド60のベース6
5のみが固定された端部85を中心として図7(c)の場
合の回転とは逆に回転し、その結果として右側ハンド2
0上に保持されているLCD基板2が図9(c)に示すよ
うに旋回する。
【0122】次に、基板搬送ロボット6は、右側搬送ア
ーム14をさらに伸ばす。そうすると、LCD基板2の
縁が再び各位置ずれ検出センサ50、51を切る。この
とき各位置ずれ検出センサ50、51は、再びLCD基
板2の縁を検出してその各検出信号を出力する。位置修
正手段53は、各位置ずれ検出センサ50、51から出
力された各検出信号を入力し、このとき基板搬送ロボッ
ト6による右側搬送アーム14の差し出しを停止する。
ーム14をさらに伸ばす。そうすると、LCD基板2の
縁が再び各位置ずれ検出センサ50、51を切る。この
とき各位置ずれ検出センサ50、51は、再びLCD基
板2の縁を検出してその各検出信号を出力する。位置修
正手段53は、各位置ずれ検出センサ50、51から出
力された各検出信号を入力し、このとき基板搬送ロボッ
ト6による右側搬送アーム14の差し出しを停止する。
【0123】次に、基板搬送ロボット6は、図9(d)に
示すように横移動機構8によって横方向に移動させる。
そうすると、LCD基板2の縁が位置ずれ検出センサ5
2を切る。このとき位置ずれ検出センサ52は、LCD
基板2の縁を検出してその検出信号を出力する。位置修
正手段53は、位置ずれ検出センサ52から出力された
検出信号を入力し、このとき横移動機構8による基板搬
送ロボット6の横移動を停止する。
示すように横移動機構8によって横方向に移動させる。
そうすると、LCD基板2の縁が位置ずれ検出センサ5
2を切る。このとき位置ずれ検出センサ52は、LCD
基板2の縁を検出してその検出信号を出力する。位置修
正手段53は、位置ずれ検出センサ52から出力された
検出信号を入力し、このとき横移動機構8による基板搬
送ロボット6の横移動を停止する。
【0124】しかして、基板搬送ロボット6は、右側搬
送アーム14を動作させ、右側ハンド20上に保持され
ているLCD基板2を、実際に据え付けられた基板検査
装置1でLCD基板2を置くべき位置33bに置く。
送アーム14を動作させ、右側ハンド20上に保持され
ているLCD基板2を、実際に据え付けられた基板検査
装置1でLCD基板2を置くべき位置33bに置く。
【0125】このように上記第3の実施の形態において
は、左側ハンド17及び右側ハンド20に、それぞれ2
つの可動パッド60,61を設け、これら可動パッド6
0,61を各モータ72〜75、各変換部76〜79及
び各リンク機構80〜83からなる駆動機構により動作
させるようにしたので、上記第1の実施の形態と同様
に、LCD基板2の大きさがLCDの大面積化に伴って
大型化してその重量が重くなっても、LCD基板2を無
理矢理に押して動かして割るようなことが無く、LCD
基板2を左側ハンド17及び右側ハンド20上で、実際
に据え付けられた基板検査装置1における基板載置用ス
テージ9上のLCD基板2を置くべき位置33bに正確
に位置合わせすることができる。これにより、基板検査
装置1では、LCD基板2に対して高精度な検査が可能
となる。
は、左側ハンド17及び右側ハンド20に、それぞれ2
つの可動パッド60,61を設け、これら可動パッド6
0,61を各モータ72〜75、各変換部76〜79及
び各リンク機構80〜83からなる駆動機構により動作
させるようにしたので、上記第1の実施の形態と同様
に、LCD基板2の大きさがLCDの大面積化に伴って
大型化してその重量が重くなっても、LCD基板2を無
理矢理に押して動かして割るようなことが無く、LCD
基板2を左側ハンド17及び右側ハンド20上で、実際
に据え付けられた基板検査装置1における基板載置用ス
テージ9上のLCD基板2を置くべき位置33bに正確
に位置合わせすることができる。これにより、基板検査
装置1では、LCD基板2に対して高精度な検査が可能
となる。
【0126】又、2つの可動パッド60,61の駆動に
よりLCD基板2を微動することができ、高精度に基板
載置用ステージ9上のLCD基板2を置くべき位置33
bに位置合わせできる。
よりLCD基板2を微動することができ、高精度に基板
載置用ステージ9上のLCD基板2を置くべき位置33
bに位置合わせできる。
【0127】なお、上述した実施の形態での可動パッド
60、61の駆動は、前後移動、左右移動、回転移動を
