JPS62134431A - クリ−ンル−ム - Google Patents
クリ−ンル−ムInfo
- Publication number
- JPS62134431A JPS62134431A JP60274236A JP27423685A JPS62134431A JP S62134431 A JPS62134431 A JP S62134431A JP 60274236 A JP60274236 A JP 60274236A JP 27423685 A JP27423685 A JP 27423685A JP S62134431 A JPS62134431 A JP S62134431A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- floor
- ceiling
- room
- clean air
- clean
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野〕
この発明は、超LSI% IC等の製造分野で、製造す
る環境を超清浄に維持したい場合に必要なりリーンルー
ムに関する。
る環境を超清浄に維持したい場合に必要なりリーンルー
ムに関する。
従来の、この種のクリーンルームとしては、第2図に示
す部分層流型のクリーンルームが知られている。
す部分層流型のクリーンルームが知られている。
図において、符号1は天井板、2は床版である。
天井板1と床版2との間の室内には、天井部分に天井板
3が設けられてオシ、天井板3の上部には主空vI4機
(1示せず)からの給気ダクト4が配設されている。ま
た、天井板3の下部には、給気チャンバ5,5,5が形
成されており、それらはULPA フィルタ(又は1
(EPA フィルタ)6゜6.6を介して下方の空間
部と連通さnている。
3が設けられてオシ、天井板3の上部には主空vI4機
(1示せず)からの給気ダクト4が配設されている。ま
た、天井板3の下部には、給気チャンバ5,5,5が形
成されており、それらはULPA フィルタ(又は1
(EPA フィルタ)6゜6.6を介して下方の空間
部と連通さnている。
一方、室内の床部には、床版2の上方に有孔床(グレー
チング、パンチメタル等)7が設置されており、それら
の間には天下フリーアクセスフロア8が形成されている
。さらに、室内は給気チャンバ5と有孔床7との間に立
設された間仕切板9゜りによって、作業室10とユーテ
ィリティ室11とに分けられている。間仕切板9の下部
付近には、LSI 等の製造装置12.12が配設さ
れておシ、間仕切板9の下端部には間仕切板排気口13
が形成されている。
チング、パンチメタル等)7が設置されており、それら
の間には天下フリーアクセスフロア8が形成されている
。さらに、室内は給気チャンバ5と有孔床7との間に立
設された間仕切板9゜りによって、作業室10とユーテ
ィリティ室11とに分けられている。間仕切板9の下部
付近には、LSI 等の製造装置12.12が配設さ
れておシ、間仕切板9の下端部には間仕切板排気口13
が形成されている。
前記、作業室10の空間部は、IN造装置12の上方の
装置部領域Aと、作業者14が製造装置12の前に立っ
て作業を行う作業部領域Bと、作業室10のほぼ中央部
で作業者14が通る通路部領域Cとに区分されている。
装置部領域Aと、作業者14が製造装置12の前に立っ
て作業を行う作業部領域Bと、作業室10のほぼ中央部
で作業者14が通る通路部領域Cとに区分されている。
°また、前ifc!供給チャンバ5には、作業者14の
上方に照明器具15が取付けられてかり、ユーティリテ
ィ室11側にファン内蔵型の空調機16.16が設けら
れた構成とされでいる。
上方に照明器具15が取付けられてかり、ユーティリテ
ィ室11側にファン内蔵型の空調機16.16が設けら
れた構成とされでいる。
このような、従来の部分層流型クリーンルームにおいて
は、給気ダクト4を通って送られてた清浄空気が、天井
の全面に設けられた給気チャンバ5.5.5から作業室
10へ吹き出される。作業室10へ供給され九溝浄臣気
は、天井部分から有孔床7が設けられた床部へ向けて一
方向にほぼ層流状態で流れ、次いで、床下フリーアクセ
スフロア8からユーティリティ室11を経て空?A機1
6に達し、さらに、空調機16から供給チャンバ5内へ
送られ、ULPA フィルタ6を通過して再び作業室
