CN111591763A - 精准校正走行台车装置及其位置校正方法 - Google Patents

Abstract

本发明揭示了精准校正走行台车装置及其位置校正方法，精准校正走行台车装置包括移动台车、设于移动台车顶部由多节关节臂体相互轴接成可折叠升降的升降组件、设于升降组件顶部的主旋转轴、连接主旋转轴的基板、设于基板上的支架、设于支架侧边的若干用于承载产品的支撑手部、以及设于支架上的用于检测产品位置信息的视觉传感器，所述基板与支架之间对称设有多节相互轴接的关节臂体，多节关节臂体绕基板旋转带动支架水平移动于基板的两侧。本发明实现了台车避免产生震动偏移，准确校正升降距离和旋转角度。

Description

精准校正走行台车装置及其位置校正方法

技术领域

本发明属于移动运输装置技术领域，尤其涉及一种精准校正走行台车装置及其位置校正方法。

背景技术

液晶基板走行台车采用机械手从配置有多层液晶基板的晶圆盒中吸附液晶基板，在作业区域进行配置液晶基板的操作。在配置有液晶基板的晶圆盒中，虽然基板配置在规定的位置，但实际上在晶圆盒内会产生旋转偏移或横向偏移，导致机械手取出包含载置误差的液晶基板，在随后的作业区域进行的描绘或曝光工序中产生误差，成为不良产品。

近年来液晶基板向大型化发展，微小的旋转偏移或横向偏移也由于液晶基板的大型化而产生更大的影响。另一方面，随着液晶基板的大型化，搬运物的惯性变大，生产节拍时间的控制亦十分重要。因此对于液晶基板走行台车要求具有高刚性、不易振动的结构。

目前现有的部分液晶基板走行台车虽然能够进行校正基板位置，但在连接部所具备的支撑臂上安装检测传感器的情况下，由于惯性很大的液晶基板的机器手移动，在连接部上也产生反作用力，由于支撑臂的刚性较低就会产生残余振动，而在产生这种振动中测量横向偏移，也将传感器自身振动中的数值检测出来，因此产生无法检测出真实的横向偏移量的问题。

发明内容

本发明的目的是为了解决上述技术问题，而提供精准校正走行台车装置及其位置校正方法，从而实现台车避免产生震动偏移，准确校正升降距离和旋转角度。为了达到上述目的，本发明技术方案如下：

精准校正走行台车装置，包括移动台车、设于移动台车顶部由多节关节臂体相互轴接成可折叠升降的升降组件、设于升降组件顶部的主旋转轴、连接主旋转轴的基板、设于基板上的支架、设于支架侧边的若干用于承载产品的支撑手部、以及设于支架上的用于检测产品位置信息的视觉传感器，所述基板与支架之间对称设有多节相互轴接的关节臂体，多节关节臂体绕基板旋转带动支架水平移动于基板的两侧。

具体的，所述升降组件包括与移动台车轴接的第一关节臂体、通过第一旋转轴与第一关节臂体轴接的第二关节臂体、通过第二旋转轴与第二关节臂体轴接的第三关节臂体。

具体的，所述第一旋转轴上还套设有辅助板，辅助板与移动台车之间连接有第一辅助臂体；辅助板与第三关节臂体之间连接有第二辅助臂体。

具体的，所述第三关节臂体的顶部轴接主旋转轴。

具体的，所述基板的顶部轴接两第三旋转轴，第三旋转轴连接有第四关节臂体，第四关节臂体通过第四旋转轴连接第五关节臂体，第五关节臂体的端部轴接支架的侧边。

具体的，所述主旋转轴、第一旋转轴、第二旋转轴、第三旋转轴、第四旋转轴均连接有驱动各自旋转的驱动装置。

精准校正走行台车装置位置校正方法，包括以下步骤：

1)精准校正走行台车装置上的支架位置进行角度偏移检测；

2)根据视觉传感器信号计算角度偏移的校正值；

3)控制***根据校正值信息控制主旋转轴进行角度调整；

4)将产品移入至支架上的支撑手部；

5)根据视觉传感器信号计算位置偏移的校正值；

6)控制***根据校正值信息控制第一旋转轴、第二旋转轴、第三旋转轴、第四旋转轴旋转，从而控制相应关节臂体的移动距离。

与现有技术相比，本发明精准校正走行台车装置及其位置校正方法的有益效果主要体现在：

通过设置相互配合的关节臂体和旋转轴，实现支架的位移控制和角度控制，避免传统机械手移动造成的晃动偏移，传感器无法准确检测的问题；进行角度偏移检测并校正后，进行位置偏移校正，最大程度保证行程的精准控制，整体装置提高运输效率，精准校正位置。

附图说明

图1为本发明实施例的结构示意图；

图2为本实施例主视结构示意图；

图3为本实施例侧视结构示意图；

图4为本实施例俯视结构示意图；

图中数字表示：

1移动台车、11主旋转轴、12基板、13支架、14支撑手部、15视觉传感器、2第一关节臂体、21第一旋转轴、22辅助板、3第二关节臂体、31第二旋转轴、4第三关节臂体、5第一辅助臂体、51第二辅助臂体、6第三旋转轴、7 第四关节臂体、71第四旋转轴、8第五关节臂体。