夫々別々のタイミングで行なうようにしていたが、これ
に限られるものではなく、夫々の駆動を組み合わせて同
じタイミングで行わせることで、基板の位置合わせに要
していた時間を短縮することができる。
60、61の駆動は、前後移動、左右移動、回転移動を
夫々別々のタイミングで行なうようにしていたが、これ
に限られるものではなく、夫々の駆動を組み合わせて同
じタイミングで行わせることで、基板の位置合わせに要
していた時間を短縮することができる。
【0128】なお、本発明は、上記第1乃至第3の実施
の形態に限定されるものでなく、実施段階ではその要旨
を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。
の形態に限定されるものでなく、実施段階ではその要旨
を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。
【0129】さらに、上記実施形態には、種々の段階の
発明が含まれており、開示されている複数の構成要件に
おける適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出でき
る。例えば、実施形態に示されている全構成要件から幾
つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとす
る課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で
述べられている効果が得られる場合には、この構成要件
が削除された構成が発明として抽出できる。
発明が含まれており、開示されている複数の構成要件に
おける適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出でき
る。例えば、実施形態に示されている全構成要件から幾
つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとす
る課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で
述べられている効果が得られる場合には、この構成要件
が削除された構成が発明として抽出できる。
【0130】例えば、上記第3の実施の形態は、基板検
査装置1における基板載置用ステージ9上の置くべき位
置33bにLCD基板2を修正して置くための動作を基
板搬送ロボット6により行う代わりに、左側ハンド17
及び右側ハンド20に設けられた各可動パッド60,6
1等により行っているが、これに限らず、基板搬送ロボ
ット6によるLCD基板2の位置修正動作を行った後
に、左側ハンド17及び右側ハンド20に設けられた各
可動パッド60,61等によりLCD基板2の微修正を
行うようにしてもよい。
査装置1における基板載置用ステージ9上の置くべき位
置33bにLCD基板2を修正して置くための動作を基
板搬送ロボット6により行う代わりに、左側ハンド17
及び右側ハンド20に設けられた各可動パッド60,6
1等により行っているが、これに限らず、基板搬送ロボ
ット6によるLCD基板2の位置修正動作を行った後
に、左側ハンド17及び右側ハンド20に設けられた各
可動パッド60,61等によりLCD基板2の微修正を
行うようにしてもよい。
【0131】又、上記第1の実施の形態においても基板
搬送ロボット6によりLCD基板2の位置修正動作を行
っているが、これを左側ハンド17及び右側ハンド20
に設けられた各可動パッド60,61等による位置修正
に代えてもよい。
搬送ロボット6によりLCD基板2の位置修正動作を行
っているが、これを左側ハンド17及び右側ハンド20
に設けられた各可動パッド60,61等による位置修正
に代えてもよい。
【0132】さらに、上記第1の実施の形態における基
板搬送ロボット6によるLCD基板2の位置修正動作を
行った後に、左側ハンド17及び右側ハンド20に設け
られた各可動パッド60,61等によりLCD基板2の
微修正を行うようにしてもよい。
板搬送ロボット6によるLCD基板2の位置修正動作を
行った後に、左側ハンド17及び右側ハンド20に設け
られた各可動パッド60,61等によりLCD基板2の
微修正を行うようにしてもよい。
【0133】なお、本発明の基板搬送装置で搬送される
基板は、上述した実施の形態ではLCD基板の例でしか
説明しなかったが、これに限られるものではなく、例え
ばLCD基板同様、大型化の傾向があるウエハ基板の搬
