KR101535068B1 - 틀어짐을 보정하는 8축 이송로봇 - Google Patents

틀어짐을 보정하는 8축 이송로봇 Download PDF

Info

Publication number
KR101535068B1
KR101535068B1 KR1020130077582A KR20130077582A KR101535068B1 KR 101535068 B1 KR101535068 B1 KR 101535068B1 KR 1020130077582 A KR1020130077582 A KR 1020130077582A KR 20130077582 A KR20130077582 A KR 20130077582A KR 101535068 B1 KR101535068 B1 KR 101535068B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
upper frame
driving
frame
arm
correction
Prior art date
Application number
KR1020130077582A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20140051765A (ko
Inventor
이성직
오영일
Original Assignee
주식회사 나온테크
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 나온테크 filed Critical 주식회사 나온테크
Publication of KR20140051765A publication Critical patent/KR20140051765A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101535068B1 publication Critical patent/KR101535068B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/06—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means
    • B25J15/0616—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means with vacuum
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
    • B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
    • B25J9/041—Cylindrical coordinate type
    • B25J9/042—Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/10—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
    • B25J9/106—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/16—Programme controls
    • B25J9/1628—Programme controls characterised by the control loop
    • B25J9/1633—Programme controls characterised by the control loop compliant, force, torque control, e.g. combined with position control
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/16—Programme controls
    • B25J9/1628—Programme controls characterised by the control loop
    • B25J9/1638—Programme controls characterised by the control loop compensation for arm bending/inertia, pay load weight/inertia
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68707—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

이송 진공로봇이 개시된다. 이송 진공로봇으로서, 틀어짐을 보정하는 8축 이송로봇으로서, 기판을 놓는 과정에 발생되는 흔들림을 보정하기 위하여 암의 흔들림을 보상하여주는 흔들림 보정장치를 포함하는 틀어짐을 보정하는 8축 이송로봇을 제공한다.
또한, 8축 이송로봇은, 각 상부 핸드/하부 핸드에 구동력 암과 보조 암을 배치시켜 구동 시 발생되는 강성을 높이고 구동시에 발생되는 흔들림을 보정하는 보정장치를 구비함으로써, 보다 정밀한 8축 이송로봇을 제공한다.