10へ供給される。
は、給気ダクト4を通って送られてた清浄空気が、天井
の全面に設けられた給気チャンバ5.5.5から作業室
10へ吹き出される。作業室10へ供給され九溝浄臣気
は、天井部分から有孔床7が設けられた床部へ向けて一
方向にほぼ層流状態で流れ、次いで、床下フリーアクセ
スフロア8からユーティリティ室11を経て空?A機1
6に達し、さらに、空調機16から供給チャンバ5内へ
送られ、ULPA フィルタ6を通過して再び作業室
10へ供給される。
ところが、前記従来のクリーンルームにおいては、天井
の全面から清浄空気を床部に向って吹き出すため、清浄
空気の絶対供給量が多(なり、その分ファンの、駆rJ
thm力費が増大し、エネルギー多消費型のクリーンル
ームとなっていること、また、作業室に供給ざハる風量
が多いことや、供給された(#生空気が天井面から床部
・\向けて一方向に訛れる層流状態を形成する必要があ
ること等から、床部、特に、通路部領域の床を有孔床と
しなければならず、そのたぬ、歩行時に床が振動し、そ
れが製造装置に伝ること、歩行時の作業者が不快感を感
じること、また、床部の建設費が高価でおること等の問
題点があった。
の全面から清浄空気を床部に向って吹き出すため、清浄
空気の絶対供給量が多(なり、その分ファンの、駆rJ
thm力費が増大し、エネルギー多消費型のクリーンル
ームとなっていること、また、作業室に供給ざハる風量
が多いことや、供給された(#生空気が天井面から床部
・\向けて一方向に訛れる層流状態を形成する必要があ
ること等から、床部、特に、通路部領域の床を有孔床と
しなければならず、そのたぬ、歩行時に床が振動し、そ
れが製造装置に伝ること、歩行時の作業者が不快感を感
じること、また、床部の建設費が高価でおること等の問
題点があった。
本発明は、前記問題点に鑑みてなされたものであシ、天
井面からの6!浄空気の供給値を消滅して省エネルギー
型のクリーンルームを美男するとともに、歩行時の床の
振動を防止し、作業者の歩行時の不快感を解消し、床部
の建設費の低減をはかることが可能なりリーンルームを
提供することを目的としている。
井面からの6!浄空気の供給値を消滅して省エネルギー
型のクリーンルームを美男するとともに、歩行時の床の
振動を防止し、作業者の歩行時の不快感を解消し、床部
の建設費の低減をはかることが可能なりリーンルームを
提供することを目的としている。
本発明は、前記問題点を解決するために通路部領域の天
井面に、室内を天井面からま部に向って流れる清浄空気
の−8を排出する天井排気部を設けるとともに、開口部
を育する床部の一部分を固定床としたことを特徴として
いる。
井面に、室内を天井面からま部に向って流れる清浄空気
の−8を排出する天井排気部を設けるとともに、開口部
を育する床部の一部分を固定床としたことを特徴として
いる。
〔実施例コ
以下、図面を謬照してこの発明の詳細な説明する。第1
図は本発明の一実施例を示すものでちる。第1図に給い
て、前記従来の技術を説明した第2因と同=の構成要素
については、同一符号を付して、その説明を省略する。
図は本発明の一実施例を示すものでちる。第1図に給い
て、前記従来の技術を説明した第2因と同=の構成要素
については、同一符号を付して、その説明を省略する。
図において、通路部領域Cを介して両側(紙面に対して
工右〕に設けられた装置部領域A及び作業部領域Bの上
部の天井板3には、空気供給部である給気チャンバ5,
5がノヒ成されておシ、それらには主壁A機(図示せず
)から送風される清浄空気の供給ダクト4.4がそれぞ
れ連通されている。また、通路部領域Cの上部には、天
井排気部20が形成されておシ、天井排気部20には左
右の給気チャンバ5.5の間に架設されたダンパー付き
の天井ガラリ21と、その上方に有り給気チャンバ5,
5にそれぞれ付設され±排気ファン22.22とが設け
られている。
工右〕に設けられた装置部領域A及び作業部領域Bの上
部の天井板3には、空気供給部である給気チャンバ5,
5がノヒ成されておシ、それらには主壁A機(図示せず
)から送風される清浄空気の供給ダクト4.4がそれぞ
れ連通されている。また、通路部領域Cの上部には、天
井排気部20が形成されておシ、天井排気部20には左
右の給気チャンバ5.5の間に架設されたダンパー付き
の天井ガラリ21と、その上方に有り給気チャンバ5,
5にそれぞれ付設され±排気ファン22.22とが設け