送にも有効である。
基板は、上述した実施の形態ではLCD基板の例でしか
説明しなかったが、これに限られるものではなく、例え
ばLCD基板同様、大型化の傾向があるウエハ基板の搬
送にも有効である。
【0134】
【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、実
際に据え付けられた基板検査装置におけるLCD基板を
置くべき位置に正確にLCD基板を直接置ける基板搬送
装置を提供できる。
際に据え付けられた基板検査装置におけるLCD基板を
置くべき位置に正確にLCD基板を直接置ける基板搬送
装置を提供できる。
【0135】又、本発明によれば、実際に据え付けられ
た基板検査装置におけるLCD基板を置くべき位置に正
確にLCD基板を直接置いてLCD基板の検査ができる
基板検査システムを提供できる。
た基板検査装置におけるLCD基板を置くべき位置に正
確にLCD基板を直接置いてLCD基板の検査ができる
基板検査システムを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係わる基板搬送装置と基板検査装置と
を備えた基板検査システムの第1の実施の形態を示す構
成図。
を備えた基板検査システムの第1の実施の形態を示す構
成図。
【図2】本発明に係わる基板検査システムの第1の実施
の形態におけるLCD基板を置くときの位置修正動作を
示す図。
の形態におけるLCD基板を置くときの位置修正動作を
示す図。
【図3】本発明に係わる基板搬送装置と基板検査装置と
を備えた基板検査システムの第2の実施の形態を示す構
成図。
を備えた基板検査システムの第2の実施の形態を示す構
成図。
【図4】本発明に係わる基板検査システムの第2の実施
の形態におけるLCD基板を置くときの位置修正動作を
示す図。
の形態におけるLCD基板を置くときの位置修正動作を
示す図。
【図5】本発明に係わる基板検査システムの第3の実施
の形態に適用する右側ハンドに設けた位置修正機構の構
成図。
の形態に適用する右側ハンドに設けた位置修正機構の構
成図。
【図6】本発明に係わる基板検査システムの第3の実施
の形態に適用する位置修正機構の可動パッド及び固定パ
ッドの構成図。
の形態に適用する位置修正機構の可動パッド及び固定パ
ッドの構成図。
【図7】本発明に係わる基板検査システムの第3の実施
の形態に適用する位置修正機構によるLCD基板の姿勢
を前後、左右及び回転方向に微動駆動する作用を説明す
るための図。
の形態に適用する位置修正機構によるLCD基板の姿勢
を前後、左右及び回転方向に微動駆動する作用を説明す
るための図。
【図8】本発明に係わる基板検査システムの第3の実施
の形態に適用する位置修正機構を設けた左側ハンド及び
右側ハンドの概略断面図。
の形態に適用する位置修正機構を設けた左側ハンド及び
右側ハンドの概略断面図。
【図9】本発明に係わる基板検査システムの第3の実施
の形態におけるLCD基板を置くときの位置修正動作を
示す図。
の形態におけるLCD基板を置くときの位置修正動作を
示す図。
【図10】従来におけるLCDの基板検査装置及び基板
搬送装置を正面から見た全体構成図。
搬送装置を正面から見た全体構成図。
【図11】従来におけるLCDの基板検査装置及び基板
搬送装置を上方から見た構成図。
搬送装置を上方から見た構成図。
【図12】従来の基板搬送装置における基板搬送ロボッ
トの構成図。
トの構成図。
【図13】従来の基板搬送装置における基板搬送ロボッ
トの昇降動作を示す図。
トの昇降動作を示す図。
【図14】従来の基板搬送装置における基板搬送ロボッ
トの横移動を示す図。
トの横移動を示す図。
【図15】従来の基板搬送装置における基板搬送ロボッ
トの旋回運動を示す図。
トの旋回運動を示す図。
【図16】従来の基板搬送装置における基板搬送ロボッ
トの伸ばす動き及び縮める動きを示す図。
トの伸ばす動き及び縮める動きを示す図。
【図17】従来における基板搬送装置及び基板検査装置
での設置位置のずれを示す図。
での設置位置のずれを示す図。
【図18】従来における基板検査装置側でのLCD基板
の微修正機構の作用を説明するための図。
の微修正機構の作用を説明するための図。
【図19】従来における基板検査装置側でのLCD基板
の微修正機構の作用を説明するための図。
の微修正機構の作用を説明するための図。
【図20】従来における基板検査装置側でのLCD基板
の微修正機構の作用を説明するための図。
