CN1895974A - 基板搬出搬入方法及基板搬出搬入*** - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能相对多层结构的基板收纳箱可靠地搬出及搬入基板的基板搬出搬入方法及基板搬出搬入***。本发明的基板搬出搬入方法，相对于以规定间隔多层地排列有从里侧向跟前侧延伸的长支撑部(15)、并在各层的长支撑部(15)上承载基板(1)进行多层收纳的箱体(11)，使用具有承载所述基板(1)用的手部(22)的机器人(21)将基板(1)搬出搬入，包含对将要承载对象基板(1)的长支撑部(15)的跟前侧端部(16)或已经承载有对象基板(1)的长支撑部(15)的跟前侧端部(16)进行支承、扩大箱体(11)内供手部(22)进入或后退的空间的支承工序(A)，从箱体(11)搬出对象基板(1)的搬出工序及向箱体(11)搬入对象基板(1)的搬入工序与所述支承工序(A)一起进行。

Description

基板搬出搬入方法及基板搬出搬入***

技术领域

本发明涉及一种基板搬出搬入方法及基板搬出搬入***，尤其是涉及将薄型电视用玻璃基板等基板相对收纳箱搬出及/或搬入的基板搬出搬入方法及基板搬出搬入***。

背景技术

在液晶显示面板和等离子显示面板(PDP)等的一般制造工序中，多个玻璃基板在收纳在箱体中的状态下在各工序间进行搬送。例如在液晶显示面板的制造工序中，玻璃基板收纳在箱体内在工序间进行搬送，在TFT(薄膜晶体管)形成工序和配线形成工序中，玻璃基板从箱体取出后放入到工序中。制造好的液晶显示面板再次收纳在箱体中，然后利用无人搬送车等向检查装置搬送。并且，从箱体内逐个地取出液晶显示面板后向检查装置供给，检查后的液晶显示面板再次收纳在箱体内。

在上述制造工序中，要求具有可将玻璃基板从收纳箱(或向收纳箱)可靠地搬出及/或搬入(以下仅称为搬出搬入)的基板搬出搬入装置，一直以来进行了各种研究。例如提出有：(i)采用了从左右以多层状张设金属线、在其上承载玻璃基板进行多层收纳的箱体的基板搬出搬入装置(例如参照专利文献1)；(ii)采用了将从箱体两侧向内方突出的短支撑部和从箱体里侧向跟前侧延伸的长支撑部形成为多层状、在其上承载玻璃基板进行多层收纳的箱体的基板搬出搬入装置(例如参照专利文献2)；(iii)采用了将架设在箱体左右的粱构件设置成多层状、在该粱构件上立设支撑基板的销状支承部的箱体的基板搬出搬入装置(参照专利文献3)等。

其中，随着液晶电视、PDP等薄型显示器的大画面化，玻璃基板也逐渐要求大型化。玻璃基板的尺寸最近从第六代(1.5m×1.9m)向第七代(1.9m×2.2m)和第八代(2.2m×2.4m)发展，要求开发出能将这种大型玻璃基板可靠地相对收纳箱搬出搬入的基板搬出搬入装置。再者，薄型显示器随着需求增加而产量增加，由此要求开发出单位空间体积的收纳数量增加的层间距小的箱体结构、以及能相对这种箱体可靠地搬出搬入的基板搬出搬入装置。

尤其是(i)中的箱体(以下称为金属线型箱体)虽然适合于减小层间距而增加单位空间体积的收纳数量，但在进行基板的搬出搬入时，需要使箱体上升、或使基板利用空气上浮，从而需要大型且复杂的设备，存在设备投资和设备的运转维持成本升高的问题。另一方面，采用了上述(ii)中的箱体(以下称为后撑型箱体)的基板搬出搬入装置与采用金属线型箱体的基板搬出搬入装置相比，其结构并不复杂，而且，与(iii)中的箱体相比具有可减小多层结构的各层间的间距从而增加单位空间体积的收纳数量的优点。

但是，在将玻璃基板收纳在大型玻璃基板用的后撑型箱体内时，从里侧向跟前侧(搬出搬入玻璃基板的开口部侧)延伸的长支撑部的前端侧(跟前侧)会挠曲，导致玻璃基板在左右的短支撑部间以挠曲的形态进行收纳。即，所收纳的玻璃基板从箱体里侧向跟前侧向下倾斜地挠曲，而且挠曲从左右短支撑部向基板的中央变大。例如即使构成收纳第七代(1.9m×2.2m)的玻璃基板的各层的间距为75mm、从里侧向跟前侧延伸的长支撑部在宽度方向上以330mm的间隔配设的后撑型箱体，跟前侧的挠曲量也有约30mm左右。这种挠曲程度在箱体的里侧小而在跟前侧大，在其纵深方向上有所不同，因此，即使利用下述专利文献4提出的具有配合挠曲形态的手臂结构的机器人，进入到箱体内的机器人的手部及承载在其上的玻璃基板也与箱体的支撑部和已经收纳的玻璃基板进行缓冲，故很难将玻璃基板从箱体(或向收纳箱)可靠地搬出搬入。因此，在使用后撑型箱体时，减小多层结构的各层间的间距以增加单位空间体积的收纳数量存在限度，对其解决对策进行研究。

专利文献1：日本专利特开2005-64431号公报

专利文献2：日本专利特开2000-142876号公报

专利文献3：日本专利特开平11-35089号公报

专利文献4：日本专利特开2003-51525号公报

发明内容

鉴于上述问题，本发明的目的在于提供一种能相对多层结构的基板收纳箱可靠地搬出及搬入基板的基板搬出搬入方法及基板搬出搬入***(基板搬出搬入辅助装置)。

为了达成上述目的，本发明的基板搬出搬入方法，相对于以规定间隔多层地排列有从里侧向跟前侧延伸的长支撑部、并在各层的长支撑部上承载基板进行多层收纳的箱体，使用具有承载所述基板用的手部的机器人将基板搬入或将基板搬出，其特征在于，包含对将要承载对象基板的长支撑部或已经承载有对象基板的长支撑部进行支承、扩大箱体内供所述手部进入或后退的空间的支承工序(A)，从所述箱体搬出对象基板的搬出工序及向所述箱体搬入对象基板的搬入工序与该支承工序(A)一起进行。

采用本发明，利用对长支撑部进行支承的支承工序(A)，可扩大箱体内供机器人进入或后退的空间，因此，可减小多层结构的各层间的间距从而增加单位空间体积的基板收纳数量，而且，即使多层结构的各层间的间距较小，对象基板或承载其的手部也不会与收纳在对象基板上下的基板和承载上下基板的支撑部(短支撑部及长支撑部等)缓冲而导致这些基板损伤，能将这些基板可靠地搬出搬入。

本发明的基板搬出搬入方法，其特征在于，对象基板的搬出工序包含：使所述手部从所述箱体跟前侧向里侧进入并位于承载在所述受到支承的长支撑部上的对象基板下方的工序；使所述手部向上方移动从而将对象基板抬起到所述长支撑部上方的工序；以及使承载有对象基板的手部从里侧向跟前侧后退从而将对象基板取出到所述箱体外的工序。

采用该发明，能从扩大的空间内可靠地将对象基板不与上下承载的基板和支撑部(短支撑部及长支撑部等)接触地搬出。

本发明的基板搬出搬入方法，其特征在于，在所述对象基板搬出工序时的支承工序(A)中，在将对象基板取出到箱体外的工序之后、或者在将对象基板抬起的工序之后且在将对象基板取出到箱体外的工序之前解除对所述长支撑部的支承。

采用该发明，基板搬出工序时的支承工序(A)的解除可在上述两种时间进行。其中，前者具有可使支承工序(A)进行的时间简单化的优点，后者具有可进一步扩大手部进行基板搬出时的空间的优点。

本发明的基板搬出搬入方法，其特征在于，对象基板的搬入工序包含：使承载有对象基板的手部从所述箱体跟前侧向里侧进入并使对象基板位于长支撑部上方的工序；使所述手部向下方移动从而将对象基板承载在所述长支撑部上的工序；以及在手部位于对象基板下方的状态下使所述手部从里侧向跟前侧后退的工序。

采用该发明，能向扩大的空间内可靠地将对象基板不与上下承载的基板和支承基板的支撑部(短支撑部及长支撑部等)接触地搬入。

本发明的基板搬出搬入方法，其特征在于，在所述对象基板搬入工序时的支承工序(A)中，在使手部从箱体跟前侧向里侧进入的工序之前、或者在使手部从箱体跟前侧向里侧进入的工序之后且在使手部从里侧向跟前侧后退的工序之前开始对所述长支撑部进行支承。

采用该发明，基板搬入工序时的支承工序(A)的开始可在上述两种时间进行。其中，前者可使支承工序(A)进行的时间简单化，后者可进一步扩大手部进行基板搬入时的空间。另外，可充分加大供手部后退的空间。

本发明的基板搬出搬入方法，其特征在于，在所述搬出工序及搬入工序中，还包含对将要承载对象基板的长支撑部或已经承载有对象基板的长支撑部的上一层的长支撑部进行支承的支承工序(B)，从所述箱体搬出对象基板的搬出工序或向所述箱体搬入对象基板的搬入工序与该支承工序(B)一起进行。

采用该发明，由于还包含对上一层的长支撑部进行支承的支承工序(B)，因此在利用手部进行基板搬出及搬入时，可使将要承载对象基板的长支撑部或已经承载有对象基板的长支撑部与其上一层的长支撑部的空间进一步扩大。结果是，在搬出对象基板时，承载有基板的手部从箱体内后退时的空间变大，在搬入对象基板时，承载有基板的手部向箱体内进入时的空间变大，能更加可靠地进行这些动作。

本发明的基板搬出搬入方法，其特征在于，在所述搬出工序及搬入工序中，还包含将将要承载对象基板的长支撑部或已经承载有对象基板的长支撑部的下一层的长支撑部压下的下降工序，从所述箱体搬出对象基板的搬出工序或向所述箱体搬入对象基板的搬入工序与所述下降工序一起进行。

采用该发明，由于还包含将下一层的长支撑部压下的下降工序，因此在利用手部进行基板搬出及搬入时，可使将要承载对象基板的长支撑部或已经承载有对象基板的长支撑部与其下一层的长支撑部的空间进一步扩大。结果是，在搬出对象基板时，没有承载基板的空的手部向箱体内进入时的空间变大，在搬入对象基板时，没有承载基板的空的手部从箱体内后退时的空间变大，能更加可靠地进行这些动作。

另外，本发明的基板搬出搬入方法，相对于以规定间隔多层地排列有从里侧向跟前侧延伸的长支撑部、并在各层的长支撑部上承载基板进行多层收纳的箱体，使用具有承载所述基板用的手部的机器人将基板搬入或将基板搬出，其特征在于，包含选自下述工序中的至少一个工序：对将要承载对象基板的长支撑部或已经承载有对象基板的长支撑部进行支承、扩大箱体内供所述手部进入或后退的空间的支承工序(A)；对将要承载对象基板的长支撑部或已经承载有对象基板的长支撑部的上一层的长支撑部进行支承、扩大箱体内供所述手部进入或后退的空间的支承工序(B)；以及将将要承载对象基板的长支撑部或已经承载有对象基板的长支撑部的下一层的长支撑部压下、扩大箱体内供所述手部进入或后退的空间的下降工序，从所述箱体搬出对象基板的搬出工序或向所述箱体搬入对象基板的搬入工序与选自该支承工序(A)、支承工序(B)及下降工序中的至少一个工序一起进行。

采用本发明，由于搬出工序及搬入工序与选自支承工序(A)、支承工序(B)及下降工序中的至少一个工序一起进行，因此可扩大箱体内供机器人进入或后退的空间。结果是，可减小多层结构的各层间的间距从而增加单位空间体积的基板收纳数量，而且，即使多层结构的各层间的间距较小，对象基板或承载其的手部也不会与收纳在对象基板上下的基板和承载上下基板的支撑部(短支撑部及长支撑部等)缓冲而导致这些基板损伤，能将这些基板可靠地搬出搬入。