Description

틀어짐을 보정하는 8축 이송로봇 {To prevent shaking for 8-axis transfer robot}
본 발명은 틀어짐을 보정하는 8축 이송로봇에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 챔버 내부에 배치되고 기판을 이송하는 이송 진공로봇으로서, 핑거를 구비하면서 이송 정밀도를 높여주기 위하여 틀어짐을 보정하는 8축 이송로봇에 관한 것이다.
종래의 8축 이송 진공로봇에서는, 이송 진공로봇의 아암(arm)에 2개의 핸드를 장착하기 위해서는 암을 길게 하거나 상부(upper) 암과 하부(lower) 암을 상하로 배치하였다. 그러나 이와 같이 구성하였을 경우 암의 길이가 길어짐에 따라 구조적 강성이 떨어져 이송 작업의 정밀도가 떨어지는 문제가 발생하였다.
정밀도를 개선하기 위하여 암의 강성을 높이는 경우 암의 무게가 증가하거나 이송장치의 크기가 커져 설치에 어려움이 발생하였다. 또한, 암의 구조적 강성을 높이기 위하여 특수한 구조를 갖도록 하는 경우에는 이송장치의 동작에 제한이 가해지기 때문에 공정 속도가 저하되는 문제가 발생한다.
이러한, 문제점을 해결하기 위하여 대한민국 특허출원번호 10-2012-0117169는 본 출원인이 이송 진공로봇의 공정 정밀도를 개선하기 위하여 출원하였다. 츨원번호 10-2012-0117169는 동축 구조를 갖으면서 강성을 높이는 구조를 제공하고 있다. 그러나 좌측/우측 암에 대하여서는 각각을 정밀하게 제어하지 못하는 문제점이 발생하였다.
본 발명은 전술한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로, 각 핸드의 구조적 강성을 높이면서 이송작업 시에 발생되는 오차를 보정하는 8축 이송로봇을 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 좌측 암과 우측 암을 각각 정밀 제어하는 보정장치를 제공하는 틀어짐을 보정하는 8축 이송로봇을 제공하는 것을 목적으로 한다.
전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 이송 진공로봇으로서, 가이드라인을 따라 수직으로 직선운동을 하는 안내블록과 상기 안내블록으로 동력을 전달하는 제1 구동장치(110)가 구비된 하부 몸체(10); 상기 하부 몸체(10)의 내부에 위치되고 상기 안내블록에 체결되어 수직으로 움직이면서 회전운동을 하는 제2 구동장치(24)를 구비하는 하부 프레임(230); 상기 하부 프레임(230)의 상단부에 삽입되어 체결되고 좌측에 배치되는 상부 핸드(50)와 하부 핸드(60)에 구동력을 전달하는 제3 구동장치와 제4 구동장치가 배치될 수 있도록 장홀로 형성된 제1 상부 프레임(222); 상기 하부 프레임(230)의 상단부에 삽입되어 체결되고 우측에 배치되는 상부 핸드(50)와 하부 핸드(60)에 구동력을 전달하는 제5 구동장치와 제6 구동장치가 배치될 수 있도록 장홀로 형성된 제2 상부 프레임(224); 상기 제1 상부 프레임(222)와 상기 제2 상부 프레임(224)의 중앙 하단부에 배치되어 일정각도 상기 제1 상부 프레임(222)와 상기 제2 상부 프레임(224)을 각각의 틀어짐을 보정하는 보정장치(40); 및 제3,4,5 및 6 구동장치와 연결되어 구동력을 전달받아 직선운동을 하는 구동력 암과 상기 구동력 암으로부터 일정거리 이격되어 강성 및 흔들림을 최소화하기 위한 보조 암을 구비하면서 직선운동을 하는 암(70)을 구비하는 다수개의 핸드부를 포함하는 이송 진공로봇을 제공한다.
본 발명의 발람직한 형태에 따르면, 상기 보정장치(40)는, 상기 제1 상부 프레임(222)와 상기 제2 상부 프레임(224)에 대하여 좌측회전과 우측회전을 각각을 제어하기 위한 제1 보정장치(400)와 제2 보정장치(420)로 구비되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제1 보정장치(400)와 제2 보정장치(420)가 보정 시에 서로간의 간섭이 되지 않도록 보정각도가 각각 약 -10도에서 10도를 벗어나지 못하는 것이 좋다.
또, 동일한 기구적 특징을 적용하여 정밀제어를 하기위하여 상기 제3 구동장치(310)와 연결되는 회전축을 기준으로 암(70)이 서로 복층으로 배치되고 상기 암(70)의 위치가 서로 대칭으로 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제1 상부 프레임(222)과 제2 상부 프레임(224)이 내부에서 발생되는 먼지 및 분진이 진공챔버 내부로 주입되는 것을 방지하고, 고장시에 신속한 교체가 용이하도록 상부덮개가 분리가 용이하도록 체결되는 것이 좋다.