の微修正機構の作用を説明するための図。
【図21】従来における基板検査装置側でのLCD基板
の微修正機構の作用を説明するための図。
の微修正機構の作用を説明するための図。
【図22】従来における基板検査装置側でのLCD基板
の微修正機構の作用を説明するための図。
の微修正機構の作用を説明するための図。
【図23】従来における基板検査装置側でのLCD基板
の微修正機構の作用を説明するための図。
の微修正機構の作用を説明するための図。
1:基板検査装置 2:LCD基板 3:基板搬送装置 4(4a,4b):カセット 5:カセットステーション 6:基板搬送ロボット 7:ロボット胴体 8:横移動機構 9:基板載置用ステージ 10:直動軸受け 11:ボールねじ 12:アーム台 13:左側搬送アーム 14:右側搬送アーム 15,18:第1アーム 16,19:第2アーム 17:左側ハンド 20:右側ハンド 30:カセット架台 30a:設計上のカセット架台の位置 30b:実際に据え付けられたカセット架台の位置 31a:設計上のカセットの位置 31b:実際に置かれるカセットの位置 32:カセット内に収納されているLCD基板の実際の
位置 1a:設計上の基板検査装置の位置 1b:実際に据え付けられた基板検査装置の位置 33b:実際に据え付けられた基板検査装置でLCD基
板を置くべき位置 40,41:位置ずれ検出センサ 42:位置ずれ演算手段 43:位置修正手段 50,51,52:位置ずれ検出センサ 53:位置修正手段 60,61:可動パッド 62,63:固定パッド 64:テフロン管 65:ベース 66:嵌合部 67:弾性部材 68:吸着パッド 69:ベース 70:弾性部材 71:吸着パッド 72〜75:モータ 76〜79:変換部 80〜83:リンク機構 84,85,86,87:端部
位置 1a:設計上の基板検査装置の位置 1b:実際に据え付けられた基板検査装置の位置 33b:実際に据え付けられた基板検査装置でLCD基
板を置くべき位置 40,41:位置ずれ検出センサ 42:位置ずれ演算手段 43:位置修正手段 50,51,52:位置ずれ検出センサ 53:位置修正手段 60,61:可動パッド 62,63:固定パッド 64:テフロン管 65:ベース 66:嵌合部 67:弾性部材 68:吸着パッド 69:ベース 70:弾性部材 71:吸着パッド 72〜75:モータ 76〜79:変換部 80〜83:リンク機構 84,85,86,87:端部
Claims (8)
- 【請求項1】 ハンド上に基板を保持して搬送して所定
位置に置く基板搬送装置において、 前記ハンドで保持された前記基板の搬送経路上でかつこ
の搬送方向に対して略垂直方向に設けられ、搬送される
前記基板の縁を検出する位置ずれ検出手段と、 この位置ずれ検出手段により検出された前記基板の縁の
位置に基づいて前記基板の前記所定位置に対する位置ず
れを求める位置ずれ演算手段と、 この位置ずれ演算手段により求められた位置ずれに基づ
いて前記基板を前記所定位置に修正する位置修正手段
と、を具備したことを特徴とする基板搬送装置。 - 【請求項2】 前記位置ずれ検出手段は、前記搬送方向
に対して略垂直方向に設けられたラインセンサ又は少な
くとも2つの位置ずれ検出センサであることを特徴とす
る請求項1記載の基板搬送装置。 - 【請求項3】 ハンド上に基板を保持して搬送して所定
位置に置く基板搬送装置において、 前記所定位置に置かれる前記基板の少なくとも二辺の縁
を検出するように設けられた位置ずれ検出手段と、 この位置ずれ検出手段により前記基板の二辺の縁が検出
されるように前記基板の位置を修正する位置修正手段
と、を具備したことを特徴とする基板搬送装置。 - 【請求項4】 前記位置ずれ検出手段は、前記所定位置
に置かれる前記基板の少なくとも二辺の縁を検出するよ
うに設けられた少なくとも3つの位置ずれ検出センサ又
は少なくとも二辺の縁を検出するように設けられた少な
くとも2つのラインセンサであることを特徴とする請求
項3記載の基板搬送装置。 - 【請求項5】 前記位置修正手段は、ハンドの姿勢を前
後移動、左右移動、旋回運動させることを特徴とする請
求項1又は3記載の基板搬送装置。 - 【請求項6】 前記位置修正手段は、前記ハンド上に設
けられ、前記基板を保持すると共に微動可能な複数の可
動保持体と、 これら可動保持体を前記基板の二辺の縁が前記位置ずれ
検出手段により検出されるようにそれぞれ微動させる駆
動機構と、からなることを特徴とする請求項1又は3記