られている。
一方、室内の排気用の開口部を有する床部は、通路部領
域Cの直下と、製造装置112.12の直下とが、それ
ぞれコンクリート製の固定床7 a t7bで剋工され
ており、作業室10内においては、作業部領域Bの直下
の床部のみが有孔床(本実施例においてはグレーチング
、パンチメタル#を用いる)7となっている。その他に
ついては、従来の部分層流型のクリーンルームと同様の
構成とされている。
域Cの直下と、製造装置112.12の直下とが、それ
ぞれコンクリート製の固定床7 a t7bで剋工され
ており、作業室10内においては、作業部領域Bの直下
の床部のみが有孔床(本実施例においてはグレーチング
、パンチメタル#を用いる)7となっている。その他に
ついては、従来の部分層流型のクリーンルームと同様の
構成とされている。
したがって、このクリーンルームにおいては、天井の一
部分にしか給気チャンバ5が設けられておらず、天井の
全面から清浄空気が吹き出すことがないので、吹き出し
量を減少(本実施例においては約30優)させることが
可能となる。その結果、主空調機やその他のファン動力
費及びイニシャルコストの低減を実現することかで゛き
る。
部分にしか給気チャンバ5が設けられておらず、天井の
全面から清浄空気が吹き出すことがないので、吹き出し
量を減少(本実施例においては約30優)させることが
可能となる。その結果、主空調機やその他のファン動力
費及びイニシャルコストの低減を実現することかで゛き
る。
つぎに、前記構成のクリーンルームの作用について説明
する。
する。
主空調機から給気ダクト4を通って送られた清浄空気が
、天井に設けられた左右の給気チャンバ5.5へ供給さ
れる。給気チャンバ5,5へ供給された清浄空気はUL
PA (又はHEPA)フィルタ6.6を通過して作
業室10内へ吹き出される。吹き出された清浄空気は、
主に3蓬類の流路を通って、再び、給気チャンバ5,5
へ還気される。
、天井に設けられた左右の給気チャンバ5.5へ供給さ
れる。給気チャンバ5,5へ供給された清浄空気はUL
PA (又はHEPA)フィルタ6.6を通過して作
業室10内へ吹き出される。吹き出された清浄空気は、
主に3蓬類の流路を通って、再び、給気チャンバ5,5
へ還気される。
まず、第1の流路■は、給気チャンバ5から吹き出され
た清浄空気が製造装置If12の上面に搦った後、間仕
切板排気口13を通過してユーティリティ室11に達し
、次いで空v!4機16を経て給気チャンバ5へ戻る流
路、つぎに、第2の流路■は、給気チャンバ5から吹き
出された清浄空気が製造装置12の上面に当った後、作
業者14を包み込むようにして作業部領域Bの直下の有
孔床7の部分を通過してユーティリティ室11に達し、
次いで窒調機16を経て給気チャンバ5へ戻る流路。さ
らに、第3の流路■は、給気チャンバ5から吹き出し之
清浄空気が製造装置12に当らず、作業部領域Bの上部
を通過し、主に作業者14の頭部等を包むようにして流
れ、通路部領域Cの上部を通過して天井ガラリ21から
天井排気部20に達し%次いで、排気ファン22によシ
給気チャンバ5へ戻る流路である。
た清浄空気が製造装置If12の上面に搦った後、間仕
切板排気口13を通過してユーティリティ室11に達し
、次いで空v!4機16を経て給気チャンバ5へ戻る流
路、つぎに、第2の流路■は、給気チャンバ5から吹き
出された清浄空気が製造装置12の上面に当った後、作
業者14を包み込むようにして作業部領域Bの直下の有
孔床7の部分を通過してユーティリティ室11に達し、
次いで窒調機16を経て給気チャンバ5へ戻る流路。さ
らに、第3の流路■は、給気チャンバ5から吹き出し之
清浄空気が製造装置12に当らず、作業部領域Bの上部
を通過し、主に作業者14の頭部等を包むようにして流
れ、通路部領域Cの上部を通過して天井ガラリ21から
天井排気部20に達し%次いで、排気ファン22によシ
給気チャンバ5へ戻る流路である。
ここで、最も清浄な環境を維持じたい領域は、製造装置
12の上面、即ち、ウェハーカセットのロード、アンロ
ードの部分を含む装置部領域Aである。したがって、清
浄空気を吹き付けることによって、装6jt部領域Aの
塵埃を直接的に排除するとともに、作業部領域Bや通路
部領域Cからの塵埃の侵入を阻血することが必要である
。
12の上面、即ち、ウェハーカセットのロード、アンロ