具体实施方式

下面对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。

实施例：

参照图1-4所示，本实施例为精准校正走行台车装置，包括移动台车1、设于移动台车1顶部由多节关节臂体相互轴接成可折叠升降的升降组件、设于升降组件顶部的主旋转轴11、连接主旋转轴11的基板12、设于基板12上的支架 13、设于支架13侧边的若干用于承载产品的支撑手部14、以及设于支架13上的用于检测产品位置信息的视觉传感器15。

基板12与支架13之间对称设有多节相互轴接的关节臂体，多节关节臂体绕基板12旋转带动支架13水平移动于基板12的两侧。

升降组件包括与移动台车1轴接的第一关节臂体2、通过第一旋转轴21与第一关节臂体2轴接的第二关节臂体3、通过第二旋转轴31与第二关节臂体3 轴接的第三关节臂体4。

第一旋转轴21上还套设有辅助板22，辅助板22与移动台车1之间连接有第一辅助臂体5；辅助板22与第三关节臂体4之间连接有第二辅助臂体51。

第三关节臂体4的顶部轴接主旋转轴11。

基板12的顶部轴接两第三旋转轴6，第三旋转轴6连接有第四关节臂体7，第四关节臂体7通过第四旋转轴71连接第五关节臂体8，第五关节臂体8的端部轴接支架13的侧边。第四关节臂体7绕第三旋转轴6旋转，第五关节臂体8 绕第四旋转轴71旋转；第五关节臂体8向内收缩靠向第四关节臂体7，再拉伸远离第四关节臂体7，实现支架13从基板12的一侧移动至另一侧的过程。

主旋转轴11、第一旋转轴21、第二旋转轴31、第三旋转轴6、第四旋转轴 71均连接有驱动各自旋转的驱动装置(图中未示出)，驱动装置可选为伺服电机。各驱动装置均连接至控制***，控制***获取视觉传感器发送的产品位置信息，从而控制各旋转轴的升降移动距离和旋转角度。

本实施例待检测产品为液晶基板。

精准校正走行台车装置位置校正方法，包括以下步骤：

1)精准校正走行台车装置上的支架13位置进行角度偏移检测；

2)根据视觉传感器15信号计算角度偏移的校正值；

3)控制***根据校正值信息控制主旋转轴进行角度调整；

4)将产品移入至支架13上的支撑手部14；

5)根据视觉传感器信号15计算位置偏移的校正值；

6)控制***根据校正值信息控制第一旋转轴21、第二旋转轴31、第三旋转轴6、第四旋转轴71旋转，从而控制相应关节臂体的移动距离。

应用上述实施例时，通过设置相互配合的关节臂体和旋转轴，实现支架13 的位移控制和角度控制，避免传统机械手移动造成的晃动偏移，传感器无法准确检测的问题；进行角度偏移检测并校正后，进行位置偏移校正，最大程度保证行程的精准控制，整体装置提高运输效率，精准校正位置。

以上所述的仅是本发明的一些实施方式。对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。

Claims (7)

1.精准校正走行台车装置，其特征在于：包括移动台车、设于移动台车顶部由多节关节臂体相互轴接成可折叠升降的升降组件、设于升降组件顶部的主旋转轴、连接主旋转轴的基板、设于基板上的支架、设于支架侧边的若干用于承载产品的支撑手部、以及设于支架上的用于检测产品位置信息的视觉传感器，所述基板与支架之间对称设有多节相互轴接的关节臂体，多节关节臂体绕基板旋转带动支架水平移动于基板的两侧。

2.根据权利要求1所述的精准校正走行台车装置，其特征在于：所述升降组件包括与移动台车轴接的第一关节臂体、通过第一旋转轴与第一关节臂体轴接的第二关节臂体、通过第二旋转轴与第二关节臂体轴接的第三关节臂体。

3.根据权利要求2所述的精准校正走行台车装置，其特征在于：所述第一旋转轴上还套设有辅助板，辅助板与移动台车之间连接有第一辅助臂体；辅助板与第三关节臂体之间连接有第二辅助臂体。

4.根据权利要求2所述的精准校正走行台车装置，其特征在于：所述第三关节臂体的顶部轴接主旋转轴。

5.根据权利要求2所述的精准校正走行台车装置，其特征在于：所述基板的顶部轴接两第三旋转轴，第三旋转轴连接有第四关节臂体，第四关节臂体通过第四旋转轴连接第五关节臂体，第五关节臂体的端部轴接支架的侧边。

6.根据权利要求5所述的精准校正走行台车装置，其特征在于：所述主旋转轴、第一旋转轴、第二旋转轴、第三旋转轴、第四旋转轴均连接有驱动各自旋转的驱动装置。

7.精准校正走行台车装置位置校正方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)精准校正走行台车装置上的支架位置进行角度偏移检测；

2)根据视觉传感器信号计算角度偏移的校正值；

3)控制***根据校正值信息控制主旋转轴进行角度调整；

4)将产品移入至支架上的支撑手部；

5)根据视觉传感器信号计算位置偏移的校正值；

6)控制***根据校正值信息控制第一旋转轴、第二旋转轴、第三旋转轴、第四旋转轴旋转，从而控制相应关节臂体的移动距离。

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