本发明的基板搬出搬入***，包括：以规定间隔多层地排列有从里侧向跟前侧延伸的长支撑部、并在各层的长支撑部上承载基板进行多层收纳的箱体；具有承载所述基板用的手部、用于将所述基板搬入箱体内或将所述基板从箱体内搬出的机器人；以及对所述长支撑部进行支承或使其下降的端部位置调整机构，其特征在于，所述端部位置调整机构为了扩大供所述手部从所述箱体跟前侧向里侧进入的空间或供所述手部从所述箱体里侧向跟前侧后退的空间，对选自承载对象基板的长支撑部、该长支撑部上一层的长支撑部及该长支撑部下一层的长支撑部中的至少一个长支撑部进行支承或使其下降。

采用本发明，通过箱体、机器人和端部位置调整机构可扩大供手部从箱体跟前侧向里侧进入的空间、或者扩大供手部从箱体里侧向跟前侧后退的空间，因此，可减小多层结构的各层间的间距，增加单位空间体积的基板收纳数量，而且，即使多层结构的各层间的间距较小，对象基板或承载其的手部也不会与收纳在对象基板上下的基板和承载上下基板的支撑部(短支撑部及长支撑部等)缓冲而导致这些基板损伤，能将这些基板可靠地搬出搬入。另外，本发明可通过在现有后撑型箱体的基本结构上增加端部位置调整机构来实现，不需使用具有特殊臂部和机构的机器人，而且，也不需设置现有其他基板搬出搬入方法中使用的复杂机构，从而可实现低成本。

本发明的基板搬出搬入方法，相对于以规定间隔多层地排列有支撑部、且在各层的支撑部上承载基板进行多层收纳、并具有可供搬出及搬入所述基板的开口的箱体，使用具有承载所述基板用的手部的机器人将基板搬出或搬入，其特征在于，包含对将要搬出的对象基板或已经搬入的对象基板进行支承、确保箱体内供所述手部进入或后退的空间的支承工序(A)，所述对象基板的搬出工序或搬入工序与所述支承工序(A)一起进行。

采用本发明，利用对基板进行支承的支承工序(A)，可确保箱体内供机器人进入或后退的空间，因此，可减小多层结构的各层间的间距从而增加单位空间体积的基板收纳数量，而且，即使多层结构的各层间的间距较小，对象基板或承载其的手部也不会与收纳在对象基板上下的基板和承载上下基板的支撑部缓冲而导致这些基板损伤，能将这些基板可靠地搬出搬入。另外，本发明在现有箱体的基本结构冲增加支承工序(A)，从而不需使用具有特殊臂部和机构的机器人以及复杂的机构，能以低成本实现可靠的基板搬入及搬出。

在本发明的基板搬出搬入方法中，最好所述搬出工序包含：使所述手部从所述箱体的所述开口侧向里侧进入并位于所述对象基板下方的工序；使所述手部向上方移动从而将所述对象基板抬起到所述支撑部上方的工序；以及使承载有所述对象基板的手部从所述里侧向所述开口侧后退从而将所述对象基板取出到所述箱体外的工序，所述支承工序(A)是在使所述手部从所述箱体的所述开口侧向所述里侧进入的工序之前开始的。

采用本发明，因为支承工序(A)是在使手部从箱体开口侧向里侧进入的工序之前开始的，故在手部进入时，位于其上侧的对象基板在支承工序(A)受到支承，在该对象基板和下一层的基板之间能充分确保可供手部进入的空间。

在本发明的基板搬出搬入方法中，最好所述搬入工序包含：使承载有所述对象基板的手部从所述箱体的所述开口侧向里侧进入并使所述对象基板位于所述支撑部上方的工序；使所述手部向下方移动从而将所述对象基板承载在所述支撑部上的工序；以及在手部位于所述对象基板下方的状态下使所述手部从所述里侧向所述开口侧后退的工序，所述支承工序(A)是在使所述手部从所述里侧向所述开口侧后退的工序之前开始的。

采用本发明，因为支承工序(A)是在使手部从所述里侧向所述开口侧后退的工序之前开始的，故在将对象基板承载在支撑部上而手部后退时，位于其上侧的对象基板在支承工序(A)受到支承，在该对象基板和下一层基板之间能充分确保可供手部后退的空间。

本发明的基板搬出搬入方法，最好还包含对承载有在所述搬出工序中将要搬出的所述对象基板的所述支撑部或承载有在所述搬入工序中将要搬入的所述对象基板的所述支撑部中任一个所述支撑部的上一层的支撑部上所承载的基板进行支承的支承工序(B)，所述对象基板的搬出工序或所述对象基板的搬入工序与该支承工序(B)一起进行。

采用本发明，在基板搬出时，利用支承工序(B)对对象基板上一层的基板进行支承，因此，在对象基板和上一层基板之间能确保将对象基板抬起的手部后退所需的足够空间。另一方面，在基板搬入时，利用支承工序(B)对要承载搬入的对象基板的预定支撑部的上一层的支撑部上所承载的基板进行支承，因此，在承载有对象基板的手部和受到支承的上一层基板之间能确保手部后退所需的足够空间。因此，基板的搬入及搬出动作能更加可靠地进行。

本发明的基板搬出搬入方法，最好还包含将承载有在所述搬出工序中将要搬出的所述对象基板的所述支撑部或承载有在所述搬入工序中将要搬入的所述对象基板的所述支撑部中任一个所述支撑部的下一层的支撑部上所承载的基板压下的下降工序，所述对象基板的搬出工序或所述对象基板的搬入工序与所述下降工序一起进行。

采用本发明，在基板搬出时，利用下降工序将对象基板下一层的基板压下，因此，在对象基板和下一层基板之间能确保手部进入所需的足够空间。另一方面，在基板搬入时，利用下降工序将搬入后承载在支撑部上的对象基板下一层的基板压下，因此，在对象基板和下一层基板之间能确保手部后退所需的足够空间。因此，基板的搬入及搬出动作能更加可靠地进行。

本发明的基板搬出搬入方法，最好所述支承工序(A)、所述支承工序(B)及所述下降工序是通过对从所述箱体里侧向所述开口侧延伸的长支撑部进行支承或使其下降来进行的。

采用本发明，因为支承工序(A)、支承工序(B)及下降工序不是直接对基板进行支承或将其压下的，而是通过长支撑部对其进行支承或使其下降，因此，不直接对基板施加应力，而且，可对基板整体均匀地进行支承或使其下降，可提高支承工序(A)、支承工序(B)及下降工序的精度。因此，基板的搬入及搬出动作能更加可靠地进行。

本发明的基板搬出搬入方法，相对于以规定间隔多层地排列有支撑部、且在各层的支撑部上承载基板进行多层收纳、并具有可供搬出及搬入所述基板的开口的箱体，使用具有承载所述基板用的手部的机器人将基板搬入或将基板搬出，其特征在于，包含选自下述工序中的至少一个工序：对将要搬出的对象基板或已经搬入的对象基板进行支承、确保箱体内供所述手部进入或后退的空间的支承工序(A)；对承载有将要搬出的所述对象基板或已经搬入的所述对象基板的所述支撑部上一层的支撑部所承载的基板进行支承的支承工序(B)；以及将承载有将要搬出的所述对象基板或已经搬入的所述对象基板的所述支撑部下一层的支撑部所承载的基板压下的下降工序，从所述箱体搬出对象基板的搬出工序或向所述箱体搬入对象基板的搬入工序与选自该支承工序(A)、支承工序(B)及下降工序中的至少一个工序一起进行。

采用本发明，由于搬出工序及搬入工序与选自支承工序(A)、支承工序(B)及下降工序中的至少一个工序一起进行，因此可扩大箱体内供机器人进入或后退的空间。结果是，可减小多层结构的各层间的间距从而增加单位空间体积的基板收纳数量，而且，即使多层结构的各层间的间距较小，对象基板或承载其的手部也不会与收纳在对象基板上下的基板和承载上下基板的支撑部缓冲而导致这些基板损伤，能将这些基板可靠地搬出搬入。另外，本发明可通过在现有箱体的基本结构上增加选自支承工序(A)、支承工序(B)及下降工序中的至少一个工序来实现，不需使用具有特殊臂部和机构的机器人，而且，也不需设置复杂的机构，从而能以低成本实现可靠的基板搬入搬出。

本发明的基板搬出搬入方法，最好所述支承工序(A)、所述支承工序(B)及所述下降工序是通过对从所述箱体里侧向所述开口侧延伸的长支撑部进行支承或使其下降来进行的。

采用本发明，因为支承工序(A)、支承工序(B)及下降工序不是直接对基板进行支承或将其压下的，而是通过长支撑部对其进行支承或使其下降，因此，不直接对基板施加应力，而且，可对基板整体均匀地进行支承或使其下降，可提高支承工序(A)、支承工序(B)及下降工序的精度。因此，基板的搬入及搬出动作能更加可靠地进行。

本发明的基板搬出搬入***，其特征在于，包括：以规定间隔多层地排列有支撑部、且在各层的支撑部上承载基板进行多层收纳、并具有可供搬出及搬入所述基板的开口的箱体；具有承载所述基板用的手部、用于相对所述箱体搬入或搬出所述基板的机器人；以及在所述机器人进行基板搬出或搬入动作时、在所述箱体的所述开口侧与里侧之间确保供所述手部进入或后退的空间的基板搬出搬入辅助装置。

采用本发明，通过箱体、机器人和基板搬出搬入辅助装置可确保供手部从箱体跟前侧向里侧进入的空间、或者确保供手部从箱体里侧向跟前侧后退的空间，因此，可减小多层结构箱体的各层间的间距，增加单位空间体积的基板收纳数量，而且，即使多层结构的各层间的间距较小，对象基板或承载其的手部也不会与收纳在对象基板上下的基板和承载上下基板的支撑部缓冲而导致这些基板损伤，能将这些基板可靠地搬出搬入。

在本发明的基板搬出搬入***，最好所述基板搬出搬入辅助装置对在所述基板搬出时将要搬出的对象基板或在所述基板搬入时将要搬入的对象基板中任一个对象基板进行支承，从而确保箱体内供所述手部进入或后退的空间。

采用本发明，由于在现有箱体的基本结构上增加对对象基板进行支承的基板搬出搬入辅助装置，从而能确保箱体内供机器人进入或后退的空间。另外，不需使用具有特殊臂部和机构的机器人，而且，也不需设置现有其他基板搬出搬入方法中使用的复杂机构，能以低成本减小多层结构的各层间的间距，增加单位空间体积的基板收纳数量。

在本发明的基板搬出搬入***中，最好基板搬出搬入辅助装置对承载有在基板搬出时将要搬出的对象基板的支撑部或承载有在所述基板搬入时将要搬入的对象基板的支撑部中任一个支撑部的上一层或下一层的支撑部上所承载的基板进行支承或使其下降，从而确保箱体内供所述手部进入或后退的空间。

采用该发明，由于对承载对象基板的支撑部的上一层或下一层的基板进行支承或使其下降，因此在利用手部进行基板搬出及搬入时，可使对象基板和与其上下相邻的基板的空间进一步扩大。结果是，在搬出对象基板时，承载有基板的手部从箱体内后退时的空间变大，在搬入对象基板时，承载有基板的手部向箱体内进入时的空间变大，基板的搬出搬入动作能更加可靠地进行。

本发明的基板搬出搬入***，最好还包括对基板搬出搬入辅助装置及机器人进行连动控制的控制装置。

采用该发明，因为具有对基板搬出搬入辅助装置及机器人进行连动控制的控制装置，故机器人可根据程序前往规定的对象基板位置，从而能通过基板搬出搬入辅助装置对规定的对象基板进行支承，正确地确保供手部进入及后退的空间。

本发明的基板搬出搬入***，其特征在于，基板搬出搬入辅助装置设置在箱体的开口部附近。此时，基板搬出搬入辅助装置最好具有用于对至少一个基板进行支承或使其下降的一轴或两轴以上的滑动机构。