ードの部分を含む装置部領域Aである。したがって、清
浄空気を吹き付けることによって、装6jt部領域Aの
塵埃を直接的に排除するとともに、作業部領域Bや通路
部領域Cからの塵埃の侵入を阻血することが必要である
。
本’it!厖例においては、前記粂件を満すように、装
置部領域Aのシールは流路■、■を流れる清浄空気が行
ない、作業部領域B及び通路部Cからの轟埃の侵入防止
は流路■、■を流れる清浄空気が行う。特に、流路■、
■を流れる清浄空気は、装置部領域Aから作業部領域B
を経て通路部領域Cへ向かう、横方向の大きな速度成分
を有した気流形状となってお)、これによって、作業部
領域B及び通路部領域Cからの!!埃の進入を完全に防
止することができる。
置部領域Aのシールは流路■、■を流れる清浄空気が行
ない、作業部領域B及び通路部Cからの轟埃の侵入防止
は流路■、■を流れる清浄空気が行う。特に、流路■、
■を流れる清浄空気は、装置部領域Aから作業部領域B
を経て通路部領域Cへ向かう、横方向の大きな速度成分
を有した気流形状となってお)、これによって、作業部
領域B及び通路部領域Cからの!!埃の進入を完全に防
止することができる。
その際、作業室10に供給される清浄空気の量を10
a /minとした場合、前記3種類の流路■。
a /minとした場合、前記3種類の流路■。
■、■を流れて排気される排気量の比率は、流路■:流
路■:流路■=1:4:5となっていることが望ましい
。
路■:流路■=1:4:5となっていることが望ましい
。
したがって、従来のクリーンルームのように、作業室1
0に供給された清浄空気が天井面から床部へ同って一方
向に流れる層流状態を形成する必要がなく碌シ、かつ、
作業室10に供給された清浄空気のほぼ全量を床部のみ
から排気する必要がなくなるため、床部の全面を有孔床
7とする必要がなくなり、作業部領域Bの直下にわずか
の開口部を設け、通路部領域Cと製造装置12.12の
直下は固定床7a、76とすることが可能となる。
0に供給された清浄空気が天井面から床部へ同って一方
向に流れる層流状態を形成する必要がなく碌シ、かつ、
作業室10に供給された清浄空気のほぼ全量を床部のみ
から排気する必要がなくなるため、床部の全面を有孔床
7とする必要がなくなり、作業部領域Bの直下にわずか
の開口部を設け、通路部領域Cと製造装置12.12の
直下は固定床7a、76とすることが可能となる。
その結果、作業者14は歩行時に通路部領域Cの固定床
7aを歩くことによう、また、通路部領域Cの固定床7
aと製造装置12.12の固定床7h、7bとが分離し
ていることにより、歩行時に振動が発生するのを押え、
振動が製造装置12・12へ伝わるのを防止することが
できるとともに、歩行時の作業者14に全面グレーチン
グ床を歩く時に感じられる不快感を与えることがない。
7aを歩くことによう、また、通路部領域Cの固定床7
aと製造装置12.12の固定床7h、7bとが分離し
ていることにより、歩行時に振動が発生するのを押え、
振動が製造装置12・12へ伝わるのを防止することが
できるとともに、歩行時の作業者14に全面グレーチン
グ床を歩く時に感じられる不快感を与えることがない。
また、高価な有孔床7を低価なコンクI) −ト梨の固
定ff17a*7k)に変えることにより、床部の建設
費の低減を実現することが可能となる。
定ff17a*7k)に変えることにより、床部の建設
費の低減を実現することが可能となる。
[発明の効果〕
以上、説明したように本発明は、通路部領域の天井面に
、室内を天井面から床部に向って一方向に流れる清浄空
気の一部を排出する天井排気部を設けるとともに、開口
部を有する床部の一部分を固定床としたものであるので
、通路部領域の天井からの清浄空気の吹@出し量分が焦
〈な9、清浄空気の絶対供給四が消滅され、ファンのl
XA動動力蚤を低減させることが可能となシ、省エネル
ギー型のクリーンルームを実現できるとともに、歩行時
の床の弧動の発生や伝達を防止し、歩行時の作業者の不
快感を屏消し、床部の建設費を低減することが可能とな
る。
、室内を天井面から床部に向って一方向に流れる清浄空
気の一部を排出する天井排気部を設けるとともに、開口
部を有する床部の一部分を固定床としたものであるので
、通路部領域の天井からの清浄空気の吹@出し量分が焦
〈な9、清浄空気の絶対供給四が消滅され、ファンのl
XA動動力蚤を低減させることが可能となシ、省エネル