본 발명의 바람직한 다른 형태에 따르면, 전술한 이송 진공로봇으로 구성되는 공정장치를 제공한다.
본 발명에 따른 틀어짐을 보정하는 8축 이송로봇은, 각 상부 핸드/하부 핸드에 구동력 암과 보조 암을 배치시켜 구동 시 발생되는 강성을 높이고 구동 시에 발생되는 흔들림을 보정하는 보정장치를 구비함으로써, 보다 정밀한 8축 이송로봇을 제공하는 효과가 있다.
또한, 이송 진공로봇의 회전 반경을 최소화함으로써 장비가 차지하는 면적이 작아짐으로써 진공을 유지하는 공간을 최소화하여 유지보수 비용을 절약할 수 있는 틀어짐을 보정하는 8축 이송로봇을 제공하는 효과가 있다.
또, 좌측 암과 우측 암을 각각 정밀 제어하는 보정장치를 제공하는 특어짐을 보정하는 8축 이송로봇을 제공하는 효과가 있다.
도 1 은 본 발명의 일실시예에 따른 이송 진공로봇의 정면도.
도 2 는 도 1에 대한 평면도.
도 3 은 도 1에 대한 측면도.
도 4 는 도 3에 대한 단면도.
도 5는 도 4에 대한 d부분 확대도.
도 6은 도 4에 대한 c-c의 단면이다.
도 7은 도 2에 대한 우측 암이 구동되는 것을 나타낸 예시도.
도 8은 도 2에 대한 좌측 암이 구동되는 것을 나타낸 예시도.
도 9는 도 2에 대한 좌축암과 우측암이 구동되는 것을 나타낸 예시도.
도 10은 도 2에 대한 b-b의 단면도.
도 11은 도 2에 대한 a-a의 단면도.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면과 연계하여 상세히 설명하면 다음과 같다. 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지기능 혹은 구성에 따른 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 상세한 설명은 생략한다. 들어가기에 앞서, 본 발명을 설명하는데 있어서, 그 실시 예가 상이하더라도 동일한 구성에 대해서는 동일한 참조번호를 사용하고, 필요에 따라 그 설명을 생략할 수 있다.
도 1 은 본 발명의 일실시예에 따른 이송 진공로봇의 정면도, 도 2 는 도 1에 대한 평면도, 도 3 은 도 1에 대한 측면도, 도 4 는 도 3에 대한 단면도이다.
도면을 참조하여 설명하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 이송 진공로봇은, 다른 구성요소를 지지하는 하부 몸체(10)와 하부 몸체(10)의 내부에 배치되고 상승 또는 하강이 가능한 연결부(20)와 연결부(20)의 상부에 배치되고 회전운동이 가능한 상부 몸체(30)와 상부 몸체(30)의 상단부에 배치되고 일정거리 이격되어 기판이 안착되는 상부 핸드(50)/하부 핸드(60)를 포함한다.
하부 몸체(10)는 다른 구성요소들을 지지하며 지면에 배치된다. 하부 몸체(10)는 연결부(20)를 상하 직선운동으로 구동하는 제1 구동장치(110)와 하부 몸체(10) 내부에 위치되고 연결부(20)의 상하 직선운동을 안내하는 안내부(120)를 포함한다.
제1 구동장치(110)는 하부 몸체(10)의 내부에 배치되고 전기로 구동되는 모터를 구비한다. 이 모터는 일정거리 이격된 볼스크류축의 일측 단부에 마련된 풀리와 연결된다. 제1 구동장치(110)는 볼스크류축의 구동으로 인하여 연결부(20)를 일정 구간 사이에서 수직방향으로 직선운동을 하도록 한다. 제1 구동장치(110)의 연결 방법은 볼 스크류 방식으로 한정하기 위함은 아니며, 다양한 방식으로 연결이 가능하다 예를 들면, 레일을 이용한 LM 가이드와 실린더 및 전기모터 등으로도 대체가 가능하다.
안내부(120)는 하부 몸체(10)의 내부에 배치된다. 안내부(120)는 볼스크류 축에 배치된 블록과 체결된다. 안내부(120)는 볼스크류 축의 구동으로 인하여 블록을 따라 상하 직선운동을 한다. 안내부(120)는 프레임(22)과 체결되어 연결부(20)를 상하 직선운동을 한다. 안내부(120)는 연결부(20)와 체결되어 상부 몸체(30)를 상하 직선운동을 한다. 안내부(120)는 레일 또는 볼스크류 축에 연결된 블록을 따라 이동한다. 볼스크류 또는 레일이 1개 이상의 복수개가 제공되는 경우 각 레일은 등각도 간격으로 배치되는 것이 바람직하다. 볼스크류 또는 레일이 각각 3개인 경우에는 120도 간격으로 배치된다.