本发明的基板搬出搬入***，其特征在于，基板搬出搬入辅助装置设置在机器人上。

采用该发明，通过将基板搬出搬入辅助装置设置在机器人的其他手部上，从而可不需对应每个箱体地设置基板搬出搬入辅助装置，可提高降低成本效果。

另外，在本发明的基板搬出搬入方法及基板搬出搬入***中，最好使用下述的基板搬出搬入辅助装置。

本发明的基板搬出搬入辅助装置，最好包括：设置成可相对于以规定间隔层叠多层地收纳基板且具有供所述基板搬出搬入的开口的箱体的基板收纳区域进入及后退的杆构件；以及沿所述基板的排列方向可移动地支承所述杆构件的升降机构，在使用具有承载所述基板用的手部的机器人相对所述箱体搬入或搬出所述基板时，通过进入到所述基板收纳区域内的所述杆构件对所述基板进行支承或使其下降，确保所述箱体内供所述手部进入或后退的空间。

采用该基板搬出搬入辅助装置，利用由升降机构支撑的杆构件来确保或扩大所述箱体内供所述手部进入或后退的空间，因此，可减小基板收纳箱的多层结构的各层间的间距，增加单位空间体积的收纳数量。而且，可相对这种基板收纳箱使用机器人可靠地搬出、搬入基板。

本发明的基板搬出搬入辅助装置，最好所述杆构件通过所述升降机构的驱动对选自成为相对所述箱体搬入或搬出对象的对象基板、收纳在所述对象基板上一层的基板、收纳在所述对象基板下一层的基板中的至少一个基板进行支承或使其下降。

采用该基板搬出搬入辅助装置，根据基板尺寸、箱体的基板收纳间距和手部的尺寸对对象基板、收纳在对象基板上一层的基板、或收纳在对象基板下一层的基板中的至少一个基板进行支承或使其下降，从而能确保或扩大手部进入及后退所需的空间。而且，进行支承或使其下降的基板可根据基板尺寸、箱体的基板收纳间距和手部的尺寸进行适当选择。

本发明的基板搬出搬入辅助装置，最好所述杆构件与所述基板抵接，对所述基板进行支承或使其下降。

采用该基板搬出搬入辅助装置，因为杆构件与基板抵接，对基板进行支承或使其下降，故可使用现有的箱体而不需增加新的零件，能以简单的构成扩大供机器人的手部进入及后退的空间。

本发明的基板搬出搬入辅助装置，最好在所述箱体具有从其里侧向所述开口侧延伸、用于承载所述基板的长支撑部时，所述杆构件与所述长支撑部抵接，对所述长支撑部进行支承或使其下降。

采用该基板搬出搬入辅助装置，因为在具有从里侧向开口侧延伸、用于承载基板的长支撑部的后撑型箱体中，对后撑架进行支承或使其下降，故基板不会产生损伤，能可靠地确保供手部进入及后退的空间。

在本发明的基板搬出搬入辅助装置中，最好所述升降机构具有与承载在所述箱体中的所述基板大致平行的横梁，所述杆构件具有：从所述横梁向所述箱体的所述基板层叠方向突出立设的垂直支承部、以及从其前端沿与所述层叠方向大致平行的方向延出设置的爪部。

采用该基板搬出搬入辅助装置，因为利用升降机构的横梁可靠地支承杆构件，且杆构件由垂直支承部和爪部构成，故在进行基板的搬出搬入时，可避免机器人的手部与横梁产生缓冲，能利用爪部可靠地对基板进行支承或使其下降。

本发明的基板搬出搬入辅助装置，最好在所述横梁上配设有多个所述杆构件。

采用该基板搬出搬入辅助装置，因为在横梁上配设有多个杆构件，故多个杆构件在多个部位大致均等地作用在基板上以扩大供手部进入及后退的空间，因此，不会对基板施加过度的应力，能防止基板破损、可靠地搬出搬入基板。

在本发明的基板搬出搬入辅助装置中，最好所述垂直支承部可旋转地立设在所述横梁上，所述爪部利用该垂直支承部的旋转驱动向所述基板收纳区域内伸出。

在本发明的基板搬出搬入辅助装置中，最好所述爪部从所述垂直支承部的前端向所述基板收纳区域内延出设置，而且，所述垂直支承部或所述爪部被相对所述基板收纳区域进行直线往复驱动，从而所述爪部向所述基板收纳区域内伸出。

在本发明的基板搬出搬入辅助装置中，最好所述爪部可绕与所述横梁平行的轴进行旋转地轴支在垂直支承部的前端，而且所述爪部被驱动旋转从而向所述基板收纳区域内伸出。

在本发明的基板搬出搬入辅助装置中，最好在所述爪部的前端设置有辊。这样，基板不会产生损伤，能可靠地进行基板搬入搬出用的支承及下降。

在本发明的基板搬出搬入辅助装置中，最好所述横梁沿所述基板的层叠方向设置有多个。

在本发明的基板搬出搬入辅助装置中，最好所述多个横梁被分别独立地驱动升降。

本发明的基板搬出搬入辅助装置，最好包括控制装置，用于与所述机器人相对所述箱体进行的基板的搬入及搬出对应地控制所述升降机构的升降以及所述杆构件向所述基板收纳区域的进入及后退。

本发明的基板搬出搬入辅助装置，最好与所述箱体的所述开口相对地立设成门型。

本发明的基板搬出搬入辅助装置，最好安装在围住所述箱体的所述开口的框体上。

本发明的基板搬出搬入辅助装置，最好安装在承载所述箱体的箱体座上。

另外，在本申请中，所谓的“支承”是指从下侧对支撑部进行支撑，但也包含使支撑部的挠曲消失的某种程度的抬起的意思。

采用这种支承，可扩大收纳在箱体内的上下相邻的基板和基板间的空间，或使基板的挠曲消失以确保相邻基板和基板间的规定空间。另外，本申请中的“支承”及“下降”是为了确保所需幅度的空间而对基板的挠曲向期望方向进行操作或补正的意思。

发明效果：

采用本发明的基板搬出搬入方法，可扩大箱体内供机器人进入或后退的空间，因此，可减小多层结构的各层间的间距从而增加单位空间体积的基板收纳数量，而且，即使此时也能可靠地搬出搬入基板。另外，本发明可通过在现有后撑型箱体的基本结构上增加支承工序来实现，不需使用具有特殊臂部和机构的机器人，而且，也不需设置现有其他基板搬出搬入方法中使用的复杂机构，从而能以低成本实现。

采用本发明的基板搬出搬入***，通过箱体、机器人和端部位置调整机构可扩大供手部从箱体跟前侧向里侧进入的空间、或者扩大供手部从箱体里侧向跟前侧后退的空间，因此，可减小多层结构箱体的各层间的间距，增加单位空间体积的基板收纳数量，而且，即使此时也能可靠地搬出搬入基板。另外，本发明可通过在现有后撑型箱体的基本结构上增加端部位置调整机构来实现，不需使用具有特殊臂部和机构的机器人，而且，也不需设置现有其他基板搬出搬入方法中使用的复杂机构，从而能以低成本实现。

附图说明

图1是表示本发明的基板搬出搬入方法及基板搬出搬入***的装置构成的一例的立体图。

图2是表示构成本发明的基板搬出搬入***的箱体的一例的概略俯视图。

图3是表示构成本发明的基板搬出搬入***的箱体的一例的概略侧视图。

图4是表示构成本发明的基板搬出搬入***的箱体的一例的概略主视图。

图5是表示本发明中使用的机器人的驱动形态的示意图。

图6是表示本发明中使用的机器人的具体一例的右视图(A)及主视图(B)。

图7是表示本发明中使用的机器人的具体一例的俯视图。

图8是用于说明本发明的基板搬出搬入方法的概略俯视图。

图9是第一形态的基板搬出搬入方法的说明图。

图10是第二形态的基板搬出搬入方法的说明图。

图11是第三形态的基板搬出搬入方法的说明图。

图12是第四形态的基板搬出搬入方法的说明图。

图13是第五形态的基板搬出搬入方法的说明图。

图14是第六形态的基板搬出搬入方法的说明图。

图15是表示安装在箱体开口部附近的端部位置调整机构的一例的主视图(透视图)。

图16是图15中A部分的各要素的放大图(透视图)。

图17是图16的侧视图(透视图)。

图18是图15中B部分的各要素的放大图(透视图)，(a)是其俯视图，(b)是主视图，(c)是侧视图。

图19是表示本发明的基板搬出搬入***的控制装置的方框图。

图20是表示本发明的基板搬出搬入装置的变形例的图。

图21是表示本发明的基板搬出搬入装置的变形例的图。

图22是表示本发明的基板搬出搬入装置的变形例的图。

图23是表示应用本发明的基板搬出搬入装置的箱体的另一例的俯视图。

图24是表示应用本发明的基板搬出搬入装置的箱体的又一例的俯视图。

(符号说明)

1基板(对象基板)                     2箱体座

11箱体                              12、13、17、18、19框体

14短支撑部                          15、15a、15b、15c长支撑部

16、16a、16b、16c端部               21机器人

22手部                              23手部叉

24手部支撑部                        25、26臂部

27基座                              28固定框架

29升降轴                            30支承构件(杆构件)

31端部位置调整机构(基板搬出搬入辅助装置)

32爪部                              33辊

34横梁                            35线性导向器

36同步皮带                        40支柱

41测绘传感器                      42升降驱动源(伺服电动机)

43联接器                          44轴承

45减速机                          46轴

47同步皮带轮                      48滑架

49滑动器                          50线缆支架

51轴承                            52联轴器

53联接器                          54传动轴

55框架                            61气缸

62联轴器                          63杆

65杆端部                          66连杆构件

67爪轴                            67a爪延出部(垂直支承部)

69轴承                            70控制器

71机器人控制器                    72定序器

82轴承架

具体实施方式

下面参照附图对本发明的基板搬出搬入方法及基板搬出搬入***的实施形态进行说明。下面基于附图中的例示进行说明，但本发明的技术范围并不限定为下述说明和附图中的例示。

(基板搬出搬入***的概要)

图1是表示本发明的基板搬出搬入方法及基板搬出搬入***的装置构成的一例的立体图。如图1所示，本发明的基板搬出搬入方法及基板搬出搬入***的基本构成包括：收纳多层基板1的箱体11、将基板1搬入箱体11内或将基板1从箱体11内搬出的机器人21、以及对箱体11的长支撑部进行支承或使其下降的端部位置调整机构31。并且，端部位置调整机构31与控制其动作的控制器70连接，机器人21与机器人控制器71连接。再者，为了连动地控制两者，定序器72与控制器70连接。

图1中，箭头X表示机器人21的手部22进入、后退(以下均将进入及/或后退如此表示)的方向，箭头Y表示机器人21沿箱体11的层叠方向移动的方向。在图1的例子中，端部位置调整机构31呈门型结构，至少设置一根在两侧的支柱40、40间上下升降的横梁34，端部位置调整机构31配置在箱体11的前面侧(机器人侧)，并安装在箱体座2上。箱体11例如可利用自动搬送车移载在箱体座2上。在本实施形态中，端部位置调整机构31从箱体11的搬出及搬入基板1的开口侧(跟前侧)对长支撑部(或支撑部)的端部进行支承或使其下降。

在该端部位置调整机构31中，门型结构的支柱40、40和横梁34主要构成升降机构300。另外，在升降机构300的横梁34上设置有可与长支撑部的跟前侧端部抵接、且可在箱体11的基板收纳区域内进入、后退的支承构件。并且，升降机构300支撑支承构件使其可沿基板的层叠方向移动，利用升降机构300的移动对与支承构件抵接的长支撑部的端部进行支承或使其下降，从而确保机器人21的手部22在箱体11内进入、后退的空间。另外，横梁34可以是一根，但最好设置两根或三根，此时，能更加良好地确保机器人21的手部22进入、后退的空间。

