WO1987003356A1 - Clean room - Google Patents

Description

明 細 書 ク リ ー ン ル ー ム

技術分野

本発明は、 超 L S I 、 I C等の半導体製造分野で、 そ の製造 環境を超高清浄度に維持 し たい場合に用 い られる ク リ ー ンルー ムに関す る も のであ る。 背景技術

従来、 室内が超高清浄度に維持さ れる ク リ ー ン ル ー ム と して は、 例えば部分層流型ク リ ー ンルームが知 られてい る。

こ の部分層流型ク リ ー ン ル ー ム は、 その天井の ほぼ全面に空 気供給ダ ク ト の空気吹出 口を有 し、 こ れ ら 空気吹出 口か ら室内 に吹き 出 さ れた超高清浄度の空気が、 ほぼ層流状態で下向 き一 方向に床へ向けて流れ、 床の ほぼ全面に設け ら れた空気吸込口 か ら吸い込ま れた後に、 前記空気吹出 口 に循環す る よ う にな つ てい る。 一般に、 前記床は グ レ ーチ ン グゃパ ンチ メ タ ル等か ら な る有孔床であ り 、 こ の有孔床の多数の孔が空気吸込口 と し て 機能す る。 ま た、 前記空気吸込口 は U L P A フ ィ ルタ 等の高性 能除塵フ ィ ル タ を備えてい る。

と こ ろ で、 上記従来の ク リ ー ン ル ー ムは、 天井の全面か ら 空 気を吹 き 出すために空気の絶対供給量が多 く な り 、 そ の分、 送 風機等の運転費が増大 し て、 エネルギー多消費型の ク リ ー ンル ーム と な っ て い る。 しか も、 天丼か ら吹き 出す空気は床へ向つ て一方向へ し か流れな い ため、 通路等で発生 し た塵が作業者の 動作に よ り ク リ 一ンルーム内で特に超高清浄度が要求さ れる 領 域、 例えば半導体製造装置の設置領域へ拡散す る おそれがあ る 従っ て、 本発明の 目 的は、 省エネ ルギー型の ク リ ー ンルーム を提供す る こ と であ る。

ま た、 本発明の他の 目 的は、 半導体製造装置の設置領域への 塵埃侵入量を減少さ せて、 製品の歩留 り を高め る ク リ ー ンルー ムを提供する こ と であ る。

本発明の さ ら に他の 目 的は、 作業者が通路を歩 く 際に、 通路 の床の振動を抑制する と と も に、 半導体製造装置等に振動が伝 達 し に く い ク リ ー ンルームを提供す る こ とであ る。

本発明の さ ら に他の 目 的は、 室内に設置さ れた半導体製造装 置等のメ ンテナ ン スや、 その設置領域への物の搬入、 搬出が容 易な ク リ ー ンルームを提供す る こ と であ る。 発明の開示 - こ れ らの 目的に則 し て本発明は、 天井と、 床と、 こ れ ら天井 と床と の間の室内空間と、 こ の室内空間に超高清浄度の空気を 供袷す る 空気供袷手段と、 室内空間に供给さ れた空気を排出す る 空気排出手段と を備え た ク リ ー ンルームを提供する。 室内空 間は、 高清浄度が要求さ れる 第 1 の領域（ 例えば通路領域 ）と こ の第 1 の領域に隣り 合 う と と も に第 1 の領域よ り も さ ら に高 い超高清浄度が要求さ れる第 2 の領域（ 例えば半導体装置の設 置領域 ）と に区分さ れる てい る。 そ して、 空気供袷手段は、 第 2 の領域の天井に配置さ れて下向 き に空気を吹き 出す空気吹出 口を備え、 空気排出手段は、 前記第 1 の領域の天井に配置さ れ て上向 き に空気を吸い込む第 1 の空気吸込口を備えて い る。 つ ま り 、 こ の構成に よ り 第 2 の領域か ら第 1 の領域へ向か う 撗方 向の大 き な速度成分を有す る 空気流を発生さ せて第 1 の領域か ら第 2 の領域への塵埃の侵入を防止す る も のであ る。 通路領域 と装置設置領域と の間をパネルで仕切 っ たタ イ プの ク リ ー ンル ームでは通路領域の天井に空気吸込口を設け る こ と が公知であ る が、 こ の公知の構成ではパネ ルが障害と な っ て横方向の空気 流が生 じ な い。 ま た、 こ の公知の構成では通路領域側の パネル の表面に渦流が生 じて通路領域の清浄度が損なわれ易い。

本発明の ク リ ー ン ルー ム は、 空気吸込口へ流れ込む空気の流 線を滑 ら かに形成す る ため の整流手段を備えてい る こ と が好ま し い。 こ の整流手段は、 空気吹出 口 と 空気吸込口 と の間に配設 さ れ る 整流板であ っ て も よ い し 、 あ る い は、 空気吹出 口 と 空気 吸込口 と の間に配設さ れて第 1 の領域に向けて斜め下方に空気 を吹き 出す捕助吹出 口であ っ て も よ い。 こ の よ う な整流手段に よ り 、 吹出 口 と吸込口 と の間に渦流を生 じ る こ と な く 、 ク リ 一 ン ル ー ム内の空気が滑 ら かに吸込口 に吸い込ま れる。

一方、 前記第 1 の領域の床を固定床と し 、 こ れに よ り 作業者 の歩行時に床の振動を抑制す る のが好ま し い。 固定床と はその ク リ ー ンルームを備え た建物の基礎に連な る 拄ゃ壁に固定さ れ てい る 床、 例えばコ ン ク リ ー ト の床の こ と であ る。 つ ま り 、 第 1 の領域の天井に吹出 口が無 く な る こ と に よ り 、 第 1 の領域の 床を有孔床と する必要がな く な る も のであ る。 さ ら に、 第 2 の 領域の床を も固定床と すれば、 言い替えれば、 ク リ ー ンルーム の床全体を固定床と すれば、 有孔床の下側に必要な床下フ リ ー ア ク セス フ ロ アが不要と な る ので、 ク リ.ー ンルームの階高（ 床 か ら天井ま での高さ ）を小さ く 設計す る こ と が可能と な る。 ま た、 第 1 の領域の床と第 2 の領域の床と は互いに分離し、 第 1 の領域で生じ た振動が第 2 の領域に伝達 し に く い よ う に して も よ い。 第 1 の領域の床と第 2 の領域の床を分離 し た場合は、 第 1 の領域の床と第 2 の領域の床の間に空気排出手段の第 2 の空 気吸込口を配置し て も よ い。 さ ら に、 前記第 1 の領域の床と 第 2 の領域の床の間に有孔床を架け渡して も よ い.。