ギー型のクリーンルームを実現できるとともに、歩行時
の床の弧動の発生や伝達を防止し、歩行時の作業者の不
快感を屏消し、床部の建設費を低減することが可能とな
る。
第1図は本発明の−■九例を示す図であり、クリーンル
ームの側断面図、第2図は従来の技術を示す図であり、
クリーンルームの倶]断面因である。 5・・・・・・給気チャンバ(臣気洪袷部)、7・・・
・・・有孔床(床部)、7 a 、 ’7 b・・・・
・固定床(床部〕、20・・・・・・天井排気部、A・
・・・・・装置部領域、B・・・・・・作業部領域、C
・・・・・・通路部領戟。
ームの側断面図、第2図は従来の技術を示す図であり、
クリーンルームの倶]断面因である。 5・・・・・・給気チャンバ(臣気洪袷部)、7・・・
・・・有孔床(床部)、7 a 、 ’7 b・・・・
・固定床(床部〕、20・・・・・・天井排気部、A・
・・・・・装置部領域、B・・・・・・作業部領域、C
・・・・・・通路部領戟。
Claims (1)
- 天井の全面に設けられた空気供給部から、排気用の開口
部を有する床部に向けて清浄空気を流すことによつて、
室内に設けられた装置部領域、作業部領域、通路部領域
の空気を清浄な状態に維持するクリーンリームにおいて
、前記通路部領域の天井面に、前記室内を天井面から床
部に向つて一方向に流れる清浄空気の一部を排出する天
井排気部を設けるとともに、前記開口部を有する床部の
一部分を固定床としたことを特徴とするクリーンルーム
。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60274236A JPS62134431A (ja) | 1985-12-05 | 1985-12-05 | クリ−ンル−ム |
PCT/JP1986/000603 WO1987003356A1 (en) | 1985-11-26 | 1986-11-26 | Clean room |
US07/057,525 US4838150A (en) | 1985-11-26 | 1986-11-26 | Clean room |
EP86906948A EP0250596B1 (en) | 1985-11-26 | 1986-11-26 | Clean room |
DE8686906948T DE3683492D1 (de) | 1985-11-26 | 1986-11-26 | Reinraum. |
KR870700365A KR880700218A (ko) | 1985-11-26 | 1987-04-27 | 크린 룸 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60274236A JPS62134431A (ja) | 1985-12-05 | 1985-12-05 | クリ−ンル−ム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62134431A true JPS62134431A (ja) | 1987-06-17 |
Family
ID=17538897
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60274236A Pending JPS62134431A (ja) | 1985-11-26 | 1985-12-05 | クリ−ンル−ム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62134431A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9808061B2 (en) | 2010-08-31 | 2017-11-07 | Jemella Ltd. | Hair styling appliance |
-
1985
- 1985-12-05 JP JP60274236A patent/JPS62134431A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9808061B2 (en) | 2010-08-31 | 2017-11-07 | Jemella Ltd. | Hair styling appliance |
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