在本实施形态中，端部位置调整机构31作为辅助机器人21进行基板搬出搬入的基板搬出搬入辅助装置发挥作用。这种基板搬出搬入辅助装置由于设置有可在箱体11的基板收纳区域内进入、后退的支承构件，故不限定于对长支撑部的端部进行支承或使其下降的构成，也可是直接对基板1进行支承或使其下降的构成。总之只要是为了可靠地辅助基板1的搬出搬入，而作用在基板1上以扩大多层排列(层叠)地收纳的基板的层叠间距、或调整基板的挠曲，从而确保机器人21的手部22进入、后退的空间即可。

再者，直接作用在基板1上以对其进行支承或使其下降的构成的基板搬出搬入辅助装置不仅可应用在具有长支撑部的后撑型箱体，也可在专利文献3的箱体及基板处理加工装置等中在使所收纳或承载的基板产生挠曲时应用。另外，在扩大基板的层叠间距、或调整基板的挠曲时，最好在挠曲最大的位置对支撑部或基板进行支承或使其下降。尤其是在本实施形态中，对长支撑部的跟前(开口)侧的端部或基板的开口侧进行支承或使其下降。在本实施形态中，对长支撑部的端部进行支承或使其下降，但并不限定为端部，可以是长支撑部的任意位置。

下面对构成本发明的基板搬出搬入***的各装置进行说明。

(基板收纳箱)

首先对本发明的基板搬出搬入***中使用的基板收纳箱(以下称为箱体)的一例进行说明。图2～图4是表示构成本发明的基板搬出搬入***的箱体的一例的概略图。具体而言，图2是表示承载基板的任意层的结构的概略俯视图，图3是表示收纳多层基板的形态的概略侧视图，图4是表示收纳多层基板的形态的概略主视图。

箱体11由上下框体17、18、跟前侧框体19、左右框体12、里侧框体13构成，跟前侧框体19具有没有骨架的开口部19a，以使安装具有承载基板1的四根手部叉23的手部22的机器人21可在箱体11内进入、后退。

在承载基板1的任意层的结构中，将图2中用双点划线表示的基板1用由短支撑部14和长支撑部15构成的支撑部予以支承并收纳。从机器人21看，短支撑部14以从箱体11的左右两侧向内方延伸的形态，在左右框体12上从里侧向跟前侧方向以规定间距设置多个。短支撑部14的长度没有特殊限定，但最好设置成至少可稳定支撑基板1、且不与两侧的手部叉23接触的长度。各短支撑部14间的规定间距也没有特殊限定，但最好设置成至少可稳定支撑基板1的间距。作为短支撑部14例如最好使用轻量且高强度的铝合金制或炭素材料(石墨轴等)等的棒状物，其前端最好设置橡胶等弹性材料以防止与基板1产生接触损伤。

从机器人21看，长支撑部15以从箱体11的里侧向跟前侧的开口部19a延伸的形态，在里侧框体13上沿基板1的左右宽度方向以规定间距设置多个。长支撑部15的长度最好延伸到后述端部位置调整机构31可对其进行支撑的位置，通常最好延伸到与跟前侧框体19重叠的位置。在里侧框体13上设置的多个长支撑部15在基板1左右宽度方向上的间距没有特殊限定，但最好设置成规定间距，与图2中用双点划线表示的手部叉23在俯看时相互交替。作为长支撑部15例如最好使用轻量且高强度的铝合金制或炭素材料(石墨轴等)等的棒状物，最好在至少与基板1接触的一侧设置橡胶等弹性材料以防止与基板1产生接触损伤。该长支撑部15具有由端部位置调整机构31支撑的端部16，但如图2所示，该端部16可以是直径小一圈的构件，也可是直径相同的构件。再者，在使用直接对基板1进行支承或使其下降的基板搬出搬入装置时，可省去端部16，长支撑部15的长度没有必要制作成到达箱体11的开口部。此时，可将长支撑部15的成本抑制得比较低。

如图3及图4所示，箱体11是将由承载基板1的短支撑部14和长支撑部15构成的层以规定间距层叠成多层状的结构。

承载基板1的各层在层叠方向上的间距没有特殊限定，只要设定成能容许手部22的手部叉23进入、后退的间隔即可。另外，在本实施形态中，由于使用后述端部位置调整机构31，从而各层(基板层叠)的间距可针对大型化的基板1设定为相对狭窄的间距。因此，箱体11可设计成减小各层的间距，增加单位空间体积的基板收纳数量，从而可容易地应对基板的增产。

(基板搬出搬入辅助装置)

下面参照图2至图4对本实施形态中作为基板搬出搬入辅助装置的端部位置调整机构31的概要进行说明。再者，在图3中省略基板1的图示。端部位置调整机构31主要由支承构件30和开降机构300构成，设置在供具有手部叉23的手部22出入的箱体11的跟前侧框体19的开口部19a附近。

升降机构300主要由两侧的支柱40、40和以架设在其间的形态设置的横梁34构成，在支柱40、40内例如设置有利用使用了同步皮带轮和同步皮带的驱动***使具有沿基板1的层叠方向延伸的线性导向器及滑动器的装置进行动作的装置。

支承构件30设置在横梁34的与长支撑部15的端部16对应的部分上，以通过升降机构300的驱动对长支撑部15的端部16进行支承或使其下降，且该支承构件30可在箱体11的基板收纳区域内进入、后退。并且，支承构件30在进入箱体11的基板收纳区域内时与长支撑部15抵接，能对长支撑部15进行支承或使其下降。该支承构件30设置在与各级的长支撑部15的端部16相同的位置上，为了能对各级的所有长支撑部15进行支承或使其下降而设置与各层的长支撑部15相同的数量。支承构件30的形状和长度没有特殊限定，但如图3所示，最好以数cm左右的长度形成。另外，在横梁34上还设置有测绘传感器41，从而可检测收纳在箱体11内的基板1的位置。

这种端部位置调整机构31进行动作，用于调整构成规定层的长支撑部15的端部16位置或收纳在该层中的基板1的端部位置，将供具有手部叉23的手部22从箱体11的跟前侧向里侧进入的空间及/或从里侧向跟前侧后退的空间扩大。例如，如图3及图4所示，在升降机构300的横梁34及支承构件30对承载从最上层开始数起的第二层基板1a的长支撑部15a进行支承时，其下一层的基板1c以挠曲状态承载在长支撑部15c上，因此，基板1a和基板1c间的空间被扩大到足够大，手部叉23能可靠地进入、后退。另外，在本实施形态的端部位置调整机构31中，未图示的其他横梁及支承构件对最上层基板1b的长支撑部15b进行支承，也能充分确保基板1a和基板1b间的空间。

在此，承载基板1c的长支撑部15c下面的层也承载收纳基板1(图3中省略图示)，并成为挠曲状态。即，所收纳的基板1和承载其的长支撑部15从箱体11的里侧向跟前侧向下倾斜地挠曲，并且挠曲从左右短支撑部14向基板中央变大(参照图4)。这种箱体11的各层间的空间原本对于手部叉23的进入、后退来说并不充分，但通过端部位置调整机构31的升降机构300的横梁34及支承构件30的支承，可确保能供手部叉23进入、后退的空间。

这种端部位置调整机构31可以如图1所示从箱体座2竖起设置，也可设置在箱体11的跟前侧框体19上。如图2～图4所示，这种端部位置调整机构31设置在箱体11的开口部附近，为了对至少一个端部16(16a、16b、16c)进行支承或使其下降，具有一轴或两轴以上的升降机构300。设在箱体11开口部附近的端部位置调整机构31最好并用两轴以上的多个滑动机构。

(基板搬送机器人)

下面对本发明的基板搬出搬入***中使用的基板搬送机器人进行说明。本发明中使用的机器人只要具有能实现本发明的基板搬出搬入方法的手部即可，没有特殊限定，可使用各种形态的机器人。

图5是表示本发明中使用的机器人的驱动形态的示意图。机器人21可以具有一个手部，但最好如图5所示具有两个手部22a、22b。在图5中，机器人21具有：将安装有四根手部叉23a的手部支撑部24a用两个臂部25a、26a驱动的第一手部22a、以及将同样安装有四根手部叉23b的手部支撑部24b用两个臂部25b、26b驱动的第二手部22b(下面将具有手部叉的手部在没有特殊说明的情况下仅称为“手部”)。与现有基板搬出搬入***相同，在本发明的基板搬出搬入***中，也最好使用具有两个手部22a、22b的机器人21。具有两个手部22a、22b的机器人21由于各手部22a、22b独立地进行动作，故可高效地进行搬出搬入。在图5中符号27表示基座。

图6及图7是表示本发明中使用的具有端部位置调整机构的机器人的具体一例的右视图(图6(A))、主视图(图6(B))及俯视图(图7)。对于与图5的基板搬送机器人相同的构成标记同一符号，省略其详细说明。该机器人21具有两个手部22a、22b，还包括端部位置调整机构31。两个手部22a、22b安装在升降轴29上，从而安装在基座27上。基座27利用地脚螺栓等固定在固定框架28或固定导轨上。另一方面，端部位置调整机构31配置在手部叉的前端附近，具有可使该端部位置调整机构31伸缩的滑动构件35a。另外，端部位置调整机构31具有用于对长支撑部15的端部16进行支承或使其下降的升降构件35。并且，在升降构件35的前端设置配设有支承构件30的横梁34。在本发明中，由于具有可使端部位置调整机构31伸缩及升降的机构(升降构件35)，故可对长支撑部15的端部16进行支承或使其下降，在手部22a、22b将基板搬出搬入时，能可靠地进行该搬出搬入。另外，手部叉例如可以由碳纤维和树脂的复合材料等构成，可实现高刚性和轻量化，但没有特殊限定，也可使用金属等。

在本发明中，在使用图6及图7所示的具有端部位置调整机构31的机器人21时，没有必要将图1～图4所示的端部位置调整机构31设置在箱体11附近。

(基板搬出搬入方法)

下面对利用上述基板搬出搬入***的本发明的基板搬出搬入方法进行说明。图8是用于说明本发明的基板搬出搬入方法的概略俯视图。该图是表示收纳有基板的一层的构成的俯视图(A)和左视图(从基板搬出搬入方向看的图)，表示从箱体11的里侧框体13延伸的三根长支撑部15由端部位置调整机构31的三个支承构件30支承或使其下降的形态。机器人21的手部22的手部叉23以隔着各长支撑部15的形态等间隔地设置四根。在以下所示的各形态中，设置端部位置调整机构的部位没有特殊限定，可以设置在箱体的开口部附近，也可设置在机器人上。另外，承载在长支撑部15和短支撑部14上的基板省略图示。

图9～图14是表示本发明的基板搬出搬入方法的各例的示意说明图。对于上述基板1承载在箱体11上时产生的挠曲省略图示。本发明的基板搬出搬入方法是使用了相对上述箱体11将基板搬入及搬出用的机器人21的方法，其特征在于：包含对将要承载对象基板1a的长支撑部15a的跟前侧端部16a或已经承载有对象基板1a的长支撑部15a的跟前侧端部16a进行支承、扩大箱体内供手部22进入或后退的空间的支承工序A，对象基板的搬出工序及搬入工序与支承工序A一起进行。依次对具有这种特征的基板搬出搬入方法的第一形态～第六形态进行说明。

图9是第一形态的基板搬出搬入方法的说明图。图中箭头H表示基板搬出时手部22的移动方向(在以下图10～图14中相同)。搬出工序包含：对已经承载有对象基板1a的长支撑部15a的端部16a进行支承的支承工序A；使手部22从箱体的跟前侧向里侧进入从而位于承载在长支撑部15a上的对象基板1a的下方的工序(S1)；使手部22向上方移动(S2)从而将对象基板1a抬起到长支撑部15a上方的工序(S3)；以及使承载有对象基板1a的手部22从里侧向跟前侧后退(S4)从而将对象基板1a取出到箱体外的工序(S5)，这些工序依照该顺序进行。在该搬出工序中，通过支承工序A可扩大箱体内的供空的手部22进入的空间，因此，手部22不会与承载在上下层的基板1b、1c和支撑部(短支撑部14及长支撑部15b、15c)接触。结果是，能可靠地进行搬出工序。