さ ら に、 本発明の ク リ ー ンルームは、 第 1 の領域と第 2 の領 域ども仕切る 仕切部材を備えていて も よ い。 ただ し、 こ の仕切 部材は、 第 2 の領域か ら仕切部材を介し て第 1 の領域へ空気を 流すための通気手段を有する も のであ る。 仕切部材は第 1 の頜 域と第 2 の領域と の間に配設さ れた仕切板、 あ る い は仕切 シ ー ト であ る こ と が好ま し い。 前記通気手段は仕切板、 あ る いは仕 切 シ ー 卜 の全面に ほぼ均一に配さ れた複数の貫通孔であ る の力 好ま し い。 仕切扳は側方に移動自在であ っ て も よ く 、 ま た、 仕 切 シ ー ト は側方、 上方あ る い は下方に巻き取り 自在であ っ て も よ い。 こ の よ う に仕切部材を移動あ る い は巻き取り 自在とす る こ と に よ り 、 第 2 の領域への物品の搬入あ る いは搬出も容易に 行え る よ う にな る。 さ ら に、 第 2 の領域と第 1 の空気吸込口を 連通さ せる 空気流路を設け、 こ の空気流路内に仕切板の上緣部 を配置 して、 仕切部材上端部の塵埃を積極的に吸込口へ排出す る よ う に して も よ い。 図面の簡単な説明

第 1 図は本発明 係る ク リ 一ンルー ムの概略断面図、 第 2 図は本発明 係る 他の実施例の概略断面図、

第 3 図は本発明 係る さ ら に他の実施例の概略断面図、 第 4 図は第 3 図 示す仕切板の斜視図、

第 5 図は第 4 図 示す仕切板の上部の拡大断面図、

第 6 図は第 4 図 示す仕切板の変形例の斜視図、

第 7 図は第 4 図 示す仕切板の他の変形例の斜視図、 第 8 図は第 4 図 示す仕切板の さ ら に他の変形例の斜視図、 第 9 図は本発明 係る さ ら に他の実施例の概略断面図、 第 1 0 図は、 被加ェ物の搬送装置を備え た ク リ ー ンルームの 概略断面図、

第 1 1 図は第 1 0 図に示す搬送装置の要部の斜視図であ る。 発明を実施す る ための最良の形態 図面中、 共通す る 部分に つ いては同一符号を付 し 、 共通部分 の説明が重複す る こ と を避け る。

第 1 図は本.発明に係る ク リ ー ンルームを示 してい る。 こ の ク リ ー ンルーム においては、 上側床ス ラ ブ 2 1 の下方に天井板 2 3 が、 ま た、 下側床ス ラ ブ 2 2 の上方に床板 2 8 が配置さ れて い る。 天井板 2 3 と上側床ス ラ ブ 2 1 と の間に は主空調機（ 図 示略 ）に連通 し た空気供給ダク ト （ 空気供給手段 ） 2 4 · 2 4 が配設さ れてい る。 ま た、 天井板 2 3 と床板 2 8 との間の室内 空間は二枚の間仕切板（ バ ッ ク パネル ） 2 9 ， 2 9 に よ り 、 中 央の作業室 3 0 と、 その両側のユーテ ィ リ テ ィ 室 3 1 , 3 1 と に仕切 られてい る。 ま た、 作業室 3 0 内は、 作業者の通路と な る第 1 の領域 B と 、 こ の第 1 の領域 B の両側に隣 り 合いかつ L S I 等の製造装置 3 2 が設置さ れる第 2 の領域 A , A と に区分 さ れてい る。 そ し て、 天井板 2 3 の下側、 かつ、 第 1 の領域 B の上部には第 1 の空気吸込口 2 5 が設け られてお り 、 その両側 の第 2 の領域 Aの上部に は空気吹出 口であ る 給気チャ ンバ 2 6 2 6 が設け られてい る。 こ れ ら袷気チ ャ ンバ 2 6 , 2 6 は、 そ れぞれ上方の空気供给ダ ク ト 2 4 , 2 4 と 急通す る と と も に、 袷気チ ャ ンバ 2 6 , 2 6 の下部に設け られた U L P A フ ィ ル タ （ ま たは H E P A フ ィ ル タ ） 2 7 , 2 7 を介 し て下方の室内空間 と連通 し てい る。

一方、 前記床板 2 8 にお け る 第 〖 の領域 B の床と な る 部分、 およ び製造装置 3 2 が支持さ れる 部分は、 コ ン ク リ ー ト製の固 定床 4 2 , 4 2 と さ れてい る。 こ れ ら第 1 の領域 B の固定床 4 2 と第 2 の領域 Aの固定床 4 2 と は間隙をお いて互い に分離さ れてお り 、 こ の間隙に は グ レ ーチ ン グま たはパ ンチ メ タ ル等の 有孔床 ： 1 , 4 1 が配設さ れてい る。 こ れ ら有孔床 4 1 は、 そ の孔が空気排出用の第 2 の空気吸込口 と な っ てお り 、 こ の第 2 の空気吸込口は、 床板 2 8 と 下側床ス ラ ブ 2 2 と の間の フ リ ー ア ク セス フ ロ ア 2 8 aを介 し てユーテ ィ リ テ ィ 室 3 1 に連通 し てい る。 ま た、 前記間仕切板 2 9 の下端部に は第 3 の空気吸込 口 3 3 , 3 3 が形成さ れてい る。 製造装置 3 2 の寸法が長い た めに作業室 3 0 か らユーテ ィ リ テ ィ 室 3 1 に はみ出す場合は、 製造装置 3 2 の上部 と 接す る 付近の間仕切扳 2 9 にガラ リ を設 けて、 こ れを第 3 の空気吸込口 と す る。 ま た、 製造装置 3 2 が 作業室 3 0 内に納ま る 場合に は、 床板 2 8 の上部 と接す る 付近 の間仕切板 2 9 に ガラ リ を設けて、 こ れを第 3 の空気吸込口 と す る。

さ ら に、 前記给気チ ャ ンパ 2 6 , 2 6 に は、 ユーテ ィ リ テ ィ 室 3 1 , 3 1 側に フ ァ ン内蔵型の空調機 3 5 , 3 5 が設け られて お り 、 第 1 の空気吸込口 2 5 の下部両側には、 給気チ ャ ンバ 2 6 , 2 6 か ら第 1 の空気吸込口 2 5 へ流れ る 空気の流線が滑 ら かに形成さ れ る よ う に、 整流板 3 6 , 3 6 が給気チ ャ ンバ 2 6 , 2 6 の側面に固定さ れて設け られて い る。 整流板 3 6 , 3 6 の 内部に ：ま第 2 の領域 Aを照 ら す照明具 3 7 , 3 7 と 第 1 の領域 B を照 ら す照明具 3 8 , 3 8 と が配設さ れてい る。 さ ら に、 整 流扳 3 6 , 3 6 の間にはガラ リ 3 9 が架設さ れてお り 、 その上 方の給気チ ャ ンバ 2 6 , 2 6 の側面に は排気フ ァ ン 4 0 , 4 0 ( 空気排出手段 ）が取 り 付け られて い る。