연결부(20)는 안내부(120)와 체결되어 상하 직선운동을 한다. 연결부(20)는 하부 몸체(10)의 내부에 배치되는 제2 구동장치(24)와 체결되어 회전운동을 한다. 연결부(20)는 하부 몸체(10)의 내부에서 상하로 직선운동을 한다. 연결부(20)는 상부 몸체(30)을 회전 가능하게 지지한다. 연결부(20)는 하부 몸체(10)의 안내부(120)와 연결되는 프레임(22)과 프레임(22)의 내부에 위치되는 제2 구동장치(24)를 포함한다.
프레임(22)은 제2 구동장치(24)의 구동력을 받아 상부 핸드(50)/하부 핸드(60)를 회전시킨다. 프레임(22)은 상부 몸체(30)를 회전시키는 하부 프레임(230)과 로봇의 좌측에 배치되는 상부 핸드(50)/하부 핸드(60)와 연결되어 흔들림을 보정하는 제1 상부 프레임(222)과 로봇의 우측에 배치되는 상부 핸드(50)/하부 핸드(60)를 구동하는 제2 상부 프레임(224)을 포함한다.
하부 프레임(230)은 안내부(120)에 체결된다. 하부 프레임(230)은 소정의 구간에서 상하 직선운동을 한다. 하부 프레임(230)는 중공 형상을 가지며 상부 프레임(220)에 연결된다. 하부 프레임(230)은 제1 상부 프레임(222)과 제2 상부 프레임(224)이 각각 내부로 삽입되어 체결된다.
하부 프레임(230)의 하단부에는 제2 구동장치(24)가 배치된다. 하부 프레임(230)는 제2 구동장치(24)에 연결된다. 하부 프레임(230)는 제2 구동장치(24)와 벨트로 연결되는 것이 바람직하다. 이는 하부 프레임(230)과 제2 구동장치(24)의 연결방법을 한정하기 위함은 아니다. 하부 프레임(230)은 상부 프레임(220)과 체결된다. 하부 프레임(230)은 제2 구동장치(24)의 구동력을 이용하여 상부 프레임(220)을 회전시킨다. 이는, 하부 프레임(230)에 연결된 상부 프레임(220)을 회전시킴으로써 결과적으로 상부 핸드(50)/하부 핸드(60)를 회전시킨다.
도 5는 도 4에 대한 d부분 확대도, 도 6은 도 4에 대한 c-c의 단면이다. 도면을 참조하여 설명하면, 상부 프레임(220)은 하부 프레임(230)의 상단부에 삽입되어 체결한다. 상부 프레임(220)은 로봇의 좌측에 배치되는 상부 핸드(50)/하부 핸드(60)에 체결되는 제1 상부 프레임(222)과 로봇의 우측에 배치되는 상부 핸드(50)/하부 핸드(60)에 체결되는 제2 상부 프레임(224)을 포함한다.
제1 상부 프레임(222)과 제2 상부 프레임(224)은 장홀로 형성되어 하부 프레임(230)에 각각 삽입되어 체결되는 것이 바람직하다. 이는, 제1 상부 프레임(222)은 제3 구동장치와 제4 구동장치의 구동되는 축의 위치가 서로 틀려져서 장홀로 형성되는 것이 바람직하다. 이는, 상부 핸드(50)/하부 핸드(60)를 각각 구동하기 위함이다. 제2 상부 프레임(224)도 제1 상부 프레임(222)과 같이 장홀로 형성되는 것이 바람직하다.
제1 상부 프레임(222)과 제2 상부 프레임(224)의 하단부에는 보정장치(40)가 배치된다. 제1 상부 프레임(222)은 하단부에 제3 구동장치와 제4 구동장치가 체결되도록 형성된다. 제1 상부 프레임(222)은 제3 구동장치는 좌축에 배치되는 상부 핸드(50)에 체결되고 좌축에 배치되는 하부 핸드(60)에 체결되는 제4 구동장치가 배치된다. 이때 제3 구동장치와 제4 구동장치는 로봇의 좌측에 배치되는 상부 핸드(50)와 하부 핸드(60)의 구동력을 전달한다.
제1 상부 프레임(222)은 제3 구동장치와 제4 구동장치가 배치될수 있도록 내부에 공간이 형성된다. 제2 상부 프레임(224)은 하단부에 제5 구동장치와 제6 구동장치가 내부에 배치된다. 제5 구동장치는 로봇의 우축에 배치되는 상부 핸드(50)에 체결되고 로봇의 우축에 배치되는 하부 핸드(60)에 체결되는 제6 구동장치가 배치된다.
제1 상부 프레임(222)과 제2 상부 프레임(224)은 구조적 강성을 높이면서 동시에 전체 장치의 무게를 줄이기 위하여 알루미늄과 같은 경량 금속 재료로 이루어지는 것이 좋다. 제1 상부 프레임(222)과 제2 상부 프레임(224)의 일측에는 관통 홈이 형성되는 것이 좋다. 이는 관통 홈을 따라 에어 공급관 및 각종 전원케이블을 서로 연결하는 통로로 사용할 수도 있다.
보정장치(40)는 제1 상부 프레임(222)과 제2 상부 프레임(224)을 각각 구동시키는 제1 보정장치(400)와 제2 보정장치(420)를 포함한다.
보정장치(40)는 제1 상부 프레임(222)과 제2 상부 프레임(224)을 일정 범위 각각 회전시켜 오차를 보정한다. 즉, 보정장치(40)는 좌우측에 배치되는 상부 핸드(50)/하부 핸드(60)의 틀어짐을 각각 보상해 준다. 보정장치(40)는 모터와 전기모터, 서보모터 등을 사용하여 정밀제어를 하는 것이 바람직하다. 이는, 보정장치(40)의 형태를 한정하기 위함은 아니다.