该搬出工序中的支承工序A是支承构件30将长支撑部15a的端部16a在其位置予以保持、或稍微抬起地予以保持的工序，在图9的第一形态中，搬出工序中的支承工序A的开始是在使手部22从跟前侧向里侧进入的工序(S1)之前，搬出工序中的支承工序A的解除是在将对象基板1a取出到箱体外的工序(S5)之后。

搬入工序以与上述搬出工序相反的顺序进行，向箭头H的相反方向驱动手部22。首先，搬入工序包含：对将要承载对象基板1a的长支撑部15a的端部16a进行支承的支承工序A；使承载有对象基板1a的手部22从箱体的跟前侧向里侧进入并使对象基板1a位于长支撑部15a上方的工序(S5及S4)；使手部22向下方移动从而将对象基板1a承载在长支撑部15a上的工序(S3)；以及在手部22位于对象基板1a下方的状态(S2)下使手部22从里侧向跟前侧后退的工序(S1)，这些工序依照该顺序进行。在该搬入工序中，通过支承工序A，承载对象基板1a的长支撑部15a不会挠曲，故可将对象基板1a可靠地承载在该长支撑部15a上。另外，可防止在将对象基板1a承载在长支撑部15a及短支撑部14上后，箱体内的供空的手部22后退的空间扩大或缩小，因此，手部22不会与上下长支撑部15b、15c接触。结果是，能可靠地进行搬入工序。

与进行上述搬出工序时相同，搬入工序中的支承工序A是支承构件30将长支撑部15a的端部16a在其位置予以保持、或稍微抬起地予以保持的工序，在图9的第一形态中，搬入工序中的支承工序A的开始是在承载有对象基板1a的手部22从跟前侧向里侧进入的工序(S4)之前，搬入工序中的支承工序A的解除是在将空的手部22取出到箱体外的工序(S1)之后。

图10是第二形态的基板搬出搬入方法的说明图。该第二形态的方法中的搬出工序除解除支承工序A的时间与上述第一形态的方法中的搬出工序稍微不同外，与第一形态的方法相同，故重复的部分省略说明。即，第二形态的方法中的搬出工序包含：对已经承载有对象基板1a的长支撑部15a的端部16a进行支承的支承工序A；使手部22从箱体的跟前侧向里侧进入并位于承载在长支撑部15a上的对象基板1a的下方的工序(S1)；使手部22向上方移动(S2)从而将对象基板1a抬起到长支撑部15a上方的工序(S3及S4)；与该抬起工序同时地或在抬起工序之后解除支承工序A的工序；以及使承载有对象基板1a的手部22从里侧向跟前侧后退从而将对象基板1a取出到箱体外的工序(S5)，这些工序依照该顺序进行。在该搬出工序中，由于解除支承工序A后长支撑部15a的前端侧向下方挠曲，故承载对象基板1a的手部22能可靠地后退。

搬入工序也是除支承工序A开始的时间与上述第一形态的方法中的搬入工序稍微不同外，与第一形态的方法相同，故重复的部分省略说明。即，第二形态的方法中的搬入工序包含：使承载有对象基板1a的手部22从箱体的跟前侧向里侧进入的工序(S5及S4)；对将要承载对象基板1a的长支撑部15a的端部16a进行支承的支承工序A；与该支承工序A同时地或在支承工序A之后使手部22向下方移动从而将对象基板1a承载在长支撑部15a上的工序(S3)；以及在手部22位于对象基板1a下方的状态(S2)下使手部22从里侧向跟前侧后退的工序(S1)，这些工序依照该顺序进行。在该搬入工序中，与上述第一形态的基板搬出搬入方法相比，承载有对象基板1a的手部22的进入能更加可靠地进行。

图11是第三形态的基板搬出搬入方法的说明图。该第三形态的方法在上述第一形态及第二形态的方法中的搬出工序及搬入工序的基础上，特征在于：还包含对将要承载对象基板1a的长支撑部15a或已经承载有对象基板1a的长支撑部15a的上一层的长支撑部15b的跟前侧端部16b进行支承的支承工序B，将对象基板1a从箱体内搬出的搬出工序及将对象基板1a搬入箱体内的搬入工序与该支承工序B一起进行。

该第三形态的方法具有上述支承工序B的开始和解除与支承工序A同时进行的特征，其他方面与第一形态及第二形态的方法相同。采用该第三形态的方法，因为还包含对上一层的长支撑部15b的跟前侧端部16b进行支承的支承工序B，故在利用手部22进行基板的搬出及搬入时，可使将要承载对象基板1a的长支撑部15a或已经承载有对象基板1a的长支撑部15a与其上一层的长支撑部15b的空间进一步扩大。结果是，在搬出对象基板1a时，供承载有基板的手部22从箱体内后退时的空间变大，在搬入对象基板1a时，供承载有基板的手部22向箱体内进入时的空间变大，能更加可靠地进行这些动作。另外，在图11中，流程(1)是在与第一形态相同的时间进行的。流程(2)是在与第二形态相同的时间进行的。

图12是第四形态的基板搬出搬入方法的说明图。该第四形态的方法在图11所示的第三形态的方法中的搬出工序及搬入工序的基础上，特征在于：还包含将将要承载对象基板1a的长支撑部15a或已经承载有对象基板1a的长支撑部15a的下一层的长支撑部15c的跟前侧端部16c压下的下降工序，将对象基板1a从箱体内搬出的搬出工序及将对象基板1a搬入箱体内的搬入工序与该下降工序一起进行。

该第四形态的方法具有上述下降工序的开始和解除与支承工序A及支承工序B同时进行的特征，其他方面与上述第三形态的方法相同。采用该第四形态的方法，因为还包含将下一层的长支撑部15c的跟前侧端部16c压下的下降工序，故在利用手部22进行基板的搬出及搬入时，可使将要承载对象基板1a的长支撑部15a或已经承载有对象基板1a的长支撑部15a与其下一层的长支撑部15c的空间进一步扩大。结果是，在搬出对象基板1a时，供承载有基板的手部22从箱体内后退时的空间变大，在搬入对象基板1a时，供承载有基板的手部22向箱体内进入时的空间变大，能更加可靠地进行这些动作。

图13是第五形态的基板搬出搬入方法的说明图。该第五形态的方法在图12所示的第四形态的方法的搬出工序及搬入工序中，对将要承载对象基板1a的长支撑部15a或已经承载有对象基板1a的长支撑部15a进行支承的支承工序A的开始及解除时间与上述第二形态的方法相同。

即，第五形态的方法中的搬出工序包含：对已经承载有对象基板1a的长支撑部15a的端部16a进行支承的支承工序A；与该支承工序A同时地对该长支撑部15a上一层的长支撑部15b的端部16b进行支承的支承工序B；与该支承工序A、B同时地将该长支撑部15a下一层的长支撑部15c的端部16c压下的下降工序；使手部22从箱体的跟前侧向里侧进入并位于承载在长支撑部15a上的对象基板1a的下方的工序(S1～S2)；使手部22向上方移动从而将对象基板1a抬起到长支撑部15a上方的工序(S3及S4)；与该抬起工序同时地或在抬起工序之后解除支承工序A的工序；以及使承载有对象基板1a的手部22从里侧向跟前侧后退从而将对象基板1a取出到箱体外的工序(S5)，这些工序依照该顺序进行。并且，最后解除支承工序B和下降工序。

另外，第五形态的方法中的搬入工序包含：对将要承载对象基板1a的长支撑部15a上一层的长支撑部15b的端部16b进行支承的支承工序B；与该支承工序B同时地将该长支撑部15a下一层的长支撑部15c的端部16c压下的下降工序；使承载有对象基板1a的手部22从箱体的跟前侧向里侧进入到承载对象基板1a的长支撑部15a的上方位置的工序(S5及S4)；对承载对象基板1a的长支撑部15a的端部16a进行支承的支承工序A；与该支承工序A同时地或在支承工序A之后使手部22向下方移动从而将对象基板1a承载在长支撑部15a上的工序(S3)；以及在手部22位于对象基板1a下方的状态(S2)下使手部22从里侧向跟前侧后退的工序(S1)，这些工序依照该顺序进行。并且，最后解除支承工序A、B和下降工序。

该第五形态的方法在进行基板的搬出工序或搬入工序时，可将手部22进入时及后退时的空间大幅度扩大，从而能更加可靠地进行这些动作。

图14是第六形态的基板搬出搬入方法的说明图。该第六形态的方法与上述第一～第五形态的方法不同，特征在于：包含对将要承载对象基板1a的长支撑部15a或已经承载有对象基板1a的长支撑部15a的上一层的长支撑部15b的端部16b进行支承的支承工序B、以及将将要承载对象基板1a的长支撑部15a或已经承载有对象基板1a的长支撑部15a的下一层的长支撑部15c的端部16c压下的下降工序，不对长支撑部15a的端部16a进行支承或使其下降。在该第六形态中，也可不同时实施支承工序B和下降工序双方，而实施其中任一方工序。

该第六形态的发明不像上述第一～第五形态的方法那样，对将要承载对象基板1a的长支撑部15a或已经承载有对象基板1a的长支撑部15a进行支承，而对该长支撑部15a上一层的长支撑部15b进行支承，并且使下一层的长支撑部15c下降。通过这种支承工序B及/或下降工序，可使长支撑部15a与上一层的长支撑部15b及下一层的长支撑部15c的空间进一步扩大。结果是，在进行对象基板1a的搬出及搬入时，供手部22进入或后退的空间变大，从而能可靠地进行这些动作。另外，在第五形态中，支承工序B和下降工序最好在S1之前执行，在S4或S5之后解除。

如上所述，采用本发明的基板搬出搬入方法，即使在使用设计成各层的间距减小以增加单位空间体积的基板收纳数量的箱体时，也能可靠地进行基板的搬出及搬入。

这样，本发明可通过在现有后撑型箱体的基本结构上增加端部位置调整机构来实现，因此，不需使用具有特殊臂部和机构的机器人，而且，不需设置现有其他基板搬出搬入方法中使用的复杂机构，从而可实现低成本。

(端部位置调整机构)

下面作为基板搬出搬入辅助装置的一例详细说明对长支撑部的跟前侧端部进行支承或使其下降的端部位置调整机构。如上所述，端部位置调整机构31是用于扩大供手部22从箱体11的跟前侧向里侧进入的空间、以及供手部22从箱体11的里侧向跟前侧后退的空间的装置，如上述第一形态～第六形态的方法所述，是对承载对象基板1a的长支撑部15a的端部16a、该长支撑部15a上一层的长支撑部15b的端部16b、以及该长支撑部15a下一层的长支撑部15c的端部16c中的至少一个端部进行支承或使其下降的装置。

这种端部位置调整机构31也可像设在图1的箱体座2上的形态那样设在箱体11的跟前侧开口部附近，也可像图6及图7所示的形态那样设置在机器人上。当将端部位置调整机构31设在箱体11的开口部19a附近时，因可设置一轴或两轴以上的多个升降机构故较好。另外，当将端部位置调整机构设在机器人上时，通过将端部位置调整机构设在机器人的其他手部的前端，从而不需对应每个箱体设置端部位置调整机构，故降低成本效果提高。

图15是表示安装在箱体开口部附近的端部位置调整机构31的一例的主视图，图16～图18是端部位置调整机构的各要素的放大图。图16是图15中A部分的放大图，图17是图16的侧视图。图18是图15中B部分的放大图，图18(a)是其俯视图，图18(b)是主视图，图18(c)是侧视图。另外，这些图15～图18是透视图，表示内部结构。