前記構成の ク リ ー ンルーム においては、 ま ず、 主空調機か ら 袷気ダク ト 2 4 , 2 4 を通っ て送 られた空気が、 天井に設け ら れた左右の袷気チ ャ ンバ 2 6 , 2 6 へ供給さ れる。 袷気チ ャ ン . バ 2 6 , 2 6 へ供給さ れた空気は、 U L P A フ ィ ルタ 2 7 ， 2 7 を通過 して清浄化さ れ、 作業室 3 0 内へ吹き 出 さ れる。 吹き 出 さ れた清浄空気は、 主に 3 種類の径路を通っ て、 再び、 給気チ ヤ ンバ 2 6 , 2 6 へ還気さ れる。

ま ず、 第 1 の経路 I は、 給気チ ャ ンバ 2 6 か ら吹き 出 さ れた 清浄空気が製造装置 3 2 の上面に当た っ た後、 第 3 の空気吸込 口 3 3 を通過 してユーテ ィ リ ティ 室 3 1 に達 し、 次いで空調機 3 5 を経て袷気チ ャ ンパ 2 6 へ還気する径路であ る。 ま た、 第 2 の経路 - II は、 袷気チ ャ ンバ 2 6 か ら吹き 出さ れた清浄空気が 製造装置 3 2 の上面に当た っ た後、 作業者 3 4 を包み込むよ う に して有孔床 4 1 の第 2 の吸込口か ら床下フ リ ー ア ク セス フ σ ァ 2 8 aを通過 してユーテ ィ リ テ ィ 室 3 〖 に達 し、 次いで空調 機 3 5 を経て袷 ^チ ャ ンバ 2 6 へ還気する経路であ る。 さ ら に、 第 3 の流路 .は、 給気チ ャ ンパ 2 6 か ら吹き 出 し た清浄空気が 製造装置 3 2 に当 た ら ず主に作業者 3 4 の頭部等を包むよ う に して流れ、 第 1 の領域 B の上部を通過 し た天井ガラ リ 3 9 か ら 第 1 の吸込口 2 5 に達 し、 次いで、 排気フ ァ ン 4 0 に よ り 給気 チ ャ ンバ 2 6 へ還気する経路であ る。 なお、 室外への排気を必 要と す る装置（ 図示略 ）がク リ ー ンルーム内に設置さ れてい る 場合には、 経路 I , II 流れる い ずれかの空気が装置内へ取り 込 ま れ、 装置内部を通過し た後、 排気ダク ト （ 図示略 ）を通 じて 建物外へ排出 さ れ る。

こ こ で、 最も清浄な環境を維持し たい領域は、 製造装置 3 2 の上面、 即ち、 ウ ェハ一カ セ ッ ト の ロ ー ド、 ア ン ロ ー ドの部分 を含む第 2 の領域 Aであ る。 し たがっ て、 清浄空気を吹き 付け る こ と によ っ て、 第 2 の領域 Aを塵埃を直接的に排除す る と と も に、 第 1 の領域 B か ら の空気の巻き込みに よ る塵埃の侵入を 阻止す る こ と が必要であ る。 特に、 第 2 の領域 A と第 1 の領域 B と の天井部分が照明具や垂れ壁等で分離さ れてい る場合、 作 業者の上部には渦が発生 し やすい。 こ の渦に作業者が発生さ せ た塵が侵入 し た場合、 その排除には時.間を要 し、 作業者の移動 や作業に伴い、 こ の塵埃が第 2 の領域.へ侵入す る恐れが大であ る ため、 前記渦の発生を防止す る必要があ る。

本実施例においては、 前記条件を満たすよ う に、 第 2 の領域 Aの塵埃の排除は経路 I , Π を流れる 清浄空気で行な い、 第 1 の領域 B か ら の塵埃の侵入防止は経路 ]! , ΠΙを流れる 清浄空気 で行な う 。 特に、 経路 ]! , を流れる清净空気は、 第 2 の領域 Aか ら第 1 の領域 B へ向か う 、 撗方向の大き な速度成分を有 し た気流形状と な っ てお り 、 こ れに よ つ て、 第 1 の領域 B か ら の 塵埃の侵入を ほぼ完全に防止す る こ と がで き る。 さ ら に、 第 1 の空気吸込口 2 5 に整流板 3 6 , 3 6 を設けてあ る ため、 供給 チ ャ ンバ 2 6 , 2 6 か ら第 1 の空気吸込口 2 5 へ経路 IEを通つ て流れる 清净空気の流線が滑 ら かに形成 さ れる ため、 天井面近 傍においては、 空気の渦を生 じ る こ と がな く 、 空気中の微粒子 が拡散 し た り 第 2 の領域 A に侵入 し た り す る こ と な く 、 滑 ら か に第 1 の吸込口 2 5 へ吸い込ま れてい く 。

ま た、 部分層流型 ク リ ー ンルーム に代表さ れ る 、 ス ー パ ー ク リ ー ンルームの必要清浄度は、 第 2 の領域 Aで ク ラ ス 1 0 ( 対 象粒子怪 = 0 . 1 m以上 ）、 第 1 の領域 B で ク ラ ス 1 0 0 ( 対象粒子怪 = 0 . 以上 ）であ り 、 第 2 の領域 Aか ら流れ 出 る清浄空気は第 1 の領域 B の清浄空気に比べて清浄度が高 く 、 第 2 の領域 Aか ら流れ出 る清浄空気を用 いて第 1 の領域 Bを瘠 浄化す る こ と ができ る。

なお、 本実施例においては、 作業室 3 0 に供給さ れる清浄空 気の量を 1 0 m³/minと し た場合、 前記 3種類の径路 Ι , Π , ΠΙ を流れて排出 さ れる排出量の比率は、 経路 I ：経路 Ε :経路 ΠΙ = 1 ： 4 ： 5 と な る こ と が望ま し い。

し たがっ て、 こ の ク リ ー ンルーム においては、 超高清浄度域 であ る第 2 の領域 Αが陽圧にな る 一方、 第 1 の領域 Bやユーテ ィ リ テ ィ 室 3 1 は陰 と な り 、 こ れに よ り 第 2 の領域 Aを所望の 清浄度にす る と と も.に、 第 1 の領域 B か ら φ空気の巻き込みを 防止 し て塵埃の侵入を無 く し高清浄度を安定に保持す る こ とが でき る。 ま た、 空気吹出 口であ る 給気チ ャ ンパ 2 6 , 2 6 が第 2 の領域 A , Αの上部に し か設け られてお ら ず、 天井の全面か ら清浄空気が吹き 出す こ と がな いので、 吹き 出 し量を減少（ 本 実施例においては約 3 0 % )さ せる こ と が可能と な る と と も に、 U L P Aフ ィ ルタ 2 7 は給気チ ャ ンバ 2 6 , 2 6 に設け る だけ でよ いので、 フ ァ ンの運転費等のエネ ルギー コ ス ト を低減で き る と と も に、 設備費も も低減で き る。