보정장치(40)는 제1 상부 프레임(222)과 제2 상부 프레임(224)의 하단부에 제1 보정장치(400)와 제2 보정장치(420)가 각각 배치된다. 이때, 제1 보정장치(400)와 제2 보정장치(420)는 각각 동작하여 제1 상부 프레임(222)과 제2 상부 프레임(224)을 보정한다. 제1 보정장치(400)와 제2 보정장치(420)의 보정범위는 각각 약 -10도에서 10도 사이에서 보정하는 것이 바람직하다. 이는, 제1 보정장치(400)와 제2 보정장치(420)가 보정범위 내에서 구동 시에 제1 상부 프레임(222)과 제2 상부 프레임(224)이 서로 간섭되지 않기 위함이다. 더욱이 제1 보정장치(400)와 제2 보정장치(420)는 좌축과 우축에 배치되는 상부 핸드(50)/하부 핸드(60)를 각각 미세하게 조절하기 위함이다. 따라서, 제1 보정장치(400)와 제2 보정장치(420)는 미세한 조절을 하기 때문에 많은 구동을 할 필요가 없다.
제1 보정장치(400)와 제2 보정장치(420)는 제1 상부 프레임(222)과 제2 상부 프레임(224)의 하 단부 중앙에 배치되는 것이 바람직하다. 보정 작업 시에 제1 상부 프레임(222)과 제2 상부 프레임(224)의 장홀 형상의 편심에 의한 제어 오차를 줄이기 위함이다. 이는, 제2 구동장치(24)를 빠르게 구동하여 기판이 놓이는 위치까지 신속히 상부 핸드(50)/하부 핸드(60)를 이동하면, 제1 보정장치(400)와 제2 보정장치(420)를 이용하여 상부 핸드(50)/하부 핸드(60)가 신속하게 원하는 위치에 기판을 위치시킬 수 있도록 하기 위함이다. 즉, 생산 효율을 증가할 수 있음을 밝혀두는 바이다.
제1 보정장치(400)와 제2 보정장치(420)는 제1 상부 프레임(222)과 제2 상부 프레임(224)을 각각 연결하는 장치는 회전부재(미도시)를 사용하는 것이 좋다. 회전부재(미도시)는 감속기를 사용하는 것이 바람직하다. 회전부재(미도시)를 감속기로 한정하기 위함은 아니다. 회전부재는 정밀 제어가 가능한 어떠한 것도 상관없다.
상부 몸체(30)는 상부핸드(50) 및 하부핸드(60)를 지지한다. 상부덮개는 상부 프레임(220)의 상단부에 체결된다. 상부 덮개(미도시0)는 하부 프레임과 상부 프레임의 내부에서 구동 시 발생되는 먼지 및 분진을 진공챔버로 주입되는 것을 방지한다. 상부덮개는 상부 프레임(220)과 분리가 가능하도록 형성되는 것이 바람직하다. 이는, 상부 핸드(50)/하부 핸드(60)가 이상 시에 신속히 교체가 가능하기 위함이다. 더욱이, 생산 공정 시에 발생되는 고장으로부터 유연하게 대처하기 위함이다.
삭제
상부 핸드(50)/하부 핸드(60)는 구조적 강성을 높이면서 동시에 전체 장치의 무게를 줄이기 위하여 알루미늄과 같은 경량 금속 재료로 이루어지는 것이 좋다. 상부 핸드(50)/하부 핸드(60)는 상부 몸체(30)의 상단부에 배치된다. 상부 핸드(50)/하부 핸드(60)는 제3,4,5 및 6 구동장치의 구동력을 전달받아 직선운동을 하는 암(70)과 암(70)으로 직선운동을 하면서 기판을 지지하는 핑거(520)를 포함한다.
삭제
핑거(520)는 기판과 웨이퍼에 정전기로 인한 손상을 입히지 않으면서 진동의 발생이 작은 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. 핑거(520)는 기판이 안착되는 안착 홈이 형성되는 것이 바람직하다. 핑거(520)는 암(70)으로부터 기판이 안착 시 이동이 용이하도록 기판을 고정하는 흡입구가 배치될 수도 있다.
도 7은 도 2에 대한 우측 암이 구동되는 것을 나타낸 예시도. 도 8은 도 2에 대한 좌측 암이 구동되는 것을 나타낸 예시도, 도 9는 도 2에 대한 좌축암과 우측암이 구동되는 것을 나타낸 예시도, 도 10은 도 2에 대한 b-b의 단면도, 도 11은 도 2에 대한 a-a의 단면도이다.
도면을 참조하여 설명하면, 암(70)은 상부 핸드(50)/하부 핸드(60)를 각각 회전축에 연결한다. 암(70)은 직선운동을 하기 위하여 구동력을 전달하는 구동력 암과 구동력 암의 흔들림을 방지하는 보조 암을 포함한다.
삭제
구동력 암은 제3 구동장치의 구동력을 직선운동으로 변환하여 직선운동을 한다. 구동력 암은 일정 길이를 갖는 제1 링크부재(711)와 제1 링크부재(711)에 체결되는 제2 링크부재(713)와 제1 링크부재(711)를 회전축에 연결하는 구동 조인트 부재(712)를 포함한다. 제1 링크부재(711)는 제2 링크부재(713)보다 길이가 길게 형성되는 것이 바람직하다.