端部位置调整机构31安装在箱体的跟前侧框体19上，安装在其搬入搬出基板的开口部19a附近，与机器人的动作连动地进行动作以对长支撑部15的端部16进行支承或使其下降。端部位置调整机构31也可与箱体11的框体19相对地立设在箱体座2上(参照图1)。另外，也可替代长支撑部15的端部16，作为从开口部19a侧对基板进行支承或使其下降的端部位置调整机构发挥作用。另外，符号41是测绘传感器，用于检测基板位置。

端部位置调整机构31形成为门型结构，具有：安装在箱体的跟前侧框体19上的左右支柱40、40；以及架设在两者之间可沿基板的层叠方向移动、且具有多个作为支承构件的杆构件30的横梁34。在本实施形态中，横梁34构成能支撑杆构件30并使其沿基板的层叠方向移动的升降机构300的一部分，下侧横梁34a和上侧横梁34b通过连接构件34c在上下方向隔开一定距离地连接成一体。支柱40和横梁34形成为中空形状，在内部内置有后述的滑动机构400和杆构件30的驱动机构。由于采用内置这些机构的构成，从而可抑制因端部位置调整机构31的驱动而产生尘埃，液晶显示面板和等离子显示面板(PDP)的制造工序所要求的清洁环境不会受到污染。

在左右支柱40、40上作为使横梁34升降的滑动机构400设置左右一对直动导向装置(线性运动导向器)，该直动导向装置具有导轨35、以及由在该导轨35上滑动的三个滑架48构成的滑动器49。另外，在支柱40、40的一端设置有传递来自升降驱动源42的驱动力的皮带轮47a，在另一端旋转自如地轴支有从动皮带轮47b。并且，在皮带轮47a和从动皮带轮47b之间安装有同步皮带36，该同步皮带36的两端连接在滑动器49上，从而形成为无接头皮带状。因此，滑动器49可跟随驱动源驱动的皮带轮47a的旋转在基板层叠方向即上下方向上移动。并且，滑动器49支撑着横梁34地进行升降。图15中最上部用虚线表示的横梁34表示上升到最上部的横梁34。

在左右支柱40、40内具有一定程度的空间，在一方侧支柱40的空间内***有可移动的线缆支架50。线缆支架50用于捆匝收纳驱动后述杆构件30的空气供给管和测绘传感器41的信号线等用于控制横梁34的各种线缆等，其一端连接在滑动器49上，另一端固定在与导轨35相对的支柱40的内壁上。线缆支架50跟随滑动器49的升降移动在支柱40内移动，设置成不阻碍其升降移动。

下面参照图16对滑动机构400的升降驱动源42进行说明。本实施形态的升降驱动源42是伺服电动机42。该伺服电动机42的驱动旋转通过联接器43和轴承(支撑组件)44传递给减速机45。来自伺服电动机42的旋转驱动力通过连接在减速机45上的轴46传递给左右支柱40、40的皮带轮47a。并且，滑动器49跟随皮带轮47a的旋转被升降驱动。图15中位于右侧的支柱40的皮带轮47a设置成直接连接在轴46一端进行旋转驱动。另一方面，图15中位于左侧的支柱40的皮带轮47a通过连接在轴46另一端上的轴承(支撑组件)51、联轴器52、联接器53和传动轴54进行旋转驱动。另外，从防尘方面来说，减速机45、轴承(支撑组件)51、联轴器52、联轴器53和传动轴54等最好与支柱40及横梁34相同收容在中空形状的框架55中。

在本实施形态中，升降驱动源42设置在支柱40的外部，但也可设置在支柱40内的空间中。另外，既可利用分别独立的升降驱动源来驱动左右支柱40内的滑动机构400，也可以由线性电动机直接驱动。这样，升降驱动源不限定为伺服电动机，也可进行使用DC电动机或线性电动机等的各种变形。同样地，升降驱动机构也不限定为本实施形态。

图17是端部位置调整机构31的侧面放大图。端部位置调整机构31利用安装工具81例如固定在箱体的跟前侧框体19上。另外，端部位置调整机构31的固定方法和固定位置没有特殊限定，也可安装在箱体座2的侧面。

如图16的放大图所示，横梁34的下侧横梁34a和上侧横梁34b通过连接构件34c在上下方向隔开一定距离地连接成一体。在下侧横梁34a和上侧横梁34b上分别上下相对地以规定间隔设置有相同数量的作为支承构件的杆构件30(参照图15)。杆构件30是在端部位置调整机构31产生动作对长支撑部15或基板进行支承或使其下降时、与长支撑部15或基板抵接对其进行支承或保持下降状态的构件。

该横梁34的两端通过轴承架82连接在左右滑动器49上。这样，横梁34可通过滑动器49的升降在基板层叠方向上移动。左右轴承架82用于在左右滑动器49的升降移动量产生误差时，对该误差进行补正，吸收横梁34和滑动器49之间产生的应力，从而使左右滑动器49的驱动、即横梁34的升降动作变得顺利。

在横梁34上安装有测绘传感器41。该测绘传感器41向箱体的基板收纳部射出激光，并接收来自收纳在箱体内的基板的反射光，检查基板的收纳位置。通过对来自测绘传感器41的检测信号进行运算，可控制端部位置调整机构31及与其连动的机器人21的动作。

下面参照图16及图18对作为支承构件的杆构件30及其驱动机构进行说明。图18(a)、(b)、(c)表示相对箱体11没有伸出时的杆构件30(支承构件)。另外，虽然杆构件30分别设置在下侧横梁34a和上侧横梁34b上，但其构成及驱动是相同的，以下对横梁34的杆构件30作进一步说明。

杆构件30由爪部32和作为垂直支承部的爪延出部67a构成。爪延出部67a构成爪轴67的一部分，爪部32从爪轴67的前端侧沿与基板大致平行的方向延出。爪轴67以与基板层叠方向平行的姿势贯穿横梁34，并可转动地轴支在轴承69、69上。因此，爪部32通过爪轴67的转动能相对可与箱体的长支撑部15或收纳在箱体内的对象基板抵接的位置(箱体11的基板收纳区域)进入、后退。在爪部32的前端安装有辊33，提高与所支承或使其下降的对象基板1接触时的滑动性。即，爪部32跟随横梁34的升降动作可相对长支撑部15或对象基板从其上侧和下侧双方抵接。

在杆构件30对长支撑部15或对象基板进行支承或使其下降时，爪延出部67a作为垂直支承部使横梁34和爪部32充分地分开，可在进入或后退的手部22与横梁34没有缓冲的状态下进行基板的支承或下降。因此，爪延出部67a的长度是如此确定的：通过选择下侧横梁34a和上侧横梁34b的间隔、箱体11内的基板1的层叠间距、以及作为端部位置调整机构31的调整对象的基板，能确保容许手部22进入、后退的空间。在此，手部位置的选择是指选择对作为搬出搬入对象的对象基板进行支承、还是对对象基板上一层的基板进行支承、或是使对象基板下一层的基板下降、还是将这些支承和下降的组合。另外，下侧横梁34a和上侧横梁34b设置成：两者之间的间隔能容许机器人21的手部22通过、且可对与配置在各横梁上的杆构件30相邻的层的基板进行支承或使其下降。

在爪轴67的轴支在轴承69、69上的部分的中间固定有可与爪轴67一体旋转的连杆构件66。连杆构件66的固定在爪轴67上的一侧的相反侧的端部与杆63的杆端部65、65可动地连接。杆63可通过气缸61向靠近或远离支柱40的方向进行往复运动。并且，杆端部65、65跟随杆63的往复运动向图18中的箭头W方向进行往复移动，连杆构件66受到其推压在图18中的箭头R方向大致90°地进行往复转动。由此，爪轴67也转动，设在其前端的杆构件30转动90°，相对可与箱体的长支撑部15或收纳在箱体内的对象基板1抵接的位置进入、后退。杆63在配置在气缸61侧时，一端侧通过联轴器62与气缸61连接，另一端侧作为杆端部65与连杆构件66连接，而在配置在各杆构件30间时，两端具有杆端部65，两端侧连接在连杆构件66上。

在本实施形态中，杆构件30的驱动源是气缸61，但并不局限于此，也可使用螺线管或线性电动机等。另外，作为驱动传递机构，除利用连杆构件66和杆63的机构外，也可根据驱动源使用齿条小齿轮机构或凸轮机构。杆构件30的驱动源及驱动机构并不局限于本实施形态。

如此构成的端部位置调整机构31如下所述地进行动作。例如在利用滑动机构400使横梁34升降到对象基板1附近的规定位置后，驱动气缸61，使杆构件30绕转。即，向基板收纳区域伸出。

然后，使滑动机构400微动，使杆构件30抵接到长支撑部15或对象基板1上，再驱动滑动机构，为确保期望的空间而对对象基板1进行支承或使其下降。通过反复这种动作，从而可实施本发明的基板搬出搬入方法的形态。

(***的控制)

下面对执行本发明的基板搬出搬入方法的基板搬出搬入***的控制进行说明。基板搬出搬入***对作为基板搬出搬入辅助装置的端部位置调整机构31和机器人21进行连动驱动，作为其控制装置连接有控制器70、机器人控制器71和定序器72(参照图1)。图19是表示本发明的基板搬出搬入***的控制装置的方框图。

端部位置调整机构31的控制器70通过总线连接有CPU(中央处理器)701、ROM702、RAM703、EEPROM704、通信部705、外部输入输出I/F706和驱动控制部707。

CPU701是控制器70的控制中枢，进行用于控制端部位置调整机构31的运算处理。

ROM702作为存储端部位置调整机构31的动作程序的程序存储部发挥作用。RAM703及EEPROM704与CPU701双向连接。RAM703随机进行变量的写入及读取。EEPROM704可无数次进行电性存储的删除、写入，即使不从外部供给电力也可保存存储。例如将测绘传感器41对基板位置进行检测的检测数据存储在EEPROM704中。

通信部705具有多个I/F(接口)，分别与机器人控制器71及定序器72等连接，输入或输出控制端部位置调整机构31(基板搬出搬入***)用的各种数据和程序。外部输入输出I/F706与设在端部位置调整机构31上的测绘传感器41等连接。

驱动控制部707接收由CPU701进行运算处理后作成的控制指令，对升降机构300及杆构件30的驱动源(驱动轴)的驱动进行控制。该驱动控制部707根据端部位置调整机构31的驱动轴数量具有与各驱动轴对应的相同数量的驱动控制器。

机器人控制器71的构成与端部位置调整机构31的控制器70基本相同。即，具有：进行运算处理的CPU、存储动作程序的ROM、作为工作区的RAM和EEPROM、通信部、外部输入输出I/F、以及控制各驱动轴的驱动的驱动控制部等，机器人控制器71用于控制机器人21的驱动轴。

定序器72装设有CPU，与端部位置调整机构31的控制器70及机器人控制器71连接，将端部位置调整机构31和机器人21的驱动控制成在规定的时间进行。控制器70、机器人控制器71及定序器72的连接是并联，可以以任意顺序连接。另外，根据需要也可从定序器72连接一个控制器(控制器70或机器人控制器71)，再从该控制器连接多个其他控制器。即，也可将多个端部位置调整机构31和多个机器人21连接在一个定序器72上，构成复杂的基板搬出搬入***。另外，定序器72也可用通常的个人计算机替代。

下面对如此由构成控制装置的基板搬出搬入***的动作进行说明。

其动作依照下述顺序进行。在此，对进行直接支承基板的动作的基板搬出搬入***进行说明，但即使在利用基板下降动作扩大基板搬出搬入用空间时、进行基板支承和下降两种动作时、以及对长支撑部进行支承或使其下降时也可通过同样的动作进行。

(1)定序器72向端部位置调整机构31的控制器70输出查找有无基板1的测绘指令。

(2)控制器70从ROM72调出测绘动作执行程序，根据该程序从驱动控制部707向端部位置调整机构31输出测绘动作执行命令。基于该命令，端部位置调整机构31例如将升降机构300沿基板1的层叠方向从箱体11的最下层位置驱动到最上层位置，利用测绘传感器41进行扫描，检测出箱体11中的基板1的承载位置(各层是否收纳有基板1)。