さ ら に、 作業室 3 0 は、 ス ク リ ー ン等に よ っ て第 2 の領域 A が第 1 の領域 B と 区画 さ れてい な いため、 作業者 3 4 は作業室 3 0 内での行動を制約 さ せる こ とがな い と と も に、 製造装置 3 2上における 操作性を向上さ せる こ と ができ、 正確かつ迅速に ち密な作業を行 う こ とがで き る。

ま た、 作業室 3 0 に供給さ れた空気を 3 種類の経路か ら排気 す る こ と がで き る ので、 床板 2 8 の全面を有孔床 4 1 と す る必 要がな く な り 、 第 1 の領域の床と第 2 の領域の床の間に僅かな 隙間を設け る だけで、 第 1 の領域 B と製造装置 3 2 ， 3 2 の直 下は固定床 4 2 と す る こ と がで き る。 その結果、 作業者 3 4 は 歩行時に第 1 の領域 B の固定床 4 2 を歩 く こ と に よ り 、 振動が 発生す る のを押 さ え、 ま た、 第 1 の領域 B の固定床 4 2 と製造 装置 3 2 , 3 2 の固定床 4 2 と が分離 してい る こ と に よ り 、 振 動が製造装置 3 2 , 3 2 へ伝わ る のを防止す る こ と がで き る。 さ ら に、 歩行時の作業者 3 4 に全面グ レ ーチ ン グ床を歩 く 時に 感 じ られる不快感を与え る こ と がな い。 ·

第 2 図は本発明の他の実施例を示 してい る。 こ の図において は、 清浄空気が袷気チ ャ ンバ 2 6 , 2 6 か ら第 1 の空気吸込口 2 5 へ全 く 渦を生 じ る こ と な く 流れる よ う に、 袷気チ ャ ンバ 2 6 , 2 6 の第 1 の空気吸込口 2 5 側の緣部を、 第 1 の吸込口 2 5 に向けて漸次曲げて曲面を形成 し た構成と な っ て い る。 こ の 部分の U L P A フ ィ ルタ 2 7 , 2 7 も 前記曲面形状に合わせて 一部曲面型の形状と さ れてい る。 すなわ ち、 こ の曲げら れた部 分が、 第 1 の領域 B に向けて斜め下方に空気を吹き 出す捕助吹 出 口 9 9 と な っ てい る。 さ ら に、 第 1 の空気吸込口 2 5 のガラ リ 3 9 は、 その両側部が給気チ ャ ンバ 2 6 , 2 6 の緣部の曲面 と な だ ら かに連続す る よ う に上方に向けて山形に配列 さ れてい る。 一方、 こ の実施例では有孔床 4 1 が撒去さ れて床板 2 8 全体 が固定床 4 2 と さ れる と と も に、 床下フ リ ーア ク セス フ ロ ア 2 8 aをな く し た構成と さ れてい る。

こ の よ う な構成とす る こ と に よ り 、 給気チ ャ ンバ 2 6 , 2 6 か ら吹き 出 さ れ清浄空気は、 経路 I を流れる も のは製造装置 3 2 , 3 2 にむか っ て垂直気流で吹き 出 し、 経路 ΠΙを流れる 空気 は、 第 1 の空気吸込口 2 5 に近接す る側の気流の一部が第 1 の 空気吸込口 2 5 へ向けて癀方向に短絡的に排気さ れる と と も に . 第 1 の空気吸込口 2 5 か ら離れる に従っ て、 作業者 3 4 の頭部 を包み込むよ う に斜め方向に吹き 出 さ れる こ と と な る。

ま た、 径路 IVを流れる清浄空気は経路 ΙΠを流れる 空気同様第 2 の領域 Aか ら第 1 の領域 B に向か う 模方向の大き な速度成分 を有 し た気流形状と な っ てい る。 こ れに よ つ て、 IVの空気は第 1 の領域 B か ら の塵埃の侵入をほぼ完全に防止 し た後、 製造装 置 3 2 , 3 2 の下を通過してュ一テ ィ リ テ ィ 室 3 1 , 3 1 に達し、 つ いで、 空調機 3 5 , 3 5 を経て再び給気チ ャ ンバ 2 6 , 2 6 へ 還気す る。

ま た、 第 1 の領域 B を照 ら す照明具 3 8 が第 1 の空気吸込口

2 5 内の天井板 2 3 に、 ま た第 2 の領域 A , Aを照 らす照明具

3 7 , 3 7 が間仕切板 2 9 , 2 9 の上部背面に それぞれ配設さ れ てい る ので、 作業室 3 0 内の気流を乱さ ずに、 必要な照度を得 る こ と がで き る。 さ ら に、 第 1 の空気吸込口 2 5 のガラ リ 3 9 を透明な ダンパ付き排気口 と す る こ と に よ り 、 ル一バ と しての 機能を持たせ、 第 1 の領域 B を均一に明る く 照明する こ と がで き る

さ ら に、 本実施例では、 製造装置 3 2 , 3 2 に付設さ れる装 置や配管ゃ ダク ト 等を製造装置と 同一フ ロ ア に配置す る こ と が で き る こ と か ら作業性が向上 し、 ま た、 床部の施工コ ス ト を低 減す る こ と がで き る。

なお、 上記実施例において、 捕助吹出 口 9 9 は空気吹出 口 2 6 の一部であ る が、 空気吹出 口 2 6 と は別の独立し た捕助吹出 口を設けて も よ い。