삭제
제1 링크부재(711)는 직사각 형상의 바 형태로 형성된다. 제1 링크부재(711)의 구조적 강성을 높이기 위하여 알루미늄과 같은 경량 금속 재료로 이루어지는 것이 좋다. 제1 링크부재(711)는 전체장치의 무게를 줄이기 위하여 내부가 파여 있도록 형성된다. 제1 링크부재(711)의 일측 단부는 구동조인트부재(712)와 체결되어 회전축과 연결되고 타측 단부는 제2 회전조인트(미도시)에 체결되어 제2 링크부재(713)는 직선운동을 한다. 회전축이 회전을 하면 제1 링크부재(711)가 일정각도 회전을 하여 제2 링크부재(713)를 전진시키기 위함이다. 즉, 제1 링크부재(711)가 일정각도 회전을 하면 제2 링크부재(713) 직선운동을 하게 된다. 이는 마치 2절 링크가 일정범위로 직선운동을 하는 현상과 갖다.
제2 링크부재(713)는 일정 부분 강성을 갖도록 직사각 형상의 바 형태로 형성된다. 제2 링크부재(713)의 구조적 강성을 높이기 위하여 알루미늄과 같은 경량 금속 재료로 이루어지는 것이 좋다. 제2 링크부재(713)는 전체 장치의 무게를 줄이기 위하여 내부가 파여 있도록 형성된다. 제2 링크부재(713)의 일측 단부는 제2 회전조인트(미도시)를 통해 제1 링크부재(711)와 회전 가능하게 연결되고 타측 단부는 핑거에 연결된다.
삭제
보조 암은 구동력 암으로부터 일정거리 이격되어 배치된다. 보조 암은 구동력 암이 직선운동으로 변환되면 따라서 직선운동을 한다. 보조 암은 일정 길이를 갖는 제3 링크부재(715)와 제3 링크부재(715)에 체결되는 제4 링크부재(717)와 제3 링크부재(715)를 회전축에 연결하는 베어링조인트부재(714)를 포함한다.
삭제
제3 링크부재(715)는 직사각 형상의 바 형태로 형성된다. 제3 링크부재(715)의 구조적 강성을 높이기 위하여 알루미늄과 같은 경량 금속 재료로 이루어지는 것이 좋다. 제3 링크부재(715)는 전체 장치의 무게를 줄이기 위하여 내부가 파여 있도록 형성된다. 제3 링크부재(715)의 일측 단부는 베어링조인트부재(714)와 체결되어 회전축과 연결되고 타측 단부는 제2 회전조인트(미도시)에 체결되어 제4 링크부재(717)는 직선운동을 한다. 즉, 구동력 암에서 발생되는 구동력으로 보조 암을 직선운동 한다. 이때, 보조 암은 구동 시에 발생되는 흔들림을 최소화한다. 또한, 보조 암은 암(70)의 처짐을 방지한다.
제4 링크부재(717)는 일정 부분 강성을 갖도록 직사각 형상의 바 형태로 형성된다. 제4 링크부재(717)의 구조적 강성을 높이기 위하여 알루미늄과 같은 경량 금속 재료로 이루어지는 것이 좋다. 제4 링크부재(717)는 전체 장치의 무게를 줄이기 위하여 내부가 파여 있도록 형성된다. 제4 링크부재(717)의 일측 단부는 제2 회전조인트(미도시)를 통해 제4 링크부재(717)와 회전 가능하게 연결되고 타측 단부는 핑거(520)에 연결된다.
삭제
도면을 참조하여 설명하면, 제1 구동장치(110)가 구동하면 안내부(120)는 상부로 직선운동을 한다. 안내부(120)의 상승으로 인해 연결부(20)도 일정구간 상승을 한다. 제2 구동장치(24)가 구동을 하여 안내부(120)를 회전시킨다. 안내부(120)에 연결된 상부 핸드(50)와 하부 핸드(60)도 제2 구동장치(24)의 구동력에 의해 회전한다. 제2 구동장치(24)의 구동이 완료되면 보정장치(40)가 작동된다. 이때, 제2 구동장치(24)의 회전력에 의해 상부 핸드(50)와 하부 핸드(60)의 각각의 핑거(520)의 위치를 제1 보정장치(400)와 제2 보정장치(420)가 구동하여 핑거(520)의 위치를 보정해준다. 제1 보정장치(400)와 제2 보정장치(420)의 보정이 완료되면 제3, 4, 5 및 6 구동장치를 사용하여 기판을 원하는 위치에 놓이게 한다.
이상과 같이, 상술한 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로 이해되어야 하고, 본 발명의 범위는 전술한 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
삭제
삭제
1: 이송 진공로봇
10: 하부 몸체
110: 제1 구동장치
120: 안내부
20: 연결부
22: 프레임
220: 상부 프레임
222: 제1 상부 프레임
224: 제2 상부 프레임
230: 하부 프레임
24: 제2 구동장치
30: 상부 몸체
330: 상부 덮개
40: 보정장치
400: 제1 보정장치 420: 제2 보정장치
50: 상부 핸드
60: 하부 핸드
70: 암