(3)控制器70经由外部输入输出I/F706接收来自测绘传感器41的有无基板1的检测信号。并且，通过CPU701的运算处理，得到关于箱体11中的基板1的收纳数量和收纳层的位置的基板收纳信息。根据需要将该基板收纳信息存储在EEPROM704中。

(4)控制器70将基板收纳信息与测绘动作结束的报告一起通知给定序器72。

(5)定序器72基于基板收纳信息向控制器70输出前往成为基板的搬出或搬入对象的规定收纳层的指令。

(6)控制器70从ROM702调出基板支承动作的执行程序，根据该程序和基板收纳信息从驱动控制部707向端部位置调整机构31输出基板支承动作的执行命令。并且，如上所述，驱动升降机构300及杆构件30对基板1进行支承，使其处于支承状态。

(7)控制器70例如根据来自端部位置调整机构31的停止信号，取得成为基板支承状态的端部位置调整机构31的端部调整动作结束信息。

(8)控制器70接收端部调整动作结束信息，向机器人控制器71通知端部调整动作结束信息。与此同时或之前，向机器人控制器71通知包含关于机器人21所要搬出搬入对象基板1的规定收纳层的位置信息在内的基板收纳信息。

(9)机器人控制器71接收端部调整动作结束信息，向机器人21输出指示相对规定收纳层进行对象基板1的搬入或搬出动作的执行命令。另外，该命令是基于预先存储在机器人控制器71的程序存储部中的动作程序的命令。

(10)当机器人21结束规定的搬入或搬出动作时，向机器人控制器71通知其动作结束信息。

(11)机器人控制器71向控制器70通知机器人21的动作结束信息。并且，将该动作结束信息通过控制器70的通信部705通知给定序器72，对象基板1相对规定收纳层的搬出搬入动作结束。

(12)接收了机器人21的动作结束信息的控制器70与上述(11)同时地或在其之前或之后，向端部位置调整机构31输出执行解除基板支承动作的动作的命令，从而基板1的支承得到解除。另外，该解除动作与(6)相同地根据从ROM702调出的执行程序进行。

(13)最后，在需要继续进行基板搬出搬入时，接收到机器人的动作结束信息的定序器72为了相对成为下一动作对象的下一收纳层进行其他基板1的搬出或搬入，向控制器70输出前往下一收纳层的指令。并且，反复执行上述(6)以后的动作直至预定的基板搬出搬入结束。

这样，本发明的基板搬出搬入***受到具有端部位置调整机构31的控制器70、机器人21的机器人控制器71和定序器72的控制装置的控制，因此，作为基板搬出搬入辅助装置的端部位置调整机构31和机器人21连动地被驱动。即，在本发明的基板搬出搬入***中，端部位置调整机构31在驱动机器人21之前前往搬出搬入对象基板1的规定收纳层，对基板进行支承或使其下降。另一方面，机器人21根据来自控制装置的命令和信息相对箱体11的规定收纳层执行基板1的搬入及搬出。此时，规定收纳层的位置信息由机器人21识别，并且利用端部位置调整机构31扩大或确保可供机器人21的手部22相对规定收纳层进入、后退的空间，能可靠地进行基板的搬出及搬入。

另外，在机器人21的动作中，不需要对搬入对象基板1的规定收纳层或搬出对象基板1的位置进行扫描检测，因此，机器人21能相对规定收纳层高速且正确地搬出搬入基板1。

再者，在端部位置调整机构31进行利用测绘传感器41进行基板位置扫描和基板的支承或下降的执行或解除动作、以及为了该执行或解除进行的横梁34的升降动作等动作的期间，机器人21可前往对相对箱体11搬出搬入的对象基板1进行处理的其他装置、或相对其他的箱体11进行对象基板1的搬出搬入。因此，在本发明的基板搬出搬入***中，不会将搬送间歇作为工序等待时间白白浪费，可提高基板制造工序的效率。

(变形例)

像第三形态～第六形态那样，在对两个以上的长支撑部15的端部16分别独立地进行支承或使其下降时，需要独立地驱动两个或三个横梁。下面对该变形例进行说明。

例如，可采用使横梁的连接构件34c可在基板层叠方向、即上下方向上伸缩驱动、在其上下端部上支承下侧横梁34a及上侧横梁34b的结构。此时，通过依次或独立驱动滑动机构400和进行伸缩驱动的连接构件34c，可分别对期望的长支撑部或基板进行支承或使其下降。另外，在下侧横梁34a的下侧还可固定或可上下移动地设置其他横梁。也可代替连接部34c的伸缩驱动，在连接部34c设置升降滑动机构。无论哪种情况都最好根据各横梁的驱动来驱动分别配设的杆构件30。

作为另一例也可设置多个滑动机构400，分别与横梁34连接，使多个横梁34升降。此时，最好分别独立地利用多个滑动机构和气缸61进行杆构件30的绕转动作。

图20至图22表示杆构件30的变形例。图20是使杆构件301相对于收纳在箱体11内的基板的开口部19a侧的端部或其收纳区域，以直角直线性地伸出的变形倒的俯视图。在图20中，(a)是表示杆构件30伸出的进入状态的俯视图，(b)是表示杆构件30从基板收纳区域后退的状态的俯视图，(c)是主视图。在该变形例中，在横梁34中内置有与杆构件数量对应的多个螺线管或气缸等线性驱动装置(未图示)，这些线性驱动装置使杆构件301沿图中箭头L1方向进行直线往复驱动。该杆构件301在线性驱动装置上直接立设有垂直支承部(爪延出部)，从设在横梁34上的导向缺口部34d向基板层叠方向延出(参照图20(c))。其他构成与上述实施形态相同，对相同构成标记同一符号，省略其说明。采用该变形例，杆构件301相对基板直线性地进行进入、后退动作，因此，即使在直接对基板进行支承或使其下降时，基板也几乎不会损伤。

与上述变形例相同，图21表示使杆构件302相对于收纳在箱体11内的基板的开口部19a侧的端部或其收纳区域，以直角直线性地伸出的另一变形例。在该变形例中，代替横梁34，使用没有内置驱动机构的横杆340。在横杆340上以规定间隔固定有杆构件302。横杆340通过可沿图中箭头L2方向进行往复驱动的水平滑动器83支撑左右两端。水平滑动器83例如通过与支柱40内的滑动器49连接的缸体装置等相对支柱40沿基板搬出搬入方向进行接近、分开驱动，且通过滑动机构400支撑成可沿基板搬送方向升降。因此，杆构件302可通过水平滑动器83相对收纳在箱体11内的基板1及其收纳区域进入、后退。另外，杆构件302的形状与上述实施形态相同，故省略其说明。采用该变形例，由于作为横梁的横杆340不具有驱动机构，故可将基板附近的尘埃产生抑制在最小限度。而且，能以简单的构成提供高精度且廉价的横梁。

图22表示又一变形例。在图22中，(a)是本变形例的横梁的主视图，(b)是横梁的局部放大侧视图，(c)是横梁的局部放大主视图。该变形例的杆构件303由爪部320和垂直支承部670构成。垂直支承部670沿与箱体11的基板层叠方向平行的方向垂直立设在横梁34上。在垂直支承部670的前端部通过轴321可转动地轴支有爪部320。从内置在横梁34内的驱动传递机构(未图示)通过皮带322对轴321传递转动用的驱动力。爪部320接收来自皮带322的驱动力，向图中箭头R2方向转动，从而可相对基板1的收纳区域进入、后退。这样，本变形例的控制杆303可通过在基板1的收纳区域内进入、后退的爪部320和设置其的横梁34的升降动作，对基板或长支撑部进行支承或使其下降。

在上述实施形态中，作为基板收纳箱11主要具有从里侧延出到开口部或其附近、用于保持基板的长支撑部15，但本发明也可良好地应用在其他基板收纳箱上。下面对该基板收纳箱进行说明。在以下的说明中，对与上述实施形态相同的构成标记同一符号，省略其说明。

图23是表示应用本发明的基板搬出搬入装置的箱体的另一例的俯视图。在此，箱体110在收纳基板1的各层具有承载基板的长支撑部150。该长支撑部150不延出到箱体110的开口部19a，而是从里侧框体13延出到基板搬出搬入方向的1/5左右的长度。即使在这种箱体110中，也可在开口部19a侧设置作为基板搬出搬入辅助装置的端部位置调整机构31。此时，杆构件30对基板1的开口部19a附近的部分进行支承或使其下降。图23表示杆构件30进入基板收纳区域内的状态。

图24是表示应用本发明的基板搬出搬入装置的箱体的又一例的俯视图。箱体111在收纳基板1的各层不具有承载基板的长支撑部，而在里侧框体13上设置有支撑基板1的突起151。并且，利用该突起151和短支撑部14构成对基板1进行承载、收纳的层。该箱体用于收纳比较小型的基板，在液晶显示面板、等离子显示面板(PDP)等后半段的制造工序中，较多时候在大型基板被分割切断、已经进行了一定程度加工的工序中使用。即使在这种箱体111中，也可在开口部19a侧设置作为基板搬出搬入辅助装置的端部位置调整机构31。此时，杆构件30对基板1的开口部19a附近的部分进行支承或使其下降。图24表示杆构件30进入基板收纳区域内的状态。

如上所述，采用本发明的基板搬出搬入方法及基板搬出搬入***，通过箱体11、机器人21和作为基板搬出搬入辅助装置的端部位置调整机构31，可扩大供手部22从箱体11跟前侧向里侧进入的空间、或者扩大供手部22从箱体11里侧向跟前侧后退的空间，因此，可减小多层结构的各层间的间距，增加单位空间体积的基板收纳数量，而且，此时也能可靠地搬出搬入基板。另外，本发明可通过在现有后撑型箱体的基本结构上增加端部位置调整机构来实现，不需使用具有特殊臂部和机构的机器人，而且，也不需设置现有其他基板搬出搬入方法中使用的复杂机构，从而可实现低成本。

Claims (40)

1、一种基板搬出搬入方法，相对于以规定间隔多层地排列有从里侧向跟前侧延伸的长支撑部、并在各层的长支撑部上承载基板进行多层收纳的箱体，使用具有承载所述基板用的手部的机器人将基板搬入或将基板搬出，其特征在于，包含对将要承载对象基板的长支撑部或已经承载有对象基板的长支撑部进行支承、扩大箱体内供所述手部进入或后退的空间的支承工序(A)，从所述箱体搬出对象基板的搬出工序及向所述箱体搬入对象基板的搬入工序与该支承工序(A)一起进行。

2、如权利要求1所述的基板搬出搬入方法，其特征在于，对象基板的搬出工序包含：使所述手部从所述箱体跟前侧向里侧进入并位于承载在所述受到支承的长支撑部上的对象基板下方的工序；使所述手部向上方移动从而将对象基板抬起到所述长支撑部上方的工序；以及使承载有对象基板的手部从里侧向跟前侧后退从而将对象基板取出到所述箱体外的工序。

3、如权利要求2所述的基板搬出搬入方法，其特征在于，在所述支承工序(A)中，在将对象基板取出到箱体外的工序之后、或者在将对象基板抬起的工序之后且在将对象基板取出到箱体外的工序之前解除对所述长支撑部的支承。

4、如权利要求1所述的基板搬出搬入方法，其特征在于，对象基板的搬入工序包含：使承载有对象基板的手部从所述箱体跟前侧向里侧进入并使对象基板位于长支撑部上方的工序；使所述手部向下方移动从而将对象基板承载在所述长支撑部上的工序；以及在手部位于对象基板下方的状态下使所述手部从里侧向跟前侧后退的工序。

5、如权利要求4所述的基板搬出搬入方法，其特征在于，在所述支承工序(A)中，在使手部从箱体跟前侧向里侧进入的工序之前、或者在使手部从箱体跟前侧向里侧进入的工序之后且在使手部从里侧向跟前侧后退的工序之前开始对所述长支撑部进行支承。