第 3 図な い し第 5 図は、 本発明の さ ら に他の実施例を示 して い る。 こ の図において、 第 1 の吸込口 2 5 の下部両側、 かつ、 吸気チ ャ ンバ 2 6 , 2 6 の側面に は、 第 2 の領域 A と第 1 の吸 込口 2 5 と を連通さ せ る 空気流路 5 0 , 5 0 が設け られてい る。 こ の空気流路 5 0 . 5 0 内には、 二本の レ ール 5 2 . 5 2 が配設 さ れ、 こ れ ら レ ール 5 2 によ り 、 第 1 の領域 B と 第 2 の領域 A とを仕切る 複数枚の仕切板 5 3 が吊持さ れてい る。 こ の仕切板 5 3 は、 第 4 図、 第 5 図に示すよ う に、 透明 な矩形の板に複数 の通気孔 5 4 ， 5 4 …を全面に亙っ てほぼ均一に形成 し た も の であ り 、 仕切扳 5 3 の上部には、 前記 レ ール 5 2 上を仕切板 5 3 が移動で き る よ う に走行車輪 5 3 a , 5 3 aが取 り 付け られて い る。 さ ら に、 仕切板 5 3 は、 その下端部が床板 2 8 の上面 と の間に所定の隙間を形成す る よ う な寸法と さ れてお り 、 その隙 間は第 2 の領域 A内の空気が第 1 の領域 B へ流出す る ための通 気口 5 5 と な っ てい る。 ま た、 仕切扳 5 3 に形成さ れた通気孔 5 4 は、 第 5 図に示すよ う に、 そ こ を通過す る 空気の抵抗を軽 減さ せる と と も に、 その前後にお いて渦の発生を防止する ため に、 孔の両側端部が曲線を描いて次第に広がり なが ら仕切板 5 3 の表面と連続す るベル型開口部 と な っ てい る。 つま り 、 通気 孔 5 4 の内径およ び数を変化さ せる こ と に よ り 、 第 1 の領域 B へ流出す る 空気の流量を制御す る こ と が可能な構成とさ れてい る。 さ ら に、 仕切板 5 3 の所定の場所には、 作業者 3 4 が製造 装置 3 2 を操作す る ための操作孔ま たは作業用窓（ 図示略 ）が 形成さ れてい る。 ま た、 第 3 図に示すよ う に、 第 1 の吸込口 2 5 の下部付近で給気チ ャ ンバ 2 6 , 2 6 の間には、 ダ ンパ付き のガラ リ 5 6 が架設さ れてい る。

こ の よ う な構成の ク リ ー ンルーム において、 空気吹出 口 2 6 か ら吹き 出 し た清浄空気は、 経路 Ι . Π を通る他に二通り の経 路 V , VIを通っ て、 再び空気吹出 口 2 6 に循環す る。 第 3 の経 路 V は、 清浄空気が製造装置 3 2 に当た ら ず仕切板 5 3 の通気 孔 5 4 , 5 4 …およ びその下部の通気口 5 5 を通過して、 第 1 の領域 B へ流出 し た後、 上昇 してその上部に設け られた天井ガ ラ リ 5 6 か ら第 1 の吸込口 2 5 に達 し、 次いで、 排気フ ァ ン 4 0 に よ り 給気チ ャ ンバ 2 6 へ還気する経路であ る。 ま た、 第 4 の経路 Y [は、 空気流路 5 0 を通過 して第 1 の吸込口 2 5 へ直接 流出 し た後、 排気フ ァ ン 4 0 によ り 給気チ ャ ンバ 2 6 へ還気す る ；^路で ¾ る。

前期経路 Vを流れる 空気は、 第 1 の.領域 B へ流出す る際、 仕 切板 5 3 に無数に形成さ れた通気孔 5 4 …を通過 して仕切板 5 3 の全面か ら均一に流出する ため、 仕切板 5 3 の第 1 の領域側 の表面に空気の渦を生 じ に く い。 ま た、 仕切板 5 3 の通気孔 5 4 の数と その内径の大き さ を変え る こ と に よ り 、 仕切板 5 3 の 面か ら の空気の流出両を制御す る こ とがで き、 かつ、 仕切板 5 3 の下の通気口 5 5 か ら の空気の流量を制御す る こ と が可能と な る。 従っ て、 こ の通気口 5 5 か ら の空気の流量を適切に調節 す る こ と に よ り 、 こ こ を流れる 気流に よ っ て床板 2 8 に堆積 し た塵埃の舞い上が り を確実に防止す る こ と ができ る。

ま た、 前記経路 Iを流れる 空気は、 空気流路 5 0 を通過す る 際、 仕切扳 5 3 の上端部付近に停辯する 塵埃を第 1 の吸込口 2 5 へ排出す る。

こ の よ う な構成の ク リ ー ンルーム にお いては、 第 2 の領域 A がバ ッ ク パネル 2 9 お よ び仕切板 5 3 に よ っ て囲ま れてい る た め、 超高清浄度域であ る 第 2 の領域 Aが陽圧にな る一方、 高清 净度域であ る 第 1 の領域 B やユーテ ィ リ テ ィ 室 3 1 は陰圧と な り 、 少量の清浄空気を供給す る だけで（ 本実施例においては第 2 の領域 Aの清浄空気の流速を 0 . 2 m / s以下 と す る こ と がで き る ）第 2 の領域 Aを所望の清浄度と す る こ と がで き る。 しか も、 第 1 の領域 B か ら の塵埃の拡散およ び流入が完全に防止さ れ、 安定 し た超高清浄度を保持す る こ と がで き る。

ま た、 仕切板 5 3 は レ ール 5 2 に沿っ て左右に移動さ せる こ と がで き る ので、 製造装置 3 2 の メ ンテナ ンスや だい 2 の領域 Aへの物の搬入およ び搬出を容易に行 う こ と がで き る。 さ ら に 仕切扳 5 3 の上端部が空気流路 5 0 の内部に配置さ れてい る た めに、 仕切板 5 3 の上端部付近に塵埃が停滞す る こ と がな い。 さ ら にま た、 だい 2 の領域 A に供給さ れた空気を 4 種類の流 路か ら排気する こ とができ る ので、 床板 2 8 全体を有孔床 4 1 と する 必要がな く な り 、 第 2 の領域 A と第 1 の領域 B の境界面 付近の真下に僅かな隙間を設ける だけで、 第 1 の領域 B と製造 装置 3 2 の真下は固定床 4 2 と する こ と ができ る。

第. 6 図は第 4 図の仕切板の変形例を示してい る。 こ の仕切板 6 0 は扳面全体に多数の通気孔 6 1 を有する も ので、 加工装置 3 2 , 3 2 の各ロ ー ド位置に対応する 位置に、 半導体収容用の カ セ .ソ ト 等が通過可能な大き さ の操作孔 6 2 を具備 してい る。

ま た、 第 7 図は第 4 図の仕切板の他の変形例を示 してい る。 こ の仕切板 6 3 は横長のス リ ッ ト 状の操作孔 6 4 を有す る も の であ る。 こ の よ う な形状の操作孔 6 4 を有する仕切板 6 3 は、 ロ ー ド位置が全て同一高さ に揃っ てい る 加工装置に適用 さ れる ま た、 通気孔 6 1 は円形であ る必要はな く 、 操作孔 6 4 と 同様 にス リ ッ ト 状で も良い。

第 8 図は第 4 図の仕切板の さ ら に他の実施例を示す も のであ る。 こ の仕切板 6 5 は、 第 6 図に示す仕切板 6 0 の操作孔 6 2 と 同 じ形状の操作孔 6 6 を有 してい る。 そ し て、 こ れ ら操作孔

6 6 の開口部上縁に、 第 1 の領域 B側に突き 出す操作孔 6 6 の 開閉用 シ ャ ツ タ機構 6 7 が設け られ、 開閉ス ク リ ー ン 6 8 で操 作孔 6 6 を開閉でき る構成と な っ てい る。