Claims (6)

  1. 이송 진공로봇으로서,
    가이드라인을 따라 수직으로 직선운동을 하는 안내블록과 상기 안내블록으로 동력을 전달하는 제1 구동장치(110)가 구비된 하부 몸체(10);
    상기 하부 몸체(10)의 내부에 위치되고 상기 안내블록에 체결되어 수직으로 움직이면서 회전운동을 하는 제2 구동장치(24)를 구비하는 하부 프레임(230);
    상기 하부 프레임(230)의 상단부에 삽입되어 체결되고 좌측에 배치되는 상부 핸드(50)와 하부 핸드(60)에 구동력을 전달하는 제3 구동장치와 제4 구동장치가 배치될 수 있도록 장홀로 형성된 제1 상부 프레임(222);
    상기 하부 프레임(230)의 상단부에 삽입되어 체결되고 우측에 배치되는 상부 핸드(50)와 하부 핸드(60)에 구동력을 전달하는 제5 구동장치와 제6 구동장치가 배치될 수 있도록 장홀로 형성된 제2 상부 프레임(224);
    상기 제1 상부 프레임(222)와 상기 제2 상부 프레임(224)의 중앙 하단부에 배치되어 일정각도 상기 제1 상부 프레임(222)와 상기 제2 상부 프레임(224)을 각각의 틀어짐을 보정하는 보정장치(40); 및
    제3,4,5 및 6 구동장치와 연결되어 구동력을 전달받아 직선운동을 하는 구동력 암과 상기 구동력 암으로부터 일정거리 이격되어 강성 및 흔들림을 최소화하기 위한 보조 암을 구비하면서 직선운동을 하는 암(70)을 구비하는 다수개의 핸드부를
    포함하는 이송 진공로봇.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 보정장치(40)는,
    상기 제1 상부 프레임(222)와 상기 제2 상부 프레임(224)에 대하여 좌측회전과 우측회전을 각각을 제어하기 위한 제1 보정장치(400)와 제2 보정장치(420)로 구비되는 것을 특징으로 하는 이송 진공로봇.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 제1 보정장치(400)와 제2 보정장치(420)가 보정 시에 서로간의 간섭이 되지 않도록 보정각도가 각각 -10도에서 10도를 벗어나지 못하는 것을 특징으로 하는 이송 진공로봇.
  4. 청구항 1 내지 청구항 3중 어느 하나의 항에 있어서,
    동일한 기구적 특징을 적용하여 정밀제어를 하기 위하여 상기 제3 구동장치와 연결되는 회전축을 기준으로 암(70)이 서로 복층으로 배치되고 상기 암(70)의 위치가 서로 대칭으로 형성되는 것을 특징으로 하는 이송 진공로봇.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 제1 상부 프레임(222)과 제2 상부 프레임(224)이 내부에서 발생되는 먼지 및 분진이 진공챔버 내부로 주입되는 것을 방지하고, 고장 시에 신속한 교체가 용이하도록 상부덮개가 분리가 용이하도록 체결되는 것을 특징으로 하는 이송 진공로봇.
  6. 청구항 1에 기재되어 있는 이송 진공로봇을 포함하는 공정장치.
KR1020130077582A 2012-10-22 2013-07-03 틀어짐을 보정하는 8축 이송로봇 KR101535068B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20120117194 2012-10-22
KR1020120117194 2012-10-22