6、如权利要求1至5中任一项所述的基板搬出搬入方法，其特征在于，在所述搬出工序及搬入工序中，还包含对将要承载对象基板的长支撑部或已经承载有对象基板的长支撑部的上一层的长支撑部进行支承的支承工序(B)，从所述箱体搬出对象基板的搬出工序或向所述箱体搬入对象基板的搬入工序与该支承工序(B)一起进行。

7、如权利要求1至6中任一项所述的基板搬出搬入方法，其特征在于，在所述搬出工序及搬入工序中，还包含将将要承载对象基板的长支撑部或已经承载有对象基板的长支撑部的下一层的长支撑部压下的下降工序，从所述箱体搬出对象基板的搬出工序或向所述箱体搬入对象基板的搬入工序与所述下降工序一起进行。

8、一种基板搬出搬入方法，相对于以规定间隔多层地排列有从里侧向跟前侧延伸的长支撑部、并在各层的长支撑部上承载基板进行多层收纳的箱体，使用具有承载所述基板用的手部的机器人将基板搬入或将基板搬出，其特征在于，包含选自下述工序中的至少一个工序：对将要承载对象基板的长支撑部或已经承载有对象基板的长支撑部进行支承、扩大箱体内供所述手部进入或后退的空间的支承工序(A)；对将要承载对象基板的长支撑部或已经承载有对象基板的长支撑部的上一层的长支撑部进行支承、扩大箱体内供所述手部进入或后退的空间的支承工序(B)；以及将将要承载对象基板的长支撑部或已经承载有对象基板的长支撑部的下一层的长支撑部压下、扩大箱体内供所述手部进入或后退的空间的下降工序，从所述箱体搬出对象基板的搬出工序或向所述箱体搬入对象基板的搬入工序与选自该支承工序(A)、支承工序(B)及下降工序中的至少一个工序一起进行。

9、一种基板搬出搬入***，包括：以规定间隔多层地排列有从里侧向跟前侧延伸的长支撑部、并在各层的长支撑部上承载基板进行多层收纳的箱体；具有承载所述基板用的手部、用于将所述基板搬入箱体内或将所述基板从箱体内搬出的机器人；以及对所述长支撑部进行支承或使其下降的端部位置调整机构，其特征在于，所述端部位置调整机构为了扩大供所述手部从所述箱体跟前侧向里侧进入的空间或供所述手部从所述箱体里侧向跟前侧后退的空间，对选自承载对象基板的长支撑部、该长支撑部上一层的长支撑部及该长支撑部下一层的长支撑部中的至少一个长支撑部进行支承或使其下降。

10、一种基板搬出搬入方法，相对于以规定间隔多层地排列有支撑部、且在各层的支撑部上承载基板进行多层收纳、并具有可供搬出及搬入所述基板的开口的箱体，使用具有承载所述基板用的手部的机器人将基板搬出或搬入，其特征在于，包含对将要搬出的对象基板或已经搬入的对象基板进行支承、确保箱体内供所述手部进入或后退的空间的支承工序(A)，所述对象基板的搬出工序或搬入工序与所述支承工序(A)一起进行。

11、如权利要求10所述的基板搬出搬入方法，其特征在于，所述搬出工序包含：使所述手部从所述箱体的所述开口侧向里侧进入并位于所述对象基板下方的工序；使所述手部向上方移动从而将所述对象基板抬起到所述支撑部上方的工序；以及使承载有所述对象基板的手部从所述里侧向所述开口侧后退从而将所述对象基板取出到所述箱体外的工序，所述支承工序(A)是在使所述手部从所述箱体的所述开口侧向所述里侧进入的工序之前开始的。

12、如权利要求10所述的基板搬出搬入方法，其特征在于，所述搬入工序包含：使承载有所述对象基板的手部从所述箱体的所述开口侧向里侧进入并使所述对象基板位于所述支撑部上方的工序；使所述手部向下方移动从而将所述对象基板承载在所述支撑部上的工序；以及在手部位于所述对象基板下方的状态下使所述手部从所述里侧向所述开口侧后退的工序，所述支承工序(A)是在使所述手部从所述里侧向所述开口侧后退的工序之前开始的。

13、如权利要求10至12中任一项所述的基板搬出搬入方法，其特征在于，还包含对承载有在所述搬出工序中将要搬出的所述对象基板的所述支撑部或承载有在所述搬入工序中将要搬入的所述对象基板的所述支撑部中任一个所述支撑部的上一层的支撑部上所承载的基板进行支承的支承工序(B)，所述对象基板的搬出工序或所述对象基板的搬入工序与该支承工序(B)一起进行。

14、如权利要求10至13中任一项所述的基板搬出搬入方法，其特征在于，还包含将承载有在所述搬出工序中将要搬出的所述对象基板的所述支撑部或承载有在所述搬入工序中将要搬入的所述对象基板的所述支撑部中任一个所述支撑部的下一层的支撑部上所承载的基板压下的下降工序，所述对象基板的搬出工序或所述对象基板的搬入工序与所述下降工序一起进行。

15、如权利要求10至14中任一项所述的基板搬出搬入方法，其特征在于，所述支承工序(A)、所述支承工序(B)及所述下降工序是通过对从所述箱体里侧向所述开口侧延伸的支撑部进行支承或使其下降来进行的。

16、一种基板搬出搬入方法，相对于以规定间隔多层地排列有支撑部、且在各层的支撑部上承载基板进行多层收纳、并具有可供搬出及搬入所述基板的开口的箱体，使用具有承载所述基板用的手部的机器人将基板搬入或将基板搬出，其特征在于，包含选自下述工序中的至少一个工序：对将要搬出的对象基板或已经搬入的对象基板进行支承、确保箱体内供所述手部进入或后退的空间的支承工序(A)；对承载有将要搬出的所述对象基板或已经搬入的所述对象基板的所述支撑部上一层的支撑部所承载的基板进行支承的支承工序(B)；以及将承载有将要搬出的所述对象基板或已经搬入的所述对象基板的所述支撑部下一层的支撑部所承载的基板压下的下降工序，从所述箱体搬出对象基板的搬出工序或向所述箱体搬入对象基板的搬入工序与选自该支承工序(A)、支承工序(B)及下降工序中的至少一个工序一起进行。

17、如权利要求16所述的基板搬出搬入方法，其特征在于，所述支承工序(A)、所述支承工序(B)及所述下降工序是通过对从所述箱体里侧向所述开口侧延伸的支撑部进行支承或使其下降来进行的。

18、一种基板搬出搬入***，其特征在于，包括：以规定间隔多层地排列有支撑部、且在各层的支撑部上承载基板进行多层收纳、并具有可供搬出及搬入所述基板的开口的箱体；具有承载所述基板用的手部、用于相对所述箱体搬入或搬出所述基板的机器人；以及在所述机器人进行基板搬出或搬入动作时、在所述箱体的所述开口侧与里侧之间确保供所述手部进入或后退的空间的基板搬出搬入辅助装置。

19、如权利要求18所述的基板搬出搬入***，其特征在于，所述基板搬出搬入辅助装置对在所述基板搬出时将要搬出的对象基板或在所述基板搬入时将要搬入的对象基板中任一个所述对象基板进行支承，从而确保箱体内供所述手部进入或后退的空间。

20、如权利要求18或19所述的基板搬出搬入***，其特征在于，所述基板搬出搬入辅助装置对承载有在所述基板搬出时将要搬出的对象基板的所述支撑部或承载有在所述基板搬入时将要搬入的对象基板的所述支撑部中任一个所述支撑部的上一层或下一层的支撑部所承载的基板进行支承或使其下降，从而确保箱体内供所述手部进入或后退的空间。

21、如权利要求18或19所述的基板搬出搬入***，其特征在于，还包括对所述基板搬出搬入辅助装置及所述机器人进行连动控制的控制装置。

22、如权利要求18至21中任一项所述的基板搬出搬入***，其特征在于，所述基板搬出搬入辅助装置设置在所述箱体的所述开口部附近。

23、如权利要求22所述的基板搬出搬入***，其特征在于，所述基板搬出搬入辅助装置具有用于对所述至少一个基板进行支承或使其下降的一轴或两轴以上的滑动机构。

24、如权利要求18至21中任一项所述的基板搬出搬入***，其特征在于，所述基板搬出搬入辅助装置设置在所述机器人上。

25、一种基板搬出搬入辅助装置，其特征在于，包括：设置成可相对于以规定间隔层叠多层地收纳基板且具有供所述基板搬出搬入的开口的箱体的基板收纳区域进入及后退的杆构件；以及沿所述基板的排列方向可移动地支承所述杆构件的升降机构，

在使用具有承载所述基板用的手部的机器人相对所述箱体搬入或搬出所述基板时，通过进入到所述基板收纳区域内的所述杆构件对所述基板进行支承或使其下降，确保所述箱体内供所述手部进入或后退的空间。

26、如权利要求25所述的基板搬出搬入辅助装置，其特征在于，所述杆构件通过所述升降机构的驱动对选自成为相对所述箱体搬入或搬出对象的对象基板、收纳在所述对象基板上一层的基板、收纳在所述对象基板下一层的基板中的至少一个基板进行支承或使其下降。

27、如权利要求25或26所述的基板搬出搬入辅助装置，其特征在于，所述杆构件与所述基板抵接，对所述基板进行支承或使其下降。

28、如权利要求25或26所述的基板搬出搬入辅助装置，其特征在于，在所述箱体具有从其里侧向所述开口侧延伸、用于承载所述基板的长支撑部时，所述杆构件与所述长支撑部抵接，对所述长支撑部进行支承或使其下降。

29、如权利要求25至28中任一项所述的基板搬出搬入辅助装置，其特征在于，所述升降机构具有与承载在所述箱体中的所述基板大致平行的横梁，

所述杆构件具有：从所述横梁向所述箱体的所述基板层叠方向突出立设的垂直支承部、以及从其前端沿与所述层叠方向大致平行的方向延出设置的爪部。

30、如权利要求29所述的基板搬出搬入辅助装置，其特征在于，在所述横梁上配设有多个所述杆构件。

31、如权利要求29或30所述的基板搬出搬入辅助装置，其特征在于，所述垂直支承部可旋转地立设在所述横梁上，所述爪部利用该垂直支承部的旋转驱动向所述基板收纳区域内伸出。

32、如权利要求29或30所述的基板搬出搬入辅助装置，其特征在于，所述爪部从所述垂直支承部的前端向所述基板收纳区域内延出设置，而且，所述垂直支承部或所述爪部被相对所述基板收纳区域进行直线往复驱动，从而所述爪部向所述基板收纳区域内伸出。

33、如权利要求29或30所述的基板搬出搬入辅助装置，其特征在于，所述爪部可绕与所述横梁平行的轴进行旋转地轴支在垂直支承部的前端，而且所述爪部被驱动旋转从而向所述基板收纳区域内伸出。

34、如权利要求29至33中任一项所述的基板搬出搬入辅助装置，其特征在于，在所述爪部的前端设置有辊。

35、如权利要求29至34中任一项所述的基板搬出搬入辅助装置，其特征在于，所述横梁沿所述基板的层叠方向设置有多个。

36、如权利要求35所述的基板搬出搬入辅助装置，其特征在于，所述多个横梁被分别独立地驱动升降。

37、如权利要求25至36中任一项所述的基板搬出搬入辅助装置，其特征在于，包括控制装置，用于与所述机器人相对所述箱体进行的基板的搬入及搬出对应地控制所述升降机构的升降以及所述杆构件向所述基板收纳区域的进入及后退。

38、如权利要求25至37中任一项所述的基板搬出搬入辅助装置，其特征在于，与所述箱体的所述开口相对地立设成门型。

39、如权利要求25至38中任一项所述的基板搬出搬入辅助装置，其特征在于，安装在围住所述箱体的所述开口的框体上。

40、如权利要求25至38中任一项所述的基板搬出搬入辅助装置，其特征在于，安装在承载所述箱体的箱体座上。

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