一方、 第 9 図は本発明の さ ら に他の実施例を示 してい る。 こ の図において、 符号 7 0 は仕切 シ ー ト であ る。 こ の仕切 シ ー ト

7 0 は、 第 2 の領域 A と第 1 の領域 B と の境界に設け られてい る。 仕切 シ ー ト 7 0 の全面には多数の微細な通気孔（ 図示略 ） が形成さ れてお り 、 仕切 シ ー ト 7 0 はその上端部に設け られた 回転機構付き の巻き取 り 棒 7 2 に よ っ て、 上下方向に移動自在 と な っ てい る。 ま た、 巻き取 り 棒 7 2 、 言い替えれば仕切 シ ー ト 7 ひ の上緣部は、 空気通路 5 0 内に配置さ れて い る。 さ ら に . 仕切 シ ー ト 7 0 の下端部に は仕切 シ 一 ト の 7 0 の弛みや揺れを 防止す る ための重り 7 4 が取 り 付け られてお り 、 その下端部 と 床板 2 8 と の間に は隙間 5 5 が形成さ れてい る。 ま た、 仕切 シ 一 ト 7 0 には作業者 3 4 が製造装置を操作する ための操作孔 図示略 ）が設け ら れてお り 、 空気流路 5 0 の内部には照明具 7 6 が取り 付け られてい る。 なお、 床板 2 8 には仕切 シ ー ト 7 0 の上部の 回転機構を次動的に制御 して仕切シ 一 ト 7 0 を上下に 開閉す る足踏みス ィ ッ チ 7 8 を設けて も よ い。

こ の よ う な ク リ ー ンルー ム にお いては、 経路 Vを流れる 空気 は第 1 の領域 B へ流出す る 際、 仕切 シ ー ト 7 0 に形成さ れた通 気孔を通過 して仕切 シ ー ト 7 0 の全面か ら均一に流出す る ため 仕切 シ ー ト 7 0 の第 1 の領域側の表面付近に空気の渦を生 じ る こ と がな い。 ま た、 仕切 シ ー ト 7 0 に形成さ れた通気孔の径ゃ 数を変え る こ と に よ り 、 通気孔 5 5 か ら排出 さ れる 空気の流量 や流速を制御す る こ と が可能であ る。 ま た、 経路 VIを流れる 空 気は空気流路 5 0 を通過す る 際、 照明具 7 6 や仕切 シ ー ト 7 0 の上端部吹き に に停滞す る塵埃を第 1 の吸込口 2 5 へ排出す る さ ら に、 仕切 シ ー ト 7 0 は施工が簡単であ り 、 開閉作業が容 易に行え る も のであ る。 第 1 0 図および第 1 1 図は、 上記実施例に示したよ う な ク リ ー ンルームで使用 される搬送装置 Tを示し してい る。 こ の搬送 装置 T は被加工物、 例えば半導体ウェハ等を搬送する た.めの装 置であ る。 搬送装置 T は、 走行車輪 8 0 と駆動装置と電池を具 備して自力走行自在な走行台車 8 1 と、 走行台車 8 1 の上部に 立設さ れた支柱 8 2 に水平に取り 付け られた板状の支持台 8 3 と、 この支持台 8 3 の上面に沿って水平方向に移動する把持ァ ーム 8 4 と、 支持台 8 3 の先端部上面に設け られた除塵装置 8 6 を主体と して構成さ れている。

前記搬送装置 Tの走行台車 8 1 には、 走行台車 8 1 の下方の 床に阽着されたアル ミ テー プ等の光反射案内テー プ（ 案内体 ） を検知する セ ン》サが設け られ、 こ のセ ンサが検知 した光反射案 内テープに沿って走行台車 3 1 が走行する よ う にな っ ている。

前記除塵装置 8 6 は、 第 1 1 図に示すよ う に、 ハ ウ ジ ン グ 8 9 に除塵フ ィ ルタ 9 6 や送風機を備えて構成さ れた ものであ る ハウ ジ ン グ 8 9 は、 天井板 9 0 と、 両側板 9 2 と、 両側板 4 2 の上半部に掛け渡さ れた上部前面板 9 3 および上部背面板 9 4 と から なる底部が解放し た箱伏の ものであ る。 上部前面板 9 3 の下方の開口部と上部背面板 9 4 の下方の開口部は出入口 R と な っ ている。 ま た、 ハ ウ ジ ン グ 8 9 は上部前面板 9 3 を支持台 8 3 の先端郐前方側に向けて支持台 8 3 の先端部に設けられ、 ハウ ジ ン グ 8 9 の下方の支持台 8 3 の上面に、 ウェハ（ 被加工 物 ） Uを多数収納し たウェハケー ス Hが設置される よ う にな つ ている。 前記ハウ ジ ング 8 9 の内部には、 上部背面板 9 4 に形 成さ れた吸気孔 9 5 か ら空気を吸入してハ ウ ジ ン グ 8 9 の下方 側に吹き 付け る 送風機（ 図示略 ）が収納さ れ、 こ の送風機の下 方には U L P A フ ィ ル タ 等の除塵フ ィ ル タ 9 6 が設け られ、 清 净空気をハ ウ ジ ン グ 8 9 の下方側に向けて吹き 付け る こ と がで き る よ う にな っ てい る。 なお、 ハ ウ ジ ン グ 8 9 内の送風機は、 走行台車 8 1 内に設け られた電池を電源 と し、 そ の送風方向を ハ ウ ジ ン グ 8 9 内で第 1 1 図の矢印に示すよ う に、 後方下向 き にな る よ う に送風 し、 清浄空気をハ ウ ジ ン グ 8 9 の内部を通過 さ せて上部背面扳 9 4 の下方の 出入口 Rか ら吹き 出 さ せる も の であ る。

前記把持ア ーム 8 4 は、 支持柱 8 2 に備え られた駆動装置に よ っ て水平方向に移動自在に さ れた も ので、 その先端部には、 把持ァ ー'ム 8 4 の移動に よ り 前記ハ ウ ジ ン グ 8 9 の両側板 9 2 9 2 間を通過 して ウ ェハケ ー ス Hを把持で き る杷持ハ ン ド 9 7 が設け られてい る。 なお、 把持ア ーム 8 4 は ノ、 ウ ジ ン グ 8 9 を 通過さ せてそ の前方ま で把持ハ ン ド 9 7 を移動さ せる よ う に伸 縮す る も の で あ る 。