載の基板搬送装置。 - 【請求項7】 前記可動保持体は、前後方向、左右方
向、回転方向に微動自在であることを特徴とする請求項
6記載の基板搬送装置。 - 【請求項8】 基板を収納するカセットステーションを
有し、前記基板を保持するハンドを備えた基板搬送装置
と、前記基板を検査する基板検査装置とを備え、前記基
板搬送装置の動作により、前記カセットステーションに
収納されている前記基板を前記ハンド上に保持して取り
出し、この基板を前記ハンド上に保持した状態で前記基
板検査装置内に搬送し、前記基板を前記基板検査装置内
のステージ上の所定位置に載置する基板検査システムに
おいて、 前記基板搬送装置に、請求項1又は3記載の基板搬送装
置を用いたことを特徴する基板検査システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000285635A JP2002093882A (ja) | 2000-09-20 | 2000-09-20 | 基板搬送装置及び基板検査システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000285635A JP2002093882A (ja) | 2000-09-20 | 2000-09-20 | 基板搬送装置及び基板検査システム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002093882A true JP2002093882A (ja) | 2002-03-29 |
Family
ID=18769671
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000285635A Withdrawn JP2002093882A (ja) | 2000-09-20 | 2000-09-20 | 基板搬送装置及び基板検査システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2002093882A (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2000
- 2000-09-20 JP JP2000285635A patent/JP2002093882A/ja not_active Withdrawn
Cited By (14)
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CN100407395C (zh) * | 2003-07-04 | 2008-07-30 | 乐华股份有限公司 | 薄板状基板的运送装置及其运送控制方法 |
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TWI417986B (zh) * | 2005-09-05 | 2013-12-01 | Tokyo Electron Ltd | An abnormality detection method of a transfer chamber, a substrate processing apparatus, and a substrate |
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JP2009524047A (ja) * | 2006-01-18 | 2009-06-25 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 基板の破損及び移動中の基板のずれを動的に検出するセンサ |
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JP2021185636A (ja) * | 2017-03-27 | 2021-12-09 | 株式会社東京精密 | プローバおよびプリアライメント方法 |
JP7285435B2 (ja) | 2017-03-27 | 2023-06-02 | 株式会社東京精密 | プローバおよびプリアライメント方法 |
JP2019110200A (ja) * | 2017-12-18 | 2019-07-04 | 株式会社荏原製作所 | 基板処理装置、基板処理装置の制御方法、プログラムを格納した記憶媒体 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20071204 |