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20140051765A KR20140051765A (ko) 2014-05-02
KR101535068B1 true KR101535068B1 (ko) 2015-07-09

Family

ID=50885351

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020130077582A KR101535068B1 (ko) 2012-10-22 2013-07-03 틀어짐을 보정하는 8축 이송로봇

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101535068B1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101931290B1 (ko) 2018-09-12 2018-12-20 주식회사 싸이맥스 7축 이송로봇
KR102635614B1 (ko) * 2023-01-09 2024-02-13 주식회사 지에스에프솔루션 비접촉식 변위센서를 이용한 로봇 조정 방법 및 장치

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20100044987A (ko) * 2008-10-23 2010-05-03 주식회사 나온테크 기판 이송로봇 및 이를 이용한 이송방법

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20100044987A (ko) * 2008-10-23 2010-05-03 주식회사 나온테크 기판 이송로봇 및 이를 이용한 이송방법

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101931290B1 (ko) 2018-09-12 2018-12-20 주식회사 싸이맥스 7축 이송로봇
WO2020055138A1 (ko) * 2018-09-12 2020-03-19 주식회사 싸이맥스 7축 이송로봇
KR102635614B1 (ko) * 2023-01-09 2024-02-13 주식회사 지에스에프솔루션 비접촉식 변위센서를 이용한 로봇 조정 방법 및 장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR20140051765A (ko) 2014-05-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101321684B1 (ko) 이송 로봇 및 이의 제어 방법
CN108656123B (zh) 工业机器人
KR101531721B1 (ko) 산업용 로보트
KR101963334B1 (ko) 더블 아암 로봇
JP6058004B2 (ja) マルチリンケージロボットを有するシステム及びマルチリンケージロボットにおいて位置アライメント及び回転アライメントを補正するための方法
KR101774828B1 (ko) 판상물용 이송로봇시스템
JP5847393B2 (ja) 搬送ロボット
KR20160042880A (ko) 수평 다관절 로봇 및 수평 다관절 로봇의 제조 방법
CN102380872B (zh) 工业用机器人
CN109434401A (zh) 组装装置及弹片安装机
JP2018535548A (ja) 電子デバイス製造において基板を搬送するためのロボットアセンブリ、基板処理装置、及び方法
KR101535068B1 (ko) 틀어짐을 보정하는 8축 이송로봇
KR102314362B1 (ko) 기판 반송용 로봇
KR20120088286A (ko) 개별적으로 구동되는 핸드를 갖는 기판 이송 장치 및 그 제어 방법
JP5990914B2 (ja) 搬送装置
KR101682465B1 (ko) 기판이송로봇
KR101464704B1 (ko) 핸드부의 기어 비를 이용한 이송 진공로봇
US9452527B2 (en) Robot having high stiffness coupling
KR102314364B1 (ko) 기판 반송용 로봇
KR20150073367A (ko) 이송장치
KR101338857B1 (ko) ４개의 기판 지지부 갖는 기판 이송 장치
WO2023162167A1 (ja) 搬送路切換装置、搬送システムおよび搬送路切換方法
CN219234440U (zh) 一种安装功能头
JP2018183836A (ja) パラレルリンクロボット
JP4814262B2 (ja) 表面実装機

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180702

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190701

Year of fee payment: 5