こ の よ う な構成の搬送装置 T を用 いて、 ス ト ッ カ ー等の ゥ ェ ハの収納部か ら加工装置 3 2 ま でウ ェハ Uを搬送す る場合は、 ま ず、 各加工装置 3 2 と オ ン ラ イ ン で接続さ れて い る ホ ス ト コ ン ピ ュ ー タ が、 ウ ェハの収納部か ら加工装置 3 2 に ウ ェハ Uを 搬送す る よ う に司令を出す。 そ して、 こ の司令に基づいて搬送 装置 T が作動を開始す る。 搬送装置 は、 ま ず、 ウ ェハ収納部 か ら把持ア ーム 8 4 に よ っ て取り 出 し た ウ ェハカ セ 'ソ ト Hをハ ウ ジ ン グ 8 9 の下の支持台先端部に載置し、 第 1 の領域 B の床 板 2 8 に阽着さ れた光反射テー プに沿っ て ウ ェハ収納部か ら加 ェ装置 3 2 に向 っ て移動す る。 こ の際、 ハ ウ ジ ン グ 8 9 の内部 の送風機は清^空気を ウ ェハ U に吹き 付け、 ウ ェハ Uの周囲を 清浄空気で囲む作用を奏す る。 こ の作用 に よ っ て、 清浄度の低 い第 1 の領域 B を搬送装置 T が移動す る 場合であ っ て も、 ゥ ェ ハ U に塵を付着さ せる こ と はな い。 こ の ため、 第 1 の領域 B が ク ラ ス 1 0 0 0 以下の条件であ っ て も、 ウ ェハ Uを汚染さ せず に搬送する こ と 力 でき る。 なお、 ノヽ ウ ジ ン グ 8 9 内において、 清浄空気の流動方向は、 第 1 1 図矢印に示すよ う に、 上部前面 板 9 3 側か ら上部背面板 9 4 側に向いてい る ため に、 搬送装置 T を走行さ せる場合には、 側扳 9 2 , 9 2 を走行方向前方側に 向ける か、 あ る いは、 上部背面扳 9 4 を走行方向前方側に向け る こ と にす る。 こ の理由は、 上部前面板 9 3 を搬送装置 T の移 動方向前方側に向けて搬送装置 T を前進さ せた場合に は、 清浄 度の低い第 1 の領域 B の空気をハ ウ ジ ン グ 8 9 内に吸入す る こ と にな る ためであ る。 ま た、 第 1 の領域 B の床は固定床 4 2 で あ り 、 加工装置 3 2 ， 3 2 を設置 し た固定床 4 2 , 4 2 と は有孔 床 4 1 , 4 1 に よ っ て分離さ れてい る ために、 搬送装置 T の発 生さ せる 振動が加工装置 3 2 , 3 2 へ伝達す る の は防止さ れて い る。

次に、 加工装置 3 2 の前に移動し た搬送装置 T は、 加工装置 3 2 の手前の仕切板 6 0 の前で第 1 0 図に示す位置に停止し、 上部前面板 9 3 を仕切扳 6 0 の操作孔 6 2 に向け る。 次いで搬 送装置 T は、 把持ア ーム 8 4 を伸長さ せて把持ハ ン ド 9 7 に よ り 把持 してい た ウ ェハカ セ ッ ト Ηを支持台 8 3 か ら離 して移動 さ せ、 仕切板 6 0 の操作孔 6 2 を介 して前方の加工装置 3 2 側 に移動さ せて加工装置 3 2 の ロ ー ド位置にセ ッ ト す る。 こ こ で 仕切板 6 0 の周囲においては、 第 2 の領域 Α内の清浄空気が操 作孔 6 2 を介 して第 1 の領域 B に向 っ て移動 してい る と と も に . ハ ウ ジ ン グ 8 9 の内側では、 上部前面扳 9 3 の下方側か らハ ウ ジ ン グ 8 9 の後方側に向いて清浄空気が移動 していて、 両方の 清浄空気が同一方向に向 く た め に、 両清浄空気は乱れる こ と な く 同 じ流れを形成 して合流す る。 こ の ためハ ウ ジ ン グ 8 9 が仕 切板 6 0 を通過す る 際に もハ ウ ジ ン グ 8 9 の塵の侵入を阻止 で き る。 こ の際、 上部背面扳 9 4 が仕切返 6 0 に向いて い る と ハ ウ ジ ン グ 8 9 内の清浄空気の流れと操作孔 6 2 を通過す る清 净空気の流れが衝突 して乱流を生じ る こ と にな り 、 こ の乱流に よ り 仕切扳 6 0 の周囲の第 1 の領域 B の空気をハ ウ ジ ン グ 8 9 内に吸入 し て し ま う おそれを生じ る こ と に な り 好ま し く な い。

一方、 仕切板 6 0 の操作孔 6 2 とハ ウ ジ ン グ 8 9 と の位置合 わせは、 操作孔 6 2 の周縁部に赤外線や レ ーザ光線の発信機を 取り 付け、 ハ ウ ジ ン グ 8 9 の上部前面扳 9 3 の所要位置に受光 素子を取 り 付けて こ れ ら に よ っ て位置合わせを行 う か、 ハ ウ ジ ン グに ビデオカ メ ラ を備え さ せ、 画像処理を行 う こ と に よ っ て 位置を認識して位置合わせを行 う よ う にすれば良い。 なおま た 加工装置 3 2 , 3 2 か ら ウ ェハカ セ ヅ ト Hを取 り 出す場合には、 把持ア ーム 8 4 を伸長さ せて把持ハ ン ド 9 7 を加工装置の ゥ ェ ハカ セ ッ ト H に到達さ せ、 把持ノ、 ン ド 9 7 によ っ て ウ ェハカ セ ヅ ト Hを把持 して把持アーム 8 4 を後退さ せて支持台 3 3 に ゥェ ハカ セ ッ ト Hを載置すれば良い。

なお、 前記仕切板 6 0 は、 給気チ ャ ンバ 2 6 の底部に、 第 2 の領域 Aの長さ 方向（ 第 1 0 図の紙面に垂直な方向 ）に沿っ て 移動自在に 吊 り 下げ られ、 かつ、 第 2 の領域 A と 第 1 の領域 B の圧力変動等に よ り 仕切板 6 0 が振動しな い よ う に、 仕切扳 6 0 の底部は、 床板 2 8 に敷設さ れた レ ール 9 8 の上に載っ てい る。

以上の如 く 搬送装置 T に よ っ て ウ ェハ ϋを搬送す る な らば、 ウ ェハ収納部か ら第 1 の領域 Β を介 して加工装置 3 2 の ロ ー ド 位置ま でウ ェハ Uを汚染さ せる こ と な く 搬送す る こ とがで き る。 ま た、 ク ラ ス 1 0 0 0 以下の条件の領域で も ウ ェハ Uを汚染さ せずに搬送可'能にな る ために、 加工工程内だけではな く 、 .更に 清浄度の低い工程間の搬送に も使用で き る効果があ る。

ま た、 上記.搬送装置 Τ は、 床板 2 8 に阽着 し た光反射テー プ 等の案内体を張り 替え る こ と に よ つ て搬送装置 Τ の移動経路を 自 由に変更で き る た め に、 加工装置の変更や製造プ ロ セ ス の変 更を行っ た場合であ っ て も、 光反射テー プの張り 替えを行う こ と に よ っ て安価にかつ簡単に対応する こ と ができ、 極めて対応 性の高い装置と な っ てい る。 更に、 搬送装置 Τ は収納部か ら ゥ ェハ Uを取り 出 し て ク リ ー ンルー ム内を移動し、 加工装置 3 2 め ロ ー ド位置に ウ ェハ Uを設置で き る も のであ る ために、 搬送 装置と は別個に把持移動用の ロ ボ ヅ ト 等を必要と してい た一般 的な従来装置に比铰 して設備費用を低減で き る効果があ る。 産業上の利用可能性 '

本発明の ク リ ー ンルーム は、 超 L S I 、 I C等の半導体製造 分野で、 その製造環境を超高清浄度に維持 し たい場合に用 いて 極めて効果的であ る。

Claims

請求の範囲

1 . 天井と、 床と、 これ ら天井と床との間の室内空間と、 こ の室内空間に超高清浄度の空気を供給する空気供袷手段と、 室 内空間に供給された空気を排出する空気排出手段とを備え、 前 記室内空間は、 高清浄度が要求される第 1 の領域と、 こ の第 1 の領域に隣り 合う と と もに第 1 の領域よ り も さ らに高い超高清 浄度が要求される第 2 の領域と に区分される ク リ ー ンルームに おいて、 前記空気供給手段は、 前記第 2 の領域の天井に配置さ れて下向き に空気を吹き 出す空気吹出口を備.え、 前記空気排出 手段は、 前記第 1 の領域の天井に配置さ れて上向き に空気を吸 い込む第 1 の空気吸込口を備え、 これによ り 第 2 の領域から第 1 の領域へ向かう横方向の空気流が生じ る よ う に したこ とを特 徵とする ク リ ー ンルーム。 '

2 . 前記空気吸込口へ流れ込む空気の流線を滑らかに形成す る ための整流手段を備えている こ とを特徵とする請求の範囲第 1 項記載の ク リ ー ンルーム。 .

3 . 前記整流手段は、 空気吹出口 と空気吸込口 との間に配設 さ れた整流扳であ る こ とを特徵とする請求の範囲第 2 項記載の ク リ ー ンルーム。

4 . 前記整流手段は、 空気吹出口 と空気吸込口 との間に配設 されて第 1 の領域に向けて斜め下方に空気を吹き 出す捕助吹出 口であ る こ と を特徵と す る 請求の範囲第 2 項記載の ク リ ー ンル 一ム

5 . 前記第 1 の領'域は作業者の通路と な る 領域であ り 、 こ の 第 1 の領域の床は固定床であ る こ と を特徵と す る請求の範囲第 1 項、 第 2 項、 第 3 項、 ま たは第 4 項いずれかの項記載の ク リ ー ン ル ー ム。

6 . 前記第 2 の領域は精密加工装置が設置さ れる領域であ り 第 2 の領域の床は固定床であ る こ とを特徵と す る請求の範囲第 5 項記載の ク リ ー ン ル ー ム。

7 . 前記第 1 の領域の床と第 2 の領域の床と は互い に分離さ れてい る こ と を特徵と す る 請求の範囲第 6 項記載の ク リ ー ンル 一ム。

8 . 前記空気排出手段は、 第 1 の領域の床と 第 2 の領域の床 の間に第 2 の空気吸込口を有す る こ と を特徵と す る請求の範囲 第 7 項記載の ク リ ー ン ル ー ム。

9 . 前記第 1 の領域の床と第 2 の領域の床の間に架け渡さ れ た有孔床を備え、 こ の有孔床は こ れを貫通す る多数の孔を有す る こ と を特徵と す る請求の範囲第 8 項記載の ク リ ー ン ル ー ム。

1 0 . 前記第 1 の領域と第 2 の領域とを仕切る 仕切部材を備 え、 こ の仕切部材は、 第 2 の領域か ら仕切部材を介して第 1 の 領域へ空気を流すための通気手段を有す る こ と を特徵とす る請 求の範囲第 1 項、 第 2 項、 第 3 項、 ま たは第 4 項いずれかの項 記載の ク リ ー ンルーム。 -

1 1 . 前記仕切部材は第 1 の領域と第 2 の領域と の間に配設 さ れた仕切板であ り 、 前記通気手段は仕切板の全面にほぼ均一 に配さ れた複数の通気孔であ る こ とを特徵と す る 請求の範囲第 1 0 項記載の ク リ ー ン ルー ム。

1 2 . 前記仕切板はほぼ水平方向に移動自在であ り 、 第 2 の 領域への物品の搬入あ る いは搬出を容易に行え る よ う にな っ て い る こ と を特徴と す る 請求の範囲第 1 2 項記載の ク リ ー ンルー ム。

1 3 . 前記第 2 の領域と第 1 の空気吸込口を連通さ せ る 空気 流路を備え、 こ の空気流路内に仕切板の上緣部が配置さ れてい る こ と を特徵と する請求の範囲第 1 2 項記載の ク リ ー ン ル ー ム

1 4 . 前記仕切部材は第 1 の領域と第 2 の領域の間に配設さ れた仕切シ ー ト であ り 、 前記通気手段は仕切 シ ー ト の全面に ほ ぼ均一に配さ れた複数の通気孔であ る こ と を特徵とす る讃求の 範囲第 1 0 項記載の ク リ ー ン ル ー ム。

1 5 . 前記仕切 シ ー ト は巻き取 り 自在であ り 、 第 2 の領域へ の物品の搬入あ る い は搬出を容易に行え る よ う にな っ てい る こ と を特徵と す る請求の範囲第 1 4 項記載の ク リ ー ン ル ー ム。

1 6 . 前記.第 2 の領域と第 1 の空気吸込口を連通さ せる 空気 流路を備え、 こ の空気流路内に仕切 シ ー ト の上縁部が配置さ れ てい る こ と を特徵と す る請求の範囲第 1 5 項記載の ク リ ー ンル 一ム

1 7 . ク リ ー ン ル ー ム内で被加工物を搬送する方法において、 被加工物を移動さ せ る工程と、 こ の移動工程中继続的に被加工 物に清浄な空気を吹き付けて被加工物を清浄な空気で覆 う よ う にす る 工程と を有す.る こ と を特徵と す る ク リ ー ン ル ー ム におけ る 被加工物の搬送方法。

1 8 . 走行台車と、 こ の走行台車上に設け られた被加工物収 容用の ヽ ゥ ジ ン グと、 こ の ヽ ゥ ジ ン グに取り 付け られた除塵フ ィ ルタ と 、 こ の除塵フ ィ ルタ を介 してハ ウ ジ ン グ内に清浄な空気 を吹き込む送風手段と を備えてい る こ とを特徵と す る ク リ ー ン ル ー ム用被加工物搬送装置。